KR20200138000A - 진공 성막 장치와 진공 성막 방법 - Google Patents

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스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 냉각 캔 롤의 외주면과 접하는 장척 수지 필름면 등에 스크래치 흠집이 잘 나지 않는 진공 성막 장치와 진공 성막 방법을 제공하는 것.
(해결 수단) 권출롤 (110) 에 권회된 장척 수지 필름 (1) 을 권출하는 권출실 (100) 과, 권출실로부터 공급된 장척 수지 필름의 제 1 면측에 금속막을 성막하는 성막실 (400) 과, 금속막이 성막된 장척 수지 필름을 권취롤 (541) 에 권취하는 권취실 (500) 을 구비하고, 성막실이 롤 투 롤로 반송되는 장척 수지 필름을 외주면에 감아 냉각시키는 회전 구동의 냉각 캔 롤 (431) 과, 그 냉각 캔 롤의 외주면을 따라 배치된 열 부하를 수반하는 성막 수단 (432 ∼ 435) 을 갖는 진공 성막 장치로서, 상기 권출실과 성막실 사이에, 반송 중에 있어서의 장척 수지 필름의 제 2 면측에 보호 필름 (301) 을 중합시켜 냉각 캔 롤과 장척 수지 필름 사이에 보호 필름을 개재시키는 보호 필름 중합실 (300) 이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

진공 성막 장치와 진공 성막 방법{VACUUM DEPOSITION APPARATUS AND VACUUM DEPOSITION METHOD}
본 발명은, 롤 투 롤로 반송되는 장척 (長尺) 수지 필름을 냉각 캔 롤의 외주면에 감고, 냉각 캔 롤의 외주면과 접하고 있지 않은 장척 수지 필름의 표면측에 금속막을 성막하는 진공 성막 장치와 진공 성막 방법에 관한 것으로, 특히, 냉각 캔 롤의 외주면과 접하는 장척 수지 필름면 혹은 금속막면에 스크래치 흠집이 잘 나지 않는 진공 성막 장치와 진공 성막 방법의 개량에 관한 것이다.
액정 패널, 노트 PC, 디지털 카메라, 휴대 전화 등에는, 다종류의 플렉시블 배선 기판이 사용되고 있다. 이 플렉시블 배선 기판의 재료에는, 내열성 수지 필름의 편면 혹은 양면에 금속막을 형성한 금속막 부착 수지 필름이 사용되고 있고, 이 금속막 부착 수지 필름에 포토리소그래피나 에칭 등의 박막 가공 기술을 적용함으로써 소정의 배선 패턴을 갖는 플렉시블 배선 기판을 얻을 수 있다. 플렉시블 배선 기판의 배선 패턴은 최근 더욱더 미세화, 고밀도화되고 있기 때문에, 금속막 부착 수지 필름의 금속막에는 핀홀 등의 결함이 없는 것이 보다 한층 중요시되고 있다.
이러한 종류의 금속막 부착 수지 필름의 제조 방법으로서, 금속박을 접착제에 의해 내열성 수지 필름에 첩부하여 제조하는 방법 (3 층 기판의 제조 방법이라고 칭해진다), 금속박에 내열성 수지 용액을 코팅한 후, 건조시켜 제조하는 방법 (캐스팅법이라고 칭해진다), 진공 성막법에 의해 내열성 수지 필름 상에 금속막을 성막하는 방법, 혹은, 진공 성막법에 의해 내열성 수지 필름 상에 금속막을 성막하고 또한 그 금속막 상에 습식 도금법에 의해 습식 도금층을 형성하여 제조하는 방법 (메탈라이징법이라고 칭해진다) 등이 종래부터 알려져 있다. 또, 메탈라이징법에 있어서의 진공 성막법에는, 진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법, 이온 빔 스퍼터링법 등이 있다.
상기 메탈라이징법으로서, 특허문헌 1 에는, 폴리이미드 절연층 상에 크롬을 스퍼터링한 후, 구리를 스퍼터링하여 폴리이미드 절연층 상에 도체층을 형성하는 방법이 개시되어 있다. 또, 특허문헌 2 에는, 구리 니켈 합금을 타깃으로 하는 스퍼터링에 의해 형성된 제 1 금속 박막과, 구리를 타깃으로 하는 스퍼터링에 의해 형성된 제 2 금속 박막을, 이 순서로 폴리이미드 필름 상에 적층함으로써 얻어지는 플렉시블 회로 기판용 재료가 개시되어 있다. 또한, 폴리이미드 필름과 같은 내열성 수지 필름 (기판) 에 진공 성막을 실시하는 경우, 스퍼터링 웹 코터를 사용하는 것이 일반적이다.
최근, 고밀도 배선 기판으로서, 상기 메탈라이징법에 의한 편면 혹은 양면 금속막 부착 수지 필름이 제조되고 있다. 구체적으로 설명하면, 내열성을 갖는 장척 수지 필름의 편면 혹은 양면에 스퍼터링 등의 진공 성막법으로 하지 (下地) 가 되는 금속막 (금속 시드라고 칭해진다) 을 성막하고, 그 금속막 (금속 시드) 상에 습식 도금법에 의해 습식 도금층을 형성하여 편면 혹은 양면 금속막 부착 수지 필름이 제조되고 있다. 또한, 금속막 (금속 시드) 은 스퍼터링 웹 코터 등의 진공 성막 장치를 사용하여 성막되고, 습식 도금층은 습식 도금 장치를 사용하여 형성되기 때문에, 메탈라이징법에 의한 편면 혹은 양면 금속막 부착 수지 필름은 제조 장치가 상이한 2 단계의 공정을 거쳐 제조되고 있다. 즉, 진공 성막 장치에 의해 편면 혹은 양면에 금속막 (금속 시드) 이 성막된 장척 수지 필름은, 일단, 진공 성막 장치 내에 있어서 롤상으로 권회 (卷回) 된 후, 진공 성막 장치로부터 반출되어 습식 도금 장치의 습식 도금조 내에 반입되어, 장척 수지 필름의 금속막 (금속 시드) 상에 습식 도금층이 형성되고 있다.
그리고, 장척 수지 필름의 편면에 금속막 (금속 시드) 을 성막하는 이러한 종류의 진공 성막 장치로서, 종래, 도 1 에 나타내는 바와 같은 스퍼터링 웹 코터 (진공 성막 장치) 가 알려져 있다. 즉, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 권출롤 (11) 에 권회된 장척 수지 필름 (1) 을 권출하는 권출실 (10) 과, 권출실 (10) 로부터 공급된 장척 수지 필름 (1) 의 제 1 면측에 금속막 (금속 시드) 을 성막하는 성막실 (30) 과, 금속막 (금속 시드) 이 성막된 장척 수지 필름 (1) 을 권취롤 (41) 에 권취하는 권취실 (40) 을 구비하고, 상기 성막실 (30) 이, 롤 투 롤로 반송되는 장척 수지 필름 (1) 을 외주면에 감아 냉각시키는 회전 구동의 냉각 캔 롤 (31) 과, 그 냉각 캔 롤 (31) 의 외주면을 따라 배치된 열 부하를 수반하는 성막 수단 (32, 33, 34, 35) 을 갖는 스퍼터링 웹 코터 (진공 성막 장치) 가 알려져 있다.
도 1 에 나타내는 스퍼터링 웹 코터 (진공 성막 장치) 를 사용함으로써, 권출실 (10) 로부터 공급되는 장척 수지 필름 (1) 의 제 1 면 (1α) (도 2a 참조) 측에 금속막 (m) (도 2b 참조) 이 성막되고, 장척 수지 필름 (1) 의 상기 금속막 (m) 측에 합지 (合紙) (43) 가 중첩된 상태 (도 2c 참조) 에서 권취롤 (41) 에 수용된다. 또한, 도 1 중의 부호 42 는, 권취롤 (41) 에 수용되는 장척 수지 필름 (1) 의 층간에 끼워 넣어지는 장척의 합지 (43) (성막된 금속막 (m) 을 개재하여 장척 수지 필름 (1) 이 첩부되어 버리는 블로킹을 방지하기 위한 합지) 를 권출하는 장척 합지 권출롤을 나타내고 있다. 또, 도 2(a) 에 나타내는 장척 수지 필름 (1) 의 단면도는, 도 1 중, 부호 (a) 로 나타내는 장척 수지 필름 (1) 의 단면에 대응하고, 도 2(b) 에 나타내는 장척 수지 필름 (1) 의 단면도는, 도 1 중, 부호 (b) 로 나타내는 장척 수지 필름 (1) 의 단면에 대응하며, 도 2(c) 에 나타내는 장척 수지 필름 (1) 의 단면도는, 도 1 중, 부호 (c) 로 나타내는 권취롤 (41) 에 권취된 장척 수지 필름 (1) 의 단면에 각각 대응하고 있다.
또, 도 1 에 나타내는 스퍼터링 웹 코터 (진공 성막 장치) 를 사용하여 장척 수지 필름 (1) 의 양면에 금속막 (금속 시드) (m) 을 성막하는 경우, 상기 제 1 면 (1α) 에 금속막 (금속 시드) (m) 이 성막되며 또한 권취롤 (41) 에 권취된 장척 수지 필름 (1) 을 일단 꺼내고, 다시, 스퍼터링 웹 코터 (진공 성막 장치) 의 권출롤 (11) 에 상기 장척 수지 필름 (1) 을 세트한 후, 제 1 면 (1α) 에 금속막 (금속 시드) (m) 이 성막된 장척 수지 필름 (1) 을 권출실 (10) 로부터 성막실 (30) 에 반입함으로써, 장척 수지 필름 (1) 의 제 2 면 (1β) 에도 금속막 (금속 시드) (m) 을 성막할 수 있다. 이 경우, 상기 권출롤 (11) 로부터의 통지 (通紙) 루트는 권출실 (10) 에 나타내어진 파선이 된다.
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그런데, 도 1 에 나타내는 스퍼터링 웹 코터 (진공 성막 장치) 에 있어서는, 장척 수지 필름 (1) 을 상기 냉각 캔 롤 (31) 의 외주면에 밀착시키는 관계상, 성막실 (30) 내에 있어서의 장척 수지 필름 (1) 의 반송 장력이, 다른 권출실 (10) 이나 권취실 (40) 내에 있어서의 장척 수지 필름 (1) 의 반송 장력보다 높게 설정되어 있다. 이 때문에, 성막실 (30) 내를 반송되는 장척 수지 필름 (1) 은, 성막실 (30) 내에 형성된 냉각 캔 롤 (31) 이나 모터 구동롤 (36, 37) 의 외주면에 강하게 접촉되게 되는 점에서, 이들 외주면과 접촉하는 장척 수지 필름 (1) 측이 미성막의 필름면인 경우, 미성막의 필름면에 스크래치 흠집이 나기 쉽고, 상기 외주면과 접촉하는 장척 수지 필름 (1) 측이 성막 후의 금속막인 경우, 그 금속막에 스크래치 흠집이 나기 쉬워진다. 그리고, 미성막의 필름면에 스크래치 흠집이 난 경우에는 그 후에 성막되는 금속막면에 요철이 형성되어 버리고, 금속막에 스크래치 흠집이 난 경우에는 금속막에 결손부가 형성되어 버리기 때문에, 금속막 부착 수지 필름에 핀홀 등의 결함이 생기기 쉬워지는 문제가 존재하였다.
본 발명은 이와 같은 문제점에 착안하여 이루어진 것으로, 그 과제로 하는 바는, 냉각 캔 롤의 외주면과 접하는 장척 수지 필름면 혹은 금속막면에 스크래치 흠집이 잘 나지 않는 진공 성막 장치와 진공 성막 방법을 제공하는 것에 있다.
즉, 본 발명에 관련된 제 1 발명은,
권출롤에 권회된 장척 수지 필름을 권출하는 권출실과, 권출실로부터 공급된 장척 수지 필름의 제 1 면측에 금속막을 성막하는 성막실과, 금속막이 성막된 장척 수지 필름을 권취롤에 권취하는 권취실을 구비하고, 상기 성막실이, 롤 투 롤로 반송되는 장척 수지 필름을 외주면에 감아 냉각시키는 회전 구동의 냉각 캔 롤과, 그 냉각 캔 롤의 외주면을 따라 배치된 열 부하를 수반하는 성막 수단을 갖는 진공 성막 장치에 있어서,
상기 권출실과 성막실 사이에, 반송 중에 있어서의 장척 수지 필름의 제 2 면측에 보호 필름을 중합시켜 냉각 캔 롤과 장척 수지 필름 사이에 보호 필름을 개재시키는 보호 필름 중합실이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또, 제 2 발명은,
제 1 발명에 기재된 진공 성막 장치에 있어서,
상기 보호 필름이, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리스티렌, 폴리비닐알코올, 폴리카보네이트, 폴리페닐렌술파이드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 아라미드, 폴리이미드, 트리아세테이트의 단체 (單體) 혹은 이것들을 첩합 (貼合) 한 복합체로 구성되는 것을 특징으로 하고,
제 3 발명은,
제 1 발명에 기재된 진공 성막 장치에 있어서,
열 부하를 수반하는 상기 성막 수단이, 마그네트론 스퍼터링인 것을 특징으로 한다.
다음으로, 본 발명에 관련된 제 4 발명은,
권출롤에 권회된 장척 수지 필름을 권출하는 필름 권출 공정과,
권출된 장척 수지 필름을 냉각 캔 롤에 감음과 함께, 그 냉각 캔 롤의 외주면을 따라 배치된 열 부하를 수반하는 성막 수단에 의해 장척 수지 필름의 제 1 면측에 금속막을 성막하는 성막 공정과,
금속막이 성막된 장척 수지 필름을 권취롤에 권취하는 필름 권취 공정을 갖는 진공 성막 방법에 있어서,
상기 필름 권출 공정부터 성막 공정까지의 사이에 있어서, 장척 수지 필름의 제 2 면측에 보호 필름을 중합시켜 냉각 캔 롤과 장척 수지 필름 사이에 보호 필름이 개재되도록 한 것을 특징으로 한다.
또, 제 5 발명은,
제 4 발명에 기재된 진공 성막 방법에 있어서,
상기 보호 필름이, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리스티렌, 폴리비닐알코올, 폴리카보네이트, 폴리페닐렌술파이드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 아라미드, 폴리이미드, 트리아세테이트의 단체 혹은 이것들을 첩합한 복합체로 구성되는 것을 특징으로 하고,
제 6 발명은,
제 4 발명에 기재된 진공 성막 방법에 있어서,
열 부하를 수반하는 상기 성막 수단이, 마그네트론 스퍼터링인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관련된 진공 성막 장치와 진공 성막 방법에 의하면,
성막실에 반입되기 전단계에서 장척 수지 필름의 제 2 면측에 보호 필름이 중합되기 때문에, 성막실 내에 있어서 장척 수지 필름은 보호 필름을 개재시킨 상태에서 냉각 캔 롤의 외주면에 감긴다.
그리고, 성막실 내에 있어서 장척 수지 필름이 냉각 캔 롤의 외주면에 강하게 접촉되어도, 장척 수지 필름과 냉각 캔 롤 사이에 개재되는 보호 필름에 의해 장척 수지 필름의 제 2 면에 스크래치 흠집이 잘 나지 않기 때문에, 장척 수지 필름의 제 2 면측이 미성막의 필름면인 경우에는 미성막의 필름면에 스크래치 흠집이 잘 나지 않고, 상기 제 2 면측이 금속막인 경우에는 금속막면에 스크래치 흠집이 잘 나지 않게 되는 효과를 갖는다.
도 1 은, 장척 수지 필름의 편면에 금속막을 성막하는 종래예에 관련된 스퍼터링 웹 코터 (진공 성막 장치) 의 구성 설명도이다.
도 2(a) 는 도 1 중 부호 (a) 로 나타내는 장척 수지 필름의 단면도이고, 도 2(b) 는 도 1 중 부호 (b) 로 나타내는 장척 수지 필름의 단면도이며, 및, 도 2(c) 는 도 1 중 부호 (c) 로 나타내는 권취롤에 권취된 장척 수지 필름의 단면도이다.
도 3 은, 장척 수지 필름의 편면에 금속막을 성막하는 본 발명의 실시형태에 관련된 스퍼터링 웹 코터 (진공 성막 장치) 의 구성 설명도이다.
도 4(A) 는 도 3 중 부호 (A) 로 나타내는 권출롤에 권회된 장척 수지 필름의 단면도이고, 도 4(B) 는 도 3 중 부호 (B) 로 나타내는 장척 수지 필름의 단면도이며, 도 4(C) 는 도 3 중 부호 (C) 로 나타내는 장척 수지 필름의 단면도이고, 도 4(D) 는 도 3 중 부호 (D) 로 나타내는 장척 수지 필름의 단면도이고, 및, 도 4(E) 는 도 3 중 부호 (E) 로 나타내는 권취롤에 권취된 장척 수지 필름의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 관련된 진공 성막 장치에 대해, 종래예에 관련된 진공 성막 장치와 그 문제점과 함께 상세하게 설명한다.
1. 종래예에 관련된 진공 성막 장치
(1) 종래예에 관련된 진공 성막 장치의 구성
먼저, 도 1 을 참조하면서 종래예에 관련된 진공 성막 장치에 대해 상세하게 설명한다.
또한, 도 1 에서는, 모터에 의해 구동하는 롤은 M (모터), 장력 측정롤은 TP (텐션 픽업), 프리 롤은 F (프리) 의 기호를 붙이고 있다.
종래예에 관련된 진공 성막 장치는, 도 1 에 나타내는 바와 같이 권출실 (10), 건조실 (20), 성막실 (30), 및, 권취실 (40) 로 구성되어 있다. 또, 상기 건조실 (20) 과 성막실 (30) 사이에, 플라즈마 조사나 이온 빔 조사를 실시하여 필름과 금속막의 밀착력을 향상시키는 「표면 처리실」이 끼워 넣어지는 경우도 있다.
상기 권출실 (10) 에는, 미성막 혹은 편면에 금속막 (금속 시드) 이 성막된 장척 수지 필름 (1) 을 권회한 권출롤 (11) 이 배치되고, 권출롤 (11) 로부터 권출된 장척 수지 필름 (1) 이, 프리 롤 (12), 장력 측정롤 (13), 및, 프리 롤 (14) 을 경유하여 건조실 (20) 에 반출되도록 구성되어 있다. 또한, 필름의 권출 장력은, 장력 측정롤 (13) 에서 측정되어, 권출롤 (11) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다.
상기 건조실 (20) 에는, 필름 건조용의 히터 (22) 가 배치되어, 권출실 (10) 로부터 반입된 장척 수지 필름 (1) 이 건조 처리됨과 함께, 모터 구동롤 (21), 프리 롤 (23), 장력 측정롤 (24), 프리 롤 (25), 및, 프리 롤 (26) 을 경유하여 성막실 (30) 에 반출되도록 구성되어 있다. 또한, 필름의 건조 장력은, 장력 측정롤 (24) 에서 측정되어, 상기 모터 구동롤 (21) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다.
상기 성막실 (30) 내에는, 스퍼터링 캐소드 (32, 33, 34, 35) 가 배치되어, 건조실 (20) 로부터 반입된 장척 수지 필름 (1) 의 편면 (제 1 면 (1α) : 도 2a 참조) 에 금속막 (금속 시드) (m) 이 성막됨 (도 2b 참조) 과 함께, 모터 구동롤 (36), 장력 측정롤 (38), 캔 롤 (31), 장력 측정롤 (39), 및, 모터 구동롤 (37) 을 경유하여 권취실 (40) 에 반출되도록 구성되어 있다. 또, 캔 롤 (31) 상류의 필름 장력 (반입 장력) 은, 장력 측정롤 (38) 에서 측정되어, 모터 구동롤 (36) 에 피드백 제어되도록 구성되고, 캔 롤 하류의 필름 장력 (반출 장력) 은, 장력 측정롤 (39) 에서 측정되어, 모터 구동롤 (37) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다. 또한, 도 1 중의 부호 3p 는 차폐판을 나타내고, 스퍼터링 캐소드의 타깃으로부터 방출된 스퍼터링 입자가 소정의 진행 경로를 벗어나 건조실 (20) 이나 권취실 (40) 등에 향하는 것을 방지하도록 구성되어 있다. 또, 성막실 (30) 내의 필름 장력 (반입, 반출 장력) 은, 권출실 (10) 내의 필름 권출 장력, 건조실 (20) 의 필름 건조 장력, 권취실 (40) 내의 필름 권취 장력보다 2 배 ∼ 4 배 정도 높게 설정되어 있다.
상기 권취실 (40) 내에는, 권취롤 (41) 및 장척 합지 권출롤 (42) 이 배치되어, 성막실 (30) 로부터 반입된 금속막 (금속 시드) 을 갖는 장척 수지 필름 (1) 이, 장척 합지 권출롤 (42) 로부터 권출되는 장척 합지 (43) 를, 프리 롤 (47) 을 경유하여 필름의 층간에 끼워 넣으면서, 프리 롤 (44), 장력 측정롤 (45), 및, 프리 롤 (46) 을 경유하여 권취롤 (41) 에 권취되도록 구성되어 있다. 또한, 필름의 권취 장력은, 장력 측정롤 (45) 에서 측정되어, 권취롤 (41) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다. 이와 같이, 상기 권출실 (10), 건조실 (20) 및 성막실 (30) 을 통과하여, 금속막을 성막한 장척 수지 필름 (1) 은, 그 층간에 장척 합지 (43) 를 끼워 넣으면서 권취실 (40) 의 권취롤 (41) 에 권취되도록 되어 있다.
그런데, 상기 진공 성막 장치를 사용하여 장척 수지 필름 (1) 의 양면에 금속막을 성막하는 경우에는, 상기 서술한 바와 같이 제 1 면 (1α) 에 금속막 (m) 이 성막되며 또한 권취롤 (41) 에 권취된 장척 수지 필름 (1) 을 일단 꺼내고, 다시, 진공 성막 장치의 권출롤 (11) 에 상기 장척 수지 필름 (1) 을 세트한 후, 제 1 면 (1α) 에 금속막 (m) 이 성막된 장척 수지 필름 (1) 을 권출실 (10) 로부터 성막실 (30) 에 반입함으로써, 장척 수지 필름 (1) 의 제 2 면 (1β) 에도 금속막 (m) 을 성막할 수 있다. 이 경우, 상기 권출롤 (11) 로부터의 통지 루트는 권출실 (10) 에 나타내어진 파선이 된다. 또, 제 2 면 (1β) 에 금속막이 성막된 장척 수지 필름 (1) 을 권취롤 (41) 에 그대로 권취한 경우, 제 1 면 (1α) 과 제 2 면 (1β) 측에 각각 성막된 금속막이 진공 중에서 강하게 접촉하여, 첩부되어 버리는 블로킹 현상이 발생해 버리기 때문에, 편면 (제 1 면 (1α)) 측에 금속막을 성막하는 경우와 마찬가지로, 상기 장척 합지 권출롤 (42) 로부터 권출되는 장척 합지 (43) 를 필름의 층간에 끼워 넣으면서 장척 수지 필름 (1) 을 권취실 (40) 의 권취롤 (41) 에 권취하면 된다. 또한, 도 1 에 있어서는, 진공 성막 장치를 설명하기 위한 최저한의 롤밖에 기재하고 있지 않지만, 도시하고 있지 않은 롤도 존재한다.
또, 권출실 (10), 건조실 (20), 성막실 (30), 및, 권취실 (40) 을 구성하는 각 진공실은 배기 설비를 구비하고, 특히, 성막실 (30) 에서는 스퍼터링 성막을 위해 도달 압력 10-4 Pa 정도까지의 감압과, 그 후의 스퍼터링 가스 도입에 의한 0.1 ∼ 10 Pa 정도의 압력 조정이 실시된다. 스퍼터링 가스에는 아르곤 등 공지된 가스가 사용되고, 목적에 따라 추가로 산소 등의 가스가 첨가된다. 각 진공실의 형상이나 재질은, 이와 같은 감압 상태에 견딜 수 있는 것이면 특별히 한정은 없고, 다양한 것을 사용할 수 있다. 각 진공실 내를 감압하고 그 상태를 유지하기 위해, 도시되지 않은 드라이 펌프, 터보 분자 펌프, 크라이오코일 등의 다양한 장치가 형성되어 있다.
또, 금속막 (금속 시드) 을 스퍼터링 성막하는 경우, 도 1 에 나타내는 바와 같이 판상의 타깃이 사용되는데, 판상의 타깃을 사용한 경우, 타깃 상에 노듈 (이물질의 성장) 을 발생시키는 경우가 있다. 이것이 문제가 되는 경우에는, 노듈의 발생이 없고, 타깃의 사용 효율도 높은 원통형 로터리 타깃을 사용하는 것이 바람직하다. 또, 도 1 의 진공 성막 장치에서는 마그네트론 스퍼터링 캐소드가 도시되어 있지만, CVD (화학 증착) 또는 증착 처리 등 다른 진공 성막 장치를 사용하는 경우에는, 판상 타깃 대신에 다른 진공 성막 수단이 장착된다.
(2) 종래예에 관련된 진공 성막 장치의 문제점
도 1 에 나타내는 종래예에 관련된 진공 성막 장치에 있어서는, 장척 수지 필름 (1) 을 냉각 캔 롤 (31) 의 외주면에 밀착시키는 관계상, 성막실 (30) 내에 있어서의 장척 수지 필름 (1) 의 반송 장력은, 상기 서술한 바와 같이 권출실 (10) 내의 필름 권출 장력, 건조실 (20) 의 필름 건조 장력, 권취실 (40) 내의 필름 권취 장력보다 2 배 ∼ 4 배 정도 높게 설정되어 있다. 이 때문에, 성막실 (30) 내를 반송되는 장척 수지 필름 (1) 은, 성막실 (30) 내에 형성된 냉각 캔 롤 (31) 이나 모터 구동롤 (36, 37) 의 외주면에 강하게 접촉되게 되어, 이들 외주면과 접촉하는 장척 수지 필름 (1) 측이 미성막의 필름면인 경우, 미성막의 필름면에 스크래치 흠집이 나기 쉽고, 상기 외주면과 접촉하는 장척 수지 필름 (1) 측이 성막 후의 금속막인 경우, 그 금속막에 스크래치 흠집이 나기 쉬워진다.
그리고, 미성막의 필름면에 스크래치 흠집이 난 경우에는 그 후에 성막되는 금속막면에 요철이 형성되어 버리고, 금속막에 스크래치 흠집이 난 경우에는 금속막에 결손부가 형성되어 버리기 때문에, 금속막 부착 수지 필름에 핀홀 등의 결함이 생기기 쉬워지는 문제가 존재하였다.
2. 본 발명의 실시형태에 관련된 진공 성막 장치
(1) 본 발명의 실시형태에 관련된 진공 성막 장치의 구성
다음으로, 본 발명의 실시형태에 관련된 진공 성막 장치에 대해, 도 3 을 참조하면서 구체적으로 설명한다. 도 3 에 있어서도, 모터에 의해 구동하는 롤은 M (모터), 장력 측정롤은 TP (텐션 픽업), 프리 롤은 F (프리) 의 기호를 붙이고 있다.
본 실시형태에 관련된 진공 성막 장치는, 도 3 에 나타내는 바와 같이 권출실 (100), 건조실 (200), 보호 필름 중합실 (300), 성막실 (400), 및, 권취실 (500) 로 구성되어 있다. 또한, 종래예에 관련된 장치와 마찬가지로, 상기 건조실 (200) 과 보호 필름 중합실 (300) 사이에, 플라즈마 조사나 이온 빔 조사를 실시하여 필름과 금속막의 밀착력을 향상시키는 「표면 처리실」이 끼워 넣어지는 경우도 있다.
상기 권출실 (100) 에는, 미성막 혹은 편면에 금속막 (금속 시드) 이 성막된 장척 수지 필름 (1) 을 권회한 권출롤 (110) 과, 권출롤 (110) 로부터 장척 수지 필름 (1) 을 권출할 때에 장척 수지 필름 (1) 의 층간에 끼워 넣어진 장척 합지 (101) 를 분리하여 회수하는 장척 합지 권취롤 (120) 이 배치되어, 권출롤 (110) 로부터 권출된 장척 수지 필름 (1) 이, 프리 롤 (111), 장력 측정롤 (112), 및, 프리 롤 (113) 을 경유하여 건조실 (200) 에 반출되도록 구성되어 있음과 함께, 장척 수지 필름 (1) 으로부터 분리된 장척 합지 (101) 가, 프리 롤 (121), 장력 측정롤 (122), 및, 프리 롤 (123) 을 경유하여 장척 합지 권취롤 (120) 에 회수되도록 구성되어 있다. 또, 권출롤 (110) 로부터의 필름 권출 장력 [예를 들어, 100 뉴턴 (N)] 은, 장력 측정롤 (112) 에서 측정되어, 권출롤 (110) 에 피드백 제어되도록 구성되고, 장척 합지의 권취 장력은, 장력 측정롤 (122) 에서 측정되어, 장척 합지 권취롤 (120) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다. 또, 상기 장척 합지 (101) 에 대해서는, 양면 미성막의 장척 수지 필름에 있어서도 필름면끼리의 블로킹을 방지하기 위해 필름 층간에 끼워 넣어지는 (도 4A 참조) 경우가 있고, 편면에 금속막 (금속 시드) 이 성막된 장척 수지 필름에 있어서는 금속막에서 기인하는 블로킹을 방지하기 위해 필름 층간에 끼워 넣어진다.
상기 건조실 (200) 에는, 필름 건조용의 히터 (222) 가 배치되어, 권출실 (100) 로부터 반입된 장척 수지 필름 (1) (도 4B 참조) 이 건조 처리됨과 함께, 모터 구동롤 (221), 프리 롤 (223), 장력 측정롤 (224), 프리 롤 (225), 프리 롤 (226), 및, 프리 롤 (227) 을 경유하여 보호 필름 중합실 (300) 에 반출되도록 구성되어 있다. 또, 필름의 건조 장력 [예를 들어, 50 뉴턴 (N)] 은, 장력 측정롤 (224) 에서 측정되어, 상기 모터 구동롤 (221) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다.
또, 상기 보호 필름 중합실 (300) 에는, 보호 필름 (301) 을 권출하는 보호 필름 권출롤 (310) 이 배치되고, 보호 필름 권출롤 (310) 로부터 권출된 보호 필름 (301) 이, 프리 롤 (311) 과 장력 측정롤 (312) 을 경유하여 프리 롤 (313) 상에 반송되는 한편, 상기 건조실 (200) 로부터 프리 롤 (227) 과 보호 필름 중합실 (300) 의 프리 롤 (314) 을 경유하여 상기 프리 롤 (313) 상에 장척 수지 필름 (1) 이 반송되고, 그 프리 롤 (313) 상에 있어서 장척 수지 필름 (1) 의 제 2 면 (1β) 측에 보호 필름 (301) 이 중합되도록 (도 4C 참조) 구성되어 있다. 또, 보호 필름 권출롤 (310) 로부터의 보호 필름 권출 장력은, 장력 측정롤 (312) 에서 측정되어, 보호 필름 권출롤 (310) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다.
다음으로, 상기 성막실 (400) 내에는, 스퍼터링 캐소드 (432, 433, 434, 435) 가 배치되어, 보호 필름 중합실 (300) 로부터 반입되며 또한 제 2 면 (1β) 측에 보호 필름 (301) 이 중합된 장척 수지 필름 (1) 의 편면 (제 1 면 (1α) : 도 4C 참조) 에 금속막 (금속 시드) (m) 이 성막됨 (도 4D 참조) 과 함께, 프리 롤 (401), 모터 구동롤 (436), 장력 측정롤 (438), 캔 롤 (431), 장력 측정롤 (439), 모터 구동롤 (437), 및, 프리 롤 (402) 을 경유하여 권취실 (500) 에 반출되도록 구성되어 있다. 또, 캔 롤 (431) 상류의 필름 장력 [반입 장력 : 예를 들어, 200 뉴턴 (N)] 은, 장력 측정롤 (438) 에서 측정되어, 모터 구동롤 (436) 에 피드백 제어되도록 구성되고, 캔 롤 하류의 필름 장력 [반출 장력 : 예를 들어, 200 뉴턴 (N)] 은, 장력 측정롤 (439) 에서 측정되어, 모터 구동롤 (437) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다. 또한, 도 3 중의 부호 400p 는 차폐판을 나타내고, 스퍼터링 캐소드의 타깃으로부터 방출된 스퍼터링 입자가 소정의 진행 경로를 벗어나 보호 필름 중합실 (300) 이나 권취실 (500) 등에 향하는 것을 방지하도록 구성되어 있다.
상기 권취실 (500) 내에는, 권취롤 (541) 및 장척 합지 권출롤 (542) 이 배치되어, 성막실 (400) 로부터 반입된 금속막 (금속 시드) 을 갖는 장척 수지 필름 (1) 이, 장척 합지 권출롤 (542) 로부터 권출되는 장척 합지 (43) 를, 프리 롤 (501), 장력 측정롤 (502), 및, 프리 롤 (547) 을 경유하여 필름의 층간에 끼워 넣으면서 (도 4E 참조), 프리 롤 (544), 장력 측정롤 (545), 및, 프리 롤 (546) 을 경유하여 권취롤 (541) 에 권취되도록 구성되어 있다. 또, 장척 수지 필름의 권취 장력 [예를 들어, 100 뉴턴 (N)] 은, 장력 측정롤 (545) 에서 측정되어, 권취롤 (541) 에 피드백 제어되도록 구성되며, 또한, 장척 합지 권출롤 (542) 로부터의 장척 합지 권출 장력은, 장력 측정롤 (502) 에서 측정되어, 장척 합지 권출롤 (542) 에 피드백 제어되도록 구성되어 있다.
그리고, 상기 권출실 (100), 건조실 (200), 보호 필름 중합실 (300), 및, 성막실 (400) 을 통과하여, 금속막을 성막한 장척 수지 필름 (1) 이 그 층간에 장척 합지 (43) 를 끼워 넣으면서 권취실 (500) 의 권취롤 (541) 에 권취되도록 되어 있다.
또, 본 실시형태에 관련된 진공 성막 장치를 사용하여 장척 수지 필름 (1) 의 양면에 금속막을 성막하는 경우에는, 종래예에 관련된 진공 성막 장치를 사용하는 경우와 마찬가지로, 제 1 면 (1α) 에 금속막 (m) 이 성막되며 또한 제 2 면 (1β) 에 보호 필름이 중합되어 있음과 함께 권취롤 (541) 에 권취된 장척 수지 필름 (1) 을 일단 꺼내고, 다시, 진공 성막 장치의 권출롤 (110) 에 상기 장척 수지 필름 (1) 을 세트한 후, 제 1 면 (1α) 에 금속막 (m) 이 성막된 장척 수지 필름 (1) 으로부터 상기 보호 필름을 분리하여 제 2 면 (1β) 을 노출시킨 상태에서 권출실 (100) 로부터 성막실 (400) 에 장척 수지 필름 (1) 을 반입함으로써, 장척 수지 필름 (1) 의 제 2 면 (1β) 에도 금속막 (m) 을 성막할 수 있다. 또한, 종래예에 관련된 진공 성막 장치를 사용한 경우와 마찬가지로, 블로킹 현상을 방지하기 위해, 장척 합지 권출롤 (542) 로부터 권출되는 장척 합지 (43) 를 필름의 층간에 끼워 넣으면서 장척 수지 필름 (1) 을 권취롤 (541) 에 권취하는 것이 바람직하다.
또, 상기 권출실 (100), 건조실 (200), 보호 필름 중합실 (300), 성막실 (400), 및, 권취실 (500) 을 구성하는 각 진공실은 배기 설비를 구비하고, 특히, 성막실 (400) 에서는 스퍼터링 성막을 위해 도달 압력 10-4 Pa 정도까지의 감압과, 그 후의 스퍼터링 가스 도입에 의한 0.1 ∼ 10 Pa 정도의 압력 조정이 실시된다. 스퍼터링 가스에는 아르곤 등 공지된 가스가 사용되고, 목적에 따라 추가로 산소 등의 가스가 첨가된다. 각 진공실의 형상이나 재질은, 이와 같은 감압 상태에 견딜 수 있는 것이면 특별히 한정은 없고, 다양한 것을 사용할 수 있다. 각 진공실 내를 감압하고 그 상태를 유지하기 위해, 도시되지 않은 드라이 펌프, 터보 분자 펌프, 크라이오코일 등의 다양한 장치가 형성되어 있다.
또, 금속막 (금속 시드) 을 스퍼터링 성막하는 경우, 도 3 에 나타내는 바와 같이 판상의 타깃이 사용되는데, 판상의 타깃을 사용한 경우, 타깃 상에 노듈 (이물질의 성장) 을 발생시키는 경우가 있다. 이것이 문제가 되는 경우에는, 노듈의 발생이 없고, 타깃의 사용 효율도 높은 원통형 로터리 타깃을 사용하는 것이 바람직하다. 또, 도 3 의 진공 성막 장치에서는 마그네트론 스퍼터링 캐소드가 도시되어 있지만, CVD (화학 증착) 또는 증착 처리 등 다른 진공 성막 장치를 사용하는 경우에는, 판상 타깃 대신에 다른 진공 성막 수단이 장착된다.
(2) 본 발명의 실시형태에 관련된 진공 성막 장치의 효과
본 실시형태에 관련된 진공 성막 장치에 의하면, 성막실 (400) 에 반입되기 전단계에서 장척 수지 필름 (1) 의 제 2 면 (1β) (도 4C 참조) 측에 보호 필름 (301) 이 중합되기 때문에, 성막실 (400) 내에 있어서 장척 수지 필름 (1) 은 보호 필름 (301) 을 개재시킨 상태에서 냉각 캔 롤 (431) 의 외주면에 감긴다.
그리고, 성막실 (400) 내에 있어서 장척 수지 필름 (1) 이, 냉각 캔 롤 (431) 의 외주면, 모터 구동롤 (436) 그리고 모터 구동롤 (437) 의 각 외주면에 강하게 접촉되어도, 장척 수지 필름 (1) 과 이들 롤 사이에 개재되는 보호 필름 (301) 에 의해 장척 수지 필름 (1) 의 제 2 면 (1β) 에 스크래치 흠집이 잘 나지 않기 때문에, 장척 수지 필름 (1) 의 제 2 면 (1β) 측이 미성막의 필름면인 경우에는 미성막의 필름면에 스크래치 흠집이 잘 나지 않고, 상기 제 2 면 (1β) 측이 금속막인 경우에는 금속막면에 스크래치 흠집이 잘 나지 않게 되는 점에서, 금속막 (금속 시드) 상에 형성되는 습식 도금층에 핀홀 등이 없는 고품질의 금속막 부착 수지 필름을 제조할 수 있는 현저한 효과를 갖는다.
(3) 필름의 재질
(3-1) 장척 수지 필름
금속막 부착 수지 필름에 적용되는 장척 수지 필름으로는, 폴리이미드계 필름, 폴리아미드계 필름, 폴리에스테르계 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌계 필름, 폴리페닐렌술파이드계 필름, 폴리에틸렌나프탈레이트계 필름 또는 액정 폴리머계 필름에서 선택되는 내열성의 수지 필름 등이 예시된다. 이들 수지 필름을 사용하여 얻어지는 금속막 부착 수지 필름은, 상기 서술한 플렉시블 배선 기판에 요구되는 유연성, 실용상 필요한 강도, 배선 재료로서 바람직한 전기 절연성이 우수하기 때문이다.
(3-2) 보호 필름
상기 보호 필름으로는, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리스티렌, 폴리비닐알코올, 폴리카보네이트, 폴리페닐렌술파이드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 아라미드, 폴리이미드, 트리아세테이트의 단체 혹은 이것들을 첩합한 복합체가 예시된다.
(3-3) 장척 합지
장척 수지 필름의 층간에 끼워 넣어지는 상기 장척 합지로는, 폴리이미드계 필름, 폴리아미드계 필름, 폴리에스테르계 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌계 필름, 폴리페닐렌술파이드계 필름, 폴리에틸렌나프탈레이트계 필름 또는 액정 폴리머계 필름에서 선택되는 수지 필름 등이 예시된다.
실시예
이하, 본 발명의 실시예에 대해 구체적으로 설명한다.
[금속막 (금속 시드) 의 성막]
도 3 에 나타내는 진공 성막 장치 (스퍼터링 웹 코터) 를 사용하여 장척 수지 필름의 제 1 면 (1α) 에 금속막을 성막하며, 또한, 제 1 면 (1α) 측에 금속막이 성막된 장척 수지 필름을 진공 성막 장치의 권출롤에 다시 세트하여 장척 수지 필름의 양면 (제 1 면 (1α) 과 제 2 면 (1β)) 에 금속막 (금속 시드) 을 성막하였다. 또한, 도 3 에 나타내는 장척 수지 필름 (1) 에는, 폭 600 mm, 길이 1000 m, 두께 25 ㎛ 의 우베 흥산 주식회사 제조의 내열성 폴리이미드 필름 「유피렉스 (등록 상표)」를 사용하고, 장척 수지 필름 (1) 의 제 1 면 (1α) 과 제 2 면 (1β) 에 성막하는 금속막 (금속 시드) 은, 제 1 층의 Ni-Cr 막 상에 제 2 층의 Cu막을 성막하는 것으로 하였다.
즉, 성막실 (400) 의 마그네트론 스퍼터 캐소드 (432) 의 타깃에는 Ni-Cr 타깃을 사용하고, 마그네트론 스퍼터 캐소드 (433, 434, 435) 의 타깃에는 Cu 타깃을 사용하였다. 그리고, 이 상태에서, 복수 대의 드라이 펌프를 사용하여 성막실 (400) 내의 공기를 5 Pa 까지 배기한 후, 다시, 복수 대의 터보 분자 펌프와 크라이오코일을 사용하여 3 × 10-3 Pa 까지 배기하였다.
다음으로, 스퍼터링 웹 코터의 회전 구동 장치를 기동하여 장척 수지 필름 (1) 을 반송 속도 5 m/분으로 반송시키면서, 아르곤 가스를 300 sccm 으로 도입함과 함께, Ni-Cr 타깃의 마그네트론 스퍼터 캐소드에는 20 kW, Cu 타깃의 마그네트론 스퍼터 캐소드에는 30 kW 의 전력을 인가하여, 제 1 층인 Ni-Cr 막 25 nm, 제 2 층인 Cu 막 100 nm 를 성막하였다.
그리고, 제 1 면 (1α) 과 제 2 면 (1β) 에 상기 금속막 (금속 시드) 이 성막된 장척 수지 필름 (1) 을 권취실 (500) 내에 반입하고, 블로킹이 일어나지 않도록 장척 수지 필름 (1) 의 층간에 장척 합지 (43) 를 끼워 넣으면서 권취롤 (541) 에 장척 수지 필름 (1) 을 권취하였다.
또한, 반송 중에 있어서의 장척 수지 필름 (1) 의 제 2 면 (1β) 측에 중합시키는 보호 필름 (301) 과 상기 장척 합지 (43) 에는 두께 10 ㎛ 의 PET 필름이 적용되고, 상기 진공 성막 장치 (스퍼터링 웹 코터) 에 있어서의 권출실 (100) 의 필름 권출 장력은 100 뉴턴 (N) 으로 설정되며, 건조실 (200) 의 필름 건조 장력은 50 뉴턴 (N) 으로 설정되고, 성막실 (400) 의 캔 롤 (431) 상류의 필름 장력 [반입 장력] 과 캔 롤 하류의 필름 장력 [반출 장력] 은 각각 200 뉴턴 (N) 으로 설정되며, 또한, 권취실 (500) 의 필름 권취 장력은 100 뉴턴 (N) 으로 각각 설정되어 있다.
[습식 도금층의 형성]
Ni-Cr 층과 Cu 층으로 이루어지는 금속막 (금속 시드) 이 양면에 성막되며, 또한, 필름 층간에 블로킹 방지용의 장척 합지 (43) 가 끼워 넣어진 장척 수지 필름 (1) 을, 「습식 도금 장치」의 권출롤로부터 상기 장척 합지 (43) 를 분리하면서 권출함과 함께, 도금조에 장척 수지 필름 (1) 이 반입되기 전단계에서 금속막 (금속 시드) 표면을 「대기압 플라즈마 세정 장치」로 세정하고, 그러한 후, 반송 속도 3 m/분으로 「습식 도금 장치」의 도금조 내에 장척 수지 필름 (1) 을 반입하여 금속막 (금속 시드) 상에 1 ㎛ 의 Cu 층 (습식 도금층) 을 도금하였다.
[평가 방법]
얻어진 금속막 부착 수지 필름에 대해 핀홀의 유무를 평가하였다. 먼저, 편면의 금속층 [금속 시드와 습식 도금층] 을 마스킹하여 반대면의 금속층을 에칭에 의해 제거하고, 그 후, 투과 현미경으로 5.6 mm × 4.2 mm 시야 범위의 핀홀을 촬영하고, 직경 3 ㎛ 이상의 핀홀을 화상 해석에 의해 카운트하여 평가하였다.
그 결과, 종래예에 관련된 진공 성막 장치를 사용한 경우와 비교하여, 본 실시예에서 얻어진 금속막 부착 수지 필름에는 핀홀이 현저하게 저감되어 있음이 확인되었다.
본 발명에 의하면, 핀홀 등이 없는 고품질의 금속막 부착 수지 필름을 높은 수율로 제조할 수 있기 때문에, 노트 PC, 디지털 카메라, 휴대 전화 등의 플렉시블 배선 기판에 사용되는 금속막 부착 수지 필름의 제조 장치로서 적용되는 산업상 이용가능성을 가지고 있다.
m : 금속막 (금속 시드)
1 : 장척 수지 필름
1α : 제 1 면
1β : 제 2 면
10 : 권출실
11 : 권출롤
12 : 프리 롤
13 : 장력 측정롤
14 : 프리 롤
20 : 건조실
21 : 모터 구동롤
22 : 히터
23 : 프리 롤
24 : 장력 측정롤
25 : 프리 롤
26 : 프리 롤
3p : 차폐판
30 : 성막실
31 : 캔 롤
32 : 스퍼터링 캐소드
33 : 스퍼터링 캐소드
34 : 스퍼터링 캐소드
35 : 스퍼터링 캐소드
36 : 모터 구동롤
37 : 모터 구동롤
38 : 장력 측정롤
39 : 장력 측정롤
40 : 권취실
41 : 권취롤
42 : 장척 합지 권출롤
43 : 장척 합지
44 : 프리 롤
45 : 장력 측정롤
46 : 프리 롤
47 : 프리 롤
100 : 권출실
101 : 장척 합지
110 : 권출롤
111 : 프리 롤
112 : 장력 측정롤
113 : 프리 롤
120 : 장척 합지 권취롤
121 : 프리 롤
122 : 장력 측정롤
123 : 프리 롤
200 : 건조실
221 : 모터 구동롤
222 : 히터
223 : 프리 롤
224 : 장력 측정롤
225 : 프리 롤
226 : 프리 롤
227 : 프리 롤
300 : 보호 필름 중합실
301 : 보호 필름
310 : 보호 필름 권출롤
311 : 프리 롤
312 : 장력 측정롤
313 : 프리 롤
314 : 프리 롤
400p : 차폐판
400 : 성막실
401 : 프리 롤
402 : 프리 롤
431 : 캔 롤
432 : 스퍼터링 캐소드
433 : 스퍼터링 캐소드
434 : 스퍼터링 캐소드
435 : 스퍼터링 캐소드
436 : 모터 구동롤
437 : 모터 구동롤
438 : 장력 측정롤
439 : 장력 측정롤
500 : 권취실
501 : 프리 롤
502 : 장력 측정롤
541 : 권취롤
542 : 장척 합지 권출롤
544 : 프리 롤
545 : 장력 측정롤
546 : 프리 롤
547 : 프리 롤

Claims (6)

  1. 권출롤에 권회된 장척 수지 필름을 권출하는 권출실과, 권출실로부터 공급된 장척 수지 필름의 제 1 면측에 금속막을 성막하는 성막실과, 금속막이 성막된 장척 수지 필름을 권취롤에 권취하는 권취실을 구비하고, 상기 성막실이, 롤 투 롤로 반송되는 장척 수지 필름을 외주면에 감아 냉각시키는 회전 구동의 냉각 캔 롤과, 그 냉각 캔 롤의 외주면을 따라 배치된 열 부하를 수반하는 성막 수단을 갖는 진공 성막 장치에 있어서,
    상기 권출실과 성막실 사이에, 반송 중에 있어서의 장척 수지 필름의 제 2 면측에 보호 필름을 중합시켜 냉각 캔 롤과 장척 수지 필름 사이에 보호 필름을 개재시키는 보호 필름 중합실이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 성막 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 보호 필름이, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리스티렌, 폴리비닐알코올, 폴리카보네이트, 폴리페닐렌술파이드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 아라미드, 폴리이미드, 트리아세테이트의 단체 혹은 이것들을 첩합한 복합체로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 성막 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    열 부하를 수반하는 상기 성막 수단이, 마그네트론 스퍼터링인 것을 특징으로 하는 진공 성막 장치.
  4. 권출롤에 권회된 장척 수지 필름을 권출하는 필름 권출 공정과,
    권출된 장척 수지 필름을 냉각 캔 롤에 감음과 함께, 그 냉각 캔 롤의 외주면을 따라 배치된 열 부하를 수반하는 성막 수단에 의해 장척 수지 필름의 제 1 면측에 금속막을 성막하는 성막 공정과,
    금속막이 성막된 장척 수지 필름을 권취롤에 권취하는 필름 권취 공정을 갖는 진공 성막 방법에 있어서,
    상기 필름 권출 공정부터 성막 공정까지의 사이에 있어서, 장척 수지 필름의 제 2 면측에 보호 필름을 중합시켜 냉각 캔 롤과 장척 수지 필름 사이에 보호 필름이 개재되도록 한 것을 특징으로 하는 진공 성막 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 보호 필름이, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리스티렌, 폴리비닐알코올, 폴리카보네이트, 폴리페닐렌술파이드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 아라미드, 폴리이미드, 트리아세테이트의 단체 혹은 이것들을 첩합한 복합체로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 성막 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    열 부하를 수반하는 상기 성막 수단이, 마그네트론 스퍼터링인 것을 특징으로 하는 진공 성막 방법.
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