KR20230036530A

KR20230036530A - 처리 장치

Info

Publication number: KR20230036530A
Application number: KR1020220110421A
Authority: KR
Inventors: 요시노리 카키누마
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2021-09-07
Filing date: 2022-09-01
Publication date: 2023-03-14
Also published as: DE102022209028A1; TW202312320A; JP2023038864A; CN115775752A; US20230076401A1

Abstract

(과제) 새로운 청소 유닛을 추가하지 않고, 척 테이블의 유지면을 이물의 부착으로부터 보호할 수 있는 처리 장치를 제공하는 것이다.
(해결 과제) 처리 장치는, 판형물을 유지면으로 유지하는 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 판형물을 처리하는 처리 유닛과, 척 테이블에 판형물을 반입출하는 반송 유닛과, 척 테이블, 처리 유닛 및 반송 유닛을 제어하는 제어 유닛을 포함한다. 제어 유닛은, 척 테이블의 유지면에 판형물이 재치되어 있지 않은 동안에, 유지면 또는 유지면의 주위에 형성된 분사구로부터 기체를 분출하여 유지면의 표면에 기체의 보호층을 형성하여 이물의 부착을 방지한다.

Description

처리 장치{PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 판형물을 처리하는 처리 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼나 수지 패키지 기판, 세라믹스 기판 등 각종 판형물을 개개의 칩으로 분할하거나, 연삭하여 박화하는 경우, 판형물의 표면을 보호하기 위해 수지제의 다이싱 테이프나 시트를 판형물에 접착하거나, 액상 수지로 형성하는 수지의 보호층을 형성한다. 그 때에, 판형물은 척 테이블의 유지면에 유지된 상태로 시트가 노출된 면에 압박되어 접착되지만, 척 테이블의 유지면에 이물(異物)이 부착되어 있으면, 판형물의 표면에 이물이 부착되거나, 압박되었을 때에 판형물이 파손되거나 할 우려가 있다. 그 때문에, 척 테이블의 유지면을 정기적으로 청소하는 청소 유닛을 배치하는 것이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2008-147505호

그러나, 청소 유닛을 배치하는 경우, 청소 유닛의 설치 비용이나 청소 유닛 자체의 청소도 필요하게 되어 버린다는 문제가 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은, 새로운 청소 유닛을 추가하지 않고, 척 테이블의 유지면을 이물의 부착으로부터 보호할 수 있는 처리 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 처리 장치로서, 판형물을 유지면으로 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 상기 판형물을 처리하는 처리 유닛과, 상기 척 테이블에 상기 판형물을 반입출하는 반송 유닛과, 상기 척 테이블, 상기 처리 유닛 및 상기 반송 유닛을 제어하는 제어 유닛을 구비하고, 상기 제어 유닛은, 상기 척 테이블의 상기 유지면에 상기 판형물이 재치되어 있지 않은 동안에, 상기 유지면 또는 상기 유지면의 주위에 형성된 분사구로부터 기체를 분출하여 상기 유지면의 표면에 상기 기체의 보호층을 형성하여 이물의 부착을 방지하는 처리 장치가 제공된다.

바람직하게는, 상기 처리 유닛은, 상기 척 테이블에 유지된 판형물에 시트를 접착하는 시트 접착 유닛이다.

본 발명은, 새로운 청소 유닛을 추가하지 않고, 척 테이블의 유지면을 이물의 부착으로부터 보호할 수 있다.

도 1은, 제1 실시형태에 관한 처리 장치의 구성예를 도시하는 단면도이다.
도 2는, 도 1의 처리 장치의 주요부를 도시하는 단면도이다.
도 3은, 도 1의 처리 장치의 주요부를 도시하는 단면도이다.
도 4는, 제2 실시형태에 관한 처리 장치의 주요부를 도시하는 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 다양한 생략, 치환 또는 변경을 행할 수 있다.

(제1 실시형태)

본 발명의 제1 실시형태에 따른 처리 장치(1)를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은, 제1 실시형태에 따른 처리 장치(1)의 구성예를 도시하는 단면도이다. 도 2 및 도 3은, 도 1의 처리 장치(1)의 주요부를 도시하는 단면도이다. 처리 장치(1)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 척 테이블(10)과, 처리 유닛(20)과, 반송 유닛(30)과, 제어 유닛(40)을 구비한다.

제1 실시형태에 있어서, 처리 장치(1)의 처리 유닛(20)이 처리하는 처리 대상인 판형물(100)은, 예컨대, 실리콘, 사파이어, 실리콘카바이드(SiC), 갈륨비소 등을 모재로 하는 원판형의 반도체 디바이스 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼 등이다. 판형물(100)은, 표면에 분할 예정 라인이나 디바이스가 형성되어 있어도 좋고, 형성되어 있지 않아도 좋다. 또한, 판형물(100)은, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 수지에 의해 밀봉된 디바이스를 복수 가진 직사각 형상의 패키지 기판, 세라믹스판, 또는 유리판 등이라도 좋다.

척 테이블(10)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 오목부가 형성된 원반 형상의 프레임(11)과, 오목부 내에 감입된 원반 형상의 흡착부(12)를 구비한다. 척 테이블(10)의 흡착부(12)는, 다공성 형상의 다공성 세라믹 등으로 형성되어 있다. 흡착부(12)는, 제1 실시형태에서는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 프레임(11)의 오목부보다 하방에 형성된 진공 흡인로(13) 및 개폐 밸브(14)를 통해 흡인원(15)과 접속되어 있다. 또한, 흡착부(12)는, 프레임(11)의 오목부보다 하방에 형성된 기체 분출로(16) 및 개폐 밸브(17)를 통해 기체 공급원(18)과 접속되어 있다. 기체 공급원(18)으로부터 공급되는 기체(201)(도 3 참조)는, 예를 들어, 압축 공기나 압축 불활성 가스이다.

또한, 척 테이블(10)은, 본 발명에서는 다공성 세라믹 등으로 형성된 흡착부(12)를 구비하는 소위 다공성 척 테이블에 한정되지 않고, 판형물(100)에 대응하는 영역에, 진공 흡인로(13) 및 개폐 밸브(14)를 통해 흡인원(15)과 접속된 흡인 구멍, 및, 기체 분출로(16) 및 개폐 밸브(17)를 통해 기체 공급원(18)과 접속된 분출 구멍이 형성된 구성이어도 좋다.

척 테이블(10)의 흡착부(12)의 상면은, 진공 흡인로(13)를 통해 흡인원(15)으로부터 도입된 부압으로, 흡착부(12)의 상면에 재치된 판형물(100)을 흡인 유지하는 유지면(19)이다. 유지면(19)과 척 테이블(10)의 프레임(11)의 상면은, 동일 평면 상에 배치되어 있고, 수평면에 평행하게 형성된다. 척 테이블(10)은, 도시하지 않은 이동 유닛에 의해 수평 방향의 일 방향인 X축 방향으로 이동 가능하고, 도시하지 않은 회전 구동원에 의해 연직 방향이며 유지면(19)에 대하여 수직인 Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전 가능하게 설치되어 있다.

제1 실시형태에서는 처리 유닛(20)이 도시되지 않은 Z축 이동 유닛에 의해 Z축 방향을 따라 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 이 때문에, 척 테이블(10)은, 프레임(11)의 상면에, 판형물(100)의 외주 직경과 동일한 직경을 갖는 도시하지 않은 원환 형상의 홈이 형성되어 있다. 이 원환 형상의 홈은, 후술하는 처리 유닛(20)의 커터 날(62)의 절단 날(66)의 궤도에 형성되고, 절단 날(66)의 릴리프 홈으로서 기능한다.

처리 유닛(20)은, 척 테이블(10)에 유지된 판형물(100)을 절삭, 연삭, 연마하는 등, 척 테이블(10)에 유지된 판형물(100)에 어떠한 처리(가공)를 행하는 것이다. 처리 유닛(20)이 판형물(100)에 대하여 행하는 어떠한 처리는, 예컨대, 판형물(100)의 일방의 면으로의 시트(110)의 접착, 판형물(100)의 일방의 면에 수지를 공급하여 행하는 보호층 형성, 판형물(100)의 절삭, 연삭, 연마, 레이저 가공 및 플라즈마 가공 등의 가공 처리나, 판형물(100)의 세정 처리 등이다.

즉, 처리 유닛(20)은, 예컨대, 판형물(100)의 일방의 면에 시트(110)를 접착하는 시트 접착 유닛, 스핀들의 선단에 장착된 절삭 블레이드로 판형물(100)을 절삭하는 절삭 유닛, 스핀들의 선단에 장착된 연삭 휠로 판형물(100)을 연삭하는 연삭 유닛, 스핀들의 선단에 장착된 연마 패드로 판형물(100)을 연마하는 연마 유닛, 레이저 조사기로 판형물(100)을 레이저 가공하는 레이저 가공 유닛, 가스 공급부로부터 공급하여 플라즈마 상태로 한 가스로 판형물(100)을 플라즈마 가공하는 플라즈마 가공 유닛, 노즐로부터 공급하는 세정액으로 판형물(100)을 세정하는 세정 유닛 등이다.

처리 유닛(20)은, 제1 실시형태에서는, 척 테이블(10)에 유지된 판형물(10)의 표면 또는 이면에 시트(110)를 접착하는 시트 접착 유닛이다. 처리 유닛(20)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 송출 유닛(21)과, 박리지 권취 유닛(22)과, 접착 유닛(23)과, 시트 커트 유닛(24)과, 시트 권취 유닛(25)과, 복수의 반송 롤러(26)를 구비한다.

제1 실시형태의 처리 유닛(20)이 판형물(100)에 접착하는 시트(110)는, 예컨대, 점착층과, 기재층을 구비한다. 여기서, 점착층은, 판형물(100)의 시트(110)를 접착하는 접착면에 접착하는 점착성을 갖는 합성 수지로 구성되어 있고, 기재층의 일방의 면에 적층된다. 기재층은, 합성 수지로 구성되어 있다. 시트(110)는, 장척(長尺)의 시트 형상의 부재로 성형되고, 점착층 측에 점착층을 보호하는 박리지(111)가 접착된 상태로, 롤 형상으로 권회되어 있다. 시트(110)는, 제1 실시형태에서는, 박리지(111) 측이 내주 측에 위치하도록, 롤 형상으로 권회되어 있다. 시트(110)는, 제1 실시형태에서는, 처리 유닛(20)에 의해 단부로부터 순서대로 박리지(111)가 박리되어, 판형물(100)의 접착면에 접착됨과 함께, 판형물(100)의 외연를 따라서 절단된다.

송출 유닛(21)은, 롤 형상으로 권취된 시트(110)를 단부로부터 순서대로 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 송출하는 것이다. 송출 유닛(21)은, 제1 실시형태에서는, 척 테이블(10)보다 +X 방향 측에서, 척 테이블(10)보다 상방의 위치에 배치되어 있다. 송출 유닛(21)은, 축심이 Y축 방향과 평행한 원기둥 형상으로 형성되고, 축심 둘레로 회전 가능하게 설치되어 있다. 송출 유닛(21)은, 원통 형상의 심재의 외주면 상에 시트(110)가 권회되어 이루어지는 시트 롤이 세트됨으로써, 송출 가능한 시트(110)가 세트된다.

박리지 권취 유닛(22)은, 송출 유닛(21)으로부터 송출된 시트(110)로부터 박리된 박리지(111)를 권취하는 것이다. 박리지 권취 유닛(22)은, 제1 실시형태에서는, 송출 유닛(21)의 하방에 배치되어 있다. 박리지 권취 유닛(22)은, 축심이 Y축 방향과 평행한 원기둥 형상으로 형성되고, 도시하지 않은 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전됨으로써, 외주면 상에 시트(110)로부터 박리된 박리지(111)를 권취한다.

접착 유닛(23)은, 송출 유닛(21)으로부터 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 공급된 시트(110)를 척 테이블(10)의 유지면(19)에 흡인 유지된 판형물(100)에 접착하는 것이다. 접착 유닛(23)은, 척 테이블(10)의 유지면(19)의 상방에 배치되어 있다. 접착 유닛(23)은, 축심이 Y축 방향과 평행한 원기둥 형상으로 형성된 접착 롤러(51)와, 접착 롤러(51)를 축심 둘레로 회전 가능하게 지지함과 함께, 도시하지 않는 이동 기구에 의해 X축 방향 및 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치된 롤러 지지 부재(52)를 구비한다. 접착 유닛(23)은, 이동 기구에 의해 하강한 상태로 X축 방향으로 이동함으로써, 척 테이블(10)에 유지된 판형물(100)에 시트(110)를 접착한다.

시트 커트 유닛(24)은, 시트(110)를 판형물(100)에 접착한 후에, 시트(110)의 판형물(100)의 외연으로부터 비어져 나온 불필요 부분을 절단하는 것이다. 제1 실시형태에서는, 시트(110)의 불필요 부분은, 판형물(100)의 외연보다도 외주측의 부분이다. 시트 커트 유닛(24)은, 척 테이블(10)의 유지면(19)의 상방에 배치되어 있다.

시트 커트 유닛(24)은, 제1 실시형태에서는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 커터 날(62)과, 이동 기구(63)를 구비한다. 커터 날(62)은, 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 공급되는 시트(110)의 두께보다 훨씬 긴 소정의 길이의 날 길이의 절단 날(66)을 갖는 것이다. 커터 날(62)의 절단 날(66)은, 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 공급되는 시트(110) 및 원환 형상의 홈과 대향함과 함께, Z축 방향에 대하여 경사져 있고, 이에 의해, Z축 방향으로부터 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 공급되는 시트(110)의 기재층의 표면을 향해 대향하는 방향으로 기울어져 설치되어 있다.

이동 기구(63)는 시트(110)의 기재층의 표면을 따라 커터 날(62)을 이동시키는 것이다. 이동 기구(63)는, 커터 날(62)을 Z축 방향으로 이동시키는 것이 가능함과 함께, Z축 방향과 평행한 축심을 중심으로 한 둘레 방향을 따라 커터 날(62)을 이동시키는 것이 가능하다. 이동 기구(63)는, 척 테이블(10)의 유지면(19)의 중심 상에 배치되고 또한 도시하지 않는 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전되는 회전축(61)과, 회전축(61)으로부터 척 테이블(10)의 유지면(19)과 평행하게 외연을 향하여 연장되고 또한 선단에 커터 날(62)을 지지한 암(64)과, 암(64)을 회전축(61)과 함께 승강시키는 에어 실린더(65)를 구비한다.

시트 권취 유닛(25)은, 시트 커트 유닛(24)에 의해 판형물(100)에 접착된 부분이 절단된 후의 시트(110)의 불필요 부분을 권취하는 것이다. 시트 권취 유닛(25)은, 제1 실시형태에서는, X축 방향에 있어서 척 테이블(10)에 대하여 송출 유닛(21)과는 반대측의 위치, 즉, 척 테이블(10)보다 -X 방향 측에서, 척 테이블(10)보다 상방의 위치에 배치되어 있다. 시트 권취 유닛(25)은 축심이 Y축 방향과 평행한 원기둥 형상으로 형성되고, 도시하지 않은 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전됨으로써, 외주면 상에 시트(110)를 권취한다.

복수의 반송 롤러(26)는, 송출 유닛(21)으로부터 시트 권취 유닛(25)의 사이에 배치되고, 시트(110)를 송출 유닛(21)으로부터 시트 권취 유닛(25)에 반송함과 함께, 시트(110)에 늘어짐이 발생하는 것을 억제하기 위해 시트(110)에 텐션을 부여하는 것이다. 복수의 반송 롤러(26)는, 축심이 Y축 방향과 평행한 원기둥 형상으로 형성되고, 또한 축심 둘레로 회전 가능하게 형성되어 있다.

반송 롤러(26)는, 송출 유닛(21)과 척 테이블(10)의 사이이며 또한 송출 유닛(21)보다 하방에 한 쌍 배치되어 있다. 이들 한 쌍의 반송 롤러(26)는 서로 외주면 사이에 송출 유닛(21)으로부터 송출된 박리지(111)가 접착된 상태의 시트(110)가 통과되어, 시트(110)로부터 박리지(111)를 박리함과 함께, 시트(110)로부터 박리된 박리지(111)를 박리지 권취 유닛(22)으로 송출하고, 박리지(111)가 박리된 시트(110)를 점착층을 하방을 향한 상태로 송출한다.

또한, 반송 롤러(26)는, 송출 유닛(21)으로부터 시트 권취 유닛(25)의 사이에 배치된 한 쌍의 반송 롤러(26)와 척 테이블(10)의 사이에 한 쌍 배치되어 있다. 이들 한 쌍의 반송 롤러(26)는, 서로 외주면 사이에 시트(110)가 통과되어, 시트(110)를 척 테이블(10)의 유지면(19)과 평행하게 X축 방향을 따라 유지면(19) 상에 송출한다.

또한, 반송 롤러(26)는, 척 테이블(10)과 시트 권취 유닛(25)과의 사이에 또한 시트 권취 유닛(25)보다 하방에 한 쌍 배치되어 있다. 이들 한 쌍의 반송 롤러(26)는, 서로 외주면 사이에 시트(110)가 통과되어, 시트(110)를 시트 권취 유닛(25)을 향해서 송출한다.

반송 유닛(30)은, 도시하지 않은 카세트 재치부에 재치된 카세트에 수용된 처리 유닛(20)에 의한 처리 전(미처리)의 판형물(100)을 카세트로부터 취출하여, 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 반입한다. 반송 유닛(30)은, 처리 유닛(20)에 의한 처리 후의 판형물(100)을 척 테이블(10)의 유지면(19) 상으로부터 반출하여, 카세트 재치부에 재치된 카세트에 수용한다. 반송 유닛(30)은, 제어 유닛(40)에 의해 제어되고, 판형물(100)을 반입 또는 반출하였다는 취지의 정보를 제어 유닛(40)에 출력한다. 반송 유닛(30)은, 제1 실시형태에서는, 예컨대 원형 형상 핸드를 구비하는 로봇 픽이며, 원형 형상 핸드에 의해 판형물(100)을 흡착 유지하여 반송한다. 반송 유닛(30)은, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 예컨대, 소정의 에어를 하면을 따라 분사함으로써 베르누이의 원리에 의해 하면에 부압을 생성하고, 이 부압에 의해 하면을 유지면으로 하여 판형물(100)을 흡인 유지하여 반송하는 비접촉식의 것이어도 좋다.

제어 유닛(40)은, 처리 장치(1)의 각종 구성 요소의 동작을 제어하여, 처리 유닛(20)에 의한 판형물(100)의 처리를 처리 장치(1)에 실시하게 한다. 제어 유닛(40)은, 제1 실시형태에서는, 컴퓨터 시스템을 포함한다. 제어 유닛(40)이 포함하는 컴퓨터 시스템은, CPU(Central Processing Unit)와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM(Read Only Memory) 또는 RAM(Random Access Memory)과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는다. 제어 유닛(40)의 연산 처리 장치는, 제어 유닛(40)의 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라서 연산 처리를 실시하여, 처리 장치(1)를 제어하기 위한 제어 신호를, 제어 유닛(40)의 입출력 인터페이스 장치를 통해 처리 장치(1)의 각 구성 요소에 출력한다.

다음으로, 본 명세서는, 실시형태에 따른 처리 장치(1)의 동작 처리를 설명한다. 처리 장치(1)는, 예컨대, 카세트 재치부에 재치된 카세트에 수용된 처리 전의 판형물(100)을 1매씩, 반송 유닛(30)에 의해 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 반입하고, 반입한 판형물(100)을 처리 유닛(20)에 의해 처리하고, 처리한 판형물(100)을 반송 유닛(30)에 의해 척 테이블(10)의 유지면(19) 상으로부터 반출하여 카세트에 다시 수용한다.

처리 장치(1)의 제어 유닛(40)은, 반송 유닛(30)에 의해 판형물(100)을 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 반입하면, 반송 유닛(30)으로부터 판형물(100)을 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 반입했다는 취지의 정보를 취득하고, 이에 의해, 판형물(100)이 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 재치된 상태가 된 것을 인식한다. 제어 유닛(40)은, 판형물(100)이 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 재치된 상태를 인식하면, 도 2에 도시한 바와 같이, 개폐 밸브(14)를 개방하여 흡인원(15)으로부터 진공 흡인로(13)를 통해 유지면(19)에 부압을 도입하고, 또한, 개폐 밸브(17)를 폐쇄하여 기체 공급원(18)으로부터의 기체 분출로(16)를 통한 유지면(19)으로의 기체(201)의 공급을 차단함으로써, 유지면(19)에 도입한 부압에 의해 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 재치된 판형물(100)을 흡인 유지한다.

처리 장치(1)의 제어 유닛(40)은, 반송 유닛(30)에 의해 판형물(100)을 척 테이블(10)의 유지면(19) 상으로부터 반출하면, 반송 유닛(30)으로부터 판형물(100)을 척 테이블(10)의 유지면(19) 상으로부터 반출한 취지의 정보를 취득하고, 이에 의해, 판형물(100)이 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 재치되어 있지 않은 상태가 된 것을 인식한다. 제어 유닛(40)은, 판형물(100)이 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 재치되어 있지 않은 상태를 인식하면, 도 3에 도시된 바와 같이, 개폐 밸브(14)를 폐쇄하여 흡인원(15)으로부터의 진공 흡인로(13)를 통한 유지면(19)에 대한 부압의 도입을 차단하고, 또한, 개폐 밸브(17)를 개방하여 기체 공급원(18)으로부터 기체 분출로(16)를 통해 유지면(19)에 기체(201)를 공급함으로써, 유지면(19)으로부터 기체(201)를 분출하여 유지면(19) 상에 기체(201)의 보호막을 형성하여, 유지면(19)에 이물이 부착되는 것을 방지한다.

또한, 처리 장치(1)는, 제1 실시형태에서는, 제어 유닛(40)이, 반송 유닛(30)에 의한 판형물(100)의 반출입에 의해, 판형물(100)이 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 재치되어 있는지의 여부를 인식하지만, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 예컨대, 제어 유닛(40)이, 척 테이블(10) 또는 척 테이블(10)의 주위에 설치된 척 테이블(10)의 유지면(19) 상의 판형물(100)을 검출하는 검출기에 의해, 판형물(100)이 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 재치되어 있는지의 여부를 인식해도 좋다.

이상과 같은 구성을 갖는 제1 실시형태에 따른 처리 장치(1)는, 새로운 척 테이블(10)을 청소하는 청소 유닛을 추가하지 않고, 척 테이블(10)의 유지면(19)에 판형물(100)이 재치되어 있지 않은 동안에, 유지면(19)으로부터 기체(201)를 분출함으로써, 유지면(19) 위를 덮는 기체(201)의 보호막을 형성하기 때문에, 유지면(19)을 이물의 부착 등으로부터 보호할 수 있다고 하는 작용 효과를 발휘한다. 특히, 유지면(19) 상의 판형물(100)의 이탈을 용이하게 하기 위해 유지면(19)에 기체를 분사하는 기구가 구비되어 있는 종래의 처리 장치에 대해서는, 제어 유닛(40)에 의한 유지면(19) 상의 판형물(100)의 유무에 따른 유지면(19)에서의 흡인 유지와 유지면(19)으로부터의 기체(201)의 분출의 전환의 제어 기구를 추가함으로써, 제1 실시형태에 따른 처리 장치(1)에 의한 유지면(19)을 이물의 부착 등으로부터 보호하는 기능을 용이하게 실현할 수 있다.

종래에는, 특히 처리 유닛이 시트 접착 유닛인 경우에는, 판형물에 시트를 접착할 때에 접착 유닛의 접착 롤러로 판형물의 두께 방향으로 판형물을 압박하기 때문에, 척 테이블의 유지면에 이물이 부착됨으로써, 판형물의 표면에 이물이 부착되거나, 압박되었을 때에 판형물이 파손되거나 할 우려가 컸다. 그러나, 제1 실시형태에 따른 처리 장치(1)는, 유지면(19)에 이물이 부착되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 특히 처리 유닛(20)이 시트 접착 유닛인 경우에는, 보다 현저하게, 판형물(100)의 표면에 이물이 부착되거나, 압박되었을 때에 판형물(100)이 파손되거나 할 우려를 크게 저감, 억제할 수 있다고 하는 작용 효과를 발휘한다.

(제2 실시형태)

본 발명의 제2 실시형태에 따른 처리 장치(1-2)를 도면에 기초하여 설명한다. 도 4는, 제2 실시형태에 따른 처리 장치(1-2)의 주요부를 도시한 단면도이다. 도 4는, 제1 실시형태와 동일 부분에 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.

제2 실시형태에 따른 처리 장치(1-2)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 실시형태에 있어서, 분사구(71)를 더 구비하고, 기체 분출로(16) 대신에 기체 분출로(16-2)를 구비하도록 변경한 것이며, 그 외의 구성은 제1 실시형태와 마찬가지이다. 분사구(71)는, 척 테이블(10)의 유지면(19)의 주위에, 구체적으로는, 척 테이블(10)의 프레임(11)의 상면의 원환 형상의 홈보다 외주 측의 위치에 설치되어 있다. 분사구(71)는, 기체(201)의 분사 방향이 척 테이블(10)의 내측, 즉 유지면(19)의 상방을 향하고 있다. 기체 분출로(16-2)는, 프레임(11)의 상면의 원환 형상의 홈보다도 외주측의 위치의 하방에 형성되어 있다. 분사구(71)는, 기체 분출로(16-2) 및 개폐 밸브(17)를 통해 기체 공급원(18)과 접속되어 있다.

처리 장치(1-2)의 제어 유닛(40)은, 판형물(100)이 척 테이블(10)의 유지면(19) 상에 재치되어 있지 않은 상태를 인식하면, 도 4에 도시된 바와 같이, 개폐 밸브(14)를 폐쇄하여 흡인원(15)으로부터의 진공 흡인로(13)를 통한 유지면(19)으로의 부압의 도입을 차단하고, 또한, 개폐 밸브(17)를 개방하여 기체 공급원(18)으로부터 기체 분출로(16-2)를 통해 분사구(71)에 기체(201)를 공급함으로써, 분사구(71)로부터 기체(201)를 분출하여 유지면(19) 상을 덮는 기체(201)의 보호막을 형성하여, 유지면(19)에 이물이 부착되는 것을 방지한다.

이상과 같은 구성을 갖는 제2 실시형태에 따른 처리 장치(1-2)는, 제1 실시형태에 있어서, 기체 공급원(18)으로부터 공급되는 기체(201)를 기체 분출로(16)를 통해 유지면(19)으로부터 유지면(19)의 상방을 향해 분출하는 것 대신에, 기체 공급원(18)으로부터 공급되는 기체(201)를 기체 분출로(16-2)를 통해 유지면(19)의 주위에 형성된 분사구(71)로부터 유지면(19)의 상방을 향해 분출함으로써, 유지면(19) 상을 덮는 기체(201)의 보호막을 형성하므로, 제1 실시형태와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이 된다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다. 예컨대, 판형물(100)에 접착되는 시트(110)는 열가소성 수지가 시트 형상으로 형성된 점착층이 없는 시트라도 좋고, 그 경우, 판형물(100)에 시트(110)를 가열하면서 압착시킴으로써, 시트(110)를 판형물(100)에 접착한다.

1, 1-2 처리 장치 10 척 테이블
19 유지면 20 처리 유닛
30 반송 유닛 40 제어 유닛
71 분사구 100 판형물
201 기체

Claims

처리 장치로서,
판형물을 유지면으로 유지하는 척 테이블과,
상기 척 테이블에 유지된 상기 판형물을 처리하는 처리 유닛과,
상기 척 테이블에 상기 판형물을 반입출하는 반송 유닛과,
상기 척 테이블, 상기 처리 유닛 및 상기 반송 유닛을 제어하는 제어 유닛을 구비하고,
상기 제어 유닛은, 상기 척 테이블의 상기 유지면에 상기 판형물이 재치되어 있지 않은 동안에, 상기 유지면 또는 상기 유지면의 주위에 형성된 분사구로부터 기체를 분출하여 상기 유지면의 표면에 상기 기체의 보호층을 형성하여 이물의 부착을 방지하는, 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 처리 유닛은, 상기 척 테이블에 유지된 상기 판형물에 시트를 접착하는 시트 접착 유닛인 것인, 처리 장치.