KR20220087381A - 측정 유닛 - Google Patents
측정 유닛 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20220087381A KR20220087381A KR1020210177987A KR20210177987A KR20220087381A KR 20220087381 A KR20220087381 A KR 20220087381A KR 1020210177987 A KR1020210177987 A KR 1020210177987A KR 20210177987 A KR20210177987 A KR 20210177987A KR 20220087381 A KR20220087381 A KR 20220087381A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- ground
- signal
- dielectric
- conductor
- ground plate
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 92
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 152
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 22
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/2856—Internal circuit aspects, e.g. built-in test features; Test chips; Measuring material aspects, e.g. electro migration [EM]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
- G01R31/58—Testing of lines, cables or conductors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0416—Connectors, terminals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/08—Locating faults in cables, transmission lines, or networks
- G01R31/081—Locating faults in cables, transmission lines, or networks according to type of conductors
- G01R31/083—Locating faults in cables, transmission lines, or networks according to type of conductors in cables, e.g. underground
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
- G01R31/54—Testing for continuity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B11/00—Communication cables or conductors
- H01B11/18—Coaxial cables; Analogous cables having more than one inner conductor within a common outer conductor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B11/00—Communication cables or conductors
- H01B11/18—Coaxial cables; Analogous cables having more than one inner conductor within a common outer conductor
- H01B11/1895—Particular features or applications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
- H01R13/02—Contact members
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R4/00—Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation
- H01R4/58—Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation characterised by the form or material of the contacting members
- H01R4/66—Connections with the terrestrial mass, e.g. earth plate, earth pin
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06716—Elastic
- G01R1/06722—Spring-loaded
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geometry (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Inspection Of Paper Currency And Valuable Securities (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(과제) 노이즈를 억제할 수 있는 측정 유닛을 제공하는 것.
(해결 수단) 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 어스용의 전위를 도통하는 선로의 일부를 형성하고, 일단측의 표면이 평면을 이루는 그라운드부와, 측정용의 신호를 도통하는 선로의 일부를 형성하고, 단부가, 그라운드부의 평면과 동일 평면 상에 표출되는 시그널부와, 그라운드부와 시그널부 사이에 형성되는 절연성의 유전부와, 길이 축을 따라 자유롭게 신축할 수 있는 도전성의 제 1 컨택트 프로브로서, 시그널부에 접촉하는 제 1 컨택트 프로브와, 길이 축을 따라 자유롭게 신축할 수 있는 도전성의 제 2 컨택트 프로브로서, 그라운드부에 접촉하는 제 2 컨택트 프로브를 구비한다.
(해결 수단) 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 어스용의 전위를 도통하는 선로의 일부를 형성하고, 일단측의 표면이 평면을 이루는 그라운드부와, 측정용의 신호를 도통하는 선로의 일부를 형성하고, 단부가, 그라운드부의 평면과 동일 평면 상에 표출되는 시그널부와, 그라운드부와 시그널부 사이에 형성되는 절연성의 유전부와, 길이 축을 따라 자유롭게 신축할 수 있는 도전성의 제 1 컨택트 프로브로서, 시그널부에 접촉하는 제 1 컨택트 프로브와, 길이 축을 따라 자유롭게 신축할 수 있는 도전성의 제 2 컨택트 프로브로서, 그라운드부에 접촉하는 제 2 컨택트 프로브를 구비한다.
Description
본 발명은, 측정 유닛에 관한 것이다.
종래, 반도체 집적 회로나 액정 패널 등의 검사 대상의 도통 상태 검사 또는 동작 특성 검사에서는, 검사 장치에 접속하는 케이블, 케이블의 검사 장치측과 반대측의 단부에 접속되는 접속 부재가 이용되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 을 참조). 케이블은, 중심에 시그널 도체, 시그널 도체를 덮는 유전체, 및, 유전체를 덮는 그라운드 도체를 갖는다. 접속 부재는, 시그널 도체와 접속하는 중심 접촉자와, 그라운드 도체와 접촉하는 측방 접촉자를 갖는다.
그러나, 특허문헌 1 에 기재된 구성에서는, 케이블의 단부를 비스듬하게 컷하여 접속 부재와 접속하고 있다. 이 접속 부분에서는, 전송 선로가, 동축 선로로부터, 이른바 코플래너 선로로 바뀌어, 선로 변경에 의해 노이즈가 발생하기 쉬워지게 되어 있었다.
본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 노이즈를 억제할 수 있는 측정 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 어스용의 전위를 도통하는 선로의 일부를 형성하고, 일단측의 표면이 평면을 이루는 그라운드부와, 측정용의 신호를 도통하는 선로의 일부를 형성하고, 단부가, 상기 그라운드부의 상기 평면과 동일 평면 상에 표출되는 시그널부와, 상기 그라운드부와 상기 시그널부 사이에 형성되는 절연성의 유전부와, 길이 축을 따라 자유롭게 신축할 수 있는 도전성의 제 1 컨택트 프로브로서, 상기 시그널부에 접촉하는 제 1 컨택트 프로브와, 길이 축을 따라 자유롭게 신축할 수 있는 도전성의 제 2 컨택트 프로브로서, 상기 그라운드부에 접촉하는 제 2 컨택트 프로브를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 상기 발명에 있어서, 그라운드 판과, 상기 그라운드 판에 접속하는 동축 케이블을 구비하고, 상기 동축 케이블은, 상기 시그널부의 상기 선로의 일부를 형성하는 시그널 도체와, 상기 시그널 도체의 외주에 형성되는 유전체와, 상기 유전체의 외주에 형성되는 그라운드 도체를 갖고, 상기 시그널 도체가 상기 시그널부를 구성하고, 상기 유전체가 상기 유전부를 구성하고, 상기 그라운드 도체 및 상기 그라운드 판이 상기 그라운드부를 구성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 상기 발명에 있어서, 상기 그라운드 판에는, 상기 그라운드 도체가 삽입 통과되는 관통공이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 상기 발명에 있어서, 상기 그라운드 판에는, 상기 유전체가 삽입 통과되는 관통공이 형성되고, 상기 그라운드 도체는, 상기 그라운드 판의 표면과 전기적으로 접속하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 상기 발명에 있어서, 그라운드 판과, 상기 그라운드 판에 접속하는 동축 케이블을 구비하고, 상기 그라운드 판은, 상기 시그널부의 상기 선로의 일부를 형성하는 시그널 중계부와, 상기 시그널 중계부의 외주를 덮는 그라운드 판측 유전체를 갖고, 상기 동축 케이블은, 상기 시그널부의 상기 선로의 일부를 형성하고, 상기 시그널 중계부와 전기적으로 접속하는 시그널 도체와, 상기 시그널 도체의 외주에 형성되는 케이블측 유전체와, 상기 케이블측 유전체의 외주에 형성되고, 상기 그라운드 판의 상기 시그널 중계부 및 상기 그라운드 판측 유전체와는 상이한 위치에 있어서 전기적으로 접속하는 그라운드 도체를 갖고, 상기 시그널 중계부 및 상기 시그널 도체가 상기 시그널부를 구성하고, 상기 그라운드 판측 유전체 및 상기 케이블측 유전체가 상기 유전부를 구성하고, 상기 그라운드 도체 및 상기 그라운드 판이 상기 그라운드부를 구성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 상기 발명에 있어서, 상기 그라운드 판에는, 복수의 상기 동축 케이블이 접속되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 상기 발명에 있어서, 상기 시그널부의 상기 선로를 형성하는 시그널 도체와, 상기 시그널 도체의 외주에 형성되고, 상기 유전부를 구성하는 유전체와, 상기 유전체의 외주에 형성되고, 상기 그라운드부를 구성하는 그라운드 도체를 구비하는 동축 케이블을 구비하고, 상기 그라운드 도체는, 상기 시그널 도체 및 상기 유전체를 따라 연장되는 통상부와, 상기 통상부의 일단부에 형성되고, 평판상을 이루는 평판부를 갖고, 상기 시그널 도체 및 상기 유전체의 단면은, 상기 평판부의 표면과 동일 평면 상에 위치하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 상기 발명에 있어서, 상기 시그널 도체, 상기 유전체 및 상기 통상부를 복수 세트 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 상기 발명에 있어서, 상기 그라운드부, 상기 시그널부 및 상기 유전부를 갖는 제 1 접속부와, 상기 그라운드부, 상기 시그널부 및 상기 유전부를 갖는 제 2 접속부로서, 상기 제 1 접속부에 대향하여 형성되는 제 2 접속부를 구비하고, 상기 제 1 및 제 2 컨택트 프로브는, 일단이 상기 제 1 접속부와 접촉하고, 타단이 상기 제 2 접속부와 접촉하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 노이즈를 억제할 수 있다는 효과를 발휘한다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 측정 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 측정 시스템의 일부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3 은, 프로브 홀더에 수용되는 프로브의 상세한 구성을 나타내는 도면이다.
도 4 는, 프로브와 그라운드 판의 접속 양태를 설명하기 위한 도면이다.
도 5 는, 도 4 의 일부를 확대한 도면이다.
도 6 은, 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 7 은, 변형예 1 에 관련된 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 은, 변형예 2 에 관련된 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 는, 변형예 3 에 관련된 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 10 은, 변형예 4 에 관련된 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 11 은, 변형예 4 에 관련된 동축 케이블과 프로브의 접촉 양태의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 측정 시스템의 일부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3 은, 프로브 홀더에 수용되는 프로브의 상세한 구성을 나타내는 도면이다.
도 4 는, 프로브와 그라운드 판의 접속 양태를 설명하기 위한 도면이다.
도 5 는, 도 4 의 일부를 확대한 도면이다.
도 6 은, 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 7 은, 변형예 1 에 관련된 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 은, 변형예 2 에 관련된 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 는, 변형예 3 에 관련된 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 10 은, 변형예 4 에 관련된 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 11 은, 변형예 4 에 관련된 동축 케이블과 프로브의 접촉 양태의 일례를 나타내는 사시도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 형태 (이하, 「실시형태」 라고 한다) 를 설명한다. 또한, 도면은 모식적인 것으로서, 각 부분의 두께와 폭의 관계, 각각의 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 상이한 경우가 있고, 도면의 상호간에 있어서도 서로의 치수의 관계나 비율이 상이한 부분이 포함되는 경우가 있다.
(실시형태)
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 측정 시스템의 구성을 나타내는 도면이다. 도 2 는, 도 1 에 나타내는 측정 시스템의 일부의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 2 는, 측정 유닛 (1) 에 있어서, 후술하는 프로브 홀더 (3) 를 제외한 구성을 나타내고 있다. 측정 시스템은, 측정 유닛 (1) 과, 측정 대상에 대하여 신호를 입출력하는 측정 장치 (100) 와, 측정 유닛 (1) 과 측정 장치 (100) 를 접속하는 접속 케이블 (110, 120) 을 구비한다.
측정 유닛 (1) 은, 컨택트 프로브 (2) (이하, 간단히 「프로브 (2)」라고 한다) 와, 프로브 (2) 를 수용하는 프로브 홀더 (3) 와, 제 1 그라운드 판 (4) 과, 제 2 그라운드 판 (5) 과, 제 1 동축 선부 (6) 와, 제 2 동축 선부 (7) 를 구비한다.
도 3 은, 프로브 홀더에 수용되는 프로브의 상세한 구성을 나타내는 도면이다. 프로브 (2) 는, 도전성을 갖고, 길이 방향의 양단에서 제 1 그라운드 판 (4) 및 제 2 그라운드 판 (5) 과 접속한다. 프로브 (2) 는, 도전성 재료를 사용하여 형성되고, 제 1 그라운드 판 (4) 에 접촉하는 제 1 플런저 (21) 와, 제 2 그라운드 판 (5) 에 접촉하는 제 2 플런저 (22) 와, 제 1 플런저 (21) 와 제 2 플런저 (22) 사이에 형성되어 당해 프로브 (2) 가 자유롭게 신축할 수 있게 되도록 제 1 플런저 (21) 와 제 2 플런저 (22) 를 연결하는 코일 스프링 (23) 을 구비한다. 프로브 (2) 를 구성하는 제 1 플런저 (21) 및 제 2 플런저 (22), 그리고 코일 스프링 (23) 은 동일한 축선을 가지고 있다.
프로브 홀더 (3) 는, 수지, 머시너블 세라믹, 실리콘 등의 절연성 재료를 사용하여 형성되고, 도 3 의 상면측에 위치하는 제 1 부재 (31) 와 하면측에 위치하는 제 2 부재 (32) 가 적층되어 이루어진다. 제 1 부재 (31) 및 제 2 부재 (32) 에는, 복수의 프로브 (2) 를 수용하기 위한 홀더 구멍 (33 및 34) 이 각각 동수씩 형성되고, 프로브 (2) 를 수용하는 홀더 구멍 (33 및 34) 은, 서로의 축선이 일치하도록 형성되어 있다. 홀더 구멍 (33 및 34) 의 형성 위치는, 프로브 (2) 의 배치 패턴에 따라 정해진다.
프로브 홀더 (3) 가 제 1 그라운드 판 (4) 및 제 2 그라운드 판 (5) 사이에 배치되었을 때에는, 그라운드 판으로부터의 접촉 하중에 의해, 코일 스프링 (23) 은 길이 방향을 따라 압축된 상태가 된다.
계속해서, 프로브 (2) 와, 제 1 그라운드 판 (4) 및 제 2 그라운드 판 (5) 의 접속 양태에 대하여 설명한다. 도 4 는, 프로브와 그라운드 판의 접속 양태를 설명하기 위한 도면이다. 도 5 는, 도 4 의 일부를 확대한 도면이다. 도 6 은, 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 6 의 (a) 는, 제 2 그라운드 판 (5) 과 동축 케이블 (71) 이 접속한 구성의 단면도를 나타낸다. 도 6 의 (b) 는, 제 2 그라운드 판 (5) 을, 동축 케이블 (71) 이 접속하는 측과 반대측으로부터 본 평면도를 나타낸다. 또한, 도 6 에서는, 제 2 그라운드 판 (5) 과 동축 케이블 (71) 의 접속에 대하여 도시하고 있지만, 제 1 그라운드 판 (4) 과 동축 케이블 (61) 의 접속도 동일한 구성이다.
제 1 그라운드 판 (4) 은, 도전성의 재료를 사용하여 형성되고, 판상을 이룬다. 제 1 그라운드 판 (4) 에는, 판 두께 방향으로 관통하는 관통공 (4a) 이 형성된다 (도 2 참조). 관통공 (4a) 은, 후술하는 동축 케이블 (61) 의 외주의 직경과 대략 동등한 직경으로 연장되는 구멍이다. 또한, 대략 동등하게는, 동일과, 제조 상의 오차에 의한 약간 상이한 정도의 차를 포함한다.
제 2 그라운드 판 (5) 은, 도전성의 재료를 사용하여 형성되고, 판상을 이룬다. 제 2 그라운드 판 (5) 에는, 판 두께 방향으로 관통하는 관통공 (5a) 이 형성된다. 관통공 (5a) 은, 후술하는 동축 케이블 (71) 의 외주의 직경과 대략 동등한 직경으로 연장되는 구멍이다.
제 1 그라운드 판 (4) 및 제 2 그라운드 판 (5) 은, 예를 들어, 구리, 니켈 또는 스테인리스 등으로 이루어진다. 제 1 그라운드 판 (4) 및 제 2 그라운드 판 (5) 은, 후술하는 그라운드 도체 (64, 74) 와 동일한 재료로 형성되어도 된다.
제 1 동축 선부 (6) 는, 동축 케이블 (61) 을 구비한다. 동축 케이블 (61) 은, 케이블 유지 부재 (60) 에 의해 유지된다. 또한, 동축 케이블 (61) 의 접속 케이블 (110) 에 접속하는 측과 반대측의 단부는, 제 1 그라운드 판 (4) 의 관통공 (4a) 에 삽입된다. 동축 케이블 (61) 은, 관통공 (4a) 에 압입되어도 되고, 납땜 등에 의해 고착되어도 되고, 이것들을 조합하여 고정되어도 된다.
동축 케이블 (61) 은, 측정 장치 (100) 로부터의 신호를 전송하는 시그널 도체 (62) 와, 시그널 도체 (62) 의 외주에 형성되는 절연성의 유전체 (63) 와, 유전체 (63) 의 외주에 형성되는 그라운드 도체 (64) 를 갖는다 (도 2 참조). 시그널 도체 (62), 유전체 (63) 및 그라운드 도체 (64) 는, 동축 구조를 이루고 있다. 유전체 (63) 및 그라운드 도체 (64) 는, 각각 통상을 이룬다. 그라운드 도체 (64) 는, 구리, 니켈 또는 스테인리스 등으로 이루어진다. 이 때문에, 동축 케이블 (61) 은, 이른바 세미 리지드 케이블과 동일한 구성이 된다. 본 실시형태에서는, 시그널 도체가 시그널부를 구성하고, 유전체가 유전부를 구성한다.
동축 케이블 (61) 은, 제 1 그라운드 판 (4) 측의 단부가, 당해 제 1 그라운드 판 (4) 의 표면에 있어서, 관통공 (4a) 으로부터 노출된다. 이 때, 동축 케이블 (61) 의 단면과, 제 1 그라운드 판 (4) 의 동축 케이블 (61) 의 단면이 표출되는 측의 표면은, 동일 평면 상에 위치한다. 또한, 제 1 그라운드 판 (4) 은, 그라운드 도체 (64) 와 전기적으로 접속함으로써, 그라운드부를 형성한다. 그라운드부는, 어스용의 전위를 도통하는 선로의 일부를 형성하는 것이다.
제 2 동축 선부 (7) 는, 동축 케이블 (71) 을 구비한다. 동축 케이블 (71) 은, 케이블 유지 부재 (70) 에 의해 유지된다. 또한, 동축 케이블 (71) 의 접속 케이블 (120) 에 접속하는 측과 반대측의 단부는, 제 2 그라운드 판 (5) 의 관통공 (5a) 에 삽입된다. 동축 케이블 (71) 은, 관통공 (5a) 에 압입되어도 되고, 납땜 등에 의해 고착되어도 되고, 이것들을 조합하여 고정되어도 된다.
동축 케이블 (71) 은, 측정 장치 (100) 로부터의 신호를 전송하는 시그널 도체 (72) 와, 시그널 도체 (72) 의 외주에 형성되는 유전체 (73) 와, 유전체 (73) 의 외주에 형성되는 그라운드 도체 (74) 를 갖는다. 시그널 도체 (72), 유전체 (73) 및 그라운드 도체 (74) 는, 동축 구조를 이루고 있다. 유전체 (73) 및 그라운드 도체 (74) 는, 각각 통상을 이룬다. 그라운드 도체 (74) 는, 구리, 니켈 또는 스테인리스 등으로 이루어진다. 이 때문에, 동축 케이블 (71) 은, 이른바 세미 리지드 케이블과 동일한 구성이 된다.
동축 케이블 (71) 은, 제 2 그라운드 판 (5) 측의 단부가, 당해 제 2 그라운드 판 (5) 의 표면에 있어서, 관통공 (5a) 으로부터 노출된다. 이 때, 동축 케이블 (71) 의 단면과, 제 2 그라운드 판 (5) 의 동축 케이블 (71) 의 단면이 표출되는 측의 표면은, 동일 평면 상에 위치한다. 또한, 제 2 그라운드 판 (5) 은, 그라운드 도체 (74) 와 전기적으로 접속함으로써 상기 서술한 바와 같은 그라운드부를 형성한다.
본 실시형태에 있어서, 동축 케이블 (61, 71) 은, 각각 3 개의 프로브 (2) 와 접촉한다. 여기서, 제 1 그라운드 판 (4) 및 동축 케이블 (61) 에 의해 제 1 접속부가 구성되고, 제 2 그라운드 판 (5) 및 동축 케이블 (71) 에 의해 제 2 접속부가 구성된다. 또한, 측정 시스템은, 제 1 및 제 2 접속부의 적어도 일방을 구비하고 있으면 되고, 타방은 공지된 접속 양태를 채용해도 된다.
각 프로브 (2) 는, 일단 (여기서는 제 1 플런저 (21)) 이, 제 1 그라운드 판 (4) 에 있어서 표출되는 동축 케이블 (61) 의 단부에 있어서, 시그널 도체 (62) 및 그라운드 도체 (64) 의 어느 1 개와 접촉한다. 도 4, 5 에서는, 1 개의 프로브 (2) 가 시그널 도체 (62) 와 접촉하고, 다른 2 개의 프로브 (2) 가 그라운드 도체 (64) 와 접촉한다. 다른 한편, 동축 케이블 (71) 도 동일하게, 시그널 도체 (62) 와 접촉하는 프로브 (2) 가 시그널 도체 (72) 와 접촉하고, 그라운드 도체 (64) 와 접촉하는, 다른 2 개의 프로브 (2) 가 그라운드 도체 (74) 와 접촉한다. 이 때, 동축 케이블 (61, 71) 의 길이 방향과, 프로브 (2) 의 길이 방향은, 중심축이 일치하거나, 또는 평행하게 연장된다.
도면에서는, 시그널 도체 (62, 72) 와 접촉하는 프로브 (2) (제 1 컨택트 프로브) 를 프로브 (2S), 그라운드 도체 (64, 74) 와 접촉하는 프로브 (2) (제 2 컨택트 프로브) 를 프로브 (2G) 로 한다. 또한, 프로브 (2G) 는, 그라운드 도체 (64, 74) 에 한정하지 않고, 제 1 그라운드 판 (4) 의 표면, 제 2 그라운드 판 (5) 의 표면에 접촉해도 된다.
여기서, 프로브 (2) 사이의 최소 피치는, 그라운드 도체의 내주의 반경이 된다. 예를 들어, 동축 케이블의 단면에 있어서의 그라운드 도체의 중앙부에 프로브 (2) 를 접촉시키는 경우, 프로브 (2) 사이의 피치는, (그라운드 도체의 외주의 직경 ＋ 내주의 직경) ÷ 2 ÷ 2 에 의해 구해진다.
이상 설명한 본 발명의 실시형태에서는, 동축 케이블의 시그널 도체, 및, 그라운드 도체와 그라운드 판에 의해 형성되는 그라운드부의 단면이 동일 평면 상에 위치하고, 이 시그널 도체 및 그라운드부에 대하여, 복수의 프로브를 접촉시켜 시그널 선로 및 그라운드 선로를 도통시키도록 하였다. 본 실시형태에 의하면, 동축 선로를 유지할 수 있기 때문에, 종래와 같은 선로의 형태 변화가 없고, 그 결과, 노이즈를 억제할 수 있다.
또한, 상기 서술한 실시형태에서는, 동축 케이블에 접속하는 복수의 프로브 (2) 가 개별적으로 형성되기 때문에, 프로브 (2) 의 피치나 그라운드부에 접속하는 프로브 (2G) 의 개수나 배치를 자유롭게 설정할 수 있다. 이 때문에, 측정 유닛 (1) 은, 접속 형태에 한정되지 않고, 다종의 측정에 사용할 수 있다.
또한, 상기 서술한 실시형태에서는, 1 개의 동축 케이블을 사용한 구성에 대하여 설명했지만, 그라운드 판에 복수의 관통공을 형성하여, 당해 그라운드 판이, 복수의 동축 케이블을 유지하는 구성으로 하는 것이 가능하다.
(변형예 1)
도 7 은, 변형예 1 에 관련된 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 7 의 (a) 는, 제 2 그라운드 판과 동축 케이블이 접속한 구성의 단면도를 나타낸다. 도 7 의 (b) 는, 제 2 그라운드 판을, 동축 케이블이 접속하는 측과 반대측으로부터 본 평면도를 나타낸다. 본 변형예 1 에 관한 측정 유닛은, 상기 서술한 제 2 그라운드 판 (5) 대신에 제 2 그라운드 판 (5A), 동축 케이블 (71) 대신에 동축 케이블 (71A) 이 형성된다. 이하, 상기 서술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
동축 케이블 (71A) 은, 시그널 도체 (72) 및 유전체 (73) 와, 유전체 (73) 의 외주에 형성되는 그라운드 도체 (74A) 를 갖는다. 시그널 도체 (72), 유전체 (73) 및 그라운드 도체 (74A) 는, 동축 구조를 이루고 있다. 그라운드 도체 (74A) 는, 구리, 니켈 또는 스테인리스 등으로 이루어진다. 이 때문에, 동축 케이블 (71A) 은, 이른바 세미 리지드 케이블과 동일한 구성이 된다.
그라운드 도체 (74A) 는, 제 2 그라운드 판 (5A) 과 접속하는 측의 단부에 있어서, 시그널 도체 (72) 및 유전체 (73) 와 비교하여, 제 2 그라운드 판 (5A) 의 두께분 짧아져 있다. 이 때문에, 그라운드 도체 (74A) 는, 제 2 그라운드 판 (5A) 과 접속하는 측의 단부에 있어서, 유전체 (73) 의 외주를 노출시킨다.
제 2 그라운드 판 (5A) 은, 도전성의 재료를 사용하여 형성되고, 판상을 이룬다. 제 2 그라운드 판 (5A) 에는, 판 두께 방향으로 관통하는 관통공 (5b) 이 형성된다. 관통공 (5b) 은, 유전체 (73) 의 외주의 직경과 대략 동등한 직경으로 연장되는 구멍이다.
동축 케이블 (71A) 은, 유전체 (73) 가 관통공 (5b) 에 삽입됨으로써 제 2 그라운드 판 (5A) 에 접속한다. 동축 케이블 (71A) 은, 유전체 (73) 를 관통공 (5b) 에 압입해도 되고, 납땜 등에 의해 유전체 (73) 를 제 2 그라운드 판 (5A) 에 고착시켜도 되고, 이것들을 조합하여 고정시켜도 된다. 이 때, 그라운드 도체 (74A) 는, 제 2 그라운드 판 (5A) 의 표면에 맞닿는다. 이로써, 제 2 그라운드 판 (5A) 과 그라운드 도체 (74A) 가 전기적으로 접속한다. 또한, 그라운드 도체 (74A) 와 제 2 그라운드 판 (5A) 을 납땜 등에 의해 고착시켜 양자를 전기적으로 접속해도 된다.
동축 케이블 (71A) 은, 시그널 도체 (72) 및 유전체 (73) 의 단부가, 당해 제 2 그라운드 판 (5A) 의 표면에 있어서, 관통공 (5b) 으로부터 노출된다. 이 때, 시그널 도체 (72) 및 유전체 (73) 의 단면과, 제 2 그라운드 판 (5A) 의 동축 케이블 (71A) 의 단면이 표출되는 측의 표면은, 동일 평면 상에 위치한다.
프로브 (2S) 는, 관통공 (5b) 으로부터 표출되는 시그널 도체 (72) 에 접촉한다. 한편, 프로브 (2G) 는, 제 2 그라운드 판 (5A) 의 표면에 접촉한다.
이상 설명한 본 변형예 1 에 있어서도, 동축 케이블의 시그널 도체, 및, 그라운드 도체와 그라운드 판에 의해 형성되는 그라운드부의 단면이 동일 평면 상에 위치하고, 이 시그널 도체 및 그라운드부에 대하여, 복수의 프로브를 접촉시켜 시그널 선로 및 그라운드 선로를 도통시키도록 하였다. 본 변형예 1 에 의하면, 동축 선로를 유지할 수 있기 때문에, 종래와 같은 선로의 형태 변화가 없고, 그 결과, 노이즈를 억제할 수 있다. 또한, 변형예 1 은, 실시형태와 마찬가지로, 프로브 (2) 의 배치의 자유도가 높아, 여러 가지 측정에 대응시킬 수 있다.
(변형예 2)
도 8 은, 변형예 2 에 관련된 그라운드 판 및 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 8 의 (a) 는, 제 2 그라운드 판과 동축 케이블이 접속한 구성의 단면도를 나타낸다. 도 8 의 (b) 는, 제 2 그라운드 판을, 동축 케이블이 접속하는 측과 반대측으로부터 본 평면도를 나타낸다. 본 변형예 2 에 관한 측정 유닛은, 상기 서술한 제 2 그라운드 판 (5) 대신에 제 2 그라운드 판 (5B), 동축 케이블 (71) 대신에 동축 케이블 (71B) 이 형성된다. 이하, 상기 서술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
동축 케이블 (71B) 은, 측정 장치 (100) 로부터의 신호를 전송하는 제 1 시그널 도체 (72A) (시그널 도체) 와, 제 1 시그널 도체 (72A) 의 외주에 형성되는 제 1 유전체 (73A) (케이블측 유전체) 와, 제 1 유전체 (73A) 의 외주에 형성되는 그라운드 도체 (74A) 를 갖는다. 제 1 시그널 도체 (72A), 제 1 유전체 (73A) 및 그라운드 도체 (74A) 는, 동축 구조를 이루고, 제 2 그라운드 판 (5B) 에 접속하는 측의 각 단면이, 동일 평면 상에 위치한다.
제 2 그라운드 판 (5B) 은, 도전성의 재료를 사용하여 형성되고, 판상을 이룬다. 제 2 그라운드 판 (5B) 은, 제 2 시그널 도체 (51) (시그널 중계부) 와, 제 2 시그널 도체 (51) 의 외주를 덮는 제 2 유전체 (52) (그라운드 판측 유전체) 를 갖는다. 본 변형예 2 에서는, 제 1 시그널 도체 (72A) 및 제 2 시그널 도체 (51) 에 의해 시그널부를 구성하고, 제 1 유전체 (73A) 및 제 2 유전체 (52) 에 의해 유전부를 구성한다.
제 2 그라운드 판 (5B) 에는, 판 두께 방향으로 관통하는 관통공 (5b) 이 형성된다. 관통공 (5b) 은, 제 2 유전체 (52) 의 외주의 직경과 대략 동등한 직경으로 연장되는 구멍이다. 제 2 시그널 도체 (51) 및 제 2 유전체 (52) 는, 제 2 유전체 (52) 가 관통공 (5b) 에 고정된다. 이 때, 제 2 시그널 도체 (51) 및 제 2 유전체 (52) 의 단면은, 제 2 그라운드 판 (5B) 의 본체부의 표면과 동일 평면 상에 위치한다.
또한, 제 2 시그널 도체 (51) 와 제 1 시그널 도체 (72A) 는, 동일한 직경인 것이 바람직하다. 또한, 제 2 유전체 (52) 와 제 1 유전체 (73A) 는, 동일한 직경인 것이 바람직하다. 또한, 제 1 유전체 (73A) 및 제 2 유전체 (52) 는, 동일한 재료를 사용하여 구성해도 되고, 서로 상이한 재료를 사용하여 구성해도 된다.
동축 케이블 (71B) 은, 제 1 시그널 도체 (72A) 를 제 2 시그널 도체 (51) 에 맞닿음시킨 상태에서 고정시킴으로써 제 2 그라운드 판 (5B) 에 접속한다. 이 때, 그라운드 도체 (74A) 는, 제 2 그라운드 판 (5B) 의 표면에 맞닿는다. 이로써, 제 2 그라운드 판 (5B) 과 그라운드 도체 (74A) 가 전기적으로 접속한다. 또한, 제 1 시그널 도체 (72A) 와 제 2 시그널 도체 (51) 를 납땜 등에 의해 고착시켜 양자를 전기적으로 접속해도 된다. 또한, 제 2 그라운드 판 (5B) 과 그라운드 도체 (74A) 를 납땜 등에 의해 고착시켜 양자를 전기적으로 접속해도 된다.
또한, 프로브 (2S) 는, 제 2 시그널 도체 (51) 의 제 1 시그널 도체 (72A) 가 맞닿는 측과 반대측에 맞닿음시켜 전기적으로 접속한다. 프로브 (2G) 는, 제 2 그라운드 판 (5B) 의 표면 중, 그라운드 도체 (74A) 가 맞닿는 측과 반대측의 표면에 맞닿음시켜 전기적으로 접속한다.
이상 설명한 본 변형예 2 에 있어서도, 동축 케이블의 시그널 도체, 및, 그라운드 도체와 그라운드 판에 의해 형성되는 그라운드부의 단면이 동일 평면 상에 위치하고, 이 시그널 도체 및 그라운드부에 대하여, 복수의 프로브를 접촉시켜 시그널 선로 및 그라운드 선로를 도통시키도록 하였다. 본 변형예 2 에 의하면, 동축 선로를 유지할 수 있기 때문에, 종래와 같은 선로의 형태 변화가 없고, 그 결과, 노이즈를 억제할 수 있다. 또한, 변형예 2 는, 실시형태와 마찬가지로, 프로브 (2) 의 배치의 자유도가 높아, 여러 가지 측정에 대응시킬 수 있다.
(변형예 3)
도 9 는, 변형예 3 에 관련된 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 9 의 (a) 는, 동축 케이블의 단면도를 나타낸다. 도 9 의 (b) 는, 동축 케이블의 평면도를 나타낸다. 본 변형예 3 에 관련된 측정 유닛은, 상기 서술한 제 2 그라운드 판 (5) 을 갖지 않고, 동축 케이블 (71) 대신에 동축 케이블 (71C) 이 형성된다. 이하, 상기 서술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
동축 케이블 (71C) 은, 상기 서술한 시그널 도체 (72) 및 유전체 (73) 와, 유전체 (73) 의 외주를 덮는 그라운드 도체 (74B) 를 갖는다. 시그널 도체 (72), 유전체 (73) 및 그라운드 도체 (74B) 는, 동축 구조를 이루고 있다.
그라운드 도체 (74B) 는, 동축 케이블 (71C) (유전체 (73)) 의 길이 방향을 따라 연장되는 통상부 (741) 와, 통상부 (741) 의 일단부에 형성되고, 평판상을 이루는 평판부 (742) 를 갖는다. 이 때, 시그널 도체 (72) 및 유전체 (73) 의 단면 중, 평판부 (742) 의 표면에 노출되는 측의 단면과, 평판부 (742) 의 표면은, 동일 평면 상에 위치한다. 본 변형예 3 에서는, 그라운드 도체 (74B) 가 그라운드부를 구성한다.
프로브 (2S) 는, 평판부 (742) 로부터 표출되는 시그널 도체 (72) 에 접촉한다. 한편, 프로브 (2G) 는, 평판부 (742) 의 표면에 접촉한다.
이상 설명한 본 변형예 3 에 있어서도, 동축 케이블의 시그널 도체의 단면, 및, 그라운드 도체 (평판부) 의 표면이 동일 평면 상에 위치하고, 이 시그널 도체 및 그라운드 도체에 대하여, 복수의 프로브를 접촉시켜 시그널 선로 및 그라운드 선로를 도통시키도록 하였다. 본 변형예 3 에 의하면, 동축 선로를 유지할 수 있기 때문에, 종래와 같은 선로의 형태 변화가 없고, 그 결과, 노이즈를 억제할 수 있다. 또한, 변형예 3 은, 실시형태와 마찬가지로, 프로브 (2) 의 배치의 자유도가 높아, 여러 가지 측정에 대응시킬 수 있다.
(변형예 4)
도 10 은, 변형예 4 에 관련된 동축 케이블의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 10 의 (a) 는, 동축 케이블의 단면도를 나타낸다. 도 10 의 (b) 는, 동축 케이블의 평면도를 나타낸다. 본 변형예 4 에 관련된 측정 유닛은, 상기 서술한 제 2 그라운드 판 (5) 을 갖지 않고, 동축 케이블 (71) 대신에 동축 케이블 (71D) 이 형성된다. 이하, 상기 서술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
동축 케이블 (71D) 은, 상기 서술한 시그널 도체 (72) 및 유전체 (73) 와, 유전체 (73) 의 외주를 덮는 그라운드 도체 (74C) 를 갖는다.
그라운드 도체 (74C) 는, 유전체 (73) 를 덮는 제 1 통상부 (743) 와, 제 1 통상부 (743) 가 덮는 유전체 (73) 와는 상이한 유전체 (73) 를 덮는 제 2 통상부 (744) 와, 제 1 통상부 (743) 및 제 2 통상부 (744) 의 일단부에 형성되고, 평판상을 이루는 평판부 (745) 를 갖는다. 이 때, 시그널 도체 (72) 및 유전체 (73) 의 단면 중, 평판부 (745) 의 표면에 노출되는 측의 단면과, 평판부 (745) 의 표면은, 동일 평면 상에 위치한다.
본 변형예 4 에서는, 2 개의 프로브 (2S) 와, 3 개의 프로브 (2G) 가 형성된다. 도 11 은, 변형예 4 에 관련된 동축 케이블과 프로브의 접촉 양태의 일례를 나타내는 사시도이다. 일방의 프로브 (2S) 는, 평판부 (745) 로부터 표출되는 일방의 시그널 도체 (72) 에 접촉한다. 타방의 프로브 (2S) 는, 평판부 (745) 로부터 표출되는 타방의 시그널 도체 (72) 에 접촉한다. 또한, 프로브 (2G) 중 1 개는, 프로브 (2S) 사이 (내측) 에 위치하고, 평판부 (745) 의 표면에 접촉한다. 나머지 2 개의 프로브 (2G) 는, 2 개의 프로브 (2S) 에 대하여 외측에 각각 위치하고, 평판부 (745) 의 표면에 접촉한다.
또한, 프로브 (2G) 는, 도 11 에 나타내는 배치나, 배치 형성 수에 한정하지 않고, 여러 가지 변경이 가능하다. 예를 들어, 2 개의 프로브 (2S) 사이에 형성되는 프로브 (2G) 를 가지지 않는 구성으로 해도 된다.
이상 설명한 본 변형예 4 에 있어서도, 동축 케이블의 시그널 도체의 단면, 및, 그라운드 도체 (평판부) 의 표면이 동일 평면 상에 위치하고, 이 시그널 도체 및 그라운드 도체에 대하여, 복수의 프로브를 접촉시켜 시그널 선로 및 그라운드 선로를 도통시키도록 하였다. 본 변형예 4 에 의하면, 동축 선로를 유지할 수 있기 때문에, 종래와 같은 선로의 형태 변화가 없고, 그 결과, 노이즈를 억제할 수 있다. 또한, 변형예 4 는, 실시형태와 마찬가지로, 프로브 (2) 의 배치의 자유도가 높아, 여러 가지 측정에 대응시킬 수 있다.
또한, 상기 서술한 변형예 1 ∼ 4 에서는, 제 2 그라운드 판, 및 그 제 2 그라운드 판에 접속하는 동축 케이블의 구성이나, 제 2 그라운드 판을 가지지 않는 구성에 대하여 설명했지만, 제 1 그라운드 판, 그 제 1 그라운드 판에 접속하는 동축 케이블의 구성에 대해서도 적용 가능하고, 프로브 (2) 가 동축 케이블과 접속하는 양태는, 상기 서술한 구성 중 어느 것을 채용할 수 있다. 이 때, 동일한 구성을 조합해도 되고, 서로 상이한 구성을 조합해도 된다.
지금까지, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 서술한 실시형태에 의해서만 한정되어야 하는 것은 아니다. 예를 들어, 그라운드 판은, 프로브 (2G) 와 그라운드 판의 도통을 도모할 수 있으면, 일부가 절연성을 갖는 구성이어도 된다.
또한, 여기서 설명한 컨택트 프로브의 구성은 어디까지나 일례에 지나지 않고, 종래 알려져 있는 다양한 종류의 프로브를 적용하는 것이 가능하다. 예를 들어, 상기 서술한 바와 같은 플런저와 코일 스프링으로 구성되는 것에 한정하지 않고, 파이프 부재를 구비하는 프로브, 포고 핀, 중실의 도전성 부재, 도전성의 파이프, 와이어나, 전기 접점끼리를 접속하는 접속 단자 (커넥터) 여도 되고, 이들 프로브를 적절히 조합해도 된다.
이와 같이, 본 발명은 여기서는 기재하고 있지 않은 여러 가지 실시형태 등을 포함할 수 있는 것이며, 특허 청구의 범위에 의해 특정되는 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 여러 가지 설계 변경 등을 실시하는 것이 가능하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 관련된 측정 유닛은, 노이즈를 억제하는 데에 있어서 바람직하다.
1 ; 측정 유닛
2 ; 컨택트 프로브 (프로브)
3 ; 프로브 홀더
4 ; 제 1 그라운드 판
5 ; 제 2 그라운드 판
6 ; 제 1 동축 선부
7 ; 제 2 동축 선부
21 ; 제 1 플런저
22 ; 제 2 플런저
23 ; 코일 스프링
31 ; 제 1 부재
32 ; 제 2 부재
51 ; 제 2 시그널 도체
52 ; 제 2 유전체
61, 71, 71A ∼ 71D ; 동축 케이블
62, 72 ; 시그널 도체
63, 73 ; 유전체
64, 74, 74A ∼ 74C ; 그라운드 도체
72A ; 제 1 시그널 도체
73A ; 제 1 유전체
2 ; 컨택트 프로브 (프로브)
3 ; 프로브 홀더
4 ; 제 1 그라운드 판
5 ; 제 2 그라운드 판
6 ; 제 1 동축 선부
7 ; 제 2 동축 선부
21 ; 제 1 플런저
22 ; 제 2 플런저
23 ; 코일 스프링
31 ; 제 1 부재
32 ; 제 2 부재
51 ; 제 2 시그널 도체
52 ; 제 2 유전체
61, 71, 71A ∼ 71D ; 동축 케이블
62, 72 ; 시그널 도체
63, 73 ; 유전체
64, 74, 74A ∼ 74C ; 그라운드 도체
72A ; 제 1 시그널 도체
73A ; 제 1 유전체
Claims (9)
- 어스용의 전위를 도통하는 선로의 일부를 형성하고, 일단측의 표면이 평면을 이루는 그라운드부와,
측정용의 신호를 도통하는 선로의 일부를 형성하고, 단부가, 상기 그라운드부의 상기 평면과 동일 평면 상에 표출하는 시그널부와,
상기 그라운드부와 상기 시그널부 사이에 형성되는 절연성의 유전부와,
길이 축을 따라 자유롭게 신축할 수 있는 도전성의 제 1 컨택트 프로브로서, 상기 시그널부에 접촉하는 제 1 컨택트 프로브와,
길이 축을 따라 자유롭게 신축할 수 있는 도전성의 제 2 컨택트 프로브로서, 상기 그라운드부에 접촉하는 제 2 컨택트 프로브,
를 구비하는 것을 특징으로 하는 측정 유닛. - 제 1 항에 있어서,
그라운드 판과,
상기 그라운드 판에 접속하는 동축 케이블,
을 구비하고,
상기 동축 케이블은,
상기 시그널부의 상기 선로의 일부를 형성하는 시그널 도체와,
상기 시그널 도체의 외주에 형성되는 유전체와,
상기 유전체의 외주에 형성되는 그라운드 도체,
를 갖고,
상기 시그널 도체가 상기 시그널부를 구성하고,
상기 유전체가 상기 유전부를 구성하고,
상기 그라운드 도체 및 상기 그라운드 판이 상기 그라운드부를 구성하는,
것을 특징으로 하는 측정 유닛. - 제 2 항에 있어서,
상기 그라운드 판에는, 상기 그라운드 도체가 삽입 통과되는 관통공이 형성되는,
것을 특징으로 하는 측정 유닛. - 제 2 항에 있어서,
상기 그라운드 판에는, 상기 유전체가 삽입 통과되는 관통공이 형성되고,
상기 그라운드 도체는, 상기 그라운드 판의 표면과 전기적으로 접속하는,
것을 특징으로 하는 측정 유닛. - 제 1 항에 있어서,
그라운드 판과,
상기 그라운드 판에 접속하는 동축 케이블,
을 구비하고,
상기 그라운드 판은,
상기 시그널부의 상기 선로의 일부를 형성하는 시그널 중계부와,
상기 시그널 중계부의 외주를 덮는 그라운드 판측 유전체,
를 갖고,
상기 동축 케이블은,
상기 시그널부의 상기 선로의 일부를 형성하고, 상기 시그널 중계부와 전기적으로 접속하는 시그널 도체와,
상기 시그널 도체의 외주에 형성되는 케이블측 유전체와,
상기 케이블측 유전체의 외주에 형성되고, 상기 그라운드 판의 상기 시그널 중계부 및 상기 그라운드 판측 유전체와는 상이한 위치에 있어서 전기적으로 접속하는 그라운드 도체,
를 갖고,
상기 시그널 중계부 및 상기 시그널 도체가 상기 시그널부를 구성하고,
상기 그라운드 판측 유전체 및 상기 케이블측 유전체가 상기 유전부를 구성하고,
상기 그라운드 도체 및 상기 그라운드 판이 상기 그라운드부를 구성하는,
것을 특징으로 하는 측정 유닛. - 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 그라운드 판에는, 복수의 상기 동축 케이블이 접속되는,
것을 특징으로 하는 측정 유닛. - 제 1 항에 있어서,
상기 시그널부의 상기 선로를 형성하는 시그널 도체와, 상기 시그널 도체의 외주에 형성되고, 상기 유전부를 구성하는 유전체와, 상기 유전체의 외주에 형성되고, 상기 그라운드부를 구성하는 그라운드 도체를 구비하는 동축 케이블,
을 구비하고,
상기 그라운드 도체는,
상기 시그널 도체 및 상기 유전체를 따라 연장되는 통상부와,
상기 통상부의 일단부에 형성되고, 평판상을 이루는 평판부,
를 갖고,
상기 시그널 도체 및 상기 유전체의 단면은, 상기 평판부의 표면과 동일 평면 상에 위치하는,
것을 특징으로 하는 측정 유닛. - 제 7 항에 있어서,
상기 시그널 도체, 상기 유전체 및 상기 통상부를 복수 세트 갖는,
것을 특징으로 하는 측정 유닛. - 제 1 항에 있어서,
상기 그라운드부, 상기 시그널부 및 상기 유전부를 갖는 제 1 접속부와,
상기 그라운드부, 상기 시그널부 및 상기 유전부를 갖는 제 2 접속부로서, 상기 제 1 접속부에 대향하여 형성되는 제 2 접속부,
를 구비하고,
상기 제 1 및 제 2 컨택트 프로브는, 일단이 상기 제 1 접속부와 접촉하고, 타단이 상기 제 2 접속부와 접촉하는,
것을 특징으로 하는 측정 유닛.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020209745A JP2022096563A (ja) | 2020-12-17 | 2020-12-17 | 測定ユニット |
| JPJP-P-2020-209745 | 2020-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20220087381A true KR20220087381A (ko) | 2022-06-24 |
Family
ID=81992612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210177987A KR20220087381A (ko) | 2020-12-17 | 2021-12-13 | 측정 유닛 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20220196704A1 (ko) |
| JP (1) | JP2022096563A (ko) |
| KR (1) | KR20220087381A (ko) |
| CN (1) | CN114646858A (ko) |
| TW (1) | TWI785933B (ko) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4678993B2 (ja) | 2001-06-19 | 2011-04-27 | 日置電機株式会社 | 高周波プローブおよび高周波プローブの製造方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6039580A (en) * | 1998-07-16 | 2000-03-21 | Raytheon Company | RF connector having a compliant contact |
| JP2001244308A (ja) * | 2000-02-25 | 2001-09-07 | Mitsubishi Electric Corp | 高周波信号用のプローブ |
| US6515499B1 (en) * | 2000-09-28 | 2003-02-04 | Teradyne, Inc. | Modular semiconductor tester interface assembly for high performance coaxial connections |
| US6686732B2 (en) * | 2001-12-20 | 2004-02-03 | Teradyne, Inc. | Low-cost tester interface module |
| US6951482B1 (en) * | 2004-03-16 | 2005-10-04 | Credence Systems Corporation | Controlled-impedance coaxial cable interconnect system |
| US7053643B2 (en) * | 2004-03-25 | 2006-05-30 | Intel Corporation | Radio frequency (RF) test probe |
| TWM358968U (en) * | 2008-12-31 | 2009-06-11 | Universal Scient Ind Co Ltd | Probe device |
| TWI424165B (zh) * | 2009-04-09 | 2014-01-21 | Nhk Spring Co Ltd | 接觸探針及探針單元 |
| USRE47459E1 (en) * | 2011-10-24 | 2019-06-25 | Ardent Concepts, Inc. | Controlled-impedance cable termination using compliant interconnect elements |
| US9645172B2 (en) * | 2014-10-10 | 2017-05-09 | Samtec, Inc. | Cable assembly |
| TWI569017B (zh) * | 2014-11-14 | 2017-02-01 | Nippon Mektron Kk | Coaxial probe holding mechanism and electrical characteristics check device |
| TWI537566B (zh) * | 2014-11-18 | 2016-06-11 | Mpi Corp | Probe module |
| US10931040B1 (en) * | 2018-08-02 | 2021-02-23 | Ardent Concepts, Inc. | Controlled-impedance circuit board connector assembly |
-
2020
- 2020-12-17 JP JP2020209745A patent/JP2022096563A/ja active Pending
-
2021
- 2021-12-10 US US17/547,400 patent/US20220196704A1/en active Pending
- 2021-12-13 KR KR1020210177987A patent/KR20220087381A/ko not_active Application Discontinuation
- 2021-12-15 TW TW110146973A patent/TWI785933B/zh active
- 2021-12-16 CN CN202111541661.1A patent/CN114646858A/zh active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4678993B2 (ja) | 2001-06-19 | 2011-04-27 | 日置電機株式会社 | 高周波プローブおよび高周波プローブの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20220196704A1 (en) | 2022-06-23 |
| CN114646858A (zh) | 2022-06-21 |
| TW202225698A (zh) | 2022-07-01 |
| TWI785933B (zh) | 2022-12-01 |
| JP2022096563A (ja) | 2022-06-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9645172B2 (en) | Cable assembly | |
| US7332923B2 (en) | Test probe for high-frequency measurement | |
| KR100638694B1 (ko) | 검사용 동축 프로브 및 그것을 이용한 검사 유닛 | |
| US6039580A (en) | RF connector having a compliant contact | |
| TWI479732B (zh) | 彈簧負載式微波互連器 | |
| JP3998996B2 (ja) | 高周波伝送線路接続システムおよびその方法 | |
| KR100855208B1 (ko) | 고성능 테스터 인터페이스 모듈 | |
| JPWO2007125974A1 (ja) | 導電性接触子ホルダ | |
| WO2008072322A1 (ja) | 同軸ケーブルユニット、及び試験装置 | |
| JP2003520473A (ja) | 圧縮可能な中心導体による同軸またはｇｃｐｗ回路とエアラインとの間の垂直相互接続装置 | |
| JP7226520B2 (ja) | プローブ素子およびプローブユニット | |
| JP2019138768A (ja) | プローブ | |
| JP6729657B2 (ja) | 接続切換装置 | |
| CN113039442A (zh) | 探头 | |
| KR102015788B1 (ko) | 검사장치 | |
| JP3226821U (ja) | 多極コネクタを測定するためのプローブ | |
| KR20220087381A (ko) | 측정 유닛 | |
| JP7334791B2 (ja) | 検査用コネクタ及び検査用ユニット | |
| JP7327659B2 (ja) | 検査用コネクタ及び検査用ユニット | |
| JP7184205B2 (ja) | コネクタ測定用プローブ及びコネクタの測定方法 | |
| JP7276363B2 (ja) | アダプタ | |
| WO2022201846A1 (ja) | 検査用コネクタ | |
| JP7464009B2 (ja) | コネクタセット、及び同軸コネクタ | |
| JP2020020660A (ja) | 半導体デバイスの検査治具 | |
| KR100921223B1 (ko) | 전선 연결 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal |