KR20210120845A - 제어 시스템, 제어 방법 및 기판 처리 장치 - Google Patents

제어 시스템, 제어 방법 및 기판 처리 장치 Download PDF

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마코토 고이즈미
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Abstract

기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제어하는 제어 시스템이며, 상기 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와, 상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기와, 상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제어 장치를 갖는 제어 시스템을 제공한다.

Description

제어 시스템, 제어 방법 및 기판 처리 장치{CONTROL SYSTEM, CONTROL METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 개시는 제어 시스템, 제어 방법 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 반도체 제조 장치를 조작 제어하는 복수의 단말기 중, 배타 요구를 송신한 하나의 단말기만의 조작 제어를 반도체 제조 장치가 접수하는 전유 상태로 설정하는 시스템이 개시되어 있다. 특허문헌 1에 따르면 조작자의 조작상의 혼란을 저감시킬 수 있다.
일본 특허 공개 제2003-037048호 공보
본 개시는, 장치에 대한 조작을 적절히 행할 수 있는 기술을 제공한다.
본 개시의 일 양태에 의한 제어 시스템은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제어하는 제어 시스템이며, 상기 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와, 상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기와, 상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제어 장치를 갖는다.
본 개시에 따르면 장치에 대한 조작을 적절히 행할 수 있다.
도 1은 실시 형태에 따른 제어 시스템의 구성예를 도시하는 도면이다.
도 2a는 실시 형태에 따른 제어 장치의 하드웨어 구성예를 도시하는 도면이다.
도 2b는 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 일례를 도시하는 도면이다.
도 3은 실시 형태에 따른 제어 장치의 기능 구성의 일례를 도시하는 도면이다.
도 4는 실시 형태에 따른 제어 시스템의 처리의 일례를 도시하는 시퀀스도이다.
도 5a는 실시 형태에 따른 메인 단말기, 서브 단말기 및 리모트 단말기의 표시 화면의 일례에 대하여 설명하는 도면이다.
도 5b는 실시 형태에 따른 핸디 단말기의 표시 화면의 일례에 대하여 설명하는 도면이다.
이하, 본 개시의 실시 형태에 대하여, 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다. 또한 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 번호를 붙임으로써, 중복된 설명을 생략하는 경우가 있다.
<시스템 구성>
도 1은, 실시 형태에 따른 제어 시스템(1)의 구성예를 도시하는 도면이다. 실시 형태에 따른 제어 시스템(1)에 따르면, 장치에 대한 조작을 적절히 행할 수 있다. 이하에서는 제어 시스템(1)이, 플랫 패널 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)용 기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제어하는 예에 대하여 설명한다. 또한 개시의 제어 시스템(1)은 각종 장치를 제어할 수 있다.
도 1에 있어서, 제어 시스템(1)은 메인 단말기(10A)(「제1 단말기」의 일례), 서브 단말기(10B)(「제2 단말기」의 일례), 핸디 단말기(10C)(「제4 단말기」의 일례), 리모트 단말기(10D)(「제3 단말기」의 일례), 제어 장치(20) 및 기판 처리 장치(30)를 갖는다. 또한 이하에서 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B), 핸디 단말기(10C) 및 리모트 단말기(10D)의 각각에 대하여 구별할 필요가 없는 경우에는 간단히 「단말기(10)」라고도 칭한다.
또한 제어 시스템(1)은, 도시하지 않은 제1 스위치(40A), 제2 스위치(40B), 제3 스위치(40C)(이하에서 구별할 필요가 없는 경우에는 간단히 「스위치(40)」라고도 칭함)도 갖는다. 단말기(10)와 제어 장치(20) 및 제어 장치(20)와 스위치(40)는 각각 네트워크 N을 통하여 접속되어도 된다. 또한 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B), 핸디 단말기(10C) 및 리모트 단말기(10D)의 수는 도 1의 예에 한정되지 않는다.
단말기(10)는, 기판 처리 장치(30)를 제어하기 위한 조작을 유저(보수원, 엔지니어 등)로부터 접수하는 장치이다. 단말기(10)는 컴퓨터를 가져도 된다.
또한 단말기(10)는 컴퓨터를 갖지 않아도 된다. 이 경우, 단말기(10)는, 제어 장치(20)로부터 수신한 표시 화면의 정보를 표시하는 모니터 또는 터치 패널 디스플레이를 가져도 된다. 또한 단말기(10)는, 유저로부터의 조작을 접수하는 키보드와 마우스, 또는 터치 패널 디스플레이를 가져도 된다.
(메인 단말기(10A)에 대하여)
메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)와 동일한 장소(현장, 로컬)에 설치(배치)되어도 된다. 이 경우, 기판 처리 장치(30)와 동일한 장소로서, 예를 들어 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 공장 등의 시설 내에 설정되어도 된다. 또한 기판 처리 장치(30)와 동일한 장소로서, 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 클린 룸 내에 설정되어도 된다.
메인 단말기(10A)는, 예를 들어 제어 장치(20)의 부근에 설치되어도 된다. 메인 단말기(10A)는 컴퓨터를 갖지 않고 키보드와 마우스 및 터치 패널 디스플레이를 가져도 된다. 이 경우, 메인 단말기(10A)의 키보드와 마우스는 USB(Universal Serial Bus) 케이블에 의하여 제어 장치(20)와 접속되어도 된다. 또한 메인 단말기(10A)의 터치 패널 디스플레이는, 예를 들어 DVI(Digital Visual Interface) 케이블, 또는 아날로그 RGB 컴포넌트 영상 신호를 전송하는 VGA 케이블 등의 디스플레이 케이블에 의하여 제어 장치(20)로부터 수신한 표시 화면의 정보를 표시하고, 유저로부터 입력된 정보를 RS-232C 케이블에 의하여 제어 장치(20)에 전송해도 된다.
(서브 단말기(10B)에 대하여)
서브 단말기(10B)는, 예를 들어 당해 시설 내에서 메인 단말기(10A)와는 떨어진 장소에 설치되어도 된다. 서브 단말기(10B)는 컴퓨터를 갖지 않고 터치 패널 디스플레이를 가져도 된다. 이 경우, 서브 단말기(10B)의 터치 패널 디스플레이와 제어 장치(20)는, 예를 들어 아날로그 RGB 컴포넌트 영상 신호를 전송하는 VGA 케이블과, 유저로부터 입력된 정보(입력 신호)를 전송하는 RS-232C 케이블, 당해 영상 신호 및 당해 입력 신호를 IP 네트워크에 전송하는 장치, 및 LAN(Local Area Network) 등에 의하여 접속되어도 된다.
(핸디 단말기(10C)에 대하여)
핸디 단말기(10C)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 공장 등의 시설 내에서 이용 가능한 가반형 단말기여도 된다. 핸디 단말기(10C)는, 예를 들어 LAN 케이블, PLC(Power Line Communications)용 케이블 및 RS-232C 케이블 등의 케이블(유선)에 의하여 기판 처리 장치(30)에 접속되어, 기판 처리 장치(30)를 통하여 제어 장치(20)와 통신을 행한다. 또한 핸디 단말기(10C)는, 무선 LAN, BLE(Bluetooth(등록 상표) Low Energy) 및 NFC(Near field communication) 등의 근거리 무선 통신에 의하여 기판 처리 장치(30)에 접속되어, 기판 처리 장치(30)를 통하여 제어 장치(20)와 통신을 행하도록 해도 된다.
(리모트 단말기(10D)에 대하여)
리모트 단말기(10D)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)와는 다른 장소(리모트)에 설치되어도 된다. 이 경우, 기판 처리 장치(30)와는 다른 장소로서, 예를 들어 리모트 단말기(10D)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 공장 등의 시설 외에 설정되어도 된다. 이 경우, 리모트 단말기(10D)는, 예를 들어 유저의 오피스 등에 설치되어도 된다. 리모트 단말기(10D)는, 예를 들어 노트북 PC(Personal Computer) 등의 정보 처리 장치여도 된다. 이 경우, 리모트 단말기(10D)와 제어 장치(20)는, 예를 들어 아날로그 RGB 컴포넌트 영상 신호를 전송하는 VGA 케이블과, 키보드와 마우스에 의하여 유저로부터 입력된 정보(입력 신호)를 전송하는 USB 케이블, 당해 영상 신호 및 당해 입력 신호를 IP 네트워크에 전송하는 장치, 및 LAN(Local Area Network) 등에 의하여 접속되어도 된다.
(스위치(40)에 대하여)
제1 스위치(40A)는, 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 무효로 하기 위한 스위치이다. 제1 스위치(40A)가 온으로 설정되어 있는 경우, 메인 단말기(10A)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다. 또한 제1 스위치(40A)가 온으로 설정되어 있는 경우이더라도 핸디 단말기(10C)가 기판 처리 장치(30)에 접속되어 있는 경우에는, 메인 단말기(10A)에 의한 기판 처리 장치(30)의 적어도 일부에 대한 제어가 무효로 되어, 핸디 단말기(10C)로부터만 기판 처리 장치(30)의 당해 적어도 일부를 제어할 수 있다. 또한 제1 스위치(40A)가 오프로 설정되면, 제2 스위치(40B) 혹은 제3 스위치(40C)를 온으로 함으로써, 서브 단말기(10B) 혹은 리모트 단말기(10D)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 유효로 할 수 있다.
제1 스위치(40A)는, 예를 들어 메인 단말기(10A)의 부근에 설치되어도 된다. 제1 스위치(40A)는 유저에 의하여 눌려서 온으로 설정된 경우, 그 취지를 나타내는 신호(메인 전환 신호)를 제어 장치(20)에 송신한다. 제어 장치(20)의 전환부(24)는 당해 신호를 수신하면, 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)로부터의 입력을 무효로 한다. 또한 제1 스위치(40A)는, 메인 단말기(10A) 등의 표시 화면에 표시되는 버튼 등이어도 된다. 단, 안전상의 관점에서는, 표시 화면에 표시되는 소프트웨어로 제어되는 버튼이 아니라 하드적인 스위치 쪽이 바람직하다. 이 경우, 메인 단말기(10A)는, 당해 버튼 등이 유저에 의해 온으로 설정되면, 그 취지를 나타내는 정보와 메인 단말기(10A)의 식별 정보를 제어 장치(20)에 송신해도 된다.
제2 스위치(40B)는, 메인 단말기(10A) 및 리모트 단말기(10D)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 무효로 하기 위한 스위치이다. 제2 스위치(40B)가 온으로 설정되어 있는 경우, 서브 단말기(10B)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다. 또한 제2 스위치(40B)가 온으로 설정되어 있는 경우이더라도 핸디 단말기(10C)가 기판 처리 장치(30)에 접속되어 있는 경우에는, 서브 단말기(10B)에 의한 기판 처리 장치(30)의 적어도 일부에 대한 제어가 무효로 되어, 핸디 단말기(10C)로부터만 기판 처리 장치(30)의 당해 적어도 일부를 제어할 수 있다. 또한 제2 스위치(40B)가 오프로 설정되면, 제1 스위치(40A) 혹은 제3 스위치(40C)를 온으로 함으로써, 메인 단말기(10A) 혹은 리모트 단말기(10D)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 유효로 할 수 있다.
제2 스위치(40B)는, 예를 들어 서브 단말기(10B)의 부근에 설치되어도 된다. 제2 스위치(40B)는 유저에 의하여 온으로 설정된 경우, 그 취지를 나타내는 신호(서브 전환 신호)를 제어 장치(20)에 송신한다. 제어 장치(20)의 전환부(24)는 당해 신호를 수신하면, 메인 단말기(10A) 및 리모트 단말기(10D)로부터의 입력을 무효로 한다. 또한 제2 스위치(40B)는, 서브 단말기(10B) 등의 표시 화면에 표시되는 버튼 등이어도 된다. 단, 안전상의 관점에서는, 표시 화면에 표시되는 소프트웨어로 제어되는 버튼이 아니라 하드적인 스위치 쪽이 바람직하다. 이 경우, 서브 단말기(10B)는, 당해 버튼 등이 유저에 의해 온으로 설정되면, 그 취지를 나타내는 정보와 서브 단말기(10B)의 식별 정보를 제어 장치(20)에 송신해도 된다.
제3 스위치(40C)는, 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 무효로 하기 위한 스위치이다. 또한 핸디 단말기(10C)가 기판 처리 장치(30)에 접속되어 있더라도 제3 스위치(40C)는, 핸디 단말기(10C)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 무효로 한다. 제3 스위치(40C)가 온으로 설정되어 있는 경우, 리모트 단말기(10D)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다. 또한 제3 스위치(40C)가 오프로 설정되면, 제1 스위치(40A) 혹은 제2 스위치(40B)를 온으로 함으로써, 메인 단말기(10A) 혹은 서브 단말기(10B)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 유효로 할 수 있다.
제3 스위치(40C)는, 예를 들어 기판 처리 장치(30)가 설치되는 공장 등의 시설 내에 설치되어도 된다. 이것에 의하여, 현장에서의 조작에 의하여, 기판 처리 장치(30)를 제어 가능한 단말기(10)를 리모트 단말기(10D)로 전환할 수 있다. 이 경우, 제3 스위치(40C)는, 예를 들어 메인 단말기(10A)의 부근에 설치되어도 된다. 이 경우, 제3 스위치(40C)는 메인 단말기(10A)의 하우징 상에 마련되어 있어도 된다. 제3 스위치(40C)는 유저에 의하여 온으로 설정된 경우, 그 취지를 나타내는 신호를 제어 장치(20)에 송신한다. 또한 제3 스위치(40C)는, 메인 단말기(10A) 등의 표시 화면에 표시되는 버튼 등이어도 된다. 단, 안전상의 관점에서는, 표시 화면에 표시되는 소프트웨어로 제어되는 버튼이 아니라 하드적인 스위치 쪽이 바람직하다. 이 경우, 메인 단말기(10A)는, 당해 버튼 등이 유저에 의해 온으로 설정되면, 그 취지를 나타내는 정보와 메인 단말기(10A)의 식별 정보를 제어 장치(20)에 송신해도 된다.
또한 복수의 스위치(40)에 대하여 온으로 설정하는 조작(예를 들어 누름 등)이 이루어진 경우, 제어 장치(20)는 당해 복수의 스위치(40) 중, 먼저 온으로 설정하는 조작이 이루어진 스위치(40)만을 온으로 설정하고, 다른 쪽 스위치(40)는 강제적으로 오프로 설정해도 된다. 또한 제어 장치(20)는, 강제적으로 오프로 설정되어 있는 스위치(40)가 조작된 경우, 다른 스위치(40)가 먼저 조작되어 있는 것을 나타내는 정보를 유저에게 통보해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제1 스위치(40A)가 먼저 눌려서 온으로 설정된 후 제2 스위치(40B)가 눌린 경우, 제1 스위치(40A)가 먼저 조작되어 있는 것이 유저에게 통보된다.
이 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 제2 스위치(40B)가 온으로 설정된 경우에는, 제2 스위치(40B)에 대응지어져 있는 램프를 녹색으로 점등시켜도 된다. 그리고 제1 스위치(40A)가 먼저 온으로 조작되었기 때문에 제2 스위치(40B)가 강제적으로 오프로 설정되어 있는 경우이자, 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생하고 있지 않은 경우에는, 제2 스위치(40B)가 눌리면, 제2 스위치(40B)에 대응지어져 있는 램프를 소정 기간 황색으로 점등시켜도 된다.
또한 제1 스위치(40A)가 먼저 온으로 조작되었기 때문에 제2 스위치(40B)가 강제적으로 오프로 설정되어 있는 경우이자, 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생하고 있는 경우에는, 제2 스위치(40B)가 눌리면, 제2 스위치(40B)에 대응지어져 있는 램프를 소정 기간 황색으로 점멸(일정 주기로의 점등과 무점등의 반복)을 시켜도 된다. 이것에 의하여, 예를 들어 유저는, 제2 스위치(40B)의 누름이 무효로 되어 있는 이유를 파악할 수 있다.
또한 제3 스위치(40C)를, 로컬의 단말기, 즉, 메인 단말기(10A)와 서브 단말기(10B) 중 어느 단말기에 의한 제어와, 리모트의 단말기, 즉, 리모트 단말기(10D)에 의한 제어를 전환하는 로컬/리모트 전환 스위치로서 구성해도 되고, 제1 스위치(40A)와 제2 스위치(40B)를 통합하여, 메인 단말기(10A)에 의한 제어와 서브 단말기(10B)에 의한 제어를 전환하는 메인/서브 전환 스위치로서 구성해도 된다. 이 경우, 로컬/리모트 전환 스위치는, 온의 설정과 오프의 설정의 선택이 아니라, 로컬 단말기에 의한 제어와 리모트 단말기에 의한 제어의 선택을 행하며, 메인/서브 전환 스위치에 대해서도, 마찬가지로 메인 단말기(10A)에 의한 제어와 서브 단말기(10B)에 의한 제어의 선택을 행한다. 로컬/리모트 전환 스위치에 의하여 로컬 단말기를 선택한 경우, 메인/서브 전환 스위치에 의하여 선택되어 있는 메인 단말기(10A) 혹은 서브 단말기(10B)에 의한 제어가 행해지게 된다.
(제어 장치(20)에 대하여)
제어 장치(20)는, 단말기(10)로부터 수신한 정보(신호)에 기초하여 기판 처리 장치(30)를 제어한다. 또한 기판 처리 장치(30)의 각종 센서에 의하여 측정된 정보 등을 각 단말기(10)에 표시시킨다. 이것에 의하여 기판 처리 장치(30)의 유저는, 기판에 대한 처리 상황, 및 기판 처리 장치(30)의 각 부의 이상의 유무 등, 기판 처리 장치(30)의 각종 상태를 리모트 단말기(10D)에 의하여 오피스 등으로부터도 감시할 수 있다.
제어 장치(20)는, 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생한 경우, 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 행할 수 있는 단말기(10)를, 로컬적으로 설치되어 있는 단말기(10)(메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 핸디 단말기(10C) 중 어느 것)만으로 제한한다. 이것에 의하여 유저는, 기판 처리 장치(30)가 정상적으로 동작하고 있는 경우에는 현장 및 오피스 등으로부터 기판 처리 장치(30)의 감시 및 조작을 행할 수 있다. 그리고 유저는, 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생하고 있는 경우에는, 기판 처리 장치(30)에 대한 조작은 현장으로부터만으로 제한하고, 기판 처리 장치(30)의 감시는 현장 및 오피스 등으로부터 행할 수 있다. 그 때문에, 예를 들어 현장에서 복구 작업을 행하고 있는 유저가, 리모트로부터의 다른 유저의 조작에 의하여 혼란스러워지는 것 등을 저감시킬 수 있다. 또한 현장의 상황을 확인하지 않고 리모트로부터 조작되는 것을 방지할 수 있다.
또한 제어 장치(20)는 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 대하여 동일한 표시 화면을 표시시켜도 된다. 이 경우, 제어 장치(20)는 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 대하여 동일한 영상 신호를 송신해도 된다.
또한 제어 장치(20)는 핸디 단말기(10C)에 대하여, 핸디 단말기(10C)에 의한 조작이 가능한 각 기기를 제어하기 위한 표시 화면, 및 각종 센서에 의하여 측정된 당해 각 기기에 관한 정보를 통지하기 위한 표시 화면을 표시시켜도 된다.
(기판 처리 장치(30)에 대하여)
기판 처리 장치(30)는, FPD용 기판에 대하여 각종 처리를 행하는 장치이다. 또한 FPD에는, 예를 들어 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display: LCD), 일렉트로 루미네센스(Electro Luminescence: EL), 플라스마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; PDP) 등이 포함되어도 된다. 또한 FPD는, 예를 들어 텔레비전, 모니터, 스마트폰, 및 태블릿 단말기에 이용되어도 된다. 또한 FPD용 기판의 재료로서는 유리 또는 합성 수지 등이 이용되어도 된다.
기판 처리 장치(30)는, 예를 들어 기판에 대하여 에칭 처리나, CVD(Chemical Vapor Deposition)법을 이용한 성막 처리 등을 행하여 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT) 등을 기판 상에 형성해도 된다. 이 경우, 기판 처리 장치(30)는, 예를 들어 기판 G 상에 게이트 전극이나 게이트 절연막, 반도체층 등을 패터닝하면서 순차 적층해 감으로써 TFT를 형성해도 된다. 또한 기판 처리 장치(30)는, 공기 청정도가 확보된 클린 룸 내에 설치되어도 된다.
<하드웨어 구성>
《제어 장치(20)》
도 2a는, 실시 형태에 따른 제어 장치(20)의 하드웨어 구성예를 도시하는 도면이다. 또한 단말기(10)가 컴퓨터를 갖는 경우에는, 당해 컴퓨터의 하드웨어 구성은, 도 2a의 제어 장치(20)의 하드웨어 구성과 마찬가지여도 된다.
도 2a의 제어 장치(20)는, 각각 버스 B로 상호 간에 접속되어 있는 드라이브 장치(200), 보조 기억 장치(202), 메모리 장치(203), CPU(204) 및 인터페이스 장치(205) 등을 갖는다.
제어 장치(20)에서의 처리를 실현하는 프로그램은 기록 매체(201)에 의하여 제공되어도 된다. 이 경우, 프로그램을 기록한 기록 매체(201)가 드라이브 장치(200)에 세트되면, 프로그램이 기록 매체(201)로부터 드라이브 장치(200)를 통하여 보조 기억 장치(202)에 인스톨된다. 프로그램의 인스톨은 반드시 기록 매체(201)로부터 행할 필요는 없으며, 네트워크를 통하여 다른 컴퓨터로부터 다운로드되도록 해도 된다. 보조 기억 장치(202)는, 인스톨된 프로그램을 저장함과 함께 필요한 파일이나 데이터 등을 저장한다.
메모리 장치(203)는, 프로그램의 기동 지시가 있은 경우에 보조 기억 장치(202)로부터 프로그램을 판독하여 저장한다. CPU(204)는, 메모리 장치(203)에 저장된 프로그램에 따라 제어 장치(20)에 따른 기능을 실현한다. 인터페이스 장치(205)는, 네트워크에 접속하기 위한 인터페이스로서 이용된다.
또한 기록 매체(201)의 일례로서는, CD-ROM, DVD 디스크, 또는 USB 메모리 등의 가반형 기록 매체를 들 수 있다. 또한 보조 기억 장치(202)의 일례로서는 HDD(Hard Disk Drive) 또는 플래시 메모리 등을 들 수 있다. 기록 매체(201) 및 보조 기억 장치(202) 중 어느 것에 대해서도 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 상당한다.
《기판 처리 장치(30)》
도 2b는, 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(30)의 일례를 도시하는 도면이다. 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(30)는, 기판별로 각종 처리를 행하는 프로세스 모듈(프로세스 챔버, 처리실)이 복수 결합되어 있는 클러스터 툴이어도 된다. 도 2b의 예에서는, 기판 처리 장치(30)는, 복수의 프로세스 챔버를 갖는 멀티 챔버형이다.
도 2b의 예에서는, 기판 처리 장치(30)는 각 챔버로서 트랜스퍼 모듈(반송 챔버)(31), 로드 로크 모듈(로드 로크 챔버)(32), 프로세스 모듈(33A), 프로세스 모듈(33B), 프로세스 모듈(33C)(이하에서 구별할 필요가 없는 경우에는 간단히 「프로세스 모듈(33)」이라 칭함)을 갖고 있다(일례로서 이들 챔버 중 어느 것을 제1 챔버라 하고 다른 어느 것을 제2 챔버라 칭할 수도 있음).
로드 로크 모듈(32) 및 각 프로세스 모듈(33)은 각각 게이트 밸브를 통하여 트랜스퍼 모듈(31)에 접속되어 있다.
로드 로크 모듈(32)은, 트랜스퍼 모듈(31)에 기판을 공급하는 장치이다. 로드 로크 모듈(32)은, 예를 들어 2단으로 적층되며, 각 층에 있어서, 기판을 보유 지지하는 랙, 및 기판의 위치 조절을 행하는 포지셔너 등이 마련되어도 된다. 또한 로드 로크 모듈(32)은, 상압과 진공 사이에서 내부의 압력을 전환할 수 있도록 구성되어 있으며, 적재된 다수의 기판 G을 반송하는 캐리어(반송 장치)와의 사이에서 기판의 수수를 행해도 된다. 이 경우, 로드 로크 모듈(32)이 진공으로 제어된 후, 마찬가지로 진공으로 제어되어 있는 트랜스퍼 모듈(31)과의 사이의 게이트 밸브가 열리고 로드 로크 모듈(32)로부터 트랜스퍼 모듈(31)에 대하여 기판이 공급되어도 된다.
트랜스퍼 모듈(31)은, 각 프로세스 모듈(33)에 기판을 공급하는 장치이다. 트랜스퍼 모듈(31)에는, 예를 들어 회전 가능하고, 또한 각 프로세스 모듈(33)측으로 슬라이드 가능한 반송 기구(311)(암, 로봇)가 탑재되어도 된다. 당해 반송 기구는, 로드 로크 모듈(32)로부터 공급된 기판을, 원하는 프로세스 모듈(33)에 공급한다.
프로세스 모듈(33)은, 기판에 대하여 각종 처리를 행하는 장치이다. 프로세스 모듈(33)은, 예를 들어 플라스마를 발생시켜, 할로겐계 에칭 가스(예를 들어 염소계 에칭 가스)를 적용한 건식 에칭 처리를 행해도 된다.
트랜스퍼 모듈(31)은 각 프로세스 모듈(33)에 의하여, 예를 들어 CVD(Chemical Vaper Deposition) 처리 및 PVD(Physical Vaper Deposition) 처리 등의 성막 처리와, 에칭 처리를 시퀀셜하게 실행시켜도 된다. 이 경우, 트랜스퍼 모듈(31)은, 예를 들어 먼저 프로세스 모듈(33A)에 기판을 공급하고, 당해 기판에 대하여 제1 처리를 실행시켜도 된다. 그리고 트랜스퍼 모듈(31)은 프로세스 모듈(33B)에 당해 기판을 공급하고, 당해 기판에 대하여 제2 처리를 실행시켜도 된다. 그리고 트랜스퍼 모듈(31)은 프로세스 모듈(33C)에 당해 기판을 공급하고, 당해 기판에 대하여 제3 처리를 실행시켜도 된다.
또한 도 2b에 도시한 바와 같이 프로세스 모듈(33A), 프로세스 모듈(33B), 프로세스 모듈(33C) 및 로드 로크 모듈(32)의 외부(외측)에는 각각, 핸디 단말기(10C)를 접속하기 위한 포트(301A)(「제1 포트」의 일례), 포트(301B)(「제2 포트」의 일례), 포트(301C) 및 포트(301D)(이하에서 구별할 필요가 없는 경우에는 간단히 「포트(301)」라 칭함)가 마련되어 있다. 각 포트(301)는, 예를 들어 LAN 등에 의하여 제어 장치(20)와 접속되어 있다. 또한 제1 포트 및 제2 포트의 예는 이에 한정되지 않으며, 어느 포트(301)가 제1 포트로 되고 제2 포트로 되어도 된다. 또한 트랜스퍼 모듈(31)에도, 핸디 단말기(10C)를 접속하기 위한 포트를 마련해도 된다.
<기능 구성>
도 3을 참조하여, 실시 형태에 따른 제어 장치(20)의 기능 구성에 대하여 설명한다. 도 3은, 실시 형태에 따른 제어 장치(20)의 기능 구성의 일례를 도시하는 도면이다.
제어 장치(20)는 이상 검지부(21), 이상 시 전환부(22), 접수부(23), 전환부(24) 및 제어부(25)를 갖는다. 이들 각 부는, 제어 장치(20)에 인스톨된 하나 이상의 프로그램과, 제어 장치(20)의 CPU(204) 등의 하드웨어의 협동에 의하여 실현되어도 된다. 또한 이들 각 부는, 하나 또는 복수의 회로에 의하여 실현하는 것도 가능하다. 여기서, 당해 회로는, 예를 들어 ASIC(Application Specific Integrated Circuit), DSP(digital signal processor), FPGA(field programmable gate array), 및 릴레이로 구성되는 회로 등에 의하여 실현되어도 된다. 또한, 예를 들어 이들 각 부 중의 일부(예를 들어 제어부(25))는, 제어 장치(20)에 인스톨된 하나 이상의 프로그램과, 제어 장치(20)의 CPU(204) 등의 하드웨어의 협동에 의하여 실현되고, 다른 부(예를 들어 이상 검지부(21), 이상 시 전환부(22), 접수부(23) 및 전환부(24))는 ASIC 등의 회로에 의하여 실현되어도 된다.
이상 검지부(21)는, 기판 처리 장치(30)의 각종 센서에 의하여 측정된 정보 등에 기초하여, 기판 처리 장치(30)에 있어서의 각종 이상을 검지한다.
이상 시 전환부(22)는, 이상 검지부(21)에 의하여 이상이 검지된 경우에, 기판 처리 장치(30)에 대한 제어를 행할 수 있는 단말기(10)를, 로컬적으로 설치되어 있는 단말기(10)(메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 핸디 단말기(10C) 중 어느 것)만으로 제한한다.
접수부(23)는, 스위치(40)의 온 및 오프 등의 조작을 유저로부터 접수한다.
전환부(24)는, 접수부(23)에 의하여 접수한 유저의 조작에 응답하여, 유저로부터 지정된 단말기(10)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있도록 한다.
제어부(25)는, 기판 처리 장치(30)의 각종 센서에 의하여 측정된 정보 등에 기초하는 표시 화면을 단말기(10)에 표시시킨다. 또한 제어부(25)는, 이상 시 전환부(22) 또는 전환부(24)에 의하여 결정된 단말기(10)로부터의 지시에 따라 기판 처리 장치(30)의 각 부를 제어한다.
<처리>
도 4 내지 도 5b를 참조하여, 실시 형태에 따른 제어 시스템(1)의 처리의 일례에 대하여 설명한다. 도 4는, 실시 형태에 따른 제어 시스템(1)의 처리의 일례를 도시하는 시퀀스도이다. 도 5a는, 실시 형태에 따른 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)의 표시 화면의 일례에 대하여 설명하는 도면이다. 도 5b는, 실시 형태에 따른 핸디 단말기(10C)의 표시 화면의 일례에 대하여 설명하는 도면이다.
스텝 S1에 있어서, 제어 장치(20)의 전환부(24)는, 유저의 지시에 따라 리모트 단말기(10D)로부터의 조작만을 유효(입력 가능)로 한다. 여기서, 제어 장치(20)는, 예를 들어 유저에 의하여 제1 스위치(40A) 및 제2 스위치(40B)가 오프로 설정되어 있고 제3 스위치(40C)가 온으로 설정된 경우, 리모트 단말기(10D)로부터의 조작만을 유효로 해도 된다. 이것에 의하여 리모트 단말기(10D)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있다. 그 때문에, 예를 들어 각각 다른 장소에 있는 복수의 유저가 각 단말기(10)로부터 동시에 기판 처리 장치(30)를 제어함으로써 혼란이 생기는 것을 저감시킬 수 있다.
제어 장치(20)는, 도 5a와 같은 표시 화면(501)을 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 표시시켜도 된다. 도 5a의 예에서는, 표시 화면(501)에는, 기판 처리 장치(30)의 각 부를 제어하는 버튼(502A 내지 502D) 등이 표시되어 있다. 리모트 단말기(10D)로부터의 조작만이 유효로 되어 있는 경우, 제어 장치(20)는, 리모트 단말기(10D)에서 버튼(502A 내지 502D) 등이 조작된 경우에만, 눌린 버튼에 따른 제어를 기판 처리 장치(30)에 실행시킨다.
리모트 단말기(10D)로부터의 조작만이 유효로 되어 있는 경우에 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B) 중 어느 것으로부터 리모트 단말기(10D)에서 버튼(502A 내지 502D) 등이 조작된 경우, 제어 장치(20)는 당해 조작을 무효로 한다.
계속해서, 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는 기판 처리 장치(30)의 이상을 검지한다(스텝 S2). 여기서, 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는, 기판 처리 장치(30)의 각종 센서에 의하여 측정된 정보 등에 기초하여, 기판 처리 장치(30)에 있어서의 각종 이상을 검지한다. 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는, 예를 들어 프로세스 모듈(33) 내의 진공 상태를 유지하는 펌프의 고장을 검지해도 된다. 또한 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는, 예를 들어 트랜스퍼 모듈(31) 내의 반송 기구(311)의 동작 중에, 트랜스퍼 모듈(31) 내로 진입하기 위한 도어가 개방 상태인 것을 검지해도 된다.
제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는 이상을 검지한 경우, 기판 처리 장치(30)의 각 구동부를 정지시켜도 된다. 또한 제어 장치(20)의 이상 검지부(21)는 이상을 검지한 경우, 기판 처리 장치(30)의 각 구동부 중, 이상이 발생한 개소에 관한 각 구동부만을 정지시켜도 된다.
또한 제어 장치(20)의 제어부(25)는, 이상 검지부(21)에 의하여 이상이 검지된 경우, 경보(알람)의 표시 화면 및 소리를 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 통보시켜도 된다. 이것에 의하여 유저는 오피스 등으로부터 현장으로 이동하여 기판 처리 장치(30)의 복구를 행할 수 있다. 또한 당해 경보에는, 이상 검지부(21)에 의하여 검지된 이상의 내용을 나타내는 정보가 포함되어도 된다.
계속해서, 제어 장치(20)의 이상 시 전환부(22)는, 리모트 단말기(10D)로부터의 입력을 무효(불가)로 하고(스텝 S3), 로컬의 단말기(10)(메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 핸디 단말기(10C) 중 어느 것)로부터의 조작만을 유효로 한다(스텝 S4). 이것에 의하여, 예를 들어 기판 처리 장치(30)에 이상이 발생하고 있을 때, 오피스 등의 원격으로부터의 조작에 의하여 기판 처리 장치(30)가 동작됨으로써 복구 작업이 저해되는 것을 저감시킬 수 있다.
여기서, 제어 장치(20)는, 기판 처리 장치(30)의 이상이 검지되고 있는 동안에는 제3 스위치(40C)를 강제적으로 오프로 설정함으로써 제3 스위치(40C)에 대한 조작을 무효로 하여, 유저에 의하여 제3 스위치(40C)를 온으로 설정할 수 없도록 제어해도 된다. 이것에 의하여, 예를 들어 제1 스위치(40A)가 유저에 의하여 온으로 설정된 경우에는 메인 단말기(10A)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다. 또한 제2 스위치(40B)가 유저에 의하여 온으로 설정된 경우에는 서브 단말기(10B)만으로부터 기판 처리 장치(30)를 제어할 수 있게 된다.
여기서, 제어 장치(20)는, 예를 들어 로컬의 단말기(10)에 의한 기판 처리 장치(30)에 대한 제어의 결과를 나타내는 정보를 리모트 단말기(10D)에도 표시시켜도 된다. 이것에 의하여 유저는, 리모트 단말기(10D)로부터 기판 처리 장치(30)를 조작할 수 없는 경우에도, 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B) 중 어느 것에 의한 조작 결과를 리모트 단말기(10D)로부터 감시할 수 있다. 이 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 리모트 단말기(10D)에 대하여 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)와 동일한 표시 화면을 표시시킴으로써, 로컬의 단말기(10)에 의한 조작 결과를 리모트 단말기(10D)에 표시시켜도 된다. 또한 핸디 단말기(10C)에 의한 조작 결과를 리모트 단말기(10D)로부터 감시할 수 있도록 해도 된다.
계속해서, 기판 처리 장치(30)는 핸디 단말기(10C)와 접속된다(스텝 S5). 여기서, 기판 처리 장치(30)의 포트(301)에, 핸디 단말기(10C)와 접속되어 있는 케이블이 접속된다.
또한 유저는, 예를 들어 프로세스 모듈(33) 내를 눈으로 보면서 조작을 행할 수 없는 위치에 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B)가 설치되어 있는 경우, 핸디 단말기(10C)를 갖고 프로세스 모듈(33)의 부근으로 이동한다. 그리고 유저는 핸디 단말기(10C)를, 프로세스 모듈(33)의 외측에 마련되어 있는 포트(301)에 접속한다.
계속해서, 기판 처리 장치(30)는, 핸디 단말기(10C)와 접속된 것의 통지(접속 통지)를 제어 장치(20)에 송신한다(스텝 S6). 여기서, 핸디 단말기(10C)가 접속된 기판 처리 장치(30)의 포트(301)는, 당해 포트(301)의 식별 정보(포트 ID)와, 핸디 단말기(10C)와 접속되었다는 취지를 나타내는 정보를 포함하는 접속 통지를 제어 장치(20)에 송신해도 된다.
계속해서, 제어 장치(20)의 전환부(24)는, 기판 처리 장치(30)의 각 부 중, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 포트(301)에 따른 각 부에 대하여, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만을 유효로 한다(스텝 S7). 이것에 의하여, 예를 들어 프로세스 모듈(33)의 부근에서 복구 작업을 행하고 있는 유저가, 프로세스 모듈(33)로부터 떨어진 위치로부터의 다른 유저의 조작에 의하여 혼란스러워지는 것을 저감시킬 수 있다. 또한 이것에 의하여 유저는, 예를 들어 프로세스 모듈(33) 내를 눈으로 보면서 핸디 단말기(10C)로부터 프로세스 모듈(33) 내의 각 부와, 프로세스 모듈(33)에 관련되는 트랜스퍼 모듈(31) 내의 각 부 등을 조작할 수 있다. 그 때문에 유저는, 예를 들어 프로세스 모듈(33) 내에 있어서의 펌프의 고장 상황, 및 트랜스퍼 모듈(31) 내에 있어서의 진입 도어의 개방 상태를 눈으로 보아 확인하면서 조작할 수 있다.
여기서, 제어 장치(20)는, 예를 들어 프로세스 모듈(33A)의 외측에 마련되어 있는 포트(301A)에 핸디 단말기(10C)가 접속된 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 프로세스 모듈(33A) 및 트랜스퍼 모듈(31) 내의 각 부에 대하여, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만을 유효로 해도 된다. 또한 포트(301A)에 핸디 단말기(10C)가 접속된 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 로드 로크 모듈(32) 내의 각 부에 대해서도, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만을 유효로 해도 된다. 프로세스 모듈(33B), 프로세스 모듈(33C) 등에 대해서도 마찬가지이다.
또한 제어 장치(20)는, 예를 들어 로드 로크 모듈(32)의 외측에 마련되어 있는 포트(301D)에 핸디 단말기(10C)가 접속된 경우, 제어 장치(20)는, 예를 들어 로드 로크 모듈(32) 및 트랜스퍼 모듈(31) 내의 각 부에 대하여, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만을 유효로 해도 된다.
여기서, 제어 장치(20)는, 도 5b와 같은 표시 화면(511)을 핸디 단말기(10C)에 표시시켜도 된다. 도 5b의 예에서는, 표시 화면(511)에는 기판 처리 장치(30)의 각 부 중, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 포트(301)에 따른 각 부를 제어하는 버튼(512A 내지 512F) 등이 표시되어 있다. 도 5b에 있어서 해칭으로 나타나 있는 버튼(512E)에 대응하는 모듈과 버튼(512F)에 대응하는 모듈은 조작 불능인 것을 나타낸다. 예를 들어 도 5b의 버튼(512D)에 대응하는 「P/C-1」이 프로세스 모듈(33A)이라고 한 경우, 도 5b는, 프로세스 모듈(33A)의 포트(301A)에 핸디 단말기(10C)가 접속된 상태를 도시하며, 「P/C-1」은 제어 가능하지만 다른 프로세스 모듈인 「P/C-2」 및 「P/C-3」은 제어 가능하지 않은 것을 의미한다. 여기서, 「P/C-1」에 대응하는 버튼(512D)를 누름으로써, 「P/C-1」의 각 부를 제어하는 하위의 메뉴 화면으로 이행하여 「P/C-1」에 관한 각종 조작이 가능해진다.
또한 제어 장치(20)는, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 포트(301)를 나타내는 정보를 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 표시시켜도 된다. 또한 제어 장치(20)는, 핸디 단말기(10C)로부터의 조작만이 유효로 되어 있는 기판 처리 장치(30)의 각 부이자, 기판 처리 장치(30)의 각 부 중, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 포트(301)에 따른 각 부를 나타내는 정보를 메인 단말기(10A), 서브 단말기(10B) 및 리모트 단말기(10D)에 표시시켜도 된다. 이것에 의하여 유저는, 핸디 단말기(10C)가 접속되어 있는 부위, 및 메인 단말기(10A) 등으로부터 조작할 수 없는 각 부에 대하여, 핸디 단말기(10C) 이외의 각 단말기(10)로부터 파악할 수 있다.
계속해서, 제어 장치(20)의 전환부(24)는, 기판 처리 장치(30)의 각 부 중, 핸디 단말기(10C)가 접속된 포트(301)에 따른 각 부 이외의 각 부, 예를 들어 도 5b에 있어서는, 버튼이 해칭된 「P/C-2」 및 「P/C-3」에 대하여, 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B) 중 어느 것으로부터의 조작만을 유효로 한다(스텝 S8).
(핸디 단말기(10C)가 절단된 경우에 대하여)
또한 핸디 단말기(10C)가 절단된 경우, 제어 장치(20)의 전환부(24)는, 각 단말기(10)로부터의 제어에 대하여, 핸디 단말기(10C)가 접속되기 전의 상태로 되돌린다. 이 경우, 핸디 단말기(10C)의 케이블이 포트(301)로부터 빠지거나 함으로써 핸디 단말기(10C)와 기판 처리 장치(30)의 접속이 해제(절단)된 경우, 당해 포트(301), 핸디 단말기(10C)와 절단된 것의 통지(절단 통지)를 제어 장치(20)에 송신한다. 여기서, 당해 절단 통지에는, 당해 포트(301)의 식별 정보(포트 ID)와, 핸디 단말기(10C)와 절단되었다는 취지를 나타내는 정보가 포함되어도 된다. 그리고 제어 장치(20)는, 당해 포트(301)에 따른 각 부에 대해서도, 로컬의 단말기(10)인 메인 단말기(10A) 및 서브 단말기(10B) 중 어느 것으로부터의 조작만을 유효로 한다.
(기판 처리 장치(30)가 복구된 경우에 대하여)
또한 기판 처리 장치(30)가 복구된 경우, 각 단말기(10)로부터의 제어에 대하여, 이상이 발생하기보다도 전의 상태로 되돌릴 수 있도록 해도 된다. 이 경우, 이상 검지부(21)에 의하여 이상이 검지되지 않게 된 경우, 제어 장치(20)의 이상 시 전환부(22)는, 제3 스위치(40C)를 강제적으로 오프로 설정하는 기능을 정지(해제)해도 된다. 이것에 의하여, 기판 처리 장치(30)가 복구된 경우, 유저에 의하여 제1 스위치(40A) 및 제2 스위치(40B)가 오프로 설정되고 제3 스위치(40C)가 온으로 설정되면, 리모트 단말기(10D)로부터의 조작만을 유효(입력 가능)로 할 수 있다.
또한 이상 검지부(21)에 의하여 이상이 검지되지 않게 된 경우, 제어 장치(20)는, 제3 스위치(40C)를 강제적으로 오프로 설정하는 기능을 정지함과 함께, 제3 스위치(40C)에 대응지어져 있는 통보 장치(예를 들어 회전등)를 동작시키거나 함으로써, 제3 스위치(40C)를 온으로 설정 가능(조작이 유효)하게 된 것을 유저에게 통보해도 된다. 그리고 제어 장치(20)는, 제3 스위치(40C)가 유저에 의하여 온으로 설정된 경우, 당해 통보 장치의 동작을 정지시켜도 된다. 이것에 의하여, 예를 들어 복구 후에 제3 스위치(40C)를 온으로 설정하는 것을 유저가 깜박한 채 현장의 클린 룸에서부터 나가 버리는 것을 저감시킬 수 있다. 이 경우, 당해 통보 장치는, 예를 들어 메인 단말기(10A)의 하우징 상에 마련되어 있어도 된다.
<변형예>
단말기(10) 및 제어 장치(20)의 각 기능부는, 예를 들어 하나 이상의 컴퓨터에 의하여 제공되는 클라우드 컴퓨팅에 의하여 실현되어 있어도 된다. 또한 단말기(10), 제어 장치(20) 및 기판 처리 장치(30) 중의 복수의 장치를 일체의 장치로 해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제어 장치(20)와 기판 처리 장치(30)는 일체의 장치로서 구성되어도 된다. 또한, 예를 들어 메인 단말기(10A) 또는 서브 단말기(10B)(이하에서 「메인 단말기(10A) 등」이라고도 칭함)와 제어 장치(20)는 일체의 장치로서 구성되어도 된다. 또한, 예를 들어 메인 단말기(10A) 등과 제어 장치(20)와 기판 처리 장치(30)는 일체의 장치로서 구성되어도 된다.
또한 단말기(10), 제어 장치(20) 및 기판 처리 장치(30)의 각 장치를 복수의 장치에 의하여 실현해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제어 장치(20)의 각 기능부 중, 이상 검지부(21) 및 이상 시 전환부(22)를 다른 기능부와는 별체의 장치로 해도 된다.
상기 실시 형태에 예시한 구성 등에 대하여 그 외의 구성 요소가 조합되거나 한 다른 실시 형태여도 되며, 또한 본 개시는, 여기서 나타낸 구성에 하등 한정되는 것은 아니다. 이 점에 관해서는, 본 개시의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 변경하는 것이 가능하며, 그 응용 형태에 따라 적절히 정할 수 있다.

Claims (10)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 장치를 제어하는 제어 시스템이며,
    상기 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와,
    상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기와,
    상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제어 장치를 갖는, 제어 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어 장치는,
    상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제1 단말기 및 상기 제2 단말기 중 어느 한쪽에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 유효로 하는,
    제어 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어 장치는,
    상기 제1 단말기 및 상기 제2 단말기 중 적어도 한쪽에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 결과를 나타내는 정보를 상기 제3 단말기에 표시시키는,
    제어 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은,
    상기 제2 단말기 및 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제1 스위치와,
    상기 제1 단말기 및 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제2 스위치를 갖고,
    상기 제어 장치는,
    상기 제1 스위치가 상기 제2 스위치보다도 먼저 조작된 경우, 상기 제1 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 유효로 하고, 상기 제2 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하고, 상기 제2 스위치가 조작된 경우, 상기 제1 스위치가 먼저 조작되어 있는 것을 나타내는 정보를 유저에게 통보하는,
    제어 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은,
    상기 제1 단말기 및 상기 제2 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는 제3 스위치와,
    상기 제3 스위치에 대응지어진 통보 장치를 갖고,
    상기 제어 장치는,
    상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 스위치의 조작을 무효로 하고,
    상기 기판 처리 장치의 이상이 복구된 경우, 상기 제3 스위치의 조작이 유효로 된 것을 상기 통보 장치에 의하여 유저에게 통보하는,
    제어 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어 장치는,
    상기 기판 처리 장치의 이상이 복구된 경우, 상기 제3 스위치의 조작이 유효로 된 것을 상기 통보 장치에 의하여 유저에게 통보하고, 상기 제3 스위치가 유저에 의해 조작된 경우, 상기 통보 장치에 의한 통보를 정지하는,
    제어 시스템.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은,
    상기 기판 처리 장치에 유선 및 근거리 무선 중 적어도 한쪽에 의하여 접속되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제4 단말기를 갖고,
    상기 제어 장치는,
    상기 기판 처리 장치에 포함되는 제1 챔버의 외측에 마련된 제1 포트에 상기 제4 단말기가 접속된 경우, 상기 기판 처리 장치의 각 부 중, 상기 제1 포트에 따른 각 부에 대하여 상기 제4 단말기에 의한 제어만을 유효로 하고,
    상기 기판 처리 장치에 포함되는 제2 챔버의 외측에 마련된 제2 포트에 상기 제4 단말기가 접속된 경우, 상기 기판 처리 장치의 각 부 중, 상기 제2 포트에 따른 각 부에 대하여 상기 제4 단말기에 의한 제어만을 유효로 하는,
    제어 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어 장치는,
    상기 제1 포트에 상기 제4 단말기가 접속된 경우, 상기 기판 처리 장치의 각 부 중, 상기 제4 단말기에 의한 제어만이 유효로 되어 있는, 상기 제1 포트에 따른 각 부를 나타내는 정보를 상기 제1 단말기, 상기 제2 단말기 및 상기 제3 단말기에 표시시키는,
    제어 시스템.
  9. 기판을 처리하는 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와, 상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기 중 어느 것으로부터 입력된 정보에 기초하여 상기 기판 처리 장치를 제어하는 제어 시스템이,
    상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는, 제어 방법.
  10. 기판을 처리하는 기판 처리 장치이며,
    상기 기판 처리 장치와 동일한 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제1 단말기 및 제2 단말기와, 상기 기판 처리 장치와는 다른 장소에 배치되어, 상기 기판 처리 장치에 대한 제어의 지시를 유저로부터 접수하는 제3 단말기 중 어느 것으로부터 입력된 정보에 기초하여 상기 기판 처리 장치의 각 부를 제어하고,
    상기 기판 처리 장치의 이상이 검지된 경우, 상기 제3 단말기에 의한 상기 기판 처리 장치에 대한 제어를 무효로 하는, 기판 처리 장치.
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