KR20230141348A

KR20230141348A - 코드 인쇄 방법 및 코드 인쇄 장치

Info

Publication number: KR20230141348A
Application number: KR1020220040799A
Authority: KR
Inventors: 이성호
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2022-03-31
Filing date: 2022-03-31
Publication date: 2023-10-10

Abstract

본 발명은 물품 이송을 위해 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일을 따라 이동하는 이송 차량 유닛의 동작을 안내하는 코드를 주행 레일에 인쇄할 수 있는 코드 인쇄 방법 및 코드 인쇄 장치에 관한 것으로서, 상기 이송 차량 유닛에 상기 코드를 인쇄하는 인쇄 모듈 및 상기 인쇄 모듈을 제어하는 제어 모듈을 부착하는 인쇄 장치 부착 단계와, 상기 제어 모듈이 외부의 서버로부터 상기 주행 레일에 인쇄 예정인 상기 코드의 위치 및 종류에 대한 정보를 수신하는 인쇄 정보 수신 단계 및 상기 제어 모듈에 수신된 상기 주행 레일에 인쇄 예정인 상기 코드의 위치 및 종류에 대한 정보를 기초로 상기 인쇄 모듈을 제어하여, 상기 주행 레일에 상기 코드를 인쇄하는 코드 인쇄 단계를 포함할 수 있다.

Description

코드 인쇄 방법 및 코드 인쇄 장치{Code printing method and code printing device}

본 발명은 코드 인쇄 방법 및 코드 인쇄 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 물품 이송을 위해 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일을 따라 이동하는 이송 차량 유닛의 동작을 안내하는 코드를 주행 레일에 인쇄할 수 있는 코드 인쇄 방법 및 코드 인쇄 장치에 관한 것이다.

반도체를 제조하려면, 반도체 공정 장치들에 의하여 다양한 공정을 수행하여야 하고, 이를 위하여 웨이퍼(wafer)와 같은 물품을 수행할 공정에 따라 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하여야 한다. 예컨대, 물품으로서 처리할 웨이퍼가 수납된 컨테이너(container)를 이송하여 어느 한 반도체 공정 장치의 로드 포트(load port)에 제공할 수 있고, 처리한 웨이퍼가 수납된 컨테이너를 다른 반도체 공정 장치의 로드 포트로 이송할 수 있다.

일반적으로, 클린 룸(clean room)과 같은 반도체 제조 현장에서는 물품을 효율적으로 이송하기 위하여 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함하는 물품 이송 설비가 주로 사용되고 있다.

물품 이송 설비는, 크게, 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하, OHT라고도 칭하기로 한다.) 및 버퍼 장치(Side track buffer, STB)로 구성될 수 있다. OHT는, 주행 레일을 따라 주행하는 이송 차량 유닛을 포함하고, 버퍼 장치는, OHT의 주행 레일의 측방에 이송 차량 유닛에 의하여 이송되는 물품을 임시로 보관하기 위한 물품 보관 공간을 제공한다.

이러한, 물품 이송 설비의 OHT는, 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일을 따라 이동할 수 있으며, 주행 레일에는 OHT의 주행, 정지 및 물품의 이적재 위치를 안내하는 코드가 형성되고, OHT는, 주행 레일에 형성된 코드를 감지하면서 이동하게 된다.

이와 같이, 주행 레일에 코드를 형성하기 위해 종래에는, 롤링 타워를 이용하여 수작업을 통해 주행 레일에 코드를 부착하는 방식을 이용함으로써, 롤링 타워를 이용하여 작업할 수 있도록 롤링 타워를 이동시키기 위한 인력 및 롤링 타워에서 작업하는 인력 등 많은 인력이 필요하며, 특히, 코드의 수량이 많은 대형화 라인의 경우 수작업으로 인해 작업 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.

또한, 작업 인력이 수작업을 통해 코드를 주행 레일에 부착하므로, 코드 형성 위치의 정밀도가 저하되고, 이는 OHT의 오작동을 야기시키는 원인이 되어, 반도체 제조 공정에서의 공정 불량이나 각종 안전 사고를 유발할 수 있다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 주행 레일에 코드를 자동으로 인쇄할 수 있는 코드 인쇄 방법 및 코드 인쇄 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 화제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 코드 인쇄 방법이 제공된다. 상기 코드 인쇄 방법은, 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일을 따라 이동하는 이송 차량 유닛에, 코드를 인쇄하는 인쇄 모듈 및 상기 인쇄 모듈을 제어하는 제어 모듈을 부착하는 인쇄 장치 부착 단계; 상기 제어 모듈이 외부의 서버로부터 상기 주행 레일에 인쇄 예정인 상기 코드의 위치 및 종류에 대한 정보를 수신하는 인쇄 정보 수신 단계; 및 상기 제어 모듈에 수신된 상기 코드의 위치 및 종류에 대한 정보를 기초로 상기 인쇄 모듈을 제어하여, 상기 주행 레일에 상기 코드를 인쇄하는 코드 인쇄 단계;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 코드 인쇄 단계는, 상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 인쇄 모듈로, 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 상기 주행 레일 중 어느 한 레일인 제 1 레일의 하면에 제 1 코드를 인쇄하는 제 1 인쇄 단계; 및 상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 인쇄 모듈로, 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 상기 주행 레일 중 다른 한 레일인 제 2 레일의 하면에 상기 제 1 코드와 다른 종류의 제 2 코드를 인쇄하는 제 2 인쇄 단계;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 인쇄 단계에서 상기 제 1 레일에 인쇄되는 상기 제 1 코드는, 상기 주행 레일을 따라 이동하는 상기 이송 차량 유닛이 주행 위치 정보를 인식할 수 있도록, 상기 주행 위치 정보를 포함하는 주행 태그이고, 상기 제 2 인쇄 단계에서 상기 제 2 레일에 인쇄되는 상기 제 2 코드는, 상기 주행 레일을 따라 이동하는 상기 이송 차량 유닛이 상기 주행 레일의 측면에 위치한 반도체 제조 설비의 로드 포트의 위치를 인식할 수 있도록, 상기 로드 포트의 위치 정보를 포함하는 정지 태그일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 코드 인쇄 단계는, 상기 주행 레일의 초기 설치 후, 상기 제 1 인쇄 단계에서, 상기 인쇄 모듈이 부착된 상기 이송 차량 유닛이 상기 주행 레일의 소정의 초기 위치로부터 출발하여, 상기 제 1 레일에 복수의 상기 제 1 코드를 인쇄할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 인쇄 단계는, 상기 제 1 레일에 복수의 상기 제 1 코드를 일정하게 소정의 간격으로 인쇄할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 코드 인쇄 단계는, 상기 제 1 인쇄 단계의 완료 후, 상기 제 2 인쇄 단계를 실행하고, 상기 제 2 인쇄 단계는, (a) 상기 인쇄 모듈이 부착된 상기 이송 차량 유닛을 상기 초기 위치로 이동시키는 단계; (b) 상기 이송 차량 유닛이 상기 초기 위치로부터 출발하여 상기 반도체 제조 설비에 인접한 상기 제 1 코드를 인식하는 단계; (c) 상기 제 1 코드의 인식 후, 상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 제어 모듈에 포함된 오토 티칭부로 상기 반도체 제조 설비의 상기 로드 포트가 인식될 때까지 상기 이송 차량 유닛을 계속해서 이동시키는 단계; 및 (e) 상기 로드 포트의 인식 후, 상기 제 2 레일에 상기 제 2 코드를 인쇄하는 단계;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 2 인쇄 단계는, (d) 상기 (e) 단계 전에, 상기 로드 포트에 대한 정위치를 검증하는 단계;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 2 인쇄 단계는, 상기 (d) 단계에서, 상기 인쇄 정보 수신 단계에서 수신된 상기 주행 레일에 인쇄 예정인 상기 코드의 위치 및 종류에 대한 정보와, 상기 (c) 단계에서 상기 이송 차량 유닛을 구동시키는 구동 장치에 설치된 엔코더부로부터 수신된 이동 위치 모터 파라미터 값을 비교하여, 상기 로드 포트에 대한 정위치를 검증한 후, 상기 (e) 단계를 통해 상기 제 2 코드를 인쇄할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 (e) 단계에서, 상기 이송 차량 유닛에 설치되어 상기 코드를 인식하는 센서부와 상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 인쇄 모듈의 이격 거리 만큼 상기 이송 차량 유닛이 추가 이동 후, 상기 제 2 코드를 인쇄할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 2 인쇄 단계는, 상기 주행 레일의 측면에 위치한 복수의 상기 반도체 제조 설비의 각 로드 포트와 대응되는 정위치마다, 상기 제 2 레일에 복수의 상기 제 2 코드를 1대1로 매칭되도록 인쇄할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 이송 차량 유닛으로부터 상기 인쇄 모듈 및 상기 제어 모듈을 탈착하는 인쇄 장치 탈착 단계;를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 코드 인쇄 장치가 제공된다. 상기 코드 인쇄 장치는, 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일을 따라 이동하는 이송 차량 유닛에 부착되고, 상기 주행 레일을 따라 이동하는 상기 이송 차량 유닛의 동작을 안내하는 코드를 상기 주행 레일에 인쇄하는 인쇄 모듈; 및 상기 이송 차량 유닛에 부착되고, 상기 주행 레일에 상기 코드가 인쇄되도록 상기 인쇄 모듈을 제어하는 제어 모듈;을 포함하고, 상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 인쇄 모듈은, 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 상기 주행 레일 중 어느 한 레일인 제 1 레일의 하면에 제 1 코드를 인쇄하고, 상기 주행 레일 중 다른 한 레일인 제 2 레일의 하면에 상기 제 1 코드와 다른 종류의 제 2 코드를 인쇄할 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 이송 차량 유닛의 주행 위치 정보를 포함하는 주행 태그 및 반도체 제조 설비의 로드 포트의 위치 정보를 포함하는 정지 태그로 구분되는 코드를 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 주행 레일의 제 1 레일과 제 2 레일에 각각 자동으로 인쇄함으로써, 주행 레일의 코드 형성 작업을 자동화할 수 있다.

이에 따라, 코드의 수량이 많은 대형화 라인의 경우에도 코드의 인쇄 작업을 자동화하여 신속하게 수행할 수 있으며, 코드 인쇄 작업의 자동화로 별도의 작업 인력이 불필요하여 작업 인력을 절감할 수 있다.

또한, 본 발명의 코드 인쇄 방법을 수행하는 코드 인쇄 장치의 인쇄 모듈 및 제어 모듈이 이송 차량 유닛에 탈부착 가능한 구조를 가짐으로써, 이송 차량 유닛에 간단히 부착 및 탈착하는 방식으로서 하나의 코드 인쇄 장치로 다양한 공정 셋업에 활용할 수 있는 장점이 있다.

또한, 코드를 정확한 위치에 인쇄함으로써, OHT의 오작동을 방지하고 정밀한 동작을 유도하여, 반도체 제조 공정에서의 공정 불량이나 각종 안전 사고의 발생을 예방할 수 있는 효과를 가지는 코드 인쇄 방법 및 코드 인쇄 장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코드 인쇄 방법이 적용될 수 있는 물품 이송 설비의 전체 구성을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 2는 도 1의 물품 이송 설비에서 주행 레일을 따라 이동하는 이송 차량 유닛을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 이송 차량 유닛의 동작 과정을 개략적으로 나타내는 단면도들이다.
도 5 및 도 6은 도 2의 이송 차량 유닛에 상기 코드 인쇄 방법을 실행하는 코드 인쇄 장치가 부착된 모습을 개략적으로 나타내는 단면도들이다.
도 7은 도 5 및 도 6의 코드 인쇄 장치의 인쇄 모듈을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 코드 인쇄 방법을 순서대로 나타내는 순서도이다.
도 9는 도 8의 코드 인쇄 방법의 코드 인쇄 단계의 제 2 인쇄 단계를 순서대로 나타내는 순서도이다.
도 10은 도 8의 코드 인쇄 방법에 의해 코드가 인쇄된 주행 레일을 개략적으로 나타내는 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코드 인쇄 방법이 적용될 수 있는 물품 이송 설비(1000)의 전체 구성을 개략적으로 나타내는 개념도이고, 도 2는 도 1의 물품 이송 설비(1000)에서 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)을 개략적으로 나타내는 단면도이며, 도 3 및 도 4는 도 2의 이송 차량 유닛(100)의 동작 과정을 개략적으로 나타내는 단면도들이다. 또한, 도 5 및 도 6은 도 2의 이송 차량 유닛(100)에 상기 코드 인쇄 방법을 실행하는 코드 인쇄 장치(300)가 부착된 모습을 개략적으로 나타내는 단면도들이고, 도 7은 도 5 및 도 6의 코드 인쇄 장치(300)의 인쇄 모듈(310)을 개략적으로 나타내는 사시도이다.

반도체 제조 공장은 적어도 하나 이상의 클린 룸(Clean room)으로 구성될 수 있고, 상기 클린 룸에는 반도체 제조 공정 수행을 위한 반도체 제조 설비들이 설치될 수 있다. 반도체는, 웨이퍼에 반도체 제조 공정을 반복하여 수행함으로써 완성될 수 있다.

이러한 과정에서 특정 반도체 제조 설비에서 공정 수행이 완료된 웨이퍼는 다음 공정을 위한 반도체 제조 설비로 이동될 수 있다. 이때, 웨이퍼의 이송은, 후술될 부분에서 물품이라 지칭되는 FOUP(Front opening unified pod)에 수납된 상태에서 OHT(Overhead hoist transport)에 의하여 이송될 수 있다.

이러한, 물품의 이송을 실시하는 물품 이송 설비(1000)의 전체적인 구성이 도 1에 개념적으로 도시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 물품 이송 설비(100)는, 크게, 주행 레일(10)과, 이송 차량 유닛(100) 및 버퍼 유닛(200)을 포함할 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 주행 레일(10)은, 물품(F)인 FOUP를 반도체 제조 설비(1)들 간에 이송하기 위한 이송 경로(11)를 제공할 수 있다. 주행 레일(10)은, 반도체 제조 공장의 천장 측에 배치될 수 있으며, 이송 경로(11)는, 직선 형상인 적어도 하나 이상의 직선 구간(12), 곡선 형상인 적어도 하나 이상의 곡선 구간(13) 및 경로의 분기나 합류를 위한 적어도 하나 이상의 접속 구간(14)의 조합들로 이루어질 수 있다. 여기서, 주행 레일(10)의 레이아웃(Layout)은 반드시 도 1에 국한되지 않고, 반도체 제조 현장의 여건 등에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다.

또한, 이송 차량 유닛(100)은, 주행 레일(10)을 따라 이동하면서, 물품(F)을 반도체 제조 설비(1)들 중 특정 설비에서 다른 설비로 곧바로 이송할 수도 있고, 버퍼 유닛(200)에 일시적으로 보관한 후 다른 설비로 이송할 수도 있다. 버퍼 유닛(200)은, 주행 레일(10)의 측방에 설치된 사이드 트랙 버퍼(Side track buffer, STB)로서, 주행 레일(10)의 측방에 설치되어, 이송 차량 유닛(100)이 이송하는 물품(F)을 임시로 보관할 수 있다. 이외에도, 버퍼 유닛(200)은, 도시되진 않았지만, 주행 레일(10)의 하방에 설치되어 물품(F)을 임시로 보관하는 언더 트랙 버퍼(Under track buffer, UTB)도 포함할 수 있다.

물품 이송 설비(1000)의 주행 레일(10) 및 이송 차량 유닛(100)에 대한 구성을 더욱 구체적으로 설명하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 주행 레일(10)은, 한 쌍이 좌우 방향으로 이격되어 제 1 레일(R1)과 제 2 레일(R2)이 서로 짝을 이룰 수 있으며, 주행 레일(10)을 천장에 장착시키는 레일 지지 부재(15)들을 포함함으로써, 반도체 제조 공장의 상부 영역에 배치될 수 있다. 주행 레일(10)은, 상측에 이송 경로(11)를 이루는 주행 면을 제공할 수 있다.

또한, 도시되진 않았지만, 주행 레일(10)의 하부에는 이송 경로(11)를 따라 급전 라인이 설치될 수 있다. 상기 급전 라인은, 주행 레일(10)과 같이 한 쌍으로 구성될 수 있으며, 이송 차량 유닛(100)에 구동 전력을 제공하는 전원 공급 장치와 전기적으로 연결될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 이송 차량 유닛(100)은, 주행 레일(10)을 따라 주행하는 비히클 모듈(110) 및 물품(F)에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 호이스트 모듈(120)을 포함할 수 있다.

예컨대, 비히클 모듈(110)은, 주행 휠(111)을 포함할 수 있으며, 비히클 모듈(110)에는 좌우 방향으로 연장된 차축(미도시)이 설치될 수 있다. 상기 차축은 복수로 제공되고 비히클 모듈(110)의 전후 방향으로 서로 이격되게 설치될 수 있다.

주행 휠(111)은, 비히클 모듈(110)이 주행 레일(10)의 안내에 따라 주행 가능하도록 비히클 모듈(110)에 이동성을 부여할 수 있다. 주행 휠(111)은, 상기 차축의 양단 부분에 각각 장착되고, 주행 레일(10)의 상측에 제공된 주행 면에 접촉되어 구름 운동을 할 수 있다.

또한, 도시되진 않았지만, 비히클 모듈(110)은, 상기 차축을 회전시켜 주행 휠(111)을 회전시키기 위한 동력을 제공하는 구동 장치가 내부 또는 외부에 설치될 수 있다. 또한, 도시되진 않았지만, 비히클 모듈(110)은, 한 쌍으로 구성되는 주행 레일(10)의 서로 대향하는 내측에 형성된 안내 면에 각각 접촉되는 안내 휠을 더 포함할 수도 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 호이스트 모듈(120)은, 호이스트 하우징(121)을 포함할 수 있다. 호이스트 하우징(121)은, 주행 레일(10)의 하측에서 비히클 모듈(110)과 서로 연결될 수 있다. 예컨대, 호이스트 하우징(121)은, 상부가 비히클 모듈(110)의 하부에 단수 또는 복수의 연결기에 의해 연결될 수 있다.

또한, 호이스트 하우징(121)은, 물품(F)이 수용되는 수용 공간을 제공할 수 있으며, 물품(F)을 상기 수용 공간에서 좌우 방향으로 이동시키거나 하측 방향으로 이동시킬 수 있도록 좌우 양옆 및 하측이 모두 개방된 구조를 가지도록 형성될 수 있다.

또한, 호이스트 모듈(120)은, 물품(F)을 그립하거나 언그립하기 위한 핸드부(122) 및 핸드부(122)를 제 1 위치와 제 2 위치 간에 이동시키는 핸드 이동 장치를 더 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 제 1 위치는, 핸드부(122)가 그립한 물품(F)이 호이스트 하우징(121)의 상기 수용 공간에 수용되는 위치이고, 상기 제 2 위치는, 상기 제 1 위치에서 벗어난 위치에 해당하는 호이스트 하우징(121)의 외부, 즉, 버퍼 유닛의 물품 보관의 내부나 반도체 제조 설비(1)의 로드 포트에 대응되는 위치일 수 있다.

이러한, 호이스트 모듈(120)은, 핸드부(122)를 이동시키는 상기 핸드 이동 장치로서, 상하 구동부(123)와, 회전 구동부(124) 및 수평 구동부(125)를 포함할 수 있다.

더욱 구체적으로, 핸드부(122)는, 물품(F)에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 핸드, 그리고 상기 핸드를 지지하는 핸드 서포트를 포함할 수 있다. 또한, 상하 구동부(123)는, 적어도 하나 이상의 벨트(Belt)를 드럼(Drum)에 대하여 와인딩(Winding)하거나 언와인딩(Unwinding)하는 방식으로 핸드부(122)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 회전 구동부(124)는, 핸드부(122)를 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키고, 수평 구동부(125)는, 핸드부(122)를 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.

예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 일례로, 핸드부(122)을 상하 구동부(123)에 의하여 상하 방향으로 이동시키고, 상하 구동부(123)을 회전 구동부(124)에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동부(124)를 수평 구동부(125)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 핸드부(122)에 의하여 그립된 물품(F)을 상하 방향으로 이동시키거나 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시켜, 호이스트 하우징(121)의 상기 수용 공간에 수용됐던 물품(F)을 버퍼 유닛의 물품 보관의 내부나 반도체 제조 설비(1)의 로드 포트에 대응되는 위치로 이동시킬 수 있다.

이와 같이, 주행 레일(10)을 따라 이동하면서 물품을 이송하는 이송 차량 유닛(100)이 포함된 물품 이송 설비(1000)는, 전반적인 작동이 OCS(OHT control system)에 의하여 제어될 수 있다. 상기 OCS는, 주행 경로의 형상 등에 대한 정보인 맵 정보(Map information), 주행 레일(10)과 이송 차량 유닛(100) 들에 적용된 일종의 태크(Tag)인 코드와 코드를 인식할 수 있는 센서부(S)를 이용하여 이송 차량 유닛(100) 들의 위치를 인식하고, 인식된 이송 차량 유닛(100) 들의 위치 정보를 기반으로 이송 차량 유닛(100)들의 이동을 제어할 수 있다.

이러한, 코드(도 10의 C)는, 이송 차량 유닛(100)의 주행 관련 정보(이송 차량 유닛의 경로 정보, 주행 속도와 관련된 정보를 포함) 및 코드(C)의 위치 관련 정보를 포함하는 주행 맵 데이터에 따라 주행 레일(10) 상에 배치될 수 있다. 더욱 구체적으로, 코드(C)는, 주행 레일(10)의 하면에 배치되어, 이송 차량 유닛(100)의 이동 시 특정 위치를 알려주는 역할을 수행할 수 있다.

코드(C)의 종류에는 주행 태그, 정지 태그, 이적재 태그 등이 있으며, 표시 형태는 바코드, 큐알코드, 데이터 매트릭스, 맥시코드, 숫자, 기호 등으로 표시될 수 있다. 이에 따라, 이송 차량 유닛(100)은, 주행 레일(10)을 따라 이동하면서 센서부(도 6의 S)에 의해 코드(C)를 감지하고, 코드(C)의 종류에 따라 이송 차량 유닛(100)은, 주행 동작, 정지 동작 및 이적재 동작 중 어느 하나를 수행할 수 있다.

여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 코드 인쇄 방법을 실행하는 코드 인쇄 장치(300)는, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)의 동작을 안내하는 코드(C)를 주행 레일(10)에 인쇄하기 위한 것으로서, 이송 차량 유닛(100)에 착탈 가능하게 부착될 수 있다.

예컨대, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 코드 인쇄 장치(300)는, 크게, 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)에 부착되고, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)의 동작을 안내하는 코드(C)를 주행 레일(10)에 인쇄하는 인쇄 모듈(310) 및 이송 차량 유닛(100)에 부착되고, 주행 레일(10)에 코드(C)가 인쇄되도록 인쇄 모듈(310)을 제어하는 제어 모듈(320)을 포함할 수 있다.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 인쇄 모듈(310)은, 주행 레일(10)과 대응되는 위치에 위치하여 코드(C)를 인쇄할 수 있도록, 이송 차량 유닛(100)의 호이스트 모듈(120)의 전면 또는 후면에 탈부착 가능하게 부착될 수 있다.

더욱 구체적으로, 인쇄 모듈(310)은, 이송 차량 유닛(100)에 설치된 센서부(S)가 코드(C)를 인식할 수 있도록, 센서부(S)와 대향되는 주행 레일(10)의 하면에 코드(C)를 인쇄하는 프린터부(311) 및 프린터부(311)가 주행 레일(10)과 대응되는 정위치에 위치할 수 있도록, 호이스트 모듈(120)의 전면 또는 후면에 설치되어 호이스트 모듈(120)에 대한 프린터부(311)의 부착 위치를 가이드하고, 프린터부(311)를 탈부착 가능하게 고정하는 탈부착 지그(312)를 포함할 수 있다.

예컨대, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 프린터부(311)는, 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 주행 레일(10) 중 어느 한 레일인 제 1 레일(R1)과 대응되는 위치에 탈부착 지그(312)에 의해 위치하여, 제 1 레일(R1)의 하면에 제 1 코드(도 10의 C1)를 인쇄하는 제 1 프린터(311a) 및 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 주행 레일(10) 중 다른 한 레일인 제 2 레일(R2)과 대응되는 위치에 탈부착 지그(312)에 의해 위치하여, 제 2 레일(R2)의 하면에 제 1 코드(C1)와 다른 종류의 제 2 코드(도 10의 C2)를 인쇄하는 제 2 프린터(311b)를 포함할 수 있다.

또한, 탈부착 지그(312)는, 호이스트 모듈(120)의 전면 또는 후면에 설치되는 베이스 플레이트(312a)와, 베이스 플레이트(312a)의 제 1 레일(R1)과 대응되는 위치에서, 베이스 플레이트(312a)로부터 제 1 레일(R1)의 연장 방향을 향하도록 돌출되게 형성되어, 제 1 프린터(311a)를 탈부착 가능하게 고정하는 제 1 브라켓(312b) 및 베이스 플레이트(312a)의 제 2 레일(R2)과 대응되는 위치에서 제 1 브라켓(312b)과 좌우 방향으로 대향되게 형성될 수 있도록, 베이스 플레이트(312a)로부터 제 2 레일(R2)의 연장 방향을 향하도록 돌출되게 형성되어, 제 2 프린터(311b)를 탈부착 가능하게 고정하는 제 2 브라켓(312c)을 포함할 수 있다.

이때, 탈부착 지그(312)의 제 1 브라켓(312b) 및 제 2 브라켓(312c)는, 베이스 플레이트(312a)와 일체형으로 형성되거나, 도 7에 도시된 바와 같이, “ㄱ”자 형태로 꺽인 브라켓으로 별도 제작되어, 볼트 체결이나 용접에 의해 베이스 플레이트(312a)에 결합된 형태로 형성될 수 있다.

이러한, 탈부착 지그(312)는, 호이스트 모듈(120)의 전면 또는 후면에 설치되어, 제 1 프린터(311a) 및 제 2 프린터(311b)를 탈부착 가능한 다양한 형태로 고정시킬 수 있다.

예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이, 제 1 브라켓(312b)은, 제 1 프린터(311a)를 스크류(Screw)와 같은 제 1 고정구에 의해 고정할 수 있도록, 상기 제 1 고정구가 관통하는 적어도 하나의 제 1 관통홀부(미도시)가 형성되고, 제 2 브라켓(312c)은, 제 2 프린터(311b)를 상기 스크류와 같은 제 2 고정구에 의해 고정할 수 있도록, 상기 제 2 고정구가 관통하는 적어도 하나의 제 2 관통홀부(H)가 형성될 수 있다.

이에 따라, 탈부착 지그(312)는, 스크류 체결에 의해 제 1 프린터(311a) 및 제 2 프린터(311b)를 착탈 가능하게 고정시킬 수 있다.

이외에도, 도시되진 않았지만, 제 1 브라켓(312b)은, 제 1 프린터(311a)를 제 1 프린터(311a)에 “ㄱ”자 형태로 돌출되게 형성된 적어도 하나의 제 1 고정 후크에 의해 고정할 수 있도록, 상기 제 1 고정 후크가 삽입되어 체결되는 적어도 하나의 제 1 고정홀부가 형성되고, 제 2 브라켓(312c)은, 제 2 프린터(311b)를 제 2 프린터(311b)에 “ㄱ”자 형태로 돌출되게 형성된 적어도 하나의 제 2 고정 후크에 의해 고정할 수 있도록, 상기 제 2 고정 후크가 삽입되어 체결되는 적어도 하나의 제 2 고정홀부가 형성될 수도 있다.

이에 따라, 탈부착 지그(312)는, 상기 제 1 고정홀부 및 상기 제 2 고정홀부에, 제 1 프린터(311a)의 상기 제 1 고정 후크 및 제 2 프린터(311b)의 상기 제 2 고정 후크를 거는 것 만으로도 제 1 프린터(311a) 및 제 2 프린터(311b)를 착탈 가능하게 고정시킬 수 있다.

이외에도, 도시되진 않았지만, 제 1 브라켓(312b)은, 제 1 프린터(311a)를 자력에 의해 고정할 수 있도록, 적어도 하나의 제 1 자성체가 형성되고, 제 2 브라켓(312c)은, 제 2 프린터(311b)를 자력에 의해 고정할 수 있도록, 적어도 하나의 제 2 자성체가 형성될 수도 있다.

예컨대, 도 7에서 제 1 브라켓(312b)의 제 1 관통홀부(미도시) 및 제 2 브라켓(312c)의 제 2 관통홀부(H)와 대응되는 위치에, 각각 상기 제 1 자성체 및 상기 제 2 자성체가 삽입됨으로써, 제 1 프린터(311a) 및 제 2 프린터(311b)를 제 1 브라켓(312b) 및 제 2 브라켓(312c)에 갖다 대는 것 만으로도 제 1 프린터(311a) 및 제 2 프린터(311b)를 착탈 가능하게 고정시킬 수 있다. 이때, 제 1 프린터(311a) 및 제 2 프린터(311b)에는, 각각 상기 제 1 자성체 및 상기 제 2 자성체와 반대되는 극성의 자성체가 형성되는 것이 바람직할 수 있다.

또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 제어 모듈(320)은, 인쇄 모듈(310)과 전기적으로 연결되어 인쇄 모듈(310)의 코드(C)의 인쇄를 제어할 수 있도록, 호이스트 모듈(120)의 물품(F)이 수용되는 수용 공간(A)에 탈부착 가능하게 부착될 수 있다.

더욱 구체적으로, 제어 모듈(320)은, 물품(F)을 그립 또는 언그립할 수 있는 핸드부(122)에 의해 호이스트 모듈(120)의 수용 공간(A)에 탈부착 가능하게 부착되는 하우징부(321)와, 하우징부(321) 내부에 설치되어, 외부의 서버와 무선 통신으로 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 코드(C)의 위치 및 종류에 대한 정보를 수신하는 통신부(322) 및 하우징부(321) 내부에 설치되어 인쇄 모듈(310)과 전기적으로 연결되고, 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 코드(C)의 위치 및 종류에 대한 정보를 기초로 인쇄 모듈(310)을 제어하는 제어부(323)를 포함할 수 있다.

또한, 제어 모듈(320)의 제어부(323)는, 통신부(322)를 통해 이송 차량 유닛(100)을 구동시키는 상기 구동 장치에 설치된 엔코더부와 연결되어 이송 차량 유닛(100)의 현재 위치 및 주행 거리에 대한 정보를 실시간으로 획득하고,

이에 따라, 제어부(323)는, 통신부(322)를 통해 수신된 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 코드(C)의 위치 및 종류에 대한 정보 및 상기 엔코더를 통해 수신된 이송 차량 유닛(100)의 상기 현재 위치 및 상기 주행 거리에 대한 정보를 이용하여, 주행 레일(10)에 코드(C)가 인쇄되도록 인쇄 모듈(310)을 제어할 수 있다.

또한, 제어 모듈(320)은, 하우징부(321) 내부에 설치되어 인쇄 모듈(310)과 전기적으로 연결되고, 인쇄 모듈(310)에 전력을 공급하는 배터리부(324)를 포함하여, 인쇄 모듈(310)을 구동시킬 수 있다. 이때, 배터리부(324)는, 인쇄 모듈(310) 이외에도, 통신부(322) 및 제어부(323)와 후술될 오토 티칭부(325)에도 각각 전력을 공급할 수 있다.

또한, 제어 모듈(320)은, 하우징부(321) 내부에 설치되어, 하우징부(321)의 측벽에 형성된 관통창(321a)을 통해서 주행 레일(10)의 측면에 위치한 반도체 제조 설비(1)의 로드 포트를 인식하는 오토 티칭부(325)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 제어 모듈(320)의 제어부(323)는, 오토 티칭부(325)가 인식한 반도체 제조 설비(1)의 상기 로드 포트에 대한 위치 정보를 기초로, 주행 레일(10)에 코드(C)가 인쇄되도록 인쇄 모듈(310)을 제어할 수 있다.

이와 같은, 제어 모듈(320)의 제어에 따라 인쇄 모듈(310)은, 이송 차량 유닛(100)과 함께 주행 레일(10)을 따라 이동하면서, 외부의 서버로부터 수신된 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 코드(C)의 위치 및 종류에 대한 정보를 기초로, 주행 레일(10)의 하면에 코드(C)를 인쇄할 수 있다.

이와 같이, 인쇄 모듈(310)에 의해 주행 레일(10)의 하면에 인쇄되는 코드(C)는, 그 종류에 따라 각각 제 1 프린터(311a) 및 제 2 프린터(311b)에 의해 주행 레일(10)의 제 1 레일(R1)의 하면과 제 2 레일(R2)의 하면에 구분되어 인쇄될 수 있다.

예컨대, 제 1 프린터(311a)에 의해 제 1 레일(R1)에 인쇄되는 제 1 코드(도 10의 C1)는, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)이 주행 위치 정보를 인식할 수 있도록, 주행 위치 정보를 포함하는 주행 태그이고, 제 2 프린터(311b)에 의해 제 2 레일(R2)에 인쇄되는 상기 제 2 코드(도 10의 C2)는, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)이 주행 레일(10)의 측면에 위치한 반도체 제조 설비(1)의 상기 로드 포트의 위치를 인식할 수 있도록, 상기 로드 포트의 위치 정보를 포함하는 정지 태그일 수 있다.

이하에서는 상술한 코드 인쇄 장치(300)에 의해 실행되는 코드 인쇄 방법에 대해서 상세하게 설명하도록 한다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 코드 인쇄 방법을 순서대로 나타내는 순서도이고, 도 9는 도 8의 코드 인쇄 방법의 코드 인쇄 단계(S300)의 제 2 인쇄 단계(S320)를 순서대로 나타내는 순서도이며, 도 10은 도 8의 코드 인쇄 방법에 의해 코드(C)가 인쇄된 주행 레일(10)을 개략적으로 나타내는 단면도이다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코드 인쇄 방법은, 크게, 인쇄 장치 부착 단계(S100)와, 인쇄 정보 수신 단계(S200)와, 코드 인쇄 단계(S300) 및 인쇄 장치 탈착 단계(S400) 순으로 진행될 수 있다.

예컨대, 먼저 인쇄 장치 부착 단계(S100)에서, 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)에, 코드(C)를 인쇄하는 인쇄 모듈(310) 및 인쇄 모듈(310)을 제어하는 제어 모듈(320)을 각각 부착할 수 있다.

이어서, 인쇄 정보 수신 단계(S200)에서, 제어 모듈(320)이 외부의 서버로부터 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 코드(C)의 위치 및 종류에 대한 정보를 수신한 후, 코드 인쇄 단계(S300)에서, 제어 모듈(320)에 수신된 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 코드(C)의 위치 및 종류에 대한 정보를 기초로, 이송 차량 유닛(100)에 부착되어 주행 레일(10)을 따라 이동하는 인쇄 모듈(310)을 제어하여, 주행 레일(10)에 코드(C)를 인쇄할 수 있다.

더욱 구체적으로, 코드 인쇄 단계(S300)는, 이송 차량 유닛(100)에 부착된 인쇄 모듈(310)로, 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 주행 레일(10) 중 어느 한 레일인 제 1 레일(R1)의 하면에 제 1 코드(C1)를 인쇄하는 제 1 인쇄 단계(S310) 및 이송 차량 유닛(100)에 부착된 인쇄 모듈(310)로, 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 주행 레일(10) 중 다른 한 레일인 제 2 레일(R2)의 하면에 제 1 코드(C1)와 다른 종류의 제 2 코드(C2)를 인쇄하는 제 2 인쇄 단계(S320)를 포함할 수 있다.

이러한, 코드 인쇄 단계(S300)는, 예컨대, 반도체 제조 설비에서 주행 레일(10)의 초기 설치 후, 먼저, 제 1 인쇄 단계(S310)에서, 인쇄 모듈(310)이 부착된 이송 차량 유닛(100)이 주행 레일(10)의 소정의 초기 위치로부터 출발하여, 제 1 레일(R1)에 복수의 상기 제 1 코드(C1)를 인쇄할 수 있다.

이때, 제 1 인쇄 단계(S310)에서, 제 1 레일(R1)에 인쇄되는 제 1 코드(C1)는, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)이 주행 위치 정보를 인식할 수 있도록, 주행 위치 정보를 포함하는 주행 태그로서, 제 1 레일(R1)에 복수의 제 1 코드(C1)를 일정하게 소정의 간격으로 인쇄할 수 있다.

이어서, 코드 인쇄 단계(S300)는, 제 1 인쇄 단계(S310)의 완료 후, 제 2 인쇄 단계(S320)를 실행할 수 있다.

예컨대, 도 9에 도시된 바와 같이, 제 2 인쇄 단계(S320)는, (a) 인쇄 모듈(310)이 부착된 이송 차량 유닛(100)을 상기 초기 위치로 이동시키는 단계와, (b) 이송 차량 유닛(100)이 상기 초기 위치로부터 출발하여 반도체 제조 설비(1)에 인접한 제 1 코드(C1)를 인식하는 단계와, (c) 제 1 코드(C1)의 인식 후, 이송 차량 유닛(100)에 부착된 제어 모듈(320)에 포함된 오토 티칭부(325)로 반도체 제조 설비(1)의 상기 로드 포트가 인식될 때까지 이송 차량 유닛(100)을 계속해서 이동시키는 단계 및 (e) 상기 로드 포트의 인식 후, 제 2 레일(R2)에 제 2 코드(C2)를 인쇄하는 단계를 포함할 수 있다.

이때, 제 2 인쇄 단계(S320)에서, 제 2 레일(R2)에 인쇄되는 제 2 코드(C2)는, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)이 주행 레일(10)의 측면에 위치한 반도체 제조 설비(1)의 상기 로드 포트의 위치를 인식할 수 있도록, 상기 로드 포트의 위치 정보를 포함하는 정지 태그로서, 제 2 코드(C2)의 인쇄 위치를 더욱 정확하게 할 수 있도록, (d) 상기 (e) 단계 전에, 상기 로드 포트에 대한 정위치를 검증하는 단계를 실행할 수 있다.

더욱 구체적으로, 상기 (d) 단계에서, 인쇄 정보 수신 단계(S200)를 통해 수신된 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 제 2 코드(C2)의 위치 및 종류에 대한 정보와, 상기 (c) 단계를 진행하는 동안 이송 차량 유닛(100)을 구동시키는 상기 구동 장치에 설치된 엔코더부로부터 수신된 이동 위치 모터 파라미터 값을 비교하여, 상기 로드 포트에 대한 정위치를 검증한 후, 상기 (e) 단계를 통해 제 2 코드(C2)를 인쇄할 수 있다. 여기서, 인쇄 정보 수신 단계(S200)를 통해 수신된 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 제 2 코드(C2)의 위치는, 제 2 코드(C2)와 매칭되는 반도체 제조 설비의 로드 포트와 인접한 제 1 코드(C1)로부터의 이동 거리 값이고, 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 제 2 코드(C2)의 종류는, 제 2 코드(C2)와 매칭되는 반도체 제조 설비를 구분하는 종류일 수 있다.

예컨대, 상기 (d) 단계에서, 주행 레일(10)에 인쇄 예정인 제 2 코드(C2)의 위치 및 종류에 대한 정보와, 해당 종류에 따른 특정 반도체 제조 설비의 로드 포트와 인접한 제 1 코드(C1)로부터 이동하면서 상기 엔코더부로부터 수신된 이동 위치 모터 파라미터 값을 비교하여, 그 오차가 사전에 설정한 소정의 오차 범위 내에 해당될 경우, 상기 특정 반도체 제조 설비의 로드 포트의 정위치인 것으로 판단하고, 상기 (e) 단계를 통해 제 2 코드(C2)를 인쇄할 수 있다.

이때, 제 2 코드(C2)를 인쇄하는 제 2 프린터부(311b)와 제 2 코드(C2)를 인식할 센서부(S)와의 이격 거리를 감안하여, 상기 (e) 단계에서, 이송 차량 유닛(100)에 설치되어 코드(C)를 인식하는 센서부(S)와 이송 차량 유닛(100)에 부착된 인쇄 모듈(310)의 상기 이격 거리 만큼 이송 차량 유닛(100)이 추가 이동 후, 제 2 코드(C2)를 인쇄하는 것이 바람직할 수 있다. 이에 따라, 이송 차량 유닛(100)에 설치된 센서부(S)가 상기 로드 포트에 대한 정확한 정위치에서 제 2 코드(C2)를 인식할 수 있다.

여기서, 상기 이격 거리에 따른 추가 이동은, 인쇄 모듈(310)의 부착 위치에 따라 전진 이동 또는 후진 이동으로 이루어질 수 있다. 예컨대, 인쇄 모듈(310)이 센서부(S)의 후방에 위치할 경우에는 추가 전진 이동을 하고, 인쇄 모듈(310)이 센서부(S)의 전방에 위치할 경우에는 추가 후진 이동을 할 수 있다. 이러한 추가 이동에 관한 구동은, 제 1 코드(C1)를 인쇄하는 상술한 제 1 인쇄 단계(S310)에서도 동일하게 적용될 수 있다.

이와 같은, 제 2 인쇄 단계(S320)를 통해, 주행 레일(10)의 측면에 위치한 복수의 반도체 제조 설비(1)의 각 로드 포트와 대응되는 정위치마다, 제 2 레일(R2)에 복수의 제 2 코드(C2)가 1대1로 매칭되도록 인쇄될 수 있다.

제 1 인쇄 단계(S310) 및 제 2 인쇄 단계(S320)를 포함하는 상술한 코드 인쇄 단계(S300)를 통해 코드(C)의 인쇄가 완료되면, 도 10에 도시된 바와 같이, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)이 주행 위치 정보를 인식할 수 있도록, 상기 주행 위치 정보를 포함하는 주행 태그인 복수의 제 1 코드(C1)가 제 1 레일(R1)에 소정의 간격으로 인쇄될 수 있다. 또한, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량 유닛(100)이 주행 레일(10)의 측면에 위치한 반도체 제조 설비(1)의 로드 포트의 위치를 인식할 수 있도록, 상기 로드 포트의 위치 정보를 포함하는 정지 태그인 복수의 제 2 코드(C2)가 제 2 레일(R2)에 복수의 반도체 제조 설비(1)의 각 로드 포트와 대응되는 정위치마다 인쇄될 수 있다.

이와 같이, 주행 레일(10)에 코드(C)의 인쇄가 완료된 후, 최종적으로, 인쇄 장치 탈착 단계(S400)를 통해, 이송 차량 유닛(100)으로부터 인쇄 모듈(310) 및 제어 모듈(320)을 탈착하여 제거할 수 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 코드 인쇄 방법 및 코드 인쇄 장치(300)에 따르면, 이송 차량 유닛(100)의 주행 위치 정보를 포함하는 주행 태그 및 반도체 제조 설비의 로드 포트의 위치 정보를 포함하는 정지 태그로 구분되는 제 1 코드(C1) 및 제 2 코드(C2)를 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 주행 레일(10)의 제 1 레일(R1)과 제 2 레일(R2)에 각각 자동으로 인쇄함으로써, 주행 레일(10)의 코드 형성 작업을 자동화할 수 있다.

이에 따라, 코드(C)의 수량이 많은 대형화 라인의 경우에도 코드(C)의 인쇄 작업을 자동화하여 신속하게 수행할 수 있으며, 코드 인쇄 작업의 자동화로 별도의 작업 인력이 불필요하여 작업 인력을 절감할 수 있다.

또한, 본 발명의 코드 인쇄 방법을 수행하는 코드 인쇄 장치(300)의 인쇄 모듈(310) 및 제어 모듈(320)이 이송 차량 유닛(100)에 탈부착 가능한 구조를 가짐으로써, 이송 차량 유닛(100)에 간단히 부착 및 탈착하는 방식으로서 하나의 코드 인쇄 장치(300)로 다양한 공정 셋업에 활용할 수 있는 장점이 있다.

또한, 코드(C)를 정확한 위치에 인쇄함으로써, 이송 차량 유닛(100)의 오작동을 방지하고 정밀한 동작을 유도하여, 반도체 제조 공정에서의 공정 불량이나 각종 안전 사고의 발생을 예방할 수 있는 효과를 가질 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1: 반도체 제조 설비
10: 주행 레일
11: 이송 경로
12: 직선 구간
13: 곡선 구간
14: 접속 구간
15: 레일 지지 부재
100: 이송 차량 유닛
110: 비히클 모듈
111: 주행 휠
120: 호이스트 모듈
121: 호이스트 하우징
122: 핸드부
123: 상하 구동부
124: 회전 구동부
125: 수평 구동부
200: 버퍼 유닛
300: 코드 인쇄 장치
310: 인쇄 모듈
311: 프린터부
311a: 제 1 프린터
311b: 제 2 프린터
312: 탈부착 지그
312a: 베이스 플레이트
312b: 제 1 브라켓
312c: 제 2 브라켓
320: 제어 모듈
321: 하우징부
321a: 관통창
322: 통신부
323: 제어부
324: 배터리부
325: 오토 티칭부
1000: 물품 이송 설비
A: 수용 공간
F: 물품
S: 센서부
H: 제 2 관통홀부
C: 코드
C1: 제 1 코드
C2: 제 2 코드
R1: 제 1 레일
R2: 제 2 레일

Claims

반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일을 따라 이동하는 이송 차량 유닛에, 코드를 인쇄하는 인쇄 모듈 및 상기 인쇄 모듈을 제어하는 제어 모듈을 부착하는 인쇄 장치 부착 단계;
상기 제어 모듈이 외부의 서버로부터 상기 주행 레일에 인쇄 예정인 상기 코드의 위치 및 종류에 대한 정보를 수신하는 인쇄 정보 수신 단계; 및
상기 제어 모듈에 수신된 상기 코드의 위치 및 종류에 대한 정보를 기초로 상기 인쇄 모듈을 제어하여, 상기 주행 레일에 상기 코드를 인쇄하는 코드 인쇄 단계;
를 포함하는, 코드 인쇄 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 코드 인쇄 단계는,
상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 인쇄 모듈로, 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 상기 주행 레일 중 어느 한 레일인 제 1 레일의 하면에 제 1 코드를 인쇄하는 제 1 인쇄 단계; 및
상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 인쇄 모듈로, 좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 상기 주행 레일 중 다른 한 레일인 제 2 레일의 하면에 상기 제 1 코드와 다른 종류의 제 2 코드를 인쇄하는 제 2 인쇄 단계;
를 포함하는, 코드 인쇄 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 인쇄 단계에서 상기 제 1 레일에 인쇄되는 상기 제 1 코드는,
상기 주행 레일을 따라 이동하는 상기 이송 차량 유닛이 주행 위치 정보를 인식할 수 있도록, 상기 주행 위치 정보를 포함하는 주행 태그이고,
상기 제 2 인쇄 단계에서 상기 제 2 레일에 인쇄되는 상기 제 2 코드는,
상기 주행 레일을 따라 이동하는 상기 이송 차량 유닛이 상기 주행 레일의 측면에 위치한 반도체 제조 설비의 로드 포트의 위치를 인식할 수 있도록, 상기 로드 포트의 위치 정보를 포함하는 정지 태그인, 코드 인쇄 방법.
제 3 항에 있어서,
상기 코드 인쇄 단계는,
상기 주행 레일의 초기 설치 후,
상기 제 1 인쇄 단계에서, 상기 인쇄 모듈이 부착된 상기 이송 차량 유닛이 상기 주행 레일의 소정의 초기 위치로부터 출발하여, 상기 제 1 레일에 복수의 상기 제 1 코드를 인쇄하는, 코드 인쇄 방법.
제 4 항에 있어서,
상기 제 1 인쇄 단계는,
상기 제 1 레일에 복수의 상기 제 1 코드를 일정하게 소정의 간격으로 인쇄하는, 코드 인쇄 방법.
제 5 항에 있어서,
상기 코드 인쇄 단계는,
상기 제 1 인쇄 단계의 완료 후,
상기 제 2 인쇄 단계를 실행하고,
상기 제 2 인쇄 단계는,
(a) 상기 인쇄 모듈이 부착된 상기 이송 차량 유닛을 상기 초기 위치로 이동시키는 단계;
(b) 상기 이송 차량 유닛이 상기 초기 위치로부터 출발하여 상기 반도체 제조 설비에 인접한 상기 제 1 코드를 인식하는 단계;
(c) 상기 제 1 코드의 인식 후, 상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 제어 모듈에 포함된 오토 티칭부로 상기 반도체 제조 설비의 상기 로드 포트가 인식될 때까지 상기 이송 차량 유닛을 계속해서 이동시키는 단계; 및
(e) 상기 로드 포트의 인식 후, 상기 제 2 레일에 상기 제 2 코드를 인쇄하는 단계;
를 포함하는, 코드 인쇄 방법.
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 인쇄 단계는,
(d) 상기 (e) 단계 전에, 상기 로드 포트에 대한 정위치를 검증하는 단계;
를 포함하는, 코드 인쇄 방법.
제 7 항에 있어서,
상기 제 2 인쇄 단계는,
상기 (d) 단계에서,
상기 인쇄 정보 수신 단계에서 수신된 상기 주행 레일에 인쇄 예정인 상기 코드의 위치 및 종류에 대한 정보와, 상기 (c) 단계에서 상기 이송 차량 유닛을 구동시키는 구동 장치에 설치된 엔코더부로부터 수신된 이동 위치 모터 파라미터 값을 비교하여, 상기 로드 포트에 대한 정위치를 검증한 후, 상기 (e) 단계를 통해 상기 제 2 코드를 인쇄하는, 코드 인쇄 방법.
제 6 항에 있어서,
상기 (e) 단계에서,
상기 이송 차량 유닛에 설치되어 상기 코드를 인식하는 센서부와 상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 인쇄 모듈의 이격 거리 만큼 상기 이송 차량 유닛이 추가 이동 후, 상기 제 2 코드를 인쇄하는, 코드 인쇄 방법.
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 인쇄 단계는,
상기 주행 레일의 측면에 위치한 복수의 상기 반도체 제조 설비의 각 로드 포트와 대응되는 정위치마다, 상기 제 2 레일에 복수의 상기 제 2 코드를 1대1로 매칭되도록 인쇄하는, 코드 인쇄 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 이송 차량 유닛으로부터 상기 인쇄 모듈 및 상기 제어 모듈을 탈착하는 인쇄 장치 탈착 단계;
를 더 포함하는, 코드 인쇄 방법.
반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일을 따라 이동하는 이송 차량 유닛에 부착되고, 상기 주행 레일을 따라 이동하는 상기 이송 차량 유닛의 동작을 안내하는 코드를 상기 주행 레일에 인쇄하는 인쇄 모듈; 및
상기 이송 차량 유닛에 부착되고, 상기 주행 레일에 상기 코드가 인쇄되도록 상기 인쇄 모듈을 제어하는 제어 모듈;을 포함하고,
상기 이송 차량 유닛에 부착된 상기 인쇄 모듈은,
좌우 방향으로 이격되게 한 쌍으로 형성되는 상기 주행 레일 중 어느 한 레일인 제 1 레일의 하면에 제 1 코드를 인쇄하고, 상기 주행 레일 중 다른 한 레일인 제 2 레일의 하면에 상기 제 1 코드와 다른 종류의 제 2 코드를 인쇄하는, 코드 인쇄 장치.