KR20200134541A - 약액 도포 장치 - Google Patents

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KR20200134541A
KR20200134541A KR1020190060112A KR20190060112A KR20200134541A KR 20200134541 A KR20200134541 A KR 20200134541A KR 1020190060112 A KR1020190060112 A KR 1020190060112A KR 20190060112 A KR20190060112 A KR 20190060112A KR 20200134541 A KR20200134541 A KR 20200134541A
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Abstract

약액 도포 장치는 기판에 약액을 도포하기 위한 노즐과 함께 센싱부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 센싱부는 상기 기판에 약액의 도포시 상기 노즐로부터 약액이 토출되는 토출 지점을 기준으로 상기 토출 지점보다 선행하는 상기 노즐 전단부에 배치되고, 상기 약액의 토출에 앞서 상기 기판에 파티클이 잔류하는 가를 레이저 광원을 조사하여 센싱하도록 구비될 수 있다. 상기 제어부는 상기 센싱부의 센싱 결과를 수신받고, 상기 센싱 결과에 의해 상기 노즐의 약액 토출을 제거하도록 구비될 수 있다.

Description

약액 도포 장치{APPARATUS FOR DISPENSING DROPLET}
본 발명은 약액 도포 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 기판에 약액을 도포하기 위한 노즐, 특히 기판에 포토레지스트와 같은 약액을 도포하기 위한 슬릿 노즐을 구비하는 약액 도포 장치에 관한 것이다.
액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 박막을 형성을 위하여 기판에 약액을 도포하는 공정을 수행할 수 있다. 기판에 약액을 도포하는 공정의 예로서는 기판에 포토레지스트를 도포하는 공정을 들 수 있을 것이다.
기판에 약액을 도포하는 공정은 기판에 약액을 토출하는 노즐을 구비하는 약액 도포 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있을 것이다. 특히, 기판에 포토레지스트를 도포하는 공정은 기판에 포토레지스트를 토출하는 슬릿 노즐을 구비하는 약액 도포 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있을 것이다.
언급한 약액 도포 장치를 사용하는 약액의 도포에서는 기판에 파티클이 잔류할 경우 도포 불량이 발생하기 때문에 약액의 도출에 앞서 기판에 파티클이 잔류하는 가를 확인할 수 있다. 이에, 노즐 선단부에 부착되는 서스(SUS) 재질의 댐퍼를 사용하여 약액이 토출되기 직전에 파티클의 잔류를 확인할 수 있다.
그러나 노즐 선단부에 부착되는 댐퍼는 약액의 도포시 기판을 부상시키도록 기판 이면으로 제공되는 에어에 와류를 발생시킬 수 있는 원인으로 작용할 수 있고, 언급한 댐퍼로 인한 와류 발생으로 약액의 도포가 이루어지는 기판이 흔들리거나 또는 기판이 부상되는 부상량이 달리지는 상황들이 빈번하게 발생할 수 있다.
본 발명의 일 과제는 약액의 도포시 기판에 파티클이 잔류하는 가를 와류 발생 없이 용이하게 센싱하여 처리할 수 있는 약액 도포 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치는 기판에 약액을 도포하기 위한 노즐과 함께 센싱부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 센싱부는 상기 기판에 약액의 도포시 상기 노즐로부터 약액이 토출되는 토출 지점을 기준으로 상기 토출 지점보다 선행하는 상기 노즐 전단부에 배치되고, 상기 약액의 토출에 앞서 상기 기판에 파티클이 잔류하는 가를 레이저 광원을 조사하여 센싱하도록 구비될 수 있다. 상기 제어부는 상기 센싱부의 센싱 결과를 수신받고, 상기 센싱 결과에 의해 상기 노즐의 약액 토출을 제거하도록 구비될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 센싱부는 상기 노즐 전단부의 일측에 구비되는 레이저 발광부 및 상기 노즐 전단부의 타측에 구비되는 레이저 수광부로 이루어질 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제어부는 상기 센싱 결과에 의해 상기 노즐의 약액 토출을 중단시키도록 제어할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 기판을 부상시킨 상태에서 상기 약액의 도포가 이루어지게 상기 기판 이면으로 부상력을 제공할 수 있도록 구비되는 부상 스테이지를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 부상이 이루어지는 기판을 상기 부상 스테이지를 따라 이송시킬 수 있게 상기 기판 이면을 파지하는 파지부 및 상기 파지부가 활주할 수 있게 상기 부상 스테이지를 따라 연장되는 이송 레일로 이루어지는 이송부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 약액의 도포시 파티클이 잔류하는 가를 레이저 광원을 조사하여 센싱할 수 있기 때문에 기판을 부상시키도록 기판 이면으로 제공되는 에어에 의한 와류의 발생을 사전에 방지할 수 있을 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치는 약액의 도포시 파티클이 잔류하는 가를 와류 발생 없이 용이하게 센싱하여 처리할 수 있기 때문에 약액의 도포를 보다 안정적으로 수행할 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치는 파티클이 잔류하는 가를 용이하게 센싱 처리함과 아울러 약액의 도포를 보다 안정적으로 수행할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 약액 도포 장치에 구비되는 센싱부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 도 1의 약액 도포 장치에 구비되는 부상 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4는 도 1의 약액 도포 장치에 구비되는 이송부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1의 약액 도포 장치에 구비되는 센싱부를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 3은 도 1의 약액 도포 장치에 구비되는 부상 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 4는 도 1의 약액 도포 장치에 구비되는 이송부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치는 액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 박막을 형성을 위하여 기판(11)에 약액을 도포하는 공정에 적용할 수 있는 것으로써, 특히 기판(11)에 포토레지스트를 도포하는 공정에 적용할 수 있는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치는 노즐(13), 스테이지(15), 갠트리(17), 베이스(19), 센싱부(21), 제어부(14), 이송부(41) 등을 포함할 수 있다.
노즐(13)은 기판(11)에 약액을 도포하도록 구비될 수 있다. 즉, 노즐(13)은 약액의 도포시 기판(11)을 향하여 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 특히, 포토레지스트의 도포를 위한 노즐(13)일 경우에는 슬릿 노즐일 수 있다.
이에, 본 발명의 약액 도포 장치는 언급한 노즐(13)을 사용하여 스캔 방식으로 기판(11) 상에 포토레지스트를 도포할 수 있을 것이다.
스테이지(15)는 약액의 도포시 기판(11)을 지지하도록 구비될 수 있다. 특히, 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치에서의 스테이지(15)는 기판(11)의 지지시 기판(11)을 부상시킬 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 스테이지(15)는 기판(11)에 약액의 도포시 기판(11) 이면을 향하여 부상력을 제공할 수 있는 부상 스테이지로 이루어질 수 있다.
따라서 본 발명의 약액 도포 장치는 기판(11)을 부상시킨 상태에서 노즐(13)을 사용하여 스캔 방식으로 기판(11) 상에 포토레지스트 등과 같은 약액을 도포할 수 있을 것이다.
그리고 기판(11)을 도포 영역으로 반입시키는 반입 구간 및 기판(11)을 도포 영역으로 반출시키는 반출 구간에 구비되는 스테이지(15)는 기판(11) 이면으로 에어를 제공하는 부상 스테이지일 수 있고, 기판(11)에 약액을 도포하는 도포 영역에 구비되는 스테이지(15)는 기판(11)이 부상되는 높이를 보다 정밀하게 제어해야 하기 때문에 기판(11) 이면으로 에어와 함께 진공을 제공하는 부상 스테이지일 수 있다.
갠트리(17)는 노즐(13)을 지지하도록 구비될 수 있다. 즉, 갠트리(17)는 약액의 도포시 기판(11)을 향하여 약액을 토출할 수 있게 노즐(13)을 지지하도록 구비될 수 있다.
베이스(19)는 스테이지(15), 갠트리(17) 등과 같은 부재를 지지하도록 구비될 수 있다.
그리고 약액의 도포시 기판(11) 상에 파티클이 잔류할 경우 도포 불량이 발생할 수 있다. 이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치는 도 2 및 도 3에서와 같이 약액의 도포시 노즐(13)로부터 약액이 토출되는 토출 지점을 기준으로 토출 지점보다 선행하는 노즐(13) 전단부에 센싱부(21)를 구비할 수 있다.
따라서 본 발명의 약액 도포 장치는 언급한 바와 같이 노즐(13) 전단부에 센싱부(21)를 구비함으로써 노즐(13)로부터 약액이 토출되기 바로 직전에 기판(11)에 파티클이 잔류하는 가를 센싱할 수 있을 것이다.
본 발명에서의 센싱부(21)는 레이저 광원을 조사함에 의해 기판(11)에 파티클이 잔류하는 가를 센싱할 수 있도록 구비될 수 있다. 언급한 레이저 광원을 조사하여 기판(11)에 파티클이 잔류하는 가를 센싱할 수 있는 센싱부(21)는 노즐(13) 전단부의 일측에 구비되는 레이저 발광부(23) 및 노즐(13) 전단부의 타측에 구비되는 레이저 수광부(25)로 이루어질 수 있다.
이에, 노즐(13) 전단부의 일측에서 레이저 발광부(23)에 의해 조사되는 레이저 광원을 노즐(13) 전단부의 타측에서 레이저 수광부(25)에 의해 수광함으로써 약액이 토출되기 바로 직전에 기판(11)에 파티클이 잔류하는 가를 센싱할 수 있는 것이다.
특히, 레이저 발광부(23) 및 레이저 수광부(25)로 이루어지는 센싱부(21)는 노즐(13) 전단부 일측으로 노즐(13) 전단부 타측까지를 한 번의 레이저 광원의 조사를 통하여 센싱할 수 있기 때문에 스캔 방식으로 약액을 도포하는 슬릿 노즐에 보다 적절하게 적용할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 약액 도포 장치는 약액의 도포시 파티클이 잔류하는 가를 레이저 광원을 조사하여 센싱할 수 있기 때문에 파티클이 잔류하는 가를 와류 발생 없이 용이하게 센싱할 수 있을 것이다.
제어부(14)는 센싱부(21)로부터 센싱 결과를 수신받도록 구비될 수 있다. 그리고 제어부(14)는 센싱부(21)로부터의 센싱 결과에 의해 노즐(13)의 약액 토출을 중단할 수 있도록 구비될 수 있다.
즉, 제어부(14)는 센싱부(21)에 의해 기판(11)에 파티클이 잔류하지 않는 센싱 결과를 수신받을 경우 약액의 도포를 위한 약액 토출을 계속적으로 수행하도록 노즐(13)을 제어할 수 있을 것이고, 센싱부(21)에 의해 기판(11)에 파티클이 잔류하는 센싱 결과를 수신받을 경우 약액 토출을 중단하도록 노즐(13)을 제어할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치는 이송부(41)를 사용하여 스테이지(15)를 따라 기판(11)을 이송시킬 수 있을 것이다.
특히, 부상이 이루어지는 기판(11)을 부상 스테이지를 따라 이송시킬 수 있을 것이다. 이에, 약액 도포 장치에서의 이송부(41)는 도 4에서와 같이 부상 스테이지를 따라 이송시킬 수 있게 기판(11) 이면을 파지하는 파지부(43) 및 파지부(43)가 활주할 수 있게 부상 스테이지를 따라 연장되는 이송 레일(45)로 이루어질 수 있다.
언급한 파지부(43)는 기판(11) 이면을 진공 흡착함에 의해 파지하도록 이루어질 수 있다. 그리고 이송부(41)는 기판(11) 양쪽 이면에 구비될 수 있거나 또는 기판(11) 양쪽 중 어느 하나에 구비될 수도 있을 것이다.
이에, 본 발명의 약액 도포 장치는 부상이 이루어지는 기판(11)을 이송시키면서 기판(11)에 약액을 도포할 수 있을 것이고, 이때 기판(11)에 파티클이 잔류하는 가를 레이저 광원을 조사함에 의해 센싱하여 처리할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 약액 도포 장치는 약액의 도포시 파티클이 잔류하는 가를 레이저 광원을 조사하여 센싱할 수 있기 때문에 기판(11)을 부상시키도록 기판(11) 이면으로 제공되는 에어에 의한 와류의 발생을 사전에 방지할 수 있을 것이고, 그 결과 약액의 도포를 보다 안정적으로 수행할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치는 액정 디스플레이 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 기판 13 : 노즐
14 : 제어부 15 : 스테이지
17 : 갠트리 19 : 베이스
21 : 센싱부 23 : 레이저 발광부
25 : 레이저 수광부 41 : 이송부
43 : 파지부 45 : 이송 레일
100 : 약액 도포 장치

Claims (5)

  1. 기판에 약액을 도포하기 위한 노즐을 구비하는 약액 도포 장치에 있어서,
    상기 기판에 약액의 도포시 상기 노즐로부터 약액이 토출되는 토출 지점을 기준으로 상기 토출 지점보다 선행하는 상기 노즐 전단부에 배치되고, 상기 약액의 토출에 앞서 상기 기판에 파티클이 잔류하는 가를 레이저 광원을 조사하여 센싱하도록 구비되는 센싱부; 및
    상기 센싱부의 센싱 결과를 수신받고, 상기 센싱 결과에 의해 상기 노즐의 약액 토출을 제거하도록 구비되는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 센싱부는 상기 노즐 전단부의 일측에 구비되는 레이저 발광부 및 상기 노즐 전단부의 타측에 구비되는 레이저 수광부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 센싱 결과에 의해 상기 노즐의 약액 토출을 중단시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 기판을 부상시킨 상태에서 상기 약액의 도포가 이루어지게 상기 기판 이면으로 부상력을 제공할 수 있도록 구비되는 부상 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 부상이 이루어지는 기판을 상기 부상 스테이지를 따라 이송시킬 수 있게 상기 기판 이면을 파지하는 파지부 및 상기 파지부가 활주할 수 있게 상기 부상 스테이지를 따라 연장되는 이송 레일로 이루어지는 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
KR1020190060112A 2019-05-22 2019-05-22 약액 도포 장치 KR20200134541A (ko)

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KR1020190060112A KR20200134541A (ko) 2019-05-22 2019-05-22 약액 도포 장치

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