KR20210046746A - 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치, 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템, 및 이를 위한 방법들 - Google Patents

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Abstract

진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100)가 설명된다. 장치(100)는, 제1 캐리어(10A)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 자기 베어링들(120) 및 제1 이송 경로(T1)를 따라 제1 캐리어(10A)를 이동시키기 위한 구동 유닛(130)을 포함하는 제1 이송 시스템(101)을 포함하며, 자기 베어링들(120) 및 구동 유닛(130)은 제1 캐리어 이송 공간(15A) 위에 배열된다. 또한, 장치(100)는 제2 이송 시스템(102)을 포함하며, 제2 이송 시스템(102)은 제1 이송 시스템(101)으로부터 수평으로 오프셋되고, 그리고 제2 캐리어(10B)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 추가의 자기 베어링들(120B) 및 제2 이송 경로(T2)를 따라 제2 캐리어(10B)를 이동시키기 위한 추가의 구동 유닛(130B)을 포함하며, 추가의 자기 베어링들(120B)은 자기 베어링들(120) 옆에 배열된다. 또한, 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템 및 이를 위한 방법들이 설명된다.

Description

제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치, 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템, 및 이를 위한 방법들
[0001] 본 개시내용의 실시예들은, 캐리어들, 특히 대면적 기판들의 프로세싱 동안 사용되는 캐리어들을 이송하기 위한 장치들 및 방법들에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 개시내용의 실시예들은, 수직 기판 프로세싱, 예컨대 디스플레이 생산을 위한 대면적 기판들 상의 재료 증착을 위해 프로세싱 시스템들에서 이용가능한 캐리어들의 비접촉식 이송을 위한 장치들 및 방법들에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은, 예컨대 OLED(organic light-emitting diode) 디바이스들의 제조를 위한 수직 기판 프로세싱 시스템들에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치들에 관한 것이다.
[0002] 기판 상에서의 층 증착을 위한 기법들은, 예컨대, 스퍼터 증착(sputter deposition), PVD(physical vapor deposition), CVD(chemical vapor deposition) 및 열적 증발(thermal evaporation)을 포함한다. 코팅된 기판들은 몇몇 애플리케이션들에서 그리고 몇몇 기술 분야들에서 사용될 수 있다. 예컨대, 코팅된 기판들은 디스플레이 디바이스들의 분야에서 사용될 수 있다. 디스플레이 디바이스들은, 정보를 디스플레이하기 위한 텔레비전 스크린들, 컴퓨터 모니터들, 모바일 폰들, 다른 핸드-헬드 디바이스들 등의 제조에서 사용될 수 있다. 전형적으로, 디스플레이들은 상이한 재료들의 층들의 스택으로 기판을 코팅함으로써 생산된다.
[0003] 예컨대, 코팅된 기판들은 OLED(organic light emitting diode) 디바이스들의 분야에서 사용될 수 있다. OLED들은, 예컨대 정보를 디스플레이하기 위한 텔레비전 스크린들, 컴퓨터 모니터들, 모바일 폰들, 다른 핸드-헬드 디바이스들 등의 제조를 위해 사용될 수 있다. OLED 디바이스, 이를테면, OLED 디스플레이는, 기판 상에 증착되는 2개의 전극들 사이에 놓이는 유기 재료의 하나 이상의 층들을 포함할 수 있다.
[0004] 기판 상의 코팅 재료의 증착 동안, 기판은 기판 캐리어에 의해 홀딩될 수 있고, 마스크는 마스크 캐리어에 의해 기판 전면에 홀딩될 수 있다. 마스크의 개구 패턴에 대응하는 재료 패턴, 예컨대 복수의 픽셀들이, 예컨대 재료 증발에 의해 기판 상에 증착될 수 있다.
[0005] OLED 디바이스의 기능성은 전형적으로, 미리 결정된 범위 내에 있어야 하는 유기 재료의 두께 및 코팅 패턴의 정확도에 따라 좌우된다. 고해상도 OLED 디바이스들을 획득하기 위해서는, 증발된 재료들의 증착과 관련한 기술적 난제들이 마스터될 필요가 있다. 특히, 진공 시스템을 통해, 기판을 운반하는 기판 캐리어 및/또는 마스크를 운반하는 마스크 캐리어의 정확하고 원활한 이송은 난제이다. 또한, 진공 조건들 하의 마스크 캐리어에 대한 기판 캐리어의 정밀한 핸들링은, 예컨대 고해상도 OLED 디바이스들을 생산하기 위한 고품질의 증착 결과들을 달성하는 데 중요하다.
[0006] 따라서, 종래 기술의 적어도 일부 문제점들을 극복하는 개선된 진공 프로세싱 시스템들을 제공하는 것뿐만 아니라 캐리어들의 이송을 위한 개선된 장치들 및 방법들에 대한 지속적인 요구가 있다.
[0007] 상기 내용을 고려하여, 독립항들에 따른, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치, 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하는 방법 및 진공 챔버에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 조정하는 방법이 제공된다. 추가의 양상들, 장점들, 및 특징들은 종속항들, 상세한 설명, 및 첨부 도면들로부터 명백하다.
[0008] 본 개시내용의 일 양상에 따르면, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치가 제공된다. 장치는, 제1 이송 경로를 따라 제공되고 그리고 제1 상부 트랙 섹션을 포함하는 제1 이송 시스템을 포함한다. 제1 상부 트랙 섹션은 제1 캐리어 이송 공간에서 제1 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 자기 베어링들을 포함한다. 하나 이상의 자기 베어링들은 이송될 제1 캐리어의 무게 중심 위에 중앙에 배열된다. 추가적으로, 제1 상부 트랙 섹션은 제1 이송 경로를 따라 제1 캐리어를 이동시키기 위한 구동 유닛을 포함한다. 하나 이상의 자기 베어링들 및 구동 유닛은 제1 캐리어 이송 공간 위에 배열된다. 또한, 장치는, 제1 이송 경로로부터 수평으로 오프셋된 제2 이송 경로를 따라 제공되고 그리고 제2 상부 트랙 섹션을 포함하는 제2 이송 시스템을 포함한다. 제2 상부 트랙 섹션은 제2 캐리어 이송 공간에서 제2 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 추가의 자기 베어링들을 포함한다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들은 이송될 제2 캐리어의 무게 중심 위에 중앙에 배열된다. 추가적으로, 제2 상부 트랙 섹션은 제2 이송 경로를 따라 제2 캐리어를 이동시키기 위한 추가의 구동 유닛을 포함한다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들 및 추가의 구동 유닛은 제2 캐리어 이송 공간 위에 배열된다. 제2 상부 트랙 섹션의 하나 이상의 추가의 자기 베어링들은 제1 상부 트랙 섹션의 하나 이상의 자기 베어링들 옆에 배열된다.
[0009] 본 개시내용의 추가의 양상에 따르면, 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템이 제공된다. 프로세싱 시스템은 프로세싱 디바이스를 포함하는 적어도 하나의 진공 챔버를 포함한다. 또한, 프로세싱 시스템은, 본원에서 설명된 임의의 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치를 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하는 방법이 제공된다. 방법은 하나 이상의 자기 베어링들을 사용하여 제1 캐리어 이송 공간에서 제1 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하는 단계를 포함한다. 하나 이상의 자기 베어링들은 이송될 제1 캐리어의 무게 중심 위에 중앙에 배열된다. 추가적으로, 방법은 하나 이상의 추가의 자기 베어링들을 사용하여 제2 캐리어 이송 공간에서 제2 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하는 단계를 포함한다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들은 이송될 제2 캐리어의 무게 중심 위에 중앙에 배열된다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들은 하나 이상의 자기 베어링들 옆에 배열된다. 또한, 방법은 제1 캐리어 이송 공간 위에 배열된 구동 유닛을 사용하여 제1 캐리어를 이송 방향으로 이송하는 단계를 포함한다. 또한, 추가로, 방법은 제2 캐리어 이송 공간 위에 배열된 추가의 구동 유닛을 사용하여 이송 방향으로 제2 캐리어를 이송하는 단계를 포함한다.
[0011] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 진공 챔버에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 조정하는 방법이 제공된다. 방법은 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치를 제공하는 단계를 포함한다. 장치는, 제1 이송 경로를 따라 제공되고 그리고 제1 상부 트랙 섹션을 포함하는 제1 이송 시스템을 포함한다. 제1 상부 트랙 섹션은 제1 캐리어 이송 공간에서 제1 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 자기 베어링들을 포함한다. 하나 이상의 자기 베어링들은 이송될 제1 캐리어의 무게 중심 위에 중앙에 배열된다. 추가적으로, 제1 상부 트랙 섹션은 제1 이송 경로를 따라 제1 캐리어를 이동시키기 위한 구동 유닛을 포함한다. 하나 이상의 자기 베어링들 및 구동 유닛은 제1 캐리어 이송 공간 위에 배열된다. 또한, 장치는, 제1 이송 경로로부터 수평으로 오프셋된 제2 이송 경로를 따라 제공되고 그리고 제2 상부 트랙 섹션을 포함하는 제2 이송 시스템을 포함한다. 제2 상부 트랙 섹션은 제2 캐리어 이송 공간에서 제2 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 추가의 자기 베어링들을 포함한다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들은 이송될 제2 캐리어의 무게 중심 위에 중앙에 배열된다. 추가적으로, 제2 상부 트랙 섹션은 제2 이송 경로를 따라 제2 캐리어를 이동시키기 위한 추가의 구동 유닛을 포함한다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들 및 추가의 구동 유닛은 제2 캐리어 이송 공간 위에 배열된다. 제2 상부 트랙 섹션의 하나 이상의 추가의 자기 베어링들은 제1 상부 트랙 섹션의 하나 이상의 자기 베어링들 옆에 배열된다. 추가적으로, 장치는, 제2 캐리어를 제2 캐리어 트랜스퍼 방향으로 제2 이송 경로로부터 제1 이송 경로를 향해 이동시키기 위한 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리를 포함한다. 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리는, 특히 진공 챔버 외부의 또는 대기 박스(atmospheric box) 내의 대기 공간(atmospheric space)에 제공된 제2 트랜스퍼 액추에이터를 포함한다. 또한, 진공 챔버에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 조정하는 방법은, 제2 트랜스퍼 액추에이터를 사용함으로써, 제2 캐리어를 제2 캐리어 트랜스퍼 방향으로 제2 이송 경로로부터 제1 이송 경로를 향해 이동시키는 단계를 포함한다. 대안적으로, 진공 챔버에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 조정하는 방법은, 제2 트랜스퍼 액추에이터를 사용함으로써, 제2 캐리어를 제2 캐리어 트랜스퍼 방향으로 제2 이송 경로로부터 제1 이송 경로로부터 멀어지게 이동시키는 단계를 포함한다.
[0012] 실시예들은 또한, 개시된 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이며, 각각의 설명된 방법 양상을 수행하기 위한 장치 부분들을 포함한다. 이러한 방법 양상들은, 하드웨어 컴포넌트들에 의해, 적합한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 이들 둘의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 게다가, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한, 설명된 장치를 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다. 설명된 장치를 동작시키기 위한 방법들은 장치의 모든 각각의 기능을 수행하기 위한 방법 양상들을 포함한다.
[0013] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 하기에서 설명된다:
도 1은 본원에서 설명된 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치의 개략도를 도시하고;
도 2 및 도 3a는 본원에서 설명된 추가의 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치의 개략도들을 도시하고;
도 3b는 본원에서 설명된 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치의 상부 부분의 개략적인 측면도를 도시하고;
도 4는 본원에서 설명된 추가의 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치의 상부 부분의 개략도를 도시하고;
도 5는 본원에서 설명된 실시예들에 따른, 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템의 개략도를 도시하고;
도 6은 본원에서 설명된 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 방법을 예시하기 위한 흐름도를 도시하고; 그리고
도 7은 본원에서 설명된 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 조정하는 방법을 예시하기 위한 흐름도를 도시한다.
[0014] 이제 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세하게 참조될 것이며, 다양한 실시예들의 하나 이상의 예들이 도면들에서 예시된다. 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로 제공되며, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 또한, 일 실시예의 부분으로서 예시되거나 또는 설명되는 특징들은, 또 다른 추가적인 실시예를 산출하기 위해, 다른 실시예들에 대해 또는 다른 실시예들과 함께 사용될 수 있다. 설명은 그러한 수정들 및 변형들을 포함하도록 의도된다.
[0015] 도 1을 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100)가 설명된다. 예컨대, 본원에서 설명된 바와 같이, 진공 챔버(210)는 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템(200)의 진공 챔버일 수 있다. 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치는 본원에서 이송 장치로 또한 지칭될 수 있다.
[0016] 본원에서 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 장치(100)는 이송 방향(T)으로 제1 이송 경로(T1)를 따라 제공된 제1 이송 시스템(101)을 포함한다. 이송 방향(T)은 도 1의 도면 평면과 직각을 이룬다. 제1 이송 시스템(101)은 제1 상부 트랙 섹션(11U)을 포함한다. 제1 상부 트랙 섹션(11U)은 제1 캐리어 이송 공간(15A)에서 제1 캐리어(10A)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 자기 베어링들(120)을 포함한다. 하나 이상의 자기 베어링들(120)은 이송될 제1 캐리어(10A)의 무게 중심(G1) 위에 중앙에 배열된다. 추가적으로, 제1 상부 트랙 섹션(11U)은 제1 이송 경로(T1)를 따라 제1 캐리어(10A)를 이동시키기 위한 구동 유닛(130)을 포함한다. 하나 이상의 자기 베어링들(120) 및 구동 유닛(130)은 제1 캐리어 이송 공간(15A) 위에 배열된다.
[0017] 추가적으로, 장치(100)는, 제1 이송 경로(T1)로부터 수평으로 오프셋된 제2 이송 경로(T2)를 따라 제공되고 그리고 제2 상부 트랙 섹션(14U)을 포함하는 제2 이송 시스템(102)을 포함한다. 제2 상부 트랙 섹션(14U)은 제2 캐리어 이송 공간(15B)에서 제2 캐리어(10B)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)을 포함한다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 이송될 제2 캐리어(10B)의 무게 중심(G2) 위에 중앙에 배열된다. 또한, 제2 상부 트랙 섹션(14U)은 제2 이송 경로(T2)를 따라 제2 캐리어(10B)를 이동시키기 위한 추가의 구동 유닛(130B)을 포함한다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B) 및 추가의 구동 유닛(130B)은 제2 캐리어 이송 공간(15B) 위에 배열된다. 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 하나 이상의 자기 베어링들(120) 옆에 배열된다.
[0018] 따라서, 본원에서 설명된 바와 같은, 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치의 실시예들은, 특히, 예컨대 고온 진공 환경이 제공되는 진공 챔버에서의 캐리어들의 정확하고 원활한 이송에 대해서뿐만 아니라 콤팩트성(compactness)에 대해, 종래의 캐리어 이송 장치들과 비교하여 개선된다. 또한, 본원에서 설명된 바와 같은 실시예들은 유익하게, 종래의 캐리어 이송 장치들에 비해 더 적은 생산 비용들로 더 견고한 비접촉식 캐리어 이송을 제공한다. 특히, 본원에서 설명된 바와 같은, 캐리어를 이송하기 위한 장치의 실시예들은, 제조 허용오차들, 변형, 및 열 팽창에 영향을 덜 받는다. 또한, 유익하게, 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치의, 진공 챔버 내로의 더 간단한 통합이 제공된다.
[0019] 본 개시내용의 다양한 추가의 실시예들이 더 상세하게 설명되기 전에, 본원에서 사용되는 일부 용어들에 대한 일부 양상들이 설명된다.
[0020] 본 개시내용에서, "캐리어 이송 공간"은, 캐리어가 이송되는 동안 이송 경로를 따라 이송 방향으로 캐리어가 배열되는 구역으로 이해될 수 있다. 특히, 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 캐리어 이송 공간은, 수직 방향으로 연장되는 높이(H) 및 수평 방향으로 연장되는 폭(W)을 갖는 수직 캐리어 이송 공간일 수 있다. 예컨대, H/W의 종횡비는 H/W ≥ 5, 특히 H/W ≥ 10일 수 있다. 명시적으로 설명되지 않는 한, 본원에서 사용되는 바와 같은 "캐리어 이송 공간"이라는 용어는 본원에서 설명된 바와 같은 제1 캐리어 이송 공간 및/또는 제2 캐리어 이송 공간을 지칭할 수 있다.
[0021] 도 1을 예시적으로 참조하면, 본원에서 설명된 바와 같은 상부 트랙 섹션은 유익하게, 캐리어를 비접촉식으로 이송하기 위한 자기 부상 시스템을 제공한다는 것이 이해되어야 한다. 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, 제1 캐리어(10A)는 상부 챔버 벽(212)과 최하부 챔버 벽(211) 사이의 제1 캐리어 이송 공간(15A)에서 비접촉식으로 홀딩된다. 제2 캐리어(10B)는 상부 챔버 벽(212)과 최하부 챔버 벽(211) 사이의 제2 캐리어 이송 공간(15B)에서 비접촉식으로 홀딩된다. 특히, 상부 챔버 벽(212)은 진공 챔버의 천장일 수 있다. 따라서, 최하부 챔버 벽(211)은 진공 챔버의 최하부 벽일 수 있다.
[0022] 도 1을 참조하면, 본 개시내용에서, "캐리어의 무게 중심 위에 중앙에 배열되는"이라는 표현은, 캐리어의 무게 중심(G)을 통해 연장되는 수직면(111)이 또한, 자기 베어링들을 통해 연장된다는 것으로 이해될 수 있다. 다시 말해서, 캐리어, 예컨대 제1 캐리어(10A) 또는 제2 캐리어(10B)의 무게 중심(G)을 통해 연장되는 수직면(111)은 개개의 자기 베어링들, 예컨대 하나 이상의 자기 베어링들(120) 또는 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)과 교차할 수 있다. 특히, 수직면(111)은 개개의 자기 베어링들의 중심과 대략적으로 교차할 수 있다. "개개의 자기 베어링들의 중심과 대략적으로 교차한다"는 표현은, 수직면(111)이 개개의 자기 베어링들의 중심으로부터 일정 측방향 거리를 두고(at a lateral distance) 자기 베어링들과 교차한다는 것으로 이해될 수 있다. 특히, 수직면(111)은 개개의 자기 베어링들의 중심으로부터 일정 측방향 편차를 두고(with a lateral deviation), 즉, 개개의 자기 베어링들의 중심에 대해 일정 측방향 거리를 두고 자기 베어링들과 교차할 수 있다. "측방향 편차"라는 용어는 개개의 자기 베어링들의 측방향 에지들의 방향으로, 개개의 자기 베어링들의 중심으로부터의 측방향 편차로 이해될 수 있다. 따라서, 개개의 자기 베어링들의 중심과 정확히 교차하는 수직면(111)은 개개의 자기 베어링들의 중심으로부터 0%의 측방향 편차를 갖는다. 개개의 자기 베어링들의 에지와 정확히 교차하는 수직면(111)은 개개의 자기 베어링들의 중심으로부터 100%의 측방향 편차를 갖는다. 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 개개의 자기 베어링들의 중심과 교차하는 수직면(111)의 측방향 편차는 ± 75%, 특히 ± 50%, 더욱 특히 ± 25%, 더욱 특히 ± 10%일 수 있다. 일 예에 따르면, 수직면(111)은 개개의 자기 베어링들에 대한 대칭면을 나타낼 수 있다. 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명된 바와 같은 구동 유닛은 개개의 자기 베어링들에 대해 측방향으로 배열될 수 있다.
[0023] 본 개시내용에서 "자기 부상 시스템"은, 자기력을 사용함으로써 비접촉 방식으로 대상물, 예컨대 캐리어를 홀딩하도록 구성된 시스템으로 이해될 수 있다. 본 개시내용에서, "부상하는" 또는 "부상"이라는 용어는 대상물, 예컨대 기판 또는 마스크를 운반하는 캐리어의 상태를 의미하며, 여기서 대상물은 기계적인 접촉이나 지지 없이 부유(float)한다. 또한, 대상물을 이동시키거나 이송하는 것은 구동력, 예컨대, 부상력의 방향과 상이한 방향의 힘을 제공하는 것을 의미하며, 여기서 대상물은 하나의 포지션으로부터 다른 상이한 포지션, 예컨대, 이송 방향을 따르는 상이한 포지션으로 이동된다. 예컨대, 기판 또는 마스크를 운반하는 캐리어는 부상될 수 있는데, 즉, 중력을 상쇄(counteract)시키는 힘에 의해 부상될 수 있고, 부상된 채로 중력에 평행한 방향과는 상이한 방향으로 이동될 수 있다.
[0024] 본 개시내용에서, "비접촉식"이라는 용어는 중량, 예컨대 캐리어의 중량, 특히 기판 또는 마스크를 운반하는 캐리어의 중량이 기계적 접촉력 또는 기계력에 의해 홀딩되는 것이 아니라 자기력에 의해 홀딩된다는 의미로 이해될 수 있다. 다시 말해서, 본 설명의 전체에 걸쳐 사용되는 바와 같은 "비접촉식"이라는 용어는 기계력들, 즉, 접촉력들 대신에 자기력들을 사용하여 캐리어가 부상 또는 부유 상태로 홀딩된다는 것으로 이해될 수 있다.
[0025] 본 개시내용에서, "캐리어"는 기판을 홀딩하도록 구성된 캐리어(기판 캐리어로 또한 지칭됨)로 이해될 수 있다. 예컨대, 캐리어는 대면적 기판을 운반하기 위한 기판 캐리어일 수 있다. 캐리어를 이송하기 위한 장치의 실시예들은 또한, 다른 캐리어 타입들, 예컨대 마스크 캐리어들에 사용될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 따라서, 추가적으로 또는 대안적으로, 캐리어는 마스크를 운반하도록 구성된 캐리어일 수 있다. 특히, 본원에서 설명된 바와 같은 제1 캐리어(10A)는, 예컨대 기판(1)을 운반하는 기판 캐리어일 수 있고, 본원에서 설명된 바와 같은 제2 캐리어(10B)는, 예컨대 마스크(2)를 운반하는 마스크 캐리어일 수 있다. 기판 캐리어의 크기는 마스크 캐리어의 크기의 상이할 수 있다. 예컨대, 기판 캐리어의 높이 및/또는 폭은 마스크 캐리어의 높이 및/또는 폭보다 더 클 수 있다. 대안적으로, 기판 캐리어의 높이 및/또는 폭은 마스크 캐리어의 높이 및/또는 폭보다 더 작을 수 있다. 또한, 본 개시내용에서 명시적으로 언급되지 않는 한, 본원에서 사용되는 바와 같은 "캐리어"라는 용어는 본원에서 설명된 바와 같은 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어를 지칭할 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0026] 본 개시내용에서, "기판"이라는 용어는 특히, 실질적인 비가요성 기판들, 예컨대 웨이퍼, 사파이어 등과 같은 투명 결정의 슬라이스들, 또는 유리 플레이트를 포괄할 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이들로 제한되지 않으며, "기판"이라는 용어는 또한, 웹 또는 포일과 같은 가요성 기판들을 포괄할 수 있다. "실질적인 비가요성"이라는 용어는 "가요성"과 구별하기 위한 것으로 이해된다. 구체적으로, 실질적인 비가요성 기판, 예컨대 0.5 mm 이하의 두께를 갖는 유리 플레이트는 어느 정도의 가요성을 가질 수 있으며, 여기서 실질적인 비가요성 기판의 가요성은 가요성 기판들에 비해 작다. 본원에서 설명된 실시예들에 따르면, 기판은 재료 증착에 적합한 임의의 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 기판은, 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 유리(예컨대, 소다-석회 유리(soda-lime glass), 보로실리케이트 유리 등), 금속, 폴리머, 세라믹, 화합물 재료들, 탄소 섬유 재료들 또는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 제조될 수 있다.
[0027] 본 개시내용에서, "대면적 기판"이라는 용어는 0.5 ㎡ 이상의, 특히 1 ㎡ 이상의 면적을 갖는 메인 표면을 갖는 기판을 지칭한다. 일부 실시예들에서, 대면적 기판은, 약 0.67 ㎡의 기판(0.73 × 0.92 m)에 대응하는 GEN 4.5, 약 1.4 ㎡의 기판(1.1 m × 1.3 m)에 대응하는 GEN 5, 약 4.29 ㎡의 기판(1.95 m × 2.2 m)에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.7 ㎡의 기판(2.2 m × 2.5 m)에 대응하는 GEN 8.5, 또는 심지어 약 8.7 ㎡의 기판(2.85 m × 3.05 m)에 대응하는 GEN 10일 수 있다. GEN 11 및 GEN 12와 같은 훨씬 더 큰 세대(generation)들 및 대응하는 기판 면적들이 유사하게 구현될 수 있다. 또한, 기판 두께는 0.1 내지 1.8 mm, 특히 약 0.9 mm 이하, 이를테면, 0.7 mm 또는 0.5일 수 있다.
[0028] 본 개시내용에서, "이송 시스템"은 이송 경로를 따라 이송 방향으로 캐리어를 이송하도록 구성된 시스템으로 이해될 수 있다. "이송 방향"이라는 용어는 캐리어가 이송 경로를 따라 이송되는 방향으로 이해될 수 있다. 전형적으로, 이송 방향은 본질적인 수평 방향일 수 있다.
[0029] 본 개시내용에서, "상부 트랙 섹션"은, 하나 이상의 자기 베어링들 및 구동 유닛을 포함하는, 본원에서 설명된 바와 같은 이송 시스템의 상부 부분으로 이해될 수 있다.
[0030] 본 개시내용에서, "자기 베어링"은 대상물, 예컨대 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어를 비접촉 방식으로, 즉, 물리적 접촉 없이 홀딩하거나 지지하도록 구성된 베어링으로 이해될 수 있다. 따라서, 본원에서 설명된 바와 같은 하나 이상의 자기 베어링들은, 캐리어가 베이스 구조, 예컨대 도 1에 도시된 바와 같은 상부 챔버 벽(212)으로부터 미리 결정된 거리에 비접촉식으로 홀딩되도록, 캐리어에 작용하는 자기력을 생성하도록 구성될 수 있다. 특히, 하나 이상의 자기 베어링들(120)은, 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어와 상부 챔버 벽(212) 사이의 갭(122)의 수직 폭이 본질적으로 일정하게 유지될 수 있도록, 본질적인 수직 방향(V)으로 작용하는 자기력을 생성하도록 구성될 수 있다.
[0031] 본 개시내용에서, "구동 유닛"은 이송 방향으로 비접촉 방식으로 본원에서 설명된 바와 같은 대상물, 예컨대 캐리어를 이동시키도록 구성된 유닛으로 이해될 수 있다. 특히, 본원에서 설명된 바와 같은 구동 유닛은 이송 방향으로 캐리어에 작용하는 자기력을 생성하도록 구성될 수 있다. 따라서, 구동 유닛은 선형 모터일 수 있다. 예컨대, 선형 모터는 철심(iron-core) 선형 모터일 수 있다. 대안적으로, 선형 모터는 무철심(ironless) 선형 모터일 수 있다. 무철심 선형 모터는, 캐리어의 수동 자기 엘리먼트들과 선형 모터의 철심의 가능한 상호작용으로 인한 수직력들에 의해 야기되는 캐리어 상의 비틀림 모멘트(torsional moment)를 방지하는 데 유익할 수 있다.
[0032] 본원에서 설명된 일부 실시예들은 "수직 방향"의 개념을 수반한다. 수직 방향은 중력이 연장되는 방향과 실질적으로 평행한 방향인 것으로 고려된다. 수직 방향은 정확한 수직으로부터(정확한 수직은 중력에 의해 정의됨) 예컨대 최대 15도의 각도만큼 벗어날 수 있다. 또한, 본원에서 설명된 일부 실시예들은 "측방향"의 개념을 수반할 수 있다. 측방향은 수직 방향과 구별하기 위한 것으로 이해되어야 한다. 측방향은 중력에 의해 정의되는 정확한 수직 방향과 직각을 이룰 수 있거나 또는 실질적으로 직각을 이룰 수 있다.
[0033] 도 1을 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 하나 이상의 자기 베어링들(120)과 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 대칭면(105)에 대해 거울 대칭으로 배열된다. 대칭면(105)은 제1 캐리어 이송 공간(15A)과 제2 캐리어 이송 공간(15B) 사이에 위치된다. 특히, 대칭면(105)은 수직면이다.
[0034] 도 1을 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 구동 유닛(130)과 추가의 구동 유닛(130B)은 대칭면(105)에 대해 거울 대칭으로 배열된다. 전형적으로, 대칭면(105)에 대한 구동 유닛(130)의 측방향 거리는 대칭면(105)에 대한 하나 이상의 자기 베어링들(120)의 측방향 거리보다 더 크다. 또한, 전형적으로, 대칭면(105)에 대한 추가의 구동 유닛(130B)의 측방향 거리는 대칭면(105)에 대한 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)의 측방향 거리보다 더 크다.
[0035] 도 1을 예시적으로 참조하면, 전형적으로, 대칭면(105)에 대한 구동 유닛(130)의 측방향 거리는 대칭면(105)에 대한 추가의 구동 유닛(130B)의 측방향 거리에 실질적으로 대응하며, 특히 이 측방향 거리와 동일하다는 것이 이해되어야 한다. 따라서, 전형적으로, 대칭면(105)에 대한 하나 이상의 자기 베어링들(120)의 측방향 거리는 대칭면(105)에 대한 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)의 측방향 거리에 실질적으로 대응하며, 특히 이 측방향 거리와 동일하다.
[0036] 도 1을 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 하나 이상의 자기 베어링들(120)은 제1 캐리어(10A)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 제1 액추에이터들(121)을 포함한다. 구동 유닛(130)은 제1 이송 경로(T1)를 따라 제1 캐리어(10A)를 이동시키기 위한 하나 이상의 제2 액추에이터들(132)을 포함할 수 있다. 또한, 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 제2 캐리어(10B)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)을 포함할 수 있다. 추가의 구동 유닛(130B)은 제2 이송 경로(T2)를 따라 제2 캐리어(10B)를 이동시키기 위한 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)을 포함할 수 있다.
[0037] 본 개시내용에서, 하나 이상의 자기 베어링들의 "제1 액추에이터"는 자기 베어링들의 능동적이고 제어가능한 엘리먼트로 이해될 수 있다. 따라서, 하나 이상의 추가의 자기 베어링들의 "제3 액추에이터"는 자기 베어링들의 능동적이고 제어가능한 엘리먼트로 이해될 수 있다. 특히, 하나 이상의 제1 액추에이터들 및/또는 하나 이상의 제3 액추에이터들은 제어가능한 자석, 이를테면, 전자석을 포함할 수 있다. 하나 이상의 제1 액추에이터들 및/또는 하나 이상의 제3 액추에이터들의 자기장은 캐리어, 예컨대 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어와 상부 챔버 벽(212) 사이의 거리를 각각 유지 및/또는 조정하기 위해 능동적으로 제어가능할 수 있다. 다시 말해서, 하나 이상의 자기 베어링들의 "제1 액추에이터" 및/또는 하나 이상의 추가의 자기 베어링들의 "제3 액추에이터"는, 개개의 캐리어, 예컨대 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어에 작용하는 자기 부상력을 제공하기 위한 제어가능하고 조정가능한 자기장을 갖는 엘리먼트로 이해될 수 있다.
[0038] 하나 이상의 제2 액추에이터들(132) 및/또는 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)은 하나 이상의 제어가능한 자석들, 예컨대 전자석들일 수 있다. 따라서, 하나 이상의 제2 액추에이터들(132) 및/또는 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)은 이송 방향으로 캐리어에 이동력을 가하도록 능동적으로 제어가능할 수 있다. 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하나 이상의 제2 자기 대응부들(182)은 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B)에, 특히 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B)의 최상부 부분에 배열될 수 있다. 캐리어, 예컨대 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B)의 하나 이상의 제2 자기 대응부들(182)은 구동 유닛(130)의 하나 이상의 제2 액추에이터들(132) 및/또는 추가의 구동 유닛(130B)의 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)과 각각 자기적으로 상호작용할 수 있다. 특히, 하나 이상의 제2 자기 대응부들(182)은 수동 자기 엘리먼트들일 수 있다. 예컨대, 하나 이상의 제2 자기 대응부들(182)은, 자성 재료, 이를테면, 강자성 재료로 제조될 수 있거나, 영구 자석으로 제조될 수 있거나, 또는 영구 자기 특성들을 가질 수 있다.
[0039] 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 하나 이상의 제1 액추에이터들(121), 하나 이상의 제2 액추에이터들(132), 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B) 및 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)은 대기 공간에 배열될 수 있다. "대기 공간"이라는 표현은 대기압 조건들, 즉, 대략 1.0 bar를 갖는 공간으로 이해될 수 있다. 예컨대, 대기 공간은 진공 챔버 외부에 제공된 공간일 수 있다. 대안적으로, 대기 공간은 진공 챔버 내부에 제공된 대기 박스 또는 대기 컨테이너(atmospheric container)(명시적으로 도시되지 않음)에 의해 제공될 수 있다.
[0040] 도 1을 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 하나 이상의 제1 액추에이터들(121), 하나 이상의 제2 액추에이터들(132), 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B), 및 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)은 특히 진공 챔버(210)의 상부 챔버 벽(212)의 외측 표면에 부착될 수 있다. 따라서, 유익하게, 하나 이상의 자기 베어링들의 능동적 엘리먼트들은, 장착 및/또는 유지보수를 위해 쉽게 접근할 수 있는 위치에 배열되어 비용들을 줄인다. 일 예에 따르면, 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 상부 챔버 벽(212)의 외측 표면은 하나 이상의 제1 액추에이터들(121), 하나 이상의 제2 액추에이터들(132), 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B), 및 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)을 수용하기 위한 수용부(reception)들을 포함할 수 있다.
[0041] 하나 이상의 제1 액추에이터들(121)은 제1 캐리어(10A)를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성되고, 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)은 제2 캐리어(10B)를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된다는 것이 이해되어야 한다. 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하나 이상의 제1 자기 대응부들(181)은 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B), 특히 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B)의 최상부 부분에 배열될 수 있다. 제1 캐리어(10A)의 하나 이상의 제1 자기 대응부들(181)은 하나 이상의 자기 베어링들(120)의 하나 이상의 제1 액추에이터들(121)과 자기적으로 상호작용할 수 있다. 제2 캐리어(10B)의 하나 이상의 제1 자기 대응부들(181)은 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)의 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)과 자기적으로 상호작용할 수 있다. 특히, 하나 이상의 제1 자기 대응부들(181)은 수동 자기 엘리먼트들일 수 있다. 예컨대, 하나 이상의 제1 자기 대응부들(181)은, 자성 재료, 이를테면, 강자성 재료로 제조될 수 있거나, 영구 자석으로 제조될 수 있거나, 또는 영구 자기 특성들을 가질 수 있다.
[0042] 예컨대, 하나 이상의 제1 액추에이터들에 인가되는 전류와 같은 출력 파라미터는, 상부 챔버 벽(212)과 제1 캐리어(10A) 사이의 거리와 같은 입력 파라미터에 따라 제어될 수 있다. 예컨대, 상부 챔버 벽(212)과 제1 캐리어(10A) 사이의 거리(예컨대, 도 1에 표시된 갭(122))는 거리 센서에 의해 측정될 수 있고, 하나 이상의 제1 액추에이터들의 자기장 세기는 측정된 거리에 따라 설정될 수 있다. 특히, 미리 결정된 임계값을 초과하는 거리의 경우에 자기장 세기는 증가될 수 있고, 임계값 미만인 거리의 경우에 자기장 세기는 감소될 수 있다. 하나 이상의 제1 액추에이터들은 폐루프 또는 피드백 제어로 제어될 수 있다.
[0043] 유사하게, 하나 이상의 제3 액추에이터들에 인가되는 전류와 같은 출력 파라미터는, 상부 챔버 벽(212)과 제2 캐리어(10B) 사이의 거리와 같은 입력 파라미터에 따라 제어될 수 있다. 예컨대, 상부 챔버 벽(212)과 제2 캐리어(10B) 사이의 거리(예컨대, 도 1에 표시된 갭(122))는 거리 센서에 의해 측정될 수 있고, 하나 이상의 제3 액추에이터들의 자기장 세기는 측정된 거리에 따라 설정될 수 있다. 특히, 미리 결정된 임계값을 초과하는 거리의 경우에 자기장 세기는 증가될 수 있고, 임계값 미만인 거리의 경우에 자기장 세기는 감소될 수 있다. 하나 이상의 제3 액추에이터들은 폐루프 또는 피드백 제어로 제어될 수 있다.
[0044] 도 1을 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 장치(100)는 제1 하부 트랙 섹션(11L) 및 제2 하부 트랙 섹션(14L)을 더 포함한다. 제1 하부 트랙 섹션(11L)은 제1 이송 경로(T1)를 따라 제1 캐리어(10A)를 안내하기 위한 제1 비접촉식 안내 어레인지먼트(140A)를 포함한다. 제2 하부 트랙 섹션(14L)은 제2 이송 경로(T2)를 따라 제2 캐리어(10B)를 안내하기 위한 제2 비접촉식 안내 어레인지먼트(140B)를 포함한다.
[0045] 본 개시내용에서, "하부 트랙 섹션"은 본원에서 설명된 바와 같은 이송 시스템의 하부 부분으로 이해될 수 있다. 전형적으로, 하부 트랙 섹션은 상부 트랙 섹션으로부터 일정 수직 거리를 두고(at a vertical distance) 배열된다. 특히, 하부 트랙 섹션은 이송 방향(T)으로 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B)를 안내하기 위한, 본원에서 설명된 바와 같은 비접촉식 안내 어레인지먼트를 포함할 수 있다.
[0046] 도 1을 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 하부 트랙 섹션(11L) 및 제2 하부 트랙 섹션(14L)은 수직 방향(V)으로 이동가능하다. 특히, 장치는, 제1 하부 트랙 섹션(11L)과 제1 상부 트랙 섹션(11U) 사이의 거리를 수정할뿐만 아니라 제2 하부 트랙 섹션(14L)과 제2 상부 트랙 섹션(14U) 사이의 거리를 수정하기 위해, 제1 하부 트랙 섹션(11L) 및 제2 하부 트랙 섹션(14L)에 커플링된 액추에이터(124)를 포함할 수 있다.
[0047] 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 비접촉식 안내 어레인지먼트(140A) 및/또는 제2 비접촉식 안내 어레인지먼트(140B)는 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)을 포함할 수 있다. 특히, 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)은 수직으로 배열될 수 있다. 따라서, 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)은, 도 1에 예시적으로 표시된 바와 같이, 수평 방향, 특히 측방향(L)으로 개개의 캐리어, 특히 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B)에 작용하는 자기력을 제공하도록 구성된다.
[0048] 예컨대, 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)은 수직으로 평행하게 배열된 수동 자기 엘리먼트들에 의해 제공될 수 있다. 전형적으로, 개개의 캐리어, 특히 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B)의 제3 자기 대응부(183)에 대한 수용부를 제공하도록 적어도 2개의 수동 자기 엘리먼트들이 배열된다. 따라서, 캐리어의 존재 시에, 제3 자기 대응부(183)는, 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)의 대향하게 배열된 수동 자기 엘리먼트들 사이에 배열된다. 전형적으로, 제3 자기 대응부(183)는 수동 자기 엘리먼트를 포함한다. 도 1에서, 수동 자기 엘리먼트들의 N극(north pole) 부분은 해칭 패턴(hatching pattern)에 의해 개략적으로 표시된다. 수동 자기 엘리먼트들의 S극(south pole) 부분은 N극 부분에 인접한 블랭크 엘리먼트로 표현된다.
[0049] 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 전형적으로, 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)과 제3 자기 대응부(183)의 수동 자기 엘리먼트들은, 제3 자기 대응부(183)의 수동 자기 엘리먼트의 S극 부분이 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)의 수동 자기 엘리먼트의 S극 부분을 향하도록(도 1에 도시된 제1 비접촉식 안내 어레인지먼트(140A)의 우측 및 제2 비접촉식 안내 어레인지먼트(140B)의 좌측), 배열된다. 따라서, 제3 자기 대응부(183)의 수동 자기 엘리먼트의 N극 부분은 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)의 수동 자기 엘리먼트의 N극 부분을 향할 수 있다(도 1에 도시된 제1 비접촉식 안내 어레인지먼트(140A)의 좌측 및 제2 비접촉식 안내 어레인지먼트(140B)의 우측). 따라서, 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)과 제3 자기 대응부(183)의 수동 자기 엘리먼트들은, 제3 자기 대응부(183)의 수동 자기 엘리먼트와 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)의 수동 자기 엘리먼트들 사이에 자기 척력(repulsive magnetic force)들이 작용하도록 배열될 수 있다. 명확하게 도시되지는 않았지만, 대안적으로 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)과 제3 자기 대응부(183)의 수동 자기 엘리먼트들은, 제3 자기 대응부(183)의 수동 자기 엘리먼트와 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)의 수동 자기 엘리먼트들 사이에 자기 인력(attractive magnetic force)들이 작용하도록 배열될 수 있음이 이해되어야 한다.
[0050] 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 비접촉식 안내 어레인지먼트(140A) 및 제2 비접촉식 안내 어레인지먼트(140B)는 공통 지지 구조(145)에 연결될 수 있다. 공통 지지 구조(145)는 하부 트랙 섹션들과 상부 트랙 섹션들 사이의 거리를 수정하기 위한 액추에이터(124)에 커플링될 수 있다. 또한, 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 액추에이터(124)의 이동가능 엘리먼트들과 진공 챔버 사이의 진공 밀봉을 보장하기 위한 보호 벨로즈(174)가 제공될 수 있다.
[0051] 도 2에 예시적으로 도시된 바와 같은 비접촉식 안내 어레인지먼트들의 대안적인 구성에 따르면, 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)은 제1 비접촉식 안내 어레인지먼트(140A) 및 제2 비접촉식 안내 어레인지먼트(140B)를 위한 공통 지지 구조(145)의 수용부에 제공될 수 있다. 특히, 대안적인 구성에 따르면, 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)은 개개의 캐리어들의 제3 자기 대응부(183) 아래에 배열된다.
[0052] 따라서, 캐리어의 비접촉식 측방향 안내가 유익하게 제공될 수 있다. 또한, 수동적 안내 어레인지먼트를 제공하는 것은 적은 비용들로 고온 진공 환경들에서 견고한 캐리어 이송을 제공하기에 특히 아주 적합하다는 것이 주목되어야 한다.
[0053] 본 개시내용에서, "수동 자기 베어링"은, 능동적으로 제어 또는 조정되지 않는, 적어도 장치의 동작 동안 능동적으로 제어 또는 조정되지 않는 수동 자기 엘리먼트들을 갖는 베어링으로 이해될 수 있다. 특히, 수동 자기 베어링은, 자기장, 예컨대 정적 자기장을 생성하도록 구성될 수 있다. 다시 말해서, 수동 자기 베어링은, 조정가능한 자기장을 생성하도록 구성되지 않을 수 있다. 예컨대, 하나 이상의 수동 자기 베어링들의 자기 엘리먼트들은, 자성 재료, 이를테면, 강자성 재료로 제조될 수 있거나, 영구 자석으로 제조될 수 있거나, 또는 영구 자기 특성들을 가질 수 있다.
[0054] 따라서, 본원에서 사용되는 바와 같은 "수동 자기 엘리먼트" 또는 "수동 자석"은, 예컨대 피드백 제어를 통해 능동적으로 제어되지 않는 자석으로 이해될 수 있다. 예컨대, 수동 자석의 자기장 세기와 같은 어떤 출력 파라미터도, 거리와 같은 입력 파라미터에 따라 제어되지 않는다. "수동 자기 엘리먼트" 또는 "수동 자석"은 오히려, 어떤 피드백 제어도 없이 캐리어의 측면 안정화를 제공할 수 있다. 예컨대, 본원에서 설명된 바와 같은 "수동 자기 엘리먼트" 또는 "수동 자석"은 하나 이상의 영구 자석들을 포함할 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, "수동 자기 엘리먼트" 또는 "수동 자석"은, 능동적으로 제어되지 않을 수 있는 하나 이상의 전자석들을 포함할 수 있다.
[0055] 따라서, 제1 이송 시스템(101)은, 고정된 제1 상부 트랙 섹션(11U) 및 수직 방향(V)으로 이동가능한 제1 하부 트랙 섹션(11L)을 포함하는 자기 부상 시스템일 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 상응하게, 제2 이송 시스템(102)은, 고정된 제2 상부 트랙 섹션(14U) 및 수직 방향(V)으로 이동가능한 제2 하부 트랙 섹션(14L)을 포함하는 자기 부상 시스템일 수 있다.
[0056] 도 3a를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 장치(100)는 제1 캐리어(10A)를 제1 캐리어 트랜스퍼 방향(S1)으로 제1 이송 경로(T1)로부터 멀어지게 이동시키기 위한 제1 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150A)를 더 포함할 수 있다. 제1 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150A)는 전형적으로, 특히 진공 챔버 외부의 또는 대기 박스 내의 대기 공간에 제공된 제1 트랜스퍼 액추에이터(154A)를 포함한다.
[0057] 본 개시내용에서, "제1 캐리어 트랜스퍼 어셈블리"는 서로 측방향으로 오프셋된 상이한 이송 경로들 사이에서, 특히 기판 캐리어인 제1 캐리어를 이동시키도록 구성된 어셈블리로 이해될 수 있다. 특히, 전형적으로, 제1 캐리어 트랜스퍼 어셈블리는, 예컨대 제1 캐리어의 경로를 스위칭하기 위해, 제1 캐리어 트랜스퍼 방향(S1)으로, 제1 캐리어를 측방향으로 이동시키도록 구성된다. 도 3a를 예시적으로 참조하면, "제1 캐리어 트랜스퍼 방향(S1)"이라는 용어는 특히 이송 방향(T)과 직각을 이루는 수평 방향으로 이해될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0058] 도 3a를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150A)는 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)을 포함한다. 예컨대, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)은 제1 캐리어 트랜스퍼 방향(S1)으로 연장되는 세장형 엘리먼트들일 수 있다. 양방향 화살표들로 예시적으로 표시된 바와 같이, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)은 제1 캐리어(10A)를 트랜스퍼하기 위해, 특히 예컨대 제1 이송 경로(T1)로부터 제2 이송 경로(T2)로 또는 제2 이송 경로(T2)로부터 제1 이송 경로(T1)로 경로를 스위칭하기 위해, 제1 캐리어 트랜스퍼 방향(S1)으로 이동가능하다. 특히, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)은 제1 트랜스퍼 액추에이터(154A)에 연결될 수 있다. 예컨대, 제1 트랜스퍼 액추에이터(154A)는 진공 챔버(210) 외부에 제공될 수 있다. 또한, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)과 진공 챔버 사이의 진공 밀봉을 보장하기 위한 보호 벨로즈(156)가 제공될 수 있다.
[0059] 예컨대, 도 3a는 별개의 트랜스퍼 액추에이터에 각각 연결된 2개의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들을 도시하며, 개개의 벨로즈가 제공된다. 그러나, 대안적으로, 2개보다 많은 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들이 제공될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 또한, 대안적인 구성에 따라, 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들이 공통 트랜스퍼 액추에이터에 연결 또는 커플링될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0060] 도 3a를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 장치(100)는, 제2 캐리어 트랜스퍼 방향(S2)으로, 제2 캐리어(10B)를 제2 이송 경로(T2)로부터 제1 이송 경로(T1)를 향해 이동시키기 위한 또는 제2 캐리어(10B)를 제2 이송 경로(T2)로부터 제1 이송 경로(T1)로부터 멀어지게 이동시키기 위한 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)를 더 포함할 수 있다. 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)는 전형적으로, 특히 진공 챔버 외부의 또는 대기 박스 내의 대기 공간에 제공된 제2 트랜스퍼 액추에이터(154B)를 포함한다. 예컨대, 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제2 트랜스퍼 액추에이터(154B)는, 진공 챔버(210)에 배열된 제1 트랜스퍼 액추에이터(154A)와 동일한 측에 배열될 수 있다.
[0061] 본 개시내용에서, "제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리"는, 제2 캐리어와 제1 캐리어 사이의 거리를 조정하기 위해, 특히 마스크 캐리어인 제2 캐리어를, 제1 캐리어를 향해 이동시키도록 구성된 어셈블리로 이해될 수 있다. 특히, 전형적으로, 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리는 제2 캐리어 트랜스퍼 방향(S2)으로, 제2 캐리어를 측방향으로 이동시키도록 구성된다. 도 3a를 예시적으로 참조하면, "제2 캐리어 이송 방향(S2)"이라는 용어는 특히 이송 방향(T)과 직각을 이루는 수평 방향으로 이해될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0062] 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)는 제1 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150A)의 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들과 유사하게 구성될 수 있는 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)을 포함할 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 일 예에 따르면, 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)의 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)은 제1 캐리어 이송 공간(15A) 및 제2 캐리어 이송 공간(15B) 주위로 연장되도록 구성될 수 있다. 특히, 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152) 중 상부 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들은 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B) 위에 배열된다. 예컨대, 상부 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들은 본원에서 설명된 바와 같이 구동 유닛들과 자기 베어링들의 이웃하는 액추에이터들 사이에 제공된 갭 또는 공간에 배열될 수 있다. 예시의 간략화를 위해, 본원에서 설명된 바와 같은 구동 유닛들과 자기 베어링들의 액추에이터들은 도 3b에서 참조 번호 190으로 표시된다.
[0063] 도 3b에 예시적으로 도시된 바와 같이, 상부 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들이 상기 이웃하는 액추에이터들 사이에 배열되도록, 상기 이웃하는 액추에이터들 사이의 갭 또는 공간(191)이 구성된다는 것이 이해되어야 한다. 또한, 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들은 전형적으로 측방향(L)으로 연장된다는 것이 이해되어야 한다.
[0064] 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 상부 챔버 벽(212)은 진공 챔버(210)로 연장되도록 구성될 수 있다. 특히, 본원에서 설명된 바와 같은 구동 유닛들 및 자기 베어링들이 구비된 상부 챔버 벽(212)은 수직 방향으로 50 mm 내지 100 mm만큼 진공 챔버로 연장될 수 있다. 예컨대, 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 상부 챔버 벽(212)은 터브-형 플레이트 엘리먼트(tub-like plate element)로서 구현될 수 있다. 또한, 상부 챔버 벽은 그 상부 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들을 위한 리세스(recess)들(192)을 가질 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 특히, 도 3b로부터, 상부 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들은 진공 챔버 내부에 제공되고, 본원에서 설명된 바와 같은 구동 유닛들 및 자기 베어링들은 대기 박스 내에 또는 진공 챔버 외부에 제공된다는 것이 이해되어야 한다.
[0065] 도 3a에 개략적으로 표시된 바와 같이, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)은 본원에서 설명된 바와 같이 캐리어를 홀딩하기 위한 캐리어 홀딩 부분(153)을 포함한다. 특히, 캐리어 홀딩 부분(153)은 제1 캐리어에 제공된 개개의 커플링 엘리먼트들에 커플링되도록 구성될 수 있다. 예컨대, 도 3a에서, 제1 캐리어의 커플링 엘리먼트들은 리세스들로서 개략적으로 예시된다. 캐리어 홀딩 부분(153) 및 캐리어의 커플링 엘리먼트들은 제1 캐리어에 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들의 캐리어 홀딩 부분을 커플링시키도록 구성된 다른 구성들을 가질 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0066] 도 4를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 장치(100)는 이송 방향(T)을 가로지르는 측방향(L)으로, 본원에서 설명된 바와 같이 캐리어에 복원력(F)을 가하도록 구성된 적어도 하나의 안정화 자석(161)을 갖는 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)를 더 포함한다. 예컨대, 적어도 하나의 안정화 자석(161)은 제1 캐리어 이송 공간(15A) 및/또는 제2 캐리어 이송 공간(15B) 위에, 특히 대기 공간에 배열될 수 있다. 특히, 적어도 하나의 안정화 자석(161)은 상부 챔버 벽(212)의 외측 표면에 부착될 수 있다. 전형적으로, 적어도 하나의 안정화 자석(161)은 구동 유닛들, 예컨대 구동 유닛(130) 및 추가의 구동 유닛(130B)에 대해 일정 측방향 거리를 두고(at a lateral distance) 배열될 수 있다.
[0067] 따라서, 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)는 유익하게, 캐리어의 측방향 변위의 경우에서, 본원에서 설명된 바와 같이 캐리어에 복원력을 가함으로써 미리 결정된 측방향 포지션에서 캐리어를 안정화시킬 수 있다. 복원력(F)은 캐리어를 미리 결정된 측방향 포지션으로 다시(back) 밀거나 당긴다. 따라서, 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)는 유익하게, 측방향(L)으로 캐리어 이송 공간, 예컨대 제1 캐리어 이송 공간(15A) 및/또는 제2 캐리어 이송 공간(15B)으로부터의 캐리어의 변위를 상쇄시키도록 구성된 안정화 힘을 생성할 수 있다. 다시 말해서, 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)는, 캐리어가 미리 결정된 측방향 포지션 또는 평형(equilibrium) 포지션(도 4에 예시적으로 도시됨)으로부터 측방향(L)으로 변위될 때, 개개의 캐리어를 다시 개개의 캐리어 이송 공간으로 밀고 그리고/또는 당기는 복원력(F)을 생성하도록 구성될 수 있다.
[0068] 도 4에 예시적으로 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 안정화 자석(161)은 N극과 S극을 갖는 수동 자석일 수 있다. 일부 실시예들에서, 적어도 하나의 안정화 자석은 이송 방향으로 하나가 다른 하나 뒤에 놓이는 식으로 배열될 수 있는 복수의 수동 자석들을 포함할 수 있다. 전형적으로, (자석 내부에서 S극으로부터 N극으로 이어지는) 적어도 하나의 안정화 자석 내부의 자기장 라인들의 방향은 본질적으로 측방향(L)에 대응할 수 있다.
[0069] 측방향(L)으로 개개의 캐리어 이송 공간으로부터 개개의 캐리어의 변위가, 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)의 적어도 하나의 안정화 자석(161)과 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162) 사이에 자기 척력을 유발하여 그 변위를 상쇄시키는 방식으로, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)이 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어, 예컨대 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어에 부착될 수 있다. 따라서, 캐리어, 예컨대 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어는 유익하게, 홀딩 동안 그리고 이송 경로를 따르는 캐리어의 이송 동안, 도 4에 도시된 평형 포지션으로 유지된다.
[0070] 도 4에 예시적으로 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)은, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162) 내부의 자기장 라인들의 방향이 본질적으로 측방향(L)에 대응하도록 배열된 N극과 S극을 갖는 수동 자석일 수 있다.
[0071] 특히, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)은 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)의 적어도 하나의 안정화 자석(161)과 비교하여 역배향으로 배열될 수 있다. 따라서, 캐리어, 예컨대 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어가 평형 포지션에 배열될 때, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)의 N극은 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 S극에 가깝게 배열되고 그 S극에 의해 끌어당겨지며, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)의 S극은 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)의 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 N극에 가깝게 배열되고 그 N극에 의해 끌어당겨진다. 예컨대, 제2 캐리어가 평형 포지션으로부터 제1 측방향으로(예컨대, 도 4의 좌측을 향해) 변위될 때, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)의 N극은 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)의 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 N극에 접근하며, 이는 캐리어가 다시 평형 포지션을 향하게 강제하는 복원력을 유발한다. 제2 캐리어가 평형 포지션으로부터 제2(반대) 측방향으로(예컨대, 도 4의 우측을 향해) 변위될 때, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)의 S극은 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)의 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 S극에 접근하며, 이는 캐리어가 다시 평형 포지션을 향하게 강제하는 복원력을 유발한다. 따라서, 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)는, 캐리어의 측방향 이동들이 감소 또는 방지될 수 있도록, 제2 캐리어를 미리 결정된 측방향 포지션에 안정화시킨다. 제2 캐리어 및 제2 캐리어에 대응하는 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)에 대한 위의 설명들은, 필요한 변경을 가하여(mutatis mutandis), 제1 캐리어 및 제1 캐리어에 대응하는 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)에 적용된다.
[0072] 도 4를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 장치(100)는 안전 어레인지먼트(170)를 더 포함할 수 있다. 전형적으로, 안전 어레인지먼트(170)는 제1 캐리어 이송 공간(15A)과 제2 캐리어 이송 공간(15B) 사이에 제공된 측방향 가드 안내 엘리먼트(lateral guard guiding element)(171)를 포함한다. 특히, 도 4에 예시적으로 도시된 바와 같이, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)는 본원에서 설명된 바와 같은 대칭면(105)에 제공될 수 있다. 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)는 안내 레일 또는 연이은(in a row) 복수의 안내 핀(guiding pin)들로서 구현될 수 있다.
[0073] 도 4에 예시적으로 도시된 바와 같이, 추가적으로 또는 대안적으로, 안전 어레인지먼트(170)는, 특히 하나 이상의 제1 액추에이터들(121) 및/또는 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)이 비활성화되는 경우, 캐리어, 예컨대 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어에 대한 수직 지지, 특히 수직 안전 지지를 제공하기 위한 안전 롤러(172)를 포함할 수 있다. 전형적으로, 안전 롤러(172)는 상부 챔버 벽(212)의 내측 표면에 부착된 홀더(173)에 연결된다. 안전 롤러를 홀딩하는 홀더가 또한, 측방향 가드 안내 엘리먼트로서 기능할 수 있다.
[0074] 도 4를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 보호 엘리먼트(protective element)(163), 예컨대 보호 스트립이 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)에 부착될 수 있다. 특히, 보호 엘리먼트(163)는, 홀더(173)를 향하는, 적어도 하나의 캐리어 안정화 자석(162)의 측면에 부착될 수 있다.
[0075] 도 4를 예시적으로 참조하고, 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 장치(100)는 조정 디바이스(155)를 더 포함할 수 있다. 조정 디바이스(155)는, 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어 이송 공간에 대한 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)의 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 포지션, 특히 수직 포지션, 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 배향 또는 각도 포지션, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)의 포지션, 특히 수직 포지션, 및 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)의 배향 또는 각도 포지션으로 이루어진 그룹 중 하나 이상을 조정하도록 구성된다. 특히, 도 4에 도시된 화살표들로 예시적으로 표시된 바와 같이, 조정 디바이스는, 수직 방향으로, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)를 이동시키도록 구성될 수 있고, 그리고/또는 적어도 하나의 안정화 자석(161)을 이동시키도록 구성될 수 있다.
[0076] 따라서, 조정 디바이스(155)는, 측면 안정화 디바이스에 의해 캐리어, 예컨대 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어에 가해지는 복원력(F)이 변화되도록 하는 방식, 특히, 감소 또는 완전히 스위치 오프되도록 하는 방식으로, 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 상태를 변경할 수 있다. 측면 안정화 디바이스에 의해 캐리어에 가해지는 복원력(F)의 감소 또는 비활성화 후에, 캐리어는 측방향으로 측면 안정화 디바이스로부터 멀어지게 이동될 수 있다.
[0077] 따라서, 조정 디바이스(155)를 통해 복원력(F)의 조정을 가능하게 함으로써, 캐리어는, 측면 안정화 디바이스의 이송 상태에서, 신뢰성 있게 홀딩되고 이송 경로를 따라 안내될 수 있다. 측면 안정화 디바이스의 비활성화된 스위치 상태에서, 캐리어는 측방향(L)으로 이동될 수 있다. 또한, 캐리어가 측방향(L)으로 변위되는 경우 캐리어에 가해지는 복원력(F)이 조정될 수 있다.
[0078] 또한, 도 4를 예시적으로 참조하면, 조정 디바이스(155)는, 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어가 측방향으로 이동될 수 있도록, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)를 이동시키도록 구성될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 예컨대, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)는 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어의 측방향 이동을 가능하게 하기 위해 수직으로 상방향으로 이동될 수 있다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 이동가능 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)와 진공 챔버 사이의 진공 밀봉을 보장하기 위한 보호 벨로즈(174)가 제공될 수 있다. 대안적으로, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)는, 캐리어의 측방향 이동을 가능하게 하기 위해, 예컨대, 측방향으로 연장되는 축을 중심으로, 또는 이송 방향으로 연장되는 축을 중심으로 회전될 수 있다(도 3a에 명시적으로 도시되지 않음).
[0079] 도 3a를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른 캐리어는 대상물, 예컨대 기판(1) 또는 마스크(2)를 운반하기 위한 메인 바디(13)를 포함한다는 것이 이해되어야 한다. 예컨대, 메인 바디(13)는 기판 또는 마스크를 홀딩하도록 구성된 캐리어 플레이트로서 구현될 수 있다. 대안적으로, 메인 바디(13)는 기판 또는 마스크를 홀딩하도록 구성된 캐리어 프레임으로서 구현될 수 있다. 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 메인 바디는 제1 단부(11) 및 제2 단부(12)를 갖는다. 제2 단부(12)는 제1 단부(11) 반대편에 있다. 메인 바디(13)의 제1 단부(11)는 본원에서 설명된 바와 같은 하나 이상의 자기 베어링들과 상호작용하기 위한 하나 이상의 제1 자기 대응부들(181)(도 1 및 도 2에 도시됨)을 포함한다. 제1 단부(11)는 본원에서 설명된 바와 같은 구동 유닛과 상호작용하기 위한 하나 이상의 제2 자기 대응부들(182)(도 1 및 2에 도시됨)을 더 포함한다. 추가적으로, 메인 바디(13)의 제2 단부(12)는 본원에서 설명된 바와 같은 비접촉식 안내 어레인지먼트의 하나 이상의 수동 자기 베어링들(125)과 상호작용하기 위한 제3 자기 대응부(183)(도 1 및 도 2에 도시됨)를 포함한다.
[0080] 도 1 내지 도 3을 예시적으로 참조하면, 제1 캐리어(10A) 및/또는 제2 캐리어(10B)는, 개개의 캐리어가 수직 배향에 있을 때, 비대칭 캐리어들일 수 있는데, 즉, 무게 중심(도 1 및 도 2에 도시된 G1/G2)을 통해 연장되는 수직면(111)에 대해 대칭적이지 않다는 것이 이해되어야 한다.
[0081] 도 1 내지 도 3으로부터, 본원에서 설명된 바와 같은 캐리어, 즉, 제1 캐리어 및 제2 캐리어의 치수는 전형적으로, 개개의 캐리어 이송 공간, 즉, 제1 캐리어 이송 공간 및 제2 캐리어 이송 공간의 치수에 대응한다는 것이 이해되어야 한다. 따라서, 캐리어는 캐리어 이송 공간의 높이(H)에 대응하는 높이(HC)를 가질 수 있다. 또한, 캐리어는 캐리어 이송 공간의 폭(W)에 대응하는 폭(WC)을 가질 수 있다. 따라서, HC/WC의 종횡비는 HC/WC ≥ 5, 특히 HC/WC ≥ 10일 수 있다.
[0082] 본원에서 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 상부 챔버 벽은 별도의 플레이트 엘리먼트, 특히 터브형 플레이트 엘리먼트로서 구현될 수 있다. 따라서, 유익하게, 자기 베어링들의 액추에이터들 및 구동 유닛들의 액추에이터들은, 상부 챔버 벽이 챔버의 측벽들에 장착되기 전에 상부 챔버 벽에 미리-장착될 수 있다. 미리-장착된 하나 이상의 제1 액추에이터들 및 미리-장착된 하나 이상의 제2 액추에이터들을 갖는 상부 챔버 벽을 제공하는 것은 어셈블리 절차를 용이하게 할 수 있고 비용들을 줄일 수 있다. 따라서, 종래 기술과 비교하여, 유익하게, 특히 자기 부상 시스템을 갖는 이송 장치의 챔버 내로의 더 간단한 통합이 제공된다.
[0083] 도 5를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템(200)이 설명된다. 본원에서 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 프로세싱 시스템(200)은 프로세싱 디바이스(205)를 포함하는 적어도 하나의 진공 챔버(210), 특히 진공 프로세싱 챔버를 포함한다. 또한, 프로세싱 시스템(200)은, 본원에서 설명된 임의의 실시예들에 따른, 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100)를 포함한다. 특히, 전형적으로, 프로세싱 디바이스(205)는 진공 프로세싱 챔버에 배열되고, 프로세싱 디바이스(205)는 증착 소스, 증발 소스, 예컨대 OLED 생산을 위해 하나 이상의 유기 재료들을 증착하기 위한 증발 소스, 및 스퍼터 소스로 이루어진 그룹으로부터 선택될 수 있다.
[0084] 본 개시내용에서, "진공"이라는 용어는, 예컨대 10 mbar 미만의 진공 압력을 갖는 기술적 진공의 의미로 이해될 수 있다. 전형적으로, 본원에서 설명된 바와 같은 진공 챔버 내의 압력은 10-5 mbar 내지 약 10-8 mbar, 더 전형적으로는 10-5 mbar 내지 10-7 mbar, 심지어 더 전형적으로는 약 10-6 mbar 내지 약 10-7 mbar일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 진공 챔버 내의 압력은 진공 챔버 내의 증발된 재료의 부분 압력 또는 총 압력(이는, 증발된 재료만이 진공 챔버 내에 증착될 컴포넌트로서 존재할 때 거의 동일할 수 있음)인 것으로 고려될 수 있다. 일부 실시예들에서, 진공 챔버 내의 총 압력은, 특히, 진공 챔버 내에 증발된 재료 외에 제2 컴포넌트(이를테면, 가스 등)가 존재하는 경우에는, 약 10-4 mbar 내지 약 10-7 mbar의 범위일 수 있다. 따라서, 진공 챔버는 "진공 증착 챔버", 즉, 진공 증착을 위해 구성된 진공 챔버일 수 있다.
[0085] 도 6에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하는 방법(300)이 설명된다. 본원에서 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 방법(300)은 하나 이상의 자기 베어링들(120)을 사용하여 제1 캐리어 이송 공간(15A)에서 제1 캐리어(10A)를 비접촉식으로 홀딩하는 단계(도 6에서 블록(310)으로 표현됨)를 포함한다. 하나 이상의 자기 베어링들은 이송될 제1 캐리어(10A)의 무게 중심 위에 중앙에 배열된다.
[0086] 추가적으로, 방법(300)은 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)을 사용하여 제2 캐리어 이송 공간(15B)에서 제2 캐리어(10B)를 비접촉식으로 홀딩하는 단계(도 6에서 블록(320)으로 표현됨)를 포함한다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 이송될 제2 캐리어(10B)의 무게 중심 위에 중앙에 배열된다. 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 하나 이상의 자기 베어링들(120) 옆에 배열된다. 특히, 하나 이상의 자기 베어링들(120)과 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 대칭면(105)에 대해 거울 대칭으로 배열된다. 대칭면(105)은 제1 캐리어 이송 공간(15A)과 제2 캐리어 이송 공간(15B) 사이에 위치된다. 특히, 대칭면(105)은 수직면이다.
[0087] 또한, 방법(300)은, 제1 캐리어 이송 공간(15A) 위에 배열되는 구동 유닛(130)을 사용하여 제1 이송 경로(T1)를 따라 이송 방향(T)으로 제1 캐리어(10A)를 이송하는 단계(도 6에서 블록(330)으로 표현됨)를 포함한다. 추가적으로, 방법(300)은, 제2 캐리어 이송 공간(15B) 위에 배열되는 추가의 구동 유닛(130B)을 사용하여 제2 이송 경로(T2)를 따라 이송 방향(T)으로 제2 캐리어(10B)를 이송하는 단계(도 6에서 블록(340)으로 표현됨)를 포함한다.
[0088] 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하는 방법(300)은 본원에서 설명된 임의의 실시예들에 따른, 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100)를 사용함으로써 수행될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
[0089] 도 7에 도시된 흐름도를 예시적으로 참조하면, 본 개시내용에 따른, 진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A)와 제2 캐리어(10B) 사이의 거리를 조정하는 방법(400)이 설명된다. 본원에서 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 방법(400)은, 제2 캐리어(10B)를 제2 캐리어 트랜스퍼 방향(S2)으로 제2 이송 경로(T2)로부터 제1 이송 경로(T1)를 향해 이동시키기 위한 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)를 포함하는, 본원에서 설명된 임의의 실시예들에 따른, 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100)를 제공하는 단계(도 7에서 블록(410)으로 표현됨)를 포함한다. 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)는, 특히 진공 챔버 외부의 또는 대기 박스 내의 대기 공간에 제공된 제2 트랜스퍼 액추에이터(154B)를 포함한다. 또한, 방법(400)은 제2 트랜스퍼 액추에이터(154B)를 사용함으로써 제2 캐리어(10B)를 제2 캐리어 트랜스퍼 방향(S2)으로 제2 이송 경로(T2)로부터 제1 이송 경로(T1)를 향해 이동시키는 단계(도 7에서 블록(420)으로 표현됨)를 포함한다.
[0090] 본원에서 설명된 임의의 다른 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따르면, 방법(400)은 제2 캐리어(10B)를 제2 이송 경로(T2)의 제2 캐리어 이송 공간(15B)에서 비접촉식으로 홀딩하기 위해 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)을 갖는 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)을 사용함으로써 제2 캐리어(10B)를 부상시키는 단계를 포함할 수 있다. 추가적으로, 방법(400)은 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)과 제2 캐리어(10B) 사이의 거리를 감소시키기 위해, 특히 본원에서 설명된 바와 같은 제2 이송 시스템의 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)을 사용함으로써 제2 캐리어(10B)를 끌어당기는 단계를 포함할 수 있다. 특히, 제2 캐리어(10B)를 끌어당기는 단계는, 상부 챔버 벽(212)과 제2 캐리어(10B) 사이의 갭의 원래의 수직 폭의 2/3만큼, 상부 챔버 벽(212)과 제2 캐리어(10B) 사이의 갭을 감소시키는 단계를 포함할 수 있다. 예컨대, 갭을 감소시키는 것은 3 mm로부터 1 mm로의 수직 갭 폭 감소를 포함할 수 있다. 따라서, 안전 롤러(172)와 제2 캐리어(10B) 사이에 제공된 수직 갭 폭이 2/3만큼, 예컨대 3 mm로부터 5 mm로 증가될 수 있다.
[0091] 또한, 방법(400)은 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)의 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)을 제2 캐리어(10B)를 향해 최대로는 홀딩 포지션까지 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. 특히, 홀딩 포지션은, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)의 캐리어 홀딩 부분(153)이, 캐리어가 수직 방향으로 하강될 때 제2 캐리어의 커플링 엘리먼트들과 접촉하도록 캐리어를 홀딩할 수 있는 포지션일 수 있다. 예컨대, 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같이, 제2 캐리어의 커플링 엘리먼트들은 리세스들일 수 있다. 따라서, 홀딩 포지션은 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)의 캐리어 홀딩 부분(153)이 제2 캐리어(10B)의 개개의 리세스들에 진입한 포지션일 수 있다.
[0092] 또한, 방법(400)은, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)과 제2 캐리어(10B), 특히 제2 캐리어의 커플링 엘리먼트들 사이의 접촉을 설정하기 위해, 특히 본원에서 설명된 바와 같은 제2 이송 시스템의 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)을 사용함으로써 제2 캐리어(10B)를 하강시키는 단계를 포함할 수 있다. 예컨대, 하나 이상의 캐리어 트랜스퍼 엘리먼트들(152)과 제2 캐리어(10B) 사이의 접촉이 설정될 때, 도 3a에 예시적으로 도시된 바와 같은 안전 롤러(172)와 제2 캐리어(10B) 사이의 갭은 대략 1 mm의 수직 갭 폭을 가질 수 있다. 따라서, 캐리어의 측방향 이동 동안의 상부 챔버 벽(212)과 제2 캐리어 사이의 수직 거리는 대략 5 mm일 수 있다.
[0093] 또한 추가로, 방법(400)은, 제2 트랜스퍼 액추에이터(154B)를 사용하여 제2 캐리어(10B)를 제2 캐리어 트랜스퍼 방향(S2)으로 제2 이송 경로(T2)로부터 제1 이송 경로(T1)를 향해 이동시킴으로써 제1 캐리어(10A)와 제2 캐리어(10B) 사이의 거리를 조정하는 단계를 포함한다. 대안적으로, 제1 캐리어(10A)와 제2 캐리어(10B) 사이의 거리를 조정하는 단계는 제2 트랜스퍼 액추에이터(154B)를 사용하여 제2 캐리어(10B)를 제2 캐리어 트랜스퍼 방향(S2)으로 제2 이송 경로(T2)로부터 제1 이송 경로(T1)로부터 멀어지게 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.
[0094] 본원에서 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 방법(400)은, 본원에서 설명된 바와 같은, 제1 이송 경로의 제1 하부 트랙 섹션(11L), 제2 이송 시스템의 제2 하부 트랙 섹션(14L), 제2 캐리어 이송 공간(15B)의 적어도 하나의 측면에 제공된 측방향 가드 안내 엘리먼트, 및 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 엘리먼트를 수직으로 이동시키는 단계를 더 포함한다.
[0095] 특히, 본원에서 설명된 바와 같이, 제1 하부 트랙 섹션(11L) 및 제2 하부 트랙 섹션(14L)은, 하부 트랙 섹션들과 상부 트랙 섹션들 사이의 거리를 수정하기 위한 액추에이터(124)를 사용함으로써, 수직으로 하방향으로 이동될 수 있다. 또한, 도 4를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)의 적어도 하나의 안정화 자석(161)은 제2 캐리어의 측방향 이동을 가능하게 하기 위해 수직으로 상방향으로 이동될 수 있다. 더욱이, 도 4를 참조하여 예시적으로 설명된 바와 같이, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)는 제2 캐리어의 측방향 이동을 가능하게 하기 위해 수직으로 상방향으로 이동될 수 있다. 대안적으로, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)는, 제2 캐리어의 측방향 이동을 가능하게 하기 위해, 예컨대 측방향으로 연장되는 축을 중심으로 또는 이송 방향으로 연장되는 축을 중심으로 회전될 수 있다. 따라서, 측방향으로 제2 캐리어를 이동시키기 전에, 제2 캐리어의 측방향 이동을 방해하는, 이송 시스템의 엘리먼트들(예컨대, 적어도 하나의 안정화 자석(161) 및/또는 측방향 가드 안내 엘리먼트(171) 및/또는 비접촉식 안내 어레인지먼트)이 측방향으로 제2 캐리어를 릴리즈(release)하기 위해 이동된다는 것이 이해되어야 한다.
[0096] 상기 내용을 고려하여, 종래 기술과 비교하여, 본 개시내용의 실시예들은 유익하게, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하기 위한 장치, 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템, 진공 챔버에서 제1 캐리어 및 제2 캐리어를 이송하는 방법, 및 진공 챔버에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 거리를 조정하는 방법을 제공하며, 이들은, 특히 예컨대 OLED(organic light emitting diode) 디스플레이들을 위한 고품질 디스플레이 제조를 위해 고온 진공 환경들에서의 캐리어들의 정확하고 원활한 이송에 대해 개선되었다는 것이 이해되어야 한다. 또한, 본원에서 설명된 바와 같은 실시예들은 유익하게, 종래 기술과 비교하여, 더 적은 생산 비용들로 더 견고한 비접촉식 캐리어 이송을 제공하고, 제조 허용오차들, 변형, 및 열 팽창에 영향을 덜 받는다.
[0097] 전술한 바가 실시예들에 관한 것이지만, 다른 및 추가의 실시예들이 기본적인 범위를 벗어나지 않으면서 안출될 수 있고, 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (15)

  1. 진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100)로서,
    제1 이송 경로(T1)를 따라 제공되고 그리고 제1 상부 트랙 섹션(11U)을 포함하는 제1 이송 시스템(101) ― 상기 제1 상부 트랙 섹션(11U)은,
    제1 캐리어 이송 공간(15A)에서 상기 제1 캐리어(10A)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 자기 베어링들(120), 및
    상기 제1 이송 경로(T1)를 따라 상기 제1 캐리어(10A)를 이동시키기 위한 구동 유닛(130)을 포함하며,
    상기 하나 이상의 자기 베어링들(120)은 이송될 상기 제1 캐리어(10A)의 무게 중심 위에 중앙에 배열되고,
    상기 하나 이상의 자기 베어링들(120) 및 상기 구동 유닛(130)은 상기 제1 캐리어 이송 공간(15A) 위에 배열됨 ―; 및
    상기 제1 이송 경로(T1)로부터 수평으로 오프셋된 제2 이송 경로(T2)를 따라 제공되고 그리고 제2 상부 트랙 섹션(14U)을 포함하는 제2 이송 시스템(102) ― 상기 제2 상부 트랙 섹션(14U)은,
    제2 캐리어 이송 공간(15B)에서 상기 제2 캐리어(10B)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B), 및
    상기 제2 이송 경로(T2)를 따라 상기 제2 캐리어(10B)를 이동시키기 위한 추가의 구동 유닛(130B)을 포함하며,
    상기 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 이송될 상기 제2 캐리어(10B)의 무게 중심 위에 중앙에 배열되고,
    상기 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B) 및 상기 추가의 구동 유닛(130B)은 상기 제2 캐리어 이송 공간(15B) 위에 배열됨 ―
    을 포함하며,
    상기 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 상기 하나 이상의 자기 베어링들(120) 옆에 배열되는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 자기 베어링들(120)과 상기 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 대칭면(plane of symmetry)(105)에 대해 거울 대칭으로 배열되고, 상기 대칭면(105)은 상기 제1 캐리어 이송 공간(15A)과 상기 제2 캐리어 이송 공간(15B) 사이에 위치되는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 구동 유닛(130)과 상기 추가의 구동 유닛(130B)은 상기 대칭면(105)에 대해 거울 대칭으로 배열되고, 상기 대칭면(105)에 대한 상기 구동 유닛(130)의 측방향 거리는 상기 대칭면(105)에 대한 상기 하나 이상의 자기 베어링들(120)의 측방향 거리보다 더 크고, 그리고 상기 대칭면(105)에 대한 상기 추가의 구동 유닛(130B)의 측방향 거리는 상기 대칭면(105)에 대한 상기 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)의 측방향 거리보다 더 큰,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    제1 하부 트랙 섹션(11L) 및 제2 하부 트랙 섹션(14L)을 더 포함하며,
    상기 제1 하부 트랙 섹션(11L)은 상기 제1 이송 경로(T1)를 따라 상기 제1 캐리어(10A)를 안내하기 위한 제1 비접촉식 안내 어레인지먼트(140A)를 포함하고, 그리고 상기 제2 하부 트랙 섹션(14L)은 상기 제2 이송 경로(T2)를 따라 상기 제2 캐리어(10B)를 안내하기 위한 제2 비접촉식 안내 어레인지먼트(140B)를 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 하부 트랙 섹션(11L) 및 상기 제2 하부 트랙 섹션(14L)은 수직 방향(V)으로 이동가능한,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  6. 제4 항 또는 제5 항에 있어서,
    상기 제1 하부 트랙 섹션(11L)과 상기 제1 상부 트랙 섹션(11U) 사이의 거리를 수정할뿐만 아니라 상기 제2 하부 트랙 섹션(14L)과 상기 제2 상부 트랙 섹션(14U) 사이의 거리를 수정하기 위해 상기 제1 하부 트랙 섹션(11L) 및 상기 제2 하부 트랙 섹션(14L)에 커플링된 액추에이터(124)를 더 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  7. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 자기 베어링들(120)은 상기 제1 캐리어(10A)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 제1 액추에이터들(121)을 포함하고, 상기 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 상기 제2 캐리어(10B)를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B)을 포함하고, 상기 구동 유닛(130)은 상기 제1 이송 경로(T1)를 따라 상기 제1 캐리어(10A)를 이동시키기 위한 하나 이상의 제2 액추에이터들(132)을 포함하고, 상기 추가의 구동 유닛(130B)은 상기 제2 이송 경로(T2)를 따라 상기 제2 캐리어(10B)를 이동시키기 위한 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)을 포함하고, 상기 하나 이상의 제1 액추에이터들(121), 상기 하나 이상의 제2 액추에이터들(132), 상기 하나 이상의 제3 액추에이터들(121B) 및 상기 하나 이상의 제4 액추에이터들(132B)은 대기 공간(atmospheric space)에 배열되는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  8. 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 캐리어(10A)를 제1 캐리어 트랜스퍼 방향(S1)으로 상기 제1 이송 경로(T1)로부터 멀어지게 이동시키기 위한 제1 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150A)를 더 포함하며,
    상기 제1 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150A)는 특히 상기 진공 챔버 외부의 또는 대기 박스(atmospheric box) 내의 대기 공간에 제공된 제1 트랜스퍼 액추에이터(154A)를 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  9. 제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 캐리어(10B)를 제2 캐리어 트랜스퍼 방향(S2)으로 상기 제2 이송 경로(T2)로부터 상기 제1 이송 경로(T1)를 향해 이동시키기 위한 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)를 더 포함하며,
    상기 제2 캐리어 트랜스퍼 어셈블리(150B)는 특히 상기 진공 챔버 외부의 또는 대기 박스 내의 대기 공간에 제공된 제2 트랜스퍼 액추에이터(154B)를 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  10. 제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 캐리어(10A) 및/또는 상기 제2 캐리어(10B)의 이송 방향(T)을 가로지르는 측방향(lateral direction)(L)으로 상기 제1 캐리어(10A) 및/또는 상기 제2 캐리어(10B)에 복원력(restoring force)(F)을 가하도록 구성된 적어도 하나의 안정화 자석(161)을 갖는 적어도 하나의 측면 안정화 디바이스(160)를 더 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  11. 제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 캐리어 이송 공간(15A)과 상기 제2 캐리어 이송 공간(15B) 사이에 제공된 측방향 가드 안내 엘리먼트(lateral guard guiding element)(171), 및 상기 제1 캐리어(10A) 및/또는 상기 제2 캐리어(10B)를 위한 수직 지지를 제공하기 위한 안전 롤러(172)로 이루어진 그룹 중 적어도 하나의 엘리먼트를 포함하는 안전 어레인지먼트(170)를 더 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  12. 제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 캐리어 이송 공간(15A) 및/또는 상기 제2 캐리어 이송 공간(15B)에 대한 안정화 디바이스(160)의 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 수직 포지션, 상기 적어도 하나의 안정화 자석(161)의 배향 또는 각도 포지션, 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)의 수직 포지션, 및 상기 측방향 가드 안내 엘리먼트(171)의 배향 또는 각도 포지션으로 이루어진 그룹 중 하나 이상을 조정하도록 구성된 조정 디바이스(155)를 더 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100).
  13. 기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템(200)으로서,
    프로세싱 디바이스(205)를 포함하는 적어도 하나의 진공 챔버(210), 및
    제1 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 따른, 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100)를 포함하는,
    기판을 수직으로 프로세싱하기 위한 프로세싱 시스템(200).
  14. 진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하는 방법으로서,
    하나 이상의 자기 베어링들(120)을 사용하여 제1 캐리어 이송 공간(15A)에서 상기 제1 캐리어(10A)를 비접촉식으로 홀딩하는 단계 ― 상기 하나 이상의 자기 베어링들(120)은 이송될 상기 제1 캐리어(10A)의 무게 중심 위에 중앙에 배열됨 ―;
    하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)을 사용하여 제2 캐리어 이송 공간(15B)에서 상기 제2 캐리어(10B)를 비접촉식으로 홀딩하는 단계 ― 상기 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 이송될 상기 제2 캐리어(10B)의 무게 중심 위에 중앙에 배열되고, 그리고 상기 하나 이상의 추가의 자기 베어링들(120B)은 상기 하나 이상의 자기 베어링들(120) 옆에 배열됨 ―;
    상기 제1 캐리어 이송 공간(15A) 위에 배열된 구동 유닛(130)을 사용하여 이송 방향(T)으로 상기 제1 캐리어(10A)를 이송하는 단계; 및
    상기 제2 캐리어 이송 공간(15B) 위에 배열된 추가의 구동 유닛(130B)을 사용하여 이송 방향(T)으로 상기 제2 캐리어(10B)를 이송하는 단계를 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하는 방법.
  15. 진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A)와 제2 캐리어(10B) 사이의 거리를 조정하는 방법으로서,
    제1 항 또는 제9 항에 따른, 제1 캐리어(10A) 및 제2 캐리어(10B)를 이송하기 위한 장치(100)를 제공하는 단계; 및
    제2 트랜스퍼 액추에이터(154B)를 사용함으로써, 제2 캐리어 트랜스퍼 방향(S2)으로, 상기 제2 캐리어(10B)를 상기 제2 이송 경로(T2)로부터 상기 제1 이송 경로(T1)를 향해 이동시키거나 또는 상기 제2 캐리어(10B)를 상기 제2 이송 경로(T2)로부터 상기 제1 이송 경로(T1)로부터 멀어지게 이동시키는 단계를 포함하는,
    진공 챔버(210)에서 제1 캐리어(10A)와 제2 캐리어(10B) 사이의 거리를 조정하는 방법.
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