KR20240061846A - 필름 박리 장치 및 방법 - Google Patents

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장용만
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(주)미래컴퍼니
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치는, 소정의 크기를 갖는 셀 단위의 복수의 패널이 형성된 기판이 안착되는 지지테이블, 상기 기판에 부착된 필름을 상기 패널을 기준으로 커팅하는 커팅 유닛, 및 커팅된 상기 필름에서 상기 기판의 상기 패널을 제외한 부분에 부착된 더미영역의 일측을 파지하되, 상기 지지테이블과의 상대적인 이동에 따라 상기 더미영역의 모서리부와 중앙부를 순차적으로 파지하는 복수의 그립퍼를 포함할 수 있다.

Description

필름 박리 장치 및 방법{Apparatus And Method For Delaminating Film}
본 발명은 필름 박리 장치 및 방법에 관한 것이다.
핸드폰(Mobile Phone), PDA, 컴퓨터, 대형 TV와 같은 장치에는 인간의 시각이 인지할 수 있는 숫자, 문자, 도형, 화상과 같은 패턴화된 정보를 시각적으로 표시하는 출력장치인 디스플레이 장치가 제공될 수 있다. 디스플레이 장치에는 액정 디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display), 발광 다이오드 디스플레이(LED, Light Emitting Diodes), 유기 발광 다이오드 디스플레이(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이러한 디스플레이 장치의 패널은, 원장 유리 기판(이하, '기판') 위에 TFT 회로를 형성하거나 유기물 층을 증착하여 화소를 형성하고, 그 위에 컬러필터 유리 기판 또는 봉지 유리 기판으로 밀폐하여, 소정의 사이즈를 갖는 셀(Cell) 단위로 커팅 가공하게 된다. 커팅된 패널의 가장자리 부분은 물리적 충격에 취약한 부분으로서, 임계값을 초과하는 응력이 가해지면 패널 전체로 결함이 빠르게 퍼질 수 있으므로, 패널의 가장자리 부분을 연마하는 가공이 요구될 수 있다. 그리고, 셀 단위로 커팅 가공된 패널은 편광판, 구동칩, PCB, 탑 케이스 등의 부품을 조립하는 모듈 공정을 거치게 된다.
이와 같은 디스플레이 패널의 제조 공정에서, 패널에 충격 또는 스크래치가 발생할 수 있으므로, 패널의 보호를 위하여 기판에 필름을 부착할 수 있는다. 필름이 부착된 기판의 커팅 가공이나 연마 가공에서 필름에 의해 발생할 수 있는 문제의 예방을 위하여, 기판의 패널과 패널 사이에서 커팅이나 연마되어야 부분에 부착된 필름에 대한 박리가 필요하다.
기판에 부착된 필름을 박리하기 위하여, 필름의 접착력보다 큰 접착력을 갖는 별도의 테이프를 사용하는 방법이 있다. 하지만, 기판의 패널과 패널 사이에 부착된 필름의 영역이 패널에 부착된 필름의 영역에 비하여 면적이 작기 때문에, 테이프가 기판의 패널과 패널 사이에 부착된 필름의 영역에 제대로 접착하지 아니하고 필름의 박리가 제대로 이루어지지 않을 수 있다.
필름의 박리가 제대로 이루어지지 않게 되면, 기판의 커팅 가공이나 연마 가공에서 필름 들뜸 현상이 일어나 연마수가 필름과 패널 사이로 침투하게 되고, 필름에 의해 버닝 현상이 발생되며, 패널 깨짐, 크랙(crack) 발생 등의 다양한 문제점이 발생할 수 있다.
이에, 기판에 부착된 필름을 원하는 영역에 대하여 정확하게 박리할 수 있는 방안이 요구된다.
본 발명은 기판에 부착된 필름을 원하는 영역에 대하여 정확하게 박리할 수 있는 필름 박리 장치 및 방법을 제공하고자 한다. 다만, 전술한 과제는 본 발명의 실시예들에 따른 것으로, 본 발명의 목적 및 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되지 않는다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치는, 소정의 크기를 갖는 셀 단위의 복수의 패널이 형성된 기판이 안착되는 지지테이블 및 상기 기판에 부착되어 상기 패널을 기준으로 커팅된 필름에서 상기 기판의 상기 패널을 제외한 부분에 부착된 더미영역의 일측을 파지하되, 상기 지지테이블과의 상대적인 이동에 따라 상기 더미영역의 모서리부와 중앙부를 순차적으로 파지하는 복수의 그립퍼를 포함할 수 있다.
그리고, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 방법은, 소정의 크기를 갖는 셀 단위의 복수의 패널이 형성된 기판에 부착되어 상기 패널을 기준으로 커팅된 상기 필름에서 상기 기판의 패널을 제외한 부분에 부착된 더미영역의 일측의 양측 모서리부를 파지하는 단계, 파지된 상기 양측 모서리부를 상방으로 들어 올리는 단계, 상기 더미영역의 일측의 중앙부를 파지하는 단계 및 파지된 상기 중앙부를 상기 양측 모서리부와 함께 들어 올리는 단계를 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명에 의하면, 기판에 부착된 필름을 원하는 영역에 대하여 정확하게 박리할 수 있다. 특히, 디스플레이 패널에 사용되는 기판에 있어서, 소정의 사이즈를 갖는 복수의 셀 단위의 패널이 형성된 기판의 커팅 및 연마 가공에 앞서, 기판의 커팅 및 연마되는 부분에 부착된 필름을 정확하게 박리할 수 있다. 이에, 패널 제조 공정에서 필름이 들뜸으로 인하여 발생하는 문제를 해결할 수 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 장치를 이용하여 가공되는 워크피스를 도시하는 도면이다.
도 3은 도 2의 a 부분을 확대한 도면이다.
도 4는 도 1의 커팅 장치를 이용하여 필름이 커팅된 도 2의 워크피스를 도시하는 도면이다.
도 5는 도 1의 박리 장치를 도시하는 도면이다.
도 6은 도 5의 장치를 이용하여 필름을 박리하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 7은 도 6에서 기판 상의 필름이 박리되는 상태를 평면에서 도시하는 도면이다.
도 8은 도 7의 b 부분을 확대한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 방법에 대한 순서도이다.
도 10은 도 9에서 기판 상의 필름이 박리된 상태를 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 이하의 실시예는 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(1)를 도시하는 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(1)는 기판(110)에 부착된 필름(120)을 기판(110)으로부터 벗겨 내기 위한 장치일 수 있다. 예를 들어, 소정의 사이즈를 갖는 셀 단위의 복수의 패널(110a)이 형성된 기판(110)에 부착된 필름(120)을 패널(110a)을 기준으로 커팅한 후, 커팅된 필름(120)에서 기판(110)의 패널(110a)을 제외한 영역에 부착된 필름(120b)을 박리시키는 장치일 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(1)는 로딩 구역(A1), 커팅 구역(A2), 박리 구역(A3) 및 언로딩 구역(A4)을 포함하고, 각 구역에 배치되는 장치가 독립적으로 구동되어 기판(110)에 대한 연속적인 가공을 수행할 수 있다.
로딩 구역(A1)은 필름 박리 장치(1) 외부에서 필름(120)이 부착된 기판(110)이 필름 박리 장치(1) 내부로 투입되는 부분일 수 있다.
외부에서 로딩 구역(A1)으로 투입된 기판(110)은 커팅 구역(A2)으로 이동할 수 있다.
이때, 로딩 구역(A1)과 커팅 구역(A2)에 이르는 이동범위를 갖는 제1 이송라인(11)을 따라 이동할 수 있다. 일 실시예로, 제1 이송라인(11)은 로딩 구역(A1)과 커팅 가공 구역에 이르는 레일이나 스크루 및 모터, 그리고 모터의 구동에 의해 레일이나 스크루를 따라 이동가능한 가공테이블(12)을 포함할 수 있다.
또는, 기판(110)은 로딩 구역(A1)과 커팅 가공 구역 사이에 배치되는 이송픽커에 의해 로딩 구역(A1)에서 커팅 구역(A2)으로 이동할 수 있다. 일 실시예로, 이송픽커는 픽업부의 승하강 동작을 허용하는 갠트리 구조로 이루어져 기판(110)을 로딩 구역(A1)에서 커팅 구역(A2)으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 기판(110)이 로딩 구역(A1)에 배치되면, 픽업부가 하강하여 로딩 구역(A1)에 배치된 기판(110)을 흡착한 후 상승하고, 커팅 구역(A2)으로 진입하여 커팅 구역(A2)에 배치되는 가공테이블(12) 측으로 하강한 후 기판(110)의 흡착을 풀어줌으로써, 기판(110)을 로딩 구역(A1)에서 커팅 구역(A2)으로 이동시킬 수 있다. 이후, 픽업부는 다시 승강하고 후속 패널(110a)의 이동을 위하여 로딩 구역(A1)으로 진입할 수 있다.
커팅 구역(A2)에서 기판(110)에 부착된 필름(120)을 커팅하기 위하여, 제1 이송라인(11), 가공 테이블 및 커팅유닛(13)을 포함하는 커팅장치(10)가 마련될 수 있다. 커팅 구역(A2)으로 이동한 기판(110)은 커팅장치(10)에 의하여 커팅 가공이 수행될 수 있다.
제1 이송라인(11)은 적어도 커팅 구역(A2)을 커버하는 이동범위를 갖고, 가공테이블(12)은 제1 이송라인(11)을 따라 커팅 구역(A2)에서 이동할 수 있다. 예를 들어, 가공테이블(12)은 X축 방향으로 연장 설치된 제1 이송라인(11)을 따라 이동할 수 있다. 제1 이송라인(11)의 연장방향과 가공테이블(12)의 이동방향은 X축으로 한정되는 것은 아니고, 필름 박리 장치(1) 내에서 공간의 효율적 배치를 위하여 달라질 수 있다.
가공테이블(12)의 형상은 특별히 한정될 필요는 없으나, 가공테이블(12)의 상면은 기판(110)이 안착될 수 있도록 평평하게 이루어질 수 있다.
커팅유닛(13)은, 가공테이블(12) 상에서, 소정의 사이즈를 갖는 셀 단위의 복수의 패널(110a)이 형성된 기판(110)에 부착된 필름(120)을 패널(110a)을 기준으로 커팅할 수 있다.
일 실시예로, 커팅유닛(13)은 레이저 빔을 이용하여 비접촉식으로 기판(110)에 부착된 필름(120)을 커팅할 수 있다. 예를 들어, 커팅유닛(13)은 레이저 발생부에서 레이저 빔을 발생시키고 광변조부를 통과시킨 후, 프로젝션 렌즈를 통해 기판(110)에 부착된 필름(120)의 목표 위치에 레이저 빔이 조사되도록 하여 필름(120)의 커팅 가공을 수행할 수 있다.
커팅 가공은 기판(110)에 부착된 필름(120)에 절단선을 형성함으로써, 기판(110)으로부터 필름(120)을 용이하게 박리할 수 있다.
커팅 가공이 완료된 기판(110)은 커팅 구역(A2)에서 박리 구역(A3)으로 이동할 수 있다. 이때, 기판(110)은 제1 이송라인(11)과 연결되는 제2 이송라인(21)을 따라 이동하거나, 또는 커팅 구역(A2)과 박리 구역(A3) 사이에 배치되는 이송픽커에 의해 이동할 수 있다.
박리 구역(A3)으로 이동된 기판(110)은, 제2 이송장치, 지지테이블(22) 및 그립퍼(23)를 포함하는 박리장치(20)에 의해 기판(110) 상에 부착된 필름(120)이 박리될 수 있다. 예를 들어, 커팅 구역(A2)에서 커팅된 필름(120)에서 기판의 패널(110a)을 제외한 부분에 부착된 영역의 필름(120)이 박리될 수 있다.
제2 이송라인(21)은 제1 이송라인(11)과 연결되거나 제1 이송라인(11)과 별도로 마련될 수 있다. 제2 이송라인(21)은 적어도 박리 구역(A3)을 커버하는 이동범위를 갖고, 지지테이블(22)은 제2 이송라인(21)을 따라 박리 구역(A3)에서 이동할 수 있다. 예를 들어, 지지테이블(22)은 X축 방향으로 연장 설치된 제2 이송라인(21)을 따라 이동할 수 있다. 제2 이송라인(21)의 연장방향과 지지테이블(22)의 이동방향은 X축으로 한정되는 것은 아니고, 필름 박리 장치(1) 내에서 공간의 효율적 배치를 위하여 달라질 수 있다.
가공테이블(12)의 형상은 특별히 한정될 필요는 없으나, 가공테이블(12)의 상면은 기판(110)이 안착될 수 있도록 평평하게 이루어질 수 있다.
그립퍼(23)는 기판(110)에 부착된 필름(120)을 파지하고 필름 박리 장치(1) 내에서 이동하도록 마련될 수 있다.
박리장치(20)의 작동과 이를 통한 필름(120)의 박리 방법에 대한 구체적인 설명은 아래에서 다시 하기로 한다.
필름(120)이 박리된 기판(110)은 박리 구역(A3)에서 언로딩 구역(A4)으로 이동할 수 있다. 이때, 기판(110)은 언로딩 구역(A4)으로 연장되는 제2 이송라인(21)을 따라 이동하거나, 또는 박리 구역(A3)과 언로딩 구역(A4) 사이에 배치되는 이송픽커에 의해 이동할 수 있다.
그리고, 언로딩 구역(A4)으로 이동한 기판(110)은, 언로딩 구역(A4)에 배치되는 이송픽커를 통하여 언로딩 구역(A4)으로부터 외부로 배출될 수 있다.
도 2는 도 1의 장치를 이용하여 가공되는 워크피스(100)를 도시하는 도면이고, 도 3은 도2의 a 부분을 확대한 도면이며, 도 4는 도 1의 커팅장치(10)를 이용하여 커팅 가공된 도 2의 워크피스(100)를 도시하는 도면이다.
도 1의 장치를 이용하여 가공될 수 있는 워크피스(100)는 필름(120)이 부착된 기판(110)으로서, 일 실시예로 기판(110)은 도 2에 도시된 바와 같이 평평한 사각형의 취성물체일 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 액정 디스플레이 액정 디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display), 발광 다이오드 디스플레이(LED, Light Emitting Diodes), 유기 발광 다이오드 디스플레이(OLED, Organic Light Emitting Diodes)에 사용되는 기판(110)일 수 있다.
도 3을 참조하면, 워크피스(100)는 평판형의 기판(110)과 기판(110)의 상측면에 부착되는 필름(120)을 포함할 수 있다. 필요에 따라, 필름(120)은 기판(110)의 상측면 및 하측면 중에서 적어도 일측면에 부착될 수 있다.
필름(120)은 디스플레이 패널(110a)을 제조하는 과정에서 패널(110a)에 가해질 수 있는 외부 충격으로부터 패널(110a)을 보호할 수 있는 보호용 필름(120)일 수 있다.
일 실시예로, 필름(120)은 폴레에틸렌 테레프탈레이트(PET; polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN; polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 설파이드(PES; polyethylene sulfide), 폴리에틸렌(PE; polyethylene) 중 어느 하나의 물질로 형성될 수 있다.
그리고, 필름(120)은 실리콘(Silicone), 우레탄(Urethane) 또는 아크릴(Acryl) 계열의 점착 물질을 이용하여 기판(110) 상에 부착될 수 있다.
도 4를 참조하면, 기판(110)에는 소정의 사이즈를 갖는 셀 단위의 복수의 패널(110a)이 형성될 수 있다. 그리고, 기판(110)에는 필름(120)이 부착될 수 있다.
기판(110)에 부착된 필름(120)은 커팅장치(10)에 의해 커팅될 수 있다. 일 실시예로, 기판(110)에 부착된 필름(120)은 패널(110a)을 기준으로 커팅될 수 있다. 이렇게 커팅된 필름(120)은, 기판(110)의 패널(110a) 부분에 부착된 보호영역(120a)과 기판(110)의 패널(110a)을 제외한 부분에 부착된 더미영역(120b)으로 구분될 수 있다.
보호영역(120a)의 필름(120)은 패널(110a)의 제조 공정이 진행되는 동안 패널(110a) 부분에 부착된 상태를 유지하는 반면, 더미영역(120b)의 필름(120)은 커팅 및 연마 가공 전에 기판(110)으로부터 박리될 수 있다.
도 5는 도 1의 박리장치(20)를 도시하는 도면이고, 도 6은 도 5의 장치를 이용하여 필름(120)을 박리하는 상태를 도시하는 도면이며, 도 7은 도 6의 기판(110) 상의 필름(120)이 박리되는 상태를 평면에서 도시하는 도면이고, 도 8은 도 7의 b 부분을 확대한 사시도이다.
도 5를 참조하면 박리장치(20)는 제2 이송라인(21), 지지테이블(22) 및 그립퍼(23)를 포함할 수 있다.
지지테이블(22)과 그립퍼(23)는 서로 상대적인 이동을 할 수 있다.
일 실시예로, 지지테이블(22)은 일 방향으로 이동할 수 있고, 그립퍼(23)는 지지테이블(22)의 이동방향과 교차하는 방향으로 이동할 수 있다.
예를 들어, 제2 이송라인(21)은 X축 방향(전후방향)으로 연장되고, 지지테이블(22)은 제2 이송라인(21)을 따라 X축 방향으로 왕복 이동할 수 있다. 그리고, 그립퍼(23)는 갠트리 구조에 장착되어 Z축 방향(상하방향)으로 왕복 이동할 수 있다.
그립퍼(23)는 복수 개로 마련될 수 있다. 그립퍼(23)는 소정의 거리로 이격배치되는 제1 그립퍼(231) 및 상기 제1 그립퍼(231) 사이에 배치되는 제2 그립퍼(232)를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 제1 그립퍼(231)는 Y축 방향(좌우방향)으로 소정의 거리로 이격 배치되는 한 쌍으로 마련될 수 있다. 그리고, 제2 그립퍼(232)는 한 쌍의 제1 그립퍼(231) 사이에 배치될 수 있다. 제2 그립퍼(232)는 적어도 하나 마련될 수 있다.
제2 그립퍼(232)는 한 쌍의 제1 그립퍼(231) 사이에서 제1 그립퍼(231)와 소정의 각도를 이루도록 배치될 수 있다.
일 실시예로, 한 쌍의 제1 그립퍼(231)는 동일 라인에 배치되고, 제2 그립퍼(232)는 제1 그립퍼(231)를 연결하는 라인에서 벗어나도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 제1 그립퍼(231)는 동일한 Y축 선상에 배치되되, 제2 그립퍼(232)는 제1 그립퍼(231)와 동일한 Y축 선상에 배치되지 않고, X축 방향(전방이나 후방)으로 벗어나 제1 그립퍼(231) 사이에서 제1 그립퍼(231)와 소정의 각도를 이룰 수 있다.
한편, 도 5를 참조하면, 박리장치(20)는 지그(24) 및 스트립퍼(25)를 더 포함할 수 있다.
지그(24)는 지지테이블(22)과 상대적으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 복수의 지그(24)는 지지테이블(22)에 대하여 X축 방향(전후방향) 및/또는 Y축 방향(상하방향)으로 이동할 수 있다.
지그(24)는 복수 개 마련되어 일렬로 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수의 지그(24)는 Y축 방향(좌우방향)으로 일렬로 배치될 수 있다.
스트립퍼(25)는 필름(120)의 가장자리 일부분을 기판(110)으로부터 박리시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 스트립퍼(25)는 필름(120)의 더미영역(120b) 가장자리 일부를 기판(110)으로부터 박리시킬 수 있다.
일 실시예로, 스트립퍼(25)는 필름(120)보다 더 큰 접착력을 갖는 접착부재를 포함할 수 있다. 접착부재는 필름(120)의 일측면, 예를 들어 필름(120)의 더미영역(120b) 상측에 접착되어 기판(110)에 접착된 필름(120)의 일부를 박리시킬 수 있다.
다른 실시예로, 스트립퍼(25)는 와이어를 포함할 수 있다. 와이어는 기판(110)과 필름(120) 사이, 예를 들어 기판(110)과 필름(120)의 더미영역(120b) 사이로 삽입되어 기판(110)에 접착된 필름(120)의 일부를 박리시킬 수 있다.
도 6을 참조하면, 복수의 그립퍼(23)는 필름(120)의 더미영역(120b)의 일측을 파지할 수 있다.
일 실시예로, 복수의 그립퍼(23)는 지지테이블(22)과의 상대적인 이동에 따라 더미영역(120b)의 모서리부와 중앙부를 순차적으로 파지할 수 있다.
예를 들어, 한 쌍의 제1 그립퍼(231)가 더미영역(120b)의 모서리부를 먼저 파지하고, 그 다음 제2 그립퍼(232)는 제1 그립퍼(231) 사이에서 더미영역(120b)의 중앙부를 파지할 수 있다. 구체적으로, 기판(110)이 안착된 지지테이블(22)이 전방으로 이동하여 기판(110)이 제1 그립퍼(231)와 인접함에 따라 제1 그립퍼(231)는 기판(110)에 부착된 필름(120)의 더미영역(120b)의 모서리부를 파지한 후, 더미영역(120b)의 모서리부를 파지한 상태로 상방으로 이동할 수 있다. 그리고, 지지테이블(22)이 계속 이동하여 기판(110)이 제2 그립퍼(232)와 인접함에 따라 제2 그립퍼(232)는 기판(110)에 부착된 필름(120)의 더미영역(120b)의 중앙부를 파지한 후, 더미영역(120b)의 중앙부를 파지한 상태로 상방으로 이동할 수 있다.
이때, 그립퍼(23)의 상하방향에 대한 이동은 지지테이블(22)의 전후방향에 대한 이동과 상보적으로 수행되어, 지지테이블(22)과 그립퍼(23)가 동시에 이동함에도 필름(120)의 더미영역(120b)이 끊어지지 않고 계속하여 기판(110)으로부터 박리될 수 있다.
제1 그립퍼(231)가 기판(110)에 부착된 필름(120)의 더미영역(120b)의 모서리부를 용이하게 파지하기 위하여, 스트립퍼(25)를 이용하여 더미영역(120b) 가장자리 일부를 기판(110)으로부터 박리시킬 수 있다.
제1 그립퍼(231)를 이용하여 더미영역(120b)을 기판(110)으로부터 박리시키거나, 스트립퍼(25)를 이용하여 더미영역(120b)의 일부를 기판(110)으로부터 박리시키는 과정에서, 필름(120)의 보호영역(120a)까지 박리되는 것을 방지하기 위하여, 복수의 지그(24)를 이용하여 필름(120)의 보호영역(120a)을 압박할 수 있다. 예를 들어, 복수의 지그(24)는 필름(120)의 복수의 보호영역(120a)의 상측면을 누를 수 있도록 구성될 수 있다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 더미영역(120b)은 X축 방향으로 연장되는 복수의 제1 더미영역(120b1)과 Y축 방향으로 연장되는 복수의 제2 더미영역(120b2)을 포함하고, 제1 더미영역(120b1)과 제2 더미 영역은 복수의 교차점(P)을 형성할 수 있다.
제1 그립퍼(231)가 제1 더미영역(120b1)과 제2 더미영역(120b2)이 만나는 더미영역(120b)의 모서리부(L1)를 파지한 상태에서, 제1 그립퍼(231)와 지지테이블(22)이 상보적으로 이동하며, 더미영역(120b)의 모서리부부터 기판(110)으로부터 박리시킬 수 있다. 이와 같이 더미영역(120b)이 모서리부(L1)부터 기판(110)으로부터 박리될 때, 제2 더미영역(120b2)이 사선을 이루게 되므로, 기판(110)으로부터의 더미영역(120b)의 박리가 용이할 수 있다.
일 실시예로, 제2 더미영역(120b2)이 사선을 이룰 수 있도록 제1 그립퍼(231)와 제2 그립퍼(232)가 이루는 각도(θ)는 90도 내지 170도로 형성될 수 있다.
다른 실시예로, 제2 더미영역(120b2)이 패널(110a)의 대각선과 평행한 상태를 유지하며 기판(110)으로부터 박리될 수 있도록, 제1 그립퍼(231)와 제2 그립퍼(232)가 배치될 수 있다. 이때, 기판(110)으로부터 필름(120)의 더미영역(120b)의 박리가 진행됨에 따라, 제1 더미영역(120b1)과 제2 더미영역(120b2)이 기판(110)으로부터 박리되는 지점이 교차점(P)에서 만날 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름(120)의 박리 방법에 대한 순서도이고, 도 10은 도 9에서 기판(110) 상의 필름(120)이 박리된 상태를 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필름(120)의 박리 방법은 도 1 내지 도 8에 도시된 실시예의 필름 박리 장치(1)를 이용하여 시계열적으로 처리되는 단계들을 포함할 수 있다. 따라서, 이하 도 1 내지 도 8과 관련된 구체적인 설명은 생략될 수 있다.
도 9를 참조하면, 기판(110)으로부터 필름(120)을 박리하는 방법은, 소정의 크기를 갖는 셀 단위의 복수의 패널(110a)이 형성된 기판(110)에 부착된 필름(120)을 패널(110a)을 기준으로 커팅하는 단계(S910), 커팅된 필름(120)에서 기판(110)의 패널(110a)을 제외한 부분에 부착된 더미영역(120b)의 일측의 양측 모서리를 파지하는 단계(S920), 파지된 양측 모서리부를 상방으로 들어올리는 단계(S930), 더미영역(120b)의 일측의 중앙부를 파지하는 단계(S940) 및 양측 모서리부와 함께 파지된 중앙부를 들어 올리는 단계(S950)를 포함할 수 있다.
한편, 필름(120)의 더미영역(120b)의 일측의 양측 모서리부를 파지하기 전에, 와이어를 기판(110)과 더미영역(120b) 사이로 삽입하여 더미영역(120b) 가장자리 일부를 기판(110)으로부터 박리시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
필름(120)의 더미영역(120b) 가장자리 일부를 기판(110)으로부터 박리시킬 때, 와이어 대신에, 필름(120)보다 접착력이 강한 접착부재를 이용할 수 있다. 예를 들어, 접착부재를 더미영역(120b)의 가장자리 일부에 부착한 상태로 접착부재를 상방으로 당겨서, 더미영역(120b)의 가장자리 일부가 기판(110)으로부터 박리되도록 할 수 있다.
그리고, 패널(110a) 부분에 부착된 필름(120a)의 박리를 방지하기 위하여, 지그(24)를 이용하여 커팅된 필름(120)에서 기판(110)의 패널(110a) 부분에 부착된 보호영역(120a)의 상면을 지지하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이러한 단계는, 파지된 필름(120)의 더미영역(120b)의 양측 모서리부를 상방으로 들어 올리기 전이나, 와이어 및/또는 접착부재를 이용하여 더미영역(120b) 가장자리 일부를 기판(110)으로부터 박리시키기 전에 수행될 수 있다.
또한, 더미영역(120b)이 박리되면서 지그(24)와 발생하는 간섭을 회피하기 위하여, 파지된 더미영역(120b)의 중앙부를 더미영역(120b)의 양측 모서리부와 함께 들어 올리기 전이나 또는 동시에 상기 지그(24)를 박리하는 단계를 더 포함할 수 있다.
도 10을 참조하면, 이러한 단계를 통하여 필름(120)이 박리된 기판(110)은, 소정의 사이즈를 갖는 셀 단위의 복수의 패널(110a) 부분에만 필름(120a)이 부착 상태를 유지하고, 패널(110a)을 제외한 부분에서는 필름(120b)이 제거되어 기판(110)이 노출될 수 있다.
더미영역(120b)의 필름(120)이 제거된 기판(110)은 필름(120)이 제거된 부분에서 기판(110)의 커팅 가공이 이루어짐으로써, 복수의 패널(110a)이 제조될 수 있다. 그리고, 커팅된 복수의 패널(110a)의 가장자리에 응력이 집중되는 것을 방지하기 위하여, 패널(110a)의 가장자리를 연마하는 가공이 수행될 수 있다.
이와 같이, 기판(110)의 커팅 및 연마되는 부분에 부착된 필름(120)을 정확하게 박리함으로써, 기판(110)의 커팅 가공이나 연마 가공에서 필름(120) 들뜸 현상이 일어나 연마수가 필름(120)과 패널(110a) 사이로 침투하게 되고, 필름(120)에 의해 버닝 현상이 발생되며, 패널(110a) 깨짐, 크랙(crack) 발생 등의 다양한 문제점이 발생하는 것을 예방할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 필름 박리 장치
10: 커팅 장치
20: 박리 장치
100: 워크피스

Claims (10)

  1. 소정의 크기를 갖는 셀 단위의 복수의 패널이 형성된 기판이 안착되는 지지테이블; 및
    상기 기판에 부착되어 상기 패널을 기준으로 커팅된 필름에서 상기 기판의 상기 패널을 제외한 부분에 부착된 더미영역의 일측을 파지하되, 상기 지지테이블과의 상대적인 이동에 따라 상기 더미영역의 모서리부와 중앙부를 순차적으로 파지하는 복수의 그립퍼;를 포함하는,
    필름 박리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 지지테이블은 일 방향으로 이동가능하고,
    상기 그립퍼는 상기 지지테이블의 이동방향과 교차하는 방향으로 이동가능하고,
    상기 그립퍼의 이동은 상기 지지테이블의 이동에 상보적으로 수행되는,
    필름 박리 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 그립퍼는,
    소정의 거리로 이격 배치되는 한 쌍의 제1 그립퍼; 및
    한 쌍의 상기 제1 그립퍼 사이에서 상기 제1 그립퍼와 소정의 각도를 이루도록 배치되는 제2 그립퍼를 포함하는,
    필름 박리 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 그립퍼와 상기 제2 그립퍼가 이루는 각도는 90도 내지 170도로 형성되는,
    필름 박리 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 지지테이블과 상대적으로 이동가능하고, 일렬로 배치되어 커팅된 상기 필름에서 상기 패널에 부착된 보호영역을 압박하는 복수의 지그를 포함하는,
    필름 박리 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 더미영역의 가장자리 일부를 상기 기판으로부터 박리시키는 스트립퍼를 포함하는,
    필름 박리 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 스트립퍼는, 상기 기판과 상기 더미영역 사이로 삽입되는 와이어 또는 상기 더미영역 상측에 부착되는 접착부재를 포함하는,
    필름 박리 장치.
  8. 소정의 크기를 갖는 셀 단위의 복수의 패널이 형성된 기판에 부착되어 상기 패널을 기준으로 커팅된 상기 필름에서 상기 기판의 패널을 제외한 부분에 부착된 더미영역의 일측의 양측 모서리부를 파지하는 단계;
    파지된 상기 양측 모서리부를 상방으로 들어 올리는 단계;
    상기 더미영역의 일측의 중앙부를 파지하는 단계; 및
    파지된 상기 중앙부를 상기 양측 모서리부와 함께 들어 올리는 단계;를 포함하는,
    필름 박리 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 더미영역의 일측의 양측 모서리부를 파지하기 전에,
    와이어를 상기 기판과 상기 더미영역 사이로 삽입하여 상기 더미영역의 가장자리 일부를 상기 기판으로부터 박리시키는 단계;를 포함하는,
    필름 박리 방법.
  10. 제8 항에 있어서,
    파지된 상기 양측 모서리부를 상방으로 들어 올리기 전에,
    지그를 이용하여, 커팅된 상기 필름에서 상기 패널에 부착된 보호영역의 상면을 지지하는 단계; 및
    상기 양측 모서리부와 함께 파지된 상기 중앙부를 들어 올리기 전이나 또는 동시에 상기 지그를 박리하는 단계;를 포함하는,
    필름 박리 방법.
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