JP7184205B2 - コネクタ測定用プローブ及びコネクタの測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、電気信号、電圧、電流等の経路の一部を構成するコネクタに接続して、そのコネクタを備える電子機器を検査する、コネクタ測定用プローブ及びコネクタの測定方法に関する。

特許文献１には、電子機器の回路基板等に設けられた複数のコネクタに当接して、電子機器の複数箇所で伝送される信号を同時に測定するプローブが示されている。このようなプローブを用いれば、複数のプローブを配置することによるプローブ同士の接触が回避され、回路基板が小型化・高密度化されても測定が容易となる。

国際公開第２０１６／０７２１９３号

特許文献１に示されるプローブにおいては、複数の同軸コネクタが並ぶ場合に、より高密度化して、端子間がさらに狭くなった場合には、信号端子間の干渉が顕在化するおそれがある。また、多極コネクタなどを被測定物とする場合においては、端子間がシールドされない構造となる。または相手方のコネクタに嵌合する状態ではじめてシールド構造となるだけであり、相手方のコネクタとの非接続状態ではシールド構造にならない場合もある。何れも信号端子間のアイソレーションが問題となる。

このように、複数の信号電極に当接させて、それらを同時に測定するコネクタ測定用プローブにおいては、信号経路同士が互いに干渉して正しい測定が行えない場合がある。

そこで、本発明の目的は、信号経路同士のアイソレーションを高めたコネクタ測定用プローブ及びコネクタの測定方法を提供することにある。

本開示の一例としてのコネクタ測定用プローブは、複数の信号端子及び複数のグランド端子を有する被測定コネクタに対する測定用プローブであって、前記信号端子に接する中心導体を有するそれぞれ同軸構造の複数のプローブ部と、当該プローブ部をそれぞれ挿通するための挿通孔と、前記グランド端子に接するグランド導体部と、を有する導電性のプランジャと、を備え、前記中心導体は、前記プランジャの主面から前記被測定コネクタに向かって、突出可能に構成され、前記グランド導体部は、前記主面上に、前記複数のプローブ部のうち、隣接する一方のプローブ部と他方のプローブ部との間で、前記中心導体の突出方向に突出する突出部を有する、ことを特徴とする。

また、本開示に一例としてのコネクタの測定方法は、複数の信号端子及びグランド端子を有する被測定コネクタを、測定用プローブを用いて測定するコネクタの測定方法であって、前記測定用プローブは、中心導体をそれぞれ有する複数のプローブ部と、当該プローブ部をそれぞれ挿通するための挿通孔と、グランド導体部と、を有する導電性のプランジャと、を備え、前記中心導体は、前記プランジャの主面から前記被測定コネクタに向かって、突出可能に構成され、前記グランド導体部は、前記主面上に、前記複数のプローブ部のうち、隣接する一方のプローブ部と他方のプローブ部との間で、前記中心導体の突出方向に突出する突出部を有し、前記中心導体を前記信号端子に接触させ、前記グランド導体部を前記グランド端子に接触させることで、前記被測定コネクタを測定する、ことを特徴とする。

上記構造により、プローブ部の、隣接する中心導体はグランド導体部でシールドされる。

本発明によれば、信号経路同士のアイソレーションの高いコネクタ測定用プローブが得られる。また、信号経路同士のアイソレーションが高い状態でコネクタの測定を行える。

図１は第１の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０１の斜視図である。 図２はコネクタ測定用プローブ１０１の平面図である。 図３は被測定コネクタ３０１の斜視図である。 図４は被測定コネクタ３０１の平面図である。 図５は、被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１を装着した状態の部分縦断面図である。 図６は、被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１を装着した状態の部分横断面図である。 図７（Ａ）は、本実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０１の反射特性及びアイソレーション特性を示す図であり、図７（Ｂ）は、比較例としてのコネクタ測定用プローブの反射特性及びアイソレーション特性を示す図である。 図８は第２の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０２の斜視図である。 図９はコネクタ測定用プローブ１０２の平面図である。 図１０（Ａ）は第３の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０３の斜視図である。図１０（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０３の測定対象であるコネクタの斜視図である。 図１１（Ａ）は、コネクタ測定用プローブ１０３及び被測定コネクタ３０３の断面図である。図１１（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０３が被測定コネクタ３０３に当接している状態の断面図である。 図１２（Ａ）はコネクタ測定用プローブ１０３における、グランド導体部２０の形成領域の例を示す平面図である。図１２（Ｂ）は被測定コネクタ３０３の平面図である。 図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）、図１３（Ｃ）はグランド導体部２０の形成位置の例を示す平面図である。 図１４は第４の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０４斜視図である。 図１５（Ａ）は第５の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０５及び被測定コネクタ３０５の断面図である。図１５（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０５が被測定コネクタ３０５に当接している状態の断面図である。 図１６（Ａ）は第６の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０６及び被測定コネクタ３０６の断面図である。図１６（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０６が被測定コネクタ３０６に当接している状態の断面図である。 図１７は第７の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０７の斜視図である。 図１８（Ａ）は第７の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０７の平面図であり、図１８（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０７の断面図である。 図１９は第８の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０８の斜視図である。 図２０（Ａ）は第８の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０８の平面図であり、図２０（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０８が被測定コネクタ３０８に当接している状態の断面図である。 図２１（Ａ）は第９の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０９の平面図であり、図２１（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０９が被測定コネクタ３０９に当接している状態の断面図である。 図２２は第１０の実施形態に係る被測定コネクタ３１０の斜視図である。 図２３（Ａ）は、コネクタ測定用プローブ１１０及び被測定コネクタ３１０の断面図である。図２３（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１１０が被測定コネクタ３１０に装着されている状態を示す。

《第１の実施形態》
図１は第１の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０１の斜視図である。図２はコネクタ測定用プローブ１０１の平面図である。このコネクタ測定用プローブ１０１は、複数の信号端子及び複数のグランド端子を有する被測定コネクタに対する測定用プローブである。図３は被測定コネクタ３０１の斜視図であり、図４はその平面図である。

図３、図４に示す被測定コネクタ３０１は、絶縁部材３０と、この絶縁部材３０に支持される複数の端子及び電極とで構成される。具体的には、８個の信号端子３１、８個のグランド端子３２及び外部導体３３を備える。この例では、信号端子３１とグランド端子３２とがＸ軸方向に交互に配置されている。また、４個の信号端子３１と４個のグランド端子３２による列が二列形成されている。

上記被測定コネクタ３０１は電子機器の回路基板に実装される。被測定コネクタ３０１の信号端子３１には、例えばミリ波帯の高周波信号の伝送線路に接続されている。または、これら信号端子３１が高周波信号の伝送線路の一部である。

図１、図２に示すコネクタ測定用プローブ１０１は、複数の同軸ケーブル又は多芯ケーブルを介して測定装置に接続されている。このコネクタ測定用プローブ１０１は、その先端部が、上記被測定コネクタ３０１に対してＺ軸方向に挿抜される。被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１の先端部を挿入した状態（絶縁状態）で、上記電子機器の所定の特性が上記測定装置によって測定される。

コネクタ測定用プローブ１０１は、８個のプローブ部１０と、これらプローブ部１０を保持するプランジャ２とを備える。各プローブ部１０は、中心導体１１Ａ～１１Ｈ、外部導体１２及び絶縁体部１３をそれぞれ有する。プローブ部１０の中心導体１１Ａ～１１Ｈは、絶縁体部１３で絶縁された状態で外部導体１２に保持されている。

プランジャ２は例えばステンレススチール製であり、導電性を有する。プランジャ２には、プローブ部１０をそれぞれ挿通するための挿通孔Ｈを有する。プローブ部１０の外部導体１２は挿通孔Ｈの内面に接するので、プローブ部１０の外部導体１２とプランジャ２とは電気的に導通する。

プローブ部１０は、その中心導体１１Ａ～１１Ｈの先端がプランジャ２の主面ＭＳから突出可能状態で、絶縁体部１３に保持されている。中心導体１１Ａ～１１Ｈの後端はコイルスプリングで、先端方向へ付勢されている。したがって、中心導体１１Ａ～１１Ｈの先端は、コイルスプリングの反発力に相当する荷重で被測定コネクタの信号端子に当接する。

プランジャ２は被測定コネクタのグランド端子に接する、第１、第２の２つのグランド導体部２０を備える。グランド導体部２０は、複数のプローブ部１０の列に沿って、主面ＭＳ上に連続して形成された導体である。このグランド導体部２０には、複数のプローブ部１０のうち隣接する一方のプローブ部１０の中心導体１１Ａ～１１Ｈと他方のプローブ部１０の中心導体１１Ａ～１１Ｈとの間に突出する突出部２１Ａ～２１Ｊを有する。

この例では、グランド導体部２０はプランジャ２と一体化されている。つまり、グランド導体部２０はプランジャ２との一体物である。例えば、グランド導体部２０は削り出し工法でプランジャ２の主面から突出するように形成されている。なお、グランド導体部２０を別体で加工し、導電性接着剤等を介してプランジャ２に接着してもよい。また、グランド導体部２０を別体で作り、プランジャ２の主面に嵌合させることによって組み付けてもよい。なお、グランド導体部２０は２列に限らない。例えば３列以上あってもよい。

図示はしないが、グランド導体部２０を含むプランジャ２は同軸ケーブルまたは多芯ケーブルの芯線を囲む外部導体などのグランドや測定装置のグランドに電気的に接続される。

また、グランド導体部２０は、中心導体１１Ａ～１１Ｈの突出方向（Ｚ軸方向）から見て、複数の中心導体１１Ａ～１１Ｈの周囲を部分的に囲む位置にある囲み部２２Ａ～２２Ｈを備える。図２に示す例では、８つの囲み部２２Ａ～２２Ｈはそれぞれ凹形状を有していて、これら囲み部２２Ａ～２２Ｈによって８個の中心導体１１Ａ～１１Ｈの周囲を囲んでいる。

複数のプローブ部１０は、図２に表れているように、互いに平行な、第１列Ｃ１及び第２列Ｃ２に沿って配置されている。

第１グランド導体部２０は、複数の突出部２１Ａ～２１Ｅと、複数の突出部２１Ａ～２１Ｅの間に形成された複数の囲み部２２Ａ～２２Ｄを有し、第２グランド導体部２０は、複数の突出部２１Ｆ～２１Ｊと、複数の突出部２１Ｆ～２１Ｊの間に形成された複数の囲み部２２Ｅ～２２Ｈを有する。主面ＭＳ上において上記第１列及び第２列に対する垂直方向に視て、第１グランド導体部２０の複数の突出部２１Ａ～２１Ｄは、第２グランド導体部２０の複数の囲み部２２Ｅ～２２Ｈに対向している。また、第２グランド導体部２０の複数の突出部２１Ｆ～２１Ｉは、第１グランド導体部２０の複数の囲み部２２Ａ～２２Ｄに対向している。

図２に表れているように、突出部２１は主面ＭＳに沿った方向（Ｙ軸方向）にも突出していて、第１列Ｃ１のプローブ部１０のうち、隣接する中心導体間で、突出部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄの、主面ＭＳに沿った突出方向の延長線は、第２列Ｃ２のプローブ部１０の中心導体１１Ｅ～１１Ｈにそれぞれ交わる。例えば、図２において、第１列Ｃ１から第２列Ｃ２方向へ延びる、先端矢尻付きの直線は、第１列Ｃ１のプローブ部１０のうち、隣接する中心導体間で、突出部２１Ｃの、主面ＭＳに沿った突出方向の延長線である。この延長線は第２列Ｃ２のプローブ部１０の中心導体１１Ｆに交わる。この関係は、第１列Ｃ１と第２列Ｃ２とを入れ替えても同様である。例えば、第２列Ｃ２から第１列Ｃ１方向へ延びる、先端矢尻付きの直線は、第２列Ｃ２のプローブ部１０のうち、隣接する中心導体間で、突出部２１Ｇの、主面ＭＳに沿った突出方向の延長線である。この延長線は第１列Ｃ１のプローブ部１０の中心導体１１Ｃに交わる。

また、複数の中心導体１１Ａ～１１Ｈの全体が複数の囲み部２２Ａ～２２Ｈで囲まれているだけでなく、中心導体１１Ａ～１１Ｈそれぞれは、そのＸ軸方向の両脇部の突出部（突出部２１Ａ～２１Ｊのうち２つの突出部）でも囲まれる。さらには、対向する列の突出部によっても囲まれる。例えば、中心導体１１Ｆは、囲み部２２Ｆ、突出部２１Ｇ，２１Ｈ及び突出部２１Ｃによって囲まれる。同様に、例えば、中心導体１１Ｃは、囲み部２２Ｃ、突出部２１Ｃ，２１Ｄ及び突出部２１Ｇによって囲まれる。

被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１を装着した状態で、コネクタ測定用プローブ１０１の係合部２３は被測定コネクタ３０１の係合部３３Ｅ（図３）に係合する。この係合によって、被測定コネクタ３０１に対するコネクタ測定用プローブ１０１の嵌合状態が確保される。

グランド導体部２０は、被測定コネクタ３０１のグランド端子３２に接する接触部Ｅｉ，Ｅｏを有する。接触部Ｅｉは被測定コネクタ３０１のグランド端子３２の中心寄りの内側面に接し、接触部Ｅｏは被測定コネクタ３０１のグランド端子３２の外側寄りの内側面に接する。

図５は、被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１を装着した状態の部分縦断面図である。図６は、被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１を装着した状態の部分横断面図である。図５は図６におけるＹ－Ｙ部分での断面の一部である。また、図６の横断面の高さは図５におけるＳ－Ｓ部分に相当する。

被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１を装着した状態で、コネクタ測定用プローブ１０１のプローブ部１０の中心導体１１Ｃの先端は、被測定コネクタ３０１の信号端子３１の上面に当接して電気的に接続される。また、コネクタ測定用プローブ１０１のグランド導体部２０の接触部Ｅｉ，Ｅｏが被測定コネクタ３０１のグランド端子３２に接して電気的に接続される。

図７（Ａ）は、本実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０１の反射特性及びアイソレーション特性を示す図であり、図７（Ｂ）は、比較例としてのコネクタ測定用プローブの反射特性及びアイソレーション特性を示す図である。この比較例としてのコネクタ測定用プローブは、図１、図２に示した突出部２１Ａ～２１Ｊを備えない。

図７（Ａ）、図７（Ｂ）において、反射特性ＲＬ１は図１、図２に示した８個のプローブ部１０のうち、両端以外のプローブ部１０における反射損失であり、反射特性ＲＬ２は図１、図２に示した８個のプローブ部１０のうち、両端のプローブ部１０における反射損失である。また、アイソレーションＩＳＯ－Ｃは被測定コネクタ３０１側からみた、隣接するプローブ部１０間でのアイソレーションであり、アイソレーションＩＳＯ－Ｐはコネクタ測定用プローブ１０１側からみた、隣接するプローブ部１０間でのアイソレーションである。

比較例としてのコネクタ測定用プローブでは、５５ＧＨｚにおいて－５ｄＢ程度の反射損失特性しか得られていない。また、５５ＧＨｚにおいて－１３ｄＢ以下のプローブ間アイソレーション特性しか得られていない。

これに対し、本実施形態のコネクタ測定用プローブ１０１によれば、５５ＧＨｚ以下の周波数帯で－２０ｄＢ以下の反射損失特性が得られている。また、５５ＧＨｚ以下の周波数帯で－４０ｄＢ以下のプローブ間アイソレーション特性が得られている。

本実施形態によれば、被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１が装着された状態で、コネクタ測定用プローブ１０１のグランド導体部２０の突出部２１Ａ～２１Ｊによって、中心導体１１Ａ～１１Ｈ間の電磁界的シールドがなされる。また、中心導体１１Ａ～１１Ｈは、囲み部２２Ａ～２２Ｈ及び突出部２１Ａ～２１Ｊによって囲まれることにより、被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０１を装着した状態で、グランド導体で囲まれない領域が短くなり、インピーダンス整合が確保される。つまり、インピーダンス整合が確保された低反射状態での測定が可能となる。さらに、中心導体１１Ａ～１１Ｈは、囲み部２２Ａ～２２Ｈ及び突出部２１Ａ～２１Ｊによって囲まれるので、外部との間での電磁界的シールドがなされる。

《第２の実施形態》
第２の実施形態では、第１の実施形態で示した例とはグランド導体部の形状が異なるコネクタ測定用プローブについて示す。

図８は第２の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０２の斜視図である。図９はコネクタ測定用プローブ１０２の平面図である。先に示したコネクタ測定用プローブ１０１と同様に、コネクタ測定用プローブ１０２も、複数の信号端子及び複数のグランド端子を有する被測定コネクタに対する測定用プローブである。

コネクタ測定用プローブ１０２は、８個のプローブ部１０と、これらプローブ部１０を保持するプランジャ２とを備える。各プローブ部１０は、中心導体１１、外部導体１２及び絶縁体部１３をそれぞれ有する。プローブ部１０の中心導体１１は、絶縁体部１３で絶縁された状態で外部導体１２に保持されている。プランジャ２に対するプローブ部１０の取り付け構造は第１の実施形態で示したとおりである。

プランジャ２は被測定コネクタのグランド端子に接する８個のグランド導体部２０を備える。図９に示すように、グランド導体部２０には、複数のプローブ部１０のうち隣接する一方のプローブ部１０の中心導体１１と他方のプローブ部１０の中心導体１１との間で、Ｚ軸方向に突出する突出部２１を有する。

複数のプローブ部１０は、図９に表れているように、互いに平行な、第１列Ｃ１及び第２列Ｃ２に沿って配置されている。

図９に表れているように、突出部２１は主面ＭＳに沿ったＹ軸方向にも突出していて、第１列Ｃ１のプローブ部１０のうち、隣接する中心導体間で、突出部２１の、主面ＭＳに沿った突出方向の延長線は、第２列Ｃ２のプローブ部１０の中心導体１１にそれぞれ交わる。つまり、図９において、第１列Ｃ１から第２列Ｃ２方向へ延びる、先端矢尻付きの直線は、第１列Ｃ１のプローブ部１０のうち、隣接する中心導体間で、突出部２１の、主面ＭＳに沿った突出方向の延長線である。この延長線は第２列Ｃ２のプローブ部１０の中心導体１１に交わる。この関係は、第１列Ｃ１と第２列Ｃ２とを入れ替えても同様である。例えば、第２列Ｃ２から第１列Ｃ１方向へ延びる、先端矢尻付きの直線は、第２列Ｃ２のプローブ部１０のうち、隣接する中心導体間で、突出部２１の、主面ＭＳに沿った突出方向の延長線である。この延長線は第１列Ｃ１のプローブ部１０の中心導体１１に交わる。

グランド導体部２０は、被測定コネクタ３０１（図３、図４）のグランド端子３２に接する接触部Ｅｉ，Ｅｏを有する。接触部Ｅｉは被測定コネクタ３０１のグランド端子３２の中心寄りの内側面に接し、接触部Ｅｏは被測定コネクタ３０１のグランド端子３２の外側寄りの内側面に接する。

第２の実施形態によれば、被測定コネクタ３０１にコネクタ測定用プローブ１０２が装着された状態で、コネクタ測定用プローブ１０２のグランド導体部２０の突出部２１によって、互いに隣接する中心導体１１間の電磁界的シールドがなされる。

《第３の実施形態》
第３の実施形態では、これまでに示した例とはグランド導体部の形状等が異なるコネクタ測定用プローブについて示す。

図１０（Ａ）は第３の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０３の斜視図である。図１０（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０３の測定対象であるコネクタの斜視図である。

コネクタ測定用プローブ１０３は、２個のプローブ部１０と、これらプローブ部１０を保持するプランジャ２とを備える。各プローブ部１０は、中心導体１１及び絶縁体部１３をそれぞれ有する。プローブ部１０の中心導体１１は、絶縁体部１３で絶縁された状態でプランジャ２に保持されている。

被測定コネクタ３０３は、絶縁部材３０と、この絶縁部材３０に支持される信号端子３１及びグランド端子３２とで構成される。１つの信号端子３１、１つのグランド端子３２及びこれらを支持する絶縁部材３０によって１つの同軸コネクタが構成されている。この例では、２つの同軸コネクタで被測定コネクタ３０３が構成されている。

上記被測定コネクタ３０３は電子機器の回路基板に実装される。被測定コネクタ３０３の信号端子３１及びグランド端子３２には、例えば高周波信号の伝送線路に接続されている。

図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示すコネクタ測定用プローブ１０３は、２つのケーブルを介して測定装置に接続されている。図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示す例では、２つのプローブ部１０の中心導体１１及び同軸コネクタの信号端子３１がそれぞれＸ軸方向に並ぶように配置されていて、コネクタ測定用プローブ１０３は、その先端部が、上記被測定コネクタ３０３に対してＺ軸方向に当接される。被測定コネクタ３０３にコネクタ測定用プローブ１０３の先端部を当接させた状態で、上記電子機器の所定の特性が上記測定装置によって測定される。

プランジャ２は例えばステンレススチールの成型体であり、導電性を有する。プランジャ２には、プローブ部１０をそれぞれ挿通するための挿通孔Ｈを有する。

プローブ部１０は、その中心導体１１の先端がプランジャ２の主面ＭＳから突出可能状態で、絶縁体部１３に保持されている。中心導体１１の後端はコイルスプリングで、先端方向（Ｚ軸方向）へ付勢されている。したがって、中心導体１１の先端は、コイルスプリングの反発力に相当する荷重で被測定コネクタの信号端子３１に当接する。

プランジャ２は被測定コネクタのグランド端子に接するグランド導体部２０を備える。このグランド導体部２０は、プランジャ２の主面ＭＳから２つのプローブ部１０の中心導体１１の突出方向（Ｚ軸方向）に所定寸法だけ突出する突出部を有する。この例ではグランド導体部２０全体が突出部である。

図１１（Ａ）は、コネクタ測定用プローブ１０３及び被測定コネクタ３０３の断面図である。図１１（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０３が被測定コネクタ３０３に当接している状態の断面図である。

図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）に表れているように、被測定コネクタ３０３にコネクタ測定用プローブ１０３を当接させた状態で、コネクタ測定用プローブ１０３のグランド導体部２０の短辺の中央付近が被測定コネクタ３０３のグランド端子３２に当接する。図１１（Ｂ）において丸で囲んだ箇所がこれら当接部である。プランジャ２の下面の外周部はテーパー状のガイド部２４が形成されている。そのため、被測定コネクタ３０３にコネクタ測定用プローブ１０３を当接させる際、ガイド部２４が被測定コネクタのグランド端子３２を摺動して、被測定コネクタ３０３に対するコネクタ測定用プローブ１０３の位置が規定位置に定まる。また、ガイド部２４は、そのガイド作用によって、コネクタ測定用プローブ１０３の中心導体１１の中心軸と、被測定コネクタ３０３の信号端子３１の中心軸とを、ＸＹ平面内（中心導体１１の延伸方向に対して垂直な平面内）で揃える。

また、被測定コネクタ３０３にコネクタ測定用プローブ１０３を当接させた状態で、ガイド部２４は被測定コネクタ３０３とコネクタ測定用プローブ１０３との接続部の周囲をシールドするので、このガイド部２４の内外における電磁界的干渉が抑制される。

上記構造により、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間は、グランド導体部２０でシールドされる。また、ガイド部２４の形成によって、プランジャ２の下面の外縁が中心導体１１の突出方向に突出しているので、このプランジャ２の下面の外縁が、コネクタ測定用プローブ１０３とその外部との間をシールドする。

この例では、グランド導体部２０が被測定コネクタ３０３のグランド端子３２に接触する例を示したが、接触しない構成であってもよい。このようにグランド導体部２０の突出部が、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間に存在することで、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間の干渉を抑制することができる。ただし、グランド導体部２０の突出部をグランド端子３２に接触させた方が、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間を物理的に遮断することができるので、干渉抑制効果は高い。

図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）では、グランド導体部２０は、そのＹ軸方向の幅が絶縁体部１３の幅より広く、また、Ｘ軸方向の幅が２つのプローブ部１０の間隔の略全幅である例を示したが、グランド導体部２０の形成範囲はこれに限らない。

図１２（Ａ）はコネクタ測定用プローブ１０３における、上記グランド導体部２０の形成領域の例を示す平面図である。図１２（Ａ）中の破線はグランド導体部２０の形成に適した領域を示す。図１２（Ｂ）は被測定コネクタ３０３の平面図であり、図中の破線は、この被測定コネクタ３０３にコネクタ測定用プローブ１０３を当接させた状態での、上記グランド導体部２０の形成に適した領域を示す。図１２（Ａ）、図１２（Ｂ）において破線で囲む範囲はグランド導体部２０の外形線ではなく、この領域内にグランド導体部２０が存在すれば、そのグランド導体部２０によるシールド効果を奏する範囲を示している。

なお、前提として、プローブ部１０の中心導体１１と、被測定コネクタ３０３の信号端子３１との接触を妨げるような位置にグランド導体部２０が存在する状態は除く。

図１２（Ａ）、図１２（Ｂ）に示すように、コネクタ測定用プローブ１０３の中心導体１１の配列方向（Ｘ軸方向）におけるグランド導体部２０の形成領域の幅は、隣接する被測定コネクタの信号端子３１の外縁間の幅である。また、コネクタ測定用プローブ１０３の中心導体１１の配列方向（Ｘ軸方向）に対する直交方向（Ｙ軸方向）におけるグランド導体部２０の形成領域の幅は、被測定コネクタのグランド端子３２の幅である。

図１２（Ａ）において破線で示した領域にグランド導体部２０が存在すれば、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間が、グランド導体部２０でシールドされる。

なお、図１１（Ｂ）では、グランド導体部２０の２つの短辺が２つの被測定コネクタのグランド端子３２にそれぞれ当接する例を示したが、一方の短辺だけがグランド端子３２に当接する場合でも、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間のシールド効果はある。

図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）、図１３（Ｃ）はグランド導体部２０の形成位置の例を示す平面図である。これらの図において、破線は図１２（Ｂ）に示した破線と同じくグランド導体部２０の形成適正領域である。図１３（Ａ）の例では、被測定コネクタ３０３の２つのグランド端子３２のうち、一方のグランド端子３２にグランド導体部２０が接触する。図１３（Ｂ）、図１３（Ｃ）、の例では、被測定コネクタ３０３の２つのグランド端子３２にグランド導体部２０が接触する。特に、図１３（Ｃ）の例では、２つの信号端子３１の間を通るラインに掛かる位置にグランド導体部２０が形成されている。

グランド導体部２０は破線で示す適正領域内に形成することが好ましいが、特に、信号端子３１同士の直線上、すなわち中心導体１１同士の直線上に近いことがより好ましい。また、グランド導体部２０は一方のグランド端子３２だけでなく、双方のグランド端子３２に接触することがさらに好ましい。さらに、信号端子３１同士の直線に対する、すなわち中心導体１１同士の直線に対する直交方向におけるグランド導体部２０の幅Ｗが広いほど、信号経路同士のアイソレーションが高まる。

《第４の実施形態》
第４の実施形態では、これまでに示した例とはグランド導体部の形状等が異なるコネクタ測定用プローブについて示す。

図１４は第４の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０４斜視図である。このコネクタ測定用プローブ１０４の測定対象であるコネクタの構成は図１０（Ｂ）に示したとおりである。

コネクタ測定用プローブ１０４は、２個のプローブ部１０と、これらプローブ部１０を保持するプランジャ２とを備える。各プローブ部１０は、中心導体１１及び絶縁体部１３をそれぞれ有する。プローブ部１０の中心導体１１は、絶縁体部１３で絶縁された状態でプランジャ２に保持されている。

プランジャ２は例えばステンレススチールの成型体であり、導電性を有する。プランジャ２には、プローブ部１０をそれぞれ挿通するための挿通孔Ｈを有する。

プローブ部１０は、その中心導体１１の先端がプランジャ２の主面ＭＳから突出可能状態で、絶縁体部１３に保持されている。中心導体１１の後端はコイルスプリングで、先端方向（Ｚ軸方向）へ付勢されている。

プランジャ２は被測定コネクタのグランド端子に接する２つのグランド導体部２０を備える。このグランド導体部２０は、プランジャ２の主面ＭＳから２つのプローブ部１０の中心導体１１の突出方向（Ｚ軸方向）に所定寸法だけ突出する突出部を有する。この例ではグランド導体部２０それぞれ全体が突出部である。

本実施形態で示すように、グランド導体部２０は、隣接する中心導体１１の間に複数あってもよい。このように、グランド導体部２０（突出部）を、当接先である被測定コネクタのグランド端子（図１０（Ｂ）に示すグランド端子３２）ごとに分離することで、グランド端子３２に対するグランド導体部２０（突出部）の当接圧を容易に高めることができる。

なお、図１４では、２つのグランド導体部２０を備える例を示したが、１つのグランド導体部２０を設けてもよい。そのグランド導体部２０が、一方のグランド端子３２に当接する場合でも、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間のシールド効果はある。

《第５の実施形態》
第５の実施形態では、被測定コネクタのグランド端子と、コネクタ測定用プローブのグランド導体部との当接構造に特徴を有するコネクタ測定用プローブについて示す。

図１５（Ａ）は第５の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０５及び被測定コネクタ３０５の断面図である。図１５（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０５が被測定コネクタ３０５に当接している状態の断面図である。被測定コネクタ３０５の構成は、図１０（Ｂ）に示した被測定コネクタ３０３と同じである。

コネクタ測定用プローブ１０５のグランド導体部２０の概略構造は図１０（Ａ）に示したとおりであるが、その短辺は、突出部の先端部から基部への方向へ幅が拡がる傾斜面を有する。つまり、短辺にテーパー部２０Ｔが形成されている。被測定コネクタ３０５のグランド端子３２の上面付近の外縁にはテーパー部３２Ｔが形成されている。つまり、テーパー部３２Ｔの断面形状はテーパー状である。

図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）に表れているように、被測定コネクタ３０５にコネクタ測定用プローブ１０５を当接させた状態で、コネクタ測定用プローブ１０５のグランド導体部２０の短辺の中央付近のテーパー部２０Ｔが被測定コネクタ３０５のグランド端子３２のテーパー部３２Ｔに当接する。図１５（Ｂ）において丸で囲んだ箇所が、これら当接部である。

なお、図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）では、グランド導体部２０の２つのテーパー部２０Ｔが被測定コネクタ３０５の２つのグランド端子３２のテーパー部３２Ｔにそれぞれ当接する例を示したが、片方のグランド端子３２にグランド導体部２０の片方のテーパー部２０Ｔが当接する構造であってもよい。

本実施形態によれば、被測定コネクタ３０５のグランド端子３２とコネクタ測定用プローブ１０５のグランド導体部２０との接触面積が大きくなるので、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間のシールド効果が高まる。また、被測定コネクタ３０５に対してコネクタ測定用プローブ１０５を容易に位置合わせできる。

《第６の実施形態》
第６の実施形態では、被測定コネクタのグランド端子と、コネクタ測定用プローブのグランド導体部との当接構造に特徴を有するコネクタ測定用プローブについて示す。

図１６（Ａ）は第６の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０６及び被測定コネクタ３０６の断面図である。図１６（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０６が被測定コネクタ３０６に当接している状態の断面図である。被測定コネクタ３０６の構成は、図１０（Ｂ）に示した被測定コネクタ３０３と同じである。

コネクタ測定用プローブ１０６のグランド導体部２０の概略構造は図１０（Ａ）に示したとおりであるが、その短辺が被測定コネクタ３０６の２つのグランド端子３２にそれぞれ接する。

なお、図１６（Ａ）、図１６（Ｂ）では、グランド導体部２０の２つの側面が被測定コネクタ３０６の２つのグランド端子３２の外側面にそれぞれ当接する例を示したが、片方のグランド端子３２にグランド導体部２０の片方の側面が当接する構造であってもよい。

本実施形態によれば、被測定コネクタ３０６のグランド端子３２とコネクタ測定用プローブ１０６のグランド導体部２０との接触面積が大きくなるので、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間のシールド効果が高まる。また、被測定コネクタ３０６に対してコネクタ測定用プローブ１０６を容易に位置合わせできる。

《第７の実施形態》
第７の実施形態では、被測定コネクタのグランド端子に対する、コネクタ測定用プローブのグランド導体部の構造に特徴を有するコネクタ測定用プローブについて示す。

図１７は第７の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０７の斜視図である。図１８（Ａ）は第７の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０７の平面図であり、図１８（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０７の断面図である。図外の被測定コネクタの構造は図１０（Ｂ）や図１５（Ａ）に示したとおりである。

コネクタ測定用プローブ１０７は、２個のプローブ部１０と、これらプローブ部１０を保持するプランジャ２とを備える。各プローブ部１０は、中心導体１１及び絶縁体部１３をそれぞれ有する。プローブ部１０の中心導体１１は、絶縁体部１３で絶縁された状態でプランジャ２に保持されている。

コネクタ測定用プローブ１０７の主面ＭＳにはグランド導体部２０が形成されている。図１０（Ａ）に示したグランド導体部２０とは異なり、このグランド導体部２０の一部はプローブ部１０の中心導体１１を周回方向に所定長にわたって囲む。この例では、半周分囲むように、主面ＭＳを垂直方向に視て半円状に形成されている。また、グランド導体部２０の上記半円状部分にテーパー部２０Ｔが形成されている。被測定コネクタにコネクタ測定用プローブ１０７を当接させた状態で、コネクタ測定用プローブ１０７のグランド導体部２０の半円状部分のテーパー部２０Ｔが被測定コネクタのグランド端子３２のテーパー部（図１５（Ａ）中に表れているテーパー部３２Ｔ）に当接する。

本実施形態によれば、被測定コネクタのグランド端子とコネクタ測定用プローブ１０７のグランド導体部２０との接触面積が大きくなるので、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間のシールド効果が高まる。また、被測定コネクタの信号端子及びプローブの中心導体１１の周囲の、より広い範囲をグランド導体部２０で囲むことになるので上記シールド効果がより高まり、信号経路同士のアイソレーションが効果的に高まる。

本実施形態では、被測定コネクタのグランド端子に沿って、グランド導体部２０のテーパー部２０Ｔが半円形状をしているので、このグランド導体部２０のテーパー部２０Ｔと被測定コネクタのグランド端子とは、主面ＭＳに沿った方向にガイドされる。そのため、図１０（Ａ）に示したようなガイド部２４が無くても上記ガイドがなされる。

なお、本実施形態では、プランジャ２の主面ＭＳの外周に突出部が形成されていないので、図１８（Ｂ）中に楕円で囲んで示す部分に空間が形成される。したがって、被測定コネクタが実装されている回路基板の、上記楕円で囲む部分に被測定コネクタ以外の部品を搭載できる。

本実施形態においても、図１０（Ａ）、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）等に示したとおり、プランジャ２の下面の外縁が中心導体１１の突出方向に突出する構造にしてもよい。その構造により、このプランジャ２の下面の外縁が、コネクタ測定用プローブ１０７とその外部との間をシールドすることができる。

《第８の実施形態》
第８の実施形態では、これまでに示した例とは、被測定コネクタのグランド端子に対するグランド導体部の突出位置が異なるコネクタ測定用プローブについて示す。

図１９は第８の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０８の斜視図である。図２０（Ａ）は第８の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０８の平面図であり、図２０（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０８が被測定コネクタ３０８に当接している状態の断面図である。被測定コネクタ３０８の構成は、図１０（Ｂ）に示した被測定コネクタ３０３と同じである。

コネクタ測定用プローブ１０８は、２個のプローブ部１０と、これらプローブ部１０を保持するプランジャ２とを備える。各プローブ部１０は、中心導体１１及び絶縁体部１３をそれぞれ有する。プローブ部１０の中心導体１１は、絶縁体部１３で絶縁された状態でプランジャ２に保持されている。

コネクタ測定用プローブ１０８の主面ＭＳには２つのグランド導体部２０が形成されている。図１０（Ａ）に示したグランド導体部２０とは異なり、このグランド導体部２０の一部はプローブ部１０の中心導体１１を半周分囲むように、主面ＭＳを垂直方向に視て半円状に形成されている。また、グランド導体部２０の上記半円状部分にテーパー部２０Ｔが形成されている。被測定コネクタ３０８にコネクタ測定用プローブ１０８を当接させた状態で、コネクタ測定用プローブ１０８のグランド導体部２０の半円状部分のテーパー部２０Ｔが被測定コネクタ３０８のグランド端子３２の突端付近の内縁に接する。

本実施形態においても、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間がグランド導体部２０によってシールドされる。

なお、本実施形態でも、第７の実施形態の場合と同様に、プランジャ２の主面ＭＳの外周に突出部が形成されていないので、図２０（Ｂ）中に楕円で囲んで示す部分に空間が形成される。したがって、被測定コネクタが実装されている回路基板の、上記楕円で囲む部分に被測定コネクタ以外の部品を搭載できる。

《第９の実施形態》
第９の実施形態では、被測定コネクタのグランド端子に対するグランド導体部の突出部の構造に特徴を有するコネクタ測定用プローブについて示す。

図２１（Ａ）は第９の実施形態に係るコネクタ測定用プローブ１０９の平面図であり、図２１（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１０９が被測定コネクタ３０９に当接している状態の断面図である。被測定コネクタ３０９の構成は、図１０（Ｂ）に示した被測定コネクタ３０３と同じである。

コネクタ測定用プローブ１０９の主面ＭＳには２つのグランド導体部２５が突出形成されている。これらグランド導体部２５はプローブピンであり、内部のコイルスプリングにより、主面ＭＳに対する垂直方向に弾性的に突出している。図２１（Ｂ）に表れているように、グランド導体部２５はプランジャ２に圧入されていて、グランド導体部２５は被測定コネクタ３０９のグランド端子３２の天縁に当接する位置に配置されている。このグランド導体部２５はプランジャ２と電気的に導通している。

なお、図２１（Ａ）、図２１（Ｂ）では、グランド導体部２５がグランド端子３２の天面に当接する例を示したが、グランド導体部２５はグランド端子３２のテーパー部に当接してもよい。

本実施形態によれば、グランド導体部２５及びグランド端子３２の高さばらつき（製造精度によるもの等）も吸収できる。本実施形態においても、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間、及び隣接する同軸コネクタの信号端子３１間がグランド導体部２５によってシールドされる。

《第１０の実施形態》
第１０の実施形態では、これまでに示した例とは異なる被測定コネクタ及びそれに対応するコネクタ測定用プローブの構造について示す。

図２２は第１０の実施形態に係る被測定コネクタ３１０の斜視図である。この被測定コネクタ３１０は、２連の同軸スイッチコネクタであり、絶縁部材３０、開口ＯＰ、内部端子３４及び外部端子３５を備える。被測定コネクタ３１０の底面は概略矩形であり、その２つの長辺に沿ってそれぞれ２つの内部端子３４が形成されている。この同軸スイッチコネクタは例えばＷＯ ２０１４／０１３８３４ Ａ１に開示されている同軸コネクタであり、開口ＯＰからコネクタ測定用プローブを挿入することにより、内部端子間の接続が分離され、かつコネクタ測定用プローブが内部端子に電気的に接続される。

図２３（Ａ）は、コネクタ測定用プローブ１１０及び被測定コネクタ３１０の断面図である。図２３（Ｂ）は、コネクタ測定用プローブ１１０が被測定コネクタ３１０に装着されている状態を示す。

コネクタ測定用プローブ１１０は、２個のプローブ部１０と、これらプローブ部１０を保持するプランジャ２とを備える。各プローブ部１０は、中心導体１１及び絶縁体部１３をそれぞれ有する。プローブ部１０の中心導体１１は、絶縁体部１３で絶縁された状態でプランジャ２に保持されている。プランジャ２の下面の外周部はテーパー状のガイド部２４が形成されている。

プランジャ２は、被測定コネクタ３１０の外部端子３５に接するグランド導体部２０を備える。このグランド導体部２０は、プランジャ２の主面ＭＳから２つの中心導体１１の突出方向に突出している。

図２３（Ｂ）に示すように、被測定コネクタ３１０にコネクタ測定用プローブ１１０を装着した状態で、コネクタ測定用プローブ１１０の中心導体１１は被測定コネクタ３１０内の内部端子３４に当接し、かつ内部端子３４が押し下げられることにより、内部端子３４と、これに接触する図外の内部端子との間が分離される。

上記構造により、隣接するプローブ部１０の中心導体１１間がグランド導体部２０でシールドされる。

《他の実施形態》
第１、第２の実施形態では、複数の信号端子が２列に配置された被測定コネクタ３０１を対象にして、プローブ部１０を２列備えるコネクタ測定用プローブを例示したが、プローブ部１０は複数列に限らない。例えば１列だけ備えてもよい。

また、第１、第２の実施形態では、被測定コネクタ３０１が有する複数の信号端子が２列に配置され、一方の列と他方の列とで、信号端子の配置ピッチが半ピッチずれた関係にある被測定コネクタを測定対象としたが、隣接する列の信号端子の配置ピッチがずれていない被測定コネクタについても同様に適用できる。

最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではない。当業者にとって変形及び変更が適宜可能である。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲内と均等の範囲内での実施形態からの変更が含まれる。

Ｃ１…第１列
Ｃ２…第２列
Ｅｉ，Ｅｏ…接触部
Ｈ…挿通孔
ＭＳ…主面
ＯＰ…開口
２…プランジャ
１０…プローブ部
１１，１１Ａ～１１Ｈ…中心導体
１２…外部導体
１３…絶縁体部
２０…グランド導体部
２０Ｔ…テーパー部
２１，２１Ａ～２１Ｊ…突出部
２２Ａ～２２Ｈ…囲み部
２３…係合部
２４…ガイド部
２５…グランド導体部
３０…絶縁部材
３１…信号端子
３２…グランド端子
３２Ｔ…テーパー部
３３…外部導体
３３Ｅ…係合部
３４…内部端子
３５…外部端子
１０１～１１０…コネクタ測定用プローブ
３０１，３０３～３０６，３０９，３１０…被測定コネクタ

Claims (16)

1. 複数の信号端子及びグランド端子を有する被測定コネクタに対する測定用プローブであって、
   前記信号端子に接する中心導体をそれぞれ有する複数のプローブ部と、当該プローブ部をそれぞれ挿通するための挿通孔と、グランド導体部と、を有する導電性のプランジャと、を備え、
   前記中心導体は、前記プランジャの主面から前記被測定コネクタに向かって、突出可能に構成され、
   前記グランド導体部は、前記主面上に、前記複数のプローブ部のうち、隣接する一方のプローブ部と他方のプローブ部との間で、前記中心導体の突出方向に突出する突出部を有する、コネクタ測定用プローブ。
2. 前記挿通孔内に前記中心導体を取り囲む外部導体と、
   前記外部導体と前記中心導体とを絶縁する絶縁部材と、を有し、
   前記中心導体、前記外部導体及び前記絶縁部材によって同軸線路を構成する、
   請求項１に記載のコネクタ測定用プローブ。
3. 前記挿通孔内に、前記中心導体と前記プランジャとを絶縁する絶縁部材を有し、
   前記中心導体、前記プランジャ及び前記絶縁部材によって同軸線路を構成する、
   請求項１に記載のコネクタ測定用プローブ。
4. 前記突出部は、当該突出部の先端部から基部への方向へ幅が拡がる傾斜面を有する、
   請求項１から３のいずれかに記載のコネクタ測定用プローブ。
5. 前記突出部は、前記突出方向に弾性状態で可動である、
   請求項１から４のいずれかに記載のコネクタ測定用プローブ。
6. 前記主面に沿って、前記隣接する一方のプローブ部の中心導体と前記他方のプローブ部の中心導体とを結ぶ第１方向の幅を第１幅、前記主面に沿って前記第１方向に対する直交方向での前記グランド端子の幅を第２幅とするとき、前記突出部の少なくとも一部は、前記第１幅と前記第２幅で囲まれる矩形領域内に存在する、
   請求項１から５のいずれかに記載のコネクタ測定用プローブ。
7. 前記突出部は、前記主面に対する垂直方向に視て、前記隣接する一方のプローブ部の中心導体と前記他方のプローブ部の中心導体とを結ぶ線上にかかるように配置されている、
   請求項６に記載のコネクタ測定用プローブ。
8. 前記グランド導体部は、前記主面に沿って連続する導体で形成される、
   請求項１から７のいずれかに記載のコネクタ測定用プローブ。
9. 前記グランド導体部は、前記中心導体の突出方向から見て、前記中心導体の周囲を囲む位置にある囲み部を備える、
   請求項１から８のいずれかに記載のコネクタ測定用プローブ。
10. 前記複数のプローブ部は列を成して配置された、
    請求項１から９のいずれかに記載のコネクタ測定用プローブ。
11. 前記グランド導体部は、前記複数のプローブ部の列に沿って、前記主面上に連続して形成された導体であって、
    前記グランド導体部は複数の前記突出部を有する、
    請求項１０に記載のコネクタ測定用プローブ。
12. 前記列は互いに平行な第１列及び第２列で構成される、
    請求項１０又は１１に記載のコネクタ測定用プローブ。
13. 前記グランド導体部は第１グランド導体部及び第２グランド導体部を有し、
    前記第１グランド導体部は前記第１列に沿って前記主面上に連続して形成された導体であり、
    前記第２グランド導体部は前記第２列に沿って前記主面上に連続して形成された導体であり、
    前記第１グランド導体部及び前記第２グランド導体部は、複数の前記突出部と、前記複数の突出部の間に形成された複数の囲み部を有し、
    前記主面上において前記第１列及び前記第２列に対する垂直方向に視て、前記第１グランド導体部の前記複数の突出部は、前記第２グランド導体部の前記複数の囲み部に対向している、
    請求項１２に記載のコネクタ測定用プローブ。
14. 前記第１列のプローブ部の中心導体間で、前記突出部の、前記主面に沿った突出方向の延長線は、前記第２列のプローブ部の中心導体に交わる、
    請求項１２又は１３に記載のコネクタ測定用プローブ。
15. 前記グランド導体部は、前記被測定コネクタの前記グランド端子に接する、
    請求項１から１４のいずれかに記載のコネクタ測定用プローブ。
16. 複数の信号端子及びグランド端子を有する被測定コネクタを、測定用プローブを用いて測定するコネクタの測定方法であって、
    前記測定用プローブは、中心導体をそれぞれ有する複数のプローブ部と、当該プローブ部をそれぞれ挿通するための挿通孔と、グランド導体部と、を有する導電性のプランジャと、を備え、
    前記中心導体は、前記プランジャの主面から前記被測定コネクタに向かって、突出可能に構成され、
    前記グランド導体部は、前記主面上に、前記複数のプローブ部のうち、隣接する一方のプローブ部と他方のプローブ部との間で、前記中心導体の突出方向に突出する突出部を有し、
    前記中心導体を前記信号端子に接触させ、前記グランド導体部を前記グランド端子に接触させることで、前記被測定コネクタを測定するコネクタの測定方法。

Images