KR100516778B1 - Ｌｃｄ 기판용 베이크 장치 - Google Patents

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KR100516778B1
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정용범
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(주)하나기술
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Abstract

본 발명은 LCD 기판용 베이크 장치에 관한 것으로, 상부에 슬라이딩 가이드 부재가 제공된 베이스 프레임과; 슬라이딩 가이드 부재의 일측 상부면에 안착된 하부 챔버와, 하부 챔버의 상부에 일체로 설치되어 있으며 상부가 개방된 상부 챔버와, 상부 챔버에 수용된 핫 플레이트와, 하부 챔버와 상부 챔버 및 핫 플레이트를 관통하며 핫 플레이트를 거치하도록 제공된 복수 개의 LCD 기판 승강 부재와, 상부 챔버의 상부에 제공되어 있으며 복수 개의 거치 단부가 형성된 커버 부재와, 커버 부재를 상부 챔버에 고정 또는 고정 해제하도록 상부 챔버의 상부에 제공된 복수 개의 커버 부재 클램퍼와, 상부 챔버의 일측 면에 형성된 도어를 개폐하도록 제공된 도어 개폐 수단을 포함하는 베이크 챔버와; 베이크 챔버를 슬라이딩 가이드 부재를 따라 이송시키도록 제공된 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단과; 커부 부재의 복수 개의 거치 단부에 각기 대응하여 제공된 거치용 승강 부재를 갖으며 베이스 프레임에 제공된 복수 개의 커버 부재 제 1 승강 수단과; 슬라이딩 가이드 부재의 타측에 위치되어 커부 부재의 복수 개의 거치 단부에 각기 대응하여 제공된 거치용 승강 부재를 갖으며 베이스 프레임에 제공된 복수 개의 커버 부재 제 2 승강 수단을 포함하여 구성됨으로써, 베이크 장치의 챔버 또는 커버 부재가 작업자가 안전하면서도 원활하고 용이하게 유지 보수할 수 있어 LCD 기판의 작업 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

ＬＣＤ 기판용 베이크 장치 {Apparatus for baking a LCD substrate}
본 발명은 LCD 기판용 베이크 장치에 관한 것이다.
특히, 본 발명은 챔버와 커버를 슬라이딩 방식으로 선택적 이탈시켜 챔버 또는 커버를 용이하게 유지 보수할 수 있도록 하여 LCD 기판의 수율 향상을 극대화할 수 있는 LCD 기판용 베이크 장치에 관한 것이다.
액정(Liquid Crystal)은 액체의 유동성과 고체의 결정과 같은 규칙적인 분자 배열을 동시에 갖는다. 또한, 광학적 이방성을 가지면서 전압이 가해지면 전계의 방향을 따라 액정의 분자 배열이 바뀌는 특성을 가지는 바, 이러한 액정의 성질을 이용하여 도형, 문자 또는 그림을 표시하는 장치를 LCD(Liquid Crystal Display)라 한다.
현재, LCD는 노트북 컴퓨터, LCD 모니터, LCD TV, 디지털 카메라, 화상전화기, 게임기, PDA와 같이 다양한 분야에서 폭 넓게 응용되고 있으며, 특히 IMT-2000의 핵심 디스플레이 방식으로 부상하고 있는 등 인간 생활을 보다 편리하게 영유토록 하는 첨단 디스플레이 장치이다.
이상과 같은 LCD는 크게 PEP LINE, CELL LINE 및 모듈 공정을 거쳐 제조된다. 통상적으로, PEP 라인은 LCD 품질 및 수율에 매우 중요한 공정으로 [세정 -> 감광제 도포 -> 노광 -> 현상 -> 식각 -> 박리] 공정으로 세분된다.
여기서, 베이크 장치는 감광제와 LCD 기판간의 접착성을 향상, 세정 공정시 수분이나 유기 유제 제거, 감광제 도포후 용제를 제거하는 데 주로 사용된다. 이러한 베이크 장치는 히터 플레이트 상에 감광제가 도포된 LCD 기판을 장착하여 소정의 온도로 감광제를 베이크한다.
통상적으로, LCD 기판용 베이크 장치는 웨이퍼용 베이크 장치에 비하여 장비의 크기가 월등히 크기 때문에 원활하고 용이한 유지 보수가 LCD 기판의 생산 수율을 결정하는 중요한 인자로 작용하고 있다.
일반적으로, LCD 기판용 베이크 장치는 챔버로부터 커버를 오픈시켜 파손된 LCD 기판 제조용 글라스의 제거, 챔버 내부의 세정 또는 핫 플레이트의 유지 보수 등을 수행한다. 여기서, LCD 기판용 베이크 장치는 챔버의 일단부로부터 커버가 힌지 등에 의해 회동되어 경사지게 오픈되는 구조를 갖는다. 따라서, 종래 기술에 의한 LCD 기판용 베이크 장치는 중량체인 커버가 챔버로부터 일단부가 힌지 회동되어 상부 방향으로 오픈되는 구조이기 때문에 LCD 기판의 수율 향상을 위하여 다수의 베이크 챔버를 복수 개 적층시킬 수 없는 구조적인 문제점이 있다.
또한, LCD 기판용 베이크 장치는 작동 전후에 고온 상태로서 작업자가 챔버 또는 커버 등을 유지 보수하기 위해서 위험을 감수하고 그 내부를 액세스(ACCESS)하여야 하기 때문에 안전 사고에 직접 노출됨은 물론, 작업 강도가 높아 작업 생산성이 매우 낮아 LCD 기판 생산 수율이 저하되는 치명적인 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 창출된 본 발명의 목적은, 유지 보수가 용이하여 LCD 기판의 수율을 향상할 수 있는 LCD 기판용 베이크 장치를 제공함에 있다.
이러한 본 발명의 목적은, 상부에 슬라이딩 가이드 부재가 제공된 베이스 프레임과; 상기 슬라이딩 가이드 부재의 일측 상부면에 안착된 하부 챔버와, 상기 하부 챔버의 상부에 일체로 설치되어 있으며 상부가 개방된 상부 챔버와, 상기 상부 챔버에 수용된 핫 플레이트와, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 및 상기 핫 플레이트를 관통하며 상기 핫 플레이트를 거치하도록 제공된 복수 개의 LCD 기판 승강 부재와, 상기 상부 챔버의 상부에 제공되어 있으며 복수 개의 거치 단부가 형성된 커버 부재와, 상기 커버 부재를 상기 상부 챔버에 고정 또는 고정 해제하도록 상기 상부 챔버의 상부에 제공된 복수 개의 커버 부재 클램퍼와, 상기 상부 챔버의 일측 면에 형성된 도어를 개폐하도록 제공된 도어 개폐 수단을 포함하는 베이크 챔버와; 상기 베이크 챔버를 상기 슬라이딩 가이드 부재를 따라 이송시키도록 제공된 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단과; 상기 커부 부재의 복수 개의 거치 단부에 각기 대응하여 제공된 거치용 승강 부재를 갖으며 상기 베이스 프레임에 제공된 복수 개의 커버 부재 제 1 승강 수단과; 상기 슬라이딩 가이드 부재의 타측에 위치되어 상기 커부 부재의 복수 개의 거치 단부에 각기 대응하여 제공된 거치용 승강 부재를 갖으며 상기 베이스 프레임에 제공된 복수 개의 커버 부재 제 2 승강 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 베이크 장치에 의해 달성될 수 있다.
바람직하게는, 본 발명은 상기 상부 챔버 내부의 오염된 공기를 배기시키도록 상기 핫 플레이트의 상부에 위치된 상기 상부 챔버에 제공된 고온 공기 공급/배기부를 더 포함하되, 상기 고온 공기 공급/배기부는 고온 공기 공급 수단과 연통되어 있으며 상기 상부 챔버의 일측에 제공된 고온 공기 공급구와, 상기 고온 공기 공급구와 연통되도록 상기 상부 챔버에 제공되어 있으며 상부의 일측부가 개방된 중공 구조를 갖는 고온 공기 공급부와; 상기 상부 챔버의 타측 내부에 제공되어 있으며 상부의 일측부가 개방된 중공 구조를 갖는 고온 공기 공급부와, 상기 고온 공기 공급부와 연통되도록 상기 상부 챔버의 타측에 제공되어 있으며 고온 공기 배기 수단과 연통된 고온 공기 배기구를 포함하여 구성된다.
바람직하게는, 본 발명은 상기 상부 챔버의 핫 플레이트의 온도를 강제적으로 낮추도록 상기 상기 핫 플레이트의 상부에 위치된 상기 상부 챔버에 제공되어 있으며 저온 공기 공급 수단과 연통된 고온 공기 배기부를 더 포함하여 구성된다.
바람직하게는, 본 발명은 상기 하부 챔버와 상기 LCD 기판 승강 부재의 외주연 사이를 실링하도록 개재된 실리콘 재질의 제 1 실링 부재를 더 포함하여 구성된다.
바람직하게는, 본 발명은 상기 상부 챔버의 내측벽과 상기 핫 플레이트의 가장자리 사이를 실링하도록 개재된 실리콘 재질의 제 2 실링 부재를 더 포함하여 구성된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 의한 LCD 기판용 베이크 장치를 나타내는 정면도이고, 도 2는 도 1의 측면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅲ - Ⅲ선 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 LCD 기판용 베이크 장치는 베이크 챔버(20)를 슬라이딩 가이드 부재(12)를 따라 슬라이딩 이송시켜 상부 및 하부 챔버(20a)(20b) 또는 커부 부재(24)를 선택적으로 원활하고 용이하게 유지 보수할 수 있도록 구성되어 있다.
베이스 프레임(10)은 지면에 설치되어 있으며, 상부에 슬라이딩 가이드 부재(12)가 제공되어 있다.
베이크 챔버(20)는 슬라이딩 가이드 부재(12)의 상부에 안착되어 있으며 베이스 프레임(10)의 상부 일측부에 제공된 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단(50)에 의해 슬라이딩 가이드 부재(12)를 따라 이송되도록 제공되어 있다. 여기서, 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단(50)은 베이크 챔버(20)를 슬라이딩 가이드 부재(12)를 따라 이송시키고 또는 복귀시키는 일종의 실린더와 같은 주지의 구동 수단으로서, 이에 대한 상세한 구성의 도시 및 설명은 생략하기로 한다.
베이크 챔버(20)는 하부 챔버(20b)와 상부가 개방되어 있으며 핫 플레이트(90)가 수용된 중공 구조를 갖는 상부 챔버(20a) 그리고, 상부 챔버(20a)의 상부에 안착된 커버 부재(24)로 구성되어 있다.
LCD 기판 승강 부재(60)는 하부 챔버(20b), 상부 챔버(20a) 및 핫 플레이트(90)를 관통하되, 핫 플레이트(90)의 하부면과 상부 챔버(20a)의 바닥면이 이격되돌고 거치되게 복수 개 제공되어 있다. 여기서, LCD 기판 승강 부재(60)는 제어 수단(도시 안됨)에 의해 핫 플레이트(90)의 상부면에 안착되는 LCD 기판(200)을 선택적으로 승강한다.
본 발명은 하부 챔버(20b)를 관통한 LCD 기판 승강 부재(60)의 외주연 사이에 발생될 수 있는 틈새를 통해 외기의 공기 또는 유해 파티클(particle)이 유입되어 베이크 공정시 정교한 베이킹 분위기 조성이 구현할 수 없는 문제점과 LCD 기판(200)의 수율 저하를 원천적으로 해소하기 위하여 제 1 실링 부재(70)를 제공하고 있다. 제 1 실링 부재(70)는 하부 챔버(20b)와 LCD 기판 승강 부재(60)의 외주연 사이에 개재된 실리콘 계열의 합성 수지이다.
또한, 본 발명은 핫 플레이트(90)의 수용된 상부 챔버(20a)의 바닥에 충전될 수 있는 유해 흄이 순환되면서 베이크 공정시 LCD 기판(200)의 수율을 저하시키는 것을 원천적으로 방지하기 위하여 제 2 실링 부재(80)를 제공하고 있다. 제 2 실링 부재(80)는 상부 챔버(20a)의 내측벽과 핫 플레이트(90)의 가장자리 사이에 개재된 실리콘 계열의 합성 수지이다. 특히, 실리콘 계열의 제 2 실링 부재(80)는 내열성과 탄력성이 우수하며 완충 효과가 탁월하여 외력 등에 의한 핫 플레이트(90)의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다. 여기서, 핫 플레이트(90)를 상부 챔버(20a)의 내측벽 및 바닥벽에 이격되도록 설치하는 이유는 베이크 공정시 열팽창에 의한 핫 플레이트(90)의 파손을 방지하기 위하여 반드시 요구되는 것이다.
상부 챔버(20a)는 LCD 기판(200)이 공급 또는 제거되기 위하여 일측벽에 도어(22)가 제공되어 있으며, 도어(22)를 개폐시키기 위하여 도어 개폐 수단(25)이 제공되어 있다.
도어 개폐 수단(25)은 도어(22)에 취부된 베어링(도시 안됨)이 제공된 복수 개의 지지 부재(25b)와, 지지 부재(25b)를 관통하여 베어링 지지되는 회전축(25c)과, 회전축(25c)과 연동된 실린더 부재(25a)로 구성되어 있다. 본 도면에서는 도어(22)의 개폐 관계가 중요한 구성이 아닌 관계로 도어 개폐 수단(25)의 상세한 구성 도시 및 설명을 생략하기로 한다.
커버 부재 클램퍼(26)는 상부 챔버(20a)의 상부에 복수 개 제공된 것으로, 커버 부재(24)를 상부 챔버(20a)의 상부에 강력하게 압착 밀폐시키기 위한 수단이다. 여기서, 커버 부재 클램퍼(26)는 제어 수단(도시 안됨)에 의해 커버 부재(24)를 상부 챔버(20a)에 고정 또는 고정 해제한다.
커버 부재(24)는 상부 챔버(20a)의 상부에 안착되어 있으며, 가장자리부에 복수 개의 거치 단부(24a)가 제공되어 있다.
커버 부재 제 1 승강 수단(30)은 베이스 프레임(10)의 상부면에 제공되어 있으며, 커버 부재(24)의 거치 단부(24a)에 대응하여 요크(yoke) 형상의 거치용 부재(30a)가 제공되어 있으며, 이 거치용 부재(30a)는 제어 수단(도시 안됨)에 의해 실린더와 같은 커버 부재 제 1 승강 수단(30)이 제어됨에 따라 거치 단부(24a)를 승강시키도록 신축되는 피스톤이다. 즉, 피스톤의 단부에 요크 형상이 형성된 것이며 거치 단부(24a)를 거치할 수 있는 다양한 형상으로 변형 실시될 수 있다.
그리고, 커버 부재 제 2 승강 수단(40)은 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단(50)에 의해 베이크 챔버(20)가 타측으로 이송된 위치에 커버 부재(24)의 거치 단부(24a)를 승강시킬 수 있는 위치인 베이스 프레임(10) 상부면에 제공되어 있다.
본 발명은 상부 챔버(20a) 내부에서 LCD 기판(200)을 베이크하는 과정에서 LCD 기판(200)의 유리 표면에 코팅되어 있는 물질이 증발학 되며 이 때 발생되는 유해 흄이 상부 챔버(20a) 내부에 고착되거나 부유되어 LCD 기판(200)의 수율 저하를 원천적으로 방지하기 위하여 상부 챔버(20a)에 고온 공기 공급/배기부(21)를 제공하고 있다.
여기서, 고온 공기 공급/배기부(21)는 고온 공기 공급 수단(도시 안됨)과 연통되어 있으며 상부 챔버(20a)의 일측에 제공된 복수 개의 고온 공기 공급구(21a-1)와, 고온 공기 공급구(21a-1)와 연통되도록 상부 챔버(20a)에 제공되어 있으며 상부의 일측부가 개방된 중공 구조를 갖는 포켓 형상의 고온 공기 공급부(21a-2)와, 상부 챔버(20a)의 타측 내부에 제공되어 있으며 상부의 일측부가 개방된 중공 구조를 갖는 포켓 형상의 고온 공기 공급부(21b-2)와, 고온 공기 공급부(21b-2)와 연통되도록 상부 챔버(20a)의 타측에 제공되어 있으며 고온 공기 배기 수단(도시 안됨)과 연통된 복수 개의 고온 공기 배기구(21b-1)를 포함하여 구성되어 있다.
여기서, 고온 공기 공급 수단(도시 안됨)으로부터 공급되는 고온의 공기는 베이크 공정시 베이크 챔버(20) 내부의 분위기를 저해하지 않도록 이에 상응하는 온도, 유압 또는 유량의 공기가 제공된다. 그리고, 고온 공기 배기 수단(도시 안됨)은 일종의 진공 흡입(suction) 장치이다.
본 발명에 의한 고온 공기 공급/배기부(21)는 핫 플레이트(90)의 상부면 보다 더 높은 위치에 제공되며 특히, 커버 부재(24)의 하부면에 인접되도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은 LCD 베이크 공정이 완료된 이후 핫 플레이트(90)의 온도를 신속하게 낮추어 작업 생산성을 향상시키기 위하여 자연 냉각 방식이 아닌 강제 냉각 방식의 저온 공기 공급부(23)를 제공하고 있다. 여기서, 저온 공기 공급부(23)는 핫 플레이트(90)의 온도를 강제적으로 낮추는 효과 이외에 핫 플레이트(90)의 상부면에 안착 또는 부유되는 유해 흄을 강제적으로 배기시키기 위한 효과도 있다.
여기서, 저온 공기 공급부(23)는 일종의 공기 토출구로서, 저온 공기 공급 수단(도시 안됨)과 연통되어 있으며 상부 챔버(20a)의 일측벽에 복수 개 제공되어 있다. 그리고, 저온 공기 공급부(23)는 고온 공기 공급/배기부(21)과 핫 플레이트(90) 사이에 개재되는 것이 바람직하다.
도 4를 참조하여 본 발명에 의한 LCD 기판용 베이크 장치의 챔버(20a)(20b)와 커버 부재(24)를 택일적으로 유지 보수하는 경우의 작동 관계를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 커버 부재 제 1 승강 수단(30)은 제어 수단(도시 안됨)에 의해 거치용 부재(30a)에 의해 거치되어 있던 커버 부재(24)의 거치 단부(24a)를 거치 해제하도록 슬라이딩 가이드 부재(12)의 외측 폭 방향으로 이동된다(도 4a 참조).
여기서, 커버 부재(24)가 커버 부재 제 1 승강 수단(30)으로부터 거치 해제된 다음, 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단(50)은 제어 수단(도시 안됨)에 의해 베이크 챔버(20)를 슬라이딩 가이드 부재(12)의 타측 방향으로 이송시킨다(도 4b 참조).
커버 부재 제 2 승강 수단(40)은 제어 수단(도시 안됨)에 의해 거치 해제 상태로 있던 거치용 부재(40a)를 슬라이딩 가이드 부재(12)의 내측 폭 방향으로 이동시켜 커버 부재(24)의 거치 단부(24a)를 거치한다(도 4c 참조).
이후, 커버 부재 제 2 승강 수단(40)은 제어 수단(도시 안됨)에 의해 거치용 부재(40a)를 상승시켜 커버 부재(24)가 상부 챔버(20a)로부터 완전 이격된다(도 4d 및 도 4e 참조).
따라서, 커버 부재(24)와 상부 챔버(20a)를 동시에 유지 보수할 수 있으며 이의 역순에 의해 원위치로 복귀된다.
만약, 커버 부재(24)만을 유지 보수하는 경우에는 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단(50)이 제어 수단(도시 안됨)에 의해 원상태로 복귀(도 4f 참조)되고 이후 커버 부재(24)를 유지 보수하면 되고 전술된 바와 같이 역순에 의해 원위치로 복귀된다.
도 5를 참조하여 본 발명에 의한 LCD 기판용 베이크 장치의 챔버(20a)(20b)만을 유지 보수하는 경우의 작동 관계를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 커버 부재 제 1 승강 수단(30)은 제어 수단(도시 안됨)에 의해 거치용 부재(30a)에 의해 거치되어 있던 커버 부재(24)의 거치 단부(24a)를 상승시켜 상부 챔버(20a)로부터 커버 부재(24)가 완전 이격되도록 한다(도 5a 및 도 5b 참조).
여기서, 커버 부재(24)가 커버 부재 제 1 승강 수단(30)에 의해 상승된 다음, 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단(50)은 제어 수단(도시 안됨)에 의해 베이크 챔버(20)를 슬라이딩 가이드 부재(12)의 타측 방향으로 이송시키고(도 5c 참조) 이후 챔버(20a)(20b)를 유지 보수하고 이 역순에 의해 원위치로 복귀된다.
이상에서 설명된 본 발명은 전술된 실시예에 한정되어 설명되었지만, 이에 한정되지 않고 본 발명이 속하는 분야의 통상적인 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있는 정도의 변형은 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것임은 자명하다.
이상의 구성을 갖는 본 발명은 베이크 장치의 챔버 또는 커버 부재가 작업자가 안전하면서도 원활하고 용이하게 유지 보수할 수 있어 LCD 기판의 작업 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 구성은 유해한 흄을 외기로 배기하고 핫 플레이트를 신속하게 강제 냉각시킴으로써 LCD 기판의 수율 향상을 도모할 수 있는 효과가 있다.
더욱이, 본 발명의 구성은 베이크 장치의 취약 부분을 실링 처리함으로써 바람직한 베이크 분위기 조성을 구현하여 LCD 기판의 수율 향상에 기여할 수 있는 특징이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 LCD 기판용 베이크 장치를 나타내는 정면도.
도 2는 도 1의 측면도.
도 3은 도 2의 Ⅲ - Ⅲ선 단면도.
도 4 및 도 5는 LCD 기판용 베이크 장치의 작동 상태도.
<< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >>
10 : 베이스 프레임 12 : 슬라이딩 가이드 부재
20 : 베이크 챔버 20a : 상부 챔버
20b : 하부 챔버
21 : 고온 공기 공급/배기부 21a-1 : 고온 공기 공급구
21a-2 : 고온 공기 공급부 21b-1 : 고온 공기 배기구
21b-2 : 고온 공기 배기부
22 : 도어
23 : 저온 공기 공급부
24 : 커버 부재 24a : 거치 단부
25 : 도어 개폐 수단 25a : 실린더 부재
25b : 지지 부재 25c : 회전축
26 : 커버 부재 클램퍼
30 : 커버 부재 제 1 승강 수단 30a : 거치용 부재
40 : 커버 부재 제 2 승강 수단 40a : 거치용 부재
50 : 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단
60 : LCD 기판 승강 부재
70 : 제 1 실링 부재
80 : 제 2 실링 부재
90 : 핫 플레이트
200 : LCD 기판

Claims (5)

  1. 상부에 슬라이딩 가이드 부재가 제공된 베이스 프레임과;
    상기 슬라이딩 가이드 부재의 일측 상부면에 안착된 하부 챔버와, 상기 하부 챔버의 상부에 일체로 설치되어 있으며 상부가 개방된 상부 챔버와, 상기 상부 챔버에 수용된 핫 플레이트와, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 및 상기 핫 플레이트를 관통하며 상기 핫 플레이트를 거치하도록 제공된 복수 개의 LCD 기판 승강 부재와, 상기 상부 챔버의 상부에 제공되어 있으며 복수 개의 거치 단부가 형성된 커버 부재와, 상기 커버 부재를 상기 상부 챔버에 고정 또는 고정 해제하도록 상기 상부 챔버의 상부에 제공된 복수 개의 커버 부재 클램퍼와, 상기 상부 챔버의 일측 면에 형성된 도어를 개폐하도록 제공된 도어 개폐 수단을 포함하는 베이크 챔버와;
    상기 베이크 챔버를 상기 슬라이딩 가이드 부재를 따라 이송시키도록 제공된 베이크 챔버 슬라이딩 이송 수단과;
    상기 커부 부재의 복수 개의 거치 단부에 각기 대응하여 제공된 거치용 승강 부재를 갖으며 상기 베이스 프레임에 제공된 복수 개의 커버 부재 제 1 승강 수단과;
    상기 슬라이딩 가이드 부재의 타측에 위치되어 상기 커부 부재의 복수 개의 거치 단부에 각기 대응하여 제공된 거치용 승강 부재를 갖으며 상기 베이스 프레임에 제공된 복수 개의 커버 부재 제 2 승강 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 베이크 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 챔버 내부의 오염된 공기를 배기시키도록 상기 핫 플레이트의 상부에 위치된 상기 상부 챔버에 제공된 고온 공기 공급/배기부를 더 포함하되,
    상기 고온 공기 공급/배기부는,
    고온 공기 공급 수단과 연통되어 있으며 상기 상부 챔버의 일측에 제공된 고온 공기 공급구와, 상기 고온 공기 공급구와 연통되도록 상기 상부 챔버에 제공되어 있으며 상부의 일측부가 개방된 중공 구조를 갖는 고온 공기 공급부와;
    상기 상부 챔버의 타측 내부에 제공되어 있으며 상부의 일측부가 개방된 중공 구조를 갖는 고온 공기 공급부와, 상기 고온 공기 공급부와 연통되도록 상기 상부 챔버의 타측에 제공되어 있으며 고온 공기 배기 수단과 연통된 고온 공기 배기구를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 베이크 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 챔버의 핫 플레이트의 온도를 강제적으로 낮추도록 상기 상기 핫 플레이트의 상부에 위치된 상기 상부 챔버에 제공되어 있으며 저온 공기 공급 수단과 연통된 고온 공기 배기부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 베이크 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부 챔버와 상기 LCD 기판 승강 부재의 외주연 사이를 실링하도록 개재된 실리콘 재질의 제 1 실링 부재를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 베이크 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 챔버의 내측벽과 상기 핫 플레이트의 가장자리 사이를 실링하도록 개재된 실리콘 재질의 제 2 실링 부재를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 기판용 베이크 장치.
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