KR20210114040A - 증착 마스크 - Google Patents
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Abstract
표시 장치의 제조에 있어서, 화소에 발광체를 고정밀도로 증착시킬 수 있는 증착 마스크를 실현한다. 이를 위하여, 본 발명은 다음과 같은 구성을 갖는다. 표시 장치의 제조에 사용되는 증착 마스크로서, 상기 증착 마스크는, 화소에 증착물을 형성하기 위한 마스크(50)와, 상기 마스크(50)를 지지하는 지지 프레임(60)으로 구성되고, 상기 지지 프레임(60)은, 상판(61)과 하판(62)과, 상기 상판(61)과 상기 하판(62)을 접착하는 접착재(63)에 의해 구성되며, 상기 상판(61)과 상기 하판(62)의 사이에 전단력이 가해졌을 때, 상기 지지 프레임(60)의 주면 방향으로, 상기 상판(61)과 상기 하판(62)이 서로 어긋나는 것을 방지하기 위한 스토퍼(100)를 갖는 것을 특징으로 하는 증착 마스크.
Description
본 발명은, 유기 EL 표시 장치 등의 화소를, 증착에 의해 형성하는 경우의, 증착 마스크에 관한 것이다.
유기 EL 표시 장치는, 화소마다 발광 재료인 유기층을 증착에 의해 형성하고 있다. 화소 피치는 작고, 따라서, 증착에 의해 형성되는 각 화소에 있어서의 유기 EL층으로 구성되는 발광체의 사이즈도 작다. 이에 수반하여, 증착 마스크에 있어서의 구멍의 피치도 구멍의 크기도 매우 작다. 따라서, 증착 마스크의 정밀도는 중요하다.
증착 마스크는, 화소에 증착하기 위한 구멍이 다수 형성된 마스크 박의 부분과, 이 마스크 박을 지지하는 지지 프레임으로 구성되어 있다. 특허문헌 1에는, 이 지지 프레임의 변형을 저감하고, 또한, 치수 정밀도를 향상시키기 위해서, 지지 프레임을 상부 프레임과 하부 프레임의 2장 구성으로 하고, 상부 프레임과 하부 프레임을 접착재에 의해 접착한 구성으로 하는 것이 기재되어 있다.
본 발명에 있어서의 증착 마스크는, 유기 EL 표시 장치의 표시 영역의 화소에 대응하고, 구멍이 다수 형성된 박형의 마스크와, 박형 마스크를 지지하는 지지 프레임과, 박형 마스크에 의해 구성된다. 이후 본 명세서에서는, 구멍이 다수 형성된 박형의 마스크를 단순히 마스크라 칭하고, 마스크와 지지 프레임의 조립체를 증착 마스크라 칭한다.
유기 EL 표시 장치의 화소 피치는 매우 작고, 또한 각 화소에 대응하는 마스크 구멍의 직경도 매우 작다. 따라서, 구멍이 형성되는 마스크의 두께도 매우 작게 할 필요가 있다. 또한, 마스크는 증착되는 기판을 따라 평탄화해 둘 필요가 있다. 마스크의 평탄도를 유지하기 위해서, 지지 프레임에 의해, 마스크에 대하여 외측으로 텐션을 가해 둘 필요가 있다. 이때, 지지 프레임에는, 반작용으로서, 내측을 향하는 텐션이 가해진다.
지지 프레임은, 치수 정밀도의 향상 및 프레임 자체의 변형을 방지하기 위해서, 상부 프레임과 하부 프레임의 2장 구조로 하고, 접착재에 의해 상부 프레임과 하부 프레임을 접착한 구성이 사용된다. 이때, 마스크로부터의 반작용으로서의, 지지 프레임에 대한 텐션은, 주로 상부 프레임에 가해진다.
그렇게 하면, 상부 프레임과 하부 프레임을 접착하는 접착층에 전단력이 가해지고, 상부 프레임과 하부 프레임이 서로 평면 방향으로 어긋나는 현상이 발생한다. 이와 같은 전단력에 의한, 상부 프레임과 하부 프레임의 어긋남은 증착 마스크에 의한 증착 정밀도에 대하여 중요한 영향을 미친다.
본 발명은, 전단력에 의한 상부 프레임과 하부 프레임의 어긋남을 방지하여, 증착 마스크의 치수 정밀도를 유지하고, 이에 의해, 우수한 품질의 유기 EL 표시 장치의 제조를 가능하게 하는 것이다.
본 발명은 상기 과제를 극복하는 것으로, 주된 구체적인 수단은 다음과 같다.
(1) 표시 장치의 제조에 사용되는 증착 마스크로서, 상기 증착 마스크는, 화소에 증착물을 형성하기 위한 마스크와, 상기 마스크를 지지하는 지지 프레임으로 구성되고, 상기 지지 프레임은, 상판과 하판과, 상기 상판과 상기 하판을 접착하는 접착재에 의해 구성되며, 상기 상판과 상기 하판의 사이에 전단력이 가해졌을 때, 상기 지지 프레임의 주면 방향으로, 상기 상판과 상기 하판이 서로 어긋나는 것을 방지하기 위한 스토퍼를 갖는 것을 특징으로 하는 증착 마스크.
(2) 표시 장치의 제조에 사용되는 증착 마스크로서, 상기 증착 마스크는, 화소에 증착물을 형성하기 위한 마스크와, 상기 마스크를 지지하는 지지 프레임으로 구성되고, 상기 지지 프레임은, 상판과 하판과, 상기 상판과 상기 하판을 접착하는 접착재에 의해 구성되며, 상기 상판의 한쪽 면에는, 소정의 피치로 볼록부가 형성되고, 상기 하판의 한쪽 면에는, 상기 소정의 피치로 오목부가 형성되며, 상기 볼록부와 상기 오목부가 끼워맞춰져 있는 구성임을 특징으로 하는 증착 마스크.
도 1은 유기 EL 표시 장치의 평면도이다.
도 2는 유기 EL 표시 장치의 화소 구성을 나타내는 평면도이다.
도 3은 표시 영역에 있어서의 기판과 증착 마스크의 관계를 나타내는 단면도이다.
도 4는 증착 장치의 개요를 나타내는 단면도이다.
도 5는 증착 마스크의 상세도이다.
도 6a는 증착 마스크에 있어서의 마스크를 형성한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6b는 지지 프레임의 단면도이다.
도 6c는 지지 프레임과 마스크를 가접합한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6d는 도금으로 형성한 접합 부재에 의해 마스크와 지지 프레임을 접합한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6e는 마스크로부터 모재를 박리한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 7은 지지 프레임의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 8은 증착 마스크의 평면도이다.
도 9는 도 8의 A-A 단면도이다.
도 10은 지지 프레임의 상판에 텐션이 가해진 상태에 있어서의 지지 프레임의 단면도이다.
도 11은 본 발명의 개략을 나타내는 단면도이다.
도 12는 본 발명의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 13a는 실시예 1의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 13b는 도 13a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 13c는 실시예 1의 실시 형태 1을 나타내는 단면도이다.
도 14a는 실시예 1의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 14b는 도 14a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 14c는 도 14b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 14d는 실시예 2의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 15a는 실시예 2의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 15b는 도 15a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 15c는 도 15b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 15d는 도 15c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 15e는 실시예 2의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 16a는 실시예 2의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 16b는 도 16a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 16c는 도 16b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 16d는 실시예 2의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 17a는 실시예 2의 실시 형태 3의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17b는 도 17a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17c는 도 17b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17d는 도 17c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17e는 도 17d에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17f는 실시예 2의 실시 형태 3의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 18a는 실시예 3의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 18b는 도 18a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 18c는 도 18b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 18d는 도 18c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 18e는 실시예 3의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 18f는 실시예 3의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 18g는 실시예 3의 실시 형태 1의 다른 예의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 19a는 실시예 3의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19b는 도 19a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19c는 도 19b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19d는 도 19c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19e는 도 19d에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19f는 실시예 3의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 19g는 실시예 3의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 19h는 실시예 3의 실시 형태 2의 다른 예의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 20a는 실시예 4의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20b는 도 20a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20c는 도 20b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20d는 도 20c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20e는 도 20d에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20f는 실시예 4의 실시 형태 1의 최종 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20g는 실시예 4의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 21a는 실시예 4의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21b는 도 21a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21c는 도 21b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21d는 도 21c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21e는 도 21d에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21f는 실시예 4의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 22는 실시예 5의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 23은 실시예 5의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 24는 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 예를 나타내는 도면이다.
도 25는 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 26은 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 27은 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 28은 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 29는 실시예 5의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 30은 실시예 5의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 31은 실시예 5의 실시 형태 3의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 32는 실시예 5의 실시 형태 3의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2는 유기 EL 표시 장치의 화소 구성을 나타내는 평면도이다.
도 3은 표시 영역에 있어서의 기판과 증착 마스크의 관계를 나타내는 단면도이다.
도 4는 증착 장치의 개요를 나타내는 단면도이다.
도 5는 증착 마스크의 상세도이다.
도 6a는 증착 마스크에 있어서의 마스크를 형성한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6b는 지지 프레임의 단면도이다.
도 6c는 지지 프레임과 마스크를 가접합한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6d는 도금으로 형성한 접합 부재에 의해 마스크와 지지 프레임을 접합한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6e는 마스크로부터 모재를 박리한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 7은 지지 프레임의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 8은 증착 마스크의 평면도이다.
도 9는 도 8의 A-A 단면도이다.
도 10은 지지 프레임의 상판에 텐션이 가해진 상태에 있어서의 지지 프레임의 단면도이다.
도 11은 본 발명의 개략을 나타내는 단면도이다.
도 12는 본 발명의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 13a는 실시예 1의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 13b는 도 13a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 13c는 실시예 1의 실시 형태 1을 나타내는 단면도이다.
도 14a는 실시예 1의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 14b는 도 14a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 14c는 도 14b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 14d는 실시예 2의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 15a는 실시예 2의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 15b는 도 15a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 15c는 도 15b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 15d는 도 15c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 15e는 실시예 2의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 16a는 실시예 2의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 16b는 도 16a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 16c는 도 16b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 16d는 실시예 2의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 17a는 실시예 2의 실시 형태 3의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17b는 도 17a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17c는 도 17b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17d는 도 17c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17e는 도 17d에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 17f는 실시예 2의 실시 형태 3의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 18a는 실시예 3의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 18b는 도 18a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 18c는 도 18b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 18d는 도 18c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 18e는 실시예 3의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 18f는 실시예 3의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 18g는 실시예 3의 실시 형태 1의 다른 예의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 19a는 실시예 3의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19b는 도 19a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19c는 도 19b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19d는 도 19c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19e는 도 19d에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 19f는 실시예 3의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 19g는 실시예 3의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 19h는 실시예 3의 실시 형태 2의 다른 예의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 20a는 실시예 4의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20b는 도 20a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20c는 도 20b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20d는 도 20c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20e는 도 20d에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20f는 실시예 4의 실시 형태 1의 최종 공정을 나타내는 단면도이다.
도 20g는 실시예 4의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 21a는 실시예 4의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21b는 도 21a에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21c는 도 21b에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21d는 도 21c에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21e는 도 21d에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 21f는 실시예 4의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 22는 실시예 5의 실시 형태 1의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 23은 실시예 5의 실시 형태 1의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 24는 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 예를 나타내는 도면이다.
도 25는 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 26은 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 27은 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 28은 실시예 5에 있어서의 볼록부와 오목부의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 29는 실시예 5의 실시 형태 2의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 30은 실시예 5의 실시 형태 2의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 31은 실시예 5의 실시 형태 3의 제조 공정을 나타내는 단면도이다.
도 32는 실시예 5의 실시 형태 3의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 1은 유기 EL 표시 장치의 평면도이다. 도 1에 있어서, 유리 혹은 폴리이미드의 수지로 형성된 TFT 기판(40)의 위에, 화상을 표시하는 표시 영역(10)이 형성되어 있다. 표시 영역(10)의 주변에는, 프레임 영역(21)이 배치되어 있다. 프레임 영역(21)에는, 화소(14)에 전류를 공급하는 전류 공급선이나, 주사선 구동 회로(20) 등이 배치되어 있다. 표시 영역(10)에는, 가로 방향(x 방향)으로 주사선(11)이 연장되고, 세로 방향(y 방향)으로 배열되어 있다. 또한, 영상 신호선(12) 및 전원선(13)이 세로 방향으로 연장되고, 가로 방향으로 배열되어 있다. 주사선(11)과, 영상 신호선(12) 및 전원선(13)으로 둘러싸인 영역이 화소(14)로 되어 있으며, 화소(14) 내에는, 광을 발광하는 유기 EL층, TFT로 형성된 구동 트랜지스터, 스위칭 트랜지스터 등이 형성되어 있다.
기판(40)의 1변에는 단자 영역(30)이 형성되어 있다. 단자 영역(30)에는, 영상 신호선(12)을 구동하기 위해서 드라이버 IC(31)가 탑재되고, 유기 EL 표시 장치에 전원이나 신호를 공급하기 위해서 플렉시블 배선 기판(32)이 접속되어 있다.
도 2는, 유기 EL 표시 장치의 표시 영역의 평면도이다. 도 2에 있어서, 도 1의 화소(14)에 대응하는 부분에는, 적 발광체 R을 갖는 적 화소, 녹 발광체 G를 갖는 녹 화소, 또는 청 발광체 B를 갖는 청 화소가 형성되고, 각 화소 혹은 발광체는, 델타 배치로 되어 있다. 적 발광체 R, 녹 발광체 G, 청 발광체 B는, 각각 다른 유기 EL 재료로 구성되므로, 따로따로 증착된다. 따라서, 도 2와 같은 화소 구성으로 하기 위해서는, 3개의 증착 마스크가 필요하다.
도 2에서는, 각 발광체의 평면 형상은 원이며, 각 발광체는 델타 배치되어 있는 예이지만, 이것은 일례이며, 발광체의 평면 형상이 정사각형, 직사각형, 스트라이프 등의 경우도 있을 수 있다. 또한, 발광체의 배치는, 델타로 한정하지 않고, 마름모꼴, 평행사변형, 스트라이프 배치 등의 경우도 있을 수 있다. 도 2에 있어서, 발광체의 직경 d1은 예를 들어, 15㎛ 내지 20㎛이다. 화소 피치 pp는, 예를 들어 30㎛ 내지 40㎛이다. 이 경우, 마스크의 직경은 발광체의 직경과 동일하다. 한편, 마스크의 구멍은, 각 발광체별로 형성되므로, 마스크의 구멍의 피치 pm은 50㎛ 내지 67㎛이다. 인접해서 배치되는 다른 색끼리의 간격은, 즉 증착 마스크의 얼라인먼트 마진으로 되어, 10㎛ 내지 30㎛ 정도가 필요하지만, 각 화소의 발광 영역의 확대화나, 표시 영역의 고정밀화를 감안하면, 이 거리는 작게 하는 것이 바람직하다.
도 3은, 3색의 발행체의 하나가 되는 유기 EL 재료를 증착하기 위한 마스크(50)와 기판(40)의 상태를 나타내는 단면도이다. 도 3에 있어서, 증착 기판(40), 즉 TFT 기판(40)의 두께 ts는, 예를 들어 0.5㎜이다. 한편, 발광체의 직경 d1을 15㎛ 내지 20㎛로 하기 위해서, 마스크(50)에도, 마찬가지로 구멍 직경 d1의 구멍을 형성하고 있다. 유기 EL 재료는, 마스크(50)에 마련된 구멍으로부터 노출된 기판(40)의 표면에 증착된다. 구멍 직경 d1의 영역에 과부족 없이 유기 EL 재료가 증착되기 위해서는, 마스크(50)의 판 두께 tm은 5㎛ 내지 10㎛ 정도로 얇게 할 필요가 있다. 마스크(50)의 판 두께가 두꺼우면, 경사 방향으로부터 퇴적하려고 하는 유기 EL 재료에 대한 차폐물로 되고, 소위 「비네팅」이 발생하여 증착 불량으로 된다.
도 2에 도시한 바와 같은 고정밀의 화소 구성으로 하기 위해서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 마스크(50)와 증착 기판(40)은 거의 밀착 상태로 할 필요가 있다. 이것을 위해서는, 마스크(50)에 텐션을 가해서 마스크(50)를 평탄하게 유지할 필요가 있다. 또한, 도 3에 있어서의 화살표(80)는 유기 EL 재료의 증발물이다. 도시하지 않았지만, 마그네트를, 마스크(50)에 대하여 기판(40)의 반대측에 면하도록 배치하고, 자력에 의해 마스크(50)를 기판(40)에 밀착시키는 경우도 있다.
도 4는 진공 증착의 상태를 나타내는 개략 단면도이다. 도 4의 진공 챔버(1000) 내에 있어서, 증착원(900)으로부터 증착 재료(80)가 기판(40)을 향해서 증발한다. 기판(40)에는, 증착 마스크의 마스크(50)를 통해 발광 재료가 증착된다. 증착 막 두께를 균일하게 하기 위해서, 도 4에 있어서는, 증착원(90)이 2개 사용되어 있다. 증착원(90)은, 증착막을 균일하게 하기 위해서, 필요에 따라 수가 증감된다.
증착 마스크는, 박형의 마스크(50)와 지지 프레임(60)을 접합 부재(70)로 접합한 것이다. 지지 프레임(60)은 상판(61)과 하판(62)이 접착재(63)에 의해 접착된 구성이다. 지지 프레임(60)과 마스크(50)는, 도금에 의한 접합 부재(70)에 의해 접합되어 있다. 얇은 마스크(50)가 휘지 않도록, 마스크(50)에는, 지지 프레임(60)에 의해 텐션이 가해져 있다. 그 반작용으로서, 지지 프레임(60)에는, 내측을 향하는 텐션이 발생하고, 상판(61)과 하판(62)을 접착하고 있는 접착재(63)에는, 전단 응력이 발생한다.
도 5는 증착 마스크(5)의 상세도이다. 도 5에 있어서 상측이 평면도이며, 하측이 단면도이다. 유기 EL 표시 장치는 개별적으로 제조해서는 효율이 나쁘기 때문에, 큰 기판에 다수의 유기 EL 표시 패널이 형성된다. 따라서, 증착 마스크(5)도 이 큰 기판에 대응하는 것으로 되어 있다.
도 5에 있어서, 증착 마스크(5)는, 지지 프레임(60)에 의해 4개로 구획되어 있으며, 각 구획마다 마스크(50)가 존재하고 있다. 각 마스크(50)에는, 16개의 유기 EL 표시 장치가 대응하고 있다. 따라서, 도 5의 증착 마스크(50)에 의해, 64개의 유기 EL 표시 장치가 형성된다. 또한, 도 5에서는, 증착 마스크(5)는 4개로 구획되어 있지만, 이것은 예시이며, 구획의 수는 4로 한정하지는 않는다.
각 마스크(50)에는, 유기 EL 표시 장치의 표시 영역의 각 화소에 대응하여 다수의 구멍이 형성된 개구 영역(51)과, 구멍이 존재하지 않는 주변 영역(52)으로 구성되어 있다. 마스크(50)는, 예를 들어 두께가 수 ㎛ 내지 수십 ㎛의 Ni, 혹은 Ni 합금이며, 도금에 의해 형성되어 있다.
지지 프레임(60)은, 상판(61)과 하판(62)이 접착재(63)에 의해 접착된 것이다. 지지 프레임(60)을 2층 구성으로 하고 있는 것은, 롤러에 의해 판재를 형성할 때, 박판으로 하는 쪽이, 롤러 횟수가 늘어나므로, 치수를 정확하게 산출하기 쉽다고 하는 것이 하나의 이유이다. 다른 이유는, 판재 고유의 변형을 2장의 판재에 의해 상쇄함으로써, 적층된 지지 프레임에 변형이 발생하는 것을 방지하는 것이다.
상판(61), 하판(62)은, 예를 들어 두께 0.5㎜ 정도의 인바재로 형성된다. 인바재는, 철과 니켈의 합금이며, 열팽창 계수가 매우 작다. 상판(61), 하판(62), 및 접착재(63)로 형성되는 지지 프레임(60)과 마스크(50)는, 도금에 의한 접합 부재(70)에 의해 접합되어 있다. 완성된 마스크(50)에는 지지 프레임(60)에 의해 텐션이 가해져서, 마스크(50)의 휨을 방지한다.
도 6a 내지 도 6e는, 도 5에 도시한 증착 마스크를 형성하기 위한 프로세스를 나타내는 단면도이다. 도 6a는, 도금에 의해 마스크(50)를 형성한 상태를 나타내는 단면도이다. 평면이 평활한 금속판을 준비하고, 이것을 모재(90)로서 사용하고, 이 모재(90)의 위에 마스크(50)를 형성한다. 즉, 모재(90)의 위에 패터닝을 위한 포토레지스트(91)를 형성하고, 소정의 개소에 도금을 성장시킴으로써, 박을 형성한다. 도 6a에서는, 포토레지스트(91)는 마스크(50)의 외형부에만 형성되어 있지만, 개구 영역에 있어서의 구멍을 형성하기 위해서 포토레지스트를 형성하고, 마스크(50)의 개구부에 화소부의 증착을 위한 구멍을 동시에 형성할 수도 있다.
도 6b는, 마스크(50)와는 별도로 형성되는 지지 프레임(60)의 단면도이다. 지지 프레임(60)은, 예를 들어 두께가 0.5㎜인 인바재로 이루어지는 상판(61)과 하판(62)을 접착재(63)에 의해 접합한 것이다. 접착재(63)의 두께는, 예를 들어 15㎛이다. 판재는 연신재로서 롤 형상으로 제공되기 때문에, 원호 방향으로의 휨이 남아 있는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 2장의 판을 표리 반대로 접합하고, 휨을 상쇄해서 평탄성을 확보할 수 있다. 지지 프레임(50)의 가공은 절삭 가공이어도 에칭 가공이어도 된다.
도 6c는, 마스크(50)가 형성된 모재(90)에 지지 프레임(60)을 가접착한 상태를 나타내는 단면도이다. 가접착에 사용되는 가접착재(92)는, 후속 공정에서, 모재(90)의 박리가 용이해지는 것을 사용하는 것이 바람직하다.
도 6d는, 마스크(50)와 지지 프레임(60)을 접합하기 위해서, 도 6c의 구조에 대하여, 포토레지스트(91)를 형성하고, 그 후, 도금을 성장시켜 마스크(50)와 지지 프레임(60)의 접속 부재(70)를 형성한 상태를 나타내는 단면도이다. 도 6d에 있어서, 접합 부재(70)로서의 도금을 형성하는 부분 이외를 포토레지스트(91)로 덮고, 도금에 의해 접합 부재(70)가 형성되어 있다.
도 6d에서는, 지지 프레임(60)에 있어서, 도금에 의해 접합 부재(70)를 형성하는 부분을 제외하고 레지스트(91)를 형성하고 있다. 이것으로 한정하지 않고, 지지 프레임(60) 전면에 대하여 도금을 실시해도 된다. 단, 이 경우, 지지 프레임(60) 전면에 도금을 실시함으로써, 도금막의 응력에 의해, 지지 프레임(60)이 변형되는 경우가 있으므로, 주의가 필요하다.
도 6e는, 포토레지스트(91)를 박리한 후, 금속으로 형성된 모재(90)를 증착 마스크(5)로부터 박리하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다. 이에 의해 증착 마스크(5)가 완성된다. 또한, 모재(90)에, 도금에 의해 마스크(50)를 형성할 때, 마스크(50)에 응력이 발생하고, 이 응력은, 모재(90)를 증착 마스크(5)로부터 박리하면, 마스크(50)가 수축되는 방향으로 작용하고, 그것을 지지 프레임(60)이 수축을 거슬러서 마스크(50)를 지지하게 된다. 바꾸어 말하면, 마스크(50)에는, 지지 프레임(60)에 의해, 외측으로 당겨지는 텐션이 발생하게 된다. 이 텐션에 의해 마스크(50)의 평탄성이 유지된다.
도 7은, 지지 프레임(60)의 제조 방법을 나타내는 단면도이다. 지지 프레임(60)은, 상판(61)과 하판(62)을 접착재(63)로 접합한 것이다. 상판(61), 하판(62)을 위한 판재는 연신재로서 롤 형상으로 제공되므로, 원호 방향으로의 휨이 남아 있다. 그래서, 도 7에 도시한 바와 같이, 2장의 판을 표리 반대로 접합하고, 평탄성을 확보하고 있다.
본 발명에 있어서의 증착 마스크(5)는 도 5에 도시한 바와 같지만, 이후의 설명에서는, 이해를 돕기 위해서, 간략 도면을 이용한다. 도 8은, 이후의 설명에 있어서의 증착 마스크(5)의 평면도이다. 도 8에서는, 도 5에 있어서의 1 구획만이 기재되어 있다. 즉, 지지 프레임(60) 내에 1개의 마스크(50)가 형성되어 있다. 도 9는, 도 8의 A-A 단면도이다. 실제의 증착 마스크(5)는 도 5에 도시한 바와 같이, 마스크(50)와 지지 프레임(60)은 도금에 의한 접합 부재(70)에 의해 접합되어 있지만, 도 9에서는, 접합 부재(70)는 생략되고, 마스크(50)는, 지지 프레임(70)의 상판(61)에 접합되어 있다. 이후, 본 발명의 설명에 있어서의 증착 마스크(5)의 단면은, 도 9를 이용하여 행한다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같은 접합 부재(70)가 존재하고 있는 경우에도, 마스크(50)로부터의 지지 프레임(60)에 대한 텐션은 주로 상판(61)에 발생하는 것은, 도 9와 동일하다.
도 10은, 본 발명이 해결하는 문제점을 나타내는 단면도이다. 마스크(50)에는 평탄성을 유지하기 위해서, 텐션이 가해져 있다. 한편, 지지 프레임(60)에는, 반작용으로서, 내측으로 텐션이 걸리고, 이에 의해, 상판(61)과 하판(62)을 접착하고 있는 접착재(63)에 전단 응력이 발생하고, 상판(61)과 하판(62)이 평면 방향으로 어긋나버린다. 그렇게 하면, 결과적으로 마스크(50)의 구멍 위치가 이동하게 된다.
즉, 기판(40)도 증착 마스크(5)의 하판(62)도 증착 장치에 고정되므로, 결과적으로, 지지 프레임(60)의 상판(61)과 접합된 마스크(50)에 있어서의 개구가 기판(40)에 대하여 어긋나게 된다. 도 2 등에서 설명한 바와 같이, 유기 EL 표시 장치에서는, 화소 피치가 매우 작으므로, 도 10과 같은 어긋남이 발생하면, 화소에 있어서의 발광체, 즉, 유기 EL층의 위치가 어긋나버려, 표시 품질에 중대한 영향을 초래한다.
본 발명의 구성은, 도 11에 도시한 바와 같이, 지지 프레임(60)에 있어서, 상판(61)과 하판(62)의 어긋남을 방지하는 스토퍼(100)를 마련하고, 이에 의해, 가령 상판(61)과 하판(62)의 사이에 텐션에 의한 전단 응력이 가해진 경우에 있어서도, 상판(61)과 하판(62)의 사이에 어긋남이 발생하지 않도록 하고, 발광체로서의 유기 EL층의 위치가 어긋나지 않도록 하는 것이다.
도 12는, 이를 위한 구성을 나타내는, 증착 마스크(5)의 평면도이다. 도 12에 있어서, 마스크(50)의 외측에 있어서, 지지 프레임(60)의 상판(61)과 하판(62)을 고정시키기 위한 스토퍼(100)가 긴 변 위, 짧은 변 위, 및 코너부에 형성되어 있다. 또한, 스토퍼(100)의 평면적인 위치는, 도 12로 한정하지 않고, 스토퍼(100)의 성질에 따라서 위치를 선택하면 된다. 이하에 나타내는 실시예는, 다양한 스토퍼(100)의 구성을 나타내는 것이다.
실시예 1
실시예 1은, 아이스 픽, 책송곳, 혹은 드릴 등과 같은, 앞이 뾰족한 펀칭 공구(110)로 상판(61)과 하판(62)을 관통해서 펀칭함으로써, 펀칭 부분에 있어서의 상판(61)의 변형에 의해, 상판(61)과 하판(62)의 평면 방향의 어긋남을 방지하는 것이다.
(실시 형태 1)
도 13a 내지 도 13c는 실시예 1에 있어서의 실시 형태 1을 나타내는 도면이다. 도 13a의 상측의 단면도는, 지지 프레임(60)을, 구멍을 갖는 하측 강체(적재대)(115)와 상측 강체(억제대)(114)의 사이에 끼우고, 펀칭 공구(110)를 지지 프레임(60)에 맞댄 상태를 나타내는 도면이다. 도 13a의 하측의 도면은, 지지 프레임(60)의 위에 배치한 펀칭 공구(110)의 타점(111)을 나타내는 평면도이다.
도 13b는, 펀칭 공구(110)에 의해, 지지 프레임(60)의 상판(61)과 하판(62)을 관통한 상태를 나타내는 것이며, 상측의 도면은 단면도, 하측의 도면은 평면도이다. 도 13b의 단면도에 도시한 바와 같이, 지지 프레임(60)을 펀칭했을 때, 상판(61)과 하판(62)에 버(113)가 발생하고, 이 버(113)에 의해, 상판(61)과 하판(62)의 상호 어긋남을 방지하는 것이다. 도 13b의 하측의 평면도에 있어서, 112는 관통 구멍, 1121은 버를 발생시키도록 지지 프레임(60)이 변형된 부분이다.
도 13c는, 관통 구멍(112)에 형성된 버(113)의 상태를 나타내는 단면도이다. 형성되는 구멍(112)은 예를 들어 원형이다. 따라서, 지지 프레임(60)에 있어서의 상판(61)과 하판(62)은, 평면 방향의 어느 방향에 있어서도, 상호의 움직임은 억제된다.
(실시 형태 2)
도 14a 내지 도 14d는, 실시예 1의 실시 형태 2를 나타내는 단면도이다. 실시 형태 1에서는, 도 13c에 도시한 바와 같이, 펀칭 공구(110)로 펀칭한 지지 프레임(60)의 이측에는, 버(113)가 돌기로서 발생하고 있다. 증착 장치 등에 있어서, 이러한 돌기형의 버(113)가 방해가 되는 경우가 있다. 실시 형태 2는 이 문제를 대책한 것이다.
도 14a의 상측의 단면도는, 지지 프레임(60)을, 구멍을 갖는 하측 강체(115)와, 상측 강체(114)의 사이에 끼우고, 하판(62)에 대하여 엔드밀 가공을 실시하기 위한 엔드밀(116)에 맞대고 있는 부분을 나타내는 단면도이다. 엔드밀(116)에 의해, 하판(62)에만 구멍을 형성한다.
도 14b는, 하판(62)에 구멍을 형성한 후, 하측 강체(115)의 직경이 작은 부분에 지지 프레임(60)을 배치하고, 펀칭 공구(110)를 상판(61)측에 맞댄 상태를 나타내는 단면도이다. 도 14c는, 펀칭 공구(110)에 의해 상판(61)을 펀칭한 상태를 나타내는 단면도이다. 이때, 하판(62)에는, 미리 구멍이 형성되어 있으며, 또한, 하측 강체(115)의 직경이 작아져 있으므로, 상판(61)의 버(113)는, 하판(62)보다도 하방으로 돌출되지 않고, 하판(62)의 단부에 맞닿게 된다.
도 14d는, 가공 후의 지지 프레임(60)의 단면도이다. 도 14d에 있어서, 펀칭된 상판(61)의 버(113)는, 하판(62)의 하면보다도 돌출되지 않고, 하판(62)의 단부면과 맞닿아 있다. 상판(61)의 버(113)에 의해, 하판(62)과 상판(61)이 평면 방향으로 어긋나는 것은 방지되어 있다. 또한, 버(113)가 하판(62)의 하면보다도 하방으로 돌출되는 일은 없다.
실시예 2
실시예 2는, 지지 프레임(60)의 상판(61)과 하판(62)에 형성한 스루홀에 핀을 박아 넣음으로써, 상판(61)과 하판(62)이 서로 어긋나는 것을 방지하는 것이다.
(실시 형태 1)
도 15a 내지 15e는, 실시예 2의 실시 형태 1을 나타내는 단면도이다. 도 15a는, 상판(61)과 하판(62)에 스루홀을 형성하기 위해서, 리머(117)를 상판(61)에 맞대고 있는 상태를 나타내고 있다. 지지 프레임(60)이 적재되어 있는 하측 강체(115)에는, 리머(117)에 대응하는 부분에 개구가 형성되어 있다.
도 15b는, 스루홀이 형성된 지지 프레임(60)을 개구가 형성되지 않은 하측 강체(115)의 위에 적재하고, 박아 넣은 핀의 헤드를 수용하기 위한 구멍을 형성하기 위해서, 상판(61)에 엔드밀(116)을 맞닿게 한 상태를 나타내는 단면도이다. 도 15c는, 엔드밀(116)에 의해, 핀의 헤드에 대응하는 부분에 구멍을 뚫은 상태를 나타내는 단면도이다.
도 15d는, 이와 같이 하여 형성된 상판(61)과 하판(62)의 구멍에 핀(120)을 삽입하는 상태를 나타내는 단면도이다. 상판(61)과 하판(62)의 평면 방향의 어긋남을 없애기 위해서는, 핀(120)의 본체와, 상판(61)과 하판(62)의 스루홀과의 관계는, 「틈새 끼워맞춤」이 아니라, 「억지 끼워맞춤」의 쪽이 좋다.
도 15e는, 상판(61)과 하판(62)에 형성된 구멍에 핀(120)을 삽입한 상태를 나타내는 단면도이다. 리머 가공과 엔드밀 가공에 의해, 핀(120)은 상판(61)과 하판(62)에 완전히 수용되어 있다. 도 15e에 있어서, 핀(120)에 의해 지지 프레임(60)에 있어서의 상판(61)과 하판(62)의 어긋남은 방지할 수 있다. 또한, 실시예 1과 같이, 버(113)로 상판(61)과 하판(62)의 어긋남을 방지하는 경우에 비교하여 재현성이 우수하다.
(실시 형태 2)
도 16a 내지 16d는, 실시예 2의 실시 형태 2를 나타내는 단면도이다. 실시 형태 2가 실시 형태 1과 상이한 점은, 사용하는 핀이, 도 16c에 도시한 바와 같은, 평행 핀(121)이라고 하는 점이다. 평행 핀(121)의 경우, 핀에 헤드가 없으므로, 실시 형태 1에서 사용한 바와 같은 엔드밀 가공은 불필요하다.
도 16a는 구멍을 갖는 하측 강체(115) 위에 리머(117)를 맞댄 상태를 나타내는 단면도이다. 도 16b는, 리머(117)에 의해 스루홀을 형성한 지지 프레임(60)을, 구멍이 존재하지 않는 하측 강체(115)의 위에 적재한 상태를 나타내는 단면도이다. 도 16c는, 지지 프레임(60)의 스루홀에 평행 핀(121)을 삽입하는 상태를 나타내는 단면도이다. 이 경우에도, 상판(61)과 하판(62)의 평면 방향의 어긋남을 없애기 위해서는, 평행 핀(121)과, 상판(61)과 하판(62)의 스루홀과의 관계는, 「틈새 끼워맞춤」이 아니라, 「억지 끼워맞춤」의 쪽이 좋다.
도 16d는, 평행 핀(121)을 지지 프레임(60)의 스루홀 내에 타격에 의해 삽입한 상태를 나타내는 단면도이다. 실시 형태 2는 실시 형태 1에 비교하여 엔드밀 가공이 불필요한만큼, 공정을 간략화할 수 있다.
(실시 형태 3)
도 17a 내지 17d는, 실시예 2의 실시 형태 3을 나타내는 단면도이다. 실시 형태 3이 실시 형태 1과 다른 점은, 사용하는 핀이, 도 17d에 도시한 바와 같은, 중공 핀(122)이라고 하는 점이다. 핀(122)의 외형 형상은, 실시 형태 1의 핀(120)과 유사하다. 따라서, 지지 프레임(115)에 형성하는 스루홀이나 상판(61)에 엔드밀(116)에 의해 형성하는 구멍은 실시 형태 1과 마찬가지이며, 실시 형태 3에 있어서의 도 17a, 도 17b, 도 17c에 도시한 가공 프로세스는, 실시 형태 1에 있어서의 도 15a, 도 15b, 도 15c와 동일하다.
도 17d가 도 15d와 다른 점은, 도 17d에서 사용되는 핀(122)의 길이가, 도 15d에서 사용되는 핀(120)의 길이보다도 길다고 하는 점이다. 도 17d에 있어서, 지지 프레임(60)이 적재되어 있는 하측 강체(115)에는, 구멍이 형성되어 있으며, 이 부분에 있어서, 핀(122)의 선단이 하판(62)의 하면보다도 하방으로 돌출되어 있다.
도 17e는, 지지 프레임(60)을 뒤집어서, 구멍이 존재하지 않는 하측 강체(115) 위에서, 핀(122)의 중공 부분을 공구(타격봉)(123)에 의해 두드리는 상태를 나타내는 단면도이다. 이에 의해, 중공 핀(122)의 선단을 찌부러뜨려, 중공 핀(122)을 고정시킨다.
도 17f는, 중공 핀(122)의 선단을 찌부러뜨려, 중공 핀(122)을 고정시킨 상태를 나타내는 단면도이다. 도 17f에 도시한 바와 같이, 중공 핀(122)의 선단이 찌부러뜨려진 부분은, 하판(62)의 하면보다도, 하방으로 돌출되어 있다. 증착 장치에 있어서, 증착 마스크(5)의 어느 면에 돌기가 존재해도 되는 구성이면, 도 17f와 같은 구성을 사용할 수 있다.
실시예 3
실시예 3은, 평면 형상에 있어서, 하판(62)을 상판(61)보다도 작게 해 두고, 단부에 하판(62) 및 상판(61)과 강력하게 접착할 수 있는 재료를 상판(61)의 단부 하면 및 하판(62)의 단부 측면에 형성함으로써, 상판(61)과 하판(62)의 평면 방향으로의 어긋남을 방지하는 것이다.
(실시 형태 1)
도 18a 내지 18e는, 실시예 3의 실시 형태 1을 나타내는 단면도이다. 도 18a는, 상판(61)과 하판(62)이 상하 반대로 하측 강체(115) 위에 적재되어 있는 상태를 나타내는 단면도이다. 도 18에 도시한 바와 같이, 하판(62)의 사이즈는 상판(61)의 사이즈보다도 작아져 있으며, 단부에 있어서, 상판(61)이 하판(62)보다도 외측으로 돌출된 상태로 되어 있다.
도 18b는, 상판(61)의 단부에 3차원 프린터를 사용하여 조형물(133)을 적층하고 있는 상태를 나타내고 있다. 130은, 3차원 프린터의 노즐을 나타내고 있다. 이와 같이 하여 형성되는 조형물(133)은, 예를 들어 열처리 혹은 자외선 조사 등을 행한 후에는, 상판(61) 및 하판(62)과, 접착재(63) 이상으로, 강력하게 접착하는 성질을 갖는 재료이다. 도 18c는, 3차원 프린터에 의해, 조형물(133)의 적층울 끝낸 상태를 나타내는 단면이다. 이 상태에서 예를 들어, 열처리를 가하거나, 혹은 자외선 조사를 행하여, 조형물(133)을 고화함과 함께, 조형물(133)을, 상판(61) 및 하판(62)과 강력하게 접착시킨다. 도 18c 등에 있어서의 바벨 표시(135)는, 적층 조형물(133)이, 상판(61) 및 하판(62)에 강하게 접착되어 있음을 나타내고 있다.
도 18d는, 연마 공구(132)를 사용하여 조형물(133)을 연마하여, 지지 프레임(60)의 평면 및 측면을 평탄화하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다. 도 18e는, 가공 후의 지지 프레임(60)의 단면도이다. 도 18a 내지 도 18d는, 상판(61)과 하판(62)을 상하 반대의 상태에서 가공하고 있지만, 도 18e는, 상판(61)과 하판(62)의 상하 관계를 원래대로 되돌린 상태로 되어 있다.
도 18f는, 지지 프레임(60)을 이면에서 본 경우의 이면 평면도이다. 하판(62)은 상판(61)보다도 전체 둘레에 있어서 외형이 작다. 3차원 프린터로, 전체 둘레에 적층 조형물(131)을 형성하는 것이 시간적, 비용적으로 불리한 경우에는, 도 18f에 도시한 바와 같이, 적층 조형물(131)을 하판(62)의 외측에 이산적으로 형성할 수 있다. 물론, 조건이 허락하면, 적층 조형물(131)을 하판(62)의 외주 전역에 형성해도 된다.
도 18g는, 적층 조형물(131)을 지지 프레임(60)의 내주측에 형성한 예이다. 도 18g는, 이면 평면도이기 때문에, 하판(62)만이 보이고 있다. 하판(62)이 내주의 전체 둘레에 있어서, 상판(61)보다도 폭이 작은 경우, 적층 조형물(113)은 하판(62)의 내주의 전체 둘레에 형성되어 있다.
(실시 형태 2)
도 19a 내지 19e는, 실시예 3의 실시 형태 2를 나타내는 단면도이다. 실시 형태 2가 실시 형태 1과 다른 점은, 지지 프레임(60)에 있어서, 당초는 하판(62)과 상판(61)의 크기를 동일하게 해 두고, 하판(62)의 단부를 엔드밀에 의해, 제거함으로써, 3차원 프린터에 의한 조형물(131)을 형성하는 스페이스를 확보하는 것이다.
도 19a는, 상판(61)과 하판(62)이 동일한 크기인 지지 프레임(60)을, 상하 반대의 상태로 하여 하측 강체(115) 위에 배치한 상태에 있어서, 하판(62) 단부의 일부를 제거하기 위해서, 엔드밀(116)을 맞대고 있는 상태를 나타내는 단면도이다. 또한, 도 19a 내지 도 19e에 있어서의 지지 프레임(60)은 상하 반대의 상태로 되어, 하측 강체(115)의 위에 적재되어 있다.
도 19b는, 엔드밀(116)에 의해, 하판(62) 단부를 절삭 제거한 상태를 나타내는 단면도이다. 도 19c는, 3차원 프린터에 의해, 상판(61) 단부에 적층 조형물(133)을 형성하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다. 130은, 3차원 프린터의 노즐을 나타내고 있다. 도 19c는 도 18b에서 설명한 구성과 마찬가지다. 도 19d는, 실시 형태 1의 도 18c에 대응하고, 도 19e는, 실시 형태 1의 도 18d에 대응한다. 도 19f는, 가공 후의 지지 프레임(60)을 나타내는 단면도이며, 실시 형태 1의 도 18e에 대응한다.
실시 형태 2에 있어서의 지지 프레임(60)의 평면도는, 실시 형태 1과는 다르다. 즉, 실시 형태 2는, 엔드밀(116)에 의해, 하판(62)의 단부를 제거하고 있으므로, 통상은 제거 부분의 평면은 원으로 된다. 도 19g는, 실시 형태 2에 있어서의 지지 프레임(60)의 이면 평면도이다. 도 19g에 있어서, 하판(62) 단부에 형성한 엔드밀(116)에 의한 구멍에 3차원 프린터로 형성한 적층 조형물(133)이 충전되어 있다. 구멍을 엔드밀로 형성하고 있으므로, 구멍 및 적층 조형물(133)은 외주에 있어서, 이산적으로 형성되어 있다.
도 19h는, 실시 형태 2에 있어서의 지지 프레임(60)의 다른 예에 있어서의 이면 평면도이다. 도 19h에 있어서, 하판(62)의 내주측의 단부에, 엔드밀(116)에 의해 구멍을 형성하고, 이 구멍에 3차원 프린터로 형성한 적층 조형물(133)이 충전되어 있다. 도 19h에 있어서도, 구멍을 엔드밀(116)로 형성하고 있으므로, 구멍 및 적층 조형물(133)은 내주에 있어서, 이산적으로 형성되어 있다.
또한, 도 19g, 도 19h 등은, 하판(62)에 형성하는 제거 부분을, 엔드밀(116)에 의해 형성하고 있으므로, 원형의 구멍으로 되어 있다. 그러나, 엔드밀(116) 이외의 공구를 사용함으로써, 하판(62)의 단부의 제거 부분의 평면 형상을 원 이외의 형상으로 하는 것은 가능하다.
실시예 4
실시예 4는, 지지 프레임(60)에 있어서, 상판(61)과 하판(62)의 어긋남을 없애기 위해서 단부에 있어서, 상판(61)과 하판(62)을 도금에 의해 고정시키는 예이다.
(실시 형태 1)
도 20a 내지 도 20f는, 실시예 4의 실시 형태 1을 나타내는 단면도이며, 도 20g는, 실시예 4에 의한 지지 프레임(60)의 평면도이다. 도 20a의 상측의 도면은, 본 실시 형태의 처리를 실시하기 전의 지지 프레임(60)의 단면도이며, 하측의 도면은, 지지 프레임(60)의 상판(61)과 하판(62)을 접착하고 있는 접착재(63)를 녹이는 용제(140)가 들어 있는 용제조(141)의 단면도이다. 이 용제 중에, 지지 프레임(60)의 1변의 단부를 침지시킨다.
도 20b는, 지지 프레임(60)의 1변의 단부를 용제(140)에 침지시킨 상태를 나타내는 단면도이다. 도 20b에 있어서, 지지 프레임(60)이 용제(140)에 침지된 부분에 있어서의 동그라미 표시는, 접착재(63)가 용제(140)에 녹기 시작하고 있는 도중 과정을 나타내고 있다. 도 20c는, 용제(140)에 침지된 범위의 접착재(63)가 제거된 상태를 나타내는 단면도이다.
본 실시 형태에서는, 도금은 상판(61)과 하판(62)의 단부면, 및 단부에 있어서 상판(61)과 하판(62)의 사이에 도금을 형성하는 구성이다. 도 20d의 상측의 도면은, 도금을 실시하기 전에 상판(61)과 하판(62)의 주면에 도금이 형성되지 않도록, 마스킹테이프(142)를 첩부한 상태를 나타내는 단면도이다. 도 20의 하측의 도면은, 도금액(143)이 도금조(145)에 수용되어 있는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 20e는, 지지 프레임(60)의 단부를 도금액(143)에 침지시킨 상태를 나타내는 단면도이다. 도 20e에 있어서, 도금액(143)과 접하고 있는 상판(61)과 하판(62)에 도금이 실시되게 된다. 도 20f는, 단부에 있어서, 상판(61)과 하판(62)의 사이 및 단부 측면에 도금(144)이 실시된 상태의 지지 프레임(60)을 도금조(145)로부터 취출한 상태를 나타내는 단면도이다. 도 20f의 상측에 도시한 바와 같이, 도금(144)은 하판(62)과 상판(61)의 사이를 충전해서 상판(61)과 하판(62)을 견고하게 접착하여, 전단력에 의한 상판(61)과 하판(62)의 어긋남을 방지할 수 있다. 이와 관련하여, 상판(61)과 하판(62) 사이의 도금 두께는, 접착재(63)와 동일한 두께이며, 15㎛ 내지 20㎛이다.
도 20a 내지 도 20f에 도시한 공정은, 지지 프레임(60)의 1변뿐만 아니라, 지지 프레임(60)의 4변에 적용된다. 도 20g는, 본 실시 형태에 의해 지지 프레임(60)에 도금(144)이 실시된 상태를 나타내는 평면도이다. 도 20g에 도시한 바와 같이, 도금(144)은, 지지 프레임(60)의 4변의 외측 단부 전역에 실시되고, 어느 방향으로의 전단력에 대해서도 대응할 수 있다. 또한, 도 20g의 점선은, 도금이 지지 프레임(60)의 단부에 있어서, 상판(61)과 하판(62)의 사이에 형성되어 있음을 나타내고 있다.
(실시 형태 2)
도 21a 내지 도 21e는, 실시예 4의 실시 형태 2를 나타내는 단면도이다. 도 21a는, 지지 프레임(60)의 단부를 용제(140)에 침지하여, 접착재(63)를 녹이고 있는 상태를 나타내는 단면도이며, 실시 형태 1에 있어서의 도 20b에 대응한다. 지지 프레임(60)에 있어서, 접착재(63)가 제거된 범위는 상판(61)과 하판(62)의 간격이 커지기 쉽다. 도 21b는, 지지 프레임(60)의 단부에 있어서, 상판(61)과 하판(62)의 간격이 크게 되어 있는 상태를 나타내는 단면도이다. 그렇게 하면, 상판(61)과 하판(62)에 도금(144)을 실시하여도, 상판(61)과 하판(62)이 도금(144)에 의해 접합되지 않는 상태가 발생한다.
도 21c는, 이것을 방지하기 위해서, 도금 전에 클램프(146)에 의해, 상판(61)과 하판(62)의 간격의 확대를 방지하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다. 도 21c의 상측의 도면에 있어서, 단부에 있어서 접착재(63)가 제거된 지지 프레임(60)에 대하여, 마스킹테이프(142)를 첩부하고, 그 후, 클램프(146)에 의해, 상판(61)과 하판(62)의 간격의 확대를 억제하여, 상판(61)과 하판(62)의 사이에 균일한 두께로 도금이 실시되도록 하고 있다. 클램프(146)는, 지지 프레임(60)의 1변 전체에 형성해도 되고, 이산적으로 형성해도 된다. 이 상태에서, 도 21c에 도시한 도금액(143)에 침지한다.
도 21d는, 클램프된 상태의 지지 프레임(60)을 도금액(143) 내에 침지하여, 도금(144)을 실시하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다. 도 21d는, 이와 같이 하여 단부가 도금된 지지 프레임(60)을 도금액(143)으로부터 취출한 상태를 나타내는 단면도이다. 도 21e는, 클램프(146) 및 마스킹테이프(142)를 제거한 상태를 나타내는 지지 프레임(60)의 단면도이다. 이와 같이 하여 형성된 실시 형태 2에 있어서의 지지 프레임(60)의 평면도는, 실시 형태 1에 있어서의 도 20g와 동일하다.
이와 같이, 본 실시 형태에 의한 지지 프레임(60)은, 단부에 있어서, 확실하게 상판(61)과 하판(62)을 도금(144)에 의해 접착할 수 있으므로, 전단력에 기인하는 어긋남을 확실하게 방지할 수 있다.
실시예 5
실시예 5의 지지 프레임(60)은, 단면 구조가 실시예 1 내지 4와는 다르다. 실시예 5의 지지 프레임(60)에 있어서는, 편면에 볼록부(611) 및 오목부(612)를 갖는 상판(61) 및 편면에 볼록부(621) 및 오목부(622)를 갖는 하판(62)을 준비하고, 상판(61) 혹은 하판(62)의 한쪽의 볼록부와, 상판(61) 혹은 하판(62)의 다른 쪽의 오목부를 끼워맞춰, 상판(61)과 하판(62)을 접합한다. 이와 같이 하여 형성된 지지 프레임(60)은, 서로 끼워맞춰진 볼록부와 오목부에 의해, 주면과 평행 방향으로 전단력이 발생해도, 상판(61)과 하판(62)의 어긋남은 발생하지 않는다.
(실시 형태 1)
도 22는, 실시예 5의 실시 형태 1에 의한 지지 프레임(60)의 제조 방법을 나타내는 단면도이다. 도 22에 있어서, 편면에 볼록부(611)와 오목부(612)가 형성된 상판(61) 및 편면에 볼록부(621)와 오목부(622)가 형성된 하판(62)을 준비한다. 이와 같은 판재는, 프레스로도, 기계 가공으로도 제작할 수 있다. 도 22에 있어서, 상판(61)과 하판(62)을, 요철면을 마주보게 하여 롤러에 의해 접합한다. 접합할 때, 지지 프레임(60)의 주면과 직각 방향의 힘에 의해, 상판(61)과 하판(62)이 박리되지 않도록, 노즐(153)로부터 접착면에 접착액(152)을 도포하면서 접합한다.
상판(61)과 하판(62)을 접합할 때, 롤러(150)에 의해, 상판(61) 혹은 하판(62)의 한쪽의 볼록부와, 상판(61) 혹은 하판(62)의 다른 쪽의 오목부를 끼워맞춰 접합하므로, 상판(61)과 하판(62)의 사이에 전단력이 가해져도, 상판(61)과 하판(62)의 주면 방향의 어긋남은 발생하지 않는다. 또한, 롤러(150)에 의해 찌부러뜨리면서 볼록부와 오목부를 끼워맞추므로, 볼록부 및 오목부의 제조 공차에 기인하는 어긋남도 방지할 수 있다.
도 23은, 이와 같이 하여 제작된 지지 프레임의 단면도이다. 도 23에 있어서는, 상판(61)의 볼록부와 하판의 오목부가 끼워맞춰져, 조합되어 있으므로, 전단력이 가해져도, 상판(61)과 하판(62)이 어긋나는 일은 없다. 또한, 상판(61)과 하판(62)의 사이에는, 접착재가 존재하고 있으므로, 주면과 수직 방향으로 힘이 가해져도 상판(61)과 하판(62)이 박리되는 일은 없다.
도 24는, 상판(61) 및 하판(62)에 볼록부 및 오목부가 형성된 면의 상태를 나타내는 도면이다. 도 24의 좌측이 상판(61)이며, 우측이 하판(62)이다. 도 24의 좌측의 도면에 있어서, 상판(61)에는, 볼록부(611)가 소정의 피치로 형성되어 있다. 상측은 평면도이며, 하측은 그 B-B 단면도이다. 도 24의 좌측의 도면에 있어서, 볼록부(611)는 섬형상으로 형성되고, 매트릭스형으로 배치되어 있다. 각 볼록부(611)의 평면 형상은, 도 24에서는 원형이지만, 정사각형이어도, 직사각형이어도 된다.
도 24의 우측의 도면에 있어서, 하판(62)에는, 상판(61)의 볼록부(611)에 대응하는 부분에 오목부(622)가 형성되어 있다. 도 24의 우측 도면의 상측은 평면도이며, 하측은 그 C-C 단면도이다. 하판(62)의 오목부(622)는, 상판(61)에 있어서의 볼록부(611)와 동일한 피치로 형성되고, 각 오목부(622)의 평면 형상은, 상판(61)에 있어서의 볼록부(611)와 동일하다. 도 24에 있어서, 상판(61)의 볼록부(611)와 하판(62)의 오목부(622)를 끼워맞춰 접합함으로써, 전단력이 가해져도, 상판(61)과 하판(62)의 어긋남이 발생하지 않는 지지 프레임(60)을 제작할 수 있다.
도 25는, 상판(61) 및 하판(62)의 오목부 및 볼록부가 형성된 면의 상태의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 24의 좌측이 상판(61)이며, 우측이 하판(62)이다. 도 24의 좌측의 도면에 있어서, 상판(61)에는, 볼록부(611)가 소정의 피치로 형성되어 있다. 상측은 평면도이며, 하측은 그 D-D 단면도이다.
도 25의 우측의 도면에 있어서, 하판(62)에는, 상판(61)과 마찬가지로, 볼록부(621)가 소정의 피치로 형성되어 있다. 상측은 평면도이며, 하측은 그 E-E 단면도이다. 즉, 하판(62)과 상판(61)은 동일한 것이다. 상판(61)과 하판(62)을 접합할 때, 상판(61)의 볼록부(611)를, 하판(62)의 점선의 동그라미로 나타내는 오목부와 끼워맞춘다. 하판(62)에 있어서, 4개의 볼록부(621) 사이의 스페이스가 오목부(622)를 구성하게 된다.
도 25에 있어서도, 효과는 도 24와 동일하다. 도 24의 구성에서는, 상판(61)과 하판(62)을 각각의 공정으로 형성할 필요가 있지만, 도 25의 구성에서는, 상판(61)과 하판(62)을 동시에 형성할 수 있다. 따라서, 제조 비용을 저감시킬 수 있다.
도 26은 지지 프레임(60)의 상판(61) 및 하판(62)에 형성하는 볼록부와 오목부의 다른 예를 나타내는 평면도이다. 도 26에 있어서, 상판(61)의 한쪽 면에는, 볼록부(611)가, 세로 방향(y 방향)으로 스트라이프형으로 형성되고, 가로 방향(x 방향)으로 소정의 피치로 형성되어 있다. 볼록부(611)와 볼록부(611)의 사이가 오목부(612)로 되어 있다. 도 26 내지 도 28에 있어서의 형태에서는, 상판(61)과 하판(62)은 동일한 형상이므로, 상판(61)만 기재하고 있다.
도 26에 있어서, 볼록부(611)의 피치 pp와 볼록부(611)의 폭 w를 w=p/2로 설정함으로써, 동일한 폭의 볼록부(611)와 오목부(612)가 동일한 피치로 형성되게 된다. 이와 같은 구성이면, 상판(61)과 하판(62)을 동시에 형성할 수 있다. 이와 같이 하여 형성한 상판(61)과 하판(62)의 볼록부와 오목부를 끼워맞춰서 지지 프레임(60)을 형성할 수 있다. 또한, 상판(61)과 하판(62)을 끼워맞출 때, 접착액(152)을 분사하는 것은 도 22에서 설명한 것과 마찬가지이다.
이와 같이 하여 형성된 지지 프레임(60)은, 가로 방향(도 26의 x 방향)에 가해지는 전단력에 대해서는, 상판(61)과 하판(62)이 어긋나는 일은 없다. 한편, 세로 방향(도 26의 y 방향)에 가해지는 전단력에 대해서도, 상판(61) 및 하판(62)에 형성된 요철에 의해 접착 면적이 증가하므로, 어느 정도의 효과는 있다. 그러나, 세로 방향으로 가해지는 전단력에 대해서는 충분하지 않다.
도 27은 지지 프레임(60)의 상판(61) 및 하판(62)에 형성하는 볼록부(611)와 오목부(612)의 다른 예를 나타내는 평면도이다. 도 27에 있어서, 상판(61)의 한쪽 면에는, 볼록부(611)가, 경사 방향으로 스트라이프형으로 연장되고, 그 직각 방향으로 소정의 피치로 형성되어 있다. 볼록부(611)와 볼록부(611)의 사이가 오목부(612)로 되어 있다. 도 27의 구성은, 볼록부(611)가 경사 방향으로 스트라이프형으로 형성되어 있는 것 이외에는 도 26과 동일하다.
도 27의 구성에 의한 상판(61)과 하판(62)을 끼워맞춰 형성한 지지 프레임(60)은, 가로 방향(도 27의 x 방향), 세로 방향(도 27의 y 방향)으로의 전단력은 분산되므로, 상판(61)과 하판(62)의 어긋남은, x 방향, y 방향 중 어느 것에서도 발생하기 어렵다. 단, x 방향 또는 y 방향으로의 전단력이 매우 큰 경우에는, 상판(61)과 하판(62)에 약간의 어긋남은 발생할 수 있다.
도 28은 지지 프레임(60)의 상판 및 하판에 형성하는 볼록부와 오목부의 다른 예를 나타내는 평면도이다. 도 28에 있어서, 상판(61)의 한쪽 면에는, 볼록부(611)가, 세로 방향으로 지그재그형으로 형성되고, 그 직각 방형으로 소정의 피치로 배열되어 있다. 볼록부(611)와 볼록부(611)의 사이가 오목부(612)로 되어 있다. 도 28의 구성은, 볼록부(61)가 지그재그형으로 형성되어 있는 것 외에는 도 26과 동일하다.
도 28의 구성에 의한 상판(61)과 하판(62)을 끼워맞춰서 형성한 지지 프레임(60)은, 가로 방향(도 28의 x 방향), 세로 방향(도 28의 y 방향)으로의 전단력은 분산되므로, 상판과 하판의 어긋남은, x 방향, y 방향 중 어느 것에서도 발생하기 어렵다. 특히, 지그재그의 각도가 45도이면, x 방향 혹은 y 방향에 가해지는 전단력은, 상하 좌우 모두 상쇄되어서 제로가 된다. 따라서, 가령 큰 전단력이 발생하여도, 상판(61)과 하판(62)은, 어긋나는 일은 없다.
또한, 도 26 내지 28의 구성은, 상판(61), 하판(62) 모두 동일한 부재로 할 수 있으므로, 제조 비용상 유리하다.
(실시 형태 2)
도 29는 실시예 5의 실시 형태 2의 구성의 제조 공정을 나타내는 단면도이다. 도 29에 있어서는, 상판(61)의 볼록부(611)의 단면, 및 하판(62)의 볼록부(621)의 단면이 삼각형인 점을 제외하고 실시 형태 1의 도 22와 동일하다. 도 29에 도시한 바와 같은 볼록부(611, 621)도 프레스 혹은 기계 가공으로 형성할 수 있다. 실시 형태 2에 있어서의 상판(61), 혹은 하판(62)의 평면 형상은 도 24 내지 도 28에서 설명한 것과 동일하다.
도 30은, 실시 형태 2에 있어서의 지지 프레임(60)의 단면도이다. 상판(61)의 볼록부(611) 및 하판(62)의 오목부(621)가 끼워맞춰짐으로써, 마스크(50)로부터, 지지 프레임(60)에 텐션이 가해져도, 상판(61)과 하판(62)이 어긋나는 일은 없다. 그런데, 실시 형태 2는 단면이 삼각형인 경우를 나타내고 있지만, 이 단면은, 삼각형으로 한정하지 않고, 삼각형의 정점에 곡률 R이 형성된 형상, 혹은 사다리꼴 등인 경우도 마찬가지이다.
(실시 형태 3)
도 31은 실시예 5의 실시 형태 3의 구성의 제조 공정을 나타내는 단면도이다. 실시 형태 3에서는, 상판(61)에 볼록부(65) 및 하판(62)에 볼록부(66)가 3차원 프린터에 의해 형성되어 있는 점이 실시 형태 1과 다르다. 3차원 프린터에 의해 볼록부(65, 66)를 형성한 것 이외에는, 실시 형태 1에 있어서의 도 22에서 설명한 것과 동일하다. 도 32는, 실시 형태 3에 있어서의 지지 프레임의 단면도이다. 볼록부(65, 66)가 3차원 프린터로 형성되어 있는 것 이외에는, 실시 형태 1에 있어서의 도 23에서 설명한 것과 동일하다.
실시 형태 3에 있어서의 상판(61), 혹은 하판(62)의 평면 형상은 도 24 내지 도 28에서 설명한 것과 동일하다. 예를 들어, 기계 가공에 의해 도 28에 도시한 바와 같이 볼록부(611)를 평면 형상이 지그재그가 되도록 형성하는 것은 비교적 어렵지만, 3차원 프린터에 의하면, 용이하게 형성할 수 있다.
이상의 실시예는, 유기 EL 표시 장치를, 증착 마스크를 사용하여 제조하는 경우에 대하여 설명하였다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 유기 EL 표시 장치 이외의 표시 장치에 있어서도, 고정밀 피치의 증착을 필요로 하는 경우의 증착 마스크로서 사용할 수 있다.
5: 증착 마스크
10: 표시 영역
11: 주사선
12: 영상 신호선
13: 전원선
14: 화소
20: 주사선 구동 회로
21: 프레임 영역
30: 단자 영역
31: 드라이버 IC
32: 플렉시블 배선 기판
40: 기판
50: 마스크
51: 개구 영역
52: 주변 영역
60: 지지 프레임
61: 상판
62: 하판
63: 접착재
65: 3차원 프린터에 의한 볼록부
66: 3차원 프린터에 의한 볼록부
70: 접합 부재
80: 증발물
90: 모재
91: 레지스트
92: 임시 고정 접착재
100: 스토퍼
110: 펀칭 공구
111: 타점
112: 구멍
113: 버
114: 상측 강체(적재대)
115: 하측 강체(억제대)
116: 엔드밀
117: 리머
120: 핀
121: 평행 핀
122: 중공 핀
123: 타격봉
130: 3차원 프린터용 노즐
131: 3차원 조형물
132: 연마 공구
133: 토출물
135: 강한 접착을 나타내는 마크
140: 용제
141: 용제조
142: 마스킹테이프
143: 도금액
144: 도금
145: 도금조
150: 롤러
152: 접착액
153: 노즐
150: 커먼 전극
151: 용량 절연막
152: 화소 전극
153: 배향막
611: 볼록부
612: 오목부
621: 볼록부
622: 오목부
900: 증착원
1000: 진공 증착 챔버
1121: 지지 프레임의 변형 부분
B: 청 발광체
G: 녹 발광체
R: 적 발광체
10: 표시 영역
11: 주사선
12: 영상 신호선
13: 전원선
14: 화소
20: 주사선 구동 회로
21: 프레임 영역
30: 단자 영역
31: 드라이버 IC
32: 플렉시블 배선 기판
40: 기판
50: 마스크
51: 개구 영역
52: 주변 영역
60: 지지 프레임
61: 상판
62: 하판
63: 접착재
65: 3차원 프린터에 의한 볼록부
66: 3차원 프린터에 의한 볼록부
70: 접합 부재
80: 증발물
90: 모재
91: 레지스트
92: 임시 고정 접착재
100: 스토퍼
110: 펀칭 공구
111: 타점
112: 구멍
113: 버
114: 상측 강체(적재대)
115: 하측 강체(억제대)
116: 엔드밀
117: 리머
120: 핀
121: 평행 핀
122: 중공 핀
123: 타격봉
130: 3차원 프린터용 노즐
131: 3차원 조형물
132: 연마 공구
133: 토출물
135: 강한 접착을 나타내는 마크
140: 용제
141: 용제조
142: 마스킹테이프
143: 도금액
144: 도금
145: 도금조
150: 롤러
152: 접착액
153: 노즐
150: 커먼 전극
151: 용량 절연막
152: 화소 전극
153: 배향막
611: 볼록부
612: 오목부
621: 볼록부
622: 오목부
900: 증착원
1000: 진공 증착 챔버
1121: 지지 프레임의 변형 부분
B: 청 발광체
G: 녹 발광체
R: 적 발광체
Claims (20)
- 표시 장치의 제조에 사용되는 증착 마스크로서,
상기 증착 마스크는, 화소에 증착물을 형성하기 위한 마스크와, 상기 마스크를 지지하는 지지 프레임으로 구성되고,
상기 지지 프레임은, 상판과 하판과, 상기 상판과 상기 하판을 접착하는 접착재에 의해 구성되며,
상기 상판과 상기 하판의 사이에 전단력이 가해졌을 때, 상기 지지 프레임의 주면 방향으로, 상기 상판과 상기 하판이 서로 어긋나는 것을 방지하기 위한 스토퍼를 갖는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제1항에 있어서,
상기 마스크는 도금에 의해 형성된 박형이며, 상기 표시 장치의 화소에 대응하여 다수의 구멍이 형성되어 있고, 상기 마스크와 상기 지지 프레임은 접합 부재에 의해 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제2항에 있어서,
상기 접합 부재는, 도금으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제1항에 있어서,
상기 스토퍼는, 상기 상판 및 상기 하판을 동시에 펀칭함으로써 형성되는 버에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제1항에 있어서,
상기 스토퍼는, 상기 상판 또는 상기 하판의 한쪽을 펀칭함으로써 형성되는 버에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제1항에 있어서,
상기 스토퍼는, 상기 상판과 상기 하판을 관통하는 구멍에 핀을 삽입하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제6항에 있어서,
상기 핀은 평행 핀인 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제6항에 있어서,
상기 핀은 중공 핀인 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제1항에 있어서,
상기 스토퍼는, 상기 하판 혹은 상기 상판의 한쪽의 주변 부분에 3차원 프린터에 의해 형성된 조형물인 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제1항에 있어서,
상기 상판 혹은 상기 상판의 한쪽의 평면 방향의 크기는, 상기 상판 혹은 상기 상판의 다른 쪽의 평면 방향의 크기보다도 크고,
상기 상판 혹은 상기 상판의 상기 한쪽의 단부에, 3차원 프린터에 의해 형성된 조형물이 형성되고,
상기 조형물이, 상기 스토퍼를 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제1항에 있어서,
상기 스토퍼는, 상기 지지 프레임의 주변에 있어서, 상기 상판과 상기 하판의 사이에 형성된 도금에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 표시 장치의 제조에 사용되는 증착 마스크로서,
상기 증착 마스크는, 화소에 증착물을 형성하기 위한 마스크와, 상기 마스크를 지지하는 지지 프레임으로 구성되고,
상기 지지 프레임은, 상판과 하판과, 상기 상판과 상기 하판을 접착하는 접착재에 의해 구성되며,
상기 상판의 한쪽 면에는, 소정의 피치로 볼록부가 형성되고, 상기 하판의 한쪽 면에는, 상기 소정의 피치로 오목부가 형성되며, 상기 볼록부와 상기 오목부가 끼워맞춰져 있는 구성인 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 볼록부는 섬형상으로 형성되고, 매트릭스형으로 배치되어 있으며,
상기 오목부는, 섬형상으로 형성되고, 매트릭스형으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제13항에 있어서,
상기 상판의 상기 한쪽 면과, 상기 하판의 상기 한쪽 면은 동일한 형상이며,
상기 하판의 상기 오목부는, 상기 하판에 형성된 볼록부의 사이에 끼워진 영역에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 볼록부는, 스트라이프형으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 볼록부는, 스트라이프형으로 형성되어 있고, 상기 스트라이프의 연장 방향은, 상기 지지 프레임의 변에 대하여 경사 방향인 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 볼록부는, 평면에서 볼 때 지그재그형으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 볼록부는 3차원 프린터에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 볼록부의 단면 형상은 직사각형인 것을 특징으로 하는 증착 마스크. - 제12항에 있어서,
상기 볼록부의 단면 형상은 삼각형인 것을 특징으로 하는 증착 마스크.
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|---|---|---|---|
| JP2019027241A JP7233954B2 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 蒸着マスク |
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|---|---|
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Family
ID=72144464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020217025912A KR102641271B1 (ko) | 2019-02-19 | 2020-01-31 | 증착 마스크 |
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- 2019-02-19 JP JP2019027241A patent/JP7233954B2/ja active Active
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2020
- 2020-01-31 KR KR1020217025912A patent/KR102641271B1/ko active IP Right Grant
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| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |