KR20190063634A - 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버 - Google Patents

유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버 Download PDF

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Abstract

유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에 대한 발명이 개시된다. 개시된 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버는, 핫플레이트 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 개폐하는 셔터부를 구비하고, 토출부를 통해 가열기체를 유입하여 배출부로 배출하는 챔버와, 토출부에 구비되어 가열기체를 토출하고, 챔버 내부에서 발생되는 유기증기의 유속을 균일하게 유도하여 배출부로 안내하므로 챔버에서 유기증기의 환기성능을 개선시키는 환기성능개선부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버{ORGANIC VAPOR REMOVAL EFFICIENCY IMPROVEMENT TYPE LCD BAKE CHAMBER}
본 발명은 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 엘씨디 베이킹용 오븐 챔버에서 급기구조에 환기성능개선부를 구비하여 대면적을 가지면서 토출되는 기체에 압력차를 부여하여 기체의 유속을 균일하게 토출시킴으로써, 유기증기의 환기 및 제거 효율을 증진하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에 관한 것이다.
일반적으로, 티에프티(TFT, Thin Film Transistor) 엘씨디 제조 공정에 있어서, 박막 트랜지스터, 화소 전극, RGB 화소 및 공통 전극들은, 박막증착공정, 포토레지스트 코팅공정, 베이킹공정, 노광공정, 현상공정, 에칭공정 등을 반복함으로써 형성된다.
이와 같이, 엘씨디 제조 공정에 있어서, 오븐 쳄버(Oven chamber, 이하, 챔버라 함)는, 쳄버 내부의 핫플레이트(hot plate) 유닛 또는 적외선(IR, infrared ray) 유닛을 열원으로 하여 포토레지스트 코팅 설비에 투입하기 전에 글라스 기판에 열을 가하여 건조 및 예열시키거나, 또는 감광막이 코팅된 글라스기판에 일정시간 열을 가하여 감광막을 경화시키는(베이킹 공정, Baking) 장비이다.
이러한 쳄버의 베이킹 온도는 대략 130℃ 전후의 높은 온도를 유지하게 됨으로써, 공정중 감광막이 증발하여 유기증기(organic vapor)를 생성하게 된다. 유기증기에는 각종의 미세 입자가 포함되어 있어, 이를 그대로 방치하는 경우, 미세 입자를 포함하는 증기가 쳄버 내부에 고착되어 쳄버를 오염시키므로 공정 수행을 어렵게 하거나, 글라스기판에 고착되어 정밀도와 품질을 떨어뜨리게 된다.
이와 같이, 챔버 내부에서 발생된 유기증기의 배출을 위해 가열기체를 공급하는 급기 시스템과 유입된 기체를 통해 챔버 내부의 유기증기를 외부로 배출하는 배기유닛이 구비되어 있다. 기존의 급기 시스템은 챔버의 가열기체 토출면에 일부 영역에만 구성되는 슬릿 형상의 관통홀을 갖는 노즐이 구비되어 있다.
그런데, 기존의 급기용 노즐은 챔버의 일부 영멱마다 다수개 배치 형성됨으로써, 토출면으로 공급되는 가열 기체가 균일하게 이동하지 못하여 고속으로 이동하는 영역과 저속으로 이동하는 영역 간에 와류가 ㄹ생되어 유기증기가 챔버내에 잔류히는 시간이 증가하여 챔버 내부의 장비를 오염시키거나 글라스기판의 표면에 얼룩을 발생시키는 등 공정 불량을 유발하는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
관련 배경기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-0722153호(2007.05.21, 발명의 명칭: ＬＣＤ 글라스 기판용 오븐챔버)가 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 엘씨디 베이킹용 오븐 챔버에서 급기구조에 환기성능개선부를 구비하여 대면적을 가지면서 토출되는 기체에 압력차를 부여하여 기체의 유속을 균일하게 토출시킴으로써, 챔버에서 유기증기의 환기 및 제거 효율을 증진할 수 있는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버는, 핫플레이트 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 개폐하는 셔터부를 구비하고, 토출부를 통해 가열기체를 유입하여 배출부로 배출하는 챔버; 및 상기 토출부에 구비되어 가열기체를 토출하고, 상기 챔버 내부에서 발생되는 유기증기의 유속을 균일하게 유도하여 상기 배출부로 안내하므로 상기 챔버에서 유기증기의 환기성능을 개선시키는 환기성능개선부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 환기성능개선부는 상기 챔버의 토출부에 구비되어 상기 챔버의 내측 단면적에 대응하도록 넓은 면적으로 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 환기성능개선부는, 상기 토출부에 설치되어 가열기체에서 이물질을 걸려주면서 압력강하를 발생시켜 가열기체의 균일한 토출 유속 확보를 유지하는 균일유속유지부; 및 상기 균일유속유지부의 외측에 설치되어 급기유닛에서 공급되는 가열기체를 연결관을 통해 유입시켜 상기 챔버로 안내하는 노즐케이스;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 균일유속유지부는 다공성 재질의 필터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 필터는 프리필터 또는 헤파필터 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 균일유속유지부는 타공홀이 다수개 형성되는 타공판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 노즐케이스의 내측에는 상기 연결관을 통해 상측으로 공급되는 가열기체의 방향을 측면으로 전환하여 안내하는 가열기체안내부가 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기 가열기체안내부는, 상기 노즐케이스의 내부에서 상측으로 설치되어 공간을 분리하는 분리판; 상기 분리판에 의해 하측에 형성되고, 상기 연결관에서 공급되는 가열기체를 수용하는 수용공간부; 상기 수용공간부에서 상기 노즐케이스의 측면과 상기 가이드부재의 단부 사이에 형성되어 가열기체를 상측으로 안내하는 이격공간부; 및 상기 이격공간부에서 가열기체의 방향을 측면으로 전환하여 상기 균일유속유자부로 안내하는 안내공간부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 분리판은, 상기 노즐케이스의 내부 바닥면에서 상측으로 연장되는 상하연장부; 및 상기 노즐케이스의 상측면과 대응되어 상기 상하연장부에서 상기 챔버의 반대측으로 연장되어 상기 노즐케이스의 측면과 이격되는 안내연장부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 균일유속유지부는 설치부에 의해 상기 챔버의 토출부에 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 설치부는 상기 균일유속유지부의 둘레를 지지하여 상기 챔버에 설치하는 하우징부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버는, 엘씨디 베이킹용 오븐 챔버에서 급기구조에 환기성능개선부를 구비하여 대면적을 가지면서 토출되는 기체에 압력차를 부여하여 기체의 유속을 균일하게 토출시킴으로써, 챔버에서 유기증기의 환기 및 제거 효율을 증진할 수 있다.
또한, 본 발명은 메인프레임부에 결합되는 열변형방지부를 이용하여 바디부의 열변형부위를 포인트별로 가압 조절하여 바디부의 레벨기능을 유지하면서 바디부와 메인프레임부 간의 접촉부위를 최소화하므로 바디부의 열변형을 최대한 줄일 수 있고, 챔버 내부에서의 누설을 방지하므로 챔버 내부 온도의 균일성을 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버의 정단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에서 환기성능개선부의 확대 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에서 환기성능개선부의 확대 단면도로서, 직진안내부를 추가한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버의 환기성능개선부에서 균일유속유지부의 변형예로서, 타공판을 적용한 상태 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에서 환기성능개선부에 의한 유속 스트림라인을 보인 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에서 환기성능개선부에 의해 형성된 챔버 내부 온도를 보인 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버의 출입구를 개폐하는 셔터부와 열변형방지부의 분해사시도이다.
도 9는 도 8의 조립 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 셔터부와 열변형방지부의 정면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 셔터부와 열변형방지부의 부분 절개 단면 사시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 셔터부와 열변형방지부의 측단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버를 설명하도록 한다.
이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버의 정단면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에서 환기성능개선부의 확대 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에서 환기성능개선부의 확대 단면도로서, 직진안내부를 추가한 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버의 환기성능개선부에서 균일유속유지부의 변형예로서, 타공판을 적용한 상태 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에서 환기성능개선부에 의한 유속 스트림라인을 보인 도면이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버에서 환기성능개선부에 의해 형성된 챔버 내부 온도를 보인 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버의 출입구를 개폐하는 셔터부와 열변형방지부의 분해사시도이고, 도 9는 도 8의 조립 사시도이며, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 셔터부와 열변형방지부의 정면도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 셔터부와 열변형방지부의 부분 절개 단면 사시도이며, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 셔터부와 열변형방지부의 측단면도이다.
도 1 내지 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버는, 챔버(100) 및 환기성능개선부(200)를 포함한다.
챔버(100)는 내부에 설치된 핫플레이트(140) 상에 글라스기판(20)을 안착하는 출입구(130)를 형성하고, 토출부(110)를 통해 가열기체를 유입하여 배출부(120)로 배출하는 구성이다.
챔버(100)는 육면체 박스형태로 형성되어 내부에 설치된 핫플레이트(140) 상에 셔터부(300)로 출입구(130)를 개폐하여 글라스기판(20)을 안착시킨 후, 포토레지스트 코팅 설비에 투입하기 전에 글라스기판(20)에 핫플레아트(140)를 통해 열을 가해 건조 및 예열시키거나, 감광막이 코팅된 글라스기판(20)에 일정시간 열을 가해 감광막을 베이킹하는 장비이다.
토출부(110)는 챔버100)의 어느 일측면에 형성되는 구성으로서, 핫플레이트(140) 상에 안착된 글라스기판(20)을 베이킹하면서 발생되는 유기증기를 배출하기 위해 가열기체를 공급하는 가열기체 토출부위이다.
배출부(120)는 챔버100)의 다른 일측면에 형성되고, 토출부(110)의 반대측면에 형성된다. 배출부(120)는 토출부(110)에서 토출된 가열기체로 유기증기를 이동시켜 외부로 배출시킨다.
출입구(130)는 챔버(100)에서 토출부(110)와 배출부(120)가 형성되지 않는 나머지 다른 2면에 서로 마주보는 방향에 한 쌍 설치될 수 있다. 출입구(130)는 글라스기판(20)의 출입을 위해 직사각형 개방구멍 형태로 형성된다.
환기성능개선부(200)는 토출부(110)에 구비되어 가열기체를 토출하고, 챔버(100) 내부에서 발생되는 유기증기의 유속을 균일하게 유도하여 배출부(120)로 안내하므로 챔버(100)에서 유기증기의 환기성능을 개선시키는 구성이다.
기존에는 토출구(120)가 노즐 형태로 다수개소 형성되므로 토출부(110)에서 토출되는 가열기체에 와류가 발생되어 챔버(100) 내부에서 안정적으로 이동하지 못하므로 유기증기의 배출이 원활하지 못하여 챔버(100) 내부의 장비에 유기증기에 의한 이물질이 부착되어 오염되므로 장비성능이 현저하게 저하되는 문제점이 있었으나, 본 발명에 따른 환기성능개선부(200)를 이용하여 가열기체를 균일하면서 느린 유속으로 안정적으로 배출부(120)로 배출하므로 유기증기의 환기효율을 높여 챔버(100)의 내부 장비들이 오염되거나 글라스기판(20)에 얼룩이 묻어 공정 불량이 발생되는 문제를 해소할 수 있다.
도 2을 참조하면, 핫플레이트(140) 상에 안착된 글라스기판(20)은 핫플레이트(140)에서 상하로 관통 형성된 다수개의 관통공을 통해 상하로 승강 이동하는 승강핀(150)에 의해 핫플레이트(140)의 상면과 약간 이격된 상태로 안착될 수 있다.
환기성능개선부(200)는 챔버(100)의 토출부(110)에 구비되어 챔버(100)의 내측 단면적에 대응하도록 넓은 면적으로 설치될 수 있다.
환기성능개선부(200)는 토출부에 설치되어 가열기체에서 이물질을 걸려주면서 압력강하를 발생시켜 가열기체의 균일한 토출 유속 확보를 유지하는 균일유속유지부(210)와, 균일유속유지부(210)의 외측에 설치되어 급기유닛(230)에서 공급되는 가열기체를 연결관(222)을 통해 유입시켜 챔버(100)로 안내하는 노즐케이스(220)를 포함한다.
연결관(222)에는 기체를 데워주어 가열기체로 만드는 기체가열기(232)가 구비될 수 있다. 연결관(222)에는 급기유닛(230)을 통해 공급되는 가열기체의 공급량을 조절하는 유량조절밸브(234)가 구비될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 균일유속유지부(210)는 다공성 재질의 필터(212)를 포함할 수 있다. 필터(212)는 프리필터 또는 헤파필터 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 경우에 따라, 필터(212)는 프리필터 또는 헤파필터를 제외한 다른 종류의 필터를 적용하되, 저속으로 균일한 유속을 제공할 수 있는 소재라면 어떠한 소재라도 적용할 수 있다.
도 5를 참조하면, 균일유속유지부(210)는 타공홀(215)이 다수개 형성되는 타공판(214)을 포함할 수 있다.
타공판(214)의 타공홀(215)은 가로방향 및 세로방향으로 배열되되, 상하 및 좌우로 다수개의 열로 형성되므로 가열기체의 압력을 강하하여 토출 유속을 낮추면서 가열기체에 직진성을 부여하여 균일한 이동을 가능하게 한다. 타공판(214)이 균일유속유지부(210)로 사용될 때, 단독으로 사용되기도 하지만 경우에 따라 필터(212)와 결합하여 사용될 수도 있다, 이 경우 가열기체의 유속은 더욱더 균일하게 이루어질 수 있다. 이로써, 균일한 유속은 챔버(100) 내부에서 와류가 발생하지 않는 상태로 안정적으로 가열기체를 이동시키고, 이로 인해 핫플레이트(140)가 글라스기판(20)을 배이킹할 때, 발생하는 유기증기를 효과적이고 안정적으로 배출부(120)를 통해 외부로 배출하므로 챔버(100)의 내부 환기성능을 개선시킬 수 있다
노즐케이스(220)의 내측에는 연결관(222)을 통해 상측으로 공급되는 가열기체의 방향을 측면으로 전환하여 안내하는 가열기체안내부(250)가 구비될 수 있다.
도 2 내지 도 5를 참조하면 가열기체안내부(250)는 노즐케이스(220)의 내부에서 상측으로 설치되어 공간을 분리하는 분리판(260)과, 분리판(260)에 의해 하측에 형성되고, 연결관(222)에서 공급되는 가열기체를 수용하는 수용공간부(270)와, 수용공간부(270)에서 노즐케이스(220)의 측면과 분리판(260)의 단부 사이에 형성되어 가열기체를 상측으로 안내하는 이격공간부(280)와, 이격공간부(280)에서 가열기체의 방향을 측면으로 전환하여 균일유속유자부(210)로 안내하는 안내공간부(290)를 포함한다.
분리판(260)은 노즐케이스(220)의 내부 바닥면에서 상측으로 연장되는 상하연장부(282)와, 노즐케이스(220)의 상측면과 대응되어 상하연장부(262)에서 챔버(100)의 반대측으로 연장되어 노즐케이스(220)의 측면과 이격되는 안내연장부(264)를 포함할 수 있다.
안내연장부(264)는 안내공간부(290)에서 균일유속유지부(210)로 갈수록 하측으로 경사지게 형성될 수 있다. 물론, 안내연장부(264)는 노즐케이스(220)의 상측면과 대응되도록 수평으로 형성될 수도 있다.
노즐케이스(220)의 상측면은 가열기체를 직진성을 부여하도록 수평으로 형성되지만 경우에 따라 분리판(260)의 안내연장부(264)의 경사각도에 대응하는 경사각도로 균일유속유지부(210)로 갈수록 상향 경사지게 형성될 수도 있다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 균일유속유지부(210)를 토출부(110)에 설치하여 가열기체를 균일하게 공급하는 상태를 보인 도면으로서, 도 5의 경우에는 균일유속유지부(200)가 필터(212) 또는 타공판(214) 등을 포함하는 다공성 재질로 이루어짐에 따라 가열기체가 균일유속유지부(210)의 다공홀 또는 타공홀(215)을 통과하면서 압력 강하에 의해 유속이 현저하게 느려지면서 와류의 발생없이 균일한 스트림라인(유선)을 형성하면서 이동하는 상태를 보이고 있다. 아로써, 도 6의 경우에는 균일유속유지부(210)에 의해 스트림라인이 균일하게 이루점에 따라 챔버(100)의 내부 온도 색상이 균일한 분포로 이루어지는 열적외선 감지상태로 부터 유기증기의 배출이 균일하게 이루어지는 것을 알 수 있다.
균일유속유지부(210)는 설치부(240)에 의해 챔버(100)의 토출부(110)에 설치될 수 있다.
설치부(240)는 균일유속유지부(210)의 둘레를 지지하여 챔버(10-0)에 설치하는 하우징부(242)를 포함할 수 있다.
도 4를 참조하면, 설치부(240)는 하우징부(242)의 진입측에 구비되어 안내공간부(290)에서 이동하는 가열기체의 직진 이동을 안내하는 직진안내부(244)를 포함할 수도 있다. 직진안내부(244)는 하우징부(242)의 가장자리에서 안내공간부(270) 측으로 수평으로 연장된다. 직진안내부(244)는 안내공간부(290) 측으로 수평으로 돌출 형성된다.
하우징부(242)의 하측부위에 형성된 직진안내부(244)는 분리판(260)의 안내연장부(264)의 경사면을 따라 이동하는 가열기체를 안내하도록 상하연장부(262)와 안내연장부(284)의 연결부위로 연장 형성될 수 있다. 이로써, 하우징부(242)의 하측 가장자리에 돌출 형성된 직진안내부(244)는 분리판(260)과의 간격을 줄이거나 없애므로 안내공간부(290)를 통해 공급되는 가열기체의 와류를 방지할 수 있다.
도 2 내지 5를 참조하면, 가열기체의 이동 상태를 살펴보면, 연결관(222)을 통해 노즐케이스(220)의 수용공간부(270)로 유입된 가열기체가 분리판(260)의 상하연장부(262)와 안내연장부(264)에 막혀 유속을 늦추면서 머무르다가 다시 이격공간부(280)를 거쳐 상측으로 수직 이동하고, 안내공간부(290)에서 이동방향을 전환하여 안내공간부(290)를 거쳐 수평으로 이동하여 균일유속유지부(210)를 통과하면서 압력 강하에 의해 유속이 저하되면서 균일하게 이동하여 유기증기를 배출부(120)로 배출한다.
이때, 하우징부(242)의 가장자리에서 안내공간부(290) 측으로 돌출된 직진안내부(244)는 균일유속유지부(210)로 진입하는 가열기체가 챔버(100)의 토출부(110)의 전체 측면에 걸쳐 균일한 유속으로 진입되게 도와준다.
도 8 내지 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버는, 챔버(100)의 출입구(130)를 개폐하여 글라스기판(20)의 인출을 도와주고, 가열기체의 누출을 방지하는 셔터부(300)와, 서터부(300)에 구비되고, 챔버(100) 내부의 고열에 의해 셔터부(300)에서 발생되는 열변형을 최소화하여 유기증기의 누설을 방지하는 열변형방지부(400)를 포함할 수 있다.
셔터부(300)는 출입구(130)를 차단하는 바디부(310)와, 바디부(310)와 이격 배치되도록 연결되고, 바디부(310)를 챔버(100)의 출입구(130)에 구동부(380)를 통해 가압 밀착하는 메인프레임부(330)를 포함한다.
바디부(310)의 내측면에는 출입구(130)의 내측 가장자리에 밀착 삽입되는 시일링부재(320)가 구비될 수 있다.
메인프레임부(330)는 바디부(310)에서 이격 배치되고, 열변형방지부(400)를 통해 바디부(310)와 상호 연결되는 접촉부(340)와, 접촉부(340)에 일측면에 가로방향 또는 세로방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 2개 이상 배치되어 하중을 지지하는 프레임(350)와, 프레임(350)의 양측을 연결 지지하는 연결지지부(360)를 포함한다.
연결지지부(360)는 복수개의 가로방향으로 상하측으로 이격 배치된 프레임(350)을 상호 연결하면서 나사 또는 볼트 등의 체결요소에 의해 프레임(350)과 결합될 수 있다.
연결지지부(360)에는 양측으로 연장되어 구동부(380)를 통해 회전 구동되어 셔터부(300)를 개폐하는 회전지지축(370)이 구비될 수 있다. 회전지지축(370)은 연결지지부(360)의 하측에서 양측으로 돌출 형성된다.
구동부(380)는 동력을 제공하는 동력부(382)와, 동력부(382)의 작동력에 의해 직진이동하는 직진부(384)와, 직진부(384)에 힌지 연결되어 직진력을 회전력으로 전환하여 회전지지축(370)을 회전시켜 셔터부(300)를 개폐하는 링크부(386)를 포함할 수 있다.
동력부(382)는 공압 또는 유압실린더를 적용할 수 있다. 물론, 동력부(382)는 모터등과 같이, 다양한 동력부재를 적용하는 것이 가능하다. 링크부(386)는 일측에 회전지지축(370)이 회전 가능하게 연결되고, 타측에 직진부(384)가 힌지 연결된다. 동력부(382)는 직진부(384)와 축 연결되고, 직진부(384)의 반대측에 챔버(100)에 설치된 지지프레임에 의해 회동 가능하게 연결된다.
열변형방지부(400)는 바디부(310)에 가로방향 또는 세로방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 다수개 구비되는 포인트연결부(410)와, 포인트연결부(410)에 대응하도록 접촉부(340)에 전후방향으로 관통 형성되는 나사홀부(420)와, 나사홀부(420)에 체결된 상태에서 포인트연결부(410)에 연결되어 바디부(310)에서 메인프레임부(330)로 전달되는 열기를 최소화하면서 조임 또는 풀림을 통해 통해 바디부(310)의 변형을 조절하는 접촉최소화부(430)를 포함할 수 있다.
접촉최소화부(430)는 길이방향으로 중공을 갖는 볼트 또는 나사 형태로 이루어질 수 있다.
접촉최소화부(430)는 다수개로 이루어져 접촉부(340)에 체결된 상태에서 바디부(310)의 열변형량에 따라 접촉부(340)의 포인트 중에서 선택적으로 조여지거나 풀려져 바디부(310)와의 가압량을 조절하여 바디부(310)의 레벨(수평) 유지기능을 수행하면서 접촉부(340)로의 열전달 접촉면적을 줄이므로 바디부(310)의 변형을 최소화하여 유기증기의 누설을 방지할 뿐만아니라, 접촉부(340)를 통해 메인프레임부(330)가 뜨거워지는 것을 방지할 수 있다.
이로써, 기존에는 바디부(310)와 메인프레임부(330)가 면접촉으로 이루어져 바디부(310)의 열기가 메인프레임부(330)로 그대로 전달되어 메인프레임부(330)가 뜨거워져 열 변형될 우려가 있고 손으로 만지기 어려웠으나, 본 발명의 경우에는 접촉최소화부(430)를 이용하여 열전달 면적을 면접촉이 아닌 점(포인트)접촉으로 바꿔 최소화하므로 바디부(310)의 고열이 메인프레임부(330)로 전달되는 것을 최소화하여 메인프레임부(330)를 손으로 만져도 될 정도로 열전달 온도를 낮출 수 있다.
열변형방지부(400)는 바디부(310)의 열변형을 조절한 후, 접촉최소화부(430)에 결속부(440)가 체결되어 포인트연결부(410)에 결합되므로 메인프레임부(330)를 바디부(310)에 고정할 수 있다.
도 8, 도 11 및 도 12를 참조하면, 결속부(440)는 접촉최소화부(430)의 중심부에 전후로 관통 형성되는 삽입홀(442)과, 포인트연결부(410)에 형성되는 나사체결홀(444)과, 삽입홀(442)에 결합되고, 포인트연결부(410)의 나사체결홀(444)에 체결되어 메인프레임부(330)를 바디부(310)에 고정하는 체결부재(446)를 포함할 수 있다.
삽입홀(442)은 밋밋한 관통공이거나 암나사산이 형성된 나사공일 수 있다. 나사체결홀(444)은 암나사산이 형성되는 나사공이다.
체결부재(446)는 삽입홀(442)인 밋밋한 관통공이 경우에는, 삽입공(442)에 삽입되는 일부 구간에는 나사산이 형성되지 않고, 나사체결홀(444)에 체결되는 구간에만 나사산이 형성될 수 있다. 또한, 체결부재(446)는 삽입홀(442)이 나사공인 경우에는, 전체구간에 나사산이 형성되어 삽입공(442)에 나사 체결되면서 연속적으로 나사체결홀(444)에 체결되므로 바디부(310)와 메인프레임부(330)를 상호 결합할 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에서는 삽입홀(442)은 밋밋한 관통공으로 형성하고, 체결부재(446)는 삽입공(442)에 삽입되는 구간에는 나사산이 형성되지 않고, 단부 둘레에만 수나사산이 형성되는 것으로 도시한다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버는, 엘씨디 베이킹용 오븐 챔버에서 급기구조에 환기성능개선부를 구비하여 대면적을 가지면서 토출되는 기체에 압력차를 부여하여 기체의 유속을 균일하게 토출시킴으로써, 챔버에서 유기증기의 환기 및 제거 효율을 증진할 수 있다. 또한, 본 발명은 메인프레임부에 결합되는 열변형방지부를 이용하여 바디부의 열변형부위를 포인트별로 가압 조절하여 바디부의 레벨기능을 유지하면서 바디부와 메인프레임부 간의 접촉부위를 최소화하므로 바디부의 열변형을 최대한 줄일 수 있고, 챔버 내부에서의 누설을 방지하므로 챔버 내부 온도의 균일성을 유지할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
100 : 챔버 110 : 토출부
120 : 배출부 130 : 출입구
200 : 환기성능개선부 210 : 균일유속유지부
212 : 필터 214 : 타공판
215 : 타공홀 220 : 노즐케이스
230 : 급기유닛 232 : 기체가열기
234 : 유량조절밸브 240 : 설치부
242 : 하우징부 250 : 기체안내부
260 : 분리판 262 : 상하연장부
264 : 안내연장부 270 : 수용공간부
280 : 이격공간부 290 : 안내공간부
300 : 셔터부 310 : 바디부
320 : 메인프레임부 340 : 접촉부
350 : 프레임 360 : 연결지지부
370 : 회전지지부 380 : 구동부
382 : 동력부 384 : 직진부
386 : 링크부 400 : 열변형방지부
410 : 포인트연결부 420 : 체결홀부
430 : 접촉최소회부 440 : 결합부
442 : 나사홀 444 : 결합홀
446 : 결합부재

Claims (11)

  1. 핫플레이트 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 개폐하는 셔터부를 구비하고, 토출부를 통해 가열기체를 유입하여 배출부로 배출하는 챔버; 및
    상기 토출부에 구비되어 가열기체를 토출하고, 상기 챔버 내부에서 발생되는 유기증기의 유속을 균일하게 유도하여 상기 배출부로 안내하므로 상기 챔버에서 유기증기의 환기성능을 개선시키는 환기성능개선부;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 환기성능개선부는 상기 챔버의 토출부에 구비되어 상기 챔버의 내측 단면적에 대응하도록 넓은 면적으로 설치되는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 환기성능개선부는,
    상기 토출부에 설치되어 가열기체에서 이물질을 걸려주면서 압력강하를 발생시켜 가열기체의 균일한 토출 유속 확보를 유지하는 균일유속유지부; 및
    상기 균일유속유지부의 외측에 설치되어 급기유닛에서 공급되는 가열기체를 연결관을 통해 유입시켜 상기 챔버로 안내하는 노즐케이스;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 균일유속유지부는 다공성 재질의 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 필터는 프리필터 또는 헤파필터 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 균일유속유지부는 타공홀이 다수개 형성되는 타공판을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 노즐케이스의 내측에는 상기 연결관을 통해 상측으로 공급되는 가열기체의 방향을 측면으로 전환하여 안내하는 가열기체안내부가 구비되는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 가열기체안내부는,
    상기 노즐케이스의 내부에서 상측으로 설치되어 공간을 분리하는 분리판;
    상기 분리판에 의해 하측에 형성되고, 상기 연결관에서 공급되는 가열기체를 수용하는 수용공간부;
    상기 수용공간부에서 상기 노즐케이스의 측면과 상기 가이드부재의 단부 사이에 형성되어 가열기체를 상측으로 안내하는 이격공간부; 및
    상기 이격공간부에서 가열기체의 방향을 측면으로 전환하여 상기 균일유속유자부로 안내하는 안내공간부;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 분리판은,
    상기 노즐케이스의 내부 바닥면에서 상측으로 연장되는 상하연장부; 및
    상기 노즐케이스의 상측면과 대응되어 상기 상하연장부에서 상기 챔버의 반대측으로 연장되어 상기 노즐케이스의 측면과 이격되는 안내연장부;를
    포함하는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 균일유속유지부는 설치부에 의해 상기 챔버의 토출부에 설치되는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 설치부는 상기 균일유속유지부의 둘레를 지지하여 상기 챔버에 설치하는 하우징부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기증기 제거 효율 개선형 엘씨디 베이크 챔버.
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