KR20240056120A - 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법 - Google Patents

약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법 Download PDF

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Abstract

약액 토출 장치는 기판을 부상시키도록 구비되는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지로부터 부상되는 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 토출부, 및 상기 토출부의 토출면에 대한 높이를 측정하도록 구비되되, 상기 부상 스테이지의 이면 쪽에서 상기 토출면을 향하여 레이저를 조사하도록 구비되는 높이 측정부를 포함할 수 있다.

Description

약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법{APPARATUS FOR DISCHARGE DROPLET AND METHOD FOR MEASURING HEIGHT OF DISCHARGE PART OF THE APPARATUS FOR DISCHARGE DROPLET}
본 발명은 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 부상 스테이지로부터 부상되는 기판 상에 약액을 토출하는 토출부의 높이를 측정하도록 이루어지는 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판에 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액을 토출하는 공정을 수행할 수 있다.
기판에 약액을 토출하는 공정은 기판에 약액을 토출하는 토출부, 즉 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐을 구비하는 약액 토출 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있을 것이다.
약액 토출 장치를 사용하는 약액 토출시 토출부가 설정 높이를 유지하지 못할 경우에는 얼룩 등과 같은 토출 불량이 발생할 수 있기 때문에 종래에도 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이를 수시로 측정하고 있다.
한국등록특허 10-2268615
본 발명의 일 과제는 기판 상에 약액을 토출하는 토출부에 대한 설정 높이를 보다 정확하게 측정하도록 이루어지는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 기판 상에 약액을 토출하는 토출부에 대한 설정 높이를 보다 정확하게 측정하기 위한 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법을 제공하는데 있다.
상기 일 과제를 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 기판을 부상시키도록 구비되는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지로부터 부상되는 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 토출부, 및 상기 토출부의 토출면에 대한 높이를 측정하도록 구비되되, 상기 부상 스테이지의 이면 쪽에서 상기 토출면을 향하여 레이저를 조사하도록 구비되는 높이 측정부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출부가 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 때, 상기 높이 측정부는 상기 슬릿 노즐의 일측 및 타측을 포함하는 적어도 두 군데에 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 높이 측정부 중 상기 일측에 구비되는 높이 측정부는 상기 일측 단부로부터 상기 타측에 구비되는 높이 측정부로 그리고 상기 타측으로부터 상기 일측 단부로 이동하도록 구비되고, 상기 타측에 구비되는 높이 측정부는 상기 타측 단부로부터 상기 일측에 구비되는 높이 측정부로 그리고 상기 일측으로부터 상기 타측 단부로 이동하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출부가 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 때, 상기 높이 측정부는 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부로 그리고 상기 타측 단부로부터 상기 일측 단부로 이동하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 높이 측정부로부터 상기 토출면에 대한 측정 높이를 전달받고, 상기 토출면의 측정 높이가 설정 높이와의 오차 범위를 벗어날 경우 상기 토출부의 약액 토출을 중단시키도록 제어할 수 있게 구비되는 제어부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 부상 스테이지를 따라 상기 기판을 이송시키도록 구비되는 이송부를 더 포함할 수 있다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법은 부상 스테이지로부터 부상되는 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 토출부의 토출면을 향하여 레이저를 조사하되, 상기 부상 스테이지의 이면 쪽에서 상기 토출면을 향하여 레이저를 조사하는 단계, 및 상기 토출면을 향하여 조사한 상기 레이저 신호에 근거하여 상기 토출면에 대한 높이를 측정하는 단계를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출부가 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 때, 상기 토출면에 대한 높이 측정은 상기 슬릿 노즐의 일측 및 타측을 포함하는 적어도 두 군데에서 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출면에 대한 높이 측정 중 상기 슬릿 노즐의 일측에서는 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 상기 타측으로 그리고 상기 타측으로부터 상기 일측 단부로 이동하면서 이루어질 수 있고, 상기 슬릿 노즐의 타측에서는 상기 슬릿 노즐의 타측 단부로부터 상기 일측으로 그리고 상기 일측으로부터 상기 타측 단부로 이동하면서 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출부가 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 때, 상기 토출면에 대한 높이 측정은 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부로 그리고 상기 타측 단부로부터 상기 일측 단부로 이동하면서 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 토출면에 대한 측정 높이를 전달받고, 상기 토출면의 측정 높이가 설정 높이와의 오차 범위를 벗어날 경우 상기 토출부의 약액 토출을 중단시키도록 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 부상 스테이지를 따라 상기 기판을 이송시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법은 기판과 토출부의 토출면 사이에서의 높이가 아닌 부상 스테이지의 이면 쪽과 토출부의 토출면 사이에서의 높이를 측정하기 때문에 토출부의 토출면 높이 측정시 부상 스테이지에 의한 기판 부상량 차이로 인한 기판과 토출면 사이에서의 높이 편차가 개입되는 상황을 방지할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법은 토출부의 토출면에 대한 높이를 보다 정확하게 측정할 수 있을 것이고, 그 결과 토출부의 높이에 기인한 토출 불량을 사전에 차단할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법은 약액 토출 공정이 수행되어야 하는 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에서의 높이 측정부를 설명하기 위한 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 기판(10)에 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액을 토출하는 약액 토출 공정에 적용할 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 기판(10)에 약액을 토출하는 토출부(19)가 구비될 수 있고, 기판(10)을 향하는 토출부(19)의 단부 쪽에는 기판(10)을 향하여 약액을 토출하는 토출면(20)이 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)가 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액의 토출에 사용되는 경우 스캔 방식으로 약액의 토출이 이루어질 수 있기 때문에 언급한 토출부(19)는 기판(10)의 폭 방향을 충분하게 커버할 수 있는 슬릿 노즐로 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)을 부상시킨 상태에서 기판(10) 상에 약액을 토출하도록 이루어질 수 있는 것으로써, 기판(10)을 부상시키는 부상 스테이지(11)가 구비될 수 있다.
본 발명에서의 부상 스테이지(11)는 약액을 토출시키는 부분(13)으로 기판(10)을 로딩시키는 부분(15)과 약액을 토출시키는 부분(13)으로부터 기판(10)을 언로딩시킨 부분(17)은 기판(10)을 단순하게 부상시키기만 하면 되기 때문에 기판(10) 이면을 향하여 에어만을 공급하도록 구비될 수 있고, 약액을 토출시키는 부분(13)은 기판(10)이 부상되는 높이를 상대적으로 정밀하게 조정하도록 해야 하기 때문에 기판(10) 이면을 향하여 에어를 공급함과 아울러 기판(10) 이면을 진공으로 흡인하도록 구비될 수 있다.
때문에, 부상 스테이지(11)에서의 기판(10)은 로딩 부분(15)과 언로딩 부분(17)에서의 기판(10) 높이와 약액을 토출시키는 부분(13)에서의 기판(10) 높이가 다소의 편차를 가질 수 있는데, 약액을 토출시키는 부분(13)이 진공 흡인이 더 이루어지기 때문에 로딩 부분(15)과 언로딩 부분(17)에 비해 상대적으로 부상 스테이지(11)에 근접하는 높이를 가질 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)을 이송시키면서 약액 토출을 수행하도록 이루어질 수 있는 것으로써, 부상 스테이지(11)를 따라 기판(10)을 이송시키는 이송부(25)가 구비될 수 있다.
본 발명에서의 이송부(25)는 기판(10)의 일측 단부, 타측 단부 또는 양측 단부를 파지하는 파지 부재, 부상 스테이지(11)를 따라 파지 부재의 이송을 가이드하는 가이드 부재, 파지 부재에 구동력을 제공하는 구동 부재 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있는 것으로써, 기판(10)의 일측 단부, 타측 단부 또는 양측 단부를 파지하는 파지 부재에 구동 부재를 사용하여 구동력을 제공하여 가이드 부재를 따라 이송되도록 함으로써 부상 스테이지(11)로부터 부상되는 기판(10)을 부상 스테이지(11)를 따라 이송시킬 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 사용하는 약액의 토출시 토출부(19)가 위치하는 높이, 구체적으로 토출부(19)의 토출면(20) 높이가 설정 높이를 유지하지 못할 경우에는 약액 토출에 따른 토출 불량이 발생할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출부(19)의 토출면(20)에 대한 높이를 측정하는 높이 측정부(21)를 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
다만, 높이 측정부(21)가 기판(10)을 향하여 레이저를 조사할 수 있게 토출부(19) 쪽에 배치되도록 구비될 경우 언급한 약액을 토출시키는 부분(13)에서의 기판(10) 높이에 따른 편차가 발생함으로 인하여 토출부(19)의 토출면(20)에 대한 높이를 보다 정확하게 측정하지 못하는 상황이 발생할 수도 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 높이 측정부(21)는 부상 스테이지(11)의 이면 쪽에서 토출면(20)을 향하여 레이저를 조사하도록 구비될 수 있다.
즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 높이 측정부(21)는 토출부(19)의 토출면(20), 특히 토출립과 수직하는 아래의 부상 스테이지(11)의 이면 쪽에 구비될 수 있는 것으로써, 부상 스테이지(11)의 이면 쪽에서 수직하게 위치하는 토출면(20)을 향하여 레이저를 조사하는 레이저 조사 부재로 이루어질 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 측정 대상인 토출면(20)의 높이와 높이 측정부(21)의 높이에 대한 정합성을 향상시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명에서는 높이 측정부(21)를 기판(10)과는 전혀 무관한 부상 스테이지(11)의 이면 쪽에서 토출면(20)을 향하여 레이저를 조사하도록 구비될 수 있기 때문에 토출면(20)에 대한 높이 측정시 기판(10) 높이에 따른 편차를 배제시킬 수 있을 것이고, 그 결과 토출부(19)의 토출면(20)이 위치하는 높이를 보다 정확하게 측정할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 토출시 토출부(19)의 높이에 기인한 토출 불량을 사전에 차단할 수 있을 것이다.
언급한 바에 따르면, 본 발명에서의 토출부(19)는 기판(10)의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 수 있는 것으로써, 기판(10)의 폭 방향을 충분하게 커버할 수 있는 길이를 갖는 막대 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
때문에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 높이 측정부(21) 또한 토출부(19)의 길이 방향 전체를 충분하게 커버하도록 구비될 수 있을 것이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에서의 높이 측정부를 설명하기 위한 도면들이다.
먼저 도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에서의 높이 측정부(21)는 슬릿 노즐의 일측 및 타측을 포함하는 적어도 두 군데에 위치하도록 구비될 수 있는데, 바람직하게는 슬릿 노즐의 일측 단부, 슬릿 노즐의 중심부, 슬릿 노즐의 타측 단부에 위치하도록 구비될 수 있다.
본 발명에서의 높이 측정부(21)가 슬릿 노즐로 이루어지는 토출부(19)의 일측 및 타측을 포함하는 적어도 두 군데에 위치하도록 구비될 경우에는 설치 위치, 설치 개수 등에 제한되지 않을 것이다.
또한, 언급한 높이 측정부(21)는 이동하도록 구비될 수도 있는데, 일측에 구비되는 높이 측정부는 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측에 구비되는 높이 측정부까지로 이동하도록 구비될 수 있고, 타측에 구비되는 높이 측정부는 타측 단부로부터 일측에 구비되는 높이 측정부로 그리고 일측으로부터 타측 단부로 이동하도록 구비될 수 있는 것으로써, 예를 들어 슬릿 노즐의 일측 단부, 슬릿 노즐의 중심부, 슬릿 노즐의 타측 단부 각각에 높이 측정부가 구비될 경우 일측 단부에서의 높이 측정부(21a)는 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 슬릿 노즐의 중심부까지로 이동하도록 구비될 수 있을 것이고, 중심부에서의 높이 측정부(21b)는 슬릿 노즐의 중심부로부터 일측 단부 또는 타측 단부까지로 이동하도록 구비될 수 있을 것이고, 타측 단부에서의 높이 측정부(21c)는 슬릿 노즐의 타측 단부로부터 슬릿 노즐의 중심까지로 이동하도록 구비될 수 있을 것이다.
그리고 도 4를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에서의 높이 측정부(21)는 도 3과는 달리 하나가 구비될 수 있는데, 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부로 그리고 슬릿 노즐의 타측 단부로부터 일측 단부로 이동하도록 구비될 수 있는 것으로써, 예들 들면 하나의 높이 측정부가 슬릿 노즐의 일측 단부와 타측 단부 사이를 이동하도록 구비될 수 있을 것이다.
언급한 높이 측정부(21)에 대한 이동은 주로 모터, 예들 들면 선형 모터 등과 같은 부재에 의한 구동력에 의해 달성될 수 있을 것이다.
도 3 및 도 4에서와 같이, 본 발명에서의 높이 측정부(21)는 토출부(19)가 슬릿 노즐로 이루어질 경우 슬릿 노즐의 일측 단부 및 타측 단부를 포함하는 전체 영역에서의 토출면(20)에 대한 높이를 측정하도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 특정 부분에서의 토출부(19)의 토출면(20)에 대한 높이와 함께 토출부(19)의 토출면(20) 전체 영역에 걸친 높이까지도 측정할 수 있기 때문에 토출부(19)가 길이 방향을 따라 틀어진 정도를 충분하게 감시할 수 있을 것이다.
본 발명에서는 토출부(19)의 길이 방향을 따라 토출면(20) 전체 영역에 걸친 높이를 측정할 수 있고, 토출면(20) 전체 영역의 높이가 일정하지 않을 경우 토출부(19)가 틀어진 것으로 확인할 수 있고, 그리고 토출부(19)가 잘못 설치된 것으로 판명할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출부(19)의 높이, 즉 토출부(19)의 측정 높이가 설정 높이와 다를 경우 약액 토출에 따른 인터락 기능을 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출부(19)의 측정 높이가 설정 높이와의 오차 범위를 벗어날 경우 토출부(19)의 약액 토출을 중단시키도록 제어할 수 있는 제어부(23)를 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명에서의 제어부(23)는 높이 측정부(21)로부터 토출면(20)에 대한 측정 높이를 전달받도록 구비될 수 있고, 그리고 토출면(20)의 측정 높이가 설정 높이와의 오차 범위를 벗어날 경우 토출부(19)의 약액 토출을 중단시키도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출부(19)가 위치하는 높이에 이상이 있을 경우 약액 토출을 중단시킬 수 있기 때문에 토출부(19)의 설치 이상으로 인한 토출 불량을 사전에 차단할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출부(19)로 인한 토출 불량을 사전에 차단할 수 있기 때문에 약액 토출 공정이 이루어지는 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에서의 토출부에 대한 높이 측정 방법에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정에서는 부상 스테이지(11)로부터 부상되는 기판(10) 상에 약액을 토출하도록 구비되는 토출부(19)의 토출면(20)을 향하여 레이저를 조사할 수 있는데, 부상 스테이지(11)의 이면 쪽에서 토출면(20)을 향하여 레이저를 조사할 수 있을 것이다.
그리고 토출면(20)을 향하여 조사한 레이저 신호에 근거하여 토출면(20)에 대한 높이를 측정할 수 있고, 언급한 측정 결과에 근거하여 토출부(19)의 약액 토출 중단 여부를 결정할 수 있을 것이다.
즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정에서는 토출부(19)의 토출면(20)에 대한 측정 높이를 전달받고, 토출면(20)의 측정 높이가 설정 높이와의 오차 범위를 벗어날 경우 토출부(19)의 약액 토출을 중단시킬 수 있게 제어하도록 이루어질 수 있을 것이다.
본 발명에서의 토출부(19)의 토출면(20)에 대한 높이 측정은 어느 한 지점에서의 토출부(19)의 토출면(20)에 대해서만 이루어질 수도 있지만, 토출부(19)가 슬릿 노즐로 구비될 수도 있기 때문에 슬릿 노즐의 일측 및 타측을 포함하는 적어도 두 군데에서 이루어질 수 있을 것이고, 바람직하게는 슬릿 노즐의 일측 단부, 슬릿 노즐의 중심부, 슬릿 노즐의 타측 단부에서 이루어질 수 있을 것이다.
또한, 본 발명에서의 토출부(19)의 토출면(20)에 대한 높이 측정은 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부로 그리고 타측 단부로부터 일측 단부로 이동하면서 이루어질 수도 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정은 특정 부분에서의 토출부(19)의 토출면(20)에 대한 높이와 함께 토출부(19)의 토출면(20) 전체 영역에 걸친 높이까지도 측정할 수 있기 때문에 토출부(19)가 길이 방향을 따라 틀어진 정도를 충분하게 감시할 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정은 약액 토출이 이루어지지 않을 때 수행할 수도 있지만, 약액 토출 공정이 이루어지는 도중에도 수행할 수도 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정은 부상 스테이지(11)를 따라 기판(10)을 이송시키는 도중에도 이루어질 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정에서는 기판(10)에 약액을 토출하는 토출 공정을 수행하지 않을 경우에는 토출부(19)의 높이 측정 결과에 근거하여 토출부(19)의 높이 조정을 수행할 수 있을 것이고, 부상 스테이지(11)를 따라 이송하는 기판(10)에 약액을 토출하는 토출 공정을 수행하고 있을 경우에는 토출부(19)의 높이 측정 결과에 근거하여 토출부(19)의 약액 토출을 중단시킬 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법은 기판 상에 포토레지스트, 현상액 등과 같은 약액의 토출에 적용할 수 있기에 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 11 : 부상 스테이지
19 : 토출부 20 : 토출면
21 : 높이 측정부 23 : 제어부
25 : 이송부 100 : 약액 토출 장치

Claims (10)

  1. 기판을 부상시키도록 구비되는 부상 스테이지;
    상기 부상 스테이지로부터 부상되는 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 토출부; 및
    상기 토출부의 토출면에 대한 높이를 측정하도록 구비되되, 상기 부상 스테이지의 이면 쪽에서 상기 토출면을 향하여 레이저를 조사하도록 구비되는 높이 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 토출부가 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 때, 상기 높이 측정부는 상기 슬릿 노즐의 일측 및 타측을 포함하는 적어도 두 군데에 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 토출부가 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 때, 상기 높이 측정부는 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부로 그리고 상기 타측 단부로부터 상기 일측 단부로 이동하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 높이 측정부로부터 상기 토출면에 대한 측정 높이를 전달받고, 상기 토출면의 측정 높이가 설정 높이와의 오차 범위를 벗어날 경우 상기 토출부의 약액 토출을 중단시키도록 제어할 수 있게 구비되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 부상 스테이지를 따라 상기 기판을 이송시키도록 구비되는 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  6. 부상 스테이지로부터 부상되는 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 토출부의 토출면을 향하여 레이저를 조사하되, 상기 부상 스테이지의 이면 쪽에서 상기 토출면을 향하여 레이저를 조사하는 단계; 및
    상기 토출면을 향하여 조사한 상기 레이저 신호에 근거하여 상기 토출면에 대한 높이를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 토출부가 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 때, 상기 토출면에 대한 높이 측정은 상기 슬릿 노즐의 일측 및 타측을 포함하는 적어도 두 군데에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 토출부가 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되는 슬릿 노즐로 구비될 때, 상기 토출면에 대한 높이 측정은 상기 슬릿 노즐의 일측 단부로부터 타측 단부로 그리고 상기 타측 단부로부터 상기 일측 단부로 이동하면서 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 토출면에 대한 측정 높이를 전달받고, 상기 토출면의 측정 높이가 설정 높이와의 오차 범위를 벗어날 경우 상기 토출부의 약액 토출을 중단시키도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 부상 스테이지를 따라 상기 기판을 이송시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치의 토출부에 대한 높이 측정 방법.
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