KR20200031034A - Organic light emitting display device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

The object of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof, which have excellent shielding properties against oxygen and moisture and have a narrow bezel. In the present invention, the organic light emitting display device comprises: a device substrate; an organic light emitting device layer provided on the device substrate; a dam material provided around the organic light emitting device layer on the device substrate; an opposite substrate provided on the dam material to be opposite the device substrate; and an encapsulation film installed on an exterior surface of the dam material.

Description

유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법{Organic light emitting display device and manufacturing method thereof}Organic light emitting display device and manufacturing method of organic light emitting display device

본 발명은, 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method for manufacturing the organic light emitting display device.

유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display: OLED)는, 저전압 구동이 가능하고 박형이며, 시야각이 뛰어나고 응답 속도가 빠르다는 특징이 있다.An organic light emitting display (OLED) is characterized by being capable of driving low voltage, being thin, having a good viewing angle and a fast response speed.

한편 유기 발광 표시 장치는, 산소 및 수분의 영향에 의해 유기 발광 소자(유기 발광 다이오드)의 열화가 발생하여, 발광 성능이 저하된다. 그렇기 때문에 유기 발광 표시 장치로의 산소 및 수분 투과를 억제하는 기술 개발이 진행되고 있다. On the other hand, in the organic light emitting display device, deterioration of the organic light emitting element (organic light emitting diode) occurs due to the influence of oxygen and moisture, and the light emission performance is deteriorated. For this reason, the development of a technology for suppressing oxygen and moisture permeation to the organic light emitting display device is progressing.

예를 들면 특허문헌 1에는, 소자 기판과 대향 기판 사이에 설치된 댐 재료(봉지 벽)에 의해 유기 발광 소자의 주위를 봉지함으로써 산소 및 수분 투과를 억제하는 유기 발광 표시 장치가 개시되어 있다.For example, Patent Literature 1 discloses an organic light emitting display device that suppresses oxygen and water permeation by sealing the periphery of an organic light emitting element by a dam material (encapsulation wall) provided between the element substrate and the counter substrate.

특허문헌 1: 일본공개특허공보 2015-076195호Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 2015-076195

특허문헌 1에 기재된 유기 발광 표시 장치에서는, 댐 재료는 수지에 의해 형성되어 있기 때문에 산소 및 수분에 대한 충분한 차폐성을 얻기 위해서는 댐 재료의 폭(면 방향에 있어서의 두께)을 넓게 하는 것이 필요해진다. 한편 유기 발광 표시 장치에 있어서는 비표시 영역의 저감, 디자인성 향상, 소형화 및 경량화의 관점에서, 댐 재료의 폭은 좁은 것이 바람직하며, 내로우 베젤화(슬림 베젤화)가 강하게 요구되고 있다. In the organic light emitting display device described in Patent Document 1, since the dam material is formed of resin, it is necessary to increase the width of the dam material (thickness in the plane direction) in order to obtain sufficient shielding properties against oxygen and moisture. On the other hand, in the organic light emitting display device, from the viewpoint of reducing the non-display area, improving design, miniaturization and weight reduction, it is preferable that the width of the dam material is narrow, and narrow bezelization (slim bezelization) is strongly demanded.

따라서 산소 및 수분에 대한 뛰어난 차폐성과 내로우 베젤화는 트레이드 오프 관계에 있고, 이들을 고차원으로 달성하는 것이 요구되고 있다. Therefore, excellent shielding properties against oxygen and moisture and narrow bezel are in a trade-off relationship, and it is required to achieve them at a high level.

본 발명은 상술한 종래 기술에 있어서의 모든 문제를 감안하여, 산소 및 수분에 대한 뛰어난 차폐성을 가지는 동시에 내로우 베젤화가 달성된 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of all the problems in the prior art described above, the present invention has an object to provide an organic light emitting display device having an excellent shielding property against oxygen and moisture and a narrow bezel, and a method of manufacturing the organic light emitting display device. do.

본 발명의 일 관점에 따르면, 소자 기판과, 상기 소자 기판 상에 설치된 유기 발광 소자층과, 상기 소자 기판 상에 있어서 상기 유기 발광 소자층의 주위에 설치된 댐 재료와, 상기 소자 기판과 대향하여 상기 댐 재료 상에 설치된 대향 기판과, 상기 댐 재료의 외벽면에 설치된 봉지막을 구비한 유기 발광 표시 장치가 제공된다. According to one aspect of the present invention, the device substrate, an organic light emitting device layer provided on the device substrate, a dam material provided around the organic light emitting device layer on the device substrate, and facing the device substrate, the An organic light emitting display device is provided having a counter substrate provided on a dam material and a sealing film provided on an outer wall surface of the dam material.

본 발명의 다른 관점에 따르면, 소자 기판 상에 유기 발광 소자층을 설치하는 공정과, 상기 소자 기판 상의 상기 유기 발광 소자층의 주위에, 수지를 포함한 도공액을 도포하여 미경화 댐 재료를 설치하는 공정과, 상기 소자 기판과 대향하여 상기 미경화 댐 재료 상에 대향 기판을 설치하는 공정과, 상기 미경화 댐 재료를 경화시켜서 댐 재료를 형성하는 공정과, 상기 댐 재료의 외벽면에 봉지막을 설치하는 공정을 구비한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, a step of installing an organic light emitting element layer on an element substrate, and applying a coating solution containing a resin around the organic light emitting element layer on the element substrate to install an uncured dam material A step of installing a counter substrate on the uncured dam material facing the element substrate, a step of curing the uncured dam material to form a dam material, and a sealing film on the outer wall surface of the dam material There is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device having a process of the.

본 발명에 의하면, 산소 및 수분에 대한 뛰어난 차폐성을 가지는 동시에 내로우 베젤화가 달성된 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법이 제공된다.According to the present invention, an organic light emitting display device having an excellent shielding property against oxygen and moisture and a narrow bezel is achieved, and a method of manufacturing the organic light emitting display device.

도 1은, 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는, 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치를 도시한 블록도이다.
도 3은, 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치를 도시한 단면도이다.
도 4는, 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 도시한 플로 차트이다.
도 5는, 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하는 도면이다.
도 6은, 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치를 도시한 단면도이다.
도 7은, 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치의 차폐 구조를 설명하는 요부 확대 단면도이다.
도 8은, 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 도시한 플로 차트이다.
도 9는, 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하는 도면이다.
도 10은, 본 발명의 변형 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치를 도시한 단면도이다.
도 11은, 본 발명의 변형 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치를 도시한 단면도이다.
1 is a perspective view showing an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a block diagram showing an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device according to the first embodiment of the present invention.
4 is a flow chart showing a method of manufacturing the organic light emitting display device according to the first embodiment of the present invention.
5 is a diagram for explaining a method of manufacturing the organic light emitting display device according to the first embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device according to a second embodiment of the present invention.
7 is an enlarged cross-sectional view of a main portion illustrating a shielding structure of an organic light emitting display device according to a second embodiment of the present invention.
8 is a flow chart showing a method of manufacturing an organic light emitting display device according to a second embodiment of the present invention.
9 is a view for explaining the manufacturing method of the organic light emitting display device in the second embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device according to a modified embodiment of the present invention.
11 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device according to a modified embodiment of the present invention.

<제 1 실시형태><First Embodiment>

도 1은, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)를 도시한 사시도이다. 도 2는, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)를 도시한 블록도이다. 또한 본 실시형태에 있어서, 각 도면은 설명을 위한 모식도이며 치수대로는 아니다. 특히 반복되는 다수의 구성 요소는, 도시의 명료화를 위해서 그 수량을 대폭 감소하여 도시한다. 1 is a perspective view showing an organic light emitting display device 100 according to the present embodiment. 2 is a block diagram showing the organic light emitting diode display 100 according to the present embodiment. In addition, in this embodiment, each drawing is a schematic drawing for description, and it is not according to dimensions. In particular, a number of repetitive elements are shown by greatly reducing the quantity for the sake of clarity of the city.

도 1 및 도 2에 도시한 것과 같이 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)는, 표시 패널(110)과, 스캔 구동부(120)와, 데이터 구동부(130)와, 타이밍 컨트롤러(160)와, 호스트 시스템(170)을 구비한다. 1 and 2, the organic light emitting display device 100 according to the present embodiment includes a display panel 110, a scan driver 120, a data driver 130, and a timing controller 160. ), And a host system 170.

도 1에 도시한 것과 같이 표시 패널(110)은, 대향하는 한 쌍의 기판인 소자 기판(111)과 대향 기판(112)을 구비한다. 또한 표시 패널(110)의 외주 방향의 벽면(외벽면)에는, 봉지막(113)이 설치되어 있다. 또한 이후의 설명에 있어서, 표시 패널(110)의 표시면을 정의하는 2변의 방향을 각각 X 방향 및 Y 방향이라 하고, 표시면에 수직인 방향(즉, X-Y 평면에 수직인 방향)을 Z 방향이라고 한다. 또한 본 실시형태에 있어서 '상' 또는 '하'라는 표현은, 현실 사용에 있어서의 위치 관계를 한정하는 것은 아니다. As shown in FIG. 1, the display panel 110 includes a pair of opposing substrates, an element substrate 111 and an opposing substrate 112. In addition, a sealing film 113 is provided on a wall surface (outer wall surface) in the outer circumferential direction of the display panel 110. In addition, in the following description, the directions of the two sides defining the display surface of the display panel 110 are referred to as the X direction and the Y direction, respectively, and the direction perpendicular to the display surface (that is, the direction perpendicular to the XY plane) is the Z direction. It is said. In addition, in this embodiment, the expression 'upper' or 'lower' does not limit the positional relationship in actual use.

도 2에 도시한 것과 같이 표시 패널(110)은, 화소(P)가 설치되고 화상을 표시하는 영역인 표시 영역을 구비한다. 표시 패널(110)에는, 데이터 라인(D1 ~ Dm, m은 2 이상의 양의 정수)과 스캔 라인(S1 ~ Sn, n은 2 이상의 양의 정수)이 형성된다. 데이터 라인(D1 ~ Dm)은, 스캔 라인(S1 ~ Sn)과 교차하도록 형성된다. 화소(P)는, 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 구조에 의해 정의되는 영역에 형성된다. As shown in FIG. 2, the display panel 110 includes a display area, which is an area where pixels P are provided and displays images. Data lines D1 to Dm and m are positive integers of 2 or more and scan lines S1 to Sn and n are positive integers of 2 or more are formed on the display panel 110. The data lines D1 to Dm are formed to intersect the scan lines S1 to Sn. The pixel P is formed in an area defined by the crossing structure of the gate line and the data line.

표시 패널(110)의 화소(P)의 각각은, 데이터 라인(D1 ~ Dm) 중 어느 1개와 스캔 라인(S1 ~ Sn) 중 어느 1개에 접속될 수 있다. 표시 패널(110)의 화소(P)의 각각은, 게이트 전극에 인가된 데이터 전압에 따라서 드레인·소스간 전류를 조정하는 구동 트랜지스터(transistor), 스캔 라인의 스캔 신호에 의해 켜지고, 데이터 라인의 데이터 전압을 구동 트랜지스터의 게이트 전극에 공급하는 스캔 트랜지스터, 구동 트랜지스터의 드레인·소스간 전류에 따라서 발광하는 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode) 및 상기 구동 트랜지스터의 게이트 전극의 전압을 보존하기 위한 콘덴서(Capacitor)를 포함할 수 있다. 이로써 화소(P)의 각각은, 유기 발광 다이오드에 공급되는 전류에 따라서 발광할 수 있다. Each of the pixels P of the display panel 110 may be connected to any one of the data lines D1 to Dm and one of the scan lines S1 to Sn. Each of the pixels P of the display panel 110 is turned on by a drive transistor that adjusts the drain-source current according to the data voltage applied to the gate electrode, and the scan signal of the scan line, and the data of the data line. A scan transistor that supplies a voltage to the gate electrode of the driving transistor, an organic light emitting diode that emits light according to the drain-to-source current of the driving transistor, and a capacitor (Capacitor) for preserving the voltage of the gate electrode of the driving transistor ). In this way, each of the pixels P can emit light according to the current supplied to the organic light emitting diode.

스캔 구동부(120)는, 타이밍 컨트롤러(160)로부터 스캔 제어 신호(GCS)를 입력 받는다. 스캔 구동부(120)는, 스캔 제어 신호(GCS)를 바탕으로 스캔 신호를 스캔 라인(S1 ~ Sn)에 공급한다. The scan driver 120 receives a scan control signal GCS from the timing controller 160. The scan driver 120 supplies a scan signal to the scan lines S1 to Sn based on the scan control signal GCS.

스캔 구동부(120)는, 표시 패널(110)의 표시 영역의 일측 또는 양측의 외측 비표시 영역에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성될 수 있다. 또는 스캔 구동부(120)는, 구동 칩으로 제작되고, 연성 필름(140)을 이용하여 실장되어, TAB(Tape Automated Bonding) 방식으로 표시 패널(110)의 표시 영역의 일측 또는 양측의 외측 비표시 영역에 부착시킬 수도 있다. The scan driver 120 may be formed in a gate driver in panel (GIP) method on the outside non-display areas of one or both sides of the display area of the display panel 110. Alternatively, the scan driving unit 120 is made of a driving chip and mounted using a flexible film 140, and an outer non-display area on one side or both sides of the display area of the display panel 110 in a Tape Automated Bonding (TAB) method. It can also be attached to.

데이터 구동부(130)는, 타이밍 컨트롤러(160)로부터의 디지털 비디오 데이터(DATA)와 데이터 제어 신호(DCS)를 입력 받는다. 데이터 구동부(130)는, 데이터 제어 신호(DCS)를 바탕으로, 디지털 비디오 데이터(DATA)를 아날로그 양극성/음극성 데이터 전압으로 변환하여 데이터 라인에 공급한다. 즉, 스캔 구동부(120)의 스캔 신호에 의해 데이터 전압이 공급될 화소(P)가 선택되고, 선택된 화소(P)에 데이터 전압이 공급된다. The data driver 130 receives digital video data DATA and a data control signal DCS from the timing controller 160. The data driver 130 converts digital video data DATA into an analog bipolar / negative polarity data voltage based on the data control signal DCS and supplies the data to the data line. That is, the pixel P to which the data voltage is supplied is selected by the scan signal of the scan driver 120, and the data voltage is supplied to the selected pixel P.

데이터 구동부(130)는, 도 1에 도시한 것과 같이 복수의 소스 드라이브 IC(131)를 포함할 수 있다. 복수의 소스 드라이브 IC(131)의 각각은, COF(Chip On Film) 또는 COP(Chip On Plastic) 방식으로 연성 필름(140)에 실장될 수 있다. 연성 필름(140)은, 이방성 도전 필름(antisotropic conducting film)을 이용하여, 표시 패널(110)의 비표시 영역에 설치된 패드 상에 부착한다. 이로써 복수의 소스 드라이브 IC(131)는, 패드에 접속될 수 있다. The data driver 130 may include a plurality of source drive ICs 131 as shown in FIG. 1. Each of the plurality of source drive ICs 131 may be mounted on the flexible film 140 in a chip on film (COF) or chip on plastic (COP) method. The flexible film 140 is attached on a pad provided in a non-display area of the display panel 110 using an anisotropic conducting film. Thereby, the plurality of source drive ICs 131 can be connected to the pad.

회로 기판(150)은, 연성 필름(140)에 부착할 수 있다. 회로 기판(150)에는, 구동 칩에 실장된 다수의 회로가 실장될 수 있다. 예를 들면 회로 기판(150)에는, 타이밍 컨트롤러(160)가 실장될 수 있다. 회로 기판(150)은, 프린트 회로 기판(printed circuit board) 또는 플렉서블 프린트 회로 기판(flexible printed circuit board)일 수 있다. The circuit board 150 can be attached to the flexible film 140. A plurality of circuits mounted on the driving chip may be mounted on the circuit board 150. For example, the timing controller 160 may be mounted on the circuit board 150. The circuit board 150 may be a printed circuit board or a flexible printed circuit board.

타이밍 컨트롤러(160)는, 호스트 시스템(170)으로부터 디지털 비디오 데이터(DATA)와 타이밍 신호를 입력 받는다. 타이밍 신호는, 수직 동기 신호(vertical synchronization signal), 수평 동기 신호(horizontal synchronization signal), 데이터 인에이블 신호(data enable signal), 도트 클럭(dot clock) 등을 포함할 수 있다. 수직 동기 신호는, 1 프레임 기간을 정의하는 신호이다. 수평 동기 신호는, 표시 패널(110)의 1 수평 라인의 화소(P)에 데이터 전압을 공급하는데 필요한 1 수평 기간을 정의하는 신호이다. 데이터 인에이블 신호는, 유효한 데이터가 입력되는 기간을 정의하는 신호이다. 도트 클럭은, 소정의 짧은 주기로 반복하는 신호이다. The timing controller 160 receives digital video data DATA and timing signals from the host system 170. The timing signal may include a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, a data enable signal, and a dot clock. The vertical synchronization signal is a signal defining one frame period. The horizontal synchronization signal is a signal that defines one horizontal period required to supply a data voltage to pixels P of one horizontal line of the display panel 110. The data enable signal is a signal that defines a period during which valid data is input. The dot clock is a signal that repeats at a predetermined short period.

타이밍 컨트롤러(160)는, 스캔 구동부(120)와 데이터 구동부(130)의 구동 타이밍을 제어하기 위해서, 타이밍 신호를 바탕으로, 데이터 구동부(130)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 데이터 제어 신호(DCS)와, 스캔 구동부(120)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 스캔 제어 신호(GCS)를 발생시킨다. 타이밍 컨트롤러(160)는, 스캔 구동부(120)에 스캔 제어 신호(GCS)를 출력하고, 데이터 구동부(130)에 디지털 비디오 데이터(DATA)와 데이터 제어 신호(DCS)를 출력한다. The timing controller 160 is a data control signal (DCS) for controlling the operation timing of the data driver 130 based on the timing signal to control the driving timing of the scan driver 120 and the data driver 130. In addition, a scan control signal GCS for controlling an operation timing of the scan driver 120 is generated. The timing controller 160 outputs the scan control signal GCS to the scan driver 120, and outputs digital video data DATA and data control signal DCS to the data driver 130.

호스트 시스템(170)은, 내비게이션 시스템, 셋업 박스, DVD 플레이어, 블루레이 플레이어, 퍼스널 컴퓨터(PC), 홈시어터 시스템, 방송 수신기, 휴대전화 시스템(Phone system) 등에 실장될 수 있다. 호스트 시스템(170)은, 스케일러(scaler)를 내장한 SoC(System on chip)를 포함한 입력 영상의 디지털 비디오 데이터(DATA)를 표시 패널(110)에 표시하는데 적합한 형식으로 변환한다. 호스트 시스템(170)은, 디지털 비디오 데이터(DATA)와 타이밍 신호를 타이밍 컨트롤러(160)에 전송한다. The host system 170 may be mounted in a navigation system, a setup box, a DVD player, a Blu-ray player, a personal computer (PC), a home theater system, a broadcast receiver, a phone system, or the like. The host system 170 converts digital video data DATA of an input image including a system on chip (SoC) having a scaler into a format suitable for displaying on the display panel 110. The host system 170 transmits digital video data DATA and a timing signal to the timing controller 160.

도 3은, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)를 도시한 단면도이다. 또한 도 3은, 도 1에 도시한 표시 패널(110)의 X-Z 평면에 있어서의 단면도이지만, 설명의 편의상 각 부재의 치수 빛 비율은 도 1과는 다른 것으로 한다. 또한 이하에서는 전면 발광 타입의 유기 발광 표시 장치(100)를 예로 들어서 설명하지만, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 전면 발광 타입에 한정되는 것은 아니며, 배면 발광 타입의 유기 발광 표시 장치여도 된다. 3 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device 100 according to the present embodiment. 3 is a cross-sectional view in the X-Z plane of the display panel 110 shown in FIG. 1, but for convenience of description, the dimension light ratio of each member is different from FIG. 1. In the following description, the organic light emitting display device 100 of the front emission type is described as an example, but the organic light emitting display device of the present invention is not limited to the front emission type, and may be an organic light emitting display device of the back emission type.

도 3에 도시한 것과 같이, 본 실시형태에 의한 유기 발광 표시 장치(100)는, 소자 기판(111)과, 대향 기판(112)과, 봉지막(113)과, 유기 발광 소자층(114)과, 패시베이션층(115)과, 댐 재료(116)와, 충전재(117)를 구비한다. As shown in FIG. 3, the organic light emitting display device 100 according to the present embodiment includes an element substrate 111, a counter substrate 112, an encapsulation film 113, and an organic light emitting element layer 114. A passivation layer 115, a dam material 116, and a filler 117 are provided.

소자 기판(111)은, 예를 들면 유리 기판이다. 또한 소자 기판(111)은, 유리 기판에 한정되는 것이 아니라, 여러 가지 재질의 기판을 사용할 수 있다. 또한 소자 기판(111) 상에는, 배리어층(미도시)이 형성된다. 배리어층의 재료로서는, 산소 및 수분에 대한 차폐성을 가진 재료라면 특별히 제한은 없고, 예를 들면 산화 실리콘, 질화 실리콘, 알루미나 등을 들 수 있다. 또한 배리어층은 단층이어도 되고, 2층 이상의 적층 구조여도 된다. 더욱이 배리어층 상에는, 유기 발광 소자층(114)을 구동하는 구동 회로를 구성하는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT)를 포함한 TFT층(미도시)이 형성된다. The element substrate 111 is, for example, a glass substrate. In addition, the element substrate 111 is not limited to a glass substrate, and substrates of various materials can be used. In addition, a barrier layer (not shown) is formed on the element substrate 111. The material of the barrier layer is not particularly limited as long as it is a material having shielding properties against oxygen and moisture, and examples thereof include silicon oxide, silicon nitride, and alumina. Moreover, the barrier layer may be a single layer, or may be a laminated structure of two or more layers. Moreover, a TFT layer (not shown) including a thin film transistor (TFT) constituting a driving circuit for driving the organic light emitting element layer 114 is formed on the barrier layer.

대향 기판(112)은, 예를 들면 유리 기판이다. 투명성을 가진 대향 기판(112)이 유기 발광 소자층(114)의 발광 방향에 위치함으로써, 전면 발광 타입의 표시 장치를 구성할 수 있다. 대향 기판(112)은, 댐 재료(116) 및 충전재(117) 상에 접착·고정되어 있다. The counter substrate 112 is, for example, a glass substrate. When the counter substrate 112 having transparency is positioned in the light emitting direction of the organic light emitting element layer 114, a display device of a front emission type can be configured. The counter substrate 112 is adhered and fixed on the dam material 116 and the filler 117.

봉지막(113)은, 댐 재료(116)의 외벽면 상에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 1에 도시한 것과 같이 봉지막(113)은, 표시 패널(110)에 있어서 도면 중 XY 평면에 수직인 3개의 외벽면 상에 연속하여 설치되어 있다. 또한 봉지막(113)은, 표시 패널(110)의 두께 방향(Z 방향)에 있어서, 소자 기판(111), 댐 재료(116) 및 대향 기판(112)의 3개 부재의 외벽면에 걸치듯이 연속해서 형성되어 있다. 또한 봉지막(113)은, 금속 산화물 및 금속 질화물 중 적어도 1개를 포함한 증착막으로, 공지된 성막법 중 1가지인 에어로졸 증착법(Aerosol Deposition method: AD법)에 의해 형성된다. The sealing film 113 is provided on the outer wall surface of the dam material 116. In this embodiment, as shown in FIG. 1, the sealing film 113 is continuously provided on three outer wall surfaces perpendicular to the XY plane in the drawing in the display panel 110. In addition, in the thickness direction (Z direction) of the display panel 110, the encapsulation film 113 spans the outer wall surfaces of the three members of the element substrate 111, the dam material 116, and the opposing substrate 112. It is formed continuously. In addition, the encapsulation film 113 is a deposition film containing at least one of a metal oxide and a metal nitride, and is formed by an aerosol deposition method (AD method), which is one of known deposition methods.

에어로졸 증착법은, 금속 산화물과 금속 질화물 등으로 이루어지는 취성 재료의 미립자 에어로졸을, 노즐로부터 고속으로, 대상물 표현을 향해서 분사함으로써, 대상물에 미립자를 충돌시키고, 그 기계적 충격력을 이용하여 취성 재료의 다결정 구조물을 대상물 표면에 형성하는 방법이다. 에어로졸 증착법에 의하면, 비습식인 동시에 또한 비가열 조건 하에서 소성체와 동등한 기계적 강도와, 산소 및 수분에 대한 높은 차폐성을 겸비한 치밀한 구조물을 얻을 수 있다. In the aerosol deposition method, a fine particle aerosol of a brittle material composed of a metal oxide and a metal nitride is jetted from a nozzle toward a target object at high speed to collide fine particles with the object, and use the mechanical impact force to create a polycrystalline structure of the brittle material. It is a method of forming on the surface of an object. According to the aerosol deposition method, it is possible to obtain a compact structure having both non-humidity and mechanical strength equivalent to that of a fired body under non-heating conditions, and high shielding properties against oxygen and moisture.

수분에 대한 높은 차폐성(높은 수증기 배리어성)은, 일반적으로 수증기 투과도(Water Vapor Transmission Rate: WVTR)로 표현된다. 수증기 투과도의 단위로서는, 수증기량을 단위 시간(1일), 단위 면적(1m2)당으로 환산한 것이 일반적으로 사용된다. 특히 유기 일렉트로닉스 기판 용도로는, 10-5 ~ 10-6g/m2/day라는 매우 낮은 투과성이 요구되고 있으며, 본 실시형태의 봉지막(113)도 상기 기준을 만족하는 것으로 한다. The high shielding property against moisture (high water vapor barrier property) is generally expressed by water vapor transmission rate (WVTR). As a unit of water vapor permeability, a water vapor amount converted to a unit time (1 day) and a unit area (1 m 2 ) is generally used. In particular, for the use of the organic electronic substrate, a very low permeability of 10 -5 to 10 -6 g / m 2 / day is required, and the encapsulation film 113 of this embodiment is also considered to satisfy the above criteria.

봉지막(113)의 재료로서는, 알루미나, 지르코니아(이산화 지르코늄), 티타니아(산화 티탄) 등이 사용된다. 또한 봉지막(113)은, 투명성을 가지면 바람직하다. 봉지막(113)의 두께는 100nm ~ 100μm라면 바람직하다. As the material of the sealing film 113, alumina, zirconia (zirconium dioxide), titania (titanium oxide), or the like is used. Moreover, it is preferable if the sealing film 113 has transparency. The thickness of the encapsulation film 113 is preferably 100 nm to 100 μm.

유기 발광 소자층(114)은, 상술한 TFT층 상에 설치되어 있다. 유기 발광 소자층(114)은, 유기 발광 소자(미도시)와 뱅크(미도시)를 구비한다. 유기 발광 소자는, 애노드(양극)와, 애노드 상에 형성된 유기 화합물층(유기 발광층)과, 유기 화합물층 상에 형성된 캐소드(음극)를 가진다. 또한 유기 화합물층은, 애노드 측으로부터 순서대로 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층을 가진다. 또한 유기 발광 소자층(114)을 구성하는 각 층은, 공지된 재료를 사용하여 형성할 수 있다. The organic light emitting element layer 114 is provided on the TFT layer described above. The organic light emitting element layer 114 includes an organic light emitting element (not shown) and a bank (not shown). The organic light emitting device has an anode (anode), an organic compound layer (organic light emitting layer) formed on the anode, and a cathode (cathode) formed on the organic compound layer. In addition, the organic compound layer has a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in order from the anode side. Further, each layer constituting the organic light emitting element layer 114 can be formed using a known material.

애노드로서는, 예를 들면 알루미늄, 은, 백금, 크롬 등 반사율이 높은 재료의 박막으로 이루어지는 반사 전극 및 이들 박막 상에 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 투명 도전성 산화물의 박막을 형성한 반사 전극을 들 수 있다. As the anode, for example, a reflective electrode made of a thin film of a material having high reflectance such as aluminum, silver, platinum, and chromium, and a thin film of transparent conductive oxide such as ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide) And the formed reflective electrode.

유기 화합물층은, 예를 들면 픽셀을 구성하는 서브 픽셀에 따라서, 적색광을 발광하는 R용 유기 화합물층과, 녹색광을 발광하는 G용 유기 화합물층과, 청색광을 발광하는 B용 유기 화합물층을 포함하고 있다. R, G, B용 유기 화합물층은, 각각의 발광색에 따른 공지된 재료에 의해 구성되어 있다. The organic compound layer includes, for example, an organic compound layer for R that emits red light, an organic compound layer for G that emits green light, and an organic compound layer for B that emits blue light, depending on the subpixel constituting the pixel. The organic compound layers for R, G, and B are made of known materials according to their respective emission colors.

캐소드로서는, 예를 들면 은, 은 합금, ITO, IZO 등의 박막으로 이루어지는 반투명 전극 또는 투명 전극이 사용된다. As the cathode, for example, a translucent electrode or a transparent electrode made of a thin film such as silver, silver alloy, ITO, or IZO is used.

뱅크는, 화소(P)를 구획하도록, 예를 들면 애노드의 단부를 덮도록 형성된다. 즉, 뱅크는, 화소(P)를 정의하는 화소 정의막으로서의 역할을 한다. 뱅크로서는, 예를 들면 아크릴 수지와 에폭시 수지 등의 유기막이 사용된다. The bank is formed to partition the pixel P, for example, to cover the end of the anode. That is, the bank serves as a pixel defining film defining the pixel P. As the bank, an organic film such as an acrylic resin and an epoxy resin is used, for example.

패시베이션층(115)은, 유기 발광 소자층(114)을 덮도록, 유기 발광 소자층(114)의 상면 및 측면에 설치되어 있다. 패시베이션층(115)은, 투습성이 낮은 무기막으로 이루어지고, 산소 및 수분으로부터 유기 발광 소자층(114)을 보호하는 보호막으로서 기능한다. 패시베이션층(115)으로서는, 예를 들면 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 등이 사용된다. The passivation layer 115 is provided on the top and side surfaces of the organic light emitting element layer 114 so as to cover the organic light emitting element layer 114. The passivation layer 115 is made of an inorganic film having low moisture permeability, and functions as a protective film that protects the organic light emitting element layer 114 from oxygen and moisture. As the passivation layer 115, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or the like is used.

댐 재료(116)는, 소자 기판(111) 상에 매트릭스상으로 형성된 복수의 유기 발광 소자층(114)의 주위에 설치되어 있다. 댐 재료(116)는, 열경화성 수지, 광경화성 수지 등 투명한 수지로 이루어진다. 댐 재료(116)의 재료로서는, 예를 들면 에폭시 수지, 아크릴 수지 등이 사용된다. The dam material 116 is provided around the plurality of organic light emitting element layers 114 formed in a matrix on the element substrate 111. The dam material 116 is made of a transparent resin such as a thermosetting resin or a photocurable resin. As the material of the dam material 116, for example, epoxy resin, acrylic resin, or the like is used.

댐 재료(116) 상에는, 소자 기판(111)에 대향하여 대향 기판(112)이 설치된다. 댐 재료(116)는, 소자 기판(111, 배리어층)과 대향 기판(112) 사이에 설치되고, 열과 빛에 의해 경화됨으로써 한 쌍의 기판의 접착 부재로서도 기능한다. 또한 제조된 표시 패널(110)의 두께 방향에 있어서, 소자 기판(111), 댐 재료(116) 및 대향 기판(112)의 적층 영역을 통과하는 빛의 투과도가 80% 이상이 되도록, 각 부재의 재질이 선택되어 있으면 바람직하다. On the dam material 116, an opposing substrate 112 is provided against the element substrate 111. The dam material 116 is provided between the element substrate 111 (barrier layer) and the counter substrate 112 and functions as an adhesive member of a pair of substrates by being cured by heat and light. In addition, in the thickness direction of the manufactured display panel 110, the transmittance of light passing through the stacked regions of the element substrate 111, the dam material 116, and the opposing substrate 112 is 80% or more, so that each member It is preferable if the material is selected.

충전재(117)는, 패시베이션층(115), 댐 재료(116) 및 대향 기판(112)에 의해 둘러싸인 공간 영역에 충전되어 있다. 충전재(117)는, 댐 재료(116)와 동일하게 열경화성 수지, 광경화성 수지 등 투명한 수지로 이루어진다. 충전재(117)는, 댐 재료(116)와 동일하게 열과 빛에 의해 경화됨으로써 한 쌍의 기판의 접착 부재로서도 기능한다. 또한 댐 재료(116) 및 충전재(117)의 굴절률은, 0.5~0.55이면 바람직하다. 상하 기판(소자 기판(111) 및 대향 기판(112))과 댐 재료(116)의 굴절률 차이는, 0.1 이하면 바람직하다.The filler 117 is filled in a space area surrounded by the passivation layer 115, the dam material 116 and the counter substrate 112. The filler 117 is made of a transparent resin such as a thermosetting resin and a photocurable resin, similarly to the dam material 116. The filler 117 functions as an adhesive member of a pair of substrates by being cured by heat and light like the dam material 116. In addition, the refractive index of the dam material 116 and the filler 117 is preferably 0.5 to 0.55. The difference in refractive index between the upper and lower substrates (element substrate 111 and counter substrate 112) and dam material 116 is preferably 0.1 or less.

계속해서 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)의 제조 방법에 대하여 도 4 및 도 5를 가지고 설명한다. 도 4는, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)의 제조 방법을 도시한 플로 차트이다. 도 5는, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)의 제조 방법을 설명하는 도면이다. Subsequently, a method of manufacturing the organic light emitting display device 100 in this embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5. 4 is a flow chart showing a method of manufacturing the organic light emitting display device 100 according to the present embodiment. 5 is a diagram for explaining a method of manufacturing the organic light emitting display device 100 according to the present embodiment.

우선 도 5(A)에 도시한 것과 같이 소자 기판(111)의 상면에 유기 발광 소자층(114)을 형성한다(단계 S11).First, as shown in FIG. 5 (A), an organic light emitting element layer 114 is formed on the upper surface of the element substrate 111 (step S11).

이어서 도 5(B)에 도시한 것과 같이 유기 발광 소자층(114)의 상면 및 측면에 패시베이션층(115)을 형성하여, 유기 발광 소자층(114)을 덮는다(단계 S12).Subsequently, as shown in FIG. 5 (B), the passivation layer 115 is formed on the top and side surfaces of the organic light emitting element layer 114 to cover the organic light emitting element layer 114 (step S12).

다음으로 후술하는 충전재(117)의 주입에 대비하여, 도 5(C)에 도시한 것과 같이 소자 기판(111)에 있어서 유기 발광 소자층(114) 및 패시베이션층(115)의 주위에 미경화 수지인 댐 재료(116)를 도포한다(단계 S13).Next, in preparation for the injection of the filler 117, which will be described later, as shown in FIG. 5 (C), the uncured resin around the organic light emitting element layer 114 and the passivation layer 115 in the element substrate 111 is shown. The phosphorus dam material 116 is applied (step S13).

이어서 댐 재료(116)에 대해서 자외선을 소정 시간 조사함으로써, 댐 재료(116)를 일시 경화한다(단계 S14).Next, the dam material 116 is irradiated with ultraviolet light for a predetermined time to temporarily cure the dam material 116 (step S14).

다음으로 도 5(D)에 도시한 것과 같이 소자 기판(111), 패시베이션층(115) 및 댐 재료(116)에 의해 둘러싸인 공간에 충전재(117)를 주입한다(단계 S15).Next, as shown in FIG. 5 (D), the filler 117 is injected into the space surrounded by the element substrate 111, the passivation layer 115, and the dam material 116 (step S15).

이어서 도 5(E)에 도시한 것과 같이 소자 기판(111)과 대향하여 댐 재료(116) 및 충전재(117) 상에 대향 기판(112)을 부착한다(단계 S16).Next, as shown in FIG. 5 (E), the opposite substrate 112 is attached on the dam material 116 and the filler 117 to face the element substrate 111 (step S16).

다음으로, 도 5(F)에 도시한 것과 같이, 예를 들면 약 100Pa로 감압된 상온 상태의 챔버(C1) 내에 표시 패널(110)의 중간체(도 5(E) 참조)를 반입한 후, 상기 중간체에 있어서의 댐 재료(116), 소자 기판(111), 대향 기판(112)의 각 외벽면에 미립자 에어로졸(AS)을 노즐(N1)로부터 분사함으로써, AD법을 바탕으로 외벽면 상에 봉지막(113)을 형성한다(단계 S17).Next, as shown in FIG. 5 (F), after the intermediate body of the display panel 110 (see FIG. 5 (E)) is brought into the chamber C1 in a normal temperature state, which is decompressed to about 100 Pa, for example, By spraying particulate aerosol (AS) from the nozzle (N1) on the outer wall surfaces of the dam material (116), the element substrate (111), and the counter substrate (112) in the intermediate body, on the outer wall surface based on the AD method An encapsulation film 113 is formed (step S17).

그리고 내부 온도를, 예를 들면 100℃까지 온도를 상승시킨 챔버(C1) 내에서 중간체를 소정 시간 계속하여 열처리 혹은 중간체에 자외선을 30분간 조사함으로써, 충전재(117) 및 댐 재료(116)를 경화시킨다(단계 S18). 경화 조건은, 충전재(117) 및 댐 재료(116) 재질에 따라서 적의 선택된다. 이로써 유기 발광 표시 장치(100)의 표시 패널(110)의 제조 처리가 완료된다. In addition, the filler 117 and the dam material 116 are cured by continuously heat-treating the intermediate for a predetermined time in the chamber C1 in which the temperature is raised to, for example, 100 ° C., or irradiating the intermediate for 30 minutes with ultraviolet light. (Step S18). Curing conditions are appropriately selected depending on the filler 117 and the dam material 116 material. Thus, the manufacturing process of the display panel 110 of the organic light emitting diode display 100 is completed.

이상과 같이 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)에 의하면, 산소 및 수분에 대한 뛰어난 차폐성을 가지는 동시에 내로우 베젤화가 달성된다. As described above, according to the organic light emitting display device 100 according to the present embodiment, narrow bezelization is achieved while having excellent shielding properties against oxygen and moisture.

상세히 서술하면, 매우 얇은 두께(100nm ~ 100μm)로 형성된 봉지막(113)만으로 차폐성(높은 수증기 배리어성)이 확보되는 구조이기 때문에 종래 장치보다 댐 재료(116)의 폭을 대폭 좁게 하는 것이 가능해진다. 또한 종래 장치의 댐 재료(116)는 흡습 기능을 가진 게터 재료를 포함하기 때문에 표시 패널(110)의 가장자리부가 백탁되어 비표시 영역의 증대 원인이 되고 있다. 이에 반해서 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(100)는, 봉지막(113)의 차폐성에 의해, 댐 재료(116)의 내부에 게터 재료를 포함할 필요가 없는 구조이므로, 댐 재료(116)를 투명 수지만으로 형성할 수 있고, 그 결과 투명한 표시 영역 확대(내로우 베젤화)를 달성할 수 있다. In detail, since the shielding property (high water vapor barrier property) is secured only by the encapsulation film 113 formed of a very thin thickness (100 nm to 100 μm), it is possible to significantly narrow the width of the dam material 116 than the conventional device. . In addition, since the dam material 116 of the conventional device includes a getter material having a moisture absorption function, the edge portion of the display panel 110 becomes cloudy, which causes an increase in the non-display area. On the other hand, the organic light emitting display device 100 according to the present embodiment has a structure in which it is not necessary to include a getter material inside the dam material 116 due to the shielding property of the encapsulation film 113. ) Can be formed of only transparent resin, and as a result, transparent display area enlargement (narrow bezel) can be achieved.

또한 댐 재료(116)가 수지만으로 형성되기 때문에 댐 재료(116)가 게터 재료를 포함하는 경우와 비교해서, 댐 재료(116)와 소자 기판(111) 및 대향 기판(112)의 접착력을 향상시킬 수 있는 이점도 있다. In addition, since the dam material 116 is formed of only resin, the adhesion between the dam material 116 and the element substrate 111 and the opposing substrate 112 is improved compared to the case where the dam material 116 includes a getter material. There are also advantages.

또한 AD법을 이용함으로써, 고온 상태(예를 들면 250℃)의 챔버 내에서 기판을 고속 회전시키면서 성막을 수행하는 CVD(Chemical Vapor Deposition)법과 비교해서 이하와 같은 이점도 있다. In addition, by using the AD method, compared with the CVD (Chemical Vapor Deposition) method in which film formation is performed while rotating a substrate at a high speed in a high temperature (for example, 250 ° C.) chamber, the following advantages are also provided.

(A) 상온 환경 하에서 기판의 외벽면(측면)에 봉지막(113)을 증착 가능하기 때문에 성막 공정에 필요한 비용을 억제할 수 있다. (A) Since the encapsulation film 113 can be deposited on the outer wall surface (side) of the substrate under a room temperature environment, the cost required for the film forming process can be suppressed.

(B) 기판 표면 전부를 성막하는 CVD법과는 달리, 원하는 부분에 한정적으로 봉지막(113) 형성이 가능하다. (B) Unlike the CVD method of depositing the entire surface of the substrate, the encapsulation film 113 can be formed in a limited portion.

더욱이 봉지막(113)만으로 차폐성(높은 수증기 배리어성)이 확보되는 구조에 의해, 댐 재료(116)의 두께를 얇게 할 수 있는 이점도 있다. 이로써 표시 패널(110) 전체에서의 두께도 얇아지므로 표시 패널(110)의 유연성도 향상될 수 있는 이점도 있다. Moreover, by the structure in which the shielding property (high water vapor barrier property) is ensured only by the sealing film 113, there is also an advantage that the thickness of the dam material 116 can be made thin. As a result, since the thickness of the entire display panel 110 is also thinned, the flexibility of the display panel 110 can be improved.

<제 2 실시형태><Second Embodiment>

계속해서 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(200)를 도 6 내지 도 9를 바탕으로 설명한다. 또한 제 1 실시형태의 도면에 있어서 부여한 부호와 공통된 부호는 동일 대상을 나타낸다. 이하에서는 제 1 실시형태와 공통된 부분의 설명은 생략하고, 제 1 실시형태와 다른 구성 및 동작을 중심으로 설명한다. Subsequently, the organic light emitting display device 200 in this embodiment will be described with reference to FIGS. 6 to 9. In addition, in the drawing of 1st Embodiment, the code | symbol given to the code | symbol and the common code | symbol represent the same object. Hereinafter, descriptions of parts common to those of the first embodiment will be omitted, and description will be mainly focused on the configuration and operation different from those of the first embodiment.

도 6은, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(200)를 도시한 단면도이다. 본 실시형태에 있어서의 봉지막(118)은, 층상 무기 화합물로부터 분리된 나노 시트(118a)와, 유기 수지층(118b)을, 나노 미터 단위로 교대 적층한 나노 시트 복합막이라는 점에서 제 1 실시형태와 다르다. 나노 시트(118a)의 재질은, 예를 들면 montmorillonite, bentonite, hectorite, octosilicate 등이다. 또한 봉지막(118)의 종횡비는 300:1 이상, 함유율은 30wt% 이상이면 바람직하다. 봉지막(118)의 두께는 100nm ~ 100μm이면 바람직하다. 6 is a cross-sectional view showing the organic light emitting display device 200 according to the present embodiment. The sealing film 118 in the present embodiment is the first in that it is a nano sheet composite film in which nano sheets 118a separated from a layered inorganic compound and an organic resin layer 118b are alternately stacked in nanometer units. It is different from the embodiment. The material of the nano sheet 118a is, for example, montmorillonite, bentonite, hectorite, octosilicate, and the like. In addition, the aspect ratio of the encapsulation film 118 is preferably 300: 1 or more, and the content rate is 30wt% or more. The thickness of the encapsulation film 118 is preferably 100 nm to 100 μm.

도 7은, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(200)의 차폐 구조를 설명하는 요부 확대 단면도이다. 도 7에 도시한 것과 같이 나노 시트(118a)는, 봉지막(118)의 내부에서 분산되는 동시에 또한 나노 시트(118a)의 면 방향은 봉지막(118)의 면 방향(도면에 있어서 Z 방향)과 거의 평행이 되도록 설치되어 있다. 또한 도면에 있어서 파선 화살표는, 유기 수지층(118b) 내에 침입한 수분(H2O)의 진행 방향을 도시하고 있다. 도 7에 있어서는 산소 및 수분이, 봉지막(118)의 내부에 있어서 최단 경로를 취득할 수 없어, 최단 경로로부터 크게 벗어난 복잡하고 매우 긴 경로를 다다르지 않으면 댐 재료(116)까지 도달할 수 없는 점을 도시하고 있다. 즉 봉지막(118)은, 나노 시트(118a)와 유기 수지층(118b)이 나노 미터 단위로 X 방향 또는 Y 방향으로 적층됨으로써 형성되므로, 높은 차폐성을 가지고 있는 것을 의미한다. 7 is an enlarged cross-sectional view of a main portion illustrating a shielding structure of the organic light emitting diode display 200 according to the present embodiment. As shown in FIG. 7, the nanosheet 118a is dispersed inside the encapsulation film 118 while the surface direction of the nanosheet 118a is the surface direction of the encapsulation film 118 (Z direction in the drawing) It is installed so as to be substantially parallel to. In addition, in the drawing, the broken arrow shows the direction of progress of moisture (H 2 O) that has entered the organic resin layer 118b. In FIG. 7, the oxygen and moisture cannot reach the dam material 116 unless the shortest path inside the encapsulation film 118 can be obtained and a long and complicated path far from the shortest path is reached. Dot is shown. That is, since the encapsulation film 118 is formed by laminating the nano sheet 118a and the organic resin layer 118b in the X-direction or Y-direction in nanometer units, it means that they have high shielding properties.

계속해서 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(200)의 제조 방법에 대해서 도 8 및 도 9를 가지고 설명한다. 도 8은, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(200)의 제조 방법을 도시한 플로 차트이다. 도 9는, 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(200)의 제조 방법을 설명하는 도면이다. Subsequently, a method of manufacturing the organic light emitting display device 200 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 8 and 9. 8 is a flowchart showing a method of manufacturing the organic light emitting display device 200 in the present embodiment. 9 is a view for explaining a manufacturing method of the organic light emitting display device 200 in the present embodiment.

우선 도 9(A)에 도시한 것과 같이 소자 기판(111)의 상면에 유기 발광 소자층(114)을 형성한다(단계 S21).First, as shown in Fig. 9A, an organic light emitting element layer 114 is formed on the upper surface of the element substrate 111 (step S21).

이어서 도 9(B)에 도시한 것과 같이 유기 발광 소자층(114)의 상면 및 측면에 패시베이션층(115)을 형성하여, 유기 발광 소자층(114)을 덮는다(단계 S22).Subsequently, as shown in FIG. 9 (B), the passivation layer 115 is formed on the top and side surfaces of the organic light emitting element layer 114 to cover the organic light emitting element layer 114 (step S22).

다음으로 도 9(C)에 도시한 것과 같이 소자 기판(111)에 있어서 유기 발광 소자층(114) 및 패시베이션층(115)의 주위에, 미경화 수지인 댐 재료(116)를 도포한다(단계 S23).Next, as shown in Fig. 9C, a dam material 116, which is an uncured resin, is applied around the organic light emitting element layer 114 and the passivation layer 115 in the element substrate 111 (step). S23).

이어서 댐 재료(116)에 대해서 자외선을 소정 시간 조사함으로써, 댐 재료(116)를 일시 경화한다(단계 S24).Next, the dam material 116 is irradiated with ultraviolet light for a predetermined time to temporarily cure the dam material 116 (step S24).

다음으로 도 9(D)에 도시한 것과 같이 소자 기판(111), 패시베이션층(115) 및 댐 재료(116)에 의해 둘러싸인 공간에 충전재(117)를 주입한다(단계 S25).Next, as shown in FIG. 9 (D), the filler 117 is injected into the space surrounded by the device substrate 111, the passivation layer 115, and the dam material 116 (step S25).

이어서 도 9(E)에 도시한 것과 같이 소자 기판(111)과 대향하여, 댐 재료(116) 및 충전재(117) 상에 대향 기판(112)을 부착한다(단계 S26).Next, as shown in Fig. 9 (E), the opposing substrate 112 is attached on the dam material 116 and the filler 117, facing the element substrate 111 (step S26).

다음으로 도 9(F)에 도시한 것과 같이 표시 패널(110)의 중간체(도 9(E) 참조)를 챔버(C2) 내에 반입한 후, 중간체에 있어서의 댐 재료(116), 소자 기판(111), 대향 기판(112)의 각 외벽면에, 봉지막(118) 형성용으로 조정된 도공액을 노즐(N2)로부터 반복 도포한다(단계 S27). 이 때 챔버(C2) 내의 온도는 상온이면 된다. 또한 도공액은, 예를 들면 종횡비가 1000:1 정도인 나노 시트(118a)를 용매와 수지에 단층 박리·분산시킴으로써 조정되면 바람직하다. Next, as shown in FIG. 9 (F), after the intermediate body (see FIG. 9 (E)) of the display panel 110 is brought into the chamber C2, the dam material 116 and the element substrate ( 111), the coating liquid adjusted for forming the sealing film 118 is repeatedly applied from the nozzle N2 to each outer wall surface of the opposing substrate 112 (step S27). At this time, the temperature in the chamber C2 may be room temperature. Further, the coating solution is preferably adjusted by, for example, monolayer peeling and dispersion of the nano sheet 118a having an aspect ratio of about 1000: 1 in a solvent and a resin.

그리고 챔버(C2) 내의 온도를, 예를 들면 100℃까지 상승시키고, 표시 패널(110)의 중간체에 자외선을 30분간 조사하여, 충전재(117), 댐 재료(116) 및 봉지막(118)을 각각 경화시킨다(단계 S28). 이로써 유기 발광 표시 장치(200)의 표시 패널(110)의 제조 처리가 완료된다. Then, the temperature in the chamber C2 is raised to, for example, 100 ° C., and the intermediate body of the display panel 110 is irradiated with ultraviolet light for 30 minutes to fill the filler 117, the dam material 116, and the sealing film 118. Each is cured (step S28). Thus, the manufacturing process of the display panel 110 of the organic light emitting diode display 200 is completed.

이상과 같이 본 실시형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(200)에 따르면, 산소 및 수분에 대한 뛰어난 차폐성을 가지는 동시에 내로우 베젤화가 달성된다. 이로써 상술한 제 1 실시형태와 동일한 효과를 얻는다. As described above, according to the organic light emitting diode display 200 according to the present embodiment, narrow bezelization is achieved while having excellent shielding properties against oxygen and moisture. Thereby, the effect similar to 1st Embodiment mentioned above is obtained.

더욱이 상술한 제 1 실시형태와 달리, 나노 시트(118a)를 포함하는 도공액을 외벽면에 도포한 후에 챔버(C2) 내에서 자외선을 조사하면서 소정 온도 조건 하에서 도공액을 건조시키는 것만으로 봉지막(118)을 용이하게 형성할 수 있기 때문에 제 1 실시형태의 경우보다 더욱 한정적인 범위에 대한 성막이 가능해지는 이점도 있다. Moreover, unlike the first embodiment described above, after applying the coating solution containing the nanosheet 118a to the outer wall surface, the encapsulation film is dried only by drying the coating solution under a predetermined temperature condition while irradiating ultraviolet rays in the chamber C2. Since (118) can be easily formed, there is also an advantage that film formation in a more limited range is possible than in the case of the first embodiment.

<변형 실시 형태><Modified embodiment>

이상으로 본 발명의 바람직한 실시형태를 나타냈지만, 본 발명은 예를 들면 이하에 게재하는 것처럼 여러 가지 형태로 변형 가능하다. Although preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention can be modified in various forms, for example, as described below.

도 10은, 변형 실시 형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(300)를 도시한 단면도이다. 여기에서는 댐 재료(116)의 외벽면 상에, 유기 수지 및 무기 수지로부터 형성된 하이브리드막(119)이 형성되고, 봉지막(113)은, 하이브리드막(119) 상에 증착되는 경우가 도시되어 있다. 하이브리드막(119)은, 예를 들면 실란 변성 에폭시 수지, POSS(polyhedral oligomeric silsesquioxane) 하이브리드막 등이다. 이와 같이 중간층으로서 소자 기판(111), 댐 재료(116) 및 대향 기판(112)의 외벽면(측면) 상에 하이브리드막(119)이 설치되는 경우에는, AD법에 의해 증착된 봉지막(113)과 외벽면의 접착력 및 봉지막(113)의 강도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 10 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device 300 according to a modified embodiment. Here, a case where a hybrid film 119 formed from an organic resin and an inorganic resin is formed on the outer wall surface of the dam material 116 and the encapsulation film 113 is deposited on the hybrid film 119 is illustrated. . The hybrid membrane 119 is, for example, a silane-modified epoxy resin, a polyhedral oligomeric silsesquioxane (POSS) hybrid membrane, or the like. When the hybrid film 119 is provided on the outer wall surface (side) of the element substrate 111, the dam material 116, and the counter substrate 112 as the intermediate layer, the encapsulation film 113 deposited by the AD method ) And the strength of the sealing film 113 and the adhesive force of the outer wall surface.

또한 상술한 제 1 및 제 2 실시형태에 있어서는, 설명의 편의상 소자 기판(111), 댐 재료(116) 및 대향 기판(112)의 외벽면이 Z 방향에 있어서 일치되어 있는 경우에 대해서 설명했다. 그러나 AD법을 바탕으로 한 증착막 및 나노 시트 복합막은, 표시 패널(110)의 원하는 부분에 형성할 수 있다. 그렇기 때문에 소자 기판(111), 댐 재료(116) 및 대향 기판(112)의 경계 부분에 단차부가 설치되어 있는 경우에도 상술한 실시형태와 동일하게 각 외벽면에 봉지막(113, 118)을 형성할 수 있다. 예를 들면 소자 기판(111) 및 대향 기판(112)의 외벽면이 댐 재료(116)의 외벽면보다 외측으로 돌출되어 있는 경우, 적어도 댐 재료(116)의 외벽면, 댐 재료(116)와 소자 기판(111)의 경계 영역, 댐 재료(116)와 대향 기판(112)의 경계 영역에 봉지막(113, 118)을 설치함으로써, 외벽면에 수직인 방향(X 방향 및 Y 방향)으로부터의 산소 및 수분 침입을 억제할 수 있다. In addition, in the above-described first and second embodiments, a case has been described in which the outer wall surfaces of the element substrate 111, the dam material 116, and the counter substrate 112 are aligned in the Z direction for convenience of explanation. However, the deposition film and the nano sheet composite film based on the AD method can be formed on a desired portion of the display panel 110. Therefore, even when a step portion is provided at the boundary between the element substrate 111, the dam material 116, and the counter substrate 112, the sealing films 113 and 118 are formed on each outer wall surface in the same manner as in the above-described embodiment. can do. For example, when the outer wall surfaces of the element substrate 111 and the opposing substrate 112 protrude outside the outer wall surface of the dam material 116, at least the outer wall surface of the dam material 116, the dam material 116 and the device By providing the encapsulation films 113 and 118 in the boundary region of the substrate 111 and the boundary region of the dam material 116 and the counter substrate 112, oxygen from the directions perpendicular to the outer wall surface (X and Y directions) And moisture intrusion.

또한 상술한 제 1 및 제 2 실시형태에 있어서 설명한 차폐 구조는, 유기 발광 표시 장치에 한정되지 않고, 액정 표시 장치와 플라즈마 표시 장치 등 다른 표시 장치, 조명 장치 등에도 적용 가능하다. 조명 장치는, 그 용도에 특별히 제한은 없고, 예를 들면 실내용 조명, 옥외용 조명으로서 이용해도 되고, 액정 표시 장치의 백라이트 등 전자 디바이스용 조명으로서도 이용해도 된다. In addition, the shielding structure described in the above-described first and second embodiments is not limited to an organic light emitting display device, and can be applied to other display devices such as liquid crystal display devices and plasma display devices, lighting devices, and the like. The lighting device is not particularly limited in its use, and may be used as, for example, indoor lighting or outdoor lighting, or may be used as lighting for electronic devices such as backlights of liquid crystal displays.

또한 상술한 제 1 및 제 2 실시형태에서는, 유기 발광 소자층(114)이, 적색광을 발광하는 R용 유기 화합물층과, 녹색광을 발광하는 G용 유기 화합물층과, 청색광을 발광하는 B용 유기 화합물층을 포함하는 구성에 대하여 예시했지만, 표시 방식은 여기에 한정되지 않는다. 예를 들면 화소(P)에 대해서, 발광색이 적색인 발광 소자, 발광색이 녹색인 발광 소자, 발광색이 청색인 발광 소자 및 발광색이 백색인 발광 소자가 설치되는 구성이어도 된다. 또한 모든 발광 소자가 동일한 발광색(예를 들면 백색 또는 청색)이며, 화소(P)마다 필요한 컬러 필터가 부가된 구성을 채용해도 된다. Further, in the above-described first and second embodiments, the organic light emitting element layer 114 includes an organic compound layer for R emitting red light, an organic compound layer for G emitting green light, and an organic compound layer for B emitting blue light. Although the structure included is illustrated, the display method is not limited to this. For example, the pixel P may have a configuration in which a light emitting element having a red emission color, a light emitting element having a green emission color, a light emitting element having a blue emission color, and a light emitting element having a white emission color may be provided. Further, all light-emitting elements are of the same light-emitting color (for example, white or blue), and a configuration in which a color filter necessary for each pixel P is added may be employed.

또한 상술한 제 1 및 제 2 실시형태에서는, 모식화된 도면을 바탕으로 표시 패널(110)의 내부 구조를 설명했지만, 표시 패널(110)의 내부 구조는 임의로 변경 가능하다. 도 11은, 변형 실시 형태에 있어서의 유기 발광 표시 장치(400)를 도시한 단면도이다. 여기에서 유기 발광 소자층(114)은, 캐소드(114a)와, 뱅크(114b), 유기 화합물층(114c)을 구비하고 있다. 충전재(117)의 층 내에는, 뱅크(114b)에 의해 구획된 유기 발광 소자층(114)에 Z 방향에서 대향하는 위치에, 컬러 필터(401)가 설치되어 있다. 이로써, 예를 들면 유기 화합물층(114c)의 발광 소자가 백색 또는 청색으로 발광되었을 때 컬러 필터(401)에 의한 색 변환에 의해 RGB 발색이 얻어진다. Further, in the above-described first and second embodiments, the internal structure of the display panel 110 has been described based on the schematic drawing, but the internal structure of the display panel 110 can be arbitrarily changed. 11 is a cross-sectional view showing an organic light emitting display device 400 according to a modified embodiment. Here, the organic light emitting element layer 114 includes a cathode 114a, a bank 114b, and an organic compound layer 114c. In the layer of the filler 117, a color filter 401 is provided at a position opposite to the organic light emitting element layer 114 partitioned by the bank 114b in the Z direction. Thereby, for example, when the light emitting element of the organic compound layer 114c emits white or blue light, RGB color development is obtained by color conversion by the color filter 401.

또한 도 11에 있어서는, 소자 기판(111)과 유기 발광 소자층(114) 사이에, 하측으로부터 순서대로 패시베이션(Passivation: PAS)층(402)과, 오버 코트(Over coat)층(403)이 적층되어 있다. 패시베이션층(402)은 절연 물질, 예를 들면 무기 절연 물질인 산화 실리콘 또는 질화 실리콘 등으로부터 형성되고, 보호층으로서 기능한다. 패시베이션층(402)은, 소자 기판(111)의 상면 전체에 형성되어 있다. 그렇기 때문에 패시베이션층(402)은, 소자 기판(111) 측으로부터의 산소와 수분 침투를 억제할 수 있다. 또한 패시베이션층(402)의 내부에는, 스캔 구동부(120)가 GIP 형식으로 설치되어 있다. In FIG. 11, a passivation (PAS) layer 402 and an overcoat layer 403 are stacked between the device substrate 111 and the organic light emitting device layer 114 in order from the bottom. It is done. The passivation layer 402 is formed from an insulating material, for example, an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride, and functions as a protective layer. The passivation layer 402 is formed on the entire upper surface of the element substrate 111. Therefore, the passivation layer 402 can suppress oxygen and moisture penetration from the element substrate 111 side. Further, inside the passivation layer 402, a scan driver 120 is provided in a GIP format.

한편 오버 코트층(403)은, 소자 기판(111) 상에 형성되는 박막 트랜지스터(미도시) 등에 의해 패시베이션층(402)의 상면 측에 발생된 단차를 제거하는 평탄화층으로서 기능한다. 오버 코트층(403)은 절연 물질, 예를 들면 유기 절연 물질로부터 형성된다. 오버 코트층(403)의 재료로서는, 예를 들면 올레핀계 고분자(폴리에틸렌과 폴리프로필렌 등), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 에폭시 수지, 불소 수지, 폴리실록산 등이 사용된다. On the other hand, the overcoat layer 403 functions as a planarization layer that removes the step difference generated on the upper surface side of the passivation layer 402 by a thin film transistor (not shown) or the like formed on the element substrate 111. The overcoat layer 403 is formed from an insulating material, for example, an organic insulating material. As the material of the overcoat layer 403, for example, olefin-based polymers (such as polyethylene and polypropylene), polyethylene terephthalate (PET), epoxy resins, fluorine resins, polysiloxanes, and the like are used.

더욱이 도 11에 있어서, 패시베이션층(115)은, 유기 발광 소자층(114)의 상면 및 측면, 오버 코트층(403)의 단부를 덮도록 형성되는 점으로부터, 패시베이션층(115)의 외주 방향(도면에 있어서 X 방향)의 단부에는 복수의 단차부가 형성되어 있다. 또한 댐 재료(116)는, 패시베이션층(115)의 단부를 덮도록 패시베이션층(402) 상에 형성되어 있다. 즉, 도 3과 달리, 댐 재료(116)는, 패시베이션층(115)으로부터 이격되지 않고, 댐 재료(116), 소자 기판(111) 및 대향 기판(112)에 의해 패시베이션층(115) 및 패시베이션층(402), 그리고 그 내부의 유기 발광 소자층(114)을 협지·고정하는 구조이다. 그렇기 때문에 표시 패널(110)의 내충격성을 더욱 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 또한 유기 발광 소자층(114)은, 패시베이션층(115)과 패시베이션층(402)에 의해 상하 방향 및 좌우 방향에서 보호되고 있다. 따라서 장치의 차폐성을 더욱 향상시킬 수 있는 이점도 있다. Furthermore, in FIG. 11, the passivation layer 115 is formed to cover the top and side surfaces of the organic light emitting element layer 114 and the ends of the overcoat layer 403, so that the outer peripheral direction of the passivation layer 115 ( In the drawing, a plurality of stepped portions are formed at the ends of the X-direction). In addition, the dam material 116 is formed on the passivation layer 402 so as to cover the end of the passivation layer 115. That is, unlike FIG. 3, the dam material 116 is not spaced from the passivation layer 115, but the passivation layer 115 and passivation by the dam material 116, the element substrate 111 and the opposing substrate 112 It is a structure for clamping and fixing the layer 402 and the organic light emitting element layer 114 therein. Therefore, there is an advantage that the impact resistance of the display panel 110 can be further improved. Further, the organic light emitting element layer 114 is protected in the vertical direction and the horizontal direction by the passivation layer 115 and the passivation layer 402. Therefore, there is an advantage that the shielding property of the device can be further improved.

100, 200, 300, 400: 유기 발광 표시 장치
110: 표시 패널
111: 소자 기판
112: 대향 기판
113: 봉지막(세라믹 증착막)
114: 유기 발광 소자층
115: 패시베이션층
116: 댐 재료
117: 충전재
118: 봉지막(나노 시트 복합막)
118a: 나노 시트
118b: 유기 수지층
119: 하이브리드막
120: 스캔 구동부
130: 데이터 구동부
131: 소스 드라이브 IC
140: 연성 필름
150: 회로 기판
160: 타이밍 컨트롤러
170: 호스트 시스템
100, 200, 300, 400: organic light emitting diode display
110: display panel
111: device substrate
112: opposite substrate
113: encapsulation film (ceramic deposition film)
114: organic light emitting device layer
115: passivation layer
116: dam material
117: filler
118: sealing film (nano sheet composite film)
118a: nano sheet
118b: organic resin layer
119: hybrid membrane
120: scan driver
130: data driver
131: source drive IC
140: flexible film
150: circuit board
160: timing controller
170: host system

Claims (10)

소자 기판과,
상기 소자 기판 상에 설치된 유기 발광 소자층과,
상기 소자 기판 상에 있어서 상기 유기 발광 소자층의 주위에 설치된 댐 재료와,
상기 소자 기판과 대향하여 상기 댐 재료 상에 설치된 대향 기판과,
상기 댐 재료의 외벽면에 설치된 봉지막을 구비하는 유기 발광 표시 장치.
A device substrate,
An organic light emitting device layer provided on the device substrate,
A dam material provided around the organic light emitting element layer on the element substrate,
An opposing substrate installed on the dam material opposite the element substrate,
An organic light emitting display device having an encapsulation film provided on an outer wall surface of the dam material.
제 1 항에 있어서,
상기 대향 기판, 상기 댐 재료 및 상기 봉지막은, 투명성을 가지고,
상기 대향 기판은, 상기 유기 발광 소자층의 발광 방향에 위치하는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The opposing substrate, the dam material and the encapsulation film have transparency,
The counter substrate is an organic light emitting display device positioned in a light emitting direction of the organic light emitting element layer.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 봉지막은, 금속 산화물 및 금속 질화물 중 적어도 1개를 포함하는 증착막이고, 에어로졸 증착법에 의해 형성되는 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
The encapsulation film is an evaporation film including at least one of a metal oxide and a metal nitride, and an organic light emitting display device formed by an aerosol deposition method.
제 3 항에 있어서,
상기 댐 재료의 상기 외벽면 상에, 유기 수지 및 무기 수지로부터 형성된 하이브리드막을 구비하고,
상기 봉지막은, 상기 하이브리드막 상에 증착되는 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 3,
On the outer wall surface of the dam material, a hybrid film formed from an organic resin and an inorganic resin is provided,
The encapsulation film is an organic light emitting display device deposited on the hybrid film.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 봉지막은, 층상 무기 화합물로부터 분리된 나노 시트와, 유기 수지층을 나노 미터 단위로 적층한 복합막인 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
The encapsulation film is an organic light emitting display device, which is a composite film obtained by laminating a nano sheet separated from a layered inorganic compound and an organic resin layer in nanometer units.
제 5 항에 있어서,
상기 나노 시트는, 상기 봉지막의 내부에서 분산되는 동시에 또한 상기 나노 시트의 면 방향은, 상기 봉지막의 면 방향과 거의 평행인 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 5,
The nano sheet is dispersed within the encapsulation film, and the surface direction of the nano sheet is substantially parallel to the surface direction of the encapsulation film.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
투명을 가지고, 상기 댐 재료, 상기 유기 발광 소자층 및 상기 대향 기판에 둘러싸인 영역에 설치된 충전재를 더욱 구비하는 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 1 or 2,
An organic light emitting display device having transparency, and further comprising a filling material provided in an area surrounded by the dam material, the organic light emitting element layer, and the counter substrate.
소자 기판 상에 유기 발광 소자층을 설치하는 공정과,
상기 소자 기판 상의 상기 유기 발광 소자층의 주위에, 수지를 포함하는 도공액을 도포하여 미경화 댐 재료를 설치하는 공정과,
상기 소자 기판과 대향하여 상기 미경화 댐 재료 상에 대향 기판을 설치하는 공정과,
상기 미경화 댐 재료를 경화시켜서 댐 재료를 형성하는 공정과,
상기 댐 재료의 외벽면에 봉지막을 설치하는 공정을 구비하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
A step of installing an organic light emitting element layer on the element substrate,
A step of applying a coating solution containing a resin around the organic light emitting element layer on the element substrate to install an uncured dam material;
A step of installing a counter substrate on the uncured dam material facing the device substrate;
Forming a dam material by curing the uncured dam material;
A method of manufacturing an organic light emitting display device comprising the step of installing a sealing film on the outer wall surface of the dam material.
제 8 항에 있어서,
상기 봉지막을 설치하는 공정은, 금속의 산화물 또는 질화물을 포함하는 미립자 에어로졸을 상기 외벽면 상에 분사하는 공정을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 8,
The process of installing the encapsulation film includes a step of spraying a fine particle aerosol containing an oxide or nitride of a metal onto the outer wall surface.
제 8 항에 있어서,
상기 봉지막을 설치하는 공정은, 층상 무기 화합물로부터 분리된 나노 시트와, 유기 수지층을, 나노 미터 단위로 적층하는 공정을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 8,
The process of installing the encapsulation film includes a method of laminating a nano sheet separated from a layered inorganic compound and an organic resin layer in nanometer units.
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