TW201402428A - 搬送系統 - Google Patents

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Abstract

本發明之搬送系統100包括：儲存架20，其設置於半導體製造裝置60、62之附近，且收納被搬送物10；堆高式起重機30，其於儲存架20中進行被搬送物10之搬入及搬出；搬運車40，其搬送被搬送物10；ID標籤讀取器R，其設置於堆高式起重機30，且讀取被搬送物10之ID標籤T；及控制器50，其以於藉由ID標籤讀取器R而取得之識別資訊與包含於被搬送物10之搬送指令中之資訊一致之情形時，將被搬送物10搬送至搬送指令中之搬送目的地之方式控制堆高式起重機30；且儲存架20之至少一部分能夠藉由搬運車40之夾持器44取出及放入被搬送物10。

Description

搬送系統
本發明係關於一種搬送系統。
作為習知之搬送系統，例如已知有專利文獻1所記載者。於專利文獻1所記載之搬送系統中，具備有：搬送車，其搬送安裝有ID標籤之匣盒，並且搭載有識別ID標籤之ID讀取器；及站，其載置匣盒；且藉由安裝於匣盒上之ID標籤管理匣盒之搬送。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2002-179203號公報
如上述專利文獻1所記載之搬送系統，就搬送之準確性及效率之觀點而言，藉由ID標籤而管理匣盒較有效。此處，近年來，於半導體裝置之製造中，處理之高速化不斷進展，且要求半導體製造裝置中之工站時間之縮短，與此同時，要求步驟間之半導體晶圓之搬送時間之進一步改善。又，伴隨著近年來之半導體晶圓之大型化，作為收納其之容器之FOUP(Front Opening Unified Pod(前開式晶圓盒)；匣盒)亦大型化。因此，於半導體製造工廠中，較習知情況更需要收納FOUP之空間，但於有限之空間中確保收納FOUP之空間並不容易。
本發明之目的在於提供一種可確保被搬送物之收納空間，並且可準確且效率良好地搬送被搬送物之搬送系統。
本發明之一態樣之搬送系統係搬送附有可識別為唯一之識別資訊之被搬送物者，其特徵在於具備有：儲存架，其設置於半導體製造裝置之附近，且收納被搬送物；堆高式起重機，其將被搬送物搬入至儲存架中，並且自儲存架搬出被搬送物；高架搬送車，其沿設置於天花板部之軌道移行，且使夾持被搬送物之夾持器升降而搬送被搬送物；識別資訊取得手段，其設置於堆高式起重機，用以取得附於被搬送物上之識別資訊；及控制手段，其以於藉由識別資訊取得手段而取得之識別資訊與包含於被搬送物之搬送指令中之識別資訊一致之情形時，將被搬送物搬送至搬送指令中之搬送目的地之方式控制堆高式起重機；且儲存架之至少一部分可藉由高架搬送車之夾持器進行被搬送物之取出及放入。
於該搬送系統中，於半導體製造裝置之附近設置有收納被搬送物之儲存架。藉此，可確保收納被搬送物之空間。又，於搬送系統中，由於將儲存架配置於半導體製造裝置之附近，故而可迅速地進行儲存架與負載埠之間之被搬送物之移載。又，於搬送系統中，儲存架之至少一部分能夠進行利用高架搬送車之夾持器之被搬送物之取出及放入。如此，於搬送系統中，藉由使高架搬送車為可於儲存架中存取之構成，而可使儲存架發揮作為用以於堆高式起重機與高架搬送車之間交換被搬送物之埠之功能。藉此，於搬送系統中，可有效地實施被搬送物之搬送。進而，於搬送系統中，以於附於被搬送物上之識別資訊與包含於搬送指令中之識別資訊一致之情形時，將被搬送物搬 送至搬送指令中之搬送目的地之方式控制堆高式起重機。藉此，於搬送系統中，可將被搬送物準確地搬送至既定之搬送目的地。如上所述，於搬送系統中，可確保被搬送物之收納空間，並且可準確且效率良好地搬送被搬送物。
於一實施形態中，亦可能夠於半導體製造裝置之負載埠中，可藉由堆高式起重機及高架搬送車進行被搬送物之搬入及搬出。藉此，於搬送系統中，可藉由高架搬送車直接對負載埠進行被搬送物之搬入及搬出。因此，於搬送系統中，可謀求縮短為了將被搬送物傳送至堆高式起重機而暫時保管被搬送物之時間，且亦可縮短利用堆高式起重機之移載之時間，因此，可迅速地搬送被搬送物。又，於搬送系統中，亦可謀求被搬送物之移載自由度之提昇。因此，於搬送系統中，可謀求被搬送物之搬送效率之進一步提昇。
根據本發明，可確保被搬送物之收納空間，並且可準確且效率良好地搬送被搬送物。
10‧‧‧被搬送物
10a‧‧‧被搬送物10之上表面
10b‧‧‧凸緣部
10c‧‧‧被搬送物10之側面(後表面)
10d‧‧‧被搬送物10之前表面
20‧‧‧儲存架
22‧‧‧載置部
24‧‧‧銷
30‧‧‧堆高式起重機
32‧‧‧移行台車
34‧‧‧支柱裝置
36‧‧‧升降台
38‧‧‧移載裝置
39‧‧‧水平多關節型機械臂
39a‧‧‧基端側臂
39b‧‧‧前端側臂
39c‧‧‧移載臂
40‧‧‧搬運車(高架搬送車)
44‧‧‧夾持器
46‧‧‧傳送帶
50‧‧‧控制器(控制手段)
60、62‧‧‧半導體製造裝置
64、66‧‧‧負載埠
100‧‧‧搬送系統
110‧‧‧MES
120‧‧‧MCS
R‧‧‧ID標籤讀取器(識別資訊取得手段)
R1‧‧‧軌道
R2‧‧‧移行軌道
T‧‧‧ID標籤(識別資訊)
圖1係自上方觀察一實施形態之搬送系統之圖。
圖2係表示圖1所示之搬送系統之立體圖。
圖3係表示搬送系統之系統構成之方塊圖。
圖4係表示搬送系統之動作之流程圖。
以下，參照隨附圖式，對較佳之實施形態詳細地進行說明。再者，於圖式之說明中，對相同或相當要素附加相同符號，並省 略重複之說明。
圖1係自上方觀察一實施形態之搬送系統之圖。圖2係表示圖1所示之搬送系統之立體圖。圖3係表示搬送系統之系統構成之方塊圖。
圖1~圖3所示之搬送系統100設置於用以製造半導體裝置之無塵室中。搬送系統100包括收納被搬送物10之儲存架20、堆高式起重機30、搬運車(高架搬送車)40、及控制器(控制手段)50。於無塵室中配置有半導體製造裝置60、62。於半導體製造裝置60、62中分別設置有用以對該半導體製造裝置60、62搬入及搬出被搬送物10之負載埠64、66。
又，搬送系統100包括MES(Manufacturing Execution System；製造執行系統)110、及MCS(Material Control System；物料控制系統)120。MCS110係基於半導體製造排程製成被搬送物10之搬送排程，並基於該搬送排程將搬送指令送出至連接有堆高式起重機30及搬運車40之控制器50從而進行指示之搬送指示裝置。MCS110如圖3所示係如下系統：設置於控制器50等步驟間搬送設備與MES120之間，且具有將來自MES120之各種指示適時傳達至控制器50，總結來自該控制器50之報告並傳達至MES120之功能。再者，MES120係總括工廠現場之各種資訊進行管理之綜合生產資訊系統，且進行MCS110及半導體製造裝置60、62之資訊管理。
被搬送物10係收容有複數片半導體晶圓之匣盒(所謂FOUP(Front Opening Unified Pod))。於被搬送物10之上表面10a，設置有藉由下述之搬運車40之夾持器44而保持之凸緣部10b。又，於被搬送物10之側面(後表面)10c中安裝有用以取出及放入半導體晶圓之裝 卸自如之蓋(未圖示)。
於被搬送物10中附有可識別為唯一之識別資訊。於本實施形態中，於被搬送物10中安裝有附有識別資訊之ID標籤T。ID標籤T配置於被搬送物10之前表面10d(與安裝有蓋之側面10c相反側之面)。再者，附於被搬送物10上之識別資訊不僅為ID標籤T，亦可為例如條碼等。
儲存架20係暫時收納被搬送物10之物架。儲存架20配置於半導體製造裝置60、62之附近。於本實施形態中，儲存架20隔著半導體製造裝置60、62之負載埠64、66配置。於儲存架20中，載置被搬送物10之載置部22於高度方向上設置有複數行(此處為3行)。於載置部22中，設置有自其上表面向上方突出之銷24。銷24與設置於被搬送物10之底面之定位孔(未圖示)卡合。藉由該銷24於儲存架20中定位被搬送物10。再者，於載置部22中，於被搬送物10之底面下方設置有供堆高式起重機30之移載臂39c(下述)插入之間隙。
儲存架20之上部為開放。即，儲存架20之至少一部分可藉由搬運車40之夾持器44進行被搬送物10之取出及放入。於儲存架20中，被搬送物10以其前表面10d朝向堆高式起重機30側之方式被載置。藉此，被搬送物10係安裝於前表面10d之ID標籤T朝向堆高式起重機30側而配置於載置部22。儲存架20係根據半導體製造裝置60、62之設置位置或台數、及無塵室之構造而適當設定設置數量或設置位置。又，儲存架20可懸掛於天花板上，亦可於地板上插入支持構件等而固定。
堆高式起重機30構成為包含：移行台車32，其沿軌道R1於無塵室內移動；2個支柱裝置34，其立設於該移行台車32上； 升降台36，其設置為能夠相對於支柱裝置34於上下方向移動；移載裝置38，其設置於升降台36上；及ID標籤讀取器(識別資訊取得手段，參照圖1)R。又，堆高式起重機30雖未圖示，但包括設置於升降台36上之轉盤等。
堆高式起重機30沿鋪設於無塵室內之軌道R1直線移動。軌道R1於對向配置之半導體製造裝置60、62之間，沿正交於該對向方向之方向鋪設。即，堆高式起重機30設置為能夠沿大致正交於半導體製造裝置60、62之對向方向之方向移動。再者，此處所謂對向，無需使半導體製造裝置60、62完全相對，只要為空開既定之間隔而配置之狀態即可。
移載裝置38具有水平多關節型機械臂(scara arm)39。水平多關節型機械臂39包含基端側臂39a、前端側臂39b、及移載臂39c。移載臂39c之上表面構成載置被搬送物10之載置面。水平多關節型機械臂39之移載臂39c於正交於移行台車32之移動方向之方向(取出及放入被搬送物10之方向)上直線移動。
ID標籤讀取器R係讀取被搬送物10之ID標籤T，並取得識別資訊之手段。ID標籤讀取器R例如設置於移載裝置38上，且於搬送收納於儲存架20中之被搬送物10之前(移載至負載埠之前)讀取安裝於被搬送物10上之ID標籤T而取得識別資訊。ID標籤讀取器R將所取得之識別資訊輸出至控制器50。再者，ID標籤讀取器R之安裝位置只要為可讀取被搬送物10之ID標籤T之位置則並無特別限定。
堆高式起重機30以如下方式動作。即，堆高式起重機30於既定之儲存架20之前停止，且藉由移載臂39c將收納於儲存架20中之既定之被搬送物10取出。繼而，堆高式起重機30藉由移行台 車32沿軌道R1移動，並將被搬送物10移載至例如半導體製造裝置60之負載埠64中。又，堆高式起重機30例如於半導體製造裝置62之負載埠66之前停止，並藉由移載臂39c將載置於負載埠66中之被搬送物10搬出。繼而，堆高式起重機30藉由移行台車32沿軌道R1移動至搬送目的地(例如儲存架20)，且移載被搬送物10。
又，堆高式起重機30設置為能夠藉由轉盤而旋轉。因此，堆高式起重機30係藉由利用轉盤適當改變方向，而使水平多關節型機械臂39朝向半導體製造裝置60側及半導體製造裝置62側之任一側移動。藉此，堆高式起重機30相對於對向配置之半導體製造裝置60、62之負載埠64、66之各者進行被搬送物10之搬入及搬出。利用此一堆高式起重機30所進行被搬送物10之搬送動作係由控制器50控制。
再者，於圖1中，僅圖示有1台堆高式起重機30，但堆高式起重機30可於軌道R1上設置1台，亦可設置複數台。
搬運車40為OHT(Overhead Hoist Transport；高架搬送車)，且沿自天花板部懸掛之移行軌道(軌道)R2搬送被搬送物10。移行軌道R2設置於無塵室之天花板上，且配置於半導體製造裝置60、62之負載埠64、66之上方。
搬運車40具有夾持器44。夾持器44藉由夾持凸緣部10b而保持被搬送物10。夾持器44藉由升降部(未圖示)同步陸續送出複數條傳送帶46，藉此自既定之位置下降。又，夾持器44藉由升降部而同步捲取複數條傳送帶46，藉此上升至既定之位置。
搬運車40以如下方式動作。即，搬運車40自搬送起始位置(例如被搬送物之保管庫)搬送被搬送物10，且例如於半導體製造 裝置60之負載埠64之上方停止，使搬送來之被搬送物10下降，而載置於負載埠64上。又，搬運車40自搬送起始位置搬送被搬送物10，且於既定之儲存架20之上方停止，使搬送來之被搬送物10下降，將被搬送物10載置於儲存架20之既定之位置。
又，搬運車40例如於半導體製造裝置62之負載埠66之上方停止，以由夾持器44夾持、保持載置於該負載埠66中之被搬送物10之狀態使其上升而將被搬送物10搬送至既定之搬送目的地。又，搬運車40例如於儲存架20之上方停止，以由夾持器44夾持、保持收納於該儲存架20中之被搬送物10之狀態使其上升而將被搬送物10搬送至既定之搬送目的地。
控制器50控制堆高式起重機30及搬運車40。控制器50能夠與設置於堆高式起重機30上之ID標籤讀取器R通信。控制器50接收自堆高式起重機30之ID標籤讀取器R輸出之識別資訊、及自MCS110輸出之搬送指令，並判斷識別資訊與包含於搬送指令中之識別資訊是否一致。於搬送指令中至少包含確定為被搬送物10之識別資訊、及表示該被搬送物10之搬送目的地之搬送目的地資訊。
控制器50以於被搬送物10之識別資訊與搬送指令之識別資訊一致之情形時，將被搬送物10搬送至包含於搬送指令中之搬送目的地資訊所表示之搬送目的地之方式控制堆高式起重機30。藉此，堆高式起重機30根據搬送指令將被搬送物10移載至既定之搬送目的地。又，控制器50以於被搬送物10之識別資訊與搬送指令之識別資訊不一致之情形時，將被搬送物10搬送至與搬送指令中之搬送目的地不同之場所(例如暫時保管被搬送物10之物架)之方式控制堆高式起重機30。
繼而，一面參照圖4一面對搬送系統100之動作進行說明。圖4係表示搬送系統之動作之流程圖。再者，以下以將收納於儲存架10中之被搬送物10搬送至半導體製造裝置60之負載埠64之情況為一例進行說明。
如圖4所示，藉由基於搬送指令之控制器50之控制，堆高式起重機30移動至儲存架20之既定之被搬送物10之前(步驟S01)。其次，藉由堆高式起重機30之移載裝置38之移載臂39c將被搬送物10自儲存架20取出(步驟S02)。此時，藉由ID標籤讀取器R讀取被搬送物10之ID標籤T(步驟S03)。
繼而，控制器50判斷藉由ID標籤讀取器R而讀取之ID標籤T之識別資訊與包含於搬送指令中之識別資訊是否一致(步驟S04)。於判斷為ID標籤T之識別資訊與包含於搬送指令中之識別資訊一致之情形時，藉由控制器50之控制，堆高式起重機30將被搬送物10搬送至負載埠64(步驟S05)。另一方面，於判斷為ID標籤T之識別資訊與包含於搬送指令中之識別資訊不一致之情形時，藉由控制器50之控制，堆高式起重機30將被搬送物10搬送至既定之其他搬送目的地(步驟S06)。
如以上所說明般，於本實施形態中，於半導體製造裝置60、62之附近配置有儲存架20。藉由該儲存架20可確保收納被搬送物10之空間。又，由於將儲存架20配置於半導體製造裝置60、62之附近，故而可迅速地進行儲存架20與負載埠64、66之間之被搬送物10之移載。
又，於本實施形態中，控制器50以如下方式控制堆高式起重機30：藉由堆高式起重機30之ID標籤讀取器R讀取收納於儲 存架20中之被搬送物10之ID標籤T，於所讀取之識別資訊與包含於搬送指令中之識別資訊一致之情形時，將該被搬送物10搬送至搬送指令所表示之搬送目的地。如此，於本實施形態中，於控制堆高式起重機30之控制器50中可識別被搬送物10，因此，與習知之系統相比可謀求處理速度之提昇，習知之系統係例如於負載埠中取得被搬送物10之識別資訊，並將該識別資訊輸出至MES110，且藉由MES110識別被搬送物10。因此，可迅速且準確地將被搬送物10搬送至搬送目的地。又，由於ID標籤讀取器R設置於堆高式起重機30中，故而無需於儲存架20或負載埠64、66中設置ID標籤讀取器，可謀求構成之簡化並且可謀求成本之降低。
又，於本實施形態中，搬運車40於負載埠64、66中直接搬入及搬出被搬送物10。例如於搬送必需緊急處理之緊急批量用被搬送物10之情形時，於習知情況下，係藉由搬運車40將該被搬送物10搬送並載置於既定之埠中，之後藉由堆高式起重機30將該被搬送物10搬入至既定之負載埠中。因此，於被搬送物10之搬送中無論如何均花費時間。
與此相對，於本實施形態中，可不經由堆高式起重機30而藉由搬運車40直接將被搬送物10搬入及搬出負載埠64、66，因此，縮短暫時保管被搬送物10之時間或利用堆高式起重機30之移載時間。因此，可縮短被搬送物10之搬送時間，且可迅速地搬送被搬送物10。又，可謀求被搬送物10之搬送之自由度之提昇。如上所述，於本實施形態中，可謀求被搬送物10之搬送效率之提昇。
又，於本實施形態中，儲存架20之上部為開放。藉此，搬運車40於儲存架20中，可進行被搬送物10之取出及放入。因此， 可使儲存架20發揮作為用以於堆高式起重機30與搬運車40之間交換被搬送物10之埠之功能。藉此，可更有效地實施被搬送物10之搬送。
就其他觀點而言，本實施形態係一種搬送系統，其搬送附有可識別為唯一之識別資訊之被搬送物，其具備有：儲存架，其設置於半導體製造裝置之附近，且收納被搬送物；堆高式起重機，其將被搬送物搬入至儲存架，並且自儲存架搬出被搬送物；高架搬送車，其沿設置於天花板部之軌道移行，且使夾持被搬送物之夾持器升降從而搬送搬送物；ID標籤讀取器，其設置於堆高式起重機，並取得附於被搬送物上之識別資訊；及控制器，其以於藉由ID標籤讀取器取得之識別資訊與包含於被搬送物之搬送指令中之識別資訊一致之情形時，將被搬送物搬送至搬送指令中之搬送目的地之方式控制堆高式起重機；且儲存架之至少一部分可藉由高架搬送車進行上述夾持器之被搬送物之取出及放入。
本發明並不限於上述實施形態。例如，於上述實施形態中，雖然已對配置有2台半導體製造裝置60、62之構成作為一例進行說明，但半導體製造裝置之設置數量等只要根據半導體製造工廠之設計適當設定即可。又，亦可設置有暫時保管被搬送物10之製程區間倉儲系統(inter-bay stocker)。堆高式起重機30及搬運車40能夠出入於製程區間倉儲系統中。
10‧‧‧被搬送物
10a‧‧‧被搬送物10之上表面
10b‧‧‧凸緣部
10c‧‧‧被搬送物10之側面(後表面)
10d‧‧‧被搬送物10之前表面
20‧‧‧儲存架
30‧‧‧堆高式起重機
32‧‧‧移行台車
34‧‧‧支柱裝置
36‧‧‧升降台
38‧‧‧移載裝置
39‧‧‧水平多關節型機械臂
39a‧‧‧基端側臂
39b‧‧‧前端側臂
39c‧‧‧移載臂
40‧‧‧搬運車
60、62‧‧‧半導體製造裝置
64、66‧‧‧負載埠
100‧‧‧搬送系統
R‧‧‧ID標籤讀取器(識別資訊取得手段)
R1‧‧‧軌道
R2‧‧‧移行軌道

Claims (2)

  1. 一種搬送系統，其係搬送附有可識別為唯一之識別資訊之被搬送物者，其特徵在於，其具備有：儲存架，其設置於半導體製造裝置之附近，且收納上述被搬送物；堆高式起重機，其將上述被搬送物搬入至上述儲存架，並且自上述儲存架搬出上述被搬送物；高架搬送車，其沿設置於天花板部之軌道移行，且使夾持上述被搬送物之夾持器升降而搬送上述被搬送物；識別資訊取得手段，其設置於上述堆高式起重機，用以取得附於上述被搬送物上之上述識別資訊；及控制手段，其係以於藉由上述識別資訊取得手段所取得之上述識別資訊與包含於上述被搬送物之搬送指令中之識別資訊一致之情形時，將上述被搬送物搬送至上述搬送指令中之搬送目的地之方式控制上述堆高式起重機；上述儲存架之至少一部分可藉由上述高架搬送車之上述夾持器進行上述被搬送物之取出及放入。
  2. 如申請專利範圍第1項之搬送系統，其中，於上述半導體製造裝置之負載埠中，可藉由上述堆高式起重機及上述高架搬送車進行上述被搬送物之搬入及搬出。
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