KR20210076518A - 오염방지를 위한 소자증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 오염방지를 위한 소자증착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내부에 증착대상물이 위치되는 증착공간부를 갖는 증착챔버, 상기 증착챔버에 구비되어 증착대상물에 소자를 증착시키기 위한 증착부, 상기 증착공간부를 감싸도록 위치되어 증착시 발생되는 이물질이 증착대상물에 붙착되는 것을 방지하기 위한 방착부, 및 상기 방착부를 상기 증착챔버에 탈부착시키기 위한 탈부착수단,을 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 소자 증착 시, 발생되는 미세이물질을 부착시켜 증착대상물의 오염을 방지 및 최소화시킴에 따라, 제품신뢰성을 향상시킬 수 있고, 이물질이 부착된 방착판을 용이하게 처리할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있다.

Description

오염방지를 위한 소자증착장치{Deposition apparatus for pollution prevention}
본 발명은 소자증착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증착대상물에 소자를 증착시키되, 방착부를 이용하여 증착공간부의 이물질을 부착시켜 증착대상물의 오염을 방지함에 따라, 신뢰성을 향상시키고, 방착부를 용이하게 탈부착시킬 수 있어 교체 및 세척을 용이하게 할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있는 오염방지를 위한 소자증착장치에 관한 것이다.
일반적으로, 표시 장치, 반도체, 태양 전지 등을 제작하는 공정에는 대부분 증착 공정이 포함되는 것으로, 다수의 박막이 증착 공정을 통해 형성된다.
다양한 종류의 증착 공정 중 증착물을 증발시켜 기판에 박막을 형성하는 기상 증착 공정은 주로 열 증착 공정에 의하여 진공 상태의 증착 챔버 내에서 이루어진다.
즉, 등록특허 제10-1662606호에 개진된 바와 같이, 증착 챔버 내부에 기판(이하, 증착대상물이라 함.)이 설치되고, 그 증착대상물의 일면에 대향하는 증착원이 설치되어, 증착원에 담긴 증착물을 가열하여 증착물이 증발되도록 함으로써, 기체 상태의 증착물이 진공에서 증착대상물에 닿아 응고하게 되고, 이러한 과정으로 증착대상물에 박막을 형성하는 것이다.
하나의 증착공정이 끝나면 가열을 중단시킨 후, 박막이 형성된 증착대상물은 배출되고, 새로운 증착대상물이 유입되지만, 증착물의 기화를 순간적으로 온 또는 오프시켜 열을 제어할 수 없어 증착물의 기화가 발생된다.
이러한 기화된 증착물이 챔버의 다른 부분에 증착되는 것을 방지하도록 방착판을 구비하여 대신 부착시켜 이물질을 제거하고 있다.
그러나 일정 기간 사용된 방착판은 세척을 해야되며, 방착판의 면에 부착된 이물질은 쉽게 세척되지 않아 새로운 방착판으로 교체하는 사용하지만, 이 역시, 작업이 원활하지 않아 시간과 비용이 발생되는 문제점이 있다.
이에 따라, 불필요한 증착물을 제거함은 물론, 세척 또는 교체가 용이하게 하여 작업시간과 비용을 절감시켜 작업효율을 향상시킬 수 있는 기술에 대한 개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 내부에 증착대상물이 위치되는 증착공간부를 갖는 증착챔버, 상기 증착챔버에 구비되어 증착대상물에 소자를 증착시키기 위한 증착부, 상기 증착공간부를 감싸도록 위치되어 증착시 발생되는 이물질이 증착대상물에 붙착되는 것을 방지하기 위한 방착부, 및 상기 방착부를 상기 증착챔버에 탈부착시키기 위한 탈부착수단,을 포함하여 소자 증착 시, 발생되는 미세이물질을 부착시켜 증착대상물의 오염을 방지 및 최소화시킴에 따라, 제품신뢰성을 향상시킬 수 있고, 이물질이 부착된 방착판을 용이하게 처리할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있는 오염방지를 위한 소자증착장치를 제공하는 것이 목적이다.
상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 내부에 증착대상물이 위치되는 증착공간부를 갖는 증착챔버, 상기 증착챔버에 구비되어 증착대상물에 소자를 증착시키기 위한 증착부, 상기 증착공간부를 감싸도록 위치되어 증착시 발생되는 이물질이 증착대상물에 붙착되는 것을 방지하기 위한 방착부, 및 상기 방착부를 상기 증착챔버에 탈부착시키기 위한 탈부착수단,을 포함한다.
바람직하게, 상기 방착부는, 일정 사이즈를 갖는 방착판, 및 상기 증착부를 향하는 상기 방착판의 전면에 위치되어 이물질이 부착되기 위한 방착매시,를 포함한다.
그리고 상기 방착매시로 이물질을 유도하여 부착시키기 위한 방착유도부,를 더 포함한다.
또한, 상기 방착유도부는, 상기 방착판과 증착챔버 사이에 구비되는 방착유도프레임, 상기 방착판에 일정 간격으로 형성되는 복수의 방착유도공, 상기 각 방착유도공에 대응되도록 상기 방착유도프레임에 구비되는 방착흡입구, 및 일직선상에 위치된 상기 복수의 방착유도공과 방착흡입구를 통해 상기 증착공간부의 기체 중 일부를 흡입하여 이물질이 상기 방착매시에 부착되도록 유도하는 방착유도흡입부,를 포함한다.
그리고 상기 방착유도흡입부에 의해 흡입되는 기체의 성분을 측정하기 위한 방착유도센서, 및 상기 방착유도센서의 신호를 수신하여 상기 방착유도흡입부를 제어하여 흡입량을 조절하는 방착유도제어부,를 더 포함한다.
또한, 상기 탈부착수단은, 상기 증착챔버에 구비되는 걸쇠고정브래킷, 및 상기 걸쇠고정브래킷에 걸려지도록 상기 방착판에 구비되는 걸쇠,를 포함한다.
그리고 상기 탈부착수단은, 상기 증착챔버에 구비되는 레일, 및 상기 레일을 따라 이동가능하도록 상기 방착판에 회전 가능하도록 구비되는 롤러,를 포함한다.
또한, 상기 탈부착수단은, 상기 방착판을 상기 증착챔버에 걸어서 설치하기 위한 걸쇠부, 및 상기 방착판을 상기 증착챔버에 이동시켜 설치하기 위한 레일부,를 포함한다.
그리고 상기 걸쇠부는, 상기 증착챔버에 구비되는 걸쇠고정브래킷, 및 상기 걸쇠고정브래킷에 걸려지도록 상기 방착판에 구비되는 걸쇠,를 포함한다.
또한, 상기 레일부는, 상기 증착챔버에 구비되는 레일, 및 상기 레일을 따라 이동가능하도록 상기 방착판에 회전 가능하도록 구비되는 롤러,를 포함한다.
그리고 상기 레일에 위치된 롤러가 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈방지부,를 더 포함한다.
또한, 상기 이탈방지부는, 상기 레일 중 일부분에 개방되도록 형성되는 이탈방지이동공, 상기 이탈방지이동공에 구비되는 이탈방지편, 상기 이탈방지편을 상기 레일의 내측으로 이동시켜 상기 롤러가 이동되는 것을 방지하는 이탈방지구동부, 및 상기 이탈방지구동부를 제어하기 위한 이탈방지제어부,를 포함한다.
그리고 일단부가 상기 이탈방지편의 해당 단부에 회전 가능하도록 연결되고, 타단부는 상기 레일을 따라 이동 가능하게 구비되는 이탈방지보조편,을 더 포함하고, 상기 이탈방지편이 레일 내측으로 이동될 경우, 각 이탈방지보조편의 일단부가 함께 이동됨과 동시에, 타단부가 레일을 따리 이동되어 상기 롤러와 닿아 이동을 방지한다.
또한, 상기 레일에 상기 롤러의 위치를 감지하기 위한 감지센서,를 더 포함하고, 상기 이탈방지제어부는 상기 감지센서의 신호를 수신하여 상기 이탈방지구동부를 제어한다.
그리고 상기 이탈방지구동부는, 상기 이탈방지편의 일단부를 이동시키기 위한 제1이탈방지구동부, 및 상기 이탈방지편의 타단부를 이동시키기 위한 제2이탈방지구동부,를 포함하고, 상기 레일에 위치된 롤러와 닿도록 상기 이탈방지편을 제어한다.
또한, 상기 레일에 상기 롤러의 위치를 감지하기 위한 감지센서,를 더 포함하고, 상기 이탈방지제어부는 상기 감지센서의 신호를 수신하여 상기 제1이탈방지구동부와 제2이탈방지구동부 중 어느 하나 이상을 제어한다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 오염방지를 위한 소자증착장치에 의하면, 소자 증착 시, 발생되는 미세이물질을 부착시켜 증착대상물의 오염을 방지 및 최소화시킴에 따라, 제품신뢰성을 향상시킬 수 있고, 이물질이 부착된 방착판을 용이하게 처리할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.
도 1은 본 발명에 따른 오염방지를 위한 소자증착장치를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 방착부를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명에 따른 방착부에 방착유도부가 더 구비된 상태를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 탈부착수단을 도시한 도면이며,
도 5는 본 발명에 따른 탈부착수단의 다른 실시 예를 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에 따른 탈부착수단의 또 다른 실시 예를 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에 따른 이탈방지부를 도시한 도면이고,
도 8은 본 발명에 따른 이탈방지부의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다. 이하의 상세한 설명은 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해서 구체적 세부사항을 포함한다. 그러나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 이러한 구체적 세부사항 없이도 실시될 수 있음을 안다.
몇몇 경우, 본 발명의 개념이 모호해지는 것을 피하기 위하여 공지의 구조 및 장치는 생략되거나, 각 구조 및 장치의 핵심기능을 중심으로 한 블록도 형식으로 도시될 수 있다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함(comprising 또는 including)"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부"의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미한다. 또한, "일(a 또는 an)", "하나(one)", "그(the)" 및 유사 관련어는 본 발명을 기술하는 문맥에 있어서(특히, 이하의 청구항의 문맥에서) 본 명세서에 달리 지시되거나 문맥에 의해 분명하게 반박되지 않는 한, 단수 및 복수 모두를 포함하는 의미로 사용될 수 있다.
본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 오염방지를 위한 소자증착장치를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 방착부를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 방착부에 방착유도부가 더 구비된 상태를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 탈부착수단을 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 탈부착수단의 다른 실시 예를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 탈부착수단의 또 다른 실시 예를 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 이탈방지부를 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 이탈방지부의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.
도면에서 도시한 바와 같이, 오염방지를 위한 소자증착장치(10)는 증착챔버(100)와 증착부(200), 방착부(300) 및 탈부착수단(400)을 포함한다.
증착챔버(100)는 내부에 증착대상물이 위치되는 증착공간부(102)가 형성된다.
이 증착챔버(100)의 증착공간부(102)는 도어에 의해 일방향 또는 양방향이 개폐될 수 있는 것으로, 증착작업 시, 밀폐된다.
그리고 증착부(200)는 증착챔버(100)에 구비되어 증착대상물에 소자를 증착시키기 위해 구비된다.
이 증착부(200)는 인가된 전원에 의해 그리드를 향해 타겟의 소자가 유도되어 증착대상물에 소자를 증착시킨다.
방착부(300)는 증착공간부(102)를 감싸도록 위치되어 증착시 발생되는 이물질이 증착대상물에 붙착되는 것을 방지하기 위해 구비된다.
또한 탈부착수단(400)은 방착부(300)를 증착챔버(100)에 탈부착시키기 위해 구비된다.
이러한 오염방지를 위한 소자증착장치(10)에 의하면, 소자 증착 시, 발생되는 미세이물질이 방착부(300)에 부착되어 증착대상물이 오염되는 것을 방지 및 최소화시킬 수 있어 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
특히, 탈부착수단(400)에 의해 방착부(300)를 용이하게 탈부착시킬 수 있어 교체 및 세척작업을 용이하게 진행할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있다.
이를 위한, 방착부(300)는 도2에서 도시한 바와 같이, 방착판(310)과 방착매시(320)를 포함한다.
방착판(310)은 일정 사이즈를 갖는 것으로, 증착챔버(100)의 해당 면에 복수 개 구비된다.
그리고 방착매시(320)는 증착부(200)를 향하는 방착판(310)의 전면에 위치되어 이물질이 부착되기 위해 구비된다.
이 방착매시(320)는 방착판(310)에 용접되어 일체로 형성되거나 탈부착 가능하도록 구비되며, 방착판(310)의 해당 면과 일정 간격 이격되도록 구비된다.
여기서, 방착부(300)는 도 3에서 도시한 바와 같이, 방착유도부(330)를 더 포함한다.
이 방착유도부(330)는 방착매시(320)로 이물질을 유도하여 부착시키기 위해 구비된다.
이러한 방착유도부(330)는 방착유도프레임(331)과 방착유도공(332), 방착흡입구(333) 및 방착유도흡입부(334)를 포함한다.
방착유도프레임(331)은 방착판(310)과 증착챔버(100) 사이에 구비된다.
그리고 방착유도공(332)은 방착판(310)에 일정 간격으로 복수 개 형성된다.
방착흡입구(333)는 각 방착유도공(332)에 대응되도록 방착유도프레임(331)에 구비된다.
또한 방착유도흡입부(334)는 일직선상에 위치된 복수의 방착유도공(332)과 방착흡입구(333)를 통해 증착공간부(102)의 기체 중 일부를 흡입하여 이물질이 방착매시(320)에 부착되도록 유도한다.
여기서, 방착흡입구(333)는 해당 방착유도공(332)과 연결 시, 상호 밀폐되도록 구성되며, 방착유도흡입부(334)는 흡입한 기체를 외부로 배출시키되, 이물질을 포집한다.
이러한 방착유도부(330)는 방착유도센서(335)와 방착유도제어부(336)를 더 포함한다.
방착유도센서(335)는 방착유도흡입부(334)에 의해 흡입되는 기체의 성분을 측정하기 위해 구비된다.
그리고 방착유도제어부(336)는 방착유도센서(335)의 신호를 수신하여 방착유도흡입부(334)를 제어하여 흡입량을 조절한다.
다시 말해, 방착유도제어부(336)는 방착유도센서(335)의 신호 중 유도되는 소자의 포함율이 기설정된 포함율 미만으로 유지되도록 방착유도흡입부(334)를 제어한다.
또한 탈부착수단(400)은 도 4에서 도시한 바와 같이, 걸쇠고정브래킷(410)과 걸쇠(420)를 포함한다.
걸쇠고정브래킷(410)은 증착챔버(100)에 구비된다.
그리고 걸쇠(420)는 걸쇠고정브래킷(410)에 걸려지도록 방착판(310)에 구비된다.
이에, 방착판(310)에 구비된 걸쇠(420)를 증착챔버(100)에 구비된 걸쇠고정브래킷(410)에 걸어 고정시키고, 교체 및 세척을 위해 용이하게 분리시킬 수 있다.
이 걸쇠고정브래킷(410)은 하나의 방착판(310)이 걸려지도록 적어도 하나 이상 구비되고, 이에 대응되도록 걸쇠(420)가 구비됨이 당연하다.
한편, 다른 실시 예의 탈부착수단(400')은 도 5에서 도시한 바와 같이, 레일(410')과 롤러(420')를 포함한다.
레일(410')은 증착챔버(100)에 구비된다.
그리고 롤러(420')는 레일(410')을 따라 이동가능하도록 방착판(310)에 회전 가능하도록 구비된다.
방착판(310)에 구비된 롤러(420')를 증착챔버(100)에 구비된 레일(410')에 위치시킨 후, 방착판(310)을 레일(410')을 따라 이동시킬 수 있다.
이에, 각 방착판(310)을 해당 위치로 용이하게 위치시키거나 교체 및 세척을 위해 용이하게 이탈 시킬 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있다.
이 레일(410')은 하나의 방착판(310)이 위치되도록 적어도 하나 이상 구비되고, 이에 대응되도록 롤러(420')가 구비됨이 당연하다.
또한, 또 다른 실시 예의 탈부착수단(400")은 도 6에서 도시한 바와 같이, 걸쇠부(410")와 레일부(420")를 포함한다.
걸쇠부(410")는 방착판(310)을 증착챔버(100)에 걸어서 설치하기 위해 구비된다.
이 걸쇠부(410")는 걸쇠고정브래킷(412")과 걸쇠(414")를 포함한다.
걸쇠고정브래킷(412")은 증착챔버(100)에 구비된다.
그리고 걸쇠(414")는 걸쇠고정브래킷(412")에 걸려지도록 방착판(310)에 구비된다.
레일부(420")는 방착판(310)을 증착챔버(100)에 이동시켜 설치하기 위해 구비된다.
이 레일부(420")는 레일(422")과 롤러(424")를 포함한다.
레일(422")은 증착챔버(100)에 구비된다.
그리고 롤러(424")는 레일(422"')을 따라 이동가능하도록 방착판(310)에 회전 가능하도록 구비된다.
방착판(310)에 구비된 롤러(424")를 증착챔버(100)에 구비된 레일(422")에 위치시킨 후, 방착판(310)을 레일(422")을 따라 이동시킬 수 있다.
이러한 걸쇠부(410")와 레일부(420")는 방착판(310)의 각 단부를 따라 각각 구비되어 증착챔버(100)에 용이하게 탈부착시킬 수 있다.
여기서, 도 7 내지 도 8에서 도시한 바와 같이, 각 실시 예의 레일(410', 422")에 위치된 롤러(420', 424")가 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈방지부(500)를 더 포함한다.
이 이탈방지부(500)는 도 7에서 도시한 바와 같이, 이탈방지이동공(510)과 이탈방지편(520), 이탈방지구동부(530) 및 이탈방지제어부(540)를 포함하며, 레일(410')과 롤러(420')로 설명하기로 한다.
이탈방지이동공(510)은 레일(410') 중 일부분에 개방되도록 형성된다.
그리고 이탈방지편(520)은 이탈방지이동공(510)에 구비된다.
이탈방지구동부(530)는 이탈방지편(520)을 레일(410')의 내측으로 이동시켜 롤러(420')가 이동되는 것을 방지한다.
또한 이탈방지제어부(540)는 이탈방지구동부(530)를 제어하기 위해 구비된다.
여기서, 이탈방지부(500)는 이탈방지보조편(550)을 더 포함한다.
이 이탈방지보조편(550)은 일단부가 이탈방지편(520)의 해당 단부에 회전 가능하도록 연결되고, 타단부는 레일(410')을 따라 이동 가능하게 구비된다.
이탈방지편(520)이 레일(410') 내측으로 이동될 경우, 각 이탈방지보조편(550)의 일단부가 함께 이동됨과 동시에, 타단부가 레일(410')을 따라 이동되어 롤러(420')와 닿아 이동을 방지한다.
그리고 레일(410')에 롤러(420')의 위치를 감지하기 위한 감지센서(560)를 더 포함한다.
이 감지센서(560)의 신호를 이탈방지제어부(540)가 수신하여 이탈방지구동부(530)를 제어한다.
다시 말해, 방착판(310)이 레일(410')의 해당 위치로 이동될 경우, 이탈방지제어부(540)가 감지센서(560)의 감지신호를 수신하여 이탈방지구동부(530)를 구동시킴에 따라, 이탈방지편(520)과 각 이탈방지보조편(550)이 이동되어 롤러(420')의 이동을 방지한다.
한편, 다른 실시 예의 이탈방지구동부(530')는 도 8에서 도시한 바와 같이, 제1이탈방지구동부(531')와 제2이탈방지구동부(532')를 포함한다.
제1이탈방지구동부(531')는 이탈방지편(520)의 일단부를 이동시키기 위해 구비되고, 제2이탈방지구동부(532')는 이탈방지편(520)의 타단부를 이동시키기 위해 구비된다.
이러한 제1이탈방지구동부(531')와 제2이탈방지구동부(532')는 이탈방지편(520)의 해당 단부에 회전 가능하도록 연결되고, 각각 고정되는 고정체에도 회전 가능하게 연결된다.
이에, 이탈방지편(520)의 일단부만 돌출될 경우에도 용이하게 작동된다.
감지센서(560)의 신호를 수신한 이탈방지제어부(540)가 제1이탈방지구동부(531')와 제2이탈방지구동부(532') 중 어느 하나 이상을 제어하여 이탈방지편(520)이 롤러(420')와 닿아 이동을 방지한다.
10 : 소자증착장치 100 : 증착챔버
200 : 증착부 300 : 방착부
310 : 방착판 320 : 방착매시
330 : 방착유도부 400, 400', 400" : 탈부착수단
500 : 이탈방지부

Claims (10)

  1. 내부에 증착대상물이 위치되는 증착공간부를 갖는 증착챔버;
    상기 증착챔버에 구비되어 증착대상물에 소자를 증착시키기 위한 증착부;
    상기 증착공간부를 감싸도록 위치되어 증착시 발생되는 이물질이 증착대상물에 붙착되는 것을 방지하기 위한 방착부; 및
    상기 방착부를 상기 증착챔버에 탈부착시키기 위한 탈부착수단;을 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 방착부는,
    일정 사이즈를 갖는 방착판; 및
    상기 증착부를 향하는 상기 방착판의 전면에 위치되어 이물질이 부착되기 위한 방착매시;를 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 방착매시로 이물질을 유도하여 부착시키기 위한 방착유도부;를 더 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 탈부착수단은,
    상기 증착챔버에 구비되는 걸쇠고정브래킷; 및
    상기 걸쇠고정브래킷에 걸려지도록 상기 방착판에 구비되는 걸쇠;를 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 탈부착수단은,
    상기 증착챔버에 구비되는 레일; 및
    상기 레일을 따라 이동가능하도록 상기 방착판에 회전 가능하도록 구비되는 롤러;를 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 탈부착수단은,
    상기 방착판을 상기 증착챔버에 걸어서 설치하기 위한 걸쇠부; 및
    상기 방착판을 상기 증착챔버에 이동시켜 설치하기 위한 레일부;를 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 걸쇠부는,
    상기 증착챔버에 구비되는 걸쇠고정브래킷; 및
    상기 걸쇠고정브래킷에 걸려지도록 상기 방착판에 구비되는 걸쇠;를 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 레일부는,
    상기 증착챔버에 구비되는 레일; 및
    상기 레일을 따라 이동가능하도록 상기 방착판에 회전 가능하도록 구비되는 롤러;를 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  9. 제5항 또는 제8항에 있어서,
    상기 레일에 위치된 롤러가 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈방지부;를 더 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 이탈방지부는,
    상기 레일 중 일부분에 개방되도록 형성되는 이탈방지이동공;
    상기 이탈방지이동공에 구비되는 이탈방지편;
    상기 이탈방지편을 상기 레일의 내측으로 이동시켜 상기 롤러가 이동되는 것을 방지하는 이탈방지구동부; 및
    상기 이탈방지구동부를 제어하기 위한 이탈방지제어부;를 포함하는 오염방지를 위한 소자증착장치.
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