JP2009103655A - 同軸スプリングコンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
【課題】一本単位での交換を可能とし、更に高周波領域での挿入損失の小さい同軸スプリングコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】マトリクス状に配置された複数の貫通孔を有するブロックの前記複数の貫通孔のそれぞれに挿入位置決めされる同軸スプリングコンタクトプローブであって、プローブピンと、同軸ケーブルと、前記プローブピンと同軸ケーブルを接続するコネクタを有し、前記コネクタは、前記被検査対象の接地電極部に接触する一端側を有する円筒状の導電体プランジャを有し、更に前記導電体プランジャと、前記導電体プランジャの他端側に押圧を付与する第2のコイルスプリングを覆うシェル部を有し、前記シェル部は、前記導電体プランジャと反対側に前記同軸ケーブルが挿入される開口部を有し、且つ前記ブロックの貫通孔に挿入されるとき、前記貫通孔の内壁に形成された抜け止め突部と係止するストップリングを有する。
【選択図】図2
【解決手段】マトリクス状に配置された複数の貫通孔を有するブロックの前記複数の貫通孔のそれぞれに挿入位置決めされる同軸スプリングコンタクトプローブであって、プローブピンと、同軸ケーブルと、前記プローブピンと同軸ケーブルを接続するコネクタを有し、前記コネクタは、前記被検査対象の接地電極部に接触する一端側を有する円筒状の導電体プランジャを有し、更に前記導電体プランジャと、前記導電体プランジャの他端側に押圧を付与する第2のコイルスプリングを覆うシェル部を有し、前記シェル部は、前記導電体プランジャと反対側に前記同軸ケーブルが挿入される開口部を有し、且つ前記ブロックの貫通孔に挿入されるとき、前記貫通孔の内壁に形成された抜け止め突部と係止するストップリングを有する。
【選択図】図2
Description
本発明は、同軸スプリングコンタクトプローブに関する。特にICあるいは半導体ウエハの特性測定に適した同軸スプリングを有するコンタクトプローブに関する。
プリント基板、IC、又は半導体ウエハ等の特性を測定するために、特許文献1に示されるようなスプリングコンタクトプローブが用いられる。
すなわち、プリント基板、IC、あるいは半導体ウエハは複数の電極を有し、これらの特性を測定するためには、同時的に複数の電極信号を取り出し特性を測定することが必要である。
この測定のために用いられるツールとして、特許文献1に示されるようなスプリングコンタクトプローブが知られている。かかる特許文献1に示されるスプリングコンタクトプローブは、複数のスプリングプローブが、それぞれシールド部材を介して金属ブロック内に配置された構造である。
複数のスプリングコンタクトプローブは、それぞれ同軸ケーブルに接続され、測定器に信号を送るように構成される。
複数のスプリングコンタクトプローブの先端がプリント基板、IC、あるいは半導体ウエハの複数の電極に同時的に接触し、検知される信号を測定器で測定することができる。
一方、近年、携帯電話通信の普及により、携帯電話機等に用いられる高周波、高速用の半導体ウエハ、ICモジュールに対する特性測定のためにも同様に特許文献1に示されたようなスプリングコンタクトプローブが用いられる。
ここで、高周波、高速用の半導体ウエハ、ICモジュールなどの特性を検査する場合は、RF信号用端子と接触するスプリングプローブは、ノイズを拾い易いという特徴を有する。
かかる点を考慮して特許文献2に記載の発明は、ノイズの低減を図る構造として、プローブの外周のアース電位層が金属スリーブの接触部を介して金属ブロックに接触するように構成としている。
米国特許5,175,493号公報
特開2005−49163号公報
上記したように、複数のスプリングコンタクトプローブが同軸ケーブルに接続され、測定器に信号を送るように構成されているが、スプリングコンタクトプローブと同軸ケーブルの接続箇所にはコネクタを配置している。このためにコネクタの信頼性が要求される。
また、コネクタの箇所ではRF(無線周波数)信号の反射及び減衰が発生し、コネクタのRF特性に依存してスプリングコンタクトプローブの特性が支配される、
また、スプリングコンタクトプローブは、交換されることが多い部材であり、スプリングコンタクトプローブ自体の交換は容易であるが、スリーブの破損時にはスリーブの交換に大変な工数時間を要する。
また、スプリングコンタクトプローブは、交換されることが多い部材であり、スプリングコンタクトプローブ自体の交換は容易であるが、スリーブの破損時にはスリーブの交換に大変な工数時間を要する。
さらに、1箇所のスプリングコンタクトプローブを交換する際もコネクタを構成するプレートを外すため、全てのプローブを再度プレート間に収める必要がある。
したがって、本発明の目的はかかる不都合を解消し、一本単位での交換を可能とする同軸スプリングコンタクトプローブを提供することにある。さらに、高周波領域での挿入損失の小さい同軸スプリングコンタクトプローブを提供することにある。
上記の課題を達成する、本発明に従う同軸スプリングコンタクトプローブは、第1の側面として、マトリクス状に配置された複数の貫通孔を有するブロック体の前記複数の貫通孔のそれぞれに挿入位置決めされる同軸スプリングコンタクトプローブであって、
プローブピンと、同軸ケーブルと、前記プローブピンと同軸ケーブルを接続するコネクタを有し、
前記プローブピンは、
円筒状の外部導体と、前記外部導体内に誘電体を介して上下に移動可能に挿入され、被検査対象の信号電極部と接触する一端を有する中心導体と、前記中心導体の他端に、押圧を付与する第1のコイルスプリングを有し、
前記コネクタは、
前記ブロック体の前記貫通孔に挿入可能とされ、
前記被検査対象の接地電極部に接触する一端側を有する円筒状の導電体プランジャを有し、前記導電体プランジャは、前記円筒状の外部導体の外側に電気的に接触可能に配置され、更に前記導電体プランジャと、前記導電体プランジャの他端側に押圧を付与する第2のコイルスプリングを覆うシェル部を有し、
前記シェル部は、前記導電体プランジャと反対側に前記同軸ケーブルが挿入される開口部を有し、且つ前記ブロックの貫通孔に挿入されるとき、前記貫通孔の内壁に形成された抜け止め突部と係止するストップリングを有する、
ことを特徴とする。
また、上記の課題を達成する、本発明に従う同軸スプリングコンタクトプローブは、第2の側面として、マトリクス状に配置された複数の貫通孔を有するブロックの前記複数の貫通孔のそれぞれに挿入位置決めされる同軸スプリングコンタクトプローブであって、
プローブピンと、同軸ケーブルと、前記プローブピンと同軸ケーブルを接続するコネクタを有し、
前記プローブピンは、被検査対象の電極に位置決めされる基板のソケットに挿入可能とされ、
円筒状の外部導体と、前記外部導体内に誘電体を介して上下に移動可能に挿入され、被検査対象の一電極部と接触する一端を有する中心導体と、前記中心導体の他端に、押圧を付与する第1のコイルスプリングと、更に、前記円筒状の外部導体の外側に設けられるスプリングコンタクトを有し、
前記コネクタは、一端側に前記プローブピンが挿入される第一の開口部と、他端側に前記同軸ケーブルが挿入される第二の開口部を有し、且つ前記ブロック体の貫通孔に挿入されるとき、前記貫通孔の内壁に形成された抜け止め突部と係止するストップリングを有する、
ことを特徴とする。
プローブピンと、同軸ケーブルと、前記プローブピンと同軸ケーブルを接続するコネクタを有し、
前記プローブピンは、
円筒状の外部導体と、前記外部導体内に誘電体を介して上下に移動可能に挿入され、被検査対象の信号電極部と接触する一端を有する中心導体と、前記中心導体の他端に、押圧を付与する第1のコイルスプリングを有し、
前記コネクタは、
前記ブロック体の前記貫通孔に挿入可能とされ、
前記被検査対象の接地電極部に接触する一端側を有する円筒状の導電体プランジャを有し、前記導電体プランジャは、前記円筒状の外部導体の外側に電気的に接触可能に配置され、更に前記導電体プランジャと、前記導電体プランジャの他端側に押圧を付与する第2のコイルスプリングを覆うシェル部を有し、
前記シェル部は、前記導電体プランジャと反対側に前記同軸ケーブルが挿入される開口部を有し、且つ前記ブロックの貫通孔に挿入されるとき、前記貫通孔の内壁に形成された抜け止め突部と係止するストップリングを有する、
ことを特徴とする。
また、上記の課題を達成する、本発明に従う同軸スプリングコンタクトプローブは、第2の側面として、マトリクス状に配置された複数の貫通孔を有するブロックの前記複数の貫通孔のそれぞれに挿入位置決めされる同軸スプリングコンタクトプローブであって、
プローブピンと、同軸ケーブルと、前記プローブピンと同軸ケーブルを接続するコネクタを有し、
前記プローブピンは、被検査対象の電極に位置決めされる基板のソケットに挿入可能とされ、
円筒状の外部導体と、前記外部導体内に誘電体を介して上下に移動可能に挿入され、被検査対象の一電極部と接触する一端を有する中心導体と、前記中心導体の他端に、押圧を付与する第1のコイルスプリングと、更に、前記円筒状の外部導体の外側に設けられるスプリングコンタクトを有し、
前記コネクタは、一端側に前記プローブピンが挿入される第一の開口部と、他端側に前記同軸ケーブルが挿入される第二の開口部を有し、且つ前記ブロック体の貫通孔に挿入されるとき、前記貫通孔の内壁に形成された抜け止め突部と係止するストップリングを有する、
ことを特徴とする。
以下に図面に従い本発明の実施例を説明する。
図1は、本発明に従う第1の実施例の同軸スプリングコンタクトプローブの概観図である。図2は、マトリクス状に配置された複数の貫通孔を有するブロックに挿入され位置決めされている同軸スプリングプローブコンタクトの断面図である。
先端側にプローブピン1を有し、プローブピン1の中心導体10と同軸ケーブル2と、前記プローブピン1と同軸ケーブル2を接続するコネクタ3が示されている。
図2は、マトリクス状に配置された複数の貫通孔101を有するブロック100に挿入され位置決めされている同軸スプリングプローブコンタクトの断面図である。
複数の貫通孔101を有するブロック100は、図3に示すごとくである。図3において、Aは正面図、Bは上面図、Cは側面図である。ブロック100の複数の貫通孔101のそれぞれに同軸スプリングコンタクトプローブが挿入位置決めされる。
複数の同軸スプリングコンタクトプローブを挿入した状態で、測定時に被検査対象、例えば半導体ウエハの電極上に位置決め、配置される。
図4は、更にプローブピン1の詳細断面図を示す図であり、プローブピン1の中心導体10が被検査対象200の信号電極201に接触された状態を示している。
プローブピン1は、円筒状の外部導体11と、前記外部導体11内に誘電体12を介して上下に移動可能に挿入され、被検査対象200の信号電極201と接触する一端を有する中心導体10と、前記中心導体10の他端に、押圧を付与する第1のコイルスプリング13を有して構成されている。
コネクタ3は、前記ブロック100の貫通孔101に挿入可能とされている。
そして、前記被検査対象200の接地電極部202に接触する一端側を有する円筒状の導電体プランジャ30を有し、この導電体プランジャ30は、前記プローブピン1の円筒状の外部導体11の外側に電気的に接触可能に配置される。
さらに前記導電体プランジャ30の他端側に押圧を付与する第2のコイルスプリング31を有している、シェル部32により、前記導電体プランジャ30と第2のコイルスプリング31は一体に保持されることが可能である。
前記シェル部32は、前記導電体プランジャ30と反対側に前記同軸ケーブル2が挿入される開口部を有している。
さらに、シェル部32は、前記ブロック100の貫通孔101に挿入されるとき、前記貫通孔101の内壁に形成された抜け止め突部102と係止するストップリング33を有している。
プローブピン1と同軸ケーブル2がコネクタ3に挿入接続された状態の同軸スプリングコンタクトプローブ(図1参照)は、ブロック100の貫通孔101に挿入される際に、ストップリング33が貫通孔101の内壁に形成された抜け止め突部102に当接して、収縮される。これによりストップリング33が、受け抜け止め突部102を超えることができる。
抜け止め突部102を超えると、ストップリング33の収縮が解除され、抜け止め突部102の壁に係止して挿入方向と逆方向の抜けが防止される。同時にコネクタ3の本体部の径が抜け止め突部102より大きく、従って同軸スプリングコンタクトプローブの更なる挿入が阻止される。
ここで、同軸スプリングコンタクトプローブ自体が故障し、個別に交換が必要となる場合がある。この際は、特徴としてシェル部32と、ブロック100の貫通孔101との間に隙間102が形成されている構成が生かされる。
すなわち、シェル部32と、ブロック100の貫通孔101との間の隙間102に挿入できる治具を用いて、ストップリング33を収縮すると、抜け止め突部102の壁との係合が外れ、貫通孔101からスプリングコンタクトプローブを抜き出し、新しいものと置き換えることが可能である。
図5は、本発明に従う同軸スプリングコンタクトプローブの第2の実施例構成図である。図6は、その断面構造を示す図である。
この実施例は、電極基板を用いて被検査物の電極にプローブピン1を電気的に接触する場合に適用する場合に適したスプリングコンタクトプローブの構成である。
図5において、この実施例のスプリングコンタクトプローブは、先に説明したと同様に、プローブピン1、同軸ケーブル2及びコネクタ3により構成される。
この実施例におけるプローブピン1は、図1の実施例においてプローブピン1の円筒状の外部導体11の外側にコネクタ3を構成する導電体プランジャ30が配置される代わりに、スプリングコンタクト14が設けられている点が異なる。
図7は、スプリングコンタクト14の構成を示す図である。図7Aは上面図、Bは側面図である。リング状に連結された複数の板ばねで構成される。
コネクタ3は、第1の実施例と異なり、一端側に前記プローブピン1が挿入される第一の開口部35と、他端側に前記同軸ケーブル2が挿入される第二の開口部36を有している。第1の実施例と同様にブロック100の貫通孔101に挿入されるとき、貫通孔101の内壁に形成された抜け止め突部102と係止するストップリング33を有する、
この第2の実施例では、被検査対象の電極と接続される電極基板を用いてプローブピン1を電気的に接触するように用いられる。
この第2の実施例では、被検査対象の電極と接続される電極基板を用いてプローブピン1を電気的に接触するように用いられる。
図8は、電極基板300の構成例である。図8Aにおいて、絶縁基体である電極基板300には、複数の電極パターン301が形成されている。
図8Bに示すように誘電体の中間部材310に複数の電極キャップ311が埋め込まれている。電極キャップ311の底部が電極基板300の複数の電極パターン301と対応して半田付けにより接続される。図8Cは電極キャップ311の開口部側から見た図である。
この電極キャップ311にプローブピン1が挿入される。図9は、電極基板300の電極パターンと電気的に接続され、複数に配列された電極キャップ303にプローブピン1が挿入される前の状態、図10は、電極キャップ303にプローブピン1が挿入された状態を示す図である。
図11は、更に電極キャップ303と、電極キャップ303に挿入されたプローブピン1の状態を拡大して示す図である。
プローブピン1の外部導体11の外側にスプリングコンタクト14が設けられているので、プローブピン1は電極キャップ303と全周囲に渉って電気的接触が確実になる。これにより、この実施例では、無線周波数体の高周波信号であって挿入損失を小さくすることができる。
また、本実施例構成において、中間部材302に埋め込まれた複数の電極キャップ303の底部を電極基板300の電極パターン301と半田付けSDにより固定する場合、横方向からの半田付けは不可能である。しかし、電極キャップ303の開口部側から加熱する過熱することにより複数の電極キャップ303を同時に電極パターン301に半田付けすることが可能である。
1 コンタクトピン
2 同軸コネクタ
3 コネクタ
10 プローブピン
11 円筒状の外部導体
12 誘電体
13 外部導体
33 ストップリング
100 ブロック
101 隙間
102 抜け止め突部
2 同軸コネクタ
3 コネクタ
10 プローブピン
11 円筒状の外部導体
12 誘電体
13 外部導体
33 ストップリング
100 ブロック
101 隙間
102 抜け止め突部
Claims (2)
- マトリクス状に配置された複数の貫通孔を有するブロックの前記複数の貫通孔のそれぞれに挿入位置決めされる同軸スプリングコンタクトプローブであって、
プローブピンと、同軸ケーブルと、前記プローブピンと同軸ケーブルを接続するコネクタを有し、
前記プローブピンは、
円筒状の外部導体と、前記外部導体内に誘電体を介して上下に移動可能に挿入され、被検査対象の信号電極部と接触する一端を有する中心導体と、前記中心導体の他端に、押圧を付与する第1のコイルスプリングを有し、
前記コネクタは、
前記ブロックの前記貫通孔に挿入可能とされ、
前記被検査対象の接地電極部に接触する一端側を有する円筒状の導電体プランジャを有し、前記導電体プランジャは、前記円筒状の外部導体の外側に電気的に接触可能に配置され、更に前記導電体プランジャと、前記導電体プランジャの他端側に押圧を付与する第2のコイルスプリングを覆うシェル部を有し、
前記シェル部は、前記導電体プランジャと反対側に前記同軸ケーブルが挿入される開口部を有し、且つ前記ブロックの貫通孔に挿入されるとき、前記貫通孔の内壁に形成された抜け止め突部と係止するストップリングを有する、
ことを特徴とする同軸スプリングコンタクトプローブ。 - マトリクス状に配置された複数の貫通孔を有するブロック体の前記複数の貫通孔のそれぞれに挿入位置決めされる同軸スプリングコンタクトプローブであって、
プローブピンと、同軸ケーブルと、前記プローブピンと同軸ケーブルを接続するコネクタを有し、
前記プローブピンは、被検査対象の電極に位置決めされる基板のソケットに挿入可能とされ、
円筒状の外部導体と、前記外部導体内に誘電体を介して上下に移動可能に挿入され、被検査対象の一電極部と接触する一端を有する中心導体と、前記中心導体の他端に、押圧を付与する第1のコイルスプリングと、更に、前記円筒状の外部導体の外側に設けられるスプリングコンタクトを有し、
前記コネクタは、一端側に前記プローブピンが挿入される第一の開口部と、他端側に前記同軸ケーブルが挿入される第二の開口部を有し、且つ前記ブロック体の貫通孔に挿入されるとき、前記貫通孔の内壁に形成された抜け止め突部と係止するストップリングを有する、
ことを特徴とする同軸スプリングコンタクトプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007277772A JP2009103655A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 同軸スプリングコンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007277772A JP2009103655A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 同軸スプリングコンタクトプローブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009103655A true JP2009103655A (ja) | 2009-05-14 |
Family
ID=40705453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007277772A Withdrawn JP2009103655A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 同軸スプリングコンタクトプローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009103655A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113063973A (zh) * | 2014-11-07 | 2021-07-02 | 株式会社村田制作所 | 探针 |
WO2021235082A1 (ja) * | 2020-05-21 | 2021-11-25 | 株式会社村田製作所 | プローブ |
CN113939744A (zh) * | 2019-09-26 | 2022-01-14 | 株式会社村田制作所 | 连接器测定用探针以及连接器的测定方法 |
-
2007
- 2007-10-25 JP JP2007277772A patent/JP2009103655A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113063973A (zh) * | 2014-11-07 | 2021-07-02 | 株式会社村田制作所 | 探针 |
CN113939744A (zh) * | 2019-09-26 | 2022-01-14 | 株式会社村田制作所 | 连接器测定用探针以及连接器的测定方法 |
WO2021235082A1 (ja) * | 2020-05-21 | 2021-11-25 | 株式会社村田製作所 | プローブ |
JP7327663B2 (ja) | 2020-05-21 | 2023-08-16 | 株式会社村田製作所 | プローブ |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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