KR20210150234A - 기판의 열처리 오븐 - Google Patents

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KR20210150234A
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Abstract

기판의 열처리 오븐에 관하여 개시한다. 본 발명은, 기판을 챔버 안에 마련된 공간에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하기 위해 전면부에는 적어도 하나의 도어를, 후면부에는 적어도 하나의 셔터를 구비하는 열처리 오븐; 상기 도어의 양측편 수평 방향으로 돌출된 베어링 샤프트; 상기 베어링 샤프트를 축 결합으로 유도하는 상하 이동 트랙을 구비하고, 상기 도어의 이동을 상하 이동으로 안내하기 위해 상기 도어의 양측편에 수직 방향으로 설치된 상하 이동 가이드; 및 상기 도어의 측면과 결합되는 가동 실린더를 구비하여 상기 도어를 상기 상하 이동 트랙을 따라 상하 이동 개폐시키는 도어 작동 기구부;를 포함하여 구성될 수 있다.

Description

기판의 열처리 오븐{Substrate heat treatment oven}
본 발명은 평판 디스플레이를 열처리 하는 열처리 오븐에 관한 것으로, 열처리 오븐을 구성하는 도어(door) 및 셔터(shutter) 그리고 밀폐 성능을 개선하는 기판의 열처리 오븐에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치 및 LCD 글라스 기판(이하, '평판 디스플레이'라 칭한다) 등은 화상 스크린, TV, 휴대폰, 모니터 등 여러 종류의 화상기기들에 사용되고 있다. 유기 발광 표시 장치 및 LCD 글라스 기판 등은 차세대 디스플레이 중 하나로서 다양한 분야에 적용되고 있어 근래의 이 분야 평판 디스플레이 제조 기술은 성능과 수율 향상을 위한 기술 개발이 계속되고 있다.
평판 디스플레이의 대표적인 유기 발광 표시 장치나 LCD 글라스 기판(이하, '기판' 또는 '글라스 기판'으로 칭한다)을 제조하는데 있어서 온도 관리와 온도 균일도는 양품의 기판 품질과 수율 유지를 위해 반드시 필요하다.
예를 들면, 유기 발광 표시 장치 제조 공정에서는 기판 표면에 유기물층이 형성되어 일정량의 수분을 포함할 수 있기 때문에 수분을 증발시키는 건조 공정을 필요로 하고 있다.
LCD 글라스 기판 제조 공정에서는 기판 표면에 감광막을 코팅하기 전에 세정과정을 거치는데 세정과정 후에는 수분을 제거하기 위한 가열 건조 공정을 수행하고 있다.
그리고 감광막을 LCD 글라스 기판에 코팅한 후에는 노광 및 현상공정을 수행한다. 이러한 노광 및 현상공정 전에는 프리 베이킹(pre-baking), 노광 및 현상공정 후에는 포스트 베이킹(post-baking) 공정을 차례로 수행하고 있다.
이렇게 기판 제조 공정의 대부분은 가열 및 건조 공정을 수행하여 기판을 제 조하고 있다. 기판 제조 공정에서 발생되는 수분은 적외선을 활용하거나 히터(sheath heater) 등의 발열체를 포함하는 열처리 오븐의 챔버에 넣어 가열 건조를 통해 제거하고 있다.
기판의 열처리 오븐과 관련하여 국내 등록특허공보 제10-2094763호에 제안되어 있다.
열처리 오븐의 챔버를 통해 평판 디스플레이 기판을 열처리 하기 위해서는 각 공정마다 요구하는 조건이 있다. 이러한 모든 조건을 만족시키기 위해서는 챔버에 미치는 외기의 영향을 막고 챔버 밖으로의 열 방출 손실을 최소화 해야지만 기판의 열처리 성능 저하를 방지할 수 있고 단일 공정에서의 제품 불량률을 낮춰 원하는 공정 조건을 충족시킬 수 있다.
또한, 열처리 오븐의 열처리를 통한 완제품의 수율 향상을 위해서는 열처리시 기판의 면내 편차가 적을수록 좋기 때문에 고성능을 낼 수 있는 열처리 오븐에 대한 수요가 지속적으로 요구되고 있으나 기존의 열처리 오븐은 요구 수요를 만족시키지 못하고 있다.
한편, 열처리 오븐을 통한 기판의 열처리 전후 과정에서 기판을 챔버에 넣거나 열처리를 마친 기판을 반출하는 동시에 외기의 챔버내 유입과 챔버내 프로세스 가스의 방출을 차단하기 위해 도어와 셔터를 구비하고 있다.
열처리 오븐의 도어 및 셔터와 관련하여, 국내 등록특허공보 제10-1663262호에는 '열처리 오븐의 셔터장치'가, 국내 등록특허공보 제10-1327920호에는 '글라스 열처리용 오븐의 셔터 구동장치'가 제안되어 있다.
예를 들면, 기존의 열처리 오븐의 도어 및 셔터는 챔버 챔버의 외부에 도어를 설치하여 좌우로 열고 닫는 형식, 또는 핸들을 이용하여 좌우로 개폐하는 형식, 볼트로 고정형식 등으로 제안되어 있다.
그러나, 기존 열처리 오븐의 챔버 도어 개폐 형식은, 개폐 조작이 번거롭고 복잡할 뿐만 아니라 챔버 내 열손실을 발생시키는 원인이 되고 있다. 즉, 도어와 챔버의 밀착 접촉을 통한 밀폐(sealing) 성능을 제공하기에는 도어와 챔버 표면이 고르게 밀착되지 않기 때문에 틈새를 통해 챔버내 열이 방출되거나 외기가 유입되어 열손실이 발생되고 있다.
따라서, 열처리 오븐 챔버에 알맞은 도어 및 셔터의 밀폐 구조와 고온 사양에 맞는 밀폐 성능을 확보할 수 있는 형식의 기판의 열처리 오븐에 요구되고 있다.
이에 따라, 본 출원인 발명자는 좌우로 열고 닫는 형식의 도어 개폐방식을 실린더와 베어링을 이용하여 상하로 개폐하도록 하고, 브라켓과 실링재을 이용하여 도어를 챔버와 긴밀한 상태로 밀착시켜 밀폐성능을 확보함으로서 챔버내 열손실을 줄이는 고성능의 기판의 열처리 오븐을 제안하고자 한다.
특허문헌 1. 국내 등록특허공보 제10-2094763호(공고일 2020년03월31일) 특허문헌 2. 국내 등록특허공보 제10-1663262호(공고일 2016년10월07일) 특허문헌 3. 국내 등록특허공보 제10-1327920호(공고일 2013년11월20일)
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리 오븐의 도어의 개폐 방식을 상하 개폐 작동식으로 변경하여 조작 안정성과 설치 공간의 효율성을 제공하는데 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리 오븐 챔버에 알맞은 도어 및 셔터의 밀폐 구조와 고온 사양에 맞는 밀폐 성능을 확보하여 챔버 열손실을 최소화 하는데 있다.
상기 목적들은, 본 발명에 따르면, 기판을 챔버 안에 마련된 공간에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하기 위해 전면부에는 적어도 하나의 도어를, 후면부에는 적어도 하나의 셔터를 구비하는 열처리 오븐; 상기 도어의 양측편 수평 방향으로 돌출된 베어링 샤프트; 상기 베어링 샤프트를 축 결합으로 유도하는 상하 이동 트랙을 구비하고, 상기 도어의 이동을 상하 이동으로 안내하기 위해 상기 도어의 양측편에 수직 방향으로 설치된 상하 이동 가이드; 및 상기 도어의 측면과 결합되는 가동 실린더를 구비하여 상기 도어를 상기 상하 이동 트랙을 따라 상하 이동 개폐시키는 도어 작동 기구부;를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 베어링 샤프트는 상기 도어의 베어링 샤프트 장착용 블럭에 결합되어 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 도어에는 지지용 브라켓이 설치되고, 상기 지지용 브라켓에는 이동 스크류가 결합되어 외부에서 상기 이동 스크류를 회전시켜 도어를 챔버 쪽으로 밀착시키는 도어 밀착용 노브를 구비하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 도어와 챔버 사이에는 실리콘 밀폐부재를 삽입하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 실리콘 밀폐부재는 상기 도어가 위치하는 외부 방향으로 편중되어 형성된 탄성변형공간을 구비하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 셔터와 챔버 사이에는 실리콘 밀폐부재를 삽입하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 실리콘 밀폐부재는 상기 셔터가 위치하는 외부 방향으로 편중되어 형성된 탄성변형공간을 구비하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 실리콘 밀폐부재가 위치하는 주변부로는 실링용 실리콘 밀폐부재를 냉각시켜 경화에 따른 밀폐성능 저하를 방지하는 냉각수 라인을 구비하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 셔터는 상기 챔버의 내부에서 외부로 방출되는 열을 차폐시켜주는 복수의 차폐판을 구비하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 차폐판은 챔버와 대면하는 내측 차폐판과 상기 내측 차폐판으로부터 이격된 위치에 놓이는 중간 차폐판 및 상기 중간 차폐판으로부터 이격된 위치에 놓이는 외측 차폐판으로 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 중간 차폐판을 경유하도록 냉각수가 유동하는 냉각수 라인을 구비하여 주변 온도를 낮추도록 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판의 열처리 오븐은, 열처리 오븐의 도어의 개폐 방식을 실린더를 통한 상하 개폐 작동식으로 변경함으로써 좌우로 열리는 도어 개폐 방식에 비해 불필요한 공간을 최소화하여 열처리 오븐의 설치 여유 공간을 충분히 확보하고, 도어 개폐에 따른 조작 안성성을 개선하는 효과가 있다.
본 발명에 따른 기판의 열처리 오븐은, 열처리 오븐 챔버에 알맞은 도어 및 셔터의 밀폐 구조와 고온 사양에 맞는 밀폐 성능을 확보하여 챔버 열손실을 최소화하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 전면부를 보인 예시이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 후면부를 보인 예시이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 정면을 보인 예시이다.
도 4는 도 3의 A-A선 단면도의 예시이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 도어 상하 작동부를 보인 예시이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 도어 상하 이동 가이드부를 발췌하여 보인 예시이다.
도 7은 도 4 및 도 6의 C부를 발췌하여 단면도로 상세하게 보인 예시이다.
도 8은 도 4의 D부를 발췌하여 단면도로 상세하게 보인 예시이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 챔버와 셔터에 설치되는 실리콘 밀폐부재의 열경화를 방지하는 냉각 유닛을 보인 예시이다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 셔터에 설치되는 냉각 유닛을 보인 예시이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 '기판의 열처리 오븐'의 내용을 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
일반적으로 기판을 열처리 하기 위한 열처리 오븐에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 열처리 대상 기판을 챔버 안에 마련된 각단에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하기 위해 전면부에는 도어를, 후면 부에는 셔터를 각각 구비할 수 있다.
기판의 열처리 오븐의 도어 및 셔터는 열처리 공정 중에는 밀폐 구조일 것과 고온 사용에도 문제가 없을 것, 그리고 도어 개폐 시 간섭이 없으며 안전할 것을 요구한다.
또한, 기판의 열처리 오븐을 제작 할 때 장비의 기본적인 사양은 여러가지 중에서 선택할 수 있으나 열처리 공정 중 챔버내 열손실을 최소화할 수 있는 고성능의 밀폐 구조가 중요하다.
그런데 기존 열처리 오븐의 도어는, 예를 들면, 챔버의 외부에 도어를 설치하여 좌우 슬라이딩으로 여닫는 형식, 또는 핸들을 이용하여 좌우로 개폐하는 형식, 볼트로 고정하는 형식이므로 개폐 조작이 번거롭고 복잡할 뿐만 아니라 도어의 개폐 공간이 충분히 확보되어야 하는 배치 공간상의 제약이 따르고, 챔버 내 열손실을 충분히 제어하지 못하고 있다.
즉, 도어와 챔버의 밀착 접촉을 통한 밀폐(sealing) 성능을 제공하기에는 도어와 챔버 표면이 고르게 밀착되지 않기 때문에 틈새를 통해 챔버내 열이 방출되거나 외기가 유입되어 지속적으로 열손실이 발생되고 있다.
이에 따라, 본 발명에서는 기존의 열처리 오븐의 도어 좌우 개폐 방식을 실린더와 베어링을 통한 상하 개폐 작동식으로 변경하여 도어의 조작 안정성과 설치 공간의 효율성을 제공하는 열처리 오븐을 제시한다.
또한, 본 발명에서는 브라켓을 이용하여 챔버에 도어를 밀착 시키고 열처리 오븐 챔버에 알맞은 도어 및 셔터의 밀폐 구조와 고온 사양에 맞는 밀폐 성능을 확보하여 챔버의 열손실을 최소화 할 수 있는 열처리 오븐을 제시한다.
즉, 본 발명에서는 실린더와 베어링을 이용하여 도어를 상하로 개폐하고 브라켓을 이용하여 도어를 챔버와 긴밀한 상태로 밀착 시키는 것을 통해 고성능의 열처리 오븐을 제시한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 보다 구체적인 내용을 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 전면부를 보인 예시이다. 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 후면부를 보인 예시이다. 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 정면을 보인 예시이다.
열처리 오븐(100)은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 가열 또는 건조를 필요로 하는 기판(미도시)을 통과시키는 투입구(111)가 마련된 챔버(110)를 구비하고, 챔버(110) 내에는 히터로 이루어지는 발열체를 실장하여 히터로부터 발생되는 열로 기판을 가열하거나 수분을 증발 건조 시키도록 구성된다. 그리고, 히터의 상하부에 상/하부 열전달플레이트를 밀착되도록 설치하여 구성될 수 있다.
열처리 오븐(100)의 챔버(110)의 일측으로는 프로세스 가스를 포함하는 유체를 유입시키는 급기구, 챔버(110)내 유체를 배기시키는 배기구를 구비하고, 챔버(110)를 지지하고 받쳐주는 러그(121)들을 포함하는 프레임(120) 및 히터의 발열선을 접속시켜 전류를 통전시키는 다수의 부스바들이 접속된 도전부를 포함하여 구성될 수 있다.
한편, 도 1 내지 3을 참조하면, 열처리 오븐을 구성하는 기본적인 구성들, 예를 들면, 히터, 상/하부의 열전달플레이트, 프로세스 가스의 급기 및 배기계통, 히터에 전원을 공급하는 도전부를 포함하는 전원공급계통의 구성들은 본 발명과 직접 관련이 없다. 그리고, 열처리 오븐의 기본적인 해당 구성들은 본 발명의 요지와 무관하고 공지된 구성들이므로 본 발명을 설명하는 도면에서는 그 도시를 생략한다.
본 발명에 따른 기판의 열처리 오븐(100)은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 열처리 대상 기판을 챔버(110) 안에 마련된 각단에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버(110)로부터 반출하기 위해 전면부에는 적어도 하나의 도어(200)를, 후면부에는 셔터(300)를 각각 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 기판의 열처리 오븐(100)의 주요 부분의 구성은 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같다.
도 4는 도 3의 A-A선 단면도의 예시이다. 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 도어 상하 작동부를 보인 예시이다. 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 열처리 오븐의 도어 상하 이동 가이드부를 발췌하여 보인 예시이다. 도 7은 도 4 및 도 6의 C부를 발췌하여 단면도로 상세하게 보인 예시이다. 도 8은 도 4의 D부를 발췌하여 단면도로 상세하게 보인 예시이다.
본 발명에 따른 기판의 열처리 오븐(100)은 도어(200)의 양측편 수평 방향으로 돌출된 베어링 샤프트(210)가 구성된다.
그리고, 베어링 샤프트(210)를 축 결합으로 유도하는 상하 이동 트랙(230)을 구비하고, 도어(200)의 이동을 상하 이동으로 안내하기 위해 도어(200)의 양측편에 수직 방향으로 설치된 상하 이동 가이드(220)가 구성된다.
그리고, 도어(200)의 측면과 결합되는 가동 실린더(410)를 구비하여 도어(200)를 상하 이동 트랙(220)을 따라 상하 이동 개폐시키는 도어 작동 기구부(400)를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 베어링 샤프트(210)는 도어(200)의 베어링 샤프트 장착용 블럭(240)에 결합하여 구성될 수 있다.
또한, 도어(200)에는 지지용 브라켓(260)이 설치되고, 지지용 브라켓(260)에는 스크류(251)가 결합되어 외부에서 스크류(251)를 회전시켜 도어(200)를 챔버(110) 쪽으로 밀착시키는 도어 밀착용 노브(250)를 설치하여 구성될 수 있다.
또한, 도어(200)와 챔버(110) 사이에는 실리콘 밀폐부재(500)를 삽입하여 도어(200)와 챔버(110)의 접촉면 사이를 긴밀한 밀폐 상태로 유지시켜 챔버(110) 내의 열이 외부로 방출되지 않도록 제어하도록 구성될 수 있다.
또한, 셔터(300)와 챔버(110) 사이에는 실리콘 밀폐부재(500)를 삽입하여 셔터(300)와 챔버(110)의 접촉면 사이를 긴밀한 밀폐 상태로 유지시켜 챔버(110) 내의 열이 외부로 방출되지 않도록 제어하도록 구성될 수 있다.
또한, 실리콘 밀폐부재(500)는 도어(200)가 위치하는 외부 방향으로 편중되어 형성된 탄성변형공간(510)을 구비하여 구성될 수 있다.
이를 통해, 도어(200)를 닫는 경우 실리콘 밀폐부재(500)의 탄성변형공간(510)이 도어(200)를 닫음과 동시에 먼저 변형되면서 도어(200)와 챔버(110)의 접촉면 사이의 틈을 막아 긴밀한 상태의 접촉면을 형성하여 도어(200)와 챔버(110)의 접촉면 사이의 기밀성을 유지시키게 된다.
또한, 실리콘 밀폐부재(500)는 셔터(200)가 위치하는 외부 방향으로 편중되어 형성된 탄성변형공간(510)을 구비하여 구성될 수 있다.
이를 통해, 셔터(300)를 닫는 경우 실리콘 밀폐부재(500)의 탄성변형공간(510)이 셔터(300)를 닫음과 동시에 먼저 변형되면서 셔터(200)와 챔버(110)의 접촉면 사이의 틈을 막아 긴밀한 상태의 접촉면을 형성하여 셔터(300)와 챔버(110)의 접촉면 사이의 기밀성을 유지시키게 된다.
여기서, 실리콘 밀폐부재(500)는 챔버(110)와 도어(200)측 그리고 셔터(300)측 사이에 삽입되어 밀폐재로서 바람직한 성능을 나타낼 수 있다. 실리콘 밀폐부재챔버 및 주변 구조물에 비해 풍부한 인장력과 탄성을 가지면서도 고온 사양에서도 견디는 물성을 갖는 바람직한 밀폐재로 선택될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판의 열처리 오븐은 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 냉각 유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 챔버와 셔터에 설치되는 실리콘 밀폐부재의 열경화를 방지하는 냉각 유닛을 보인 예시이다.
도 9에 도시된 바와 같이 실리콘 밀폐부재(500)가 위치하는 주변부로는 냉각수 라인(520)을 설치하는 것이 바람직할 수 있다. 도 9는 셔터측에 설치된 실리콘 밀폐부재(500)의 냉각 구조를 설명하는 예시이지만 동일한 원리와 구조로 도어측에도 냉각 유닛이 설치될 수 있다.
이를 통해 각각 도어측과 셔터측에 설치되는 실링용 실리콘 밀폐부재(500)를 냉각시켜 경화에 따른 밀폐성능 저하를 효과적으로 방지할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 셔터에 설치되는 냉각 유닛을 보인 예시이다.
도 10에 도시된 바와 같이 셔터는 챔버의 내부에서 외부로 방출되는 열을 차폐시켜주는 복수의 차폐판(310)을 구비하도록 구성하는 것이 바람직할 수 있다.
차폐판(310)은 바람직하기로는 챔버(110)와 대면하는 내측 차폐판(311)과 내측 차폐판(311)으로부터 이격된 위치에 놓이는 중간 차폐판(312) 및 중간 차폐판(312)으로부터 이격된 위치에 놓이는 외측 차폐판(313)으로 구성하는 것이 바람직할 수 있다.
그리고, 중간 차폐판(312)을 기준으로 냉각수가 유동하는 냉각수 라인(320)을 구비하여 구성될 수 있다.
이를 통해 셔터(300)의 주변 온도를 낮출 수 있고 주변부에 설치되는 실리콘 밀폐부재(500)의 열경화를 방지하여 밀폐 성능 저하를 방지하고 안정적으로 밀폐성능을 유지할 수 있다.
본 발명에 따른 기판의 열처리 오븐(100)의 작동을 도 4 내지 도 8을 참조하여 설명한다.
먼저, 도어(200)를 여는 동작은 도어 작동 기구부(400)의 가동 실린더(410)를 작동시키면 가동 실린더(410)의 가동 로드(420)가 도어(200)를 상부로 밀어올린다.
이때 도어(200)로부터 돌출된 베어링 샤프트(210)는 상하 이동 가이드(220) 의 상하 이동 트랙(230)을 따라 상부로 이동되고, 가동 실린더(410)의 작동을 멈추면 도어(200)는 현재 위치에서 열림 상태로 대기된다.
다음, 반대로 도어(200)를 닫는 동작은 도어 작동 기구부(400)의 가동 실린더(410)를 작동시켜 가동 실린더(410)의 가동 로드(420)를 원위치 방향으로 리턴 시키면 도어(200)를 원위치 방향으로 당기게 된다.
이때 도어(200)로부터 돌출된 베어링 샤프트(210)는 상하 이동 가이드(220) 의 상하 이동 트랙(230)을 따라 하부로 이동되고, 가동 실린더(410)의 작동을 멈추면 도어(200)는 현재 위치에서 닫힘 상태가 유지된다.
여기서, 베어링 샤프트(210)는 도어(200)의 베어링 샤프트 장착용 블럭(240)에 결합되어 파손이 방지되고 안전하면서도 원할한 도어(200)의 개폐 작용을 돕는다.
한편, 도어(200)에는 지지용 브라켓(260)이 설치되고, 지지용 브라켓(260)에는 이동 스크류(251)가 결합되어 외부에서 이동 스크류(251)를 회전시켜 도어(200)를 챔버(110) 쪽으로 밀착시키는 도어 밀착용 노브(250)를 설치하여 구성될 수 있다.
도어 밀착용 노브(250)를 손으로 잡고 회전시키면 이동 스크류(251)가 지지용 브라켓(260)을 따라 직선 방향으로 이동하면서 도어(200)를 챔버(110)의 접촉면 방향으로 밀착되도록 이동시키게 된다.
이에 따라, 도어(200)와 챔버(110)의 접촉 대응면 사이는 들뜸이나 틈새가 줄어들어 긴밀한 밀착상태를 유지시킨다.
또한, 도어(200)와 챔버(110) 사이에는 실리콘 밀폐부재(500)가 삽입되어 있다. 도어(200)를 닫으면 실리콘 밀폐부재(500)는 도어(200)와 챔버(110)의 접촉면 사이를 긴밀한 밀폐 상태로 밀착시켜 챔버(110) 내의 열이 도어(200)의 외부로 방출되지 않도록 제어하는 작용을 나타낸다.
또한, 셔터(300)와 챔버(110) 사이에는 실리콘 밀폐부재(500)가 삽입되어 셔터(300)를 닫으면 실리콘 밀폐부재(500)는 셔터(300)와 챔버(110)의 접촉면 사이를 긴밀한 밀폐 상태로 밀착시켜 챔버(110) 내의 열이 셔터(300)의 외부로 방출되지 않도록 제어하는 작용을 나타낸다.
이를 통해, 도어(200)와 셔터(300)를 닫는 경우 실리콘 밀폐부재(500)의 탄성변형공간(510)이 도어(200)와 셔터(300)를 닫음과 동시에 먼저 변형되면서 도어(200)와 셔터(200)의 각 챔버(110)의 접촉면 사이의 틈을 막아 긴밀한 상태의 접촉면을 형성하여 셔터(300)와 챔버(110)의 접촉면 사이의 기밀성을 유지시키게 된다.
본 발명에 따른 열처리 오븐은 열처리 공정 중에는 밀폐 구조를 효과적으로 유지할 수 있고, 고온 사용에도 문제가 없으며, 도어의 작동이 전체 열처리 오븐이 차지하는 자체 부피 면적을 초과하지 않는 상하 작동 영역을 가지기 때문에 도어 작동 중 설치 공간에 따른 간섭이 없다. 그리고, 가동 실린더를 통해 도어를 개폐할 수 있으므르 작업 안전성이 개선될 수 있다.
본 발명에 따른 기판의 열처리 오븐은, 열처리 오븐의 도어의 개폐 방식을 실린더를 통한 상하 개폐 작동식으로 변경함으로써 좌우로 열리는 도어 개폐 방식에 비해 불필요한 공간을 최소화하여 열처리 오븐의 설치 여유 공간을 충분히 확보하고, 도어 개폐에 따른 조작 안성성을 개선하는 이점이 있다.
본 발명에 따른 기판의 열처리 오븐은, 열처리 오븐 챔버에 알맞은 도어 및 셔터의 밀폐 구조와 고온 사양에 맞는 밀폐 성능을 확보하여 챔버 열손실을 최소화하는 고신뢰성의 열처리 오븐을 제공하는 이점이 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일실시예를 참고로 설명되었으나 실시 예로 한정되지 않으며 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있으며 수정과 변형이 이루어진 것은 본 발명의 기술 사상에 포함된다.
100: 열처리 오븐 110: 챔버
200: 도어 210: 베어링 샤프트
220: 상하 이동 가이드 230: 상하 이동 트랙
240: 베어링 샤프트 장착용 블럭 250: 도어 밀착용 노브
251: 이동 스크류 260: 지지용 브라켓
300: 셔터 310: 차폐판
311: 내측 차폐판 312: 중간 차폐판
313: 외측 차폐판 320: 냉각수 라인(cooling pipe)
400: 도어 작동 기구부
410: 가동 실린더 420: 가동 로드
500: 실리콘 밀폐부재 510: 탄성변형공간
520: 냉각수 라인(cooling pipe)

Claims (11)

  1. 기판을 챔버 안에 마련된 공간에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하기 위해 전면부에는 적어도 하나의 도어를, 후면부에는 적어도 하나의 셔터를 구비하는 열처리 오븐;
    상기 도어의 양측편 수평 방향으로 돌출된 베어링 샤프트;
    상기 베어링 샤프트를 축 결합으로 유도하는 상하 이동 트랙을 구비하고, 상기 도어의 이동을 상하 이동으로 안내하기 위해 상기 도어의 양측편에 수직 방향으로 설치된 상하 이동 가이드; 및
    상기 도어의 측면과 결합되는 가동 실린더를 구비하여 상기 도어를 상기 상하 이동 트랙을 따라 상하 이동 개폐시키는 도어 작동 기구부;를 포함하는, 기판의 열처리 오븐.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베어링 샤프트는 상기 도어의 베어링 샤프트 장착용 블럭에 결합된 것을 특징으로 하는, 기판의 열처리 오븐.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어에는 지지용 브라켓이 설치되고, 상기 지지용 브라켓에는 이동 스크류가 결합되어 외부에서 상기 이동 스크류를 회전시켜 도어를 챔버 쪽으로 밀착시키는 도어 밀착용 노브를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어와 챔버 사이에는 실리콘 밀폐부재가 삽입된 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 실리콘 밀폐부재는 상기 도어가 위치하는 외부 방향으로 편중되어 형성된 탄성변형공간을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 셔터와 챔버 사이에는 실리콘 밀폐부재가 삽입된 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 실리콘 밀폐부재는 상기 셔터가 위치하는 외부 방향으로 편중되어 형성된 탄성변형공간을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
  8. 제 4 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 실리콘 밀폐부재가 위치하는 주변부로는 실링용 실리콘 밀폐부재를 냉각시켜 경화에 따른 밀폐성능 저하를 방지하는 냉각수 라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 셔터는 상기 챔버의 내부에서 외부로 방출되는 열을 차폐시켜주는 복수의 차폐판을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 차폐판은 챔버와 대면하는 내측 차폐판과 상기 내측 차폐판으로부터 이격된 위치에 놓이는 중간 차폐판 및 상기 중간 차폐판으로부터 이격된 위치에 놓이는 외측 차폐판으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 중간 차폐판을 경유하도록 냉각수가 유동하는 냉각수 라인을 구비하여 주변 온도를 낮추도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 오븐.
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