KR20190087789A - 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐 - Google Patents

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Abstract

열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에 대한 발명이 개시된다. 개시된 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐은, 내부의 구조물 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 형성하는 챔버와, 출입구를 개폐하여 글라스기판의 인출을 도와주고, 챔버에서 가열기체의 누출을 방지하는 셔터부와, 챔버 내부의 고열에 의해 셔터부에서 발생되는 열전달과 열변형을 줄여주어 챔버에서 유기증기의 누설을 방지하는 열변형방지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐{OVEN HAVING ANTI-THERMAL SHUTTER}
본 발명은 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 열변형방지부를 이용하여 바디부의 열변형부위를 포인트별로 가압 조절하여 바디부의 레벨기능을 유지하면서 바디부와 메인프레임부 간의 접촉부위를 줄여주어 바디부의 열변형을 최대한 줄일 수 있고, 챔버 내부에서의 누설을 방지하므로 챔버 내부 온도의 균일성을 유지하는 것이 가능한 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에 관한 것이다.
일반적으로, OLED(Organic Light Emitting Diode ; 유기발광다이오드)는 기존의 액정디스플레이(LCD)와는 달리 발광을 위한 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께가 얇고 무게를 가볍게 할 수 있는 장점을 가지고 있다.
이로인해 종래에는 휴대폰, PDA와 같은 소형 디스플레이장치에 주로 사용되었던 것이 최근에는 대형 디스플레이장치에 까지 그 영역을 확대하고 있는 상황이다.
이러한 OLED의 기본 원리는 전압이 인가되면 음극(cathode)과 양극(anode)으로부터 각각 전자와 정공이 발광층인 유기화합물층으로 주입되어 유기화합물층에서 이들이 결합한 여기자(exciton)가 여기상태로부터 기저상태로 떨어지면서 발광을 하도록 하는 구조를 가지고 있다.
이를 위하여 OLED를 구성하는 유기화합물층은 글라스기판의 일면에 옥사이드공정에서 IGZO 증착 후 열처리, Passivation ITO 증착 후 열처리 과정 등을 거치면서 형성된다.
이와 같이, 기존의 옥사이드공정의 열치리과정은 오븐(oven)의 챔버 내부에서 이루어지는 것으로서, 챔버(chamber)는 챔버 일측 또는 양측면에 개방 형성된 출입구를 통해 글라스기판을 챔버 내부의 구조물 상에 안착시키거나 인출하도록 구성되며, 이 출입구를 개폐하기 위한 셔터조립체가 챔버에 구비된다. 셔터조립체는 출입구를 밀착하는 셔터고정부와, 셔터고정부를 지지하는 셔터프레임부를 포함하여 이루어진다.
그런데, 기존의 셔터 구조는 셔터고정부와 셔터프레임부가 면접촉으로 연결됨에 따라 챔버에서 발생하는 고열이 셔터고정부를 통해 셔터프레임부로 그대로 전달됨으로써, 셔터고정부와 셔터프레임부가 심하게 변형되어 챔버 내의 유기증기가 챔버의 출입구를 거쳐 외부로 누설될 우려가 있을 뿐만 아니라, 고열이 셔터고정부를 통해 셔터프레임부로 전달되므로 작업자가 뜨거워진 셔터프레임부를 만지지 못하는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
관련 배경기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-0722153호(2007.05.21, 발명의 명칭: ＬＣＤ 글라스 기판용 오븐챔버)가 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 열변형방지부를 이용하여 바디부의 열변형부위를 포인트별로 가압 조절하여 바디부의 레벨(수평)기능을 유지하면서 바디부와 메인프레임부 간의 접촉부위를 줄여주어 바디부의 열변형을 최대한 줄일 수 있고, 챔버 내부에서의 누설을 방지하므로 챔버 내부 온도의 균일성을 유지하는 것이 가능한 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐은, 내부의 구조물 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 형성하는 챔버; 상기 출입구를 개폐하여 상기 글라스기판의 인출을 도와주고, 상기 챔버에서 가열기체의 누출을 방지하는 셔터부; 및 상기 챔버 내부의 고열에 의해 상기 셔터부에서 발생되는 열전달과 열변형을 줄여주어 상기 챔버에서 유기증기의 누설을 방지하는 열변형방지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 셔터부는, 상기 출입구를 차단하는 바디부; 및 상기 바디부와 이격 배치되도록 연결되고, 상기 바디부를 상기 챔버의 출입구에 구동부를 통해 가압 밀착하는 메인프레임부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 바디부의 내측면에는 상기 출입구의 내측 가장자리에 밀착 삽입되는 시일링부재가 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기 메인프레임부는, 상기 바디부에서 이격 배치되고, 상기 열변형방지부를 통해 상기 바디부와 상호 연결되는 접촉부; 상기 접촉부의 일측면에 가로방향 또는 세로방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 2개 이상 배치되어 하중을 지지하는 프레임; 및 상기 프레임의 양측을 연결 지지하는 연결지지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 연결지지부에는 양측으로 연장되어 상기 구동부를 통해 회전 구동되어 상기 셔터부를 개폐하는 회전지지축이 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기 구동부는, 동력을 제공하는 동력부; 상기 동력부의 작동력에 의해 직진 이동하는 직진부; 및 상기 직진부재에 힌지 연결되어 직진력을 회전력으로 전환하여 상기 회전지지축을 회전시켜 상기 셔터부를 개폐하는 링크부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 열변형방지부는, 상기 바디부에 가로방향 또는 세로방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 다수개 구비되는 포인트연결부; 상기 포인트연결부에 대응하도록 상기 메인프레임부에 구비된 접촉부에 전후방향으로 관통 형성되는 열변형방지홀부; 및 상기 열변형방지홀부에 체결된 상태에서 상기 포인트연결부에 연결되어 상기 바디부에서 상기 메인프레임부로 전달되는 열기를 최소화하면서 조임 또는 풀림을 통해 통해 상기 바디부의 변형을 조절하는 접촉최소화부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 접촉최소화부는 다수개로 이루어져 상기 접촉부에 체결된 상태에서 상기 바디부의 열변형량에 따라 상기 접촉부의 포인트 중에서 선택적으로 조여지거나 풀려져 상기 바디부와의 가압량을 조절하면서 열전달 접촉면적을 줄이므로 상기 바디부의 열변형을 최소화하는 것을 특징으로 한다.
상기 열변형방지부는 상기 바디부의 열변형을 조절한 후, 상기 접촉최소화부에 결속부가 체결되어 상기 포인트연결부에 결합되므로 상기 메인프레임부를 상기 바디부에 고정하는 것을 특징으로 한다.
상기 결속부는, 상기 접촉최소화부의 중심부에 전후 로 관통 형성되는 삽입홀; 상기 포인트연결부재에 형성되는 열변형방지결속홀; 및 상기 삽입홀에 결합되고, 상기 포인트연결부의 열변형방지결속홀에 체결되어 상기 메인프레임부를 상기 바디부에 고정하는 결속부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐은, 메인프레임부에 결합되는 열변형방지부를 이용하여 바디부의 열변형부위를 포인트별로 가압 조절하여 바디부의 레벨기능을 유지하면서 바디부와 메인프레임부 간의 접촉부위를 최소화하므로 바디부의 열변형을 최대한 줄일 수 있고, 챔버 내부에서의 누설을 방지하므로 챔버 내부 온도의 균일성을 유지할 수 있다.
또한, 본 발명은 결속부재의 단부를 반구형상 또는 삼각핀 형상으로 형성하여 결속부재와 포인트연결부와의 접촉면적을 최대한 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐의 챔버 내부에서 구조물 상에 글라스기판이 안착된 상태 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐의 출입구를 개폐하는 셔터부와 열변형방지부의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐의 출입구를 개폐하는 셔터부와 열변형방지부의 조립 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 셔터부와 열변형방지부의 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에서, 셔터부와 열변형방지부의 부분 절개 단면 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에서, 셔터부와 열변형방지부의 측단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐을 설명하도록 한다.
이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐의 챔버에서 구조물 상에 글라스기판이 안착된 상태 정면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐의 출입구를 개폐하는 셔터부와 열변형방지부의 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐의 출입구를 개폐하는 셔터부와 열변형방지부의 조립 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 셔터부와 열변형방지부의 정면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에서, 셔터부와 열변형방지부의 부분 절개 단면 사시도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에서, 셔터부와 열변형방지부의 측단면도이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐은, 챔버(100), 셔터부(300) 및 열변형방지부(400)를 포함한다.
챔버(100)는 내부의 구조물(140) 상에 글라스기판(20)을 안착하는 출입구(130)를 형성하는 구성이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 챔버(100)는 육면체 박스형태로 형성되어 내부에 설치된 구조물(140) 상에 셔터부(300)로 출입구(130)를 개폐하여 글라스기판(20)을 안착시킨 후, 설비에 투입하기 전에 글라스기판(20)에 열을 가해 히팅시키는 장비이다.
챔버(100)는 구조물(140) 상에 안착된 글라스기판(20)을 가열하면서 발생되는 유기증기를 배출하기 위해 가열기체를 공급하는 가열기체 공급부를 구비할수 있다.
챔버(100)는 공급부에서 공급된 공기를 외부로 배출하는 배출부를 구비한다. 배출부는 공급부에서 공급된 가열기체로 유기증기를 이동시켜 챔버(100)의 외부로 배출시킨다.
출입구(130)는 챔버(100)의 적어도 어느 일측면에 다수개 설치될 수 있다. 출입구(130)는 글라스기판(20)의 출입을 위해 직사각형 개방구멍 형태로 형성된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 오븐의 경우에는 챔버(100)에 출입구(130)와 셔터부(300)를 각각 12개씩 구비하는 것으로 도시하지만, 출입구(120)와 셔터부(300)의 크기 및 개수는 필요에 따라 변경 가능하다.
셔터부(300)는 출입구(130)를 개폐하여 글라스기판(20)의 인출을 도와주고, 챔버(10)에서 가열기체의 누출을 방지하는 구성이다.
셔터부(300)는 출입구(130)를 차단하는 바디부(310)와, 바디부(310)와 이격 배치되도록 연결되고, 바디부(310)를 챔버(100)의 출입구(130)에 구동부(380)를 통해 가압 밀착하는 메인프레임부(330)를 포함한다.
바디부(310)의 내측면에는 출입구(130)의 내측 가장자리에 밀착 삽입되는 시일링부재(320)가 구비될 수 있다.
메인프레임부(330)는 바디부(310)에서 이격 배치되고, 열변형방지부(400)를 통해 바디부(310)와 상호 연결되는 접촉부(340)와, 접촉부(340)에 일측면에 가로방향 또는 세로방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 2개 이상 배치되어 하중을 지지하는 프레임(350)과, 프레임(350)의 양측을 연결 지지하는 연결지지부(360)를 포함한다.
연결지지부(360)는 복수개의 가로방향으로 상하측으로 이격 배치된 프레임(350)을 상호 연결하면서 나사 또는 볼트 등의 기계 체결요소에 의해 프레임(350)과 결합될 수 있다.
연결지지부(360)에는 양측으로 연장되어 구동부(380)를 통해 회전 구동되어 셔터부(300)를 개폐하는 회전지지축(370)이 구비될 수 있다. 회전지지축(370)은 연결지지부(360)의 하측에서 양측으로 돌출 형성된다.
구동부(380)는 동력을 제공하는 동력부(382)와, 동력부(382)의 작동력에 의해 직진 이동하는 직진부(384)와, 직진부(384)에 힌지 연결되어 직진력을 회전력으로 전환하여 회전지지축(370)을 회전시켜 셔터부(300)를 개폐하는 링크부(386)를 포함할 수 있다.
동력부(382)는 공압 또는 유압실린더를 적용할 수 있다. 물론, 동력부(382)는 모터등과 같이, 다양한 동력부재를 적용하는 것이 가능하다. 링크부(386)는 일측에 회전지지축(370)이 회전 가능하게 연결되고, 타측에 직진부(384)가 힌지 연결된다. 동력부(382)는 직진부(384)와 축 연결되고, 직진부(384)의 반대측에 챔버(100)에 설치된 지지프레임에 의해 회동 가능하게 연결된다.
한편, 종래의 열풍오븐은 LCD 디스플레이 제조공정 중 CF/TFT 포토 라인 공정에 주로 적용되며, 수분 제거후 기판 상면의 잔류 수분을 제거하기 위한 Hot Plate(DHP) 코팅 후 표면 가경화를 위해 사용하는 Soft Bake Hot Plate(SHP) 노광/현상공정 완료 후 포토 레지스트의 완전 경화를 위해 사용하는 Hard Bake Hot Plate(HHP)는 70~150℃의 온도범위를 유지하는 등 종래에는 비교적 낮은 온도범위에서 챔버를 운용함에 따라 셔터부가 변형될 우려가 적어 셔터부에 열변형방지구조가 적용되지 않아도 유해증기의 누설 위험이 낮은 편이다.
하지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 오븐은 Oled 옥사이드 공정에 IGZO 증착 후 열처리, Passivation ITO 증착 후 열처리 과정에서, 200~350℃의 온도범위에서 사용되기도 하는 것으로서, 종래의 열풍오븐에 적용되는 셔터부는 고온으로 인해 본 발명의 일 실시예에 따른 오븐에는 적용하지 못한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 오븐은 핫플레이트와 IR램프가 없는 고온용 열풍오븐을 적용하도록 한다. 하지만 본 발명의 일 실시예에 따른 오븐은 경우에 따라, IR램프를 포함하는 IR오븐 또는 핫플레이트를 포함하는 HP/CP용 오븐에 적용할 수도 있다.
이와같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버(100)의 내부에는 히터가 구비된 경우, 히터에서 발생되는 고열 또는 급기구조를 통해 공급되는 가열기체의 고온 열풍 등에 의해 약 350℃의 고온이 발생되므로 셔터부(300)의 바디부(310)와 메인프레임부(330)가 열변형될 우려가 있고, 바디부(310)의 열기가 메인프레임부(330)에 그대로 열전달될 우려가 있다. 이로써, 셔터부(300)의 열전달과 열변형을 방지하기 위해 셔터부(300)에 열변형방지부(400)를 제공할 필요성이 있다.
후술하는 열변형방지부(400)의 제공은 200℃ 이상의 고온에서 셔터부(300)의 변형을 최소화하여 누설 포인트(Leak Point)를 제거하고, 챔버(100) 내부의 균일성(Uniformity)을 향상시키는 효과를 갖는다.
열변형방지부(400)는 챔버(100) 내부의 고열에 의해 셔터부(300)에서 발생되는 열전달과 열변형을 줄여주어 챔버(100)에서 유기증기의 누설을 방지하는 구성이다.
열변형방지부(400)는 바디부(310)에 가로방향 또는 세로방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 다수개 구비되는 포인트연결부(410)와, 포인트연결부(410)에 대응하도록 메인프레임부(330)에 구비된 접촉부(340)에 전후방향으로 관통 형성되는 열변형방지홀부(420)와, 열변형방지홀부(420)에 체결된 상태에서 포인트연결부(410)에 연결되어 바디부(310)에서 메인프레임부(330)로 전달되는 열기를 최소화하면서 조임 또는 풀림을 통해 통해 바디부(310)의 변형을 조절하는 접촉최소화부(430)를 포함할 수 있다.
포인트연결부(410)는 바디부(310)의 일측면에 설치되는 사각형 블록일 수 있다. 포인트연결부(410)는 바디부(410)의 일측면에 나사 체결되어 고정되거나 용접 등으로 바디부(310)에 일체로 고정될 수 있다.
열변형방지홀부(420)는 암나사산이 형성되는 나사공일 수 있다.
접촉최소화부(430)는 길이방향으로 중공을 갖는 볼트 또는 나사 형태로 이루어질 수 있다.
접촉최소화부(430)는 다수개로 이루어져 접촉부(340)에 체결된 상태에서 바디부(310)의 열변형량에 따라 접촉부(340)의 포인트 중에서 선택적으로 조여지거나 풀려져 바디부(310)와의 가압량을 조절하여 바디부(310)의 레벨(수평) 유지기능을 수행하면서 접촉부(340)로의 열전달 접촉면적을 줄이므로 바디부(310)의 변형을 줄여주어 유기증기의 누설을 방지할 뿐만아니라, 접촉부(340)를 통해 메인프레임부(330)가 뜨거워지는 것을 방지할 수 있다.
이로써, 기존에는 바디부(310)와 메인프레임부(330)가 면접촉으로 이루어져 바디부(310)의 열기가 메인프레임부(330)로 그대로 전달되어 메인프레임부(330)가 뜨거워져 열 변형될 우려가 있고 손으로 만지기 어려웠으나, 본 발명의 경우에는 접촉최소화부(430)를 이용하여 열전달 면적을 면접촉이 아닌 점(포인트)접촉으로 바꿔 최소화하므로 바디부(310)의 고열이 메인프레임부(330)로 전달되는 것을 줄여주어 메인프레임부(330)를 손으로 만져도 될 정도로 열전달 온도를 낮출 수 있다.
열변형방지부(400)는 바디부(310)의 열변형을 조절한 후, 접촉최소화부(430)에 결속부(440)가 체결되어 포인트연결부(410)에 결합되므로 메인프레임부(330)를 바디부(310)에 고정할 수 있다.
도 3, 도 6 및 도 7을 참조하면, 결속부(440)는 접촉최소화부(430)의 중심부에 전후로 관통 형성되는 삽입홀(442)과, 포인트연결부(410)에 형성되는 열변형방지결속홀(444)과, 삽입홀(442)에 결합되고, 포인트연결부(410)의 열변형방지결속홀(444)에 체결되어 메인프레임부(330)를 바디부(310)에 고정하는 결속부재(446)를 포함할 수 있다.
삽입홀(442)은 밋밋한 관통공이거나 암나사산이 형성된 나사공일 수 있다. 열변형방지결속홀(444)은 암나사산이 형성되는 나사공일 수 있다.
결속부재(446)는 삽입홀(442)이 밋밋한 관통공인 경우에는, 삽입홀(442)에 삽입되는 일부 구간에는 나사산이 형성되지 않고, 열변형방지결속홀(444)에 체결되는 구간에만 나사산이 형성될 수 있다. 또한, 결속부재(446)는 삽입홀(442)이 나사공인 경우에는, 전체구간에 나사산이 형성되어 삽입홀(442)에 나사 체결되면서 연속적으로 열변형방지결속홀(444)에 체결되므로 바디부(310)와 메인프레임부(330)를 상호 결합할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는 삽입홀(442)은 밋밋한 관통공으로 형성하고, 결속부재(446)는 삽입홀(442)에 삽입되는 구간에는 나사산이 형성되지 않고, 열변형방지결속홀(444)에 체결되는 단부 둘레에만 수나사산이 형성되는 것으로 도시한다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 결속부재(446)의 단부를 반구형상으로 형성하거나 도 7의 확대도를 참조하면, 결속부재(446)의 단부를 삼각핀 형상으로 형성할 수 있다. 결속부재(446)의 단부를 반구형상 또는 삼각핀 형상으로 형성하여 결속부재(446)와 포인트연결부(410)와의 접촉면적을 최대한 줄이므로 바디부(310)에서 메인프레임부(320) 측으로의 열전달을 최소화하여 셔터부(300)의 변형을 줄일 수 있다.
결속부재(446)의 단부가 반구형상 또는 삼각핀 형상으로 형성됨에 따라 접촉면적을 줄이는 효과외에도 부가적으로 접촉최소화부(430)의 삽입홀(442)에 결속부재(446)의 단부를 삽입시 중심위치가 일치하지 않더라도 결속부재(446)의 반구형상 또는 삼각핀 형상의 단부가 중심측으로 가이드되어 중심위치를 맞춰주므로 조립성을 향상시킬 수 있다.
결속부재(446)는 볼트 또는 나사 형태의 기게 체결요소를 기준으로 도시하고 설명하지만, 경우에 따라 리벳, 고정핀 등과 같이 다양한 기계 체결요소를 적용하는 것이 가능하다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐은, 메인프레임부에 결합되는 열변형방지부를 이용하여 바디부의 열변형부위를 포인트별로 가압 조절하여 바디부의 레벨기능을 유지하면서 바디부와 메인프레임부 간의 접촉부위를 최소화하므로 바디부의 열변형을 최대한 줄일 수 있고, 챔버 내부에서의 누설을 방지하므로 챔버 내부 온도의 균일성을 유지할 수 있다.
또한, 본 발명은 결속부재)의 단부를 반구형상 또는 삼각핀 형상으로 형성하여 결속부재와 포인트연결부와의 접촉면적을 최대한 줄일 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
100 : 챔버 130 : 출입구
300 : 셔터부 310 : 바디부
320 : 메인프레임부 340 : 접촉부
350 : 프레임 360 : 연결지지부
370 : 회전지지부 380 : 구동부
382 : 동력부 384 : 직진부
386 : 링크부 400 : 열변형방지부
410 : 포인트연결부 420 : 열변형방지홀부
430 : 접촉최소회부 440 : 결합부
442 : 열변형방지체결홀 444 : 결합홀
446 : 결속부재

Claims (10)

  1. 내부의 구조물 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 형성하는 챔버;
    상기 출입구를 개폐하여 상기 글라스기판의 인출을 도와주고, 상기 챔버에서 가열기체의 누출을 방지하는 셔터부; 및
    상기 챔버 내부의 고열에 의해 상기 셔터부에서 발생되는 열전달과 열변형을 줄여주어 상기 챔버에서 유기증기의 누설을 방지하는 열변형방지부;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 셔터부는,
    상기 출입구를 차단하는 바디부; 및
    상기 바디부와 이격 배치되도록 연결되고, 상기 바디부를 상기 챔버의 출입구에 구동부를 통해 가압 밀착하는 메인프레임부;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 바디부의 내측면에는 상기 출입구의 내측 가장자리에 밀착 삽입되는 시일링부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 메인프레임부는,
    상기 바디부에서 이격 배치되고, 상기 열변형방지부를 통해 상기 바디부와 상호 연결되는 접촉부;
    상기 접촉부의 일측면에 가로방향 또는 세로방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 2개 이상 배치되어 하중을 지지하는 프레임; 및
    상기 프레임의 양측을 연결 지지하는 연결지지부;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 연결지지부에는 양측으로 연장되어 상기 구동부를 통해 회전 구동되어 상기 셔터부를 개폐하는 회전지지축이 구비되는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 구동부는,
    동력을 제공하는 동력부;
    상기 동력부의 작동력에 의해 직진 이동하는 직진부; 및
    상기 직진부재에 힌지 연결되어 직진력을 회전력으로 전환하여 상기 회전지지축을 회전시켜 상기 셔터부를 개폐하는 링크부;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  7. 제 2항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 열변형방지부는,
    상기 바디부에 가로방향 또는 세로방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 다수개 구비되는 포인트연결부;
    상기 포인트연결부에 대응하도록 상기 메인프레임부에 구비된 접촉부에 전후방향으로 관통 형성되는 열변형방지홀부; 및
    상기 열변형방지홀부에 체결된 상태에서 상기 포인트연결부에 연결되어 상기 바디부에서 상기 메인프레임부로 전달되는 열기를 최소화하면서 조임 또는 풀림을 통해 통해 상기 바디부의 변형을 조절하는 접촉최소화부;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 접촉최소화부는 다수개로 이루어져 상기 접촉부에 체결된 상태에서 상기 바디부의 열변형량에 따라 상기 접촉부의 포인트 중에서 선택적으로 조여지거나 풀려져 상기 바디부와의 가압량을 조절하면서 열전달 접촉면적을 줄이므로 상기 바디부의 열변형을 최소화하는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 열변형방지부는 상기 바디부의 열변형을 조절한 후, 상기 접촉최소화부에 결속부가 체결되어 상기 포인트연결부에 결합되므로 상기 메인프레임부를 상기 바디부에 고정하는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 결속부는,
    상기 접촉최소화부의 중심부에 전후 로 관통 형성되는 삽입홀;
    상기 포인트연결부재에 형성되는 열변형방지결속홀; 및
    상기 삽입홀에 결합되고, 상기 포인트연결부의 열변형방지결속홀에 체결되어 상기 메인프레임부를 상기 바디부에 고정하는 결속부재;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐.
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KR20060073306A (ko) * 2004-12-24 2006-06-28 주식회사 포스코 코크스 오븐 도어의 기밀장치
KR101544004B1 (ko) * 2014-07-10 2015-08-17 주식회사 나래나노텍 개선된 기판 열처리 챔버용 도어, 및 이를 구비한 기판 열처리 챔버 및 장치

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