KR100722153B1 - Ｌｃｄ 글라스 기판용 오븐챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버는, 상기 챔버의 저면에 수평하게 놓여지며 그 위에는 LCD 글라스 기판이 올려 놓여지는 핫 플레이트; 및 상기 챔버의 측벽에 설치되어 상기 핫 플레이트 상으로 찬 공기를 분사하는 찬 공기 분사구;를 구비하는 것을 특징으로 한다. 상기 핫 플레이트 상부공간으로 뜨거운 공기가 흘러지나갈 수 있도록 상기 챔버의 측벽에 서로 마주 보도록 뜨거운 공기 분사구 및 배출구가 설치되는 것이 바람직하다. 이 때 상기 뜨거운 공기 분사구와 상기 뜨거운 공기 배출구는 상기 찬 공기 분사구보다 위에 설치되는 것이 바람직하다. 상기 찬 공기 분사구는 상기 핫 플레이트에 찬 공기가 직접적으로 분사되도록 아래로 기울어지게 설치되는 것이 바람직하다. 상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 베이킹 공정 시에 발생하는 증기를 뜨거운 공기의 흐름에 편승시켜 외부로 배출시켜 버림으로써 증기(fume)에 의한 이물질 발생을 방지할 수 있고, 또한 뜨거운 공기의 흐름이 정상상태(steady state)를 이루도록 하면 베이킹의 안정화에 도움을 주게 된다. 그리고 차가운 공기가 핫 플레이트 근처에 흐르도록 함으로써 챔버 도어를 열지 않은 상태에서도 핫 플레이트의 온도를 빨리 내릴 수 있게 된다.
LCD, 글라스 기판, 베이킹, 핫 플레이트, 오븐 챔버

Description

ＬＣＤ 글라스 기판용 오븐챔버 {Oven chamber for glass substrate used in LCD}
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 설명하기 위한 도면들;
도 3은 뜨거운 공기 분사구(10a) 및 배출구(10b)를 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명>
10a: 뜨거운 공기 분사구 10b: 뜨거운 공기 배출구
12a, 12b: 뜨거운 공기 버퍼통 13a, 13b: 윗두껑
20: 찬 공기 분사구 30: 핫 플레이트
31: 리프트 핀 관통구멍 32: 리프트 핀
101: 챔버의 측벽
본 발명은 오븐챔버에 관한 것으로서, 특히 LCD 글라스 기판의 처리에 사용 되는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 관한 것이다.
LCD 글라스 기판 표면에 감광막을 코팅하기 전에 세정과정을 거치는데 이러한 세정과정 후에는 수분을 제거하기 위한 가열건조가 행해진다. 그리고 감광막을 LCD 글라스 기판에 코팅한 후에는 노광 및 현상 공정을 거치는데 이러한 노광 및 현상공정 전에는 프리 베이킹(pre-baking)이 행해지고, 노광 및 현상공정 후에는 포스트 베이킹(post-baking)이 행해진다. 이렇게 LCD를 제조하는 경우에 LCD 글라스 기판을 가열하여야 하는 경우가 종종 생긴다. 이러한 가열은 가열히터가 매립된 핫 플레이트에 기판을 올려 놓음으로써 이루어진다.
챔버 내에서 LCD 글라스 기판을 베이킹 하는 과정에서 글라스 기판 표면에 코팅되어 있는 물질이 증발하는데, 이렇게 생긴 증기(fume)가 상대적으로 차가운 챔버 벽에 닿게 되면 고착되고 이것이 나중의 공정진행 중에 글라스 기판에 비산되어 수율 저하를 야기시킨다.
한편, 핫 플레이트의 온도를 낮추어 공정을 진행하게 되는 경우가 있는데 이 때 핫 플레이트의 온도를 빨리 낮추기 위한 방편으로 챔버를 개방하여 자연 냉각시키고 있다. 따라서 챔버의 개방으로 인해 생산공정 상의 시간 손실과, 외부오염공기의 유입으로 인한 생산수율 저하의 문제가 발생한다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 베이킹 공정 시에 발생하는 증기에 의한 생산수율의 저하를 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 나아가 안정된 베 이킹 상태를 유지할 수 있고, 챔버를 개방하지 않고서도 핫 플레이트를 빨리 냉각시킬 수 있는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일예에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버는: 상기 챔버의 저면에 수평하게 놓여지며 그 위에는 LCD 글라스 기판이 올려 놓여지는 핫 플레이트; 및 상기 핫 플레이트 상으로 찬공기를 직접 분사하도록 상기 챔버의 측벽에 아래로 기울어지게 설치되는 찬공기 분사구;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 핫 플레이트 상부공간으로 뜨거운 공기가 흘러지나갈 수 있도록 상기 챔버의 측벽에 서로 마주 보도록 뜨거운 공기 분사구 및 배출구가 설치되는 것이 바람직하다. 이 때 상기 뜨거운 공기 분사구와 상기 뜨거운 공기 배출구는 상기 찬 공기 분사구보다 위에 설치되는 것이 바람직하다.
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상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일예에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버는: 상기 챔버의 측벽에는 뜨거운 공기의 흐름을 버퍼링하는 뜨거운 공기 버퍼통이 설치되며, 상기 버퍼통 윗두껑의 소정부위가 경사지게 열려있는 틈이 상기 뜨거운 공기 분사구 및 배출구를 이루고; 상기 챔버의 저면에 수평하게 놓여지며 그 위에는 LCD 글라스 기판이 올려 놓여지는 핫 플레이트; 및 상기 핫 플레이트 상부공간으로 뜨거운 공기가 흘러지나갈 수 있도록 상기 챔버의 측벽에 서로 마주 보도록 설치되는 뜨거운 공기 분사구 및 배출구;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 설명하기 위한 도면들이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 챔버의 저면에는 핫 플레이트(30)가 수평하게 놓여져 있으며 그 위에 글라스 기판(미도시)이 놓여진다. 상기 글라스 기판은 리프트 핀(도 3의 32)의 상하운동에 의해 위 아래로 움직이면서 핫 플레이트(30)에서 이탈되거나 핫 플레이트(30)에 안착된다. 핫 플레이트(30)에는 리프트 핀(도 3의 32)이 관통할 수 있는 복수개의 리프트 핀 관통구멍(31)이 형성되어 있다.
챔버의 측벽에는 찬공기 분사구(20)와 뜨거운 공기 분사구(10a)가 설치된다. 찬공기 분사구(20)는 찬공기가 핫 플레이트(30) 상으로 분사되도록 아래로 기울어지면 좋다. 오븐 챔버를 개방하지 않은 상태로 핫 플레이트(30)의 온도를 빨리 내리기 위하여 이와 같이 찬공기의 분사가 필요한 것이므로, 찬공기가 분사되는 시점은 핫 플레이트(30) 상에 글라스 기판이 올려 놓여 있지 않은 때가 대부분이다. 즉, 사실상 공정대기 상태에 있을 때 찬공기가 분사되기 때문에 찬공기를 배출시키기 위한 별도의 배기구를 마련하지 않고, 글라스 기판의 출입구(미도시)를 열어 이를 찬공기의 배출구로 사용하면 좋다.
도 3은 뜨거운 공기 분사구(10a) 및 배출구(10b)를 좀 더 자세히 설명하기 위한 도면이다. 뜨거운 공기의 공급은 글라스 기판의 베이킹 과정을 좀 더 효율적으로 하기 위한 것이므로, 글라스 기판이 핫 플레이트(30) 상에 올려 놓여 있을 때 글라스 기판 상부공간으로 뜨거운 공기가 흘러지나갈 수 있도록 뜨거운 공기 분사구(10a)와 배출구(10b)가 설치되어야 한다. 베이킹 시에 발생하는 증기를 뜨거운 공기 흐름에 편승시켜 외부로 배출시키기 위해서는 뜨거운 공기 분사구(10a) 및 배출구(10b)가 핫 플레이트(30)에서 어느 정도 위로 떨어져서 챔버의 측벽에 서로 마주 보도록 설치되는 것이 바람직하다. 따라서 찬공기 분사구(20)는 가능하면 핫 플레이트(30)에 가깝게 설치되고, 뜨거운 공기 분사구(10a)와 뜨거운 공기 배출구(10b)는 찬공기 분사구(20)보다 위에 설치되는 것이 바람직하다.
챔버의 측벽(101) 내에는 뜨거운 공기 버퍼통(12a, 12b)이 설치되며, 외부에서 들어오거나 또는 외부로 빠져나가는 뜨거운 공기는 버퍼통(12a, 12b)을 경유한다. 버퍼통(12a, 12b)의 윗두껑(13a, 13b)은 소정부위가 경사지게 열려있으며 이렇게 열려진 틈이 바로 분사구(10a)와 배출구(10b)가 된다. 이렇게 버퍼통(12a, 12b)을 형성하고 여기에 좁은 틈을 만들어 분사구(10a) 및 배출구(10b)로 활용하는 것이 공기 주입 및 배출 측면에서 바람직하다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 베이킹 공정 시에 발생하는 증기를 뜨거운 공기의 흐름에 편승시켜 외부로 배출시켜 버림으로써 증기(fume)에 의한 이물질 발생을 방지할 수 있고, 또한 뜨거운 공기의 흐름이 정상상태(steady state)를 이루도록 하면 베이킹의 안정화에 도움을 주게 된다. 그리고 차가운 공기가 핫 플레이트 근처에 흐르도록 함으로써 챔버 도어를 열지 않은 상태에서도 핫 플레이트 의 온도를 빨리 내릴 수 있게 된다.

Claims (6)

  1. LCD 글라스 기판의 처리에 사용되는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 있어서,
    상기 챔버의 저면에 수평하게 놓여지며 그 위에는 LCD 글라스 기판이 올려 놓여지는 핫 플레이트; 및
    상기 핫 플레이트 상으로 찬공기를 직접 분사하도록 상기 챔버의 측벽에 아래로 기울어지게 설치되는 찬공기 분사구;를 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
  2. LCD 글라스 기판의 처리에 사용되는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 있어서,
    상기 챔버의 측벽에는 뜨거운 공기의 흐름을 버퍼링하는 뜨거운 공기 버퍼통이 설치되며, 상기 버퍼통 윗두껑의 소정부위가 경사지게 열려있는 틈이 상기 뜨거운 공기 분사구 및 배출구를 이루고;
    상기 챔버의 저면에 수평하게 놓여지며 그 위에는 LCD 글라스 기판이 올려 놓여지는 핫 플레이트; 및
    상기 핫 플레이트 상부공간으로 뜨거운 공기가 흘러지나갈 수 있도록 상기 챔버의 측벽에 서로 마주 보도록 설치되는 뜨거운 공기 분사구 및 배출구;를 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
  3. 제1항에 있어서, 상기 핫 플레이트 상부공간으로 뜨거운 공기가 흘러지나갈 수 있도록 상기 챔버의 측벽에 서로 마주 보도록 뜨거운 공기 분사구 및 배출구가 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
  4. 제3항에 있어서, 상기 뜨거운 공기 분사구와 상기 뜨거운 공기 배출구는 상 기 찬공기 분사구보다 위에 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20030073861A (ko) * 2002-03-13 2003-09-19 주식회사 하이닉스반도체 반도체소자 제조용 핫 플레이트 오븐
KR20050017991A (ko) * 2003-08-12 2005-02-23 주식회사 제우스 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 방법 및 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030073861A (ko) * 2002-03-13 2003-09-19 주식회사 하이닉스반도체 반도체소자 제조용 핫 플레이트 오븐
KR20050017991A (ko) * 2003-08-12 2005-02-23 주식회사 제우스 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 방법 및 장치

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