CN105892106B - 烟雾排放系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种烟雾排放系统，包括烟雾源、与烟雾源相连通的隔离室、及将隔离室的顶部与底部相连通的风道；隔离室的顶部设有风机过滤机组，底部设有排气口及鼓风机和过滤器，风道内部设有空调设备；风机过滤机组与鼓风机之间形成向下的气流，该气流于隔离室与风道的内部构成循环回路，从而使烟雾源产生的烟雾进入隔离室后沿该循环回路进入风道，并通过空调设备排出；可减少热硬化室内所产生的烟雾的凝结和外泄，减少烟雾所造成的不良影响；此外还可减少因热硬化室本身向外放热而对周边环境温度所造成的不良影响。
Description
技术领域
本发明涉及显示面板的制造领域，尤其涉及一种烟雾排放系统。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。
通常液晶显示面板由彩膜(CF，Color Filter)基板、薄膜晶体管(TFT，Thin FilmTransistor)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)等组成。在CF基板的制程中，光阻材料在基板上经过曝光显影后形成光阻图形之后，需要经过热硬化炉(Oven)的热硬化工艺对其进行干燥和固化，使其表面平整化且增加其耐酸碱性。在热硬化炉的固化过程中，目前业界内主要是通过热风或者红外线辐射加热基板，固化光阻图形的同时会使光阻中的溶剂挥发，同时也会使光阻因加热而升华，不可避免的就会有部分挥发物、升华物外泄到热硬化炉外遇冷而形成烟雾(Fume)，造成烟雾外泄并在热硬化炉外聚集凝结的现象，从而对制程产生不良影响。
请参阅图1，首先从热硬化炉的热硬化室(Chamber)120取放基板910时，由于出入口1210处的开关门1220的开启和关闭会造成包含有挥发物、升华物的热气外泄到热硬化炉旁的隔离室(Booth)200内，造成烟雾在隔离室200内聚集凝结，影响产品品质；其次，由于热硬化室(Chamber)120和隔离室200均安装于无尘车间中，隔离室200中的烟雾继续外泄到无尘室(Clean Room)后，会凝结在无尘室内的其他机台中，从而影响其他制程的品质。
目前减小烟雾外泄对品质影响的方式主要有两种，一是增加整个隔离室200内的排气，通过排气口2010尽快排走隔离室200内带有烟雾的空气；二是在热硬化炉外部增加隔离物(Partition)来隔离外泄的烟雾：有些工厂采用如图2所示的软帘500来进行隔离，有些工厂则使用如图3所示的不锈钢板(SUS)600直接将整个热硬化炉区域即包括工作区(Fab)800和辅助工作区(Sub Fab)900全部隔离包裹起来，并增加单独的排气系统700将隔离室200内气体直接排到厂务端。
对于上述通过提高厂务排气来增加隔离室内排气的方法，虽然能在一定程度上减少烟雾造成的品质异常，但依然还是会存在部分烟雾外泄的情况；而对于外加隔离物的方法，软帘只能隔离一部分外泄的烟雾，防止烟雾外泄对品质影响的效果不是很明显；将热硬化炉区域全部隔离的方法虽然可以解决烟雾外泄问题，但会使处理热硬化炉机况较为麻烦，且所需成本很高。
因此，有必要提供一种烟雾排放系统，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种烟雾排放系统，可减少热硬化室内烟雾的凝结和外泄，减少烟雾所造成的不良影响；此外还可减少因热硬化室本身向外放热而对周边环境温度所造成的不良影响。
为实现上述目的，本发明提供一种烟雾排放系统，包括烟雾源、与所述烟雾源相连通的隔离室、及设于所述隔离室的外部且将所述隔离室的顶部与底部相连通的风道；
所述隔离室的顶部设有风机过滤机组，底部设有排气口及设于所述排气口处的鼓风机和过滤器，所述风道内部设有空调设备；
所述隔离室的内部于所述风机过滤机组与鼓风机之间形成向下的气流，该气流从所述排气口流出后沿所述风道依次经由所述鼓风机、过滤器、空调设备、及风机过滤机组后于所述隔离室与风道的内部构成循环回路，从而使所述烟雾源产生的烟雾进入所述隔离室后沿该循环回路进入所述风道，并通过所述空调设备排出。
所述烟雾源为热硬化炉。
所述热硬化炉包括基座、及设于所述基座上的热硬化室。
所述热硬化室靠近所述隔离室的一侧设有出入口，所述热硬化室通过所述出入口与所述隔离室相连通。
所述出入口上设有开关门。
所述烟雾源与所述隔离室的外部环境为无尘室，所述隔离室远离所述热硬化炉的一侧的内壁上设有开口与所述无尘室连通。
所述热硬化炉用于液晶显示面板的CF基板的制程中，对在基板上经过曝光显影后所形成的光阻图形进行干燥和固化。
所述热硬化炉在热硬化工艺中通过热风或者红外线辐射加热所述基板。
本发明的有益效果：本发明的烟雾排放系统，在烟雾源旁的隔离室的外部设有将所述隔离室的顶部与底部相连通的风道；隔离室的顶部设有风机过滤机组，底部设有排气口及设于所述排气口处的鼓风机和过滤器，所述风道内部设有空调设备；所述隔离室的内部于所述风机过滤机组与鼓风机之间形成向下的气流，该气流从所述排气口流出后沿风道依次经由所述鼓风机、过滤器、空调设备、及风机过滤机组后于所述隔离室与风道的内部构成循环回路，从而使所述烟雾源产生的烟雾进入所述隔离室后沿该循环回路进入所述风道，并通过所述空调设备排出；可减少热硬化室内烟雾的凝结和外泄，减少烟雾所造成的不良影响；此外还可通过所述空调设备减少因热硬化室本身向外放热而对周边环境温度所造成的不良影响。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为在无预防措施下热硬化炉烟雾外泄的示意图；
图2为现有一种防止热硬化炉的烟雾外泄对品质影响的方法的示意图；
图3为现有另一种防止热硬化炉的烟雾外泄对品质影响的方法的示意图；
图4为本发明的烟雾排放系统的示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图4，本发明提供一种烟雾排放系统，包括烟雾源10、与所述烟雾源10相连通的隔离室20、及设于所述隔离室20的外部且将所述隔离室20的顶部与底部相连通的风道30。
所述隔离室20的顶部设有风机过滤机组(Fan Filter Unit，FFU)21，底部设有排气口201及设于所述排气口201处的鼓风机(Blower)22和过滤器(Filter)23，所述风道30内部设有空调设备40。
所述隔离室20的内部于所述风机过滤机组21与鼓风机22之间形成向下的气流，该气流从所述排气口201流出后沿所述风道30依次经由所述鼓风机22、过滤器23、空调设备40、及风机过滤机组21后于所述隔离室20与风道30的内部构成循环回路，从而使所述烟雾源10产生的烟雾进入所述隔离室20后沿该循环回路进入所述风道30，并通过所述空调设备40排出。
具体地，所述烟雾源10为热硬化炉。所述热硬化炉包括基座11、及设于所述基座11上的热硬化室12，所述热硬化室12用于容纳基板91。所述热硬化室12靠近所述隔离室20的一侧设有出入口121，用于取放基板91。所述热硬化室12通过所述出入口121与所述隔离室20相连通。所述出入口121上设有开关门122；具体地，所述开关门122为推拉门。具体地，所述热硬化炉用于液晶显示面板的CF基板的制程中，对在基板91上经过曝光显影后所形成的光阻图形92进行干燥和固化。所述热硬化炉在热硬化工艺中通过热风或者红外线辐射加热所述基板91。
进一步的，所述烟雾源10与所述隔离室20的外部环境为无尘室，即所述烟雾源10与所述隔离室20安装于无尘室中，其所处的车间为无尘车间，所述隔离室20远离所述热硬化炉12的一侧的内壁上设有开口24与所述无尘室连通。
当利用所述热硬化炉对基板91上的光阻图形进行热硬化工艺的过程中，热硬化室12在取放基板91时由于出入口121处的开关门122的开启和关闭造成热气外泄到热硬化炉旁的隔离室20内而形成烟雾，所述隔离室20内的烟雾在所述风机过滤机组21与鼓风机22之间的向下的气流的作用下，从所述排气口201排出后进入所述风道30，并沿所述循环回路通过所述空调设备40排出；有效避免了烟雾在隔离室20内聚集凝结，有效提升了产品品质；同时也避免了隔离室20中的烟雾从隔离室20的开口24外泄到无尘室中，从而避免了烟雾凝结在其他机台中从而对其他制程的品质造成不良影响。此外，通过空调设备400还可减少因热硬化室20本身向外放热对周边环境温度所造成的不良影响，进而提升制程的良率。
综上所述，本发明的烟雾排放系统，在烟雾源旁的隔离室的外部设有将所述隔离室的顶部与底部相连通的风道；隔离室的顶部设有风机过滤机组，底部设有排气口及设于所述排气口处的鼓风机和过滤器，所述风道内部设有空调设备；所述隔离室的内部于所述风机过滤机组与鼓风机之间形成向下的气流，该气流从所述排气口流出后依次经由所述鼓风机、过滤器、空调设备、及风机过滤机组后于所述隔离室与风道的内部构成循环回路，从而使所述烟雾源产生的烟雾进入所述隔离室后沿该循环回路进入所述风道，并通过所述空调设备排出；可减少热硬化室内所产生的烟雾的凝结和外泄，减少烟雾所造成的不良影响；此外还可通过所述空调设备减少因热硬化室本身向外放热对周边环境温度所造成的不良影响。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种烟雾排放系统，其特征在于，包括烟雾源(10)、与所述烟雾源(10)相连通的隔离室(20)、及设于所述隔离室(20)的外部且将所述隔离室(20)的顶部与底部相连通的风道(30)；
所述隔离室(20)的顶部设有风机过滤机组(21)，底部设有排气口(201)及设于所述排气口(201)处的鼓风机(22)和过滤器(23)，所述风道(30)内部设有空调设备(40)；
所述隔离室(20)的内部于所述风机过滤机组(21)与鼓风机(22)之间形成向下的气流，该气流从所述排气口(201)流出后沿所述风道(30)依次经由所述鼓风机(22)、过滤器(23)、空调设备(40)、及风机过滤机组(21)后于所述隔离室(20)与风道(30)的内部构成循环回路，从而使所述烟雾源(10)产生的烟雾进入所述隔离室(20)后沿该循环回路进入所述风道(30)，并通过所述空调设备(40)排出；
所述烟雾源(10)为热硬化炉。
2.如权利要求1所述的烟雾排放系统，其特征在于，所述热硬化炉包括基座(11)、及设于所述基座(11)上的热硬化室(12)。
3.如权利要求2所述的烟雾排放系统，其特征在于，所述热硬化室(12)靠近所述隔离室(20)的一侧设有出入口(121)，所述热硬化室(12)通过所述出入口(121)与所述隔离室(20)相连通。
4.如权利要求3所述的烟雾排放系统，其特征在于，所述出入口(121)上设有开关门(122)。
5.如权利要求2所述的烟雾排放系统，其特征在于，所述烟雾源(10)与所述隔离室(20)的外部环境为无尘室，所述隔离室(20)远离所述热硬化炉(12)的一侧的内壁上设有开口(24)与所述无尘室连通。
6.如权利要求1所述的烟雾排放系统，其特征在于，所述热硬化炉用于液晶显示面板的CF基板的制程中，对在基板(91)上经过曝光显影后所形成的光阻图形进行干燥和固化。
7.如权利要求6所述的烟雾排放系统，其特征在于，所述热硬化炉在热硬化工艺中通过热风或者红外线辐射加热所述基板(91)。
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