JP2015076195A - Organic electroluminescent element, method of manufacturing the same, and lighting device - Google Patents

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Makoto Shirakawa
真 白川
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable organic electroluminescent element.SOLUTION: The organic electroluminescent element includes: an organic light emitter 5 having a first electrode 6, a second electrode 8, and an organic layer 7 disposed between the first electrode 6 and the second electrode 8; a support substrate 1 for supporting the organic light emitter 5; and a sealing substrate 2 disposed facing the support substrate 1. In a gap between the support substrate 1 and the sealing substrate 2, a filling part 3 formed of a fluid filler is provided in contact with the organic layer 7. An inspection electrode 9 separated from the first electrode 6 and the second electrode 8 and being in contact with the filling part 3 is provided extending from the inside sealed by the support substrate 1 and the sealing substrate 2 to the outside.

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法並びに照明装置に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence element, a manufacturing method thereof, and a lighting device.

有機エレクトロルミネッセンス素子(以下「有機EL素子」ともいう)として、陽極と陰極との間に発光層を含む有機層を配置した有機発光体が、基板に支持された構造のものが知られている。有機EL素子は、薄膜の積層構造により形成されるものであり、面状の照明装置を得ることできる。有機EL素子では、有機層を外部から保護するために封止構造が設けられる。   As an organic electroluminescence element (hereinafter also referred to as “organic EL element”), an organic light-emitting body in which an organic layer including a light-emitting layer is disposed between an anode and a cathode is supported by a substrate. . The organic EL element is formed by a laminated structure of thin films, and a planar lighting device can be obtained. In the organic EL element, a sealing structure is provided to protect the organic layer from the outside.

有機EL素子の封止構造として、有機発光体を支持する支持基板とこの支持基板に対向して配置される封止基板との間に有機発光体を配置し、支持基板と封止基板との間の間隙を充填材で充填する構造(充填封止構造)が知られている(例えば特許文献1参照)。この構造の場合、封止基板に有機発光体を収容するための凹部を設けなくても封止が可能となるため、封止基板の加工の手間を省くことができ、低コスト化を図ることができる。   As an organic EL element sealing structure, an organic light emitter is disposed between a support substrate that supports an organic light emitter and a sealing substrate that is disposed to face the support substrate. There is known a structure (filling sealing structure) in which a gap is filled with a filler (for example, see Patent Document 1). In the case of this structure, sealing is possible without providing a recess for accommodating the organic light emitter in the sealing substrate, so that it is possible to save time and cost for processing the sealing substrate. Can do.

特開2010−198980号公報JP 2010-198980 A

有機EL素子の充填封止構造では、通常、有機層と充填材とが直接接触する構造となる。そのため、充填材と有機層との間で反応が生じにくいことが望まれる。充填材と有機層との間で反応が生じると、有機層が劣化し、発光効率が低下するおそれがある。   In the filling and sealing structure of the organic EL element, the organic layer and the filler are usually in direct contact with each other. Therefore, it is desired that the reaction hardly occurs between the filler and the organic layer. When a reaction occurs between the filler and the organic layer, the organic layer is deteriorated and the light emission efficiency may be reduced.

ここで、充填材として硬化するものを用いた場合、有機層と硬化した充填材との間では反応が生じにくくなるため、有機EL素子の劣化は起こりにくくなる。しかしながら、充填材の硬化が十分でなく、硬化不良が生じていると、硬化不良の充填材と有機層とが反応しやすくなって、有機EL素子の劣化が進行するおそれある。そのため、充填材の硬化不良の発生を低減し、信頼性を高めることが求められる。   Here, when what hardens | cures as a filler, since it becomes difficult to produce reaction between an organic layer and the hardened filler, deterioration of an organic EL element becomes difficult to occur. However, when the curing of the filler is not sufficient and poor curing occurs, the poorly cured filler and the organic layer are likely to react with each other, and deterioration of the organic EL element may proceed. Therefore, it is required to reduce the occurrence of poor curing of the filler and increase the reliability.

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、充填材の硬化不良の発生を低減し、信頼性の高い有機EL素子及びその製造方法並びにそれを用いた照明装置を提供することを目的とするものである。   This invention is made | formed in view of said situation, reduces generation | occurrence | production of the hardening defect of a filler, and provides a reliable organic EL element, its manufacturing method, and an illuminating device using the same. It is the purpose.

本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子は、第1電極、第2電極、及び、前記第1電極と前記第2電極との間に配置された有機層を有する有機発光体と、前記有機発光体を支持する支持基板と、前記支持基板に対向して配置される封止基板とを備えている。
前記支持基板と前記封止基板との間の間隙は、流動性充填材により形成された充填部が、前記有機層と接して設けられている。前記第1電極及び前記第2電極と離間し、前記充填部に接する検査電極が、前記支持基板と前記封止基板とで封止された内部から外部に延伸して設けられている。
An organic electroluminescence device according to the present invention includes a first electrode, a second electrode, an organic light emitter having an organic layer disposed between the first electrode and the second electrode, and the organic light emitter. A supporting substrate to be supported and a sealing substrate disposed to face the supporting substrate are provided.
In the gap between the support substrate and the sealing substrate, a filling portion formed of a fluid filler is provided in contact with the organic layer. An inspection electrode that is spaced apart from the first electrode and the second electrode and is in contact with the filling portion extends from the inside sealed by the support substrate and the sealing substrate to the outside.

有機エレクトロルミネッセンス素子にあっては、好ましくは、前記検査電極は、平面視において、前記第1電極及び前記第2電極と重ならずに設けられている。   In the organic electroluminescence element, preferably, the inspection electrode is provided without overlapping the first electrode and the second electrode in plan view.

有機エレクトロルミネッセンス素子にあっては、好ましくは、前記流動性充填材は紫外線硬化性樹脂を含み、前記検査電極は、前記支持基板に支持されて形成されている。   In the organic electroluminescence element, preferably, the flowable filler includes an ultraviolet curable resin, and the inspection electrode is supported by the support substrate.

有機エレクトロルミネッセンス素子にあっては、好ましくは、前記充填部は、吸湿性材料を含有する。   In the organic electroluminescence element, preferably, the filling portion contains a hygroscopic material.

本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、上記の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、前記有機発光体が形成された前記支持基板と、前記封止基板とを、間に流動性充填材を挟んで対向配置させる基板配置工程と、前記流動性充填材を硬化させる硬化工程と、前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも一方と、前記検査電極との間の導通性を検査する検査工程と、を有する。   A method for producing an organic electroluminescent element according to the present invention is a method for producing the above organic electroluminescent element, wherein the support substrate on which the organic light-emitting body is formed and the sealing substrate are provided with fluidity therebetween. Inspecting electrical conductivity between the inspection electrode and a substrate placement step for placing the filler in opposition, a curing step for hardening the fluid filler, and at least one of the first electrode and the second electrode. An inspection process.

有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法にあっては、好ましくは、前記検査工程において流動性充填材の硬化度が所定の値よりも低いと判断された場合に、硬化度が低い前記流動性充填材をさらに硬化させる再硬化工程を有する。   In the method of manufacturing an organic electroluminescence element, preferably, when the degree of cure of the fluid filler is determined to be lower than a predetermined value in the inspection step, the fluid filler having a low degree of cure is added. Furthermore, it has a recuring process to harden.

有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法にあっては、好ましくは、前記支持基板は、複数個が連結したマザー支持基板の一領域で構成され、前記封止基板は、複数個が連結したマザー封止基板の一領域で構成され、前記検査工程の後、前記マザー支持基板及び前記マザー封止基板を分断して、当該有機エレクトロルミネッセンス素子を個別化する。   In the method of manufacturing an organic electroluminescence element, preferably, the support substrate is configured by a region of a mother support substrate in which a plurality of mother substrates are connected, and the sealing substrate is a mother sealing substrate in which a plurality of devices are connected. After the inspection step, the mother support substrate and the mother sealing substrate are divided to individualize the organic electroluminescence element.

本発明に係る照明装置は、上記の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えた照明装置である。   The illuminating device which concerns on this invention is an illuminating device provided with said organic electroluminescent element.

本発明によれば、充填部に接する検査電極が設けられていることにより、充填材の硬化不良の発生を低減することができる。そのため、信頼性の高い有機EL素子及び照明装置を得ることができる。   According to the present invention, since the inspection electrode in contact with the filling portion is provided, occurrence of poor curing of the filler can be reduced. Therefore, a highly reliable organic EL element and lighting device can be obtained.

有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示し、(a)は一部を分解した平面図、(b)は全体の概略断面図、(c)は第2電極引き出し部近傍の拡大断面図、(d)は検査電極近傍の拡大断面図である。An example of an organic electroluminescent element is shown, (a) is a partially exploded plan view, (b) is a schematic sectional view of the whole, (c) is an enlarged sectional view in the vicinity of the second electrode lead portion, (d) is It is an expanded sectional view near a test electrode. 充填材の硬化と電極間の電流値との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between hardening of a filler, and the electric current value between electrodes. 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the manufacturing method of an organic electroluminescent element.

本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)は、有機発光体5と、有機発光体5を支持する支持基板1と、支持基板1に対向して配置される封止基板2とを備える。有機発光体5は、第1電極6、第2電極8、及び、第1電極6と第2電極8との間に配置された有機層7を有する。支持基板1と封止基板2との間の間隙は、流動性充填材により形成された充填部3が、有機層7と接して設けられている。第1電極6及び第2電極8と離間し、充填部3に接する検査電極9が、支持基板1と封止基板2とで封止された内部から外部に延伸して設けられている。有機EL素子では、充填部3に接する検査電極9が設けられていることにより、充填材の硬化不良の発生を低減することができる。そのため、信頼性の高い有機EL素子を得ることができる。   The organic electroluminescence element (organic EL element) according to the present invention includes an organic light emitter 5, a support substrate 1 that supports the organic light emitter 5, and a sealing substrate 2 that is disposed to face the support substrate 1. . The organic light emitter 5 includes a first electrode 6, a second electrode 8, and an organic layer 7 disposed between the first electrode 6 and the second electrode 8. In the gap between the support substrate 1 and the sealing substrate 2, a filling portion 3 formed of a fluid filler is provided in contact with the organic layer 7. An inspection electrode 9 that is separated from the first electrode 6 and the second electrode 8 and is in contact with the filling portion 3 is provided so as to extend from the inside sealed by the support substrate 1 and the sealing substrate 2 to the outside. In the organic EL element, since the inspection electrode 9 in contact with the filling portion 3 is provided, the occurrence of poor curing of the filler can be reduced. Therefore, a highly reliable organic EL element can be obtained.

図1は、有機EL素子の一例を示している。この有機EL素子は、有機発光体5と、有機発光体5を支持する支持基板1と、支持基板1に対向して配置される封止基板2とを備える。有機発光体5は、第1電極6と、第2電極8と、第1電極6と第2電極8との間に配置された有機層7とを有する。支持基板1と封止基板2との間の間隙は、流動性充填材により形成された充填部3が設けられている。有機EL素子は、有機電界発光素子、又は、有機発光ダイオードとも呼ばれる。   FIG. 1 shows an example of an organic EL element. The organic EL element includes an organic light emitter 5, a support substrate 1 that supports the organic light emitter 5, and a sealing substrate 2 that is disposed to face the support substrate 1. The organic light emitter 5 includes a first electrode 6, a second electrode 8, and an organic layer 7 disposed between the first electrode 6 and the second electrode 8. A gap between the support substrate 1 and the sealing substrate 2 is provided with a filling portion 3 formed of a fluid filler. The organic EL element is also called an organic electroluminescent element or an organic light emitting diode.

図1(a)では、封止基板2、充填部3及び封止壁4を取り除いて平面視した様子を示し、封止壁4が設けられる領域を斜線で示している。平面視とは、支持基板1の表面に垂直な方向から見た場合のことを指す。図1(a)では、積層パターンが理解しやすいよう、層の隠れた部分を破線で示している。図1(b)では、第1電極6が延長して形成された第1電極引き出し部11が封止領域の外部にはみ出した位置での断面を示している。図1(c)では、第2電極8に接続した第2電極引き出し部12が封止領域の外側にはみ出した部分での断面を示している。図1(d)では、検査電極9が設けられた部分での断面を示している。   In FIG. 1A, a state in which the sealing substrate 2, the filling portion 3, and the sealing wall 4 are removed and seen in a plan view is shown, and a region where the sealing wall 4 is provided is indicated by hatching. The plan view refers to a case when viewed from a direction perpendicular to the surface of the support substrate 1. In FIG. 1A, the hidden portion of the layer is indicated by a broken line so that the layered pattern can be easily understood. FIG. 1B shows a cross section at a position where the first electrode lead portion 11 formed by extending the first electrode 6 protrudes outside the sealing region. FIG. 1C shows a cross section at a portion where the second electrode lead portion 12 connected to the second electrode 8 protrudes outside the sealing region. FIG. 1D shows a cross section at a portion where the inspection electrode 9 is provided.

支持基板1は、有機発光体5を支持する基板である。有機発光体5は、支持基板1の上に積層形成されている。支持基板1は、光透過性を有することが好ましい。支持基板1は透明であってもよいし、半透明であってもよい。支持基板1は、無色であってもよいし、着色されていてもよい。支持基板1が光透過性を有する場合、支持基板1側から光を取り出す構造(いわゆるボトムエミッション構造)の有機EL素子を得ることができる。なお、封止基板2側から光を取り出す構造(いわゆるトップエミッション構造)の場合、支持基板1は光透過性を有していてもよいし、有していなくてもよい。   The support substrate 1 is a substrate that supports the organic light emitter 5. The organic light emitter 5 is laminated on the support substrate 1. The support substrate 1 preferably has light transparency. The support substrate 1 may be transparent or translucent. The support substrate 1 may be colorless or colored. When the support substrate 1 is light transmissive, an organic EL element having a structure for extracting light from the support substrate 1 side (so-called bottom emission structure) can be obtained. In the case of a structure for extracting light from the sealing substrate 2 side (so-called top emission structure), the support substrate 1 may or may not have light transmittance.

支持基板1は、特に限定されるものではないが、ガラス又は樹脂によって形成されたものを用いることができる。ガラスとしては、例えば、ソーダライムガラス、無アルカリガラスなどを挙げることができる。また、樹脂としては、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、フッ素系樹脂などを挙げることができる。支持基板1として、プラスチック基板を用いることも好ましい。プラスチックは前記に示す樹脂で構成されたものであってよい。支持基板1は、好ましくは、ガラスで構成することができる。支持基板1がガラスで構成されることにより、ガラスは水分の透過性が低いので、支持基板1側からの水分の浸入を抑制することができる。なお、支持基板1は、ガラスと樹脂の複合材料で構成されていてもよい。例えば、ガラス表面に光取り出し性の樹脂層を設けた支持基板1を用いた場合、光取り出し性を効果的に高めることができる。この樹脂層は支持基板1の第1電極6側の面に設けられるものであってよい。   Although the support substrate 1 is not specifically limited, what was formed with glass or resin can be used. Examples of the glass include soda lime glass and non-alkali glass. Examples of the resin include polyester, polyolefin, polyamide resin, epoxy resin, and fluorine resin. It is also preferable to use a plastic substrate as the support substrate 1. The plastic may be composed of the resin described above. The support substrate 1 can be preferably made of glass. When the support substrate 1 is made of glass, the glass has low moisture permeability, so that moisture can be prevented from entering from the support substrate 1 side. In addition, the support substrate 1 may be comprised with the composite material of glass and resin. For example, when the support substrate 1 provided with a light extraction resin layer on the glass surface is used, the light extraction performance can be effectively improved. This resin layer may be provided on the surface of the support substrate 1 on the first electrode 6 side.

有機発光体5は、第1電極6、有機層7及び第2電極8の積層体によって構成されている。有機発光体5は、第1電極6、有機層7及び第2電極8が厚み方向に積層された構造と定義できる。第1電極6、有機層7及び第2電極8は、この順で支持基板1側から設けられている。有機発光体5の設けられる領域は、平面視(基板表面と垂直な方向から見た場合)において、支持基板1の中央部の領域である。有機発光体5は、支持基板1に対向配置して接合される封止基板2によって覆われて封止されており、有機発光体5は封止領域の内部に配置されている。なお、第1電極6は、直接支持基板1の上に形成されていてもよいし、第1電極6と支持基板1との間に他の層(例えば前述の樹脂層)などが設けられ、第1電極6がその層の上に形成されていてもよい。   The organic light emitter 5 is constituted by a stacked body of a first electrode 6, an organic layer 7 and a second electrode 8. The organic light emitter 5 can be defined as a structure in which the first electrode 6, the organic layer 7, and the second electrode 8 are stacked in the thickness direction. The first electrode 6, the organic layer 7, and the second electrode 8 are provided in this order from the support substrate 1 side. The region where the organic light emitter 5 is provided is a central region of the support substrate 1 in a plan view (when viewed from a direction perpendicular to the substrate surface). The organic light-emitting body 5 is covered and sealed by a sealing substrate 2 that is disposed so as to face the support substrate 1 and bonded thereto, and the organic light-emitting body 5 is disposed inside the sealing region. The first electrode 6 may be formed directly on the support substrate 1, or another layer (for example, the above-described resin layer) is provided between the first electrode 6 and the support substrate 1. The first electrode 6 may be formed on the layer.

第1電極6は支持基板1側に形成される電極である。また、第2電極8は、第1電極6と対となる電極である。第1電極6及び第2電極8は、一方が陽極を構成し、他方が陰極を構成する。一の態様では、第1電極6で陽極を構成し、第2電極8で陰極を構成する態様にすることができる。また、他の態様では、第1電極6で陰極を構成し、第2電極8で陽極を構成する態様にすることができる。   The first electrode 6 is an electrode formed on the support substrate 1 side. The second electrode 8 is a pair of electrodes with the first electrode 6. One of the first electrode 6 and the second electrode 8 constitutes an anode, and the other constitutes a cathode. In one aspect, the first electrode 6 may constitute an anode and the second electrode 8 may constitute a cathode. In another aspect, the first electrode 6 may constitute a cathode and the second electrode 8 may constitute an anode.

第1電極6及び第2電極8のうち、少なくとも光取り出し側の電極は、光透過性を有することが好ましい。それにより、発光層で発光する光を取り出して外部に出射することが可能になる。例えば、支持基板1側から光を取り出す構造では、第1電極6を光透過性電極で構成することができる。また、例えば、封止基板2側から光を取り出す構造では、第2電極8を光透過性電極で構成することができる。   Of the first electrode 6 and the second electrode 8, at least the electrode on the light extraction side preferably has light transmittance. Thereby, it becomes possible to take out the light emitted from the light emitting layer and emit it to the outside. For example, in the structure in which light is extracted from the support substrate 1 side, the first electrode 6 can be formed of a light transmissive electrode. In addition, for example, in a structure in which light is extracted from the sealing substrate 2 side, the second electrode 8 can be formed of a light transmissive electrode.

第1電極6及び第2電極8のうち、光取り出し側とは反対側の電極は、光反射性を有していてもよい。その場合、発光層からの光を光反射性の電極によって反射させて外部に取り出すことができる。それにより、光取り出し性を高めることができる。また、光取り出し側とは反対側の電極を光透過性電極で構成してもよい。その場合、両面光取り出し構造の素子を形成することができる。また、光取り出し側とは反対側の電極を光透過性電極で構成し、その電極の有機層7とは反対側の表面に光反射層を設けてもよい。光反射層を設けることにより、光を反射させて外部に取り出すことができる。   Of the first electrode 6 and the second electrode 8, the electrode opposite to the light extraction side may have light reflectivity. In that case, the light from the light emitting layer can be reflected by the light reflective electrode and extracted to the outside. Thereby, light extraction property can be improved. Moreover, you may comprise the electrode on the opposite side to the light extraction side with a light transmissive electrode. In that case, an element having a double-sided light extraction structure can be formed. Alternatively, the electrode opposite to the light extraction side may be formed of a light transmissive electrode, and a light reflection layer may be provided on the surface of the electrode opposite to the organic layer 7. By providing the light reflecting layer, light can be reflected and extracted to the outside.

有機EL素子の好ましい一の態様では、第1電極6が光透過性電極であり、第2電極8が光反射性電極である。その場合、ボトムエミッション構造の有機EL素子を得ることができる。この構造では、有機層7内の発光層で生じた光は、第1電極6及び支持基板1を通って外部に取り出される。さらに好ましくは、第1電極6が陽極であり、第2電極8が陰極である。それにより、光取り出し効率の高い有機EL素子を得ることができる。   In a preferred embodiment of the organic EL element, the first electrode 6 is a light transmissive electrode, and the second electrode 8 is a light reflective electrode. In that case, an organic EL element having a bottom emission structure can be obtained. In this structure, light generated in the light emitting layer in the organic layer 7 is extracted to the outside through the first electrode 6 and the support substrate 1. More preferably, the first electrode 6 is an anode and the second electrode 8 is a cathode. Thereby, an organic EL element with high light extraction efficiency can be obtained.

第1電極6は、光透過性を有する場合、透明な電極材料を用いて形成することができる。第1電極6の材料としては、金属、合金、電気伝導性化合物、あるいはこれらの混合物からなる電極材料が挙げられる。第1電極6は、陽極を構成する場合、仕事関数の大きい金属、合金、電気伝導性化合物、あるいはこれらの混合物によって形成され得る。第1電極6の材料として、例えば、導電性の金属酸化物などを好ましく用いることができる。光透過性を有する金属酸化物としては、ITO、IZO、ZnO、AZOなどが例示される。ITOは、Indium Tin Oxideのことであり、IZOは、Indium Zinc Oxideのことである。第1電極6は、スパッタ法、蒸着法、塗布法などで形成され得る。第1電極6の厚みは、特に限定されるものではないが、例えば、10nm〜1000nmの範囲にすることができる。   The first electrode 6 can be formed using a transparent electrode material if it has optical transparency. Examples of the material of the first electrode 6 include an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof. When the first electrode 6 constitutes an anode, it can be formed of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function. As a material of the first electrode 6, for example, a conductive metal oxide can be preferably used. Examples of the light-transmitting metal oxide include ITO, IZO, ZnO, and AZO. ITO stands for Indium Tin Oxide, and IZO stands for Indium Zinc Oxide. The first electrode 6 can be formed by sputtering, vapor deposition, coating, or the like. Although the thickness of the 1st electrode 6 is not specifically limited, For example, it can be set as the range of 10 nm-1000 nm.

第2電極8は、適宜の電極材料を用いて形成することができる。第2電極8の材料としては、金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物からなる電極材料が挙げられる。第2電極8は、陰極を構成する場合、仕事関数の小さい金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物によって形成され得る。第2電極8の材料として、例えば、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)などが挙げられる。第2電極8は、蒸着法やスパッタ法などで形成され得る。第2電極8の厚みは、特に限定されるものではないが、例えば、10nm〜1000nmの範囲にすることができる。   The second electrode 8 can be formed using an appropriate electrode material. Examples of the material of the second electrode 8 include an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof. When the second electrode 8 forms a cathode, the second electrode 8 can be formed of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a low work function. Examples of the material of the second electrode 8 include aluminum (Al), silver (Ag), sodium (Na), lithium (Li), and the like. The second electrode 8 can be formed by vapor deposition or sputtering. Although the thickness of the 2nd electrode 8 is not specifically limited, For example, it can be set as the range of 10 nm-1000 nm.

有機層7は、発光を生じさせる機能を有する層であり、通常、ホール注入層、ホール輸送層、発光層(発光ドーパントを含む層)、電子輸送層、電子注入層、中間層などから適宜選ばれる複数の層によって構成されるものである。もちろん発光が可能であれば、有機層7は発光層の単層構造であってもよい。有機層7の厚みは、特に限定されるものではないが、例えば、60〜300nm程度にすることができる。   The organic layer 7 is a layer having a function of causing light emission, and is usually appropriately selected from a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer (a layer containing a light emitting dopant), an electron transport layer, an electron injection layer, an intermediate layer, and the like. It is constituted by a plurality of layers. Of course, as long as light emission is possible, the organic layer 7 may have a single layer structure of the light emitting layer. Although the thickness of the organic layer 7 is not specifically limited, For example, it can be set to about 60-300 nm.

有機層7の積層構造は、例えば、第1電極6を陽極とし、第2電極8を陰極とした場合、第1電極6側から順に、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層とすることができる。なお、積層構造は、これに限定されるものではなく、例えば、発光層の単層としたり、ホール輸送層と発光層と電子輸送層との積層構造にしたり、ホール輸送層と発光層との積層構造にしたり、発光層と電子輸送層との積層構造にしたりすることができる。また、発光層は単層構造でも多層構造でもよく、例えば発光色が白色の場合には、発光層中に赤色、緑色、青色の3色のドーパント色素をドーピングしたり、赤、緑、青の発光層を積層させたりしてもよい。また、対となる二つの電極に挟んでこの電極間に電圧を印加した際に発光が生じる積層構造を1つの発光ユニットとした場合に、複数の発光ユニットが光透過性及び導電性を有する中間層を介して積層されたマルチユニット構造になっていてもよい。マルチユニット構造とは、対となる電極(陽極と陰極)の間に、厚み方向に重なる複数の発光ユニットを備えた構造である。   For example, when the first electrode 6 is an anode and the second electrode 8 is a cathode, the stacked structure of the organic layer 7 is a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer in order from the first electrode 6 side. The electron injection layer can be used. Note that the laminated structure is not limited to this, for example, a single layer of a light emitting layer, a laminated structure of a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer, or a hole transport layer and a light emitting layer. A laminated structure or a laminated structure of a light emitting layer and an electron transport layer can be formed. Further, the light emitting layer may have a single layer structure or a multilayer structure. For example, when the emission color is white, the light emitting layer may be doped with three red, green, and blue dopant dyes, or red, green, and blue. A light emitting layer may be laminated. In addition, when a laminated structure that emits light when a voltage is applied between two electrodes sandwiched between two electrodes is used as one light emitting unit, a plurality of light emitting units have a light transmitting property and a conductive property. It may be a multi-unit structure laminated through layers. The multi-unit structure is a structure including a plurality of light emitting units that overlap in the thickness direction between a pair of electrodes (anode and cathode).

発光層は、有機EL素子に使用可能な発光材料を用いて形成され得る。発光材料はドーパントとも呼ばれる。発光層はドーパントがホスト材料にドープされた層であり得る。発光層を形成するための材料の具体例としては、制限的ではないが、アントラセン、ナフタレン、ピレン、テトラセン、コロネン、ペリレン、フタロペリレン、ナフタロペリレン、ジフェニルブタジエン、テトラフェニルブタジエン、クマリン、オキサジアゾール、ビスベンゾキサゾリン、ビススチリル、シクロペンタジエン、キノリン金属錯体、トリス(8−ヒドロキシキノリナート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノリナート)アルミニウム錯体、トリス(5−フェニル−8−キノリナート)アルミニウム錯体、アミノキノリン金属錯体、ベンゾキノリン金属錯体、トリ−(p−ターフェニル−4−イル)アミン、1−アリール−2,5−ジ(2−チエニル)ピロール誘導体、ピラン、キナクリドン、ルブレン、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ジスチリルアミン誘導体、各種の蛍光色素などが、挙げられる。二種以上の材料が組み合わされて用いられてもよい。また、蛍光発光を生じる材料のみならず、燐光発光等のスピン多重項発光を生じる材料、スピン多重項発光を生じる部位を分子内の一部に有する化合物などが用いられてもよい。   The light emitting layer can be formed using a light emitting material that can be used for the organic EL element. The luminescent material is also called a dopant. The light emitting layer may be a layer in which a dopant is doped into a host material. Specific examples of the material for forming the light emitting layer include, but are not limited to, anthracene, naphthalene, pyrene, tetracene, coronene, perylene, phthaloperylene, naphthaloperylene, diphenylbutadiene, tetraphenylbutadiene, coumarin, oxadiazole, bis Benzoxazoline, bisstyryl, cyclopentadiene, quinoline metal complex, tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum complex, tris (4-methyl-8-quinolinato) aluminum complex, tris (5-phenyl-8-quinolinato) aluminum complex Aminoquinoline metal complex, benzoquinoline metal complex, tri- (p-terphenyl-4-yl) amine, 1-aryl-2,5-di (2-thienyl) pyrrole derivative, pyran, quinacridone, rubrene, disty Rubenzen derivatives, distyryl arylene derivatives, distyrylamine derivatives, such as various fluorescent dyes may be mentioned. Two or more kinds of materials may be used in combination. Further, not only a material that generates fluorescence, but also a material that generates spin multiplet light emission such as phosphorescence emission, a compound that has a site that generates spin multiplet light emission in a part of the molecule, and the like may be used.

封止基板2は、有機発光体5を支持基板1と封止基板2との間に配置させて有機発光体5を封止する基板である。封止基板2は、支持基板1と有機発光体5側の面で対向して配置される。封止基板2は、水分の透過性が低い基板材料を用いて形成することができる。封止基板2は、ガラス、金属、樹脂などにより構成され得る。封止基板2としては、例えば、ガラス基板などを用いることができる。具体的には、ソーダライムガラス、無アルカリガラスなどが挙げられる。これらは比較的安価なガラス材料であるため素子の製造コストを抑えることが可能になる。また、封止基板2として、アルミニウム、ステンレス等の金属材を用いてもよい。金属材によって水分が浸入することを抑制することができる。また、封止基板2の材料として、樹脂材料を用いてもよい。樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタラート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などが例示される。ただし、封止基板2に樹脂材料を用いる場合、樹脂材料の表面に防湿膜が形成された封止基板2を用いることが好ましい。それにより、水分の浸入を抑制することができる。防湿膜としては、例えば、SiON膜、SiN膜が例示される。防湿膜は、樹脂材料の有機発光体5側の面に設けられていてよい。   The sealing substrate 2 is a substrate that seals the organic light emitter 5 by disposing the organic light emitter 5 between the support substrate 1 and the sealing substrate 2. The sealing substrate 2 is disposed to face the support substrate 1 on the surface on the organic light emitter 5 side. The sealing substrate 2 can be formed using a substrate material having low moisture permeability. The sealing substrate 2 can be made of glass, metal, resin, or the like. As the sealing substrate 2, a glass substrate etc. can be used, for example. Specific examples include soda lime glass and non-alkali glass. Since these are relatively inexpensive glass materials, the manufacturing cost of the element can be suppressed. Further, as the sealing substrate 2, a metal material such as aluminum or stainless steel may be used. Intrusion of moisture by the metal material can be suppressed. Further, a resin material may be used as the material of the sealing substrate 2. Examples of the resin material include polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN). However, when using a resin material for the sealing substrate 2, it is preferable to use the sealing substrate 2 having a moisture-proof film formed on the surface of the resin material. Thereby, infiltration of moisture can be suppressed. Examples of the moisture-proof film include a SiON film and a SiN film. The moisture-proof film may be provided on the surface of the resin material on the organic light emitter 5 side.

封止基板2は、光透過性を有していてもよいし、有していなくてもよい。封止基板2側から光を取り出す場合には、封止基板2は光透過性を有することが好ましい。   The sealing substrate 2 may or may not have optical transparency. When taking out light from the sealing substrate 2 side, it is preferable that the sealing substrate 2 has a light transmittance.

封止基板2の有機発光体5側の表面は平坦な面であってよい。それにより、封止基板2の平坦な面を支持基板1に対向させて封止することが可能になり、また、板状の封止基板2をそのまま用いることができるため、封止を容易に行うことができる。封止基板2には、有機発光体5を収容するための凹部を有してもよいが、凹部を有する場合、封止基板2の加工が求められる。本形態の有機EL素子では、封止壁4が設けられるため、封止壁4がスペーサとして機能することができる。そのため、封止基板2が凹部を有してなくても、封止壁4によって有機発光体5の厚み分のスペースを確保することができる。   The surface of the sealing substrate 2 on the organic light emitter 5 side may be a flat surface. As a result, it is possible to seal the flat surface of the sealing substrate 2 so as to face the support substrate 1, and the plate-shaped sealing substrate 2 can be used as it is. It can be carried out. The sealing substrate 2 may have a recess for accommodating the organic light-emitting body 5. However, when the sealing substrate 2 has a recess, processing of the sealing substrate 2 is required. In the organic EL element of this embodiment, since the sealing wall 4 is provided, the sealing wall 4 can function as a spacer. Therefore, even if the sealing substrate 2 does not have a recess, the sealing wall 4 can secure a space corresponding to the thickness of the organic light emitter 5.

有機EL素子では、第1電極6と第2電極8とに電圧を印加し、有機層7において正孔と電子を結合させて発光を生じさせる。そのため、第1電極6及び第2電極8のそれぞれと導通する電極の引き出し部分を封止領域よりも外部に引き出して設けることが求められる。電極の引き出し部分は、外部電極と電気的に接続するための端子として機能する。図1の形態では、第1電極6を構成する導電層を支持基板1の端部に引き出すことにより、電極の引き出し部分が形成されている。この電極の引き出し部分の表面には、外部電源との接続が行われる電極パッドが設けられていてもよい。   In the organic EL element, a voltage is applied to the first electrode 6 and the second electrode 8, and holes and electrons are combined in the organic layer 7 to cause light emission. For this reason, it is required to provide a lead-out portion of the electrode that is electrically connected to each of the first electrode 6 and the second electrode 8 so as to be drawn outside the sealing region. The lead portion of the electrode functions as a terminal for electrical connection with the external electrode. In the form of FIG. 1, the lead-out portion of the electrode is formed by pulling out the conductive layer constituting the first electrode 6 to the end portion of the support substrate 1. An electrode pad for connection to an external power source may be provided on the surface of the electrode lead-out portion.

電極の引き出し部分は、支持基板1の端部表面に設けられている。電極引き出し部分は、第1電極6と電気的に接続される第1電極引き出し部11と、第2電極8と電気的に接続される第2電極引き出し部12とに区分される。第1電極引き出し部11は、第1電極6が延長して有機層7よりも外部側にはみ出した部分と定義できる。第2電極引き出し部12は、支持基板1の端部において第1電極6を構成する導電層がパターニングにより分断された部分と定義できる。なお、第2電極引き出し部12は、第2電極8の材料を引き出して形成してもよく、その場合、第2電極引き出し部12は、有機層7よりも外部側にはみ出した第2電極8の延長部分と定義できる。   The electrode lead-out portion is provided on the end surface of the support substrate 1. The electrode lead portion is divided into a first electrode lead portion 11 that is electrically connected to the first electrode 6 and a second electrode lead portion 12 that is electrically connected to the second electrode 8. The first electrode lead portion 11 can be defined as a portion where the first electrode 6 extends and protrudes to the outside of the organic layer 7. The second electrode lead portion 12 can be defined as a portion where the conductive layer constituting the first electrode 6 is divided by patterning at the end portion of the support substrate 1. Note that the second electrode lead portion 12 may be formed by drawing the material of the second electrode 8, and in this case, the second electrode lead portion 12 protrudes to the outside of the organic layer 7. Can be defined as an extension of

第1電極引き出し部11及び第2電極引き出し部12は、封止壁4を横切って形成されている。具体的には、第1電極引き出し部11は、第1電極6を構成する導電層が支持基板1の端部側に引き出され、封止壁4よりも外側に延出されることによって形成されている。すなわち、第1電極6を構成する導電層は、第1電極引き出し部11が設けられる端部では、この導電層が延伸することにより封止領域からはみ出して支持基板1の表面に形成されている。そして、第1電極引き出し部11は、第1電極6の延長部分により構成されている。また、第1電極6を構成する導電層は、第2電極引き出し部12が設けられる端部では、この導電層が分断されるとともに分断された導電層が延伸することにより封止領域からはみ出して支持基板1の表面に形成されている。そして、第2電極引き出し部12は、第1電極6から分離した導電層の延長部分により構成されている。第2電極引き出し部12は、封止領域の内部において、積層された第2電極8と接触しており、それにより第2電極引き出し部12と第2電極8とが導通する構造となっている。   The first electrode lead portion 11 and the second electrode lead portion 12 are formed across the sealing wall 4. Specifically, the first electrode lead portion 11 is formed by the conductive layer constituting the first electrode 6 being drawn to the end side of the support substrate 1 and extending outside the sealing wall 4. Yes. That is, the conductive layer constituting the first electrode 6 is formed on the surface of the support substrate 1 so as to protrude from the sealing region by extending the conductive layer at the end where the first electrode lead-out portion 11 is provided. . The first electrode lead portion 11 is constituted by an extended portion of the first electrode 6. Further, the conductive layer constituting the first electrode 6 protrudes from the sealing region at the end where the second electrode lead-out portion 12 is provided by dividing the conductive layer and extending the divided conductive layer. It is formed on the surface of the support substrate 1. The second electrode lead portion 12 is constituted by an extended portion of the conductive layer separated from the first electrode 6. The second electrode lead-out portion 12 is in contact with the stacked second electrodes 8 inside the sealing region, whereby the second electrode lead-out portion 12 and the second electrode 8 are electrically connected. .

なお、電極を封止領域よりも外部に引き出す構造は、図1の形態の構造に限られるものではなく、例えば、第1電極引き出し部11及び第2電極引き出し部12の一方又は両方を、第1電極6を構成する導電層とは別の導電層を用いて形成してもよい。   The structure for pulling out the electrodes to the outside from the sealing region is not limited to the structure in the form of FIG. 1. For example, one or both of the first electrode lead portion 11 and the second electrode lead portion 12 may be You may form using the conductive layer different from the conductive layer which comprises the 1 electrode 6. FIG.

充填部3は、支持基板1と封止基板2との間の間隙を埋めるようにして形成されている。充填部3を設けることにより、充填部3で有機発光体5を取り囲んで、有機発光体5を簡単に封止することができる。また、充填部3が形成されることにより、有機EL素子の信頼性を高めることができる。充填部3が設けられずに中空構造となった場合、封止基板2が撓んで内部側に凹んで有機発光体5に接触しやすくなり、有機発光体5を劣化させるおそれがあるが、充填部3を設けることにより、封止基板2の撓みを抑制することができる。また、充填部3を設けた場合、充填部3が接着性を有していると、充填部3によって封止基板2の表面を接着することができるため、封止基板2と支持基板1との接着性を高めることができる。   The filling portion 3 is formed so as to fill a gap between the support substrate 1 and the sealing substrate 2. By providing the filling portion 3, the organic light emitter 5 can be easily sealed by surrounding the organic light emitter 5 with the filling portion 3. Moreover, the reliability of an organic EL element can be improved by forming the filling part 3. When the filling portion 3 is not provided and a hollow structure is formed, the sealing substrate 2 is bent and recessed toward the inside so that the organic light emitting body 5 can be easily contacted, and the organic light emitting body 5 may be deteriorated. By providing the portion 3, the bending of the sealing substrate 2 can be suppressed. Further, when the filling portion 3 is provided, if the filling portion 3 has adhesiveness, the surface of the sealing substrate 2 can be adhered by the filling portion 3. Can improve the adhesion.

充填部3は、流動性充填材が充填されることにより形成されたものであってよい。流動性充填材は、流動性を有する充填材料のことである。流動性充填材は、好ましくは、硬化性を有する。充填部3は、流動性充填材が硬化して固体状となったものであってよい。充填部3が液状のまま封止されることもあり得るが、その場合、充填部3が流動しやすくなるため、素子の信頼性が低下するおそれがある。そのため、充填部3は流動性充填材が硬化して形成されていることが好ましい。   The filling part 3 may be formed by being filled with a fluid filler. The fluid filler is a filler having fluidity. The flowable filler preferably has curability. The filling part 3 may be one in which the fluid filler is cured and becomes solid. The filling portion 3 may be sealed in a liquid state, but in that case, the filling portion 3 tends to flow, so that the reliability of the element may be lowered. Therefore, it is preferable that the filling portion 3 is formed by curing the fluid filler.

流動性充填材は、熱硬化性樹脂及び紫外線硬化性樹脂の少なくとも一方を含むことが好ましい。それにより、硬化性が良好になって、安定な充填部3をより形成することができる。流動性充填材としては、例えば、重合性の反応により硬化する樹脂組成物又はモノマーを用いることができる。流動性充填材は、熱硬化性樹脂であってもよいし、紫外線硬化性樹脂であってもよいし、熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂との混合物であってもよい。樹脂としては、具体的には、例えば、シリコーン樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、レゾルシノール樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリベンズイミダゾール樹脂、ジアリルフタレート樹脂、キシレン樹脂、アルキル−ベンゼン樹脂、エポキシアクリレート樹脂、珪素樹脂、ウレタン樹脂などの硬化性の樹脂が挙げられる。シリコーンオイル等を含有する液体状の材料であってもよい。流動性充填材の樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂のいずれか1種以上を含むものが好ましい。流動性充填材としては、電子部品の信頼性に優れていることから、エポキシ樹脂が特に好ましい。なお、流動性充填材を構成する樹脂は、重合の主体となる樹脂成分と、重合の補助を行う補助成分とを含む樹脂組成物であってよい。補助成分としては、硬化剤、硬化促進剤、重合開始剤、重合禁止剤などが例示される。   The flowable filler preferably contains at least one of a thermosetting resin and an ultraviolet curable resin. Thereby, sclerosis | hardenability becomes favorable and the stable filling part 3 can be formed more. As the fluid filler, for example, a resin composition or a monomer that is cured by a polymerizable reaction can be used. The fluid filler may be a thermosetting resin, an ultraviolet curable resin, or a mixture of a thermosetting resin and an ultraviolet curable resin. Specifically, as the resin, for example, silicone resin, urea resin, melamine resin, phenol resin, resorcinol resin, epoxy resin, acrylic resin, polyester resin, polyamide resin, polybenzimidazole resin, diallyl phthalate resin, xylene resin, Examples thereof include curable resins such as alkyl-benzene resins, epoxy acrylate resins, silicon resins, and urethane resins. It may be a liquid material containing silicone oil or the like. As the resin of the fluid filler, one containing at least one of an epoxy resin and an acrylic resin is preferable. As the fluid filler, an epoxy resin is particularly preferable because it is excellent in the reliability of electronic components. The resin constituting the fluid filler may be a resin composition including a resin component that is a main component of polymerization and an auxiliary component that assists the polymerization. Examples of auxiliary components include a curing agent, a curing accelerator, a polymerization initiator, and a polymerization inhibitor.

充填部3は、フィラーを含有してもよい。すなわち、流動性充填材が、フィラーを含有してもよい。フィラーとしては、例えば、アルミナ、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム、ゼオライト及びシリカからなる群から選択される一種以上の材料を用いることができる。フィラーを含有する場合、熱膨張性を低減させることができ得る。   The filling part 3 may contain a filler. That is, the fluid filler may contain a filler. As the filler, for example, one or more materials selected from the group consisting of alumina, calcium oxide, strontium oxide, barium oxide, zeolite, and silica can be used. When the filler is contained, the thermal expansibility can be reduced.

充填部3は、吸湿性材料を含有することが好ましい。この場合、素子内部に水分が浸入しても、この水分を吸湿性材料で吸収することができるため、水分による素子の劣化を抑制することができる。これにより、ダークスポット等の不良が発生するのを抑制することができる。吸湿性材料は、吸湿性を有するフィラーで構成されることが好ましい。吸湿性を有するフィラーとしては、例えば酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム、ゼオライト及びシリカからなる群から選択される一種以上の材料を用いることができる。   It is preferable that the filling part 3 contains a hygroscopic material. In this case, even if moisture enters the element, the moisture can be absorbed by the hygroscopic material, so that deterioration of the element due to moisture can be suppressed. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of defects such as dark spots. The hygroscopic material is preferably composed of a hygroscopic filler. As the hygroscopic filler, for example, one or more materials selected from the group consisting of calcium oxide, strontium oxide, barium oxide, zeolite, and silica can be used.

充填部3におけるフィラーの含有量は、特に限定されるものではないが、充填部3の全量に対して0.01〜30質量%の範囲内であることが好ましい。それにより、より安定な充填部3を形成することができる。   The filler content in the filling portion 3 is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.01 to 30% by mass with respect to the total amount of the filling portion 3. Thereby, the more stable filling part 3 can be formed.

流動性充填材は接着性を有することが好ましい。流動性充填材が接着性を有することにより、基板を面状に接着することが可能になるため、支持基板1と封止基板2とをより密着性高く接着することができる。   The flowable filler preferably has adhesiveness. Since the fluidity filler has adhesiveness, the substrate can be bonded in a planar shape, so that the support substrate 1 and the sealing substrate 2 can be bonded with higher adhesion.

充填部3は光透過性を有していてもよいし、有していなくてもよい。充填部3が光透過性を有していることが好ましい一態様である。充填部3が透明であることがより好ましい一態様である。封止基板2側から光を取り出す場合には、充填部3は光透過性を有することが好ましい。   The filling part 3 may or may not have light transmittance. It is a preferable aspect that the filling portion 3 has light transmittance. It is a more preferable aspect that the filling portion 3 is transparent. When taking out light from the sealing substrate 2 side, it is preferable that the filling part 3 has a light transmittance.

本形態では、充填部3は、有機層7と接している。有機発光体5においては、封止基板2側に第2電極8が配置されているが、有機発光体5の側部及び第2電極8が積層されていない部分においては、有機層7が有機発光体5の表面として露出している。そのため、この露出した有機層7の部分において、充填部3と有機層7とが接触している。図では、有機層7における充填部3との接触部分は、充填部3との接触部7aとして示している。有機層7が充填部3と接する場合、充填部3によって有機層7がダメージを受けるなどして劣化しやすくなるが、本形態では、充填部3が有機層7に接触していても、素子が劣化しやすくなることを抑制することができる。   In this embodiment, the filling part 3 is in contact with the organic layer 7. In the organic light emitter 5, the second electrode 8 is disposed on the sealing substrate 2 side. However, in the portion where the side portion of the organic light emitter 5 and the second electrode 8 are not stacked, the organic layer 7 is organic. It is exposed as the surface of the light emitter 5. Therefore, the filler 3 and the organic layer 7 are in contact with each other in the exposed portion of the organic layer 7. In the drawing, the contact portion with the filling portion 3 in the organic layer 7 is shown as a contact portion 7 a with the filling portion 3. When the organic layer 7 is in contact with the filling portion 3, the organic layer 7 is easily deteriorated by being damaged by the filling portion 3. However, in this embodiment, even if the filling portion 3 is in contact with the organic layer 7, the element It can suppress that it becomes easy to deteriorate.

本形態の有機EL素子では、封止壁4が、充填部3の外周側部に形成されている。封止壁4は、支持基板1と封止基板2との間に設けられている。封止壁4は、有機発光体5の外周を取り囲むように設けられている。封止壁4は、有機発光体5を収めるためのスペーサとしての機能を有する。封止壁4の高さ(厚み)は有機発光体5の厚みよりも大きい。そのため、有機発光体5は支持基板1と封止基板2との間の間隙に収容される。封止壁4は、流動性充填材を充填するための堰としての機能を有する。封止壁4を設けることにより、流動性充填材を堰き止めることができ、充填部3を形成することができる。有機EL素子を製造する際には、封止壁4を有機発光体5の平面視における周囲に枠状に設け、封止壁4で囲まれた領域に流動性充填材を充填することができる。封止壁4はいわばダム材として機能する。流動性充填材(充填部3)はいわばフィル材として機能する。この構造は、ダム−フィル構造とも呼ばれる。   In the organic EL element of this embodiment, the sealing wall 4 is formed on the outer peripheral side portion of the filling portion 3. The sealing wall 4 is provided between the support substrate 1 and the sealing substrate 2. The sealing wall 4 is provided so as to surround the outer periphery of the organic light-emitting body 5. The sealing wall 4 has a function as a spacer for accommodating the organic light-emitting body 5. The height (thickness) of the sealing wall 4 is larger than the thickness of the organic light emitter 5. Therefore, the organic light emitter 5 is accommodated in the gap between the support substrate 1 and the sealing substrate 2. The sealing wall 4 has a function as a weir for filling the fluid filler. By providing the sealing wall 4, the fluid filler can be dammed and the filling portion 3 can be formed. When manufacturing an organic EL element, the sealing wall 4 can be provided in a frame shape around the organic light emitter 5 in a plan view, and a region surrounded by the sealing wall 4 can be filled with a fluid filler. . The sealing wall 4 functions as a dam material. The fluid filler (filling part 3) functions as a filler material. This structure is also called a dam-fill structure.

封止壁4は、防湿性を有することが好ましい。それにより、封止領域内部への水分の浸入を抑制することができる。   It is preferable that the sealing wall 4 has moisture resistance. Thereby, it is possible to suppress moisture from entering the sealing region.

封止壁4は、流動性封止材により形成されていることが好ましい。流動性封止材を用いることにより、簡単に封止壁4を形成することができる。流動性封止材は、流動性を有する封止材料のことである。流動性封止材は、硬化性を有するものであってよい。封止壁4は、流動性封止材が硬化して固体状となったものであってよい。なお、流動性充填材が充填される際には、封止壁4は硬化していてもよいが、完全に硬化していなくてもよい。例えば、粘性を有するなどして、形態保持性を有する流動性封止材を用い、これによって流動性充填材を堰き止める堰として機能させた後、流動性充填材の硬化と同時に流動性封止材を硬化させてもよい。それにより、効率よく硬化をさせることができる。流動性封止材は堰部材として機能する。また、流動性封止材を形態保持性が発揮される程度に半硬化させてもよい。要するに、封止壁4は、流動性充填材の堰として機能されればよい。充填性を高めるためには、流動性充填材の粘度は、流動性封止材の粘度よりも低くなるものであってよい。なお、封止壁4は、流動性を有さない未硬化の封止材で形成されてももちろんよい。   The sealing wall 4 is preferably formed of a fluid sealing material. By using a fluid sealing material, the sealing wall 4 can be easily formed. The fluid sealing material is a sealing material having fluidity. The fluid sealing material may be curable. The sealing wall 4 may be a solid which is obtained by curing the fluid sealing material. In addition, when the fluid filler is filled, the sealing wall 4 may be cured, but may not be completely cured. For example, using a fluid sealing material that has viscosity, such as having viscosity, so that the fluid filler is functioned as a weir to dam the fluid filler, and at the same time the fluid filler is cured The material may be cured. Thereby, it can harden efficiently. The fluid sealing material functions as a weir member. Further, the fluid sealing material may be semi-cured to such an extent that the form retainability is exhibited. In short, the sealing wall 4 should just function as a weir of a fluid filler. In order to improve the filling property, the viscosity of the fluid filler may be lower than the viscosity of the fluid sealing material. Of course, the sealing wall 4 may be formed of an uncured sealing material having no fluidity.

流動性封止材は、熱硬化性樹脂及び紫外線硬化性樹脂の少なくとも一方を含むことが好ましい。それにより、硬化性が良好になって、安定な封止壁4をより形成することができる。流動性封止材としては、例えば、重合性の反応により硬化する樹脂組成物又はモノマーを用いることができる。流動性封止材は、熱硬化性樹脂であってもよいし、紫外線硬化性樹脂であってもよいし、熱硬化性樹脂と紫外線硬化性樹脂との混合物であってもよい。樹脂としては、具体的には、例えば、シリコーン樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、レゾルシノール樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリベンズイミダゾール樹脂、ジアリルフタレート樹脂、キシレン樹脂、アルキル−ベンゼン樹脂、エポキシアクリレート樹脂、珪素樹脂、ウレタン樹脂などの硬化性の樹脂が挙げられる。シリコーンオイル等を含有する液体状の材料であってもよい。流動性封止材の樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂のいずれか1種以上を含むものが好ましい。流動性封止材としては、電子部品の信頼性に優れていることから、エポキシ樹脂が特に好ましい。なお、流動性封止材を構成する樹脂は、重合の主体となる樹脂成分と、重合の補助を行う補助成分とを含む樹脂組成物であってよい。補助成分としては、硬化剤、硬化促進剤、重合開始剤、重合禁止剤などが挙げられる。   The fluid sealing material preferably includes at least one of a thermosetting resin and an ultraviolet curable resin. Thereby, sclerosis | hardenability becomes favorable and the stable sealing wall 4 can be formed more. As the fluid sealing material, for example, a resin composition or a monomer that cures by a polymerizable reaction can be used. The fluid sealing material may be a thermosetting resin, an ultraviolet curable resin, or a mixture of a thermosetting resin and an ultraviolet curable resin. Specifically, as the resin, for example, silicone resin, urea resin, melamine resin, phenol resin, resorcinol resin, epoxy resin, acrylic resin, polyester resin, polyamide resin, polybenzimidazole resin, diallyl phthalate resin, xylene resin, Examples thereof include curable resins such as alkyl-benzene resins, epoxy acrylate resins, silicon resins, and urethane resins. It may be a liquid material containing silicone oil or the like. As the resin for the fluid sealing material, one containing at least one of an epoxy resin and an acrylic resin is preferable. As the fluid sealing material, an epoxy resin is particularly preferable because of excellent reliability of electronic components. In addition, resin which comprises a fluid sealing material may be a resin composition containing the resin component used as the main body of superposition | polymerization, and the auxiliary component which assists superposition | polymerization. Examples of auxiliary components include a curing agent, a curing accelerator, a polymerization initiator, and a polymerization inhibitor.

封止壁4は、フィラーを含有してもよい。すなわち、流動性封止材が、フィラーを含有してもよい。フィラーとしては、例えば、アルミナ、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム、ゼオライト及びシリカからなる群から選択される一種以上の材料を用いることができる。フィラーを含有する場合、熱膨張性を低減させることができ得る。   The sealing wall 4 may contain a filler. That is, the fluid sealing material may contain a filler. As the filler, for example, one or more materials selected from the group consisting of alumina, calcium oxide, strontium oxide, barium oxide, zeolite, and silica can be used. When the filler is contained, the thermal expansibility can be reduced.

封止壁4は、吸湿性材料を含有することが好ましい。この場合、封止壁4を通過しようとする水分を吸湿性材料で吸収することができ、素子内部に水分が浸入することを抑制できるため、水分による素子の劣化を抑制することができる。これにより、ダークスポット等の不良が発生するのを抑制することができる。吸湿性材料は、吸湿性を有するフィラーで構成されることが好ましい。吸湿性を有するフィラーとしては、例えば酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム、ゼオライト及びシリカからなる群から選択される一種以上の材料を用いることができる。   It is preferable that the sealing wall 4 contains a hygroscopic material. In this case, moisture that is about to pass through the sealing wall 4 can be absorbed by the hygroscopic material, and moisture can be prevented from entering the element, so that deterioration of the element due to moisture can be suppressed. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of defects such as dark spots. The hygroscopic material is preferably composed of a hygroscopic filler. As the hygroscopic filler, for example, one or more materials selected from the group consisting of calcium oxide, strontium oxide, barium oxide, zeolite, and silica can be used.

封止壁4におけるフィラーの含有量は、特に限定されるものではないが、封止壁4の全量に対して0.01〜30質量%の範囲内であることが好ましい。それにより、より安定な封止壁4を形成することができる。   Although content of the filler in the sealing wall 4 is not specifically limited, It is preferable to exist in the range of 0.01-30 mass% with respect to the whole quantity of the sealing wall 4. FIG. Thereby, a more stable sealing wall 4 can be formed.

流動性封止材は接着性を有することが好ましい。流動性封止材が接着性を有することにより、支持基板1と封止基板2とを密着性高く接着し、封止性を高めることができる。   The fluid sealing material preferably has adhesiveness. When the fluid sealing material has adhesiveness, the support substrate 1 and the sealing substrate 2 can be bonded with high adhesion, and the sealing performance can be improved.

そして、本実施形態の有機EL素子では、第1電極6及び第2電極8と離間し、充填部3に接する検査電極9が設けられている。検査電極9は、支持基板1と封止基板2とで封止された内部から外部に延伸している。検査電極9を有することにより、検査電極9と第1電極6との間、及び、検査電極9と第2電極8との間の少なくとも一方における電気的な導通性を検査することができるため、充填材の硬化状態を判断することができる。   And in the organic EL element of this embodiment, the test | inspection electrode 9 spaced apart from the 1st electrode 6 and the 2nd electrode 8 and contacting the filling part 3 is provided. The inspection electrode 9 extends from the inside sealed by the support substrate 1 and the sealing substrate 2 to the outside. By having the inspection electrode 9, it is possible to inspect the electrical continuity between the inspection electrode 9 and the first electrode 6 and at least one of the inspection electrode 9 and the second electrode 8. The cured state of the filler can be determined.

図1(a)及び(d)に示すように、検査電極9は、封止領域の内部に配置される部分9aと、封止領域の外部に配置される部分9bとを有している。検査電極9は、第1電極6及び第2電極8と電気的に絶縁されている。検査電極9は、封止領域の内部に配置される部分9aにおいて充填部3と接している。検査電極9は、封止領域の外部に配置される部分9bが、封止壁4よりも外側に配置され、外部に露出している。検査電極9は、第1電極引き出し部11及び第2電極引き出し部12と離間している。   As shown in FIGS. 1A and 1D, the inspection electrode 9 has a portion 9a disposed inside the sealing region and a portion 9b disposed outside the sealing region. The inspection electrode 9 is electrically insulated from the first electrode 6 and the second electrode 8. The inspection electrode 9 is in contact with the filling portion 3 in a portion 9a disposed inside the sealing region. In the inspection electrode 9, a portion 9b arranged outside the sealing region is arranged outside the sealing wall 4 and exposed to the outside. The inspection electrode 9 is separated from the first electrode lead portion 11 and the second electrode lead portion 12.

検査電極9は、平面視において、第1電極6及び第2電極8と重ならずに設けられていることが好ましい。図1(a)に示すように、本形態では、検査電極9は、第1電極6と第2電極8とは形成された領域が平面視において重複しておらず、第1電極6及び第2電極8が配置されていない電極の隙間に配置されている。それにより、検査電極9によって充填材の硬化不良を判断しやすくすることができる。また、検査電極9の配置が流動性充填材の硬化の妨げとなりにくい配置となるので、流動性充填材の硬化を良好に行うことができる。検査電極9は、第1電極引き出し部11及び第2電極引き出し部12と、平面視において重ならずに設けられていることが好ましい。   The inspection electrode 9 is preferably provided without overlapping the first electrode 6 and the second electrode 8 in plan view. As shown in FIG. 1 (a), in this embodiment, the inspection electrode 9 includes the first electrode 6 and the second electrode 8 in which the regions where the first electrode 6 and the second electrode 8 are formed do not overlap in plan view. The two electrodes 8 are disposed in a gap between the electrodes where the two electrodes 8 are not disposed. Thereby, it is possible to easily determine the curing failure of the filler by the inspection electrode 9. In addition, since the arrangement of the inspection electrode 9 is an arrangement that does not easily hinder the hardening of the fluid filler, the fluid filler can be cured well. The inspection electrode 9 is preferably provided so as not to overlap the first electrode lead portion 11 and the second electrode lead portion 12 in plan view.

本形態では、検査電極9は、支持基板1の端部表面に設けられている。検査電極9は支持基板1に支持されている。このように、有機EL素子では、検査電極9は、支持基板1に支持されていることが好ましい。それにより、簡単に検査電極9を形成することができる。また、検査電極9の配置が流動性充填材の硬化の妨げとなりにくい配置となるので、流動性充填材の硬化を良好に行うことができる。また、支持基板1の表面に検査電極9が設けられていると、導通性の検査を行う複数の電極が基板の同じ側の面の配置になるため、検査を行いやすくすることができる。検査電極9は、例えば、封止基板2の表面に設けられたり、封止壁4を貫いて設けられたりしてもよい。しかしながら、検査電極9が支持基板1の表面に設けられない場合、検査電極9の形成が難しくなったり、検査電極9による導通性の検査が容易でなくなったり、流動性充填材の硬化を妨げたりするおそれがある。特に紫外線硬化性樹脂を用いた場合、検査電極9の紫外線照射側とは反対側に樹脂が存在していると、紫外線が検査電極9の影になって樹脂に照射されなくなって、樹脂の硬化が十分でなくなるおそれがある。そこで、好ましくは、検査電極9を支持基板1の上に形成するようにする。すると、紫外線の照射を封止基板2側から行ったときには、検査電極9の背後(紫外線照射側とは反対側)に樹脂を存在させないようにすることができるため、硬化が不十分となることを抑制できる。もちろん、素子の信頼性に問題がないのであれば、例えば、検査電極9は封止基板2の表面に設けられてもよい。   In this embodiment, the inspection electrode 9 is provided on the end surface of the support substrate 1. The inspection electrode 9 is supported on the support substrate 1. Thus, in the organic EL element, the inspection electrode 9 is preferably supported by the support substrate 1. Thereby, the inspection electrode 9 can be easily formed. In addition, since the arrangement of the inspection electrode 9 is an arrangement that does not easily hinder the hardening of the fluid filler, the fluid filler can be cured well. Further, when the inspection electrode 9 is provided on the surface of the support substrate 1, the plurality of electrodes for conducting the conductivity inspection are arranged on the same side surface of the substrate, so that the inspection can be easily performed. For example, the inspection electrode 9 may be provided on the surface of the sealing substrate 2 or may be provided through the sealing wall 4. However, when the inspection electrode 9 is not provided on the surface of the support substrate 1, the formation of the inspection electrode 9 becomes difficult, the conductivity inspection by the inspection electrode 9 becomes difficult, or the hardening of the fluid filler is prevented. There is a risk. In particular, when an ultraviolet curable resin is used, if the resin is present on the opposite side of the inspection electrode 9 from the ultraviolet irradiation side, the ultraviolet ray will be shaded by the inspection electrode 9 and will not be irradiated to the resin, and the resin will be cured. May not be sufficient. Therefore, preferably, the inspection electrode 9 is formed on the support substrate 1. Then, when the ultraviolet irradiation is performed from the sealing substrate 2 side, it is possible to prevent the resin from being present behind the inspection electrode 9 (on the opposite side to the ultraviolet irradiation side), so that the curing becomes insufficient. Can be suppressed. Of course, if there is no problem in the reliability of the element, for example, the inspection electrode 9 may be provided on the surface of the sealing substrate 2.

検査電極9は、導電性を有する適宜の電極材料で形成することができる。検査電極9の材料としては、金属、合金、電気伝導性化合物、あるいはこれらの混合物からなる電極材料が挙げられる。検査電極9の材料として、導電性の金属酸化物などを好ましく用いることができる。金属酸化物としては、ITO、IZO、ZnO、AZOなどが例示される。検査電極9は、金属で構成されてもよく、金属としては、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)などが例示される。検査電極9は、スパッタ法、蒸着法、塗布法などで形成され得る。検査電極9は、仕事関数の大きい金属、合金、電気伝導性化合物、あるいはこれらの混合物によって形成されてもよい。検査電極9の厚みは、特に限定されるものではないが、例えば、10nm〜1000nmの範囲にすることができる。   The inspection electrode 9 can be formed of an appropriate electrode material having conductivity. Examples of the material of the inspection electrode 9 include an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof. As a material of the inspection electrode 9, a conductive metal oxide or the like can be preferably used. Examples of the metal oxide include ITO, IZO, ZnO, AZO and the like. The inspection electrode 9 may be made of metal, and examples of the metal include aluminum (Al), silver (Ag), sodium (Na), and lithium (Li). The inspection electrode 9 can be formed by a sputtering method, a vapor deposition method, a coating method, or the like. The inspection electrode 9 may be formed of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function. The thickness of the inspection electrode 9 is not particularly limited, but can be, for example, in the range of 10 nm to 1000 nm.

検査電極9は、第1電極6を構成する導電層のパターニングにより形成されることが好ましい一態様である。それにより、検査電極9を簡単に形成することができる。図1の形態においては、検査電極9は、第1電極6の導電層のパターニングにより形成されている。すなわち、第1電極6を構成する導電層は、検査電極9が設けられる端部では、この導電層が分断されるとともに分断された導電層が延伸することにより封止領域からはみ出して支持基板1の表面に形成されている。そして、検査電極9は、第1電極6から分離した導電層の延長部分により構成されている。検査電極9は封止壁4を横切って形成されている。検査電極9は、封止領域の内部において、第1電極6及び第2電極8の両方と離間しており、これらとは接触していない。それにより、充填部3の硬化状態を検査することが可能な構造となっている。もちろん、検査電極9は、第1電極6を構成する導電層で形成されるものに限られない。例えば、第2電極8を構成する導電層のパターニングによって形成されてもよい。あるいは、例えば、第1電極6及び第2電極8とは別の電極材料が積層されて形成されてもよい。   In one preferred embodiment, the inspection electrode 9 is formed by patterning the conductive layer constituting the first electrode 6. Thereby, the inspection electrode 9 can be formed easily. In the form of FIG. 1, the inspection electrode 9 is formed by patterning the conductive layer of the first electrode 6. That is, the conductive layer constituting the first electrode 6 protrudes from the sealing region by dividing the conductive layer and extending the divided conductive layer at the end where the inspection electrode 9 is provided. Is formed on the surface. The inspection electrode 9 is constituted by an extended portion of the conductive layer separated from the first electrode 6. The inspection electrode 9 is formed across the sealing wall 4. The inspection electrode 9 is separated from both the first electrode 6 and the second electrode 8 inside the sealing region, and is not in contact with them. Thereby, it has the structure which can test | inspect the hardening state of the filling part 3. FIG. Of course, the inspection electrode 9 is not limited to the one formed by the conductive layer constituting the first electrode 6. For example, it may be formed by patterning a conductive layer constituting the second electrode 8. Alternatively, for example, an electrode material different from the first electrode 6 and the second electrode 8 may be laminated.

検査電極9は、光透過性を有することが好ましい。検査電極9が光透過性を有すると、流動性充填材の硬化性を高めることができる。さらに、第1電極6が光透過性を有し、第1電極6を構成する導電層で検査電極9が形成されていると、第1電極6と検査電極9との光透過性は同等になるため、紫外線の照射量を面内においてより均一化することができる。   The inspection electrode 9 preferably has light transmittance. When the inspection electrode 9 has light transmittance, the curability of the fluid filler can be increased. Further, when the first electrode 6 has light transmittance and the inspection electrode 9 is formed of a conductive layer constituting the first electrode 6, the light transmittance of the first electrode 6 and the inspection electrode 9 is equal. Therefore, the amount of ultraviolet irradiation can be made more uniform in the plane.

検査電極9は、平面視において線状のパターンであってよい。検査電極9は、封止壁4に交差して形成されている。それにより、検査電極9を封止壁4の両側にはみ出して形成することができる。検査電極9と封止壁4とは直交していてもよい。検査電極9は、平面視において直線状のパターンであってよい。それにより、簡単な構成で効率よく検査電極9を設けることができる。   The inspection electrode 9 may be a linear pattern in plan view. The inspection electrode 9 is formed so as to intersect the sealing wall 4. Thereby, the inspection electrode 9 can be formed so as to protrude from both sides of the sealing wall 4. The inspection electrode 9 and the sealing wall 4 may be orthogonal to each other. The inspection electrode 9 may be a linear pattern in plan view. Thereby, the inspection electrode 9 can be efficiently provided with a simple configuration.

検査電極9は、有機発光体5よりも外側において、第1電極引き出し部11及び第2電極引き出し部12が形成されていない領域に設けられる。検査電極9は、有機発光体5とは接触しておらず、離間している。検査電極9は、流動性充填材が硬化しにくい場所に設けられることが好ましい。それにより、流動性充填材が硬化しにくい場所での硬化状態を検査することによって、全体の硬化状態を判断することができるため、検査による信頼性を向上することができる。図1(a)では、有機EL素子は矩形状となって、封止壁4で囲まれた領域は矩形状に形成されており、検査電極9は、封止領域の角隅部に形成されている。それにより、角隅部は流動性充填材が硬化しにくい場所であるため、硬化状態の判断をより精度よく行うことができる。もちろん、有機EL素子の同じ側の端部に、第1電極引き出し部11と第2電極引き出し部12とが並んで配置されたような電極パターンでは、第1電極引き出し部11と第2電極引き出し部12との間に検査電極9が設けられていてよい。その際、検査電極9は、封止領域の角隅部に配置されていなくてもよい。その場合であっても、流動性充填材が硬化しにくい支持基板1の端部(封止壁4の近傍)に検査電極9が配置されていることで、硬化状態を精度よく確認することができる。   The inspection electrode 9 is provided outside the organic light-emitting body 5 in a region where the first electrode lead portion 11 and the second electrode lead portion 12 are not formed. The inspection electrode 9 is not in contact with the organic light emitter 5 and is separated. The inspection electrode 9 is preferably provided in a place where the fluid filler is difficult to cure. Thereby, since the whole hardening state can be judged by inspecting the hardening state in the place where a fluid filler is hard to harden, the reliability by inspection can be improved. In FIG. 1A, the organic EL element has a rectangular shape, the region surrounded by the sealing wall 4 is formed in a rectangular shape, and the inspection electrodes 9 are formed at the corners of the sealing region. ing. Thereby, since the corner is a place where the fluid filler is hard to be hardened, the hardened state can be determined with higher accuracy. Of course, in the electrode pattern in which the first electrode lead portion 11 and the second electrode lead portion 12 are arranged side by side at the end portion on the same side of the organic EL element, the first electrode lead portion 11 and the second electrode lead portion are arranged. The inspection electrode 9 may be provided between the part 12. In that case, the test | inspection electrode 9 does not need to be arrange | positioned at the corner | angular corner part of a sealing area | region. Even in that case, it is possible to accurately check the cured state by arranging the inspection electrode 9 at the end portion (in the vicinity of the sealing wall 4) of the support substrate 1 where the fluid filler is hard to be cured. it can.

検査電極9は、第1電極6及び第1電極引き出し部11の少なくとも一方の近傍に設けられていることが好ましい。それにより、検査の精度を高めることができる。図1(a)では、検査電極9は、第1電極引き出し部11が封止領域の内部から外部に延伸する方向に沿って延伸しており、検査電極9が第1電極6の延長部分に隣り合って形成されている。それにより、第1電極6と検査電極9との距離が近くなるため、検査の精度を高めることができる。このような配置は、第1電極6と検査電極9との間で導通性を検査する場合に有利である。もちろん、検査電極9は、第2電極引き出し部12の延伸方向に沿って形成されていてもよい。その場合は、第2電極8と検査電極9との間で導通性を検査する場合に有利となる。   The inspection electrode 9 is preferably provided in the vicinity of at least one of the first electrode 6 and the first electrode lead portion 11. Thereby, the accuracy of the inspection can be increased. In FIG. 1A, the inspection electrode 9 extends along the direction in which the first electrode lead portion 11 extends from the inside of the sealing region to the outside, and the inspection electrode 9 extends to the extended portion of the first electrode 6. They are formed next to each other. Thereby, since the distance between the first electrode 6 and the inspection electrode 9 is reduced, the accuracy of the inspection can be increased. Such an arrangement is advantageous when inspecting continuity between the first electrode 6 and the inspection electrode 9. Of course, the inspection electrode 9 may be formed along the extending direction of the second electrode lead portion 12. In that case, it is advantageous when the conductivity is inspected between the second electrode 8 and the inspection electrode 9.

有機EL素子では、第1電極6及びそれと連続する第1電極引き出し部11が充填部3に接している。第1電極6及び第1電極引き出し部11は、まとめて、電気的には第1電極6を構成するものであると言える。また、第2電極8及びそれに連結する第2電極引き出し部12が充填部3に接している。第2電極8及び第2電極引き出し部12は、まとめて、第2電極8を構成するものであると言える。このとき、第1電極6及び第2電極8は、有機EL素子を駆動させるための素子電極と定義される。そして、検査電極9は、充填部3に接している。そのため、検査電極9と素子電極(第1電極6又は第2電極8)との間は、充填部3で満たされていると言える。すなわち、検査電極9と素子電極(第1電極6又は第2電極8)との間で電圧を印可したときには、充填部3の電流値や電気抵抗値が測定されることになり、これらの値から充填部3の硬化状態を確認することができる。通常、硬化していない、あるいは、硬化が十分でないと、流動性充填材はその流動性によって内部の成分が移動しやすいため、電気が流れやすくなり、電気抵抗が低くなる。   In the organic EL element, the first electrode 6 and the first electrode lead portion 11 continuous with the first electrode 6 are in contact with the filling portion 3. It can be said that the first electrode 6 and the first electrode lead portion 11 collectively constitute the first electrode 6. The second electrode 8 and the second electrode lead portion 12 connected to the second electrode 8 are in contact with the filling portion 3. It can be said that the second electrode 8 and the second electrode lead portion 12 collectively constitute the second electrode 8. At this time, the first electrode 6 and the second electrode 8 are defined as element electrodes for driving the organic EL element. The inspection electrode 9 is in contact with the filling portion 3. Therefore, it can be said that the space between the inspection electrode 9 and the element electrode (the first electrode 6 or the second electrode 8) is filled with the filling portion 3. That is, when a voltage is applied between the inspection electrode 9 and the element electrode (the first electrode 6 or the second electrode 8), the current value and electrical resistance value of the filling portion 3 are measured, and these values are measured. From the above, the cured state of the filling part 3 can be confirmed. Usually, if it is not cured or is not sufficiently cured, the flowable filler tends to move internal components due to its fluidity, so that electricity easily flows and electrical resistance is lowered.

図2は、検査電極9と素子電極(第1電極6又は第2電極8)との間に電圧を印可したときに、電極間を流れる電流の量を表した模式的なグラフである。このグラフでは、横軸を時間とし、縦軸を電流量として、紫外線照射を行う前、紫外線照射を行っている間(図の矢印)、紫外線照射を行った後、における電流量の変化を経時的に示している。このグラフに見られるように、紫外線照射を行う前は、流動性充填材が硬化していないため、電流が流れやすく電流量は大きくなる。一方、紫外線を照射すると、樹脂の硬化に伴って、徐々に電流量は低下していく。そして、硬化が完全に終了すると、充填材の流動性がなくなって固化した充填部3が形成されるため、硬化が良好な場合は、電極間を流れる電流量は0になるか限りなく0に近づく。しかしながら、硬化が不良である場合には、流動性充填材の流動性が一部残存することになって、電極間を電流が流れやすくなり、電極間を流れる電流量は硬化が良好な場合に比べて大きくなる。したがって、電極間を流れる電流量によって、硬化状態を判断できる。もちろん、電気抵抗値によって判断してもよい。電気抵抗値では、硬化不良の場合に抵抗が小さくなり、硬化が良好な場合に抵抗が大きくなることになる。   FIG. 2 is a schematic graph showing the amount of current flowing between the electrodes when a voltage is applied between the inspection electrode 9 and the element electrode (the first electrode 6 or the second electrode 8). In this graph, the horizontal axis is time, the vertical axis is the current amount, and the change in current amount over time is measured before and after ultraviolet irradiation (arrows in the figure) before and after ultraviolet irradiation. Is shown. As can be seen from this graph, since the fluid filler is not cured before the ultraviolet irradiation, the current easily flows and the amount of current increases. On the other hand, when ultraviolet rays are irradiated, the amount of current gradually decreases as the resin hardens. When the curing is completed, the filler 3 loses its fluidity to form a solidified filling portion 3. When the curing is good, the amount of current flowing between the electrodes is zero as long as it is zero. Get closer. However, if the curing is poor, the fluidity of the flowable filler will partially remain and current will flow easily between the electrodes, and the amount of current flowing between the electrodes will be Compared to larger. Therefore, the cured state can be determined by the amount of current flowing between the electrodes. Of course, you may judge by an electrical resistance value. With respect to the electrical resistance value, the resistance becomes small when curing is poor, and the resistance becomes large when curing is good.

充填部3に硬化不良の部分が存在すると、硬化が完全でない充填材が有機層7に浸透したり、有機層7の成分が充填材に移動したりするなどして、有機層7にダメージを与えやすくなる。有機層7がダメージを受けると、ダメージを受けた部分で発光が生じなくなったり、発光が弱くなったりするおそれがある。また、有機層7がダメージを受けると、劣化が速くなるおそれがある。また、未硬化の充填部3においては、電気が流れやすくなるため、第1電極6と第2電極8との間に電圧を印可して実際に有機EL素子を駆動させた場合に、有機層7を通らずに充填部3を通る電流が発生し得ることになる。そのため、発光効率が低下したり、素子の信頼性が低下したりするおそれがある。しかしながら、検査電極9を設けることにより、検査電極9を用いた検査によって硬化の良否を判断することが可能となり、充填部3の硬化を良好にすることができる。充填部3の硬化が良好であると、有機層7にダメージを与えることを抑制することができる。また、充填部3が良好に硬化していると、電流が充填部3を通って流れることを抑制することができる。そのため、有機EL素子の発光効率及び信頼性を向上することができる。したがって、検査によって硬化不良の素子を除去して、硬化が良好な素子を良品の有機EL素子として取り扱うことができるため、信頼性の高い有機EL素子を得ることができる。   If there is a poorly cured portion in the filling portion 3, the filler that is not completely cured penetrates into the organic layer 7, or the components of the organic layer 7 move to the filler, thereby damaging the organic layer 7. It becomes easy to give. When the organic layer 7 is damaged, there is a possibility that light emission does not occur in the damaged part or the light emission becomes weak. Further, when the organic layer 7 is damaged, the deterioration may be accelerated. Further, in the uncured filling portion 3, since it becomes easy for electricity to flow, when an organic EL element is actually driven by applying a voltage between the first electrode 6 and the second electrode 8, the organic layer A current passing through the filling portion 3 without passing through 7 can be generated. Therefore, there is a possibility that the light emission efficiency may be reduced or the reliability of the element may be reduced. However, by providing the inspection electrode 9, it is possible to determine whether the curing is good or not by the inspection using the inspection electrode 9, and the filling portion 3 can be cured well. When the filling part 3 is cured well, it is possible to prevent the organic layer 7 from being damaged. Moreover, if the filling part 3 is hardened | cured favorably, it can suppress that an electric current flows through the filling part 3. FIG. Therefore, the luminous efficiency and reliability of the organic EL element can be improved. Therefore, an element with poor curing can be removed by inspection and an element with good curing can be handled as a non-defective organic EL element, so that a highly reliable organic EL element can be obtained.

充填部3の導通性の検査は、検査電極9と第1電極6との間で行ってもよいし、検査電極9と第2電極8との間で行ってもよいし、その両方で行ってもよい。充填部3の導通性の検査は、検査電極9と第1電極6との間で行うことが好ましい。それにより、検査の精度を高めることができる。   The continuity test of the filling portion 3 may be performed between the test electrode 9 and the first electrode 6, or may be performed between the test electrode 9 and the second electrode 8, or both. May be. The continuity test of the filling portion 3 is preferably performed between the test electrode 9 and the first electrode 6. Thereby, the accuracy of the inspection can be increased.

充填部3の導通性の検査は、例えば、複数(少なくとも2つ)のプローブを備えた検査装置で行うことができる。このとき、検査装置の一のプローブを検査電極9に接触させるとともに、他のプローブを素子電極(第1電極6又は第2電極8)に接触させて、プローブ間に電圧を印可し、電流量を測定することにより検査を行うことができる。検査では電気抵抗値を測定してもよい。プローブは電気伝導性の高い材料で形成された針状のものであってよい。手作業で検査を行うこともできるが、検査装置を用いることにより効率よく検査することができる。   The inspection of the continuity of the filling unit 3 can be performed by, for example, an inspection apparatus including a plurality (at least two) of probes. At this time, one probe of the inspection apparatus is brought into contact with the inspection electrode 9 and another probe is brought into contact with the element electrode (the first electrode 6 or the second electrode 8), a voltage is applied between the probes, and the current amount Inspection can be carried out by measuring. In the inspection, an electric resistance value may be measured. The probe may be needle-shaped formed of a material having high electrical conductivity. Although the inspection can be performed manually, it can be efficiently inspected by using an inspection apparatus.

検査電極9は、有機EL素子に、複数設けられていてもよいし、一つ設けられてもよい。有機EL素子が、検査電極9を複数有すると、複数の箇所で硬化状態を検査することができるため、有機EL素子の信頼性をより高めることができる。また、複数の検査電極9を有する場合、例えば、検査電極9と第1電極6との間の導通性と、検査電極9と第2電極8との間の導通性とを一度に測定することが可能になる。もちろん、検査電極9は単数であってもよい。その場合、検査電極9の形成が簡単になる。検査電極9は、検査の後に、絶縁体で覆われてもよい。絶縁体で検査電極9を覆うようにすると、不用意に電極に電流が流れたりすることが抑制されるため、信頼性を高めることができる。   A plurality of inspection electrodes 9 may be provided in the organic EL element, or one inspection electrode 9 may be provided. When the organic EL element has a plurality of inspection electrodes 9, the cured state can be inspected at a plurality of locations, so that the reliability of the organic EL element can be further improved. In addition, when a plurality of inspection electrodes 9 are provided, for example, the conductivity between the inspection electrode 9 and the first electrode 6 and the conductivity between the inspection electrode 9 and the second electrode 8 are measured at a time. Is possible. Of course, the inspection electrode 9 may be single. In that case, the formation of the inspection electrode 9 is simplified. The inspection electrode 9 may be covered with an insulator after the inspection. If the test electrode 9 is covered with an insulator, the current can be prevented from inadvertently flowing through the electrode, so that the reliability can be improved.

以下、有機EL素子の製造方法について説明する。   Hereinafter, the manufacturing method of an organic EL element is demonstrated.

有機EL素子の製造では、好ましくは、基板配置工程と硬化工程と検査工程とを有する。基板配置工程は、有機発光体5が形成された支持基板1と、封止基板2とを、間に流動性充填材を挟んで対向配置させる工程である。硬化工程は、流動性充填材を硬化させる工程である。検査工程は、第1電極6及び第2電極8の少なくとも一方と、検査電極9との間の導通性を検査する工程である。この有機EL素子の製造方法では、検査電極9と素子電極(第1電極6及び第2電極8の少なくとも一方)との間の電気的な導通性を検査するため、流動性充填材が硬化した充填部3の硬化状態を確認することができ、充填部3の硬化不良を検出することができる。そのため、充填材が硬化不良のまま有機EL素子の製造が完了してしまうことを抑制することができ、有機EL素子の信頼性を高めることができる。   In manufacture of an organic EL element, it preferably includes a substrate placement process, a curing process, and an inspection process. The substrate disposing step is a step of disposing the support substrate 1 on which the organic light-emitting body 5 is formed and the sealing substrate 2 to face each other with a fluid filler interposed therebetween. The curing step is a step of curing the flowable filler. The inspection step is a step of inspecting conductivity between at least one of the first electrode 6 and the second electrode 8 and the inspection electrode 9. In this method of manufacturing an organic EL element, the fluid filler is cured in order to inspect the electrical continuity between the inspection electrode 9 and the element electrode (at least one of the first electrode 6 and the second electrode 8). The hardening state of the filling part 3 can be confirmed, and the hardening failure of the filling part 3 can be detected. Therefore, it can suppress that manufacture of an organic EL element is completed with a filler being hardened | cured poorly, and the reliability of an organic EL element can be improved.

有機EL素子の製造では、まず、支持基板1の上に、有機発光体5を形成する。有機発光体5の形成は、有機発光体5を構成する各層を順次に積層することにより行うことができる。有機発光体5を形成する工程は、有機発光体形成工程と呼ぶことができる。有機発光体形成工程では、例えば、まず支持基板1の表面に第1電極6を積層し、次に有機層7を積層し、その後、第2電極8を積層する。積層は、スパッタリング、蒸着、塗布の適宜の方法を層ごとに選択して行うことができる。有機層7が複層構造の場合は、有機層7の各層を順次に積層することができる。第1電極6、有機層7及び第2電極8は、有機EL素子が駆動可能なようにパターニングされて形成されていてよい。なお、支持基板1と第1電極6との間には光取り出し性を高める層が配置されてもよい。その場合、例えば、支持基板1の表面に光取り出し性を高める層(例えば樹脂層)を形成し、その樹脂層の表面に第1電極6を積層させるようにすることができる。   In the manufacture of the organic EL element, first, the organic light emitter 5 is formed on the support substrate 1. The organic light emitter 5 can be formed by sequentially stacking the layers constituting the organic light emitter 5. The step of forming the organic light emitter 5 can be referred to as an organic light emitter formation step. In the organic light emitter formation step, for example, first the first electrode 6 is laminated on the surface of the support substrate 1, then the organic layer 7 is laminated, and then the second electrode 8 is laminated. Lamination can be performed by selecting an appropriate method of sputtering, vapor deposition, and coating for each layer. When the organic layer 7 has a multilayer structure, each layer of the organic layer 7 can be sequentially stacked. The first electrode 6, the organic layer 7, and the second electrode 8 may be formed by patterning so that the organic EL element can be driven. A layer that enhances light extraction properties may be disposed between the support substrate 1 and the first electrode 6. In that case, for example, a layer (for example, a resin layer) that enhances light extraction properties can be formed on the surface of the support substrate 1, and the first electrode 6 can be laminated on the surface of the resin layer.

第1電極6の形成の際には、好ましくは、第1電極6を構成する導電層を延長させて第1電極引き出し部11を形成し、第1電極6を構成する導電層をパターニングにより分断させて、第2電極引き出し部12を形成するようにする。このとき、好ましくは、第1電極6を構成する導電層をパターニングにより分断させて検査電極9を形成する。検査電極9は、素子電極となる電極(第1電極6、第2電極8、第1電極引き出し部11及び第2電極引き出し部12)とは接触せずに離間して形成される。検査電極9を第1電極6の導電層のパターニングによって形成すると、簡単に検査電極9を形成することができる。また、検査電極9は第2電極8のパターニングによって形成されてもよい。要するに、検査電極9は、有機発光体形成工程において形成されることが好ましい。第1電極6、有機層7及び第2電極8の積層により、有機発光体5が形成される。   When forming the first electrode 6, preferably, the conductive layer constituting the first electrode 6 is extended to form the first electrode lead portion 11, and the conductive layer constituting the first electrode 6 is divided by patterning. Thus, the second electrode lead portion 12 is formed. At this time, the inspection electrode 9 is preferably formed by dividing the conductive layer constituting the first electrode 6 by patterning. The inspection electrode 9 is formed so as not to contact with the electrodes (first electrode 6, second electrode 8, first electrode lead portion 11 and second electrode lead portion 12) to be element electrodes. When the inspection electrode 9 is formed by patterning the conductive layer of the first electrode 6, the inspection electrode 9 can be easily formed. Further, the inspection electrode 9 may be formed by patterning the second electrode 8. In short, the inspection electrode 9 is preferably formed in the organic light emitter forming step. The organic light emitter 5 is formed by stacking the first electrode 6, the organic layer 7, and the second electrode 8.

有機発光体5の封止にあたっては、まず、基板配置工程として、有機発光体5が形成された支持基板1と、封止基板2とを、間に流動性充填材を挟んで対向配置させる。有機発光体5は、支持基板1と封止基板2との間に配置される。この工程では、好ましくは、有機発光体5の外周を取り囲むように流動性封止材を支持基板1の上に枠状に形成し、この流動性封止材で囲まれた部分に流動性充填材を充填する。流動性封止材は、好ましくは、ある程度の流動性を有するものの形態保持性を有しており、流動性充填材を堰き止めるための枠として機能することが可能なように構成されている。流動性充填材は、好ましくは、点状に塗布された際に、塗布された位置から若干広がる程度の流動性を有するように構成されている。もちろん、封止基板2側に流動性封止材と流動性充填材とを配置してもよいが、その場合、有機発光体5を封止性高く封止することが難しくなるおそれがあるため、支持基板1側に流動性封止材と流動性充填材とを配置することが好ましい。要するに、支持基板1と封止基板2との間に、流動性充填材と流動性封止材とが配置されていればよい。なお、流動性封止材を用いずに、流動性充填材で、接着性、封止性及び強度が得られるのであれば、流動性封止材が用いられなくてもよい。その場合、封止壁4を有さず、充填部3の側部が外部に露出した有機EL素子が形成され得る。   In sealing the organic light-emitting body 5, first, as a substrate arranging step, the support substrate 1 on which the organic light-emitting body 5 is formed and the sealing substrate 2 are disposed to face each other with a fluid filler interposed therebetween. The organic light emitter 5 is disposed between the support substrate 1 and the sealing substrate 2. In this step, preferably, the fluid sealing material is formed in a frame shape on the support substrate 1 so as to surround the outer periphery of the organic light-emitting body 5, and the portion surrounded by the fluid sealing material is fluid-filled. Fill the material. The fluid sealing material preferably has a form retaining property although it has a certain degree of fluidity, and is configured to function as a frame for damming the fluid filler. The flowable filler is preferably configured to have a fluidity that slightly spreads from the applied position when applied in the form of dots. Of course, a fluid sealing material and a fluid filler may be disposed on the sealing substrate 2 side, but in that case, it may be difficult to seal the organic light-emitting body 5 with high sealing performance. It is preferable to dispose a fluid sealing material and a fluid filler on the support substrate 1 side. In short, a fluid filler and a fluid sealing material may be disposed between the support substrate 1 and the sealing substrate 2. Note that the fluidity sealing material may not be used as long as the fluidity filler can provide adhesiveness, sealing performance, and strength without using the fluidity sealing material. In that case, the organic EL element which does not have the sealing wall 4 and the side part of the filling part 3 is exposed to the outside can be formed.

支持基板1と封止基板2との対向配置は、流動性封止材及び流動性充填材が設けられた支持基板1に、封止基板2を近づけることにより行うことができる。対向配置においては、封止基板2が流動性封止材と流動性充填材とに接触した状態で保持されることが好ましい。この保持は一時的なものであってよい。対向配置の際、流動性充填材を厚み方向に流動性封止材からやや盛り上がるように設け、封止基板2で流動性充填材を押し広げながら、封止基板2を流動性封止材に接触させてもよい。その場合、流動性充填材の充填性を高めることができる。   The opposing arrangement of the support substrate 1 and the sealing substrate 2 can be performed by bringing the sealing substrate 2 close to the support substrate 1 provided with the fluid sealing material and the fluid filler. In the opposed arrangement, it is preferable that the sealing substrate 2 is held in contact with the fluid sealing material and the fluid filler. This holding may be temporary. At the time of opposing arrangement, the fluidity filler is provided so as to rise slightly from the fluidity sealing material in the thickness direction, and the sealing substrate 2 is made into the fluidity sealing material while spreading the fluidity filler on the sealing substrate 2. You may make it contact. In that case, the filling property of the fluid filler can be improved.

支持基板1と封止基板2との対向配置の後、硬化工程として、流動性充填材を硬化させる。紫外線硬化性樹脂を用いた場合には、紫外線を照射することにより硬化させることができる。例えば、封止基板2側から紫外線を照射すると、効率よく樹脂を硬化させることができる。このとき、封止基板2は紫外線を透過させる性質を有することが好ましい。なお、熱硬化性樹脂を用いた場合には、熱硬化温度まで加熱することによって樹脂を硬化させることができる。加熱工程を含む場合、温度によっては有機EL素子を劣化させるおそれがある。そのため、紫外線硬化性樹脂を用いた場合の方がより有利である。樹脂の硬化により、流動性充填材が固化して充填部3が形成される。また、樹脂の硬化により、流動性封止材が固化して封止壁4が形成される。   After opposing arrangement | positioning of the support substrate 1 and the sealing substrate 2, a fluid filler is hardened as a hardening process. When an ultraviolet curable resin is used, it can be cured by irradiating with ultraviolet rays. For example, when ultraviolet rays are irradiated from the sealing substrate 2 side, the resin can be efficiently cured. At this time, the sealing substrate 2 preferably has a property of transmitting ultraviolet rays. In addition, when a thermosetting resin is used, the resin can be cured by heating to a thermosetting temperature. When the heating step is included, the organic EL element may be deteriorated depending on the temperature. Therefore, the case where an ultraviolet curable resin is used is more advantageous. By the curing of the resin, the fluid filler is solidified to form the filling portion 3. In addition, due to the curing of the resin, the fluid sealing material is solidified and the sealing wall 4 is formed.

検査工程では、第1電極6及び第2電極8の少なくとも一方と、検査電極9との間の電気的な導通性を検査する。検査工程は、前述のように、検査装置などを用いて行うことができる。例えば、素子電極(第1電極6又は第2電極8)と、検査電極9との間に電圧を印可し、流れる電流量が所定の値より小さい場合に硬化良好と判定し、所定の値以上の場合に硬化不良と判断することができる。電気抵抗値を用いた場合は、電気抵抗値が所定の値より大きい場合に硬化良好と判断し、電気抵抗値が所定の値以下の場合に硬化不良と判断することができる。   In the inspection process, the electrical continuity between at least one of the first electrode 6 and the second electrode 8 and the inspection electrode 9 is inspected. As described above, the inspection process can be performed using an inspection apparatus or the like. For example, when a voltage is applied between the element electrode (the first electrode 6 or the second electrode 8) and the inspection electrode 9, and the amount of flowing current is smaller than a predetermined value, it is determined that the curing is good, and is equal to or higher than the predetermined value. In this case, it can be determined that the curing is poor. When the electrical resistance value is used, it can be determined that curing is good when the electrical resistance value is greater than a predetermined value, and poor curing can be determined when the electrical resistance value is equal to or less than the predetermined value.

検査工程の後、例えば、硬化不良と判断されたものを製造のラインから外し、硬化良好と判断されたものを製造ラインに沿って次工程に送り出すことができる。それにより、充填材が硬化不良となって信頼性の低くなった有機EL素子が生産されることを抑制することができる。   After the inspection process, for example, the one determined to be poorly cured can be removed from the production line, and the one determined to be good cured can be sent to the next process along the production line. As a result, it is possible to suppress the production of an organic EL element whose filling material is poorly cured and has low reliability.

有機EL素子の製造方法では、検査工程において流動性充填材の硬化度が所定の値よりも低いと判断された場合に、硬化度が低い流動性充填材をさらに硬化させる再硬化工程を有することが好ましい。上記のように、硬化不良が発生した場合、有機EL素子が製造ラインから外すことが行われ得るが、不良となった有機EL素子を廃棄すると、生産性が悪くなるおそれがある。このような有機EL素子は、硬化が不良なこと以外は、正常な有機EL素子と同様に製造されており、硬化が十分であれば、十分に良品となり得るものである。そこで、硬化不良の有機EL素子においては、再度、流動性充填材を硬化させる工程を行うようにする。すると、硬化が十分でない流動性充填材の硬化が進行し、流動性充填材が十分に硬化した硬化良好な有機EL素子を得ることができる。そのため、材料の無駄を省くことができ、歩留まりよく信頼性の高い有機EL素子を製造することができる。   The method for manufacturing an organic EL device has a re-curing step of further curing the fluid filler having a low degree of cure when it is determined in the inspection step that the degree of cure of the fluid filler is lower than a predetermined value. Is preferred. As described above, when a curing failure occurs, the organic EL element can be removed from the production line. However, if the defective organic EL element is discarded, the productivity may be deteriorated. Such an organic EL element is manufactured in the same manner as a normal organic EL element except that the curing is poor. If the curing is sufficient, the organic EL element can be a good product. Therefore, in the poorly cured organic EL element, the process of curing the fluid filler is performed again. Then, curing of the fluid filler that is not sufficiently cured proceeds, and an organic EL element with good curing in which the fluid filler is sufficiently cured can be obtained. Therefore, waste of materials can be eliminated, and a highly reliable organic EL element can be manufactured with high yield.

再硬化工程における硬化方法は、流動性充填材を硬化させる硬化方法と同様であってよい。紫外線硬化性樹脂が用いられた場合には紫外線が照射される。熱硬化性樹脂が用いられた場合には加熱される。再硬化工程後には、再度、検査工程を行ってもよい。それにより、硬化不良が発生するのをより抑制することができるため、信頼性をさらに高めることができる。   The curing method in the re-curing step may be the same as the curing method for curing the fluid filler. When an ultraviolet curable resin is used, ultraviolet rays are irradiated. When a thermosetting resin is used, it is heated. After the re-curing process, the inspection process may be performed again. As a result, it is possible to further suppress the occurrence of poor curing, thereby further improving the reliability.

図3は、有機EL素子の製造方法の一例を示している。図3で示すように、有機EL素子の製造においては、好ましくは、複数の有機EL素子が基板で連結した有機EL素子連結体を作製し、有機EL素子連結体を個別化して有機EL素子を製造することが好ましい。この方法は、いわゆる多数個取りと呼ばれるものである。この方法では、大型の基板を用いて、複数の有機EL素子を同時に形成することができるため、有機EL素子を効率よく製造することができる。図3では、支持基板1及び封止基板2を切断する位置を切断線23として破線で示している。図3では、封止基板2の奥に設けられた有機発光体5の外縁を二点鎖線で示している。   FIG. 3 shows an example of a method for manufacturing an organic EL element. As shown in FIG. 3, in the manufacture of an organic EL element, preferably, an organic EL element connection body in which a plurality of organic EL elements are connected by a substrate is manufactured, and the organic EL element connection body is individualized to produce an organic EL element It is preferable to manufacture. This method is called so-called multi-cavity. In this method, since a plurality of organic EL elements can be simultaneously formed using a large substrate, the organic EL elements can be efficiently manufactured. In FIG. 3, positions where the support substrate 1 and the sealing substrate 2 are cut are indicated by broken lines as cutting lines 23. In FIG. 3, the outer edge of the organic light emitter 5 provided in the back of the sealing substrate 2 is indicated by a two-dot chain line.

有機EL素子連結体では、個別化前の個々の有機EL素子は、単素子10で表される。有機EL素子連結体の製造では、単素子10が複数個集まった大きさの大型のマザー支持基板21と、単素子10が複数個集まった大きさの大型のマザー封止基板22とを用いる。支持基板1は、複数個の支持基板1が連結したマザー支持基板21の一領域で構成されることになる。封止基板2は、複数個の封止基板2が連結したマザー封止基板22の一領域で構成されることになる。   In the combined organic EL element, each organic EL element before individualization is represented by a single element 10. In the manufacture of the organic EL element assembly, a large mother support substrate 21 having a size in which a plurality of single elements 10 are gathered and a large mother sealing substrate 22 having a size in which a plurality of single elements 10 are gathered are used. The support substrate 1 is configured by a region of the mother support substrate 21 in which a plurality of support substrates 1 are connected. The sealing substrate 2 is configured by a region of the mother sealing substrate 22 in which a plurality of sealing substrates 2 are connected.

有機EL素子連結体の製造は、前述した有機EL素子の製造と同様に行うことができる。このとき、マザー支持基板21の単素子10の領域ごとに有機発光体5を形成し、封止を行えばよい。複数個の有機発光体5を一度に積層形成することにより、効率よく製造することができる。   Manufacture of an organic EL element coupling body can be performed similarly to manufacture of the organic EL element mentioned above. At this time, the organic light emitter 5 may be formed and sealed for each region of the single element 10 of the mother support substrate 21. By stacking a plurality of organic light emitters 5 at a time, it can be efficiently manufactured.

有機EL素子連結体を作製して有機EL素子を製造する場合、検査工程は、個別化する前の有機EL素子連結体の状態で行われることが好ましい。個別化前に有機EL素子を検査することにより、検査検体の数が多くなることを抑制することができるため、作業の煩雑化を抑えることができ、効率よく検査することができる。また、硬化不良が見つかった際には、有機EL素子連結体ごと再硬化工程に回すことができるため、生産性を高めることができる。   When manufacturing an organic EL element coupling body and manufacturing an organic EL element, it is preferable that an inspection process is performed in the state of the organic EL element coupling body before individualization. By inspecting the organic EL element before individualization, it is possible to suppress an increase in the number of test specimens, so that it is possible to suppress complication of work and to inspect efficiently. In addition, when a curing failure is found, the entire organic EL element assembly can be sent to the re-curing step, so that productivity can be improved.

有機EL素子連結体では、導通性の検査が可能なように、検査電極9と、第1電極引き出し部11及び第2電極引き出し部12のうちの少なくとも一方とが、平面視において封止基板2から一部はみ出していることが好ましい。図3では、マザー封止基板22がマザー支持基板21よりも少し小さく形成されることにより、検査電極9、第1電極引き出し部11及び第2電極引き出し部12がマザー封止基板22からはみ出している。そのため、検査を行う際には、マザー封止基板22側から、プローブなどの検査器具を近づけて検査電極9と素子電極に接触させることができ、検査を容易に行うことができる。   In the organic EL element assembly, the test electrode 9 and at least one of the first electrode lead portion 11 and the second electrode lead portion 12 are connected to the sealing substrate 2 in a plan view so that the conductivity can be inspected. It is preferable that a part protrudes from. In FIG. 3, the mother sealing substrate 22 is formed slightly smaller than the mother support substrate 21, so that the inspection electrode 9, the first electrode lead portion 11, and the second electrode lead portion 12 protrude from the mother sealing substrate 22. Yes. Therefore, when performing inspection, an inspection instrument such as a probe can be brought close to and brought into contact with the inspection electrode 9 and the element electrode from the mother sealing substrate 22 side, and the inspection can be easily performed.

図3では、横2列、縦3列となって単素子10が6個となった有機EL素子連結体が示されているが、単素子10の数はこれに限定されるものではない。横又は縦を2列で配置した場合には、2列となった単素子10の両外側に電極(検査電極9及び素子電極)を配置させることによって、容易に電極をはみ出させることができる。もちろん、有機EL素子連結体における電極配置はこれに限られるものではない。要するに、検査工程において検査が可能なように、検査するための電極が露出されていればよい。例えば、マザー封止基板22の一部を分断するなどして、有機EL素子の個別化前にあらかじめ電極を露出させておき、この露出した電極で検査を行うようにしてもよい。具体的には、例えば、単素子10が一方向に3列以上に並んだ場合には、電極が有機EL素子連結体の内部に配置され得るが、マザー封止基板22の一部(隣り合う単素子10の間の部分)を切断して除去することにより、電極を露出させることができる。   In FIG. 3, an organic EL element coupling body in which the number of single elements 10 is six in two rows and three columns is shown, but the number of single elements 10 is not limited to this. When the horizontal or vertical positions are arranged in two rows, the electrodes can be easily protruded by arranging the electrodes (inspection electrodes 9 and element electrodes) on both outer sides of the single elements 10 in two rows. Of course, the electrode arrangement in the organic EL element assembly is not limited to this. In short, it is only necessary that the electrode for inspection is exposed so that inspection can be performed in the inspection process. For example, a part of the mother sealing substrate 22 may be divided to expose the electrodes in advance before individualizing the organic EL elements, and the inspection may be performed using the exposed electrodes. Specifically, for example, when the single elements 10 are arranged in three or more rows in one direction, the electrodes can be arranged inside the organic EL element coupling body, but a part of the mother sealing substrate 22 (adjacent to each other). The electrode can be exposed by cutting and removing the portion between the single elements 10.

検査工程の後、マザー支持基板21及びマザー封止基板22を分断して、有機EL素子を個別化する。分断は、適宜の切断装置で切断線23に沿って切断することにより行うことができる。切断線23は単素子10の境界部分に設けられる。切断装置としては、例えば、スクライバ、レーザなどの切断装置を用いることができる。   After the inspection process, the mother support substrate 21 and the mother sealing substrate 22 are divided to individualize the organic EL elements. The division can be performed by cutting along the cutting line 23 with an appropriate cutting device. The cutting line 23 is provided at the boundary portion of the single element 10. As the cutting device, for example, a cutting device such as a scriber or a laser can be used.

図3で示すように、支持基板1の切断線23と、封止基板2の切断線23とは、位置がずれて設けられていてよい。その場合、段違いに支持基板1と封止基板2とが切断される。それにより、支持基板1の表面に設けられた電極の引き出し部分を封止基板2側の面で露出させることができる。電極を露出させるためには、通常、封止基板2の切断線23は、支持基板1の切断線よりも、単素子10において内側に設けられる。電極の露出により、外部電源との接続を容易に行うことができる。   As shown in FIG. 3, the cutting line 23 of the support substrate 1 and the cutting line 23 of the sealing substrate 2 may be provided with their positions shifted. In that case, the support substrate 1 and the sealing substrate 2 are cut in steps. Thereby, the lead-out portion of the electrode provided on the surface of the support substrate 1 can be exposed on the surface on the sealing substrate 2 side. In order to expose the electrode, the cutting line 23 of the sealing substrate 2 is usually provided inside the single element 10 with respect to the cutting line of the support substrate 1. By exposing the electrodes, connection to an external power source can be easily performed.

有機EL素子連結体から単素子10を個別化することにより、有機EL素子が製造される。   An organic EL element is manufactured by individualizing the single element 10 from a combined organic EL element.

上記の有機EL素子により、照明装置を得ることができる。照明装置は、上記の有機EL素子を備える。それにより、信頼性の高い照明装置を得ることができる。照明装置は、複数の有機EL素子を面状に配置するものであってよい。照明装置は、一つの有機EL素子で構成される面状の照明体であってもよい。照明装置は、有機EL素子に給電するための配線構造を備えるものであってよい。照明装置は、有機EL素子を支持する筐体を備えるものであってよい。照明装置は、有機EL素子と電源とを電気的に接続するプラグを備えるものであってよい。照明装置は、パネル状に構成することができる。照明装置は、厚みを薄くすることができるため、省スペースの照明器具を提供することが可能である。   A lighting device can be obtained by the organic EL element. The lighting device includes the organic EL element described above. Thereby, a highly reliable lighting device can be obtained. The illuminating device may arrange a plurality of organic EL elements in a planar shape. The illumination device may be a planar illumination body composed of one organic EL element. The illumination device may include a wiring structure for supplying power to the organic EL element. The illumination device may include a housing that supports the organic EL element. The illumination device may include a plug that electrically connects the organic EL element and the power source. The lighting device can be configured in a panel shape. Since the lighting device can be made thin, it is possible to provide a space-saving lighting fixture.

(実施例1)
支持基板として、一辺の長さが50mmで、厚みが0.7mmの寸法を有する、平面視正方形状の無アルカリガラス基板を用意した。この支持基板の上に、一辺の長さ40mmの寸法を有する平面視正方形状の有機発光体を形成した。このとき、検査電極を第1電極の材料で支持基板の上に形成した。有機発光体及び検査電極の形成パターン及び配置は、図1と同様にした。有機EL素子はボトムエミッション構造とした。
(Example 1)
As a support substrate, a non-alkali glass substrate having a square shape in a plan view and having a side length of 50 mm and a thickness of 0.7 mm was prepared. On this support substrate, an organic light-emitting body having a square shape in a plan view and having a dimension of a side length of 40 mm was formed. At this time, the inspection electrode was formed on the support substrate with the material of the first electrode. The formation pattern and arrangement of the organic light emitter and the inspection electrode were the same as in FIG. The organic EL element has a bottom emission structure.

次に、支持基板の上に、有機発光体を取り囲むように四角形の枠状の堰部材を、封止壁を形成するための流動性封止材で形成した。流動性封止材は紫外線硬化性樹脂を含むものを用いた。堰部材の高さは50μm、幅は2mmにし、堰部材に囲まれた領域の平面視における寸法を一辺の長さが45mmとなるようにした。そして、堰部材の枠で囲まれた領域に、流動性充填材を充填して配置した。流動性充填材としては、紫外線硬化性エポキシ樹脂を用いた。   Next, a rectangular frame-shaped weir member was formed on the support substrate with a fluid sealing material for forming a sealing wall so as to surround the organic light-emitting body. As the fluid sealing material, one containing an ultraviolet curable resin was used. The height of the weir member was 50 μm, the width was 2 mm, and the length of one side of the region surrounded by the weir member in plan view was 45 mm. And the area | region enclosed by the frame of the weir member was filled and arrange | positioned with the fluid filler. As the fluid filler, an ultraviolet curable epoxy resin was used.

次に、封止基板として、一辺の長さが50mmで、厚みが0.7mmの寸法を有する、平面視正方形状のソーダライムガラス基板を用意した。そして、この封止基板を支持基板と対向させて配置し、封止基板を堰部材に接触させて、さらに封止部材で堰部材を押圧した。これにより、流動性充填材を押し広げて流動性充填材が支持基板と封止基板との間の間隙における堰部材で囲まれた領域に満たされるようにした。このとき、支持基板と封止基板とは、堰部材及び流動性充填材の粘性によって仮接着された。   Next, as a sealing substrate, a soda-lime glass substrate having a square shape in a plan view and having a length of one side of 50 mm and a thickness of 0.7 mm was prepared. And this sealing substrate was arrange | positioned facing the support substrate, the sealing substrate was made to contact a dam member, and the dam member was further pressed with the sealing member. As a result, the fluid filler was spread to fill the region surrounded by the weir member in the gap between the support substrate and the sealing substrate. At this time, the support substrate and the sealing substrate were temporarily bonded by the viscosity of the weir member and the fluid filler.

次いで、封止基板側から紫外線を照射し、流動性充填材と流動性封止材とを硬化させて、充填部及び封止壁を形成した。   Subsequently, the filling substrate and the sealing wall were formed by irradiating ultraviolet rays from the sealing substrate side to cure the fluid filler and the fluid sealing material.

以上により、実施例1の有機EL素子を得た。   Thus, the organic EL element of Example 1 was obtained.

(実施例2)
実施例1で用いた流動性充填材に変えて、流動性充填材として、吸湿性材料10質量%と、紫外線硬化性エポキシ樹脂90質量%とを混合したものを用いた。吸湿性材料としては、吸水性ゼオライトである東ソー株式会社製ゼオライトF−9(100#以下品)を用いた。この吸水性ゼオライトは粒子状の材料である。それ以外は、実施例1と同じ方法及び条件で有機EL素子を作製し、実施例2の有機EL素子を得た。
(Example 2)
Instead of the fluid filler used in Example 1, a mixture of 10% by mass of a hygroscopic material and 90% by mass of an ultraviolet curable epoxy resin was used as the fluid filler. As the hygroscopic material, zeolite F-9 (100 # or less) manufactured by Tosoh Corporation, which is a water-absorbing zeolite, was used. This water-absorbing zeolite is a particulate material. Other than that produced the organic EL element by the same method and conditions as Example 1, and obtained the organic EL element of Example 2. FIG.

(比較例1)
検査電極を形成しなかったこと以外は、実施例1と同じ方法及び条件で有機EL素子を作製し、比較例1の有機EL素子を得た。
(Comparative Example 1)
An organic EL element was produced by the same method and conditions as in Example 1 except that no inspection electrode was formed, and an organic EL element of Comparative Example 1 was obtained.

(比較例2)
検査電極を形成しなかったこと以外は、実施例2と同じ方法及び条件で有機EL素子を作製し、比較例2の有機EL素子を得た。
(Comparative Example 2)
An organic EL element was produced by the same method and conditions as in Example 2 except that the inspection electrode was not formed, and an organic EL element of Comparative Example 2 was obtained.

(良品判定率評価)
各実施例及び比較例において、それぞれ100個以上の有機EL素子を作製した。得られた有機EL素子の個々について、電極間の電流値をケースレー社製ソースメータ2400にて計測した。実施例1及び2では、第1電極と検査電極との間、又は、第2電極と検査電極との間における、7V印可時の電流値を計測した。比較例1及び2では、第1電極と第2電極との間における、−7V印可時の電流値を計測した。なお、比較例1及び2では発光層を発光させる方向(正方向)とは逆方向で電流が流れるように電圧を印可しているため、電圧の符号がマイナスとなっている。すなわち、逆バイアス電流を調べている。ここで、流動性充填材が硬化していないと、電極間に電極が流れやすくなる。比較例は、逆方向であえて電圧を印可することによって、逆バイアス電流が流れるか及びその電流量を調べて、硬化状態を確認する方法である。
(Quality assessment rate evaluation)
In each example and comparative example, 100 or more organic EL elements were produced. About each of the obtained organic EL element, the electric current value between electrodes was measured with the source meter 2400 by a Keithley company. In Examples 1 and 2, the current value when 7 V was applied was measured between the first electrode and the inspection electrode or between the second electrode and the inspection electrode. In Comparative Examples 1 and 2, the current value when -7 V was applied between the first electrode and the second electrode was measured. In Comparative Examples 1 and 2, since the voltage is applied so that the current flows in the direction opposite to the direction in which the light emitting layer emits light (forward direction), the sign of the voltage is negative. That is, the reverse bias current is examined. Here, when the fluid filler is not cured, the electrodes easily flow between the electrodes. The comparative example is a method of confirming the cured state by examining whether the reverse bias current flows and the amount of the current by applying a voltage in the reverse direction.

硬化状態の良否判定においては、あらかじめ、紫外線硬化度と電流量との関係を調べておき、電流量がもっとも低くなったときを完全に硬化している状態とし、紫外線を照射する前を全く未硬化の状態とした。そして、電流量が所定の値より小さいものを良とし、電流量が所定の値かそれより大きいものを不良とした。電流量は、FI−IRでの残留エポキシ基量率と相関しており、電流量の値から硬化性を判断することができる。   In determining the quality of the cured state, the relationship between the degree of UV curing and the amount of current is examined in advance, and when the amount of current is the lowest, the state is completely cured. A cured state was assumed. A current amount smaller than a predetermined value was judged good, and a current amount smaller than a predetermined value was judged bad. The amount of current correlates with the amount of residual epoxy groups in FI-IR, and the curability can be determined from the value of the amount of current.

さらに、信頼性評価として、個々の有機EL素子の全てについて、温度85℃、湿度85%、1000時間後での発光効率の評価にかけ、規定効率と対比して良品又は不良品の判定を行った。発光効率の評価では、規定の効率と同じかそれよりも発光効率が高かったものが良となり、規定の効率よりも発光効率が低かったものが不良となる。   Furthermore, as a reliability evaluation, all the organic EL elements were evaluated for luminous efficiency after 1000 hours at a temperature of 85 ° C. and a humidity of 85%, and a non-defective product or a defective product was determined in comparison with the specified efficiency. . In the evaluation of the luminous efficiency, those having the same or higher luminous efficiency than the prescribed efficiency are good, and those having the luminous efficiency lower than the prescribed efficiency are bad.

以上のようにして、電極間の電流値からの硬化状態の良否判定と、所定の条件で放置した後の発光効率の良否判定との2種の判定を行った。発光効率の良否判定は、有機EL素子の信頼性を製造完了後に評価することができる方法である。   As described above, two kinds of determinations were performed, namely, the determination of the quality of the cured state based on the current value between the electrodes, and the determination of the quality of the luminous efficiency after being left under a predetermined condition. The determination of whether or not the luminous efficiency is good is a method by which the reliability of the organic EL element can be evaluated after the completion of manufacturing.

表1は、不良品検出率の結果を示している。この表では、発光効率の評価(信頼性評価)において不良と判断されたものに対して、電極間の電流値から硬化状態が不良と判断されたものの比率を%で表している。発光効率の良否判定においては100%不良が検出されるものと考えられる。   Table 1 shows the result of the defective product detection rate. In this table, the ratio of what is determined to be defective from the current value between the electrodes to what is determined to be defective in the evaluation of luminous efficiency (reliability evaluation) is expressed in%. It is considered that 100% failure is detected in the light emission efficiency determination.

比較例1、2では、不良品検出率が低くなっている。すなわち、硬化状態の良否判定において良とされたものが、発光効率の良否判定において不良とされた比率が高くなっている。一方、実施例1、2では、比較例よりも、不良品検出率が高くなっている。すなわち、発光効率の良否判定において不良とされたものは、硬化状態の良否判定でも不良となっており、不良の検出率が比較例よりも高くなっている。   In Comparative Examples 1 and 2, the defective product detection rate is low. That is, the ratio of what is determined to be good in the quality determination of the cured state to high in the quality determination of the light emission efficiency is high. On the other hand, in Examples 1 and 2, the defective product detection rate is higher than in the comparative example. That is, what is determined to be defective in the light emission efficiency determination is also defective in the cured state determination, and the defect detection rate is higher than in the comparative example.

検査電極を設けた場合、発光効率の良否判定(信頼性評価)を行うよりも前に、検査電極を用いた導通性の検査で不良を検出することができるため、不良の検出をより簡単に行うことができる。また、不良検出率は、逆バイアス電流によって判断したときよりも高い。そのため、良否判定を効率よく行うことができ、歩留まりよく有機EL素子を製造し、製造効率を高めることができる。   When a test electrode is provided, it is possible to detect a defect by conducting a continuity test using the test electrode before making a light emission efficiency determination (reliability evaluation). It can be carried out. Also, the defect detection rate is higher than when judged by the reverse bias current. Therefore, the quality determination can be performed efficiently, the organic EL element can be manufactured with a high yield, and the manufacturing efficiency can be increased.

ところで、吸湿性材料としてゼオライトを含有した場合、流動性充填材は透明性が低下して、紫外線を透過しにくくなって、紫外線照射のムラが生じやすくなる。比較例2において、比較例1よりも検出率が低下しているのは、紫外線照射のムラを起因とする逆バイアス電流の分布のムラができるためであると考えられる。しかしながら、実施例2では、検査電極を用いて検査しており、逆バイアス電流で検査を行わなくてもよいため、判定の精度を高めることができる。したがって、検査電極を設けると、充填部が吸湿性材料を含んだ場合において、より信頼性を高めることができる。   By the way, when a zeolite is contained as a hygroscopic material, the fluid filler is reduced in transparency and becomes difficult to transmit ultraviolet rays, and unevenness in ultraviolet irradiation is likely to occur. The reason why the detection rate in Comparative Example 2 is lower than that in Comparative Example 1 is considered to be due to unevenness of the reverse bias current distribution caused by unevenness of ultraviolet irradiation. However, in the second embodiment, the inspection is performed using the inspection electrode, and the inspection does not need to be performed with the reverse bias current. Therefore, the determination accuracy can be improved. Therefore, when the inspection electrode is provided, the reliability can be further improved when the filling portion contains a hygroscopic material.

Figure 2015076195
Figure 2015076195

1 支持基板
2 封止基板
3 充填部
4 封止壁
5 有機発光体
6 第1電極
7 有機層
8 第2電極
9 検査電極
10 単素子
11 第1電極引き出し部
12 第2電極引き出し部
21 マザー支持基板
22 マザー封止基板
23 切断線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support substrate 2 Sealing substrate 3 Filling part 4 Sealing wall 5 Organic light-emitting body 6 1st electrode 7 Organic layer 8 2nd electrode 9 Inspection electrode 10 Single element 11 1st electrode extraction part 12 2nd electrode extraction part 21 Mother support Substrate 22 Mother sealing substrate 23 Cutting line

Claims (8)

第1電極、第2電極、及び、前記第1電極と前記第2電極との間に配置された有機層を有する有機発光体と、前記有機発光体を支持する支持基板と、前記支持基板に対向して配置される封止基板とを備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、
前記支持基板と前記封止基板との間の間隙は、流動性充填材により形成された充填部が、前記有機層と接して設けられ、
前記第1電極及び前記第2電極と離間し、前記充填部に接する検査電極が、前記支持基板と前記封止基板とで封止された内部から外部に延伸して設けられていることを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス素子。
A first electrode, a second electrode, an organic light emitter having an organic layer disposed between the first electrode and the second electrode, a support substrate for supporting the organic light emitter, and the support substrate; An organic electroluminescence device comprising a sealing substrate disposed opposite to the substrate,
The gap between the support substrate and the sealing substrate is provided with a filling portion formed of a fluid filler in contact with the organic layer,
An inspection electrode that is separated from the first electrode and the second electrode and is in contact with the filling portion is provided to extend from the inside sealed by the support substrate and the sealing substrate to the outside. An organic electroluminescence element.
前記検査電極は、平面視において、前記第1電極及び前記第2電極と重ならずに設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence element according to claim 1, wherein the inspection electrode is provided without overlapping the first electrode and the second electrode in a plan view. 前記流動性充填材は紫外線硬化性樹脂を含み、
前記検査電極は、前記支持基板に支持されて形成されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
The flowable filler includes an ultraviolet curable resin,
The organic electroluminescence element according to claim 1, wherein the inspection electrode is supported by the support substrate.
前記充填部は、吸湿性材料を含有することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence element according to claim 1, wherein the filling portion contains a hygroscopic material. 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記有機発光体が形成された前記支持基板と、前記封止基板とを、間に流動性充填材を挟んで対向配置させる基板配置工程と、
前記流動性充填材を硬化させる硬化工程と、
前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも一方と、前記検査電極との間の導通性を検査する検査工程と、
を有することを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
It is a manufacturing method of the organic electroluminescent element of any one of Claims 1 thru | or 4, Comprising:
A substrate placement step of placing the support substrate on which the organic light-emitting body is formed and the sealing substrate so as to face each other with a fluid filler interposed therebetween;
A curing step of curing the flowable filler;
An inspection step of inspecting conductivity between at least one of the first electrode and the second electrode and the inspection electrode;
A method for producing an organic electroluminescence element, comprising:
前記検査工程において流動性充填材の硬化度が所定の値よりも低いと判断された場合に、硬化度が低い前記流動性充填材をさらに硬化させる再硬化工程を有することを特徴とする、請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   When the degree of cure of the fluid filler is determined to be lower than a predetermined value in the inspection step, the method further comprises a re-curing step of further curing the fluid filler having a low degree of cure. Item 6. A method for producing an organic electroluminescent element according to Item 5. 前記支持基板は、複数個が連結したマザー支持基板の一領域で構成され、
前記封止基板は、複数個が連結したマザー封止基板の一領域で構成され、
前記検査工程の後、前記マザー支持基板及び前記マザー封止基板を分断して、当該有機エレクトロルミネッセンス素子を個別化することを特徴とする、請求項5又は6に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
The support substrate is composed of one region of a mother support substrate in which a plurality are connected,
The sealing substrate is composed of one region of a mother sealing substrate in which a plurality are connected,
The organic electroluminescence element according to claim 5 or 6, wherein after the inspection step, the mother support substrate and the mother sealing substrate are divided to individualize the organic electroluminescence element. Method.
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を備えた照明装置。   The illuminating device provided with the organic electroluminescent element of any one of Claims 1 thru | or 4.
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