KR20170077916A - Flexible Organic Light Emitting Diode Display Embedding In-Cell Touch Sensor - Google Patents

Flexible Organic Light Emitting Diode Display Embedding In-Cell Touch Sensor Download PDF

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KR20170077916A
KR20170077916A KR1020150187545A KR20150187545A KR20170077916A KR 20170077916 A KR20170077916 A KR 20170077916A KR 1020150187545 A KR1020150187545 A KR 1020150187545A KR 20150187545 A KR20150187545 A KR 20150187545A KR 20170077916 A KR20170077916 A KR 20170077916A
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이승현
최형진
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 유기발광 다이오드 표시장치는, 플렉서블 베이스 필름, 표시 소자 층, 인-캡 박막층, 접착층, 터치 박막층, 보호 절연막, 투명 자외선 차단막, 편광 필름을 포함한다. 표시 소자층은, 플렉서블 베이스 필름 위에 형성된, 화상을 구현하는 표시 영역과 표시 영역에서 연장되는 패드 부를 구비한다. 인-캡 박막층은, 표시 소자 층을 밀봉한다. 접착층은, 인-캡 박막층 상부 표면 전체에 도포된다. 터치 박막층은, 접착층과 면접착된다. 보호 절연막은, 터치 박막층의 상부 표면 전체에 도포된다. 투명 자외선 차단막은, 보호 절연막 상부 표면 전체에 도포된다. 편광 필름은, 투명 자외선 차단막 상부 표면에 부착된다.The present invention relates to a flexible organic light emitting diode display device incorporating an in-cell touch sensor. The organic light emitting diode display device according to the present invention includes a flexible base film, a display element layer, an in-cap thin film layer, an adhesive layer, a touch thin film layer, a protective insulating film, a transparent ultraviolet shielding film, and a polarizing film. The display element layer has a display region formed on the flexible base film and implementing a picture and a pad portion extending in the display region. The in-cap thin film layer seals the display element layer. The adhesive layer is applied to the entire upper surface of the in-cap thin film layer. The touch thin film layer is adhesively bonded to the adhesive layer. The protective insulating film is applied to the entire upper surface of the touch thin film layer. The transparent ultraviolet shielding film is applied to the entire upper surface of the protective insulating film. The polarizing film is attached to the upper surface of the transparent ultraviolet shielding film.

Description

인셀 터치 센서 내장형 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치{Flexible Organic Light Emitting Diode Display Embedding In-Cell Touch Sensor}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a flexible organic light emitting diode

본 발명은 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치에 관한 것이다. 특히, 레이저를 이용하여 강성 기판에서 플렉서블 기판을 분리함에 있어서, 레이저에 의한 유기발광 소자의 손상을 방지하는 구조를 갖는 인-셀 터치 센서 내장형 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible organic light emitting diode display device incorporating an in-cell touch sensor. In particular, the present invention relates to an in-cell touch sensor built-in flexible organic light emitting diode display device having a structure for preventing the damage of an organic light emitting device by a laser in separating a flexible substrate from a rigid substrate by using a laser.

음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되어 왔다. 평판 표시장치에는, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display, FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP) 및 전계발광장치 (Electroluminescence Device, EL) 등이 있다.Various flat panel display devices have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. A flat panel display device includes a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP), and an electroluminescence device (EL) have.

전계발광 표시장치는 발광층의 재료에 따라 무기 전계발광 표시장치와 유기발광 다이오드 표시장치로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 도 1은 유기발광 다이오드의 구조를 나타내는 도면이다. 유기발광 다이오드는 도 1과 같이 전계발광하는 유기 전계발광 화합물층과, 유기 전계발광 화합물층을 사이에 두고 대향하는 캐소드(Cathode) 및 애노드 (Anode)를 포함한다. 유기전계발광 화합물층은 정공주입층(Hole injection layer, HIL), 정공수송층(Hole transport layer, HTL), 발광층(Emission layer, EML), 전자수송층(Electron transport layer, ETL) 및 전자주입층(Electron injection layer, EIL)을 포함한다.An electroluminescent display device is divided into an inorganic electroluminescent display device and an organic light emitting diode display device depending on the material of the light emitting layer, and is self-luminous device that emits itself, has a high response speed, and has a large luminous efficiency, brightness and viewing angle. 1 is a view showing a structure of an organic light emitting diode. The organic light emitting diode includes an organic electroluminescent compound layer that electroluminesces as shown in FIG. 1, and a cathode and an anode that face each other with an organic electroluminescent compound layer interposed therebetween. The organic electroluminescent compound layer includes a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an emission layer (EML), an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer layer, EIL).

유기발광 다이오드는 애노드(Anode)와 캐소드(Cathode)에 주입된 정공과 전자가 발광층(EML)에서 재결합할 때의 여기 과정에서 여기자(excition)가 형성되고 여기자로부터의 에너지로 인하여 발광한다. 유기발광 다이오드 표시장치는 도 1과 같은 유기발광 다이오드의 발광층(EML)으로부터 발생되는 빛의 양을 전기적으로 제어하여 영상을 표시한다.In the organic light emitting diode, an excitation is formed in the excitation process when the holes and electrons injected into the anode and the cathode recombine in the light emitting layer (EML), and the organic light emitting diode emits light due to energy from the exciton. The organic light emitting diode display device displays an image by electrically controlling the amount of light generated from the emission layer (EML) of the organic light emitting diode as shown in FIG.

전계발광 소자인 유기발광 다이오드의 특징을 이용한 유기발광 다이오드 표시장치에는 패시브 매트릭스 타입의 유기발광 다이오드 표시장치와 액티브 매트릭스 타입의 유기발광 다이오드 표시장치로 대별된다. 또한, 빛이 방출되는 방향에 따라 상부 발광(Top-Emission) 방식과 하부 발광(Bottom-Emission) 방식 등으로 구분된다.The organic light emitting diode display device using the characteristics of the organic light emitting diode, which is an electroluminescent device, is divided into a passive matrix type organic light emitting diode display device and an active matrix type organic light emitting diode display device. In addition, depending on the direction in which the light is emitted, it is classified into a top-emission type and a bottom-emission type.

액티브 매트릭스 타입의 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치(Flexible AMOLED)는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT)를 이용하여 유기발광 다이오드에 흐르는 전류를 제어하여 화상을 표시한다. 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치는 유연성이 있는 폴리이미드(Polyimide) 물질을 얇게 형성한 기판 위에 액티브 매트릭스 타입의 유기발광 다이오드 패널을 완성한 후, 보호 캡, 배리어 필름, 원편광 필름, 구동 IC 실장을 위한 회로 필름(COF: Circuit On Film) 및 COF와의 외부 회로 기판(Printed Circuit Board, PCB) 연결, 그리고 커버 기판 등의 적층을 통한 표시패널 모듈을 제조한다.An active matrix type flexible organic light emitting diode display device (flexible AMOLED) displays an image by controlling a current flowing in an organic light emitting diode using a thin film transistor (TFT). Flexible Organic Light Emitting Diode (OLED) display devices have completed the development of active matrix type organic light emitting diode (OLED) panels on a thin substrate of flexible polyimide material, and have developed protective cap, barrier film, circular polarization film, A printed circuit board (PCB) connection with a film (COF: Circuit On Film) and a COF, and a cover substrate.

이하, 도 2a 내지 2g를 참조하여, 종래 기술에 의한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 과정을 설명한다. 도 2a 내지 2g는 종래 기술에 의한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 과정을 나타낸 단면도들이다.Hereinafter, a process for manufacturing a conventional flexible organic light emitting diode display device will be described with reference to FIGS. 2A to 2G. FIGS. 2A to 2G are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing a conventional flexible organic light emitting diode display device according to the related art.

충분한 강성을 갖는 베이스 기판(GS)을 준비한다. 여기서, 충분한 강성이란 베이스 기판(GS) 위에 소자를 형성하기 위해 제조 장비들 사이에서 이송 및 반송, 그리고 증착 공정을 반복하는데, 이 과정에서 베이스 기판(GS)이 소자의 품질에 영향을 주지 않을 정도로 휘어지거나 변형이 발생지 않고 평탄도를 유지하는 강성을 말한다.A base substrate GS having sufficient rigidity is prepared. Here, the sufficient rigidity means that the transfer and transport and the deposition process are repeated between manufacturing equipments in order to form an element on the base substrate GS, in which the base substrate GS does not affect the quality of the device Refers to rigidity that maintains flatness without bending or deforming.

베이스 기판(GS) 위에 절연 및 평탄화 향상을 위해 질화 실리콘을 포함하는 버퍼 층(NL)을 전면 증착한다. 버퍼 층(NL) 위에 아몰퍼스 실리콘을 포함하는 실리콘 층(SL)을 전면 도포한다. 그리고, 실리콘 층(SL) 위에 폴리이미드를 포함하는 유기 층(PL)을 도포한다. (도 2a)A buffer layer (NL) comprising silicon nitride is deposited over the base substrate (GS) for improved isolation and planarization. A silicon layer (SL) containing amorphous silicon is entirely coated on the buffer layer (NL). Then, an organic layer PL including polyimide is coated on the silicon layer SL. (Fig. 2A)

유기 층(PL) 위에 표시 소자 층(TOL)을 형성한다. 표시 소자 층(TOL)은 화상을 구현하는 표시 영역과 표시 영역에서 연장되는 패드 부를 포함한다. 본 실시 예의 경우, 박막 트랜지스터와 화소 영역이 액티브 매트릭스 방식으로 배열되고, 각 화소 영역에는 박막 트랜지스터에 의해 구동되는 유기발광 다이오드가 형성된 유기발광 다이오드 표시소자를 포함하는 표시 소자 층(TOL)을 형성한다.A display element layer TOL is formed on the organic layer PL. The display element layer TOL includes a display region for realizing an image and a pad portion extending in the display region. In this embodiment, the display element layer TOL including the organic light emitting diode display elements in which the thin film transistors and the pixel regions are arranged in an active matrix manner and the organic light emitting diodes driven by the thin film transistors are formed in each pixel region is formed .

표시 소자 층(TOL) 위에는, 화상 구현 능력을 향상하기 위한 여러 표시 요소들을 더 형성하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 표시 소자 층(TOL)은 박막 필름형 캡(TFE)으로 밀봉하여 표시 소자를 수분 및 가스로부터 보호한다. 표시 소자 층(TOL)은 유기 층(PL)의 일부분 내에 형성된다.On the display element layer TOL, it is preferable to further form a plurality of display elements for improving the image implementation ability. For example, the display element layer TOL is sealed with a thin film-type cap (TFE) to protect the display element from moisture and gas. The display element layer TOL is formed in a part of the organic layer PL.

도 2b에서 오른쪽 끝단까지 표시 소자 층(TOL)이 연결된 모양으로 나타나있는데, 이 부분은 표시 소자에서 연장된 패드 부와 연결 배선을 나타낸다. 따라서, 표시 소자 층(TOL)의 표시 소자들은 박막 필름형 캡(TFE)로 완전히 밀봉된 상태를 유지한다. (도 2b)In FIG. 2B, a display element layer (TOL) is shown connected to the right end, which represents a pad portion extending from the display element and a connection wiring. Therefore, the display elements of the display element layer TOL are kept completely sealed with the thin film film type cap (TFE). (Figure 2b)

박막 필름형 캡(TFE)의 밀봉 능력 및 강성을 보완하기 위해, 배리어 필름(BF)으로 박막 필름형 캡(TFE)를 포함한 표시 소자 층(TOL)의 표시 소자 영역을 밀봉한다. 배리어 필름(BF) 위에 원편광 필름(CP)을 부착한다. 이때, 원편광 필름(CP)은 화상 데이터의 빛이 출사하는 표시소자 영역을 완전히 덮도록 배치하는 것이 바람직하다. (도 2c)The display element region of the display element layer TOL including the thin film type cap (TFE) is sealed with the barrier film (BF) in order to compensate the sealing ability and rigidity of the thin film type cap (TFE). A circular polarizing film (CP) is attached on the barrier film (BF). At this time, it is preferable that the circular polarizing film CP is disposed so as to completely cover the display element region where the light of image data is emitted. (Fig. 2C)

표시 패널의 일측면으로 (도면에서는 오른쪽 측부) 노출된 패드 부 위에 표시패널을 구동하기 위한 구동 IC가 장착된 필름형 회로기판(COF)을 부착한다. 상기와 같이 표시 소자, 박막형 필름 캡(TFE), 배리어 필름(BF), 원편광 필름(CP) 및 필름형 회로기판(COF) 등이 부착된 표시 패널의 단면 형상은, 도 2c에서 도시한 바와 같이, 단차가 심한 형상을 갖는다. 이 상태에서 최종 커버 기판을 부착할 경우, 커버 기판의 평탄도를 확보하기 못하면, 단차로 인한 틈새를 통해 수분과 활성 기체들이 표시소자 내부로 침투할 여지가 있다.A film-like circuit board (COF) having a driving IC for driving the display panel is mounted on a pad portion exposed on one side of the display panel (right side in the drawing). The sectional shape of the display panel to which the display element, the thin film type cap (TFE), the barrier film (BF), the circular polarization film (CP) and the film type circuit board (COF) Likewise, the step has a severe shape. If the flatness of the cover substrate is not ensured when the final cover substrate is attached in this state, moisture and active gases may penetrate into the display device through the gap due to the step difference.

또한, 패드 부에 부착된 필름형 회로기판(COF)의 접착 성능이 이후 제조 공정에서 계속 유지되도록 하는 것이 중요하다. 따라서, 필름형 회로기판(COF)이 부착 성능을 보완하고, 이 부분에서 발생한 단차 형상을 보상하기 위한 보강 접착제(TUF)를 도포한다. 보강 접착제(TUF)는 원편광 필름(CP)의 높이와의 평탄성을 유지하도록 하기 위해 아크릴(Acryl) 계열 또는 실리콘(Silicon) 계열의 유기 접착물질을 포함하는 것이 바람직하다.It is also important that the adhesive performance of the film-like circuit board (COF) attached to the pad portion is maintained in the subsequent manufacturing process. Therefore, the film-like circuit board (COF) is coated with a reinforcing adhesive (TUF) for compensating the adhesion performance and compensating for the stepped shape generated at this portion. It is preferable that the reinforcing adhesive (TUF) includes an organic adhesive material of acrylic series or silicon series in order to maintain flatness with the height of the circular polarizing film CP.

특히, 패드 부와 접착된 필름형 회로기판(COF)의 단자부의 상면과, 패드 부와 표시 배리어 필름(BF) 사이에서 노출된 표시소자 층 상부 부분의 공간을 모두 메우도록 도포하는 것이 바람직하다. 더 바람직하게는 패드 부와 연결된 필름형 인쇄기판(COF)의 상부면을 포함하여, 유기 층(PL)의 끝변에서 원편광판(CP) 사이의 공간을 모두 메우도록 도포하는 것이 좋다. (도 2d)In particular, it is preferable to coat the upper surface of the terminal portion of the film-like circuit board (COF) adhered to the pad portion and the space of the upper portion of the display element layer exposed between the pad portion and the display barrier film (BF). It is more preferable to coat the space between the circular polarizer plates CP at the end of the organic layer PL including the upper surface of the film type printed substrate (COF) connected to the pad part. (Figure 2d)

보강 접착제(TUF)로 필름형 회로기판(COF)의 접착 강도를 보강한 후에, 베이스 기판(GS) 전면에 접착층(ADH)을 전면 도포한다. 특히, 유기 층(PL)의 평면 면적 전체에 대응하는 영역 위에서 표면이 편평하게 도포하는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에서는 빛의 발광 방향이 원편광 필름(CP)이 부착된 방향으로 진행한다. 따라서, 접착층(ADH)은 광학적으로 투명도가 높은 것이 바람직하다. 또한, 단차가 심한 베이스 기판(GS)의 표면을 평탄화 시킬 수 있도록 유기물질을 포함하는 것이 바람직하다. 특히, 자외선으로 경화되는 광학성 접착제(Optical Bond)를 포함하는 것이 더 바람직하다.After the adhesive strength of the film-like circuit board (COF) is reinforced by the reinforcing adhesive (TUF), the adhesive layer (ADH) is entirely coated on the entire surface of the base substrate GS. In particular, it is preferable that the surface is flatly applied over a region corresponding to the entire plane area of the organic layer PL. Further, in the present invention, the light emission direction proceeds in a direction in which the circular polarizing film CP is attached. Therefore, it is preferable that the adhesive layer ADH has a high optical transparency. Further, it is preferable to include an organic material so as to planarize the surface of the base substrate GS having a large level difference. Particularly, it is more preferable to include an optical adhesive which is cured with ultraviolet rays (Optical Bond).

접착층(ADH)은, 아크릴레이트 에스터(Acrylate Esters), 아크릴레이트 우레탄(Acrylate Urethanes), 머캡턴(Mercaptons) 계열 및 광 개시제(Photoinitiator) 계열의 물질을 포함하는 유기 광학 접착제를 포함하는 것이 바람직하다. 접착층(ADH)은 베이스 기판(GS) 위에 부착된 모든 요소들을 완전히 덮도록 특히, 필름형 회로기판(COF)을 고정하는 보강 접착제(TUF) 상부도 완전히 덮도록 도포하여 부착력을 확보하고, 밀봉성을 향상하는 것이 바람직하다. (도 2e)The adhesive layer (ADH) preferably comprises an organic optical adhesive including materials of the Acrylate Esters, Acrylate Urethanes, Mercaptons series and Photoinitiator series. The adhesive layer ADH is applied so as to completely cover all the elements attached on the base substrate GS, in particular, to completely cover the upper portion of the reinforcing adhesive (TUF) for fixing the film type circuit board (COF) . (Figure 2E)

접착층(ADH)을 매개로 하여 커버 기판(CG)을 부착한다. 커버 기판(CG)까지 부착을 완료하여 표시패널을 완성한 후, 베이스 기판(GS)의 외부에서 532nm의 파장대를 갖는 녹색 레이저(LA)를 실리콘 층(SL) 내로 조사한다. 특히, 베이스 기판(GS) 전체 면적에 대해 고르게 스캔하여, 실리콘 층(SL) 전체에 고르게 조사되도록 한다. 그 결과, 실리콘 층(SL)의 아몰퍼스 실리콘이 결정화되어 베이스 기판(GS)과 폴리이미드를 포함하는 유기층(PL)이 분리된다. 즉, 제조 공정상의 강성을 위해 사용한 베이스 기판(GS)과 경박-유연 성질을 갖는 유기 층(PL) 상에 형성된 표시패널을 서로 분리할 수 있다. (도 2f)The cover substrate CG is attached via the adhesive layer ADH. After completing the attachment to the cover substrate CG to complete the display panel, a green laser LA having a wavelength band of 532 nm from the outside of the base substrate GS is irradiated into the silicon layer SL. Particularly, the entire area of the base substrate GS is uniformly scanned, and uniformly irradiated onto the entirety of the silicon layer SL. As a result, the amorphous silicon of the silicon layer SL is crystallized to separate the base substrate GS and the organic layer PL including polyimide. That is, the base substrate GS used for rigidity in the manufacturing process and the display panel formed on the organic layer PL having light-weight-pliability can be separated from each other. (Figure 2f)

베이스 기판(GS)에서 분리된 표시패널의 유기 층(PL)은 매우 얇고 유연한 성질을 갖는다. 따라서, 유기 층(PL)을 보호하기 위한 보호 필름(PF)를 더 부착하는 것이 바람직하다. 또한, 표시패널의 필름형 회로기판(COF)를 외부의 회로 기판(PCB)와 연결함으로써, 표시패널 모듈을 완성한다. 연성이 강한 필름형 회로기판(COF)이 접착층(ADH)에 의해 커버 기판(CG)와 합착되어 있으므로, 충분한 강성을 확보할 수 있다. 이 상태에서 외부 회로기판(PCB)를 필름형 회로기판(COF)와 연결하는데 신뢰도 문제가 발생하지는 않는다. (도 2g)The organic layer PL of the display panel separated from the base substrate GS has a very thin and flexible property. Therefore, it is preferable to further attach a protective film (PF) for protecting the organic layer PL. Further, the display-panel module is completed by connecting the film-like circuit board (COF) of the display panel to an external circuit board (PCB). Since the film type circuit board COF having high ductility is adhered to the cover substrate CG by the adhesive layer ADH, sufficient rigidity can be ensured. In this state, there is no reliability problem in connecting the external circuit board (PCB) to the film type circuit board (COF). (Figure 2g)

이상 두꺼운 유리 기판이 아닌 얇고 유연성이 있는 유기 층 위에 형성된 유기전계 발광 표시장치에 대해 설명하였다. 이상과 같은 유기발광 다이오드 표시장치에 터치 입력 센서를 부착하는 경우, 표시장치의 전체 두께도 두꺼워지며, 유연성도 많이 저하된다. 따라서, 자유롭게 구부리거나 접을 수 있는 터치 센서 내장형 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치로 개발하기에는 아직도 해결해야 할 문제들이 많다.An organic electroluminescent display device formed on a thin and flexible organic layer rather than a thick glass substrate has been described. When the touch input sensor is attached to the organic light emitting diode display device as described above, the overall thickness of the display device is increased, and the flexibility is also greatly reduced. Therefore, there are still many problems that need to be solved to develop flexible organic light emitting diode display device with built-in touch sensor capable of flexing and folding freely.

본 발명의 목적은 상기 종래 기술의 문제점들을 해결하고자 안출 된 발명으로써, 접거나 구부러지더라도 손상되지 않고 정상적인 표시 기능을 유지하는 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제공하는 데 있다. 본 발명의 다른 목적은, 터치 센서를 내장하고도 접거나 구부릴 수 있는 인-셀 터치 방식의 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제공하는 데 있다. 본 발명의 또 다른 목적은, 강성 기판에서 플렉서블 표시장치를 분리하는 과정에서 레이저에 의해 유기발광 층이 손상되는 것을 방지할 수 있는 인-셀 터치 방식의 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a flexible organic light emitting diode display device that maintains normal display function without being damaged even if it is folded or bent. It is another object of the present invention to provide an in-cell touch flexible organic light emitting diode display device having a built-in touch sensor and being foldable or bendable. Another object of the present invention is to provide an in-cell touch flexible organic light emitting diode display device capable of preventing the organic light emitting layer from being damaged by a laser in the process of separating the flexible display device from the rigid substrate .

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 유기발광 다이오드 표시장치는, 플렉서블 베이스 필름, 표시 소자 층, 인-캡 박막층, 접착층, 터치 박막층, 보호 절연막, 투명 자외선 차단막, 편광 필름을 포함한다. 표시 소자층은, 플렉서블 베이스 필름 위에 형성된, 화상을 구현하는 표시 영역과 표시 영역에서 연장되는 패드 부를 구비한다. 인-캡 박막층은, 표시 소자 층을 밀봉한다. 접착층은, 인-캡 박막층 상부 표면 전체에 도포된다. 터치 박막층은, 접착층과 면접착된다. 보호 절연막은, 터치 박막층의 상부 표면 전체에 도포된다. 투명 자외선 차단막은, 보호 절연막 상부 표면 전체에 도포된다. 편광 필름은, 투명 자외선 차단막 상부 표면에 부착된다.In order to achieve the above object, an organic light emitting diode display device according to the present invention includes a flexible base film, a display element layer, an in-cap thin film layer, an adhesive layer, a touch thin film layer, a protective insulating film, a transparent ultraviolet shielding film, and a polarizing film. The display element layer has a display region formed on the flexible base film and implementing a picture and a pad portion extending in the display region. The in-cap thin film layer seals the display element layer. The adhesive layer is applied to the entire upper surface of the in-cap thin film layer. The touch thin film layer is adhesively bonded to the adhesive layer. The protective insulating film is applied to the entire upper surface of the touch thin film layer. The transparent ultraviolet shielding film is applied to the entire upper surface of the protective insulating film. The polarizing film is attached to the upper surface of the transparent ultraviolet shielding film.

일례로, 폴리이미드 박막층과 버퍼층을 더 포함한다. 폴리이미드 박막층은, 베이스 필름과 표시 소자 층 사이에 개재된다. 버퍼층은, 표시 소자 층과 폴리이미드 박막 층 사이에 개재된다.As an example, it further includes a polyimide thin film layer and a buffer layer. The polyimide thin film layer is interposed between the base film and the display element layer. The buffer layer is interposed between the display element layer and the polyimide thin film layer.

일례로, 투명 자외선 차단막은, 300nm 내지 400nm 파장대 레이저의 투과율이 70% 이하이다.For example, the transmittance of a 300 nm to 400 nm wavelength band laser is 70% or less in a transparent ultraviolet shielding film.

일례로, 투명 자외선 차단막은, 인듐-아연 산화물질을 포함한다.For example, the transparent ultraviolet shielding film includes an indium-zinc oxide material.

일례로, 투명 자외선 차단막은, 두께가 100Å 내지 300Å이다.For example, the transparent ultraviolet blocking film has a thickness of 100 ANGSTROM to 300 ANGSTROM.

본 발명에 의한 유기발광 다이오드 표시장치는, 강성 기판에서 플렉서블 표시장치를 분리함에 사용하는 레이저에 의해 유기발광 층이 손상되는 것을 방지하는 구조를 갖는다. 인듐-아연 산화물 박막층을 유기발광 층에서 레이저 광 입사 방향에 배치함으로써, 레이저가 유기발광 층으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 인듐-아연 산화물 박막층은 가시광선에 대한 투과율이 높아, 유기발광 층에서 발산되는 빛은 투과율 저하 없이 제공할 수 있다.The organic light emitting diode display according to the present invention has a structure for preventing the organic light emitting layer from being damaged by the laser used for separating the flexible display device from the rigid substrate. By arranging the indium-zinc oxide thin film layer in the direction of laser light incidence in the organic light emitting layer, it is possible to prevent the laser from flowing into the organic light emitting layer. In addition, the indium-zinc oxide thin film layer has high transmittance to visible light, and light emitted from the organic light emitting layer can be provided without deteriorating transmittance.

도 1은 유기발광 다이오드의 구조를 나타내는 도면.
도 2a 내지 2g는 종래 기술에 의한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 과정을 나타낸 단면도들.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치의 구조를 나타내는 단면도.
도 4a 내지 4d는 본 발명의 제1 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 공정을 나타내는 단면도들.
도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치의 구조를 나타내는 단면도.
도 6a 내지 6d는 본 발명의 제2 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 공정을 나타내는 단면도들.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing a structure of an organic light emitting diode. FIG.
FIGS. 2A to 2G are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing a flexible organic light emitting diode display device according to a related art.
3 is a cross-sectional view showing a structure of a flexible organic light emitting diode display device incorporating an in-cell touch sensor according to a first embodiment of the present invention.
4A to 4D are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a first embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating a structure of a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a second embodiment of the present invention.
6A to 6D are cross-sectional views illustrating a process for fabricating a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a second embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 실질적으로 동일한 구성 요소들을 의미한다. 이하의 설명에서, 본 발명과 관련된 공지 기술 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 이하의 설명에서 사용되는 구성요소 명칭은 명세서 작성의 용이함을 고려하여 선택된 것일 수 있는 것으로서, 실제 제품의 부품 명칭과는 상이할 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals throughout the specification denote substantially identical components. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following description, a detailed description of known technologies or configurations related to the present invention will be omitted when it is determined that the gist of the present invention may be unnecessarily obscured. In addition, the component names used in the following description may be selected in consideration of easiness of specification, and may be different from the parts names of actual products.

<제1 실시 예>&Lt; Embodiment 1 >

이하, 본 발명의 제1 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치에 대해 설명한다. 도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치의 구조를 나타내는 단면도이다.Hereinafter, a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a first embodiment of the present invention will be described. 3 is a cross-sectional view illustrating a structure of a flexible organic light emitting diode display device incorporating an in-cell touch sensor according to a first embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 의한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치는, 베이스 필름(PF), 유기 층(PL), 표시 소자 층(TOL), 인-캡 박막층(ENC), 투명 접착층(ADH), 터치 박막층(TSP), 보호막(PAC), 편광 필름(CP)이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 베이스 필름(PF)은 구부리거나 접을 수 있도록 유연성이 뛰어난 유기 필름이다. 유기 층(PL)은 베이스 필름(PF)의 상부 표면과 합착되어 있다. 예를 들어, 광학적 접착제에 의해 면 접착될 수 있다.Referring to FIG. 3, the flexible organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention includes a base film PF, an organic layer PL, a display element layer TOL, an in-cap thin film layer ENC, (ADH), a touch thin film layer (TSP), a protective film (PAC), and a polarizing film (CP) are sequentially stacked. The base film (PF) is an organic film excellent in flexibility so as to be bent or folded. The organic layer PL is adhered to the upper surface of the base film PF. For example, by optical adhesive.

표시 소자 층(TOL)은 유기 층(PL) 위에 증착 및/또는 도포되어 있다. 표시 소자 층(TOL)은 화상을 구현하는 표시 영역과 상기 표시 영역에서 연장되는 패드 부를 구비한다. 예를 들어, 표시 소자 층(TOL)의 표시 영역에는 스캔 배선, 데이터 배선 및 구동 전류 배선으로 구획된 다수 개의 화소 영역들이 배치되어 있다. 화소 영역에는 박막 트랜지스터와, 박막 트랜지스터에 연결되어 구동되는 유기발광 다이오드가 박막 형태로 형성되어 있다. 패드 부에는 스캔 배선, 데이터 배선 및 구동 전류 배선에 신호를 인가하기 위한 연결 패드들과 연결 수단들이 배치된다.The display element layer TOL is deposited and / or coated on the organic layer PL. The display element layer TOL has a display region for realizing an image and a pad portion extending in the display region. For example, in the display region of the display element layer TOL, a plurality of pixel regions partitioned by scan wirings, data wirings, and drive current wirings are arranged. A thin film transistor and an organic light emitting diode connected to the thin film transistor are formed in a thin film shape in the pixel region. The pad portion is provided with connection pads and connection means for applying signals to the scan wiring, the data wiring, and the drive current wiring.

인-캡 박막층(ENC)은 표시 소자 층(TOL) 상부 표면 및 측면을 모두 덮도록 도포되어 있다. 인-캡 박막층(ENC)은 표시 소자 층(TOL)과 직접 면 접촉함으로써, 외부로부터 수분 및 공기가 유입되는 것을 방지한다. 인-캡 박막층(ENC)은 표면 증착 및/또는 표면 도포법으로 금속 페이스트를 도포하여 형성할 수 있다. 혹은, 유기 박막과 무기 박막이 교대로 다수 층이 적층된 구조를 가질 수도 있다. 또는, 수분 및 공기 차단성이 우수한 보호 필름을 합착하여 형성할 수도 있다.The in-cap thin film layer ENC is applied so as to cover both the upper surface and the side surface of the display element layer TOL. The in-cap thin film layer (ENC) is in direct surface contact with the display element layer (TOL), thereby preventing moisture and air from entering from the outside. The in-cap thin film layer (ENC) can be formed by applying a metal paste by surface deposition and / or surface coating. Alternatively, the organic thin film and the inorganic thin film may have a structure in which multiple layers are alternately stacked. Alternatively, a protective film excellent in water and air barrier properties may be adhered and formed.

인-캡 박막층(ENC)의 상부 표면 전체에는 투명 접착층(ADH)이 도포되어 있다. 투명 접착층(ADH)은 표시 소자 층(TOL)에서 제공하는 빛에 대한 투과도가 우수한 것이 바람직하다. 투명 접착층(ADH)의 상부 표면에는 터치 박막층(TSP)이 면 합착되어 있다.A transparent adhesive layer (ADH) is applied to the entire upper surface of the in-cap thin film layer (ENC). The transparent adhesive layer ADH preferably has excellent transmittance to light provided by the display element layer TOL. On the upper surface of the transparent adhesive layer ADH, a touch thin film layer TSP is surface-bonded.

터치 박막층(TSP)은 가로 방향으로 진행하는 센서 배선을 포함하는 센서 배선층(ITS)과 세로 방향으로 진행하는 구동 배선을 포함하는 구동 배선층(ITL)을 포함한다. 센서 배선층(ITS)과 구동 배선층(ITL)을 각각의 기저 필름 위에 별도로 형성한 후 합착한 구조를 가질 수도 있다. 또는 하나의 기저 필름의 하부 표면에 센서 배선층(ITS)을 상부 표면에는 구동 배선층(ITL)을 형성한 구조를 가질 수도 있다. 또는, 보호층을 사이에 두고 하부 층에 증착 형성된 센서 배선층(ITS)과 상부 층에 형성된 구동 배선층(ITL)을 포함한 구조를 가질 수도 있다.The touch thin film layer TSP includes a sensor wiring layer ITS including a sensor wiring extending in a lateral direction and a driving wiring layer ITL including a driving wiring extending in a longitudinal direction. The sensor wiring layer ITS and the driving wiring layer ITL may be separately formed on respective base films and then cemented. Or a structure in which a sensor wiring layer (ITS) is formed on the lower surface of one base film and a driving wiring layer (ITL) is formed on the upper surface. Alternatively, it may have a structure including a sensor wiring layer (ITS) deposited on a lower layer with a protective layer therebetween, and a driving wiring layer (ITL) formed on the upper layer.

터치 박막층(TSP)의 상부 표면 전체에는 보호막(PAC)이 증착 및/또는 도포되어 있다. 보호막(PAC)은 표시 소자 층(TOL)에서 제공하는 빛, 특히 가시 광선 파장대의 빛에 대한 투과도가 높은 물질을 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 보호막(PAC)은 터치 박막층(TSP)의 표면 위에 합착되는 편광 필름(CP)와의 접착력을 확보하기 위한 것으로서, 계면 접착 특성이 우수한 것이 바람직하다.A protective film PAC is deposited and / or applied on the entire upper surface of the touch thin film layer TSP. The protective film PAC preferably includes a material having high transmittance to light provided by the display element layer TOL, in particular, light in a visible light wavelength band. The protective film PAC is for securing the adhesive force with the polarizing film CP bonded on the surface of the touching thin film layer TSP, and is preferably excellent in interfacial adhesion property.

터치 박막층(TSP)의 상부 표면 위에는 편광 필름(CP)이 면 합착되어 있다. 편광 필름(CP)은 외부광이 반사되어 표시 품질을 저해하는 것을 방지하기 위한 목적으로 표시 장치의 전체 표면에 대응하여 면 합착되어 있다. 편광 필름(CP)은 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치의 최 상위 층에 적층되는 것으로서, 외부 충격이나 이물질에 의한 손상을 방지할 수 있는 강건 구조를 갖는 것이 바람직하다. 예를 들어, 편광 필름(CP)의 상부 표면에 하드 코팅층이 더 도포될 수 있다.On the upper surface of the touch thin film layer TSP, a polarizing film CP is adhered. The polarizing film CP is surface-bonded to the entire surface of the display device for the purpose of preventing external light from being reflected and hindering display quality. The polarizing film CP is laminated on the uppermost layer of the flexible organic light emitting diode display device and preferably has a robust structure that can prevent damage due to external impact or foreign matter. For example, a hard coating layer may be further applied to the upper surface of the polarizing film (CP).

이로써, 본 발명에 의한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치는 초 박막의 두께를 갖고 유연성이 뛰어난 특성을 갖는다. 자유롭게 구부리거나 접어서 휴대 및 보관 또는 표시 기능을 사용할 수 있다. 또한, 터치 센서가 표시 소자 층(TOL)과 편광 필름(CP) 사이에 개재된 인-센 터치 방식의 구조를 갖는다.Thus, the flexible organic light-emitting diode display device according to the present invention has a thickness of ultra-thin film and excellent flexibility. You can freely bend or fold to use the carry and store or display functions. Further, the touch sensor has an in-line touch structure in which a touch sensor is interposed between the display element layer TOL and the polarizing film CP.

이하, 본 발명의 제1 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 방법에 대해 설명한다. 도 4a 내지 4d는 본 발명의 제1 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 공정을 나타내는 단면도들이다.Hereinafter, a method of manufacturing a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a first embodiment of the present invention will be described. 4A to 4D are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a first embodiment of the present invention.

먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이, 표시 기판(DP)을 형성한다. 하부 강성 기판(GS1) 전체 표면 위에 하부 버퍼층(NL1)을 증착한다. 하부 버퍼층(NL1)은 질화 실리콘(Silicon Nitride, SiNx)으로 형성한다. 하부 버퍼층(NL1)의 상부 전체 표면 위에 하부 희생층(SL1)을 증착한다. 하부 희생층(SL1)은 아몰퍼스 실리콘(amorphous silicon, a-Si)으로 형성한다. 하부 희생층(SL1) 위에 유기 층(PL)을 도포한다. 유기 층(PL)은 고온에 잘 견디는 폴리이미드로 형성한다.First, as shown in Fig. 4A, a display substrate DP is formed. The lower buffer layer NL1 is deposited on the entire surface of the lower rigid substrate GS1. The lower buffer layer NL1 is formed of silicon nitride (SiNx). A lower sacrificial layer SL1 is deposited on the entire upper surface of the lower buffer layer NL1. The lower sacrificial layer SL1 is formed of amorphous silicon (a-Si). An organic layer PL is applied on the lower sacrificial layer SL1. The organic layer PL is formed of a polyimide which is resistant to high temperatures.

유기 층(PL)의 상부 표면 위에 표시 소자 층(TOL)을 형성한다. 표시 소자 층(TOL)은 박막 트랜지스터와 유기발광 다이오드를 포함한다. 유기발광 다이오드 표시장치용 표시 소자들은 현재 개발된 것을 그대로 적용할 수 있으므로, 여기서 상세한 설명은 생략한다. 표시 소자 층(TOL)은 유기 층(PL)의 상부 표면 일부 영역에만 형성될 수 있다. 인-캡 박막층(ENC)은 표시 소자 층(TOL)을 완전히 덮으면서 면 합착되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 표시 소자 층(TOL)의 상부 표면 및 측면들과 완전히 면 합착되도록 형성될 수 있다.A display element layer TOL is formed on the upper surface of the organic layer PL. The display element layer TOL includes a thin film transistor and an organic light emitting diode. The display devices for an organic light emitting diode display device can be applied to the presently developed ones, and a detailed description thereof will be omitted. The display element layer TOL may be formed only on a part of the upper surface of the organic layer PL. It is preferable that the in-cap thin film layer (ENC) is surface-bonded while completely covering the display element layer (TOL). For example, it may be formed to be fully surface-bonded with the upper surface and side surfaces of the display element layer TOL.

다음으로 도 4b에 도시한 바와 같이, 터치 기판(TP)을 형성한다. 상부 강성 기판(GS2) 전체 표면 위에 상부 버퍼층(NL2)을 증착한다. 상부 버퍼층(NL2)은 질화 실리콘(Silicon Nitride, SiNx)으로 형성한다. 상부 버퍼층(NL2)의 상부 전체 표면 위에 상부 희생층(SL2)을 증착한다. 상부 희생층(SL2)은 아몰퍼스 실리콘(amorphous silicon, a-Si)으로 형성한다.Next, as shown in Fig. 4B, a touch substrate TP is formed. An upper buffer layer NL2 is deposited on the entire surface of the upper rigid substrate GS2. The upper buffer layer NL2 is formed of silicon nitride (SiNx). An upper sacrificial layer SL2 is deposited on the entire upper surface of the upper buffer layer NL2. The upper sacrificial layer SL2 is formed of amorphous silicon (a-Si).

상부 희생층(SL2)의 상부 전체 표면 위에 보호막(PAC)을 증착한다. 보호막(PAC) 아래에 있는 상부 희생층(SL2)은 추후에 강성 기판(GS2)과 함께 박리될 부분이다. 따라서, 상부 희생층(SL2) 위에 표시 소자를 바로 형성하는 것보다는, 보호막(PAC)을 하나 더 형성하는 것이 바람직하다. 보호막(PAC)은 가시광선에 대한 투과율이 우수한 투명 유기물질을 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상부 희생층(SL2)과 강성 기판(GS2)을 분리한 후, 보호막(PAC)에는 편광 필름(CP)이 부착된다. 따라서, 보호막(PAC)은 필름 소재와 계면 접착력이 우수한 물질을 포함하는 것이 바람직하다.A protective film (PAC) is deposited on the entire upper surface of the upper sacrificial layer SL2. The upper sacrificial layer SL2 under the protective film PAC is a portion to be peeled together with the rigid substrate GS2 in the future. Therefore, it is preferable to form another protective film (PAC), rather than directly forming the display element on the upper sacrificial layer SL2. The protective layer (PAC) preferably includes a transparent organic material having a high transmittance to visible light. After the upper sacrificial layer SL2 and the rigid substrate GS2 are separated, the polarizing film CP is attached to the protective film PAC. Therefore, it is preferable that the protective film (PAC) includes a material having an excellent interfacial adhesion with the film material.

보호막(PAC) 위에는 터치 박막층(TSP)을 형성한다. 예를 들어, 보호막(PAC) 위에 투명 도전 물질을 증착하고 패턴하여 구동 배선을 형성하여 구동 배선층(ITL)을 형성한다. 구동 배선층(ITL) 상부 전체 표면 위에 보호층(도시하지 않음)을 증착한다. 보호층 위에 투명 도전 물질을 증착하고 패턴하여 센서 배선을 형성하여 센서 배선층(ITS)을 형성한다.A touch thin film layer (TSP) is formed on the protective film (PAC). For example, a transparent conductive material is deposited on a protective film (PAC) and patterned to form a driving wiring to form a driving wiring layer (ITL). A protective layer (not shown) is deposited on the entire upper surface of the driving wiring layer (ITL). A transparent conductive material is deposited on the protective layer and patterned to form a sensor wiring to form a sensor wiring layer (ITS).

도 4c에 도시한 바와 같이, 표시 기판(DP)과 터치 기판(TP)을 합착한다. 표시 기판(DP)의 최상위 층인 인-캡 박막층(ENC)와 터치 기판(TP)의 최상위 층인 터치 박막층(TSP)를 서로 마주보도록 배치하고, 그 사이에 접착층(ADH)을 개재하여 서로 면합착한다.The display substrate DP and the touch substrate TP are bonded together as shown in Fig. 4C. The in-cap thin film layer ENC which is the uppermost layer of the display substrate DP and the touch thin film layer TSP which is the uppermost layer of the touch substrate TP are arranged to face each other and are adhered to each other via the adhesive layer ADH therebetween .

300nm 내지 400nm의 파장대를 갖는 레이저(LA)를 상부 강성 기판(GS2)의 외부에서 상부 희생층(SL2)으로 조사한다. 레이저(LA)의 단면은 매우 작고, 기판은 상대적으로 넓으므로, 좌우로 스캔하면서, 상하로 이동하여 상부 희생층(SL2)의 전체 면에 고르게 조사하는 것이 바람직하다. 그 결과 상부 희생층(SL2)에 상변화가 발생하며, 제거되어 상부 강성 기판(GS2)과 상부 버퍼층(NL2)이 터치 박막층(TSP)으로부터 분리된다.A laser LA having a wavelength range of 300 nm to 400 nm is irradiated from the outside of the upper rigid substrate GS2 to the upper sacrificial layer SL2. Since the cross section of the laser LA is very small and the substrate is relatively wide, it is preferable to irradiate the entire surface of the upper sacrificial layer SL2 evenly while moving up and down while scanning left and right. As a result, a phase change occurs in the upper sacrificial layer SL2 and is removed to separate the upper rigid substrate GS2 and the upper buffer layer NL2 from the touch thin film layer TSP.

노출된 터치 박막층(TSP)의 전체 표면 위에 편광 필름(CP)을 면 합착한다. 그 후에, 300nm 내지 400nm의 파장대를 갖는 레이저(LS)를 다시 하부 강성 기판(GS1)의 외부에서 하부 희생층(SL1)으로 조사한다. 그 결과 하부 희생층(SL1)에 상변화가 발생하며, 제거되어 하부 강성 기판(GS1)과 하부 버퍼층(NL1)이 유기 층(PL)으로부터 분리된다.The polarizing film (CP) is surface-bonded onto the entire surface of the exposed touching thin film layer (TSP). Thereafter, the laser LS having a wavelength range of 300 nm to 400 nm is irradiated from the outside of the lower rigid substrate GS1 to the lower sacrificial layer SL1. As a result, a phase change occurs in the lower sacrificial layer SL1 and is removed to separate the lower rigid substrate GS1 and the lower buffer layer NL1 from the organic layer PL.

도면으로 도시하지 않았지만, 유기 층(PL)과 표시 소자 층(TOL) 사이에는 버퍼층이 더 적층될 수 있다. 버퍼층은 무기층과 유기층이 교대로 적층된 다층 구조를 가질수 도 있다. 특히, 버퍼층에는 금속층을 추가하여 하부 강성 기판(GS1)을 분리하는 데 사용한 레이저가 표시 소자 층(TOL)으로 전달되지 않도록 할 수 있다. 그 후에, 노출된 유기 층(PL)의 하면에 플렉서블 베이스 필름(PF)을 부착한다. 그러면 도 4d와 같은 구조를 갖는 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 완성한다.Although not shown in the drawings, a buffer layer may be further laminated between the organic layer PL and the display element layer TOL. The buffer layer may have a multi-layer structure in which an inorganic layer and an organic layer are alternately stacked. In particular, a metal layer may be added to the buffer layer so that the laser used for separating the lower rigid substrate GS1 is not transmitted to the display element layer TOL. Thereafter, the flexible base film PF is attached to the lower surface of the exposed organic layer PL. Then, a flexible organic light emitting diode display device having a structure as shown in FIG. 4D is completed.

플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 공정은, 우선 강성 기판에 플렉서블 표시 장치를 제조한 후에, 강성 기판을 플렉서블 표시 장치로부터 박리한다. 박리하는 공정에서 레이저를 사용하는 데, 레이저는 강한 에너지를 갖고 있어서, 레이저가 유기발광 층에 닿을 경우, 유기발광 층이 손상될 수 있다.In the process for manufacturing the flexible organic light emitting diode display device, first, a flexible display device is manufactured on a rigid substrate, and then the rigid substrate is peeled from the flexible display device. A laser is used in the peeling process, and the laser has a strong energy, so that the organic light emitting layer may be damaged if the laser touches the organic light emitting layer.

특히, 상부 강성 기판(GS2)를 분리할 때, 레이저(LA)가 유기발광 층으로 조사될 가능성이 높다. 따라서, 레이저(LA)를 조사할 때 가급적 상부 희생층(SL2)에 초점을 맞추어 조사하는 것이 바람직하다. 그렇더라도, 레이저의 일부가 상부 희생층(SL2) 아래로 투과될 수 있다. 이 경우, 레이저가 다른 박막층 특히, 표시 소자 층(TOL)의 유기발광 층에 손상을 줄 수 있다.Particularly, when separating the upper rigid substrate GS2, there is a high possibility that the laser LA is irradiated to the organic light emitting layer. Therefore, when irradiating the laser LA, it is preferable to irradiate the upper sacrificial layer SL2 with as much focus as possible. Even so, a part of the laser can be transmitted below the upper sacrificial layer SL2. In this case, the laser can damage the other thin film layer, particularly, the organic light emitting layer of the display element layer TOL.

<제2 실시 예>&Lt; Embodiment 2 >

이하, 본 발명의 제2 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치에 대해 설명한다. 도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치의 구조를 나타내는 단면도이다.Hereinafter, a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a second embodiment of the present invention will be described. 5 is a cross-sectional view illustrating a structure of a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a second embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 의한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치는, 베이스 필름(PF), 유기 층(PL), 표시 소자 층(TOL), 인-캡 박막층(ENC), 투명 접착층(ADH), 터치 박막층(TSP), 보호 절연막(PAC), 투명 자외선 차단막(IZO), 편광 필름(CP)이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 베이스 필름(PF)은 구부리거나 접을 수 있도록 유연성이 뛰어난 유기 필름이다. 유기 층(PL)은 베이스 필름(PF)의 상부 표면과 합착되어 있다. 예를 들어, 광학적 접착제에 의해 면 접착될 수 있다.5, a flexible organic light emitting diode display device according to a second embodiment of the present invention includes a base film PF, an organic layer PL, a display element layer TOL, an in-cap thin film layer ENC, A structure in which a transparent adhesive layer ADH, a touch thin film layer TSP, a protective insulating film PAC, a transparent ultraviolet shielding film IZO, and a polarizing film CP are sequentially laminated. The base film (PF) is an organic film excellent in flexibility so as to be bent or folded. The organic layer PL is adhered to the upper surface of the base film PF. For example, by optical adhesive.

표시 소자 층(TOL)은 유기 층(PL) 위에 증착 및/또는 도포되어 있다. 표시 소자 층(TOL)은 화상을 구현하는 표시 영역과 상기 표시 영역에서 연장되는 패드 부를 구비한다. 예를 들어, 표시 소자 층(TOL)의 표시 영역에는 스캔 배선, 데이터 배선 및 구동 전류 배선으로 구획된 다수 개의 화소 영역들이 배치되어 있다. 화소 영역에는 박막 트랜지스터와, 박막 트랜지스터에 연결되어 구동되는 유기발광 다이오드가 박막 형태로 형성되어 있다. 패드 부에는 스캔 배선, 데이터 배선 및 구동 전류 배선에 신호를 인가하기 위한 연결 패드들과 연결 수단들이 배치된다.The display element layer TOL is deposited and / or coated on the organic layer PL. The display element layer TOL has a display region for realizing an image and a pad portion extending in the display region. For example, in the display region of the display element layer TOL, a plurality of pixel regions partitioned by scan wirings, data wirings, and drive current wirings are arranged. A thin film transistor and an organic light emitting diode connected to the thin film transistor are formed in a thin film shape in the pixel region. The pad portion is provided with connection pads and connection means for applying signals to the scan wiring, the data wiring, and the drive current wiring.

인-캡 박막층(ENC)은 표시 소자 층(TOL) 상부 표면 및 측면을 모두 덮도록 도포되어 있다. 인-캡 박막층(ENC)은 표시 소자 층(TOL)과 직접 면 접촉함으로써, 외부로부터 수분 및 공기가 유입되는 것을 방지한다. 인-캡 박막층(ENC)은 표면 증착 및/또는 표면 도포법으로 금속 페이스트를 도포하여 형성할 수 있다. 혹은, 유기 박막과 무기 박막이 교대로 다수 층이 적층된 구조를 가질 수도 있다. 또는, 수분 및 공기 차단성이 우수한 보호 필름을 합착하여 형성할 수도 있다.The in-cap thin film layer ENC is applied so as to cover both the upper surface and the side surface of the display element layer TOL. The in-cap thin film layer (ENC) is in direct surface contact with the display element layer (TOL), thereby preventing moisture and air from entering from the outside. The in-cap thin film layer (ENC) can be formed by applying a metal paste by surface deposition and / or surface coating. Alternatively, the organic thin film and the inorganic thin film may have a structure in which multiple layers are alternately stacked. Alternatively, a protective film excellent in water and air barrier properties may be adhered and formed.

인-캡 박막층(ENC)의 상부 표면 전체에는 투명 접착층(ADH)이 도포되어 있다. 투명 접착층(ADH)은 표시 소자 층(TOL)에서 제공하는 빛에 대한 투과도가 우수한 것이 바람직하다. 투명 접착층(ADH)의 상부 표면에는 터치 박막층(TSP)이 면 합착되어 있다.A transparent adhesive layer (ADH) is applied to the entire upper surface of the in-cap thin film layer (ENC). The transparent adhesive layer ADH preferably has excellent transmittance to light provided by the display element layer TOL. On the upper surface of the transparent adhesive layer ADH, a touch thin film layer TSP is surface-bonded.

터치 박막층(TSP)은 가로 방향으로 진행하는 센서 배선을 포함하는 센서 배선층(ITS)과 세로 방향으로 진행하는 구동 배선을 포함하는 구동 배선층(ITL)을 포함한다. 센서 배선층(ITS)과 구동 배선층(ITL)을 각각의 기저 필름 위에 별도로 형성한 후 합착한 구조를 가질 수도 있다. 또는 하나의 기저 필름의 하부 표면에 센서 배선층(ITS)을 상부 표면에는 구동 배선층(ITL)을 형성한 구조를 가질 수도 있다. 또는, 보호층을 사이에 두고 하부 층에 증착 형성된 센서 배선층(ITS)과 상부 층에 형성된 구동 배선층(ITL)을 포함한 구조를 가질 수도 있다.The touch thin film layer TSP includes a sensor wiring layer ITS including a sensor wiring extending in a lateral direction and a driving wiring layer ITL including a driving wiring extending in a longitudinal direction. The sensor wiring layer ITS and the driving wiring layer ITL may be separately formed on respective base films and then cemented. Or a structure in which a sensor wiring layer (ITS) is formed on the lower surface of one base film and a driving wiring layer (ITL) is formed on the upper surface. Alternatively, it may have a structure including a sensor wiring layer (ITS) deposited on a lower layer with a protective layer therebetween, and a driving wiring layer (ITL) formed on the upper layer.

터치 박막층(TSP)의 상부 표면 전체에는 보호 절연막(PAC)이 증착 및/또는 도포되어 있다. 보호 절연막(PAC)은 표시 소자 층(TOL)에서 제공하는 빛, 특히 가시 광선 파장대의 빛에 대한 투과도가 높은 물질을 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 보호 절연막(PAC)은 터치 박막층(TSP)의 표면 위에 합착되는 편광 필름(CP)와의 접착력을 확보하기 위한 것으로서, 계면 접착 특성이 우수한 것이 바람직하다.A protective insulating film (PAC) is deposited and / or coated on the entire upper surface of the touch thin film layer (TSP). The protective insulating film PAC preferably includes a material having high transmittance to light provided by the display element layer TOL, particularly light in a visible light wavelength range. In addition, the protective insulating film PAC is for securing the adhesive force with the polarizing film CP bonded onto the surface of the touching thin film layer TSP, and is preferably excellent in the interface adhesion property.

보호 절연막(PAC)의 상부 표면 전체에는 투명 자외선 차단막(IZO)이 증착되어 있다. 투명 자외선 차단막(IZO)은, 300nm 내지 400nm 파장대를 갖는 레이저에 대한 투과율이 70% 이하인 투명 물질을 포함하는 것이 바람직하다. 특히, 투명 자외선 차단막(IZO)은 인듐-아연 산화물(Indium Zinc Oxide)로 형성하는 것이 바람직하다. 인듐-아연 산화물은 투명 산화물의 일종이다. 유사한 투명 산화물로 인듐-주석 산화물(Indium Tin Oxide)이 있다. 하지만, 인듐-주석 산화물은 300nm 내지 400nm 파장대를 갖는 레이저에 대한 투과율이 90%를 초과한다. 따라서, 인듐-주석 산화물은 투명 자외선 차단막(IZO)으로 사용하기에는 부적절하다.A transparent ultraviolet blocking film IZO is deposited on the entire upper surface of the protective insulating film PAC. The transparent ultraviolet blocking film IZO preferably includes a transparent material having a transmittance of 70% or less for a laser having a wavelength range of 300 nm to 400 nm. In particular, the transparent ultraviolet (IZO) blocking film is preferably formed of indium zinc oxide. Indium-zinc oxide is a kind of transparent oxide. A similar transparent oxide is indium-tin oxide (Indium Tin Oxide). However, the indium-tin oxide has a transmittance exceeding 90% for a laser having a wavelength range of 300 nm to 400 nm. Therefore, indium-tin oxide is not suitable for use as a transparent ultraviolet (IZO) barrier film.

투명 자외선 차단막(IZO)을 이루는 인듐-아연 산화물은 투명한 산화물이면서도, 도전성을 가질 수 있다. 따라서, 보호 절연막(PAC)이 없다면, 투명 자외선 차단막(IZO)은 터치 박막층(TSP)과 직접 면 접착된다. 터치 박막층(TSP)에는 배선들이 패턴되어 있는데, 이들 배선들이 투명 자외선 차단막(IZO)와 면 접촉하면, 모든 배선들이 전기적으로 연결되어 배선으로서 기능을 못한다. 따라서, 보호 절연막(PAC)은 절연 성능이 우수한 물질을 포함하는 것이 바람직하다. 제1 실시 예와 달리, 단순한 보호막이 아니라 절연막 성질을 가져야 한다.The indium-zinc oxide constituting the transparent ultraviolet blocking film (IZO) is a transparent oxide and can have conductivity. Therefore, if there is no protective insulating film PAC, the transparent ultraviolet shielding film IZO is directly adhered to the touching thin film layer TSP. In the touch thin film layer (TSP), the wirings are patterned. When these wirings are in surface contact with the transparent ultraviolet protection film (IZO), all the wirings are electrically connected to fail to function as wiring. Therefore, it is preferable that the protective insulating film PAC includes a material having excellent insulating performance. Unlike the first embodiment, it is not a simple protective film but an insulating film.

투명 자외선 차단막(IZO)의 상부 표면 위에는 편광 필름(CP)이 면 합착되어 있다. 편광 필름(CP)은 외부광이 반사되어 표시 품질을 저해하는 것을 방지하기 위한 목적으로 표시 장치의 전체 표면에 대응하여 면 합착되어 있다. 편광 필름(CP)은 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치의 최 상위 층에 적층되는 것으로서, 외부 충격이나 이물질에 의한 손상을 방지할 수 있는 강건 구조를 갖는 것이 바람직하다. 예를 들어, 편광 필름(CP)의 상부 표면에 하드 코팅층이 더 도포될 수 있다.On the upper surface of the transparent ultraviolet shielding film IZO, a polarizing film CP is adhered. The polarizing film CP is surface-bonded to the entire surface of the display device for the purpose of preventing external light from being reflected and hindering display quality. The polarizing film CP is laminated on the uppermost layer of the flexible organic light emitting diode display device and preferably has a robust structure that can prevent damage due to external impact or foreign matter. For example, a hard coating layer may be further applied to the upper surface of the polarizing film (CP).

이로써, 본 발명에 의한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치는 초 박막의 두께를 갖고 유연성이 뛰어난 특성을 갖는다. 자유롭게 구부리거나 접어서 휴대 및 보관 또는 표시 기능을 사용할 수 있다. 또한, 터치 센서가 표시 소자 층(TOL)과 편광 필름(CP) 사이에 개재된 인-센 터치 방식의 구조를 갖는다.Thus, the flexible organic light-emitting diode display device according to the present invention has a thickness of ultra-thin film and excellent flexibility. You can freely bend or fold to use the carry and store or display functions. Further, the touch sensor has an in-line touch structure in which a touch sensor is interposed between the display element layer TOL and the polarizing film CP.

이하, 본 발명의 제2 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 방법에 대해 설명한다. 도 6a 내지 6d는 본 발명의 제2 실시 예에 의한 인-셀 터치 센서를 내장한 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 제조하는 공정을 나타내는 단면도들이다.Hereinafter, a method of manufacturing a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a second embodiment of the present invention will be described. 6A to 6D are cross-sectional views illustrating a process for fabricating a flexible organic light emitting diode display device having an in-cell touch sensor according to a second embodiment of the present invention.

먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이, 표시 기판(DP)을 형성한다. 하부 강성 기판(GS1) 전체 표면 위에 하부 버퍼층(NL1)을 증착한다. 하부 버퍼층(NL1)은 질화 실리콘(Silicon Nitride, SiNx)으로 형성한다. 하부 버퍼층(NL1)의 상부 전체 표면 위에 하부 희생층(SL1)을 증착한다. 하부 희생층(SL1)은 아몰퍼스 실리콘(amorphous silicon, a-Si)으로 형성한다. 하부 희생층(SL1) 위에 유기 층(PL)을 도포한다. 유기 층(PL)은 고온에 잘 견디는 폴리이미드로 형성한다.First, as shown in Fig. 6A, a display substrate DP is formed. The lower buffer layer NL1 is deposited on the entire surface of the lower rigid substrate GS1. The lower buffer layer NL1 is formed of silicon nitride (SiNx). A lower sacrificial layer SL1 is deposited on the entire upper surface of the lower buffer layer NL1. The lower sacrificial layer SL1 is formed of amorphous silicon (a-Si). An organic layer PL is applied on the lower sacrificial layer SL1. The organic layer PL is formed of a polyimide which is resistant to high temperatures.

유기 층(PL)의 상부 표면 위에 표시 소자 층(TOL)을 형성한다. 표시 소자 층(TOL)은 박막 트랜지스터와 유기발광 다이오드를 포함한다. 유기발광 다이오드 표시장치용 표시 소자들은 현재 개발된 것을 그대로 적용할 수 있으므로, 여기서 상세한 설명은 생략한다. 표시 소자 층(TOL)은 유기 층(PL)의 상부 표면 일부 영역에만 형성될 수 있다. 인-캡 박막층(ENC)은 표시 소자 층(TOL)을 완전히 덮으면서 면 합착되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 표시 소자 층(TOL)의 상부 표면 및 측면들과 완전히 면 합착되도록 형성될 수 있다.A display element layer TOL is formed on the upper surface of the organic layer PL. The display element layer TOL includes a thin film transistor and an organic light emitting diode. The display devices for an organic light emitting diode display device can be applied to the presently developed ones, and a detailed description thereof will be omitted. The display element layer TOL may be formed only on a part of the upper surface of the organic layer PL. It is preferable that the in-cap thin film layer (ENC) is surface-bonded while completely covering the display element layer (TOL). For example, it may be formed to be fully surface-bonded with the upper surface and side surfaces of the display element layer TOL.

다음으로 도 6b에 도시한 바와 같이, 터치 기판(TP)을 형성한다. 상부 강성 기판(GS2) 전체 표면 위에 상부 버퍼층(NL2)을 증착한다. 상부 버퍼층(NL2)은 질화 실리콘(Silicon Nitride, SiNx)으로 형성한다. 상부 버퍼층(NL2)의 상부 전체 표면 위에 상부 희생층(SL2)을 증착한다. 상부 희생층(SL2)은 아몰퍼스 실리콘(amorphous silicon, a-Si)으로 형성한다.Next, as shown in Fig. 6B, a touch substrate TP is formed. An upper buffer layer NL2 is deposited on the entire surface of the upper rigid substrate GS2. The upper buffer layer NL2 is formed of silicon nitride (SiNx). An upper sacrificial layer SL2 is deposited on the entire upper surface of the upper buffer layer NL2. The upper sacrificial layer SL2 is formed of amorphous silicon (a-Si).

상부 희생층(SL2)의 상부 전체 표면 위에 투명 자외선 차단막(IZO)을 증착한다. 투명 자외선 차단막(IZO)은 인듐-아연 산화물을 100Å 내지 300Å의 두께로 증착한다. 인듐-아연 산화물로 이루어진 투명 자외선 차단막(IZO)은 300nm 내지 400nm 파장대를 갖는 레이저에 대한 투과율이 70% 이하이다.A transparent ultraviolet blocking film IZO is deposited on the entire upper surface of the upper sacrificial layer SL2. The transparent ultraviolet blocking film (IZO) deposits indium-zinc oxide to a thickness of 100 Å to 300 Å. The transparent ultraviolet blocking film (IZO) made of indium-zinc oxide has a transmittance of 70% or less for a laser having a wavelength range of 300 nm to 400 nm.

투명 자외선 차단막(IZO)의 상부 전체 표면 위에 보호 절연막(PAC)을 증착한다. 보호 절연막(PAC)은 가시광선에 대한 투과율이 우수한 투명 유기물질을 포함하는 것이 바람직하다. 투명 자외선 차단막(IZO) 위에는 터치 박막층(TSP)이 적층되는데, 인듐-아연 산화물을 도전성을 가질 수 있다. 따라서, 투명 자외선 차단막(IZO)과 터치 박막층(TSP) 사이에는 절연 성질을 갖는 보호 절연막(PAC)이 개재되는 것이 바람직하다.A protective insulating film (PAC) is deposited on the entire upper surface of the transparent ultraviolet shielding film IZO. The protective insulating film (PAC) preferably includes a transparent organic material having an excellent transmittance to visible light. A touch thin film layer (TSP) is deposited on the transparent ultraviolet shielding film IZO, and indium-zinc oxide may be conductive. Therefore, it is preferable that a protective insulating film (PAC) having an insulating property is interposed between the transparent ultraviolet shielding film IZO and the touch thin film layer TSP.

보호 절연막(PAC) 위에는 터치 박막층(TSP)을 형성한다. 예를 들어, 보호 절연막(PAC) 위에 투명 도전 물질을 증착하고 패턴하여 구동 배선을 형성하여 구동 배선층(ITL)을 형성한다. 구동 배선층(ITL) 상부 전체 표면 위에 보호층(도시하지 않음)을 증착한다. 보호층 위에 투명 도전 물질을 증착하고 패턴하여 센서 배선을 형성하여 센서 배선층(ITS)을 형성한다.A touch thin film layer (TSP) is formed on the protective insulating film (PAC). For example, a transparent conductive material is deposited on a protective insulating film (PAC) and patterned to form a driving wiring to form a driving wiring layer (ITL). A protective layer (not shown) is deposited on the entire upper surface of the driving wiring layer (ITL). A transparent conductive material is deposited on the protective layer and patterned to form a sensor wiring to form a sensor wiring layer (ITS).

도 6c에 도시한 바와 같이, 표시 기판(DP)과 터치 기판(TP)을 합착한다. 표시 기판(DP)의 최상위 층인 인-캡 박막층(ENC)와 터치 기판(TP)의 최상위 층인 터치 박막층(TSP)를 서로 마주보도록 배치하고, 그 사이에 접착층(ADH)을 개재하여 서로 면합착한다.The display substrate DP and the touch substrate TP are bonded together as shown in Fig. 6C. The in-cap thin film layer ENC which is the uppermost layer of the display substrate DP and the touch thin film layer TSP which is the uppermost layer of the touch substrate TP are arranged to face each other and are adhered to each other via the adhesive layer ADH therebetween .

300nm 내지 400nm의 파장대를 갖는 레이저를 상부 강성 기판(GS2)의 외부에서 상부 희생층(SL2)으로 조사한다. 그 결과 상부 희생층(SL2)에 상변화가 발생하며, 제거되어 상부 강성 기판(GS2)과 상부 버퍼층(NL2)이 투명 자외선 차단막(IZO)으로부터 분리된다. 레이저를 조사할 때 가급적 상부 희생층(SL2)에 초점을 맞추어 조사하는 것이 바람직하다. 그렇더라도, 레이저의 일부가 상부 희생층(SL2) 아래로 투과될 수 있다. 이 경우, 레이저가 다른 박막층 특히, 표시 소자 층(TOL)의 유기발광 층에 손상을 줄 수 있다. 하지만, 본 발명에서는 투명 자외선 차단막(IZO)이 상부 희생층(SL2) 바로 아래에 배치되어, 레이저의 에너지가 다른 박막층으로 전달되는 것을 방지한다.A laser having a wavelength range of 300 nm to 400 nm is irradiated from the outside of the upper rigid substrate GS2 to the upper sacrificial layer SL2. As a result, a phase change occurs in the upper sacrificial layer SL2, and the upper rigid substrate GS2 and the upper buffer layer NL2 are separated from the transparent ultraviolet blocking layer IZO. It is preferable to irradiate the upper sacrificial layer SL2 as much as possible when irradiating the laser. Even so, a part of the laser can be transmitted below the upper sacrificial layer SL2. In this case, the laser can damage the other thin film layer, particularly, the organic light emitting layer of the display element layer TOL. However, in the present invention, the transparent ultraviolet shielding film IZO is disposed directly under the upper sacrificial layer SL2 to prevent the energy of the laser from being transmitted to other thin film layers.

노출된 투명 자외선 차단막(IZO)의 전체 표면 위에 편광 필름(CP)을 면 합착한다. 그 후에, 300nm 내지 400nm의 파장대를 갖는 레이저를 하부 강성 기판(GS1)의 외부에서 하부 희생층(SL1)으로 조사한다. 그 결과 하부 희생층(SL1)에 상변화가 발생하며, 제거되어 하부 강성 기판(GS1)과 하부 버퍼층(NL1)이 유기 층(PL)으로부터 분리된다.The polarizing film CP is adhered to the entire surface of the exposed transparent ultraviolet blocking film IZO. Thereafter, a laser having a wavelength range of 300 nm to 400 nm is irradiated from the outside of the lower rigid substrate GS1 to the lower sacrificial layer SL1. As a result, a phase change occurs in the lower sacrificial layer SL1 and is removed to separate the lower rigid substrate GS1 and the lower buffer layer NL1 from the organic layer PL.

도면으로 도시하지 않았지만, 유기 층(PL)과 표시 소자 층(TOL) 사이에는 버퍼층이 더 적층될 수 있다. 버퍼층은 무기층과 유기층이 교대로 적층된 다층 구조를 가질수 도 있다. 특히, 버퍼층에는 금속층을 추가하여 하부 강성 기판(GS1)을 분리하는 데 사용한 레이저가 표시 소자 층(TOL)으로 전달되지 않도록 할 수 있다. 그 후에, 노출된 유기 층(PL)의 하면에 플렉서블 베이스 필름(PF)을 부착한다. 그러면 도 6d와 같은 구조를 갖는 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치를 완성한다.Although not shown in the drawings, a buffer layer may be further laminated between the organic layer PL and the display element layer TOL. The buffer layer may have a multi-layer structure in which an inorganic layer and an organic layer are alternately stacked. In particular, a metal layer may be added to the buffer layer so that the laser used for separating the lower rigid substrate GS1 is not transmitted to the display element layer TOL. Thereafter, the flexible base film PF is attached to the lower surface of the exposed organic layer PL. Thus, a flexible organic light emitting diode display device having the structure as shown in FIG. 6D is completed.

본 발명의 제2 실시 예에서는, 제1 실시 예와 달리 터치 박막층(TSP) 위에 적층된 투명 자외선 차단막(IZO)을 더 포함한다. 투명 자외선 차단막(IZO)은 인듐-아연 산화물을 포함하는 박막으로, 플렉서블 표시장치를 강성 기판으로부터 분리하는 데 사용하는 레이저의 파장대인 자외선 영역의 빛에 대한 투과율이 70% 이하인 특성을 갖는다. 따라서, 레이저가 터치 박막층(TSP) 아래에 배치된 유기발광 층으로 유입되는 것을 방지하여, 유기발광 층을 보호할 수 있다.In the second embodiment of the present invention, unlike the first embodiment, it further includes a transparent ultraviolet (IZO) film laminated on the touch thin film layer TSP. The transparent ultraviolet shielding film IZO is a thin film containing indium-zinc oxide and has a transmittance of 70% or less with respect to light in the ultraviolet region, which is the wavelength range of the laser used for separating the flexible display from the rigid substrate. Therefore, the laser can be prevented from flowing into the organic light emitting layer disposed below the touch thin film layer TSP, thereby protecting the organic light emitting layer.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

DP: 표시 기판 TP: 터치 기판
GS1: 하부 강성 기판 GS2: 상부 강성 기판
NL1: 하부 버퍼 층 NL2: 상부 버퍼 층
SL1: 하부 희생 층 SL2: 상부 희생 층
PL: 유기 층 IZO: 투명 자외선 차단막
TOL: 표시 소자 층 PAC: 보호 절연막
ENC: 인-캡 박막층 TSP: 터치 박막층
ADH: 접착층 ITL: 구동 배선층
ITS: 센서 배선층
DP: display substrate TP: touch substrate
GS1: Lower rigid substrate GS2: Upper rigid substrate
NL1: Lower buffer layer NL2: Upper buffer layer
SL1: lower sacrificial layer SL2: upper sacrificial layer
PL: organic layer IZO: transparent ultraviolet shielding film
TOL: Display element layer PAC: Protective insulating film
ENC: In-cap thin film layer TSP: Touch thin film layer
ADH: adhesive layer ITL: driving wiring layer
ITS: sensor wiring layer

Claims (5)

플렉서블 베이스 필름;
상기 플렉서블 베이스 필름 위에 형성된, 화상을 구현하는 표시 영역과 상기 표시 영역에서 연장되는 패드 부를 구비하는 표시 소자 층;
상기 표시 소자 층을 밀봉하는 인-캡 박막층;
상기 인-캡 박막층 상부 표면 전체에 도포된 접착층;
상기 접착층과 면접착된 터치 박막층;
상기 터치 박막층의 상부 표면 전체에 도포된 보호 절연막;
상기 보호 절연막 상부 표면 전체에 도포된 투명 자외선 차단막; 그리고
상기 투명 자외선 차단막 상부 표면에 부착된 편광 필름을 포함하는 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치.
Flexible base film;
A display element layer formed on the flexible base film, the display element layer having a display region for realizing an image and a pad portion extending in the display region;
An in-cap thin film layer for sealing the display element layer;
An adhesive layer applied over the entire upper surface of the in-cap thin film layer;
A touch thin film layer adhesively bonded to the adhesive layer;
A protective insulating film coated on the entire upper surface of the touch thin film layer;
A transparent ultraviolet shielding film applied over the entire upper surface of the protective insulating film; And
And a polarizing film attached to the upper surface of the transparent ultraviolet shielding film.
제 1 항에 있어서,
상기 베이스 필름과 상기 표시 소자 층 사이에 개재된 폴리이미드 박막 층; 그리고
상기 표시 소자 층과 상기 폴리이미드 박막 층 사이에 개재된 버퍼층을 더 포함하는 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치.
The method according to claim 1,
A polyimide thin film layer sandwiched between the base film and the display element layer; And
And a buffer layer interposed between the display element layer and the polyimide thin film layer.
제 1 항에 있어서,
상기 투명 자외선 차단막은,
300nm 내지 400nm 파장대 레이저의 투과율이 70% 이하인 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치.
The method according to claim 1,
The transparent ultraviolet blocking film
Wherein the transmittance of the 300 nm to 400 nm wavelength band laser is 70% or less.
제 1 항에 있어서,
상기 투명 자외선 차단막은,
인듐-아연 산화물질을 포함하는 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치.
The method according to claim 1,
The transparent ultraviolet blocking film
A flexible organic light emitting diode display comprising an indium-zinc oxide material.
제 1 항에 있어서,
상기 투명 자외선 차단막은,
두께가 100Å 내지 300Å 인 플렉서블 유기발광 다이오드 표시장치.
The method according to claim 1,
The transparent ultraviolet blocking film
A flexible organic light emitting diode display device having a thickness of 100 ANGSTROM to 300 ANGSTROM.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020113754A1 (en) * 2018-12-03 2020-06-11 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Display module, fabrication method therefor, and electronic apparatus
CN111448762A (en) * 2017-12-08 2020-07-24 莫列斯有限公司 Backlight user interface

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111448762A (en) * 2017-12-08 2020-07-24 莫列斯有限公司 Backlight user interface
CN111448762B (en) * 2017-12-08 2024-03-08 莫列斯有限公司 Backlight user interface
WO2020113754A1 (en) * 2018-12-03 2020-06-11 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Display module, fabrication method therefor, and electronic apparatus

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