KR20200047358A - 해석 장치, 플로트 유리 제조 장치, 해석 방법 및 플로트 유리 제조 방법 - Google Patents

해석 장치, 플로트 유리 제조 장치, 해석 방법 및 플로트 유리 제조 방법 Download PDF

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KR20200047358A
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세이야 다나카
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에이지씨 가부시키가이샤
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Abstract

플로트 배스 내에 있어서의 유리 리본의 폭 방향의 변동을 억제함으로써, 유리 기판의 판 두께 편차를 저감하는 것을 가능하게 하는 해석 장치, 플로트 유리 제조 장치, 해석 방법 및 플로트 유리 제조 방법을 제공한다. 플로트 유리 제조 장치(1)는 용융로(10)와, 플로트 배스(20)와, 서냉로(30)와, 해석 장치(40)를 구비한다. 플로트 배스(20) 내에는, 복수 쌍의 톱 롤(50)이 배치되어 있다. 톱 롤(50)은 유리 리본(22)과 접촉하는 선단부(51)의 외주에 복수의 돌기부(52)를 갖고 있으며, 유동 방향에 따라서 사이를 두고 유리 리본(22) 상에 오목부(T)를 형성한다. 해석 장치(40)의 촬상부(41)에서 오목부(T)를 촬상하고, 화상 처리 식별부(42)에서 오목부(T)의 위치 및 간격을 산출하여, 판 두께 편차의 변동 기인이 되는 톱 롤(50)을 특정한다.

Description

해석 장치, 플로트 유리 제조 장치, 해석 방법 및 플로트 유리 제조 방법 {ANALYSIS APPARATUS, FLOAT GLASS PRODUCING DEVICE, ANALYSIS METHOD, AND FLOAT GLASS PRODUCING METHOD}
본 발명은, 해석 장치, 플로트 유리 제조 장치, 해석 방법 및 플로트 유리 제조 방법에 관한 것이다.
플랫 패널 디스플레이(FPD)용 유리 기판의 면 내 전체에서 판 두께 편차는, 포토리소그래피 공정에 있어서의 노광기의 초점 어긋남에 영향을 미친다. FPD용 유리 기판, 특히 액정 디스플레이(LCD)용 유리 기판은, 판 두께 편차에 대한 요구가 엄격하여, 예를 들어 1500mm의 범위에서 20㎛ 이하일 것이 요구된다. 판 두께 편차란, 판 두께의 최댓값과 판 두께의 최솟값의 차이다.
판 두께 편차를 저감하는 방법으로서, 특허문헌 1에는, 플로트 배스의 히터 영역을 유리 리본의 유동 방향 및 폭 방향으로 구획하고, 각 구획에 복수의 히터를 마련하여, 복수의 히터를 구획마다 제어하는 기술이 제안되어 있다.
일본 특허 공개 제2011-225386호 공보
그러나, 가령 특허문헌 1의 기술을 채용해도, 플로트 배스 내의 유리 리본이 폭 방향으로 변동되면, 유리 리본의 두께가 변동되고, 나아가서는 유리 기판의 판 두께 편차가 커진다는 문제가 있다. 그리고, 유리 리본의 폭 방향의 변동은, 판 두께 편차에 대한 요구를 충족시키지 못하게 되는 문제를 야기하는 경우가 있다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 플로트 배스 내에 있어서의 유리 리본의 폭 방향의 변동을 억제함으로써, 유리 기판의 판 두께 편차를 저감하는 것을 가능하게 하는 해석 장치, 플로트 유리 제조 장치, 해석 방법 및 플로트 유리 제조 방법의 제공을 주된 목적으로 한다.
본 발명의 해석 장치는, 용융 금속 상에 연속적으로 공급되는 용융 유리를 상기 용융 금속 상에서 유동시키면서 유리 리본으로 성형하는 플로트 배스와, 상기 유리 리본을 레이어 롤로 반송하면서 서냉하는 서냉로를 구비하는 플로트 유리 제조 장치에 적용되어, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부에 형성된 복수의 오목부를 해석하는 해석 장치이며, 상기 플로트 배스는, 상기 유리 리본의 유동 방향에 따라서 사이를 두고 마련된 복수 쌍의 톱 롤을 구비하고, 상기 톱 롤은, 상기 유리 리본과 접촉하는 선단부의 외주에 복수의 돌기부를 갖고, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부를 지지하여, 상기 유동 방향에 따라서 간격을 두고 상기 오목부를 형성하고, 상기 해석 장치는, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부를 촬상하는 촬상부와, 상기 촬상부에서 촬상한 검사 화상을 화상 처리한 다음, 상기 오목부의 위치를 검출하고, 상기 유동 방향에 있어서의 상기 오목부간의 간격에 기초하여, 소정의 상기 간격을 갖는 상기 오목부를 형성한 상기 톱 롤을 식별하는 화상 처리 식별부를 구비한다.
본 발명의 플로트 유리 제조 장치는, 상기 해석 장치를 구비하는 플로트 유리 제조 장치이며, 검출된 상기 오목부의 위치의 경시 변화에 기초하여, 상기 유리 리본의 1일당 인출량, 상기 레이어 롤 상의 상기 유리 리본의 반송 속도, 상기 선단부의 회전 속도, 평면으로 본 상기 선단부가 상기 유리 리본의 반송 방향과 이루는 각도, 평면으로 본 상기 선단부의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 상기 선단부의 위치 중 하나 이상을 제어한다.
본 발명의 해석 방법은, 용융 금속 상에 연속적으로 공급되는 용융 유리를 상기 용융 금속 상에서 유동시키면서 유리 리본으로 성형하는 플로트 배스와, 상기 유리 리본을 레이어 롤로 반송하면서 서냉하는 서냉로를 구비하는 플로트 유리 제조 장치에 적용되어, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부에 형성된 복수의 오목부를 해석하는 해석 방법이며, 상기 플로트 배스는, 상기 유리 리본의 유동 방향에 따라서 사이를 두고 마련된 복수 쌍의 톱 롤을 구비하고, 상기 톱 롤은, 상기 유리 리본과 접촉하는 선단부의 외주에 복수의 돌기부를 갖고, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부를 지지하여, 상기 유동 방향에 따라서 간격을 두고 상기 오목부를 형성하고, 상기 해석 방법은, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부를 촬상하는 스텝과, 촬상한 검사 화상을 화상 처리한 다음, 상기 오목부의 위치를 검출하고, 상기 유동 방향에 있어서의 상기 오목부간의 간격에 기초하여, 소정의 상기 간격을 갖는 상기 오목부를 형성한 상기 톱 롤을 식별하는 스텝을 구비한다.
본 발명의 플로트 유리 제조 방법은, 상기 해석 방법을 사용하는 플로트 유리 제조 방법이며, 검출된 상기 오목부의 위치의 경시 변화에 기초하여, 상기 유리 리본의 1일당 인출량, 상기 레이어 롤 상의 상기 유리 리본의 반송 속도, 상기 선단부의 회전 속도, 평면으로 본 상기 선단부가 상기 유리 리본의 반송 방향과 이루는 각도, 평면으로 본 상기 선단부의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 상기 선단부의 위치 중 하나 이상을 제어한다.
본 발명에 따르면, 유리 리본상의 오목부를 해석함으로써, 판 두께 편차의 기인이 되는 톱 롤을 특정할 수 있기 때문에, 고정밀도의 판 두께를 갖는 유리 기판을 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 플로트 유리 제조 장치의 일례를 나타내는 개념도이다.
도 2는, 본 발명에 있어서의 톱 롤과 유리 리본의 관계를 나타내고, (a)는 측면으로부터의 개념도, (b)는 평면으로 본 개념도, (c)는 정면으로부터의 개념도이다.
도 3은, 본 발명에 있어서의 톱 롤과 오목부를 나타내는 개념도이다.
도 4는, 본 발명에 있어서의 톱 롤의 다른 실시 형태를 나타내는 개념도이다.
도 5는, 본 발명에 있어서의 촬상부의 다른 실시예의 일례를 나타내는 개념도이며, (a)는 투과 광학계의 촬상부의 개념도, (b)는 투과 광학계의 촬상부에 의해 얻어지는 화상의 모식도이다.
이하, 도면을 사용하여, 본 발명에 따른 해석 장치, 플로트 유리 제조 장치, 해석 방법 및 플로트 유리 제조 방법의 구체적인 실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은, 본 실시 형태의 플로트 유리 제조 장치의 일례를 나타내는 개념도이다. 도 2는 톱 롤과 유리 리본의 관계를 나타내고, (a)는 측면으로부터의 개념도, (b)는 평면으로 본 개념도이다. 도 3은, 톱 롤과 오목부를 나타내는 개념도이다. 도 1 내지 도 3에 기초하여 본 실시 형태의 플로트 유리 제조 장치를 설명한다.
본 실시 형태의 플로트 유리 제조 장치(1)는, 용융로(10)와, 플로트 배스(20)와, 서냉로(30)와, 해석 장치(40)를 구비한다. 플로트 배스(20) 내에는, 주석 등을 포함하는 용융 금속(21) 상에 복수 쌍의 톱 롤(50)이 배치되고, 서냉로(30)에는, 복수의 레이어 롤(31)이 배치되어 있다.
용융로(10)로부터 플로트 배스(20) 내의 용융 금속(21) 상에 용융 유리가 공급되고, 용융 금속(21) 상에서 용융 유리를 유동시키면서 유리 리본(22)으로 형성한다. 또한, 용융로(10)로부터 플로트 배스(20)에 용융 유리를 공급함에 있어서, 상하 이동하는 트윌(11)로 개구량을 제어하여, 공급량을 제어한다. 본 실시 형태에서는 한 쌍의 감시 카메라(71)가, 플로트 배스(20)에 마련된 관찰창을 통해 플로트 배스(20) 내의 용융 유리(유리 리본(22))의 에지 근방 영역을 촬상하고, 공급량을 모니터하고 있다.
플로트 배스(20) 내의 유리 리본(22)에는, 유리 리본(22)의 유동 방향에 따라서 사이를 두고 마련되어, 유리 리본(22)의 폭 방향 양측부(23)를 지지하는 복수 쌍의 톱 롤(50)에 의해, 유리 리본(22)의 폭 방향을 향한 장력이 부여된다.
각 톱 롤(50)은, 유리 리본(22)의 폭 방향 양측부(23)에 대향 배치되어 쌍을 이루고 있고, 톱 롤(50)의 회전에 의해 유리 리본(22)을 하류측으로 보내어, 유리 리본(22)의 폭이, 표면 장력에 의해 좁아지는 것을 방지하고 있다.
톱 롤(50)의 설치수는, 유리의 종류나 목표 두께 등의 성형 조건에 따라서 적절히 설정되지만, 예를 들어 4쌍 내지 30쌍, 바람직하게는 10쌍 내지 30쌍이다. 유리 기판의 목표 두께가 얇아질수록, 톱 롤의 설치수가 많아지는 경향이 있다.
플로트 배스(20)에 있어서 소정의 판 두께로 형성된 유리 리본(22)은, 플로트 배스(20)와 서냉로(30) 사이에 배치된 리프트아웃 롤(32)에서 용융 금속(21)의 욕면으로부터 인출되어, 서냉로(30) 내의 레이어 롤(31)에서 반송되고, 실온에 가까운 온도까지 서냉된다. 서냉 후의 유리 리본은, 절단 장치에 의해 원하는 크기로 절단되어, 유리 기판이 된다.
도 2에 도시한 바와 같이, 톱 롤(50)은, 도시하지 않은 외부의 부재에 지지된 회전축(53)과, 회전축(53)의 선단에 회전 가능하게 설치되고, 유리 리본(22)과 접촉하는 선단부(51)를 갖는다. 선단부(51)는 원 형상의 회전체이며, 선단부(51)의 외주에는, 원주 방향으로 소정의 간격을 갖는 복수의 돌기부(52)가 마련된다. 따라서, 선단부(51)가 회전하면, 외주의 복수의 돌기부(52)가, 유리 리본(22)의 유동 방향에 따라서 간격을 두고 유리 리본(22) 상에 오목부(T)를 형성한다. 또한, 톱 롤(50)의 선단부(51)의 회전 속도 V, 평면으로 본 선단부(51)가 유리 리본(22)의 반송 방향(유동 방향)과 이루는 각도 θ, 평면으로 본 선단부(51)의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 선단부(51)의 위치가 제어되고 있다.
이러한 플로트 유리 제조에 있어서, 유리 리본(22)의 폭 방향의 변동 등을 억제함으로써, 유리 리본(22)의 판 두께 편차를 저감할 수 있지만, 판 두께 편차에 변동이 발생한 경우, 복수 쌍의 톱 롤(50) 중, 변동이 어느 톱 롤(50)에서 기인하고 있는지를 판정하는 것은 용이하지 않다.
그래서, 본 실시 형태의 플로트 유리 제조 장치(1)에서는, 서냉로(30)의 후단에, 오목부(T)를 해석하기 위한 해석 장치(40)가 구비되어 있다. 해석 장치(40)는, 유리 리본(22)의 폭 방향 양측부(23)를 촬상하는 촬상부(41)와, 촬상부(41)에서 촬상한 검사 화상을 화상 처리한 다음, 오목부(T)의 위치를 검출하고, 유동 방향에 있어서의 오목부(T)간의 간격에 기초하여, 소정의 간격을 갖는 오목부(T)를 형성한 톱 롤(50)을 식별하는 화상 처리 식별부(42)와, 검사 화상을 표시하는 표시부(43)를 구비하고 있다.
또한, 해석 장치(40)는 제어부(60)에 전기적으로 연결되어 있으며, 제어부(60)는, 화상 처리 식별부(42)의 해석 결과에 기초하여, 리프트아웃 롤(32) 및 레이어 롤(31)의 회전을 구동하는 구동부(62) 그리고 톱 롤(50)의 회전을 구동하는 구동부(61)를 제어하고 있다.
또한, 100℃ 이하의 해석 분위기를 확보할 수 있으면, 서냉로(30) 내에 해석 장치(40)를 마련해도 된다.
상술한 바와 같이, 플로트 유리 제조 장치(1)에 있어서는 유리 리본(22)의 유동 방향에 따라서 복수 쌍의 톱 롤(50)이 설치되어 있고, 각 톱 롤(50)의 회전 속도 V는 상이하다. 도 3은 상류측으로부터 하류측에 걸쳐 순서대로 설치된 3개의 톱 롤(501, 502, 503)을 나타내고 있다. 또한, 도 3에서는, 톱 롤(501, 502, 503)은, 상류측으로부터 하류측으로 감에 따라서, 폭 방향 외측으로부터 내측을 향해 마련되지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 톱 롤(503)은, 톱 롤(501)보다도 폭 방향 내측에, 톱 롤(502)보다도 외측에 마련되어도 된다.
하류측의 톱 롤(50)의 선단부(51)의 회전 속도 V는 상류측에 비해 빠르고, 도 3의 예에서는, 톱 롤(501)의 회전 속도<톱 롤(502)의 회전 속도<톱 롤(503)의 회전 속도가 된다. 이러한 회전 속도의 관계로부터, 톱 롤(501)의 오목부(T1), 톱 롤(502)의 오목부(T2), 톱 롤(503)의 오목부(T3)에 대하여, 오목부(T1) 사이의 간격>오목부(T2) 사이의 간격>오목부(T3) 사이의 간격의 관계가 성립하는 것이 이해된다.
상술한 사정을 감안하여, 발명자는, 촬상부(41)에서 촬상되는 오목부(T)간의 간격으로부터, 대응하는 톱 롤(50)을 특정할 수 있는지 확인하기 위해서, 수식을 발안하고, 당해 수식에 기초하는 이론값과 실측값의 관계를 조사하였다.
당해 수식에 의하면, 도 2의 (c)에 나타내는 선단부(51)의 원주 방향에 있어서의 돌기부(52)의 간격 D에, 레이어 롤(31) 상의 유리 리본(22)의 반송 속도 L을 곱하고, 선단부(51)의 회전 속도 V를 나누어 산출한 값이 오목부(T)간의 간격(날자국 간격)이 된다. 즉, 날자국 간격=D×L/V이다.
오목부(T)간의 간격에 대하여, 상기 식에 기초하여 이론값을 산출함과 함께, 실측값을 측정하였다. 실측값은, 톱 롤 중, 유리 리본의 점도가 105.3dPa·s 이상인 영역에 마련되는 톱 롤이 형성하는 오목부(T)간의 간격이며, 이론값과 실측값에는 상관 관계가 있다고 판정되었다. 그리고, 상관 관계를 프로그래밍함으로써, 화상 처리 식별부(42)에서, 상기 식에 의해 산출한 값과, 유동 방향에 있어서의 오목부(T)간의 간격(실측값)을 비교하여, 산출한 값에 가장 가까운 오목부(T)간의 간격(실측값)을 갖는 오목부(T)를 형성한 톱 롤(50)은, 선단부(51)가 회전 속도 V를 갖는 톱 롤(50)인 것으로 식별할 수 있다.
또한, 촬상부(41)가 유리 리본(22)의 폭 방향 양측부(23)를 촬상하고 있으므로, 화상 처리 식별부(42)는 유리 리본(22)의 폭 방향 양단부(24)의 위치를 검출할 수 있어, 유리 리본(22)의 변동을 파악할 수 있다.
촬상부(41)는 도 3에 도시한 바와 같이, 투광기(41a)와 수광기(41b)를 구비하는 광학 장치일 수 있고, 투광기(41a)로부터 유리 리본(22) 표면의 해석 영역에 조사한 정반사광을 수광기(41b)에서 수광함으로써, 해석 영역(도 3의 파선 영역)을 촬상한다.
투광기(41a)로서는 LED 광원을 적합하게 사용할 수 있고, 수광기(41b)로서는 CCD 에어리어 센서를 적합하게 사용할 수 있다. 광원은, LED 이외를 광원으로 한 파이버 광원이어도 되지만, 사용 환경(100℃ 이하의 분위기 등)을 고려하면, LED 광원이 바람직하다. 또한, 실시간 제어를 행하기 위해서는, 수광기(41b)에 의한 촬상 간격을 1분 이하로 하는 것이 바람직하다.
촬상부(41)는 유리 리본(22)의 양측부(23)의 근방에 마련되어, 양단부(24)의 화상 및 복수의 오목부(T)의 화상을, 좌표를 갖는 검사 화상으로서 촬상한다. 화상 좌표에 의해 각 오목부(T)의 위치 및 간격을 산출할 수 있다.
판 두께 편차의 변동 요인은, 다양하기 때문에, 특정한 톱 롤(50)에 있어서는, 톱 롤(50)의 선단부(51)의 회전 속도 V, 평면으로 본 선단부(51)가 반송 방향과 이루는 각도 θ, 평면으로 본 선단부(51)의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 선단부(51)의 위치 중, 하나 이상을 제어함으로써, 판 두께 편차의 변동을 최대한 없앨 수 있다. 또한, 레이어 롤(31) 상의 유리 리본(22)의 반송 속도 L이나 유리 리본(22)의 1일당 인출량을 제어하는 것도 판 두께 편차의 변동 억제에 기여할 수 있다. 플로트 유리 제조 장치(1)는, 검출된 오목부(T)의 위치의 경시 변화에 기초하여, 유리 리본(22)의 1일당 인출량, 레이어 롤(31) 상의 유리 리본(22)의 반송 속도 L, 선단부(51)의 회전 속도 V, 평면으로 본 선단부(51)가 유리 리본(22)의 반송 방향과 이루는 각도 θ, 평면으로 본 선단부(51)의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 선단부(51)의 위치 중 하나 이상을 제어하도록 해도 된다. 또한, 플로트 유리 제조 장치(1)는, 유리 리본(22)의 폭 방향 양단부(24)의 위치의 경시 변화에 기초하여, 유리 리본(22)의 1일당 인출량, 레이어 롤(31) 상의 유리 리본(22)의 반송 속도 L, 선단부(51)의 회전 속도 V, 평면으로 본 선단부(51)가 유리 리본(22)의 반송 방향과 이루는 각도 θ, 평면으로 본 선단부(51)의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 선단부(51)의 위치 중 하나 이상을 제어하도록 해도 된다.
톱 롤(50)의 선단부(51)의 회전 속도 V, 평면으로 본 선단부(51)가 반송 방향과 이루는 각도 θ, 평면으로 본 선단부(51)의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 선단부(51)의 위치는, 제어부(60)의 명령에 의해 구동부(61)와 연동하는 선단부(51)의 회전 속도의 가변, 회전축(53)의 가변, 압박력의 가변에 의해 제어할 수 있다. 또한, 유리 리본(22)의 반송 속도 L이나 1일당 인출량은, 제어부(60)의 명령에 의해 구동부(62)에 연동하는 레이어 롤(31)의 회전 속도의 가변에 의해 제어할 수 있다.
각 톱 롤(50)의 돌기부(52)의 간격 D(도 2의 (c))는 동일한 값으로 설정되지만, 도 4에 도시한 바와 같이, 적어도 한 쌍의 톱 롤(504)은, 돌기부(52)의 간격 D가 다른 복수 쌍의 톱 롤(501, 502, 503)과 상이해도 된다.
도 5는, 해석 장치(40)의 촬상부(41)의 다른 실시예를 나타내고, (a)는 투과 광학계의 촬상부(41)의 개념도이며, (b)는 투과 광학계의 촬상부(41)에 의해 얻어지는 화상의 모식도이다.
도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 촬상부(41)에서는, 유리 리본(22)의 하방에 마련된 투광기(45)로부터 유리 리본(22)을 투과한 투과광을, 유리 리본(22)의 상방에 마련한 수광기(46)에서 검출하고, 검사 화상을 얻는다. 이에 의해, 투과 광학계의 촬상부(41)에서는, 톱 롤(50)의 돌기부(52)가 유리 리본(22)의 표면에 파고 들어가서 형성되는 점상의 오목부(T)가 영상화된다. 이 경우, 유리 리본(22)과 투광기(45) 사이에 스크린(47)을 배치함으로써, 오목부(T)를 명료화할 수 있다. 따라서, 도 5의 (b)에 있어서의 오목부(T)의 좌측 단부로부터 우측 단부까지가 해석되는 오목부(T)이며, 도 3에 나타내는 반사 광학계의 촬상부(41)의 경우와 동일하게, 오목부(T)의 검사 화상을 얻을 수 있다.
본 실시 형태의 플로트 유리의 제조 장치(1)에는, 하기 장치가 설치되어도 된다.
인접하는 톱 롤(50) 사이나 최하류의 톱 롤(50)의 하류측에, 냉각 기능이 있는 감시 카메라, 반사경 등을 갖는 한 쌍의 감시 장치를 배치하고, 플로트 배스(20)에 있어서의 유리 리본(22)의 양측부(23)를 모니터해도 된다. 도 1의 실시 형태에서는, 유리 리본(22)의 반송 방향에 있어서 인접하는 2개의 톱 롤(50) 사이에 감시 장치(73)가 마련되고, 최하류의 톱 롤(50)의 하류측에 감시 장치(72)가 마련되어, 각각의 위치에 있어서의 양측부(23)를 모니터하고 있다.
플로트 배스(20) 내의 폭 방향 전체에 걸쳐 방사 온도계를 배치하고, 유리 리본(22)의 폭 방향의 온도를 전체에 걸쳐 모니터해도 된다.
또한, 당해 방사 온도계에 의해 온도를 모니터하고, 플로트 배스(20) 내에서 분할된 구획에 배치된 히터를 사용하여, 구획마다 유리 리본(22)의 온도를 제어해도 된다. 이에 의해, 유리 리본(22)의 두께를 균일하게 제어할 수 있다.
또한, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 적절히 변형, 개량 등이 가능하다. 그 밖에, 상술한 실시 형태에 있어서의 각 구성 요소의 재질, 형상, 치수, 수치, 형태, 수, 배치 개소 등은 본 발명을 달성할 수 있는 것이면 임의이며, 한정되지 않는다.
제조되는 플로트 유리의 용도는, 건축용, 차량용, 플랫 패널 디스플레이용, 커버 유리용 또는 기타 각종 용도를 들 수 있다.
본 발명을 상세하면서 또한 특정한 실시 양태를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 각종 변경이나 수정을 부가할 수 있는 것은, 당업자에 있어서 명확하다.
본 출원은 2018년 10월 24일 출원의 일본 특허 출원 제2018-200271호에 기초하는 것이고, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.
1 플로트 유리 제조 장치
10 용융로
20 플로트 배스
21 용융 금속
22 유리 리본
23 양측부
24 양단부
30 서냉로
31 레이어 롤
40 해석 장치
41 촬상부
42 화상 처리 식별부
43 표시부
50 톱 롤
51 선단부
52 돌기부
53 회전축
D 돌기부의 간격
L 유리 리본의 반송 속도
T 오목부
V 선단부의 회전 속도
θ 선단부가 반송 방향과 이루는 각도

Claims (9)

  1. 용융 금속 상에 연속적으로 공급되는 용융 유리를 상기 용융 금속 상에서 유동시키면서 유리 리본으로 성형하는 플로트 배스와, 상기 유리 리본을 레이어 롤로 반송하면서 서냉하는 서냉로를 구비하는 플로트 유리 제조 장치에 적용되어, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부에 형성된 복수의 오목부를 해석하는 해석 장치이며,
    상기 플로트 배스는, 상기 유리 리본의 유동 방향에 따라서 사이를 두고 마련된 복수 쌍의 톱 롤을 구비하고,
    상기 톱 롤은, 상기 유리 리본과 접촉하는 선단부의 외주에 복수의 돌기부를 갖고, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부를 지지하여, 상기 유동 방향에 따라서 간격을 두고 상기 오목부를 형성하고,
    상기 해석 장치는,
    상기 유리 리본의 폭 방향 양측부를 촬상하는 촬상부와,
    상기 촬상부에서 촬상한 검사 화상을 화상 처리한 다음, 상기 오목부의 위치를 검출하고, 상기 유동 방향에 있어서의 상기 오목부간의 간격에 기초하여, 소정의 상기 간격을 갖는 상기 오목부를 형성한 상기 톱 롤을 식별하는 화상 처리 식별부
    를 구비하는 해석 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화상 처리 식별부는, 상기 선단부의 원주 방향에 있어서의 상기 돌기부의 간격에, 상기 레이어 롤 상의 상기 유리 리본의 반송 속도를 곱하고, 상기 선단부의 회전 속도를 나누어 산출한 값과, 상기 유동 방향에 있어서의 상기 오목부간의 간격을 비교하여, 상기 값에 가장 가까운 상기 간격을 갖는 상기 오목부를 형성한 상기 톱 롤은, 상기 선단부가 상기 회전 속도를 갖는 톱 롤이라고 식별하는 해석 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 화상 처리 식별부는, 상기 유리 리본의 폭 방향 양단부의 위치를 검출하는 해석 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 해석 장치를 구비하는 플로트 유리 제조 장치이며,
    검출된 상기 오목부의 위치의 경시 변화에 기초하여, 상기 유리 리본의 1일당 인출량, 상기 레이어 롤 상의 상기 유리 리본의 반송 속도, 상기 선단부의 회전 속도, 평면으로 본 상기 선단부가 상기 유리 리본의 반송 방향과 이루는 각도, 평면으로 본 상기 선단부의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 상기 선단부의 위치 중 하나 이상을 제어하는 플로트 유리 제조 장치.
  5. 제4항에 있어서, 복수 쌍의 상기 톱 롤은, 상기 유동 방향의 하류로 감에 따라서, 상기 선단부의 회전 속도가 빨라지는 플로트 유리 제조 장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 적어도 한 쌍의 상기 톱 롤은, 상기 선단부의 원주 방향에 있어서의 상기 돌기부의 간격이, 다른 복수 쌍의 상기 톱 롤과는 다른 플로트 유리 제조 장치.
  7. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 유리 리본의 폭 방향 양단부의 위치의 경시 변화에 기초하여, 상기 유리 리본의 1일당 인출량, 상기 레이어 롤 상의 상기 유리 리본의 반송 속도, 상기 선단부의 회전 속도, 평면으로 본 상기 선단부가 상기 반송 방향과 이루는 각도, 평면으로 본 상기 선단부의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 상기 선단부의 위치 중 하나 이상을 제어하는 플로트 유리 제조 장치.
  8. 용융 금속 상에 연속적으로 공급되는 용융 유리를 상기 용융 금속 상에서 유동시키면서 유리 리본으로 성형하는 플로트 배스와, 상기 유리 리본을 레이어 롤로 반송하면서 서냉하는 서냉로를 구비하는 플로트 유리 제조 장치에 적용되어, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부에 형성된 복수의 오목부를 해석하는 해석 방법이며,
    상기 플로트 배스는, 상기 유리 리본의 유동 방향에 따라서 사이를 두고 마련된 복수 쌍의 톱 롤을 구비하고,
    상기 톱 롤은, 상기 유리 리본과 접촉하는 선단부의 외주에 복수의 돌기부를 갖고, 상기 유리 리본의 폭 방향 양측부를 지지하여, 상기 유동 방향에 따라서 간격을 두고 상기 오목부를 형성하고,
    상기 해석 방법은,
    상기 유리 리본의 폭 방향 양측부를 촬상하는 스텝과,
    촬상한 검사 화상을 화상 처리한 다음, 상기 오목부의 위치를 검출하고, 상기 유동 방향에 있어서의 상기 오목부간의 간격에 기초하여, 소정의 상기 간격을 갖는 상기 오목부를 형성한 상기 톱 롤을 식별하는 스텝
    을 구비하는 해석 방법.
  9. 제8항에 기재된 해석 방법을 사용하는 플로트 유리 제조 방법이며,
    검출된 상기 오목부의 위치의 경시 변화에 기초하여, 상기 유리 리본의 1일당 인출량, 상기 레이어 롤 상의 상기 유리 리본의 반송 속도, 상기 선단부의 회전 속도, 평면으로 본 상기 선단부가 상기 유리 리본의 반송 방향과 이루는 각도, 평면으로 본 상기 선단부의 위치, 및 연직 방향에 있어서의 상기 선단부의 위치 중 하나 이상을 제어하는 플로트 유리 제조 방법.
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