JPS61157002A - マイクロ波発射用アンテナの固定装置 - Google Patents
マイクロ波発射用アンテナの固定装置Info
- Publication number
- JPS61157002A JPS61157002A JP27462584A JP27462584A JPS61157002A JP S61157002 A JPS61157002 A JP S61157002A JP 27462584 A JP27462584 A JP 27462584A JP 27462584 A JP27462584 A JP 27462584A JP S61157002 A JPS61157002 A JP S61157002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- antenna
- microwave
- holding member
- electric insulating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
- H01P5/08—Coupling devices of the waveguide type for linking dissimilar lines or devices
Landscapes
- Waveguide Connection Structure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、導波管内を伝送されるマイクロ波を外方に取
り出すアンテナに係り、特にこのアンテナを導波管に固
定するための装置に関する。
り出すアンテナに係り、特にこのアンテナを導波管に固
定するための装置に関する。
導波管内を伝送されるマイクロ波をアンテナを通じて取
り出す場合、例えば第4図に示したように、アンテナ1
の一端部を所定長さ分だけ導波管2内に導入し、アンテ
ナ1と導波管2とのマツチングを良好に保つことが有効
とされており、従来から広く知られている。
り出す場合、例えば第4図に示したように、アンテナ1
の一端部を所定長さ分だけ導波管2内に導入し、アンテ
ナ1と導波管2とのマツチングを良好に保つことが有効
とされており、従来から広く知られている。
ところで、アンテナ1は、その一端部を導波管2内に導
入させた状態で保持する必要があることから、従来では
導波管2の内周面に内側の延びる支持部3を突設し、こ
の支持部3でアンテナ1の導入先端部を保持している。
入させた状態で保持する必要があることから、従来では
導波管2の内周面に内側の延びる支持部3を突設し、こ
の支持部3でアンテナ1の導入先端部を保持している。
しかしながら、この構造ではマイクロ波の伝送経路中に
支持部3が大きく突出するため、このアンテナ1の支持
部分でマイクロ波に反射波が生じてしまう。この反射波
のモードは正規に伝送されてくるマイクロ波のモードと
異なるため、この反射波が存在する分、マイクロ波のし
−ドに乱れが生じ、損失が大きくなる等の不具合がある
。
支持部3が大きく突出するため、このアンテナ1の支持
部分でマイクロ波に反射波が生じてしまう。この反射波
のモードは正規に伝送されてくるマイクロ波のモードと
異なるため、この反射波が存在する分、マイクロ波のし
−ドに乱れが生じ、損失が大きくなる等の不具合がある
。
本発明はこのような事情にもとづいてなぎれたもので、
導波管内を伝送されるマイクロ波に反射が生じることも
なく、マイクロ波の減衰やモードの乱れを小さく抑える
ことができるマイクロ波発射用アンテナの固定装置の提
供を目的とする。
導波管内を伝送されるマイクロ波に反射が生じることも
なく、マイクロ波の減衰やモードの乱れを小さく抑える
ことができるマイクロ波発射用アンテナの固定装置の提
供を目的とする。
(発明の概要)
すなわち、本発明は上記目的を達成するため、導波管の
外周面に、マイクロ波取り出し用の開口の少なくとも一
部を外側から覆うようにして電気絶縁性の保持部材を取
り付け、この保持部材にアンテナを固定したことを特徴
とする。
外周面に、マイクロ波取り出し用の開口の少なくとも一
部を外側から覆うようにして電気絶縁性の保持部材を取
り付け、この保持部材にアンテナを固定したことを特徴
とする。
以下本発明の一実施例を、マイクロ波放電光源装置に適
用した第1図および第8図にもとづいて説明する。
用した第1図および第8図にもとづいて説明する。
図中11はマイクロ波を伝送する導波管であり、本実施
例の場合は両端が閉塞された断面長方形状の角筒管を使
用している。導波管11の一端には、マイクロ波を発生
させるマグネトロン12が設置されており、このマグネ
トロン12のマイクa波出力部13は、ガスケット14
を介して導波管11内に導入されている。なお、図中符
号15はマグネトロン12の電源を示す。
例の場合は両端が閉塞された断面長方形状の角筒管を使
用している。導波管11の一端には、マイクロ波を発生
させるマグネトロン12が設置されており、このマグネ
トロン12のマイクa波出力部13は、ガスケット14
を介して導波管11内に導入されている。なお、図中符
号15はマグネトロン12の電源を示す。
導波管11の他端−側面には、マイクロ波を通過させる
に充分な径、つまり例えば導波管11の縦幅と略同等を
なす円形の開口16が開設され、この開口16の中心部
にはアンテナ17が挿通配置されている。アンテナ17
は導波管11側に固定されており、この固定部分の詳細
については第2図および第3図に示されている。
に充分な径、つまり例えば導波管11の縦幅と略同等を
なす円形の開口16が開設され、この開口16の中心部
にはアンテナ17が挿通配置されている。アンテナ17
は導波管11側に固定されており、この固定部分の詳細
については第2図および第3図に示されている。
すなわち、導波管11の他端外側面11aには、円環状
の取り付は座19がボルト20を介して締付は固定され
ており、この取り付は座19はその内径が開口16の口
径よりも大きく形成されているととも、−に、開口16
に対して同軸的に設けられている。そして、この取り付
け、!!19の内側に、アンテナ17を保持する保持部
材21が導波管11の外側から嵌合されている。この保
持部材21は、マイクロ波0通過を妨げないN気絶縁性
材料によって構成され、本実施例の場合は、所定の厚み
を有した円板状をなしているとともに、上記電気絶縁性
材料の中でも耐熱性に優れ、かつ加工し易いテフロンあ
るいはアルミナセラミクス等を使用している。また、取
り付は座19の外端面には、円環状の保持板18が上記
ボルト20を介して同軸的に共線めされ、この保持板1
8の内径は保持部材21の外径よりも小さく形成されて
いる。したがって、保持部材21は導波管11の外側面
11aと保持板18の内周部との間で挟み込まれており
、上記開口16を導波管11の外側から覆っている。
の取り付は座19がボルト20を介して締付は固定され
ており、この取り付は座19はその内径が開口16の口
径よりも大きく形成されているととも、−に、開口16
に対して同軸的に設けられている。そして、この取り付
け、!!19の内側に、アンテナ17を保持する保持部
材21が導波管11の外側から嵌合されている。この保
持部材21は、マイクロ波0通過を妨げないN気絶縁性
材料によって構成され、本実施例の場合は、所定の厚み
を有した円板状をなしているとともに、上記電気絶縁性
材料の中でも耐熱性に優れ、かつ加工し易いテフロンあ
るいはアルミナセラミクス等を使用している。また、取
り付は座19の外端面には、円環状の保持板18が上記
ボルト20を介して同軸的に共線めされ、この保持板1
8の内径は保持部材21の外径よりも小さく形成されて
いる。したがって、保持部材21は導波管11の外側面
11aと保持板18の内周部との間で挟み込まれており
、上記開口16を導波管11の外側から覆っている。
一方、上記保持部材21は、M3図に示したように径方
向に二分割されており、夫々の半円状をなした分割片2
2a 、 22bには、これら両者を衡合した際に、ア
ンテナ17の周面に設けた小径部17aを挟み込む凹部
23a 、 23bが形成されている。これら凹部23
a 、 23bは保持部材21の中心部にアンテナ17
が貫通される貫通孔24を形成しており、この貫通孔2
4の内周面にアンテナ17が抜は止め固定されている。
向に二分割されており、夫々の半円状をなした分割片2
2a 、 22bには、これら両者を衡合した際に、ア
ンテナ17の周面に設けた小径部17aを挟み込む凹部
23a 、 23bが形成されている。これら凹部23
a 、 23bは保持部材21の中心部にアンテナ17
が貫通される貫通孔24を形成しており、この貫通孔2
4の内周面にアンテナ17が抜は止め固定されている。
そして、この固定により上記アンテナ17は導波管11
と直交して位置されており、その一端部が導波管11内
に所定長さ導入されているとともに、他端部が導波管1
1の外方に導出されている。
と直交して位置されており、その一端部が導波管11内
に所定長さ導入されているとともに、他端部が導波管1
1の外方に導出されている。
また、上記保持板18の内側には、ブラケット25を介
して無電極発光管 この無111発光管26内にアンテナ17の導出部分が
挿入されている。アンテナ17の外周囲はガラスチュー
727によって無電極発光管26内と気密に区画されて
おり、このガラスチューブ27と無電極発光管26との
間に形成された気密空間28内には、例えばアルゴン等
の希ガスと放電媒体としての水銀が所定量封入されてい
る。無電極発光管26の外周囲は、マイクロ波の漏洩を
防止するため金属製の筒体29で覆われており、この筒
体29の先端部に開設した光取り出し用の開口部30に
は、光の通過は許容するが、マイクロ波の漏洩を防止す
る金網31が張られている。
して無電極発光管 この無111発光管26内にアンテナ17の導出部分が
挿入されている。アンテナ17の外周囲はガラスチュー
727によって無電極発光管26内と気密に区画されて
おり、このガラスチューブ27と無電極発光管26との
間に形成された気密空間28内には、例えばアルゴン等
の希ガスと放電媒体としての水銀が所定量封入されてい
る。無電極発光管26の外周囲は、マイクロ波の漏洩を
防止するため金属製の筒体29で覆われており、この筒
体29の先端部に開設した光取り出し用の開口部30に
は、光の通過は許容するが、マイクロ波の漏洩を防止す
る金網31が張られている。
なお、本実施例のアンテナ17は中空円筒状をなし、そ
の導波管11内に位置する一端部には石英ガラス製の冷
却管32が接続されている。冷却管32はアンテナ17
およびガラスチューブ27内に外気を送風し、アンテナ
17や無電極発光管26を内側から冷却するとともに、
これら両者を冷却した外気は、保持部材21に開設した
連通孔33を介して導波管11内に逃がされるようにな
っている。
の導波管11内に位置する一端部には石英ガラス製の冷
却管32が接続されている。冷却管32はアンテナ17
およびガラスチューブ27内に外気を送風し、アンテナ
17や無電極発光管26を内側から冷却するとともに、
これら両者を冷却した外気は、保持部材21に開設した
連通孔33を介して導波管11内に逃がされるようにな
っている。
次に、上記構成の作用について説明する。
マグネトロン12のマイクロ波出力部13から発射され
たマイクロ波は、導波w11内を伝送される。
たマイクロ波は、導波w11内を伝送される。
そして、この伝送により導波管11の他端側に至った際
に、アンテナ17に沿って開口16内を通過し、このア
ンテナ17を通じて無電極発光管26の内側から放射状
に発射される。この結果、無電極発光管26の気密空間
28内には放電(プラズマ)が励起され、この放電によ
り生じた紫外線が金網31を透過して被照射面上に照射
される。
に、アンテナ17に沿って開口16内を通過し、このア
ンテナ17を通じて無電極発光管26の内側から放射状
に発射される。この結果、無電極発光管26の気密空間
28内には放電(プラズマ)が励起され、この放電によ
り生じた紫外線が金網31を透過して被照射面上に照射
される。
このような本発明の一実施例によれば、アンテナ17は
導波管11の外側面11aに取り付けた保持部材21に
よって開口16の中心部に固定されるので、従来の先行
技術のように、アンテナ17の支持部分がマイクロ波の
伝送経路中に突出することもない。
導波管11の外側面11aに取り付けた保持部材21に
よって開口16の中心部に固定されるので、従来の先行
技術のように、アンテナ17の支持部分がマイクロ波の
伝送経路中に突出することもない。
したがって、アンテナ17の支持部分でマイクロ波に反
射が生じることがないので、導波管11内でのマイクロ
波のモードの乱れや減衰を抑制することができる。
射が生じることがないので、導波管11内でのマイクロ
波のモードの乱れや減衰を抑制することができる。
なお、上述した実施例では、保持部材゛を径方向に二分
割としたが、場合によっては三分割あるいは一体物とし
ても良いとともに、その材質や形状も実施例に特定され
ず、かつ開口を全面的に覆う必要もない。
割としたが、場合によっては三分割あるいは一体物とし
ても良いとともに、その材質や形状も実施例に特定され
ず、かつ開口を全面的に覆う必要もない。
さらに、本発明に係るアンテナの固定装置は、マイクロ
波放電を利用した光源装置に制約されるものではなく、
マイクロ波を利用して処理を行なう種々の装置に適用可
能である。
波放電を利用した光源装置に制約されるものではなく、
マイクロ波を利用して処理を行なう種々の装置に適用可
能である。
以上詳述した本発明によれば、アンテナの支持部分が導
波管内の伝送経路中に突出することもなくなり、このた
め、アンテナの導入部分でマイクロ波に反射が生じるこ
ともなく、マイクロ波のモードの乱れや減衰を抑制でき
る利点がある。
波管内の伝送経路中に突出することもなくなり、このた
め、アンテナの導入部分でマイクロ波に反射が生じるこ
ともなく、マイクロ波のモードの乱れや減衰を抑制でき
る利点がある。
第1図ないし第3図は本発明の一実施例を示し、第1図
はマイクロ波放電光源装置の断面図、第2図はアンテナ
の固定部分の断面図、第3図は第2図中■−■線に沿う
断面図、第4図は従来のアンテナの固定装置の概略図で
ある。 11・・・導波管、16・・・開口、17・・・アンテ
ナ、21・・・保持部材。
はマイクロ波放電光源装置の断面図、第2図はアンテナ
の固定部分の断面図、第3図は第2図中■−■線に沿う
断面図、第4図は従来のアンテナの固定装置の概略図で
ある。 11・・・導波管、16・・・開口、17・・・アンテ
ナ、21・・・保持部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 マイクロ波を伝送する導波管と、 この導波管の周面に開口され、導波管内を伝送されるマ
イクロ波を取り出すための開口と、この開口の中心部に
挿通配置され、一端が導波管内に導入されるとともに、
他端が導波管の外方に導出されて上記マイクロ波を外方
へ発射するアンテナとを具備し、 上記導波管の外周面に、上記開口の少なくとも一部を外
側から覆うようにして電気絶縁性の保持部材を取り付け
、この保持部材に上記アンテナを固定したことを特徴と
するマイクロ波発射用アンテナの固定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27462584A JPS61157002A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | マイクロ波発射用アンテナの固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27462584A JPS61157002A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | マイクロ波発射用アンテナの固定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61157002A true JPS61157002A (ja) | 1986-07-16 |
Family
ID=17544322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27462584A Pending JPS61157002A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | マイクロ波発射用アンテナの固定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61157002A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018193786A1 (ja) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 三菱重工機械システム株式会社 | 高周波カプラ |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP27462584A patent/JPS61157002A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018193786A1 (ja) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 三菱重工機械システム株式会社 | 高周波カプラ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5498308A (en) | Plasma asher with microwave trap | |
US4180763A (en) | High intensity discharge lamp geometries | |
US4965540A (en) | Microwave resonant cavity | |
US4187447A (en) | Electrodeless fluorescent lamp with reduced spurious electromagnetic radiation | |
JPS61157002A (ja) | マイクロ波発射用アンテナの固定装置 | |
JPH09190803A (ja) | 無電極放電ランプ | |
JPH06104081A (ja) | マイクロウェーブオーブン用マグネトロンの不要電子波遮蔽構造 | |
US2773246A (en) | Sealed sapphire wave guide window | |
US5780969A (en) | Gyrotron apparatus including reflecting cylinders which provide undesired wave absorption | |
US3109952A (en) | High intensity short arc lamp having an annular cathode shield | |
US3549934A (en) | Resonance shield for high pressure short-arc lamps | |
JP2001223171A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JPS6196649A (ja) | 無電極放電灯 | |
KR100327537B1 (ko) | 마이크로웨이브조명기구 | |
JP3981240B2 (ja) | マイクロ波プラズマ発生装置及び方法 | |
US2638504A (en) | High-frequency electrical device having gastight envelopes | |
JPS61104559A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
JP3081679B2 (ja) | 電子サイクロトロン共鳴プラズマ発生装置 | |
JPS61156631A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
KR0120636Y1 (ko) | 마그네트론 | |
JPH0544136B2 (ja) | ||
KR930000383B1 (ko) | 마그네트론 | |
KR930000382B1 (ko) | 마그네트론 | |
JPS5816458A (ja) | 高周波放電光源装置 | |
KR940006447Y1 (ko) | 전자렌지용 고주파 발진장치 |