KR20210113496A - 마스크 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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백대원
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Abstract

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 마스크 제조 방법은, 제1 영역 및 제2 영역이 정의된 패턴 영역을 포함하는 마스크 시트를 서로 이격된 제1 롤러 및 제2 롤러에 배치하는 단계, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러를 회전시켜, 상기 패턴 영역을 노광 모듈 상에 배치하는 단계, 상기 노광 모듈을 통해 상기 제1 영역에 대한 제1 노광 공정을 수행하여, 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 노광 모듈을 통해 상기 제2 영역에 대한 제2 노광 공정을 수행하여, 상기 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

마스크 및 이의 제조 방법{MASK AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 마스크 및 이의 제조 방법에 관한 것이다
표시 패널은 복수의 화소들을 포함한다. 화소들 각각은 트랜지스터와 같은 구동 소자 및 유기발광 다이오드와 같은 표시 소자를 포함한다. 표시 소자는 기판 상에 전극과 발광 패턴을 적층하여 형성될 수 있다.
발광 패턴은 소정의 영역에 형성되도록 홀들이 정의된 마스크를 이용하여 패터닝된다. 발광 패턴은 개구부에 의해 노출된 영역에 형성될 수 있다. 발광 패턴의 형상은 개구부의 형상에 따라 제어될 수 있다.
본 발명의 목적은 표시 장치의 생산성을 향상시킬 수 있는 마스크 및 이의 제조 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 마스크 제조 방법은, 제1 영역 및 제2 영역이 정의된 패턴 영역을 포함하는 마스크 시트를 서로 이격된 제1 롤러 및 제2 롤러에 배치하는 단계, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러를 회전시켜, 상기 패턴 영역을 노광 모듈 상에 배치하는 단계, 상기 노광 모듈을 통해 상기 제1 영역에 대한 제1 노광 공정을 수행하여, 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 노광 모듈을 통해 상기 제2 영역에 대한 제2 노광 공정을 수행하여, 상기 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 마스크는, 제1 부분, 제2 부분, 및 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 배치된 제3 부분을 포함하는 몸체, 상기 제1 부분에 정의되고, 제1 방향으로 서로 제1 거리만큼 이격된 복수 개의 제1 셀 영역들, 및 상기 제2 부분에 정의되고, 상기 제1 방향으로 서로 제2 거리만큼 이격된 복수 개의 제2 셀 영역들을 포함한다. 상기 제3 부분의 상기 제1 방향으로의 폭은 상기 제1 거리 및 상기 제2 거리보다 크다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 패턴 영역의 제1 영역에 대한 제1 노광 공정을 수행하고 이어서 동일 패턴 영역의 제2 영역에 대한 제2 노광 공정을 수행함에 따라 하나의 마스크에 더 많은 수의 셀 영역들을 확보할 수 있어 표시 장치의 생산성이 향상될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 패턴을 형성하는 제1 영역과 제2 영역 사이에 제3 영역을 배치하여, 제1 영역 및 제2 영역들 중 어느 하나의 영역에서 발생한 불량이 다른 영역에 영향을 미치는 것을 최소화하여, 표시 장치의 불량률을 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 어셈블리를 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크의 사시도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크들을 도시하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크를 이용하여 표시 장치를 제조하는 과정을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크를 제조하는 공정들 중 노광 공정을 수행하는 시스템의 전체적인 모습을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 8은 도 7에 도시된 마스크 시트의 형상을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 9는 도 7에 도시된 제1 롤러 및 제2 롤러에 의해 제1 영역이 노광 모듈 상에 배치된 모습을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 10 내지 도 12는 도 9에 도시된 노광 모듈을 통해 마스크 시트에 노광 공정이 수행되는 과정을 예시적으로 도시하는 도면들이다.
도 13은 도 7에 도시된 제1 롤러 및 제2 롤러에 의해 제2 영역이 노광 모듈 상에 배치된 모습을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 14는 제1 및 제2 노광 공정들이 종료된 이후의 마스크 시트의 형상을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 15 내지 도 17은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들이 상세히 설명될 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 어셈블리를 예시적으로 도시하는 도면이다. 도 2는 도 1에 도시된 마스크의 사시도이다.
마스크 어셈블리(MA)는 표시 장치를 제조하는 공정에 이용될 수 있다. 구체적으로, 마스크 어셈블리(MA)는 표시 장치의 증착 기판에 유기 발광 소자층을 증착하는 공정에서 이용될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 마스크 어셈블리(MA)는 복수 개의 마스크들(MK) 및 마스크 프레임(MF)을 포함할 수 있다. 마스크 어셈블리(MA)는 제1 방향(DR1)으로 연장하는 변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장하는 변들을 갖는 사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 마스크 어셈블리(MA)는 표시 장치의 형상에 대응하여 다양한 형상을 가질 수 있다.
이하, 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의해 정의된 평면과 실질적으로 수직하게 교차하는 방향은 제3 방향(DR3)으로 정의된다. 본 명세서에서 "평면상에서 봤을 때"의 의미는 제3 방향(DR3)에서 바라본 상태를 의미할 수 있다.
마스크 프레임(MF)은, 평면상에서 바라봤을 때, 사각의 고리 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 마스크 프레임(MF)은 제1 방향(DR1)으로 연장하는 2개의 프레임들과 제2 방향(DR2)으로 연장하는 2개의 프레임들을 포함할 수 있다. 마스크 프레임(MF)의 중심부에는, 프레임들이 연결됨에 따라 개구부가 정의될 수 있다.
마스크 프레임(MF)은 충분한 강성을 가질 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임(MF)은 스테인리스 스틸(SUS), 인바(Invar) 합금, 니켈(Ni), 코발트(Co) 등과 같은 금속 물질을 포함할 수 있다.
마스크 프레임(MF)에는 마스크들(MK)이 고정될 수 있다. 예를 들어, 마스크들(MK)은 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 상태로 마스크 프레임(MF)에 고정될 수 있다. 마스크(MK)들 각각은 제1 방향(DR1)을 따라 연장할 수 있다. 마스크(MK)는 몸체(BO), 클램핑부(CP), 복수 개의 제1 셀 영역들(CEL1), 및 복수 개의 제2 셀 영역들(CEL2)을 포함할 수 있다.
몸체(BO)는 제1 방향(DR1)으로 연장하는 장변들을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 연장하는 단변들을 가질 수 있다. 평면상에서 바라봤을 때, 몸체(BO)는 제1 방향(DR1)으로 길게 연장하는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 클램핑부(CP)는 몸체(BO)의 단변들로부터 제1 방향(DR1)으로 연장할 수 있다. 클램핑부(CP)는 몸체(BO)가 마스크 프레임(MF)에 고정된 이후에 제거될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 몸체(BO)는 제1 부분(PP1), 제2 부분(PP2), 및 제3 부분(PP3)을 포함할 수 있다. 제3 부분(PP3)은 제1 부분(PP1)과 제2 부분(PP2) 사이에 배치될 수 있다. 제1 방향(DR1)을 기준으로, 제1 부분(PP1), 제3 부분(PP3), 및 제2 부분(PP2)이 순차적으로 배열될 수 있다.
제1 부분(PP1)의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 제1 길이(L1)일 수 있다. 제2 부분(PP2)의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 제2 길이(L2)일 수 있다. 제3 부분(PP3)의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 제3 길이(L3)일 수 있다. 제1 길이(L1)는 제2 길이(L2)와 같을 수 있다. 제3 길이(L3)는 제1 길이(L1)보다 작을 수 있다.
제1 셀 영역들(CEL1)은 제1 부분(PP1)에 정의될 수 있다. 평면상에서 바라봤을 때, 제1 셀 영역들(CEL1) 각각은 사각형 형상을 가질 수 있다. 제1 셀 영역들(CEL1) 각각의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 제4 길이(L4)일 수 있다. 제4 길이(L4)는 제1 길이(L1)보다 작을 수 있다. 도시하지는 않았으나, 제1 셀 영역(CEL1)의 면적은 실질적으로 하나의 표시 장치의 면적에 대응할 수 있다.
도 2에서는 제1 부분(PP1)에 정의되는 제1 셀 영역들(CEL1)의 개수를 4개로 도시하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 제1 셀 영역들(CEL1)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 실제로, 제1 부분(PP1)에 정의되는 제1 셀 영역들(CEL1)의 개수는 4개보다 많을 수 있다.
제1 셀 영역들(CEL1)은 제1 방향(DR1)으로 서로 이격될 수 있다. 예를 들어, 제1 방향(DR1)으로 서로 인접한 제1 셀 영역들(CEL1) 사이의 간격은 제1 거리(d1)일 수 있다. 제1 셀 영역들(CEL1) 각각에는 복수 개의 제1 홀들(H1)이 정의될 수 있다. 평면상에서 바라봤을 때, 제1 홀들(H1) 각각은 사각형 형상을 가질 수 있다. 제1 홀들(H1)은 두께 방향(예를 들어, 제3 방향(DR3))으로 몸체(BO)를 관통할 수 있다.
도 2에서는 하나의 제1 셀 영역(CEL1)에 정의되는 제1 홀들(H1)의 개수를 20개로 도시하였으나, 실제로 하나의 제1 셀 영역(CEL1)에 정의되는 제1 홀들(H1)의 개수는 이보다 많을 수 있다. 또한, 제1 홀들(H1)의 형상이 사각형 형상에 한정되는 것은 아니며, 제1 홀들(H1)의 형상은 다양하게 변경될 수 있다.
제2 셀 영역들(CEL2)은 제2 부분(PP2)에 정의될 수 있다. 평면상에서 바라봤을 때, 제2 셀 영역들(CEL2) 각각은 사각형 형상을 가질 수 있다. 제2 셀 영역들(CEL2) 각각의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 제5 길이(L5)일 수 있다. 본 실시 예에서 제5 길이(L5)는 제4 길이(L4)와 같을 수 있다.
제2 셀 영역들(CEL2)은 제1 방향(DR1)으로 서로 이격될 수 있다. 예를 들어, 인접한 제2 셀 영역들(CEL1) 사이의 간격은 제2 거리(d2)일 수 있다. 본 실시 예에서, 제2 거리(d2)는 제1 거리(d1)와 같을 수 있다.
제2 셀 영역들(CEL2) 각각에는 복수 개의 제2 홀들(H2)이 정의될 수 있다. 평면상에서 바라봤을 때, 제2 홀들(H2) 각각은 사각형 형상을 가질 수 있다. 제2 홀들(H2)은 두께 방향(예를 들어, 제3 방향(DR3))으로 몸체(BO)를 관통할 수 있다. 다만, 제2 홀들(H2)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 홀들(H2)의 형상은 마름모, 원형 등과 같이 다양하게 변경될 수 있다.
제3 부분(PP3)은 제1 부분(PP1)과 제2 부분(PP2)을 분리할 수 있다. 예를 들어, 제3 부분(PP3)은 제1 부분(PP1)과 제2 부분(PP2)사이에 배치될 수 있다. 제3 길이(L3)는 제1 길이(L1)보다는 작고, 제1 거리(d1)보다는 클 수 있다. 제3 부분(PP3)은 제1 부분(PP1) 및 제2 부분(PP2)들 중 어느 하나의 영역에서 발생한 불량(예컨대, 주름)이 다른 영역으로 확장되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 표시 장치를 제조하는 공정에서 표시 장치의 불량률이 감소될 수 있다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크들을 도시하는 도면이다.
도 3을 참조하면, 제1 홀(H1)은 제2 홀(H2)과 서로 다른 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 셀 영역들(CEL2)에 정의되는 제2 홀(H2)은, 평면상에서 바라봤을 때, 마름모 형상을 가질 수 있다. 결과적으로, 하나의 마스크(MK)에는 서로 다른 형상을 갖는 제1 홀(H1) 및 제2 홀(H2)이 정의될 수 있다. 이에 따라, 하나의 마스크(MK)를 이용하여 서로 다른 발광 패턴을 갖는 표시 장치들을 제조할 수 있다. 다만, 제1 홀(H1)과 제2 홀(H2)의 형상이 전술한 바에 한정되는 것은 아니다.
도 4를 참조하면, 제3 부분(PP3)에는 더미 패턴(DUP)이 정의될 수 있다. 더미 패턴(DUP)은 복수 개의 제3 홀들(H3)을 포함할 수 있다. 제3 홀들(H3)은 제3 방향(DR3)으로 몸체(BO)를 관통할 수 있다. 제3 홀들(H3)은 제1 홀들(H1) 및 제2 홀들(H2)을 형성하는 과정에서 함께 형성될 수 있다. 예를 들어, 평면상에서 바라봤을 때, 제3 홀들(H3)은 사각형 형상을 가질 수 있다. 다만, 제3 홀들(H3)의 형상이 이에 제한되는 것은 아니다. 제3 홀들(H3)은 원형, 다각형 등 다양한 형상으로 변형될 수 있다.
더미 패턴(DUP)의 제1 방향(DR)으로의 길이는 제6 길이(L6)일 수 있다. 제6 길이(L6)는 제1 셀 영역(CEL1)의 제4 길이(L4)보다 작을 수 있다. 본 실시 예에 따르면, 제3 영역(AE3)이 복수 개의 제3 홀들(H3)이 정의된 더미 패턴(DUP)을 포함함으로써, 제3 부분(PP3)은 제1 부분(PP1) 및 제2 부분(PP2)들 중 어느 하나의 영역에서 발생한 불량이 다른 영역으로 확장되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크를 이용하여 표시 장치를 제조하는 과정을 예시적으로 나타내는 도면이다. 이하에서는 전술한 마스크(MK)를 이용하여 표시 장치의 기판(SUB)에 유기 발광 소자를 증착하는 공정을 설명하도록 한다.
도 5를 참조하면, 증착 장비(ED)는 챔버(CHB), 증착원(S), 스테이지(ST), 구동 플레이트(PP), 및 마스크 어셈블리(MA)를 포함할 수 있다.
챔버(CHB)의 내부에는 증착원(S), 스테이지(ST), 이동 플레이트(PP) 및 마스크 어셈블리(MA)들이 배치될 수 있다. 챔버(CHB)는 밀폐된 공간을 형성할 수 있다. 챔버(CHB)는 적어도 하나의 게이트(GT)를 구비할 수 있다. 게이트(GT)를 통하여 챔버(CHB)가 개폐될 수 있다. 마스크 어셈블리(MA) 및 기판(SUB)은 챔버(CHB)에 구비된 게이트(GT)를 통하여 출입할 수 있다. 기판(SUB)은 표시 장치에서 증착물질이 증착되는 베이스 기판일 수 있다.
증착원(S)은 챔버(CHB) 내에서 하부에 배치될 수 있다. 증착원(S)은 증착물질을 포함할 수 있다. 상기 증착물질은 승화 또는 기화가 가능한 물질로 무기물, 금속, 또는 유기물 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 본 실시예에서 증착원(S)은 유기 발광 소자(미도시)를 제작하기 위한 유기물을 포함하는 경우를 예시적으로 설명한다.
스테이지(ST)는 증착원(S)의 상부에 배치될 수 있다. 스테이지(ST) 상에 마스크 어셈블리(MA)가 안착될 수 있다. 마스크 어셈블리(MA)는 증착원(S)과 대향할 수 있다. 평면 상에서 스테이지(ST)는 마스크 프레임(MF)과 중첩하여 마스크 어셈블리(MA)를 지지할 수 있다. 스테이지(ST)는 증착원(S)으로부터 기판(SUB)으로 공급되는 증착 물질의 이동 경로 외측에 배치될 수 있다.
마스크 어셈블리(MA) 위에는 기판(SUB)이 배치될 수 있다. 구동 플레이트(PP)는 기판(SUB) 위에 배치될 수 있다. 구동 플레이트(PP)는 기판(SUB)을 마스크 어셈블리(MA) 상에 정렬시킬 수 있다.
증착 물질은, 도 2에 도시된 마스크(MK)의 제1 홀들(H1) 및 제2 홀들(H2)들을 통해 기판(SUB)에 증착될 수 있다. 결과적으로, 기판(SUB) 상에는 마스크 어셈블리(MA)를 통해 유기 발광 소자가 증착될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크를 제조하는 방법에 대하여 설명하도록 한다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크를 제조하는 방법을 나타내는 순서도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크를 제조하는 공정들 중 노광 공정을 수행하는 시스템의 전체적인 모습을 개략적으로 도시하는 도면이다. 도 8은 도 7에 도시된 마스크 시트의 형상을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 단계(S1)에서는 마스크 시트(MS)를 제1 롤러(RO1) 및 제2 롤러(RO2) 상에 배치할 수 있다. 마스크 시트(MS)는 제3 방향(DR3)을 기준으로, 얇은 두께를 갖는 시트 형상을 가질 수 있다. 마스크 시트(MS)는 가요성을 가질 수 있다. 예를 들어, 마스크 시트(MS)는 중심축(CX)을 기준으로 권취되거나 권출될 수 있다. 중심축(CX)은 제2 방향(DR2)과 평행할 수 있다.
마스크 시트(MS)는 제1 포토레지스트(PR1), 금속층(ML), 및 제2 포토레지스트(PR2)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 포토레지스트(PR1)는 금속층(ML)의 상면에 배치되며, 제2 포토레지스트(PR2)는 금속층(ML)의 하면에 배치될 수 있다. 제1 포토레지스트(PR1) 및 제2 포토레지스트(PR2)들은 포지티브(positive)형 감광성 레지스트 물질을 포함할 수 있다. 다만, 제1 포토레지스트(PR1) 및 제2 포토레지스트(PR2)의 재료가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 및 제2 포토레지스트(PR1, PR2)는 네거티브(negative)형 감광성 레지스트 물질을 포함할 수도 있다. 제1 포토레지스트(PR1) 및 제2 포토레지스트(PR2)들 각각에는 후술하는 노광 공정들에 의하여 패턴들이 형성될 수 있다.
금속층(ML)은 충분한 강성을 가질 수 있다. 실질적으로, 금속층(ML)은 도 2에 도시된 마스크(MK)와 동일한 물질을 가질 수 있다. 예를 들어, 금속층(ML)은 인바 합금 등과 같은 금속 물질을 포함할 수 있다.
마스크 시트(MS)는 상면(UF)과 하면(BF)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같이, 상면(UF) 및 하면(BF)들은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)들에 의해 정의될 수 있다. 실질적으로, 마스크 시트(MS)의 상면(UF)은 제1 포토레지스트(PR1)의 상면을, 하면(BF)은 제2 포토레지스트(PR2)의 하면을 각각 의미할 수 있다.
마스크 시트(MS)는 복수 개의 패턴 영역들(PTA)을 포함할 수 있다. 패턴 영역들(PTA) 각각의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 도 2에 도시된 마스크(MK)의 몸체(BO)의 제1 방향(DR1)으로의 길이에 대응할 수 있다. 구체적으로, 패턴 영역들(PTA) 각각에는 제1 영역(AE1), 제2 영역(AE2), 및 제3 영역(AE3)들이 정의될 수 있다. 제3 영역(AE3)은 제1 영역(AE1)과 제2 영역(AE2) 사이에 배치될 수 있다.
제1 영역(AE1)의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 제1 길이(L1)일 수 있다. 제1 방향(DR1)을 기준으로, 제1 영역(AE1)은 제1 부분(PP1, 도 2 참조)과 동일한 길이를 가질 수 있다. 제2 영역(AE2)의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 제2 길이(L2)일 수 있다. 제1 방향(DR1)을 기준으로, 제2 영역(AE2)은 제2 부분(PP2, 도 2 참조)과 동일한 길이를 가질 수 있다. 다만, 제1 영역(AE1) 및 제2 영역(AE2)의 길이들 각각은 제1 부분(PP1)의 길이 및 제2 부분(PP2)의 길이보다 클 수도 있다. 제3 영역(AE3)의 제1 방향(DR1)으로의 길이는 제3 길이(L3)일 수 있다. 제1 방향(DR1)을 기준으로, 제3 영역(AE3)은 제3 부분(PP3, 도 2 참조)과 동일한 길이를 가질 수 있다.
제1 롤러(RO1)와 제2 롤러(RO2)는 마스크 시트(MS)를 이동시킬 수 있다. 제1 롤러(RO1)는 제2 롤러(RO2)로부터 이격될 수 있다. 예를 들어, 제3 방향(DR3)을 기준으로, 제1 롤러(RO1)는 제2 롤러(RO2)보다 높은 위치에 배치될 수 있다. 제1 롤러(RO1) 및 제2 롤러(RO2)들 각각은 마스크 시트(MS)에 접촉할 수 있다. 예를 들어, 제1 롤러(RO1)는 마스크 시트(MS)의 하면(BF)의 일부분에 접촉하고, 제2 롤러(RO2)는 마스크 시트(MS)의 상면(UF)의 일부분에 접촉할 수 있다.
제1 롤러(RO1)와 제2 롤러(RO2) 사이에는 노광 모듈(PRM)이 배치될 수 있다. 노광 모듈(PRM)은 적어도 하나의 노광기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 노광 모듈(PRM)은 제1 노광기(PRD1)를 포함할 수 있다. 제1 노광기(PRD1)는 마스크 시트(MS)의 적어도 일면에 노광 공정을 수행할 수 있다. 제1 노광기(PRD1)에 관한 자세한 사항은 후술될 것이다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 제1 롤러(RO1)와 마스크 시트(MS)가 권취된 중심축(CX) 사이에는 가이드 롤러(GRO)가 더 배치될 수 있다. 제3 방향(DR3)을 기준으로, 가이드 롤러(GRO)는 제1 롤러(RO1)와 동일한 높이에 배치될 수 있다. 가이드 롤러(GRO)는 중심축(CX)으로부터 권출된 마스크 시트(MS)를 제1 롤러(RO1)로 안내할 수 있다.
도 9는 도 7에 도시된 제1 롤러 및 제2 롤러에 의해 제1 영역이 노광 모듈 상에 배치된 모습을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 6 및 도 9를 참조하면, 단계(S2)에서는 패턴 영역(PTA)을 노광 모듈(PRM) 상에 배치할 수 있다. 이때, 마스크 시트(MS)는 제1 롤러(RO1) 및 제2 롤러(RO2)가 회전함에 따라 이동할 수 있다. 구체적으로, 제1 롤러(RO1)는 반시계 방향으로 회전하고, 제2 롤러(RO2)가 시계 방향으로 회전할 수 있다. 제1 및 제2 롤러들(RO1, RO2)과 마스크 시트(MS) 사이에는 마찰력이 작용할 수 있다. 이에 따라, 마스크 시트(MS)는 권출되어 제1 롤러(RO1)로부터 제2 롤러(RO2)를 향하여 이동할 수 있다.
패턴 영역(PTA)의 제1 영역(AE1)이 제1 노광기(PRD1) 상에 배치될 때, 제1 롤러(RO1) 및 제2 롤러(RO2)의 회전은 정지할 수 있다. 이때, 제3 영역(AE3) 및 제2 영역(AE2)은 제1 노광기(PRD1)와 제1 롤러(RO1) 또는 제1 롤러(RO1)의 부근에 배치될 수 있다.
제1 롤러(RO1)가 제2 롤러(RO2)로부터 제3 방향(DR3)으로 이격됨에 따라, 제1 롤러(RO1)와 제2 롤러(RO2) 사이에 배치된 마스크 시트(MS)의 부분은 제2 방향(DR2) 및 제3 방향(DR3)들에 의해 정의되는 평면과 평행하도록 배치될 수 있다.
다만, 제1 롤러(RO1) 및 제2 롤러(RO2)의 회전 방향이 전술한 바에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 롤러(RO1)는 시계 방향으로 회전하고, 제2 롤러(RO2)는 반시계 방향으로 회전하여 마스크 시트(MS)를 권취시킬 수도 있다.
도 10 내지 도 12는 도 9에 도시된 노광 모듈을 통해 마스크 시트에 수행되는 노광 공정을 설명하기 위한 도면들이다. 도 11은 도 10에 도시된 제1 노광 마스크(PMA1)의 평면도이다.
도 6 및 도 9 내지 도 12를 참조하면, 단계(S3)에서는 제1 영역(AE1)에 대한 제1 노광 공정을 수행하여 제1 영역(AE1)에 제1 패턴(PT1)을 형성할 수 있다. 제1 노광 공정은 진공 상태에서 수행될 수 있다. 제1 노광기(PRD1)가 1회 가동을 통해 노광 공정을 수행할 수 있는 범위는 제1 영역(AE1) 이내로 한정될 수 있다. 예를 들어, 길이 방향(예를 들어, 제3 방향(DR3))으로, 제1 노광기(PRD)의 가용한 노광 영역의 길이는 제1 길이(L1)와 같을 수 있다.
제1 노광기(PRD1)는 제1 영역(AE1)의 상면(UF) 및 하면(BF)에 제1 패턴(PT1)을 형성할 수 있다. 제1 노광기(PRD1)는 제1 서브 노광기(SPD1) 및 제2 서브 노광기(SPD2)를 포함할 수 있다. 제1 서브 노광기(SPD1)는 제1 영역(AE1)의 상면(UF)에 제1 노광 공정을 수행할 수 있다. 제1 서브 노광기(SPD1)는 제1 영역(AE1)의 상면(UF)에 제1 노광 마스크(PMA1)를 배치할 수 있다.
제1 노광 마스크(PMA1)에는 복수 개의 노광 라인들(PL)이 정의될 수 있다(도 11 참조). 노광 라인들(PL)은 제2 방향(DR2)으로 이격되고, 노광 라인들(PL) 각각은 제3 방향(DR3)을 따라 연장할 수 있다. 도 11에서는 제1 노광 마스크(PMA1)에 4개의 노광 라인들(PL)이 정의된 것으로 도시하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 실제로 제1 노광 마스크(PMA1)에 정의되는 노광 라인들(PL)의 개수는 더 많을 수 있다.
하나의 노광 라인(PL)은 실제로 도 2에 도시된 마스크(MK)의 제1 부분(PP1)에 대응할 수 있다. 구체적으로, 노광 라인(PL)은 4개의 그룹들(GU)을 포함할 수 있다. 그룹(GU)은 실제로 도 2에 도시된 제1 셀 영역(CEL1)에 대응할 수 있다. 그룹들(GU) 각각은 복수 개의 제1 노광홀들(PRH1)을 포함할 수 있다. 제1 노광홀(PRH1)은 도 2에 도시된 제1 홀(H1)과 동일한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 평면상에서 바라봤을 때, 제1 노광홀(PRH1)은 사각형 형상을 가질 수 있다. 제1 영역(AE1)의 상면(UF)에서 제1 노광홀들(PRH1)에 중첩하는 부분들은 제1 노광 마스크(PMA1) 외부로 노출될 수 있다.
제1 서브 노광기(SPD1)는 제1 영역(AE1)의 상면(UF)에 광을 조사할 수 있다. 이에 따라, 제1 영역(AE1)의 상면(UF)에는 제1 패턴(PT1)이 형성될 수 있다(도 12 참조). 구체적으로, 제1 패턴(PT1)은 제1 노광 마스크(PMA1)의 제1 노광홀들(PRH1)의 형상에 대응할 수 있다. 제1 노광홀들(PRH1)에 의해 광에 노출되는 제1 포토레지스트(PR1)의 부분들의 화학적 성질이 변할 수 있다.
제2 서브 노광기(SPD2)는 제1 영역(AE1)의 하면(BF)에 제1 노광 공정을 수행할 수 있다. 제2 서브 노광기(SPD2)는 제1 영역(AE1)의 하면(BF)에 제2 노광 마스크(PMA2)를 배치할 수 있다. 제2 노광 마스크(PMA2)에는 복수 개의 제2 노광홀들(PRH2)이 정의될 수 있다. 도시하지는 않았으나, 제2 노광 마스크(PMA2)는 제1 노광 마스크(PMA1)와 동일한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 노광홀들(PRH2) 각각은 제1 노광홀들(PRH1)과 동일한 형상을 가질 수 있고, 제2 노광홀들(PRH2)은 제1 노광홀들(PRH1)과 동일한 구조로 배열될 수 있다. 제1 영역(AE1)의 하면(BF)에서 제2 노광홀들(PRH2)에 중첩하는 부분들은 제2 노광 마스크(PMA2) 외부로 노출될 수 있다. 다만, 제2 노광 마스크(PMA2)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제2 노광 마스크(PMA2)의 제1 노광홀(PRH2)은 제1 노광홀(PRH1)과 다른 형상을 가질 수 있다.
제2 서브 노광기(SPD2)는 제1 영역(AE1)의 하면(BF)에 광을 조사할 수 있다. 제1 영역(AE1)의 하면(BF)에는 제1 패턴(PT1)이 형성될 수 있다(도 12 참조). 제1 패턴(PT1)은 제2 노광 마스크(PMA2)의 제2 노광홀들(PRH2)의 형상에 대응할 수 있다. 마스크 시트(MS)의 제2 포토레지스트(PR2)에서 제2 노광홀들(PRH2)에 의해 광에 노출되는 부분의 화학적 성질은 변화할 수 있다. 이로써, 제1 영역(AE1)에 대한 제1 노광 공정이 종료될 수 있다.
도 13은 도 7에 도시된 제1 롤러 및 제2 롤러에 의해 제2 영역이 노광 모듈 상에 배치된 모습을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 6 및 도 13을 참조하면, 단계(S4)에서는 제2 영역(AE2)을 노광 모듈(PRM)의 제1 노광기(PRD1) 상에 배치할 수 있다. 구체적으로, 제1 롤러(RO1) 및 제2 롤러(RO2)는 회전할 수 있다. 제1 패턴(PT1)이 형성된 제1 영역(AE1)은 제1 노광기(PRD1)의 외부로 반출될 수 있다. 제1 영역(AE1)과 제2 영역(AE2) 사이에 배치된 제3 영역(AE3)은 제1 노광기(PRD1) 내부를 거쳐 제1 노광기(PRD1)의 외부에 배치될 수 있다. 결과적으로, 제2 영역(AE2)이 제1 노광기(PRD1) 상에 배치될 때, 제1 영역(AE1)과 제3 영역(AE3)은 제1 노광기(PRD1)와 제2 롤러(RO2) 사이 또는 제2 롤러(RO2) 부근에 배치될 수 있다.
단계(S5)에서는 노광 모듈(PRM)을 통해 제2 영역(AE2)에 대한 제2 노광 공정을 수행하여, 제2 영역(AE2)에 제2 패턴을 형성할 수 있다. 제2 영역(AE2)에 대한 제2 노광 공정은 전술한 제1 노광 공정과 동일한 방식으로 진행될 수 있다. 예를 들어, 제1 노광기(PRD1)의 제1 서브 노광기(SPD1)는 제2 영역(AE2)의 상면(UF)에 제1 노광 마스크(PMA1)를 배치하고, 제2 영역(AE2)의 상면(UF)에 광을 조사할 수 있다. 이에 따라, 제2 영역(AE2)의 상면(UF)에는 제2 패턴이 형성될 수 있다.
제2 서브 노광기(SPD2)는 제2 영역(AE2)의 하면(BF)에 제2 노광 마스크(PMA2)를 배치하고, 제2 영역(AE2)의 하면(BF)에 광을 조사할 수 있다. 이에 따라, 제2 영역(AE2)의 하면(BF)에는 제2 패턴이 형성될 수 있다. 본 실시 예에 따르면, 제1 패턴(PT1)과 제2 패턴은 동일한 노광기(제1 노광기(PRD1))에 의해 수행되므로 동일한 형상을 가질 수 있다. 이로써, 제2 영역(AE2)에 대한 제2 노광 공정이 종료될 수 있다.
이어서, 제1 롤러(RO1) 및 제2 롤러(RO2)는 회전하여 제2 영역(AE2)을 제1 노광기(PRD1)의 외부로 반출하고, 그 다음 패턴 영역(PTA)의 제1 영역(AE1)을 제1 노광기(PRD1) 상에 배치할 수 있다. 전술한 단계들(S1~S5)이 반복적으로 수행되어, 마스크 시트(MS)의 복수 개의 패턴 영역(PTA)들 각각에는 제1 패턴 및 제2 패턴이 형성될 수 있다.
도 14는 제1 및 제2 노광 공정들이 종료된 이후의 마스크 시트의 형상을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 14를 참조하면, 제1 노광 공정과 제2 노광 공정들이 종료된 후, 하나의 패턴 영역(PTA)에는 복수 개의 마스크 패턴들(MAT)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 하나의 패턴 영역(PTA)에는 4개의 마스크 패턴들(MAT)이 형성될 수 있다. 마스크 패턴들(MAT) 각각은 도 2에 도시된 마스크(MK)의 몸체(BO)에 대응할 수 있다. 마스크 패턴들(MAT)이 형성된 마스크 시트(MS)는 노광 공정 이후의 다양한 공정들(예컨대, 습식 에칭 등)을 거쳐 도 2에 도시된 마스크(MK)로 제작될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 하나의 패턴 영역(PTA)에 제1 노광 공정과 제2 노광 공정을 나누어 수행하기 때문에, 제1 노광기(PRD1)의 가용한 노광 영역의 길이보다 더 큰 길이를 갖는 마스크(MK)를 제조할 수 있다. 이에 따라, 표시 장치의 생산 효율이 증가할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 제1 및 제2 노광 공정 시, 마스크 시트(MS)의 패턴 영역(PTA)이 중력 방향(제3 방향(DR3))과 나란하게 배치됨에 따라 마스크 시트(MS)의 패턴 영역(PTA)에 주름이 발생하는 문제를 개선할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 제1 및 제2 노광 공정이 수행되는 제1 영역(AE1)과 제2 영역(AE2) 사이에 제3 영역(AE3)을 의도적으로 배치함으로써, 제1 영역(AE1) 및 제2 영역(AE2)들 중 어느 하나의 영역에서 발생하는 불량이 다른 영역에 영향을 주는 문제를 방지할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 패턴 영역의 제1 영역에 대한 제1 노광 공정을 수행하고 이어서 동일 패턴 영역의 제2 영역에 대한 제2 노광 공정을 수행함에 따라 하나의 마스크에 더 많은 수의 셀 영역들을 확보할 수 있어 표시 장치의 생산성이 향상될 수 있다.
전술한 단계들(S1 ~ S5)은 도 2에 도시된 마스크(MK)를 제조하는 방법에 관한 것이나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 전술한 단계들(S1 ~ S5)은 본 발명의 범주 내에서 변경될 수 있다. 예를 들어, 노광 모듈(PRM)은 패턴 영역(PTA)에 도 2에 도시된 클램핑부(CP)에 대응하는 패턴을 형성할 수도 있다. 예를 들어, 제1 노광기(PRD1)의 노광 마스크는 클램핑부(CP)에 대응하는 홈을 더 구비할 수 있다. 이 경우, 제1 노광기(PRD1)는, 제1 노광 공정과 제2 노광 공정 사이에, 제1 방향(DR1)에 대해 180° 회전할 수 있다. 여기서, 제1 방향(DR1)은 마스크 시트(MS)의 상면(UF)과 수직한 방향일 수 있다. 이에 따라, 제3 영역(AE3)을 중심으로 서로 대칭적인 형상을 갖는 클램핑부(CP)가 형성될 수 있다.
도 3에 도시된 더미 패턴(DUP)은 제3 영역(AE3)은 제1 노광 공정 또는 제2 노광 공정에 의해 제작될 수 있다. 예를 들어, 제1 영역(AE1)과 제2 영역(AE2)을 제1 길이(L1)(또는 제 2 길이(L2)) 보다 작게 설계할 경우, 제1 및 제2 노광 공정에 의해 제1 영역(AE1)과 제2 영역(AE2) 사이에 배치된 제3 영역(AE3)에도 패턴이 형성되어 더미 패턴(DUP)에 정의된 제3 홀들(H1)이 형성될 수 있다.
이하에서는 전술한 실시 예와 다른 실시 예들에 따른 마스크 제조 방법에 대하여 설명한다. 이하의 도면에서는 전술한 실시 예와 동일한 구성에 관하여는 동일한 참조부호를 이용하여 도시하였다. 따라서, 동일한 구성에 대한 설명은 생략하고, 차이가 있는 구성을 위주로 상세히 설명하도록 한다.
도 15는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 15를 참조하면, 노광 모듈(PRM-1)은 제1 노광기(PRD1-1) 및 제2 노광기(PRD2-1)를 포함할 수 있다. 제1 노광기(PRD1-1)는 제2 노광기(PRD2-1)로부터 이격될 수 있다. 구체적으로, 제3 방향(DR3)을 기준으로, 제1 노광기(PRD1-1)와 제2 노광기(PRD2-1) 사이의 거리는 제3 길이(L3)와 같을 수 있다. 실질적으로, 제1 노광기(PRD1-1)와 제2 노광기(PRD2-1) 사이의 거리는 제3 영역(AE3)의 길이와 같을 수 있다.
본 실시 예에서, 제1 노광기(PRD1-1)는 제1 영역(AE1)에 대한 제1 노광 공정을 수행하고, 제2 노광기(PRD2-1)는 제2 영역(AE2)에 대한 제2 노광 공정을 수행할 수 있다. 제1 노광 공정과 제2 노광 공정은 동시에 수행될 수 있다.
제1 노광기(PRD1-1)에 의해 제1 영역(AE1)에는 제1 패턴이 형성될 수 있다. 제2 노광기(PRD2-1)에 의해 제2 영역(AE2)에는 제2 패턴이 형성될 수 있다.
제1 패턴은 제2 패턴과 다를 수 있다. 예를 들어, 제1 노광기(PRD1-1)의 제1 노광 마스크은 제2 노광기(PRD2-1)의 제2 노광 마스크와 다른 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 평면상에서 바라봤을 때, 제1 노광 마스크의 제1 노광홀은 사각형 형상을 갖고, 제2 노광 마스크의 제2 노광홀은 마름모 형상을 가질 수 있다.
이에 따라, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 부분(PP1)과 제2 부분(PP2)에 서로 다른 형상을 갖는 홀들이 정의된 마스크(MK)가 제조될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 2개의 노광기를 이용하여 제1 영역(AE1)과 제2 영역(AE2)에 동시에 노광 공정을 수행할 수 있어 마스크를 제조하는 공정 시간이 짧아질 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 하나의 마스크(MK)의 제1 부분(PP1)과 제2 부분(PP2)에 서로 다른 패턴을 형성함으로써, 하나의 마스크(MK)로 서로 다른 발광 패턴들을 갖는 표시 장치들을 제조할 수 있다.
도 16 및 도 17은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 16을 참조하면, 노광 모듈(PRM-2)은 제1 노광기(PRD1-2), 제2 노광기(PRD2-2), 및 복수 개의 서브 롤러들(SRO1, SRO2, SRO3, SRO4)을 포함할 수 있다. 제1 노광기(PRD1-2)는 제2 노광기(PRD2-2)로부터 이격될 수 있다. 구체적으로, 제2 노광기(PRD2-2)는 제1 노광기(PRD1-2)로부터 제1 방향(DR1)으로 이격되어 배치될 수 있다. 제1 노광기(PRD1-2)는 제1 롤러(RO1)에 인접하게 배치될 수 있다. 제2 노광기(PRD2-2)는 제2 롤러(RO2)에 인접하게 배치될 수 있다. 제1 노광기(PRD1-2)와 제2 노광기(PRD2-2)는 서로 평행하게 배치될 수 있다.
서브 롤러들(SRO1, SRO2, SRO3, SRO4)은 제1 노광기(PRD1-2)와 제2 노광기(PRD2-2) 사이에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 내지 제4 서브 롤러들(SRO1, SRO2, SRO3, SRO4)는 제1 노광기(PRD1-2)로부터 제2 노광기(PRD2-2)를 향하는 방향으로 순차적으로 배열될 수 있다. 제1 서브 롤러(SRO1)와 제2 서브롤러(SRO2)는 제1 수평 경로를 형성할 수 있다. 제2 서브 롤러(SRO2)와 제3 서브 롤러(SRO3)는 수직 경로를 형성할 수 있다. 제3 서브 롤러(SRO3) 및 제4 서브 롤러(SRO4)는 제2 수평 경로를 형성할 수 있다. 다만, 제1 노광기(PRD1-2)와 제2 노광기(PRD2-2) 사이에 배치되는 서브 롤러들(SRO)의 개수 및 배치 구조가 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 노광기(PRD1-2)는 패턴 영역의 제1 영역(AE1)에 제1 패턴을 형성하고, 제2 노광기(PRD2-2)는 패턴 영역의 제2 영역(AE2)에 제2 패턴을 형성할 수 있다. 제1 패턴과 제2 패턴은 동일하거나 서로 상이할 수 있다.
도 17을 참조하면, 노광 모듈(PRM-3)은 복수 개의 노광기들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 노광 모듈(PRM-3)은 제1 내지 제N 노광기들(PRD1-3 ~ PRDn-3)을 포함할 수 있다. N은 2보다 큰 자연수이다. 인접한 2개의 노광기들 사이에는 서브 롤러들(SRO)이 배치될 수 있다. 제1 내지 제N 노광기들(PRD1-3 ~ PRDn-3)은 서로 평행하게 배치될 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 제1 내지 제N 노광기들(PRD1-3 ~ PRDn-3)은 다양한 방식으로 노광 공정을 수행할 수 있다. 예를 들어, N개의 노광기들 중 홀수 번째 노광기들은 제1 영역에 제1 노광 공정을 수행하고, 짝수 번째 노광기들은 제2 영역에 제2 노광 공정을 수행할 수 있다. 또는, N개의 노광기들은 연속적으로 배열되는 N개의 영역들에 N회에 걸쳐 노광 공정을 수행하여 길이가 긴 마스크를 제작하는데 이용될 수도 있다. 제1 내지 제N 노광기들(PRD1-3 ~ PRDn-3)이 형성하는 패턴들은 동일하거나 서로 상이할 수 있다.
이상 여러 실시 예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
MA: 마스크 어셈블리 MK: 마스크
MF: 마스크 프레임 MS: 마스크 시트
RO1: 제1 롤러 RO2: 제2 롤러
PTA: 패턴 영역 AE1: 제1 영역
AE2: 제2 영역 PRM: 노광 모듈

Claims (20)

  1. 제1 영역 및 제2 영역이 정의된 패턴 영역을 포함하는 마스크 시트를 서로 이격된 제1 롤러 및 제2 롤러 상에 배치하는 단계;
    상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러를 회전시켜, 상기 패턴 영역을 노광 모듈 상에 배치하는 단계;
    상기 노광 모듈을 통해 상기 제1 영역에 대한 제1 노광 공정을 수행하여, 상기 제1 영역에 제1 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 노광 모듈을 통해 상기 제2 영역에 대한 제2 노광 공정을 수행하여, 상기 제2 영역에 제2 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 마스크 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 영역은 상기 제1 영역과 제2 영역 사이에 배치되고 노광 공정이 수행되지 않는 제3 영역을 더 포함하는 마스크 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 노광 모듈은 제1 노광기를 포함하고,
    상기 제1 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러를 회전시켜, 상기 제1 영역을 상기 제1 노광기 상에 배치시키는 단계; 및
    상기 제1 노광기를 통해 상기 제1 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 마스크 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러를 회전시켜, 상기 제2 영역을 상기 제1 노광기 아래에 배치하는 단계; 및
    상기 제1 노광기를 통해 상기 제2 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 마스크 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 노광 모듈은 제1 서브 노광기 및 제2 서브 노광기를 포함하고,
    상기 제1 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 제1 서브 노광기를 통해 상기 제1 영역의 상면에 제1 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 서브 노광기를 통해 상기 상면과 반대하는 상기 제1 영역의 하면에 제1 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 마스크 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 서브 노광기를 통해 상기 제2 영역의 상면에 제2 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 서브 노광기를 통해 상기 상면과 반대하는 상기 제2 영역의 하면에 제2 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 마스크 제조 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 제1 패턴에 대응하는 복수 개의 홀들이 정의된 노광 마스크를 상기 제1 영역 상에 배치하는 단계; 및
    상기 홀들을 통해 노출되는 제1 영역의 부분들을 광에 노출시키는 단계를 포함하는 마스크 제조 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 롤러는 상기 제2 롤러 및 상기 노광 모듈보다 위에 배치되는 마스크 제조 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 시트는,
    금속층;
    상기 금속층의 일면 상에 배치된 제1 포토레지스트; 및
    상기 금속층의 상기 일면에 반대하는 상기 금속층의 반대면 상에 배치된 제2 포토레지스트를 포함하는 마스크 제조 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 노광 모듈은,
    제1 노광기; 및
    상기 제1 노광기로부터 이격된 제2 노광기를 포함하는 마스크 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1 패턴을 형성하는 단계는 상기 제1 노광기에 의해 수행되고, 상기 제2 패턴을 형성하는 단계는 상기 제2 노광기에 의해 수행되는 마스크 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 패턴은 상기 제2 패턴과 상이한 패턴 형상을 갖는 마스크 제조 방법.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1 노광기 및 상기 제2 노광기 사이에 배치된 하나 이상의 서브 롤러를 더 포함하는 마스크 제조 방법.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 시트는 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 의해 정의된 평면을 갖고,
    상기 노광 모듈을 상기 평면에 수직한 제3 방향에 대해 180도 회전시키는 단계를 포함하는 마스크 제조 방법.
  15. 제1 부분, 제2 부분, 및 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 배치된 제3 부분을 포함하는 몸체;
    상기 제1 부분에 정의되고, 제1 방향으로 서로 제1 거리만큼 이격된 복수 개의 제1 셀 영역들; 및
    상기 제2 부분에 정의되고, 상기 제1 방향으로 서로 제2 거리만큼 이격된 복수 개의 제2 셀 영역들을 포함하고,
    상기 제3 부분의 상기 제1 방향으로의 폭은 상기 제1 거리 및 상기 제2 거리보다 큰 마스크.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제1 셀 영역들 각각에는 제1 형상을 갖는 제1 홀들이 정의되고,
    상기 제2 셀 영역들 각각에는 제2 형상을 갖는 제2 홀들이 정의되는 마스크.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제1 형상은 상기 제2 형상과 같은 마스크.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 제1 형상은 상기 제2 형상과 상이한 마스크.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 제3 부분은 제3 홀들이 정의된 더미 패턴을 더 포함하는 마스크.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 더미 패턴의 상기 제1 방향으로의 폭은 상기 제1 셀 영역 및 상기 제2 셀 영역의 상기 제1 방향으로의 폭보다 작은 마스크.
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