KR20230050443A - 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법 - Google Patents

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Abstract

혼입하고 있는 플루오로카본을 제거하여 고순도의 옥타플루오로시클로부탄을 얻을 수 있는 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법을 제공한다. 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법은, 옥타플루오로시클로부탄과 불순물인 플루오로카본을 함유하는 조제 옥타플루오로시클로부탄에 산소 가스 또는 공기를 혼합하여 산소 가스 또는 공기의 농도가 1체적% 이상 90체적% 이하인 혼합 가스로 하고, 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물을 함유하고 또한 플루오로카본을 분해하는 불순물 분해제에, 혼합 가스를 100℃ 이상 500℃ 이하의 온도 하에서 접촉시켜 플루오로카본을 분해하는 분해 공정과, 분해 공정에서 플루오로카본을 분해한 혼합 가스로부터 산소 가스 또는 공기를 함유하는 가스(단, 옥타플루오로시클로부탄을 제외함)를 제거하여, 옥타플루오로시클로부탄의 농도를 높이는 농축 공정을 구비한다.

Description

옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법
본 발명은 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법에 관한 것이다.
옥타플루오로시클로부탄(FC-C318)은 비점이 -5.8℃인 무색의 기체이며, 에칭 가스, 클리닝 가스 등의 반도체 재료 가스로서 바람직하게 사용가능하다. 최근, 전자 기기의 고성능화에 수반하여, 에칭 등에 의한 회로 패턴의 형성을 의해 고정밀도로 행하기 위해서, 불순물이 극력 제거된 고순도의 에칭 가스가 요구되고 있다.
옥타플루오로시클로부탄의 제조 방법으로서는, 예를 들면 테트라플루오르에틸렌 또는 헥사플루오로프로펜을 제조할 때에 부생물로서 생성한 옥타플루오로시클로부탄을 정제하는 방법을 들 수 있다. 정제 전의 옥타플루오로시클로부탄에는, 통상은 산소 가스, 질소 가스, 이산화탄소, 수증기 등의 불순물이 혼재하고 있지만, 그것들의 불순물의 대부분은 증류에 의해 제거할 수 있다.
일본국 특허 공개 공보 2001년 제190959호 일본국 특허 공개 공보 2002년 제212118호
정제 전의 옥타플루오로시클로부탄에는, 퍼플루오로부탄(FC-3110, 비점 -2℃), 데카플루오로이소부탄(FC-i3110, 비점 0℃), 퍼플루오로시클로부텐(FC-C316, 비점 5℃), 헥사플루오로부타디엔(FC-316, 비점 6℃) 등의 플루오로카본도 불순물로서 더 혼재하고 있다. 이들의 플루오로카본은 옥타플루오로시클로부탄과 비점이 가깝기 때문에, 이들의 플루오로카본의 농도를 1질량ppm 미만으로까지 저하시킨 고순도의 옥타플루오로시클로부탄을 증류에 의해 얻는 것은 매우 곤란했다. 특히 퍼플루오로부탄과 데카플루오로이소부탄은, 물리적 성질 및 분자경이 옥타플루오로시클로부탄과 가깝기 때문에, 분자체나 흡착제를 사용해도 분리는 곤란했다. 또한, 본 발명에 있어서는, 플루오로카본이란, 탄소-불소 결합을 갖는 유기 화합물 중 옥타플루오로시클로부탄 이외의 것을 의미한다.
특허문헌 1에는, 분해용 반응제를 사용하여 플루오로카본을 분해하는 기술이 개시되어 있다. 그렇지만, 상기의 옥타플루오로시클로부탄의 정제에 대하여 특허문헌 1에 개시된 기술을 적용한 경우에는, 플루오로카본과 함께 옥타플루오로시클로부탄도 분해되어 버릴 우려가 있었다.
또한, 특허문헌 2에는, 플루오로카본을 불순물로서 함유하는 조 옥타플루오로시클로부탄을, 산화철 및 알칼리 토류 금속 화합물로 이루어지는 불순물 분해제에 가열 하에서 접촉시킴으로써 플루오로카본을 분해하고, 조 옥타플루오로시클로부탄으로부터 플루오로카본을 제거하는 기술이 개시되어 있다. 그렇지만, 특허문헌 2에 개시의 기술에서는, 퍼플루오로부탄이나 데카플루오로이소부탄을 충분히 제거할 수 없을 우려가 있었다.
본 발명은, 혼입하고 있는 플루오로카본을 제거하여 고순도의 옥타플루오로시클로부탄을 얻을 수 있는 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일형태는 이하의 [1]∼[7]과 같다.
[1] 옥타플루오로시클로부탄과 불순물인 플루오로카본을 함유하는 조제 옥타플루오로시클로부탄으로부터 상기 플루오로카본을 제거하는 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법으로서,
상기 조제 옥타플루오로시클로부탄에 산소 가스 또는 공기를 혼합하여 상기 산소 가스 또는 공기의 농도가 1체적% 이상 90체적% 이하인 혼합 가스로 하고, 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물을 함유하고 또한 상기 플루오로카본을 분해하는 불순물 분해제에, 상기 혼합 가스를 100℃ 이상 500℃ 이하의 온도 하에서 접촉시켜 상기 플루오로카본을 분해하는 분해 공정과,
상기 분해 공정에서 상기 플루오로카본을 분해한 상기 혼합 가스로부터 상기 산소 가스 또는 공기를 함유하는 가스(단, 옥타플루오로시클로부탄을 제외함)를 제거하여, 상기 옥타플루오로시클로부탄의 농도를 높이는 농축 공정을 구비하는 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
[2] 상기 알칼리 토류 금속 화합물이 마그네슘, 칼슘, 스트론튬 및 바륨 중 적어도 1종의 탄산염이며, 상기 알루미나와 상기 알칼리 토류 금속 화합물의 질량비가 1:9∼1:1인 [1]에 기재된 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
[3] 상기 불순물 분해제가 구리, 주석, 니켈, 코발트, 크롬, 몰리브덴, 텅스텐 및 바나듐 중 적어도 1종의 산화물을 더 함유하고, 상기 산화물의 합계량과 상기 알루미나 및 상기 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량의 질량비가 1:99∼5:95인 [1] 또는 [2]에 기재된 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
[4] 상기 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 상기 플루오로카본의 농도가 1질량ppm 이상 10000질량ppm 이하인 [1]∼[3] 중 어느 하나에 기재된 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
[5] 상기 플루오로카본이 퍼플루오로부탄, 데카플루오로이소부탄, 퍼플루오로시클로부텐, 헥사플루오로부타디엔, 테트라플루오로메탄, 헥사플루오로에탄, 헥사플루오로프로펜, 옥타플루오로프로판, 옥타플루오로시클로펜텐 및 플루오로포름 중 적어도 1종인 [1]∼[4] 중 어느 하나에 기재된 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
[6] 상기 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 상기 옥타플루오로시클로부탄의 농도는 10체적% 이상인 [1]∼[5] 중 어느 하나에 기재된 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
[7] 상기 농축 공정에 있어서는, 증류법 및 막 분리법 중 적어도 일방에 의해, 상기 산소 가스 또는 공기를 함유하는 가스(단, 옥타플루오로시클로부탄을 제외함)를 제거하는 [1]∼[6] 중 어느 하나에 기재된 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
본 발명에 의하면, 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 플루오로카본을 제거하여 고순도의 옥타플루오로시클로부탄을 얻을 수 있다.
도 1은 실시예 1 등에서 사용한 정제 처리 장치의 모식도이다.
도 2는 실시예 20에서 사용한 정제 처리 장치의 모식도이다.
본 발명의 일실시형태에 대해서 이하에 설명한다. 또한, 본 실시형태는 본 발명의 일례를 나타낸 것으로서, 본 발명은 본 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 실시형태에는 여러가지 변경 또는 개량을 추가하는 것이 가능하며, 그와 같은 변경 또는 개량을 추가한 형태도 본 발명에 포함될 수 있다.
환상 구조를 갖는 옥타플루오로시클로부탄(C4F8)은, 화학적 안정성이 비교적 높다. 본 발명자들은, 옥타플루오로시클로부탄의 화학적 안정성을 이용하여, 혼입하고 있는 플루오로카본을 제거하여 고순도의 옥타플루오로시클로부탄을 얻는 것이 가능한 것을 발견하고, 본 발명을 완성하는데 이르렀다.
즉, 본 발명의 일실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법은, 옥타플루오로시클로부탄과 불순물인 플루오로카본을 함유하는 조제 옥타플루오로시클로부탄으로부터 플루오로카본을 제거하는 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법으로서, 플루오로카본을 분해하는 분해 공정과, 옥타플루오로시클로부탄의 농도를 향상시키는 농축 공정을 구비한다.
분해 공정은, 조제 옥타플루오로시클로부탄에 산소 가스(O2) 또는 공기를 혼합하여, 산소 가스 또는 공기의 농도가 1체적% 이상 90체적% 이하인 혼합 가스로 한 후에, 플루오로카본을 분해하는 불순물 분해제에, 혼합 가스를 100℃ 이상 500℃ 이하의 온도 하에서 접촉시켜 플루오로카본을 분해하는 공정이다. 이 불순물 분해제는 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물을 함유한다.
농축 공정은, 분해 공정에서 플루오로카본을 분해한 혼합 가스로부터 산소 가스 또는 공기를 함유하는 가스(단, 옥타플루오로시클로부탄을 제외함)를 제거하여, 옥타플루오로시클로부탄의 농도를 향상시키는 공정이다.
옥타플루오로시클로부탄에는 플루오로카본이 불순물로서 혼입되어 있는 경우가 있지만, 옥타플루오로시클로부탄과 플루오로카본을 함유하는 조제 옥타플루오로시클로부탄을 본 실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법에 의해 정제하면, 불순물 분해제에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 분해를 억제하면서 플루오로카본을 선택적으로 분해할 수 있으므로, 고순도의 옥타플루오로시클로부탄(이하, 「정제 옥타플루오로시클로부탄」이라고 기재하는 경우도 있음)을 얻을 수 있다.
예를 들면, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율을 1질량% 이하로 억제하면서, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 플루오로카본의 농도를 1질량ppm 미만으로 저감할 수 있다. 즉, 정제 옥타플루오로시클로부탄의 순도를 99.999질량% 이상으로 할 수 있다. 특히, 증류법, 흡착법 등과 같은 종래의 정제 방법에서는 충분히 제거하는 것이 곤란했던 퍼플루오로부탄(C4F10)이나 데카플루오로이소부탄(C4F10) 등을, 효과적으로 제거하는 것이 가능하다. 또한, 옥타플루오로시클로부탄의 순도는 열전도도형 검출기(TCD), 수소염 이온화형 검출기(FID)를 검출기로서 사용한 가스 크로마토그래피에 의해 분석할 수 있다.
본 실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법에 의해 얻어진 고순도의 옥타플루오로시클로부탄은, 예를 들면 반도체 제조 공정에 있어서 사용되는 에칭 가스, 클리닝 가스 등으로서 유용하다.
본 실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법에 대해서, 이하에 더욱 상세하게 설명한다.
〔조제 옥타플루오로시클로부탄〕
본 실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법을 적용할 수 있는 조제 옥타플루오로시클로부탄은, 플루오로카본을 불순물로서 함유하는 것이면 특별히 한정되는 것은 아니고, 공지의 방법으로 제조된 옥타플루오로시클로부탄이나 시판의 옥타플루오로시클로부탄에 대하여, 본 실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법을 적용할 수 있다.
단, 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 플루오로카본의 농도는, 1질량ppm 이상 10000질량ppm 이하인 것이 바람직하고, 1질량ppm 이상 1000질량ppm 이하인 것이 보다 바람직하고, 1질량ppm 이상 100질량ppm 이하인 것이 더욱 바람직하다. 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 플루오로카본의 농도가 상기 범위 내이면, 옥타플루오로시클로부탄의 분해가 보다 생기기 어려운 온도로 플루오로카본을 분해할 수 있다.
또한, 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 옥타플루오로시클로부탄의 농도는, 10체적% 이상인 것이 바람직하고, 20체적% 이상인 것이 보다 바람직하고, 50체적% 이상인 것이 더욱 바람직하다. 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 옥타플루오로시클로부탄의 농도가 상기 범위 내이면, 반응열이 억제된다는 효과가 나타난다. 또한, 조제 옥타플루오로시클로부탄이 함유하는 성분 중 옥타플루오로시클로부탄 및 플루오로카본 이외의 성분으로서는, 예를 들면 산소 가스, 질소 가스(N2)를 들 수 있다.
〔플루오로카본〕
조제 옥타플루오로시클로부탄에 불순물로서 함유되는 플루오로카본은, 탄소-불소 결합을 갖는 유기 화합물 중 옥타플루오로시클로부탄 이외의 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법은, 하기의 플루오로카본의 제거에 특별히 바람직하다.
즉, 퍼플루오로부탄, 데카플루오로이소부탄, 퍼플루오로시클로부텐(C4F6), 헥사플루오로부타디엔(C4F6), 테트라플루오로메탄(FC-14, CF4), 헥사플루오로에탄(FC-116, C2F6), 헥사플루오로프로펜(FC-216, C3F6), 옥타플루오로프로판(FC-218, C3F8), 옥타플루오로시클로펜텐(FC-418, C5F8), 및 플루오로포름(HFC-23, CHF3)이다.
조제 옥타플루오로시클로부탄에 함유되는 플루오로카본은, 1종류이어도 좋고, 2종류 이상이어도 좋다.
〔불순물 분해제〕
본 실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법에 있어서 사용되는 불순물 분해제는, 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물을 함유한다. 불순물 분해제가 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물을 함유함으로써, 옥타플루오로시클로부탄의 분해가 억제되면서 플루오로카본이 선택적 또한 효율적으로 분해된다.
알루미나의 종류는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 가스의 흡착량을 많게 하기 위해서는, 50㎡/g 이상의 비표면적을 갖는 것이 바람직하고, 100㎡/g 이상 300㎡/g 이하의 비표면적을 갖는 것이 보다 바람직하다.
또한, 알루미나는 분체상인 것이 바람직하고, 다른 물질과 균일하게 혼합하기 위해서는, 알루미나 입자의 평균 입경은 0.1㎛ 초과 100㎛ 이하인 것이 바람직하고, 상한값에 대해서는 30㎛ 이하인 것이 보다 바람직하고, 5㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서의 평균 입경이란, 체적 분포에 있어서의 d50값으로서, 빈도 곡선 하의 면적을 이등분하는 중간값에 상당하고, 레이저 회절에 의한 입경 측정에 의해 얻을 수 있다.
또한, 알루미나에 불순물로서 함유되는 알칼리 금속(예를 들면, 나트륨, 칼륨)의 함유량은, 플루오로카본과의 반응성을 확보하기 위해서는 0.1질량% 이하인 것이 바람직하고, 0.01질량% 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.001질량% 이하인 것이 더욱 바람직하다.
알칼리 토류 금속 화합물의 종류는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 마그네슘, 칼슘, 스트론튬 및 바륨 중 적어도 1종의 탄산염인 것이 바람직하고, 칼슘의 탄산염인 것이 보다 바람직하다.
알칼리 토류 금속 화합물이 탄산칼슘(CaCO3)인 경우는, 플루오로카본의 분해에 의해 생성한 불소 가스가 탄산칼슘과 반응하여 불화 칼슘(CaF2)으로서 고정되므로, 알루미나의 불소화가 억제된다. 그 결과, 알루미나의 플루오로카본을 분해하는 성능(활성)이 유지되기 쉽다.
또한, 알칼리 토류 금속 화합물은 분체상인 것이 바람직하고, 다른 물질과 균일하게 혼합하기 위해서는, 알칼리 토류 금속 화합물 입자의 평균 입경은 1㎛ 이상 100㎛ 이하인 것이 바람직하고, 상한값에 대해서는 30㎛ 이하인 것이 보다 바람직하고, 5㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하다.
또한, 알칼리 토류 금속 화합물에 불순물로서 함유되는 알칼리 금속(예를 들면, 나트륨, 칼륨)의 함유량은, 플루오로카본과의 반응성을 확보하기 위해서는 0.1질량% 이하인 것이 바람직하고, 0.01질량% 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.001질량% 이하인 것이 더욱 바람직하다.
불순물 분해제에 있어서의 알칼리 토류 금속 화합물의 양은, 알루미나의 양과 동량 또는 알루미나의 양보다 다량으로 할 수 있고, 알루미나와 알칼리 토류 금속 화합물의 질량비는 1:9∼1:1로 하는 것이 바람직하고, 1:4∼2:3으로 하는 것이 보다 바람직하다. 알루미나와 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량에 대한 알루미나의 양의 비율이 10질량% 이상이면, 촉매의 활성점이 많아지기 때문에, 플루오로카본을 분해하는 성능이 보다 높아진다. 또한, 알루미나와 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량에 대한 알루미나의 양의 비율이 50질량% 이하이면, 알칼리 토류 금속 화합물의 양이 50질량% 이상이 되기 때문에, 불순물 분해제의 유효한 이용 계수가 높아진다.
본 실시형태에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법에 있어서 사용되는 불순물 분해제는, 소망에 의해 구리, 주석, 니켈, 코발트, 크롬, 몰리브덴, 텅스텐 및 바나듐 중 적어도 1종의 산화물을 더 함유해도 좋다. 이들의 금속 산화물 중에서는, 산화구리(Cu2O, CuO), 산화주석(SnO, SnO2), 산화바나듐(V2O5)이 보다 바람직하고, 산화구리, 산화주석이 더욱 바람직하다.
불순물 분해제가 상기 산화물을 갖고 있으면, 상기 산화물이 조촉매로서 기능하기 때문에, 불순물 분해제의 플루오로카본을 분해하는 능력이 향상된다. 또한, 플루오로카본의 분해에 의해 생성하는 일산화탄소가 이산화탄소에 산화되기 때문에, 일산화탄소의 생성량을 저감할 수 있다.
또한, 상기 산화물은 분체상인 것이 바람직하고, 다른 물질과 균일하게 혼합하기 위해서는, 산화물 입자의 평균 입경은 1㎛ 이상 100㎛ 이하인 것이 바람직하고, 상한값에 대해서는 30㎛ 이하인 것이 보다 바람직하고, 5㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하다.
또한, 상기 산화물에 불순물로서 함유되는 알칼리 금속(예를 들면, 나트륨, 칼륨)의 함유량은, 플루오로카본과의 반응성을 확보하기 위해서는 0.1질량% 이하인 것이 바람직하고, 0.01질량% 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.001질량% 이하인 것이 더욱 바람직하다.
불순물 분해제가 상기 산화물을 함유하는 경우는, 상기 산화물의 합계량은 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량과 비교하여 소량이어도 좋고, 불순물 분해제가 함유하는 상기 산화물의 합계량과 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량의 질량비는 1:99∼5:95로 하는 것이 바람직하다.
상기 산화물과 알루미나와 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량에 대한 상기 산화물의 양의 비율이 1질량% 이상이면, 상기 산화물의 첨가 효과가 충분히 나타난다. 또한, 상기 산화물과 알루미나와 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량에 대한 상기 산화물의 양의 비율을 5질량% 초과로서도 상기 산화물의 첨가 효과는 포화하고, 또한 5질량% 이하이면, 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량이 95질량% 이상이 되기 때문에, 불순물 분해제의 유효한 이용 계수가 높아진다.
불순물 분해제의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 분상, 입자상, 펠릿상, 구상 등인 것이 바람직하다. 그리고, 이러한 형상의 불순물 분해제의 평균 입경은, 0.5㎜ 이상 10㎜ 이하로 하는 것이 바람직하고, 1㎜ 이상 5㎜ 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 평균 입경이 상기 범위 내이면, 혼합 가스의 흡착 확산에 관여하는 표면적이 적당한 크기가 되기 때문에, 정제하는 혼합 가스의 확산 속도가 바람직하게 되기 쉽다.
이어서, 불순물 분해제의 제조 방법에 대해서, 일례를 들어 설명한다. 불순물 분해제의 제조 방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 알루미나의 분말과 알칼리 토류 금속 화합물의 분말을 혼합함으로써 제조할 수 있다. 상기 양 분말을 혼합할 때는, 결착제를 첨가함으로써 양 분말의 평균 입경이 상이해도 조립하는 것이 용이하게 된다. 결착제의 종류는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 미분상 알루미나, 명반이 바람직하다.
미분상 알루미나를 결착제로서 첨가하면, 알루미나의 분말과 알칼리 토류 금속 화합물의 분말의 균일 전착성이 개선됨과 아울러, 알칼리 토류 금속 화합물의 분말이 조립되기 쉬워진다. 결착제로서의 미분상 알루미나의 평균 입경은 0.1㎛ 이하인 것이 바람직하고, 0.05㎛ 이하인 것이 보다 바람직하다.
또한, 명반은 분체상인 것이 바람직하고, 그 평균 입경은 0.1㎛ 이하인 것이 바람직하다. 또한, 명반에 불순물로서 함유되는 알칼리 금속(예를 들면, 나트륨, 칼륨)의 함유량은 알루미나의 표면 상의 반응성 부위의 수의 감소를 억제하고, 불순물 분해제의 플루오로카본을 분해하는 능력의 저하를 억제하기 위해서는 0.1질량% 이하인 것이 바람직하고, 0.01질량% 이하인 것이 보다 바람직하다.
알루미나의 분말과 알칼리 토류 금속 화합물의 분말을 혼합하여 불순물 분해제를 제조할 때는, 우선 상기 양 분말에 물을 첨가하여 날화한 후에 분쇄하고 조립하여, 입자상물을 얻는다. 이어서, 예를 들면 질소 등의 불활성 가스 중 또는 공기 중에 있어서 입자상물을 100℃ 이상 200℃ 이하의 온도에서 건조하여, 입자상물로부터 물을 제거한다. 그리고, 건조시킨 입자상물을 소성하여, 입자상의 불순물 분해제를 얻는다.
소성에 의해 경도가 향상하므로, 입자상의 불순물 분해제를 반응기에 장전하는 등의 조작을 행할 때에, 입자상의 불순물 분해제가 파쇄, 분쇄하는 것이 억제된다.
소성의 온도는 400℃ 이상 1000℃ 이하로 하는 것이 바람직하고, 400℃ 이상 700℃ 이하로 하는 것이 보다 바람직하고, 500℃ 이상 700℃ 이하로 하는 것이 더욱 바람직하다. 이러한 온도에서의 소성에 의해, 알루미나는 의사 베이마이트 알루미나가 된다. 이 온도 범위 내이면, 알칼리 토류 금속 화합물의 분해나 불순물 분해제의 활성의 저하가 생기기 어렵다.
〔분해 공정〕
분해 공정에 있어서는, 우선 조제 옥타플루오로시클로부탄에 산소 가스 또는 공기를 혼합하여 혼합 가스로 한다. 이 때, 혼합 가스 중의 산소 가스 또는 공기의 농도는 1체적% 이상 90체적% 이하, 바람직하게는 10체적% 이상 90체적% 이하로 한다.
조제 옥타플루오로시클로부탄 중에 불순물로서 함유되는 플루오로카본이 퍼플루오로부탄으로서, 불순물 분해제 중의 알칼리 토류 금속 화합물이 탄산칼슘인 경우의 분해 반응식은 이하와 같다. 단, 이산화탄소 이외에 일산화탄소도 생성되는 경우가 있지만, 상술과 같이 일산화탄소는 상기의 산화물의 존재에 의해 이산화탄소로 전화된다. 또한, 이 반응으로 발생하는 이산화탄소 가스는 후의 농축 공정에서 제거되고, 불화칼슘은 고형 침전물로서 제거된다.
5CaCO3 + C4F10 + (3/2)O2 → 5CaF2 + 9CO2
그리고, 탄산칼슘 이외의 마그네슘, 스트론튬 또는 바륨의 탄산염을 알칼리 토류 금속 화합물로서 사용한 경우나, 퍼플루오로부탄 이외의 플루오로카본을 분해한 경우도, 마찬가지로 금속 불소화물과 이산화탄소 등이 생성하는 반응이 일어난다. 또한, 플루오로카본이 수소원자를 갖는 경우는 수증기(H2O)가 생성되고, 염소원자를 갖는 경우는 금속 염화물의 고형 침전물이 생성된다. 이 반응에 따른 양의 산소 가스는 필요하지만, 불순물의 플루오로카본의 함유량이 1000질량ppm 정도 이하이면, 혼합 가스 중의 산소 가스 또는 공기의 농도는 1체적% 이상이어도 좋다.
혼합 가스 중의 산소 가스 또는 공기의 농도를 1체적% 이상으로 하면, 플루오로카본이 분해할 때의 반응열이 과도하게 커지지 않고, 또한 불순물 분해제의 활성이 충분히 높아지기 때문에, 플루오로카본을 충분히 분해할 수 있다. 또한, 90체적% 이하로 하면, 혼합 가스 중의 조제 옥타플루오로시클로부탄의 농도가 높아지므로, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 효율적으로 행할 수 있다. 혼합 가스 중의 산소 가스 또는 공기의 농도가 90체적%를 초과하면, 옥타플루오로시클로부탄의 분해가 일어나기 쉬워지기 때문에 바람직하지 않다.
이어서, 100℃ 이상 500℃ 이하의 온도 하에서 혼합 가스를 불순물 분해제에 접촉시켜 플루오로카본을 분해한다. 혼합 가스를 불순물 분해제에 접촉시킬 때의 온도를 100℃ 이상으로 하면, 불순물 분해제의 활성이 충분히 높아지기 때문에, 플루오로카본을 충분히 분해할 수 있다. 또한, 500℃ 이하로 하면, 불순물 분해제에 의한 옥타플루오로시클로부탄의 분해가 억제된다. 혼합 가스를 불순물 분해제에 접촉시킬 때의 온도는 100℃ 이상 500℃ 이하로 할 필요가 있지만, 250℃ 이상 500℃ 이하로 하는 것이 바람직하다.
혼합 가스를 불순물 분해제에 접촉시킬 때의 압력 조건은 특별히 한정되는 것은 아니고, 대기압 조건 하, 가압 조건 하, 감압 조건 하 중 어느 것이어도 좋지만, -0.1MPaG 이상 0.3MPaG 이하로 하는 것이 바람직하고, 0MPaG 이상 0.2MPaG 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 0.3MPaG 이하이면, 옥타플루오로시클로부탄의 액화가 생기기 어렵다.
조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제 처리 속도는 불순물 분해제에 접촉하는 혼합 가스의 공간 속도로 나타낼 수 있다. 불순물 분해제에 접촉하는 혼합 가스의 공간 속도는, 1h-1 이상 300h-1 이하로 하는 것이 바람직하고, 10h-1 이상 150h-1 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 상기 범위 내이면, 플루오로카본을 효율 좋게 분해할 수 있음과 아울러, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 플루오로카본의 농도를 1질량ppm 미만으로 저감하는 것이 보다 용이하게 된다.
혼합 가스를 불순물 분해제에 접촉시키는 방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 불순물 분해제를 충전한 반응기에 조제 옥타플루오로시클로부탄을 공급하는 방법 등을 들 수 있다. 예를 들면, 불순물 분해제를 구비하는 고정상에 혼합 가스를 연속적으로 유통시키는 방법을 채용할 수 있다.
〔농축 공정〕
농축 공정은, 분해 공정에서 플루오로카본을 분해한 혼합 가스로부터 산소 가스 또는 공기를 함유하는 가스(단, 옥타플루오로시클로부탄을 제외함)를 제거하여, 옥타플루오로시클로부탄의 농도를 향상시키는 공정이다.
분해 공정에서 플루오로카본을 분해한 혼합 가스에는, 질소 가스, 산소 가스, 이산화탄소가 함유되어 있으며, 경우에 따라서는 수증기 등도 함유되어 있으므로, 농축 공정에 있어서 이들을 제거하여 옥타플루오로시클로부탄의 농도를 높임으로써, 예를 들면 순도 99.999질량% 이상의 정제 옥타플루오로시클로부탄을 얻는다.
질소 가스, 산소 가스, 이산화탄소 등을 제거하는 방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 증류법, 막 분리법을 채용할 수 있다.
증류법에 있어서의 증류 조건의 일례를 들면, 저비컷 증류탑의 온도는 -80℃ 이상 70℃ 이하, 운전 압력은 -0.1MPaG 이상 1.0MPaG 이하이다.
막 분리법에 있어서 사용하는 분리막의 종류는 질소 가스, 산소 가스, 이산화탄소 등이 투과하기 쉽고, 또한 옥타플루오로시클로부탄이 투과하기 어려운(보다 바람직하게는 옥타플루오로시클로부탄이 거의 투과할 수 없는) 막이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 방향족 폴리이미드, 실리콘 공중사, 다공질 탄소섬유로 형성된 막이 바람직하다.
막 분리법에 있어서의 분리시의 환경 온도는 0℃ 이상 100℃ 이하로 하는 것이 바람직하고, 20℃ 이상 80℃ 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 0℃ 이상으로 하면, 옥타플루오로시클로부탄의 증기압이 높으므로, 옥타플루오로시클로부탄의 농축 속도가 빨라진다. 또한, 100℃ 이하로 하면, 분리막의 열화가 생기기 어렵다.
분해 공정에서 플루오로카본을 분해한 혼합 가스를 분리막에 공급할 때의 압력은 0MPaG 이상 1MPaG 이하로 하는 것이 바람직하고, 0MPaG 이상 0.5MPaG 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 1MPaG 이하로 하면, 옥타플루오로시클로부탄의 액화를 막기 위해서 고온으로 할 필요가 없으므로, 분리막의 열화가 생기기 어렵다.
실시예
이하에 실시예 및 비교예를 나타내어, 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.
〔실시예 1〕
막 분리법에 의해 농축 공정을 행하는 도 1의 정제 처리 장치를 사용하여, 옥타플루오로시클로부탄과 불순물인 퍼플루오로부탄으로 이루어지는 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 또한, 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 퍼플루오로부탄의 농도는 100질량ppm이다.
우선, 실시예 1에 있어서 사용하는 불순물 분해제에 대해서 설명한다. 알루미나(평균 입경 5㎛) 30질량부와 탄산칼슘 70질량부와 산화구리 5질량부와 미분상 알루미나(평균 입경 0.1㎛) 0.1질량부를, 합계 30g이 되도록 조합하여 헨셀 믹서로 혼합했다. 거기에 물 10mL을 첨가하여 조립한 후에 110℃에서 3시간 건조하고, 체질을 더 행하여, 입경 0.85∼2.8㎜의 입자상의 불순물 분해제(7)를 얻었다.
이어서, 도 1의 정제 처리 장치의 구성과, 도 1의 정제 처리 장치를 사용한 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법에 대해서 설명한다.
도 1의 정제 처리 장치는, 조제 옥타플루오로시클로부탄이 충전된 조제 옥타플루오로시클로부탄 용기(1)와, 공기가 충전된 공기 용기(2)와, 불순물 분해제(7)가 수용된 관상의 반응기(6)와, 반응기(6)를 가열하는 가열 장치(8)와, 분리막(도시하지 않음)을 구비한 막분리 장치(11)를 구비하고 있다.
반응기(6)는 내경 38㎜, 길이 1000㎜의 석영관이며, 350g의 불순물 분해제(7)가 수용되어 있다. 그리고, 불순물 분해제(7)는 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제에 사용하기 전에, 반응기(6) 내에 있어서 소성된다. 즉, 반응기(6)에 질소 가스를 흘리면서, 350℃에서 12시간, 계속해서 600℃에서 3시간 가열하여 불순물 분해제(7)의 소성을 행했다. 또한, 질소 가스는 반응기(6)의 상측으로부터 도입하고, 하측으로부터 배기했다(도시하지 않음).
조제 옥타플루오로시클로부탄 용기(1) 내의 조제 옥타플루오로시클로부탄은, 매스 플로우 컨트롤러 등에 의해 유량을 제어하면서, 조제 옥타플루오로시클로부탄용 배관(3)을 통해서 혼합 가스 공급용 배관(5)에 공급했다. 또한, 공기 용기(2) 내의 공기는 매스 플로우 컨트롤러 등에 의해 유량을 제어하면서, 공기용 배관(4)을 통해서 혼합 가스 공급용 배관(5)에 공급했다. 이것에 의해, 조제 옥타플루오로시클로부탄과 공기를 혼합 가스 공급용 배관(5) 내에서 혼합하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄과 공기의 체적비가 50/50인 혼합 가스(혼합 가스 중의 공기의 농도는 50체적%이며, 표 1에는 체적비와 농도를 병기하고 있음)로 했다.
이 혼합 가스를, 혼합 가스 공급용 배관(5)을 통해서 반응기(6)에 공급하고, 가열 장치(8)에 의해 400℃로 제어된 불순물 분해제(7)에 접촉시켰다. 반응기(6) 내의 압력은 상압(0MPaG)으로 했다. 또한, 혼합 가스의 공간 속도는 15Hh-1, 선 속도는 0.074m/min, 체류 시간은 4분간으로 했다. 이것에 의해, 조제 옥타플루오로시클로부탄에 함유되어 있는 퍼플루오로부탄을 분해시켰다(분해 공정).
이어서, 퍼플루오로부탄이 분해된 혼합 가스를, 분해 가스용 배관(9)을 통해서 막분리 장치(11)에 공급하고, 실온에서 튜브상의 분리막(도시하지 않음)으로 유통시켰다. 이 분리막은 방향족 폴리이미드제이며, 길이는 1m이다. 분리막의 투과측을 진공 펌프(14)에 의해 -0.1MPaG로 감압하면, 옥타플루오로시클로부탄 이외의 성분(질소 가스, 산소 가스 등)이 분리막을 투과하여 투과측 배관(13)으로 유출했다.
그리고, 옥타플루오로시클로부탄은 분리막을 투과하지 않고, 비투과측 배관(12)으로 유출했다. 비투과측 배관(12)으로부터 유출된 옥타플루오로시클로부탄 중의 퍼플루오로부탄의 농도를 가스 크로마토그래피에 의해 측정한 바, 0.1질량ppm 미만이었다. 또한, 정제 중에 분해한 옥타플루오로시클로부탄의 비율(분해율)을, 가스 크로마토그래피에 의해 측정한 바, 1질량% 미만이었다. 또한, 정제 중에 분해한 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은, 이하의 식에 의해 구했다.
분해율(%) = 100 × {(정제 공정 전의 옥타플루오로시클로부탄의 몰량) - (정제 공정 후의 옥타플루오로시클로부탄의 몰량)} / (정제 공정 전의 옥타플루오로시클로부탄의 몰량)
Figure pct00001
〔실시예 2∼8 및 비교예 1, 2〕
불순물 분해제 중의 알루미나/탄산칼슘의 질량비, 조제 옥타플루오로시클로부탄과 공기의 체적비, 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 퍼플루오로부탄의 농도, 및 분해 온도를 표 1에 기재한 대로 한 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 결과(정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 퍼플루오로부탄의 농도, 및 옥타플루오로시클로부탄의 분해율)를 표 1에 나타낸다.
〔실시예 9〕
공기 대신에 산소 가스를 조제 옥타플루오로시클로부탄에 혼합하여 혼합 가스로 한 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 결과(정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 퍼플루오로부탄의 농도, 및 옥타플루오로시클로부탄의 분해율)를 표 2에 나타낸다.
〔실시예 10〕
공기 대신에 산소 가스를 조제 옥타플루오로시클로부탄에 혼합하여 혼합 가스로 한 점 이외에는, 실시예 4와 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 결과(정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 퍼플루오로부탄의 농도, 및 옥타플루오로시클로부탄의 분해율)를 표 2에 나타낸다.
Figure pct00002
〔실시예 11〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 데카플루오로이소부탄인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 데카플루오로이소부탄의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 12〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 퍼플루오로시클로부텐인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 퍼플루오로시클로부텐의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 13〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 헥사플루오로 부타디엔인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 헥사플루오로 부타디엔의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 14〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 테트라플루오로 메탄인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 테트라플루오로 메탄의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 15〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 헥사플루오로 에탄인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 헥사플루오로 에탄의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 16〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 헥사플루오로프로펜인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 헥사플루오로프로펜의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 17〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 옥타플루오로 프로판인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 옥타플루오로 프로판의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 18〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 옥타플루오로 시클로펜텐인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 옥타플루오로 시클로펜텐의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 19〕
조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 불순물인 플루오로카본이 플루오로포름인 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 그 결과, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 플루오로포름의 농도는 0.1질량ppm 미만이며, 옥타플루오로시클로부탄의 분해율은 1질량% 미만이었다.
〔실시예 20〕
막 분리법에 의한 농축 공정 대신에 증류법에 의한 농축 공정을 실시한 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 결과(정제 옥타플루오로시클로부탄의 순도)를 표 3에 나타낸다.
실시예 20의 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제는, 증류법에 의해 농축 공정을 행하는 도 2의 정제 처리 장치를 사용하여 행했다. 도 2의 정제 처리 장치의 구성과, 도 2의 정제 처리 장치를 사용한 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법에 대해서, 이하에 설명한다. 또한, 도 2의 정제 처리 장치의 구성은, 농축 공정을 실시하는 부분 이외의 부분에 대해서는 도 1의 정제 처리 장치의 구성과 같으므로, 같은 부분의 설명은 생략한다. 또한, 도 2에 있어서는, 도 1의 정제 처리 장치와 같은 부분에 대해서는 도 1과 같은 부호를 부여하고 있다.
우선, 실시예 1과 마찬가지로 하여 분해 공정을 행하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄에 함유되어 있는 퍼플루오로부탄을 분해시켰다. 그리고, 퍼플루오로부탄이 분해된 혼합 가스를, 분해 가스용 배관(9)을 통해서 증류탑(21)에 공급하여 증류를 행했다. 증류탑(21)의 직경은 100㎜이며, 단수는 10단이다. 또한, 증류탑(21)에 충전된 충전물은 Matsui Machine Ltd.제의 CASCADE MINI-RINGS(등록상표) No.0P이며, 충전 높이는 2m이다. 증류의 조건은, 충전물의 온도 1℃, 운전 압력 0.05MPaG, 컷율 5질량%이다.
상기 조건으로 증류를 행하면, 탑정부에 접속된 저비측 배관(22)에 저비 성분이 유출되고, 탑저부에 접속된 고비측 배관(23)에 고비 성분이 유출되었다. 고비측 배관(23)으로부터 나온 고비 성분은 정제 옥타플루오로시클로부탄이며, 정제 옥타플루오로시클로부탄 중의 퍼플루오로부탄의 농도를 가스 크로마토그래피에 의해 측정한 바, 0.1질량ppm 미만이었다. 즉, 정제 옥타플루오로시클로부탄의 순도는 99.999질량%이었다.
Figure pct00003
〔비교예 3〕
막 분리법에 의한 농축 공정을 실시하지 않는 점 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 조제 옥타플루오로시클로부탄의 정제를 행했다. 결과(정제 옥타플루오로시클로부탄의 순도)를 표 3에 나타낸다.
1···조제 옥타플루오로시클로부탄 용기
2···공기 용기
6···반응기
7···불순물 분해제
11···막 분리 장치
21···증류탑

Claims (7)

  1. 옥타플루오로시클로부탄과 불순물인 플루오로카본을 함유하는 조제 옥타플루오로시클로부탄으로부터 상기 플루오로카본을 제거하는 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법으로서,
    상기 조제 옥타플루오로시클로부탄에 산소 가스 또는 공기를 혼합하여 상기 산소 가스 또는 공기의 농도가 1체적% 이상 90체적% 이하인 혼합 가스로 하고, 알루미나 및 알칼리 토류 금속 화합물을 함유하고 또한 상기 플루오로카본을 분해하는 불순물 분해제에, 상기 혼합 가스를 100℃ 이상 500℃ 이하의 온도 하에서 접촉시켜 상기 플루오로카본을 분해하는 분해 공정과,
    상기 분해 공정에서 상기 플루오로카본을 분해한 상기 혼합 가스로부터 상기 산소 가스 또는 공기를 함유하는 가스(단, 옥타플루오로시클로부탄을 제외함)를 제거하여, 상기 옥타플루오로시클로부탄의 농도를 높이는 농축 공정을 구비하는 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 알칼리 토류 금속 화합물이 마그네슘, 칼슘, 스트론튬 및 바륨 중 적어도 1종의 탄산염이며, 상기 알루미나와 상기 알칼리 토류 금속 화합물의 질량비가 1:9∼1:1인 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 불순물 분해제가 구리, 주석, 니켈, 코발트, 크롬, 몰리브덴, 텅스텐 및 바나듐 중 적어도 1종의 산화물을 더 함유하고, 상기 산화물의 합계량과 상기 알루미나 및 상기 알칼리 토류 금속 화합물의 합계량의 질량비가 1:99∼5:95인 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 상기 플루오로카본의 농도가 1질량ppm 이상 10000질량ppm 이하인 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플루오로카본이 퍼플루오로부탄, 데카플루오로이소부탄, 퍼플루오로시클로부텐, 헥사플루오로부타디엔, 테트라플루오로메탄, 헥사플루오로에탄, 헥사플루오로프로펜, 옥타플루오로프로판, 옥타플루오로시클로펜텐 및 플루오로포름 중 적어도 1종인 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 조제 옥타플루오로시클로부탄 중의 상기 옥타플루오로시클로부탄의 농도는 10체적% 이상인 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 농축 공정에 있어서는, 증류법 및 막 분리법 중 적어도 일방에 의해, 상기 산소 가스 또는 공기를 함유하는 가스(단, 옥타플루오로시클로부탄을 제외함)를 제거하는 옥타플루오로시클로부탄의 정제 방법.
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