KR20210104283A - 보호 필름 박리 장치, 이를 이용한 보호 필름 박리 방법, 및 표시 모듈 제조 방법 - Google Patents

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KR20210104283A
KR20210104283A KR1020200018825A KR20200018825A KR20210104283A KR 20210104283 A KR20210104283 A KR 20210104283A KR 1020200018825 A KR1020200018825 A KR 1020200018825A KR 20200018825 A KR20200018825 A KR 20200018825A KR 20210104283 A KR20210104283 A KR 20210104283A
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이광민
노종덕
문대승
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 방법은 스테이지 위에 마더 글래스, 상기 마더 글래스 위에 배치되며 각각이 검사 패드를 포함하는 복수의 표시부들, 및 상기 복수의 표시부들을 커버하는 보호부를 제공하는 단계, 제1 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 하프 컷팅하는 단계, 상기 제1 컷팅 라인과 상이한 제2 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 풀 컷팅하는 단계, 및 상기 보호부의 일부분을 박리하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

보호 필름 박리 장치, 이를 이용한 보호 필름 박리 방법, 및 표시 모듈 제조 방법{PROTECTING FILM PEELING DEVICE, PROTECTING FILM PEELING METHOD OF USING THE SAME, AND DISPLAY MODULE MANUFACTURING METHOD}
본 발명은 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치, 보호 필름 박리 방법, 및 표시 모듈 제조 방법에 관한 것이다.
텔레비전, 휴대 전화, 태블릿 컴퓨터, 네비게이션, 게임기 등과 같은 멀티 미디어 장치에 사용되는 다양한 표시장치들이 개발되고 있다. 표시장치는 표시모듈, 입력센서, 윈도우, 광학필름과 같은 다양한 기능성 부재들을 포함한다.
제조 또는 가공 공정을 거친 기능성 부재들은 서로 결합된다. 복수 회의 결합공정을 거쳐 적층 구조의 표시장치가 제조된다.
본 발명은 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 보호 필름 박리 장치를 이용한 보호 필름 박리 방법, 및 표시 모듈 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 방법은 스테이지 위에 마더 글래스, 상기 마더 글래스 위에 배치되며 각각이 검사 패드를 포함하는 복수의 표시부들, 및 상기 복수의 표시부들을 커버하는 보호부를 제공하는 단계, 제1 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 하프 컷팅하는 단계, 상기 제1 컷팅 라인과 상이한 제2 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 풀 컷팅하는 단계, 및 상기 보호부의 일부분을 박리하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 하프 컷팅하는 단계는 상기 보호부의 두께 방향 일부분을 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 풀 컷팅하는 단계는 상기 보호부의 두께 방향 전체를 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 복수의 표시부들 각각에는 상기 검사 패드가 배치된 패드 영역 및 상기 패드 영역과 인접한 보호 영역이 정의되고, 상기 제1 컷팅 라인은 상기 복수의 표시부들 각각을 에워싸는 복수의 테두리들 중 일부인 제1 테두리들 및 상기 보호 영역 및 상기 패드 영역 사이의 영역에 대응할 수 있다.
상기 제2 컷팅 라인은 상기 복수의 테두리들 중 나머지 일부인 제2 테두리와 대응할 수 있다.
상기 제2 테두리는 상기 패드 영역의 테두리들 중 하나일 수 있다.
복수의 표시부들 각각은 상기 패드 영역에 배치되며 상기 검사 패드와 전기적으로 연결된 신호 패드를 더 포함하고, 상기 제2 컷팅 라인은 상기 신호 패드 및 상기 검사 패드 사이에 대응할 수 있다.
상기 하프 컷팅하는 단계는 제1 레이저 빔을 조사하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 풀 컷팅하는 단계는 상기 제1 레이저 빔보다 높은 에너지를 가지는 제2 레이저 빔을 조사하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 하프 컷팅하는 단계 및 상기 풀 컷팅하는 단계는 동시에 진행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치는 스테이지, 상기 스테이지 위에 배치되고, 제1 컷팅 라인을 따라 제1 레이저 빔을 조사하고, 상기 제1 컷팅 라인과 상이한 제2 컷팅 라인을 따라 상기 제1 레이저 빔보다 높은 에너지를 갖는 제2 레이저 빔을 조사하는 광원부, 및 상기 스테이지 위에 배치된 박리부를 포함할 수 있다.
상기 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 빔 중 적어도 하나의 가우시안 빔 프로파일을 플렛 탑 빔 프로파일로 변환하는 제1 광학부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 빔 중 적어도 하나를 제1 방향으로 연장된 빔 형상으로 변환하는 제2 광학부를 더 포함할 수 있다.
상기 광원부와 결합되고, 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하는 스캔부를 더 포함할 수 있다.
상기 스테이지는 상기 스캔부의 이동에 따라 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈 제조 방법은 스테이지 위에 제1 마더 글래스, 상기 제1 마더 글래스 위에 배치되며 각각이 패드 영역 및 상기 패드 영역과 인접한 보호 영역이 정의된 복수의 표시부들, 및 상기 복수의 표시부들을 커버하는 보호부를 제공하는 단계, 제1 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 하프 컷팅하는 단계, 상기 제1 컷팅 라인과 상이한 제2 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 풀 컷팅하는 단계, 상기 보호부의 일부분을 박리하는 단계, 상기 제1 마더 글래스를 식각하여 제2 마더 글래스를 형성하는 단계, 상기 제2 마더 글래스를 절단하여 복수의 예비 표시 모듈들을 형성하는 단계, 및 상기 패드 영역과 중첩하는 상기 보호부의 다른 일부분을 박리하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 컷팅 라인은 상기 복수의 표시부들 각각을 에워싸는 복수의 테두리들 중 일부인 제1 테두리들 및 상기 보호 영역 및 상기 패드 영역 사이의 영역에 대응할 수 있다.
상기 제2 컷팅 라인은 상기 복수의 테두리들 중 나머지 일부인 제2 테두리와 대응할 수 있다.
상기 제2 마더 글래스를 형성하는 단계는 상기 제1 마더 글래스의 두께를 감소시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 복수의 예비 표시 모듈을 형성하는 단계는 상기 복수의 표시부들과 비중첩하는 기판 컷팅 라인을 따라 상기 제2 마더 글래스를 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 레이저 빔을 이용하여 보호부를 가공할 수 있다. 복수의 표시부들이 배치되는 영역과 중첩하는 마더 글래스 및 보호부 각각의 영역에는 물리적인 접촉이 없을 수 있다. 물리적인 접촉 없이 레이저 빔에 의해 보호부가 가공되기 때문에 마더 글래스에 물리적인 접촉에 의한 크랙 및 손상이 발생하지 않을 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치, 이를 이용한 보호 필름 박리 방법, 및 표시 모듈 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 방법을 도시한 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마더 글래스 및 보호부의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 I-I'를 따라 절단한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마더 글래스의 식각 공정을 도시한 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 예비 표시 모듈을 도시한 단면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 예비 표시 모듈을 도시한 단면도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈을 도시한 평면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 마더 글래스 및 보호부의 평면도이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의될 수 있다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치를 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 보호 필름 박리 장치(FPA)는 스테이지(ST), 광원부(LZ), 스캔부(SC), 제어부(CT), 및 박리부(PR)를 포함할 수 있다.
스테이지(ST)는 보호부(PP)에 의해 커버된 마더 글래스(WS)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 스테이지(ST)는 마더 글래스(WS)를 진공흡착하여 지지할 수 있다. 도 1에서는 보호부(PP)의 면적이 마더 글래스(WS)의 면적보다 더 작은 것으로 도시되었으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 보호부(PP)의 면적은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 보호부(PP)의 면적 및 마더 글래스(WS)의 면적은 동일할 수 있다.
마더 글래스(WS)는 제1 방향(DR1) 및 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)이 정의하는 면과 평행할 수 있다. 마더 글래스(WS)의 법선 방향은 제3 방향(DR3)이 지시할 수 있다. 제3 방향(DR3)은 마더 글래스(WS)의 두께 방향을 지시할 수 있다. 제3 방향(DR3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 교차하는 방향일 수 있다. 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2), 및 제3 방향(DR3)은 서로 직교할 수 있다.
한편, 제1 방향 내지 제3 방향들(DR1, DR2, DR3)이 지시하는 방향은 상대적인 개념으로서 다른 방향으로 전환될 수 있다. 또한 본 명세서에서 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 정의하는 면을 평면이라 정의하고, "평면 상에서 보았다"는 것은 제3 방향(DR3)에서 바라본 것으로 정의될 수 있다.
마더 글래스(WS)는 유리 기판을 포함할 수 있다.
마더 글래스(WS)에는 복수의 표시부들(DA)이 배치될 수 있다. 도 1에서는 3x3 행렬로 배치된 표시부들(DA)을 도시하였으나, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 표시부들(DA)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 복수의 표시부들(DA)은 마더 글래스(WS)의 크기 및 복수의 표시부들(DA) 각각의 크기에 따라 다양한 개수로 배치될 수 있다.
복수의 표시부들(DA) 각각은 분리되어 표시 모듈을 형성할 수 있다. 복수의 표시부들(DA) 각각은 표시 패널을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 표시 패널은 발광형 표시 패널일 수 있고, 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어, 상기 표시 패널은 유기 발광 표시 패널 또는 퀀텀닷 발광 표시 패널을 포함할 수 있다. 상기 유기 발광 표시 패널의 발광층은 유기 발광 물질을 포함할 수 있다. 상기 퀀텀닷 발광 표시 패널의 발광층은 퀀텀닷 또는 퀀텀 로드 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 표시 패널은 상기 유기 발광 표시 패널일 수 있다.
보호부(PP)는 복수의 표시부들(DA) 위에 배치되어, 복수의 표시부들(DA)을 커버할 수 있다.
광원부(LZ)는 스테이지(ST) 위에 배치될 수 있다. 광원부(LZ)는 레이저 빔(LS)을 발진시키는 장치일 수 있다. 예를 들어, 광원부(LZ)은 오실레이터(oscillator)를 포함할 수 있다. 광원부(LZ)는 레이저 빔(LS)을 보호부(PP)에 조사할 수 있다. 레이저 빔(LS)은 CO2 레이저를 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔(LS)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 레이저 빔(LS)은 엑시머(excimer) 레이저, YAG(Yttrium Aluminum Garnet) 레이저, 유리 레이저, YVO4(Yttrium Orthovanadate) 레이저, 또는 Ar 레이저를 포함할 수 있다.
스캔부(SC)는 광원부(LZ)와 결합될 수 있다. 스캔부(SC)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다. 레이저 빔(LS)은 스캔부(SC)의 이동에 의해 보호부(PP)의 상면에 조사될 수 있다.
스캔부(SC)는 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 반복하여 이동할 수 있다. 광원부(LZ)는 보호부(PP)에 레이저 빔(LS)을 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 반복하여 조사할 수 있다. 스테이지(ST)는 스캔부(SC)의 이동에 따라 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다. 본 발명에 따르면, 레이저 빔(LS)은 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 반복하여 조사될 수 있다. 보호부(PP)에 가해지는 순간적인 피크 강도는 감소될 수 있다. 감소된 상기 순간적인 피크 강도에 의해 마더 글래스(WS)에 열변형 및 손상이 발생되는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치(FPA)를 제공할 수 있다.
제어부(CT)는 광원부(LZ)를 제어할 수 있다. 제어부(CT)는 광원부(LZ)로부터 조사되는 레이저 빔(LS)의 종류를 선택할 수 있다. 제어부(CT)는 스캔부(SC)와 연결될 수 있다. 제어부(CT)는 스캔부(SC)의 이동을 제어할 수 있다.
박리부(PR)는 스테이지(ST) 위에 배치될 수 있다. 박리부(PR)는 보호부(PP)의 일 단부에 인접하여 배치될 수 있다.
보호 필름 박리 장치(FPA)는 광학부(OP)를 더 포함할 수 있다. 광학부(OP)는 광원부(LZ)에 결합되어 레이저 빔(LS)의 형상을 변환할 수 있다. 광학부(OP)는 제1 광학부 또는 제2 광학부를 포함할 수 있다.
상기 제1 광학부는 레이저 빔(LS)의 가우시안 빔(Gaussian Beam) 프로파일을 플렛 탑 빔(Flat Top Beam) 프로파일로 변환할 수 있다. 상기 가우시안 빔 프로파일은 빔의 단면상 중심부와 주변부 사이에 에너지 강도의 차이가 있으나, 상기 플렛 탑 빔 프로파일은 빔의 단면상 전반적으로 에너지 강도가 균일할 수 있다. 상기 제1 광학부는 레이저 빔(LS)의 피크 강도를 최소 가공 강도 값 이상 변형 강도 값 이하로 변환할 수 있다. 상기 최소 가공 강도 값은 레이저 빔(LS)이 보호부(PP)에 홈을 형성할 수 있는 에너지를 가지는 레이저 빔(LS)의 강도일 수 있다. 상기 변형 강도 값은 레이저 빔(LS)으로부터 가해지는 열 에너지에 의해 마더 글래스(WS)에 변형이 발생하는 레이저 빔(LS)의 강도일 수 있다. 본 발명에 따르면, 상기 제1 광학부는 레이저 빔(LS)의 피크 강도를 조절할 수 있다. 마더 글래스(WS)에 열변형 및 손상이 발생하는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치(FPA)를 제공할 수 있다.
상기 제2 광학부는 레이저 빔(LS)을 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 연장된 빔 형상으로 변환할 수 있다. 상기 제2 광학부는 적어도 하나의 실린더리컬 렌즈(Cylindrical lens)를 포함할 수 있다. 평면 상에서 보았을 때 상기 제2 광학부에 의해 변환되지 않은 레이저 빔(LS)의 강도는 중심에서 피크 강도를 가지고 상기 중심에서 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 멀어질수록 상기 피크 강도보다 낮아지는 강도를 가질 수 있다. 평면 상에서 보았을 때 상기 제2 광학부에 의해 변환된 레이저 빔(LS)의 강도는 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 연장된 피크 강도를 가질 수 있다. 본 발명에 따르면, 상기 제2 광학부는 평면 상에서 보았을 때 점에 집중되는 레이저 빔(LS)의 에너지 강도를 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 연장되는 선으로 분산시킬 수 있다. 마더 글래스(WS)에 열변형 및 손상이 발생하는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치(FPA)를 제공할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 방법을 도시한 흐름도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마더 글래스 및 보호부의 평면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 I-I'를 따라 절단한 단면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 마더 글래스(WS), 복수의 표시부들(DA), 및 보호부(PP)는 스테이지(ST) 위에 제공될 수 있다(S100). 스테이지(ST) 위에 배치된 마더 글래스(WS)는 제1 두께(WS-H1)를 가질 수 있다. 제1 두께(WS-H1)는 400μm(micrometer)이상 600μm 이하의 값을 가질 수 있다.
복수의 표시부들(DA) 각각은 표시 패널(DP)을 포함할 수 있다. 도 3에서는 복수의 표시부들 중 하나의 표시부(DA)를 도시하였다.
표시 패널(DP)은 마더 글래스(WS) 위에 배치될 수 있다. 표시 패널(DP)은 구동 회로(GDC), 복수의 신호 라인들(SGL, 이하 신호라인들), 복수의 신호 패드들(DP-PD, 이하 신호 패드들), 및 복수의 화소들(PX, 이하 화소들)을 포함할 수 있다.
표시 영역(DP-DA)은 화소들(PX)이 배치된 영역으로 정의될 수 있다. 비표시 영역(DP-NDA)은 표시 영역(DP-DA)에 인접한 영역일 수 있다. 비표시 영역(DP-NDA)은 표시 영역(DP-DA)을 에워쌀 수 있다. 다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 비표시 영역(DP-NDA)의 형상은 이에 제한되지 않는다. 표시 영역(DP-DA)의 형상 및 비표시 영역(DP-NDA)의 형상은 상대적으로 디자인될 수 있다.
구동 회로(GDC)는 주사 구동 회로를 포함할 수 있다. 상기 주사 구동 회로는 복수의 주사 신호들(이하, 주사 신호들)을 생성하고, 상기 주사 신호들을 후술하는 복수의 주사 라인들(SL, 이하 주사 라인들)에 순차적으로 출력할 수 있다.
상기 주사 구동 회로는 화소들(PX)의 구동 회로와 동일한 공정, 예를 들어, 저온 폴리실리콘(Low Temperature Polycrystalline Silicon, LTPS) 공정 또는 저온 폴리옥사이드(Low Temperature Polycrystalline Oxide, LTPO) 공정을 통해 형성된 복수의 박막 트랜지스터들을 포함할 수 있다.
신호 라인들(SGL)은 주사 라인들(SL), 데이터 라인들(DL), 전원 라인(PL), 발광 제어 라인들(ECL), 및 제어 신호 라인(CSL)을 포함할 수 있다.
주사 라인들(SL) 각각은 화소들(PX) 중 대응하는 화소(PX)에 연결될 수 있다. 데이터 라인들(DL) 각각은 화소들(PX) 중 대응하는 화소(PX)에 연결될 수 있다. 전원 라인(PL)은 화소들(PX)에 연결될 수 있다. 발광 제어 라인들(ECL) 각각은 화소들(PX) 중 대응하는 화소(PX)에 연결될 수 있다. 제어 신호 라인(CSL)은 상기 주사 구동 회로에 제어 신호들을 제공할 수 있다.
신호 라인들(SGL)은 표시 영역(DP-DA) 및 비표시 영역(DP-NDA)에 중첩할 수 있다. 신호 라인들(SGL)은 패드부 및 라인부를 포함할 수 있다. 상기 라인부는 표시 영역(DP-DA) 및 비표시 영역(DP-NDA)에 중첩할 수 있다. 상기 패드부는 상기 라인부의 말단에 배치될 수 있다. 상기 패드부는 비표시 영역(DP-NDA)에 배치되고, 신호 패드들(DP-PD) 중 대응하는 신호 패드에 중첩할 수 있다.
표시 패널(DP)은 회로 소자층(DP-CL), 표시 소자층(DP-OLED), 및 봉지층(TFE)을 포함할 수 있다.
회로 소자층(DP-CL)은 마더 글래스(WS) 위에 배치될 수 있다. 회로 소자층(DP-CL)은 적어도 하나의 절연층과 회로 소자를 포함할 수 있다. 상기 절연층은 적어도 하나의 무기층과 적어도 하나의 유기층을 포함할 수 있다. 상기 회로 소자는 신호 라인들(SGL) 및 구동 회로(GDC)를 포함할 수 있다.
표시 소자층(DP-OLED)은 유기 발광 다이오드들을 포함할 수 있다. 표시 소자층(DP-OLED)는 화소 정의막과 같은 유기층을 더 포함할 수 있다.
봉지층(TFE)은 표시 소자층(DP-OLED) 위에 배치되어 표시 소자층(DP-OLED)를 커버할 수 있다. 봉지층(TFE)는 제3 방향(DR3)을 따라 순차적으로 적층된 제1 무기층, 유기층, 및 제2 무기층을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 봉지층(TFE)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따른 봉지층(TFE)은 복수의 무기층들 및 복수의 유기층들을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 무기층은 외부 수분이나 산소가 표시 소자층(DP-OLED)에 침투하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 무기층은 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 또는 이들이 조합된 화합물을 포함할 수 있다.
상기 유기층은 상기 제1 무기층 상에 배치되어 평탄면을 제공할 수 있다. 상기 제1 무기층의 상면에 형성된 굴곡이나 상기 제1 무기층 상에 존재하는 파티클 등은 상기 유기층에 의해 커버될 수 있다. 예를 들어, 상기 유기층은 유기물을 포함할 수 있다.
상기 제2 무기층은 상기 유기층 상에 배치되어 상기 유기층을 커버할 수 있다. 상기 제2 무기층은 상기 유기층으로부터 방출되는 수분 등을 봉지하여 외부로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2 무기층은 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 또는 이들이 조합된 화합물을 포함할 수 있다.
표시부(DA)는 복수의 검사 패드들(DP-TP, 이하 검사 패드들)을 더 포함할 수 있다. 검사 패드들(DP-TP)은 신호 패드들(DP-PD)과 인접한 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 검사 패드들(DP-TP)은 신호 패드들(DP-PD)과 제2 방향(DR2)으로 이격되어 배치될 수 있다. 검사 패드들(DP-TP) 각각은 신호 패드들(DP-PD) 중 대응하는 신호 패드에 전기적으로 연결될 수 있다. 검사 패드들(DP-TP)은 외부로부터 표시 패널(DP)의 전기적 및 광학적 동작 상태를 검사하기 위한 검사 신호를 수신할 수 있다. 예를 들어, 상기 검사 신호는 표시 패널(DP)의 화질을 검사하기 위한 신호일 수 있다.
표시부(DA)에는 보호 영역(PTA) 및 패드 영역(PDA)이 정의될 수 있다. 보호 영역(PTA)은 회로 소자층(DP-CL)의 일부분 및 표시 소자층(DP-OLED)이 배치되는 영역일 수 있다. 패드 영역(PDA)은 회로 소자층(DP-CL)의 다른 일부분, 신호 패드들(DP-PD), 및 검사 패드들(DP-TP)이 배치되는 영역일 수 있다.
보호부(PP)는 표시부(DA) 위에 배치될 수 있다. 보호부(PP)는 표시부(DA) 를 커버할 수 있다. 보호부(PP)에는 비박리 영역(PA) 및 주변 영역(BA)이 정의될 수 있다. 평면 상에서 보았을 때 비박리 영역(PA)은 표시부(DA)와 중첩할 수 있다. 주변 영역(BA)은 비박리 영역(PA)과 인접한 영역일 수 있다. 비박리 영역(PA)은 복수로 제공될 수 있고, 복수의 비박리 영역들(PA)은 복수의 표시부들(DA) 위에 배치된 영역들일 수 있다. 주변 영역(BA)은 복수의 비박리 영역들(PA) 사이의 경계 영역일 수 있다.
보호부(PP)는 보호 필름(PF) 및 접착부(ADH)를 포함할 수 있다.
보호 필름(PF)은 플라스틱 필름을 포함할 수 있다. 예를 들어, 보호 필름(PF)은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET)를 포함할 수 있다.
접착부(ADH)는 보호 필름(PF) 아래에 배치될 수 있다. 접착부(ADH)는 접착 물질을 포함할 수 있다. 접착부(ADH)는 접착력이 낮고 점탄성이 높은 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 표시부(DA)로부터 보호부(PP)가 제거될 때 표시부(DA)에 남는 잔여 접착 물질의 양이 최소화될 수 있다. 예를 들어, 접착부(ADH)는 실리콘 계열 접착 물질을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 접착부(ADH)의 접착 물질은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 접착부(ADH)는 우레탄 계열 접착 물질을 포함할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치의 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치의 평면도이다. 도 5를 설명함에 있어서, 도 4을 통해 설명된 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하고 이에 대한 설명은 생략된다.
도 1, 도 2, 도 5, 및 도 6을 참조하면, 광원부(LZ)는 레이저 빔(LS)을 제공할 수 있다. 레이저 빔(LS)은 제1 레이저 빔(LS-1) 및 제2 레이저 빔(LS-2)을 포함할 수 있다. 제2 레이저 빔(LS-2)은 제1 레이저 빔(LS-1)보다 높은 에너지를 가질 수 있다. 제어부(CT)는 제1 레이저 빔(LS-1) 또는 제2 레이저 빔(LS-2)을 선택하여 광원부(LZ)로부터 조사되는 레이저 빔(LS)을 제어할 수 있다.
광원부(LZ)는 보호부(PP)를 제1 컷팅 라인(HCL1, HCL2, HCL3, HCL4)을 따라 하프 컷팅할 수 있다(S200). 광원부(LZ)는 제1 컷팅 라인(HCL1, HCL2, HCL3, HCL4)을 따라 제1 레이저 빔(LS-1)을 조사할 수 있다.
제1 레이저 빔(LS-1)은 24W(watt) 이상 33W 이하의 에너지를 가질 수 있다. 제1 레이저 빔(LS-1)이 24W 미만의 에너지를 가질 경우, 접착부(ADH) 두께의 일부분이 컷팅되지 않아 보호부(PP)의 일부가 박리되지 않을 수 있다. 제1 레이저 빔(LS-1)이 33W 초과의 에너지를 가질 경우, 접착부(ADH) 두께의 전체가 컷팅되어 비박리 영역(PA)의 적어도 일부가 박리될 수 있다.
제1 레이저 빔(LS-1)은 보호부(PP)의 두께 방향 일부분을 컷팅할 수 있다. 예를 들어, 제1 레이저 빔(LS-1)은 제3 방향(DR3)으로 보호 필름(PF) 두께 전체 및 접착부(ADH) 두께의 일부분을 컷팅할 수 있다.
광원부(LZ)는 제1 컷팅 라인(HCL1, HCL2, HCL3, HCL4)에 대응되는 영역에 제1 홈(HM1)을 형성할 수 있다. 제1 홈(HM1)의 깊이(HM-H1)는 보호 필름(PF)의 두께 보다 크고, 보호부(PP)의 두께보다 작을 수 있다.
제1 컷팅 라인(HCL1, HCL2, HCL3, HCL4)은 복수의 표시부들(DA) 각각을 에워싸는 복수의 테두리들 중 일부인 제1 테두리들(HCL1, HCL2, HCL4) 및 보호 영역(PTA) 및 패드 영역(PDA) 사이의 영역(HCL3)에 대응할 수 있다.
광원부(LZ)는 보호부(PP)를 제1 컷팅 라인(HCL1, HCL2, HCL3, HCL4)과 상이한 제2 컷팅 라인(FCL)을 따라 풀 컷팅할 수 있다(S300). 광원부(LZ)는 제2 컷팅 라인(FCL)을 따라 제2 레이저 빔(LS-2)을 조사할 수 있다.
제2 레이저 빔(LS-2)은 제1 레이저 빔(LS-1)보다 높은 에너지를 가질 수 있다. 제2 레이저 빔(LS-2)은 34W 이상 51W 이하의 에너지를 가질 수 있다. 제2 레이저 빔(LS-2)이 34W 미만의 에너지를 가질 경우, 접착부(ADH) 두께의 일부분이 컷팅되지 않아 보호부(PP) 두께의 전체가 컷팅되지 않을 수 있다. 이 경우, 보호부(PP) 박리 시 제2 컷팅 라인(FCL)에 가해지는 힘에 의해 비박리 영역(PA)에 상기 힘이 전달되고 비박리 영역(PA)의 적어도 일부가 박리될 수 있다. 제2 레이저 빔(LS-2)이 51W 초과의 에너지를 가질 경우, 제2 레이저 빔(LS-2)의 에너지가 마더 글래스(WS)에 전달되어 마더 글래스(WS)에 크랙이 발생할 수 있다. 하지만, 본 발명에 따르면, 제2 레이저 빔(LS-2)은 마더 글래스(WS)에 열변형 및 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치(FPA, 도 1 참조)를 제공할 수 있다.
제2 레이저 빔(LS-2)은 보호부(PP)의 두께 방향 전체를 컷팅할 수 있다. 예를 들어, 제2 레이저 빔(LS-2)은 제3 방향(DR3)으로 보호 필름(PF) 두께 및 접착부(ADH) 두께의 전체를 컷팅할 수 있다.
광원부(LZ)는 제2 컷팅 라인(FCL)에 대응되는 영역에 제2 홈(HM2)을 형성할 수 있다. 제2 홈(HM2)의 깊이(HM-H2)는 보호부(PP)의 두께와 동일할 수 있다.
제2 컷팅 라인(FCL)은 복수의 표시부들(DA) 각각을 에워싸는 복수의 테두리를 중 제1 테두리들(HCL1, HCL2, HCL4)을 제외한 나머지 일부인 제2 테두리(FCL)와 대응할 수 있다. 제2 테두리(FCL)는 패드 영역(PDA)의 테두리들 중 하나일 수 있다. 제2 테두리(FCL)는 패드 영역(PDA)을 사이에 두고 보호 영역(PTA)과 이격될 수 있다. 평면 상에서 보았을 때 제1 테두리들(HCL1, HCL2, HCL4) 및 제2 테두리(FCL)는 폐루프를 형성할 수 있다.
평면 상에서 보았을 때, 제2 컷팅 라인(FCL)은 회로 소자층(DP-CL)과 비중첩할 수 있다. 제2 레이저 빔(LS-2)의 에너지가 신호 패드들(DP-PD)에 전달되는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 표시 패널(DP, 도 2 참조)의 신호 패드들(DP-PD)에 손상이 발생하는 것이 방지될 수 있다.
제1 컷팅 라인(HCL1, HCL2, HCL3, HCL4)을 따라 보호부(PP)를 하프 컷팅하는 단계(S200) 및 제2 컷팅 라인(FCL)을 따라 보호부(PP)를 풀 컷팅하는 단계(S300)는 동시에 진행될 수 있다.
본 발명에 따르면, 광원부(LZ)는 레이저 빔(LS)을 이용하여 보호부(PP)를 가공할 수 있다. 복수의 표시부들(DA)이 배치되는 영역과 중첩하는 마더 글래스(WS) 및 보호부(PP) 각각의 영역에는 물리적인 접촉이 없을 수 있다. 물리적인 접촉 없이 레이저 빔(LS)에 의해 보호부(PP)가 가공되기 때문에 마더 글래스(WS)에 물리적인 접촉에 의한 크랙 및 손상이 발생하지 않을 수 있다. 또한, 물리적인 접촉을 위한 영역 확보가 불필요하여 보호 필름 박리 장치(FPA)를 구성하는 데 있어 공간적인 제약이 없을 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치(FPA)를 제공할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치의 평면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호 필름 박리 장치의 단면도이다. 도 7을 설명함에 있어서, 도 6을 통해 설명된 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하고 이에 대한 설명은 생략된다.
도 2, 도 7, 및 도 8을 참조하면, 박리부(PR)는 보호부(PP)의 일부분을 박리할 수 있다(S400). 예를 들어, 박리부(PR)는 보호부(PP)의 주변 영역(BA)을 박리할 수 있다. 보호부(PP)의 상기 일 단부는 제2 컷팅 라인(FCL)과 인접할 수 있다. 박리부(PR)는 복수의 박리 테이프들(PTP, 이하 박리 테이프들), 복수의 박리 접착제들(PAD, 이하 박리 접착제들), 이동부(MV), 상승부(UP), 및 헤드부(HD)를 포함할 수 있다.
박리 테이프들(PTP) 각각은 헤드부(HD)에 고정될 수 있다. 박리 테이프들(PTP) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 박리 테이프들(PTP)은 제2 방향(DR2)으로 이격되어 배치될 수 있다. 도 7에서는 예시적으로 4 개의 박리 테이프들(PTP)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 박리 테이프들(PTP)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 박리 테이프들(PTP) 각각의 일 측은 헤드부(HD)에 제공되고, 박리 테이프들(PTP) 각각의 타 측은 보호부(PP)에 부착될 수 있다.
박리 접착제들(PAD) 각각은 박리 테이프들(PTP) 각각의 상기 타 측에 배치된다. 예를 들어, 박리 접착제들(PAD) 각각은 박리 테이프들(PTP) 각각의 상기 타 측의 하부에 부착될 수 있다. 박리 접착제들(PAD) 및 보호부(PP)는 중첩할 수 있다. 박리 접착제들(PAD)은 접착부(ADH, 도 5 참조)보다 강한 접착력을 가질 수 있다. 따라서, 보호부(PP)는 박리 접착제들(PAD)에 의해 용이하게 박리될 수 있다.
이동부(MV)는 상승부(UP), 헤드부(HD), 박리 테이프(PTP) 및 박리 접착제(PAD)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 이동부(MV)는 보호부(PP)의 상기 일 단부에서 제2 컷팅 라인(FCL)을 향하는 제1 방향(DR1)으로 보호부(PP)를 박리할 수 있다.
상승부(UP)는 헤드부(HD), 박리 테이프(PTP) 및 박리 접착제(PAD)를 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있다.
헤드부(HD)는 박리 테이프(PTP) 및 박리 접착제(PAD)를 고정할 수 있다. 예를 들어, 헤드부(HD)는 보호부(PP)의 일부분을 박리하는 단계(S400)동안 박리 테이프(PTP) 및 박리 접착제(PAD)를 고정할 수 있다. 보호부(PP)의 상기 일부분을 박리한 후, 헤드부(HD)는 박리 테이프(PTP), 박리 접착제(PAD), 및 보호부(PP)의 상기 일부분을 분리시킬 수 있다. 보호 필름 박리 장치(FPA, 도 1 참조)는 더미 박스를 더 포함할 수 있다. 상기 분리된 박리 테이프(PTP), 박리 접착제(PAD), 및 보호부(PP)의 상기 일부분은 상기 더미 박스에 폐기될 수 있다.
이동부(MV)가 제1 방향(DR1)으로 이동하고 상승부(UP)가 제3 방향(DR3)으로 이동하면서, 보호부(PP)는 제1 방향(DR1) 및 제3 방향(DR3)으로 힘을 받을 수 있다. 제2 컷팅 라인(FCL)에는 제2 방향(DR2)으로 연장되고, 제2 방향(DR2)으로 연장된 각 단부에서 제2 방향(DR2)과 교차하는 방향으로 추가로 연장된 제2 홈(HM2, 도 5 참조)이 제공될 수 있다. 예를 들어, 상기 교차하는 방향은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)의 사이에 정의되는 방향일 수 있다.
상기 힘은 제2 컷팅 라인(FCL)을 따라 제1 방향(DR1) 및 제3 방향(DR3)으로 가해질 수 있다. 제2 컷팅 라인(FCL)은 제3 방향(DR3)으로 가해지는 상기 힘에 의해 제2 방향(DR2)으로 연장된 부분이 박리될 수 있다. 제2 컷팅 라인(FCL)은 제1 방향(DR1) 및 제3 방향(DR3)으로 가해지는 상기 힘에 의해 제2 방향(DR2)과 교차하는 방향으로 추가로 연장된 부분이 박리될 수 있다. 상기 추가로 연장된 부분에 의해 상기 힘은 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 컷팅 라인(HCL1, HCL2)에 용이하게 전달될 수 있다.
보호부(PP)는 제2 컷팅 라인(FCL)에 풀 컷팅되어 있으므로 제2 컷팅 라인(FCL)을 사이에 두고 주변 영역(BA)과 비박리 영역(PA)이 분리될 수 있다. 상기 힘에 의해 보호부(PP)의 주변 영역(BA)이 박리될 수 있다.
제1 컷팅 라인들(HCL1, HCL2)에는 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 홈(HM1, 도 5 참조)이 제공될 수 있다. 상기 힘은 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 홈(HM1, 도 5 참조)을 따라 제1 방향(DR1)으로 가해질 수 있다. 보호부(PP)는 제1 컷팅 라인들(HCL1, HCL2)에 하프 컷팅되어 있으므로 접착부(ADH, 도 5 참조)는 상기 힘에 의해 용이하게 박리될 수 있다.
제1 컷팅 라인(HCL3)에는 제2 방향(DR2)으로 연장된 제1 홈(HM1, 도 5 참조)이 제공될 수 있다. 상기 힘은 제1 컷팅 라인들(HCL1, HCL2)을 따라 제1 방향(DR1)으로 가해지므로 제2 방향(DR2)으로 연장된 제1 컷팅 라인(HCL3)에는 상기 힘이 작용하지 않을 수 있다. 따라서, 패드 영역(PDA)에 중첩하는 비박리 영역(PA)은 박리되지 않을 수 있다.
제1 컷팅 라인(HCL4)에는 제2 방향(DR2)으로 연장된 제1 홈(HM1, 도 5 참조)이 제공될 수 있다. 상기 힘은 제1 컷팅 라인들(HCL1, HCL2) 각각의 단부에서 제1 컷팅 라인(HCL4)으로 전달될 수 있다. 보호부(PP)는 제1 컷팅 라인(HCL4)에 하프 컷팅되어 있으므로 접착부(ADH, 도 5 참조)는 상기 힘에 의해 용이하게 분리될 수 있다. 따라서, 보호부(PP)의 비박리 영역(PA)은 박리되지 않을 수 있고, 보호부(PP)의 주변 영역(BA)은 박리될 수 있다.
본 발명에 따르면, 보호 필름 박리 방법은 복수의 표시부들(DA)이 배치되는 영역과 중첩한는 마더 글래스(WS) 및 보호부(PP) 각각의 영역에는 물리적인 접촉이 없을 수 있다. 마더 글래스(WS)에 물리적인 접촉에 의한 크랙 및 손상이 발생하지 않을 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 장치(FPA, 도 1 참조)를 제공할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마더 글래스의 식각 공정을 도시한 단면도이다.
도 9를 참조하면, 분사부(EJ)는 마더 글래스(WS, 도 8 참조)의 하면에 식각 용액(CM)을 분사할 수 있다. 식각 용액(CM)에 의해 마더 글래스(WS, 도 8 참조)는 식각되어 제1 마더 글래스(WS-1)가 형성될 수 있다. 식각 용액(CM)은 마더 글래스(WS, 도 8 참조)의 두께를 감소시킬 수 있다. 식각 용액(CM)은 불산(Hydrofluoric acid)을 포함할 수 있다.
제1 마더 글래스(WS-1)는 제2 두께(WS-H2)를 가질 수 있다. 제2 두께(WS-H2)는 제1 두께(WS-H1, 도 4 참조)보다 얇을 수 있다. 제2 두께(WS-H2)는 100μm 이상 300μm 이하의 값을 가질 수 있다. 제1 마더 글래스(WS-1)는 박형화 기판(thin glass)으로 구성될 수 있다.
제1 마더 글래스(WS-1)는 마더 글래스(WS)보다 가벼울 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 마더 글래스(WS-1)는 필름으로 구성된 베이스 층에 비해 강도 및 평탄도가 높을 수 있다.
본 발명에 따르면, 보호 필름 박리 방법은 비박리 영역(PA)에 물리적 접촉이 없을 수 있다. 마더 글래스(WS, 도 8 참조)에 물리적인 접촉에 의한 크랙 및 손상이 발생하지 않을 수 있다. 제1 마더 글래스(WS-1)는 상기 크랙 및 상기 손상이 없는 마더 글래스(WS, 도 8 참조)로부터 용이하게 형성될 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 표시 모듈 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 예비 표시 모듈을 도시한 단면도이다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 제1 마더 글래스(WS-1)에는 기판 컷팅 라인(CL)이 정의될 수 있다. 기판 컷팅 라인(CL)은 복수의 표시부들(DA)과 비중첩할 수 있다. 컷팅 휠(CHE)은 기판 컷팅 라인(CL)을 따라 제1 마더 글래스(WS-1)를 절단할 수 있다. 그에 따라 보호부(PP-1)가 접착된 복수의 제1 예비 표시 모듈들(DM-1)이 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 마더 글래스(WS-1)를 절단하는 구성은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제1 마더 글래스(WS-1)는 레이저에 의해 기판 컷팅 라인(CL)을 따라 절단될 수 있다. 보호부(PP-1)는 표시 모듈 제조 공정에서 표시 패널(DP, 도 3 참조)을 보호할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈 제조 방법은 보호부(PP, 도 6 참조)의 주변 영역(BA, 도 6 참조)이 박리되어 컷팅 휠(CHE)이 제1 마더 글래스(WS-1)를 용이하게 절단할 수 있다.
본 발명에 따르면, 보호 필름 박리 방법은 비박리 영역(PA)에 물리적인 접촉이 없을 수 있다. 마더 글래스(WS, 도 8 참조)에 물리적인 접촉에 의한 크랙 및 손상이 발생하지 않을 수 있다. 컷팅 휠(CHE)을 통해 제1 마더 글래스(WS-1)를 절단할 때 상기 크랙 및 상기 손상에 의해 제1 마더 글래스(WS-1)가 깨지는 현상을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 표시 모듈 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 예비 표시 모듈을 도시한 단면도이고, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈을 도시한 평면도이다.
도 10 내지 도 13을 참조하면, 보호부(PP-1)에서 패드 영역(PDA, 도 10 참조)과 중첩하는 보호부(PP-1)의 일부분이 박리될 수 있다. 제1 홈(HM1)에 의해 보호부(PP-1)의 상기 일부분은 용이하게 박리될 수 있다. 검사 패드들(DP-TP)는 외부로 노출될 수 있다. 제2 예비 표시 모듈(DM-2)은 스크라이빙 공정 진행 이전에 화질 검사를 진행할 수 있다.
제2 예비 표시 모듈(DM-2)의 스크라이빙 라인(SCL) 외부에 검사 패드들(DP-TP)이 배치될 수 있다. 상기 스크라이빙 공정을 진행하기 이전에 검사 패드들(DP-TP)을 통해 검사 신호를 공급하여 제2 예비 표시 모듈(DM-2)에 대한 상기 화질 검사를 진행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 보호부(PP-1)는 마더 글래스(WS, 도 8 참조)의 식각 공정 및 컷팅 휠(CHE)을 이용한 기판 컷팅 공정이 진행되는 동안 검사 패드들(DP-TP)을 보호할 수 있다. 따라서, 패드 영역(PDA, 도 10 참조)과 중첩하는 보호부(PP-1)의 일부분을 박리한 후, 검사 패드(DP-TP)를 이용하여 화질 검사를 진행할 때 신뢰성을 확보할 수 있다.
상기 스크라이빙 공정은 제2 예비 표시 모듈(DM-2)로부터 표시 모듈(DM)을 분리하는 공정을 포함할 수 있다. 스크라이빙 라인(SCL)을 따라 제2 예비 표시 모듈(DM-2)로부터 표시 모듈(DM)이 분리될 수 있다. 검사 패드들(DP-TP)은 상기 스크라이빙 공정에 의해 표시 모듈(DM)로부터 분리될 수 있다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 마더 글래스 및 보호부의 평면도이다. 도 14를 설명함에 있어서, 도 1 내지 도 8에 의해 설명된 구성 요소에 대해서는 유사한 도면 부호를 병기하고 이에 대한 설명은 생략된다.
도 1 및 도 14를 참조하면, 광원부(LZ)는 보호부(PP1)를 제1 컷팅 라인(HCL1-1, HCL2-1, HCL3-1, HCL4-1)을 따라 하프 컷팅할 수 있다. 광원부(LZ)는 제2 컷팅 라인(FCL-1)을 따라 풀 컷팅할 수 있다. 제2 컷팅 라인(FCL-1)은 신호 패드들(DP-PD1) 및 검사 패드들(DP-TP1) 사이에 대응할 수 있다. 박리부(PR)는 보호부(PP1)의 주변 영역(BA-1)을 박리할 수 있다. 박리부(PR)는 검사 패드들(DP-TP1)을 용이하게 노출시킬 수 있다. 노출된 검사 패드들(DP-TP1)을 이용하여 화질 검사를 진행할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제2 컷팅 라인(FCL-1)은 신호 패드들(DP-PD1)과 비중첩할 수 있다. 따라서, 레이저 빔(LS)의 에너지가 신호 패드들(DP-PD1)에 전달되는 것을 방지할 수 있다. 신호 패드들(DP-PD1)에 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 보호 필름 박리 방법을 제공할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
FPA: 보호 필름 박리 장치 ST: 스테이지
LZ: 광원부 SC: 스캔부
PR: 박리부 WS: 마더 글래스
PP: 보호부

Claims (20)

  1. 스테이지 위에 마더 글래스, 상기 마더 글래스 위에 배치되며 각각이 검사 패드를 포함하는 복수의 표시부들, 및 상기 복수의 표시부들을 커버하는 보호부를 제공하는 단계;
    제1 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 하프 컷팅하는 단계;
    상기 제1 컷팅 라인과 상이한 제2 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 풀 컷팅하는 단계; 및
    상기 보호부의 일부분을 박리하는 단계를 포함하는 보호 필름 박리 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 하프 컷팅하는 단계는 상기 보호부의 두께 방향 일부분을 컷팅하는 단계를 포함하는 보호 필름 박리 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 풀 컷팅하는 단계는 상기 보호부의 두께 방향 전체를 컷팅하는 단계를 포함하는 보호 필름 박리 방법.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 표시부들 각각에는 상기 검사 패드가 배치된 패드 영역 및 상기 패드 영역과 인접한 보호 영역이 정의되고,
    상기 제1 컷팅 라인은 상기 복수의 표시부들 각각을 에워싸는 복수의 테두리들 중 일부인 제1 테두리들 및 상기 보호 영역 및 상기 패드 영역 사이의 영역에 대응하는 보호 필름 박리 방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제2 컷팅 라인은 상기 복수의 테두리들 중 나머지 일부인 제2 테두리와 대응하는 보호 필름 박리 방법.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제2 테두리는 상기 패드 영역의 테두리들 중 하나인 보호 필름 박리 방법.
  7. 제4 항에 있어서,
    복수의 표시부들 각각은 상기 패드 영역에 배치되며 상기 검사 패드와 전기적으로 연결된 신호 패드를 더 포함하고,
    상기 제2 컷팅 라인은 상기 신호 패드 및 상기 검사 패드 사이에 대응하는 보호 필름 박리 방법.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 하프 컷팅하는 단계는 제1 레이저 빔을 조사하는 단계를 포함하는 보호 필름 박리 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 풀 컷팅하는 단계는 상기 제1 레이저 빔보다 높은 에너지를 가지는 제2 레이저 빔을 조사하는 단계를 포함하는 보호 필름 박리 방법.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 하프 컷팅하는 단계 및 상기 풀 컷팅하는 단계는 동시에 진행되는 보호 필름 박리 방법.
  11. 스테이지;
    상기 스테이지 위에 배치되고, 제1 컷팅 라인을 따라 제1 레이저 빔을 조사하고, 상기 제1 컷팅 라인과 상이한 제2 컷팅 라인을 따라 상기 제1 레이저 빔보다 높은 에너지를 갖는 제2 레이저 빔을 조사하는 광원부; 및
    상기 스테이지 위에 배치된 박리부를 포함하는 보호 필름 박리 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 빔 중 적어도 하나의 가우시안 빔 프로파일을 플렛 탑 빔 프로파일로 변환하는 제1 광학부를 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 빔 중 적어도 하나를 제1 방향으로 연장된 빔 형상으로 변환하는 제2 광학부를 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 광원부와 결합되고, 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하는 스캔부를 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 스캔부의 이동에 따라 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이동하는 보호 필름 박리 장치.
  16. 스테이지 위에 제1 마더 글래스, 상기 제1 마더 글래스 위에 배치되며 각각이 패드 영역 및 상기 패드 영역과 인접한 보호 영역이 정의된 복수의 표시부들, 및 상기 복수의 표시부들을 커버하는 보호부를 제공하는 단계;
    제1 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 하프 컷팅하는 단계;
    상기 제1 컷팅 라인과 상이한 제2 컷팅 라인을 따라 상기 보호부를 풀 컷팅하는 단계;
    상기 보호부의 일부분을 박리하는 단계;
    상기 제1 마더 글래스를 식각하여 제2 마더 글래스를 형성하는 단계;
    상기 제2 마더 글래스를 절단하여 복수의 예비 표시 모듈들을 형성하는 단계; 및
    상기 패드 영역과 중첩하는 상기 보호부의 다른 일부분을 박리하는 단계를 포함하는 표시 모듈 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 제1 컷팅 라인은 상기 복수의 표시부들 각각을 에워싸는 복수의 테두리들 중 일부인 제1 테두리들 및 상기 보호 영역 및 상기 패드 영역 사이의 영역에 대응하는 표시 모듈 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 제2 컷팅 라인은 상기 복수의 테두리들 중 나머지 일부인 제2 테두리와 대응하는 표시 모듈 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 제2 마더 글래스를 형성하는 단계는 상기 제1 마더 글래스의 두께를 감소시키는 단계를 포함하는 표시 모듈 제조 방법.
  20. 제18 항에 있어서,
    상기 복수의 예비 표시 모듈을 형성하는 단계는 상기 복수의 표시부들과 비중첩하는 기판 컷팅 라인을 따라 상기 제2 마더 글래스를 컷팅하는 단계를 포함하는 표시 모듈 제조 방법.
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