KR20220006689A - 표시 장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 표시영역과 표시영역 외측의 주변영역을 구비한 기판; 상기 기판 상에서, 상기 표시영역에 배치된 표시 요소; 상기 표시 요소 상에 배치되며, 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함하는 박막봉지층; 및 상기 박막봉지층 상에 배치되는 기능층;을 포함하고, 상기 기능층은,상기 박막봉지층의 상부에서 상기 표시 요소의 발광영역에 대응하는 제1개구를 구비하며, 유기물을 포함하는 제1절연층; 및 상기 제1절연층을 덮으며, 상기 제1절연층의 굴절률 보다 큰 굴절률을 가지는 제2절연층;을 포함하며, 상기 제1개구를 정의하는 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비한, 표시 장치를 제공한다.

Description

표시 장치 및 표시 장치의 제조방법{Display Apparatus and Method for manufacturing the same}
본 발명의 실시예들은 표시 장치 및 표시 장치에 제조방법에 관한 것이다.
근래에 표시 장치는 그 용도가 다양해지고 있다. 또한, 표시 장치의 두께가 얇아지고 무게가 가벼워 그 사용의 범위가 광범위해지고 있는 추세이며, 표시 장치가 다양한 분야에 활용됨에 따라 고품질의 이미지를 제공하는 표시 장치의 수요가 증가하고 있다.
본 발명의 실시예들은 광효율이 향상되어 고품질의 이미지를 제공할 수 있는 표시 장치를 제공한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예는, 표시영역과 표시영역 외측의 주변영역을 구비한 기판; 상기 기판 상에서, 상기 표시영역에 배치된 표시 요소; 상기 표시 요소 상에 배치되며, 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함하는 박막봉지층; 및 상기 박막봉지층 상에 배치되는 기능층;을 포함하고, 상기 기능층은,상기 박막봉지층의 상부에서 상기 표시 요소의 발광영역에 대응하는 제1개구를 구비하며, 유기물을 포함하는 제1절연층; 및 상기 제1절연층을 덮으며, 상기 제1절연층의 굴절률 보다 큰 굴절률을 가지는 제2절연층;을 포함하며, 상기 제1개구를 정의하는 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비한, 표시 장치를 제공한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1절연층의 상기 제1개구는 상기 표시 요소의 발광영역과 중첩하고, 상기 제2절연층은 상기 제1개구를 채울 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 기능층은, 상기 제1절연층 하부에 배치되며, 센싱전극들을 포함하는 도전층;을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 도전층은 제1서브도전층 및 제2서브도전층을 포함하며, 상기 제1서브도전층 및 상기 제2서브도전층 사이에는 터치 절연층이 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 요소는, 화소전극; 상기 화소전극의 에지를 커버하며, 상기 화소전극과 중첩하는 제2개구를 포함하는 화소정의막; 상기 제2개구에 위치하는 발광층; 및 상기 발광층을 커버하는 대향전극;을 포함하며, 상기 제1절연층의 바디 부분은 상기 화소정의막의 바디와 중첩할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1개구의 폭은 상기 제2개구의 폭 보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치는 서로 다른 광을 방출하는 제1화소 및 제2화소를 포함하며, 상기 제1절연층은 상기 제1화소에 대응하는 제1-1개구 및 제2화소에 대응하는 제1-2개구를 포함하며, 상기 제1-1개구를 정의하는 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비하고, 상기 제1-2개구를 정의하는 제1절연층의 측면은 단차를 구비하지 않을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1화소의 발광영역은 상기 제2화소의 발광영역보다 클 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 주변영역에서, 상기 제1절연층의 상부에 배치된 돌출댐;을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 발광영역과 중첩하는 컬러필터, 및 상기 발광영역 외측의 비발광영역과 중첩하는 블랙매트릭스를 구비한 반사방지층;을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 표시영역과 상기 표시영역 외측의 주변영역을 구비한 기판; 상기 기판 상에서, 상기 표시영역에 배치된 표시 요소; 상기 표시 요소 상에 배치되며, 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함하는 박막봉지층; 및 상기 박막봉지층 상에 배치되는 기능층;을 포함하고, 상기 기능층은,
상기 박막봉지층의 상부에서 상기 표시 요소의 발광영역에 대응하는 제1개구를 구비하며, 유기물을 포함하는 제1절연층; 및 상기 제1절연층을 덮으며, 상기 제1절연층의 굴절률 보다 큰 굴절률을 가지는 제2절연층;을 포함하며, 상기 주변영역에서 상기 제1절연층의 상부에 돌출된 돌출댐;을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 돌출댐은 상기 제1절연층과 일체로 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 주변영역에서 상기 돌출댐보다 상기 표시영역에 인접하게 배치된 격벽;을 더 포함하며, 상기 박막봉지층은 순차적으로 적층된 제1무기봉지층, 유기봉지층, 및 제2무기봉지층을 포함하고, 상기 격벽의 일측에서 상기 제1무기봉지층과 상기 제2무기봉지층은 서로 접할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 돌출댐의 외측에서, 상기 돌출댐과 이격되어 배치된 상부댐;을 더 포함하며, 상기 돌출댐과 상기 상부댐 사이에는 상기 제1절연층이 적어도 일부 제거된 밸리부가 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 상부댐의 두께는 상기 돌출댐의 두께와 동일할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 돌출댐은 복수로 구비되며, 상기 복수의 돌출댐은 서로 이격되어 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 돌출댐은 상기 표시 영역의 외곽을 따라 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 돌출댐에는 복수의 개구 또는 그루브가 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 주변영역에서 상기 돌출댐과 상기 표시영역 사이에 배치된 제1밸리부; 및 상기 돌출댐과 상기 기판의 끝단 사이에 배치된 제2밸리부;를 더 포함하며, 상기 제1밸리부에는 상기 제1절연층을 관통하는 복수의 제1홀들이 배치되고, 상기 제2밸리부는 상기 제1절연층이 상기 표시영역의 둘레를 따라 제거된 개구로 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1개구를 정의하는 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 표시영역 및 상기 표시영역 외측의 주변영역을 포함하는 기판에서, 상기 기판의 상기 표시영역에 표시 요소를 형성하는 단계; 상기 표시 요소를 덮는 박막봉지층을 형성하는 단계; 및 상기 박막봉지층 상부에 기능층을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 기능층은, 상기 박막봉지층의 상부에서 상기 표시 요소의 발광영역에 대응하는 제1개구를 구비하고, 유기물을 포함하는 제1절연층; 및 상기 제1절연층을 덮으며, 상기 제1절연층의 굴절률 보다 큰 굴절률을 가지는 제2절연층;을 포함하며, 상기 제1절연층은 하프톤 마스크를 이용하여 형성되는, 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1개구를 정의하는 상기 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비하고, 상기 제1절연층은 상기 주변영역까지 연장되며, 상기 제1절연층의 상기 표시영역에서의 최대 두께는 상기 제1절연층의 상기 주변영역에서의 두께보다 크게 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1절연층은 상기 주변영역까지 연장되며, 상기 제1절연층의 끝단에는 상기 제1절연층의 상부에 돌출된 돌출댐을 구비하고, 상기 돌출댐은 상기 제1절연층과 일체로 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1절연층의 주변영역에서의 최대 두께는 상기 제1절연층의 상기 표시영역에서의 최대 두께보다 크게 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1개구를 정의하는 상기 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비하고, 상기 제1절연층은 상기 주변영역까지 연장되며, 상기 제1절연층의 끝단에는 상기 제1절연층의 상부에 돌출된 돌출댐을 구비하며, 상기 단차와 상기 돌출댐은 동시에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1절연층의 상기 주변영역에서의 최대 두께는 상기 제1절연층의 상기 표시영역에서의 최대 두께와 실질적으로 동일하게 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1절연층의 상기 제1개구는 상기 표시 요소의 발광영역과 중첩하고, 상기 제2절연층은 상기 제1개구를 채울 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 기능층은, 상기 제1절연층 하부에 배치되며, 센싱전극들을 포함하는 도전층;을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 발광영역과 중첩하는 컬러필터, 및 상기 발광영역 외측의 비발광영역과 중첩하는 블랙매트릭스를 구비한 반사방지층;을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 반사방지층은 상기 제1절연층과 상기 도전층 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 박막봉지층 상에 위치하며 개구를 구비한 제1절연층 및 상기 개구를 채우는 제2절연층을 포함하는 바, 광효율이 향상될 수 있다. 또한, 상기 제1절연층의 개구를 정의하는 측벽에는 단차가 구비되어 있는 바, 상기 제2절연층의 미채움 불량을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 주변영역에서 제1절연층 상부에 배치된 돌출댐을 구비하는 바, 상기 제2절연층이 표시영역에서 평탄하게 형성될 수 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 어느 하나의 화소에 구비된 표시요소 및 그에 연결된 화소회로를 나타낸다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기능층의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기능층의 평면도로서 도 4의 V 부분을 확대한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치 중 어느 하나의 화소를 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치 중 어느 하나의 화소를 나타낸 단면도로서, 도 6의 VII- VII'선에 따른 단면에 해당한다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 9은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도로서, 도 1의 D 부분에 대응하는 평면에 해당한다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도로서, 도 1의 A 부분에 대응하는 평면에 해당한다.
도 13은 본 발명의 실시예들에 따른 단면도로, 도 12의 VIII-VIII'선에 따른 단면에 해당한다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 18는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 21 내지 도 23는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
이하의 실시예에서 x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
본 명세서에서 "A 및/또는 B"은 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1을 참조하면, 표시장치(10)의 기판(100)은 표시영역(DA) 및 표시영역(DA) 주변의 주변영역(PA)으로 구획될 수 있다. 표시장치는 표시영역(DA)에 배치된 복수의 화소(P)들에서 방출되는 빛을 이용하여 소정의 이미지를 제공할 수 있다.
각 화소(P)는 유기발광다이오드(organic light emitting diode) 또는 무기발광다이오드와 같은 표시요소를 포함하며, 예컨대, 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다. 즉, 각 화소(P)는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT), 스토리지 커패시터(Capacitor) 등을 포함하는 화소회로와 연결될 수 있다. 이러한 화소회로는 스캔선(SL) 및 상기 스캔선(SL)과 교차하는 데이터선(DL), 및 구동전압선(PL)과 연결될 수 있다.
화소회로의 구동에 의해서 각 화소(P)는 빛을 방출할 수 있으며, 표시영역(DA)은 화소(P)들에서 방출되는 빛을 통해 소정의 이미지를 제공한다. 본 명세서에서의 화소(P)라 함은 전술한 바와 같이 적색, 녹색, 청색 또는 백색 중 어느 하나의 색상의 빛을 방출하는 발광영역으로 정의될 수 있다.
주변영역(PA)은 화소(P)들이 배치되지 않은 영역으로, 이미지를 제공하지 않는다. 주변영역(PA)에는 화소(P)들의 구동을 위한 내장 구동회로부, 전원공급배선, 및 구동회로부를 포함하는 인쇄회로기판이나 드라이버 IC가 연결되는 단자부 등이 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 표시 장치(10)는 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display), 무기 EL 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display), 양자점 표시 장치(Quantum dot display) 등을 포함할 수 있다. 이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 표시 장치는 이에 제한되지 않으며, 후술할 특징은 전술한 바와 같은 다양한 방식의 표시 장치에 적용될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 어느 하나의 화소에 구비된 표시요소 및 그에 연결된 화소회로를 나타낸다.
도 2를 참조하면, 표시요소인 유기발광다이오드(OLED)는 화소회로(PC)에 연결된다. 화소회로(PC)는 제1박막트랜지스터(T1), 제2박막트랜지스터(T2), 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 예컨대, 적색, 녹색, 또는 청색의 빛을 방출하거나, 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다.
제2박막트랜지스터(T2)는 스위칭 박막트랜지스터로서, 스캔선(SL) 및 데이터선(DL)에 연결되며, 스캔선(SL)으로부터 입력되는 스위칭 전압에 따라 데이터선(DL)으로부터 입력된 데이터 전압을 제1박막트랜지스터(T1)로 전달할 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)는 제2박막트랜지스터(T2)와 구동전압선(PL)에 연결되며, 제2박막트랜지스터(T2)로부터 전달받은 전압과 구동전압선(PL)에 공급되는 제1전원전압(ELVDD)의 차이에 해당하는 전압을 저장할 수 있다.
제1박막트랜지스터(T1)는 구동 박막트랜지스터로서, 구동전압선(PL)과 스토리지 커패시터(Cst)에 연결되며, 스토리지 커패시터(Cst)에 저장된 전압 값에 대응하여 구동전압선(PL)으로부터 유기발광다이오드(OLED)를 흐르는 구동 전류를 제어할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 구동 전류에 의해 소정의 휘도를 갖는 빛을 방출할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)의 대향전극(예, 캐소드)는 제2전원전압(ELVSS)을 공급받을 수 있다.
도 2는 화소회로(PC)가 2개의 박막트랜지스터와 1개의 스토리지 커패시터를 포함하는 것을 설명하고 있으나, 다른 실시예에서 박막트랜지스터의 개수 또는 스토리지 커패시터의 개수는 화소회로(PC)의 설계에 따라 다양하게 변경될 수 있음은 물론이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도로서, 도 1의 III- III'선에 따른 단면에 해당한다.
도 3a을 참조하면, 기판(100) 상에 표시층(200)이 배치되며, 표시층(200) 상에는 박막봉지층(300) 및 기능층(400)이 배치된다.
기판(100)은 고분자 수지 또는 글래스재를 포함할 수 있다. 고분자 수지를 포함하는 기판(100)은 플렉서블, 롤러블 또는 벤더블 특성을 가질 수 있다. 표시층(200)은 복수의 표시요소들을 포함하는 표시요소층(220) 및 표시요소들 각각에 연결된 화소회로들을 포함하는 화소회로층(210)을 포함할 수 있다. 표시요소층(220)에 구비된 표시요소들 각각은 화소를 정의할 수 있고, 화소회로층(210)은 복수의 트랜지스터들 및 스토리지 커패시터들을 포함할 수 있다.
박막봉지층(300)은 표시층(200) 상에 배치된다. 박막봉지층(300)은 표시요소들이 수분과 같은 외부 이물질에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다. 박막봉지층(300)은 적어도 하나의 무기박막봉지층 및 적어도 하나의 유기박막봉지층을 포함할 수 있다.
기능층(400)은 박막봉지층(300) 상에 배치된다. 기능층(400)은 터치센싱층(touch-sensing layer, 400a) 및 광학층(400b)을 포함할 수 있다. 터치센싱층(400a)은 사용자의 터치 입력을 센싱하는 층으로 저항막 방식, 정전 용량 방식 등 여러가지 터치 방식 중 적어도 하나를 이용하여 사용자의 터치 입력을 감지할 수 있다. 광학층(400b)은 표시요소들에서 방출된 빛의 출광 효율을 향상시키기 위한 구조를 가지는 층일 수 있다. 광학층(400b)은 광학적 성능을 향상시키기 위하여 굴절률이 다른 두 개의 층을 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 기능층(400)은 터치센싱층(400a)와 광학층(400b)의 일부 구성이 서로 공유되도록 구비될 수 있다. 즉, 기능층(400)은 터치 입력을 센싱할 수 있는 터치센싱층이자 광학적 성능을 향상시킬 수 있는 광학층일 수 있다. 기능층(400)은 터치 입력을 센싱하기 위하여 센싱전극들을 구비할 수 있으며, 광학적 성능을 향상시키기 위하여 굴절률이 다른 두 개의 층을 포함할 수 있다.
기능층(400) 상부에는 반사방지층(500)이 배치될 수 있다. 반사방지층(500)은 외부에서 표시 장치(10)를 향해 입사하는 빛(외부광)의 반사율을 감소시킬 수 있다.
일부 실시예에서, 반사방지층(500)은 편광 필름으로 구비될 수 있다. 편광 필름은 선편광판과 λ/4 판(quarter-wave plate)과 같은 위상지연필름을 포함할 수 있다. 위상지연필름은 기능층(400) 상에 배치되고, 선편광판은 위상지연필름 상에 배치될 수 있다.
일부 실시예에서, 반사방지층(500)은 블랙매트릭스와 컬러필터들을 포함하는 필터층을 포함할 수 있다. 컬러필터들은 표시 장치(10)의 화소들 각각에서 방출되는 빛의 색상을 고려하여 배열될 수 있다. 예컨대, 필터층은 적색, 녹색, 또는 청색의 컬러필터를 포함할 수 있다.
반사방지층(500)이 블랙매트릭스와 컬러필터들로 구비되는 경우, 반사방지층(500)은 도 3b에 도시된 바와 같이, 터치센싱층(400a)과 광학층(400b) 사이에 배치될 수 있다. 도 3a의 반사방지층(500) 상부 또는 도 3b의 광학층(400b) 상부에는 커버 윈도우(미도시)가 배치될 수 있다. 커버 윈도우는 광학 투명 접착제 필름과 같은 투명 접착 부재에 의해 반사방지층(500) 상에 부착될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기능층의 평면도로서, 기능층에 포함된 터치 전극들을 개략적으로 나타내고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기능층의 평면도로서 도 4의 V 부분을 확대한 평면도이다.
도 4를 참조하면, 기능층(400)은 제1방향(예, x방향)을 따라 배열된 복수의 제1센싱전극(SP1)들, 및 제1방향에 교차하는 제2방향(예, y방향)을 따라 배열된 복수의 제2센싱전극(SP2)들을 포함한다. 제1방향과 제2방향은 수직으로 교차할 수 있다. 이웃하는 제1센싱전극(SP1)들은 제1연결전극(CP1)을 통해 서로 전기적으로 연결되며, 이웃하는 제2센싱전극(SP2)들은 제2연결전극(CP2)을 통해 서로 전기적으로 연결될 수 있다.
제1센싱전극(SP1)들 및 제2센싱전극(SP2)들은 도전층을 포함하되, 도전층은 금속층 또는 투명도전층을 포함할 수 있다. 금속층은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 및 이들의 합금을 포함할 수 있다. 투명 도전층은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ZnO(zinc oxide), ITZO(indium tin zinc oxide) 등과 같은 투명한 전도성 산화물을 포함할 수 있다. 그 밖에 투명 도전층은 PEDOT과 같은 전도성 고분자, 금속 나노 와이어, 탄소 나노튜브, 그래핀(graphene) 등을 포함할 수 있다. 제1연결전극(CP1)들 및 제2연결전극(CP2)들 각각도 전술한 바와 같은 금속층 또는 투명도전층과 같은 도전층을 포함할 수 있다.
센싱전극들 및 연결전극들은 각각 복수의 개구들을 포함하는 메쉬 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이 각각의 제1센싱전극(SP1)은 도전층(CTL)에 형성될 수 있다. 도전층(CTL)은, 복수의 개구(CTL-OP)들, 및 각각의 개구(CTL-OP)를 적어도 부분적으로 둘러싸며 각각의 개구(CTL-OP)를 정의하는 바디 부분들을 포함하며, 바디 부분들이 서로 연결되면서 메쉬 구조를 형성할 수 있다. 마찬가지로, 각각의 제2센싱전극(SP2), 각각의 제1연결전극(CP1), 및 각각의 제2연결전극(CP2)도 메쉬 구조를 가질 수 있다.
도전층(CTL)의 각 개구(CTL-OP)는 각 화소의 발광영역과 중첩할 수 있다. 예컨대, 각각의 개구(CTL-OP)는 적색의 빛이 방출되는 발광영역(EA-R), 녹색의 빛이 방출되는 발광영역(EA-G), 또는 청색의 빛이 방출되는 발광영역(EA-B)과 중첩하도록 배치될 수 있다.
복수의 개구(CTL-OP)들 중 적어도 어느 하나의 개구(CTL-OP)은 도전층(CTL)의 바디 부분에 의해 부분적으로 둘러싸일 수 있으며, 이 경우 도 5에 도시된 바와 같이 이웃하는 개구(CTL-OP)들은 서로 공간적으로 연결될 수 있다. 도시된 바와 달리, 도전층(CTL)의 바디 부분에 의해 전체적으로 둘러싸여 서로 공간적으로 연결되어 있지 않을 수 있다.
기능층(400)은 도전층(CTL)의 위에 배치되는 제1절연층(420)을 포함할 수 있으며, 도 5는 도전층(CTL)과 중첩하는 제1절연층(420)을 도시한다. 제1절연층(420)은 각각 발광영역과 대응하는 제1개구(420OP)들을 포함한다. 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)들은 제1절연층(420)의 일 부분들을 노광 및 현상하는 공정 등을 통해 제거하여 형성할 수 있다. 제1개구(420OP)들은 제1절연층(420)의 상면과 바닥면을 관통하여 형성할 수 있다. 평면상에서 제1개구(420OP)들 각각은 각각의 제1개구(420OP)와 대응하는 발광영역의 형상과 닮음꼴일 수 있다. 예컨대, 적색 및 청색의 발광영역(EA-R, EA-B) 및 이들과 대응하는 제1개구(420OP)들은 각각 대략 사각형의 형상을 가질 수 있고, 녹색의 발광영역(EA-G) 및 이와 대응하는 제1개구(420OP)들은 각각 육각형 또는 팔각형의 형상을 가지는 것과 같이 서로 닮음꼴의 형상을 가질 수 있다. 본 명세서에서 대응한다고 함은 중첩하여 배치됨을 의미할 수 있다. 다른 실시예로, 평면상에서 제1개구(420OP)들은 발광영역의 형상과 서로 다를 수 있다. 예컨대, 적색, 청색, 및 녹색의 발광영역(EA-R, EA-B, EA-G)이 다각형의 형상인데 반해 제1개구(420OP)들 각각은 원형인 것과 같이 서로 다른 형상을 가질 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치 중 어느 하나의 화소를 나타낸 평면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치 중 어느 하나의 화소를 나타낸 단면도로서, 도 6의 VII- VII'선에 따른 단면에 해당한다.
도 6을 참조하면, 도전층(CTL)의 개구(CTL-OP), 제1절연층(420)의 제1개구(420OP), 및 발광영역(EA)은 서로 중첩한다. 도전층(CTL)의 개구(CTL-OP)의 크기는, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)의 크기 보다 크고, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)의 크기는 발광영역(EA)의 크기 보다 클 수 있다. 예컨대, 발광영역(EA)의 제1폭(W1)은 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)의 제2폭(W2) 보다 작고, 제2폭(W2)은 도전층(CTL)의 개구(CTL-OP)의 제3폭(W3) 보다 작다.
도전층(CTL)의 바디 부분은 제1절연층(420), 예컨대 제1절연층(420)의 바디 부분과 중첩할 수 있다. 도전층(CTL)은 복수의 서브층들을 포함할 수 있는데, 일 실시예로서 도 7은 도전층(CTL)이 제1서브도전층(CTL1) 및 제2서브도전층(CTL2)을 포함하는 것을 도시한다.
제1서브도전층(CTL1) 및 제2서브도전층(CTL2)은 각각 터치 절연층(410)을 사이에 두고 아래와 위에 배치될 수 있으며, 제1서브도전층(CTL1) 및 제2서브도전층(CTL2) 아래에는 터치 버퍼층(401)이 배치될 수 있다. 터치 버퍼층(401) 하부에는 기판(100), 유기발광다이오드(OLED)를 구비하는 표시층, 및 박막봉지층(300)이 배치된다.
도 7을 참조하면, 기판(100)은 글래스재의 단일층일 수 있다. 또는 기판(100)은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 고분자 수지를 포함하는 기판(100)은 고분자 수지를 포함하는 층 및 무기층이 적층된 구조를 가질 수 있다. 일 실시예로, 기판(100)은 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아릴레이트, 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelenene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리이미드, 폴리카보네이트, 셀룰로오스 트리아세테이트, 또는/및 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등과 같은 고분자 수지를 포함할 수 있으며, 플렉서블(flexible)한 성질을 가질 수 있다. 기판(100)은 SiO2를 주성분으로 하는 글래스(glass)를 포함하거나, 강화 플라스틱과 같은 수지를 포함할 수 있으며, 리지드(rigid)한 성질을 가질 수 있다.
박막트랜지스터(TFT)는 비정질실리콘, 다결정실리콘 또는 유기반도체물질을 포함하는 반도체층(Act), 게이트전극(GE), 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)을 포함할 수 있다. 반도체층(Act)과 게이트전극(GE)과의 절연성을 확보하기 위해, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함하는 게이트절연층(203)이 반도체층(Act)과 게이트전극(GE) 사이에 개재될 수 있다. 아울러 게이트전극(GE)의 상부에는 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함하는 층간절연층(205)이 배치될 수 있으며, 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)은 전술한 층간절연층(205) 상에 배치될 수 있다. 무기물을 포함하는 절연층은 CVD 또는 ALD(atomic layer deposition)를 통해 형성될 수 있다.
게이트전극(GE), 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)은 다양한 도전성 물질로 형성될 수 있다. 게이트전극(GE)은 몰리브덴 또는 알루미늄을 포함할 수 있고, 필요하다면 다층구조를 취할 수도 있다. 예컨대 게이트전극(GE)은 몰리브덴의 단일층이거나, 몰리브덴층, 알루미늄층 및 몰리브덴층을 포함하는 3층 구조일 수 있다. 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)은 티타늄 또는 알루미늄을 포함할 수 있고, 필요하다면 다층 구조를 취할 수도 있다. 예컨대 소스전극(SE) 및 드레인전극(DE)은 티타늄층, 알루미늄층 및 티타늄층을 포함하는 3층 구조일 수 있다.
이러한 구조의 박막트랜지스터(TFT)와 기판(100) 사이에는 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등과 같은 무기물을 포함하는 버퍼층(201)이 개재될 수 있다. 이러한 버퍼층(201)은 기판(100)의 상면의 평활성을 높이거나 기판(100) 등으로부터의 불순물이 박막트랜지스터(TFT)의 반도체층(Act)으로 침투하는 것을 방지하거나 최소화하는 역할을 할 수 있다.
박막트랜지스터(TFT) 상에는 평탄화절연층(207)이 배치될 수 있다. 평탄화절연층(207)은 예컨대 아크릴, BCB(Benzocyclobutene) 또는 HMDSO(hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물로 형성될 수 있다. 도 7에서는 평탄화절연층(140)이 단층으로 도시되어 있으나, 다층일 수 있다.
화소전극(221)은 평탄화절연층(207) 상에 배치될 수 있다. 화소전극(221)은 각 화소마다 배치된다. 이웃한 화소들 각각에 대응하는 화소전극(221)들은 상호 이격되어 배치될 수 있다.
화소전극(221)은 반사 전극일 수 있다. 일부 실시예에서, 화소전극(221)은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 및 이들의 화합물 등으로 형성된 반사막과, 반사막 상에 형성된 투명 또는 반투명 전극층을 구비할 수 있다. 투명 또는 반투명 전극층은 인듐틴산화물(ITO; indium tin oxide), 인듐아연산화물(IZO; indium zinc oxide), 아연산화물(ZnO; zinc oxide), 인듐산화물(In2O3; indium oxide), 인듐갈륨산화물(IGO; indium gallium oxide) 및 알루미늄아연산화물(AZO; aluminum zinc oxide)를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다. 일부 실시예에서, 화소전극(221)은 ITO층, Ag층, ITO층의 3층 구조일 수 있다.
화소전극(221) 상에는 화소정의막(209)이 배치된다. 화소정의막(209)은 각 화소전극(221)의 중심부분을 노출하는 제2개구(209OP)를 갖는다. 화소정의막(209)은 화소전극(221)의 에지를 커버하며 화소전극(221)의 에지와 대향전극(223) 사이의 거리를 증가시켜, 화소전극(221)의 에지에서 아크 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 화소정의막(209)은 폴리이미드, 폴리아마이드(Polyamide), 아크릴 수지, 벤조사이클로부텐, HMDSO(hexamethyldisiloxane) 및 페놀 수지 등과 같은 유기 절연 물질로, 스핀 코팅 등의 방법으로 형성될 수 있다. 또는, 화소정의막(209)은 무기 절연 물질로 형성될 수 있다. 또는, 화소정의막(209)은 무기 절연 물질과 유기 절연 물질을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다.
스페이서(211)는 화소정의막(209) 상에 배치될 수 있다. 스페이서(211)는 후술할 발광층(222b)을 형성하는 공정에서 사용되는 마스크에 의해 기판(100)과 스페이서(211) 사이에 개재되는 층들이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 스페이서(211)는 화소정의막(209)와 동일한 물질을 포함할 수 있다.
화소정의막(209)의 제2개구(209OP)에는 발광층(222b)이 배치될 수 있다. 발광층(222b)은 적색, 녹색 또는 적색의 빛을 방출할 수 있는 형광 또는 인광 물질을 포함하는 유기물일 수 있다. 전술한 유기물은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물일 수 있다.
발광층(222b)의 아래와 위에는 각각 제1공통층(222a) 및 제2공통층(222c)이 배치될 수 있다. 제1공통층(222a)은 예컨대, 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer)을 포함하거나, 홀 수송층 및 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제2공통층(222c)은 발광층(222b) 위에 배치되는 구성요소로서, 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer) 및/또는 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제2공통층(222c)은 선택적(optional)이다. 일부 실시예에서 제2공통층(222c)은 구비되지 않을 수 있다.
발광층(222b)이 화소정의막(150)의 제2개구(209OP)에 대응하도록 각 화소마다 배치되는데 반해, 제1공통층(222a) 및 제2공통층(222c)은 각각 후술할 대향전극(223)과 마찬가지로 기판(100)을 전체적으로 커버하도록, 예컨대 기판(100)의 표시영역을 전체적으로 커버하도록 일체로 형성된 공통층일 수 있다.
대향전극(223)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크로뮴(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금 등을 포함하는 (반)투명층을 포함할 수 있다. 또는, 대향전극(223)은 전술한 물질을 포함하는 (반)투명층 상에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3과 같은 층을 더 포함할 수 있다. 일 실시예로, 대향전극(223)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 또는 은(Ag)과 마그네슘(Mg)의 합금을 포함할 수 있다.
박막봉지층(300)은 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함할 수 있다. 예컨대, 박막봉지층(300)은 도 7에 도시된 바와 같이 제1무기봉지층(310), 유기봉지층(320), 및 제2무기봉지층(330)을 포함할 수 있다.
제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 타탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드, 아연옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드 중 선택된 하나 이상의 무기 절연물을 포함할 수 있다. 제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)은 전술한 무기 절연물을 포함하는 단일 층 또는 다층 구조를 가질 수 있다.
유기봉지층(320)은 제1무기봉지층(310) 및/또는 제2무기봉지층(330)의 내부 스트레스를 완화시킬 수 있다. 유기봉지층(320)은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산, 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있다.
유기봉지층(320)은 흐름성을 갖는 모노머를 도포한 후 열이나 자외선과 같은 빛을 이용하여 모노머층을 경화함으로써 형성할 수 있다. 또는, 유기봉지층(320)은 전술한 폴리머 계열을 물질을 도포하여 형성할 수 있다.
기능층(400)은 박막봉지층(300) 상에 배치된다. 기능층(400)은 제1 및 제2서브도전층(CTL1, CTL2), 터치 절연층(410), 제1절연층(420) 및 제2절연층(430)을 포함할 수 있다. 또한, 기능층(400)은 터치 버퍼층(401)을 더 포함할 수 있다.
터치 버퍼층(401)은 박막봉지층(300) 상부에 직접 형성될 수 있다. 터치 버퍼층(401)은 박막봉지층(300)의 손상을 방지하며, 기능층(400)이 터치센싱층으로 구동시 발생할 수 있는 간섭 신호를 차단하기 위한 역할을 할 수 있다. 터치 버퍼층(401)은 실리콘산화물(SiOx), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiOxNy) 등과 같은 무기 절연물을 포함하며, 단일층 또는 다층으로 구비될 수 있다.
서브도전층(CTL1)과 제2서브도전층(CTL2)은 각각 터치 절연층(410)의 아래와 위에 배치될 수 있다. 제1서브도전층(CTL1)과 제2서브도전층(CTL2)은 터치 절연층(410)에 형성된 콘택홀(410ct)을 통해 접속될 수 있다. 앞서 도 5를 참조하여 설명한 제1센싱전극(SP1) 및 제2센싱전극(SP2) 각각은 도 7에 도시된 바와 같이 콘택홀(410ct)을 통해 접속된 제1서브도전층(CTL1)과 제2서브도전층(CTL2)의 이층 구조로 형성될 수 있다.
터치 절연층(410)은 무기물 또는 유기물로 구비될 수 있다. 상기 무기물은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 주석 산화물, 세륨 산화물 또는 실리콘 산화질화물 중 적어도 어느 하나일 수 있다. 상기 유기물은 아크릴계 수지, 메타크릴계 수지, 폴리이소프렌, 비닐계 수지, 에폭시계 수지, 우레탄계 수지, 셀룰로오스계 수지 및 페릴렌계 수지 중 적어도 어느 하나일 수 있다.
제1서브도전층(CTL1)과 제2서브도전층(CTL2)은 금속층 또는 투명 도전층을 포함할 수 있으며, 금속층은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 및 이들의 합금을 포함할 수 있다. 투명 도전층은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ZnO(zinc oxide), ITZO(indium tin zinc oxide) 등과 같은 투명한 전도성 산화물을 포함할 수 있다. 그 밖에 투명 도전층은 PEDOT과 같은 전도성 고분자, 금속 나노 와이어, 탄소 나노튜브, 그래핀(graphene) 등을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 제1서브도전층(CTL1)과 제2서브도전층(CTL2) 각각은, 티타늄층, 알루미늄층, 및 티탄늄층의 3층 구조를 가질 수 있다.
제2서브도전층(CTL2) 상부에는 제1절연층(420)이 배치될 수 있다. 제1절연층(420)은 발광영역(EA)과 중첩하는 제1개구(420OP)를 포함할 수 있다. 발광영역(EA)은 화소정의막(209)의 제2개구(209OP)에 의해 정의된다. 예컨대, 화소정의막(209)의 제2개구(209OP)의 폭이 발광영역(EA)의 폭(제1폭, W1) 이다. 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)는 화소정의막(209)의 제2개구(209OP)와 중첩하되, 제1개구(420OP)의 제2폭(W2)은 화소정의막(209)의 제2개구(209OP)의 폭(제1폭, W1) 보다 크다. 제1개구(420OP)를 정의하는 제1절연층(420)의 바디 부분은 화소정의막(209)의 바디 부분과 중첩할 수 있다. 예컨대, 제1절연층(420)의 바디 부분은 화소정의막(209)의 바디 부분에만 중첩할 수 있다. 제1절연층(420)의 바디 부분은 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)와 구별되는 부분으로서, 소정의 볼륨을 가지고 있는 부분을 의미한다. 마찬가지로, 화소정의막(209)의 바디 부분은 화소정의막(209)의 제2개구(209OP)와 구별되는 것으로서, 소정의 볼륨을 가지고 있는 부분을 나타낸다.
제1절연층(420)은 포토 레지스트를 포함할 수 있다. 제1절연층(420)은 박막봉지층(300) 상에 포토레지스트를 전체적으로 도포한 후, 노광하고 현상함으로써 형성될 수 있다. 제1절연층(420)은 기능층(400)에 포함된 도전층, 예컨대 제1 및 제2서브도전층(CTL1, CTL2)를 커버함으로써, 전술한 도전층을 보호할 수 있다.
제2절연층(430)은 제1절연층(420) 상에 배치되며, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 채울 수 있다. 예컨대, 제2절연층(430)은 제1개구(420OP)를 전체적으로 채울 수 있다. 제2절연층(430)은 대략 편평한 상면을 포함하며, 제1개구(420OP)에 중첩하는 제2절연층(430)의 부분의 두께는 다른 부분(예컨대 제1절연층(420)의 상면과 중첩하는 부분)의 두께 보다 클 수 있다.
제2절연층(430)은 제1개구(420OP)를 정의하는 제1절연층(420)의 측면(420S) 및 상면과 직접 접촉할 수 있다. 또한, 제2절연층(430)은 제1개구(420OP)를 통해 터치 절연층(410)과 직접 접촉할 수 있다.
제2절연층(430)은 제1절연층(420) 보다 굴절률이 큰 재료, 예컨대 고굴절률의 유기물을 포함할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)에서 방출되어 기판(100)의 상면에 수직한 방향(z방향)에 대하여 비스듬한 방향으로 진행하는 빛(L)은 제1절연층(420)의 측면(420S)에서 전반사되어 표시 장치의 외부로 진행할 수 있는바, 유기발광다이오드(OLED)의 출광 효율이 향상되고 휘도가 증가할 수 있다.
제1절연층(420)의 굴절률은 약 1.3 내지 1.6의 범위일 수 있다. 일부 실시예로서, 제1절연층(420)의 굴절률은 약 1.4 내지 1.55의 범위일 수 있다. 제1절연층(420)은 굴절률이 1.4 내지 1.55 사이의 아크릴 계열의 유기물질로 구비될 수 있다. 제1절연층(420)은 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등), 에틸헥실 아크릴레이트 (Ethylh)exyl Acrylate), 펜타플루오르프로필 아크릴레이트(Pentafluoropropyl Acrylate), 폴리에틸렌글리콜 다이메타크릴레이트(Poly(ethylene glycol) dimethacrylate) 또는 에틸렌글리콜 다이메타크릴레이트(Ethylene glycol dimethacrylate) 등으로 구비될 수 있다. 일부 실시예에서, 제1절연층(420)은 에폭시와 같은 열경화제 및/또는 광경화제를 더 포함할 수 있다.
제2절연층(430)의 굴절률은 약 1.65 내지 1.85의 범위일 수 있다. 제2절연층(430)은 아크릴 계열, 실록산 계열 유기물질을 포함할 수 있다. 일부 실시예로서, 제2절연층(430)은 폴리 디아릴 실록산(polydiarylsiloxane), 메틸 트리메톡시 실란(methyltrimethoxysilane) 또는 테트라 메톡시 실란(tetramethoxysilane) 등을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 제2절연층(430)은 　고굴절률화를 위한 분산 입자가 포함될 수 있다.　예컨대, 제2절연층(430)에는 산화 아연(ZnOx), 산화 티타늄(TiO2), 산화 지르코늄(ZrO2), 티탄산바륨(BaTiO3) 등의 금속 산화물 입자가 분산될 수 있다. 제2절연층(430)은 잉크젯을 이용하여 금속 산화물 입자가 포함된 유기물질을 도포하는 것으로 형성될 수 있다.
제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 정의하는 제1절연층(420)의 측면(420S)은 경사면을 포함하며, 상기 측면(420S)에는 계단 형상의 단차가 구비될 수 있다. 이 때, 측면(420S)의 하부 끝단과 상부 끝단을 연결하는 가상의 경사면과 터치 절연층(410)의 상면 사이의 열각(minor angle, θ, 이하 경사각이라 함)은 20도 내지 60도 일 수 있다. 또는, 경사각(θ)은 25°≤ θ ≤ 55° 이거나, 30°≤θ≤ 50° 일 수 있다.
제2절연층(430)은 유기물을 잉크젯 프린팅 방식으로 도포한 후 경화시켜 형성할 수 있다. 이 때, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)의 사이즈, 형상 및 표면 상태에 따라서 제2절연층(430)을 형성하는 유기물이 제1개구(420OP)에 채워지는 양상이 달라질 수 있다.
제1절연층(420)의 측면(420S)의 경사각이 가파르게 구비된다면, 제1개구(420OP)의 사이즈에 따라 제2절연층(430)이 상기 제1개구(420OP)를 다 채우지 못할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 정의하는 측면(420S)에 단차를 형성하여, 상기 경사각의 각도를 조절함으로써 제2절연층(430)이 제1개구(420OP) 내부에 전체적으로 채워질 수 있도록 할 수 있다. 이에 따라, 유기발광다이오드(OLED)의 출광 효율이 모든 화소에 대해서 균일하게 향상될 수 있다.
제1절연층(420)의 측면(420S)에 계단 형상의 단차를 형성하기 위해서, 하프톤 마스크 공정을 이용할 수 있다.
도 7에서는 기능층(400)에 포함된 도전층이 제1 및 제2서브도전층(CTL1, CTL2)의 이중 구조를 포함하고, 제1 및 제2센싱전극(SP1, SP2)이 각각 전술한 이중 구조의 도전층으로 형성된 것을 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 기능층(400)은 터치 절연층(410)의 아래 또는 위에 배치되는 단일(single body)의 도전층을 포함할 수 있으며, 제1 및 제2센싱전극(SP1, SP2)은 각각 단일의 도전층으로 형성될 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 개략적인 단면도를 나타낸다. 도 8a 및 도 8b에 있어서, 도 7과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 표시 장치는 반사방지층(500)을 더 구비할 수 있다. 일부 실시예에서, 반사방지층(500)은 발광영역과 중첩하는 컬러필터(CF) 및 비발광영역과 중첩하는 블랙매트릭스(BM)로 구비될 수 있다.
도 8a에 도시된 바와 같이, 반사방지층(500)은 기능층(400) 상부에 배치되지 않고, 기능층(400)의 중간에 배치될 수 있다. 예컨대, 반사방지층(500)의 컬러필터(CF)는 발광영역에서 터치 절연층(410)과 제2절연층(430) 사이에 배치될 수 있으며, 반사방지층(500)의 블랙매트릭스(BM)는 비발광영역에서 터치 절연층(410)과 제1절연층(420) 사이에 배치될 수 있다. 한편, 반사방지층(500)의 하부에는 터치 보호층(403)이 구비될 수 있다. 터치 보호층(403)은 제2서브도전층(CTL2)를 덮도록 기판(100) 전면에 구비되어, 제2서브도전층(CTL2)를 보호할 수 있다. 터치 보호층(403)은 무기물 또는 유기물로 구비될 수 있다.
다른 실시예로서, 도 8b에 도시된 바와 같이, 반사방지층(500)은 기능층(400)의 상부에 바로 배치될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
표시영역(DA)에는 서로 다른 색을 내는 제1화소(P1), 제2화소(P2), 및 제3화소(P3)가 배치되며, 각 화소들마다 표시요소들이 배치된다. 예컨대, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(100) 상의 표시층(200)은 표시요소로 제1유기발광다이오드(OLED1), 제2유기발광다이오드(OLED2) 및 제3유기발광다이오드(OLED3)를 포함할 수 있다. 제1유기발광다이오드(OLED1), 제2유기발광다이오드(OLED2) 및 제3유기발광다이오드(OLED3)는 각각 박막트랜지스터(TFT)에 전기적으로 연결되며, 표시층(200)의 구체적 구조는 앞서 도 7을 참조하여 설명한 바와 같다.
제1유기발광다이오드(OLED1)는 제1색상의 빛을 방출하며, 제2유기발광다이오드(OLED2)는 제2색상의 빛을 방출한다. 또한, 제3유기발광다이오드(OLED3)는 제3색상의 빛을 방출한다. 제1발광영역(EA1)에서 방출된 제1색상의 빛, 제2발광영역(EA2)에서 방출된 제2색상의 빛, 및 제3발광영역(EA3)에서 방출된 제3색상의 빛은 각각, 제1절연층(420)의 측면(420S)에서 전반사되어 외부를 향해 진행할 수 있다.
본 실시예에서, 제2화소(P2)의 크기, 즉, 제2유기발광다이오드(OLED2)의 발광영역의 크기는 제1화소(P1) 및 제3화소(P3)의 크기에 비해 작게 구비될 수 있다. 일부 실시예에서, 제2화소(P2)는 녹색 화소일 수 있다.
이 경우, 제2유기발광다이오드(OLED2)에 대응하는 제1절연층(420)의 측면(420S2)에만 단차가 구비될 수 있다. 이는 제1개구(420OP)의 폭이 작을 수록 제2절연층(430)이 상기 제1개구(420OP)에 전체적으로 채워지지 않기 때문일 수 있다. 따라서, 제1화소(P1)에 대응하여 배치되는 제1개구(420OP)의 측면(420S1) 및 제3화소(P3)에 대응하여 배치되는 제1개구(420OP)의 측면(420S3) 측면에는 단차가 구비되지 않고, 제2화소(P2)에 대응하여 배치되는 제1개구(420OP)를 정의하는 측면(420S2)에만 단차가 구비될 수 있다. 이 경우, 제1화소(P1)에 대응하여 배치되는 제1개구(420OP)의 측면(420S1) 및 제3화소(P3)에 대응하여 배치되는 제1개구(420OP)의 측면(420S3)의 경사각은 적어도 70도 이상일 수 있다.
그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 도 10에 도시된 실시예와 같이, 제1화소(P1), 제2화소(P2), 제3화소(P3)에 대응하여 각각 배치된 제1개구(420OP)들을 정의하는 측면(420S)들 중 적어도 두 개 또는 모두에 단차가 구비될 수 있음은 물론이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 나타낸 평면도로, 도 1의 D부분을 확대하여 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 11을 참조하면, 표시영역(DA)에는 전술한 것과 같이 기능층에 포함된 센싱전극(SP1, SP2)들이 위치할 수 있다. 도 11에서는 표시영역(DA)의 우측 하단 코너부에 위치하는 일부 센싱전극들, 예컨대, 제1센싱전극(SP1)과 제2센싱전극(SP2)을 도시한다.
주변영역(NDA) 상에는 표시영역(DA)의 외곽으로 신호선들이 위치할 수 있다. 도 11에서는 표시영역(DA)의 우측 하단 코너부에 위치하는 일부 신호선들, 예컨대, 스캔신호를 전달하는 제1 신호선(SL1)들을 도시한다.
제1 신호선(SL1)들의 외곽에는 정전기방지선(ESL)이 위치할 수 있다. 정전기방지선(ESL)은 제1 신호선(SL1)들의 외측에 배치될 수 있다. 정전기방지선(ESL)에는 정전기에 의한 손상을 방지하기 위해 정전압이 인가될 수 있다.
정전기방지선(ESL)의 외곽에는 쉴드층(90)이 위치할 수 있다. 쉴드층(90)은 화소전극(221, 도 7 참조)과 동일 층에 배치될 수 있으며, 동일 물질을 포함할 수 있다. 쉴드층(90) 하부에는 구동 회로부가 배치될 수 있다. 쉴드층(90)에는 복수의 관통홀(90H)들이 형성될 수 있다. 구동회로부와 쉴드층(90) 사이에는 평탄화절연층(207, 도 7 참조)이 위치할 수 있으며, 복수의 관통홀(90H)들을 통해 제조 과정 중 평탄화절연층(207)에서 발생하는 아웃가스(outgas)가 용이하게 배출될 수 있다.
쉴드층(90) 상부에는 반사방지층(92)이 구비될 수 있다. 도시되어 있지는 않으나, 쉴드층(90) 하부에 위치한 평탄화절연층(207)에는 평탄화절연층(207)의 일부가 제거된 밸리구조(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 밸리구조는 유기 절연 물질인 평탄화절연층(207)을 통해 유입될 수 있는 외부 투습을 차단하여 표시영역(DA)으로 불순물이 유입되는 것을 차단할 수 있다. 또한, 이러한 밸리구조는 박막봉지층(300, 도 7 참조)의 유기봉지층(320, 도 7 참조)이 오버플로우(overflow)되는 것을 방지하는 역할도 함께 할 수 있다.
반사방지층(92)은 상기 밸리구조와 중첩하여 형성될 수 있으며, 밸리구조에 의해 외광이 반사되어 밸리구조가 외부에서 시인되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 예컨대, 반사방지층(92)은 기능층(400)의 센싱전극들과 동일 물질을 포함할 수 있다.
선택적 실시예로, 쉴드층(90) 외곽에는 크랙 감지선(80)이 배치될 수 있다. 일 실시예로, 본 발명의 실시예에 의한 표시장치가 표시영역(DA) 및/또는 주변영역(PA)에서 기판(100)을 관통하는 투과부(미도시)를 갖는 경우, 크랙 감지선(80)은 투과부 주변의 층들의 크랙을 감지하기 위해 구비될 수 있다. 다른 실시예로, 본 발명의 실시예들에 의한 표시장치가 투과부를 갖지 않는 경우에는 크랙 감지선(80)은 생략될 수 있다.
크랙 감지선(80)의 외곽에는 제1 격벽(PW1) 및 제2 격벽(PW2)이 위치할 수 있다. 또한, 제1 격벽(PW1) 및 제2 격벽(PW2)의 외곽에는 밸리부(VA)가 위치할 수 있다. 제1 격벽(PW1), 제2 격벽(PW2), 밸리부(VA)에 대해서는 후술할 도 12 등에서 자세히 설명한다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부 구성을 개략적으로 나타낸 평면도로서, 도 1의 A 부분에 대응하는 평면에 해당한다. 도 13은 본 발명의 실시예들에 따른 단면도로, 도 12의 VIII-VIII'선에 따른 단면에 해당한다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 주변영역(PA)에서 제1절연층(420) 상부에 배치된 돌출댐(421)을 포함할 수 있다. 즉, 제1절연층(420)은 표시영역(DA)에서는 복수의 제1개구(420OP)를 구비하며, 주변영역(PA)에서는 그 상면에 돌출댐(421)을 구비할 수 있다. 돌출댐(421)은 표시영역(DA)의 둘레를 적어도 일부 둘러싸도록 배치될 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 표시 장치는 돌출댐(421)과 이격된 상부댐(423)을 더 포함할 수 있다. 돌출댐(421)과 상부댐(423)의 사이는 제1절연층(420)이 제거되어 구비된 밸리부(VA)가 배치될 수 있다.
한편, 주변영역(PA)에서 돌출댐(421)과 표시영역(DA) 사이에는 표시영역(DA)에 인접한 순으로 보조격벽(PW0), 제1 격벽(PW1) 및 제2 격벽(PW2)이 위치할 수 있다. 보조격벽(PW0), 제1 격벽(PW1) 및 제2 격벽(PW2)은 서로 소정 간격으로 이격되어 배치될 수 있다.
도 12에서 제1 격벽(PW1) 및 제2 격벽(PW2)은 각각 평탄화절연층(207)의 일부(207P1, 207P2), 화소정의막(209)의 일부(209P1, 209P2), 스페이서(211)의 일부(211P1, 211P2)를 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
보조격벽(PW0)은 단층으로 구비되며, 평탄화절연층(207) 상에 배치될 수 있다. 이 경우 보조격벽(PW0)은 화소정의막(209) 또는 스페이서(211)와 동일 물질을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 보조격벽(PW0)은 층간절연층(205) 상에 배치될 수도 있다. 이 경우, 보조격벽(PW0)은 평탄화절연층(207)과 동일 물질을 포함할 수 있다.
제1 격벽(PW1) 및 제2 격벽(PW2)은 표시영역(DA)을 둘러싸도록 배치되며, 박막봉지층(300)의 유기봉지층(320)이 기판(100) 외측으로 오버 플로우되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 유기봉지층(320)은 표시영역(DA)을 향하는 제1 격벽(PW1)의 내측면에 접할 수 있다. 이때, 유기봉지층(320)이 제1 격벽(PW1)의 내측면에 접한다고 함은 유기봉지층(320)과 제1 격벽(PW1) 사이에 제1 무기봉지층(310)이 위치하고, 유기봉지층(320)은 이러한 제1무기봉지층(310)에 직접 컨택하는 것으로 이해될 수 있다. 제1무기봉지층(310) 및 제2 무기봉지층(330)은 제1 격벽(PW1) 및 제2 격벽(PW2) 상에 배치되며, 기판(100)의 끝단으로 연장될 수 있다. 제1무기봉지층(310)과 제2무기봉지층(330)은 제2 격벽(PW2)의 외측에서 직접 접촉할 수 있다. 이에 따라, 산소나 수분 등의 외기가 표시층(200)으로 침투되는 것이 방지될 수 있다.
기능층(400)은 제2무기봉지층(330)의 상면에 배치될 수 있으며, 이러한 기능층(400)은 주변영역(PA)에서 제1절연층(420) 상에 배치된 돌출댐(421) 및 돌출댐(421)과 이격된 상부댐(423)을 더 포함할 수 있다.
돌출댐(421)은 표시영역(DA)으로부터 주변영역(PA)까지 연장된 제1절연층(420) 상면에 배치될 수 있다. 돌출댐(421)은 제1절연층(420)의 상면으로부터 돌출되어 구비된다. 돌출댐(421)은 유기물로 형성되는 제2절연층(430)의 상면(430U)을 평탄하게 하기 위해서 도입된 것을 수 있다.
만일, 돌출댐(421)이 구비되지 않는다면, 제2절연층(430)을 형성하는 유기물의 흐름은 제1절연층(420)의 상면과의 접촉각을 이용하여 제어해야 하는 바, 도 12에 도시된 점선과 같은 형상으로 제2절연층의 상면(430U')이 형성될 수 있다. 즉, 돌출댐(421)이 없는 경우 제2절연층(430)은 외곽부에서 상면이 평탄하지 않고 볼록하게 형성될 수 있다. 이 경우, 제2절연층(430)은 렌즈와 같은 역할을 하여 표시 장치의 외부에서 유입되는 광을 원하지 않는 방향으로 반사시키거나 굴절시켜 표시 장치의 외곽부에 얼룩 무늬를 발생시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서는 제1절연층(420)의 끝단에, 또는 제1절연층(420)에 구비된 밸리부(VA)의 일측에 제1절연층(420)의 상면으로부터 돌출된 돌출댐(421)을 구비하는 바, 제2절연층(430)을 형성하는 유기물의 흐름을 보다 용이하게 제어할 수 있어, 제2절연층(430)의 상면(430U)은 평탄하게 구비될 수 있다. 이에 따라, 표시 장치의 외곽부에서 제2절연층(430)에 의해 얼룩 무늬가 발생하는 것을 최소화할 수 있다.
돌출댐(421)은 제1절연층(420)과 동일한 물질로 동시에 형성될 수 있다. 즉, 돌출댐(421)은 제1절연층(420)과 일체로 형성될 수 있다. 돌출댐(421)은 제1절연층(420)의 상면에서 돌출된 돌출부일 수 있다. 이 때, 제1절연층(420) 및 돌출댐(421)은 하프톤 마스크 공정을 통해서 형성될 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 돌출댐(421)은 제1절연층(420)과 다른 물질로 구비될 수 있음은 물론이다.돌출댐(421)의 외측에는, 돌출댐(421)과 이격된 상부댐(423)이 더 배치될 수 있다. 상부댐(423)은 제1절연층(420)과 동일한 물질로 구비될 수 있다. 상부댐(423)은 표시영역(DA)의 외곽을 따라 배치될 수 있다. 상부댐(423)은 제2절연층(430)을 형성하는 유기물이 넘치는 것을 방지하기 위한 것일 수 있다. 일부 실시예에서, 상부댐(423)의 두께(t1)는 제1절연층(420)의 두께(t0)와 실질적으로 동일하게 구비될 수 있다.
돌출댐(421)과 상부댐(423) 사이에는 제1절연층(420)이 제거되어 구비된 밸리부(VA)가 구비될 수 있다. 밸리부(VA)는 제1절연층(420)을 관통하는 홀로 구비되거나, 제1절연층(420)이 완전히 관통하지는 않으나 기판(100) 방향으로 인입된 리세스(recess)로 구비될 수 있다. 이러한 밸리부(VA)는 표시영역(DA)의 외곽을 따라 배치될 수 있다.
제2절연층(430)을 형성하는 유기물질은 돌출댐(421)에 의해서 흐름이 제어되어, 제2절연층(430)은 돌출댐(421)의 일측에만 배치될 수 있다. 즉, 제2절연층(430)은 밸리부(VA)에 채워지지 않을 수 있다.
도면에서는 제2절연층(430)은 밸리부(VA)에 채워지지 않는 것으로 도시하고 있으나, 제2절연층(430)은 상기 밸리부(VA)에 일부 채워질 수 있다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 14에 있어서, 도 13과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는 바, 이들의 중복 설명은 생략한다.
도 14를 참조하면, 표시 장치는 기판(100), 표시층(200), 박막봉지층(300), 및 기능층(400)을 포함하며, 기능층(400)은 주변영역(PA)에서 제1절연층(420) 상에 배치된 돌출댐(421) 및 돌출댐(421)과 이격된 상부댐(423)을 포함한다.
본 실시예에서, 상부댐(423)의 두께(t2)는 제1절연층(420)의 두께(t0)보다 크게 구비될 수 있다. 예컨대, 상부댐(423)의 두께(t2)는 제1절연층(420) 및 돌출댐(421)의 두께를 합친 정도로 구비될 수 있다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 16 및 도 17은 도 15에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 15에 있어서, 도 13과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는 바, 이들의 중복 설명은 생략한다.
도 15를 참조하면, 표시 장치는 기판(100), 표시층(200), 박막봉지층(300), 및 기능층(400)을 포함하며, 기능층(400)은 주변영역(PA)에서 제1절연층(420) 상에 배치된 돌출댐(421) 및 돌출댐(421)과 밸리부(VA)를 사이에 두고 위치하는상부댐(423)을 포함한다.
본 실시예에서, 제1절연층(420) 상에 배치된 돌출댐(421)은 복수로 구비될 수 있다. 예컨대, 돌출댐(421)은 제1돌출댐(421a), 제2돌출댐(421b), 제3돌출댐(421c)를 포함할 수 있다. 돌출댐(421)이 복수로 형성됨에 따라, 제2절연층(430)을 형성하는 유기물의 흐름을 보다 세밀하게 제어할 수 있다.
제1돌출댐(421a), 제2돌출댐(421b), 및 제3돌출댐(421c)은 서로 이격되어 배치될 수 있다. 예컨대, 도 16과 같이 제1돌출댐(421a), 제2돌출댐(421b), 및 제3돌출댐(421c)은 표시영역(DA)의 외곽을 따라 서로 평행하게 배치될 수 있다.
또는, 도 17과 같이 돌출댐(421)에는 복수의 개구 또는 그루브(G)가 형성될 수 있다. 이 경우, 복수의 돌출댐들은 서로 연결된 것으로 이해할 수 있다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 18에 있어서, 도 11과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는 바, 이들의 중복 설명은 생략한다.
도 18을 참조하면, 표시 장치의 기능층(400)은 주변영역(PA)에서 제1절연층(420) 상에 배치된 돌출댐(421) 및 돌출댐(421)과 제2밸리부(VA2)를 사이에 두고 위치하는 상부댐(423)을 포함한다.
본 실시예에 있어서, 밸리부(VA)는 복수로 구비될 수 있다. 예컨대, 밸리부(VA)는 제1밸리부(VA1) 및 제2밸리부(VA2)를 포함할 수 있다. 이 경우, 돌출댐(421)은 제1밸리부(VA1)와 제2밸리부(VA2) 사이에 위치할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1밸리부(VA1)과 제2밸리부(VA2)는 서로 다른 형상으로 구비될 수 있다. 예컨대, 제1밸리부(VA1)는 제1절연층(420)을 관통하는 복수의 제1 홀(H1)을 포함할 수 있다. 즉, 제1밸리부(VA1)에는 복수의 제1 홀(H1)이 적어도 하나의 행과 적어도 하나의 열을 따라 배치될 수 있다. 한편, 제2밸리부(VA2)는 표시영역(DA)의 외곽을 따라 연장되는 하나의 홀 또는 리세스로 구비될 수 있다.
밸리부(VA)가 복수로 구비됨에 따라, 제2절연층(430)을 형성하는 유기물질의 흐름을 보다 정교하게 제어할 수 있다. 즉, 표시영역(DA)에 인접하게 위치하는 제1밸리부(VA1)은 제2절연층(430)의 퍼짐을 제어하기 위한 메인 밸리부로 기능하고, 제2밸리부(VA2)는 제2절연층(430)이 제1밸리부(VA1)를 넘치게 될 경우를 대비한 보조 밸리부로 기능할 수 있다. 한편, 돌출댐(421)은 제1밸리부(VA1)과 제2밸리부(VA2) 사이에 구비됨에 따라, 제2절연층(430)의 상면은 평평하게 구비될 수 있다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 19에 있어서, 도 7과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는다.
도 19를 참조하면, 표시 장치는 기판(100), 기판(100) 상에 배치된 표시층(200), 표시층(200) 상에 배치된 박막봉지층(300) 및 기능층(400)을 포함한다.
기능층(400)은 제1개구(420OP)를 구비한 제1절연층(420), 및 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 채우며 제1절연층(420) 보다 고굴절률을 갖는 제2절연층(430)을 포함한다. 또한, 기능층(400)은 터치 버퍼층(401), 제1서브도전층(CTL1), 제2서브도전층(CTL2), 및 터치 절연층(410)을 더 포함할 수 있다.
표시 장치의 주변영역(PA)에는 복수의 밸리부(VA)가 배치될 수 있다. 밸리부(VA)는 제1밸리부(VA1) 및 제2밸리부(VA2)를 포함할 수 있다. 이 경우, 돌출댐(421)은 제1밸리부(VA1)와 제2밸리부(VA2) 사이에 위치할 수 있다. 상부댐(423)은 돌출댐(421)과 제2밸리부(VA2)를 사이에 두고 위치할 수 있다.
일부 실시예에서, 제1밸리부(VA1)과 제2밸리부(VA2)는 서로 다른 형상으로 구비될 수 있다. 예컨대, 제1밸리부(VA1)는 제1절연층(420)을 관통하는 복수의 제1 홀(H1)을 포함할 수 있다. 복수의 제1 홀(H1)은 도 18에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 행과 적어도 하나의 열을 따라 배치될 수 있다. 제1 홀(H1) 내부에는 제2절연층(430)이 적어도 일부 채워질 수 있다. 한편, 제2밸리부(VA2)는 표시영역(DA)의 외곽을 따라 연장되는 하나의 홀 또는 리세스로 구비될 수 있다. 밸리부(VA)가 복수로 구비됨에 따라, 제2절연층(430)을 형성하는 유기물질의 흐름을 보다 정교하게 제어할 수 있다.
주변영역(PA)에서, 제1절연층(420)의 상부에는 제1절연층(420)의 상면으로부터 돌출된 돌출댐(421)이 구비될 수 있다. 돌출댐(421)은 박막봉지층(300)의 상부에 배치되며, 박막봉지층(300)의 제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)과 중첩될 수 있다. 돌출댐(421)은 유기봉지층(320)과는 중첩되지 않을 수 있다.
한편, 주변영역(PA)에는 박막봉지층(300)의 유기봉지층(320)의 흐름을 제어하기 위한 격벽(PW)이 배치될 수 있다. 격벽(PW)은 평탄화절연층(207) 및 화소정의막(209)과 이격되어 배치될 수 있다. 격벽(PW)은 단일층 또는 다층구조로 형성될 수 있다. 도시된 바와 같이, 격벽(PW)은 제1층(207P), 제2층(209P), 및 제3층(211P)이 적층되어 구비될 수 있다. 이 경우, 제1층(207P)은 평탄화절연층(207)과 동일한 물질로 동시에 구비될 수 있으며, 제2층(209P)은 화소정의막(209)과 동일한 물질로 동시에 구비될 수 있다. 또한, 제3층(211P)은 스페이서(211)과 동일한 물질로 동시에 구비될 수 있다. 격벽(PW)은 도 13에 도시된 바와 같이, 복수로 구비될 수 있다.
격벽(PW)의 외측에서는 박막봉지층(300)의 제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)이 직접 접촉하게 되는 바, 유기봉지층(320)이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다. 즉, 유기물에 의한 외기나 수분의 침투를 방지할 수 있다.
표시영역(DA)에서, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 정의하는 측면(420S)은 단차가 구비되지 않을 수 있다. 또는, 상기 측면(420S)는 기판(100)의 상면에 대해서 완만한 경사를 가지도록 구비될 수 있다. 일부 실시예에서, 상기 경사각은 25° ≤ θ ≤ 55° 이거나, 30° ≤ θ ≤ 50° 일 수 있다. 다른 실시예로, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 정의하는 측면(420S)에는 단차가 구비될 수 있다. 이러한 단차는 모든 화소에 대해 적용될 수도 있고 일부 화소에 대해서만 적용될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.
도 20는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 20에 있어서, 도 7과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는다.
도 20를 참조하면, 표시 장치는 기판(100), 기판(100) 상에 배치된 표시층(200), 표시층(200) 상에 배치된 박막봉지층(300) 및 기능층(400)을 포함한다.
기능층(400)은 제1개구(420OP)를 구비한 제1절연층(420), 및 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 채우며 제1절연층(420) 보다 고굴절률을 갖는 제2절연층(430)을 포함한다. 또한, 기능층(400)은 터치 버퍼층(401), 제1서브도전층(CTL1), 제2서브도전층(CTL2), 및 터치 절연층(410)을 더 포함할 수 있다.
표시영역(DA)에서, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 정의하는 측면(420S)에는 계단 형상의 단차가 구비될 수 있다. 이러한 단차는 모든 화소에 대해 적용될 수도 있고 일부 화소에 대해서만 적용될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.
주변영역(PA)에서, 제1절연층(420)의 상부에는 제1절연층(420)의 상면으로부터 돌출된 돌출댐(421)이 구비될 수 있다. 돌출댐(421)은 박막봉지층(300)의 상부에 배치되며, 박막봉지층(300)의 제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)과 중첩될 수 있다. 돌출댐(421)은 유기봉지층(320)과는 중첩되지 않을 수 있다.
한편, 주변영역(PA)에는 박막봉지층(300)의 유기봉지층(320)의 흐름을 제어하기 위한 격벽(PW)이 배치될 수 있다. 격벽(PW)은 평탄화절연층(207) 및 화소정의막(209)과 이격되어 배치될 수 있다. 격벽(PW)은 단일층 또는 다층구조로 형성될 수 있다. 도시된 바와 같이, 격벽(PW)은 제1층(207P), 제2층(209P), 및 제3층(211P)이 적층되어 구비될 수 있다. 이 경우, 제1층(207P)은 평탄화절연층(207)과 동일한 물질로 동시에 구비될 수 있으며, 제2층(209P)은 화소정의막(209)과 동일한 물질로 동시에 구비될 수 있다. 또한, 제3층(211P)은 스페이서(211)과 동일한 물질로 동시에 구비될 수 있다. 격벽(PW)은 도 13에 도시된 바와 같이, 복수로 구비될 수 있다.
격벽(PW)의 외측에서는 박막봉지층(300)의 제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)이 직접 접촉하게 되는 바, 유기봉지층(320)이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다. 즉, 유기물에 의한 외기나 수분의 침투를 방지할 수 있다.
돌출댐(421)의 외측에는 제1절연층(420)이 적어도 일부 제거되어 구비된 제1밸리부(VA1)가 배치될 수 있으며, 제1밸리부(VA1)의 외측에는 제1상부댐(423a')이 배치될 수 있다. 제1밸리부(VA1)는 제1절연층(420)이 제거되어 표시영역(DA)의 외곽을 따라 연장된 개구로 구비될 수 있다. 또는, 제1밸리부(VA1)는 제1절연층(420)을 관통하는 복수의 홀들을 포함할 수 있다.
제1상부댐(423a')의 외측에는 제2밸리부(VA2)가 배치될 수 있다. 제2밸리부(VA2)는 제1절연층(420), 및 그 하부의 유기물층이 제거되어 구비된 영역일 수 있다.
제2밸리부(VA2)의 외측에는 제2상부댐(423b')이 배치될 수 있다. 제2상부댐(423b')는 주변영역(PA)의 최외곽에 배치된 외곽댐일 수 있다. 제2상부댐(423b')는 복수의 절연층이 적층되어 구비될 수 있다. 예컨대, 제2상부댐(423b')은 평탄화절연층(207)과 동일한 층의 제1층, 화소정의막(209)과 동일한 층의 제2층, 스페이서(211)과 동일한 층의 제3층, 제1절연층(420)과 동일한 층의 제4층, 및 돌출댐(421)과 동일한 층의 제5층이 적층되어 구비될 수 있다.
본 실시예들에 따른 표시 장치는, 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)에 단차가 형성되어 제2절연층(430)이 제1개구(420OP)를 완전히 채울 수 있다. 또한, 본 실시예들에 따른 표시 장치는, 제1절연층(420) 상부에 돌출댐(421)이 구비되는 바, 제2절연층(430)의 상면이 평평하게 구비될 수 있다.
도 21 내지 도 23는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 도 21 내지 도 23에 있어서, 도 20과 동일한 참조부호는 동일 부재를 일컫는 바, 이들의 중복 설명은 생략한다.
도 21 내지 도 23를 참조하면, 본 실시예들에 따른 표시 장치의 제1절연층(420)은 하프톤 마스크 공정으로 제조될 수 있다.
본 실시예들에 따른 마스크(M1, M2, M3)는 서로 다른 광투과율을 가지는 제1영역(Ma), 제2영역(Mb), 제3영역(Mh) 영역을 구비할 수 있다. 제1영역(Ma)은 광을 투과하는 영역, 제2영역(Mb)는 광을 차단하는 영역, 제3영역(Mh)는 광을 일부만 투과시키는 영역일 수 있다. 상기 제1영역(Ma)과 제2영역(Mb) 영역의 위치는 제1절연층(420)을 형성하는 물질의 특성에 따라 바뀔 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1절연층(420)은 제1절연층(420)을 형성하는 물질을 기판 전면에 도포하고, 마스크(M1, M2, M3)를 이용하여 노광, 현상(develop), 및 경화를 하여 제1절연층(420)을 형성할 수 있다.
도 21을 참조하면, 표시장치의 표시영역(DA)에서 제1절연층(420)의 제1개구(420OP)를 정의하는 제1절연층(420)의 측면(420S)에 단차를 형성하기 위해서 하프톤 마스크를 사용할 수 있다. 마스크(M1)에는 제1개구(420OP)의 중앙부에 대응하여 제2영역(Mb)이 배치되고, 상기 측면(420S)에 대응하여 광을 일부만 투과시키는 제3영역(Mh), 표시영역(DA)의 나머지 영역에 대응하여 제1영역(Ma)이 구비될 수 있다. 또한, 마스크(M1)에는 주변영역(PA)에 대응하여 광을 일부만 투과시키는 제3영역(Mh)이 구비될 수 있다.
이에 따라, 제1개구(420OP)를 정의하는 제1절연층(420)의 측면(420S)에는 계단형상의 단차가 구비될 수 있다. 이 경우, 제1절연층(420)의 표시영역(DA)에서의 최대 두께(th1)는 제1절연층(420)의 주변영역에서의 두께(th2)보다 두껍게 구비될 수 있다.
도 22를 참조하면, 표시장치의 주변영역(PA)에서 돌출댐(421')을 제1절연층(420)과 일체로 형성하기 위해서 하프톤 마스크를 사용할 수 있다. 즉, 돌출댐(421')은 제1절연층(420)의 일부로 구비될 수 있다. 마스크(M2)에는 제1개구(420OP)의 중앙부에 대응하여 제2영역(Mb)이 배치되고, 상기 돌출댐(421')에 대응하여 제1영역(Ma), 나머지 영역에 대응하여 광을 일부만 투과시키는 제3영역(Mh)이 구비될 수 있다.
이에 따라, 주변영역(PA)에서 제1절연층(420)과 일체로 형성된 돌출댐(421')가 구비될 수 있다. 이 경우, 제1절연층(420)의 주변영역(PA)에서의 최대 두께(th2')는 제1절연층(420)의 표시영역(DA)에서의 최대 두께(th1')보다 크게 구비될 수 있다.
도 23을 참조하면, 표시장치의 주변영역(PA)에서 돌출부(421')를 제1절연층(420)과 일체로 형성하고, 표시영역(DA)에서 제1개구(420OP)를 정의하는 제1절연층(420)의 측면(420S)에 단차를 형성하기 위해서 하프톤 마스크를 사용할 수 있다. 마스크(M3)에는 제1개구(420OP)의 중앙부에 대응하여 제2영역(Mb)이 배치되고, 상기 측면(420S)에 대응하여 광을 일부만 투과시키는 제3영역(Mh), 표시영역(DA)의 나머지 영역에 대응하여 제1영역(Ma)이 구비될 수 있다. 또한, 마스크(M3)에는 상기 돌출부(421')에 대응하여 제1영역(Ma), 주변영역(PA)의 나머지 영역에 대응하여 광을 일부만 투과시키는 제3영역(Mh)이 구비될 수 있다.
이에 따라, 표시영역(DA)에서 제1개구(420OP)를 정의하는 측면(420S)에 계단 형상의 단차가 형성되고, 주변영역(PA)에서 제1절연층(420)과 일체로 형성된 돌출부(421')가 구비될 수 있다. 이 경우, 제1절연층(420)의 주변영역(PA)에서의 최대 두께(th2')는 제1절연층(420)의 표시영역(DA)에서의 최대 두께(th1)와 실질적으로 동일하게 구비될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 기판
200: 표시층
209: 화소정의막
209 OP: 화소정의막의 개구(제2개구)
221: 화소전극
222: 중간층
223: 대향전극
300: 박막봉지층
310: 제1무기봉지층
320: 유기봉지층
330: 제2무기봉지층
400, 400': 기능층 (터치센싱층)
420: 제1절연층
420S: 측면
420OP: 제1개구
430: 제2절연층

Claims (30)

  1. 표시영역과 상기 표시영역 외측의 주변영역을 구비한 기판;
    상기 기판 상에서, 상기 표시영역에 배치된 표시 요소;
    상기 표시 요소 상에 배치되며, 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함하는 박막봉지층; 및
    상기 박막봉지층 상에 배치되는 기능층;을 포함하고,
    상기 기능층은,
    상기 박막봉지층의 상부에서 상기 표시 요소의 발광영역에 대응하는 제1개구를 구비하고, 유기물을 포함하는 제1절연층; 및
    상기 제1절연층을 덮으며, 상기 제1절연층의 굴절률 보다 큰 굴절률을 가지는 제2절연층;을 포함하며,
    상기 제1개구를 정의하는 상기 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비한, 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1절연층의 상기 제1개구는 상기 표시 요소의 발광영역과 중첩하고,
    상기 제2절연층은 상기 제1개구를 채우는, 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기능층은,
    상기 제1절연층 하부에 배치되며, 센싱전극들을 포함하는 도전층;을 더 포함하는, 표시 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 도전층은 제1서브도전층 및 제2서브도전층을 포함하며, 상기 제1서브도전층 및 상기 제2서브도전층 사이에는 터치 절연층이 배치된, 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 표시 요소는,
    화소전극;
    상기 화소전극의 에지를 커버하며, 상기 화소전극을 노출하는 제2개구를 포함하는 화소정의막;
    상기 제2개구에 위치하는 발광층; 및
    상기 발광층을 커버하는 대향전극;을 포함하며,
    상기 제1절연층의 바디 부분은 상기 화소정의막의 바디와 중첩하는, 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1개구의 폭은 상기 제2개구의 폭 보다 큰, 표시 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 표시 장치는 서로 다른 광을 방출하는 제1화소 및 제2화소를 포함하며,
    상기 제1절연층은 상기 제1화소에 대응하는 제1-1개구 및 제2화소에 대응하는 제1-2개구를 포함하며, 상기 제1-1개구를 정의하는 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비하고, 상기 제1-2개구를 정의하는 제1절연층의 측면은 단차를 구비하지 않는, 표시 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1화소의 발광영역은 상기 제2화소의 발광영역보다 큰, 표시 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1절연층은 상기 주변영역까지 연장되며,
    상기 주변영역에서 상기 제1절연층의 상부에서 돌출된 돌출댐;을 더 포함하는, 표시 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 발광영역과 중첩하는 컬러필터, 및 상기 발광영역 외측의 비발광영역과 중첩하는 블랙매트릭스를 구비한 반사방지층;을 더 포함하는, 표시 장치.
  11. 표시영역과 상기 표시영역 외측의 주변영역을 구비한 기판;
    상기 기판 상에서, 상기 표시영역에 배치된 표시 요소;
    상기 표시 요소 상에 배치되며, 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함하는 박막봉지층; 및
    상기 박막봉지층 상에 배치되는 기능층;을 포함하고,
    상기 기능층은,
    상기 박막봉지층의 상부에서 상기 표시 요소의 발광영역에 대응하는 제1개구를 구비하며, 유기물을 포함하는 제1절연층; 및
    상기 제1절연층을 덮으며, 상기 제1절연층의 굴절률 보다 큰 굴절률을 가지는 제2절연층;을 포함하며,
    상기 주변영역에서 상기 제1절연층의 상부에 돌출된 돌출댐;을 포함하는, 표시 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 돌출댐은 상기 제1절연층과 일체로 구비된, 표시 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 주변영역에서 상기 돌출댐보다 상기 표시영역에 인접하게 배치된 격벽;을 더 포함하며,
    상기 박막봉지층은 순차적으로 적층된 제1무기봉지층, 유기봉지층, 및 제2무기봉지층을 포함하고,
    상기 격벽의 일측에서 상기 제1무기봉지층과 상기 제2무기봉지층은 서로 접하는, 표시 장치.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 돌출댐의 외측에서, 상기 돌출댐과 이격되어 배치된 상부댐;을 더 포함하며,
    상기 돌출댐과 상기 상부댐 사이에는 상기 제1절연층이 적어도 일부 제거된 밸리부가 배치된, 표시 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 상부댐의 두께는 상기 돌출댐의 두께와 동일한, 표시 장치.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 돌출댐은 복수로 구비되며, 상기 복수의 돌출댐은 서로 이격되어 배치된, 표시 장치.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 돌출댐은 상기 표시 영역의 외곽을 따라 배치된, 표시 장치.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 돌출댐에는 복수의 개구 또는 그루브가 구비된, 표시 장치.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 주변영역에서 상기 돌출댐과 상기 표시영역 사이에 배치된 제1밸리부; 및
    상기 돌출댐과 상기 기판의 끝단 사이에 배치된 제2밸리부;를 더 포함하며,
    상기 제1밸리부에는 상기 제1절연층을 관통하는 복수의 제1홀들이 배치되고,
    상기 제2밸리부는 상기 제1절연층이 상기 표시영역의 둘레를 따라 제거된 개구로 구비된, 표시 장치.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 제1개구를 정의하는 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비한, 표시 장치.
  21. 표시영역 및 상기 표시영역 외측의 주변영역을 포함하는 기판에서, 상기 기판의 상기 표시영역에 표시 요소를 형성하는 단계;
    상기 표시 요소를 덮는 박막봉지층을 형성하는 단계; 및
    상기 박막봉지층 상부에 기능층을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 기능층은,
    상기 박막봉지층의 상부에서 상기 표시 요소의 발광영역에 대응하는 제1개구를 구비하고, 유기물을 포함하는 제1절연층; 및
    상기 제1절연층을 덮으며, 상기 제1절연층의 굴절률 보다 큰 굴절률을 가지는 제2절연층;을 포함하며,
    상기 제1절연층은 하프톤 마스크를 이용하여 형성되는, 표시 장치의 제조방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 제1개구를 정의하는 상기 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비하고,
    상기 제1절연층은 상기 주변영역까지 연장되며, 상기 제1절연층의 상기 표시영역에서의 최대 두께는 상기 제1절연층의 상기 주변영역에서의 두께보다 크게 구비된, 표시 장치의 제조방법.
  23. 제21항에 있어서,
    상기 제1절연층은 상기 주변영역까지 연장되며, 상기 제1절연층의 끝단에는 상기 제1절연층의 상부에 돌출된 돌출댐을 구비하고, 상기 돌출댐은 상기 제1절연층과 일체로 형성된, 표시 장치의 제조방법.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 제1절연층의 주변영역에서의 최대 두께는 상기 제1절연층의 상기 표시영역에서의 최대 두께보다 크게 구비된, 표시 장치의 제조방법.
  25. 제21항에 있어서,
    상기 제1개구를 정의하는 상기 제1절연층의 측면은 계단 형상의 단차를 구비하고,
    상기 제1절연층은 상기 주변영역까지 연장되며, 상기 제1절연층의 끝단에는 상기 제1절연층의 상부에 돌출된 돌출댐을 구비하며, 상기 단차와 상기 돌출댐은 동시에 형성된, 표시 장치의 제조방법.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 제1절연층의 상기 주변영역에서의 최대 두께는 상기 제1절연층의 상기 표시영역에서의 최대 두께와 실질적으로 동일하게 구비된, 표시 장치의 제조방법.
  27. 제21항에 있어서,
    상기 제1절연층의 상기 제1개구는 상기 표시 요소의 발광영역과 중첩하고,
    상기 제2절연층은 상기 제1개구를 채우는, 표시 장치의 제조방법.
  28. 제21항에 있어서,
    상기 기능층은,
    상기 제1절연층 하부에 배치되며, 센싱전극들을 포함하는 도전층;을 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 발광영역과 중첩하는 컬러필터, 및 상기 발광영역 외측의 비발광영역과 중첩하는 블랙매트릭스를 구비한 반사방지층;을 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  30. 제29항에 있어서,
    상기 반사방지층은 상기 제1절연층과 상기 도전층 사이에 배치된, 표시 장치의 제조방법.
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