KR20230125838A

KR20230125838A - 반제품관, 반제품관 제조 방법, 관 및 관 제조 방법

Info

Publication number: KR20230125838A
Application number: KR1020237026553A
Authority: KR
Inventors: 다카오미 다나카; 쇼헤이 마츠오
Original assignee: 가부시키가이샤 난신
Priority date: 2021-02-09
Filing date: 2022-01-31
Publication date: 2023-08-29
Also published as: EP4292734A1; US20240017328A1; CN116829284A; JPWO2022172800A1; WO2022172800A1; TW202327759A; TW202231386A; TWI799121B

Abstract

본 발명의 반제품관(1)은, 선반에 의한 피절삭으로 최종 제품관(2)으로 되기 전의 반제품관(1)이며, 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관 구성용의 제1 층(11)과, 제1 층(11)의 외측에 형성되며, 선반에 의한 피절삭 후에는 잔존하지 않는 더미용의 제2 층(12)을 구비한다. 본 발명의 반제품관(1)에 의하면, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 당해 선반을 사용하여, 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하는 데에 제공하는 반제품관을 제공하는 것이 가능해진다.

Description

반제품관, 반제품관 제조 방법, 관 및 관 제조 방법

본 발명은, 반제품관 제조 방법, 반제품관, 관 제조 방법 및 관에 관한 것이다. 여기서, 「반제품관」이란, 최종 제품으로서 관의 소위 중간적 제품이며, 판매할 수 있는 상태의 것을 말한다.

근년, 다양한 분야에서, 상당히 외경이 작은 가늘고 긴 관의 요구가 높아지고 있다. 예를 들어, 반도체 검사용 콘택트 프로브용의 관, 의료용·인쇄용의 노즐, 광통신용 커넥터용의 관, 광통신용 메탈 페룰용의 관 등에서 사용되는, 마이크로 튜브, 마이크로 파이프 등으로 불리는 금속제의 관이다.

이와 같은 관은, 관을 장착하는 장치로의 설치, 관 제조원 표시 등을 위해, 관의 표면으로의 오목부 또는 볼록부를 형성을 하고자 하는 경우가 있다.

예를 들어, 관(배럴)에, 콘택트 핀(플런저)이나 복원력용의 스프링을 넣어 반도체 검사용 콘택트 프로브로 하는 경우, 관의 외측에 볼록부가 형성되어 있으면, 피설치부에 마련된 오목부에 끼워 맞춤시킴으로써, 콘택트 프로브가 빠지기 어려워져, 미세화, 고밀도화한 반도체의 전극에 대해 한층 더 신뢰성이 높은 검사를 하는 것이 가능해진다.

일본 특허 공개 제2001-162404호 공보

특허문헌 1에는, 도 14에 도시한 바와 같이, 종래의 선반을 그대로 사용하여, 원통상 피가공물 표면의 절삭 가공하여, 정밀도가 높은 원통형 기체를 제조하는 기술이 개시되어 있다. 이 기술에서는, 원통상 피가공물(9120)을 보유 지지시키는 선반용 지그는, 원기둥상의 한 쌍의 누름 부재(9112 및 9114)를 갖고, 누름 부재(9112 및 9114)는 샤프트(9116)의 단부가 끼움 삽입될 수 있는 오목부(9122 및 9124)를 갖는다. 그리고, 당해 선반용 지그를 사용하여 원통상 피가공물 표면의 절삭 가공하는 경우, 샤프트(9116)를 원통상 피가공물(9120)에 삽입 관통시키고, 샤프트(9116)와 원통상 피가공물(9120)의 공극을 충전 부재(9118)로 충전함으로써 원통상 피가공물(9120)을 보유 지지하여, 그 표면을 절삭 가공한다. 특허문헌 1에 개시된 기술은, 원통형 기체가 전자 사진 감광체의 기체나 전자 사진용 현상 슬리브를 제조하는 경우와 같이, 원통상 피가공물(9120)의 직경이 클 때는 유용하다.

그러나, 예를 들어 외경이 0.6 내지 1.0㎜ 미만과 같이 매우 작은 관에서는, 관의 내경은 더 작다. 그 때문에, 그 안에, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같은 샤프트(9116)를 삽입 관통시키거나, 공극을 충전 부재(9118)로 충전하거나 하는 것은 거의 불가능하여, 특허문헌 1의 방법으로 관의 표면을 절삭 가공하는 것은 곤란하다.

또한, 외경이 매우 작은 관은, 통상 선반의 척킹 지그로 파지할 수 없고, 또는 파지해도 파지가 불안정해져, 표면을 절삭 가공하여 오목부 또는 볼록부를 형성한 관을 제공하는 것은 대단히 곤란하다.

이에, 본 발명은, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는, 외경이 작은 관을 제조하는 방법, 및 당해 관을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 최종 제품으로서의 관(최종 제품관)이 아니라, 그 전단계의 관, 소위 반제품으로서의 관(반제품관)의 제공을 받아, 그것을 선반 절삭하여, 표면에 원하는 형상의 오목부 또는 볼록부를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하고자 하는 유저도 있고, 이러한 반제품관의 시장 수요도 있다. 따라서, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하는 데에 제공하는(도움을 주는, 이용할 수 있는) 반제품관 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

[1] 본 발명의 반제품관(제1 반제품관)은, 선반에 의한 피절삭으로 최종 제품관으로 하기 위해 사용되는 반제품관(제1 반제품관)이며, 상기 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관 구성용의 제1 층과, 상기 제1 층의 외측에 형성되며, 상기 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층을 구비한 것을 특징으로 한다.

「최종 제품관」이란 「반제품관」과 대비되는 것이며, 최종 제품이 되는 관을 말한다. 관 자체가 거래 대상이 되는지, 관이 어는 제품의 일부가 되는지는 불문한다.

「더미용」이란 최종 제품관 구성용으로서 사용되지 않고, 척킹 지그에 의한 파지용으로 사용되는 것을 말한다.

또한, 제1 층을 주로 레어 메탈(희소 금속)을 사용하여 구성하고, 제2 층을 커먼 메탈(베이스 메탈)을 사용하여 구성해도 된다.

이와 같은 반제품관(제1 반제품관)에 의하면, 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관 구성용의 제1 층의 외측에, 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층이 형성되어 있기 때문에, 더미용의 제2 층을 파지함으로써, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하는 데에 제공하는 반제품관을 제공하는 것이 가능해진다.

또한, 이 명세서에서는 「척킹 지그」란 3클로 척, 클로 척(조)과 같은 클로로 파지하는 지그 외에, 개방 고정구, 폐쇄 고정구와 같이 접촉 또는 면접촉으로 파지하는 지그도 포함한다. 또한, 콜렛 척은 폐쇄 고정구의 1종이며, 본원에서는 콜렛 척을 척킹 지그로서 사용하는 것이 바람직하다.

[2] 상기에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제1 층의 외경은, 상기 최종 제품관의 외경 근방의 외경인 것이 바람직하다.

[3] 상기에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제1 층은 상기 선반의 척킹 지그에 의한 파지가 곤란한 작은 외경을 갖고, 상기 제2 층은 상기 선반의 척킹 지그에 의한 파지가 가능한 큰 외경을 갖는 것이 바람직하다.

[4] 상기에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제1 층은 외경이 0.05㎜ 이상 0.60㎜ 미만이고, 상기 제2 층은 외경이 0.40㎜ 이상 3.00㎜ 이하인 것이 바람직하다. 제1 층은 외경이 0.05㎜ 이상 0.50㎜ 미만이고, 제2 층은 외경이 0.50㎜ 이상 2.00㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 제1 층은 외경이 0.10㎜ 이상 0.40㎜ 미만이고, 제2 층은 외경이 0.40㎜ 이상 1.00㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 제1 층은 외경이 0.10㎜ 이상 0.30㎜ 미만이고, 제2 층은 외경이 0.40㎜ 이상 0.60㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

[5] 상기에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제2 층은, 적어도 상기 제1 층의 상기 제2 층과의 인접부보다 절삭성이 좋은 것이 바람직하다.

[6] 상기에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제1 층은, 상기 제2 층과의 인접부를 형성하는 제1 층 외층과, 상기 제1 층 외층의 내측에 형성된 제1 층 내층을 갖고, 상기 제1 층 외층은 비커스 경도가 350 내지 550HV의 범위 내에 있는 것이 바람직하다.

[7] 상기에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제1 층 내층은, 금, 금 코발트 합금, 팔라듐, 팔라듐 합금 또는 폴리테트라플루오로에틸렌과 니켈의 공석물 중 어느 것으로 이루어지고, 상기 제1 층 외층은, 니켈 코발트 합금, 니켈 망간 합금 또는 순니켈 중 어느 것으로 이루어지고, 상기 제2 층은, 구리, 순니켈 또는 니켈 망간 합금 중 어느 것으로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 폴리테트라플루오로에틸렌(Poly Tetra Fluoro Ethylene, PTFE)은, 불소 원자와 탄소 원자만으로 이루어지는 불소 수지이다.

또한, 순니켈로서는, 예를 들어 NC-Ni(Ni200)(통상의 순니켈), LC-Ni(Ni201)(특히 탄소 함유량을 낮게 한 것), D-Ni(소량의 알루미늄 및 티타늄을 첨가한 것), A-Ni(순도 99.7％ 이상의 고순도 니켈), K-Ni(순도 99.5％ 이상의 고순도 니켈) 등이 있다(히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 등에서 판매).

[8] 본 발명의 반제품관(제1 반제품관) 제조 방법은, 선재를 준비하는 공정과, 상기 선재의 외주 측에, 상기 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관 구성용의 제1 층을 형성하는 공정과, 상기 제1 층의 외주 측에, 상기 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 반제품관(제1 반제품관) 제조 방법에 의하면, 선재 상에 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관 구성용의 제1 층이 형성되고, 그 외측에 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층이 형성되기 때문에, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 더미용의 제2 층을 파지함으로써, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하는 데에 제공하는 반제품관 제조 방법을 제공하는 것이 가능해진다.

[9] 본 발명의 반제품관(제2 반제품관) 제조 방법은, 선반을 사용하여 반제품관(제1 반제품관)으로부터 최종 제품관에 더 가까운 제2 반제품관을 제조하는 반제품관 제조 방법이며, 상기 반제품관(제1 반제품관)을 준비하는 공정과, 상기 반제품관(제1 반제품관)을, 상기 제2 층 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 상기 제2 층의 외측으로부터의 절삭에 의해, 상기 제1 층에 오목부 또는 볼록부를 형성하는 절삭 공정과, 상기 파지한 개소와 상기 오목부 또는 볼록부를 형성한 개소가 연결된 상태에서 상기 제2 반제품관으로 하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 반제품관(제2 반제품관) 제조 방법에 의하면, 제1 반제품관을 제2 층 외측으로부터 파지하여, 제1 층에 오목부 또는 볼록부를 형성할 수 있다. 그리고, 파지한 개소와 오목부 또는 볼록부를 형성한 개소가 연결된 상태에서 반제품관(제2 반제품관)으로 하기 때문에, 당해 반제품관(제2 반제품관)을 절단하면 최종 제품관으로 할 수 있다. 이와 같이, 이 제조 방법에 의하면, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하는 것이 가능한 반제품관(제2 반제품관) 제조 방법을 제공할 수 있다.

[10] 본 발명의 반제품관(제2 반제품관)은, 소정 개소의 절단에 의해 최종 제품관으로 하기 위해 사용되는 반제품관(제2 반제품관)이며, 최종 제품관 구성용의 제1 층과, 상기 제1 층의 외측에 형성된 더미용의 제2 층이 적층된 더미층 적층 개소와, 오목부 또는 볼록부가 형성된 제1 층 요철 형성 개소를 구비한 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성되어 있으면, 더미층 적층 개소를 파지하여, 제1 층 요철 형성 개소를 잘라냄으로써 최종 제품관으로 할 수 있기 때문에, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하는 데에 제공하는 반제품관(제2 반제품관)을 제공하는 것이 가능해진다.

[11] 본 발명의 관(최종 제품관) 제조 방법은, 상기 반제품관(제2 반제품관)을 준비하는 공정과, 상기 반제품관(제2 반제품관)을, 상기 더미층 적층 개소에서 파지하는 파지 공정과, 상기 제1 층 요철 형성 개소를 상기 더미층 적층 개소 측으로부터 잘라내는 절단 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 관(최종 제품관) 제조 방법에 의하면, 더미층 적층 개소를 파지하여, 제1 층 요철 형성 개소를 잘라냄으로써 최종 제품관으로 할 수 있기 때문에, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하는 데에 제공하는 반제품관(제2 반제품관) 제조 방법을 제공하는 것이 가능해진다.

[12] 본 발명의 관(최종 제품관) 제조 방법은, 선반을 사용하여 반제품관(제1 반제품관)으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법이며, 상기 반제품관(제1 반제품관)을 준비하는 공정과, 상기 반제품관(제1 반제품관)을, 상기 제2 층 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 상기 제2 층의 외측으로부터의 절삭에 의해, 상기 제1 층에 오목부 또는 볼록부를 형성하는 절삭 공정과, 상기 반제품관(제1 반제품관)의 소정 개소를 절단하는 절단 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 관(최종 제품관) 제조 방법에 의하면, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 더미용의 제2 층을 파지함으로써, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는, 외경이 작은 관(최종 제품관)을 제조하는 데에 제공하는 반제품관을 제공하는 것이 가능해진다.

[13] 본 발명의 관(최종 제품관) 제조 방법은, 반제품관(제1 반제품관 또는 제2 반제품관)을 제조할 때, 제2 층을 그 일부가 잔존하도록 절삭하는 것이 바람직하다.

이와 같은 관(최종 제품관) 제조 방법으로 하면, 제2 층의 일부를 잔존시킴으로써, 오목부의 깊이 또는 볼록부의 높이 조정, 전자기 실드(강화) 등에 도움되게 하는 것이 가능해진다.

[14] 본 발명의 관(최종 제품관)은, 금속제의 외경이 0.05㎜ 이상 0.60 미만이며, 외주에 오목부 또는 볼록부를 가짐과 함께 절삭흔이 있는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 관(최종 제품관)으로 하면, 외경이 작기 때문에, 지금까지 제조가 곤란하였던 작은 직경의 콘택트 프로브(반도체 검사 등에 사용하는 것)를 제조하는 것이 가능해지는 등, 다용도로의 사용이 가능해진다. 또한, 작은 외경의 관에서는 일정한 강도가 요구되지만, 절삭흔이 있으면 절삭에 의해 외경을 작게 한 것을 알 수 있기 때문에, 강도면 등의 불안을 완화시킬 수 있다. 스퍼터링이나 도금으로 외층이 형성되어 있으면, 통상, 외층이 얇아 외층 강도가 작은 것에 반해, 절삭흔이 있는 것은 외층이 두꺼워 외층 강도가 크기 때문이다.

[15] 상기(예를 들어, [1] 내지 [5])에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제1 층과 상기 제2 층은, 상기 반제품관이 가열되면, 상기 제1 층과, 상기 제2 층의 상기 제1 층 근방이 합금화되는 금속으로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 합금화란, 제1 층의 금속과 제2 층의 금속이 (열확산에 의해) 혼합되는 것을 말한다. 합금화는, 제1 층의 금속과 제2 층의 금속에 의한 합금화를 의미한다. 합금은, 제1 층의 금속과 제2 층의 금속의 합금이다. 합금화되는 제1 층과 제2 층의 금속은, 순금속에 한정되지는 않는다. 불순물이 섞인 금속이어도 된다.

이와 같이 하면, 가열에 의해, 제1 층이 용이하게 합금화되어 단단하게 하는 것이 가능해진다. 또한, 합금화에 의해, 제2 층의 제1 층 근방도 단단하게 할 수 있다. 한편, 제2 층의 외측은 합금화되지 않거나, 또는 합금화의 정도(합금화율)가 낮기(작기) 때문에, 절삭이 용이하다.

[16] 상기(예를 들어, [15])에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제1 층은 팔라듐 또는 은으로 이루어지고, 상기 제1 층은 구리 또는 철로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 「팔라듐」, 「은」, 「구리」, 「철」은, 층을 구성하는 주성분을 의미한다. 단일의 원소만으로 구성된 금속 외에, 불순물을 포함한 금속인 것도 포함한다.

이와 같이 하면, 합금화하기 쉽다.

[17] 상기(예를 들어, [15] 또는 [16])에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 또한, 상기 제1 층의 내측에 형성된 금속의 제3 층과, 상기 제1 층과 상기 제3 층 사이에 형성되는 중간층을 구비하고, 상기 중간층에 의해, 상기 제3 층의 금속이, 가열로써, 상기 제1 층 및 상기 제2 층의 금속과 합금화되는 것을 방해할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 제1 층의 금속과 제2 층의 금속이 합금화될 때, 제3 층의 금속도 그것들과 함께 합금화되는 것을 방지하는 것이 가능해진다.

또한, 제3 층은, 제1 층(더욱 바람직하게는 제1 층 및 제3 층, 더욱 바람직하게는 제1 층, 제2 층 및 제3 층)에 비해 열전도율이 작은 금속과 같은 구성재로 구성되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 중간층을 레어 메탈을 사용하여 구성해도 된다. 또한, 제3 층을 레어 메탈을 사용하여 구성해도 된다. 제3 층을 합금으로 구성해도 된다.

[18] 상기(예를 들어, [16])에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 중간층은 니켈로 이루어지는 것이 바람직하다.

중간층이 니켈로 구성되어 있으면, 니켈은 금속 중에서 열전도율이 작은 금속이기 때문에, 니켈보다 열전도율이 큰 다양한 금속을 제3 층의 금속으로서 사용해도, 가열에 의해, 제3 층의 금속이 제1 층(또는 제1 층 및 제2 층)의 금속과 합금화되는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 또한, 니켈은 입수하기 쉽다. 전해 도금 등으로 중간층을 형성하는 것도 용이하다.

[19] 상기(예를 들어, [1] 내지 [4] 중 어느 것)에 기재된 반제품관(제1 반제품관)에 있어서는, 상기 제1 층이 합금으로 이루어지고, 상기 제2 층은 외측 방향으로 감에 따라서 상기 합금화의 정도가 낮아(작아)지도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 제1 층을 단단하게 하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 층은, 외측 방향(정치한 절삭을 요하지 않는 방향)으로 갈수록, 유연하기 때문에, 절삭이 용이하다. 한편, 그 반대 방향(제1 층을 향하는 방향, 정치한 절삭을 요하는 방향)으로 갈수록, 단단해지기 때문에, 절삭 미스를 억제하는 것이 가능해진다.

[20] 상기(예를 들어, [8])에 기재된 반제품관(제1 반제품관) 제조 방법에 있어서는, 상기 제1 층을 형성하는 공정, 및 상기 제2 층을 형성하는 공정에서는, 상기 제1 층 및 상기 제2 층을, 상기 반제품관이 가열되면, 상기 제1 층, 및 상기 제2 층의 상기 제1 층 근방이 합금화되는 금속으로 형성하는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 반제품관을 가열함으로써 용이하게 합금화하는 것이 가능해진다.

[21] 본 발명의 선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법은, (예를 들어, [15] 내지 [18] 중 어느 것에 기재된) 반제품관을 준비하는 공정과, 상기 반제품관을 상기 제2 층 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 상기 제2 층의 외측으로부터의 절삭에 의해 상기 제2 층을 그 일부가 잔존하도록 절삭하는 절삭 공정과, 상기 반제품관을 가열하여 상기 제1 층 및 잔존하는 상기 제2 층을 합금화하는 합금화 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 하면, 절삭 공정에 있어서, 제2 층이 합금화되기 전의 유연한 상태에서 절삭되기 때문에, 절삭 가공이 용이하다. 또한, 합금화 공정에 있어서, 제1 층 및 잔존하는 제2 층을 균일화한 합금으로 하기 쉽다.

또한, 일반적으로, 합금은 제1 층 및 제2 층의 금속에 비해 단단하기 때문에, 최종 제품관의 강도가 동일한 경우, 합금화된 경우에는, 합금화되지 않은 경우에 비해, 최종 제품관의 층 두께(관벽)를 얇게 하는 것도 가능해진다. 그리고, 관 외경을 작게 하는 것도 가능해진다.

[22] 본 발명의 선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법은, (예를 들어, [15] 내지 [18] 중 어느 것에 기재된) 반제품관을 준비하는 공정과, 상기 반제품관을 가열하여 상기 제1 층, 및 상기 제2 층의 상기 제1 층 근방을 합금화하는 합금화 공정과, 상기 반제품관을, 상기 제2 층 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 상기 제2 층의 외측으로부터의 절삭에 의해, 상기 제2 층을 상기 제1 층 근방까지 파내려 가서 절삭하는 절삭 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 하면, 절삭 공정에 있어서, 제2 층(12)의 외측 방향(정치한 절삭을 요하지 않는 방향)으로 갈수록, 유연하기 때문에, 제2 층 외측의 절삭이 용이하다. 한편, 그 반대 방향(제1 층을 향하는 방향, 정치한 절삭을 요하는 방향)으로 갈수록, 단단해지기 때문에, 최종 제품관 2외주의 절삭 미스를 억제하는 것이 가능해진다.

도 1은 실시 형태 1에 관한 반제품관(1)(제1 반제품관) 및 최종 제품관(2)을 설명하기 위한 도면.
도 2는 실시 형태 1에 관한 반제품관(1)의 제조 방법을 설명하기 위한 도면.
도 3은 실시 형태 1에 관한 최종 제품관(2)의 제조 방법을 설명하기 위한 도면.
도 4는 실시 형태 1에 관한 반제품관(1), 최종 제품관(2) 등의 치수 등을 설명하기 위한 도면(도표).
도 5는 실시 형태 1에 관한 최종 제품관(2)의 사용예를 설명하기 위한 도면.
도 6은 실시 형태 2 내지 8에 관한 반제품관(1), 최종 제품관(2) 등의 치수 등을 설명하기 위한 도면(도표).
도 7은 실시 형태 9 내지 11을 설명하기 위한 도면.
도 8은 실시 형태 9 내지 11에 관한 반제품관(1), 최종 제품관(2) 등의 치수 등을 설명하기 위한 도면(도표).
도 9는 실시 형태 12를 설명하기 위한 도면(합금화 후에 절삭하는 방법).
도 10은 실시 형태 12를 설명하기 위한 도면(합금화 전에 절삭하는 방법).
도 11은 실시 형태 12 내지 16에 관한 반제품관(1), 최종 제품관(2) 등의 치수 등을 설명하기 위한 도면(도표).
도 12는 제1 층(11)의 절삭 변형예를 설명하기 위한 도면.
도 13은 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 변형예를 설명하기 위한 도면.
도 14는 종래 기술을 설명하기 위한 도면.

이하, 본 발명의 반제품관, 반제품관 제조 방법, 관 및 관 제조 방법에 대하여, 도 1 내지 도 13을 사용하여 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 각 도면은, 실제의 형상, 구성, 방법 등을 간략화하여 도시한 모식도이다.

[실시 형태 1]

도 1 내지 도 5를 사용하여, 실시 형태 1에 관한 반제품관(1)(제1 반제품관), 반제품관(1)의 제조 방법, 관(최종 제품관(2)) 및 관 제조 방법에 대하여 설명한다. 또한, 반제품관(9)(제2 반제품관) 및 반제품관(9)의 제조 방법에 대해서도 아울러 설명한다.

[반제품관(1) 및 최종 제품관(2)에 대하여]

도 1은 실시 형태 1에 관한 반제품관(1)(제1 반제품관) 및 최종 제품관(2)을 설명하기 위한 도면이다. 도 1의 (a)는 반제품관(1)의 장축 방향 단면도를, 도 1의 (b)는 최종 제품관(2)의 장축 방향 단면도를 설명하기 위한 도면이다. 반제품관(1) 및 최종 제품관(2)은 단축 방향 외측은 대략 원 형상으로 되어 있다. 또한, 이 명세서에서는 「최종 제품관」을 간단히 「관」이라 하는 경우가 있다.

도 1에 도시한 바와 같이, 실시 형태 1에 관한 반제품관(1)은, 선반에 의한 피절삭으로 최종 제품관으로 되기 전의 반제품관(1)이며, 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관 구성용의 제1 층(11)과, 제1 층(11)의 외측에 형성되며, 상기 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층(12)을 구비한다.

반제품관(1)의 제1 층(11)의 외경 D1은, 최종 제품관(2)의 외경 D5(최외경) 근방의 외경이다. 「근방」이란, 「부근」, 「근처」 등의 의미이며, 외경 D1이 D5 근처의 의미이며, D1이 D5와 동일한 경우도 포함한다. 실시 형태 1에서는, 제1 층(11)의 외경 D1은, 최종 제품관(2)의 외경 D5와 동일하다. D19는 반제품관(1) 또는 최종 제품관(2)의 내경이며, 후술하는 선재(3)의 외경과 동일하다.

상기 반제품관(1)에 있어서는, 제1 층(11)은 선반의 척킹 지그(51)에 의한 파지가 곤란한 작은 외경 D1을 갖고, 제2 층(12)은 선반의 척킹 지그(51)에 의한 파지가 가능한 큰 외경 D3을 갖는다. 도면 중의 외경 D2는, 척킹 지그(51)로 파지할 수 있는 최소 직경이다. 외경 D1, D2 및 D3은, D1<D2<D3의 관계를 갖는다. D5는 최종 제품관(2)의 외경이다. 실시 형태 1에서는, 최종 제품관(2)의 외경 D5는, 제1 층(11)의 외경 D1과 동일하다.

상기 반제품관(1)에 있어서는, 제1 층(11)은 외경 D1이 0.05㎜ 이상 0.60㎜ 미만이고, 제2 층(12)은 외경 D3이 0.40㎜ 이상 3.00㎜ 이하이다.

상기 반제품관(1)에 있어서는, 제2 층(12)은, 적어도 제1 층(11)의 제2 층(12)과의 인접부(11E)보다 절삭성이 좋다.

상기 반제품관(1)에 있어서는, 제1 층(11)은, 제2 층(12)과의 인접부(11E)를 형성하는 제1 층 외층(11B)과, 제1 층 외층(11B)의 내측에 형성된 제1 층 내층(11A)을 갖고, 제1 층 외층(11B)은 비커스 경도는 350 내지 550HV의 범위 내에 있다.

실시 형태 1에서는, 제1 층 내층(11A)이 금 코발트 합금, 제1 층 외층(11B)이 니켈 코발트 합금(비커스 경도 400 내지 550HV), 제2 층(12)이 구리(비커스 경도 150 내지 230HV)이다.

또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 반제품관(1)에 있어서, 제1 층(11)은, 제1 층 내층(11A)과 제1 층 외층(11B)을 갖는다. 제1 층 내층(11A)의 내측은 중공부(19)로 되어 있다. 실시 형태 1에서는, 제2 층(12)이 절삭되어 없어지고, 제1 층 외층(11B)의 일부가 절삭되어, 볼록부(115)와 오목부(116)가 형성된다. 부호 111은 절삭 전의 제1 층 면을 나타내고, 112는 절삭 후의 제1 층 면을 나타낸다. 절삭 후의 제1 층 면(112)에는 절삭흔이 있다.

[반제품관(1)의 제조 방법]

도 2는 실시 형태 1에 관한 반제품관(1)의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 2의 (a) 내지 (f)는 그 공정을 설명하기 위한 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 실시 형태 1에 관한 반제품관(1)의 제조 방법은, 선반에 의한 피절삭으로 최종 제품관(2)으로 되기 전의 반제품관(1)의 제조 방법이며, 선재(3)를 준비하는 공정(도 2의 (a))과, 선재(3) 상에, 최종 제품관 구성용의 제1 층(11)을 형성하는 공정(도 2의 (b), (c))과, 제1 층(11)의 외측에, 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층(12)을 형성하는 공정(도 2의 (d))을 포함한다.

구체적으로 설명하면 먼저, 직경(외경, D19) 0.20㎜의 스테인리스선(선재)(3)을 준비한다(도 2의 (a)). 「스테인리스선」이란 스테인리스강을 선상으로 한 것이다. 스테인리스강이란 탄소를 1.2％(질량 퍼센트 농도) 이하, 크롬을 10.5％ 이상 포함하는, 철(Fe)을 주성분으로 한 합금강이다.

그리고, 선재(3)(스테인리스선) 상에, 전해 도금으로 금 코발트 합금(두께 1㎛)의 제1 층 내층(11A)을 형성한다(도 2의 (b)). 그 외측에는, 전해 도금으로 니켈 코발트 합금(두께 24㎛)의 제1 층 외층(11B)(외경 D1이 0.25㎜)을 형성한다(도 2의 (c)). 이와 같이 하여, 선재(3) 상에, 제1 층 내층(11A)과 제1 층 외층(11B)을 갖는 최종 제품관 구성용의 제1 층(11)을 형성한다.

그리고, 제1 층(11)의 외측에, 전해 도금으로 구리(두께 500㎛)의 제2 층(12)(외경 D3이 1.25㎜)을 형성한다(도 2의 (d)). 제2 층(12)은, 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 층이다.

그리고, 선재(3)를 인발하여 제거한다(도 2의 (e)).

도 2의 (f)에는, 상기 도 2의 (a) 내지 (e)의 공정을 거쳐 제조된 반제품관(1)(내경 D19, 외경 D3)을 도시하고 있다.

[최종 제품관(2)의 제조 방법]

도 3은 실시 형태 1에 관한 최종 제품관(2)의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 3의 (a) 내지 (d)는 제조 방법의 공정을 설명하기 위한 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 실시 형태 1에 관한 최종 제품관(2)의 제조 방법은, 선반을 사용하여 반제품관(1)으로부터 최종 제품관(2)을 제조하는 관 제조 방법이며, 상기한 반제품관(1)을 준비하는 공정(도 3의 (a))과, 반제품관(1)을 제2 층(12) 외측으로부터 파지하는 파지 공정(도 3의 (a))과, 파지한 것 이외의 개소(1N)의 제2 층(12)을 외측으로부터 절삭하고, 제1 층(11)의 소정 개소를 절삭하여 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성하는 절삭 공정(도 3의 (b))과, 파지한 개소(IY)(더미층 적층 개소)를 절단하는(잘라내는) 절단 공정(도 3의 (c))을 포함한다.

구체적으로 설명하면, 먼저, 최종 제품관(2)을 제조하기 위한 반제품관(1)을 준비한다(도 3의 (a)). 반제품관(1)은 도 1 등에서 설명한 것이다.

그리고, 반제품관(1)을 콜릿 등의 척킹 지그(51)로, 제2 층(12) 외측으로부터 파지한다(도 3의 (a)). 제2 층(12)의 외경 D3의 크기는 척킹 지그(51)로 파지할 수 있는 크기로 형성되어 있다. 또한, 반제품관(1)을 준비하는 공정과, 반제품관(1)을 파지하는 파지 공정을 통합하여 동일하게 도 3의 (a)에서 나타내고 있다.

그리고, 척킹 지그(51)로 파지한 개소(1Y)를 피하여, 파지한 것 이외의 개소(1N)의 제2 층(12)을 외측으로부터 절삭 바이트 등의 절삭 지그(52)로 절삭하여, 제1 층(11)의 소정 개소에 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성한다(도 3의 (b)). 절삭 깊이는 0.01㎜이다. 제1 층(11)을 두께 방향(단축 방향)으로 절삭한 개소가 오목부(116)가 되고, 절삭하지 않은 개소가 볼록부(115)가 된다. 또한, 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성하는 방법으로서는, 절삭 지그(52)를 반제품관(1)에 대하여, 반제품관(1)의 장축 방향으로 상대적으로 이동하면서, 제2 층(12) 및 소정 개소의 제1 층(11)을 순차적으로 절삭함으로써, 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성하는 방법, 혹은, 반제품관(1)의 장축 방향의 소정 길이만큼, 제2 층(12)을 절삭한 후에 소정 길이만큼의 범위 내의 제1 층(11)에 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성하는 방법이 있다.

그리고, 반제품관(1)을, 파지한 채로, 절삭한 개소를 절삭 바이트 등의 절단 지그(53)로 절단한다(도 3의 (c)). 또한, 최종 제품관(2)의 길이가 1 내지 5㎜와 같이 짧은 것에 반해, 반제품관(1)의 길이가 1 내지 1.5m와 같이 긴 경우에는, 파지한 개소(1Y)의 반대측 단부로부터 최종 제품관(2)의 길이분씩 절단한다.

도 3의 (d)는, 도 3의 (a) 내지 (c)의 공정을 거쳐 제조된 최종 제품관(2)을 도시하고 있다.

도 4는 실시 형태 1에 관한 반제품관(1), 최종 제품관(2) 등의 치수 등을 설명하기 위한 도면(도표)이다. 도 4에는, 실시 형태 1에서 사용하는, 선재(3)(코어 선재), 제1 층(11), 제2 층(12), 최종 제품관(2)의 재료, 두께, 외경 D 등이 기재되어 있다.

도 4 중의 「피절삭성」은, 절삭이 용이하지 않은 순니켈에 대한 피절삭성의 정도를 나타낸다. ○는 양호한 것, ◎는 매우 양호한 것을 나타낸다. 최종 제품관(2)의 외경 D5는, 볼록부가 있는 경우, 당해 볼록부를 포함하는 최외경이다. 함유량 등의 기재에서, 예를 들어 「AuCo 합금(Co 0.1 내지 1.0％)」은, 금 코발트 합금에서 코발트의 함유량(중량 비율)이 0.1 내지 1.0％이고 잔여가 금인 것을 의미한다. 단, 미량 첨가물을 포함하는 경우도 있다. 다른 합금의 기재도 마찬가지이다(이상의 설명은 도 6 및 도 8에서도 마찬가지이다).

[제2 반제품관(9)]

지금까지 설명한 반제품관(1)(제1 반제품관)은, 제2 층(12)이 절삭되기 전의 상태의 것이었지만, 제2 층(12)이 절삭된 후의 것이며, 소정 개소에서 절단되기 전의 것을 반제품관(9)(제2 반제품관)으로 해도 된다(도 3의 (c) 참조).

[제2 반제품관(9)]

이 반제품관(9)(제2 반제품관) 제조 방법은, 선반을 사용하여 반제품관(제1 반제품관)으로부터 최종 제품관(2)에 더 가까운 제2 반제품관을 제조하는 반제품관 제조 방법이며, 상기 반제품관(제1 반제품관(1))을 준비하는 공정과, 당해 반제품관(제1 반제품관)을, 제2 층(12) 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 제2 층(12)의 외측으로부터의 절삭에 의해, 제1 층(11)에 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성하는 절삭 공정과, 파지한 개소(1Y)와 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성한 개소가 연결된 상태에서 제2 반제품관(9)으로 하는 공정을 포함한다.

그리고, 제조된 반제품관(제2 반제품관(9))은, 소정 개소의 절단에 의해 최종 제품관(2)으로 하기 위해 사용되는 반제품관(제2 반제품관(9))이며, 최종 제품관 구성용의 제1 층(11)과, 제1 층(11)의 외측에 형성된 더미용의 제2 층(12)이 적층된 더미층 적층 개소와, 오목부(116) 또는 볼록부(115)가 형성된 제1 층 요철 형성 개소를 구비하고 있다. 즉, 외측에 오목부(116) 또는 볼록부(115)가 형성되고, 소정 개소에서 절단(잘라냄)하면 최종 제품관(2)으로 할 수 있다.

이 제2 반제품관(9)을 사용하여 관(최종 제품관(2))을 제조하는 경우의 관(최종 제품관(2)) 제조 방법은, 상기 반제품관(제2 반제품관(9))을 준비하는 공정과, 반제품관(제2 반제품관(9))을, 더미층 적층 개소(1Y)에서 파지하는 파지 공정과, 제1 층 요철 형성 개소를 더미층 적층 개소 측으로부터 잘라내는 절단 공정을 포함한다.

[최종 제품관(2)]

도 3의 (d) 등에 도시된 실시 형태 1에 관한 최종 제품관(2)은, 금속제의 외경 D5가 0.05㎜ 이상 0.60 미만이며, 외주에 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 가짐과 함께 절삭부에 절삭흔이 있다.

[최종 제품관(2)의 사용예]

도 5는 실시 형태 1에 관한 최종 제품관(2)의 사용예를 설명하기 위한 도면이다. 반도체 검사 장치(7)로의 사용예를 나타낸다.

이 사용예에서는, 최종 제품관(2)은, 그 안에, 플런저(62)와, 스프링(63)이 들어간 콘택트 프로브(6)의 배럴(61)(통)로서 사용된다. 배럴(61)의 상부에는 스프링 설치구(64)가 설치되고, 스프링 설치구(64)에는 스프링(63)이 설치되어 있다. 콘택트 프로브(6)는, 최종 제품관(2)(배럴(61))의 볼록부(115)가, 반도체 검사 장치(7)의 끼워 맞춤부(72)에 끼워 맞춰져, 반도체 검사 장치(7)의 콘택트 프로브 설치구(71) 내에 수용된다. 그리고, 콘택트 프로브(6)가 도면 상의 화살표와 같이 상하함으로써, 플런저(62)는 반도체 소자(8)의 전극(81)에 접촉 또는 비접촉한다. 플런저(62)가 전극에 접촉하는 경우, 플런저(62)는 스프링(63)에 의한 탄성력에 의해 적당한 압력으로 접촉한다. 그리고, 전극(81)으로의 신호 또는 전극으로부터의 신호가 배선 도체(73)를 통해 송신 또는 수신됨으로써 반도체의 검사가 행해진다.

[실시 형태 1의 효과]

실시 형태 1에 관한 반제품관(1)에 의하면, 최종 제품관 구성용의 제1 층(11)의 외측에, 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층(12)이 형성되어 있기 때문에, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 더미용의 제2 층(12)을 파지함으로써, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관(2))을 제조하는 데에 제공하는 반제품관(1)을 제공하는 것이 가능해진다.

또한, 제1 층(11)의 외경 D1이 최종 제품관(2)의 외경 D5 근방의 외경으로 형성되어 있기 때문에, 더미용의 제2 층(12)의 절삭, 및 제1 층(11) 표면으로의 오목부(116) 또는 볼록부(115)의 형성이 용이한 반제품관(1)을 제공하는 것이 가능해진다.

또한, 제1 층(11)의 외경 D1의 크기가, 선반의 척킹 지그(51)에 의한 파지가 곤란한 작은 것이라도, 그 외측의 제2 층(12)은, 선반의 척킹 지그에 의한 파지가 가능한 큰 외경 D2를 갖도록 구성되어 있기 때문에, 제2 층(12)을 척킹 지그에 의해 파지함으로써 선반에 의해 용이하게 절삭 가공할 수 있는 반제품관(1)을 제공하는 것이 가능해진다.

실시 형태 1에 관한 반제품관(1)은, 제1 층(11)은 외경 D1이 0.05㎜ 이상 0.60㎜ 미만이고, 외경 D1이 작기 때문에 파지 곤란으로 선반에 의한 요철 형성이 곤란해도, 그 외측에 외경 D3이 0.40㎜ 이상 3.00㎜ 이하인 제2 층(12)이 형성되어 있기 때문에, 절삭 가공하는 것이 가능해진다.

또한, 제2 층(12)은, 적어도 제1 층(11)의 제2 층(12)과의 인접부(11E)보다 절삭성이 좋기 때문에, 더미용의 제2 층(12)을 용이하게 절삭하는 것이 가능해진다.

또한, 제1 층(11)은, 제2 층(12)과의 인접부(11E)를 형성하는 제1 층 외층(11B)과, 제1 층 외층(11B)의 내측에 형성된 제1 층 내층(11A)을 갖지만, 제1 층 외층(11B)은 비커스 경도가 350 내지 550HV의 범위 내의 경도로 형성되어 있기 때문에, 선반에 의해 용이하게 절삭되는 일이 없는 한편, 선반에 의한 절삭 가공이 가능하다. 그리고, 예를 들어 제1 층 내층(11A)에 최종 제품관(2)의 기능 형성층(양호한 도전성 등을 부여하는 층)을 형성하고, 그것을 외측에 형성된 단단한 제1 층 외층(11B)으로 보호하는 것도 가능해진다.

실시 형태 1에 관한 반제품관(1)(선반에 의한 피절삭으로 최종 제품관(2)으로 하기 위해 사용되는 반제품관(1)) 제조 방법에 의하면, 선재(3)를 준비하는 공정과, 선재(3)의 외주 측에, 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관(2) 구성용의 제1 층(11)을 형성하는 공정과, 제1 층(11)의 외주 측에, 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층(12)을 형성하는 공정을 포함하기 때문에, 외경이 작아 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 당해 선반을 이용하여, 표면에 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 갖는, 외경이 작은 관(최종 제품관(2))을 제조하는 데에 제공하는 반제품관(1)을 제조하는 것이 가능해진다.

실시 형태 1에 관한 관 제조 방법(선반을 사용하여 반제품관(1)으로부터 최종 제품관(2)을 제조하는 관 제조 방법)에 의하면, 반제품관(1)을 준비하는 공정과, 반제품관(1)을, 제2 층(12) 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 제2 층(12)의 외측으로부터의 절삭에 의해, 제1 층(11)에 오목부 또는 볼록부를 형성하는 절삭 공정과, 반제품관(1)의 소정 개소를 절단하는 절단 공정을 포함하기 때문에, 외경이 작아 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 갖는 외경이 작은 관(최종 제품관(2))을 제조하는 것이 가능해진다.

실시 형태 1에 관한 반제품관(9)(반제품관(1)으로부터 최종 제품관(2)에 더 가까운 제2 반제품관(9)을 제조하는 관 제조 방법)에 의하면, 반제품관(1)을 준비하는 공정과, 반제품관(1)을, 제2 층(12) 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 제2 층(12)의 외측으로부터의 절삭에 의해, 제1 층(11)에 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성하는 절삭 공정과, 파지한 개소(IY)와 오목부(116) 또는 볼록부(115)를 형성한 개소가 연결된 상태에서 제2 반제품관(9)으로 하는 공정을 포함하기 때문에, 최종 제품관(2)에 가까운 제2 반제품관(9)을 제조하는 것이 가능해진다.

실시 형태 1에 관한 반제품관(9)(소정 개소의 절단에 의해 최종 제품관(2)으로 하기 위해 사용되는 반제품관(9))에 의하면, 최종 제품관 구성용의 제1 층(11)과, 상기 제1 층(11)의 외측에 형성된 더미용의 제2 층(12)이 적층된 더미층 적층 개소와, 오목부(116) 또는 볼록부(115)가 형성된 제1 층 요철 형성 개소를 구비하고 있기 때문에, 더미층 적층 개소를 파지하여, 제1 층 요철 형성 개소의 소정 개소를 절단함으로써, 최종 제품관(2)으로 하는 것이 가능해진다.

실시 형태 1에 관한 관 제조 방법(제2 반제품관(9)으로부터 최종 제품관(2)을 제조하는 관 제조 방법)에 의하면, 반제품관(9)(제2 반제품관)을 준비하는 공정과, 반제품관(9)을, 더미층 적층 개소에서 파지하는 파지 공정과, 제1 층 요철 형성 개소를 더미층 적층 개소 측으로부터 잘라내는 절단 공정을 포함하기 때문에, 제2 반제품관(9)으로부터 최종 제품관(2)을 용이하게 제조하는 것이 가능해진다.

실시 형태 1에 관한 관(최종 제품관(2))에 의하면, 외경이 작기 때문에, 지금까지 제조가 곤란하였던 작은 직경의 콘택트 프로브(6)(도 5 참조)를 제조하는 것이 가능해진다. 또한, 절삭흔이 있기 때문에, 스퍼터링이나 도금으로 제조된 것이 아니라 절삭에 의해 제조된 것을 알 수 있어, 강도면 등의 불안이 없는 사용이 가능해진다.

[실시 형태 2 내지 8]

도 6은 실시 형태 2 내지 8에 관한 반제품관(1), 최종 제품관(2) 등의 치수 등을 설명하기 위한 도면(도표)이다. 도 6에는, 실시 형태 2 내지 8의 선재(3), 제1 층(11), 제2 층(12), 최종 제품관(2)의 재료, 두께, 외경 D 등이 기재되어 있다.

실시 형태 2 내지 8의 관(반제품관(1, 9), 최종 제품관(2)) 및 그 제조 방법은, 기본적으로는 실시 형태 1과 마찬가지이지만, 도 6에 도시된 바와 같이, 그것들을 구성하는 재질 등이 실시 형태 1과 다르다.

즉, 실시 형태 2 내지 8에서는, 제1 층 내층(11A)은, 금, 금 코발트 합금, 팔라듐, 팔라듐 합금 또는 폴리테트라플루오로에틸렌과 니켈의 공석물 중 어느 것으로 이루어지고, 제1 층 외층(11B)은, 니켈 코발트 합금, 니켈 망간 합금 또는 순니켈 중 어느 것으로 이루어지고, 제2 층(12)은, 구리, 순니켈 또는 니켈 망간 합금 중 어느 것으로 이루어지도록 구성되어 있다.

또한, 실시 형태 2 내지 8의 제1 층, 제2 층 등의 재질, 치수 등에 대해서는 도 6의 기재 내용이 명세서에 기재되어 있는 것으로서, 도 6의 기재 내용을 문장으로 하는 것을 생략한다(상기 도 4 및 후술하는 도 8에 있어서도 마찬가지이다).

[실시 형태 2 내지 8의 효과]

제1 층 내층(11A), 제1 층 외층(11B) 및 제2 층(12)에, 적절한 재질의 부재를 사용함으로써, 외경이 작으면 척킹 지그에 의한 파지가 곤란하기 때문에 절삭 가공이 곤란한 선반이라도, 당해 선반을 사용하여, 표면에 오목부 또는 볼록부를 갖는, 외경이 작은 관을 제조하는 방법, 및 당해 관을 제공하는 것이, 보다 한층 더 용이해진다.

또한, 관의 기능성을 제1 층 내층(11A), 그것을 보호하는 제1 층 외층(11B), 선반에 의한 절삭 가공을 가능하게 하는 외층(11B)으로서, 그것들에 맞는 재질을 적당히 선택하는 것이 가능해진다.

예를 들어, 제1 층 내층(11A)을 금(순금)으로 형성하면, 양도전성, 양방청성, 유연 등의 기능 발휘가 가능하다.

금 코발트 합금으로 형성하면, 순금보다 경질화할 수 있어, 양도전성, 양방청성 등의 기능 발휘가 가능하다.

팔라듐으로 형성하면, 수소를 도입하는 수소 흡장성, 자동차의 배기 가스 중의 유해 물질을 제거하는 촉매 기능 등의 발휘가 가능하다.

팔라듐 합금으로 하면, 수소 흡장성, 촉매 기능 외에, 생체 안전성 기능, 내식성 기능 등의 발휘가 가능하다. 팔라듐 합금으로서는, 예를 들어 은을 주성분으로 하고 은의 황화의 방지용으로 팔라듐이 첨가된 합금, 그것에 또한 내식성용으로 금을 첨가한 합금, 12％ 금 은 팔라듐 합금 등이 있다. 12％ 금 은 팔라듐 합금은, 금 12％, 팔라듐 20％, 나머지를 은 약 50％, 구리 약 20％, 또한 인듐 등으로 이루어지는(을 포함하는) 합금이다.

폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)과 니켈의 공석물은, 미끄럼 이동성 또는 윤활성 등의 발휘가 가능하다. 그 표면이 마멸되면 새로운 PTFE 입자가 나타나, 낮은 마찰 계수가 유지되기 때문이다. 또한, PTFE는, 테트라플루오로에틸렌의 중합체이며, 불소 원자와 탄소 원자만으로 이루어지는 불소 수지(불화탄소 수지)이다.

또한, 제1 층 외층(11B)이, 니켈 코발트 합금 및 켈 망간 합금 중 어느 것으로 이루어지면, 단단하기 때문에, 제1 층 내층(11A)을 보호하는 것이 가능하다. 단, 선반에 의한 절삭도 가능하여, 요철 형성도 가능하다.

또한, 제2 층(12)이 구리 또는 순니켈 중 어느 것으로 이루어지면, 파지 가능하고, 또한 절삭성이 좋다.

또한, 제1 층 내층(11A), 제1 층 외층(11B) 및 제2 층(12)을 상기 재질의 조합으로 하면, 적층 형성이 용이하다.

또한, 실시 형태 2 내지 6에서 설명한 내용 이외의 점에 대해서는, 실시 형태 2 내지 6에 있어서도 실시 형태 1에서 설명한 구성, 방법, 효과 등의 양태를 그대로 적용할 수 있다.

[실시 형태 9 내지 11]

도 7은 실시 형태 9 내지 11을 설명하기 위한 도면(단면도)이다. 도 8은 실시 형태 9 내지 11에 관한 반제품관(1), 최종 제품관(2) 등의 치수 등을 설명하기 위한 도면(도표)이다.

실시 형태 9 내지 11에 관한 반제품관(1, 9), 최종 제품관(2) 등의 구성이나, 그것들의 제조 방법은, 기본적으로는 실시 형태 1과 마찬가지이지만, 도 7(또는 도 8)에 도시된 바와 같이, 제2 층(12) 절삭 후에도, 반제품관(9) 또는 최종 제품관(2)에 제2 층(12)의 일부가 잔존하는 점이 다르다. 부호 121은, 절삭 후에도 잔존하는 제2 층의 일부이다(도 7, 도 8 참조). 그 표면이 절삭되어 있는 경우에는 절삭 개소에는 절삭흔을 갖는다.

실시 형태 9 내지 11의 관(최종 제품관(2)) 제조 방법에 대하여 설명하면, 당해 제조 방법은, 기본적으로는, 실시 형태 1에서 설명한 제조 방법과 마찬가지이지만, 반제품관(제1 반제품관(1))으로부터 최종 제품관(2)(또는 제2 반제품관(9))을 제조하는 경우, 제2 층(12)을 절삭하는 절삭 공정에서 제2 층(12)을 그 일부(121)가 잔존하도록 절삭하는 점이 다르다.

실시 형태 9에서 설명하면, 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 재질, 층 두께, 외경 등 혹은 그것들의 제조 방법은, 기본적으로는 실시 형태 1과 마찬가지이지만, 제1 반제품관(1)으로부터 최종 제품관(2)(또는 제2 반제품관(9))으로 할 때, 제2 층(12)의 일부(121)를 잔존하도록 절삭한다(도 7, 도 8 참조). 최종 제품관(2)(또는 제2 반제품관(9))에 있어서는, 실시 형태 1에서는, 제2 층(12)은 모두 절삭되고, 제1 층(11)은 볼록부(115) 또는 오목부(116)가 형성되어 (최)외경이 0.25㎜가 되도록 절삭되는 것에 반해, 실시 형태 9에서는, 제2 층(12)은 일부(121)가 잔존하도록(볼록부(115)의 상부에 50㎛ 두께 잔존하도록) 절삭된다. 이와 같이 하기 때문에, 최종 제품관(2)(또는 제2 반제품관(9))의 (최)외경은 제1 층(11)의 외경 0.25㎜보다 큰 0.27㎜로 되어 있다. 또한, 제1 층(11)에는 볼록부(115) 또는 오목부(116)가 형성된다.

또한, 실시 형태 10은, 실시 형태 9를 약간 변경한 실시 형태이다. 실시 형태 10에서는, 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 재질이나 제1 층 내층의 두께는 실시 형태 9와 동일하지만, 절삭 전의 제2 층(12)의 두께 및 절삭 후에도 잔존하는 제2 층의 일부(121)의 두께가 다르다. 그리고, 최종 제품관(2)(또는 제2 반제품관(9))의 외경도 실시 형태 9와 다르다. 그러나, 절삭 후에도 잔존하는 제2 층의 일부(121)가 있는 점에서는 실시 형태 9와 마찬가지이다.

실시 형태 11은, 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 재질, 층 두께, 외경, 그리고, 절삭 후에도 잔존하는 제2 층의 일부(121)의 두께 및 최종 제품관(2)(또는 제2 반제품관(9))의 외경의 일부가 실시 형태 9와 다른 실시 형태이다(도 8 참조). 그러나, 절삭 후에도 잔존하는 제2 층의 일부(121)가 있는 점에서는 실시 형태 9와 마찬가지이다.

[실시 형태 9 내지 11의 효과]

이와 같이, 반제품관(제1 반제품관(1))으로부터 최종 제품관(2)(또는 제2 반제품관(9))을 제조하는 경우, 제2 층(12)을 절삭하는 절삭 공정에서 제2 층(12)을 그 일부가 잔존하도록 절삭하면, 볼록부(115)의 높이 조정이 용이, 볼록부(115)의 표면을 유연하게 혹은 단단하게 형성하는 것이 가능, 또는, 실드성을 보다 한층 더 높이는 것이 가능 등의 효과를 갖는다.

또한, 실시 형태 9 내지 11에서 설명한 내용 이외의 점에 대해서는, 실시 형태 9 내지 11에 있어서도 실시 형태 1에서 설명한 구성, 방법, 효과 등의 양태를 그대로 적용할 수 있다.

[실시 형태 12 내지 16]

실시 형태 12 내지 16은, 기본적으로는 실시 형태 1과 마찬가지이지만, 제1 층(11)과 제2 층(12)의 일부가, 합금화된 상태에서, 최종 제품관(2)의 구성물로서 사용되는 점이 다르다.

[실시 형태 12]

실시 형태 12를 사용하여 설명한다.

도 9 및 도 10은 모두 실시 형태 12를 설명하기 위한 도면이다. 도 9는 합금화 후에 절삭하는 방법, 도 10은 합금화 전에 절삭하는 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 11은 실시 형태 12 내지 16에 관한 반제품관(1), 최종 제품관(2) 등의 치수 등을 설명하기 위한 도면(도표)이다. 도 11에 있어서, 구성재로서 기재되어 있는 「Pg」, 「Ag」, 「Ni」의 금속은, 주성분이 이들 원소인 금속의 의미이다. 순금속에 한정되지는 않는다. 불순물을 포함하고 있어도 된다.

[합금화 후에 절삭하는 방법(도 9 참조)]

합금화 후에 절삭하는 방법에서는, 먼저, 반제품관(1)(제1 반제품관)을 준비한다(도 9의 (a) 참조). 중공부(19)(내경 D19, 0.200㎜, 치수에 대해서는 도 11 참조)를 만들기 위해 사용한 선재(3)(도시하지 않음)의 구성재는 스테인리스이다. 제1 층(11)(층 두께 2㎛)의 구성재는 팔라듐이며, 전해 도금으로 형성한다(외경 D1, 0.204㎜). 제2 층(12)(층 두께 523㎛)의 구성재는 구리이며, 전해 도금으로 형성한다 (외경 D3, 1.250㎜). 부호 12E는 제2 층(12)의 제1 층 근방을 나타낸다.

그리고, 선재(3)(도시하지 않음)를 인발하여 제거한 반제품관(1)으로 한다.

다음으로, 반제품관(1)을 가열로에 넣어 가열한다(도 9의 (b) 참조). 예를 들어 400 내지 500°에서 가열한다. 그렇게 하면, 제1 층(11)(팔라듐)과 제2 층(12)의 제1 층 근방(12E)(구리)이 열확산되어 합금화된다(구리 팔라듐 합금). 제2 층(12)은, 제1 층(11)에 가까워질수록, 합금화의 정도가 높고, 멀어질수록, 합금화의 정도가 낮아진다. 가열 시간이나 온도로 합금화의 정도를 변화시킬 수 있다.

다음으로, 반제품관(1)을 절삭한다(도 9의 (c) 참조). 예를 들어, 척킹 지그(51)로, 반제품관(1)의 장축 방향의 단부(한쪽의 단부 또는 양단부)를 파지하고, 절삭 지그(52)로 제2 층(12)(구리)이 소정의 외경 D6(0.220㎜)이 되도록 절삭한다. 이때, 볼록부(도 9의 (d) 참조) 또는 오목부(도시하지 않음)를 형성해도 된다. 단, 볼록부 또는 오목부를 형성하는 경우라도, 그것은 일부의 개소이며, 대체로 소정의 외경 D6(0.220㎜)이 되도록 절삭된다. 그 후, 절삭 바이트의 절단 지그(도시하지 않음)로, 척킹 지그(51)로 파지한 개소를 잘라낸다. 만일 최종 제품관(2)의 길이가 1 내지 5㎜와 같이 짧은 것에 반해, 반제품관(1)의 길이가 1 내지 1.5m와 같이 긴 경우에는, 최종 제품관(2)의 길이분씩 잘라낸다.

이와 같이 하여, 최종 제품관(2)이 제조된다(도 9의 (d) 참조). 부호 111은, 제1 층(팔라듐)과 제2 층(12)(구리)의 제1 층 근방(12E)이 합금화된 합금층(구리 팔라듐 합금층)을 나타낸다.

또한, 제2 층(12)(구리)을 합금화의 정도가 높은 층 두께 8㎛를 남기고 절삭한 경우, 게, 합금층(200)(구리 팔라듐 합금)은, 구리(8㎛)와 팔라듐(2㎛)이 대략 8:2의 비율로 합금화된 합금층이 된다(최종 제품관(2)의 층 두께, 외경 D6 등에 대해서는 도 11의 도표 참조).

[절삭 후에 합금화하는 방법(도 10 참조)]

먼저, 합금화 후에 절삭하는 방법(도 9의 (a) 참조)과 마찬가지로, 반제품관(1)(제1 반제품관)을 준비한다(도 10의 (a) 참조).

(선재(3)(도시하지 않음)를 인발하여 제거한 반제품관(1)으로 한다.)

다음으로, 반제품관(1)을 절삭한다(도 10의 (b) 참조). 예를 들어, 척킹 지그(51)로, 반제품관(1)의 장축 방향의 단부(한쪽의 단부 또는 양단부)를 파지하고, 절삭 지그(52)로 제2 층(12)(구리)이 소정의 외경 D6(0.220㎜)이 되도록 절삭한다. 이때, 볼록부(도면 참조) 또는 오목부(도시하지 않음)를 형성해도 된다. 단, 볼록부 또는 오목부를 형성하는 경우라도, 그것은 일부의 개소이며, 대체로 소정의 외경 D6(0.220㎜)이 되도록 절삭된다.

그리고, 절삭 바이트의 절단 지그(도시하지 않음)로, 척킹 지그(51)로 파지한 개소를 잘라낸다. 최종 제품관(2)의 길이가 1 내지 5㎜와 같이 짧은 것에 반해, 반제품관(1)의 길이가 1 내지 1.5m와 같이 긴 경우에는, 최종 제품관(2)의 길이분씩 절단한다. 최종 제품관(2)의 형상으로 한다.

또는, 척킹 지그(51)로 파지한 개소는 잘라내지 않고 남긴다(척킹 지그(51)로 파지한 개소 이외의 개소는, 최종 제품관(2)의 외형 형상으로 한다).

다음으로, 제2 층(12) 절삭 후의 반제품관(1)을 가열로에 넣어 가열한다(도 10의 (c) 참조). 그렇게 하면, 제1 층(11)(팔라듐)과 제2 층(12)(구리)의 제1 층 근방(12E)이 열확산되어 합금화되어, 합금층(200)(구리 팔라듐 합금층)을 형성한다.

제2 층(12)(구리)을 층 두께 8㎛를 남기고 절삭한 경우, 합금층(200)(구리 팔라듐 합금층, 10㎛)은, 구리(8㎛)와 팔라듐(2㎛)이 전체적으로 대략 8:2의 비율로 거의 균일하게 합금화된 합금층이 된다. 일부에 볼록부나 오목부가 있어도 그것들의 개소도 포함시켜 합금층 전체가 거의 균일하게 합금화된다.

또한, 반제품관(1)이, 척킹 지그(51)로 파지한 개소가 잘라내어져, 최종 제품관(2)의 형상으로 절삭되어 있는 경우에는, 그대로, 합금층(200)을 갖는 최종 제품관(2)이 된다(도 10의 (d) 참조).

한편, 반제품관(1)이, 척킹 지그(51)로 파지한 개소가 잘라내어지지 않고 남아 있는 경우에는, 당해 개소를 잘라내면, 합금층(200)을 갖는 최종 제품관(2)이 된다(최종 제품관(2)의 층 두께, 외경 D6 등에 대해서는 도 11의 도표 참조). 부호 215는 볼록부를 형성한 경우의 당해 볼록부를 나타낸다.

또한, 도 9의 (a)에 도시한 관과 도 9의 (d)에 도시한 관 사이의 관(예를 들어, 도 9의 (b) 또는 도 9의 (c)에 도시한 관)을 거래 대상의 반제품관(1)으로 해도 된다.

또한, 도 10의 (a)에 도시한 관과 도 10의 (d)에 도시한 관 사이의 관(예를 들어, 도 9의 (b) 또는 도 9의 (c)에 도시한 관)을 거래 대상의 반제품관(1)으로 해도 된다.

[실시 형태 13]

실시 형태 13은, 기본적으로는 실시 형태 12와 마찬가지이지만, 반제품관(1)의 제1 층(11)을 제1 층 내층(11A)(은) 및 제1 층 외층(11B)(팔라듐)으로 하고, 제2 층(12)을 구리로 하고, 최종 제품관(2)의 합금층을 구리 은 팔라듐 합금층으로 한 점이 다르다(도 11 참조).

즉, 선재(3)의 외측에, 전해 도금으로, 제1 층 내층(11A)(은, 1㎛), 제1 층 외층(11B)(팔라듐, 1㎛), 및 제2 층(12)(구리, 523㎛)을 적층 형성한다.

반제품관(1)을 가열함으로써, 제1 층 내층(11A)(은)과 제1 층 외층(11B)(팔라듐)을 제2 층(12)(구리)과 합금화하여, 합금층(10㎛, 구리 은 팔라듐 합금, 구리:은:팔라듐의 비율은 대략 8:1:1)을 갖는 최종 제품관(2)을 제조한다(최종 제품관(2)의 층 두께, 외경 D6 등에 대해서는 도 11의 도표 참조).

[실시 형태 14]

실시 형태 14는, 기본적으로는 실시 형태 12와 마찬가지이지만, 반제품관(1)을, 내측으로부터 외측을 향하여, 제3 층(금 코발트 합금층, 도시하지 않음), 중간층(니켈층, 도시하지 않음), 제1 층(11)(팔라듐층), 및 제2 층(12)(구리층)의 적층 구조로 하고, 최종 제품관(2)을, 제3 층(금 코발트 합금층), 중간층(니켈층), 합금층(구리 은 팔라듐 합금층)의 적층 구조로 한 점이 다르다(도 11 참조).

또한, 제3 층 및 중간층은 제1 층(11)의 내측에 형성되는 층이며, 제1 층(11)은 아니지만, 편의상, 도 11에서는 제1 층(11)의 란에 기재하고 있다.

즉, 선재(3)의 외측에, 전해 도금으로, 제3 층(금 코발트 합금층, 1㎛), 중간층(니켈층, 1㎛), 제1 층(11)(팔라듐층, 2㎛), 및 제2 층(12)(구리층, 188.5㎛)을 적층 형성한다.

반제품관(1)을 가열함으로써, 제1 층(11)(팔라듐층)을 제2 층(12)(구리층)과 합금화하여, 제3 층(금 코발트 합금층, 1㎛), 중간층(니켈층, 1㎛), 및 합금층(구리 팔라듐 합금층, 10.5㎛, 구리:팔라듐의 비율은 대략 8.5:2)의 적층 구조를 갖는 최종 제품관(2)을 제조한다(최종 제품관(2)의 층 두께, 외경 D6 등에 대해서는 도 11의 도표 참조).

또한, 상기한 바와 같이, 니켈은, 그 열전도율이 팔라듐의 열전도율보다 작으므로, 제1 층의 금속을 제2 층의 금속과 합금화하는 경우에, 제3 층의 금속도 함께 합금화되는 것을 방지할 수 있다.

[실시 형태 15]

실시 형태 15는, 기본적으로는 실시 형태 12와 마찬가지이지만, 반제품관(1)을, 내측으로부터 외측을 향하여, 제3 층(금 코발트 합금층, 도시하지 않음), 중간층(니켈층, 도시하지 않음), 제1 층 내층(11A)(은층), 제1 층 외층(11B)(팔라듐층), 및 제2 층(12)(구리층)의 적층 구조로 하고, 최종 제품관(2)을 제3 층(금 코발트 합금층), 중간층(니켈층), 합금층(구리 은 팔라듐 합금층)의 적층 구조로 한 점이 다르다(도 11 참조).

즉, 선재(3)의 외측에, 전해 도금으로, 제3 층(금 코발트 합금층, 1㎛), 중간층(니켈층, 1㎛), 제1 층 내층(11A)(은층, 3㎛), 제1 층 외층(11B)(팔라듐층, 3㎛), 및 제2 층(12)(구리층, 202㎛)을 적층 형성한다.

반제품관(1)을 가열함으로써, 제1 층 내층(11A)(은층) 및 제1 층 외층(11B)(팔라듐층)을 제2 층(12)(구리층)과 합금화하여, 제3 층(금 코발트 합금층, 1㎛), 중간층(니켈층, 1㎛), 및 합금층(구리 은 팔라듐 합금층, 18㎛, 구리:은:팔라듐의 비율은 대략 12:3:3)의 적층 구조를 갖는 최종 제품관(2)을 제조한다(최종 제품관(2)의 층 두께, 외경 D6 등에 대해서는 도 11의 도표 참조).

또한, 상기한 바와 같이, 니켈은, 그 열전도율이 은(또는, 은 및 팔라듐)의 열전도율보다 작으므로, 제1 층의 금속을 제2 층의 금속과 합금화하는 경우에, 제3 층의 금속도 함께 합금화되는 것을 방지할 수 있다.

[실시 형태 16]

실시 형태 16은, 기본적으로는 실시 형태 12와 마찬가지이지만, 반제품관(1)을 내측으로부터 외측을 향하여, 제3 층(금 니켈 합금층, 도시하지 않음), 중간층(니켈층, 도시하지 않음), 제1 층(11)(팔라듐층), 및 제2 층(12)(구리층)의 적층 구조로 하고, 최종 제품관(2)을 제3 층(금 니켈 합금층), 중간층(니켈층), 합금층(구리 팔라듐 합금층)의 적층 구조로 한 점이 다르다(도 11 참조).

즉, 선재(3)의 외측에, 전해 도금으로, 제3 층(금 니켈 합금층, 2㎛), 중간층(니켈층, 1㎛), 제1 층(11)(팔라듐층, 3㎛), 및 제2 층(12)(구리층, 254㎛)을 적층 형성한다.

반제품관(1)을 가열함으로써, 제1 층(11)(팔라듐층)을 제2 층(12)(구리층)과 합금화하여, 제3 층(금 니켈 합금층, 2㎛), 중간층(니켈층, 1㎛), 및 합금층(구리 팔라듐 합금층, 7㎛, 구리:팔라듐의 비율은 대략 4:3)의 적층 구조를 갖는 최종 제품관(2)을 제조한다(최종 제품관(2)의 층 두께, 외경 D6 등에 대해서는 도 11의 도표 참조).

상기한 실시 형태 12 내지 16에서는, 제2 층(12)에 구리(Cu)를 사용하였지만, 구리를 철(Fe)로 치환해도 된다.

구리를 철로 치환하면, 도 11의, 실시 형태 12의 제2 층(12) 구성재가 철, 최종 제품관(2) 구성재의 합금이 철 팔라듐 합금이 된다. 실시 형태 13의 제2 층(12) 구성재가 철, 최종 제품관(2) 구성재의 합금이 철 은 팔라듐 합금이 된다. 실시 형태 14의 제2 층(12) 구성재가 철, 최종 제품관(2)의 합금(외층)이 철 팔라듐 합금이 된다. 실시 형태 15의 제2 층(12) 구성재가 철, 최종 제품관(2)의 합금(외층)이 철 은 팔라듐 합금이 된다. 실시 형태 16의 제2 층(12) 구성재가 철, 최종 제품관(2)의 합금(외층)이 철 팔라듐 합금이 된다. 도 11에 도시한 그 밖의 점(구성재, 치수 등)은 변함이 없다.

[실시 형태 12 내지 16의 정리(구성, 방법)]

상기 실시 형태 12 내지 16의 구성이나 방법에 대하여 정리하면 다음과 같이 된다.

반제품관(1)(제1 반제품관)에 있어서는, 제1 층(11)과 제2 층(12)(제2 층의 일부, 제1 층 근방(12E))은, 반제품관(1)이 가열되면, 제1 층(11)과, 제2 층(12)(제2 층(12)의 제1 층 근방(12E))이 합금화되는 금속으로 이루어지도록 구성할 수 있다(도 9 내지 도 11 참조).

반제품관(1)(제1 반제품관)은, 제1 층(11)은 팔라듐 또는 은으로 이루어지고, 제2 층(12)은 구리 또는 철로 이루어지는 것이 바람직하다(도 11 참조).

제1 층(11)/제2 층(12)의 조합예(구성재)로서는, 예를 들어 팔라듐/구리, 팔라듐/철, 은/구리, 은/철, 은·팔라듐/구리, 은·팔라듐/철의 조합이 있다.

또한, 「팔라듐」, 「은」, 「구리」 또는 「철」은, 주성분이 이들 원소의 금속의 의미이다. 순금속에 한정되지는 않는다. 불순물을 포함하고 있어도 된다.

이와 같은 반제품관(1)에 있어서는, 또한, 제1 층(11)의 내측에 형성된 금속의 제3 층과, 제1 층(11)과 제3 층 사이에 형성되는 중간층을 구비하고, 당해 중간층은, 가열에 의해, 제3 층의 금속이, 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 금속과 합금화되는 것을 방해하는 층으로 하도록 구성할 수 있다.

또한, 제3 층은, 제1 층(11)(더욱 바람직하게는 제1 층(11) 및 제3 층, 더욱 바람직하게는 제1 층(11), 제2 층(12) 및 제3 층)에 비해 열전도율이 작은 층인 것이 바람직하다. 또한, 중간층을 레어 메탈을 사용하여 구성해도 된다. 또한, 제3 층을 레어 메탈을 사용하여 구성해도 된다. 제3 층을 합금으로 구성해도 된다.

이와 같은 중간층은 니켈로 이루어지도록 할(니켈로 구성할) 수 있다. 1atm, 20℃에서의 금속의 열전도율[W/m K]은, 니켈(99.2％)에서 59이다. 은의 418, 팔라듐의 70에 대하여 작다.

이와 같은 반제품관(1)에 있어서는, 예를 들어 도 9의 (b)에 도시된 반제품관(1)과 같이, 제1 층(11)은 합금으로 이루어지고, 제2 층(12)은 외측 방향으로 감에 따라서 합금화의 정도가 낮아지도록 구성해도 된다.

상기(예를 들어, [8])의 반제품관 제조 방법에 있어서, 제1 층(11)을 형성하는 공정, 및 제2 층(12)을 형성하는 공정에서는, 제1 층(11) 및 제2 층(12)을, 반제품관(1)이 가열되면, 제1 층(11), 및 제2 층(12)의 제1 층 근방(12E)이 합금화되는 금속으로 형성하도록 하여 반제품관을 제조해도 된다(도 9, 도 10 등 참조).

선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법으로서, 도 10을 사용하여 설명한 바와 같이, 상기(예를 들어, [15] 내지 [18] 중 어느 것)의 반제품관(1)을 준비하는 공정과, 반제품관(1)을 제2 층(12) 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 제2 층(12)의 외측으로부터의 절삭에 의해 제2 층(12)을 그 일부가 잔존하도록 절삭하는 절삭 공정과, 반제품관(1)을 가열하여 제1 층(11) 및 잔존하는 제2 층[12(121)]을 합금화하는 합금화 공정을 포함하도록 해도 된다.

또한, 선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법으로서, 도 9를 사용하여 설명한 바와 같이, 상기(예를 들어, [15] 내지 [18] 중 어느 것)의 반제품관(1)을 준비하는 공정과, 반제품관(1)을 가열하여 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 제1 층 근방(12E)을 합금화하는 합금화 공정과, 반제품관(1)을 제2 층(12) 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 제2 층(12)의 외측으로부터의 절삭에 의해 제2 층(12)을 제1 층 근방(12E)까지 파내려 가서 절삭하는 절삭 공정을 포함하도록 해도 된다.

[실시 형태 12 내지 16의 효과]

실시 형태 12 내지 16에서 설명한 바와 같이, 반제품관(1)(제1 반제품관)에 있어서, 제1 층(11)과 제2 층(12)(제2 층의 일부, 제1 층(11)의 근방(12E))이, 반제품관(1)이 가열되면, 제1 층(11)과, 제2 층(12)의 제1 층 근방(12E)이 합금화되는 금속으로 이루어지도록 구성되어 있으면, 가열에 의해, 용이하게 제1 층(11)이 합금화되어, 단단하게 하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 층(12)의 제1 층 근방도 합금화에 의해 단단하게 할 수 있다. 그 한편, 제2 층(12)의 외측은 합금화되지 않거나, 또는 합금화의 정도가 낮기 때문에, 절삭이 용이하다.

반제품관(1)(제1 반제품관)이, 제1 층(11)이 팔라듐 또는 은으로 이루어지고, 제2 층(12)이 구리 또는 철로 이루어지도록 구성되어 있으면, 합금화하기 쉽다.

이와 같은 반제품관(1)에 있어서는, 또한, 제1 층(11)의 내측에 형성된 금속의 제3 층과, 제1 층(11)과 제3 층 사이에 형성되는 중간층을 구비하고, 당해 중간층은, 가열에 의해, 제3 층의 금속이 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 금속과 합금화되는 것을 방해하는 층으로 하도록 구성되어 있으면, 제1 층(11)의 금속과 제2 층(12)의 금속이 합금화될 때, 제3 층의 금속도 그것들과 함께 합금화되는 것을 방지하는 것이 가능해진다.

그리고, 중간층이 니켈로 이루어지면(니켈로 구성되어 있으면), 니켈은 금속 중에서 열전도율이 작은 금속이기 때문에, 니켈보다 열전도율이 큰 다양한 금속을 제3 층의 금속으로서 사용해도, 가열에 의해, 제3 층의 금속이 제1 층(11)(또는 제1 층(11) 및 제2 층(12))의 금속과 합금화되는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 또한, 니켈은 입수하기 쉽다. 또한, 전해 도금 등으로 층을 형성하는 것도 용이하다.

반제품관(1)에 있어서는, 제1 층(11)이 합금으로 이루어지고, 제2 층(12)은 외측 방향으로 감에 따라서 합금화의 정도가 낮아지도록 구성되어 있으면(도 9의 (b) 참조), 제1 층(11)을 단단하게 하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 층(12)은, 외측 방향(정치한 절삭을 요하지 않는 방향)으로 갈수록, 유연하기 때문에, 절삭이 용이하다. 한편, 그 반대 방향(제1 층(11)을 향하는 방향, 정치한 절삭을 요하는 방향)으로 갈수록, 단단해지기 때문에, 절삭 미스를 억제하는 것이 가능해진다.

상기(예를 들어, [8])의 반제품관 제조 방법에 있어서, 제1 층(11)을 형성하는 공정, 및 제2 층(12)을 형성하는 공정에서는, 제1 층(11) 및 제2 층(12)을, 반제품관(1)이 가열되면, 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 제1 층 근방(12E)이 합금화되는 금속으로 형성하도록 되면, 반제품관(1)을 가열함으로써 용이하게 합금화하는 것이 가능해진다.

선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법이, 상기(예를 들어, [15] 내지 [18] 중 어느 것)의 반제품관(1)을 준비하는 공정과, 반제품관(1)을 제2 층(12) 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 제2 층(12)의 외측으로부터의 절삭에 의해 제2 층(12)을 그 일부가 잔존하도록 절삭하는 절삭 공정과, 반제품관(1)을 가열하여 제1 층(11) 및 잔존하는 제2 층[12(121)]을 합금화하는 합금화 공정이 포함되는 방법이면(도 10 참조), 절삭 공정에 있어서, 제2 층(12)이 합금화되기 전의 유연한 상태에서 절삭되기 때문에, 절삭 가공이 용이하다. 또한, 합금화 공정에 있어서, 제1 층(11) 및 잔존하는 제2 층[12(121)]을 균일화한 합금으로 하기 쉽다.

또한, 합금화함으로써 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 금속보다 단단하게 하는 것이 가능하여, 최종 제품관(2)의 층 두께(관벽)를 얇게 하는 것도 가능해진다. 그리고, 관 외경 D6을 작게 하는 것도 가능해진다.

또한, 선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법이, 상기(예를 들어, [15] 내지 [18] 중 어느 것)의 반제품관(1)을 준비하는 공정과, 반제품관(1)을 가열하여 제1 층(11) 및 제2 층(12)의 제1 층 근방(12E)을 합금화하는 합금화 공정과, 반제품관(1)을 제2 층(12) 외측으로부터 파지하는 파지 공정과, 제2 층(12)의 외측으로부터의 절삭에 의해 제2 층(12)을 제1 층 근방(12E)까지 파내려 가서 절삭하는 절삭 공정이 포함되는 방법이면(도 9 참조), 절삭 공정에 있어서, 제2 층(12)의 외측 방향(정치한 절삭을 요하지 않는 방향)으로 갈수록, 유연하기 때문에, 제2 층(12) 외측의 절삭이 용이하다. 한편, 그 반대 방향(제1 층(11)을 향하는 방향, 정치한 절삭을 요하는 방향)으로 갈수록, 단단해지기 때문에, 최종 제품관(2) 외주의 절삭 미스를 억제하는 것이 가능해진다.

또한, 실시 형태 12 내지 16에서 설명한 것 이외의 점에 대해서는, 실시 형태 1 또는 12 내지 16에 있어서도, 실시 형태 1 또는 실시 형태 2 내지 11에서 설명한 구성, 방법, 효과 등에 있어서의 해당하는 양태를 그대로 적용할 수 있다.

[변형예]

이상, 본 발명을 상기 실시 형태에 기초하여 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 그 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 변화시키는 것이 가능하고, 예를 들어 다음과 같은 변형도 가능하다.

(1) 상기 실시 형태 1에 있어서는, 제1 층(11)의 노출된 면(113)의 넓은 영역을 절삭하여 오목부(116)를 형성하고, 남은 좁은 영역에서 볼록부(115)를 형성하였지만, 오목부(116) 또는 볼록부(115)가 차지하는 비율, 형상, 그 형성 방법 등은 이것에 한정되지는 않는다.

도 12는 제1 층(11)의 절삭 변형예를 설명하기 위한 도면이다. 도 12에 도시한 바와 같이, 제1 층(11)의 노출된 면(113)의 일부의 좁은 영역을 절삭하여 오목부(116)를 형성하여, 볼록부(115)의 영역이 차지하는 비율이 오목부(116)의 영역이 차지하는 비율보다 커지도록 해도 된다(도 12에 있어서, 절삭 전의 제1 층 면을 부호 111의 점선으로 나타내고, 절삭 후의 면을 부호 112의 실선으로 나타냄) 혹은, 볼록부(115)와 오목부(116)의 영역의 비율이 반반이 되도록 해도 된다. 이와 같이, 볼록부(115)와 오목부(116)의 영역의 비율은 임의로 해도 된다.

이와 같이 하면, 예를 들어 제1 층 외층(11B)이 단단하거나, 절삭성이 반드시 양호하다고는 할 수 없는 경우에, 제1 층 외층(11B)의 절삭량 또는 절삭 영역을 적게 할 수 있는 것, 절삭 효율이 향상되는 것 등이 가능해진다.

또한, 오목부(116) 또는 볼록부(115)의 수나 형상은 임의로 해도 된다. 또한, 볼록부(115)와 오목부(116) 사이의 단차부도, 수직으로 하는 것 대신에 경사를 갖게 해도 된다.

(2) 상기 실시 형태 1에 있어서는, 제1 층(11)을, 제1 층 내층(11A)과 제1 층 외층(11B)의 2층에 의해 구성하고, 제2 층(12)을 단층으로 구성하였지만, 제1 층(11)과 제2 층(12)의 구성은, 이와 같은 구성에 한하지 않는다. 예를 들어, 제1 층(11)과 제2 층을 단층으로 하도록, 제1 층(11)을 단층으로 하고 제2 층을 복층(층수는 임의)으로 하도록, 제1 층(11)을 복층(층수는 임의)으로 하고 제2 층을 단층으로 하도록, 제1 층(11)과 제2 층을 모두 복층(각각의 층수는 임의)으로 하도록 변형해도 된다.

도 13은 반제품관(1)의 제1 층(11) 또는 제2 층(12)의 구성 변형예를 설명하기 위한 도면이지만, 예를 들어 도 13의 (a)에 도시한 바와 같이, 제1 층(11)을 단층으로 구성해도 된다. 이와 같이 하면, 제1 층(11)의 구성을 단순화할 수 있고, 제1 층(11)의 형성이나 반제품관(1)의 제조가 용이해진다.

또한, 도 13의 (b)에 도시한 바와 같이, 제1 층(11)을, 제1 층 내층(11A)과, 제1 층 외층(11B)과, 제1 층 내층(11A)과 제1 층 외층(11B) 사이의 제1 층 중간층(11C)의 3층과 같이 3층 이상에 의해 구성해도 된다. 이와 같이 하면, 예를 들어 제1 층 내층(11A)과 제1 층 외층(11B)의 밀착성이 나쁜 경우, 제1 층 중간층(11C)에 의해 밀착성을 개선하는 것이 가능해진다.

또한, 도 13의 (c)에 도시한 바와 같이, 제2 층(12)을, 제2 층 내층(12A)과 제2 층 외층(12B)과 같이, 2층 이상으로 구성해도 된다. 이와 같이 하면, 예를 들어 단층의 제2 층(12)을, 파지하기 위해 단단하게 하고자 하는 경우에 제2 층 외층(12B)을 단단하게 하는 것, 절삭하기 위해 유연하게 하고자 하는 경우에 제2 층 내층(12A)을 유연하게 하는 것 등이 용이해진다.

(3) 상기 실시 형태 1 내지 16에 있어서는, 선재(3)(코어 선재)로서 스테인리스선을 사용하였지만, 선재(3)는 스테인리스선에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 선재(3)로서, 스테인리스선 대신에 니크롬선 또는 철크롬선을 사용해도 된다.

니크롬선은, 니켈과 크롬을 주체로 하는 합금(니크롬)을 선상으로 한 것이다. 소량의 망간, 철, 탄소, 규소 등을 포함하는 경우가 있다.

철크롬선은, 철에 크롬과 알루미늄을 첨가한 철크롬을 선상으로 한 것이다. 철크롬으로서는, 예를 들어 칸탈(등록 상표)의 이름으로 판매되고 있는 철크롬이 있다.

(4) 지금까지의 설명과 일부 중복되지만, 상기 실시 형태 1 내지 16에 있어서는, 반제품관(1)(제1 반제품관(1), 제2 반제품관(9)) 또는 최종 제품관(2)은, 볼록부(115, 215) 또는 오목부(116)를 갖지 않아도 된다. 즉, 볼록부만 갖는 것, 오목부만 갖는 것, 요철부 양쪽을 갖는 것, 또는 요철부 양쪽을 갖지 않는 것 중 어느 양태로 해도 된다(도 4, 도 6, 도 8, 도 11 등 참조).

1: 반제품관(제1 반제품관)
11: 제1 층
11A: 제1 층 내층
11B: 제1 층 외층
11C: 제1 층 중층
11E: 제1 층의 제2 층과의 인접부
111: 절삭 전의 제1 층 면
112: 절삭 후의 제1 층 면(절삭흔이 있음)
115: 볼록부
116: 오목부
1Y: 척킹 지그로 파지한 개소
1N: 척킹 지그로 파지한 것 이외의 개소
12: 제2 층
12A: 제2 층 내층
12B: 제2 층 외층
12E: 제1 층 근방
121: 절삭 후에도 잔존하는 제2 층의 일부
19: 중공부
2: 최종 제품관
200: 합금층
215: 볼록부
3: 선재(코어 선재)
51: 척킹 지그
52: 절삭 지그
53: 절단 지그
6: 콘택트 프로브
61: 배럴
62: 플런저
63: 스프링
64: 스프링 설치구
7: 반도체 검사 장치
71: 콘택트 프로브 설치구
72: 끼워 맞춤부
73: 배선 도체
8: 반도체 소자
81: 전극
9: 반제품관(제2 반제품관)
D1: 제1 층 외경
D2: 척킹 가능 최소 직경
D3: 제2 층 외경
D19: 선재의 외경(반제품관 또는 최종 제품관의 내경)
9112, 9114: 누름 부재
9118: 충전 부재
9120: 피가공물
9122, 9124: 오목부

Claims

선반에 의한 피절삭으로 최종 제품관으로 하기 위해 사용되는 반제품관이며,
상기 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관 구성용의 제1 층과,
상기 제1 층의 외측에 형성되며, 상기 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층을
구비한 것을 특징으로 하는 반제품관.
제1항에 있어서,
상기 제1 층의 외경은, 상기 최종 제품관의 외경 근방의 외경인 것을 특징으로 하는 반제품관.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 층은 상기 선반의 척킹 지그에 의한 파지가 곤란한 작은 외경을 갖고,
상기 제2 층은 상기 선반의 척킹 지그에 의한 파지가 가능한 큰 외경을 갖는 것을 특징으로 하는 반제품관.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 층은 외경이 0.05㎜ 이상 0.60㎜ 미만이고,
상기 제2 층은 외경이 0.40㎜ 이상 3.00㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 반제품관.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 층은, 적어도 상기 제1 층의 상기 제2 층과의 인접부보다 절삭성이 좋은 것을 특징으로 하는 반제품관.
제5항에 있어서,
상기 제1 층은, 상기 제2 층과의 인접부를 형성하는 제1 층 외층과, 상기 제1 층 외층의 내측에 형성된 제1 층 내층을 갖고,
상기 제1 층 외층은 비커스 경도가 350 내지 550HV의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 반제품관.
제6항에 있어서,
상기 제1 층 내층은, 금, 금 코발트 합금, 팔라듐, 팔라듐 합금 또는 폴리테트라플루오로에틸렌과 니켈의 공석물 중 어느 것으로 이루어지고,
상기 제1 층 외층은, 니켈 코발트 합금, 니켈 망간 합금 또는 순니켈 중 어느 것으로 이루어지고,
상기 제2 층은, 구리, 순니켈 또는 니켈 망간 합금 중 어느 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반제품관.
선반에 의한 피절삭으로 최종 제품관으로 하기 위해 사용되는 반제품관 제조 방법이며,
선재를 준비하는 공정과,
상기 선재의 외주 측에, 상기 선반에 의한 피절삭 후에도 잔존하는 최종 제품관 구성용의 제1 층을 형성하는 공정과,
상기 제1 층의 외주 측에, 상기 선반에 의한 피절삭 대상이 되는 더미용의 제2 층을 형성하는 공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 반제품관 제조 방법.
선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관에 더 가까운 제2 반제품관을 제조하는 반제품관 제조 방법이며,
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 반제품관을 준비하는 공정과,
상기 반제품관을, 상기 제2 층 외측으로부터 파지하는 파지 공정과,
상기 제2 층의 외측으로부터의 절삭에 의해, 상기 제1 층에 오목부 또는 볼록부를 형성하는 절삭 공정과,
상기 파지한 개소와 상기 오목부 또는 볼록부를 형성한 개소가 연결된 상태에서 상기 제2 반제품관으로 하는 공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 반제품관 제조 방법.
소정 개소의 절단에 의해 최종 제품관으로 하기 위해 사용되는 반제품관이며,
최종 제품관 구성용의 제1 층과, 상기 제1 층의 외측에 형성된 더미용의 제2 층이 적층된 더미층 적층 개소와,
오목부 또는 볼록부가 형성된 제1 층 요철 형성 개소를
구비한 것을 특징으로 하는 반제품관.
선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법이며,
제10항에 기재된 반제품관을 준비하는 공정과,
상기 반제품관을, 상기 더미층 적층 개소에서 파지하는 파지 공정과,
상기 제1 층 요철 형성 개소를 상기 더미층 적층 개소 측으로부터 잘라내는 절단 공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 관 제조 방법.
선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법이며,
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 반제품관을 준비하는 공정과,
상기 반제품관을, 상기 제2 층 외측으로부터 파지하는 파지 공정과,
상기 제2 층의 외측으로부터의 절삭에 의해, 상기 제1 층에 오목부 또는 볼록부를 형성하는 절삭 공정과,
상기 반제품관의 소정 개소를 절단하는 절단 공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 관 제조 방법.
제11항 또는 제12항에 있어서,
상기 절삭 공정에서 상기 제2 층을 그 일부가 잔존하도록 절삭하는 것을 특징으로 하는 관 제조 방법.
외경이 0.05㎜ 이상 0.60㎜ 미만이며, 금속제의 외주에 오목부 또는 볼록부를 가짐과 함께 절삭흔이 있는 것을 특징으로 하는 관.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 층과 상기 제2 층은, 상기 반제품관이 가열되면, 상기 제1 층과, 상기 제2 층의 상기 제1 층 근방이 합금화되는 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반제품관.
제15항에 있어서,
상기 제1 층은, 팔라듐 또는 은으로 이루어지고,
상기 제2 층은 구리 또는 철로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반제품관.
제15항 또는 제16항에 있어서,
상기 제1 층의 내측에 형성된 금속의 제3 층과,
상기 제1 층과 상기 제3 층 사이에 형성되는 중간층을 더 구비하고,
상기 중간층은, 가열에 의해, 상기 제3 층의 금속이, 가열로써, 상기 제1 층 및 상기 제2 층의 금속과 합금화되는 것을 방해하는 층인 것을 특징으로 하는 반제품관.
제16항에 있어서,
상기 중간층은 니켈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반제품관.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 층은 합금으로 이루어지고,
상기 제2 층은 외측 방향으로 감에 따라서 상기 합금화의 정도가 낮아지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반제품관.
제8항에 있어서,
상기 제1 층을 형성하는 공정, 및 상기 제2 층을 형성하는 공정에서는,
상기 제1 층 및 상기 제2 층을, 상기 반제품관이 가열되면, 상기 제1 층, 및 상기 제2 층의 상기 제1 층 근방이 합금화되는 금속으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반제품관 제조 방법.
선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법이며,
제15항 내지 제18항 중 어느 한 항에 기재된 반제품관을 준비하는 공정과,
상기 반제품관을, 상기 제2 층 외측으로부터 파지하는 파지 공정과,
상기 제2 층의 외측으로부터의 절삭에 의해, 상기 제2 층을 그 일부가 잔존하도록 절삭하는 절삭 공정과,
상기 반제품관을 가열하여 상기 제1 층, 및 잔존하는 상기 제2 층을 합금화하는 합금화 공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 관 제조 방법.
선반을 사용하여 반제품관으로부터 최종 제품관을 제조하는 관 제조 방법이며,
제15항 내지 제18항 중 어느 한 항에 기재된 반제품관을 준비하는 공정과,
상기 반제품관을 가열하여 상기 제1 층, 및 상기 제2 층의 상기 제1 층 근방을 합금화하는 합금화 공정과,
상기 반제품관을, 상기 제2 층 외측으로부터 파지하는 파지 공정과,
상기 제2 층의 외측으로부터의 절삭에 의해, 상기 제2 층을 상기 제1 층 근방까지 파내려 가서 절삭하는 절삭 공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 관 제조 방법.