KR20210065475A

KR20210065475A - 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치

Info

Publication number: KR20210065475A
Application number: KR1020190154257A
Authority: KR
Inventors: 김영환
Original assignee: 주식회사 케이씨엠텍
Priority date: 2019-11-27
Filing date: 2019-11-27
Publication date: 2021-06-04
Also published as: KR102334308B1

Abstract

본 발명은 인쇄회로기판 등의 제작을 위한 기판을 수평으로 설치된 다수의 이송롤러에 올려놓고 이송시키면서 세척, 현상, 박리, 도금 등의 각종 처리를 하도록 하는 다열단차 롤러 방식의 기판 이송장치에 관한 것이다. 그의 구성은; 인쇄회로기판을 위한 기판을 수평하게 올려놓은 상태에서 이송시키면서 처리액을 분사 공급함으로써 기판을 처리하기 위한 기판 이송장치에 있어서; 지면에 설치되는 프레임; 상기 기판의 이송면을 제공하기 위한 것으로서 상기 프레임 상단에 평행하게 이격 설치되되 회전 가능하게 설치되는 복수 개의 롤러유닛; 상기 롤러유닛을 구동시키기 위한 롤러유닛기동부를 포함하되, 상기 롤러유닛은; 상기 이송면의 폭에 해당하는 길이를 갖는 센터봉; 회전력을 전달하기 위하여 상기 센터봉의 일단 또는 양단에 고정 설치되는 기어부재; 상기 센터봉에 일정한 간격으로 이격되게 끼워져 설치되는 휠부재(19); 상기 휠부재 간에 간격이 일정하게 유지될 수 있도록 상기 휠부재(19)와 교번하여 상기 센터봉에 끼워지는 스페이서(21)를 포함하되; 상기 휠부재는 이웃하는 롤러유닛에 설치된 휠부재와 평면상 오버랩(overlap)되게 설치되며; 상기 롤러유닛 중 임의의 롤러유닛 하나에 설치된 휠부재 간의 간격은 일정하며; 상기 롤러유닛 중 임의의 롤러유닛의 맨 가장자리에 설치된 것을 제외한 제1휠부재는 이웃하고 있는 롤러유닛의 제2휠부재 사이에 위치되되, 일측으로 치우치게 위치되는 것을 특징으로 한다.

Description

다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치{Apparatus For Transferring Board Using Complex Arrayed Multi Roller Units}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 인쇄회로기판 등의 제작을 위한 기판을 수평으로 설치된 다수의 이송롤러에 올려놓고 이송시키면서 세척, 현상, 박리, 도금 등의 각종 처리를 하도록 하는 다열단차 롤러 방식의 기판 이송장치에 관한 것이다.

인쇄회로기판의 제작공정에 있어서 전기적 회로를 기판 상에 형성하기 위하여 다양한 세부공정을 필요로 한다. 근래에는 작업속도의 증진을 위하여 연속적으로 기판을 이송하면서 위의 세부공정을 거치도록 하는 연속이송시스템이 널리 보급되어 있다. 기판을 연속적으로 이송시키는 방법 중 하나로 롤러이송시스템이 있다. 이 시스템은 수평으로 배열된 다수의 이송롤 위에 기판을 올려놓고 이송시키는 중에 각종의 처리를 하도록 하는 시스템이다. 이러한 시스템을 보통 페이스다운(face down) 또는 페이스업(face up) 형태의 연속식 기판 처리장치라 한다.

롤러이송시스템은 다수의 봉형상으로 된 롤러유닛을 포함한다. 이 롤러유닛은 상하로 배치되어 있으며 그 사이로 기판이 이송되도록 구름운동을 하게끔 구성되어 있다.

롤러유닛(100)은 도 1에 도시된 바와 같이 일측에 이송기어(101)가 설치된 기다란 봉에 스페이서와 휠부재(103)가 교번하여 결합되어 있는 구조를 가진다. 이러한 종래의 롤러유닛(100)에 의하면 프레임의 길이방향을 따라 롤러유닛이 동일한 패턴으로 설치되어 있다. 즉 휠부재(103)가 일직선상에 배치된다는 것이다.

그래서 정면구성도인 도 2에 도시된 바와 같이 기판의 끝단이 휠부재 사이의 공간에 위치되는 경우에는, 기판의 전체 길이에 걸쳐 끝이 휠부재에 의해 지지되지 못하는 부분이 생기게 된다. 이러한 문제로 기판의 끝부분이 깨지는 문제가 종종 발생하였다. 이것은 기판(P)의 상하방향에서 처리액이 분출되는데, 이 처리액의 압력으로 인해 기판이 상하로 요동하게 되는데, 기판(P)의 끝부분이 전체적으로 휠부재(103)에 의해 지지받지 못하는 경우가 생기게 되어 생기는 문제이다.

또한 도 2에 도시된 종래기술에 의하면 이송되는 기판(P)은 한번 걸러 한번씩 휠부재(103)와 접촉하게 된다. 즉 기판(P)의 여러 특정 지점만 휠부재(103)와 접촉하게 되므로 경우에 따라서는 기판(P)에 휠부재(103)가 닿아서 줄이 생기기도 한다.

대한민국 특허출원 제10-2014-0087420호 대한민국 특허출원 제10-2014-0087423호

위와 같은 문제에 대하여 본 발명의 목적은 페이스다운(face down) 또는 페이스업(face up) 형태의 연속식 기판 처리장치에 있어서, 회전하는 다수의 롤러유닛을 타고 이송하는 기판이 작업과정에서 처리액에 의한 압력으로 끝이 깨지는 것과 같은 치명석인 손상을 입는 것을 방지하고 휠부재와 자주 접하게 됨으로써 생기는 줄 내지 자국을 없앨 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

위와 같은 목적은, 인쇄회로기판을 위한 기판을 수평하게 올려놓은 상태에서 이송시키면서 처리액을 분사 공급함으로써 기판을 처리하기 위한 기판 이송장치에 있어서;

지면에 설치되는 프레임; 상기 기판의 이송면을 제공하기 위한 것으로서 상기 프레임 상단에 평행하게 이격 설치되되 회전 가능하게 설치되는 복수 개의 롤러유닛; 상기 롤러유닛을 구동시키기 위한 롤러유닛기동부를 포함하되, 상기 롤러유닛은;

상기 이송면의 폭에 해당하는 길이를 갖는 센터봉; 회전력을 전달하기 위하여 상기 센터봉의 일단 또는 양단에 고정 설치되는 기어부재; 상기 센터봉에 일정한 간격으로 이격되게 끼워지는 휠부재; 상기 휠부재 간에 간격이 일정하게 유지될 수 있도록 상기 휠부재와 교번하여 상기 센터봉에 끼워지는 스페이서;를 포함하며;

상기 휠부재는 이웃하는 롤러유닛에 설치된 휠부재와 평면상 오버랩되게 설치되며;

상기 롤러유닛 중 임의의 롤러유닛 하나에 설치된 모든 휠부재 간의 간격은 일정하며;

상기 롤러유닛 중 임의의 롤러유닛의 맨 가장자리에 설치된 것을 제외한 제1휠부재는 이웃하고 있는 롤러유닛의 제2휠부재 사이에 위치되되, 일측으로 치우치게 위치되는 것을 특징으로 하는 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치에 의해 달성된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제1휠부재 간의 간격을 등분한 지점에 위치될 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 롤러유닛의 휠부재의 배치 형태는 상기 프레임의 길이방향을 따라 일정한 주기로 반복되되, 3 ~ 10개마다 동일한 휠부재 배치형태를 갖는 롤러유닛이 반복되도록 구성될 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 롤러유닛을 조립할 때 상기 휠부재가 시작되는 지점에 간격조절링을 끼워넣음으로써 이웃하는 롤러유닛 간의 휠부재의 배치간격을 조정하되; 상기 간격조절링은 2 ~ 5종류의 길이로 구성되어 있을 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 길이가 다른 상기 간격조절링은 색깔로 구분되어 있을 수 있다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 휠부재는 상대적으로 직경이 작은 소직경휠부재와 상대적으로 직경이 큰 대직경휠부재가 조합되어 있는 것을 특징으로 하는 기판이송장치에 의해 달성된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 대직경휠부재는 양단에는 대직경부와 소직경부가 조합되어 있는 단위휠판을 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 대직경부와 소직경부의 높이 차이는 1 ~ 10mm일 수 있다.

본 발명에 따르면, 롤러방식의 기판 이송장치에 있어서, 롤러유닛에 설치된 휠부재가 프레임의 이송면 상에서 빈틈이 최소화되게끔 배열되어 있음으로써 기판이 휠부재에 의해 지지되지 못하는 부분이 최소화된 기판 이송장치가 제공된다.

본 발명의 특징에 의하면, 기판이 이송면의 어느 지점을 지나가는 경우에도 기판의 모서리 부위가 휠부재에 의해 지지됨으로써, 모서리 부분이 보호될 수 있게 되는 것이다. 본 발명의 다른 특징에 의하면 휠부재가 기판 전체에 걸쳐 고르게 분산되어 접하게 되므로 특정 지점을 연속적으로 접촉함에 따라서 생기는 줄 또는 자국이 없게 된다.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 이송시키고자 하는 기판을 이웃하는 대경부 사이, 즉 소경부만 설치된 구간에 끼워 넣음으로써 이송하는 기판이 이송방향에 대하여 직각방향으로 유동되지 못하도록 제한할 수 있는 다열 롤러 방식의 기판 이송장치가 제공된다. 이 실시예에 의하면, 기판이 이송면에서 이탈되거나 서로 포개지는 문제가 없게 함으로써 제품불량율을 크게 낮출 수 있는 다열 롤러 방식의 기판 이송장치가 제공된다.

도 1은 종래기술에 의한 다열 롤러 방식의 기판 이송장치의 롤러유닛의 사시도이다.
도 2는 종래기술에 의한 다열 롤러 방식의 기판 이송장치의 롤러유닛의 배치 패턴을 보여주는 기판 이송장치의 개략 평면도이다.
도 3은 종래기술에 의한 다열 롤러 방식의 기판 이송장치의 롤러유닛의 사용상태의 정면구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 다열 롤러 방식의 기판 이송장치의 개략 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 다열 롤러 방식의 기판 이송장치의 개략 평면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 다열 롤러 방식의 기판 이송장치의 롤러유닛의 일부 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 다열단차 롤러 방식의 기판 이송장치의 주요부의 개략 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 의한 다열단차 롤러 방식의 기판 이송장치의 개략 정면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 의한 다열단차 롤러 방식의 기판 이송장치의 평면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 의한 다열단차 롤러 방식의 기판 이송장치의 롤러유닛의 분해사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 내용을 상세하게 설명한다. 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시에를 설명하겠으며, 이후 도 6 내지 도 9를 참조하여 다른 실시예를 설명하기로 한다.

본 발명은 인쇄회로기판을 위한 기판을 수평하게 올려놓은 상태에서 이송시키면서 처리액을 분사 공급함으로써 기판을 처리하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다. 기판은 인쇄회로기판만이 아니라 디스플레이용 패널을 위한 기판이 될 수 도 있다. 따라서 기판의 구체적인 용도, 종류 및 두께는 본 발명의 권리범위를 제한하지 않는다.

본 발명의 다열 롤러 방식의 기판 이송장치(이하, 단지 '기판 이송장치'라 한다)는 프레임(1), 복수개의 롤러유닛(5), 롤러유닛기동부(7)를 포함한다.

지면에 설치되는 프레임(1)은 지면에서 소정 높이로 이송면을 제공하기 위한 것이며, 각 장치를 설치하기 위한 베이스를 제공한다. 프레임(1)의 저부에는 각종 처리공정을 위한 처리장치가 설치될 수 있다. 프레임(1)은 소정의 챔버하우징(3)에 의해 씌워질 수도 있다.

복수 개의 롤러유닛(5)이 기판(P)의 이송면을 제공하기 위하여 프레임(1)의 상부에 회전 가능하게 설치된다. 롤러유닛(5)은 프레임 상단에 평행하게 이격 설치되되 회전 가능하게 설치된다. 롤러유닛(5)은 하나로 연동되어 있어 동시에 같은 회전속도로 회전할 수 있다.

롤러유닛기동부(7)는 구동모터(9), 구동모터(9)에 의해 회전하게끔 프레임(1)에 고정 설치되는 구동축(11) 및 구동축(11) 상에 그의 연장방향을 따라 설치되는 구동기어(13)를 포함할 수 있다.

롤러유닛(5)은 센터봉(15), 기어부재(17), 휠부재(19) 및 스페이서(21)를 포함한다. 센터봉(15)은 통상 스테인리스로 되어 있으며, 이송면의 폭(W)에 해당하는 길이를 갖는다. 기어부재(17)는 구동축으로부터 회전력을 전달받기 위하여 센터봉(15)의 일단에 고정 설치된다. 도시된 바에 의하면, 구동축(11)과 센터봉은 직각으로 설치되어 회전력을 전달하므로 구동기어(13)와 기어부재(17)는 헬리컬기어로 되어 있다.

휠부재(19)는 센터봉(15)에 일정한 간격으로 이격되게 끼워져 설치된다. 휠부재(19)는 기판(P)과의 접촉면적을 줄일 수 있도록 하되 기판(P)을 손상시키지 않는 정도의 두께를 가진다.

스페이서(21)는 휠부재(19) 간의 간격이 일정하게 유지될 수 있도록 상기 휠부재(19)와 교번하여 상기 센터봉(15)에 끼워진다. 스페이서(21)는 휠부재(19)와 일체로 연결되어 있을 수 있으며, 휠부재(19)의 설치 위치에 따라서 휠부재(19)의 일측 또는 양측으로 돌출되게 설치될 수 있다. 이웃하는 휠부재(19)는 스페이서(19)에 의해 서로 연결되어 함께 회전하게 된다. 스페이서(21)의 끝에는 요철부(22,22')가 마련되어 있으며 치합 방식으로 결합되어 회전력 전달이 가능하게 된다. 휠부재(19)는 림(19a)과 방사형으로 설치되는 복수 개의 아암(19b)과 보스(19c)를 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면 이 보스(19c)가 길이방향으로 연장되어 스페이서(21)의 기능을 수행하고 있다. 림(19a)의 상면은 가운데 부분은 평평하되 양쪽만 라운드져 있어 기판과의 국부적 접촉을 줄이되 비교적 넓은 면적으로 접하도록 함으로써 압력에 의한 손상이나 변형을 방지할 수 있도록 되어 있을 수 있다. 림(19a)의 상면은 빛반사가 일어날 수 있을 정도록 매끄럽게 되어 있다. 이것은 기판의 손상을 최대한 방지하기 위한 것이다.

본 발명은 휠부재(19)의 배치 형태에 대해 특징을 갖고 있다. 특히 프레임(1)에 평행하게 배열된 각 롤러유닛(5-1, 5-2, 5-3, ..., 5-n. 여기서, n은 정수, 이하 '5-n' 이라 함)의 휠부재(19) 간의 배치구조에 관한 것이다. 이웃하는 롤러유닛(5-n, 5-n+1)에 설치된 임의의 휠부재, 즉 제1,2휠부재(19-1,19-2)는 평면상 소정 길이(R)로 서로 오버랩(overlap)되어 있으며 따라서 평면상 지그재그 형태로 배치되어 있다. 그리고 여기서 더 나아가 일측으로 치우치게끔 오버랩되어 있다. 즉 제2휠부재(19-2)는 제1휠부재(19-1)의 중간 지점(C)이 아닌 한쪽으로 치우친 위치에 배치되어 있다. 모든 롤러유닛(5)에 설치된 휠부재(19)는 롤러유닛(5)의 맨 가장자리에 설치된 것을 제외하고는 위와 같은 조건으로 설치되어 있다. 하나의 롤러유닛(5)에 설치되어 있는 휠부재(19)의 간격은 모두 동일하게 되어 있다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 제1휠부재(19-1) 간의 간격(L)을 n등분한 지점에 위치되되, 상기 n은 3 ~ 10까지의 임의의 정수일 수 있다. 이것은 특정 휠부재의 배치구조를 가진 롤러유닛이 3 ~ 10개를 주기(T)로 반복 설치된다는 것을 의미한다.

이하, 도 6을 주로 참조하여 휠부재의 배치방식에 대해 설명한다.

본 실시예에 의하면, 롤러유닛(5)을 조립할 때 휠부재(19)가 시작되는 지점에 간격조절링(20)을 끼워넣을 수 있다. 그리고 하나의 롤러유닛(5)에 끼워져 있는 휠부재(19) 간의 간격에 따라서 간격조절링을 다음과 같이 배치한다.

예를 들어, 간격조절링(20)의 길이를 4종류로 각각 준비하고, 프레임(1)에 롤러유닛(5)을 설치할 때 두 번째 롤러유닛(5-2)에는 3번째로 기다란 간격조절링(20c)을 끼우고, 세 번째 롤러유닛(5-3)에는 가장 기다란 간격조절링(20a)을 끼우고, 네 번째 롤러유닛(5-4)에는 가장 짧은 간격조절링(20d)을 끼우고, 다섯 번 째 롤러유닛(5-5)에는 2번째로 기다란 간격조절링(20b)을 끼운다. 여섯 번째 롤러유닛(5-6)에는 간격조절링을 끼우지 않고 일곱 번 때 롤러유닛(5-7)에는 다시 3번째로 기다란 간격조절링(20c)을 끼운다. 이런식으로 반복하게 되면 도 6에 도시된 바와 같이 6개마다 동일한 패턴의 롤러유닛이 반복 설치되게 된다. 길이가 다른 각 간격조절링(20a ~20d)은 색깔로 구분하여 작업자가 조립시 혼동되지 않도록 할 수 있다.

한편 간격조절링(20)의 길이는 2 ~ 5종류일 수도 있다. 너무 많을 필요까지는 없으며 이 개수는 예시에 불과하므로 본 발명의 권리범위를 제한하는 용도로 사용되어서는 아니 된다.

위와 같은 구성에 의하면 종래기술에 의할 때 보호받지 못하던 영역을 보호함으로써 기판의 손상을 막을 수 있다. 즉 종래기술에 의하면 도 3에 점선으로 표시된 영역(Y)은 휠부재(19)에 의해 지지되지 못하여 파손에 취약하였으나, 본 발명에 의하면 이러한 영역이 없이 기판이 조밀하고 균등하게 휠부재에 의해 지지될 수 있게 된다. 그 결과 취성을 갖고 있거나 박형 기판의 손상을 최대한 방지할 수 있게 되는 것이다.

이하, 본 발명의 다른 실시예를 도 7 내지 도 10을 참조하여 설명한다. 본 실시예는 전술한 실시예와 조합되어 실시될 수 있음은 당연하다.

본 실시예에 의하면, 휠부재(19)는 상대적으로 직경이 작은 소직경휠부재(19')와 상대적으로 직경이 큰 대직경휠부재(19")가 조합되어 구성된다. 그리고 여기서 더 나아가 대직경휠부재(19")는 단차에 의해 대직경부(23)와 소직경부(25)가 조합되도록 구성될 수 있다.

본 실시예에 의하면, 대직경휠부재(19")는 2개의 단위휠판(26)과 이를 연결하는 슬리브(27)로 구성될 수 있다. 즉 하나의 단위휠판(26)은 대직경부(23)와 소직경부(25)가 조합되어 있다. 이와 같은 구성에 의해 정면에서 볼 때 "H"또는 덤벨과 같은 구조를 갖게 된다. 단위휠판(26)의 두께는 휠부재의 두께와 유사하다. 사용환경에 따라서 하나의 단위휠판(26)과 스페이서(21)가 조합되어 있을 수도 있다.

위와 같은 구성에 의하면 기판(P)은 휠부재(19)의 소직경부(25)에 선접촉(또는 점접촉)한 상태에서 구름운동한다. 대직경부(23)는 기판이 이송 중에 좌우로 유동하지 못하도록 제한하는 제한턱 내지 직선이송을 유도하는 가이더(guider)와 같은 기능을 수행하는 것이다.

상기 대직경부(23)와 소직경부(25)의 높이 차이(G)는 1 ~ 10mm일 수 있으며, 이는 기판(P)의 두께를 고려하여 결정된다.

위와 같은 구성에 의하면 처리액의 분사로 인해 기판이 상하로 요동하는 경우에도 이 대직경부(23)가 제공하는 제한턱을 넘어서지 못하고 일직선으로 이송되게 된다. 따라서 기판(P)이 삐뚤어지거나 서로 겹쳐지는 문제가 없게 된다.

프레임(1) 상의 이송방향을 따라 설치된 모든 롤러유닛(5)의 소직경부(25)의 구성, 배치간격은 동일하여야 한다. 기판(P)이 일직선으로 이송되도록 하기 위함이다. 소직경부의 간격(T)은 휠부재(19)를 어떤 패턴으로 센터봉(15)에 끼우는 가에 따라 자유롭게 조정이 가능하다.

위에 도시 및 설명된 구성은 본 발명의 기술적 사상에 근거한 바람직한 실시예에 지나지 아니한다. 당업자는 통상의 기술적 상식을 바탕으로 다양한 변경실시를 할 수 있을 것이지만 이는 본 발명의 보호범위에 포함될 수 있음을 주지해야 할 것이다. 위에 개시된 실시예는 다양한 조합이 가능할 것이며, 가능한 모든 조합은 본 발명의 권리범위 내에 있는 것이 된다.

1: 프레임 3 : 챔버하우징
5 : 롤러유닛 7 : 롤러유닛 기동부
9 : 구동모터 11 : 구동축
15 : 센터봉 19 : 휠부재
19' : 소직경휠부재 19" : 대직경휠부재
20(20a,20b,20c,20d) : 간격조절링
21 : 스페이서(spacer) 23 : 대직경부
25 : 소직경부 26 : 단위휠판
27 : 슬리브

Claims

인쇄회로기판을 위한 기판을 수평하게 올려놓은 상태에서 이송시키면서 처리액을 분사 공급함으로써 기판을 처리하기 위한 기판 이송장치에 있어서;
지면에 설치되는 프레임; 상기 기판의 이송면을 제공하기 위한 것으로서 상기 프레임 상단에 평행하게 이격 설치되되 회전 가능하게 설치되는 복수 개의 롤러유닛; 상기 롤러유닛을 구동시키기 위한 롤러유닛기동부를 포함하되, 상기 롤러유닛은;
상기 이송면의 폭에 해당하는 길이를 갖는 센터봉; 회전력을 전달하기 위하여 상기 센터봉의 일단 또는 양단에 고정 설치되는 기어부재; 상기 센터봉에 일정한 간격으로 이격되게 끼워져 설치되는 휠부재(19); 상기 휠부재 간에 간격이 일정하게 유지될 수 있도록 상기 휠부재(19)와 교번하여 상기 센터봉에 끼워지는 스페이서(21)를 포함하되;
상기 휠부재는 이웃하는 롤러유닛에 설치된 휠부재와 평면상 오버랩(overlap)되게 설치되며;
상기 롤러유닛 중 임의의 롤러유닛 하나에 설치된 휠부재 간의 간격은 일정하며;
상기 롤러유닛 중 임의의 롤러유닛의 맨 가장자리에 설치된 것을 제외한 제1휠부재는 이웃하고 있는 롤러유닛의 제2휠부재 사이에 위치되되, 일측으로 치우치게 위치되는 것을 특징으로 하는 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 제2휠부재는 상기 제1휠부재 간의 간격을 등분한 지점에 위치되는 것을 특징으로 하는 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 롤러유닛의 휠부재의 배치 형태는 상기 프레임의 길이방향을 따라 일정한 주기로 반복되되, 3 ~ 10개마다 동일한 휠부재의 배치형태를 갖는 롤러유닛이 반복되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 롤러유닛을 조립할 때 상기 휠부재가 시작되는 지점에 간격조절링(20)을 끼워넣음으로써 이웃하는 롤러유닛 간의 휠부재의 배치간격을 조정하되;
상기 간격조절링(20)은 2 ~ 5종류의 길이로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치.
제4항에 있어서,
길이가 다른 상기 각 간격조절링은 색깔로 구분되어 있는 것을 특징으로 하는 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 휠부재는 상대적으로 직경이 작은 소직경휠부재(19')와 상대적으로 직경이 큰 대직경휠부재(19")가 조합되어 있는 것을 특징으로 하는 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치.
제6항에 있어서,
상기 대직경휠부재(19")는, 양단에는 대직경부와 소직경부가 조합되어 있는 단위휠판(26)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치.