KR20210133160A - 물품 반송설비 - Google Patents

물품 반송설비 Download PDF

Info

Publication number
KR20210133160A
KR20210133160A KR1020210054086A KR20210054086A KR20210133160A KR 20210133160 A KR20210133160 A KR 20210133160A KR 1020210054086 A KR1020210054086 A KR 1020210054086A KR 20210054086 A KR20210054086 A KR 20210054086A KR 20210133160 A KR20210133160 A KR 20210133160A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
support
article
overlapping
holding
Prior art date
Application number
KR1020210054086A
Other languages
English (en)
Inventor
유이치 모리모토
료스케 노구치
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20210133160A publication Critical patent/KR20210133160A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0464—Storage devices mechanical with access from above
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

제1 보관부는, 물품을 지지하는 제1 지지부와, 제1 지지부를 경로 폭 방향으로 이동 가능하게 지지하는 가동 지지부를 구비하고, 제2 보관부는, 이동 경로에 대한 경로 폭 방향의 위치가 고정되고, 물품을 지지하는 제2 지지부를 구비한다. 제2 지지부에 지지된 상태의 물품이 차지하는 공간을 대상 공간으로 하고, 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 제1 지지부가 대상 공간과 중복되는 위치를 중복 위치로 하고, 중복 위치에 대하여 제1 측에 인접하고, 상하 방향에서 볼 때 제1 지지부가 대상 공간과 중복되지 않는 위치를 비중복 위치로 하여, 보관 장치에 접촉 작용하여 제1 지지부의 위치를 중복 위치와 비중복 위치로 전환하는 조작부가, 반송 장치에 설치되어 있다.

Description

물품 반송설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송(搬送; transport)하는 반송 장치와, 이동 경로에 인접하여 배치되고, 물품을 보관하는 보관 장치를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 반송 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2006-282382호 공보(특허문헌 1)에 개시되어 있다. 이하, 배경 기술이나 문제점의 설명에 있어서 괄호 내에 나타내는 부호는 특허문헌 1의 것이다. 특허문헌 1에 개시되어 있는 물품 반송 설비로서의 천정(ceiling) 주행차 시스템(2)은, 물품(24)을 반송하는 천정 주행차(8)와, 천정 주행차(8)가 주행하는 주행 레일(6)의 측방 하부에 배치된 사이드 버퍼(40)를 구비하고 있다. 천정 주행차(8)는, 물품(24)을 척킹하는 승강대(22)와, 승강대(22)를 승강시키는 승강 구동부(20)와, 승강 구동부(20)를 가로 이동시키는 가로 이동부(16)를 구비하고 있다. 그리고, 승강대(22)와 사이드 버퍼(40)와의 사이에서 물품(24)을 이송탑재(transfer)하는 경우에는, 승강 구동부(20)가 가로 이동부(16)에 의해 주행 레일(6)에 대하여 가로 방향으로 이동된다.
특허문헌 1의 천정 주행차 시스템(2)에서는, 상기 문헌의 도 1에 나타낸 바와 같이, 사이드 버퍼(40)는, 2단의 선반(racks)(41, 42)을 구비하고 있다. 그리고, 이 천정 주행차 시스템(2)에서는, 가로 이동부(16)를 승강시키는 승강 수단을 천정 주행차(8)에 설치함으로써, 승강대(22)와 상단(上段)의 선반(41)과의 사이뿐아니라, 승강대(22)와 하단(下段)의 선반(42)과의 사이에서도, 물품(24)을 이송탑재하는 것을 가능하게 하고 있다. 구체적으로는, 승강대(22)와 하단의 선반(42)과의 사이에서 물품(24)을 이송탑재하는 경우에는, 승강 수단에 의해 가로 이동부(16)를 하강시킨 후, 가로 이동부(16)에 의해 승강 구동부(20)를 가로 이동시킴으로써, 승강대(22)를 하단의 선반(42) 상으로 이동시킨다. 그리고, 승강대(22)를 승강시킴으로써, 승강대(22)와 하단의 선반(42)과의 사이에서 물품(24)이 이송탑재된다.
일본 공개특허 제2006-282382호 공보
특허문헌 1의 천정 주행차 시스템(2)은 상기한 바와 같이 구성되므로, 이 천정 주행차 시스템(2)에서는, 하단의 선반(42)과의 사이에서 천정 주행차(8)가 물품(24)을 이송탑재하는 것을 가능하게 하기 위해, 가로 이동부(16)를 승강시키는 승강 수단을 천정 주행차(8)에 설치하는 것이 필수로 된다. 그리고, 가로 이동부(16)를 승강시키는 승강 수단은, 적어도 물품(24)의 높이 정도의 비교적 큰 승강 스트로크를 가질 필요가 있다. 그러므로, 특허문헌 1의 천정 주행차 시스템(2)에서는, 사이드 버퍼(40)가 구비하는 2단의 선반(41, 42)의 양쪽과의 사이에서 천정 주행차(8)가 물품(24)을 이송탑재할 수 있지만, 천정 주행차(8)의 구성이 복합해지기 쉽다.
그래서, 보관 장치가 복수 단(plurality of levels)의 보관부를 구비하는 경우에, 반송 장치의 구성의 복잡화를 억제하면서 반송 장치가 각각의 단의 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있는 기술의 실현이 요구된다.
본 개시에 관한 물품 반송 설비는, 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 반송 장치와, 상기 이동 경로에 인접하여 배치되고, 상기 물품을 보관하는 보관 장치를 구비한 물품 반송 설비로서, 상기 이동 경로의 폭 방향인 경로 폭 방향에서의, 상기 이동 경로에 대하여 상기 보관 장치가 배치되는 측을 제1 측으로 하여, 상기 반송 장치는, 상기 물품을 유지하는 유지부(holding section)와, 상기 유지부를 승강시키는 승강 기구와, 상기 유지부를 상기 경로 폭 방향을 따라 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 유지부와 상기 보관 장치와의 사이에서 상기 물품을 이송탑재하는 경우에, 상기 이동 기구(機構)에 의해 상기 유지부를 상기 제1 측으로 돌출시키도록 구성되고, 상기 보관 장치는, 제1 보관부와, 상기 제1 보관부보다 아래쪽에 배치된 제2 보관부를 구비하고, 상기 제1 보관부는, 상기 물품을 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부를 상기 경로 폭 방향으로 이동 가능하게 지지하는 가동(可動) 지지부를 구비하고, 상기 제2 보관부는, 상기 이동 경로에 대한 상기 경로 폭 방향의 위치가 고정되고, 상기 물품을 지지하는 제2 지지부를 구비하고, 상기 제2 지지부에 지지된 상태의 상기 물품이 차지하는 공간을 대상 공간으로 하고, 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지부가 상기 대상 공간과 중복되는 위치를 중복 위치로 하고, 상기 중복 위치에 대하여 상기 제1 측에 인접하고, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지부가 상기 대상 공간과 중복되지 않는 위치를 비중복 위치로 하여, 상기 보관 장치에 접촉 작용하여 상기 제1 지지부의 위치를 상기 중복 위치와 상기 비중복 위치로 전환하는 조작부가, 상기 반송 장치에 설치되어 있다.
본 구성에서는, 이동 경로에 대하여 제1 측에 배치된 보관 장치가, 제1 보관부와, 제1 보관부보다 아래쪽에 배치된 제2 보관부를 구비하고 있다. 그리고, 이동 기구에 의해 제1 측으로 돌출하도록 이동된 상태의 유지부를, 승강 기구에 의해 승강시킴으로써, 유지부와, 제1 보관부나 제2 보관부와의 사이에서, 물품을 이송탑재할 수 있다. 여기서, 제2 보관부에 설치된 제2 지지부는, 이동 경로에 대한 경로 폭 방향의 위치가 고정되어 있는 것에 대해, 제1 보관부에 설치된 제1 지지부는, 경로 폭 방향으로 이동 가능하게 가동 지지부에 지지되어 있다. 그리고, 제1 지지부의 위치를 중복 위치와 비중복 위치로 전환하는 조작부가, 반송 장치에 설치되어 있다. 따라서, 유지부와 제2 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에는, 제1 지지부를 비중복 위치로 이동시킴으로써, 제1 지지부나 제1 지지부에 지지된 물품을, 유지부나 유지부에 유지된 물품의 승강 경로로부터 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 본 구성에 의하면, 이동 기구를 물품의 상하 방향 치수 이상으로 승강시키도록 한 기구를 반송 장치에 설치하지 않고도, 반송 장치가 제1 보관부 및 제2 보관부의 양쪽과의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있는 구성을 실현할 수 있다.
그리고, 본 구성에서는, 제1 지지부의 위치를 중복 위치와 비중복 위치로 전환하는 조작부를 반송 장치에 설치할 필요가 있지만, 이와 같은 조작부는, 이동 기구를 적어도 물품의 높이 정도 승강시키도록 한 기구에 비해, 구성이나 배치의 자유도를 높게 확보하기 쉽다. 그러므로, 본 구성에 의하면, 반송 장치가 각각의 단의 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있는 구성을, 반송 장치의 구성의 복잡화를 억제하면서 실현하는 것이 가능하게 되어 있다.
본 구성에 의하면, 또한, 다음과 같은 장점도 있다. 본 구성과는 달리, 제1 지지부가 비중복 위치에 고정된 구성으로 하는 것도 생각할 수 있지만, 이 경우, 유지부와 제1 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 유지부의 제1 측으로의 돌출량이 커지기 쉽다. 이에 대하여, 본 구성에서는, 유지부와 제1 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에는, 제1 지지부를 중복 위치로 이동시킬 수 있으므로, 유지부와 제1 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 유지부의 제1 측으로의 돌출량을, 유지부와 제2 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 유지부의 제1 측으로의 돌출량과 같거나 또는 같은 정도로 할 수 있다. 이 점으로부터도, 본 구성에 의하면 반송 장치의 구성의 복잡화를 억제하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 본 구성에서는, 유지부와 제2 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에는, 제1 지지부를 상기 이송탑재(移載; transfer)의 방해로 되지 않는 위치로 퇴피시킬 수 있으므로, 제2 지지부에 지지된 물품과 제1 지지부와의 상하 방향의 간극을 작게 억제하여, 보관 장치의 상하 방향에서의 대형화를 억제하는 것도 가능하게 되어 있다.
물품 반송 설비의 다른 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.
도 1은 제1 실시형태에 관한 물품 반송 설비의 일부를 나타낸 도면
도 2는 제1 실시형태에 관한 반송 장치 및 보관 장치를 나타낸 도면
도 3은 제1 실시형태에 관한 물품 반송 설비에서의 유지부와 제1 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 상황을 나타낸 도면
도 4는 제1 실시형태에 관한 물품 반송 설비에서의 유지부와 제2 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 상황을 나타낸 도면
도 5는 제1 실시형태에 관한 제어 블록도
도 6은 제2 실시형태에 관한 물품 반송 설비에서의 유지부와 제1 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 상황을 나타낸 도면
도 7은 제2 실시형태에 관한 물품 반송 설비에서의 유지부와 제2 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 상황을 나타낸 도면
[제1 실시형태]
물품 반송 설비의 제1 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)는, 이동 경로(R)를 따라 이동하여 물품(W)을 반송하는 반송 장치(10)와, 물품(W)을 보관하는 보관 장치(40)를 구비하고 있다. 여기서, 도 1에 나타낸 바와 같이, 이동 경로(R)의 길이 방향[이동 경로(R)가 연장되는 방향]을 경로 길이 방향 X라고 한다. 또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 이동 경로(R)의 폭 방향을 경로 폭 방향 Y로 하고, 경로 폭 방향 Y에서의 이동 경로(R)에 대하여 보관 장치(40)가 배치되는 측을 제1 측 Y1으로 하고, 경로 폭 방향 Y에서의 제1 측 Y1와는 반대측[즉, 경로 폭 방향 Y에서의 보관 장치(40)에 대하여 이동 경로(R)가 배치되는 측]을 제2 측 Y2로 한다. 경로 폭 방향 Y는, 경로 길이 방향 X 및 상하 방향 Z[연직(沿直) 방향]의 양쪽과 직교하는 방향이다. 경로 폭 방향 Y는, 수평 방향이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 이동 경로(R)가 수평 방향으로 연장되는 경우, 경로 길이 방향 X는 수평 방향이다.
이동 경로(R)는, 주행 레일(2)에 의해 형성되어 있다. 구체적으로는, 이동 경로(R)는, 경로 폭 방향 Y로 이격되어 배치된 한 쌍의 주행 레일(2)에 의해 형성되어 있다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 주행 레일(2)은 천정(1)으로부터 현수 지지된(suspended and supported) 상태로 천정(1)에 고정되어 있고, 반송 장치(10)는, 천정(1)을 따라 형성된 이동 경로(R)를 따라 이동한다. 즉, 반송 장치(10)는, 천정측에 설치된 주행 레일(2)을 따라 주행하는 천정 반송차이다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 보관 장치(40)는, 이동 경로(R)에 인접하여 배치되어 있다. 보관 장치(40)는, 상하 방향 Z를 따르는 상하 방향에서 볼 때(즉, 평면에서 볼 때)와 이동 경로(R)에 대하여 제1 측 Y1에 인접하여 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 보관 장치(40)는, 천정(1)에 지지되어 있다. 구체적으로는, 보관 장치(40)는, 프레임재를 연결하여 형성된 조립된 프레임(assembled frame)(43)을 구비하고 있고, 조립된 프레임(43)이, 천정(1)으로부터 현수 지지된 상태로 천정(1)에 고정되어 있다. 여기서는, 보관 장치(40)가 이동 경로(R)에 대하여 경로 폭 방향 Y의 한쪽 측에 배치된 구성을 예시하고 있지만, 보관 장치(40)가 이동 경로(R)에 대하여 경로 폭 방향 Y의 양측에 배치되는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 제1 측 Y1 및 제2 측 Y2는, 이동 경로(R)에 대하여 경로 폭 방향 Y의 양측에 배치되는 보관 장치(40)의 각각을 기준으로 정의된다. 즉, 이동 경로(R)에 대하여 경로 폭 방향 Y의 한쪽 측에 배치되는 보관 장치(40)에 대한 제1 측 Y1와, 이동 경로(R)에 대하여 경로 폭 방향 Y의 다른 쪽 측에 배치되는 보관 장치(40)에 대한 제1 측 Y1와는, 경로 폭 방향 Y에서의 서로 반대측으로 된다.
보관 장치(40)는, 제1 보관부(50)와, 제1 보관부(50)보다 아래쪽에 배치된 제2 보관부(60)를 구비하고 있다. 제1 보관부(50)는, 제2 보관부(60)보다 상방으로서 평면에서 볼 때 제2 보관부(60)와 중복되는 위치에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 보관부(50)와 제2 보관부(60)와의 상하 방향 Z의 사이에 다른 보관부는 배치되어 있지 않다. 즉, 제2 보관부(60)는, 제1 보관부(50)에 대하여 하측 Z2에 인접하여 배치되어 있다. 도 1에 나타낸 예에서는, 상하 방향 Z로 배열되는 제1 보관부(50)와 제2 보관부(60)와의 조(組)가, 경로 길이 방향 X로 복수 조 배열되어 설치되어 있다. 그리고, 위쪽은, 상하 방향 Z의 상측 Z1을 향하는 방향이며, 아래쪽은, 상하 방향 Z의 하측 Z2을 향하는 방향이다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 보관부(50)는, 물품(W)을 지지하는 제1 지지부(51)를 구비하고, 제2 보관부(60)는, 물품(W)을 지지하는 제2 지지부(61)를 구비하고 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제1 지지부(51) 및 제2 지지부(61)는, 물품(W)을 하측 Z2으로부터 지지한다. 제2 지지부(61)는, 이동 경로(R)에 대한 경로 폭 방향 Y의 위치가 고정되어 있다. 제2 지지부(61)는, 조립된 프레임(43)에 고정되어 있다. 한쪽, 제1 지지부(51)는, 이동 경로(R)에 대한 경로 폭 방향 Y의 위치는 고정되어 있지 않다. 즉, 제1 보관부(50)는, 제1 지지부(51)를 경로 폭 방향 Y로 이동 가능하게 지지하는 가동 지지부(52)를 구비하고 있다. 가동 지지부(52)는, 조립된 프레임(43)에 대하여 경로 폭 방향 Y로 이동 가능하게 제1 지지부(51)를 지지하고 있다.
가동 지지부(52)는, 경로 폭 방향 Y와 직교하는 각각의 방향에서의 제1 지지부(51)의 이동을 규제한 상태에서, 경로 폭 방향 Y로 이동 가능하게 제1 지지부(51)를 지지하고 있다. 가동 지지부(52)는, 예를 들면, 이하에 설명하는 바와 같은 안내 레일과 안내 레일로 안내 지지되는 안내 블록을 구비한 직동(直動) 기구를 사용하여 구성된다. 안내 레일은, 경로 폭 방향 Y를 따라 연장되도록 조립된 프레임(43)에 고정된다. 또한, 안내 블록은, 안내 레일에 대한 경로 폭 방향 Y의 상대(相對) 이동이 허용되고, 또한, 안내 레일에 대한 경로 폭 방향 Y와 직교하는 각각의 방향의 상대 이동이 규제되는 상태로, 안내 레일에 걸어맞추어진다. 그리고, 안내 블록은, 제1 지지부(51)에 고정된다. 이로써, 제1 지지부(51)는, 조립된 프레임(43)에 대한 경로 폭 방향 Y의 상대 이동이 허용되고, 또한, 조립된 프레임(43)에 대한 경로 폭 방향 Y와 직교하는 각각의 방향의 상대 이동이 규제되는 상태에서, 가동 지지부(52)를 통해 조립된 프레임(43)에 지지된다.
제1 지지부(51)의 경로 폭 방향 Y의 이동 범위에는, 중복 위치 PA와, 비중복 위치 PB가 포함되어 있다. 중복 위치 PA는, 도 2 및 도 3에 나타낸 제1 지지부(51)의 위치이며, 비중복 위치 PB는, 도 4에 나타낸 제1 지지부(51)의 위치이다. 본 실시형태에서는, 제1 지지부(51)는, 중복 위치 PA와 비중복 위치 PB와의 사이를 경로 폭 방향 Y로 이동한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 제2 지지부(61)에 지지된 상태의 물품(W)이 차지하는 공간을 대상 공간(S)으로 한다. 중복 위치 PA는, 상하 방향에서 볼 때 제1 지지부(51)가 대상 공간(S)과 중복되는 위치이다. 또한, 비중복 위치 PB는, 중복 위치 PA에 대하여 제1 측 Y1에 인접하고, 상하 방향에서 볼 때 제1 지지부(51)가 대상 공간(S)과 중복되지 않는 위치이다. 후술하는 바와 같이, 보관 장치(40)에 접촉 작용하여 제1 지지부(51)의 위치를 중복 위치 PA와 비중복 위치 PB로 전환하는 조작부(20)가, 반송 장치(10)에 설치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(10)는, 물품(W)을 유지하는 유지부(11)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 유지부(11)는, 물품(W)을 상측 Z1으로부터 유지한다. 본 실시형태에서는, 물품(W)은, 반도체 웨이퍼를 수용하는 용기이며, 구체적으로는, FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 유지부(11)는, 물품(W)의 상부에 형성된 플랜지부를 파지(把持)하는 파지부(把持部; gripping portion)(11a)[여기서는, 한 쌍의 파지부(11a)]를 구비하고 있고, 물품(W)을 파지부(11a)에 의해 파지함으로써 상기 물품(W)을 유지한다. 반송 장치(10)는, 파지부(11a) 상태를 전환하는 파지용 모터(34)(구동력원의 일례, 도 5 참조)를 구비하고 있고, 파지부(11a) 상태는, 파지용 모터(34)의 구동에 의해, 물품(W)을 파지하는 파지 상태와, 물품(W)에 대한 파지가 해제되는 파지 해제 상태로 전환된다.
반송 장치(10)는, 이동 경로(R)를 따라 주행하는 주행부(12)를 구비하고 있다. 주행부(12)는, 주행 레일(2)[여기서는, 한 쌍의 주행 레일(2)]을 따라 주행한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행부(12)는, 주행 레일(2) 상을 전동(轉動)하는 주행륜(12a)을 구비하고 있다. 반송 장치(10)[구체적으로는, 주행부(12)]는, 주행륜(12a)을 구동시키는 주행용 모터(31)(구동력원의 일례, 도 5 참조)를 구비하고 있고, 주행륜(12a)이 주행용 모터(31)에 의해 구동됨으로써, 주행부(12)가 주행 레일(2)을 따라 주행한다. 주행부(12)는, 주행부(12)의 주행 레일(2)에 따른 주행을 안내하는 안내륜(guide wheels)(12b)을 구비하고 있고, 안내륜(12b)이 주행 레일(2)의 측면에 접촉 안내된 상태에서, 주행부(12)가 주행 레일(2)을 따라 주행한다.
반송 장치(10)는, 주행부(12)에 연결된 본체부(13)를 구비하고 있다. 유지부(11)는 본체부(13)에 설치되어 있고, 후술하는 승강 기구(15) 및 이동 기구(16)도 본체부(13)에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 본체부(13)는, 주행 레일(2)보다 아래쪽에 배치된 상태로, 주행부(12)에 현수 지지되어 있다.
반송 장치(10)는, 유지부(11)를 승강시키는 승강 기구(15)를 구비하고 있다. 승강 기구(15)에 의해 유지부(11)를 승강시킴으로써, 유지부(11)의 주행부(12)에 대한 상하 방향 Z의 상대 위치가 변화한다. 승강 기구(15)는, 주행부(12)의 주행 시의 높이인 주행용 높이와, 이송탑재 대상 개소(箇所)에 대하여 물품(W)을 이송탑재하는 높이인 이송탑재용 높이와의 사이에서, 유지부(11)를 승강시킨다. 이송탑재용 높이는, 각각의 이송탑재 대상 개소의 높이에 따라 설정된다. 도 1에서는, 주행용 높이에 위치하는 유지부(11)를 실선으로 나타내고, 이송탑재 대상 개소로서의 지지대(3)에 따른 이송탑재용 높이에 위치하는 유지부(11)를 2점 쇄선으로 나타내고 있다. 지지대(3)는, 예를 들면, 물품(W)을 처리 대상으로 하는 처리 장치에 있어서의 물품(W)의 반입(搬入) 및 반출(搬出) 중 적어도 한쪽이 행해지는 포트[로드 포트(load port) 등]로 된다. 도 2에서는, 주행용 높이에 위치하는 유지부(11)를 나타내고, 도 3에서는, 이송탑재 대상 개소로서의 제1 보관부(50)[구체적으로는, 제1 지지부(51)]에 따른 이송탑재용 높이에 위치하는 유지부(11)를 나타내고 있다. 또한, 도 4에서는, 주행용 높이에 위치하는 유지부(11)를 2점 쇄선으로 나타내고, 이송탑재 대상 개소로서의 제2 보관부(60)[구체적으로는, 제2 지지부(61)]에 따른 이송탑재용 높이에 위치하는 유지부(11)를 실선으로 나타내고 있다.
본 실시형태에서는, 승강 기구(15)는, 유지부(11)를 현수 지지한 상태에서, 유지부(11)를 승강시킨다. 구체적으로는, 유지부(11)는, 벨트나 와이어 등의 전동 부재(15a)의 선단부에 연결되어 있고, 반송 장치(10)[구체적으로는, 본체부(13)]는, 전동 부재(15a)가 권취된 권취체(도시하지 않음)를 회전시키는 승강용 모터(32)(구동력원의 일례, 도 5 참조)를 구비하고 있다. 승강 기구(15)는, 승강용 모터(32)에 의해 권취체를 회전시켜 전동 부재(15a)를 권취 또는 송출함으로써, 유지부(11)를 상승 또는 하강시킨다.
반송 장치(10)는, 유지부(11)를 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시키는 이동 기구(16)를 구비하고 있다. 이동 기구(16)에 의해 유지부(11)를 경로 폭 방향 Y로 이동시킴으로써, 유지부(11)의 주행부(12)에 대한 경로 폭 방향 Y의 상대 위치가 변화한다. 이동 기구(16)는, 주행부(12)의 주행 시의 위치인 인퇴(引退; retracted) 위치(도 2 참조)와, 인퇴 위치에 대하여 제1 측 Y1의 돌출 위치(도 3 및 도 4 참조)와의 사이에서, 유지부(11)를 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시킨다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 인퇴 위치는, 상하 방향에서 볼 때 유지부(11)가 주행부(12)와 중복되는 위치이다. 반송 장치(10)[구체적으로는, 본체부(13)]는 이동용 모터(33)(구동력원의 일례, 도 5 참조)를 구비하고 있고, 이동 기구(16)는, 이동용 모터(33)의 구동력에 의해 유지부(11)를 경로 폭 방향 Y로 이동시킨다.
본 실시형태에서는, 이동 기구(16)는, 승강 기구(15)를 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시킴으로써, 승강 기구(15)에 지지된 유지부(11)를 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시킨다. 구체적으로는, 승강 기구(15)는, 유지부(11)를 지지부(14)에 대하여 승강시키도록 구성되어 있다. 즉, 유지부(11)는, 지지부(14)에 지지되어 있고, 본 실시형태에서는 지지부(14)에 현수 지지되어 있다. 이동 기구(16)는, 경로 폭 방향 Y와 직교하는 각각의 방향에서의 지지부(14)의 이동을 규제한 상태에서, 경로 폭 방향 Y로 이동 가능하게 지지부(14)를 지지하고 있다. 그리고, 이동 기구(16)는, 지지부(14)를 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시킴으로써, 지지부(14)에 지지된 상태의 유지부(11)를 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시키도록 구성되어 있다. 이동 기구(16)는, 이동용 모터(33)의 구동력에 의해 지지부(14)를 경로 폭 방향 Y로 이동시킨다. 이동 기구(16)는, 예를 들면, 지지부(14)를 경로 폭 방향 Y로 슬라이딩 가능하게 지지하는 슬라이딩 기구(예를 들면, 3단식의 슬라이딩 기구)를 사용하여 구성된다.
물품 반송 설비(100)는, 반송 장치(10)를 제어하는 제어부(30)를 구비하고 있다. 제어부(30)는, CPU 등의 연산 처리 장치를 구비하고, 또한 메모리 등의 주변 회로를 구비하고, 이들의 하드웨어와, 연산 처리 장치 등의 하드웨어 상에서 실행되는 프로그램과의 협동에 의해, 제어부(30)의 각 기능이 실현된다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 제어부(30)는, 전술한 주행용 모터(31), 승강용 모터(32), 이동용 모터(33), 및 파지용 모터(34)의 각각의 구동을 제어하고 또한, 후술하는 조작용 모터(35)의 구동을 제어한다.
반송 장치(10)[구체적으로는, 유지부(11)]와 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 경우, 제어부(30)는, 주행용 모터(31)의 구동을 제어하여, 이송탑재 대상 개소에 대응하는 이송탑재용 위치까지 주행부(12)를 주행시킨다. 이동 경로(R)는, 각각의 이송탑재 대상 개소에 대응하는 이송탑재용 위치를 경유하도록 형성되어 있다. 주행부(12)의 주행 시에는, 유지부(11)는, 주행용 높이에 있어서 인퇴 위치에 배치된다(도 2 참조). 이송탑재 대상 개소가 상하 방향에서 볼 때 이동 경로(R)와 중복되는 위치에 배치되어 있는 경우, 제어부(30)는, 주행부(12)를 이송탑재용 위치에 정지시킨 상태에서, 승강용 모터(32)의 구동을 제어하여, 승강 기구(15)에 의해 유지부(11)를 주행용 높이로부터 이송탑재용 높이까지 하강시킨다. 한쪽, 이송탑재 대상 개소가 상하 방향에서 볼 때 이동 경로(R)에 대하여 제1 측 Y1에 배치되어 있는 경우, 제어부(30)는, 주행부(12)를 이송탑재용 위치에 정지시킨 상태에서, 이동용 모터(33)의 구동을 제어하여, 이동 기구(16)에 의해 유지부(11)를 인퇴 위치로부터 돌출 위치[구체적으로는, 상하 방향에서 볼 때 유지부(11)가 이송탑재 대상 개소와 중복되는 위치]까지 제1 측 Y1로 이동시킨 후, 승강용 모터(32)의 구동을 제어하여, 승강 기구(15)에 의해 유지부(11)를 주행용 높이로부터 이송탑재용 높이까지 하강시킨다(도 3, 도 4 참조).
제어부(30)는, 유지부(11)가 이송탑재용 높이까지 하강한 상태에서, 파지용 모터(34)의 구동을 제어하여, 파지부(11a) 상태를 전환한다. 반송 장치(10)로부터 이송탑재 대상 개소에 물품(W)을 이송탑재하는 경우에는, 파지부(11a) 상태를 파지 상태로부터 파지 해제 상태로 전환하고, 이송탑재 대상 개소로부터 반송 장치(10)에 물품(W)을 이송탑재하는 경우에는, 파지부(11a) 상태를 파지 해제 상태로부터 파지 상태로 전환한다. 그리고, 제어부(30)는, 승강용 모터(32)의 구동을 제어하여, 승강 기구(15)에 의해 유지부(11)를 이송탑재용 높이로부터 주행용 높이까지 상승시킨다. 이송탑재 대상 개소가 상하 방향에서 볼 때 이동 경로(R)에 대하여 제1 측 Y1에 배치되어 있는 경우, 제어부(30)는, 유지부(11)가 주행용 높이까지 상승한 상태로, 이동용 모터(33)의 구동을 제어하여, 이동 기구(16)에 의해 유지부(11)를 돌출 위치로부터 인퇴 위치까지 제2 측 Y2로 이동시킨다. 제어부(30)가 이상과 같은 제어를 행함으로써, 반송 장치(10)로부터 이송탑재 대상 개소에 물품(W)을 이송탑재하는 경우에는, 상기 반송 장치(10)의 유지부(11)에 유지되고 있었던 물품(W)이 이송탑재 대상 개소로 하강하고, 이송탑재 대상 개소로부터 반송 장치(10)에 물품(W)을 이송탑재하는 경우에는, 이송탑재 대상 개소에 놓여져 있었던 물품(W)이 유지부(11)에 유지되어 이송탑재 대상 개소로부터 인출된다.
보관 장치(40)는, 상하 방향에서 볼 때 이동 경로(R)에 대하여 제1 측 Y1에 인접하여 배치되어 있다. 그러므로, 반송 장치(10)[구체적으로는, 유지부(11)]와 보관 장치(40)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 경우에는, 이송탑재 대상 개소인 보관 장치(40)는, 상하 방향에서 볼 때 이동 경로(R)에 대하여 제1 측 Y1에 배치되므로, 제어부(30)는, 이동 기구(16)에 의해 유지부(11)를 인퇴 위치로부터 돌출 위치[구체적으로는, 상하 방향에서 볼 때 유지부(11)가 보관 장치(40)와 중복되는 위치]까지 제1 측 Y1로 이동시킨 상태에서, 승강 기구(15)에 의해 유지부(11)를 주행용 높이와 이송탑재용 높이와의 사이에서 승강시킨다. 즉, 반송 장치(10)는, 유지부(11)와 보관 장치(40)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 경우에, 이동 기구(16)에 의해 유지부(11)를 제1 측 Y1으로 돌출하도록 구성되어 있다. 여기서, 「제1 측 Y1으로 돌출하는」이란, 이동 경로(R) 또는 주행부(12)에 대하여 제1 측 Y1으로 돌출하는 것을 의미한다.
반송 장치(10)는, 유지부(11)와 제1 보관부(50)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 경우에는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상하 방향에서 볼 때 유지부(11)가 중복 위치 PA에 배치된 제1 지지부(51)와 중복되는 위치(이하, 「제1 돌출 위치」라고 한다)까지, 이동 기구(16)에 의해 유지부(11)를 제1 측 Y1으로 돌출시킨다. 그리고, 반송 장치(10)는, 제1 돌출 위치에 배치된 상태의 유지부(11)를, 주행용 높이와 제1 지지부(51)에 따른 이송탑재용 높이[도 3에 나타낸 유지부(11)의 높이]와의 사이에서 승강시켜, 유지부(11)와 제1 보관부(50)[구체적으로는, 제1 지지부(51)]와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재한다. 또한, 반송 장치(10)는, 유지부(11)와 제2 보관부(60)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 경우에는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 상하 방향에서 볼 때 유지부(11)가 제2 지지부(61)와 중복되는 위치(이하, 「제2 돌출 위치」라고 한다)까지, 이동 기구(16)에 의해 유지부(11)를 제1 측 Y1으로 돌출시킨다. 그리고, 반송 장치(10)는, 제2 돌출 위치에 배치된 상태의 유지부(11)를, 주행용 높이[도 4에 2점 쇄선으로 나타내는 유지부(11)의 높이]와 제2 지지부(61)에 따른 이송탑재용 높이[도 4에 실선으로 나타낸 유지부(11)의 높이]와의 사이에서 승강시켜, 유지부(11)와 제2 보관부(60)[구체적으로는, 제2 지지부(61)]와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재한다.
본 실시형태에서는, 제1 돌출 위치가 제2 돌출 위치와 경로 폭 방향 Y의 같은 위치로 되도록, 중복 위치 PA가 설정되어 있다. 즉, 중복 위치 PA는, 경로 폭 방향 Y에 있어서, 제2 지지부(61)와 같은 위치로 설정되어 있다. 따라서, 유지부(11)와 제1 보관부(50)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 경우의, 이동 기구(16)에 의한 유지부(11)의 제1 측 Y1으로의 돌출량(바꾸어 말하면, 인퇴 위치로부터의 제1 측 Y1으로의 이동량)은, 유지부(11)와 제2 보관부(60)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 경우의, 이동 기구(16)에 의한 유지부(11)의 제1 측 Y1으로의 돌출량과 같게 되어 있다.
도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(10)는, 보관 장치(40)에 접촉 작용하여 제1 지지부(51)의 위치를 중복 위치 PA와 비중복 위치 PB로 전환하는 조작부(20)를 구비하고 있다. 조작부(20)를 반송 장치(10)에 설치함으로써, 이하에 설명하는 바와 같이, 유지부(11)와 제2 보관부(60)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 경우에는, 제1 지지부(51)를 비중복 위치 PB에 배치하여, 제1 지지부(51)나 제1 지지부(51)에 지지된 물품(W)을, 유지부(11)나 유지부(11)에 유지된 물품(W)의 승강 경로로부터 퇴피시키는 것이 가능하게 되어 있다.
제1 지지부(51)의 위치의 중복 위치 PA로부터 비중복 위치 PB로의 전환과, 제1 지지부(51)의 위치의 비중복 위치 PB로부터 중복 위치 PA으로의 전환의 한쪽 또는 양쪽이, 조작부(20)의 보관 장치(40)에 대한 접촉 작용에 의해 행해진다. 본 실시형태에서는, 이들 2개의 전환의 한쪽만이 조작부(20)의 보관 장치(40)에 대한 접촉 작용에 의해 행해진다. 구체적으로는, 중복 위치 PA 및 비중복 위치 PB의 한쪽을 제1 위치 P1로 하고, 다른 쪽을 제2 위치 P2로서, 제1 지지부(51)는, 조작부(20)에 조작되고 있지 않는 상태에서 제1 위치 P1에 배치되도록 구성되어 있다. 그리고, 제1 지지부(51)의 위치의 제1 위치 P1로부터 제2 위치 P2에 대한 전환이, 조작부(20)의 보관 장치(40)에 대한 접촉 작용에 의해 행해진다.
도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 반송 장치(10)는, 조작부(20)를 유지부(11)는 독립적으로 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시키는 조작 기구(21)를 구비하고 있다. 반송 장치(10)[구체적으로는, 본체부(13)]는 조작용 모터(35)(구동력원의 일례, 도 5 참조)를 구비하고 있고, 조작 기구(21)는, 조작용 모터(35)의 구동력에 의해 조작부(20)를 경로 폭 방향 Y로 이동시킨다. 조작 기구(21)는, 예를 들면, 조작부(20)를 경로 폭 방향 Y로 슬라이딩 가능하게 지지하는 슬라이딩 기구(예를 들면, 3단식의 슬라이딩 기구)를 사용하여 구성된다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 조작부(20)는, 제1 측 Y1으로의 이동에 따라 보관 장치(40)에 설치된 피압압부(被押壓部)(41)를 제1 측 Y1을 향해 압압(押壓)하도록 구성되어 있다. 조작부(20)에서의 제1 측 Y1의 단부(端部)가, 피압압부(41)를 제1 측 Y1을 향해 압압하는 압압부(20a)를 구성하고 있다. 도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 피압압부(41)는, 제1 지지부(51)에 지지된 물품(W)보다 위쪽에 배치되어 있다. 그리고, 제1 보관부(50)는, 피압압부(41)가 제1 측 Y1으로 압압됨에 따라 제1 지지부(51)가 제1 위치 P1로부터 제2 위치 P2로 이동하고, 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 압압이 해제됨에 따라 제1 지지부(51)가 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1로 이동하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 조작부(20)는, 제1 측 Y1으로의 이동에 따라 피압압부(41)를 항상 제1 측 Y1을 향해 압압하도록 구성되어 있다. 그러므로, 조작부(20)의 제1 측 Y1으로의 이동에 따라, 제1 지지부(51)는 항상 제1 위치 P1로부터 제2 위치 P2를 향해 경로 폭 방향 Y로 이동한다.
본 실시형태에서는, 피압압부(41)는, 제1 지지부(51)와 일체로 경로 폭 방향 Y로 이동하도록 설치되어 있다. 구체적으로는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 피압압부(41)는, 연결 부재(41a)에 의해 제1 지지부(51)에 연결되어 있다. 그러므로, 제1 지지부(51)는, 피압압부(41)가 조작부(20)에 의해 제1 측 Y1으로 압압됨에 따라, 중복 위치 PA로부터 비중복 위치 PB로 이동한다. 즉, 본 실시형태에서는, 제1 위치 P1은 중복 위치 PA이며, 제2 위치 P2는 비중복 위치 PB이다. 따라서, 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 압압이 해제되어 있는 통상 시에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 지지부(51)는 중복 위치 PA에 배치된다.
전술한 바와 같이, 제1 지지부(51)는, 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 조작부(20)에 의한 압압이 해제됨에 따라, 제2 위치 P2(본 실시형태에서는, 비중복 위치 PB)로부터 제1 위치 P1(본 실시형태에서는, 중복 위치 PA)로 이동한다. 본 실시형태에서는, 보관 장치(40)는, 제1 지지부(51)의 자중(自重) 및 가압(付勢) 기구(42)에 의한 가압력의 한쪽 또는 양쪽을 사용하여, 제1 지지부(51)를 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1으로 이동시키기 위한 힘 중 적어도 일부를 발생시키도록 구성되어 있다. 여기서는, 보관 장치(40)는, 제1 지지부(51)를 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1으로 이동시키기 위한 힘의 모두를, 가압 기구(42)에 의한 가압력에 의해 발생시키도록 구성되어 있다.
도 2 내지 도 4에 나타낸 예에서는, 가압 기구(42)는, 제1 지지부(51)에 일단(一端)이 연결된 와이어(42a)와, 와이어(42a)가 권취되는 드럼(42b)과, 와이어(42a)를 권취하는 방향으로 드럼(42b)을 가압하는 스프링 등의 가압 부재(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 제1 지지부(51)가 중복 위치 PA로부터 비중복 위치 PB로 이동하려면, 조작부(20)에 의한 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 압압력(押壓力; pressing force)에 의해, 가압 부재의 가압력에 저항하여 와이어(42a)가 드럼(42b)으로부터 송출된다(도 4 참조). 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 조작부(20)에 의한 압압이 해제되면, 가압 부재의 가압력에 의해 와이어(42a)가 드럼(42b)에 권취되고, 제1 지지부(51)가 비중복 위치 PB로부터 중복 위치 PA로 이동한다(도 3 참조).
본 실시형태에서는, 제어부(30)가, 유지부(11)와 제1 지지부(51)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에 제1 지지부(51)가 중복 위치 PA에 배치되고, 유지부(11)와 제2 지지부(61)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에 제1 지지부(51)가 비중복 위치 PB에 배치되도록, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 제어하도록 구성되어 있다. 제어부(30)는, 조작용 모터(35)의 구동을 제어하여, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 조작 기구(21)에 의해 제어한다.
전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 압압이 해제되어 있는 통상 시에는, 제1 지지부(51)는 중복 위치 PA에 배치되어 있다. 따라서, 유지부(11)와 제1 지지부(51)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에는, 제어부(30)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 주행부(12)의 주행 시에서의 조작부(20)의 위치(도 2 참조)에 조작부(20)를 유지함으로써, 제1 지지부(51)를 중복 위치 PA에 배치한다[바꾸어 말하면, 제1 지지부(51)가 중복 위치 PA에 배치된 상태인 채로 한다]. 한쪽, 유지부(11)와 제2 지지부(61)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에는, 제어부(30)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 주행부(12)의 주행 시에서의 조작부(20)의 위치(도 2 참조)로부터, 제1 지지부(51)가 비중복 위치 PB에 배치되는 위치까지, 조작부(20)를 제1 측 Y1으로 이동시킴으로써, 제1 지지부(51)를 비중복 위치 PB에 배치한다. 제어부(30)는, 유지부(11)와 제2 지지부(61)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에, 이동 기구(16)에 의한 유지부(11)의 제1 측 Y1으로의 돌출 이동에 맞추어(동기시켜), 조작 기구(21)에 의해 조작부(20)를 제1 측 Y1로 이동시키고, 또는, 이동 기구(16)에 의한 유지부(11)의 제1 측 Y1으로의 돌출 이동의 전에, 조작 기구(21)에 의해 조작부(20)를 제1 측 Y1로 이동시킨다.
[제2 실시형태]
물품 반송 설비의 제2 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 이하에서는, 본 실시형태의 물품 반송 설비에 대하여, 제1 실시형태와의 상위점을 중심으로 설명한다. 특히 명기하지 않는 점에 대하여는, 제1 실시형태와 마찬가지이고, 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.
제1 실시형태에서는, 반송 장치(10)가, 조작부(20)를 유지부(11)와는 독립적으로 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시키는 조작 기구(21)를 구비하고 있지만, 본 실시형태에서는, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 조작부(20)는, 유지부(11)의 경로 폭 방향 Y의 이동에 따라, 경로 폭 방향 Y에 있어서 유지부(11)가 이동하는 측과 같은 쪽으로 이동하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 조작부(20)는, 지지부(14)와 일체로 경로 폭 방향 Y로 이동하도록, 지지부(14)에 연결되어 있고, 이동 기구(16)는, 지지부(14)를 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시킴으로써, 유지부(11) 및 조작부(20)를 경로 폭 방향 Y를 따라 이동시키도록 구성되어 있다.
본 실시형태에서는, 물품 반송 설비(100)는, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를, 조작부(20)의 제1 측 Y1으로의 이동에 따라 제1 지지부(51)가 제1 위치 P1로부터 제2 위치 P2로 이동하는 유효 상태(도 7에 나타낸 상태)와, 조작부(20)의 제1 측 Y1으로의 이동에 관계없이 제1 지지부(51)가 중복 위치 PA 또는 비중복 위치 PB에 유지되는 무효 상태(도 6에 나타낸 상태)로 전환하는 전환 기구(22)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 무효 상태에 있어서 제1 지지부(51)는 중복 위치 PA에 유지된다. 전환 기구(22)는, 조작용 모터(35)(구동력원의 일례, 도 5 참조)의 구동력에 의해, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 유효 상태와 무효 상태로 전환한다.
본 실시형태에서는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 제어부(30)가, 유지부(11)와 제1 지지부(51)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에 제1 지지부(51)가 중복 위치 PA에 배치되고, 유지부(11)와 제2 지지부(61)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에 제1 지지부(51)가 비중복 위치 PB에 배치되도록, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 제어하도록 구성되어 있다. 제어부(30)는, 조작용 모터(35)의 구동을 제어하여, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 전환 기구(22)에 의해 제어한다.
구체적으로는, 제어부(30)는, 조작부(20)의 자세를 전환함으로써, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 유효 상태와 무효 상태로 전환한다. 조작부(20)의 자세는, 조작용 모터(35)의 구동력에 의해, 전환 기구(22)에 의해 전환된다. 즉, 제어부(30)는, 조작용 모터(35)의 구동을 제어하여, 전환 기구(22)에 의해 조작부(20)의 자세를 전환한다. 조작부(20)는, 제1 측 Y1으로의 이동에 따라 피압압부(41)를 제1 측 Y1으로 압압하는 압압 자세 Q1(도 7 참조)와, 압압 자세 Q1가 아닌 비압압 자세 Q2(도 6 참조)로 자세를 전환할 수 있도록 구성되어 있다. 제어부(30)는, 조작부(20)의 자세를 압압 자세 Q1으로 전환함으로써 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 유효 상태로 전환하고, 조작부(20)의 자세를 비압압 자세 Q2로 전환함으로써, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 무효 상태로 전환한다. 도 6 및 도 7에 나타낸 예에서는, 전환 기구(22)는, 경로 폭 방향 Y를 따르는 회전축 주위로 조작부(20)를 회전시킴으로써, 조작부(20)의 자세를 압압 자세 Q1와 비압압 자세 Q2로 전환한다.
본 실시형태에서는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 제1 보관부(50)는, 피압압부(41)가 제1 측 Y1으로 압압됨에 따라 제1 지지부(51)가 제1 위치 P1로부터 제2 위치 P2로 이동하고, 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 압압이 해제됨에 따라 제1 지지부(51)가 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1로 이동하도록 구성되어 있다. 그리고, 제1 위치 P1은 중복 위치 PA이며, 제2 위치 P2는 비중복 위치 PB이며, 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 압압이 해제되어 있는 통상 시에는, 제1 지지부(51)는 중복 위치 PA에 배치된다.
따라서, 유지부(11)와 제1 지지부(51)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에는, 제어부(30)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를, 전환 기구(22)에 의해 무효 상태로 전환한다. 그러므로, 이동 기구(16)에 의한 유지부(11)의 제1 측 Y1으로의 돌출 이동에 따라, 조작부(20)가 제1 측 Y1으로 이동해도, 제1 지지부(51)는 중복 위치 PA에 유지된다. 즉, 제1 지지부(51)는 중복 위치 PA에 배치된다. 한쪽, 유지부(11)와 제2 지지부(61)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에는, 제어부(30)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를, 전환 기구(22)에 의해 유효 상태로 전환한다. 그러므로, 이동 기구(16)에 의한 유지부(11)의 제1 측 Y1으로의 돌출 이동에 따라, 조작부(20)가 제1 측 Y1으로 이동하면, 제1 지지부(51)는 중복 위치 PA로부터 비중복 위치 PB로 이동한다. 즉, 제1 지지부(51)는 비중복 위치 PB에 배치된다.
[그 외의 실시형태]
다음에, 물품 반송 설비의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기 제2 실시형태에서는, 제어부(30)가, 조작부(20)의 자세를 전환함으로써, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 유효 상태와 무효 상태로 전환하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제어부(30) 또는 다른 제어부[예를 들면, 제어부(30)의 상위의 제어부]가, 조작부(20)의 자세는 아니고, 피압압부(41)의 자세를 전환함으로써, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 유효 상태와 무효 상태로 전환하는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 피압압부(41)는, 제1 측 Y1으로 이동하는 조작부(20)에 의해 제1 측 Y1으로 압압되는 피가압 자세와, 피가압 자세가 아닌 무효 자세로 자세를 전환할 수 있도록 구성된다. 그리고, 제어부(30) 또는 다른 제어부는, 피압압부(41)의 자세를 피가압 자세로 전환함으로써, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 유효 상태로 전환하고, 피압압부(41)의 자세를 무효 자세로 전환함으로써, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태를 무효 상태로 전환한다. 이 경우, 피압압부(41)의 자세를 전환하는 전환 기구가 보관 장치(40)에 설치되고, 제어부(30) 또는 다른 제어부는, 모터(구동력원의 일례)의 구동을 제어하여, 상기 전환 기구에 의해 피압압부(41)의 자세를 전환한다.
그리고, 전환 기구에 의한 피압압부(41)의 자세의 전환이, 제어부(30) 또는 다른 제어부에 의한 제어가 아니고, 예를 들면, 제1 지지부(51)에 지지되어 있는 물품(W)의 중량 등을 이용하여 행해지는 구성 등으로 하는 것도 가능하다. 즉, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태의 제어 또는 전환은, 제어부(30) 또는 다른 제어부에 의한 제어가 아니고, 기계적으로 행해져도 된다.
(2) 상기한 각각의 실시형태에서는, 피압압부(41)가, 제1 지지부(51)와 일체로 경로 폭 방향 Y로 이동하도록 설치되는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 피압압부(41)가 제1 지지부(51)와 일체로 경로 폭 방향 Y로 이동하지 않는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우에, 예를 들면, 피압압부(41)와 제1 지지부(51)가 링크 기구를 통해 연결되는 구성으로 할 수 있다. 이 링크 기구를, 피압압부(41)가 조작부(20)에 의해 제1 측 Y1으로 압압됨에 따라 제1 지지부(51)가 비중복 위치 PB로부터 중복 위치 PA로 이동하고, 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 조작부(20)에 의한 압압이 해제됨에 따라 제1 지지부(51)가 중복 위치 PA로부터 비중복 위치 PB로 이동하는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 상기한 각각의 실시형태와는 달리, 비중복 위치 PB가 제1 위치 P1로 되고, 중복 위치 PA가 제2 위치 P2로 된다.
이와 같이, 비중복 위치 PB가 제1 위치 P1이며, 중복 위치 PA가 제2 위치 P2인 경우, 피압압부(41)에 대한 제1 측 Y1으로의 압압이 해제되어 있는 통상 시에는 (즉, 제1 지지부(51)가 조작부(20)에 조작되고 있지 않는 상태에서는), 제1 지지부(51)는 비중복 위치 PB에 배치된다. 그리고, 유지부(11)와 제1 지지부(51)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에, 제1 지지부(51)가 비중복 위치 PB로부터 중복 위치 PA로 이동하고, 유지부(11)와 제2 지지부(61)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에, 제1 지지부(51)가 비중복 위치 PB에 유지되도록, 조작부(20)에 의한 제1 지지부(51)의 조작 상태가 제어 또는 전환된다.
(3) 상기한 각각의 실시형태에서는, 제1 지지부(51)를 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1로 이동시키기 위한 힘의 모두를, 가압 기구(42)에 의한 가압력에 의해 발생시키는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제1 지지부(51)를 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1으로 이동시키기 위한 힘의 모두를, 제1 지지부(51)의 자중에 의해 발생시키는 구성이나, 제1 지지부(51)를 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1와 이동시키기 위한 힘의 모두를, 가압 기구(42)에 의한 가압력과 제1 지지부(51)의 자중과의 협동에 의해 발생시키는 구성으로 할 수도 있다. 예를 들면, 가동 지지부(52)가, 전술한 바와 같이, 안내 레일 및 안내 블록을 구비한 직동 기구를 사용하여 구성되는 경우, 제2 측 Y2을 향함에 따라 하측 Z2을 향하도록 경사진 자세로 안내 레일이 조립된 프레임(43)에 고정된 구성으로 함으로써, 제1 지지부(51)를 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1으로 이동시키기 위한 힘을, 제1 지지부(51)의 자중에 의해 발생시킬 수 있다.
(4) 상기한 각각의 실시형태에서는, 제1 지지부(51)의 위치의 중복 위치 PA로부터 비중복 위치 PB로의 전환과, 제1 지지부(51)의 위치의 비중복 위치 PB로부터 중복 위치 PA으로의 전환 중 한쪽 만이, 조작부(20)의 보관 장치(40)에 대한 접촉 작용에 의해 행해지는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 이들 2개의 전환의 양쪽이, 조작부(20)의 보관 장치(40)에 대한 접촉 작용에 의해 행해지는 구성으로 할 수도 있다. 구체적으로는, 중복 위치 PA 및 비중복 위치 PB의 한쪽을 제1 위치 P1로 하고, 다른 쪽을 제2 위치 P2로 하여, 조작부(20)가 피압압부(41)를 제1 측 Y1으로 압압하는 것에 따라, 제1 지지부(51)가 제1 위치 P1로부터 제2 위치 P2로 이동하고, 조작부(20)가 피압압부(41)를 제2 측 Y2로 압압하는 것에 따라, 제1 지지부(51)가 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1로 이동하는 구성으로 할 수 있다. 이 경우, 제1 지지부(51)를 제2 위치 P2로부터 제1 위치 P1와 이동시키기 위한 힘을, 제1 지지부(51)의 자중이나 가압 기구(42)에 의한 가압력에 의해 발생시키지 않아도 된다.
(5) 상기한 각각의 실시형태에서는, 제1 보관부(50)와 제2 보관부(60)와의 상하 방향 Z의 사이에 다른 보관부가 배치되지 않은 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 보관 장치(40)가, 제1 보관부(50)와 제2 보관부(60)와의 상하 방향 Z의 사이에 다른 1개 이상의 보관부(이하, 「중간 보관부」라고 한다)를 구비하는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 예를 들면, 다음과 같은 구성으로 할 수 있다. 중간 보관부는, 물품(W)을 지지하는 중간 지지부를 구비하고, 중간 지지부는, 제1 지지부(51)와 마찬가지로, 경로 폭 방향 Y로 이동 가능하게 지지된다. 또한, 보관 장치(40)에는, 중간 지지부를 제1 지지부(51)에 선택적으로 연결하는 연결 기구가 설치된다. 그리고, 유지부(11)와 제2 지지부(61)와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에는, 상기 연결 기구에 의해 중간 지지부가 제1 지지부(51)에 연결됨으로써, 중간 지지부는 제1 지지부(51)와 일체로 중복 위치 PA로부터 비중복 위치 PB로 이동된다. 한쪽, 유지부(11)와 중간 지지부와의 사이에서 물품(W)이 이송탑재되는 경우에는, 상기 연결 기구에 의한 중간 지지부의 제1 지지부(51)에 대한 연결이 해제됨으로써, 중간 지지부는, 상하 방향에서 볼 때 상기 중간 지지부가 대상 공간(S)과 중복되는 위치에 유지되고, 제1 지지부(51)만이 중복 위치 PA로부터 비중복 위치 PB로 이동된다.
(6) 상기한 각각의 실시형태에서는, 보관 장치(40)가 천정(1)에 지지되는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 보관 장치(40)가, 벽이나 바닥에 지지되는 구성으로 할 수도 있다.
(7) 상기한 각각의 실시형태에서는, 본체부(13)가 주행부(12)에 현수지지된 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 본체부(13)가 하측 Z2로부터 주행부(12)에 지지되는 구성으로 할 수도 있다.
(8) 상기한 각각의 실시형태에서는, 반송 장치(10)가 천정(1)을 따라 형성된 이동 경로(R)를 따라 이동하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 반송 장치(10)가, 바닥을 따라 형성된 이동 경로(R)를 따라 이동하는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 이동 경로(R)는, 예를 들면, 바닥에 설치된 주행 레일에 의해 형성된다. 그리고, 이동 경로(R)는, 주행 레일을 이용하지 않고 형성해도 되고, 가상적(假想的)으로 설정되어도 된다.
(9) 상기한 각각의 실시형태에서는, 물품(W)이 반도체 웨이퍼를 수용하는 용기인 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 개시는 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 물품(W)을, 반도체 웨이퍼 이외의 수용물[레티클(reticle)나 유리 기판 등]을 수용하는 용기나, 용기 이외의 물품으로 할 수도 있다.
(10) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용하는 것(그 외의 실시형태로서 설명한 실시형태끼리의 조합을 포함함)도 가능하다.
그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다.
따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.
이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 반송 장치와, 상기 이동 경로에 인접하여 배치되고, 상기 물품을 보관하는 보관 장치를 구비한 물품 반송 설비로서, 상기 이동 경로의 폭 방향인 경로 폭 방향에서의, 상기 이동 경로에 대하여 상기 보관 장치가 배치되는 측을 제1 측으로 하여, 상기 반송 장치는, 상기 물품을 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 승강시키는 승강 기구와, 상기 유지부를 상기 경로 폭 방향을 따라 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 유지부와 상기 보관 장치와의 사이에서 상기 물품을 이송탑재하는 경우에, 상기 이동 기구에 의해 상기 유지부를 상기 제1 측으로 돌출시키도록 구성되고, 상기 보관 장치는, 제1 보관부와, 상기 제1 보관부보다 아래쪽에 배치된 제2 보관부를 구비하고, 상기 제1 보관부는, 상기 물품을 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부를 상기 경로 폭 방향으로 이동 가능하게 지지하는 가동 지지부를 구비하고, 상기 제2 보관부는, 상기 이동 경로에 대한 상기 경로 폭 방향의 위치가 고정되고, 상기 물품을 지지하는 제2 지지부를 구비하고, 상기 제2 지지부에 지지된 상태의 상기 물품이 차지하는 공간을 대상 공간으로 하고, 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지부가 상기 대상 공간과 중복되는 위치를 중복 위치로 하고, 상기 중복 위치에 대하여 상기 제1 측에 인접하고, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지부가 상기 대상 공간과 중복되지 않는 위치를 비중복 위치로 하여, 상기 보관 장치에 접촉 작용하여 상기 제1 지지부의 위치를 상기 중복 위치와 상기 비중복 위치로 전환하는 조작부가, 상기 반송 장치에 설치되어 있다.
본 구성에서는, 이동 경로에 대하여 제1 측에 배치된 보관 장치가, 제1 보관부와, 제1 보관부보다 아래쪽에 배치된 제2 보관부를 구비하고 있다. 그리고, 이동 기구에 의해 제1 측으로 돌출하도록 이동된 상태의 유지부를, 승강 기구에 의해 승강시킴으로써, 유지부와, 제1 보관부나 제2 보관부와의 사이에서, 물품을 이송탑재할 수 있다. 여기서, 제2 보관부에 설치된 제2 지지부는, 이동 경로에 대한 경로 폭 방향의 위치가 고정되어 있는 것에 대해, 제1 보관부에 설치된 제1 지지부는, 경로 폭 방향으로 이동 가능하게 가동 지지부에 지지되어 있다. 그리고, 제1 지지부의 위치를 중복 위치와 비중복 위치로 전환하는 조작부가, 반송 장치에 설치되어 있다. 따라서, 유지부와 제2 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에는, 제1 지지부를 비중복 위치로 이동시킴으로써, 제1 지지부나 제1 지지부에 지지된 물품을, 유지부나 유지부에 유지된 물품의 승강 경로로부터 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 본 구성에 의하면, 이동 기구를 물품의 상하 방향 치수 이상으로 승강시키도록 한 기구를 반송 장치에 설치하지 않고도, 반송 장치가 제1 보관부 및 제2 보관부의 양쪽과의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있는 구성을 실현할 수 있다.
그리고, 본 구성에서는, 제1 지지부의 위치를 중복 위치와 비중복 위치로 전환하는 조작부를 반송 장치에 설치할 필요가 있지만, 이와 같은 조작부는, 이동 기구를 적어도 물품의 높이 정도 승강시키도록 한 기구에 비해, 구성이나 배치의 자유도를 높게 확보하기 쉽다. 그러므로, 본 구성에 의하면, 반송 장치가 각각의 단의 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있는 구성을, 반송 장치의 구성의 복잡화를 억제하면서 실현하는 것이 가능하게 되어 있다.
본 구성에 의하면, 또한, 다음과 같은 장점도 있다. 본 구성과는 달리, 제1 지지부가 비중복 위치에 고정된 구성으로 하는 것도 생각할 수 있지만, 이 경우, 유지부와 제1 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 유지부의 제1 측으로의 돌출량이 커지기 쉽다. 이에 대하여, 본 구성에서는, 유지부와 제1 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에는, 제1 지지부를 중복 위치로 이동시킬 수 있으므로, 유지부와 제1 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 유지부의 제1 측으로의 돌출량을, 유지부와 제2 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 유지부의 제1 측으로의 돌출량과 같거나 또는 같은 정도로 할 수 있다. 이 점으로부터도, 본 구성에 의하면 반송 장치의 구성의 복잡화를 억제하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 본 구성에서는, 유지부와 제2 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에는, 제1 지지부를 상기 이송탑재의 방해로 되지 않는 위치로 퇴피시킬 수 있으므로, 제2 지지부에 지지된 물품과 제1 지지부와의 상하 방향의 간극을 작게 억제하여, 보관 장치의 상하 방향에서의 대형화를 억제하는 것도 가능하게 되어 있다.
여기서, 상기 반송 장치를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 유지부와 상기 제1 지지부와의 사이에서 상기 물품이 이송탑재되는 경우에 상기 제1 지지부가 상기 중복 위치에 배치되고, 상기 유지부와 상기 제2 지지부와의 사이에서 상기 물품이 이송탑재되는 경우에 상기 제1 지지부가 상기 비중복 위치에 배치되도록, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 제어하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 유지부와 제1 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우에 제1 지지부가 중복 위치에 배치되므로, 유지부와 제1 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우와, 유지부와 제2 보관부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에, 유지부의 제1 측으로의 돌출량을 같거나 또는 같은 정도로 할 수 있다. 따라서, 반송 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 유지부와 제2 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우에 제1 지지부가 비중복 위치에 배치되므로, 제1 지지부나 제1 지지부에 지지된 물품을, 유지부나 유지부에 유지된 물품의 승강 경로로부터 퇴피시킬 수 있다. 따라서, 제1 지지부 및 제2 지지부의 양쪽에 대하여, 제1 측으로 돌출하도록 이동된 상태의 유지부를 승강시키는 공통의 동작으로 물품을 이송탑재할 수 있어, 반송 장치의 구성이나 제어의 간소화를 도모할 수 있다. 그리고, 본 구성에서는, 조작부에 의한 제1 지지부의 조작 상태의 이와 같은 제어가, 조작부가 설치된 반송 장치를 제어하는 제어부에 의해 행해진다. 그러므로, 제1 지지부의 위치를 상기한 바와 같이 전환하기 위한 반송 장치와 보관 장치와의 협조 제어는 불필요하므로, 물품 반송 설비의 제어 시스템의 간소화를 도모하는 것이 가능하게 되어 있다.
또한, 상기 반송 장치는, 상기 조작부를 상기 유지부와는 독립적으로 상기 경로 폭 방향을 따라 이동시키는 조작 기구를 구비하고, 상기 조작부는, 상기 제1 측으로의 이동에 따라 상기 보관 장치에 설치된 피압압부를 상기 제1 측을 향해 압압하도록 구성되고, 상기 중복 위치 및 상기 비중복 위치의 한쪽을 제1 위치로 하고, 다른 쪽을 제2 위치로 하여, 상기 제1 보관부는, 상기 피압압부가 상기 제1 측으로 압압됨에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동하고, 상기 피압압부에 대한 상기 제1 측으로의 압압이 해제됨에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제1 지지부의 위치의 중복 위치와 비중복 위치와의 전환을, 조작부에 의한 피압압부의 제1 측으로의 압압의 유무에 따라 행할 수 있으므로, 조작부의 구성이나 제어의 간소화를 도모할 수 있다. 그리고, 본 구성에 의하면, 중복 위치가 제1 위치이며 비중복 위치가 제2 위치인 경우에는, 유지부와 제2 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우에 조작부에 의해 피압압부를 제1 측을 향해 압압하도록 구성하고, 비중복 위치가 제1 위치이며 중복 위치가 제2 위치인 경우에는, 유지부와 제1 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우에 조작부에 의해 피압압부를 제1 측을 향해 압압하도록 구성함으로써, 제1 지지부를 적절한 위치에 배치할 수 있다. 따라서, 제1 지지부 및 제2 지지부의 어딘가에 대해서도, 물품을 적절히 이송탑재할 수 있다.
상기한 바와 같이, 상기 피압압부가 상기 제1 측으로 압압됨에 따라, 상기 제1 지지부가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동하는 구성에 있어서, 상기 피압압부는, 상기 제1 지지부와 일체로 상기 경로 폭 방향으로 이동하도록 설치되고, 상기 제1 위치는 상기 중복 위치이며, 상기 제2 위치는 상기 비중복 위치인 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 피압압부가 제1 지지부와 일체로 경로 폭 방향으로 이동하도록 설치되므로, 피압압부와 제1 지지부와의 연결 구성을 간단한 것으로서, 보관 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 본 구성에서는, 피압압부에 대한 제1 측으로의 압압이 해제되어 있는 통상 시의 제1 지지부의 위치인 제1 위치가, 중복 위치로 된다. 그러므로, 유지부와 제1 지지부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 경우에는, 제1 지지부의 위치를 전환하지 않도록 물품을 이송탑재할 수 있어, 유지부와 제1 지지부와의 사이에서의 물품의 이송탑재 속도의 향상을 도모하기 쉽다.
또한, 상기 조작부는, 상기 유지부의 상기 경로 폭 방향의 이동에 따라, 상기 경로 폭 방향에 있어서 상기 유지부가 이동하는 측과 같은 쪽으로 이동하도록 구성되고, 상기 중복 위치 및 상기 비중복 위치의 한쪽을 제1 위치로 하고, 다른 쪽을 제2 위치로 하여, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를, 상기 조작부의 상기 제1 측으로의 이동에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동하는 유효 상태와, 상기 조작부의 상기 제1 측으로의 이동에 관계없이 상기 제1 지지부가 상기 중복 위치 또는 상기 비중복 위치에 유지되는 무효 상태로 전환하는 전환 기구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 조작부에 의한 제1 지지부의 조작 상태를 전환 기구에 의해 유효 상태와 무효 상태로 전환할 수 있으므로, 본 구성과 같이, 조작부가, 유지부의 경로 폭 방향의 이동에 따라, 경로 폭 방향에 있어서 유지부가 이동하는 측과 같은 쪽으로 이동하도록 구성되는 경우라도, 유지부를 제1 측으로 돌출시킬 때, 제1 지지부의 위치를 유지하는 것도 전환할 수도 있다. 따라서, 유지부와 제1 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우에는 제1 지지부를 중복 위치에 배치하고, 유지부와 제2 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우에는 제1 지지부를 비중복 위치에 배치하는 것이 가능하며, 제1 지지부 및 제2 지지부의 양쪽에 대하여 물품을 적절히 이송탑재할 수 있다.
상기한 바와 같이, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 상기 유효 상태와 상기 무효 상태로 전환하는 상기 전환 기구를 구비하는 구성에 있어서, 상기 반송 장치를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 조작부의 자세를 전환함으로써, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 상기 유효 상태와 상기 무효 상태로 전환하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 조작부에 의해 조작되는 보관 장치 측의 부재의 위치나 자세를 고정으로 하면서, 조작부의 자세를 전환함으로써, 조작부에 의한 제1 지지부의 조작 상태를 유효 상태와 무효 상태로 전환할 수 있다. 그리고, 본 구성에서는, 조작부의 자세의 전환이, 조작부가 설치된 반송 장치를 제어하는 제어부에 의해 행해진다. 그러므로, 조작부에 의한 제1 지지부의 조작 상태를 전환하기 위한 반송 장치와 보관 장치와의 협조 제어는 불필요하며, 물품 반송 설비의 제어 시스템의 간소화를 도모하는 것이 가능하게 되어 있다.
상기한 바와 같이, 상기 제어부가, 상기 조작부의 자세를 전환함으로써, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 상기 유효 상태와 상기 무효 상태로 전환하는 구성에 있어서, 상기 제1 보관부는, 상기 보관 장치에 설치된 피압압부가 상기 제1 측으로 압압됨에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동하고, 상기 피압압부에 대한 상기 제1 측으로의 압압이 해제됨에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동하도록 구성되고, 상기 조작부는, 상기 제1 측으로의 이동에 따라 상기 피압압부를 상기 제1 측에 압압하는 압압 자세와, 상기 압압 자세가 아닌 비압압 자세로 자세를 전환할 수 있도록 구성되고, 상기 제어부는, 상기 조작부의 자세를 상기 압압 자세로 전환함으로써, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 상기 유효 상태로 전환하고, 상기 조작부의 자세를 상기 비압압 자세로 전환함으로써, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 상기 무효 상태로 전환하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 조작부에 의한 제1 지지부의 조작 상태를 전환하기 위한 조작부의 자세 변경을, 조작부가 제1 측으로 이동한 경우에 피압압부를 압압할 것인지의 여부를 전환할 수 있는 정도의 비교적 작은 자세 변경으로 할 수 있으므로, 조작부의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 그리고, 본 구성에 의하면, 중복 위치가 제1 위치이며 비중복 위치가 제2 위치인 경우에는, 유지부와 제2 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우에 조작부의 자세를 압압 자세로 전환하도록 구성하고, 비중복 위치가 제1 위치이며 중복 위치가 제2 위치인 경우에는, 유지부와 제1 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우에 조작부의 자세를 압압 자세로 전환하도록 구성함으로써, 제1 지지부를 적절한 위치에 배치할 수 있다. 따라서, 제1 지지부 및 제2 지지부의 어딘가에 대해서도, 물품을 적절히 이송탑재할 수 있다.
상기한 각각의 구성의 물품 반송 설비에 있어서, 상기 중복 위치 및 상기 비중복 위치의 한쪽을 제1 위치로 하고, 다른 쪽을 제2 위치로 하여, 상기 제1 지지부는, 상기 조작부에 조작되고 있지 않는 상태에서 상기 제1 위치에 배치되고, 상기 보관 장치는, 상기 제1 지지부의 자중 및 가압 기구에 의한 가압력의 한쪽 또는 양쪽을 사용하여, 상기 제1 지지부를 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동시키기 위한 힘 중 적어도 일부를 발생시키도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 조작부에 조작되고 있지 않는 상태에서 제1 지지부가 항상 제1 위치에 배치되도록 할 수 있으므로, 조작부에 조작되고 있지 않는 상태에서의 제1 지지부의 위치가 그 때마다 바뀌는 경우와는 달리, 제1 지지부의 위치의 전환이 필요한 장면을, 유지부와 제1 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우와 유지부와 제2 지지부와의 사이에서 물품이 이송탑재되는 경우 중 어느 한쪽의 경우만으로 할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 조작부에 의한 제1 지지부의 조작 상태를 제어에 의해 전환하는 경우에, 그 제어의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 본 구성에 의하면, 제2 위치로 이동시킨 상태의 제1 지지부를, 제1 지지부의 자중 및 가압 기구에 의한 가압력의 한쪽 또는 양쪽을 사용하여 제1 위치로 되돌리는 것이 가능하므로, 제1 지지부를 제1 위치로 되돌리기 위한 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
또한, 상기 반송 장치는, 천정을 따라 형성된 이동 경로를 따라 이동하고, 상기 보관 장치는, 상기 천정에 지지되어 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 반송 장치가, 천정을 따라 형성된 이동 경로를 따라 이동하는 천정 반송 장치인 경우에, 천정측의 공간을 유효하게 이용하여, 제1 보관부 및 제2 보관부를 구비하는 복수 단의 보관 장치를 배치할 수 있다.
본 개시에 관한 물품 반송 설비는, 전술한 각 효과 중, 하나 이상을 얻을 수 있으면 된다.
1: 천정
10: 반송 장치
11: 유지부
15: 승강 기구
16: 이동 기구
20: 조작부
21: 조작 기구
22: 전환 기구
30: 제어부
40: 보관 장치
41: 피압압부
42: 가압 기구
50: 제1 보관부
51: 제1 지지부
52: 가동 지지부
60: 제2 보관부
61: 제2 지지부
100: 물품 반송 설비
P1: 제1 위치
P2: 제2 위치
PA: 중복 위치
PB: 비중복 위치
Q1: 압압 자세
Q2: 비압압 자세
R: 이동 경로
S: 대상 공간
W: 물품
Y: 경로 폭 방향
Y1: 제1 측
Z: 상하 방향

Claims (9)

  1. 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송(搬送; transport)하는 반송 장치; 및
    상기 이동 경로에 인접하여 배치되고, 상기 물품을 보관하는 보관 장치;
    를 포함하고,
    상기 이동 경로의 폭 방향인 경로 폭 방향에서의, 상기 이동 경로에 대하여 상기 보관 장치가 배치되는 측을 제1 측으로 하여,
    상기 반송 장치는, 상기 물품을 유지하는 유지부(holding section)와, 상기 유지부를 승강시키는 승강 기구와, 상기 유지부를 상기 경로 폭 방향을 따라 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 유지부와 상기 보관 장치 사이에서 상기 물품을 이송탑재(transfer)하는 경우에, 상기 이동 기구(機構)에 의해 상기 유지부를 상기 제1 측으로 돌출시키도록 구성되고,
    상기 보관 장치는, 제1 보관부와, 상기 제1 보관부보다 아래쪽에 배치된 제2 보관부를 구비하고,
    상기 제1 보관부는, 상기 물품을 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부를 상기 경로 폭 방향으로 이동 가능하게 지지하는 가동(可動) 지지부를 구비하고,
    상기 제2 보관부는, 상기 이동 경로에 대한 상기 경로 폭 방향의 위치가 고정되고, 상기 물품을 지지하는 제2 지지부를 구비하고,
    상기 제2 지지부에 지지된 상태의 상기 물품이 차지하는 공간을 대상 공간으로 하고, 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지부가 상기 대상 공간과 중복되는 위치를 중복 위치로 하고, 상기 중복 위치에 대하여 상기 제1 측에 인접하고, 상기 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 지지부가 상기 대상 공간과 중복되지 않는 위치를 비중복 위치로 하여,
    상기 보관 장치에 접촉 작용하여 상기 제1 지지부의 위치를 상기 중복 위치와 상기 비중복 위치로 전환하는 조작부가, 상기 반송 장치에 설치되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송 장치를 제어하는 제어부를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 유지부와 상기 제1 지지부 사이에서 상기 물품이 이송탑재되는 경우에 상기 제1 지지부가 상기 중복 위치에 배치되고, 상기 유지부와 상기 제2 지지부 사이에서 상기 물품이 이송탑재되는 경우에 상기 제1 지지부가 상기 비중복 위치에 배치되도록, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 제어하는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반송 장치는, 상기 조작부를 상기 유지부와는 독립적으로 상기 경로 폭 방향을 따라 이동시키는 조작 기구를 구비하고,
    상기 조작부는, 상기 제1 측으로의 이동에 따라 상기 보관 장치에 설치된 피압압부(被押壓部)를 상기 제1 측을 향해 압압하도록 구성되고,
    상기 중복 위치 및 상기 비중복 위치의 한쪽을 제1 위치로 하고, 다른 쪽을 제2 위치로 하여,
    상기 제1 보관부는, 상기 피압압부가 상기 제1 측으로 압압됨에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동하고, 상기 피압압부에 대한 상기 제1 측으로의 압압이 해제됨에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동하도록 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 피압압부는, 상기 제1 지지부와 일체로 상기 경로 폭 방향으로 이동하도록 설치되고,
    상기 제1 위치는 상기 중복 위치이며, 상기 제2 위치는 상기 비중복 위치인, 물품 반송 설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 조작부는, 상기 유지부의 상기 경로 폭 방향의 이동에 따라, 상기 경로 폭 방향에 있어서 상기 유지부가 이동하는 측과 같은 쪽으로 이동하도록 구성되고,
    상기 중복 위치 및 상기 비중복 위치의 한쪽을 제1 위치로 하고, 다른 쪽을 제2 위치로 하여,
    상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를, 상기 조작부의 상기 제1 측으로의 이동에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동하는 유효 상태와, 상기 조작부의 상기 제1 측으로의 이동에 관계없이 상기 제1 지지부가 상기 중복 위치 또는 상기 비중복 위치에 유지되는 무효 상태로 전환하는 전환 기구를 구비하고 있는, 물품 반송 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 반송 장치를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 조작부의 자세를 전환함으로써, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 상기 유효 상태와 상기 무효 상태로 전환하도록 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 보관부는, 상기 보관 장치에 설치된 피압압부가 상기 제1 측으로 압압됨에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동하고, 상기 피압압부에 대한 상기 제1 측으로의 압압이 해제됨에 따라 상기 제1 지지부가 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동하도록 구성되고,
    상기 조작부는, 상기 제1 측으로의 이동에 따라 상기 피압압부를 상기 제1 측에 압압하는 압압 자세와, 상기 압압 자세가 아닌 비압압 자세로 자세를 전환할 수 있도록 구성되고,
    상기 제어부는, 상기 조작부의 자세를 상기 압압 자세로 전환함으로써, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 상기 유효 상태로 전환하고, 상기 조작부의 자세를 상기 비압압 자세로 전환함으로써, 상기 조작부에 의한 상기 제1 지지부의 조작 상태를 상기 무효 상태로 전환하도록 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 중복 위치 및 상기 비중복 위치의 한쪽을 제1 위치로 하고, 다른 쪽을 제2 위치로 하여,
    상기 제1 지지부는, 상기 조작부에 조작되고 있지 않는 상태에서 상기 제1 위치에 배치되고,
    상기 보관 장치는, 상기 제1 지지부의 자중(自重) 및 가압(付勢) 기구에 의한 가압력의 한쪽 또는 양쪽을 사용하여, 상기 제1 지지부를 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동시키기 위한 힘 중 적어도 일부를 발생시키도록 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반송 장치는, 천정(ceiling)을 따라 형성된 이동 경로를 따라 이동하고,
    상기 보관 장치는, 상기 천정에 지지되어 있는, 물품 반송 설비.
KR1020210054086A 2020-04-28 2021-04-27 물품 반송설비 KR20210133160A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020078879A JP7215457B2 (ja) 2020-04-28 2020-04-28 物品搬送設備
JPJP-P-2020-078879 2020-04-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210133160A true KR20210133160A (ko) 2021-11-05

Family

ID=78161388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210054086A KR20210133160A (ko) 2020-04-28 2021-04-27 물품 반송설비

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11345542B2 (ko)
JP (1) JP7215457B2 (ko)
KR (1) KR20210133160A (ko)
CN (1) CN113562369A (ko)
TW (1) TW202146308A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11905113B2 (en) * 2021-06-07 2024-02-20 Daifuku Co., Ltd. Article transport facility

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230023301A (ko) * 2021-08-10 2023-02-17 삼성전자주식회사 선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006282382A (ja) 2005-04-05 2006-10-19 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005150129A (ja) 2003-11-11 2005-06-09 Asyst Shinko Inc 移載装置及び移載システム
JP5088468B2 (ja) 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
JP4796024B2 (ja) * 2007-08-30 2011-10-19 東京エレクトロン株式会社 容器交換システム及び容器交換方法
KR101015225B1 (ko) * 2008-07-07 2011-02-18 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
KR101077566B1 (ko) * 2008-08-20 2011-10-28 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
EP2433299B1 (en) * 2009-05-18 2022-10-26 Brooks Automation US, LLC Substrate container storage system
KR101804352B1 (ko) * 2013-09-30 2017-12-04 무라다기카이가부시끼가이샤 보관고
JP6766584B2 (ja) 2016-10-19 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN109950187B (zh) * 2017-12-20 2024-04-12 株式会社国际电气 基板处理装置、半导体装置的制造方法以及记录介质

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006282382A (ja) 2005-04-05 2006-10-19 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11905113B2 (en) * 2021-06-07 2024-02-20 Daifuku Co., Ltd. Article transport facility

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021172501A (ja) 2021-11-01
TW202146308A (zh) 2021-12-16
JP7215457B2 (ja) 2023-01-31
CN113562369A (zh) 2021-10-29
US11345542B2 (en) 2022-05-31
US20210331866A1 (en) 2021-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9230844B2 (en) Carrier transfer facilitating device
KR102155617B1 (ko) 물품 수납 설비
KR101252020B1 (ko) 물품 반송 설비
US9536766B2 (en) Article transport carriage
KR102569190B1 (ko) 물품 반송 설비
JP6206748B6 (ja) キャリアの搬送システムと搬送方法
KR20210133160A (ko) 물품 반송설비
KR20060125526A (ko) 물품 반송 장치
TWI714809B (zh) 搬送系統
WO2015194264A1 (ja) キャリアの一時保管装置及び一時保管方法
KR20200005447A (ko) 물품 반송 장치
KR102572064B1 (ko) 물품 반송 설비
JPWO2015194267A6 (ja) キャリアの搬送システムと搬送方法
JP6593287B2 (ja) 物品搬送設備
JPWO2018003287A1 (ja) 搬送システム
JP2018039659A (ja) 物品搬送装置
KR102259283B1 (ko) 대상물 이송 장치
JP6747516B2 (ja) 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法
KR102531954B1 (ko) 보관 시스템
JP2010215359A (ja) 天井搬送システムと物品の一時保管方法
US20210362949A1 (en) Article Transport Facility
KR102264858B1 (ko) 대상물 이송 시스템 및 방법
KR20220060485A (ko) 반송차

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination