KR20210063236A - 잉크도포제어장치 및 잉크도포방법 - Google Patents

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KR20210063236A
KR20210063236A KR1020200152509A KR20200152509A KR20210063236A KR 20210063236 A KR20210063236 A KR 20210063236A KR 1020200152509 A KR1020200152509 A KR 1020200152509A KR 20200152509 A KR20200152509 A KR 20200152509A KR 20210063236 A KR20210063236 A KR 20210063236A
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KR1020200152509A
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켄이치 무라노
타카시 아쿠츠
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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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Abstract

잉크가 도포되지 않는 영역의 발생을 억제하는 것이 가능한 잉크도포제어장치를 제공한다.
잉크도포제어장치의 제어부의 제어에 의하여, 기판의 소정의 영역에 잉크를 도포한다. 잉크를 도포해야 할 도포영역의 가장자리를 따르는 가장자리영역, 및 가장자리영역으로부터 간격을 사이에 둔 내측영역에, 가장자리영역에 도포된 잉크와 내측영역에 도포된 잉크가 접촉하지 않도록 잉크를 도포한다. 그 후, 가장자리영역과 내측영역의 사이의 간극영역에 잉크를 도포한다.

Description

잉크도포제어장치 및 잉크도포방법{APPARATUS FOR CONTROLLING INK APPLICATION AND METHOD FOR APPLYING INK}
본 출원은 2019년 11월 22일에 출원된 일본 특허출원 제2019-211466호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.
본 발명은, 잉크도포제어장치 및 잉크도포방법에 관한 것이다.
에칭용의 레지스트막을 잉크젯프린트법으로 형성하는 기술이 알려져 있다(특허문헌 1). 스핀코트법으로 레지스트막을 형성하는 경우에는, 포토리소그래피공정이 필요하다. 잉크젯프린트법에서는 포토리소그래피공정이 불필요해지기 때문에, 공정수를 적게 할 수 있다.
특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2010-56266호
잉크를 도포해야 할 기판의 표면의 발액성이 높아지면, 기판의 표면에 착탄된 잉크의 액적끼리가 끌어당겨지는 현상이 발생하기 쉽다. 액적끼리가 끌어당겨지면, 잉크를 착탄시켜도, 잉크가 착탄지점으로부터 표면 상을 이동하여, 잉크가 도포되지 않는 영역이 발생해 버리는 경우가 있다. 본 발명의 목적은, 잉크가 도포되지 않는 영역의 발생을 억제하는 것이 가능한 잉크도포제어장치, 및 잉크도포방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 관점에 의하면,
기판의 소정의 영역으로의 잉크의 도포를 제어하는 제어부를 구비한 잉크도포제어장치로서,
상기 제어부는,
잉크를 도포해야 할 도포영역의 가장자리를 따르는 가장자리영역, 및 상기 가장자리영역으로부터 간격을 사이에 둔 내측영역에, 상기 가장자리영역에 도포된 잉크와 상기 내측영역에 도포된 잉크가 접촉하지 않도록 잉크를 도포하고,
상기 가장자리영역과 상기 내측영역에 잉크를 도포한 후, 상기 가장자리영역과 상기 내측영역의 사이의 간극영역에 잉크를 도포하는 잉크도포제어장치가 제공된다.
본 발명의 다른 관점에 의하면,
기판의 소정의 영역으로의 잉크의 도포를 제어하는 제어부를 구비한 잉크도포제어장치로서,
잉크를 도포해야 할 도포영역의 가장자리를 따라 뻗는 가장자리영역에, 잉크의 착탄목표위치가 되는 복수의 화소가, 상기 가장자리의 길이방향으로 나열됨과 함께, 폭방향에 관해서는 2개의 화소가 나열되고,
상기 제어부는, 상기 가장자리영역의 화소에 잉크를 착탄시킬 때에, 상기 가장자리영역의 길이방향에 관해서는, 적어도 1개 간격의 화소에 잉크를 착탄시키며, 그 후 잉크가 착탄되어 있는 화소의 사이의 화소에 잉크를 착탄시키고, 상기 가장자리영역의 폭방향으로 나열되는 2개의 화소에 관해서는, 외측의 화소보다 내측의 화소에 먼저 잉크를 착탄시키는 잉크도포제어장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 관점에 의하면,
잉크를 도포해야 할 도포영역이 표면에 획정(劃定)된 기판의, 상기 도포영역의 가장자리를 따르는 가장자리영역, 및 상기 가장자리영역으로부터 간격을 사이에 둔 내측영역에, 상기 가장자리영역에 도포된 잉크와 상기 내측영역에 도포된 잉크가 접촉하지 않도록 잉크를 도포하고,
상기 가장자리영역과 상기 내측영역에 잉크를 도포한 후, 상기 가장자리영역과 상기 내측영역의 사이의 간극영역에 잉크를 도포하는 잉크도포방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 관점에 의하면,
잉크를 도포해야 할 도포영역이 표면에 획정된 기판의, 상기 도포영역의 가장자리를 따라 뻗는 가장자리영역에, 잉크의 착탄목표위치가 되는 복수의 화소가, 상기 가장자리의 길이방향으로 나열됨과 함께, 폭방향에 관해서는 2개의 화소가 나열되어 있고,
상기 가장자리영역의 길이방향에 관해서는, 적어도 1개 간격의 화소에 잉크를 착탄시키며,
그 후 잉크가 착탄되어 있는 화소의 사이의 화소에 잉크를 착탄시키고,
상기 가장자리영역의 폭방향으로 나열되는 2개의 화소에 관해서는, 외측의 화소보다 내측의 화소에 먼저 잉크를 착탄시키는 잉크도포방법이 제공된다.
가장자리영역과 내측영역의 잉크를 도포한 후, 간극영역에 잉크를 도포함으로써, 잉크가 도포되지 않는 영역의 발생을 억제할 수 있다.
도 1의 1A는, 실시예에 의한 잉크도포제어장치가 탑재된 잉크도포장치의 개략정면도이며, 도 1의 1B는, 가동테이블 및 잉크토출유닛의 평면시(平面視)에 있어서의 위치관계를 나타내는 도이다.
도 2의 2A는, 잉크도포의 도중단계에 있어서의 기판의 일부분의 평면도이며, 도 2의 2B는, 잉크도포가 완료된 상태의 기판의 일부분의 평면도이다.
도 3의 3A 및 3B는, 각각 비교예에 의한 잉크도포방법으로 잉크를 도포한 도포영역의, 도중단계 및 도포완료 시에 있어서의 평면도이다.
도 4의 4A는, 도포영역의 형상 및 위치를 정의하는 화상데이터를 모식적으로 나타내는 도이며, 도 4의 4B는, 화소와, 기판에 착탄된 잉크의 액적의 위치관계를 나타내는 도이다.
도 5의 5A 및 5B는, 가장자리영역, 내측영역, 및 간극영역과 화소의 대응관계, 및 잉크를 착탄시킨 화소를 나타내는 도이다.
도 6의 6A는, 2행 2열로 배치된 4개의 화소로 이루어지는 셀을 나타내는 도이며, 도 6의 6B~6E는, 각각 1회째~4회째의 주사 시에 잉크를 착탄시키는 화소를 나타내는 도이다.
도 7의 7A~7D는, 각각 간극영역에 잉크를 도포할 때의 1회째~4회째의 주사 시에 잉크를 착탄시키는 화소를 나타내는 도이다.
도 8은, 도 6의 6B~6E의 좌변 및 상변의 가장자리영역의 화소에 착탄되어 경화된 잉크의 평면형상을 나타내는 도이다.
도 9의 9A는, 복수의 도포영역의 배치의 일례를 나타내는 평면도이며, 도 9의 9B는, 도포영역의 가장자리가 물결무늬로 되어 있는 경우의 도포영역의 간극부를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 10의 10A 및 10B는, 각각 1회째 및 2회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소를 나타내는 도이다.
도 11의 11A 및 11B는, 각각 3회째 및 4회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소를 나타내는 도이다.
도 12의 12A는, 1회째~4회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소를 포함하는 셀을, 일련번호와 함께 나타내는 도이며, 도 12의 12B는, 5회째~8회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소를 포함하는 셀을, 일련번호와 함께 나타내는 도이고, 도 12의 12C 및 12D는, 각각 1회째 및 2회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소를 나타내는 도이다.
도 13의 13A 및 13B는, 각각 3회째 및 4회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소를 나타내는 도이다.
도 14의 14A 및 14B는, 각각 5회째 및 6회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소를 나타내는 도이다.
도 15의 15A 및 15B는, 각각 7회째 및 8회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소를 나타내는 도이다.
도 1의 1A~도 2의 2B를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 의한 잉크도포제어장치에 대하여 설명한다.
도 1의 1A는, 본 실시예에 의한 잉크도포제어장치가 탑재된 잉크도포장치의 개략정면도이다. 기대(基臺)(10) 상에 이동기구(11)에 의하여 가동테이블(12)이 지지되어 있다. x축 및 y축이 수평방향을 향하고, z축이 연직상방을 향하는 xyz직교좌표계를 정의한다. 이동기구(11)는, 잉크도포제어장치(50)에 의하여 제어되어, 가동테이블(12)을 x방향 및 y방향의 두 방향으로 이동시킨다. 이동기구(11)로서, 예를 들면 X방향 이동기구(11X)와 Y방향 이동기구(11Y)를 포함하는 XY스테이지를 이용할 수 있다. X방향 이동기구(11X)는 기대(10)에 대하여 Y방향 이동기구(11Y)를 x방향으로 이동시키고, Y방향 이동기구(11Y)는, 기대(10)에 대하여 가동테이블(12)을 y방향으로 이동시킨다.
가동테이블(12)의 상면(지지면)에, 잉크도포대상인 기판(20)이 지지된다. 기판(20)은, 예를 들면 진공척에 의하여 가동테이블(12)에 고정된다. 가동테이블(12)의 상방에 잉크토출유닛(30)이, 예를 들면 문형(門型)의 지지부재(13)에 의하여 기대(10)에 대하여 승강 가능하게 지지되어 있다. 잉크토출유닛(30)은, 기판(20)에 대향하는 복수의 노즐구멍을 갖는다. 각 노즐구멍으로부터, 기판(20)의 표면을 향하여 광경화성(예를 들면 자외선경화성)의 잉크가 액적화되어 토출된다. 잉크의 토출은, 잉크도포제어장치(50)에 의하여 제어된다.
도 1의 1A에서는, 기대(10)에 대하여 잉크토출유닛(30)을 정지시키고, 기판(20)을 이동시키는 예를 나타냈지만, 그 반대로, 기대(10)에 대하여 기판(20)을 정지시키고, 잉크토출유닛(30)을 이동시켜도 된다. 이와 같이, 기판(20)과 잉크토출유닛(30) 중 일방을 타방에 대하여 상대적으로 이동시키는 구성으로 하면 된다.
잉크도포제어장치(50)는, 기억부(51) 및 제어부(52)를 포함한다. 기억부(51)에, 잉크를 도포해야 할 도포영역의 형상 및 기판(20)의 표면 내의 위치를 정의하는 화상데이터가 기억되어 있다. 제어부(52)는, 이 화상데이터에 근거하여 이동기구(11) 및 잉크토출유닛(30)을 제어함으로써, 기판(20)의 표면의 소정의 위치에, 액적화된 잉크를 착탄시킨다. 제어부(52)는, 도포영역 내의 복수의 위치에, 액적화된 잉크를 착탄시킴으로써, 도포영역 내에 잉크를 도포한다. 이로써, 기판(20)의 표면에 잉크로 이루어지는 막이 형성된다.
도 1의 1B는, 가동테이블(12) 및 잉크토출유닛(30)의 평면시에 있어서의 위치관계를 나타내는 도이다. 가동테이블(12)의 유지면에 기판(20)이 지지되어 있다. 기판(20)의 상방에 잉크토출유닛(30)이 지지되어 있다. 잉크토출유닛(30)은, 잉크젯헤드(31) 및 경화용 광원(33)을 포함한다. 잉크젯헤드(31)의, 기판(20)에 대향하는 면에, 복수의 노즐구멍(32)이 마련되어 있다. 복수의 노즐구멍(32)은, x방향에 관하여 등간격으로 나열되어 있다. 이 간격은, 예를 들면 600dpi의 해상도에 상당하는 치수이다. 다만, 복수의 노즐구멍(32)은, x방향으로 평행한 1개의 직선상에 배치될 필요는 없고, x방향과 평행한 기준선으로부터 y방향으로 규칙적으로 어긋난 위치에 배치되어도 된다.
경화용 광원(33)은, y방향에 관하여 잉크젯헤드(31)의 양측에 각각 배치되어 있고, 기판(20)에 부착된 잉크를 경화시키는 경화장치로서 기능한다. 이동기구(11)가, 잉크도포제어장치(50)에 의하여 제어됨으로써, 가동테이블(12)을 x방향 및 y방향으로 이동시킨다. 또한, 잉크도포제어장치(50)는, 잉크젯헤드(31)의 각 노즐구멍(32)으로부터의 잉크의 토출을 제어한다.
기판(20)을 y방향으로 이동시키면서, 잉크젯헤드(31)로부터 잉크를 액적화하여 토출함으로써, x방향에 관하여 예를 들면 600dpi의 해상도로, 잉크를 기판(20)에 도포할 수 있다. 기판(20)에 부착된 잉크는, 기판(20)의 이동방향의 하류측에 위치하는 경화용 광원(33)으로부터 방사되는 광에 의하여 경화된다. 기판(20)을 y방향으로 이동시키면서, 잉크젯헤드(31)로부터 잉크를 액적화하여 토출하는 처리를, "주사"라고 하는 것으로 한다. 기판(20)을, 600dpi에 상당하는 간격의 1/2만큼 x방향으로 어긋나게 하여 2회의 주사를 실행함으로써, x방향에 관하여 1200dpi의 해상도로, 잉크를 기판(20)에 착탄시킬 수 있다.
2회의 주사를 실행함으로써, x방향에 관하여 양단(兩端)의 노즐구멍(32)의 간격에 상당하는 폭의 영역에 잉크를 도포할 수 있다. 기판(20)의 치수가, 양단의 노즐구멍(32)의 간격보다 큰 경우에는, 기판(20)을 x방향으로 어긋나게 하여 복수 회의 주사를 실행함으로써, 기판(20)의 전역에 잉크를 도포할 수 있다.
다음으로, 도 2의 2A 및 도 2의 2B를 참조하여, 본 실시예에 의한 잉크도포방법에 대하여 설명한다.
도 2의 2A는, 잉크도포의 도중단계에 있어서의 기판(20)의 일부분의 평면도이다. 기판(20)의 표면에, 잉크를 도포해야 할 복수의 도포영역(21)이 획정되어 있다. 도 2의 2A에서는 하나의 도포영역(21)을 나타내고 있다.
도포영역(21) 내에, 도포영역(21)의 가장자리를 따르는 가장자리영역(22), 및 가장자리영역(22)으로부터 간격을 사이에 둔 내측영역(23)을 정의한다. 가장자리영역(22)보다 내측이며, 또한 내측영역(23)보다 외측의 영역, 즉 가장자리영역(22)과 내측영역(23)의 사이의 영역을 간극영역(24)이라고 하는 것으로 한다. 가장자리영역(22)은, 도포영역(21)의 전체둘레에 걸쳐 정의되어 있다.
먼저, 제어부(52)가 이동기구(11) 및 잉크젯헤드(31)를 제어함으로써, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)에 잉크를 도포한다. 도 2의 2A에 있어서 잉크가 도포된 영역에 오른쪽으로 올라가는 해칭을 하고 있다. 이때, 가장자리영역(22)에 도포된 잉크와 내측영역(23)에 도포된 잉크가 서로 접촉하지 않도록 한다. 바꾸어 말하면, 가장자리영역(22)에 도포된 잉크와 내측영역(23)에 도포된 잉크가 서로 접촉하지 않을 정도로, 간극영역(24)의 폭이 확보되어 있다. 이 시점에서, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)에 도포된 잉크는, 주사 중에 경화용 광원(33)(도 1의 1B)으로부터의 광에 조사되어 경화되어 있다.
도 2의 2B는, 잉크도포가 완료된 상태의 기판(20)의 일부분의 평면도이다. 제어부(52)는, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)에 잉크의 도포를 행한 후, 간극영역(24)에 잉크를 도포한다. 도 2의 2B에 있어서, 본 공정에서 잉크가 도포된 영역에 오른쪽으로 내려가는 해칭을 하고 있다. 여기까지의 공정에서, 도포영역(21)의 전역에 잉크가 도포되고 경화되어, 잉크의 막이 형성된다.
다음으로, 도 3의 3A 및 3B에 나타낸 비교예와 비교하면서 도 1의 1A~도 2의 2B에 나타낸 실시예의 우수한 효과에 대하여 설명한다.
도 3의 3A 및 3B는, 각각 비교예에 의한 잉크도포방법으로 잉크를 도포한 도포영역(21)의, 도중단계 및 도포완료 시에 있어서의 평면도이다. 비교예에 있어서는, 도포영역(21) 내에 가장자리영역(22)과 내측영역(23)이 정의되어 있고, 양자 간에 간극영역(24)(도 2의 2A, 도 2의 2B)이 확보되어 있지 않다. 즉, 가장자리영역(22)과 내측영역(23)이 접촉하고 있다. 비교예에 의한 잉크도포방법에서는, 도 3의 3A에 나타내는 바와 같이, 먼저 가장자리영역(22)에 잉크를 도포한다. 도 3의 3A에 있어서, 잉크가 도포된 영역에 오른쪽으로 올라가는 해칭을 하고 있다. 그 후, 도 3의 3B에 나타내는 바와 같이, 내측영역(23)에 잉크를 도포한다. 도 3의 3B에 있어서, 본 공정에서 잉크가 도포된 영역에 오른쪽으로 내려가는 해칭을 하고 있다.
가장자리영역(22)의 내주측의 가장자리의 극근방에 착목하면, 내측영역(23)에 잉크를 도포할 때에, 가장자리영역(22)측에는 이미 경화된 잉크의 막이 형성되어 있고, 내측부(內奧部)측에는 막이 형성되어 있지 않은 상태가 발생할 수 있다. 기판(20)의 표면의 발액성이 높은 경우, 기판(20)의 표면에 착탄된 잉크의 액적은, 경화될 때까지의 기간에 가장자리영역(22)의 경화제의 잉크의 막으로 끌어당겨진다. 이 때문에, 가장자리영역(22)의 약간 내측에, 잉크가 도포되어 있지 않은 미도포영역(25)이 발생되어 버린다. 다만, 내측영역(23)으로의 잉크도포 전에 가장자리영역(22)에 잉크를 도포하는 것은, 잉크로 형성된 막의 외주선(外周線)의 직선도를 높이기 위함이다.
도 2의 2A 및 도 2의 2B에 나타낸 실시예에서는, 간극영역(24)에 잉크를 도포할 때에, 간극영역(24)의 외주측에는 가장자리영역(22)을 덮는 잉크의 막이 형성되어 있고, 내측부측에는 내측영역(23)을 덮는 잉크의 막이 형성되어 있다. 이 때문에, 간극영역(24)에 착탄된 잉크의 액적이, 외주측 또는 내측부측의 편(片)방향으로만 끌어당겨지는 현상이 억제된다. 이 때문에, 미도포영역(25)(도 3의 3B)의 발생을 억제할 수 있다. 기판(20)의 표면에 있어서의 잉크의 접촉각이 90° 이상이 되는 것과 같은 발액성을 갖는 경우에, 미도포영역(25)이 발생하기 쉽다. 따라서, 접촉각이 90° 이상이 되는 발액성을 가진 기판 및 잉크를 이용하여 잉크의 도포를 행하는 경우에, 본 실시예를 적용하는 것이 특히 바람직하다.
또, 본 실시예에서는, 1회의 주사로 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)의 양방에 잉크를 도포하고 있지만, 양자에 도포된 잉크끼리가 접촉하지 않기 때문에, 가장자리영역(22)에 착탄된 잉크의 액적이 도포영역(21)의 내측부로 끌어당겨짐과 같은 현상이 발생하지 않는다. 이 때문에, 도포영역(21)에 도포된 잉크의 막의 외주선의 직선도의 저하를 억제할 수 있다.
다음으로, 도 1의 1A~도 2의 2B에 나타낸 실시예의 변형예에 대하여 설명한다.
상기 실시예에서는, 제어부(52)가, 정지(靜止)하고 있는 잉크젯헤드(31)에 대하여 가동테이블(12)을 이동시키고, 잉크젯헤드(31)로부터의 잉크의 토출을 제어함으로써, 기판(20)의 표면의 목표위치에 잉크를 착탄시키고 있다. 그 외의 구성으로서, 가동테이블(12)을 이동시키는 대신에 잉크젯헤드(31)를 이동시켜도 된다. 또, 가동테이블(12)을 일 방향으로 이동시키고, 잉크젯헤드(31)를 가동테이블(12)의 이동방향과 직교하는 방향으로 이동시켜도 된다. 또, 그 외에 기판(20)의 표면의 목표위치에 액적화된 잉크를 부착시킴으로써 잉크를 도포하는 것이 가능한 잉크도포기구를, 제어부(52)가 제어하도록 해도 된다.
다음으로, 도 4의 4A~도 9의 9B를 참조하여, 다른 실시예에 의한 잉크도포제어장치 및 잉크도포방법에 대하여 설명한다. 이하, 도 1의 1A~도 2의 2B에 나타낸 실시예와 공통의 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
도 4의 4A는, 도포영역(21)(도 2의 2A, 도 2의 2B)의 형상 및 위치를 정의하는 화상데이터(40)를 모식적으로 나타내는 도이다. 도포영역(21)의 형상 및 위치는, 행렬상으로 배치된 복수의 화소(41)에 의하여 정의된다. 기판(20)(도 2의 2A, 도 2의 2B)의 표면에 있어서, 화소(41)에 대응하는 위치가, 액적화된 잉크의 착탄목표위치가 된다. 예를 들면, 복수의 화소(41)의 열방향이 주사방향(도 1의 1B의 y방향)에 대응하고, 행방향이, 노즐구멍(32)이 등간격으로 나열되는 방향(도 1의 1B의 x방향)에 대응한다.
도 4의 4B는, 화소(41)와, 기판(20)에 착탄된 잉크의 액적(60)의 평면시에 있어서의 위치관계를 나타내는 도이다. 기판(20)에 착탄된 잉크의 액적(60)은, 평면시에 있어서 대략 원형이 된다. 잉크의 착탄위치에 어긋남이 없는 경우에는, 잉크의 액적(60)의 중심위치가, 착탄목표의 화소(41)의 중심위치에 일치한다. 1개의 화소(41)는, 평면시에 있어서, 당해 화소(41)에 착탄된 잉크의 액적(60)에 포함된다. 잉크의 액적(60)은, 인접하는 화소(41)의 중심위치까지는 확산되지 않는다. 즉, 잉크의 액적(60)의 직경은, 화소피치의 2배 미만이다. 이 때문에, 이웃하는 2개의 화소(41)에 각각 착탄된 잉크는 서로 접촉하여, 연속되는 막을 형성한다. 1개분의 화소(41)를 사이에 둔 2개의 화소(41)에 각각 착탄된 잉크는, 서로 접촉하지 않는다. 일례로서, 화소피치는 21.125μm(1200dpi에 상당하는 피치)이며, 잉크의 액적(60)의 직경은 30μm 이상 40μm 이하이다.
도 5의 5A 및 5B는, 가장자리영역(22), 내측영역(23), 및 간극영역(24)과, 복수의 화소(41)와의 대응관계, 및 잉크를 착탄시킨 화소(41)를 나타내는 도이다. 가장자리영역(22)에 대응하는 복수의 화소(41)가, 가장자리영역(22)의 길이방향(도포영역(21)의 둘레방향)으로 나열되어 있다. 가장자리영역(22)의 폭방향에 관해서는, 2개의 화소(41)가 나열되어 있다. 즉, 가장자리영역(22)은, 복수의 화소(41)가 둘레방향으로 나열되어 있는 2열의 화소열로 구성된다. 간극영역(24)에 관해서는, 폭방향으로 3개의 화소(41)가 나열되어 있다. 즉, 가장자리영역(22)과 내측영역(23)의 간격은, 화소(41)의 3피치분에 상당한다. 또, 간극영역(24)의 폭은, 기판(20)에 착탄된 잉크의 액적의 직경보다 넓고, 잉크의 액적의 직경의 3배보다 좁게 할 수도 있다.
본 실시예에 의한 잉크도포방법에 있어서는, 도 2의 2A 및 도 2의 2B에 나타낸 실시예에 의한 방법과 동일하게, 도 5의 5A에 나타내는 바와 같이, 먼저 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 간극영역(24)의 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다. 도 5의 5A에 있어서, 잉크의 액적이 착탄된 화소(41)에 해칭을 하고 있다. 다음으로, 도 5의 5B에 나타내는 바와 같이, 간극영역(24)의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 도 5의 5B에 있어서, 본 공정에서 잉크의 액적이 착탄된 화소(41)에, 상대적으로 진한 해칭을 하고 있다.
다음으로, 도 6의 6A~6E를 참조하여, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)의 복수의 화소(41)에 잉크를 착탄시키는 순번의 일례에 대하여 설명한다.
도 6의 6A는, 2행 2열로 배치된 4개의 화소(41)로 이루어지는 셀(42)을 나타내는 도이다. 1개의 셀(42)에 포함되는 4개의 화소(41)에, 1부터 4까지의 일련번호가 붙여져 있다. 예를 들면, 1행 1열째(좌상)의 화소(41)에 일련번호 4를 붙이고, 1행 2열째(우상)의 화소(41)에 일련번호 3을 붙이며, 2행 1열째(좌하)의 화소(41)에 일련번호 2를 붙이고, 2행 2열째(우하)의 화소(41)에 일련번호 1을 붙인다. 도포영역(21) 내의 복수의 화소(41) 중 4개씩 모아 셀(42)을 구성한다. 이때, 복수의 셀(42)이 행렬상으로 간극없이 배치되도록 모은다. 도 6의 6B~6E에 있어서, 셀(42)의 경계를 실선으로 나타내고, 셀(42) 내의 화소(41)의 경계를 파선으로 나타내고 있다.
본 실시예에서는, 1회의 주사로 복수의 셀(42) 내의 동일한 일련번호를 갖는 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)의 모든 화소(41)에 잉크를 착탄시키기 위하여, 합계 4회의 주사를 행한다.
도 6의 6B~6E는, 각각 1회째~4회째의 주사 시에 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 도 6의 6B~6E에서는, 도포영역(21)의 좌상의 귀퉁이의 근방에 위치하는 일부의 화소(41)를 나타내고 있다. 도 6의 6B~6E에 있어서, 금회 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)에 상대적으로 진한 해칭을 하고, 전회의 주사까지 잉크의 액적이 착탄되어 있는 화소(41)에 상대적으로 연한 해칭을 하고 있다.
1회째의 주사에서는, 도 6의 6B에 나타내는 바와 같이, 셀(42) 내의 일련번호 1의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 2회째의 주사에서는, 도 6의 6C에 나타내는 바와 같이, 셀(42) 내의 일련번호 2의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 3회째의 주사에서는, 도 6의 6D에 나타내는 바와 같이, 셀(42) 내의 일련번호 3의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 4회째의 주사에서는, 도 6의 6E에 나타내는 바와 같이, 셀(42) 내의 일련번호 4의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 4회의 주사에 의하여, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)의 모든 화소(41)에 잉크를 착탄시킬 수 있다.
도 6의 6B~6E에 나타낸 바와 같이, 가장자리영역(22)의 길이방향에 관해서는, 1회의 주사로 1개 간격의 화소(41)에 잉크를 착탄시키고 있다. 가장자리영역(22)의 폭방향으로 나열되는 2개의 화소(41)에 관해서는, 외주측의 화소(41)보다 내주측의 화소(41)에 먼저 잉크를 착탄시키고 있다.
내측영역(23)에 있어서는, 도 6의 6B에 나타내는 바와 같이, 1회째의 주사로 복수의 화소(41)에, 1행 간격 또는 1열 간격으로 잉크를 착탄시키고 있다. 2회째의 주사에서는, 도 6의 6C에 나타내는 바와 같이, 잉크가 착탄되어 있는 행에 포함되는 잉크미착탄의 화소(41)에 잉크를 착탄시키고 있다. 3회째의 주사에서는, 도 6의 6D에 나타내는 바와 같이, 잉크가 미착탄의 행의 복수의 화소(41)에, 1열 간격으로 잉크를 착탄시키고 있다. 4회째의 주사에서는, 도 6의 6E에 나타내는 바와 같이, 잉크미착탄의 화소(41)에 잉크를 착탄시키고 있다.
다음으로, 도 7의 7A~7D를 참조하여, 간극영역(24)의 화소(41)에 잉크를 착탄시키는 순번의 일례에 대하여 설명한다. 간극영역(24)의 모든 화소(41)에 잉크를 착탄시키기 위하여, 합계 4회의 주사를 행한다.
도 7의 7A~7D는, 각각 간극영역(24)에 잉크를 도포할 때의 1회째~4회째의 주사 시에 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 도 7의 7A~7D에서는, 도포영역(21)의 좌상의 귀퉁이의 근방에 위치하는 일부의 화소(41)를 나타내고 있다. 도 7의 7A~7D에 있어서, 금회 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)에 상대적으로 진한 해칭을 하고, 전회의 주사까지 잉크의 액적이 착탄되어 있는 화소(41)에 상대적으로 연한 해칭을 하고 있다.
1회째의 주사에서는, 도 7의 7A에 나타내는 바와 같이, 간극영역(24)의 폭방향에 관하여 중앙에 위치하는 복수의 화소(41)에, 길이방향에 관하여 1개 간격으로(1개 걸러서) 잉크를 착탄시킨다. 2회째의 주사에서는, 도 7의 7B에 나타내는 바와 같이, 잉크가 착탄되어 있는 화소(41)와, 내측영역(23)의 사이의 화소(41)에, 잉 크를 착탄시킨다. 3회째의 주사에서는, 도 7의 7C에 나타내는 바와 같이, 폭방향에 관하여 중앙에 위치하는 잉크미착탄의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 4회째의 주사에서는, 도 7의 7D에 나타내는 바와 같이, 간극영역(24) 내의 잉크미착탄의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다.
도 7의 7A~7D에 나타낸 바와 같이, 간극영역(24) 내의 폭방향으로 나열되는 3개의 화소(41)에 착목하면, 최초로 중앙의 화소(41)에 잉크를 착탄시키고, 그 후 양단의 화소(41)에 잉크를 착탄시키고 있다. 폭방향의 중앙의 화소(41)에 착탄된 잉크는, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)에 도포되어 있는 잉크 중 어느 것에도 접촉하지 않는다. 폭방향의 양단의 화소(41)에 착탄된 잉크는, 이미 간극영역(24)에 착탄되어 있는 잉크와 가장자리영역(22)에 도포되어 있는 잉크의 양방, 또는 이미 간극영역(24)에 착탄되어 있는 잉크와 내측영역(23)에 도포되어 있는 잉크의 양방에 접촉한다.
다음으로, 본 실시예의 우수한 효과에 대하여 설명한다. 먼저, 간극영역(24)으로의 잉크의 도포에 착목했을 때의 우수한 효과에 대하여 설명한다.
본 실시예에서는, 간극영역(24)에 잉크를 착탄시킬 때에, 폭방향으로 나열되는 3개의 화소(41)에 착목하면, 도 7의 도 7a 및 도 7의 7C에 나타낸 바와 같이 중앙의 화소(41)에, 양단의 화소(41)보다 먼저 잉크를 착탄시킨다. 중앙의 화소(41)에 착탄된 잉크는, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23) 중 어느 잉크의 막에도 접촉하지 않는다. 이 때문에, 중앙의 화소(41)에 착탄된 잉크는, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23)의 어느 측에도 끌어당겨지지 않는다.
도 7의 7B에 나타낸 바와 같이, 폭방향으로 나열되는 3개의 화소(41) 중 양단의 화소(41)에 착탄된 잉크는, 중앙의 화소(41)에 이미 착탄되어 있는 잉크와, 가장자리영역(22) 및 내측영역(23) 중 어느 하나에 도포되어 있는 잉크의 양방에 접촉한다. 중앙의 화소(41)에 착탄되어 있는 잉크는, 이미 경화되어 있기 때문에, 양단의 화소(41)에 착탄된 잉크를 통하여 가장자리영역(22) 또는 내측영역(23)의 잉크의 막에 이어져도, 가장자리영역(22) 또는 내측영역(23)에 끌어당겨지는 경우는 없다. 도 7의 7D에 나타낸 바와 같이, 4회째의 주사로 착탄된 잉크는, 사방에 이웃하는 4개의 화소(41)에 착탄이 완료된 잉크에 접촉하기 때문에, 어느 일 방향으로 끌어당겨지는 경우는 없다. 이와 같이, 간극영역(24)에 착탄된 잉크가 어느 일 방향으로 끌어당겨지는 경우가 없기 때문에, 미도포영역의 발생을 억제할 수 있다.
다음으로, 도 8을 참조하여, 가장자리영역(22)으로의 잉크의 도포에 착목했을 때의 우수한 효과에 대하여 설명한다.
도 8은, 도 6의 6B~6E에 나타낸 도포영역(21)의 상변 및 좌변의 가장자리영역(22)의 화소(41)에 착탄되어 경화된 잉크의 평면형상을 나타내는 도이다. 1회째~4회째의 주사로 착탄된 잉크로 덮이는 영역에, 각각 1부터 4까지의 숫자를 붙이고 있다.
1회째의 주사 전에는, 어느 화소(41)에도 잉크가 착탄되어 있지 않기 때문에, 1회째의 주사(도 6b)로 착탄된 잉크는, 대략 원형의 평면형상을 갖는다. 2회째의 주사(도 6c)로 착탄된 잉크는, 경화되기 전에, 1회째의 주사로 착탄되어 경화되고 있는 잉크에 접촉하여, 끌어당겨진다. 이 때문에, 좌변에 있어서는, 파선으로 나타낸 영역에 착탄된 잉크가, 도포영역(21)의 내측에 위치하는 잉크로 끌어당겨짐으로써, 외주측의 가장자리가 약간 내측으로 이동한다. 상변에 있어서는, 1회째의 주사로 착탄되어 있는 양측의 잉크로 끌어당겨진다. 그 결과, 2회째의 주사로 잉크가 착탄되는 화소(41)의 위치의 가장자리가 파이고, 1회째의 주사로 잉크가 착탄되는 화소(41)의 위치의 가장자리가 돌출한 물결무늬로 된 형상의 가장자리가 나타난다.
3회째의 주사(도 6의 6D)로 좌변에 착탄된 잉크는, 1회째 및 2회째의 주사로 착탄되어 경화되고 있는 양측의 잉크로 끌어당겨진다. 3회째의 주사(도 6의 6D)로 상변에 착탄된 잉크는, 도포영역(21)의 내측에 위치하는 1회째 및 2회째의 주사로 착탄되어 경화된 잉크로 끌어당겨진다. 이와 같이, 3회째의 주사까지 형성된 가장자리영역(22)의 잉크의 막은, 외주측의 가장자리가 크게 물결무늬로 되고, 내주측의 가장자리가 작게 물결무늬로 된 형상이 된다. 가장자리영역(22)의 외주측의 가장자리의 볼록부는, 오목부보다 평면시에 있어서 큰 면적을 갖는다.
4회째의 주사(도 6의 6E)에서는, 3회째의 주사까지 형성되어 있는 가장자리영역(22)의 잉크의 막의 외주측의 물결무늬로 된 가장자리의 오목부에 잉크가 착탄된다. 이 잉크가 오목부를 메우기 때문에, 가장자리영역(22)의 외주측의 가장자리의 물결무늬로 된 진폭이 작아진다. 바꾸어 말하면, 외주측의 가장자리의 직선도가 높아진다. 이와 같이, 본 실시예에 있어서는, 가장자리영역(22)에 도포된 잉크의 막의 외주측의 가장자리의 직선도를 높일 수 있다.
다음으로, 도 9의 9A 및 도 9의 9B를 참조하여, 행렬상으로 배치된 복수의 정사각형 또는 직사각형의 도포영역(21)에, 본 실시예에 의한 잉크도포방법에 의하여 잉크를 도포하는 경우의 우수한 효과에 대하여 설명한다.
도 9의 9A는, 복수의 도포영역(21)의 배치의 일례를 나타내는 평면도이다. 정사각형 또는 직사각형의 복수의 도포영역(21)이 행렬상으로 배치되어 있다. 이와 같은 도포영역(21)의 배치는, 예를 들면 터치패널의 투명전극을 형성할 때의 에칭용 레지스트막으로 이용된다. 도포영역(21)에 도포한 잉크로 이루어지는 레지스트막을 에칭마스크로 하여 투명도전막을 에칭함으로써, 투명전극이 형성된다. 터치패널의 분해능을 높이기 위하여, 투명전극의 간격을 좁히는 것이 요망된다. 투명전극의 간격을 좁히기 위해서는, 도포영역(21)의 간격을 좁혀야만 한다.
도 9의 9B는, 도포영역(21)의 가장자리가 물결무늬로 되어 있는 경우의 도포영역(21)의 간극부를 확대하여 나타내는 평면도의 일례이다. 도포영역(21)의 간격이 좁아지면, 이웃하는 도포영역(21)의 가장자리의 볼록부끼리가 접촉해 버리는 위험성이 높아진다. 2개의 도포영역(21)에 도포된 잉크가 이어져 버리면, 2개의 투명전극이 전기적으로 단락되어 버린다.
본 실시예에 의한 잉크도포방법을 이용하면, 도포영역(21)의 가장자리의 직선도를 높일 수 있기 때문에, 도포영역(21)의 간격을 좁혀도, 2개의 도포영역(21)에 도포된 잉크의 접촉이 발생하기 어려워진다. 이로써, 투명전극의 단락이 발생하기 어려워진다는 우수한 효과가 얻어진다.
도 6의 6B~6E에서는, 도포영역(21)의 상변 및 좌변에 위치하는 가장자리영역(22)의 복수의 화소(41)에 대하여, 잉크의 착탄순서를 설명했다. 다음으로, 도 10의 10A~도 11의 11B를 참조하여, 상변과 좌변에 더하여 우변에 위치하는 가장자리영역(22)의 복수의 화소(41)에 대하여, 잉크의 착탄순서의 일례를 설명한다.
도 10의 10A~도 11의 11B는, 각각 1회째~4회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 셀(42)의 경계를 실선으로 나타내고, 셀(42) 내의 화소(41)의 경계를 파선으로 나타내고 있다. 1회째~4회째의 주사로, 각각 가장자리영역(22) 및 내측영역(23) 내의 일련번호 1~4의 화소(41)에 잉크를 착탄시키고 있다. 도 10의 10A~도 11의 11B에 있어서, 도 6의 6B~6E와 동일하게, 금회 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)에 상대적으로 진한 해칭을 하고, 전회의 주사까지 잉크의 액적이 착탄되어 있는 화소(41)에 상대적으로 연한 해칭을 하고 있다.
도포영역(21) 내의 행방향의 화소수가 짝수인 경우, 1회째의 주사에서는 도 10의 10A에 나타내는 바와 같이, 도포영역(21)의 좌변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 가장자리영역(22)의 내주측의 화소(41)에 잉크가 착탄되지만, 우변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 외주측의 화소(41)에 잉크가 착탄된다. 좌변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 잉크의 착탄순은 도 6의 6B~6E에 나타낸 경우와 동일하다. 우변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 2회째의 주사로, 도 10의 10B에 나타내는 바와 같이, 내주측의 화소(41)에 잉크가 착탄된다. 3회째의 주사에서는, 도 11의 11A에 나타내는 바와 같이, 외주측의 화소(41)에 잉크가 착탄된다. 4회째의 주사에서는, 도 11의 11B에 나타내는 바와 같이, 내주측의 화소(41)에 잉크가 착탄된다.
이와 같이, 도포영역(21)의 우변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 가장자리영역(22)의 폭방향으로 나열되는 2개의 화소(41)에 착목하면, 내주측의 화소(41)보다 외주측의 화소(41)에 먼저 잉크가 착탄된다. 이 때문에, 도 8을 참조하여 설명한 바와 같은 가장자리의 직선도를 높이는 효과가 얻어지지 않는다. 도포영역(21)의 행방향의 화소수가 짝수인 경우에는, 좌변 및 우변 중 일방의 가장자리영역(22)의 가장자리의 직선도를 높일 수 있지만, 타방의 가장자리영역(22)에 대해서는, 직선도를 높이는 충분한 효과가 얻어지지 않는다. 동일하게, 도포영역(21)의 열방향의 화소수가 짝수인 경우에는, 상변 및 하변 중 일방의 가장자리영역(22)의 가장자리의 직선도를 높일 수 있지만, 타방의 가장자리영역(22)에 대해서는, 직선도를 높이는 충분한 효과가 얻어지지 않는다.
이와 같이, 좌변 및 우변 중 일방, 또는 상변 및 하변 중 일방만으로 직선도를 높이는 충분한 효과가 얻어지는 경우여도, 도 9의 9A에 있어서 행방향 또는 열방향으로 이웃하는 2개의 도포영역(21)의 서로 대향하는 가장자리 중, 일방의 직선도를 높일 수 있다. 이 때문에, 2개의 도포영역(21)에 도포된 잉크의 접촉을 억제하는 효과가 얻어진다.
다음으로, 도 12의 12A~도 15의 15B를 참조하여, 또 다른 실시예에 의한 잉크도포제어장치 및 잉크도포방법에 대하여 설명한다. 이하, 도 1의 1A~도 2의 2B, 도 4의 4A~도 9의 9B, 도 10의 10A~도 11의 11B에 나타낸 각 실시예와 공통의 구성에 대해서는 설명을 생략한다. 도 10의 10A~도 11의 11B에 나타낸 실시예에서는, 도포영역(21)의 행방향의 화소수가 짝수인 경우, 도포영역(21)의 좌변의 직선도를 높이는 우수한 효과가 얻어지지만, 우변의 직선도를 높이는 충분한 효과는 얻어지지 않는다. 이것에 대하여, 도 12의 12A~도 15의 15B에 나타낸 실시예에서는, 도포영역(21)의 행방향의 화소수가 짝수여도, 도포영역(21)의 좌변 및 우변의 직선도를 높이는 충분한 효과가 얻어진다. 본 실시예에서는, 합계 8회의 주사를 행함으로써, 가장자리영역(22)의 모든 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다.
도 12의 12A는, 1회째~4회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 포함하는 셀(42)을, 일련번호와 함께 나타내는 도이다. 도 12의 12B는, 5회째~8회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 포함하는 셀(42)을, 일련번호와 함께 나타내는 도이다. 도 12의 12A에 나타낸 셀(42)의 화소(41)에 붙여진 일련번호는, 도 6의 6A에 나타낸 셀(42)의 것과 동일하다. 도 12의 12B에 나타낸 셀(42)에 있어서는, 우하, 좌하, 우상, 및 좌상의 화소(41)에, 각각 일련번호 5~8이 붙여져 있다. i회째의 주사로, 일련번호 i의 화소에 잉크를 착탄시킨다. 본 실시예에서는, 1회째~4회째의 주사로, 가장자리영역(22)의 내주측의 화소(41)에 잉크를 착탄시키고, 5회째~8회째의 주사로, 가장자리영역(22)의 외주측의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다.
도 12의 12C는, 1회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 상변 및 좌변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 1의 화소(41)가 내주측에 위치하기 때문에, 일련번호 1의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 우변 및 하변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 1의 화소(41)가 외주측에 위치하기 때문에, 이들 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다. 또한, 내측영역(23) 내의 일련번호 1의 화소(41)에도 잉크를 착탄시킨다.
도 12의 12D는, 2회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 상변 및 우변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 2의 화소(41)가 내주측에 위치하기 때문에, 일련번호 2의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 좌변 및 하변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 2의 화소(41)가 외주측에 위치하기 때문에, 이들 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다. 또한, 내측영역(23) 내의 일련번호 2의 화소(41)에도 잉크를 착탄시킨다.
도 13의 13A는, 3회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 좌변 및 하변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 3의 화소(41)가 내주측에 위치하기 때문에, 일련번호 3의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 상변 및 우변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 3의 화소(41)가 외주측에 위치하기 때문에, 이들 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다. 또한, 내측영역(23) 내의 일련번호 3의 화소(41)에도 잉크를 착탄시킨다.
도 13의 13B는, 4회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 우변 및 하변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 4의 화소(41)가 내주측에 위치하기 때문에, 일련번호 4의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 상변 및 좌변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 4의 화소(41)가 외주측에 위치하기 때문에, 이들 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다. 또한, 내측영역(23) 내의 일련번호 4의 화소(41)에도 잉크를 착탄시킨다. 1회째부터 4회째까지의 주사에 의하여, 가장자리영역(22)의 내주측의 모든 화소(41), 및 내측영역(23) 내의 모든 화소(41)에 잉크가 착탄된다.
도 14의 14A는, 5회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 5회째의 주사에서는, 도 12의 12B에 나타낸 셀(42)의 일련번호 5의 위치의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 우변 및 하변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 5의 화소(41)가 외주측에 위치하기 때문에, 일련번호 5의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 상변 및 좌변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 5의 화소(41)가 내주측에 위치하기 때문에, 이들 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다.
도 14의 14B는, 6회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 좌변 및 하변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 6의 화소(41)가 외주측에 위치하기 때문에, 일련번호 6의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 상변 및 우변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 6의 화소(41)가 내주측에 위치하기 때문에, 이들 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다.
도 15의 15A는, 7회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 상변 및 우변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 7의 화소(41)가 외주측에 위치하기 때문에, 일련번호 7의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 좌변 및 하변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 7의 화소(41)가 내주측에 위치하기 때문에, 이들 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다.
도 15의 15B는, 8회째의 주사로 잉크를 착탄시키는 화소(41)를 나타내는 도이다. 상변 및 좌변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 8의 화소(41)가 외주측에 위치하기 때문에, 일련번호 8의 화소(41)에 잉크를 착탄시킨다. 우변 및 하변의 가장자리영역(22)에 있어서는, 일련번호 8의 화소(41)가 내주측에 위치하기 때문에, 이들 화소(41)에는 잉크를 착탄시키지 않는다. 5회째~8회째의 주사에 의하여, 가장자리영역(22)의 외주측의 모든 화소(41)에 잉크가 착탄된다.
다음으로, 도 12의 12A~도 15의 15B에 나타낸 실시예의 우수한 효과에 대하여 설명한다. 본 실시예에서는, 가장자리영역(22)의 폭방향으로 나열되는 2개의 화소(41)에 착목했을 때, 가장자리영역(22)의 전역에 있어서, 외주측의 화소(41)보다 내주측의 화소(41)에 먼저 잉크가 착탄된다. 이 때문에, 도 8을 참조하여 설명한 바와 같이, 가장자리영역(22)의 외주측의 가장자리의 직선도를 높일 수 있다. 도 9의 9A에 나타낸 바와 같이, 복수의 도포영역(21)을, 간격을 사이에 두고 행렬상으로 배치하는 경우에는, 도포영역(21)의 간격을 보다 좁히는 것이 가능해진다.
다음으로, 상기 실시예의 변형예에 대하여 설명한다. 상기 실시예에서는, 도포영역(21)(도 2의 2A, 도 2의 2B 등)이 정사각형 또는 직사각형인 경우를 취급하고 있지만, 도포영역(21)의 형상은 정사각형 또는 직사각형 이외여도 된다. 예를 들면, 가장자리의 일부가 화소배열의 행방향 또는 열방향과 평행인 경우, 이 가장자리에 대하여 상기 실시예의 잉크도포방법을 적용하는 것이 가능하다.
상술한 각 실시예는 예시이며, 다른 실시예로 나타낸 구성의 부분적인 치환 또는 조합이 가능한 것은 말할 필요도 없다. 복수의 실시예의 동일한 구성에 의한 동일한 작용효과에 대해서는 실시예별로는 따로 언급하지 않는다. 또한, 본 발명은 상술한 실시예에 제한되는 것이 아니다. 예를 들면, 다양한 변경, 개량, 조합 등이 가능한 것은 당업자에게 자명할 것이다.
10 기대
11 이동기구
11X x방향 이동기구
11Y y방향 이동기구
12 가동테이블
13 지지부재
20 기판
21 도포영역
22 가장자리영역
23 내측영역
24 간극영역
25 미도포영역
30 잉크토출유닛
31 잉크젯헤드
32 노즐구멍
33 경화용 광원
40 화상데이터
41 화소
42 셀
50 잉크도포제어장치
51 기억부
52 제어부
60 기판에 착탄된 잉크의 액적

Claims (7)

  1. 기판의 소정의 영역으로의 잉크의 도포를 제어하는 제어부를 구비한 잉크도포제어장치로서,
    상기 제어부는,
    잉크를 도포해야 할 도포영역의 가장자리를 따르는 가장자리영역, 및 상기 가장자리영역으로부터 간격을 사이에 둔 내측영역에, 상기 가장자리영역에 도포된 잉크와 상기 내측영역에 도포된 잉크가 접촉하지 않도록 잉크를 도포하고,
    상기 가장자리영역과 상기 내측영역에 잉크를 도포한 후, 상기 가장자리영역과 상기 내측영역의 사이의 간극영역에 잉크를 도포하는 잉크도포제어장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 간극영역에 잉크를 도포할 때에, 상기 가장자리영역 및 상기 내측영역 중 어느 것에도 접촉하지 않도록 잉크를 도포하고, 그 후 상기 간극영역에 도포되어 있는 잉크와 상기 가장자리영역에 도포되어 있는 잉크의 양방에 접촉하도록, 및 상기 간극영역에 도포되어 있는 잉크와 상기 내측영역에 도포되어 있는 잉크의 양방에 접촉하도록 잉크를 도포하는 잉크도포제어장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 가장자리영역의 잉크의 착탄목표위치가 되는 복수의 화소가, 상기 가장자리영역의 길이방향으로 나열됨과 함께, 폭방향에 관해서는 2개의 화소가 나열되고,
    상기 제어부는, 상기 가장자리영역의 화소에 잉크를 착탄시킬 때에, 상기 가장자리영역의 길이방향에 관해서는, 적어도 1개 간격의 화소에 잉크를 착탄시키며, 그 후 잉크가 착탄되어 있는 화소의 사이의 화소에 잉크를 착탄시키고, 상기 가장자리영역의 폭방향에 관해서는, 외주측의 화소보다 내주측의 화소에 먼저 잉크를 착탄시키는 잉크도포제어장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 내측영역의 잉크의 착탄목표위치가 되는 복수의 화소가 행렬상으로 배치되어 있고,
    상기 제어부는, 상기 내측영역의 복수의 화소에 잉크를 착탄시킬 때에, 1행 간격 또는 1열 간격으로 잉크를 착탄시키며, 그 후 잉크가 착탄되어 있는 행에 포함되는 잉크미착탄의 화소에 잉크를 착탄시키고, 그 후 잉크미착탄의 행의 복수의 화소에, 1열 간격으로 잉크를 착탄시키며, 그 후 잉크미착탄의 화소에 잉크를 착탄시킴으로써, 상기 내측영역의 모든 화소에 잉크를 착탄시키는 잉크도포제어장치.
  5. 기판의 소정의 영역으로의 잉크의 도포를 제어하는 제어부를 구비한 잉크도포제어장치로서,
    잉크를 도포해야 할 도포영역의 가장자리를 따라 뻗는 가장자리영역에, 잉크의 착탄목표위치가 되는 복수의 화소가, 상기 가장자리의 길이방향으로 나열됨과 함께, 폭방향에 관해서는 2개의 화소가 나열되고,
    상기 제어부는, 상기 가장자리영역의 화소에 잉크를 착탄시킬 때에, 상기 가장자리영역의 길이방향에 관해서는, 적어도 1개 간격의 화소에 잉크를 착탄시키며, 그 후 잉크가 착탄되어 있는 화소의 사이의 화소에 잉크를 착탄시키고, 상기 가장자리영역의 폭방향으로 나열되는 2개의 화소에 관해서는, 외측의 화소보다 내측의 화소에 먼저 잉크를 착탄시키는 잉크도포제어장치.
  6. 잉크를 도포해야 할 도포영역이 표면에 획정된 기판의, 상기 도포영역의 가장자리를 따르는 가장자리영역, 및 상기 가장자리영역으로부터 간격을 사이에 둔 내측영역에, 상기 가장자리영역에 도포된 잉크와 상기 내측영역에 도포된 잉크가 접촉하지 않도록 잉크를 도포하고,
    상기 가장자리영역과 상기 내측영역에 잉크를 도포한 후, 상기 가장자리영역과 상기 내측영역의 사이의 간극영역에 잉크를 도포하는 잉크도포방법.
  7. 잉크를 도포해야 할 도포영역이 표면에 획정된 기판의, 상기 도포영역의 가장자리를 따라 뻗는 가장자리영역에, 잉크의 착탄목표위치가 되는 복수의 화소가, 상기 가장자리의 길이방향으로 나열됨과 함께, 폭방향에 관해서는 2개의 화소가 나열되어 있고,
    상기 가장자리영역의 길이방향에 관해서는, 적어도 1개 간격의 화소에 잉크를 착탄시키며,
    그 후, 잉크가 착탄되어 있는 화소의 사이의 화소에 잉크를 착탄시키고,
    상기 가장자리영역의 폭방향으로 나열되는 2개의 화소에 관해서는, 외측의 화소보다 내측의 화소에 먼저 잉크를 착탄시키는 잉크도포방법.
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