KR20220058688A - 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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KR20220058688A
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박성동
이광민
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 스테이지, 스테이지의 제1 방향 일측에 위치하며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 제1 가이드부, 및 제1 가이드부 상에 배치되는 제1 박리 유닛을 포함하되, 제1 박리 유닛은 제1 가이드부를 따라 이동하도록 구성되는 제1 이동부, 제1 이동부의 제1 방향 타측에 결합되며 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하도록 구성되는 제1 회전부, 및 제1 회전부의 제1 방향 타측에 결합되며 스테이지에 중첩 배치되는 제1 파지부를 포함한다.

Description

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법{APPARATUS FOR MANUFATURING DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 유기발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display, OLED), 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD) 등과 같은 여러 종류의 표시 장치가 사용되고 있다. 이와 같은 표시 장치들은 다양한 모바일 전자 기기, 예를 들어 스마트폰, 스마트워치, 태블릿 PC 등의 포터블 전자 기기 등을 중심으로 그 적용예가 다양화되고 있다.
표시 장치의 제조 공정 중에서 표시 패널은 일면 상에 부착되는 보호 필름에 의해 보호될 수 있다. 표시 패널을 보호하는 보호 필름은 필요에 따라 부분적으로 박리될 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 격자 무늬 형상의 보호 필름의 더미 영역을 안정적으로 박리할 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 보호 필름의 더미 영역 박리 시 보호 필름의 액티브 영역에 손상을 주는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 보호 필름 박리 시 액티브 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 격자 무늬 보호 필름을 1회에 박리할 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 스테이지; 상기 스테이지의 제1 방향 일측에 위치하며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 제1 가이드부; 및 상기 제1 가이드부 상에 배치되는 제1 박리 유닛을 포함하되, 상기 제1 박리 유닛은 상기 제1 가이드부를 따라 이동하도록 구성되는 제1 이동부, 상기 제1 이동부의 상기 제1 방향 타측에 결합되며 상기 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하도록 구성되는 제1 회전부, 및 상기 제1 회전부의 상기 제1 방향 타측에 결합되며 상기 스테이지에 중첩 배치되는 제1 파지부를 포함한다.
상기 스테이지의 상기 제1 방향 타측에 위치하며, 상기 제2 방향으로 연장하는 제2 가이드부; 및 상기 제2 가이드부 상에 배치되는 제2 박리 유닛을 더 포함하되, 상기 제2 박리 유닛은 상기 제2 가이드부를 따라 이동하도록 구성되는 제2 이동부, 상기 제2 이동부의 상기 제1 방향 일측에 결합되며 상기 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하도록 구성되는 제2 회전부, 및 상기 제2 회전부의 상기 제1 방향 일측에 결합되며 상기 스테이지에 중첩 배치되는 제2 파지부를 포함할 수 있다.
상기 제1 박리 유닛 및 상기 제2 박리 유닛은 상호 대향할 수 있다.
상기 제1 가이드부는, 상기 제1 이동부는 구동하되 상기 제1 회전부는 미구동하는 제1 구간 및 상기 제1 이동부와 상기 제1 회전부가 함께 구동하는 제2 구간을 포함하되, 상기 제1 구간 및 상기 제2 구간에서 상기 제1 이동부 및 상기 제1 회전부의 구동을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 구간에서 상기 제1 이동부는 등속으로 이동할 수 있다.
상기 제1 가이드부의 상기 제1 방향 일측에 배치되며, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향을 따라 이동하도록 구성되는 제3 가이드부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 이동부는 상기 제1 가이드부 및 상기 제3 가이드부를 따라 이동하도록 구성될 수 있다.
상기 스테이지의 상기 제1 방향 일측 및 상기 타측 에지는 평면도상 상기 제2 방향으로부터 틸트되어 배치될 수 있다.
상기 제1 가이드부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 의해 정의되는 평면으로부터 기울어질 수 있다.
상기 스테이지의 상면 및 상기 제1 가이드부의 상면의 높이차는 상기 제1 방향 일측으로 갈수록 증가할 수 있다.
상기 제1 가이드부는 상기 제1 박리 유닛이 체결되어 이동하는 제1 가이드홈을 포함할 수 있다.
상기 제1 파지부는 상기 제1 방향으로 연장하는 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 포함하되, 상기 제1 파지부는 상기 제1 그리퍼 및 상기 제2 그리퍼의 사이 거리를 조절하여 구동될 수 있다.
상기 스테이지의 상부에 배치되며, 상기 제1 박리 유닛 구동 시 상기 스테이지의 외측으로 이동하도록 구성되는 레이저 모듈을 더 포함할 수 있다.
상기 스테이지의 상기 제2 방향 타측 에지에 인접 배치되며, 단부가 상기 제2 방향 일측을 향해 배치되는 니들을 포함할 수 있다.
상기 다른 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 보호 필름을 포함하는 박리 대상 기판을 준비하는 단계; 상기 보호 필름에 커팅 라인을 형성하는 단계; 상기 보호 필름을 초기 박리하는 단계; 초기 박리된 상기 보호 필름을 제1 박리 유닛으로 제공하는 단계; 및 상기 제1 박리 유닛으로 상기 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계를 포함한다.
상기 제1 박리 유닛은 상기 제1 가이드부를 따라 이동하도록 구성되는 제1 이동부, 상기 제1 이동부의 상기 제1 방향 타측에 결합되며 상기 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하도록 구성되는 제1 회전부, 및 상기 제1 회전부의 상기 제1 방향 타측에 결합되며 상기 스테이지에 중첩 배치되는 제1 파지부를 포함하되, 상기 제1 박리 유닛으로 상기 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계는 상기 제1 파지부로 상기 보호 필름을 파지하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 박리 유닛으로 상기 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계는 상기 제1 이동부가 상기 제1 가이드부를 따라 이동하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 박리 유닛으로 상기 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계는 상기 보호 필름의 박리 각도를 확인하는 단계, 및 상기 박리 각도가 제1 각도 이상이면 상기 제1 회전부가 상기 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 각도는 둔각일 수 있다.
상기 보호 필름은 상기 박리 대상 기판에 포함되는 복수의 발광 소자와와 중첩하는 복수의 액티브 영역 및 상기 각 액티브 영역을 둘러싸며 배치되는 더미 영역을 포함하되,
상기 보호 필름에 상기 커팅 라인을 형성하는 단계는 상기 각 액티브 영역의 가장 자리를 따라 형성되는 제1 커팅 라인 및 이웃하는 상기 액티브 영역 사이에 형성되는 제2 커팅 라인을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세 서 내에 포함되어 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치에 의하면, 보호 필름의 더미 영역 박리 시 보호 필름의 액티브 영역에 손상을 주는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 보호 필름의 더미 영역 박리 시 보호 필름의 액티브 영역에 손상을 주는 것과 액티브 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 패널의 평면도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 모 기판의 평면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 사시도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 측면도이다.
도 5 및 도 6은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 이용한 레이저 빔 조사 공정을 나타낸 도면이다.
도 7 내지 도 10은 보호 필름 박리 공정을 구체적으로 나타낸 개략도이다.
도 11 내지 도 13은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 이용한 보호 필름 박리 공정을 나타낸 도면이다.
도 14는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 15는 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 평면도이다.
도 16은 도 15의 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 이용한 보호 필름 박리 공정을 나타낸 평면도이다.
도 17은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 측면도이다.
도 18은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 측면도이다.
도 19 및 도 20은 도 18의 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 이용한 보호 필름 박리 공정을 나타낸 개략도이다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 평면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 구체적인 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 패널의 평면도이다. 도 2는 일 실시예에 따른 모 기판의 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 표시 패널(DP)은 동영상이나 정지영상을 표시하는 표시 장치에 포함될 수 있다. 예를 들어, 표시 패널(DP)은 모바일 폰(mobile phone), 스마트 폰(smart phone), 태블릿 PC(tablet personal computer), 및 스마트 워치(smart watch), 워치 폰(watch phone), 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(portable multimedia player), 네비게이션, UMPC(Ultra Mobile PC) 등과 같은 휴대용 전자 기기 뿐만 아니라, 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷(internet of things, IOT) 등의 다양한 표시 장치에 포함되어 표시 화면에 사용될 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치, 전계방출 표시 장치, 전기 영동 표시 장치, 전기 습윤 표시 장치, 양자점 발광 표시 장치, 및 마이크로 LED 표시 장치 중 어느 하나에 사용될 수 있다.
표시 패널(DP)은 제1 방향(X)의 제1 변과 제2 방향(Y)의 제2 변을 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 도 1에서는 제1 방향(X)의 제1 변의 길이가 제2 방향(Y)의 제2 변의 길이보다 긴 것을 예시하였으나, 이에 제한되지 않고 상기 제1 변의 길이는 상기 제2 변의 길이와 동일하거나 상기 제2 변의 길이보다 짧을 수 있다. 제1 방향(X)의 제1 변과 제2 방향(Y)의 제2 변이 만나는 모서리는 직각으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 소정의 곡률을 갖도록 둥글게 형성될 수 있다.
표시 패널(DP)은 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 주변 영역인 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 표시 영역(DA)은 표시 패널(DP)의 중앙에 배치되며, 표시 패널(DP)의 대부분의 영역을 차지할 수 있다. 도시되지 않았지만, 표시 영역(DA)에는 제1 방향(X)으로 연장되는 복수의 스캔 배선, 제2 방향(Y)으로 연장되는 복수의 데이터 배선, 및 복수의 화소가 배치될 수 있다. 각 화소(미도시)는 스캔 배선(미도시) 및 데이터 배선(미도시)에 연결되어, 스캔 배선(미도시)에 스캔 신호가 인가되는 경우, 데이터 배선(미도시)의 데이터 전압을 공급받을 수 있다. 각 화소(미도시)는 상기 데이터 전압에 의해 발광하는 발광 소자를 포함할 수 있다.
비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)을 둘러싸며 배치될 수 있다. 표시 패널(DP)에서 표시 영역(DA)의 제2 방향(Y) 타측에 위치하는 비표시 영역(NDA)의 면적은 표시 영역(DA)의 제2 방향(Y) 일측, 제1 방향(X) 일측 및 타측에 위치하는 비표시 영역(NDA)의 면적보다 클 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 표시 영역(DA)의 제2 방향(Y) 타측에 위치하는 비표시 영역(NDA)에는 복수의 패드(PAD)가 배치될 수 있다. 복수의 패드(PAD)는 제1 방향(X)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 패드(PAD)에는 구동 회로 등이 장착된 가요성 필름(COF Film) 등이 결합되어 화소에 구동 신호를 전달할 수 있다.
표시 패널(DP)은 복수의 스캔 배선, 복수의 데이터 배선 및 복수의 화소 등이 형성된 모 기판(11)을 기판 커팅 라인(SCL)을 따라 셀 단위로 커팅하여 형성될 수 있다. 모 기판(11)은 기판 커팅 라인(SCL)을 기준으로 내측에 위치하는 셀 영역(CA) 및 셀 영역(CA)을 둘러싸며 배치되는 셀 외부 영역(NCA)을 포함할 수 있다.
모 기판(11)의 각 셀 영역(CA)은 추후 공정을 통해 표시 패널(DP)로 형성될 수 있다. 도 2에는 제1 방향(X)으로 3행, 제2 방향(Y)으로 3열의 총 9개의 셀 영역(CA)을 포함하는 모 기판(11)을 도시하였으나, 모 기판(11)이 포함하는 셀의 개수는 이에 제한되지 않는다. 즉, 도 2에 도시된 모 기판(11)을 통해 총 9개의 표시 패널(DP)을 형성할 수 있다.
셀 외부 영역(NCA)은 복수의 테스트 패드 영역(TEG)을 포함할 수 있다. 도시되지 않았지만, 각 테스트 패드 영역(TEG)에는 표시 패드(PAD)와 전기적으로 연결되며, 표시 패널(DP)의 화질 불량 여부를 검사할 수 있는 복수의 테스트 패드를 포함할 수 있다. 테스트 패드 영역(TEG)의 테스트 패드(미도시)에 인가되는 전압은 표시 패드(PAD)를 통해 표시 패널(DP)의 각종 배선들에 인가될 수 있다. 따라서, 테스트 패드 영역(TEG)을 통해 표시 패널(DP)의 화질 불량 여부를 검사할 수 있다.
일 실시예에서, 테스트 패드 영역(TEG)은 셀 영역(CA)의 각 열마다 하나씩 배치될 수 있다. 예를 들어, 테스트 패드 영역(TEG)은 셀 영역(CA)의 각 열의 제2 방향(Y) 일측에 하나씩 배치될 수 있으나, 테스트 패드 영역(TEG)의 개수 및 배치가 이에 제한되는 것은 아니다.
후술하겠지만, 모 기판(11) 상에는 보호 필름(PF)이 부착될 수 있다. 보호 필름(PF)은 편광 필름(PF)을 부착하기 전의 제조 공정 중에 모 기판(11)의 상부를 보호하는 역할을 할 수 있다. 모 기판(11)의 커팅은 보호 필름(PF)의 일부를 박리한 후 보호 필름(PF)이 박리된 영역에서 수행될 수 있다. 즉, 모 기판(11)의 커팅 공정 전에 보호 필름(PF)의 일부를 박리하는 공정이 수행될 수 있다. 이하, 후술하는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)는 모 기판(11)으로부터 보호 필름(PF)을 박리하는 데 사용되는 박리 장치일 수 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 사시도이다. 도 4는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 측면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)는 스테이지(100), 스테이지(100)의 제1 방향(X) 일측 및 타측에 배치되는 박리 유닛(200), 각 박리 유닛(200)의 이동을 가이드하는 가이드부(300), 각 가이드부(300)의 제2 방향(Y) 타측 단부에 인접 배치되며 단부가 제2 방향(Y) 일측을 향해 배치되는 니들(400), 스테이지(100)의 상부에 위치하며 레이저 빔을 방출하는 레이저 모듈(500), 박리 유닛(200)을 구동시키는 박리 유닛 구동부(600), 니들(400)을 구동시키는 니들 구동부(700) 및 박리 유닛 구동부(600)와 니들 구동부(700)를 제어하는 제어부(800)를 포함할 수 있다.
스테이지(100) 상에는 박리 대상 기판(10)이 배치될 수 있다. 박리 대상 기판(10)은 모 기판(11) 및 모 기판(11) 상에 부착되는 보호 필름(PF)을 포함할 수 있다. 스테이지(100)의 평면도상 형상은 직사각형일 수 있으나, 이에 제한되지 않고 원형, 타원형 또는 기타 다른 다각형일 수 있다.
스테이지(100)의 제1 방향(X) 일측 및 타측에는 박리 유닛(200)이 배치될 수 있다. 구체적으로, 박리 유닛(200)은 스테이지(100)의 제1 방향(X) 타측에 배치되는 제1 박리 유닛(210) 및 제1 방향(X) 일측에 배치되는 제2 박리 유닛(220)을 포함할 수 있다. 박리 유닛(200)은 스테이지(100)보다 상부에 위치할 수 있다. 박리 유닛(200)은 후술하는 가이드부(300) 상에서 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 박리 유닛(200)은 스테이지(100)의 제1 방향(X) 일측 및 타측 단부와 부분적으로 중첩할 수 있다. 제1 박리 유닛(210) 및 제2 박리 유닛(220)은 제1 방향(X)으로 상호 대향하여 배치될 수 있다.
제1 박리 유닛(210)은 제1 이동부(211), 제1 이동부(211)의 제1 방향(X) 일측에 배치되는 제1 회전부(212) 및 제1 회전부(212)의 제1 방향(X) 일측에 배치되는 제1 파지부(213)를 포함할 수 있다. 제2 박리 유닛(220)은 제2 이동부(221), 제2 이동부(221)의 제1 방향(X) 타측에 배치되는 제2 회전부(222) 및 제2 회전부(222)의 제1 방향(X) 타측에 배치되는 제2 파지부(223)를 포함할 수 있다.
제1 박리 유닛(210)의 제1 이동부(211)와 제2 박리 유닛(220)의 제2 이동부(221)는 후술하는 가이드부(300)에서 제2 방향(Y)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 상호 대향하는 제1 이동부(211) 및 제2 이동부(221)는 동일 방향으로 동일 거리만큼 함께 이동할 수 있다.
제1 박리 유닛(210)의 제1 회전부(212) 및 제2 박리 유닛(220)의 제2 회전부(222)는 제1 방향(X)으로 연장하는 축을 중심으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 제1 방향(X)으로 상호 대향하여 배치되는 제1 박리 유닛(210)의 제1 회전부(212)와 제2 박리 유닛(220)의 제2 회전부(222)는 동시에 서로 반대 방향으로 회전할 수 있다. 예를 들어, 제1 박리 유닛(210)의 제1 회전부(212)가 시계 방향으로 회전하면, 제2 박리 유닛(220)의 제2 회전부(222)는 그와 동시에 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 제2 박리 유닛(220)의 제2 회전부(222)가 시계 방향으로 회전하면, 제1 박리 유닛(210)의 제1 회전부(212)는 그와 동시에 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 제1 회전부(212)는 제1 이동부(211)에 결합되어 제1 이동부(211)의 이동에 추종되고, 제2 회전부(222)는 제2 이동부(221)에 결합되어 제2 이동부(221)의 이동에 추종될 수 있다.
제1 파지부(213) 및 제2 파지부(223)는 다른 구성을 파지하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제1 파지부(213) 및 제2 파지부(223)는 각각 제1 방향(X)으로 연장되는 두 개의 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 포함하며, 상기 제1 그리퍼 및 상기 제2 그리퍼 사이의 간격을 조절하여 다른 구성을 파지할 수 있다.
제1 파지부(213)는 제1 회전부(212)에 결합되어 제1 회전부(212)의 회전에 추종되고, 제2 파지부(223)는 제2 회전부(222)에 결합되어 제2 회전부(222)의 회전에 추종될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이 제1 회전부(212)의 이동은 제1 이동부(211)에 추종되고 제2 회전부(222)의 이동은 제2 이동부(221)에 추종되므로, 제1 파지부(213)의 이동 및 제2 파지부(223)의 이동 또한 각각 제1 이동부(211) 및 제2 이동부(221)에 추종될 수 있다. 제1 파지부(213) 및 제2 파지부(223)는 스테이지(100)에 제3 방향(Z)으로 중첩하도록 배치될 수 있다.
박리 유닛(200)은 가이드부(300)에 의해 가이드되어 제2 방향(Y)으로 이동할 수 있다. 즉, 가이드부(300)는 박리 유닛(200)의 이동을 가이드할 수 있다. 가이드부(300)는 제2 방향(Y)으로 연장되는 형상을 가질 수 있다. 가이드부(300)는 제1 박리 유닛(210)의 이동을 가이드하는 제1 가이드부(310) 및 제2 박리 유닛(220)의 이동을 가이드하는 제2 가이드부(320)를 포함할 수 있다. 제1 가이드부(310)는 스테이지(100)의 제1 방향(X) 타측에 배치되고, 제2 가이드부(320)는 스테이지(100)의 제1 방향(X) 일측에 배치될 수 있다. 제1 박리 유닛(210)은 제1 가이드부(310) 상에 배치되고, 제2 박리 유닛(220)은 제2 가이드부(320) 상에 배치될 수 있다.
제1 가이드부(310)는 제1 가이드 체결부(311)를 포함하고, 제2 가이드부(320)는 제2 가이드 체결부(321)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 박리 유닛(210)의 제1 이동부(211)는 제1 가이드 체결부(311)에 체결되어 제2 방향(Y)으로 이동하고, 제2 박리 유닛(220)의 제2 이동부(221)는 제2 가이드 체결부(321)에 체결되어 제2 방향(Y)으로 이동할 수 있다. 제1 가이드 체결부(311) 및 제2 가이드 체결부(321)는 제2 방향(Y)으로 연장되는 형상을 가질 수 있다. 제1 가이드 체결부(311) 및 제2 가이드 체결부(321)는 홈 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않고 제3 방향(Z)으로 개구된 홀 형상을 가질 수도 있다.
가이드부(300)는 스테이지(100)와 제3 방향(Z)으로 비중첩할 수 있다. 가이드부(300)는 상면은 스테이지(100)의 상면보다 제3 방향(Z)으로 제1 거리(d)만큼 이격되도록 배치될 수 있다. 가이드부(300)의 제2 방향(Y) 일측 및 타측 단부는 스테이지(100)의 제2 방향(Y) 일측 및 타측보다 외측으로 돌출될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
스테이지(100)의 제2 방향(Y) 타측에는 니들(400)이 배치될 수 있다. 니들(400)은 박리 대상 기판(10)에서 모 기판(11)으로부터 보호 필름(PF)을 초기 박리하여 제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213)에 제공할 수 있다. 니들(400)은 예리한 단부를 포함할 수 있다. 니들(400)의 단부는 제2 방향(Y) 일측을 향해 배치될 수 있다. 니들(400)의 단부는 보호 필름(PF)과 모 기판(11) 사이로 삽입되어 보호 필름(PF)을 초기 박리할 수 있다. 니들(400)은 제3 방향(Z)으로 이동할 수 있고, 제1 방향(X)으로 연장하는 축을 중심으로 회전할 수 있다. 이를 통해, 니들(400)은 초기 박리된 보호 필름(PF)을 제1 박리 유닛(210)에 제공할 수 있다.
스테이지(100)의 상부에는 레이저 모듈(500)이 배치될 수 있다. 레이저 모듈(500)은 스테이지(100)를 향하여 레이저 빔(도 6의 'L' 참조)을 방출할 수 있다. 레이저 모듈(500)은 스테이지(100)의 상부에서 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)으로 수평 이동할 수 있다. 도시되지 않았지만, 레이저 모듈(500)의 레이저 방출은 레이저 제어부(미도시)에 의해 제어될 수 있다. 레이저 모듈(500)은 예를 들어, 이산화탄소 레이저, 엑시머 레이저, 헬륨-네온 레이저, 헬륨-셀레늄 레이저(그린 레이저)와 같은 기체 레이저를 포함하거나, 루비 레이저, 유리 레이저, YAG 레이저, YLF 레이저와 같은 고체 레이저를 포함할 수 있다.
박리 유닛(200)의 이동 및 회전은 박리 유닛 구동부(600)에 의해 구동될 수 있다. 박리 유닛 구동부(600)는 이동 구동부(610) 및 회전 구동부(620)를 포함할 수 있다. 이동 구동부(610)는 제1 이동부(211) 및 제2 이동부(221)가 각각 제1 가이드부(310) 및 제2 가이드부(320)를 따라 이동하도록 구동할 수 있다. 또한, 회전 구동부(620)는 제1 회전부(212) 및 제2 회전부(222)가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하도록 구동할 수 있다. 이동 구동부(610) 및 회전 구동부(620)의 구동은 후술하는 제어부(800)에 의해 제어될 수 있다.
니들(400)을 이용한 초기 박리 공정은 니들 구동부(700)에 의해 구동될 수 있다. 니들 구동부(700)는 니들(400)의 단부가 보호 필름(PF) 및 모 기판(11) 사이로 삽입되어 초기 박리가 이루어지도록 니들(400)을 이동시킬 수 있다. 또한, 니들 구동부(700)는 초기 박리된 보호 필름(PF)을 제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213) 및 제2 박리 유닛(220)의 제2 파지부(223)으로 제공하도록 니들(400)을 구동할 수 있다. 예를 들어, 니들 구동부(700)는 니들(400)이 초기 박리된 보호 필름(PF)의 하부를 지지 한 채로 제3 방향(Z)으로 이동 및 제1 방향(X)으로 연장하는 축을 중심으로 회전하여 보호 필름(PF)을 제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213) 및 제2 박리 유닛(220)의 제2 파지부(223)로 제공하도록 구동할 수 있다. 니들 구동부(700)의 구동은 후술하는 제어부(800)에 의해 제어될 수 있다.
제어부(800)는 상술한 바와 같이, 박리 유닛 구동부(600) 및 니들 구동부(700)의 구동을 제어할 수 있다. 구체적으로, 제어부(800)는 니들(400)을 통한 보호 필름(PF)의 초기 박리가 이루어지고, 초기 박리된 보호 필름(PF)이 박리 유닛(200)으로 제공되도록 니들 구동부(700)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(800)는 제1 파지부(213) 및 제2 파지부(223)로 보호 필름(PF)을 파지하여 제1 박리 유닛(210)의 제1 이동부(211)와 제1 회전부(212) 및 제2 박리 유닛(220)의 제2 이동부(221)와 제2 회전부(222)를 구동하여 보호 필름(PF)의 완전한 박리가 이루어지도록 박리 유닛 구동부(600)를 제어할 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)를 이용한 보호 필름(PF)의 박리 공정에 대한 상세한 설명은, 이하 도 5 내지 도 13을 참조하여 후술하기로 한다. 이하에서, 박리 공정에 대한 설명은 제1 박리 유닛(210)을 중심으로 설명하나, 이에 대한 내용은 제2 박리 유닛(220)에도 동일하게 적용될 수 있다.
도 5 및 도 6은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 이용한 레이저 빔 조사 공정을 나타낸 도면이다. 도 7 내지 도 10은 보호 필름 박리 공정을 구체적으로 나타낸 개략도이다. 도 11 내지 도 13는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 이용한 보호 필름 박리 공정을 나타낸 도면이다.
도 5 내지 도 13을 참조하면, 박리 대상 기판(10)은 모 기판(11) 및 모 기판(11) 상에 부착되는 보호 필름(PF)을 포함할 수 있다. 모 기판(11)은 표시 영역(DA) 및 비표시 영역(NDA)을 포함하는 베이스 기판(SUB), 베이스 기판(SUB)의 표시 영역(DA)에 배치되는 표시층(DISL) 및 베이스 기판(SUB)의 비표시 영역(NDA)에 배치되는 복수의 패드(PAD)를 포함할 수 있다. 표시층(DISL)은 박막 트랜지스터층(TFTL), 박막 트랜지스터층(TFTL) 상에 배치되는 발광층(EML) 및 박막 트랜지스터층(TFTL)과 발광층(EML)을 커버하며 배치되는 봉지층(TFEL)을 포함할 수 있다.
보호 필름(PF)은 베이스 기판(SUB)과 전체적으로 중첩 배치되어 모 기판(11)을 보호할 수 있으나, 이에 제한되지 않고 베이스 기판(SUB)과 부분적으로 중첩할 수도 있다. 보호 필름(PF)은 모 기판(11)의 표시 영역(DA)에 배치되는 봉지층(TFEL)과 직접 접촉하지만, 비표시 영역(NDA)에 배치되는 패드(PAD)와는 제3 방향(Z)으로 이격되어 배치될 수 있다. 보호 필름(PF)의 적어도 일면은 평탄한 면을 포함할 수 있다.
보호 필름(PF)은 표시 영역(DA)과 중첩하는 액티브 영역(PFA)과 비표시 영역(NDA) 및 셀 외부 영역(NCA)과 중첩하는 더미 영역(PFD)을 포함할 수 있다. 더미 영역(PFD)은 액티브 영역(PFA)을 둘러싸며 배치될 수 있다. 후술하겠지만, 모 기판(11)의 커팅 공정 이전에 박리되는 보호 필름(PF)의 일부 영역은 더미 영역(PFD)일 수 있다. 반면, 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)은 박리되지 않고, 모 기판(11)의 커팅 공정에서 모 기판(11) 상에 부착되어 있을 수 있다.
액티브 영역(PFA)은 추후 공정을 통해 제작되는 표시 패널(DP)의 표시 영역(DA)을 보호할 수 있다. 액티브 영역(PFA)의 상면에 스크래치 등의 손상이 발생할 경우 표시 영역(DA)에 배치되는 박막 트랜지스터층(TFTL) 및 발광층(EML)에 전기적 영향을 줄 수 있다. 따라서, 보호 필름(PF) 박리 공정에서 액티브 영역(PFA)의 상면에 스크래치 등의 손상이 발생하지 않도록 하는 것이 바람직할 수 있다. 이를 위해, 상술한 바와 같이 제1 박리 유닛(210)의 이동을 가이드하는 가이드부(300)의 상면과 스테이지(100)의 상면은 제3 방향(Z)으로 제1 거리(d)만큼 이격되어 배치될 수 있다.
더미 영역(PFD)은 제1 방향(X)으로 서로 이웃하는 액티브 영역(PFA) 사이에 위치하며 제2 방향(Y)으로 연장되는 형상의 제1 더미 영역(PFD1), 제2 방향(Y)으로 서로 이웃하는 액티브 영역(PFA) 사이에 배치되며 제1 방향(X)으로 연장되는 형상의 제2 더미 영역(PFD2), 보호 필름(PF)에서 액티브 영역(PFA), 제1 더미 영역(FPD1) 및 제2 더미 영역(FPD2)을 둘러싸며, 보호 필름(PF)의 외곽을 구성하는 제3 더미 영역(PFD3), 및 제1 더미 영역(PFD1)과 제2 더미 영역(PFD2)이 교차하는 영역에 배치되는 제4 더미 영역(PFD4)을 포함할 수 있다.
보호 필름(PF)은 투명한 재질의 필름을 포함할 수 있다. 예를 들어, 보호 필름(PF)은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate, PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphthalate, PEN), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 폴리메틸 메타아크릴레이트(Polymethylmetacrylate, PMMA), 폴리스티렌(Polystyrene, PS), 폴리염화비닐(Polyvinylchloride, PVC), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone, PES), 폴리에틸렌(Polyethylene, PE), 폴리프로필렌(Polypropylene, PP) 및 폴리이미드(Polyimide, PI) 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
박리 대상 기판(10)의 보호 필름(PF)에는 커팅 라인(CL1, CL2)이 형성될 수 있다. 커팅 라인(CL1, CL2)의 형성은 레이저 모듈(500)로부터 방출되는 레이저 빔(L)에 의해 수행될 수 있다. 구체적으로, 레이저 모듈(500)로부터 레이저 빔(L)이 방출되어 보호 필름(PF)의 일면 상에 조사되면, 레이저 빔(L)이 조사된 보호 필름(PF)의 일부 영역이 커팅 되어 커팅 라인(CL1, CL2)이 형성될 수 있다. 커팅 라인(CL1, CL2)은 모 기판(11)에서 각각의 셀 영역(CA)마다 하나씩 형성되는 폐곡선 형상의 제1 커팅 라인(CL1) 및 서로 이웃한 제1 커팅 라인(CL1)을 연결하는 제2 커팅 라인(CL2)을 포함할 수 있다.
보호 필름(PF)에서 폐곡선 형상의 제1 커팅 라인(CL1)에 의해 둘러싸인 영역은 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)이고, 제1 커팅 라인(CL1)의 외측 영역은 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)일 수 있다. 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA) 및 더미 영역(PFD) 모두 추후 공정에서 제거될 수 있으나, 상술한 바와 같이 모 기판(11)의 커팅 공정 이전에는 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)이 제거될 수 있다.
레이저 빔(L)에 의한 보호 필름(PF)의 커팅 공정은 하프 커팅 공정으로서, 레이저 빔(L)의 에너지를 적절히 설정하여 보호 필름(PF)에서 레이저 빔(L)이 조사되는 영역은 커팅되되, 보호 필름(PF)의 하부에 배치되는 베이스 기판(SUB)은 커팅되지 않을 수 있다.
보호 필름(PF)에 커팅 라인(CL1, CL2)이 형성된 이후에는 니들(400)을 이용하여 보호 필름(PF)의 적어도 일부가 초기 박리될 수 있다. 상술한 바와 같이, 니들(400)은 예리한 단부를 포함할 수 있다. 보호 필름(PF)의 초기 박리는 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)의 일 부분을 최초로 박리하는 것을 의미할 수 있다. 초기 박리는 보호 필름(PF)의 제2 방향(Y) 타측 에지와 제1 방향(X) 일측 에지가 만나는 모서리 영역 및 보호 필름(PF)의 제2 방향(Y) 타측 에지와 제1 방향(X) 타측 에지가 만나는 모서리 영역에서 이루어질 수 있다. 즉, 초기 박리가 이루어지는 더미 영역(PFD)은 제3 더미 영역(PFD3)의 일부일 수 있다.
보호 필름(PF)의 초기 박리는 니들(400)이 제2 방향(Y) 일측으로 이동하여 니들(400)의 단부가 보호 필름(PF)과 모 기판(11) 사이로 삽입되어 이루어질 수 있다. 더미 영역(PFD)의 초기 박리에서 보호 필름(PF)과 모 기판(11) 사이로 삽입된 니들(400)은 제3 방향(Z)으로 이동하거나, 제1 방향(X)으로 연장하는 축을 중심으로 회전하여 보호 필름(PF)을 박리 유닛(200)으로 제공할 수 있다.
니들(400)으로 보호 필름(PF)의 적어도 일부를 초기 박리한 이후, 초기 박리된 보호 필름(PF)은 제1 박리 유닛(210)으로 제공될 수 있다. 초기 박리된 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)은 니들(400)에 의해 제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213)로 제공될 수 있다. 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)이 제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213)로 제공되면 제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213)는 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)을 파지할 수 있다. 보호 필름(PF)을 제1 박리 유닛(210)으로 제공하는 단계 및 제공된 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)을 제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213)로 파지하는 단계는 제2 박리 유닛(220)의 제2 파지부(223)에서 동시에 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않고 각각 따로 이루어질 수도 있다.
초기 박리된 보호 필름(PF)이 제1 박리 유닛(210)으로 제공되면 제1 박리 유닛(210)으로 보호 필름(PF)을 파지하여 완전히 박리할 수 있다. 제1 박리 유닛(210)의 이동에 의해 보호 필름(PF)은 박리 벡터(DLD)의 힘을 받아 박리될 수 있다. 박리 벡터(DLD)는 제1 박리 유닛(210)에 의해 보호 필름(PF)이 박리되는 힘의 크기 및 방향을 포함할 수 있다. 보호 필름(PF)은 소정의 박리 각도(θ)를 형성하며 박리될 수 있다. 박리 각도(θ)는 박리된 보호 필름(PFs)과 보호 필름(PF)이 박리되어 상면이 노출된 모 기판(11s) 사이의 각도를 의미할 수 있다. 박리 각도(θ)는 스테이지(100)에 대한 박리 벡터(DLD)의 각도와 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 박리 각도(θ)는 둔각일 수 있다. 박리 각도(θ)가 둔각일 경우, 박리된 보호 필름(PFs)이 받는 장력이 감소하여 찢어짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 박리 각도(θ)는 120° 내지 150°일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213)가 제공된 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)을 파지하면 제1 박리 유닛(210)의 제1 이동부(211)가 구동되어 가이드부(300)를 따라 제2 방향(Y) 일측으로 이동할 수 있다. 이 때, 제1 회전부(212)를 통한 회전은 일어나지 않을 수 있다.
제1 박리 유닛(210)의 이동을 통해 소정의 박리 각도(θ)가 형성되면, 제1 박리 유닛(210)은 제1 회전부(212)에 의한 회전과 제1 이동부(211)에 의한 이동이 함께 이루어질 수 있다. 제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213)가 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)을 파지한 채로 제1 회전부(212)에 의한 회전과 제1 이동부(211)에 의한 이동이 함께 일어나므로 박리 과정 중에 박리 각도(θ)는 둔각으로 유지될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 도 10에는 제1 박리 유닛(210)의 제1 회전부(212)의 회전 방향(RD)이 시계 방향인 것을 도시하였으나, 이에 제한되지 않고 제1 회전부(212)의 회전 방향(RD)은 반시계 방향일 수도 있다.
이하, 제1 박리 유닛(210)이 회전 및 이동을 병행하며 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)을 박리할 때 나타나는 더미 영역(PFD)의 거동에 대해 설명한다.
제1 박리 유닛(210)의 제1 파지부(213) 및 제2 박리 유닛(220)의 제2 파지부(223)로 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)을 파지한 채, 회전 및 이동을 병행하면 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)은 제1 박리 유닛(210) 및 제2 박리 유닛(220)에 감기며 박리될 수 있다. 제1 더미 영역(PFD1)은 박리 벡터(DLD)의 힘을 받아 연속적으로 감기며 박리될 수 있다. 제2 더미 영역(PFD2)은 박리와 동시에 박리 전 제2 커팅 라인(CL2)을 사이에 두고 인접하던 제1 더미 영역(PFD1)과 분리될 수 있다. 제2 더미 영역(PFD2)은 보호 필름(PF) 자체의 탄성에 의한 장력으로 인해 제1 더미 영역(PFD1)과 분리되면 제1 방향(X) 일측으로 향할 수 있다. 스테이지(100)의 상면과 가이드부(300)의 상면은 제1 거리(d)만큼의 상호 이격되어 제2 더미 영역(PFD2)이 박리되어 제2 더미 영역(PFD1)과 분리되더라도 액티브 영역(PFA)에 영향을 미치지 않을 수 있다.
제1 더미 영역(PFD1)과 제2 더미 영역이 교차하는 제4 더미 영역(PFD4)과 인접하는 액티브 영역(PFA)의 모서리 영역은 제1 방향(X)으로 연장하는 제2 더미 영역(PFD2)으로 인해 박리 시 기포가 발생할 우려가 있으나, 제2 커팅 라인(CL2)으로 인해 제4 더미 영역(PFD4)과 제2 더미 영역(PFD2)이 박리와 동시에 분리되어 기포 발생을 효과적으로 방지할 수 있다.
제1 박리 유닛(210)이 회전 및 이동을 병행하며 가이드부(300)의 제2 방향(Y) 일측 단부까지 진행하면 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)이 완전히 박리되어 보호 필름(PF)의 박리 공정이 종료될 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)에 의하면, 보호 필름(PF)의 박리 시 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)에 손상을 주지 않고, 액티브 영역(PFA)에서 제4 더미 영역(PFD4)과 인접하는 모서리 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지하여 보호 필름(PF)을 안정적으로 박리할 수 있다.
도 14는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 14를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 표시 패널(DP)에 부착된 보호 필름(PF)의 일부를 박리하는 공정에 대한 것이다. 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 보호 필름을 포함하는 박리 대상 기판을 준비하는 단계(S11), 보호 필름에 커팅 라인을 형성하는 단계(S21), 보호 필름을 초기 박리하는 단계(S31), 초기 박리된 보호 필름을 제1 박리 유닛으로 제공하는 단계(S41) 및 제1 박리 유닛으로 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계(S51)를 포함할 수 있다. 즉, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 도 5 내지 도 13을 참조하여 상술한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)를 이용한 보호 필름(PF)의 박리에 관한 것이므로 상세한 내용은 생략하기로 한다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)에 손상을 주지 않고 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)을 박리할 수 있다. 또한, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD) 박리 시 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)에서 제4 더미 영역(PFD4)과 인접하는 모서리 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
이하, 표시 장치의 제조 장치(1)의 다른 실시예에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서, 이미 설명한 실시예와 동일한 구성에 대해서는 그 설명을 생략하거나 간략화하며, 차이점을 위주로 설명하기로 한다.
도 15는 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 평면도이다. 도 16은 도 15의 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 이용한 보호 필름 박리 공정을 나타낸 평면도이다.
도 15 및 도 16을 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1)는 제3 방향(Z)으로 연장하는 축을 중심으로 회전 가능하도록 구성되는 스테이지(100_1)를 포함한다는 점에서 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)와 차이가 있다.
구체적으로, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1)에 포함되는 스테이지(100_1)는 평면도상 직사각형 형상을 가질 수 있다. 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1)에서, 스테이지(100_1)는 회전이 가능하여 스테이지(100_1)의 가이드부(300)에 인접 배치되는 에지는 평면도상 제2 방향(Y)으로부터 시계방향으로 제1 틸트각(α)만큼 틸트될 수 있다. 도시되지 않았지만, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1)는 스테이지(100_1)가 제3 방향(Z)으로 연장하는 축을 중심으로 회전 가능하도록 하는 회전 구동부(미도시)를 포함할 수 있다.
이하, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1)를 이용한 보호 필름(PF)의 박리 공정에 대해 설명한다. 이하에서, 박리 공정에 대한 설명은 제1 박리 유닛(210)을 중심으로 설명하나, 이에 대한 내용은 제2 박리 유닛(220)에도 동일하게 적용될 수 있다.
제1 박리 유닛(210)을 이용하여 박리 벡터(DLD_1)를 갖는 힘으로 보호 필름(PF)의 더미 영역(PFD)을 박리할 수 있다. 제1 틸트각(α)으로 인해 박리 벡터(DLD_1)는 제1 더미 영역(PFD1) 및 제2 더미 영역(PFD2)과 각각 동일한 연장 방향을 갖는 제1 박리 벡터(DLD1_1) 및 제2 박리 벡터(DLD2_1)로 벡터 분해될 수 있다. 즉, 제1 더미 영역(PFD1)은 제1 박리 벡터(DLD1_1)를 갖는 힘에 의해 박리되고, 제2 더미 영역(PFD2)은 제2 박리 벡터(DLD2_1)를 갖는 힘에 의해 박리될 수 있다. 일 실시예와 달리, 제2 더미 영역(PFD2)은 제2 더미 영역(PFD2)의 연장 방향과 동일한 방향을 갖는 제2 박리 벡터(DLD2_1)를 통해 용이하게 박리될 수 있다. 즉, 제2 더미 영역(PFD2)의 박리에 기여하는 제2 박리 벡터(DLD2_1)를 통해 보호 필름(PF) 박리 시 액티브 영역(PFA)에서 제4 더미 영역(PFD4)과 인접하는 모서리 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_1)에 의하면, 보호 필름(PF)의 박리 시 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)에 손상을 주지 않게 보호 필름(PF)을 안정적으로 박리할 수 있다.
뿐만 아니라, 제3 방향(Z)으로 연장하는 중심축을 기준으로 회전 가능하도록 구성되는 스테이지(100_1)를 포함하여 박리 유닛(200)을 통한 보호 필름(PF)의 박리 시 제2 더미 영역(PFD2)의 연장 방향과 동일한 방향을 갖는 제2 박리 벡터(DLD2_1)를 형성할 수 있다. 이를 통해 제2 더미 영역(PFD2)이 용이하게 박리되어 액티브 영역(PFA)에서 제4 더미 영역(PFD4)과 인접하는 모서리 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 17은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 측면도이다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_2)는 제1 방향(X)으로 연장하는 축을 중심으로 틸트된 가이드부(300_2)를 포함한다는 점에서 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)와 차이가 있다. 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_2)의 가이드부(300_2)는 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)에 의해 정의되는 평면에 대하여 제2 틸트각(β)만큼 틸트될 수 있다. 가이드부(300_2)의 상면과 스테이지(100)의 상면 간의 제1 거리(d)는 제2 방향(Y) 일측으로 갈수록 증가할 수 있다. 즉, 박리 유닛(200)을 이용하게 보호 필름(PF)을 박리함에 따라 가이드부(300_2)의 상면과 스테이지(100)의 상면 간의 이격 거리인 제1 거리(d)는 증가할 수 있다. 따라서, 보호 필름(PF)의 박리 공정이 진행됨에 따라 형성되는 박리된 더미 영역(PFD)이 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)에 손상을 주는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_2)에 의하면, 보호 필름(PF)의 박리 시 액티브 영역(PFA)에서 제4 더미 영역(PFD4)과 인접하는 모서리 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지하여 보호 필름(PF)을 안정적으로 박리할 수 있다.
뿐만 아니라, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_2)는 제2 방향(Y) 일측으로 갈수록 스테이지(100)와의 이격 거리가 증가하는 가이드부(300_2)를 포함하여 보호 필름(PF)의 박리 시 형성되는 박리된 더미 영역(PFD)이 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)에 손상을 주는 것을 효과적으로 방지하여 보호 필름(PF)을 안정적으로 박리할 수 있다.
도 18은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 측면도이다. 도 19 및 도 20은 도 18의 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 이용한 보호 필름 박리 공정을 나타낸 개략도이다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_3)는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)와 다른 구조의 제1 박리 유닛(210_3)의 파지부(230_3) 및 가이드부(300_3)를 포함할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_3)는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)의 니들(400)에 대응되는 구성이 생략되며, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)에서 니들(400)의 역할을 제1 박리 유닛(210)이 수행할 수 있다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_3)에 포함되는 제1 박리 유닛(210_3)은 예리한 단부를 포함하는 파지부(213_3)를 포함할 수 있다.
제1 가이드부(310_3)는 제3 방향(Z)으로 이동 가능하도록 구성되는 제1 서브 가이드부(310a_3) 및 스테이지(100)보다 상부에 위치하며 제2 방향(Y)으로 연장되는 제2 서브 가이드부(310b_3)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 제2 서브 가이드부(310b_3)는 제2 방향(Y)으로 연장되는 형상을 가지며, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)의 가이드부(300)와 동일하게 스테이지(100)로부터 제3 방향(Z) 일측으로 제1 거리(d)만큼 이격되어 배치될 수 있다.
제1 서브 가이드부(310a_3)는 스테이지(100)보다 낮은 위치부터 제2 서브 가이드부(310b_3)와 동일한 높이의 위치까지 제3 방향(Z)으로 이동이 가능할 수 있다. 제2 서브 가이드부(310b_3)와 동일한 높이의 위치에 도달한 제1 서브 가이드부(310a_3)는 제2 서브 가이드부(310b_3)와 정렬될 수 있다. 제1 서브 가이드부(310a_3)와 제2 서브 가이드부(310b_3)가 정렬되면, 제1 서브 가이드부(310a_3)의 제2 방향(Y) 일측 단부와 제2 서브 가이드부(310b_3)의 제2 방향(Y) 타측 단부는 서로 접촉하며, 상호 체결될 수 있다. 도시되지 않았지만, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_3)는 제1 서브 가이드부(310a_3)의 제3 방향(Z)으로의 이동을 구동하는 수직 구동부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
이하, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_3)를 이용한 보호 필름(PF)의 박리 공정에 대해 설명한다. 이하에서, 박리 공정에 대한 설명은 제1 박리 유닛(210_3)을 중심으로 설명하나, 이에 대한 내용은 제2 박리 유닛(220_3)에도 동일하게 적용될 수 있다.
도 19에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_3)는 제1 박리 유닛(210_3)의 제1 파지부(213_3)의 단부를 통해 보호 필름(PF)의 초기 박리를 수행할 수 있다. 이 때, 제1 서브 가이드부(310a_3)는 스테이지(100)보다 낮은 위치에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 가이드부(310a_3)의 위치는 제1 서브 가이드부(310a_3) 상에 배치된 제1 박리 유닛(210_3)이 제2 방향(Y)으로 이동하여 제1 파지부(213_3)의 단부가 보호 필름(PF) 및 모 기판(11) 사이에 삽입되어 초기 박리가 이루어지도록 설정될 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_3)에서 제1 박리 유닛(210_3)은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)에서 니들(400)의 역할까지 수행할 수 있다.
제1 박리 유닛(210_3)을 통해 보호 필름(PF)의 초기 박리가 이루어지면, 제1 파지부(213_3)를 통해 보호 필름(PF)을 파지하고, 제1 서브 가이드부(310a_3)는 제3 방향(Z) 일측을 향해 이동하여 제2 서브 가이드부(310b_3)에 정렬될 수 있다. 제1 서브 가이드부(310a_3)가 제2 서브 가이드부(310b_3)와 정렬되면 제1 박리 유닛(210_3)은 보호 필름(PF)을 파지한 채 제2 서브 가이드부(310b_3)를 향해 제2 방향(Y) 일측으로 이동하며 보호 필름(PF)의 박리가 이루어질 수 있다. 보호 필름(PF)의 박리 공정에 관한 다른 사항은 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)를 이용한 보호 필름(PF)의 박리 공정과 동일하므로 이하 생략하기로 한다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_3)에 의하면, 보호 필름(PF)의 박리 시 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)에 손상을 주지 않고, 액티브 영역(PFA)에서 제4 더미 영역(PFD4)과 인접하는 모서리 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지하여 보호 필름(PF)을 안정적으로 박리할 수 있다.
뿐만 아니라, 하나의 구성 즉, 제1 박리 유닛(210_3)을 이용하여 보호 필름(PF)의 초기 박리를 포함한 전체적인 박리 공정을 수행함으로써 보호 필름(PF)의 박리 공정을 정밀하게 수행할 수 있다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 나타낸 평면도이다.
도 16 및 도 21을 참조하면, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_4)는 제3 방향(Z)으로 연장하는 축을 중심으로 가이드부(300)가 회전하도록 하는 제1 및 제2 회전 유닛(312, 312)을 포함한다는 점에서 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)와 차이가 있다.
구체적으로, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_4)는 제1 가이드부(310)의 하부에 배치되는 제1 회전 유닛(312) 및 제2 가이드부(320)의 하부에 배치되는 제2 회전 유닛(322)을 포함할 수 있다.
제1 회전 유닛(312)은 제1 가이드부(310)를 제3 방향(Z)의 축을 중심으로 회전시키고, 제2 회전 유닛(322)은 제2 가이드부(320)를 제3 방향(Z)의 축을 중심으로 회전시킬 수 있다.
제1 및 제2 회전 유닛(312, 322)을 통해 도 15를 참조하여 상술한 실시예와 마찬가지로, 제1 및 제2 가이드부(310, 320)의 스테이지(100)에 인접 배치되는 에지는 평면도상 제2 방향(Y)으로부터 제1 틸트각(α)만큼 틸트될 수 있다.
이하, 본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_4)를 이용한 보호 필름(PF)의 박리 공정은 도 16을 참조하여 상술한 내용과 실질적으로 동일하므로 이에 대한 추가적인 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(1_4)에 의하면, 보호 필름(PF)의 박리 시 보호 필름(PF)의 액티브 영역(PFA)에 손상을 주지 않게 보호 필름(PF)을 안정적으로 박리할 수 있다.
뿐만 아니라, 가이드부(300)를 제3 방향(Z)으로 연장하는 중심축을 기준으로 회전시키는 제1 및 제2 회전 유닛(312, 322)을 포함하여 박리 유닛(200)을 통한 보호 필름(PF)의 박리 시 제2 더미 영역(PFD2)의 연장 방향과 동일한 방향을 갖는 제2 박리 벡터(DLD2_1)를 형성할 수 있다. 이를 통해 제2 더미 영역(PFD2)이 용이하게 박리되어 액티브 영역(PFA)에서 제4 더미 영역(PFD4)과 인접하는 모서리 영역에 기포가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 표시 장치
100: 스테이지
200: 제1 박리 유닛
300: 가이드부
400: 제2 박리 유닛
500: 레이저 모듈
600: 제1 구동부
700: 제2 구동부
800: 제어부

Claims (20)

  1. 스테이지;
    상기 스테이지의 제1 방향 일측에 위치하며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 제1 가이드부; 및
    상기 제1 가이드부 상에 배치되는 제1 박리 유닛을 포함하되,
    상기 제1 박리 유닛은 상기 제1 가이드부를 따라 이동하도록 구성되는 제1 이동부, 상기 제1 이동부의 상기 제1 방향 타측에 결합되며 상기 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하도록 구성되는 제1 회전부, 및 상기 제1 회전부의 상기 제1 방향 타측에 결합되며 상기 스테이지에 중첩 배치되는 제1 파지부를 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지의 상기 제1 방향 타측에 위치하며, 상기 제2 방향으로 연장하는 제2 가이드부; 및
    상기 제2 가이드부 상에 배치되는 제2 박리 유닛을 더 포함하되,
    상기 제2 박리 유닛은 상기 제2 가이드부를 따라 이동하도록 구성되는 제2 이동부, 상기 제2 이동부의 상기 제1 방향 일측에 결합되며 상기 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하도록 구성되는 제2 회전부, 및 상기 제2 회전부의 상기 제1 방향 일측에 결합되며 상기 스테이지에 중첩 배치되는 제2 파지부를 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 박리 유닛 및 상기 제2 박리 유닛은 상호 대향하는 표시 장치의 제조 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 가이드부는, 상기 제1 이동부는 구동하되 상기 제1 회전부는 미구동하는 제1 구간 및 상기 제1 이동부와 상기 제1 회전부가 함께 구동하는 제2 구간을 포함하되,
    상기 제1 구간 및 상기 제2 구간에서 상기 제1 이동부 및 상기 제1 회전부의 구동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제2 구간에서 상기 제1 이동부는 등속으로 이동하는 표시 장치의 제조 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 가이드부의 상기 제1 방향 일측에 배치되며, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향을 따라 이동하도록 구성되는 제3 가이드부를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 이동부는 상기 제1 가이드부 및 상기 제3 가이드부를 따라 이동하도록 구성되는 표시 장치의 제조 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지의 상기 제1 방향 일측 및 상기 타측 에지는 평면도상 상기 제2 방향으로부터 틸트되어 배치되는 표시 장치의 제조 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 가이드부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 의해 정의되는 평면으로부터 기울어진 표시 장치의 제조 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 스테이지의 상면 및 상기 제1 가이드부의 상면의 높이차는 상기 제1 방향 일측으로 갈수록 증가하는 표시 장치의 제조 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 가이드부는 상기 제1 박리 유닛이 체결되어 이동하는 제1 가이드홈을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 파지부는 상기 제1 방향으로 연장하는 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 포함하되,
    상기 제1 파지부는 상기 제1 그리퍼 및 상기 제2 그리퍼의 사이 거리를 조절하여 구동되는 표시 장치의 제조 장치.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지의 상부에 배치되며, 상기 제1 박리 유닛 구동 시 상기 스테이지의 외측으로 이동하도록 구성되는 레이저 모듈을 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  14. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지의 상기 제2 방향 타측 에지에 인접 배치되며, 단부가 상기 제2 방향 일측을 향해 배치되는 니들을 포함하는 표시 장치의 제조 장치.
  15. 보호 필름을 포함하는 박리 대상 기판을 준비하는 단계;
    상기 보호 필름에 커팅 라인을 형성하는 단계;
    상기 보호 필름을 초기 박리하는 단계;
    초기 박리된 상기 보호 필름을 제1 박리 유닛으로 제공하는 단계; 및
    상기 제1 박리 유닛으로 상기 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 제1 박리 유닛은 상기 제1 가이드부를 따라 이동하도록 구성되는 제1 이동부, 상기 제1 이동부의 상기 제1 방향 타측에 결합되며 상기 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하도록 구성되는 제1 회전부, 및 상기 제1 회전부의 상기 제1 방향 타측에 결합되며 상기 스테이지에 중첩 배치되는 제1 파지부를 포함하되,
    상기 제1 박리 유닛으로 상기 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계는 상기 제1 파지부로 상기 보호 필름을 파지하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 제1 박리 유닛으로 상기 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계는 상기 제1 이동부가 상기 제1 가이드부를 따라 이동하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 박리 유닛으로 상기 보호 필름을 파지하여 이동 및 회전하며 박리하는 단계는 상기 보호 필름의 박리 각도를 확인하는 단계, 및 상기 박리 각도가 제1 각도 이상이면 상기 제1 회전부가 상기 제1 방향으로 연장하는 축을 중심으로 회전하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 제1 각도는 둔각인 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제15 항에 있어서,
    상기 보호 필름은 상기 박리 대상 기판에 포함되는 복수의 발광 소자와와 중첩하는 복수의 액티브 영역 및 상기 각 액티브 영역을 둘러싸며 배치되는 더미 영역을 포함하되,
    상기 보호 필름에 상기 커팅 라인을 형성하는 단계는 상기 각 액티브 영역의 가장 자리를 따라 형성되는 제1 커팅 라인 및 이웃하는 상기 액티브 영역 사이에 형성되는 제2 커팅 라인을 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
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KR20080089730A (ko) * 2007-04-02 2008-10-08 삼성전자주식회사 편광판의 제거 장치 및 그 방법
KR100901498B1 (ko) 2007-11-19 2009-06-08 세메스 주식회사 기판 제조 장치 및 그 방법
NL2012668B1 (en) * 2014-04-23 2016-07-04 Vmi Holland Bv Foil removal device and a method for removing a foil from a tire tread.
US9751293B2 (en) * 2014-12-04 2017-09-05 Industrial Technology Research Institute Laminated substrate separating device and method for separating laminated substrate
KR102532626B1 (ko) 2016-06-02 2023-05-15 삼성디스플레이 주식회사 필름 박리 장치 및 방법
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