KR20230093711A - 계측 자동화 시스템 및 방법 - Google Patents

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wafer
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wafer carrier
sensor
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이대희
이태형
이호현
최연석
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삼성전자주식회사
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Abstract

계측 방법은 관리자 서버에 의해 생성된 계측 명령을 운송 장치로 전송하는 것; 상기 계측 명령에 대응하여 상기 운송 장치가 포함하는 센서 서버가 센싱 레시피를 생성하는 것; 상기 센싱 레시피를 웨이퍼 캐리어에 탑재된 웨이퍼 타입 센서에 전송하는 것; 상기 운송 장치가 웨이퍼 캐리어를 운반함으로써 상기 웨이퍼 타입 센서를 공정 장비로 운송하는 것; 상기 웨이퍼 타입 센서를 상기 공정 장비에 투입하고 계측을 수행하여 계측 데이터를 생성하는 것; 상기 웨이퍼 타입 센서를 상기 웨이퍼 캐리어에 로딩하는 것; 및 상기 웨이퍼 타입 센서가 상기 계측 데이터를 상기 운송 장치로 전송하는 것을 포함한다.

Description

계측 자동화 시스템 및 방법{SYSTEMS AND METHODS FOR MEASUREMENT AUTOMATION}
본 개시의 기술적 사상은 계측 자동화 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 라인에는 다수의 공정 장비들이 배치되며, 공정 장비들에서 다양한 공정이 수행될 수 있다. 반도체 제조 공정 시, 온도 및 압력과 같은 물리량을 모니터링 하기 위해 공정 장비 내에 투입되는 웨이퍼 타입 센서가 사용된다.
본 개시의 기술적 사상의 실시 예들에 따른 과제는 계측 데이터를 실시간으로 취득할 수 있는 계측 자동화 시스템 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 개시의 실시 예들에 따른 계측 방법은 관리자 서버에 의해 생성된 계측 명령을 운송 장치로 전송하는 것; 상기 계측 명령에 대응하여 상기 운송 장치가 포함하는 센서 서버가 센싱 레시피를 생성하는 것; 상기 센싱 레시피를 웨이퍼 캐리어에 탑재된 웨이퍼 타입 센서에 전송하는 것; 상기 운송 장치가 웨이퍼 캐리어를 운반함으로써 상기 웨이퍼 타입 센서를 공정 장비로 운송하는 것; 상기 웨이퍼 타입 센서를 상기 공정 장비에 투입하고 계측을 수행하여 계측 데이터를 생성하는 것; 상기 웨이퍼 타입 센서를 상기 웨이퍼 캐리어에 로딩하는 것; 및 상기 웨이퍼 타입 센서가 상기 계측 데이터를 상기 운송 장치로 전송하는 것을 포함할 수 있다.
본 개시의 실시 예들에 따른 계측 자동화 시스템은 계측 명령을 생성하는 관리자 서버; 물체를 적재할 수 있는 웨이퍼 캐리어; 상기 웨이퍼 캐리어를 탑재하여 운반하는 운송 장치, 상기 운송 장치는 상기 계측 명령에 응답하여 센싱 레시피를 생성하는 센서 서버를 포함하고; 및 상기 웨이퍼 캐리어에 의해 운반되며, 상기 센싱 레시피에 따라 계측을 수행하여 계측 데이터를 생성하는 웨이퍼 타입 센서를 포함할 수 있다. 상기 웨이퍼 타입 센서는 상기 계측 데이터를 상기 운송 장치를 통해 상기 관리자 서버로 전송할 수 있다.
본 개시의 실시 예들에 따르면 운송 장치는 웨이퍼 타입 센서의 계측 데이터를 전송할 수 있으므로, 계측 데이터의 실시간 취득이 가능하다.
도 1은 본 개시의 일 실시 예에 따른 계측 자동화 시스템의 블록 다이어그램이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 운송 장치의 단면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 웨이퍼 타입 센서의 블록 다이어그램이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 계측 방법의 플로우 차트이다.
도 5 내지 도 9는 계측 방법을 설명하기 위해 계측 순서에 따른 웨이퍼 타입 센서를 도시한다.
도 1은 본 개시의 일 실시 예에 따른 계측 자동화 시스템의 블록 다이어그램이다.
도 1을 참조하면, 계측 자동화 시스템(10)은 관리자 서버(100), 운송 장치(200), 웨이퍼 캐리어(300) 및 웨이퍼 타입 센서(400)를 포함할 수 있다.
관리자 서버(100)는 네트워크를 통해 운송 장치(200)와 통신할 수 있다. 네트워크는 단일 네트워크 또는 인트라넷, 인터넷, 다른 네트워크, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 관리자 서버(100)는 네트워크를 통한 통신을 가능하게 하는 네트워크 인터페이스를 포함할 수 있으며, 상기 네트워크 인터페이스는 유선 통신 채널, 무선 통신 채널, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.
관리자 서버(100)는 상기 네트워크를 통해 후술하는 공정 장비와 통신할 수 있다. 예를 들어, 관리자 서버(100)는 공정 장비에 생산 명령을 전송할 수 있다. 상기 생산 명령은 특정한 공정 장비에 특정 공정을 수행하게 할 수 있다. 예를 들어, 생산 명령은 특정한 공정 장비를 식별하기 위한 ID 및 공정 조건을 포함할 수 있다.
관리자 서버(100)는 운송 장치(200)에 생산 명령을 전송할 수 있다. 상기 운송 장치(200)는 특정 공정이 수행될 특정 공정 장비에 웨이퍼 타입 센서(400)를 운송할 수 있다.
관리자 서버(100)는 운송 장치(200)에 계측 명령을 전송할 수 있다. 상기 계측 명령은 웨이퍼 타입 센서(400)가 계측하고자 하는 물리량 및 계측 방법을 포함할 수 있다. 상기 계측하고자 하는 물리량은 예를 들어, 공정 장비 내의 온도, 압력, 가스 농도 및/또는 금속 이온 농도일 수 있다. 계측 방법으로는 특정 시간에서의 물리량을 감지하거나, 또는 일정한 샘플링 레이트로 물리량을 감지하는 방법을 포함할 수 있다.
관리자 서버(100)는 또한 운송 장치(200)로부터 데이터를 수신할 수 있다. 예를 들어, 계측이 완료된 후에 사용자의 요청에 따라 운송 장치(200)로부터 계측 데이터를 선택적으로 수신할 수 있다.
운송 장치(200)는 웨이퍼 캐리어(300)를 운송할 수 있다. 예를 들어, 운송 장치(200)는 웨이퍼 캐리어(300)를 홀딩할 수 있으며, 또는 웨이퍼 캐리어(300)가 운송 장치(200) 상에 또는 그 내부에 적재될 수 있다.
운송 장치(200)는 전원 공급 장치(210), 전원 변환 장치(212), 전력 송신기(214), 통신 장치(220) 및 센서 서버(SS)를 포함할 수 있다. 전원 공급 장치(210)는 전원 변환 장치(212) 및 전력 송신기(214)를 통해 전력을 웨이퍼 캐리어(300)에 공급할 수 있다. 전원 공급 장치(210)는 운송 장치(200) 내부의 배터리 또는 외부의 전원으로부터 전력을 공급받을 수 있다. 전원 공급 장치(210)는 또한 통신 장치(220)에도 전력을 공급할 수 있으며, 운송 장치(200)를 이동시키기 위해 동력을 제공할 수 있다. 전원 변환 장치(212)는 전원 공급 장치(210)로부터 제공받은 전력의 전압 등을 웨이퍼 캐리어(300)에 적합하게 변환할 수 있다. 전력 송신기(214)는 전원 변환 장치(212)로부터 제공받은 전력을 웨이퍼 캐리어(300)에 공급할 수 있다. 전력 송신기(214)는 물리적인 커넥터 또는 무선 송신기일 수 있다.
통신 장치(220)는 관리자 서버(100) 및 웨이퍼 타입 센서(400)와 통신할 수 있다. 상술한 바와 같이, 관리자 서버(100)는 운송 장치(200)에 계측 명령을 전송할 수 있으며, 운송 장치(200)는 상기 계측 명령을 통신 장치(220)를 통해 수신할 수 있다. 통신 장치(220)는 인터넷과 같은 광역 통신망 또는 근거리 통신망을 통해 유선 또는 무선 통신을 구현할 수 있다. 통신 장치(220)는 또한 유선 또는 무선 통신을 통해 센서 서버(SS)와 통신할 수 있다.
센서 서버(SS)는 통신 장치(220)를 통해 계측 명령을 수신할 수 있다. 센서 서버(SS)는 계측 명령에 응답하여 센싱 레시피를 생성할 수 있다. 센싱 레시피는 계측 명령에 의해 지정된 물리량을 계측하기 위한 것으로 웨이퍼 타입 센서(400)가 포함하는 센서 유닛(도면 미도시)과 공정에 맞게 최적화된 조건을 포함할 수 있다. 센서 서버(SS)는 생성한 센싱 레시피를 통신 장치(220)를 통해 웨이퍼 타입 센서(400)에 전송할 수 있다.
웨이퍼 캐리어(300)는 풉(Front Opening Unified Pod; FOUP) 또는 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box; FOSB) 등과 같이 내부에 물체를 적재할 수 있는 적재 장치일 수 있다. 웨이퍼 캐리어(300)는 전력 수신기(310), 센서 충전기(320) 및 배터리(330)를 포함할 수 있으며, 웨이퍼 타입 센서(400)를 적재할 수 있다. 일부 실시 예들에서, 웨이퍼 캐리어(300)는 웨이퍼 타입 센서(400)와 함께 웨이퍼를 적재할 수 있다.
웨이퍼 캐리어(300)는 운송 장치(200)로부터 전력을 공급받고, 웨이퍼 타입 센서(400)에 전력을 공급할 수 있다. 예를 들어, 전력 수신기(310)는 운송 장치(200)의 전력 송신기(214)로부터 전력을 수신할 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 캐리어(300)는 계측이 수행되기 전 또는 후에, 스토커(Stocker), STB(Side Track Buffer) 및 UTB(Under Track Buffer)과 같은 적재 장치에 적재되어 있을 수 있으며, 계측을 위해 운송 장치(200)에 의해 운반될 때 전력 송신기(214)로부터 전력을 수신할 수 있다. 전력 수신기(310)는 물리적인 커넥터 또는 무선 수신기일 수 있다. 전력 수신기(310)는 센서 충전기(320) 및 배터리(330)에 전력을 공급할 수 있다. 센서 충전기(320)는 유선 또는 무선으로 웨이퍼 타입 센서(400)에 전력을 공급할 수 있다. 배터리(330)는 전력 수신기(310)로부터 공급된 전력을 저장하거나, 센서 충전기(320)에 전력을 공급할 수 있다. 예를 들어, 운송 장치(200)로부터 전력을 공급받는 경우, 배터리(330)는 전력을 저장할 수 있으며, 운송 장치(200)로부터 전력을 공급받지 않는 경우 센서 충전기(320)에 저장된 전력을 공급할 수 있다.
웨이퍼 타입 센서(400)는 웨이퍼 캐리어(300)에 의해 운송될 수 있다. 웨이퍼 타입 센서(400)는 웨이퍼와 유사한 형상을 가질 수 있으며, 공정 장비 내부로 반송되어 공정 장비 내부의 물리량을 계측할 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 타입 센서(400)는 운송 장치(200)로부터 센싱 레시피를 수신할 수 있으며, 상기 센싱 레시피에 따라 계측을 수행하여 계측 데이터를 생성할 수 있다. 상술한 바와 같이, 웨이퍼 타입 센서(400)는 웨이퍼 캐리어(300)로부터 전력을 공급받을 수 있다. 웨이퍼 타입 센서(400)는 또한 계측된 데이터를 운송 장치(200)의 통신 장치(220)로 송신할 수 있으며, 센서 서버(SS)는 통신 장치(220)를 통해 계측된 데이터를 수신하여 저장할 수 있다. 센서 서버(SS)에 저장된 계측 데이터는 사용자의 요청에 따라 선택적으로 관리자 서버(100)로 전송될 수 있다.
도 2는 일 실시 예에 따른 운송 장치의 단면도이다.
도 2를 참조하면, 일 실시 예에 따른 운송 장치(200)는 OHT(Overhead Hoist Transport)일 수 있다. 운송 장치(200)는 레일(R)을 따라 움직이며 웨이퍼 캐리어(300)를 운송할 수 있다. 예를 들어, 레일(R)은 공정 장비가 배치된 클린룸의 천장에 설치될 수 있으며, 운송 장치(200)는 공정 장비들 위를 이동할 수 있다.
레일(R)은 반도체 생산 라인 또는 클린룸에 설치된 공정 장비와 인접하게 배치될 수 있으며, 레일(R)은 일 방향으로 연장될 수 있다. 운송 장치(200)는 웨이퍼 캐리어(300)에 탑재된 웨이퍼들을 공정 장비와 인접하게 배치된 로드 포트에 운송할 수 있다.
운송 장치(200)는 주행부(230), 조향 휠(240), 하우징(250), 이동부(260), 승강부(270) 및 파지부(280)를 포함할 수 있다. 주행부(230) 및 조향 휠(240)은 레일(R) 상에 배치될 수 있으며, 주행부(230)는 레일(R)과 접촉한 상태에서 레일(R)을 따라 수평 방향으로 주행할 수 있다. 조향 휠들(240)은 주행부(230)의 측면에 배치될 수 있으며 레일(R)에 의해 지지될 수 있다. 조향 휠들(240)은 레일(R)상에서 회전 운동하여 주행부(230)를 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 주행부(230)의 내부에 설치된 액추에이터는 조향 휠들(240)을 회전시킬 수 있다.
하우징(250), 이동부(260), 승강부(270) 및 파지부(280)는 레일(R)의 아래에 배치될 수 있다. 하우징(250)은 주행부(230)의 아래에 배치될 수 있으며, 주행부(230)에 고정될 수 있다. 하우징(250)의 일부 측면들 및 하면은 개방될 수 있다.
이동부(260), 승강부(270) 및 파지부(280)는 하우징(250)의 내측에 배치될 수 있다. 이동부(260)는 하우징(250)의 내측 상면에 배치될 수 있다. 이동부(260)는 하우징(250)의 개방된 측면을 통해 수평 이동할 수 있다. 승강부(270)는 이동부(260)의 아래에 배치되며 이동부(260)에 고정될 수 있다. 파지부(280)는 승강부(270)의 아래에 배치되며, 벨트, 암(arm) 또는 바(bar)와 같은 승강 기구를 통해 승강부(270)와 연결될 수 있다. 파지부(280)는 웨이퍼 캐리어(300)를 파지할 수 있으며, 승강부(270)에 의해 상하로 이동할 수 있다. 도 2의 운송 장치(200)는 도 1을 참조하여 설명한 운송 장치(200)의 특성을 모두 포함할 수 있다.
일부 실시 예들에서, 상기 운송 장치(200)는 클린룸의 천장이 아닌 바닥에서 이동할 수 있다. 예를 들어, 운송 장치(200)는 그 하부에 바퀴와 같은 구동 장치를 갖는 주행형 로봇일 수 있다. 또는 운송 장치(200)는 2족 보행 로봇 또는 4족 보행 로봇과 같은 보행형 로봇일 수 있다. 상기 주행형 로봇 및 보행형 로봇은 레일을 따라 이동하는 OHT와는 달리 클린룸 내부를 자유롭게 이동할 수 있으며, 관리자 서버(100)에 의해 제어되는 무인 로봇일 수 있다. 또한, 상기 주행형 로봇 및 보행형 로봇은 도 1을 참조하여 설명한 운송 장치(200)의 특징을 모두 포함할 수 있다.
도 3은 일 실시 예에 따른 웨이퍼 타입 센서(400)의 블록 다이어그램이다.
도 3을 참조하면, 웨이퍼 타입 센서(400)는 컨트롤러(410), 저장 장치(420), 통신 장치(430), 센서 유닛(440) 및 배터리(450)를 포함할 수 있다. 저장 장치(420), 통신 장치(430), 센서 유닛(440) 및 배터리(450)는 컨트롤러(410)에 의해 제어될 수 있다. 센서 유닛(440)은 공정 장비 내에서 물리량을 계측할 수 있으며, 센서 유닛(440)에 의해 계측된 데이터는 저장 장치(420)에 저장될 수 있다. 저장 장치(420)는 휘발성 메모리 및 비휘발성 메모리를 포함할 수 있다. 통신 장치(430)는 도 1에 도시된 운송 장치(200)의 통신 장치(220)와 통신할 수 있다. 예를 들어, 계측이 종료된 후, 웨이퍼 타입 센서(400)가 웨이퍼 캐리어(300)에 로딩되고 웨이퍼 캐리어(300)가 운송 장치(200)에 탑재되면, 저장 장치(420)에 저장된 계측 데이터는 통신 장치(430)를 통해 운송 장치(200)로 전송될 수 있다. 계측 데이터는 센서 서버(SS)에 저장되거나, 관리자 서버(100)로 전송될 수 있다. 배터리(450)는 도 1에 도시된 웨이퍼 캐리어(300)의 센서 충전기(320)와 연결될 수 있다.
배터리(450)는 유선 또는 무선으로 센서 충전기(320)로부터 전력을 공급받을 수 있으며, 컨트롤러(410), 저장 장치(420), 통신 장치(430) 및 센서 유닛(440)에 전력을 공급할 수 있다.
도 4는 일 실시 예에 따른 계측 방법의 플로우 차트이다.
도 4를 참조하면, 계측 방법은 운송 장치(200)에 계측 명령을 전송하고(S100), 센싱 레시피를 생성하고(S110), 웨이퍼 타입 센서(400)를 공정 장비로 운송하고(S120), 웨이퍼 타입 센서(400)를 투입 및 계측을 수행하고(S130), 웨이퍼 타입 센서(400)를 웨이퍼 캐리어(300)에 로딩하고(S140), 및 계측 데이터를 관리자 서버(100)로 전송하는 것(S150)을 포함할 수 있다.
도 5 내지 도 9는 계측 방법을 설명하기 위해 계측 순서에 따른 웨이퍼 타입 센서를 도시한다. 실선은 장치들의 물리적 이동을 나타내며, 점선은 데이터 및 명령의 전송을 나타낸다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 관리자 서버(100)는 사용자의 요청에 따라 계측 명령을 운송 장치(200)로 전송할 수 있다(S100). 상기 계측 명령은 웨이퍼 타입 센서(400)가 계측하고자 하는 물리량 및 계측 방법을 포함할 수 있다.
관리자 서버(100)는 또한 운송 장치(200) 및 공정 장비(P)에 생산 명령을 전송할 수 있다. 상기 생산 명령은 특정한 공정 장비(P)에 특정 공정을 수행하게 할 수 있다. 예를 들어, 생산 명령은 특정한 공정 장비(P) 및 웨이퍼 타입 센서(400)를 식별하기 위한 ID 및 공정 조건을 포함할 수 있다.
계측 명령에 대응하여 센싱 레시피가 생성될 수 있다(S110). 예를 들어, 센싱 레시피는 센서 서버(SS)에서 생성될 수 있다. 센싱 레시피는 계측 명령에 의해 지정된 물리량을 계측하기 위해 센서 유닛(440)과 공정에 맞게 최적화된 조건을 포함할 수 있다.
도 6을 참조하면, 운송 장치(200)는 계측 명령에 응답하여 스토커, STB 및 UTB와 같은 적재 장치(L)에 배치된 웨이퍼 캐리어(300)를 탑재할 수 있다. 웨이퍼 캐리어(300)는 웨이퍼 타입 센서(400)를 수용할 수 있다. 운송 장치(200)는 상기 계측 명령에 대응하여 웨이퍼 캐리어들(300) 및 웨이퍼 타입 센서들(400)을 검색하고, 적재 장치(L)로 이동하여, 계측을 수행할 웨이퍼 타입 센서(400)가 수용된 웨이퍼 캐리어(300)를 탑재할 수 있다. 일 실시 예에서, 운송 장치(200)는 웨이퍼 캐리어(300)를 탑재한 후, 유선 통신 또는 무선 통신을 통해 웨이퍼 타입 센서(400)에 상기 센싱 레시피를 전송할 수 있다. 또한 운송 장치(200)는 웨이퍼 캐리어(300)에 전력을 공급할 수 있으며, 웨이퍼 캐리어(300)는 웨이퍼 타입 센서(400)에 전력을 공급할 수 있다. 또는, 일부 실시 예들에서, 운송 장치(200)는 웨이퍼 캐리어(300)를 탑재하기 전에, 무선으로 웨이퍼 타입 센서(400)에 상기 센싱 레시피를 전송할 수 있다.
도 4 및 도 7을 참조하면, 웨이퍼 타입 센서(400)가 공정 장비(P)로 운송될 수 있다(S120). 운송 장치(200)는 계측 명령에 의해 지정된 공정 장비(P)로 웨이퍼 캐리어(300)를 운송할 수 있다.
도 4 및 도 8을 참조하면, 웨이퍼 타입 센서(400)가 공정 장비(P) 내에 투입되고 계측이 수행될 수 있다(S130). 웨이퍼 타입 센서(400)는 상기 센싱 레시피에 따라 특정 물리량을 특정한 방법으로 계측할 수 있다. 계측이 완료된 후, 계측 데이터는 저장 장치(420)에 저장될 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 타입 센서(400)는 센서 유닛(440)을 통해 계측을 수행할 수 있다.
도 4 및 도 9를 참조하면, 웨이퍼 타입 센서(400)는 공정 장비(P)로부터 웨이퍼 캐리어(300)에 로딩될 수 있다(S140). 웨이퍼 캐리어(300)는 웨이퍼 타입 센서(400)에 전력을 공급할 수 있다.
계측 데이터가 관리자 서버(100)로 전송될 수 있다(S150). 예를 들어, 웨이퍼 타입 센서(400)는 저장 장치(420)에 저장된 계측 데이터를 운송 장치(200)에 전송할 수 있다. 상기 계측 데이터는 유선 통신 또는 무선 통신을 통해 운송 장치(200)에 전송될 수 있다. 예를 들어, 근거리 통신망을 사용하여, 웨이퍼 타입 센서(400)의 통신 장치(430)로부터 운송 장치(200)의 통신 장치(220)로 계측 데이터가 전송될 수 있다. 운송 장치(200)는 상기 계측 데이터를 수신하여 센서 서버(SS)에 저장할 수 있다. 일부 실시 예에 있어서, 운송 장치(200)는 사용자의 요청에 따라 계측 데이터의 일부 또는 전부를 관리자 서버(100)에 전송할 수 있다. 이후에, 웨이퍼 캐리어(300)는 운송 장치(200)에 의해 적재 장치(L)로 다시 배치될 수 있다. 즉, 웨이퍼 캐리어(300)가 적재 장치(L)에 배치되기 전에 계측 데이터가 운송 장치(200)를 통해 관리자 서버(100)로 전송될 수 있다. 계측 데이터는, 웨이퍼 캐리어(300)가 운송 장치(200)에 의해 적재되기 전 또는 후에, 운송 장치(200)로 전송될 수 있다. 이와 같이, 계측 데이터는 웨이퍼 캐리어(300)가 적재 장치(L)에 배치되기 전에 관리자 서버(100)로 전송될 수 있으므로, 계측이 완료된 이후에 계측 데이터를 실시간으로 얻을 수 있다. 또한, 계측 데이터는 운송 장치(200)에서 전송될 수 있으므로, 데이터 전송을 위한 별도의 장비 및 상기 장비를 설치하기 위한 공간이 필요하지 않다. 따라서, 반도체 제조 공정의 생산성을 저하시키지 않을 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시에 따른 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 이상에서 기술한 실시 예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해하여야 한다.
10 : 계측 자동화 시스템 SS : 센서 서버
100 : 관리자 서버 200 : 운송 장치
210 : 전원 공급 장치 212 : 전원 변환 장치
214 : 전력 송신기 220 : 통신 장치
300 : 웨이퍼 캐리어 310 : 전력 수신기
320 : 센서 충전기 330 : 배터리
400 : 웨이퍼 타입 센서 410 : 컨트롤러 420 : 저장 장치 430 : 통신 장치
440 : 센서 유닛 450 : 배터리

Claims (10)

  1. 관리자 서버에 의해 생성된 계측 명령을 운송 장치로 전송하는 것;
    상기 계측 명령에 대응하여 상기 운송 장치가 포함하는 센서 서버가 센싱 레시피를 생성하는 것;
    상기 센싱 레시피를 웨이퍼 캐리어에 탑재된 웨이퍼 타입 센서에 전송하는 것;
    상기 운송 장치가 웨이퍼 캐리어를 운반함으로써 상기 웨이퍼 타입 센서를 공정 장비로 운송하는 것;
    상기 웨이퍼 타입 센서를 상기 공정 장비에 투입하고 계측을 수행하여 계측 데이터를 생성하는 것;
    상기 웨이퍼 타입 센서를 상기 웨이퍼 캐리어에 로딩하는 것; 및
    상기 웨이퍼 타입 센서가 상기 계측 데이터를 상기 운송 장치로 전송하는 것을 포함하는, 계측 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 운송 장치는 상기 관리자 서버 및 상기 웨이퍼 타입 센서와 통신하는 통신 장치를 포함하는 계측 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 통신 장치는 상기 관리자 서버로부터 상기 계측 명령을 수신하고, 상기 웨이퍼 타입 센서로부터 상기 계측 데이터를 수신하는 계측 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 계측 데이터를 상기 운송 장치로 전송하기 전에, 상기 계측 데이터는 상기 센서 서버에 저장되는 계측 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 운송 장치는 상기 웨이퍼 캐리어에 전력을 공급하며,
    상기 웨이퍼 캐리어는 상기 웨이퍼 타입 센서에 전력을 공급하는 계측 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport), 주행형 로봇 또는 보행형 로봇인 계측 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 계측이 완료된 후 및 상기 웨이퍼 캐리어가 상기 운송 장치에 의해 적재 장치에 배치되기 전에,
    상기 계측 데이터가 상기 운송 장치로 전송되는 계측 방법.
  8. 계측 명령을 생성하는 관리자 서버;
    물체를 적재할 수 있는 웨이퍼 캐리어;
    상기 웨이퍼 캐리어를 탑재하여 운반하는 운송 장치, 상기 운송 장치는 상기 계측 명령에 응답하여 센싱 레시피를 생성하는 센서 서버를 포함하고; 및
    상기 웨이퍼 캐리어에 의해 운반되며, 상기 센싱 레시피에 따라 계측을 수행하여 계측 데이터를 생성하는 웨이퍼 타입 센서를 포함하며,
    상기 웨이퍼 타입 센서는,
    상기 계측 데이터를 상기 운송 장치를 통해 상기 관리자 서버로 전송하는, 계측 자동화 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 운송 장치는,
    상기 계측 데이터를 수신하여 상기 센서 서버에 저장하는, 계측 자동화 시스템.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 운송 장치는 상기 웨이퍼 캐리어에 전력을 공급하기 위한 전원 공급 장치를 더 포함하며,
    상기 웨이퍼 캐리어는 상기 웨이퍼 타입 센서에 전력을 공급하기 위한 센서 충전기를 포함하는 계측 자동화 시스템.
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