KR100718330B1 - 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어 및 그 개폐장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 엘씨디 글라스 오븐 시스템에 관한 것으로서, 특히 엘씨디 글라스 오븐 시스템에 구비된 복수개의 오븐쳄버 또는 쿨링쳄버에 개폐 가능하게 결합되어 있는 도어에 있어서, 도어 프레임, 상기 도어 프레임의 상하 양단에 설치되는 두 개의 에어패킹, 상기 에어패킹에 공기를 주입하거나, 상기 에어패킹으로부터 공기를 흡입하는 공기 유출입구 및 상기 공기 유출입구에 설치되어 공기를 주입 또는 흡입하는 통로가 되는 공기 유출입호스를 포함하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어에 관한 것이다. 따라서, 본 발명에 따르면 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 밀폐상태 유지를 용이하게 하고, 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 내부에 도어를 위한 공간을 줄여 더 많은 글라스 기판을 수납할 수 있도록 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어 및 그 개폐장치를 제공할 수 있다.
엘씨디 글라스 오븐 시스템, 도어, 에어패킹, 실린더, 링크
Description
도 1은 종래의 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 측면 단면도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어 및 그 개폐장치에 관한 정면도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 엘시디 글라스 오븐 시스템 도어의 측면 단면확대도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 공기 유출입 시스템에 관한 도면,
도 5는 도 2의 'A' 부분 확대도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어
110: 에어패킹 120a: 제1 에어패킹 지지대
120b: 제2 에어패킹 지지대 122: 에어패킹 지지돌기
130: 공기 유출입구 140: 공기 유출입호스
150: 솔레노이드 밸브 160: 메인 에어 장치
170: 호스결합부
200: 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치
220: 제1 링크 240: 제2 링크
260: 실린더
본 발명은 엘씨디(LCD, Liquid crystal display) 글라스 기판(Glass substrate) 오븐 시스템 도어 및 그 개폐장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 밀폐상태 유지를 용이하게 하고, 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 내부에 도어를 위한 공간을 줄여 더 많은 글라스 기판(glass substrate)을 수납할 수 있도록 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어 및 그 개폐장치에 관한 것이다.
도 1은 종래의 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 측면 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 엘씨디 글라스 오븐 시스템(10)은 세정을 마친 글라스 기판을 포토레지스트 코팅 설비에 투입하기 전에 열을 가하여 건조 및 예열시키거나 또는 포토레지스트 막이 코팅된 글라스 기판에 일정시간 열을 가하여 포토레지스트 막을 경화시키고(베이킹), 베이킹이 완료된 글라스 기판을 상온으로 냉각시킨다.
종래의 엘씨디 글라스 오븐 시스템(10)은 복수개의 오븐 쳄버(20), 쿨링 쳄 버(30), 벨트 콘베어(미도시) 및 로더(미도시)로 구성되어 있다.
엘씨디 글라스 기판은 벨트 콘베어를 통해 로더로 이송되고, 로더로 이송된 엘씨디 글라스 기판은 오븐 쳄버(20)로 수납되어 건조 및 가열되고, 오븐 쳄버(20)에서 베이킹이 완료된 엘씨디 글라스 기판은 쿨링 쳄버(30)에서 상온으로 냉각된다.
종래에는 이와 같은 공정을 수행하는 오븐 쳄버(20) 또는 쿨링 쳄버(30)에 결합하여 개폐가 가능하게 하는 각 도어(40)들이 도 1에서 보는 바와 같이 서로 힌지(42)로 결합되어 개폐를 조절하게 되므로, 각 오븐 쳄버(20) 또는 쿨링 쳄버(30) 사이의 상하 간격이 많이 벌어지게 되어, 오븐 시스템(10) 내부 공간의 효율성이 떨어진다.
그러나 근래에 제작되는 제 5세대 엘씨디 글라스는 1,100×1,250mm(가로×세로)이고, 제 6세대 엘씨디 글라스는 1,800×2,100mm(가로×세로)로 엘씨디 글라스의 형태가 점차 대형화되어가고 있는 추세이다.
따라서 엘씨디 글라스를 제작하기 위해 확보되어야 하는 공간이 커질 필요성이 있다.
위에서 살펴본 바와 같이 종래의 엘씨디 글라스 오븐 시스템(10)에 사용되는 도어(40)의 개폐방법은 각 도어(40)가 힌지(42)를 통해 결합되고, 상기 힌지(42)로 결합된 결합부를 통하여 오븐 시스템(10)의 개폐를 조작하고 있다.
이러한 종래의 엘씨디 글라스 오븐 시스템 개폐장치 구조의 경우 엘씨디 글라스 오븐 시스템 내부에 힌지(42)를 통한 결합을 위해 상하 공간이 많이 필요하 여, 글라스 기판을 수납할 수 있는 공간이 적어진다는 문제점이 있다.
또한, 종래의 도어(40)는 오븐 시스템(10)의 밀폐상태를 위한 장치가 별도로 구비되어 있지 않아, 오븐 시스템(10)의 기능을 수행하는데 문제점이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 밀폐상태 유지를 용이하게 하고, 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 내부에 도어를 위한 공간을 줄여, 더 많은 글라스 기판(glass substrate)을 수납할 수 있도록 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 개폐장치를 제공하는 데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어는, 엘씨디 글라스 오븐 시스템에 구비된 복수개의 오븐쳄버 또는 쿨링쳄버에 개폐 가능하게 결합되어 있는 도어에 있어서, 도어 프레임, 상기 도어 프레임의 상하 양단에 설치되는 두 개의 에어패킹, 상기 에어패킹에 공기를 주입하거나, 상기 에어패킹으로부터 공기를 흡입하는 공기 유출입구 및 상기 공기 유출입구에 설치되어 공기를 주입 또는 흡입하는 통로가 되는 공기 유출입호스를 포함한다.
또한, 상기 도어 프레임은, 상하 양단에 내부로 돌출된 에어패킹 지지돌기가 형성되어 있는 제1 에어패킹 지지대 및 상기 제1 에어패킹 지지대의 내부에 위치하여 제1 에어패킹 지지대와 체결되고, 상기 에어패킹을 지지하는 제2 에어패킹 지지대를 포함한다.
또한, 상기 공기 유출입구는, 상기 제2 에어패킹 지지대에 형성되는 것을 특 징으로 한다.
또한, 상기 공기 유출입호스는, 솔레노이드 밸브를 통해, 상기 공기 유출입호스에 공기를 주입 또는 흡입하는 메인 에어 장치와 연결되어, 공기의 주입 또는 흡입을 조절하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 에어패킹에 공기가 주입되면 인접한 도어가 서로 밀착되고, 상기 에어패킹으로부터 공기가 흡입되면 인접한 도어 사이에 일정 공간이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치는, 엘씨디 글라스 오븐 시스템 개폐장치에 있어서, 도어 프레임, 상기 도어 프레임의 상하 양단에 설치되는 두 개의 에어패킹, 상기 에어패킹에 공기를 주입하거나 상기 에어패킹으로부터 공기를 흡입하는 공기 유출입구 및 상기 공기 유출입구에 설치되어 공기를 주입 또는 흡입하는 통로가 되는 공기 유출입호스를 포함하는 도어, 상기 도어의 측면에 위치하여 상기 도어를 개폐하는 제1 링크, 상기 제1 링크와 기계적으로 연결되는 제2 링크 및 상기 제2 링크에 연결되어 상기 제2 링크를 수직방향으로 이동시키는 실린더를 포함한다.
또한, 상기 도어 프레임은, 상하 양단에 내부로 돌출된 에어패킹 지지돌기가 형성되어 있는 제1 에어패킹 지지대 및 상기 제1 에어패킹 지지대의 내부에 위치하여 제1 에어패킹 지지대와 체결되고, 상기 에어패킹을 지지하는 제2 에어패킹 지지대를 포함한다.
또한, 상기 공기 유출입호스는, 솔레노이드 밸브를 통해, 상기 공기 유출입 호스에 공기를 주입 또는 흡입하는 메인 에어 장치와 연결되어, 공기의 주입 또는 흡입을 조절하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1 링크는, 상기 실린더에 의해 수직방향으로 이동하게 되는 제2 링크에 의해 90도 회전하게 되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 도어는, 상기 제1 링크에 연결되어 상기 제1 링크가 90도 회전함에 따라 함께 90도 회전하여 개폐되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치는, 상기 도어가 열릴 경우에는 상기 공기 유출입호스를 통해 해당 도어 및 인접 도어의 에어패킹으로부터 공기를 흡입하고, 상기 도어가 닫힐 경우에는 상기 공기 유출입호스를 통해 해당 도어 및 인접 도어의 에어패킹에 공기를 주입하도록 상기 솔레노이드 밸브를 조절하는 제어부를 더 포함한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 대해 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어 및 그 개폐장치에 관한 정면도, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 엘시디 글라스 오븐 시스템 도어의 측면 단면확대도, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 공기 유출입 시스템에 관한 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어(100)는, 제1 에어패킹 지지대(120a) 및 제2 에어패킹 지지대(120b)를 포함하는 도어 프레임, 상기 도어 프레임의 상하 양단에 설치되는 두 개의 에어패킹(110), 상기 에어패킹(110)에 공기를 주입하거나, 상기 에어패킹(110)으로부터 공기를 흡입하는 공기 유출입구(130) 및 상기 공기 유출입구(130)에 설치되어 공기를 주입 또는 흡입하는 통로가 되는 공기 유출입호스(140)를 포함한다.
도어 프레임은, 상하 양단에 내부로 돌출된 에어패킹 지지돌기(122)가 형성되어 있는 제1 에어패킹 지지대(120a) 및 상기 제1 에어패킹 지지대(120a)의 내부에 위치하여 제1 에어패킹 지지대(120a)와 체결되고, 상기 에어패킹(110)을 지지하는 제2 에어패킹 지지대(120b)를 포함한다.
이때, 공기 유출입구(130)는, 상기 제2 에어패킹 지지대(120b)에 형성되는 것을 특징으로 한다.
에어패킹(110)은 제1 에어패킹 지지대(120a)에 형성되어 있는 에어패킹 지지돌기(122)에 일치하는 홈(미도시)이 형성되어 있고, 상기 에어패킹 지지돌기(122) 및 제2 에어패킹 지지대(120b)는 일정 간격 떨어져 있어, 별도의 접착 부재 없이 제1 에어패킹 지지대(120a)에 형성된 에어패킹 지지돌기(122) 및 제2 에어패킹 지지대(120b)로 고정되는 것을 특징으로 한다.
공기 유출입호스(140)는, 솔레노이드 밸브(150)를 통해, 상기 공기 유출입호스(140)에 공기를 주입 또는 흡입하는 메인 에어 장치(160)와 연결되어, 공기의 주입 또는 흡입을 조절하는 것을 특징으로 한다.
상기 에어패킹(110)에 공기가 주입되면 인접한 도어(100)가 서로 밀착하게 되고, 상기 에어패킹(110)으로부터 공기가 흡입되면 인접한 도어(100) 사이에 일정 공간이 형성되게 된다.
따라서, 공기 유출입호스(140)를 공기 유출입구(130)에 연결하여 공기를 투입하여, 상기 도어(100)와 인접한 다른 도어(100)의 공기가 밀착하게 되면, 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 내부에 삽입된 엘씨디 글라스(LCD glass)를 건조 및 예열시키거나 열을 가하는 것을 포함하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 작업에 필요한 밀폐상태를 유지할 수 있게 된다.
이때, 각각의 공기 유출입호스(140)가 도어(100) 내부에서 서로 엉키지 않도록 하기 위하여 호스결합부(170)를 통해 공기 유출입호스(140)의 꼬임을 방지하는 것이 바람직하나 상기 호스결합부(170)는 사용하지 않아도 무방하다.
도 5는 도 2의 'A' 부분 확대도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치(200)는, 도어(100), 상기 도어(100)의 측면에 위치하여 상기 도어(100)를 개폐하는 제1 링크(220), 상기 제1 링크(220)와 기계적으로 연결되는 제2 링크(240) 및 상기 제2 링크(240)에 연결되어 상기 제2 링크(240)를 수직방향으로 이동시키는 실린더(260)를 포함한다.
상기 도어(100)는 위에서 설명한 바와 같이, 도어 프레임, 상기 도어 프레임의 상하 양단에 설치되는 두 개의 에어패킹(110), 상기 에어패킹(110)에 공기를 주입하거나 상기 에어패킹(110)으로부터 공기를 흡입하는 공기 유출입구(130) 및 상기 공기 유출입구(130)에 설치되어 공기를 주입 또는 흡입하는 통로가 되는 공기 유출입호스(140)를 포함한다.
도어 프레임은, 상하 양단에 내부로 돌출된 에어패킹 지지돌기(122)가 형성되어 있는 제1 에어패킹 지지대(120a) 및 상기 제1 에어패킹 지지대(120a)의 내부에 위치하여 제1 에어패킹 지지대(120a)와 체결되고, 상기 에어패킹(110)을 지지하는 제2 에어패킹 지지대(120b)를 포함한다.
공기 유출입호스(140)는, 솔레노이드 밸브(150)를 통해, 상기 공기 유출입호스(140)에 공기를 주입 또는 흡입하는 메인 에어 장치(160)와 연결되어, 공기의 주입 또는 흡입을 조절하는 것을 특징으로 한다.
제1 링크(220)는, 상기 실린더(260)에 의해 수직방향으로 이동하게 되는 제2 링크(240)에 의해 90도 회전하게 되는 것을 특징으로 한다.
도어(100)는, 상기 제1 링크(220)에 연결되어 상기 제1 링크(220)가 90도 회전함에 따라 함께 90도 회전하여 개폐되는 것을 특징으로 한다.
실린더(260)는 제2 링크(240)를 아래로 밀어주는 역할을 한다. 상기 실린더(260)의 압력에 의해 아래로 밀린 제2 링크(240)에 의해 상기 제2 링크(240)의 일측에 연결된 제1 링크(220)가 앞으로 90도 회전하게 되고, 제1 링크(220)가 앞으로 90도 회전하게 되면서, 제1 링크(220)의 일측에 결합 된 도어(100)도 함께 앞으로 90도 회전하게 되어 도어(100)가 오픈 된다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치(200)는 도어(100)가 열릴 경우에는 상기 공기 유출입호스(140)를 통해 해당 도어(100) 및 인접 도어(100)의 에어패킹(110)으로부터 공기를 흡입하고, 상기 도어(100)가 닫힐 경우에는 상기 공기 유출입호스(140)를 통해 해당 도어(100) 및 인접 도어(100)의 에어패킹(110)에 공기를 주입하도록 상기 솔레노이드 밸브(150)를 조 절하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
본 발명은 상술한 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 용이하게 변형 실시 가능한 것은 물론이고, 이와 같은 변경은 청구항의 청구 범위 기재범위 내에 있게 된다.
이상 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따르면, 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 밀폐상태 유지를 용이하게 하고, 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 내부에 도어를 위한 공간을 줄여 더 많은 글라스 기판을 수납할 수 있도록 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어 및 그 개폐장치를 제공할 수 있다.
Claims (11)
- 엘씨디 글라스 오븐 시스템에 구비된 복수개의 오븐쳄버 또는 쿨링쳄버에 개폐 가능하게 결합되어 있는 도어에 있어서,도어 프레임;상기 도어 프레임의 상하 양단에 설치되는 두 개의 에어패킹;상기 에어패킹에 공기를 주입하거나, 상기 에어패킹으로부터 공기를 흡입하는 공기 유출입구; 및상기 공기 유출입구에 설치되어 공기를 주입 또는 흡입하는 통로가 되는 공기 유출입호스;를 포함하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어.
- 제1항에 있어서, 상기 도어 프레임은,상하 양단에 내부로 돌출된 에어패킹 지지돌기(122)가 형성되어 있는 제1 에어패킹 지지대(120a); 및상기 제1 에어패킹 지지대의 내부에 위치하여 제1 에어패킹 지지대와 체결되고, 상기 에어패킹을 지지하는 제2 에어패킹 지지대(120b)를 포함하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어.
- 제2항에 있어서, 상기 공기 유출입구는,상기 제2 에어패킹 지지대에 형성되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 오 븐 시스템 도어.
- 제1항에 있어서, 상기 공기 유출입호스는,솔레노이드 밸브를 통해, 상기 공기 유출입호스에 공기를 주입 또는 흡입하는 메인 에어 장치와 연결되어, 공기의 주입 또는 흡입을 조절하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 에어패킹에 공기가 주입되면 인접한 도어가 서로 밀착되고, 상기 에어패킹으로부터 공기가 흡입되면 인접한 도어 사이에 일정 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어.
- 엘씨디 글라스 오븐 시스템의 도어의 개폐장치에 있어서,도어 프레임, 상기 도어 프레임의 상하 양단에 설치되는 두 개의 에어패킹, 상기 에어패킹에 공기를 주입하거나 상기 에어패킹으로부터 공기를 흡입하는 공기 유출입구 및 상기 공기 유출입구에 설치되어 공기를 주입 또는 흡입하는 통로가 되는 공기 유출입호스를 포함하는 도어;상기 도어의 측면에 위치하여 상기 도어를 개폐하는 제1 링크;상기 제1 링크와 기계적으로 연결되는 제2 링크; 및상기 제2 링크에 연결되어 상기 제2 링크를 수직방향으로 이동시키는 실린 더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치.
- 제6항에 있어서, 상기 도어 프레임은,상하 양단에 내부로 돌출된 에어패킹 지지돌기가 형성되어 있는 제1 에어패킹 지지대; 및상기 제1 에어패킹 지지대의 내부에 위치하여 제1 에어패킹 지지대와 체결되고, 상기 에어패킹을 지지하는 제2 에어패킹 지지대를 포함하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치.
- 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 공기 유출입호스는,솔레노이드 밸브를 통해, 상기 공기 유출입호스에 공기를 주입 또는 흡입하는 메인 에어 장치와 연결되어, 공기의 주입 또는 흡입을 조절하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치.
- 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 제1 링크는,상기 실린더에 의해 수직방향으로 이동하게 되는 제2 링크에 의해 90도 회전하게 되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치.
- 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 도어는,상기 제1 링크에 연결되어 상기 제1 링크가 90도 회전함에 따라 함께 90도 회전하여 개폐되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치.
- 제8항에 있어서,상기 도어가 열릴 경우에는 상기 공기 유출입호스를 통해 해당 도어 및 인접 도어의 에어패킹으로부터 공기를 흡입하고, 상기 도어가 닫힐 경우에는 상기 공기 유출입호스를 통해 해당 도어 및 인접 도어의 에어패킹에 공기를 주입하도록 상기 솔레노이드 밸브를 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엘씨디 글라스 오븐 시스템 도어의 개폐장치.
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
KR101492937B1 (ko) * | 2013-09-17 | 2015-02-12 | (주) 디바이스이엔지 | 액정 표시 패널용 열처리 장치 |
KR101949191B1 (ko) * | 2017-11-07 | 2019-02-18 | 주식회사 버즈프리 | 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치 |
Families Citing this family (7)
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DE102010043229A1 (de) * | 2010-11-02 | 2012-05-03 | Eva Schwartz | Mehrlagenkammerofen |
CN102628651B (zh) * | 2012-04-28 | 2015-07-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶制程中炉体的双路循环冷却系统 |
CN103293981B (zh) * | 2013-05-31 | 2016-03-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 干燥炉内片材数量的监测方法及装置、干燥炉的管控系统 |
JP2015108664A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 住友化学株式会社 | 光学部材貼合体の製造装置 |
JP6409665B2 (ja) * | 2015-04-14 | 2018-10-24 | 株式会社デンソー | 加熱装置 |
TWI601914B (zh) * | 2016-03-28 | 2017-10-11 | 盟立自動化股份有限公司 | 烤爐 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09306978A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板温度制御方法、基板熱処理装置及び基板支持装置 |
Family Cites Families (3)
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KR100473993B1 (ko) * | 2003-04-23 | 2005-03-10 | 주식회사 제우스 | 엘씨디 글라스 기판 오븐 시스템의 오븐 쳄버 위치 조절장치 |
KR100558606B1 (ko) * | 2003-08-12 | 2006-03-13 | 주식회사 제우스 | 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치 |
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09306978A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板温度制御方法、基板熱処理装置及び基板支持装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101492937B1 (ko) * | 2013-09-17 | 2015-02-12 | (주) 디바이스이엔지 | 액정 표시 패널용 열처리 장치 |
KR101949191B1 (ko) * | 2017-11-07 | 2019-02-18 | 주식회사 버즈프리 | 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치 |
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