KR20190143829A - 전자파 흡수 복합 시트 - Google Patents

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Abstract

전자파 흡수 필름 상에 적층된 전자파 실드 필름을 포함하고, 전자파 흡수 필름이 플라스틱 필름의 일면에 형성된 단층 또는 다층의 금속 박막을 포함하며, 금속 박막에 다수(복수)의 실질적으로 평행하고 간헐적인 선형 스크래치가 불규칙한 폭 및 간격으로 복수의 방향으로 형성되고, 전자파 실드 필름이 도전성 금속의 박, 도전성 금속 박막 또는 도막을 가진 플라스틱 필름, 또는 카본 시트이며, 전자파 흡수 필름에 대한 전자파 실드 필름의 면적률이 10~80%인 전자파 흡수 복합 시트.

Description

전자파 흡수 복합 시트{ ELECTROMAGNETIC-WAVE-ABSORBING COMPOSITE SHEET}
본 발명은 소망의 주파수 영역의 전자파 노이즈에 대한 높은 흡수능을 갖는 동시에, 전자파 노이즈 흡수능이 극대화되는 주파수 영역을 시프트(shift)할 수 있는 전자파 흡수 복합시트에 관한 것이다.
전기 기기 및 전자 기기로부터 전자파 노이즈가 방사될 뿐만 아니라, 주위의 전자파 노이즈가 침입하여, 신호에 노이즈가 혼입된다. 전자파 노이즈의 방사 및 침입을 방지하기 위해서, 종래부터 전기 기기 및 전자 기기를 금속 시트로 실드(shield)하는 일이 행해지고 있다. 또한, 전기 기기 및 전자 기기내에 전자파 흡수 필름을 마련해 전자파 노이즈를 흡수하는 것도 제안되고 있다.
예를 들어 WO 2010/093027 A1은 플라스틱 필름과 상기 플라스틱 필름의 적어도 일면에 형성된 단층 또는 다층 금속 박막을 포함하고, 금속 박막에 다수의 실질적으로 평행하고 간헐적인 선형 스크래치가 불규칙한 폭 및 간격으로 복수 방향으로 형성된, 전자파 흡수능의 이방성이 저감된, 선형 스크래치가 있는 금속 박막-플라스틱 복합 필름을 공개한다. WO 2010/093027 A1은 선형 스크래치가 있는 금속 박막-플라스틱 복합 필름과 전자파 반사체(금속 시트, 넷(net) 또는 메쉬(mesh), 금속 박막을 형성한 플라스틱 필름 등)를 유전체 층을 매개로 적층하여 복합형 전자파 흡수체를 얻을 수 있음을 기재한다. 이 복합형 전자파 흡수체는 넓은 주파수 영역의 전자파 노이즈에 대해 높은 흡수능을 가지지만, 특정 주파수 영역의 전자파 노이즈에 대해 특히 큰 흡수능을 발휘하는 기능 및 전자파 노이즈 흡수능이 극대화되는 주파수 영역을 시프트하는 기능은 가지고 있지 않다.
WO 2013/081043 A1은 (a) 플라스틱 필름과 상기 플라스틱 필름의 적어도 일면에 형성된 단층 또는 다층의 금속 박막을 포함하고, 금속 박막에 다수의 실질적으로 평행하고 간헐적인 선형 스크래치가 불규칙한 폭 및 간격으로 복수 방향으로 형성된 제1 전자파 흡수 필름과 (b) 자성(magnetic) 또는 비자성(non-magnetic) 도전성 입자가 분산된 수지 또는 고무로 이루어진 제2 전자파 흡수 필름을 포함하는 전자파 흡수 복합 시트를 공개한다. 이 복합형 전자파 흡수 시트는 넓은 주파수 영역의 전자파 노이즈에 대해 높은 흡수능을 가지지만, 특정 주파수 영역의 전자파 노이즈에 대해 특히 큰 흡수능을 발휘하는 기능 및 전자파 노이즈 흡수능이 극대화되는 주파수 영역을 시프트하는 기능은 가지고 있지 않다.
따라서, 본 발명의 목적은 소망의 주파수 영역의 전자파 노이즈에 대해 높은 흡수능을 갖는 동시에, 전자파 노이즈 흡수능이 극대화되는 주파수 영역을 시프트할 수 있는 전자파 흡수 복합 시트를 제공하는 것이다.
상기 목적에 비추어 예의 연구 결과, 본 발명자는 다수(복수)의 실질적으로 평행하고, 간헐적인 선형 스크래치가 불규칙한 폭 및 간격으로 복수의 방향으로 형성된 금속 박막을 가진 전자파 흡수 필름 상에 전자파 실드 필름을 적층하고, 상기 전자파 흡수 필름에 대한 상기 전자파 실드 필름의 면적률을 10~80%로 설정함으로써, 소망의 주파수 영역의 전자파 노이즈에 대해 높은 흡수능을 갖는 동시에, 전자파 노이즈 흡수능이 극대화되는 주파수 영역을 시프트할 수 있는 전자파 흡수 복합 시트가 얻어질 수 있음을 발견하고, 본 발명에 도달했다.
즉, 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트는 전자파 흡수 필름 및 상기 전자파 흡수 필름 상에 적층된 전자파 실드 필름을 포함하고, 상기 전자파 흡수 필름은 플라스틱 필름의 일면에 형성된 단층 또는 다층의 금속 박막을 포함하며, 금속 박막에 다수(복수)의 실질적으로 평행하고, 간헐적인 선형 스크래치가 불규칙한 폭 및 간격으로 복수의 방향으로 형성되고, 전자파 흡수 필름에 대한 전자파 실드 흡수 필름의 면적률이 10-80%이다.
상기 전자파 흡수 필름에 대한 상기 전자파 실드 필름의 면적률은 바람직하게는 20~80%, 더 바람직하게는 30~70%, 가장 바람직하게는 40~60%이다.
상기 전자파 실드 필름은 도전성 금속의 박, 도전성 금속의 박막 또는 도막을 갖는 플라스틱 필름, 또는 카본 시트인 것이 바람직하다.
상기 전자파 흡수 필름의 상기 선형 스크래치의 폭은 90% 이상이 0.1~100μm의 범위 내이고, 평균 1~50μm이며, 상기 선형 스크래치의 횡 방향 간격은 1~500μm의 범위 내이고, 평균 1~200μm인 것이 바람직하다.
상기 전자파 흡수 필름의 선형 스크래치의 예각 측의 교차각(an acute crossing angle) θs는 30~90°의 범위 내인 것이 바람직하다.
상기 전자파 실드 필름에서의 상기 도전성 금속은 알루미늄, 구리, 은, 주석, 니켈, 코발트, 크롬 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 일종인 것이 바람직하다.
상기 전자파 흡수 필름 및 상기 전자파 실드 필름은 모두 직사각형 또는 정사각형인 것이 바람직하다.
상기 구성을 갖는 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트는 뛰어난 전자파 흡수능을 가짐과 동시에, 전자파 흡수 필름에 대한 전자파 실드 필름의 면적률을 10~80% 범위 내로 변경함으로써, 소망의 주파수 영역의 전자파 노이즈에 대한 흡수능을 최대화할 수 있다. 이러한 전자파 흡수 복합 시트는 특정 주파수 영역의 전자파 노이즈를 방출하는 전자 기기나 전자 부품에 사용함으로써 그 전자파 노이즈를 효율적으로 흡수할 수 있다.
도 1(a)는 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트의 일례를 나타내는 분해 평면도이다.
도 1(b)는 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 2(a)는 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트를 구성하는 전자파 흡수 필름의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 2(b)는 전자파 흡수 필름의 선형 스크래치의 일례를 나타내는 부분 평면도이다.
도 2(c)는 도 2(b)의 A-A 선을 따라 얻은 단면도이다.
도 2(d)는 도 2(c)의 B 부분을 나타내는 확대 단면도이다.
도 2(e)는 전자파 흡수 필름의 다른 예를 나타내는 단면이다.
도 2(f)는 도 2(e)의 C 부분을 나타내는 확대 단면도이다.
도 3(a)는 선형 스크래치의 형성 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3(b)는 도 3(a)의 장치를 나타내는 평면도이다.
도 3(c)는 도 3(b)의 B- B 선을 따라 얻은 단면도이다.
도 3(d)는 복합 필름의 진행 방향에 대해서 경사진 선형 스크래치가 형성되는 원리를 설명하기 위한 부분 확대 평면도이다.
도 3(e)는 도 3(a)의 장치에서 복합 필름에 대한 패턴 롤(pattern roll) 및 가압 롤(push roll)의 경사각도를 나타내는 부분 평면도이다.
도 4는 선형 스크래치의 형성 장치를 나타내는 부분 단면도이다.
도 5는 선형 스크래치의 형성 장치의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 6(a)는 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 6(b)는 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 7(a)는 입사파에 대한 반사파의 전력 및 투과파의 전력을 측정하는 시스템을 나타내는 평면도이다.
도 7(b)는 도 7(a)의 시스템을 나타내는 부분 단면 개략도이다.
도 8은 마이크로스트립라인(microstripline) MSL 상에 배치된 샘플의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 9는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 1(선형 스크래치의 교차각 θs=90° 및 알루미늄 박편(foil piece)의 면적률=0%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 10은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 2(선형 스크래치의 교차각 θs=90° 및 알루미늄 박편의 면적률=20%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 11은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 3(선형 스크래치의 교차각 θs=90° 및 알루미늄 박편의 면적률=40%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 12는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 4(선형 스크래치의 교차각 θs=90° 및 알루미늄 박편의 면적률=50%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 13은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 5(선형 스크래치의 교차각 θs=90° 및 알루미늄 박편의 면적률=60%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 14는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 6(선형 스크래치의 교차각 θs=90°및 알루미늄 박편의 면적률=80%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 15는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 7(선형 스크래치의 교차각 θs=90° 및 알루미늄 박편의 면적률=100%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 16은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 21 및 22를 나타내는 평면도이다.
도 17은 알루미늄 박편의 형상이 다른 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 21, 22의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을, 샘플 1및 4의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin과 함께 나타내는 그래프이다.
도 18(a)는 실시예 4의 전자파 흡수 복합 시트를 Fire Stick TV의 IC칩 상에 배치했을 때 Fire Stick TV에서 누설한 주파수 3 GHz 근방의 전자파 노이즈를 나타내는 그래프이다.
도 18(b)는 전자파 흡수 복합 시트가 없는 Fire Stick TV에서 누설한 주파수 3 GHz근방의 전자파 노이즈를 나타내는 그래프이다.
도 19는 그래파이트 분말/카본 블랙의 카본 시트 조각을 이용한 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 31~33의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 20은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 41(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박편의 면적률=20%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 21은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 42(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 면적률=30%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 22는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 43(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 면적률=40%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 23은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 44(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 면적률=50%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 24는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 45(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 면적률=60%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 25는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 46(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 면적률=70%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 26은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 47(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 면적률=80%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 27은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 48(선형 스크래치의 교차각 θs=60°및 알루미늄 박막의 면적률=100%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 28은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 51(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 거리 D=0 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 29는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 52(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 거리 D=5 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 30은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 53(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 거리 D=10 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 31은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 54(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 거리 D=15 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 32는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 55(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 거리 D=20 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 33은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 56(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 알루미늄 박막의 거리 D=25 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 34는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 61(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박막의 면적률=20%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 35는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 62(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박막의 면적률=30%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 36은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 63(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 포일 조각의 면적률=40%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 37은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 64(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 포일 조각의 면적률=50%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 38은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 65(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 포일 조각의 면적률=60%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 39는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 66(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 포일 조각의 면적률=70%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 40은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 67(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 포일 조각의 면적률=80%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 41은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 68(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박편의 면적률=100%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 42는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 71(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박편의 거리 D=0 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 43은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 72(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박편의 거리 D=5 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 44는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 73(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박편의 거리 D=10 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 45는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 74(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박편의 거리 D=15 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 46은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 75(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박편의 거리 D=20 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 47은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 76(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 알루미늄 박편의 거리 D=25 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 48은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 81(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 면적률=20%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 49는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 82(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 면적률=30%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 50은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 83(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 면적률=40%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 51은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 84(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 면적률=50%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 52는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 85(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 면적률=60%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 53은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 86(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 면적률=70%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 54는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 87(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 면적률=80%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 55는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 88(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 면적률=100%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 56은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 91(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 거리 D=0 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 57은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 92(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 거리 D=5 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 58은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 93(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 거리 D=10 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 59는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 94(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 거리 D=15 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 60은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 95(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 거리 D=20 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 61은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 96(선형 스크래치의 교차각 θs=60° 및 구리 박편의 거리 D=25 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 62는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 101(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 면적률=20%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 63은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 102(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 면적률=30%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 64는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 103(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 면적률=40%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 65는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 104(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 면적률=50%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 66은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 105(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 면적률=60%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 67은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 106(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 면적률=70%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 68은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 107(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 면적률=80%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 69는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 108(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 면적률=100%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 70은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 111(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 거리 D=0 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 71은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 112(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 거리 D=5 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 72는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 113(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 거리 D=10 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 73은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 114(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 거리 D=15 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 74는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 115(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 거리 D=20 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 75는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 116(선형 스크래치의 교차각 θs=45° 및 구리 박편의 거리 D=25 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 76은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 121(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 면적률=20%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 77은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 122(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 면적률=30%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 78은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 123(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 면적률=40%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 79는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 124(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 면적률=50%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 80은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 125(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 면적률=60%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 81은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 126(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 면적률=70%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 82는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 127(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 면적률=80%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 83은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 128(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 면적률=100%)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 84는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 131(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 거리 D=0 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 85는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 132(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 거리 D=5 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 86은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 133(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 거리 D=10 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 87은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 134(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 거리 D=15 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 88은 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 135(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 거리 D=20 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
도 89는 전자파 흡수 복합 시트의 샘플 136(선형 스크래치의 교차각 θs=30° 및 구리 박편의 거리 D=25 mm)의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 그래프이다.
본 발명의 실시 형태를 첨부 도면을 참조해 상세하게 설명하지만, 특별한 언급이 없으면, 하나의 실시 형태에 관한 설명은 다른 실시 형태에도 적용된다. 또한, 하기의 설명은 한정적이지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변경을 해도 좋다.
도 1(a)은 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트 10을 구성하는 전자파 흡수 필름 1 및 전자파 흡수 필름 1 상에 적층된 전자파 실드 필름 2를 나타내고, 도 1(b) 는 전자파 흡수 필름 1과 전자파 실드 필름 2를 포함하는 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트 10의 일례를 나타낸다.
[1] 전자파 흡수 필름
도 2(a) 및 도 2(b)와 같이 전자파 흡수 필름 1은 플라스틱 필름 11과 상기 플라스틱 필름의 적어도 일면에 형성된 단층 또는 다층의 금속 박막 12를 포함하고, 상기 금속 박막 12에 다수(복수)의 실질적으로 평행하고, 간헐적인 선형 스크래치 13이 불규칙한 폭 및 간격으로 복수의 방향으로 형성되고 있다.
(1) 플라스틱 필름
플라스틱 필름 11을 형성하는 수지는, 절연성과 함께 충분한 강도, 가요성 및 가공성을 갖는 한 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면 폴리에스테르(폴리에틸렌테레프탈레이트 등), 폴리아릴렌설파이드(폴리페닐렌설파이드 등), 폴리아미드, 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르설폰, 폴리에테르에테르케톤, 폴리카보네이트, 아크릴 수지, 폴리스티렌, 폴리올레핀(폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등) 등을 들을 수 있다. 강도 및 비용의 관점에서, 폴리에틸렌테레프탈레이트가 바람직하다. 플라스틱 필름 11의 두께는 10~100㎛ 정도가 좋다.
(2) 금속 박막
금속 박막 12를 형성하는 금속은 도전성을 갖는 한 특별히 제한되지 않지만, 내식성 및 비용의 관점에서 알루미늄, 구리, 은, 주석, 니켈, 코발트, 크롬 및 이들의 합금이 바람직하고, 특히 알루미늄, 구리, 니켈 및 이들의 합금이 바람직하다. 금속 박막의 두께는 0.01㎛ 이상이 바람직하다. 두께의 상한은 특별히 한정되지 않지만, 실용적으로는 10㎛ 정도면 충분하다. 물론, 10㎛ 이상의 금속 박막을 이용해도 좋지만, 고주파수의 전자파 노이즈의 흡수능은 거의 변하지 않는다. 그러므로 금속 박막 12의 두께는 바람직하게는 0.01~10μm이고, 더욱 바람직하게는 0.01~5μm이며, 가장 바람직하게는 0.01~1μm이다. 금속 박막 12는 증착법(진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법 등의 물리 증착법, 또는 플라스마 CVD법, 열 CVD법, 빛 CVD법 등의 화학 기상 증착법), 도금 법 또는 박 접합 법으로 형성할 수 있다.
금속 박막 12가 단층인 경우 금속 박막 12는 도전성, 내식성 및 비용의 관점에서 알루미늄 또는 니켈로 형성되는 것이 바람직하다. 또는, 금속 박막 12가 다층인 경우 한 층은 비자성 금속으로 형성하고 다른 층은 자성 금속으로 형성해도 좋다. 비자성 금속으로서 알루미늄, 구리, 은, 주석 또는 이들의 합금을 들 수 있고, 자성 금속으로서 니켈, 코발트, 크롬 또는 이들의 합금을 들 수 있다. 자성 금속 박막의 두께는 0.01μm 이상이 바람직하고, 비자성 금속 박막의 두께는 0.1μm 이상이 바람직하다. 두께의 상한은 특별히 한정되지 않지만, 양자 모두 실용적으로는 10μm 정도가 좋다. 더욱 바람직하게는, 자성 금속 박막의 두께는 0.01~5μm이고, 비자성 금속 박막의 두께는 0.1~5μm이다. 도 2(e) 및 도 2(f)는 플라스틱 필름 11 상에 2층의 금속 박막 12a, 12b를 형성한 경우를 나타낸다.
(3) 선형 스크래치
도 2(b) 및 도 2(c)에 나타낸 예에서는, 금속 박막 12에 다수의 실질적으로 평행하고 간헐적인 선형 스크래치 13(13a, 13b)가 불규칙한 폭 및 간격으로 두 방향으로 형성되고 있다. 또한, 설명을 위한 목적으로, 도 2(c)에서는 선형 스크래치 13의 깊이를 과장하고 있다. 도 2(d)와 같이 두 방향으로 배열한 선형 스크래치 13는 다양한 폭 W 및 간격 I을 가진다. 선형 스크래치 13의 폭 W 및 간격 I는 선형 스크래치 형성 전의 금속 박막 12의 표면 S에 상당하는 높이로 구한다. 선형 스크래치 13이 다양한 폭 W 및 간격 I을 가지므로, 전자파 흡수 필름 1은 넓은 주파수 영역에서 전자파 노이즈를 효율적으로 흡수할 수 있다.　
선형 스크래치 13의 폭 W은 90% 이상이 0.1~100㎛의 범위 내인 것이 바람직하고, 0.5~50㎛의 범위 내인 것이 보다 바람직하고, 0.5~20㎛의 범위 내인 것이 가장 바람직하다. 선형 스크래치 13의 평균 폭 Wav는 1~50㎛가 바람직하고, 1~10㎛가 보다 바람직하며, 1~5㎛가 가장 바람직하다.
선형 스크래치 13의 횡 방향 간격 I는 1~500㎛의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 1~100㎛의 범위 내에 있는 것이 보다 바람직하고, 1~50㎛의 범위 내에 있는 것이 가장 바람직하고, 1~30㎛의 범위 내인 것이 특히 바람직하다. 또한, 선형 스크래치 13의 횡 방향 평균 간격 Iav는 1~200㎛가 바람직하고, 5~50㎛가 보다 바람직하고, 5~30㎛가 가장 바람직하다.
선형 스크래치 13의 길이 Ls는, 슬라이딩 조건(주로 패턴 롤 및 복합 필름의 상대적인 주속 및 복합 필름의 패턴 롤에 대한 슬라이딩 방향)에 의해 결정되므로, 슬라이딩 조건을 변경하지 않는 한, 대부분의 선형 스크래치 13는 거의 동일한 길이 Ls를 갖는다(평균 길이 Lasv와 거의 같음). 선형 스크래치 13의 길이는 특별히 한정되지 않고, 실용적으로는 1~100mm 정도가 좋고, 바람직하게는 2~10mm이다.
선형 스크래치 13a, 13b의 예각 측의 교차각(이하, 특별한 언급이 없으면 간단히 "교차각"이라고도 함) θs는 30~90°가 바람직하고, 45~90°가 보다 바람직하다. 복합 필름의 패턴 롤에 대한 슬라이딩 조건(상대적인 주속, 슬라이딩 방향 등)을 조정함으로써, 다양한 교차각 θs를 갖는 선형 스크래치 13을 얻을 수 있다.
(4) 제조 방법
도 3(a) ~ 도 3(e)는 선형 스크래치 113(113a, 113b)를 두 방향으로 형성하는 장치의 일례를 나타낸다. 이 장치는, (a) 플라스틱 필름 상에 형성된 금속 박막 112를 갖는 복합 필름 100을 감는 릴 221과, (b) 복합 필름 100의 폭 방향과 다른 방향으로 금속 박막 112의 측면에 배치된 제1패턴 롤 202a와, (c) 제1 패턴 롤 202a의 상류 측에 금속 박막 112의 반대 측에 배치된 제1 가압 롤 203a과, (d) 복합 필름 100의 폭 방향에 대해 제1 패턴 롤 202a와 반대 방향으로 금속 박막 112의 측면에 배치된 제2패턴 롤 202b와, (e) 제2 패턴 롤 202b의 하류 측에 금속 박막 112의 반대 측에 배치된 제2 가압 롤 203b과, (f) 제1 및 제2 패턴 롤 202a, 202b의 사이에 금속 박막 112의 측면에 배치된 전기 저항 측정 수단 204a와, (g) 제2 패턴 롤 202b의 하류 측에 금속 박막 112의 측면에 배치된 상기 제2 저항 측정 수단 204b와, (h) 선형 스크래치가 있는 복합 필름(전자파 흡수 필름) 111을 감는 릴 224를 구비한다. 이 외에 소정의 위치에 복수 개의 가이드 롤 222,223이 배치되어 있다. 각 패턴 롤 202a, 202b은 백업 롤(예, 고무 롤) 205a, 205b로 회전가능하게 지지된다.
도 3(c)에 나타낸 바와 같이, 각 가압 롤러 203a, 203b의 위치가, 복합 필름 100이 각 패턴 롤 202a, 202b와 슬라이딩 접촉되는 위치보다 낮기 때문에 복합 필름 100의 금속 박막 112는 각 패턴 롤 202a, 202b 에 의해 가압된다. 이 조건을 만족한 상태로 각 가압 롤러 203a, 203b의 수직 위치를 조정하여, 각 패턴 롤 202a, 202b 의 금속 박막 112으로의 가압력을 조정할 수 있고, 또한 중심각 θ1에 비례하는 슬라이딩 거리도 조정할수있다.
도 3(d)는 선형 스크래치 113a이 복합 필름 100의 진행 방향에 대하여 경사지게 형성되는 원리를 보여준다. 복합 필름 100의 진행 방향에 대해서 패턴 롤 202a는 경사져 있기 때문에, 패턴 롤 202a 상의 경질 미립자의 이동 방향(회전 방향) a와 복합 필름 100의 진행 방향 b는 다르다. X로 나타난 바와 같이, 패턴 롤 202a 상의 점 A에 대해 경질 미립자가 금속 박막112에 접촉하여 스크래치 B가 형성된 후, 경질 미립자는 점 A'까지 이동하고, 스크래치 B은 점 B'까지 이동한다. 점 A로부터 점 A'까지 경질 미립자가 이동하는 사이, 스크래치는 연속적으로 형성되기 때문에 점 B'로부터 점 A'까지 연장되는 선형 스크래치 113a이 형성된다.
제1 및 제2 패턴 롤 202a, 202b 로 형성되는 제1 및 제2의 선형 스크래치의 방향과 교차각 θs는 복합 필름 100에 대한 각 패턴 롤 202a, 202b의 각도 및/또는 복합 필름 100의 주행 속도에 대한 각 패턴 롤 202a, 202b의 원주 속도를 변경하여 조정할 수 있다. 예를 들어, 복합 필름 100의 주행 속도 b에 대한 패턴 롤 202a의 원주 속도 a를 증가시키면 도 3(d)의 Y로 도시된 선분 C'D'와 같이, 선형 스크래치 113을 예를 들어 복합 필름 100의 진행 방향에 대하여 45°로 경사지게 할 수 있다. 마찬가지로, 복합 필름 100의 폭 방향에 대한 패턴 롤 202a의 경사각 θ2를 변경하면 패턴 롤 202a의 원주 속도 a를 바꿀 수 있다. 이것은 패턴 롤 202b에 대해서도 마찬가지이다. 따라서, 두 패턴 롤 202a, 202b의 조정에 의해 선형 스크래치 113a, 113b의 방향을 변경할 수 있다.
각 패턴 롤 202a, 202b은 복합 필름 100에 대해 경사져 있기 때문에 각 패턴 롤202a, 202b과의 슬라이딩 접촉에 의해 복합 필름100은 폭 방향의 힘을 받는다. 따라서, 복합 필름 100의 사행(lateral displacement)을 방지하기 위해 각 패턴 롤202a, 202b에 대한 각 가압 롤 203a, 203b의 수직 위치 및/또는 각도를 조정하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 패턴 롤 202a의 축선과 가압 롤 203a의 축선과의 교차각 θ3를 적절히 조절하면 폭 방향의 힘을 상쇄하도록 가압력의 폭 방향 분포를 얻을 수 있고, 이에 의해 사행을 방지할 수 있다. 또한 패턴 롤 202a 및 가압 롤 203a과의 간격 조정도 사행 방지에 기여한다. 복합 필름 100의 사행 및 파단을 방지하기 위해 복합 필름 100의 폭 방향에 대하여 경사진 제1 및 제2 패턴 롤 202a, 202b의 회전 방향은 복합 필름 100의 진행 방향과 동일한 것이 바람직하다.
도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 롤 형태의 각 전기 저항 측정 수단 204a, 204b는 절연부(미도시)를 통해 한 쌍의 전극 204a，204b을 구비하고, 그들 사이에서 선형 스크래치가 형성된 금속 박막 112의 전기 저항을 측정한다. 전기 저항 측정 수단 204a，204b로 측정한 전기 저항 값은 타겟의 전기 저항 값과 비교되어, 그 차이에 따라, 복합 필름(100)의 주행 속도, 패턴 롤 202a, 202b의 회전 속도 및 경사각 θ2, 가압 롤203a, 203b 위치 및 경사각 θ3 등의 운전 조건을 조정한다.
복합 필름 100에 대한 패턴 롤 202a, 202b의 가압력을 증대하기 위해서, 도4와 같이 패턴 롤 202a, 202b 사이에 제3 가압 롤 203c를 설치해도 좋다. 제3 가압 롤 203c의 중심각 θ1에 비례하는 금속 박막 12의 슬라이딩 거리도 증가하고 선형 스크래치 113a, 113b는 길어진다. 제3 가압 롤 203c의 위치 및 경사각을 조정하면 복합 필름 100의 사행의 방지에도 기여할 수 있다.
도 5는 직교하는 두 방향으로 배향되는 선형 스크래치를 형성하는 장치의 예를 나타낸다. 이 장치는 제2 패턴 롤 232b가 복합 필름 100의 폭 방향과 평행으로 배치되고 있는 점에서 도 3(a) ~ 도 3(e)에 나타내는 장치와 다르다. 따라서, 도 3(a)~ 도 3(e)에 나타내는 장치와 다른 부분만 이하 설명한다. 제2 패턴 롤 232b의 회전 방향은 복합 필름 100의 진행 방향과 동일해도 좋고 반대여도 좋다. 또한, 제2 가압 롤 233b는 제2 패턴 롤 232b의 상류 측이어도 좋고 하류 측이어도 좋다. 이 장치는 도 3(d) 에서 Z로 도시한 바와 같이, 선형 스크래치 113a'의 방향(선분 E'F')을 복합 필름 100의 폭 방향으로 90°에서 교차하는 선형 스크래치를 형성한다.
선형 스크래치의 경사각 및 교차각뿐만 아니라 그것들의 깊이, 폭, 길이 및 간격을 정하는 운전 조건은 복합 필름 100의 주행 속도, 패턴 롤의 회전 속도, 기울기 및 가압력 등이다. 복합 필름 100의 주행 속도는 5~200 m/분이 바람직하고, 패턴롤의 원주 속도는 10~2,000 m/분이 바람직하다. 패턴 롤의 경사각 θ2는 20°~60°가 바람직하고, 특히 약 45°가 바람직하다. 복합 필름 100의 장력(가압력에 비례한다)는 0.05~5 kgf/cm폭이 바람직하다.
선형 스크래치 형성 장치에 사용하는 패턴 롤은 날카로운 모서리를 가지는 모스 경도 5이상의 미립자를 표면에 가진 롤, 예를 들면, JP 2002-59487A에 기재되어 있는 다이아몬드 롤이 바람직하다. 선형 스크래치의 폭은 미립자의 입경에 의해 결정되기 때문에, 다이아몬드 미립자의 90% 이상은 1~1,000μm의 범위 내의 입경을 갖는 것이 바람직하고, 10~200μm의 범위 내의 입경을 갖는 것이 보다 바람직하다. 다이아몬드 미립자는 롤 면에 50% 이상의 면적률로 부착되는 것이 바람직하다.
[2] 전자파 실드 필름
전자파 흡수 필름 1을 투과한 전자파 노이즈를 반사하고 전자파 흡수 필름 1에 재투입시키기 위해서, 전자파 실드 필름 2는 전자파 노이즈를 반사하는 기능을 갖출 필요가 있다. 이러한 기능을 효과적으로 발휘하기 위하여 전자파 실드 필름 2는 도전성 금속의 박, 도전성 금속 박막 또는 도막을 가진 플라스틱 필름, 또는 카본 시트인 것이 바람직하다. 전자파 흡수 필름 1과 전자파 실드 필름 2의 적층은 비 도전성 접착제를 매개로 하는 것이 바람직하다. 접착제는 공지의 것이면 좋다.
(1) 도전성 금속의 박
상기 도전성 금속은 알루미늄, 구리, 은, 주석, 니켈, 코발트, 크롬 및 이들 합금으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 일종의 금속으로 이루어지는 것이 바람직하다. 도전성 금속의 박은 5~50μm의 두께를 가진 것이 바람직하다.　
(2) 도전성 금속 박막 또는 도막
상기 도전성 금속의 박막은 상기 도전성 금속의 증착막인 것이 바람직하다. 금속 증착막의 두께는 수십nm ~ 수십m이면 바람직하다. 상기 도전성 금속의 증착막이 형성되는 플라스틱 필름은 전자파 흡수 필름 1의 플라스틱 필름 11과 같으면 바람직하다.
(3) 도전성 금속의 도막
상기 도전성 금속의 도막은 열가소성 수지 또는 광경화성 수지에 은 분말 등의 도전성 금속 분말을 고분산시킨 잉크(페이스트)를 플라스틱 필름에 도포하여 건조시킨 후 필요에 따라 자외선 조사를 실시함으로써 형성할 수 있다. 도전성 잉크(페이스트)는 공지의 것이면 좋고, 예를 들면, 도전성 필러, 광 중합 개시제 및 고분자 분산제를 함유하고, 상기 도전성 필러의 비율이 70~90질량%이며, 도전성 필러 50질량% 이상이 비늘(scale) 조각 형상, 박 형상 또는 플레이크 형상이며, 도전성 필러가 D50의 입경이 0.3~3.0μm인 은 분말인 광경화형 도전성 잉크 조성물(JP 2016-14111 A)을 사용할 수 있다. 상기 도전성 금속의 도막이 형성되는 플라스틱 필름은 전자파 흡수 필름 1의 플라스틱 필름 11 과 같으면 바람직하다.　
(4) 카본 시트
전자파 실드 필름으로서 사용하는 카본 시트는, 폴리이미드 필름을 불활성 가스 중에서 초고온가열 처리함으로써 형성한 시판의 PGS(등록상표) 그래파이트 시트(파나소닉 주식회사), 그래파이트 분말과 카본 블랙으로 이루어진 카본 시트(방열 시트) 등이다.　
그래파이트 분말/카본 블랙의 카본 시트로, 그래파이트 미립자 사이에 카본 블랙이 고르게 분산된 구조를 가지고, 그래파이트 미립자/카본 블랙의 질량비가 75/25~95/5이며, 1.9 g/cm3 이상의 밀도를 가지면서, 면내 방향으로 570 W/mK 이상의 열 전도율을 가진 방열 시트(JP 2015-170660 A)를 사용할 수 있다. 그래파이트 미립자는 5~100μm의 평균 지름 및 200 nm 이상의 평균 두께를 가지는 것이 바람직하다. 이 방열 시트는 25~250μm의 두께를 가지는 것이 바람직하다.　
이 방열 시트는, (1) 합계 5~25질량%의 그래파이트 미립자 및 카본 블랙과 0.05~2.5질량%의 바인더 수지를 함유하고, 상기 그래파이트 입자와 상기 카본 블랙의 질량비가 75/25~95/5인 유기 용매 분산 용액을 조제하고, (2)상기 분산 용액을 지지판의 일면에 도포한 후 건조하는 공정을 여러번 반복함으로써 상기 그래파이트 미립자, 상기 카본 블랙 및 상기 바인더 수지로 구성된 수지 함유 복합 시트를 형성하고, (3) 상기 수지 함유 복합 시트를 연소함으로써 상기 바인더 수지를 제거하고, (4) 얻어진 그래파이트 미립자/카본 블랙 복합 시트를 가압하여 치밀화하는 방법으로 형성할 수 있다.
[3] 전자파 흡수 필름과 전자파 실드 필름의 배치
(1) 면적률
도 1(b)와 같이 전자파 흡수 필름 1에 대한 전자파 실드 필름 2의 면적률은 10~80%이다. 면적률이 10% 미만이거나 80% 이상이면, 소망의 주파수 영역에서의 전자파 노이즈에 대한 흡수능의 극대화가 충분하지 않다. 이는 예상하지 못한 결과이며 전자파 흡수 필름 1에 대한 전자파 실드 필름 2의 면적률이 10~80%인 것은 본 발명의 중요한 특징이다. 면적률의 하한은 20%가 바람직하고, 30%가 더 바람직하며, 40%가 더욱 바람직하며, 45%가 가장 바람직하다. 또한, 면적률의 상한은 70%가 바람직하고, 65%가 보다 바람직하며, 60%가 가장 바람직하다. 전자파 흡수 필름 1에 대한 전자파 실드 필름 2의 면적률의 범위는 예를 들면, 20~80%가 바람직하고, 30~70%가 더 바람직하며, 40~65%가 더욱 바람직하고, 45~60%가 가장 바람직하다.
(2) 위치
전자파 흡수 필름 1의 중심에 전자파 실드 필름 2의 중심이 위치하는 것이 바람직하지만 전자파 흡수능의 피크 주파수를 바꾸기 위해 미루어져도 좋다. 전자파 실드 필름 2의 위치 차이에는, 도 6(a)와 같이 전자파 흡수 필름 1에 대해서 전자파 실드 필름 2를 한 방향으로 미루는 경우, 및 도 6(b)와 같이 전자파 실드 필름 2의 4변이 전자파 흡수 필름 1의 4변의 내측으로 떨어지도록 전자파 실드 필름 2의 크기를 줄일 수 있다. 어느 경우에도 전자파 흡수 필름 1에 대한 전자파 실드 필름 2의 미루는 방법 및 사이즈는 전자파 흡수능의 피크 주파수에 영향이 있으므로, 전자파 흡수능이 극대화되도록 하는 주파수 영역에 맞게 적절히 결정하는 것이 바람직하다. 또한, 도 6(a)의 경우 및 도 6(b)의 경우의 어느 것도 물론 전자파 흡수 필름 1에 대한 전자파 실드 필름 2의 면적률은 상기 조건을 충족해야 한다.
본 발명을 하기 실시예에 의해 보다 상세하게 설명하지만, 본 발명은 그것들에 한정되는 것은 아니다.　
참고예 1
입경 분포가 50~80μm인 다이아몬드 미립자가 전착된(electroplated) 패턴 롤 232a, 232b를 가진 도 5에 나타낸 구조의 장치를 이용하여, 두께 16μm의 이축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름의 일면에 진공 증착법으로 형성한 두께 0.05μm의 알루미늄 박막에 교차각 θs가 90°의 두 방향으로 배열한 선형 스크래치를 형성했다. 선형 스크래치가 붙은 알루미늄 박막의 광학 현미경 사진으로부터, 선형 스크래치는 아래와 같은 특성을 가지는 것을 알았다.
폭 W의 범위: 0.5~5μm
평균 폭 Wav: 2μm
간격 I의 범위: 2~30μm
평균 간격 Iav: 20μm
평균 길이 Lsav: 5 mm
예각 측의 교차각 θs: 90°
참고예 2
입경 분포가 50~80μm인 다이아몬드 미립자가 전착된 패턴 롤 202a, 202b를 가진 도 3에 나타낸 구조의 장치를 이용하여, 두께 16μm의 PET 필름의 일면에 진공 증착법으로 형성한 두께 0.05μm의 알루미늄 박막에 교차각 θs가 60°의 두 방향으로 배열한 선형 스크래치를 형성했다. 선형 스크래치가 붙은 알루미늄 박막의 광학 현미경 사진으로부터, 선형 스크래치는 아래와 같은 특성을 가지는 것을 알았다.
폭 W의 범위: 0.5~5μm
평균 폭 Wav: 2μm
간격 I의 범위: 2~30μm
평균 간격 Iav: 20μm
평균 길이 Lsav: 5 mm
예각 측의 교차각 θs: 60°
참고예 3
교차각 θs를 45°로 한 것을 제외하고는 참고예 2와 같은 방법으로, 두께 16μm의 PET 필름의 일면에 진공 증착법으로 형성한 두께 0.05μm의 알루미늄 박막에 교차각 θs가 45°의 두 방향으로 배열한 선형 스크래치를 가진 전자파 흡수 필름을 제작했다.
참고예 4
교차각 θs를 30°로 한 것을 제외하고는 참고예 2와 같은 방법으로, 두께 16μm의 PET필름의 일면에 진공 증착법으로 형성한 두께 0.05μm의 알루미늄 박막에 교차각 θs가 30°의 두 방향으로 배열한 선형 스크래치를 가진 전자파 흡수 필름을 제작했다.
실시예 1
참고예 1에서 얻은 선형 스크래치의 교차각 θs가 90°인 전자파 흡수 필름으로부터 50 mm× 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각을 잘라냈다. 이 전자파 흡수 필름 조각에, 도 8에 나타낸 바와 같이, L(0 mm, 10 mm, 20 mm, 25 mm, 30 mm, 40 mm 및 50 mm)×50 mm크기의 알루미늄 박편(두께: 15μm)을 비 도전성 접착제를 매개로 적층하여 샘플 1~7을 제작했다. 각 샘플에 있어서 알루미늄 박편의 중심은 전자파 흡수 필름 조각의 중심과 일치했다.
도 7(a) 및 도 7(b)와 같이 50Ω의 마이크로 스트립 라인 MSL(64.4mm× 4.4 mm)과, 마이크로 스트립 라인 MSL을 지지하는 절연 기판 300과, 절연 기판 300의 하면에 접합된 접지 그랜드 전극 301과, 마이크로 스트립 라인 MSL의 양 끝에 접속된 도전성 핀 302,302와, 네트워크 애널라이저 NA와 네트워크 애널라이저 NA을 도전성 핀 302,302에 접속하는 동축 케이블 303,303으로 구성된 시스템을 사용하여 도 8과 같이 각 샘플의 중심이 마이크로 스트립 라인 MSL의 중심과 일치하도록 절연 기판 300의 상면에 각 샘플을 점착제에 의해 부착하고, 0.1~6 GHz의 입사파에 대해서, 반사파의 전력 S11 및 투과파의 전력 S12를 측정했다.　
도 7(a) 및 도 7(b)에 나타낸 시스템에서 입사 전력 Pin인풋에서 반사파의 전력 S11 및 투과파의 전력 S12를 공제함으로써 전력 손실 Ploss를 구하며 Ploss를 입사 전력 Pin으로 나눔으로써 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 구했다. 결과를 도 9 ~ 도 15 및 표 1에 나타낸다.
샘플 No. θs (1)
(°)		 알루미늄 박편 최대 노이즈 흡수
L
(mm)		 면적률(2)
(%)		 Ploss/Pin 주파수
(GHz)
1* 90 0 0 0.88 2
2 90 10 20 0.93 1.7
3 90 20 40 0.95 1.8
4 90 25 50 0.96 1.9
5 90 30 60 0.93 2.3
6 90 40 80 0.93 3.4
7* 90 50 100 0.90 3.7
주:(1) θs는 선형 스크래치의 예각 측의 교차각을 나타낸다.
(2) 전자파 흡수 필름 조각에 대한 알루미늄 박편의 면적률.
*표시를 가진 샘플은 본 발명의 범위 밖이다.
전자파 흡수 필름 조각에 알루미늄 박편을 적층하지 않는 샘플 1에서는 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 0.88이고, 그때의 주파수가 약 2 GHz이고, 전자파 흡수 필름 조각에 동일한 크기의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 7에서는 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 0.90이고, 그때의 주파수가 약 3.7 GHz였다. 반면, 전자파 흡수 필름 조각에 면적률이 50%인 크기의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 4에서는 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 0.96로 높고, 그때의 주파수가 약 1.9 GHz였다. 또한 전자파 흡수 필름 조각에 면적률이 80%인 크기의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 6에서는 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin은 0.93과 같이 높지만 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 주파수는 3.4 GHz로 이동했다. 따라서, 소망의 주파수 영역에서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 최대화하려면 전자파 흡수 필름 조각에 대한 알루미늄 박편(전자파 실드 필름)의 면적률을 10~80%로 할 필요가 있음을 알 수 있다.
실시예 2
실시예 1에서 사용한 선형 스크래치의 교차각 θs가 90°인 50 mm × 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 25 mm × 50 mm 크기의 알루미늄 박편(두께: 15μm)을 도 6(a)와 같이 전자파 흡수 필름 조각의 한 변 X1과 알루미늄 박편의 한 변 X2(X1과 평행) 사이의 거리 D가 0 mm, 5 mm및 10 mm가 되도록 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 11~13을 제작했다. 각 샘플을 도 7(a)와 같이 절연 기판 300상의 마이크로 스트립 라인 MSL위에 배치하고, 0.1~6 GHz에서의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 측정했다. 각 샘플의 거리 D, 2 GHz의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin, 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin 및 그때의 주파수를 표 2에 나타낸다.
샘플
No.		 θs (1)
(°)		 D (2)
(mm)		 2 GHz에서의
Ploss/Pin 		최대 Ploss/Pin
(GHz)
11 90 0 0.50 0.98 (3.9)
12 90 5 0.60 1.0 (3.7)
13 90 10 0.89 0.98 (2.6)
주:(1) θs는 선형 스크래치의 예각 측의 교차각을 나타낸다.
(2) D는 전자파 흡수 필름 조각의 한 변 X1과 알루미늄 박편의 한 변 X2 사이의 거리를 나타낸다.
표 2에서 밝혀진 바와 같이, (a) 알루미늄 박편의 중심이 전자파 흡수 필름 조각의 중심에 가까워지자 2 GHz의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 증가하고, (b) 알루미늄 박편의 중심이 전자파 흡수 필름 조각의 중심에서 멀어지면 2 GHz의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin은 저하되지만 노이즈 흡수율 Ploss/Pin은 2 GHz와 다른 주파수(4 GHz부근)에서 극대화했다. 이로부터, 반도체의 노이즈 주파수 영역에서는, 알루미늄 박과 전자파 흡수 필름의 중심이 가능하면 근접하는 것이 좋고, 그 외의 주파수 영역에서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 극대화하려면 알루미늄 박편의 중심을 전자파 흡수 필름 중심에서 비키어 놓는 것이 바람직하다는 점을 알 수 있다.
실시예 3
도 16에 나타낸 바와 같이, 실시예 1과 동일한 50 mm × 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각 상에 면적률이 50%인 정사각형의 알루미늄 박편 및 면적률이 50%인 정사각형의 틀 형상의 알루미늄 박편을 각각 중심이 일치하도록 적층한 샘플 21및 22를 제작했다. 각 샘플의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 측정했다. 측정 결과를 샘플 1및 4의 결과와 함께 도17에 나타낸다.
도 17에서 밝혀진 바와 같이, 면적률이 50%인 정사각형의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 21은 25 mm × 50 mm 크기의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 4와 비슷한 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타냈지만, 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 나타나는 주파수는 달라졌다. 반면, 동일한 면적률이지만 다른 형상의 알루미늄 박편으로 적층된 샘플 22의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin은 넓은 주파수 영역에서 샘플 21보다 현저히 낮았다. 이로부터, (a) 동일한 면적률에도 불구하고 알루미늄 박편(전자파 실드 필름)의 형상을 변경하는 것으로써, 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 나타내는 주파수 영역을 변경할 수 있고, (b) 동일한 면적률의 알루미늄 박편에서도, 전자파 흡수 필름 조각의 중심부를 차지하는 형상을 갖는 알루미늄 박편이 높은 노이즈 흡수율 Ploss/Pin를 갖는 것을 알 수 있다.
실시예 4
아마존의 Fire Stick TV의 IC칩을 덮는 실시예 1과 같은 구성의 전자파 흡수 복합 시트를 제작했다. 전자파 흡수 필름 조각은 IC칩과 같은 크기를 갖는 정사각형이고, 알루미늄 박편은 전자파 흡수 필름 조각에 대한 면적률이 50%인 직사각형이다. 알루미늄 박편의 한 쌍의 대향하는 변은 전자파 흡수 필름 조각의 한 쌍의 대향하는 변과 일치하고, 상기 알루미늄 박편의 한 쌍의 대향하는 변과 직교하는 다른 한 쌍의 대향하는 변 사이의 거리는 상기 전자파 흡수 필름 조각의 한 쌍의 대향하는 변과 직교하는 다른 한 쌍의 대향하는 변 사이의 거리의 50% 였다. 또한, 적층한 알루미늄 박편의 중심은 전자파 흡수 필름의 중심과 일치했다. 즉, 실시예 4의 전자파 흡수 복합 시트는 도 1(b)의 형상을 가진다.
Fire Stick TV의 커버를 떼어내고, 실시예 4의 전자파 흡수 복합 시트를 Fire Stick TV의 IC칩 위에 배치하고, 주식회사 계측기술연구소(Keisoku Giken Co., Ltd)의 스펙트럼 분석기 VSA6G2A로 Fire Stick TV에서 누설되는 전자파 노이즈를 계측했다. 결과를 도 18(a)에 나타낸다. 또한, 커버를 떼어냈지만 전자파 흡수 복합 시트를 IC칩 상에 배치하지 않은, Fire S tick TV로부터 누설되는 전자파 노이즈를 계측했다. 결과를 도 18(b)에 나타낸다. 도 18(a) 및 도 18(b)에서 밝혀진 바와 같이, 본 발명의 전자파 흡수 복합 시트가 IC칩 상에 배치될 때, Fire Stick TV에서 누설되는 3 GHz근방의 전자파 노이즈는 현저히 감소했다.
실시예 5
알루미늄 박편 대신에, 20 mm × 50 mm(샘플 31), 25 mm × 50 mm(샘플 32) 및 50 mm × 50 mm(샘플 33)의 크기의 그래파이트 분말/카본 블랙의 각 카본 시트 조각을, 50mm × 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 각각의 중심이 일치하도록 적층한 것 이외에는 실시예 1과 같은 방식으로 각 전자파 흡수 복합 시트를 제작했다. 또한, 그래파이트 분말/카본의 블랙 카본 시트는 JP 2015-170660 A의 실시예 1과 같은 방법으로 형성했다. 각 샘플의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 실시예 1과 같은 방식으로 측정했다. 결과를 도 19에 나타낸다.
도 19에서 밝혀진 바와 같이, 알루미늄 박편 대신 카본 시트 조각을 사용하더라도 실시예 1과 같은 결과가 얻어졌다.
상기 실시예에서는 알루미늄 박막에 교차각 90°의 선형 스크래치를 형성한 전자파 흡수 필름에 전자파 실드 필름으로 알루미늄 박 및 그래파이트 분말/카본 블랙의 카본 시트를 적층한 전자파 흡수 복합 시트를 사용했지만 본 발명은 이러한 전자파 흡수 복합 시트에 한정되지 않고 본 발명의 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다. 예를 들면, 금속 박막은 알루미늄 박막에 한정되지 않고 구리 박막 등도 가능하며 선형 스크래치의 교차각은 90°에 한정되지 않고 30~90°의 범위 내에서 변경 가능하며 전자파 실드 필름으로 알루미늄박 외에도 구리 박과 알루미늄, 구리, 은 등의 분말을 분산시킨 도전성 잉크의 도막 등도 마찬가지로 사용 가능하다.
실시예 6
참고예 2에서 얻은 선형 스크래치의 교차각 θs가 60°인 전자파 흡수 필름에서 잘라낸 50 mm× 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 도 8에 나타낸 바와 같이 L(10 mm, 15 mm, 20 mm, 25 mm, 30 mm, 35 mm, 40 mm, 50 mm)×50 mm 크기의 알루미늄 박편(두께: 15μm)을 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 41~48을 제작했다. 각 샘플에 있어서 알루미늄 박편의 중심은 전자파 흡수 필름 조각의 중심과 일치했다. 실시예 1과 같은 방법으로 각 샘플 41~48의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 구했다. 결과를 도 20 ~ 도 27 및 표 3에 나타낸다.
샘플 No. θs (1)
(°)		 알루미늄 박편 최대 노이즈 흡수
L
(mm) 		면적률 (2)
(%) 		Ploss/Pin 주파수
(GHz)
41 60 10 20 0.96 1.9
42 60 15 30 0.96 1.95
43 60 20 40 0.96 2.2
44 60 25 50 0.93 2.2
45 60 30 60 0.94 4.1
46 60 35 70 0.99 4.05
47 60 40 80 0.97 4.1
48* 60 50 100 -(3) -(3)
주: (1) θs는 선형 스크래치의 예각 측의 교차각을 나타낸다.
(2) 전자파 흡수 필름 조각에 대한 알루미늄 박편의 면적률.
(3) Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐 낮았다.
*표시를 가진 샘플은 본 발명의 범위 밖이다。
전자파 흡수 필름 조각에 같은 크기의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 48에서는 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐서 낮았다. 반면, 전자파 흡수 필름 조각에 면적률이 20~80%인 크기의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 41~47에서는 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 0.93~0.99로 높고, 그때의 주파수 영역은 1.9 GHz~4.1 GHz의 범위에서 변화하고 있었다. 이로부터, 소망의 주파수 영역에서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 최대화하려면 전자파 흡수 필름 조각에 대한 알루미늄 박편의(전자파 실드 필름) 면적률을 10~80%로 해야 함을 알 수 있다.
실시예 7
실시예 6에 사용한 것과 같은 선형 스크래치의 교차각 θs가 60°인 50 mm × 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 25 mm× 50 mm 크기의 알루미늄 박편(두께: 15μm)을 도 6(a)와 같이 전자파 흡수 필름 조각의 한 변 X1과 알루미늄 박편의 한 변 X2(X1과 평행) 사이의 거리 D가 0 mm, 5 mm, 10 mm, 15 mm, 20 mm 및 25 mm가 되도록 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 51~56을 제작했다. 각 샘플의 0.1~6 GHz의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 실시예 2와 같은 방식으로 측정했다. 각 샘플의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin과 거리 D와의 관계를 도 28 ~ 도 33에 나타낸다. 도 28 ~ 도 33에서 밝혀진 바와 같이, 거리 D가 변화하면서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin의 곡선은 크게 변화했다.
실시 예 8
참고예 4에서 얻은 선형 스크래치의 교차각 θs가 30°인 전자파 흡수 필름에서 잘라낸 50 mm × 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 도 8에 나타낸 바와 같이 L(10 mm, 15 mm, 20 mm, 25 mm, 30 mm, 35 mm, 40 mm, 50 mm)×50 mm 크기의 알루미늄 박편(두께: 15μm)을 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 61~68을 제작했다. 각 샘플에 있어서 알루미늄 박편의 중심은 전자파 흡수 필름 조각의 중심과 일치하고 있었다. 실시예 1과 같은 방법으로 각 샘플 61~68의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 구했다. 결과를 도 34 ~ 도 41 및 표 4에 나타낸다.
샘플 No. θs (1)
(°)		 알루미늄 박편 최대 노이즈 흡수
L
(mm) 		면적률(2)
(%) 		Ploss/Pin 주파수
(GHz)
61 30 10 20 0.93(3) 2.1
62 30 15 30 0.92(4) 2.1
63 30 20 40 0.9(5) 2.3
64 30 25 50 0.9(6) 2.4
65 30 30 60 0.98 4.1
66 30 35 70 0.97 4.2
67 30 40 80 0.95 4.1
68* 30 50 100 -(7) -(7)
주: (1) θs는 선형 스크래치의 예각 측의 교차각을 나타낸다.
(2) 전자파 흡수 필름 조각에 대한 알루미늄 박편의 면적률.
(3) 주파수 약 5 GHz의 영역에서 0.98의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 갖고, 주파수 2.1 GHz에서 0.93의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin와 같이 큰 극대값을 갖는다.
(4) 주파수 약 5 GHz이상의 영역에서 0.98의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 갖고, 주파수 2.1 GHz에서 0.92의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin와 같이 큰 극대값을 갖는다.
(5) 주파수 4 GHz이상의 영역에 0.97의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin를 갖고, 주파수 2.3 GHz에서 0.9의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin과 같이 큰 극대값을 갖는다.
(6) 주파수 4.2 GHz의 영역에서 0.97의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 갖고 주파수 2.4 GHz에 0.9의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin과 같이 큰 극대값을 갖는다.
(7) Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐 낮았다.
*표시를 가진 샘플은 본 발명의 범위 밖이다.
전자파 흡수 필름 조각에 같은 크기의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 68에서는 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐서 낮았다. 반면, 전자파 흡수 필름 조각에 면적률이 20~80%인 크기의 알루미늄 박편을 적층한 샘플 61~67에서는 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 0.9~0.98로 높고, 그때의 주파수 영역은 2.1 GHz~4.2 GHz의 범위에서 변화하고 있었다. 이로부터, 소망의 주파수 영역에서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 최대화하려면 전자파 흡수 필름 조각에 대한 알루미늄 박편(전자파 실드 필름)의 면적률을 10~80%로 해야 함을 알 수 있다.
실시예 9
실시예 8에 사용한 것과 같은 선형 스크래치의 교차각 θs가 30°인 50 mm× 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 25 mm × 50 mm 크기의 알루미늄 박 편(두께:15μm)을 도 6(a)와 같이 전자파 흡수 필름 조각의 한 변 X1과 알루미늄 박편의 한 변 X2(X1과 평행) 사이의 거리 D가 0 mm, 5 mm, 10 mm, 15 mm, 20 mm 및 25 mm가 되도록 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 71~76을 제작했다. 각 샘플의 0.1~6 GHz의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 실시예 2와 동일한 방식으로 측정했다. 각 샘플의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin과 거리 D와의 관계를 도 42 ~ 도 47에 나타낸다. 도 42 ~ 도 47에 밝혀진 바와 같이, 거리 D가 변화하면서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin의 곡선은 크게 변화했다.
실시예 10
참고예 2에서 얻은 선형 스크래치의 교차각 θs가 60°인 전자파 흡수 필름에서 잘라낸 50 mm× 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 도 8에 나타낸 바와 같이 L(10 mm, 15 mm, 20 mm, 25 mm, 30 mm, 35 mm, 40 mm, 50 mm)×50 mm 크기의 구리 박편(두께:15μm)을 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 81~88을 제작했다. 각 샘플에 있어서 구리 박편의 중심은 전자파 흡수 필름 조각의 중심과 일치하고 있었다. 실시예 1과 같은 방법으로 각 샘플 81~88의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 구했다. 결과를 도 48 ~ 도 55 및 표 5에 나타낸다.　
샘플 No. θs (1)
(°) 		구리 박편 최대 노이즈 흡수
L
(mm) 		면적률 (2)
(%) 		Ploss/Pin 주파수
(GHz)
81 60 10 20 0.96 1.9
82 60 15 30 0.98 2.1
83 60 20 40 0.97 2.2
84 60 25 50 0.95 2.2
85 60 30 60 0.98 3.4
86 60 35 70 0.99 4.1
87 60 40 80 0.98 4.2
88* 60 50 100 -(3) -(3)
주: (1) θs는 선형 스크래치의 예각 측의 교차각을 나타낸다.
(2) 전자파 흡수 필름 조각에 대한 구리 박편의 면적률.
(3) Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐 낮았다.
*표시를 가진 샘플은 본 발명의 범위 밖이다。
전자파 흡수 필름 조각에 같은 크기의 구리 박편을 적층한 샘플 88에서는 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐 낮았다. 반면, 전자파 흡수 필름 조각에 면적률이 20~80%인 크기의 구리 박편을 적층한 샘플 81~87은 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 0.95~0.99로 높고, 그때의 주파수 영역은 1.9 GHz~4.2 GHz의 범위에서 변화하고 있었다. 이로부터, 소망의 주파수 영역에서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 최대화하려면 전자파 흡수 필름 조각에 대한 구리 박편(전자파 실드 필름)의 면적률을 10~80%로 해야 함을 알 수 있다.
실시예 11
실시예 10에 사용한 것과 같은 선형 스크래치의 교차각θs가 60°인 50 mm× 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름의 조각에 25 mm × 50 mm 크기의 구리 박편(두께: 15μm)을 도 6(a)와 같이 전자파 흡수 필름 조각의 한 변 X1과 동박 편의 한 변 X2(X1과 평행) 사이의 거리 D가 0 mm, 5 mm, 10 mm, 15 mm, 20 mm 및 25 mm가 되도록 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 91~96을 제작했다. 각 샘플의 0.1~6 GHz의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 실시예 2와 동일한 방식으로 측정했다. 각 샘플의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin과 거리 D와의 관계를 도 56 ~ 도 61에 나타낸다. 도 56 ~ 도 61에서 밝혀진 것처럼, 거리 D가 변화하면서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin의 곡선은 크게 변화했다.
실시예 12
참고예 3에서 얻은 선형 스크래치의 교차각θs가 45°인 전자파 흡수 필름에서 잘라낸 50 mm × 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 도 8에 나타낸 바와 같이 L(10 mm, 15 mm, 20 mm, 25 mm, 30 mm, 35 mm, 40 mm, 50 mm)×50 mm 크기의 구리 박편(두께:15μm)을 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 101~108을 제작했다. 각 샘플에 있어서 구리 박편의 중심은 전자파 흡수 필름 조각의 중심과 일치하고 있었다. 실시예 1과 같은 방법으로 각 샘플 101~108의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 구했다. 결과를 도 62 ~ 도 69 및 표 6에 나타낸다.
샘플 No. θs (1)
(°) 		구리 박편 최대 노이즈 흡수
L
(mm) 		면적률 (2)
(%) 		Ploss/Pin 주파수
(GHz)
101 45 10 20 0.88 2.4
102 45 15 30 0.90 3.5-4.2
103 45 20 40 0.92 3.3-4
104 45 25 50 0.93 3.3-3.8
105 45 30 60 0.97 3.4
106 45 35 70 0.98 3.9
107 45 40 80 0.94 4.1
108* 45 50 100 -(3) -(3)
주: (1) θs 는 선형 스크래치의 예각 측의 교차각을 나타낸다.
(2) 전자파 흡수 필름 조각에 대한 구리 박편의 면적률.
(3) Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐 낮았다.
*표시를 가진 샘플은 본 발명의 범위 밖이다.
전자파 흡수 필름 조각에 같은 크기의 구리 박편을 적층한 샘플 108에서는 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐서 낮았다. 반면, 전자파 흡수 필름 조각에 면적률이 20~80%인 크기의 구리 박편을 적층한 샘플 101~107에서는 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 0.90~0.98로 높고 그때의 주파수 영역은 2.4 GHz~4.2 GHz의 범위에서 변화하고 있었다. 이로부터, 소망의 주파수 영역에서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 최대화하려면 전자파 흡수 필름 조각에 대한 구리 박편(전자파 실드 필름)의 면적률을 10~80%로 해야 함을 알 수 있다.
실시예 13
실시예 12에 사용한 것과 같은 선형 스크래치의 교차각 θs가 45°인 50 mm × 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름의 조각에 25 mm × 50 mm 크기의 구리 박편(두께: 15μm)을 도 6(a)와 같이 전자파 흡수 필름 조각의 한 변 X1과 구리 박편의 한 변 X2(X1과 평행) 사이의 거리 D가 0 mm, 5 mm, 10 mm, 15 mm, 20 mm 및 25 mm가 되도록 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 111~116을 제작했다. 각 샘플의 0.1~6 GHz의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 실시예 2와 동일한 방식으로 측정했다. 각 샘플의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin과 거리 D와의 관계를 도 70 ~ 도 75에 나타낸다. 도 70 ~ 도 75에서 밝혀진 바와 같이, 거리 D가 변화하면서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin의 곡선은 크게 변화했다.
실시예 14
참고예 4에서 얻은 선형 스크래치의 교차각 θs가 30°인 전자파 흡수 필름에서 잘라낸 50 mm × 50 mm 크기의 전자파 흡수 필름 조각에 도 8에 나타낸 바와 같이 L(10 mm, 15 mm, 20 mm, 25 mm, 30 mm, 35 mm, 40 mm, 50 mm)× 50 mm 크기의 구리 박편(두께: 15μm)을 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 121~128을 제작했다. 각 샘플에 있어서 구리 박편의 중심은 전자파 흡수 필름 조각의 중심과 일치하고 있었다. 실시예 1과 같은 방법으로 각 샘플 121~128의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 구했다. 결과를 도 76 ~ 도 83 및 표 7에 나타낸다.
샘플 No. θs (1)
(°) 		구리 박편 최대 노이즈 흡수
L
(mm) 		면적률(2)
(%) 		Ploss/Pin 주파수
(GHz)
121 30 10 20 0.91 2.1
122 30 15 30 0.9 2.2
123 30 20 40 0.89 2.4
124 30 25 50 0.97 4.2
125 30 30 60 0.98 4.0
126 30 35 70 0.95 4.2
127 30 40 80 0.92 4.2
128* 30 50 100 -(3) -(3)
주: (1) θs는 선형 스크래치의 예각 측의 교차각을 나타낸다.
(2) 전자파 흡수 필름 조각에 대한 구리 박편의 면적률.
(3) Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐 낮았다.
*표시를 가진 샘플은 본 발명의 범위 밖이다.
전자파 흡수 필름 조각에 같은 크기의 구리 박편을 적층한 샘플 128에서는 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 주파수 영역 전체에 걸쳐서 낮았다. 반면, 전자파 흡수 필름 조각에 면적률이 20~80%인 크기의 구리 박편을 적층한 샘플 121~127에서는 최대 노이즈 흡수율 Ploss/Pin이 0.9~0.98로 높고 그때의 주파수 영역은 2.1 GHz~4.2 GHz의 범위에서 변화하고 있었다. 이로부터 소망의 주파수 영역에서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 최대화하려면 전자파 흡수 필름 조각에 대한 구리 박편(전자파 실드 필름)의 면적률을 10~80%로 해야 함을 알 수 있다.
실시예 15
실시예 14에 사용한 것과 같은 선형 스크래치의 교차각 θs가 30°인 50 mm × 50 mm크기의 전자파 흡수 필름 조각에 25 mm × 50 mm 크기의 구리 박편(두께: 15μm)을 도 6(a)와 같이 전자파 흡수 필름 조각의 한 변 X1과 구리 박편의 한 변 X2(X1과 평행) 사이의 거리 D가 0 mm, 5 mm, 10 mm, 15 mm, 20 mm 및 25 mm가 되도록 비 도전성 접착제를 매개로 적층한 샘플 131~136을 제작했다. 각 샘플의 0.1~6 GHz의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin을 실시예 2와 동일한 방식으로 측정했다. 각 샘플의 노이즈 흡수율 Ploss/Pin과 거리 D와의 관계를 도 84 ~ 도 89에 나타낸다. 도 84 ~ 도 89에서 밝혀진 바와 같이, 거리 D가 변화하면서 노이즈 흡수율 Ploss/Pin의 곡선은 크게 변화했다.
1: 전자파 흡수 필름
11: 플라스틱 필름
12,12a,12b,112: 금속 박막
13,13a,13b,113,113a,113b: 선형 스크래치
2: 전자파 실드 필름
100: 금속 박막-플라스틱 복합 필름
202a,202b,232a,232b: 패턴 롤
203a,203b,233a,233b: 가압 롤
204a,204b,234a,234b: 전기 저항 측정 수단(롤)
205a, 205b, 235a: 백업 롤
221,224: 릴
222,223: 가이드 롤
300: 절연 기판
301: 접지 그랜드 전극
302: 도전성 핀
303: 동축 케이블
D: 전자파 흡수 필름 조각의 한 변 X1과 금속 박편의 한 변 X2와의 거리
MSL: 마이크로스트립라인
NA: 네트워크 애널라이저
θs: 전자파 흡수 필름에 있어서의 선형 스크래치의 예각 측의 교차각
Ls: 선형 스크래치의 길이
W: 선형 스크래치의 폭
I: 선형 스크래치의 간격

Claims (8)

  1. 전자파 흡수 필름 및 상기 전자파 흡수 필름 상에 적층된 전자파 실드 필름을 포함하는 전자파 흡수 복합 시트로서,
    상기 전자파 흡수 필름은 플라스틱 필름의 일면에 형성된 단층 또는 다층의 금속 박막을 갖고, 상기 금속 박막에 다수(복수)의 실질적으로 평행하고, 간헐적인 선형 스크래치가 불규칙한 폭 및 간격으로 복수의 방향으로 형성되어 있으며,
    상기 전자파 흡수 필름에 대한 상기 전자파 실드 필름의 면적률은 10~80%인 전자파 흡수 복합 시트.
  2. 제1항에 있어서, 상기 전자파 흡수 필름에 대한 상기 전자파 실드 필름의 면적률은 20~80%인 전자파 흡수 복합 시트.
  3. 제2항에 있어서, 상기 전자파 흡수 필름에 대한 상기 전자파 실드 필름의 면적률은 30~70%인 전자파 흡수 복합 시트.
  4. 제1항에 있어서, 상기 전자파 실드 필름은 도전성 금속 박, 도전성 금속 박막 또는 도막을 갖는 플라스틱 필름, 또는 카본 시트인 전자파 흡수 복합 시트.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전자파 흡수 필름의 상기 선형 스크래치의 폭은 90% 이상이 0.1~100㎛의 범위 내이고 평균 1~50㎛이며, 상기 선형 스크래치의 횡 방향 간격은 1~500㎛의 범위 내이고 평균 1~200㎛인 전자파 흡수 복합 시트.
  6. 제1항에 있어서, 상기 전자파 흡수 필름의 선형 스크래치의 예각 측의 교차각 θs가 30~90° 범위 내인 전자파 흡수 복합 시트.
  7. 제4항에 있어서, 상기 전자파 실드 필름의 상기 도전성 금속이 알루미늄, 구리, 은, 주석, 니켈, 코발트, 크롬 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 일종인 전자파 흡수 복합 시트.
  8. 제1항 내지 제7항에 있어서, 상기 전자파 흡수 필름과 상기 전자파 실드 필름은 모두 직사각형 또는 정사각형인 전자파 흡수 복합 시트.

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