KR20190126871A - 고주파 커플러 - Google Patents

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KR20190126871A
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규사쿠 히가
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미츠비시 쥬고 기카이 시스템 가부시키가이샤
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Abstract

고속 커플러는, 동축관상으로 마련된 외도체 및 내도체를 갖고, 전원 측으로부터 직선상으로 뻗어 굴곡부에서 L상으로 굴곡되며, 가속 공동 측으로 직선상으로 뻗는 도파관과, 굴곡부에 있어서 도파관의 외부로부터 가속 공동 측을 향하여 외도체와 내도체를 관통하여 내도체의 내부에 접속되고, 내도체 중 가속 공동 측의 선단부의 내부와 도파관의 외부의 사이에서 냉매를 유통시키는 유통관을 가지며, 유통관 중 외도체와 내도체의 사이에 형성되는 고주파 전송 공간에 노출되는 부분이 절연체로 형성되는 냉매 유통부를 구비한다.

Description

고주파 커플러
본 발명은 고주파 커플러에 관한 것이다.
가속기의 가속 공동(空洞) 등에 고주파를 입력하는 고주파 입력 장치로서, 고주파 커플러가 알려져 있다. 고주파 커플러는, 예를 들면 외도체 및 내도체를 갖는 동축관상의 구조를 갖는다. 이와 같은 고주파 커플러는, 가속 공동에 고주파를 입력할 때, 내도체 중 가속 공동 측의 선단부가 발열한다. 이로 인하여, 예를 들면 도파관의 외부로부터 내도체의 내부로 금속으로 이루어지는 유통관을 삽입하여, 유통관에 냉매를 유통시킴으로써 냉각을 행하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 평5-129098 호 공보
상기의 고주파 커플러에서는, 금속으로 이루어지는 유통관이 외도체와 내도체의 사이의 고주파 전송 공간을 횡단하지 않도록 하기 위하여, T자형의 도파관이 이용되고 있다. 구체적으로는, 가속 공동 측과는 반대측에 외도체 및 내도체를 돌출시키고, 외도체의 돌출 방향의 단부를 관통하여 내도체가 도파관의 외부로 돌출되는 구성으로 하고 있다. 이 경우, 내도체의 돌출 부분으로부터 유통관을 직접 내도체의 내부에 삽입함으로써, 유통관이 고주파 전송 공간을 횡단하지 않는 구성이 된다. 그러나, 이 구성에서는, 가속 공동과는 반대측으로 돌출시키는 돌출 부분의 스페이스가 필요하게 된다.
본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것이며, 공간 절약화를 도모하는 것이 가능한 고주파 커플러를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 고주파 커플러는, 동축관상으로 마련된 외도체 및 내도체를 갖고, 전원 측으로부터 직선상으로 뻗어 굴곡부에서 L상으로 굴곡되며, 가속 공동 측으로 직선상으로 뻗는 도파관과, 상기 굴곡부에 있어서 상기 도파관의 외부로부터 상기 가속 공동 측을 향하여 상기 외도체와 상기 내도체를 관통하여 상기 내도체의 내부에 접속되고, 상기 내도체 중 상기 가속 공동 측의 선단부의 내부와 상기 도파관의 외부의 사이에서 냉매를 유통시키는 유통관을 가지며, 상기 유통관 중 상기 외도체와 상기 내도체의 사이에 형성되는 고주파 전송 공간에 노출되는 부분이 절연체로 형성되는 냉매 유통부를 구비한다.
본 발명에 의하면, 냉매 유통부의 유통관에 있어서 외도체와 내도체의 사이에 형성되는 고주파 전송 공간에 노출되는 부분이 절연체로 형성되기 때문에, 도전체가 고주파 전송 공간을 횡단하는 구성을 회피할 수 있다. 이로써, 도파관을 가속 공동과는 반대측에 분기시킬 필요가 없고, 굴곡부에 있어서 가속 공동 측을 향하여 L상으로 형성할 수 있기 때문에, 공간 절약화를 도모할 수 있다.
또, 상기 도파관은, 상기 외도체 및 상기 내도체 중 적어도 한쪽의 전기적 특성을 조정하는 조정부를 가져도 된다.
본 발명에 의하면, 조정부에 의하여 도파관의 전기적 특성이 조정되기 때문에, 고주파 전송 공간에 배치되는 절연체가 유전체가 되는 경우의 영향을 완화할 수 있다.
또, 상기 유통관은, 절연체로 형성되고, 상기 도파관의 외부와 상기 내도체의 내부를 접속하는 제1 관부와, 금속으로 형성되며, 상기 내도체의 내부에 배치되고, 상기 내도체의 내부에 있어서 상기 제1 관부에 접속되며, 상기 내도체의 상기 선단부의 내부로 뻗는 제2 관부를 가져도 된다.
본 발명에 의하면, 고주파 전송 공간을 횡단하는 부분에 배치되는 절연체의 제1 관부와, 내도체의 내부에 배치되는 강성이 높은 금속의 제2 관부를 접속하여 유통관을 형성함으로써, 유통관을 내도체에 설치할 때의 작업 부담을 저감시킬 수 있고, 또한 도전체가 고주파 전송 공간을 횡단하지 않는 구성을 용이하게 실현하는 것이 가능해진다.
또, 상기 유통관은, 전체가 절연체로 형성되어도 된다.
본 발명에 의하면, 유통관의 전체가 절연체로 형성되기 때문에, 도전체가 고주파 전송 공간을 횡단하지 않는 구성을 용이하게 실현할 수 있다.
또, 상기 유통관은, 적어도 상기 도파관의 내부에 배치되고 금속으로 형성되는 본체부와, 절연체로 형성되며 상기 본체부 중 상기 고주파 전송 공간에 노출되는 부분을 덮는 피복부를 가져도 된다.
본 발명에 의하면, 유통관의 본체부를 금속으로 형성함으로써, 유통관을 설치할 때의 작업 부담을 저감시킬 수 있다. 또, 고주파 전송 공간에 노출되는 부분을 피복부로 덮음으로써, 도전체가 고주파 전송 공간을 횡단하지 않는 구성을 용이하게 실현할 수 있다.
본 발명에 의하면, 공간 절약화를 도모하는 것이 가능한 고주파 커플러를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 실시형태에 관한 고주파 커플러의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 2는, 제1 관부와 제2 관부와의 접속 부분의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 3은, 축경부의 일례를 나타내는 도이다.
도 4는, 변형예에 관한 고주파 커플러의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 5는, 변형예에 관한 고주파 커플러의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 6은, 변형예에 관한 고주파 커플러의 일례를 나타내는 단면도이다.
이하, 본 발명에 관한 고주파 커플러의 실시형태를 도면에 근거하여 설명한다. 또한, 이 실시형태에 의하여 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 하기 실시형태에 있어서의 구성 요소에는, 당업자가 치환 가능 또한 용이한 것, 혹은 실질적으로 동일한 것이 포함된다.
도 1은, 본 실시형태에 관한 고주파 커플러(100)의 일례를 나타내는 단면도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 고주파 커플러(100)는, 가속기의 가속 공동(40)에 고주파를 입력하는 고주파 입력 장치로서 이용된다. 고주파 커플러(100)는, 도파관(10)과 냉매 유통부(20)를 구비하고 있다.
도파관(10)은, 전원으로부터의 고주파(RF)를 가속 공동(40)에 전송한다. 도파관(10)은, 제1 직선부(10a)와, 굴곡부(10b)와, 제2 직선부(10c)를 갖는다. 제1 직선부(10a)는, 예를 들면 전원 측에 접속된다. 굴곡부(10b)는, L상으로 형성되고, 제1 직선부(10a)와 제2 직선부(10c)를 접속한다. 제2 직선부(10c)는, 굴곡부(10b)로부터 가속 공동(40)을 향하여 직선상으로 뻗어 있다.
도파관(10)은, 외도체(11) 및 내도체(12)를 갖는 동축관상의 구조를 갖는다. 외도체(11) 및 내도체(12)는, 금속 등의 도체를 이용하여 형성된다. 외도체(11) 및 내도체(12)는, 각각 제1 직선부(10a), 굴곡부(10b) 및 제2 직선부(10c)에 대응하는 제1 직선부(11a, 12a), 굴곡부(11b, 12b), 제2 직선부(11c, 12c)를 갖고 있다. 외도체(11)와 내도체(12)의 사이에는, 고주파 전송 공간(K)이 형성된다. 고주파 전송 공간(K)은, 고주파(RF)가 전송하는 고주파 전송로이다.
도파관(10)은, 조정부(13)를 갖는다. 조정부(13)는, 도파관(10)의 전기적 특성을 조정함으로써, 후술하는 절연체에 의한 전기적 특성의 변동의 영향을 저감시킨다. 본 실시형태에 있어서, 조정부(13)는, 예를 들면 내도체(12)의 외면으로부터 돌출되는 돌출부이지만, 이것에 한정되지 않는다. 조정부(13)는, 외도체(11)에 배치되어도 된다.
도파관(10)은, 창부(窓部)(14)를 갖는다. 창부(14)는, 고주파 전송 공간(K)에 배치된다. 창부(14)는, 예를 들면 세라믹스 등의 절연체를 이용하여 형성된다. 따라서, 창부(14)는, 고주파(RF)를 통과시킨다. 창부(14)는, 예를 들면 링상으로 형성되고, 외도체(11)와 내도체(12)의 사이에 협지된다. 이와 같은 창부(14)에 의하여, 고주파(RF)를 전송 가능하게 하면서, 외도체(11)와 내도체(12)와의 위치 관계가 유지되게 되어 있다.
냉매 유통부(20)는, 내도체(12) 중 가속 공동(40) 측의 선단부(12d)를 냉각하기 위한 냉매(C)를 유통시킨다. 고주파 커플러(100)는, 가속 공동(40)에 고주파(RF)를 입력할 때, 내도체(12)의 선단부(12d)가 발열한다. 이로 인하여, 냉매 유통부(20)를 배치함으로써, 내도체(12)의 선단부(12d)를 냉각하고 있다.
냉매 유통부(20)는, 유통관(25)과, 도시하지 않은 냉매 공급원을 갖는다. 유통관(25)은, 굴곡부(10b)에 있어서 도파관(10)의 외부로부터 가속 공동(40) 측을 향하여, 외도체(11)와 내도체(12)를 제2 직선부(10c)에 평행한 방향으로 관통하여 내도체(12)의 내부(12K)에 접속된다. 즉, 유통관(25)은, 도파관(10)의 외부로부터 내도체(12)의 내부(12K)에 삽입된 상태로 되어 있다.
유통관(25)은, 제1 관부(21)와, 제2 관부(22)와, 이음매부(23)를 갖는다. 제1 관부(21)는, 도파관(10)의 외부로부터 내도체(12)를 관통하여, 내부(12K) 중 제2 직선부(12c)의 도중의 위치까지 배치된다. 따라서, 제1 관부(21)는, 고주파 전송 공간(K)을 횡단하여 배치된다. 제1 관부(21)는, 예를 들면 세라믹스(알루미나 세라믹스 등), 플라스틱, 운모 등의 절연체로 형성된다. 이와 같은 절연체로서는, 예를 들면 전기 저항값이 1×1012[Ω·㎝] 이상인 재료가 이용된다.
제2 관부(22)는, 제1 관부(21)에 접속된다. 제2 관부(22)는, 제1 관부(21)의 단부로부터 내도체(12)의 선단부(12d)에 걸쳐 배치된다. 따라서, 제2 관부(22)는, 전체가 내도체(12)의 내부(12K)에 배치된다. 제2 관부(22)는, 스테인리스 등의 금속을 이용하여 형성된다. 따라서, 제2 관부(22)는, 내도체(12)의 내부(12K)에 있어서, 소기의 강성을 가진 상태로 배치 가능하다.
상기의 유통관(25)에 있어서, 제1 관부(21)는, 내도체(12)의 고주파 전송 공간(K)을 횡단하여 배치되고, 고주파 전송 공간(K)에 노출되는 외면의 전체가 절연체이다. 한편, 도체(금속)로 형성되는 제2 관부(22)는, 고주파 전송 공간(K)에 노출되지 않는다. 이로 인하여, 고주파 전송 공간(K)은, 금속이 노출되어 있지 않은 상태이며, 고주파(RF)를 전송 가능해진다.
도 2는, 제1 관부(21)와 제2 관부(22)와의 접속 부분의 일례를 나타내는 단면도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 관부(21) 및 제2 관부(22)는, 이음매부(23)에 의하여 연결되어 있다. 제1 관부(21)는, 이중관 구조를 갖는다. 제1 관부(21)는, 내관(21a)과 외관(21b)을 갖는다. 내관(21a)은, 냉매(C)의 공급원에 접속된다. 내관(21a) 내에는, 유로(21c)가 형성된다. 유로(21c)에는, 도파관(10)의 외부로부터 내도체(12)의 내부(12K)를 향하여 냉매(C)가 유통된다.
외관(21b)은, 내관(21a)을 내포하도록 마련된다. 외관(21b)과 내관(21a)의 사이에는, 유로(21d)가 형성된다. 유로(21d)에는, 제2 관부(22)로부터 되돌아가는 냉매(C)가 유통된다. 외관(21b)은, 내관(21a)과의 사이에 확실히 스페이스가 형성되도록, 스페이서 등이 배치되어도 된다.
제2 관부(22)는, 제1 관부(21)와의 접속 부분에 있어서는, 이중관 구조를 갖는다. 제2 관부(22)는, 내관(22a)과, 외관(22b)을 갖는다. 내관(22a)은, 제1 관부(21)의 내관(21a)에 접속되고, 후술하는 축경부(12e)를 관통하여 내도체(12)의 선단부(12d)의 근방까지 배치된다. 내관(22a)은, 선단부(12d)를 향하여 배치되는 단부(22e)를 갖는다. 단부(22e)는, 개구되어 있다. 내관(22a) 내에는, 유로(22c)가 형성된다. 유로(22c)에는, 제1 관부(21)의 유로(21c)로부터의 냉매(C)가 내도체(12)의 선단부(12d)를 향하여 유통된다.
외관(22b)은, 내관(22a)을 내포하도록 마련된다. 외관(22b)과 내관(22a)의 사이에는, 유로(22d)가 형성된다. 유로(22d)에는, 내도체(12)의 선단부(12d)로부터 되돌아가는 냉매(C)가 유통된다. 외관(22b)은, 내관(22a)과의 사이에 확실히 스페이스가 형성되도록, 스페이서 등이 배치되어도 된다. 외관(22b) 중, 가속 공동(40) 측의 단부는, 내도체(12)의 내측으로 돌출되는 축경부(12e)에 접속된다.
도 3은, 축경부(12e)의 일례를 나타내는 도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 축경부(12e)는, 내도체(12)의 일부에 있어서 내경을 작게 하고 있다. 축경부(12e)는, 내경이 제2 관부(22)의 내관(22a)보다 크고, 내관(22a)과의 사이에 냉매(C)가 유통되는데 충분한 스페이스가 확보되도록 설정된다. 본 실시형태에 있어서, 축경부(12e)의 내경은, 외관(22b)의 내경과 대략 동일하게 할 수 있지만, 이것에 한정되지 않는다.
상기의 냉매 유통부(20)에 있어서, 냉매(C)는, 도파관(10)의 외부로부터 제1 관부(21)의 내관(21a)의 유로(21c) 내를 가속 공동(40) 측을 향하여 흘러, 내도체(12)의 내부(12K)의 이음매부(23)에 있어서 제2 관부(22)의 내관(22a)의 유로(22c)로 유입된다. 이 냉매(C)는, 유로(22c)를 가속 공동(40) 측을 향하여 흘러, 제2 관부(22)의 단부(22e)로부터 내도체(12)의 내부(12K)로 유출된다.
냉매(C)는, 내도체(12)의 내부(12K)를 유로로 하여 굴곡부(10b) 측을 향하여 흘러, 축경부(12e)를 통하여 유로(22d)에 흐른다. 냉매(C)는, 유로(22d) 내를 굴곡부(10b) 측을 향하여 흘러, 이음매부(23)에 있어서 제1 관부(21)의 외관(21b)의 유로(21d)로 유입된다. 그리고, 냉매(C)는, 유로(21d) 내를 또한 굴곡부(10b) 측으로 흘러, 도파관(10)의 외부로 유출된다. 유로(21d)에는, 예를 들면 냉매(C)를 방열하여, 유로(21c)로 되돌리는 순환 기구가 마련되어도 된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관한 고주파 커플러(100)는, 동축관상으로 마련된 외도체(11) 및 내도체(12)를 갖고, 전원 측으로부터 직선상으로 뻗어 굴곡부(10b)에서 L상으로 굴곡되며, 가속 공동(40) 측으로 직선상으로 뻗는 도파관(10)과, 굴곡부(10b)에 있어서 도파관(10)의 외부로부터 가속 공동(40) 측을 향하여 외도체(11)와 내도체(12)를 관통하여 내도체(12)의 내부(12K)에 접속되고, 내도체(12)의 선단부(12d)의 내부와 도파관(10)의 외부의 사이에서 냉매(C)를 유통시키는 유통관(25)을 가지며, 유통관(25) 중 고주파 전송 공간(K)에 노출되는 부분이 절연체로 형성되는 냉매 유통부(20)를 구비한다.
이 구성에서는, 도파관(10)의 외부로부터 내도체(12)의 내부(12K)를 향하여 유통관(25)을 배치하고, 유통관(25)에 냉매(C)를 유통시킴으로써, 내도체(12)의 선단부(12d)의 냉각이 가능해진다. 또, 유통관(25) 중 외도체(11)와 내도체(12)의 사이에 형성되는 고주파 전송 공간(K)에 노출되는 부분이 절연체로 형성되기 때문에, 도전체가 고주파 전송 공간(K)을 횡단하는 구성을 회피할 수 있다. 이로써, 도파관(10)을 가속 공동(40)과는 반대측에 분기시킬 필요가 없고, 굴곡부(10b)에 있어서 가속 공동(40) 측을 향하여 L상으로 형성할 수 있기 때문에, 공간 절약화를 도모할 수 있다.
또, 본 실시형태에 관한 고주파 커플러(100)는, 고주파 전송 공간(K)을 횡단하는 부분에 배치되는 절연체의 제1 관부(21)와, 내도체(12)의 내부(12K)에 배치되는 강성이 높은 금속의 제2 관부(22)를 접속하여 유통관(25)을 형성함으로써, 유통관(25)을 내도체(12)에 설치할 때의 작업 부담을 저감시킬 수 있고, 또한 도전체가 고주파 전송 공간(K)을 횡단하지 않는 구성을 용이하게 실현하는 것이 가능해진다.
본 발명의 기술 범위는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 적절히 변경을 더할 수 있다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는, 고주파 전송 공간(K)을 횡단하는 부분에 배치되는 절연체의 제1 관부(21)와, 내도체(12)의 내부(12K)에 배치되는 강성이 높은 금속의 제2 관부(22)를 접속하여 유통관(25)을 형성하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다.
도 4는, 변형예에 관한 고주파 커플러(100A)의 일례를 나타내는 단면도이다. 도 4에 나타내는 고주파 커플러(100A)에 있어서, 냉매 유통부(20A)의 유통관(24)은, 전체가 절연체로 형성되어 있다. 유통관(24)은, 이중관 구조를 갖는다. 유통관(24)은, 내관(24a)과 외관(24b)을 갖는다. 내관(24a)은, 냉매(C)의 공급원에 접속되고, 축경부(12e)를 관통하여 내도체(12)의 선단부(12d)의 근방까지 배치된다. 내관(24a)은, 선단부(12d)를 향하여 배치되는 단부(24e)를 갖는다. 단부(24e)는, 개구되어 있다. 내관(24a) 내에는, 유로(24c)가 형성된다. 유로(24c)에는, 공급원으로부터 단부(24e)에 걸쳐 냉매(C)가 유통된다. 외관(24b)은, 내관(24a)을 내포하도록 마련된다. 외관(22b) 중, 가속 공동(40) 측의 단부는, 내도체(12)의 내측으로 돌출되는 축경부(12e)에 접속된다. 외관(24b)과 내관(24a)의 사이에는, 유로(24d)가 형성된다. 유로(24d)에는, 내도체(12)의 선단부(12d)로부터 축경부(12e)를 통하여 되돌아가는 냉매(C)가 유통된다.
외관(22b)은, 내관(22a)을 내포하도록 마련된다. 외관(22b)과 내관(22a)의 사이에는, 유로(22d)가 형성된다. 유로(22d)에는, 내도체(12)의 선단부(12d)로부터 되돌아가는 냉매(C)가 유통된다. 외관(22b)은, 내관(22a)의 사이에 확실히 스페이스가 형성되도록, 스페이서 등이 배치되어도 된다.
이 구성에 의하면, 도파관(10)의 외부로부터 내도체(12)의 내부를 향하여 유통관(24)을 배치하고, 유통관(24)에 냉매(C)를 유통시킴으로써, 내도체(12)의 선단부(12d)의 냉각이 가능해진다. 또, 유통관(24)의 전체가 절연체로 형성되기 때문에, 도전체가 고주파 전송 공간(K)을 횡단하지 않는 구성을 용이하게 실현할 수 있다.
도 5는, 변형예에 관한 고주파 커플러(100B)의 일례를 나타내는 단면도이다. 도 5에 나타내는 고주파 커플러(100B)에 있어서, 냉매 유통부(20B)의 유통관(25B)은, 본체부(27)와 피복부(28)를 갖는다. 본체부(27)는, 전체가 금속으로 형성되어 있다. 본체부(27)는, 이중관 구조를 갖는다. 본체부(27)는, 내관(27a)과 외관(27b)을 갖는다. 내관(27a) 및 외관(27b)의 구성은, 재질을 제외하고는, 도 4에 나타내는 내관(24a) 및 외관(24b)과 동일한 구성으로 할 수 있다.
피복부(28)는, 절연체로 형성되고, 본체부(27) 중 고주파 전송 공간(K)에 노출되는 부분을 덮고 있다. 이 구성에 의하면, 유통관(25B)의 본체부(27)를 금속으로 형성함으로써, 유통관(25B)을 설치할 때의 작업 부담을 저감시킬 수 있다. 또, 고주파 전송 공간(K)에 노출되는 부분을 피복부(28)로 덮음으로써, 도전체가 고주파 전송 공간(K)을 횡단하지 않는 구성을 용이하게 실현할 수 있다.
또, 상기 실시형태에서는, 유통관(24, 25, 25B)을 외부로부터 삽입하는 구성으로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 도 6은, 변형예에 관한 고주파 커플러(100C)의 일례를 나타내는 단면도이다. 도 6에 나타내는 고주파 커플러(100C)는, 내도체(12)의 분기부(12f)가 굴곡부(10b) 측으로 직선상으로 뻗어, 외도체(11)를 관통하여 도파관(10)의 외부로 돌출되어 있다.
도 6에 있어서, 냉매 유통부(20C)는, 내도체(12)의 내부(12K)에 배치된 유통관(29)을 갖는다. 유통관(29)의 내부에는, 유로(29K)가 형성된다. 냉매(C)는, 유로(29K)를 유통하여 내도체(12)의 선단부(12d)에 흐른다. 또, 냉매(C)는, 선단부(12d)로부터 내도체(12)의 내부(12K) 및 분기부(12f)를 통하여 도파관(10)의 외부로 되돌아간다.
이 구성에 의하면, 내도체(12)의 내부(12K)를 냉매(C)의 유로로 하여 유효하게 활용할 수 있다. 또, 내도체(12)의 분기부(12f) 중 고주파 전송 공간(K)에 배치되는 부분은, 외면이 절연체의 피복부(26)로 덮여 있다. 이로써, 도전체가 고주파 전송 공간(K)을 횡단하지 않는 구성을 용이하게 실현할 수 있다.
10: 도파관 10a, 11a, 12a: 제1 직선부
10b, 11b, 12b: 굴곡부 10c, 11c, 12c: 제2 직선부
11: 외도체 12: 내도체
12d: 선단부 12e: 축경부
12K: 내부 13: 조정부
14: 창부
20, 20A, 20B, 20C: 냉매 유통부
21: 제1 관부 21a, 22a, 24a, 27a: 내관
21b, 22b, 24b, 27b: 외관
21c, 21d, 22c, 22d, 24c, 24d, 29K: 유로
22: 제2 관부 22e, 24e: 단부
23: 이음매부 24, 25, 25B, 29: 유통관
26, 28: 피복부 27: 본체부
40: 가속 공동
100, 100A, 100B, 100C: 고주파 커플러 C: 냉매
K: 고주파 전송 공간 RF: 고주파

Claims (5)

  1. 동축관상으로 마련된 외도체 및 내도체를 갖고, 전원 측으로부터 직선상으로 뻗어 굴곡부에서 L상으로 굴곡되며, 가속 공동 측으로 직선상으로 뻗는 도파관과,
    상기 굴곡부에 있어서 상기 도파관의 외부로부터 상기 가속 공동 측을 향하여 상기 외도체와 상기 내도체를 관통하여 상기 내도체의 내부에 접속되고, 상기 내도체 중 상기 가속 공동 측의 선단부의 내부와 상기 도파관의 외부의 사이에서 냉매를 유통시키는 유통관을 가지며, 상기 유통관 중 상기 외도체와 상기 내도체의 사이에 형성되는 고주파 전송 공간에 노출되는 부분이 절연체로 형성되는 냉매 유통부를 구비하는
    고주파 커플러.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 도파관은, 상기 외도체 및 상기 내도체 중 적어도 한쪽의 전기적 특성을 조정하는 조정부를 갖는
    고주파 커플러.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유통관은,
    절연체로 형성되고, 상기 도파관의 외부와 상기 내도체의 내부를 접속하는 제1 관부와,
    금속으로 형성되며, 상기 내도체의 내부에 배치되고, 상기 내도체의 내부에 있어서 상기 제1 관부에 접속되며, 상기 내도체의 상기 선단부의 내부로 뻗는 제2 관부를 갖는
    고주파 커플러.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유통관은, 전체가 절연체로 형성되는
    고주파 커플러.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유통관은, 적어도 상기 도파관의 내부에 배치되고 금속으로 형성되는 본체부와, 절연체로 형성되며 상기 본체부 중 상기 고주파 전송 공간에 노출되는 부분을 덮는 피복부를 갖는
    고주파 커플러.
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