KR101949191B1 - 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치 - Google Patents

Abstract

개시되는 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치가 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버의 개구부에 적용되는 것으로서, 상기 개구부와 연통되는 관통 홀이 형성된 케이스 유닛과 상기 케이스 유닛에 형성된 상기 관통 홀이 개폐되도록 하는 도어 유닛과 상기 도어 유닛을 밀거나 당길 수 있는 푸쉬 풀 유닛 및 상기 푸쉬 풀 유닛과 연결되는 이동 수단과, 상기 이동 수단이 이동되도록 동력을 제공하는 이동 몸체를 포함한 이동 부재를 포함함에 따라, 복수 개로 형성된 상기 도어 유닛의 위치에 대응되는 상기 개구부의 개폐가 각각 개별적으로 이루어질 수 있게 되어 상기 개구부의 개폐 시간이 상대적으로 단축될 수 있고, 상기 푸쉬 풀 유닛과 상기 이동 부재에 의해 상기 도어 유닛이 스윙 및 푸쉬되어 상기 가압 챔버의 개구부가 완벽히 밀폐됨으로써 제품의 품질이 향상될 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치{Door opening and closing device for swing and push type pressure chamber that can be individually opened and closed}

본 발명은 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치에 관한 것이다.

챔버는 내부에 빈 공간이 형성되고, 그 내부에 위치된 대상체에 일정한 온도와 압력 및 진동을 가하여 상기 대상체의 내구성을 확인하기 위한 시험이나, 일정한 온도 및 압력에서 반도체 또는 광학 장비 등의 제조 공정 중 필름이나 테잎 등의 접착 시 접착제에 형성된 미세한 기포를 제거하기 위해 사용되는 것이다.

상기 챔버는 상기 대상체에 일정한 온도 및 압력이 가해지는 것이 가장 중요한 성능이고, 상기 챔버 내에 상기 대상체를 수용하기 위해 개폐되는 도어 부분의 밀폐 성능이 상기 챔버의 성능을 좌우하게 된다.

이러한 챔버의 밀폐 성능을 개선한 도어의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것들이다.

아래 제시된 특허 문헌 및 종래의 챔버 밀폐 장치에 의하면, 단순히 도어에 밀폐용 O-ring의 형상 변경이나, 패킹 적용 방법을 변경하여 밀폐 성능을 향상하는 것이 일반적이었다.

그러나, 상기 O-ring이나 패킹의 개선에 의해 밀폐 성능이 상대적으로 향상되긴 하였으나, 완전 밀폐를 위한 근본 해결책이 되진 않았다.

특히, 최근의 반도체 장비 제조에서는 필름이나 유리 기판 등의 접착 시 상기 접착제에 일정한 압력을 가하여 상기 접착제의 기포를 제거함과 함께 상기 접착제의 일부분에 응력이 집중되는 것을 방지할 수 있는 가압 챔버가 많이 사용되고 있는데, 이러한 가압 챔버는 내부의 인가된 압력이 외부 압력에 비해 상대적으로 높은 상태인데, 상기 O-ring이나 패킹이 상기 가압 챔버의 압력에 의해 과도하게 팽창되면서 손상되는 문제가 발생하였다.

상기와 같이 상기 O-ring이나 패킹이 손상되면, 상기 가압 챔버 내의 압력이 변화되고, 그로 인해 상기 가압 챔버 내에 수용된 상기 대상체의 품질이 불만족되는 문제가 발생하였다.

등록특허 제 10-1223379호, 등록일자: 2013.01.10, 발명의 명칭: 챔버의 도어 밀폐 구조 등록특허 제 10-1592847호, 등록일자: 2016.02.02, 발명의 명칭: 슬라이딩 도어를 갖는 오토클레이브 장치

본 발명은 복수 개로 형성된 도어 유닛의 위치에 대응되는 개구부의 개폐가 개별적으로 이루어질 수 있고, 상기 도어 유닛이 스윙 및 푸쉬되어 상기 가압 챔버의 개구부가 완벽히 밀폐될 수 있는 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.

본 발명의 일 측면에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치는 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버의 개구부에 적용되는 것으로서, 상기 개구부와 연통되는 관통 홀이 형성된 케이스 유닛; 상기 케이스 유닛에 형성된 상기 관통 홀이 개폐되도록 하는 도어 유닛; 상기 도어 유닛을 밀거나 당길 수 있는 푸쉬 풀 유닛; 및 상기 푸쉬 풀 유닛과 연결되는 이동 수단과, 상기 이동 수단이 이동되도록 동력을 제공하는 이동 몸체를 포함한 이동 부재;를 포함하고, 상기 푸쉬 풀 유닛은 상기 이동 수단과 연결되는 이동 수단 연결 부재와, 상기 이동 수단 연결 부재와 연결되는 실린더 부재와, 상기 실린더 부재에 대해 상대적으로 이동되어 상기 도어 유닛과 연결될 수 있는 피스톤 부재와, 상기 피스톤 부재를 상기 실린더 부재에 대해 상대적으로 이동시키는 2차 가압 부재를 포함하고, 상기 이동 수단이 상기 푸쉬 풀 유닛을 상기 챔버 쪽으로 밀어 주면, 상기 푸쉬 풀 유닛이 밀리면서 상기 도어 유닛을 밀어주고, 그에 따라 상기 도어 유닛이 상기 관통 홀을 덮어 상기 개구부가 닫히게 되고, 상기 이동 수단이 상기 푸쉬 풀 유닛을 상기 챔버 쪽에서 멀어지는 방향으로 당겨 주면, 상기 푸쉬 풀 유닛이 당겨지면서 상기 도어 유닛을 당겨주고, 그에 따라 상기 도어 유닛의 상기 관통 홀 덮힘이 해제되어 상기 개구부가 열리게 되고, 상기 도어 유닛이 상기 관통 홀을 덮은 상태에서, 상기 2차 가압 부재가 상기 피스톤 부재를 상기 관통 홀 쪽으로 밀어주면, 상기 도어 유닛이 상기 관통 홀 쪽으로 상대적으로 더 밀리면서 상기 도어 유닛과 상기 케이스 유닛 사이의 압력이 상대적으로 높아지게 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일 측면에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치에 의하면, 상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치가 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버의 개구부에 적용되는 것으로서, 상기 개구부와 연통되는 관통 홀이 형성된 케이스 유닛과 상기 케이스 유닛에 형성된 상기 관통 홀이 개폐되도록 하는 도어 유닛과 상기 도어 유닛을 밀거나 당길 수 있는 푸쉬 풀 유닛 및 상기 푸쉬 풀 유닛과 연결되는 이동 수단과, 상기 이동 수단이 이동되도록 동력을 제공하는 이동 몸체를 포함한 이동 부재를 포함함에 따라 상기 가압 챔버 내의 압력이 미리 설정된 값으로 유지되도록 상기 가압 챔버의 개구부가 완벽히 밀폐됨과 함께, 복수 개로 형성된 상기 도어 유닛의 위치에 대응되는 개구부의 개폐가 각각 개별적으로 이루어질 수 있게 되어 상기 개구부의 개폐 시간이 상대적으로 단축됨으로써 효율적인 작업이 진행될 수 있게 되는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치와 가압 챔버의 모습을 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치의 모습을 보이는 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치의 모습을 보이는 우측면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치의 일부를 확대한 확대도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 이동 부재가 푸쉬 풀 유닛을 밀고 있는 모습을 보이는 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 이동 부재가 푸쉬 풀 유닛을 당기고 있는 모습을 보이는 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 유닛의 분해도.
도 8은 도 7에 도시된 A 부분에 대한 확대도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 유닛의 단면도.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치와 가압 챔버의 모습을 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치의 모습을 보이는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치의 모습을 보이는 우측면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치의 일부를 확대한 확대도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 이동 부재가 푸쉬 풀 유닛을 밀고 있는 모습을 보이는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 이동 부재가 푸쉬 풀 유닛을 당기고 있는 모습을 보이는 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 유닛의 분해도이고, 도 8은 도 7에 도시된 A 부분에 대한 확대도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 유닛의 단면도이다.

도 1 내지 도 9를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙(Swing) 및 푸쉬(Push) 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)는 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버(10)의 개구부(11)에 적용되는 것으로서, 케이스 유닛(110)과, 도어 유닛(115)과, 푸쉬 풀 유닛(120)과, 이동 부재(140)를 포함한다.

본 실시예에서 상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)는 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 연결되는 회전축(117)을 더 포함한다.

상기 케이스 유닛(110)은 상기 개구부(11)와 연통되는 관통 홀(114)이 형성된 것이다.

상세히, 상기 케이스 유닛(110)은 일정 면적의 넓은 플레이트 형태로 형성되고 수직 방향으로 형성된 상기 개구부(11)와 대면되도록 수직 방향으로 설치되되, 상기 개구부(11)와 대면되는 방향으로 일정 거리 이격된 복수 개의 관통 홀(114)이 형성된 개구부 연결체(111)와, 상기 개구부 연결체(111)에서 직각으로 굽혀지도록 연결되어 상기 개구부 연결체(111)가 임의로 흔들리지 않도록 지지하고, 상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)의 강성이 보강되도록 하는 프레임(112)과, 상기 프레임(112)의 외곽을 둘러싸되, 상기 이동 부재(140)가 그 내부에 위치될 수 있도록 내부가 빈 형태로 형성된 덮개(113)를 포함한다.

상세한 설명에 앞서, 본 실시예에서는 상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)가 세워진 방향을 수직 방향이라 하고, 상기 도어 유닛(115)을 기준으로 상기 개구부 연결체(111)가 위치된 쪽을 전방이라 하고, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)이 위치된 쪽을 후방이라 정의한다.

또한, 본 실시예에서, 상기 스윙은 회전축을 기준으로 일정 각도 회전되는 것을 의미하고, 상기 푸쉬는 상기 도어 유닛(115)을 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 밀어 주는 것을 의미한다.

상기 도어 유닛(115)은 상기 케이스 유닛(110)에 형성된 상기 관통 홀(114)이 개폐되도록 하는 것이다.

상세히, 상기 도어 유닛(115)은 일정 면적의 넓은 플레이트 형태로 형성되되, 상기 케이스 유닛(110)을 구성하는 복수 개의 상기 관통 홀(114)을 각각 개폐시킬 수 있는 것이다.

즉, 상기 도어 유닛(115)이 상기 관통 홀(114)을 닫게 되면 상기 가압 챔버(10)는 밀폐 상태가 되고, 상기 도어 유닛(115)이 상기 관통 홀(114)을 열게 되면 상기 가압 챔버(10)의 상기 개구부(11)는 외부에 노출되는 것이다.

상기 도어 유닛(115)은 복수 개가 형성되되 개별적으로 개폐될 수 있으므로, 복수 개의 상기 도어 유닛(115) 중 필요한 위치의 상기 도어 유닛(115)만 열어서 상기 대상체를 인입 또는 인출시키는 작업이 가능하므로 상기 개구부(11)의 개폐 시간이 종래의 도어 개폐 시간에 비해 상대적으로 작아질 수 있게 된다.

상기 푸쉬 풀 유닛(120)은 상기 도어 유닛(115)을 밀거나 당길 수 있는 것이다.

상세히, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)은 이동 수단 연결 부재(121)와, 실린더 부재(130)와, 피스톤 부재(133)와, 2차 가압 부재(155)를 포함한다.

상기 이동 수단 연결 부재(121)는 상기 이동 수단(141)과 연결되는 것이다.

상세히, 상기 이동 수단 연결 부재(121)는 이동 수단 연결 몸체(122)와, 회전 브래킷(123)과, 연결축(124)을 포함한다.

상기 이동 수단 연결 몸체(122)는 일정 면적의 플레이트가 상기 가압 챔버(10)의 폭 방향, 즉, 상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)의 길이 방향으로 일정 길이 길게 형성된 것이다.

상기 연결축(124)은 상기 이동 수단(141)이 연결되는 것이다.

상세히, 상기 연결축(124)은 상기 이동 수단(141)의 일 측 말단부에 형성된 홀에 삽입되어 상기 이동 수단(141)과 상기 이동 수단 연결 부재(121)가 연결될 수 있도록 한다.

상기 회전 브래킷(123)은 상기 이동 수단 연결 몸체(122)의 하부에 일정 길이 길게 돌출되고, 상기 회전축(117)이 상기 회전 브래킷(123)의 홀에 관통 상태로 연결됨으로써 상기 이동 수단 연결 부재(121)는 상기 회전축(117)을 중심으로 회전 가능하게 된다.

본 실시예에서 상기 회전 브래킷(123)과 상기 회전축(117)은 일정 간격 이격된 상태로 복수 개가 형성되어 상기 이동 수단 연결 부재(121)는 상기 회전축(117)에 견고하게 연결될 수 있게 된다.

즉, 상기 이동 수단 연결 부재(121)가 상기 연결축(124)에서 상기 이동 수단(141)과 연결됨과 함께, 상기 회전축(117)에도 연결됨으로써 상기 이동 수단(141)의 직선 운동에 의해 상기 이동 수단 연결 부재(121)가 이동되되, 상기 이동 수단(141)의 이동 방향으로 이동되지 않고, 상기 회전축(117)을 기준으로 일정 각도 회전하게 된다.

또한, 상기 연결축(124)과 상기 회전축(117)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 회전축(117)과 상기 연결축(124)은 일정 거리 이격된 형태로 형성되어 상기 이동 수단(141)이 이동되는 경우, 상기 이동 수단 연결 부재(121)는 상기 회전축(117)을 중심으로 일정 각도 회전되고, 그에 따라 상기 이동 수단 연결 부재(121)가 포함된 상기 푸쉬 풀 유닛(120)도 상기 회전축(117)을 중심으로 일정 각도 회전하게 된다.

토크력은 힘의 크기 및 힘이 전달되는 위치와 중심 사이의 거리에 비례하고, 본 실시예에서는 상기 이동 수단(141)의 동력이 상기 이동 수단 연결 부재(121)에 전달되는 위치, 즉 상기 연결축(124)과 상기 회전축(117) 사이의 이격된 거리가 상기 중심 사이의 거리가 된다.

따라서, 상기와 같이 상기 연결축(124)이 상기 회전축(117)으로부터 일정 거리 이격되어 형성됨에 따라, 상기 이동 수단(141)은 상기 연결축(124)과 상기 회전축(117)이 동일한 위치에 위치된 것에 비해 상대적으로 작은 동력으로 작동될 수 있게 된다.

상기 실린더 부재(130)는 상기 이동 수단 연결 부재(121)와 연결되는 것으로 본 실시예에서는 실린더 부재 몸체(131)와, 피스톤 지지체(132)를 포함한다.

상기 실린더 부재 몸체(131)는 중앙에 홀을 가진 원형의 덮개 형태로 형성되어 상기 피스톤 부재(133)가 상기 홀을 관통하면서 이동은 가능하되, 상기 실린더 부재 몸체(131)의 내면에 상기 피스톤 부재(133)의 일부가 접촉되어 상기 피스톤 부재(133)의 이동 거리가 제한될 수 있도록 하는 것으로, 상기 이동 수단 연결 몸체(122)의 일정 깊이 함몰된 홈에 삽입된 상태로 상기 이동 수단 연결 몸체(122)와 나사 조립 또는 용접 등으로 연결될 수 있다.

상기 피스톤 지지체(132)는 상기 피스톤 부재(133)가 미리 정해진 방향으로 선형 이동될 수 있도록 상기 피스톤 부재(133)의 외곽을 지지해 주는 것이다.

또한, 상기 피스톤 지지체(132)에 의해 상기 피스톤 부재(133)의 말단부는 자중에 의한 처짐 없이 견고하게 지지될 수 있게 된다.

상기 피스톤 지지체(132)는 원형의 워셔 형태로 형성되고 상기 피스톤 삽입체(134)의 외곽에서 상기 피스톤 삽입체(134)와 나사 등으로 조립될 수 있다.

상기 피스톤 부재(133)는 상기 실린더 부재(130)에 대해 상대적으로 이동되어 상기 도어 유닛(115)과 연결될 수 있는 것이다.

상세히, 상기 피스톤 부재(133)는 후술되는 피스톤 이동 홈(158) 내부에 위치되고, 후술되는 2차 가압 부재(155)에 의해 이동되는 피스톤 삽입체(134)와, 상기 피스톤 삽입체(134)에 연결되고, 상기 피스톤 삽입체(134)의 이동에 의해 상기 도어 유닛(115)에 압력을 인가할 수 있는 피스톤측 압력 인가체(135)를 포함한다.

상기 피스톤 삽입체(134)는 원기둥 형태로 형성되어 상기 피스톤 이동 홈(158) 내부에서 일정 거리 이동되고, 상기 피스톤측 압력 인가체(135)는 상기 피스톤 삽입체(134)에서 직각 방향으로 연장되는 형태로 형성되고 상기 피스톤 삽입체(134)의 이동에 의해 상기 실린더 부재 몸체(131)를 관통한 다음 상기 피스톤측 압력 인가체(135)의 일정 부분이 외부로 돌출될 수 있게 된다.

상기 2차 가압 부재(155)는 상기 피스톤 부재(133)를 상기 실린더 부재(130)에 대해 상대적으로 이동시키는 것으로, 제 1 유동부(156)와, 제 2 유동부(157)와, 피스톤 이동 홈(158)을 포함한다.

상기 제 1 유동부(156)는 상기 이동 수단 연결 부재(121) 내부에 길이 방향으로 관통되어 외부의 가스가 양 측 말단부 중 하나의 말단부에서 입력되고, 양 측 말단부 중 다른 하나의 말단부로 출력되는 것이다.

상기 제 2 유동부(157)는 상기 이동 수단 연결 부재(121) 내부에 길이 방향으로 관통되어 외부의 상기 가스가 양 측 말단부 중 하나의 말단부에서 입력되고, 양 측 말단부 중 다른 하나의 말단부에서 출력되되, 상기 제 1 유동부(156)와 일정 거리 이격된 위치에 형성되는 것이다.

상기 피스톤 이동 홈(158)은 상기 이동 수단 연결 부재(121)와 상기 실린더 부재(130)의 연결에 의해 형성되고, 상기 제 1 유동부(156) 및 상기 제 2 유동부(157)와 연결되어 상기 제 1 유동부(156) 및 상기 제 2 유동부(157)에서 상기 가스가 유입될 수 있고, 유입된 상기 가스에 의해 상기 피스톤 부재(133)가 이동될 수 있는 것으로 일정 부피의 공간으로 이루어진다.

상기 이동 수단(141)의 작동에 의해 상기 푸쉬 풀 유닛(120)이 일정 각도 회전되고, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 연결된 상기 도어 유닛(115)도 회전되면서 상기 도어 유닛(115)이 상기 관통홀을 덮게 되고, 상기 도어 유닛(115)이 상기 관통 홀(114)을 덮은 상태에서, 상기 2차 가압 부재(155)가 상기 피스톤 부재(133)를 상기 관통 홀(114) 쪽으로 밀어주면, 상기 도어 유닛(115)이 상기 관통 홀(114) 쪽으로 상대적으로 더 밀리면서 상기 도어 유닛(115)과 상기 케이스 유닛(110) 사이의 압력이 상대적으로 높아지게 된다.

상세히, 상기 가스가 상기 제 1 유동부(156)에서 상기 피스톤 이동 홈(158)으로 유입되면, 상기 가스가 상기 피스톤 삽입체(134)의 일 측 면을 밀어 상기 피스톤 삽입체(134)가 밀리게 되고, 상기 피스톤 삽입체(134)가 밀리면서 상기 피스톤측 압력 인가체(135)도 밀리고, 상기 피스톤측 압력 인가체(135)가 전방 돌출이 최대화되도록 밀리면서 상기 도어 유닛(115)도 밀게 되고, 그로 인해 상기 도어 유닛(115)과 상기 케이스 유닛(110) 사이의 상기 압력이 상대적으로 높아지게 된다.

상기 도어 유닛(115)과 상기 케이스 유닛(110) 사이의 상기 압력이 상대적으로 높아지게 된다는 것은 상기 도어 유닛(115)이 상기 케이스 유닛(110)을 상대적으로 큰 힘으로 밀어주게 된다는 것이고, 그로 인해 상기 가압 챔버(10) 내에 인가되는 압력에 대해 상기 도어 유닛(115)이 열리지 않고 상기 케이스 유닛(110)과 밀폐를 유지할 수 있는 것을 의미한다.

반면, 상기 가스가 상기 제 2 유동부(157)에서 상기 피스톤 이동 홈(158)으로 유입되면, 상기 가스가 상기 피스톤 삽입체(134)의 타 측 면을 밀어 상기 피스톤 삽입체(134)가 당겨지게 되고, 상기 피스톤 삽입체(134)가 당겨지면서 상기 피스톤측 압력 인가체(135)도 당겨지고, 상기 피스톤측 압력 인가체(135)가 전방 돌출이 최소화되도록 당겨지면서 상기 도어 유닛(115)도 당겨지게 되고, 그로 인해 상기 도어 유닛(115)과 상기 케이스 유닛(110) 사이의 상기 압력이 상대적으로 낮아지게 된다.

상기 도어 유닛(115)과 상기 케이스 유닛(110) 사이의 상기 압력이 상대적으로 낮아지게 된다는 것은 상기 도어 유닛(115)이 상기 케이스 유닛(110)을 밀어주는 힘이 소멸되거나, 상기 힘이 상대적으로 약해진 것이고, 그로 인해 상기 이동 수단(141)의 이동을 위해 걸리는 힘이 상대적으로 작아도 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 상기 도어 유닛(115)이 상대적으로 용이하게 열릴 수 있게 되는 것을 의미한다.

상기와 같이 상기 2차 가압 부재(155)가 상기 피스톤 부재(133)를 상기 관통 홀(114) 쪽으로 밀어 주면, 상기 도어 유닛(115)은 상기 이동 수단(141)의 동력으로 상기 관통 홀(114)을 1차적으로 덮은 상태에서 상기 2차 가압 부재(155)에 의해 상기 케이스 유닛(110), 더 정확하게는 상기 개구부 연결체(111)를 추가로 밀어 주게 됨으로써, 상기 가압 챔버(10) 내의 압력에 대해 상대적으로 더 강하게 지지할 수 있게 되고, 그로 인해 상기 가압 챔버(10)의 밀폐 성능이 향상될 수 있게 된다.

본 실시예에서 상기 푸쉬 풀 유닛(120)은 상기 도어 유닛(115)이 상기 관통 홀(114)을 밀 때 압력이 광범위에 적용되어 안정적으로 밀릴 수 있도록 상기 피스톤측 압력 인가체(135)와 상기 도어 유닛(115) 사이에 위치되고, 상기 피스톤측 압력 인가체(135)의 단면적에 비해 상대적으로 단면적이 넓은 도어 연결 부재(137)를 더 포함한다.

상세히, 상기 도어 연결 부재(137)는 상기 피스톤측 압력 인가체(135)에서 상기 도어 유닛(115) 쪽의 말단부에 연결되고, 상기 피스톤측 압력 인가체(135)가 전방으로 이동되면 상기 도어 연결 부재(137)도 함께 전방으로 이동하게 되고, 그로 인해 상기 도어 연결 부재(137)와 상기 도어 유닛(115) 사이의 압력이 상대적으로 높아지게 된다.

또한, 상기 도어 유닛(115) 중 상기 도어 연결 부재(137)와 연결되는 면에는 상기 도어 연결 부재(137)와 대응되는 형상으로 일정 깊이 함몰된 안착홈(151a)이 형성되고, 상기 안착홈(151a)은 상기 도어 연결 부재(137)가 상기 도어 유닛(115)의 미리 정해진 위치에서 연결될 수 있도록 상기 도어 연결 부재(137)의 이동을 가이드하게 된다.

도면 번호 154는 상기 제 1 유동부(156) 및 상기 제 2 유동부(157)의 양 측 말단에 연결되고, 상기 가스가 유입 또는 유출되도록 외부의 가스관과 상기 제 1 유동부(156) 및 상기 외부의 가스관과 상기 제 2 유동부(157)를 연결시키는 연결 포트이다.

도면 번호 138은 상기 도어 연결 부재(137)가 상기 피스톤측 압력 인가체(135)와 함께 작동될 수 있도록 상기 도어 연결 부재(137)와 상기 피스톤측 압력 인가체(135)를 연결시키는 고정 수단이다.

도면 번호 151 및 152는 상기 피스톤 삽입체(134)의 외측과 상기 이동 수단 연결 부재(121)의 내측 사이에 형성된 틈으로 상기 가스가 누기되는 것을 방지하기 위해 적용된 고무 또는 실리콘 재질의 제 1 오링(O-ring)과 제 2 오링이고, 도면 번호 153은 상기 피스톤 삽입체(134)와 상기 피스톤측 압력 인가체(135)가 연결될 때 형성된 틈으로 상기 가스가 누기되는 것을 방지하기 위해 적용된 고무 또는 실리콘 재질의 제 3 오링이다.

예를 들어, 상기 제 1 유동부(156)에서 상기 피스톤 이동 홈(158)으로 로 유입된 상기 가스는 상기 제 1 오링(151)과 상기 제 2 오링(152)이 없다면 상기 이동 수단 연결 부재(121)의 내측 사이에 형성된 틈을 통해 상기 제 2 유동부(157)로 유입될 것이고, 또한, 상기 제 2 유동부(157)에서 상기 피스톤 이동 홈(158)으로 유입된 상기 가스는 상기 제 3 오링(153)이 없다면 상기 피스톤 삽입체(134)와 상기 피스톤측 압력 인가체(135)가 연결될 때 형성된 틈을 통해 상기 제 1 유동부(156)로 유입될 것이고, 그러면, 상기 가스의 누기로 인해 상기 피스톤 부재(133)의 밀거나 당기는 힘이 상대적으로 약해지게 된다.

따라서, 상기 제 1 오링(151)과, 상기 제 2 오링(152) 및 상기 제 3 오링(153)이 각각의 틈을 막아 기밀되게 함으로써 상기 가스가 미리 정해진 위치에서 임의의 위치로 누기되는 것을 방지할 수 있게 된다.

본 실시예에서, 상기 이동 수단 연결 부재(121)에는 복수 개의 상기 실린더 부재(130)와, 상기 피스톤 부재(133) 및 상기 2차 가압 부재(155)가 일정 간격 이격된 상태로 설치되어 상기 실린더 부재(130)와, 상기 피스톤 부재(133) 및 상기 2차 가압 부재(155)에 의해 상기 도어 유닛(115)에 전달되는 압력이 상기 도어 유닛(115)의 전 부위에 분포될 수 있도록 한다.

또한 본 실시예에서는 상기 실린더 부재(130)와, 상기 피스톤 부재(133) 및 상기 2차 가압 부재(155)가 하나의 상기 이동 수단 연결 부재(121)에 다섯 개가 설치되었으나, 이는 단지 하나의 예시일 뿐 상기 개구부(11)의 크기, 상기 가압 챔버(10) 내에 걸리는 상기 압력의 크기에 따라 설치 개수가 변경될 수 있음은 물론이다.

상기 이동 부재(140)는 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 연결되는 이동 수단(141)과, 상기 이동 수단(141)이 이동되도록 동력을 제공하는 이동 몸체(142)를 포함하는 것이다.

또한, 본 실시예에서 상기 이동 부재(140)는 상기 이동 수단(141)의 말단부에 연결되고 후술되는 위치 이동 감지 부재(116)에 의해 상기 이동 수단(141)의 이동 감지가 가능하도록 하는 이동 감지 브래킷(143)과, 상기 이동 몸체(142)를 상기 케이스에 고정시키는 고정 브래킷(144)을 포함한다.

도면 번호 116은 상기 상기 케이스 유닛(110)에 고정되고, 상기 이동 수단(141)이 이동되어 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 상기 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 연결된 상기 도어 유닛(115)이 상기 관통 홀(114)과 대면된 상태가 된 것을 감지할 수 있는 이동 감지 부재이다.

상세히, 상기 이동 감지 부재(116)는 상기 케이스 유닛(110)에 설치되는 것으로, 상기 이동 감지 부재(116)의 전면에 상기 이동 감지 브래킷(143)이 대면될 때와 상기 이동 감지 브래킷(143)이 대면되지 않을 때를 감지할 수 있는 것으로, 엘이디(LED)를 이용한 광학 센서가 될 수 있고, 상기 이동 감지 브래킷(143)이 마그넷으로 형성되고, 상기 이동 감지 부재(116)는 상기 이동 감지 브래킷(143)의 마그넷 자력을 감지하는 홀 센서가 될 수도 있고, 상기 이동 감지 부재(116)의 결과는 모니터 등의 디스플레이(미도시)에 출력되어 사용자가 확인할 수 있도록 한다.

여기서, 홀 센서란 자기장을 감지하거나 자기장의 세기 즉, 센서와 마그넷 사이의 거리의 변동에 따라 달라지는 자력을 감지하는 센서를 통틀어 일컫는다.

상기 고정 브래킷(144)은 상기 연결축(124)에 비해 상대적으로 낮은 위치에 위치되어 상기 이동 몸체(142)가 경사진 형태로 설치되도록 하고, 상기 이동 수단(141)은 상기 이동 몸체(142)가 설치된 방향과 평행하게 이동될 수 있도록 한다.

상기와 같이 상기 이동 몸체(142)가 경사지게 설치됨으로써, 상기 이동 수단(141)이 이동될 때 상기 이동 수단(141)에 연결된 상기 푸쉬 풀 유닛(120)이 일정 각도 회전하게 되고, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)이 일정 각도 회전되면서 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 연결된 상기 도어 유닛(115)도 일정 각도로 회전 가능하게 되는 것이다.

상기 이동 부재(140)가 상기와 같이 설치된 상태에서 상기 이동 몸체(142)의 동력에 의해 상기 이동 수단(141)이 상기 푸쉬 풀 유닛(120)을 상기 챔버 쪽으로 밀어 주면, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)이 밀리면서 상기 도어 유닛(115)을 밀어주고, 그에 따라 상기 도어 유닛(115)이 상기 관통 홀(114)을 덮어 상기 개구부(11)가 닫히게 된다.

반면, 상기 이동 몸체(142)의 동력에 의해 상기 이동 수단(141)이 상기 푸쉬 풀 유닛(120)을 상기 챔버 쪽에서 멀어지는 방향으로 당겨 주면, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)이 당겨지면서 상기 도어 유닛(115)을 당겨주고, 그에 따라 상기 도어 유닛(115)의 상기 관통 홀(114)의 덮힘이 해제되어 상기 개구부(11)가 열리게 된다.

또한, 본 실시예의 상기 케이스 유닛(110)에는 복수 개의 상기 관통 홀(114)이 일정 거리 이격되어 형성되고, 복수 개의 상기 관통 홀(114)에는 상기 도어 유닛(115)과, 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 상기 이동 부재(140)가 독립적으로 설치되어 각각의 상기 관통 홀(114)이 개별적으로 개폐될 수 있는 것을 특징으로 한다.

상세히, 상기 개구부 연결체(111)에는 복수 개의 상기 관통 홀(114)이 형성되고, 각각의 상기 관통 홀(114)에 상기 도어 유닛(115)과, 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 상기 이동 부재(140)가 함께 설치되되, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)의 회전이 용이하도록 하나의 상기 도어 유닛(115) 양 측 말단에 두 개의 상기 이동 부재(140)가 연결된다.

또한, 상기와 같이 하나의 세트로 구성된 상기 도어 유닛(115)과, 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 상기 이동 부재(140)가 복수 개의 상기 관통 홀(114)에 각각 설치되고, 상기 하나의 세트로 구성된 상기 도어 유닛(115)과, 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 상기 이동 부재(140)가 복수 개의 상기 관통 홀(114)을 개별적으로 개폐시킬 수 있게 된다.

한편, 본 실시예에서는 도시되지 않았지만, 상기 도어 유닛(115)과 상기 개구부 연결체(111) 사이에는 상기 도어 유닛(115)이 상기 개구부 연결체(111)에 닫힐 때 밀폐 성능이 향상될 수 있도록 패킹부가 추가로 적용될 수 있다.

상세히, 상기 패킹부는 상기 도어 유닛(115)이 상기 개구부 연결체(111)에 접촉된 상태에서 상기 푸쉬 풀 유닛(120)이 상기 도어 유닛(115)을 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 밀어줄 때, 그 사이에서 상기 패킹부의 두께가 수축되면서 상기 도어 유닛(115)과 상기 개구부 연결체(111) 사이의 공간을 막아 주게 되고, 그로 인해 상기 도어 유닛(115)과 상기 개구부 연결체(111) 사이의 밀폐가 더 용이해질 수 있게 된다.

상기 패킹부는 수축 및 팽창 성질이 우수한 재질을 사용하고, 이러한 재질로 실리콘 고무 및 바이턴(Viton) 등이 적용될 수 있다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.

먼저, 복수 개의 상기 관통 홀(114) 중 상기 대상체가 수용될 상기 관통 홀(114)을 선택하고 도 6과 같이 상기 이동 부재(140)의 동력에 의해 상기 이동 수단(141)이 수축되도록 하고, 그에 따라 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 상기 도어 유닛(115)이 반시계 방향으로 일정 각도 회전되어 상기 관통 홀(114)이 열리게 된다.

그러면, 상기 이동 감지 부재(116)는 상기 이동 감지 브래킷(143)이 없는 것을 감지하고 상기 관통 홀(114)의 열림을 상기 사용자에게 알려준다.

그런 다음, 상기 관통 홀(114)을 통해 상기 가압 챔버(10) 내부에 상기 대상체를 수용하고, 상기 이동 수단(141)을 신장시켜 상기 이동 수단(141)이 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 이동되도록 한다.

그러면, 도 5에 도시된 방향을 기준으로 상기 연결축(124)에서 상기 이동 수단(141)과 연결된 상기 푸쉬 풀 유닛(120)이 상기 회전축(117)을 중심으로 시계 방향으로 일정 각도 회전하게 되고, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)을 회전하면서 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 연결된 상기 도어 유닛(115)도 함께 상기 개구부 연결체(111)와 대면되도록 시계 방향으로 일정 각도 회전하게 되고, 그로 인해 상기 도어 유닛(115)이 상기 개구부 연결체(111)와 면접촉하게 된다.

그런 다음, 상기 제 1 유동부(156)에서 외부의 상기 공기가 상기 피스톤 이동 홈(158)으로 유입되면 도 9에 도시된 방향을 기준으로 상기 공기가 상기 피스톤 삽입체(134)의 좌측 면을 밀어 주게 되고, 상기 피스톤 삽입체(134)가 오른쪽으로 이동되면서 상기 피스톤측 압력 인가체(135)를 밀어 주게 되고, 상기 피스톤측 압력 인가체(135)가 밀리면서 상기 도어 연결 부재(137) 및 상기 도어 연결 부재(137)와 연결된 상기 도어 유닛(115)이 밀리게 되고, 그에 따라 상기 도어 유닛(115)과 상기 케이스 유닛(110) 사이의 상기 압력이 상대적으로 높아지게 된다.

그런 다음, 상기 가압 챔버(10) 내에 압력을 인가하여 상기 가압 챔버(10)를 작동시킨다.

상기 가압 챔버(10)의 작동이 완료되면, 상기 제 2 유동부(157)에 상기 공기가 유동되고, 상기 제 2 유동부(157)에서 상기 피스톤 이동 홈(158)에 유입되면, 도 9도 도시된 방향을 기준으로 상기 공기가 상기 피스톤 삽입체(134)의 우측 면을 밀어 주게 되고, 상기 피스톤 삽입체(134)가 왼쪽으로 이동되면서 상기 피스톤측 압력 인가체(135)를 당겨 주게 되고 상기 피스톤측 압력 인가체(135)가 당겨지면서 상기 도어 연결 부재(137) 및 상기 도어 연결 부재(137)와 연결된 상기 도어 유닛(115)이 당겨지게 디고, 그에 따라 상기 도어 유닛(115)과 상기 케이스 유닛(110) 사이의 압력이 상대적으로 낮아지게 된다.

그런 다음, 상기 이동 수단(141)이 상기 가압 챔버(10)와 멀어지는 방향으로 이동한다.

그러면, 도 5에 도시된 방향을 기준으로 상기 연결축(124)에서 상기 이동 수단(141)과 연결된 하여 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 상기 도어 유닛(115)이 상기 회전축(117)을 중심으로 반시계 방향으로 일정 각도 회전하게 되고, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)을 회전하면서 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 연결된 상기 도어 유닛(115)도 함께 상기 개구부 연결체(111)와 멀어지는 쪽으로 일정 각도 회전하여 상기 관통 홀(114)이 열리도록 한다.

그런 다음, 상기 가압 챔버(10) 내에서 작업이 완료된 상기 대상체를 획득한다.

이 때, 상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)에서 하나의 도어 유닛(115)과, 하나의 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 두 개의 상기 이동 부재(140)는 하나의 관통 홀(114)을 개폐시킬 수 있고, 복수 개의 상기 관통 홀(114)에 대해 상기 하나의 도어 유닛(115)과, 하나의 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 두 개의 상기 이동 부재(140)가 각각 설치된 상태에서 각각 개별적으로 개폐시킬 수 있으므로, 필요한 부분의 상기 관통 홀(114)만 개폐하여 작업하도록 한다.

상기와 같이, 상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)가 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 상기 가압 챔버(10)의 상기 개구부(11)에 적용되는 것으로서, 상기 개구부(11)와 연통되는 관통 홀(114)이 형성된 상기 케이스 유닛(110)과 상기 케이스 유닛(110)에 형성된 상기 관통 홀(114)이 개폐되도록 하는 상기 도어 유닛(115)과 상기 도어 유닛(115)을 밀거나 당길 수 있는 상기 푸쉬 풀 유닛(120) 및 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 연결되는 상기 이동 수단(141)과, 상기 이동 수단(141)이 이동되도록 동력을 제공하는 상기 이동 몸체(142)를 포함한 상기 이동 부재(140)를 포함함에 따라, 복수 개로 형성된 상기 도어 유닛(115)의 위치에 대응되는 상기 개구부(11)의 개폐가 각각 개별적으로 이루어질 수 있게 되어 상기 개구부(11)의 개폐 시간이 상대적으로 단축될 수 있고, 상기 푸쉬 풀 유닛(120)과 상기 이동 부재(140)에 의해 상기 도어 유닛(115)이 스윙 및 푸쉬되어 상기 가압 챔버(10)의 상기 개구부(11)가 완벽히 밀폐됨으로써 제품의 품질이 향상될 수 있게 된다.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따른 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치에 의하면, 복수 개로 형성된 도어 유닛의 위치에 대응되는 개구부의 개폐가 개별적으로 이루어질 수 있고, 상기 도어 유닛이 스윙 및 푸쉬되어 상기 가압 챔버의 개구부가 완벽히 밀폐될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.

10 : 가압 챔버
11 : 개구부
100 : 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치
110 : 케이스 유닛
120 : 푸쉬 풀 유닛
121 : 이동 수단 연결 부재
130 : 실린더 부재
133 : 피스톤 부재
140 : 이동 부재

Claims (5)

1. 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버의 개구부에 적용되는 것으로서,
   상기 개구부와 연통되는 관통 홀이 형성된 케이스 유닛;
   상기 케이스 유닛에 형성된 상기 관통 홀이 개폐되도록 하는 도어 유닛;
   상기 도어 유닛을 밀거나 당길 수 있는 푸쉬 풀 유닛; 및
   상기 푸쉬 풀 유닛과 연결되는 이동 수단과, 상기 이동 수단이 이동되도록 동력을 제공하는 이동 몸체를 포함한 이동 부재;를 포함하고,
   상기 푸쉬 풀 유닛은
   상기 이동 수단과 연결되는 이동 수단 연결 부재와,
   상기 이동 수단 연결 부재와 연결되는 실린더 부재와,
   상기 실린더 부재에 대해 상대적으로 이동되어 상기 도어 유닛과 연결될 수 있는 피스톤 부재와,
   상기 피스톤 부재를 상기 실린더 부재에 대해 상대적으로 이동시키는 2차 가압 부재를 포함하고,
   상기 이동 수단이 상기 푸쉬 풀 유닛을 상기 챔버 쪽으로 밀어 주면, 상기 푸쉬 풀 유닛이 밀리면서 상기 도어 유닛을 밀어주고, 그에 따라 상기 도어 유닛이 상기 관통 홀을 덮어 상기 개구부가 닫히게 되고,
   상기 이동 수단이 상기 푸쉬 풀 유닛을 상기 챔버 쪽에서 멀어지는 방향으로 당겨 주면, 상기 푸쉬 풀 유닛이 당겨지면서 상기 도어 유닛을 당겨주고, 그에 따라 상기 도어 유닛의 상기 관통 홀 덮힘이 해제되어 상기 개구부가 열리게 되고,
   상기 도어 유닛이 상기 관통 홀을 덮은 상태에서, 상기 2차 가압 부재가 상기 피스톤 부재를 상기 관통 홀 쪽으로 밀어주면, 상기 도어 유닛이 상기 관통 홀 쪽으로 상대적으로 더 밀리면서 상기 도어 유닛과 상기 케이스 유닛 사이의 압력이 상대적으로 높아지게 되는 것을 특징으로 하는 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 2차 가압 부재는
   상기 이동 수단 연결 부재 내부에 관통되어 외부의 가스가 양 측 말단부 중 하나의 말단부에서 입력되고, 양 측 말단부 중 다른 하나의 말단부로 출력되는 제 1 유동부와,
   상기 이동 수단 연결 부재 내부에 관통되어 외부의 상기 가스 가 양 측 말단부 중 하나의 말단부에서 입력되고, 양 측 말단부 중 다른 하나의 말단부에서 출력되되, 상기 제 1 유동부와 일정 거리 이격된 위치에 형성되는 제 2 유동부와,
   상기 이동 수단 연결 부재와 상기 실린더 부재의 연결에 의해 형성되고, 상기 제 1 유동부 및 상기 제 2 유동부와 연결되어 상기 제 1 유동부 및 상기 제 2 유동부에서 상기 가스가 유입될 수 있고, 유입된 상기 가스에 의해 상기 피스톤 부재가 이동될 수 있는 피스톤 이동 홈을 포함하고,
   상기 피스톤 부재는
   상기 피스톤 이동 홈 내부에 위치되고, 상기 2차 가압 부재에 의해 이동되는 피스톤 삽입체와,
   상기 피스톤 삽입체에 연결되고, 상기 피스톤 삽입체의 이동에 의해 상기 도어 유닛에 압력을 인가할 수 있는 피스톤측 압력 인가체를 포함하고,
   상기 가스가 상기 제 1 유동부에서 상기 피스톤 이동 홈으로 유입되면, 상기 가스가 상기 피스톤 삽입체의 일 측 면을 밀어 상기 피스톤 삽입체가 밀리게 되고, 상기 피스톤 삽입체가 밀리면서 상기 피스톤측 압력 인가체도 밀리고, 상기 피스톤측 압력 인가체가 밀리면서 상기 도어 유닛도 밀게 되고, 그로 인해 상기 도어 유닛과 상기 케이스 유닛 사이의 압력이 상대적으로 높아지고,
   상기 가스가 상기 제 2 유동부에서 상기 피스톤 이동 홈으로 유입되면, 상기 가스가 상기 피스톤 삽입체의 타 측 면을 밀어 상기 피스톤 삽입체가 당겨지게 되고, 상기 피스톤 삽입체가 당겨지면서 상기 피스톤측 압력 인가체도 당겨지고, 상기 피스톤측 압력 인가체가 당겨지면서 상기 도어 유닛도 당겨지게 되고, 그로 인해 상기 도어 유닛과 상기 케이스 유닛 사이의 상기 압력이 상대적으로 낮아지게 되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치는
   상기 푸쉬 풀 유닛과 연결되는 회전축;을 더 포함하고,
   상기 이동 수단 연결 부재는
   상기 이동 수단이 연결되는 연결축을 포함하고,
   상기 회전축과 상기 연결축은 일정 거리 이격된 형태로 형성되어 상기 이동 수단이 이동되는 경우, 상기 이동 수단 연결 부재는 상기 회전축을 중심으로 일정 각도 회전되고, 그에 따라 상기 이동 수단 연결 부재가 포함된 상기 푸쉬 풀 유닛도 상기 회전축을 중심으로 일정 각도 회전되는 것을 특징으로 하는 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 케이스 유닛에는 복수 개의 상기 관통 홀이 일정 거리 이격되어 형성되고,
   복수 개의 상기 관통 홀에는 상기 도어 유닛과, 상기 푸쉬 풀 유닛 및 상기 이동 부재가 독립적으로 설치되어 각각의 상기 관통 홀이 개별적으로 개폐될 수 있는 것을 특징으로 하는 개별적 개폐가 가능한 스윙 및 푸쉬 타입의 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.

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