KR20190064438A - Scribing wheel - Google Patents

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KR20190064438A
KR20190064438A KR1020180134262A KR20180134262A KR20190064438A KR 20190064438 A KR20190064438 A KR 20190064438A KR 1020180134262 A KR1020180134262 A KR 1020180134262A KR 20180134262 A KR20180134262 A KR 20180134262A KR 20190064438 A KR20190064438 A KR 20190064438A
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쇼헤이 나가토모
히로유키 토미모토
나오야 키야마
쿠미코 무라카미
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

Provided is a scribing wheel, capable of increasing the amount of penetration. The scribing wheel (1) has a knife point part (20) formed on the outer peripheral part. The knife point part (20) includes a plurality of grooves (24) formed at intervals in the circumferential direction and a ridge part (23) formed between grooves (24) adjacent to each other in the circumferential direction. The groove (24) includes a part having a smaller included angle than the ridge part (23).

Description

스크라이빙 휠{SCRIBING WHEEL}Scribing Wheel {SCRIBING WHEEL}

본 발명은 스크라이빙 휠에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing wheel.

유리 기판 등의 취성재료 기판을 절단하기 위한 스크라이브 라인을 형성하기 위해 스크라이빙 휠이 사용되는 것이 알려져 있다. 예를 들어 특허문헌 1의 스크라이빙 휠은 그 외주부에 형성된 칼끝부에서 원주방향으로 서로 간격을 두고 형성된 다수의 홈을 갖는다.It is known that a scribing wheel is used to form a scribe line for cutting a brittle material substrate such as a glass substrate. For example, the scribing wheel disclosed in Patent Document 1 has a plurality of grooves formed at intervals in the circumferential direction at the tip of a sword formed at the outer peripheral portion thereof.

일본 특개 2010-132542호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-132542

스크라이빙 휠에서는 취성재료 기판의 기판 두께에 대한 수직 크랙의 깊이의 비로 나타나는 침투량이 증가하는 것이 바람직하다. 본 발명은 침투량을 증가시킬 수 있는 스크라이빙 휠을 제공하는 것을 목적으로 한다.In the scribing wheel, it is desirable that the penetration amount, which is represented by the ratio of the depth of the vertical crack to the substrate thickness of the brittle material substrate, is increased. An object of the present invention is to provide a scribing wheel capable of increasing the amount of penetration.

(1) 본 발명의 스크라이빙 휠은 외주부에 형성된 칼끝부를 갖는 스크라이빙 휠로, 상기 칼끝부는 원주방향으로 간격을 두고 형성된 복수의 홈과 상기 원주방향에서 서로 이웃하는 상기 홈의 사이에 형성된 능선부를 포함하고, 상기 홈은 상기 능선부보다 끼인각(included angle)이 작은 부분을 포함한다.(1) The scribing wheel of the present invention is a scribing wheel having a knife edge portion formed at the outer peripheral portion, wherein the knife edge portion has a plurality of grooves formed at intervals in the circumferential direction and a ridge formed between the grooves adjacent to each other in the circumferential direction And the groove includes a portion having an included angle smaller than the ridge portion.

본원 발명자는 홈의 끼인각과 능선부의 끼인각과의 관계에 착안하여, 홈의 끼인각을 변경한 경우에서 스크라이빙 휠이 절단하는 취성재료 기판의 두께에 대한 수직 크랙의 깊이의 비로 나타나는 침투량의 변화에 대해서 시험하였다. 그 결과, 홈이 능선부의 끼인각보다도 작은 부분을 포함하는 경우, 침투량이 커진다는 사실을 알았다. 그래서, 본 스크라이빙 휠에서는 홈이 능선부의 끼인각보다 작은 부분을 포함하는 구성으로 하고 있다. 따라서, 침투량을 증가시킬 수 있다.The present inventors have focused on the relationship between the depressed angle of the groove and the depressed angle of the ridge line portion and have found that the change of the depth of penetration represented by the ratio of the depth of the vertical crack to the thickness of the brittle material substrate cut by the scribing wheel Respectively. As a result, it was found that when the groove includes a portion smaller than the inclined angle of the ridge line portion, the amount of penetration increases. Therefore, in this scribing wheel, the groove includes a portion smaller than the inclined angle of the ridge line portion. Therefore, the amount of permeation can be increased.

(2) 바람직한 예에서는, (1)에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈의 깊이는 상기 원주방향에서의 상기 홈의 단부로부터 상기 홈의 중앙부로 향해서 깊어지는 부분을 포함하며, 적어도 상기 홈의 단부의 끼인각은 상기 능선부의 끼인각보다 작다.(2) In a preferred example, in the scribing wheel according to (1), the depth of the groove includes a portion deepening from the end of the groove in the circumferential direction toward the central portion of the groove, The inclined angle of the end portion is smaller than the inclined angle of the ridgeline portion.

원주방향에서의 홈의 단부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우가 원주방향에서의 홈의 중앙부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우보다도 수직 크랙을 형성하기 쉽다. 또, 끼인각이 작은 경우가 끼인각이 큰 경우에 비해 수직 크랙을 확대시키는 응력이 발생하기 쉽다. 그래서 본 스크라이빙 휠에서는 원주방향에서의 홈의 단부의 끼인각을 능선부의 끼인각보다 작게 함으로써 수직 크랙을 확대시키는 응력을 효과적으로 크게 할 수 있으므로 침투량을 더 증가시킬 수 있다.When the end of the groove in the circumferential direction is in contact with the brittle material substrate, it is easier to form a vertical crack than in the case where the central portion of the groove in the circumferential direction contacts the brittle material substrate. Also, in the case where the subtended angle is small, the stress that enlarges the vertical crack is more likely to occur than in the case where the angle of inclination is large. Therefore, in the present scribing wheel, by making the inclined angle of the end portion of the groove in the circumferential direction smaller than the inclined angle of the ridge portion, it is possible to effectively increase the stress for enlarging the vertical crack, so that the amount of penetration can be further increased.

(3) 바람직한 예에서는, (2)에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈의 단부의 끼인각은 상기 홈의 중앙부의 끼인각보다 작다. 원주방향에서의 홈의 단부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우가 원주방향에서의 홈의 중앙부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우보다 수직 크랙을 형성하기 쉽다. 또, 끼인각이 작은 경우가 끼인각이 큰 경우에 비해 수직 크랙을 확대시키는 응력이 발생하기 쉽다. 그래서 본 스크라이빙 휠에서는 원주방향에서의 홈의 단부의 끼인각을 원주방향에서의 홈의 중앙부의 끼인각보다 작게 함으로써 수직 크랙을 확대시키는 응력을 효과적으로 크게 할 수 있으므로 침투량을 더 증가시킬 수 있다.(3) In a preferred example, in the scribing wheel described in (2), the inclined angle of the end of the groove is smaller than the inclined angle of the central portion of the groove. When the end of the groove in the circumferential direction contacts the brittle material substrate, it is easier to form a vertical crack than when the center of the groove in the circumferential direction contacts the brittle material substrate. Also, in the case where the subtended angle is small, the stress that enlarges the vertical crack is more likely to occur than in the case where the angle of inclination is large. Therefore, by making the inclined angle of the end portion of the groove in the circumferential direction smaller than the inclined angle of the central portion of the groove in the circumferential direction in the present scribing wheel, the stress for enlarging the vertical crack can be effectively increased, so that the penetration amount can be further increased.

(4) 바람직한 예에서는, (2)에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈의 단부로부터 상기 홈의 중앙부로 향해서 상기 홈의 끼인각이 작아진다. 이 때문에, 상기 (3)과 마찬가지 효과를 얻을 수 있다. (4) In a preferred example, in the scribing wheel described in (2), the inclined angle of the groove is reduced from the end of the groove toward the center of the groove. Therefore, the same effect as the above (3) can be obtained.

(5) 바람직한 예에서는, (2)에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈의 중앙부의 끼인각은 상기 능선부의 끼인각 이상이다.(5) In a preferred example, in the scribing wheel according to (2), the depression angle of the central portion of the groove is equal to or greater than the inclined angle of the ridge line portion.

본 발명의 스크라이빙 휠은 침투량을 증가시킬 수 있다.The scribing wheel of the present invention can increase the amount of penetration.

도 1은 제 1 실시형태의 스크라이빙 휠에 대해, (a)는 측면도, (b)는 (a)의 1b-1b선의 단면도이다.
도 2는 도 1의 스크라이빙 휠의 칼끝부의 일부를 확대한 도면으로, (a)는 사시도, (b)는 측면도이다.
도 3은 칼끝부의 일부의 평면도이다.
도 4는 칼끝부의 홈의 단부의 단면도이다.
도 5는 칼끝부의 홈의 중앙부의 단면도이다.
도 6은 칼끝부의 홈에서의 위치와 그 위치에 대응하는 홈의 끼인각과 칼끝부의 능선부에서의 끼인각과 각도 차와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 7은 스크라이브 하중과 침투량과의 관계를 나타내는 그래프이다.Fig. 1 is a side view of the scribing wheel of the first embodiment, and Fig. 1 (b) is a cross-sectional view taken along line 1b-1b of Fig. 1 (a).
Fig. 2 is an enlarged view of a part of a pointed end of the scribing wheel shown in Fig. 1, wherein (a) is a perspective view and (b) is a side view.
3 is a plan view of a part of a sword end;
4 is a sectional view of an end of a groove of a sword end portion;
5 is a sectional view of a central portion of a groove of a sword end portion.
6 is a graph showing the relationship between the position in the groove of the knife edge, the inclined angle of the groove corresponding to the position, and the angle of inclination and angle difference in the ridge line of the knife edge.
7 is a graph showing the relationship between scribe load and infiltration amount.

도 1~도 7을 참조하여 본 실시형태의 스크라이빙 휠(1)에 대해 설명한다. 스크라이빙 휠(1)은 예를 들어 유리 기판 또는 세라믹스 기판 등의 취성재료로 형성된 기판인 취성재료 기판을 분단하기 위해 사용된다. 스크라이빙 휠(1)은 취성재료 기판의 표면을 소정의 하중으로 누르면서 전동(轉動)함으로써 취성재료 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성한다.The scribing wheel 1 of the present embodiment will be described with reference to Figs. 1 to 7. Fig. The scribing wheel 1 is used for cutting a brittle material substrate which is a substrate formed of a brittle material such as, for example, a glass substrate or a ceramic substrate. The scribing wheel 1 forms a scribe line on the surface of the brittle material substrate by rolling while pressing the surface of the brittle material substrate at a predetermined load.

스크라이빙 휠(1)은 소결 다이아몬드(Poly Crystalline Diamond), 초경합금, 단결정 다이아몬드, 다결정 다이아몬드 등으로 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(1)은 초경합금 등의 기재(基材)에 다이아몬드 등의 경질재료의 막을 코팅한 것을 사용할 수도 있다.The scribing wheel 1 is formed of a sintered diamond (Poly Crystalline Diamond), a cemented carbide, a single crystal diamond, a polycrystalline diamond or the like. The scribing wheel 1 may be formed by coating a base material such as a cemented carbide with a film of a hard material such as diamond.

도 1(a)에 나타내는 것과 같이, 스크라이빙 휠(1)은 원판형상의 본체부(10)와 단면 V자 형상의 칼끝부(20)를 갖는다. 칼끝부(20)는 스크라이빙 휠(1)의 외주부에 형성되어 있다. 본체부(10)는 스크라이빙 휠(1)에 있어서 칼끝부(20)보다 지름방향 내측의 부분이다. 본체부(10)와 칼끝부(20)는 일체로 형성되어 있다. 또한, 단면 V자 형상이란 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(이하, 「두께방향(DT)」)에 따른 평면에서 스크라이빙 휠(1)을 절단한 단면에서 스크라이빙 휠(1)의 외주 가장자리를 향해서 선단부가 가늘어지는 형상이다(도 1(b) 참조). 스크라이빙 휠(1)의 외경은 φ 1㎜ 이상, φ 20㎜ 이하의 범위이다. 본 실시형태의 스크라이빙 휠(1)의 외경은 φ 2㎜이다. 또 스크라이빙 휠(1)의 두께의 일례는 0.64㎜이다.As shown in Fig. 1 (a), the scribing wheel 1 has a disk-shaped main body portion 10 and a knife edge portion 20 having a V-shaped cross section. The knife-edge portion 20 is formed on the outer peripheral portion of the scribing wheel 1. The main body 10 is a part of the scribing wheel 1 which is located radially inward of the sword 20. The main body 10 and the sword end 20 are integrally formed. The V-shaped cross section is a cross section of the scribing wheel 1 in the cross-section where the scribing wheel 1 is cut in a plane along the thickness direction of the scribing wheel 1 (hereinafter referred to as " thickness direction DT & (See Fig. 1 (b)). The outer diameter of the scraping wheel 1 is in the range of? 1 mm and? 20 mm. The outer diameter of the scraping wheel 1 of the present embodiment is 2 mm. An example of the thickness of the scribing wheel 1 is 0.64 mm.

본체부(10)의 중심부에는 본체부(10)를 두께방향(DT)으로 관통하는 삽입구멍(13)이 형성되어 있다. 삽입구멍(13)에는 스크라이빙 휠(1)을 회전 가능하게 지지하는 지지 핀(도시 생략)이 삽입된다. 도 1(b)에 나타내는 것과 같이, 본체부(10)는 삽입구멍(13)의 일단이 형성되는 제 1 측면(11)과 삽입구멍(13)의 타단이 형성되는 제 2 측면(12)을 갖는다.At the central portion of the main body 10, an insertion hole 13 is formed to penetrate the main body 10 in the thickness direction DT. A support pin (not shown) for rotatably supporting the scribing wheel 1 is inserted into the insertion hole 13. 1 (b), the main body 10 includes a first side 11 on which one end of the insertion hole 13 is formed and a second side 12 on which the other end of the insertion hole 13 is formed .

칼끝부(20)는 단면 V자 형상을 형성하는 2개의 경사면인 제 1 경사면(21) 및 제 2 경사면(22)을 갖는다. 제 1 경사면(21)은 제 1 측면(11)과 칼끝부(20)의 선단을 연결하고, 제 2 경사면(22)은 제 2 측면(12)과 칼끝부(20)의 선단을 연결하고 있다. 바꿔 말하면, 제 1 경사면(21)과 제 2 경사면(22)이 교차하는 선이 칼끝부(20)의 선단에서 능선을 형성하고 있다.The knife-edge portion 20 has a first inclined surface 21 and a second inclined surface 22, which are two inclined surfaces forming a V-shaped cross section. The first inclined surface 21 connects the first side surface 11 and the tip end of the sword 20 and the second inclined surface 22 connects the second side surface 12 and the tip of the sword 20 . In other words, a line intersecting the first inclined face 21 and the second inclined face 22 forms a ridge at the tip of the sword end 20.

도 1(b)에 나타내는 것과 같이, 두께방향(DT)에 있어서 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(DT)의 중심위치와 칼끝부(20)의 선단 위치가 서로 동일하다. 스크라이빙 휠(1)의 단면에서 볼 때에 두께방향(DT)과 직교하는 방향에 따른 선분(CL)과 제 1 경사면(21)이 이루는 제 1 각도(θ1)와 선분(CL)과 제 2 경사면(22)이 이루는 제 2 각도(θ2)는 서로 동일하다.The center position of the scribing wheel 1 in the thickness direction DT and the tip end position of the sword end 20 are the same in the thickness direction DT as shown in Fig. The first angle? 1 and the line segment CL formed by the line segment CL along the direction orthogonal to the thickness direction DT and the first inclined plane 21 as viewed from the end face of the scribing wheel 1, The second angles? 2 formed by the inclined surfaces 22 are equal to each other.

도 2(a)에 나타내는 것과 같이, 스크라이빙 휠(1)은 칼끝부(20)의 선단부에서 스크라이빙 휠(1)의 원주방향(이하, 「원주방향(DC)」)을 따라서 서로 간격을 두고 형성된 다수의 홈(24)을 구비한다. 홈(24)의 개수는 임의로 설정 가능하다. 본 실시형태의 홈(24)의 수는 150이다. 원주방향(DC)에 서로 이웃하는 홈(24)의 사이에는 제 1 경사면(21)과 제 2 경사면(22) 및 그 교차 선인 능선부(23)가 형성되어 있다. 능선부(23)의 외주 가장자리와 홈(24)의 외주 가장자리가 칼끝(25)을 형성한다. 칼끝부(20)는 능선부(23)와 홈(24)이 교호로 서로 동일한 피치로 형성되어 있다. 능선부(23)에서의 제 1 경사면(21)과 제 2 경사면(22)이 이루는 각인 끼인각(θr)은 90° 이상, 160° 이하의 범위, 바람직하게는 100° 이상, 150° 이하인 것이 바람직하다. 끼인각(θr)이 90° 이상이면 취성재료 기판에 표면 박리나 앞지르기가 발생하기 어렵게 되고, 160° 이하이면 걸림 불량이 발생하기 어려워진다. 본 실시형태의 끼인각(θr)은 120° 이다(도 4 참조).2 (a), the scribing wheel 1 rotates in the circumferential direction of the scribing wheel 1 (hereinafter referred to as " circumferential direction DC ") at the distal end of the knife- And has a plurality of grooves 24 formed at intervals. The number of grooves 24 can be arbitrarily set. The number of the grooves 24 in the present embodiment is 150. A first inclined surface 21, a second inclined surface 22 and a ridge line portion 23, which is an intersection line thereof, are formed between adjacent grooves 24 in the circumferential direction DC. The outer peripheral edge of the ridgeline portion 23 and the outer peripheral edge of the groove 24 form the cutting edge 25. The ridge portion (23) and the groove (24) are alternately formed at the same pitch in the knife edge portion (20). The inclined angle? R, which is the angle formed by the first inclined plane 21 and the second inclined plane 22 in the ridge portion 23, is preferably in the range of 90 ° to 160 °, preferably 100 ° to 150 ° Do. When the subtended angle [theta] r is 90 [deg.] Or more, the surface of the brittle material substrate is not easily peeled off or overturned, and if it is 160 [deg.] Or less, The subtended angle [theta] r of this embodiment is 120 [deg.] (See Fig. 4).

도 2(b)에 나타내는 것과 같이, 홈(24)은 칼끝부(20)의 외주부에서 만곡형상으로 오목한 형상을 갖는다. 또, 홈(24)은 제 1 경사면(21)에 대응하는 제 1 홈 경사면(21A)과 제 2 경사면(22)에 대응하는 제 2 홈 경사면(22A)을 가지며, 제 1 홈 경사면(21A)과 제 2 홈 경사면(22A)이 교차하는 외주 가장자리에 능선부(23)로부터 연속하는 칼끝(25)을 포함한다. 홈(24)은 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 단부로부터 홈(24)의 중앙부로 향해서 깊어지는 부분을 갖는다. 본 실시형태의 홈(24)은 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 단부로부터 홈(24)의 중앙부로 향해서 깊어진다. 홈(24)의 깊이(H)는 스크라이빙 휠(1)의 지름방향에서의 능선부(23)와 홈(24)의 가장 깊은 부분(最深部)과의 사이의 거리로 규정된다. 능선부(23)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 양단 가장자리 사이의 거리로서 규정된다. 능선부(23)에서의 홈(24)의 깊이(H)는 취성재료 기판을 스크라이브 하는 경우에 취성재료 기판의 재질 및 두께, 나아가 스크라이빙 휠(1)을 취성재료 기판에 누르는 하중(이하, 「스크라이브 하중」) 및 스크라이브에 의해 형성되는 스크라이브 라인 및 분단 후의 취성재료 기판의 품질 등을 고려하여 선택되며, 예를 들어 0.5㎛ 이상, 6.0㎛ 이하이다. 본 실시형태의 칼끝부(20)에서의 홈(24)의 깊이는 5.5㎛이다. 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 2.0㎛ 이상, 35㎛ 이하이다. 취성재료 기판의 판 두께가 0.7㎜ 이하인 경우, 칼끝(25)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 2.0㎛ 이상, 15㎛ 이하인 것이 바람직하고, 취성재료 기판의 판 두께가 1.1㎜ 정도인 경우, 능선부(23)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 10㎛ 이상, 30㎛ 이하인 것이 바람직하다. 본 실시형태의 칼끝(25)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 24㎛이다.As shown in Fig. 2 (b), the groove 24 has a concave shape in a curved shape at the outer peripheral portion of the knife edge 20. The groove 24 has a first groove inclined surface 21A corresponding to the first inclined surface 21 and a second groove inclined surface 22A corresponding to the second inclined surface 22. The first groove inclined surface 21A, And a cutting edge (25) continuous from the ridge (23) on the outer circumferential edge where the second groove slope (22A) intersects. The groove 24 has a portion that deepens from the end of the groove 24 in the circumferential direction DC to the central portion of the groove 24. The groove 24 of this embodiment is deepened from the end of the groove 24 in the circumferential direction DC to the central portion of the groove 24. The depth H of the groove 24 is defined as the distance between the ridge portion 23 in the radial direction of the scribing wheel 1 and the deepest portion of the groove 24. The width WD of the groove 24 in the ridge portion 23 is defined as the distance between the opposite end edges of the groove 24 in the circumferential direction DC. The depth H of the groove 24 in the ridge portion 23 corresponds to the material and thickness of the brittle material substrate when scribing the brittle material substrate and furthermore the load pressing the scribing wheel 1 against the brittle material substrate , &Quot; scribe load "), the scribe line formed by scribing, and the quality of the brittle material substrate after division, and is, for example, 0.5 m or more and 6.0 m or less. The depth of the groove 24 in the knife edge portion 20 of this embodiment is 5.5 占 퐉. The width WD of the groove 24 in the circumferential direction DC is 2.0 占 퐉 or more and 35 占 퐉 or less. When the plate thickness of the brittle material substrate is 0.7 mm or less, the width WD of the grooves 24 at the cutting edge 25 is preferably 2.0 탆 or more and 15 탆 or less, and the plate thickness of the brittle material substrate is about 1.1 mm The width WD of the groove 24 in the ridge portion 23 is preferably 10 占 퐉 or more and 30 占 퐉 or less. The width WD of the groove 24 in the cutting edge 25 of this embodiment is 24 占 퐉.

이와 같은 홈(24)은 스크라이빙 휠(1)의 삽입구멍(13)이 도시하지 않는 모터의 회전축에 장착된 상태에서 레이저 조사장치로부터 레이저광이 조사됨으로써 형성된다. 레이저광의 조사방향은 스크라이빙 휠(1)의 지름방향이다. 레이저광은 스크라이빙 휠(1)의 능선부(23)보다도 레이저 조사장치 측에서 초점이 형성된다. 레이저 조사장치에서 레이저광을 조사하는 조사부는 두께방향(DT)에 있어서 스크라이빙 휠(1)에 대해서 이동 가능하다. 한편, 조사부는 스크라이빙 휠(1)의 지름방향에서 칼끝부(20)와의 사이의 거리는 변경하지 않는다. 따라서 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(DT)의 중심위치에서 조사부와 칼끝부(20) 사이의 거리가 최소가 되며, 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(DT)의 중심위치로부터 두께방향(DT)으로 멀어짐에 따라서 조사부와 칼끝부(20) 사이의 거리가 길어지게 된다.The grooves 24 are formed by irradiating a laser beam from the laser irradiation device in a state where the insertion hole 13 of the scribing wheel 1 is mounted on a rotation axis of a motor (not shown). The irradiation direction of the laser light is the diametrical direction of the scribing wheel 1. The laser light is focused on the laser irradiation device side rather than the ridgeline portion 23 of the scribing wheel 1. The irradiating part for irradiating the laser beam in the laser irradiating device is movable with respect to the scribing wheel 1 in the thickness direction DT. On the other hand, the irradiation section does not change the distance between the cutting edge 20 and the scribing wheel 1 in the radial direction. The distance between the irradiating portion and the sword 20 at the center position in the thickness direction DT of the scribing wheel 1 is minimized and the distance from the center position in the thickness direction DT of the scribing wheel 1 The distance between the irradiating part and the blade tip 20 becomes longer along the thickness direction DT.

이와 같이 홈(24)이 형성되는 경우, 스크라이빙 휠(1)의 능선부(23)에 레이저광이 조사되는 면적이 최소가 되어서, 두께방향(DT)에 있어서 칼끝부(20)의 선단 위치로부터 멀어짐에 따라서 레이저 광이 조사되는 면적이 증가한다. 따라서, 도 3에 나타내는 것과 같이, 홈(24)의 폭(WD)은 칼끝부(20)의 선단 위치, 즉, 칼끝(25)에서의 홈(24)에서 최소가 되며, 두께방향(DT)에 있어서 칼끝(25)으로부터 멀어짐에 따라서 커지게 된다.When the grooves 24 are formed as described above, the area irradiated with the laser beam on the ridgelines 23 of the scribing wheel 1 is minimized, and the tip of the sword 20 in the thickness direction DT The area irradiated with the laser light increases as the distance from the position increases. 3, the width WD of the groove 24 is minimized in the tip end position of the knife edge 20, that is, in the groove 24 in the cutting edge 25, As the distance from the cutting edge 25 increases.

도 4 및 도 5에 나타내는 것과 같이, 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 단부(이하, 간단하게 「홈(24)의 단부」라고 한다)의 형상과 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 중앙부(이하, 간단하게 「홈(24)의 중앙부」라 한다)의 형상은 서로 다르다.4 and 5, the shape of the end of the groove 24 in the circumferential direction (DC) (hereinafter simply referred to as " the end of the groove 24 " (Hereinafter, simply referred to as " the central portion of the groove 24 ") of the recess 24 is different from each other.

도 4에 나타내는 것과 같이, 홈(24)의 단부의 끼인각인 제 1 홈 끼인각(θg1)은 끼인각(θr)보다 작다. 제 1 홈 끼인각(θg1)은 끼인각(θr)보다 2~10° 정도 작아지는 것이 바람직하다. 한편, 도 5에 나타내는 것과 같이, 홈(24)의 중앙부의 끼인각인 제 2 홈 끼인각(θg2)은 끼인각(θr)보다 크다. 즉, 제 1 홈 끼인각(θg1)은 제 2 홈 끼인각(θg2)보다 작다.As shown in Fig. 4, the first groove-formed angle? G1, which is the angle formed by the end of the groove 24, is smaller than the subtended angle? R. It is preferable that the first groove depression angle? G1 is smaller by about 2 to 10 degrees than the included angle? R. On the other hand, as shown in Fig. 5, the second groove-formed inclined angle? G2, which is the subtended angle of the central portion of the groove 24, is larger than the subtended angle? R. That is, the first groove depressed angle? G1 is smaller than the second groove depressed angle? G2.

여기서, 홈(24)의 단부는 원주방향(DC)에 있어서 능선부(23)와 서로 이웃하는 부분이다. 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 한쪽의 단부는 능선부(23)에서의 홈(24)의 홈 시작점(도 3의 선분 C의 위치)에서 홈 시작점으로부터 홈(24)의 안쪽으로 소정 거리에 걸쳐서 떨어진 위치(도 3의 선분 E의 위치)까지의 부분으로 규정된다. 또한, 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 다른 쪽의 단부에 대해서도 동일하게 규정된다. 이와 같이 제 1 홈 끼인각(θg1)은 홈(24)에서의 선분 C의 위치로부터 선분 E의 위치까지의 부분에서의 끼인각으로 규정된다. 본 실시형태에서는 원주방향(DC)에서의 선분 C와 선분 E의 사이의 거리는 5.0㎛이다. 제 1 홈 끼인각(θg1)이 규정되는 홈(24)의 단부로부터의 거리는 홈(24)의 폭(WD)에 대해 한쪽 편에서 10~30% 정도로 하는 것이 바람직하다. 홈 끼인각(θg)은 제 1 경사면(21)에서의 홈(24)에 대응하는 부분인 제 1 홈 경사면(21A)과 제 2 경사면(22)에서의 홈(24)에 대응하는 부분인 제 2 홈 경사면(22A)이 이루는 각에 의해 규정된다. 제 1 홈 끼인각(θg1)은 홈(24)의 단부에서의 제 1 홈 경사면(21A)과 홈(24)의 단부에서의 제 2홈 경사면(22A)이 이루는 각에 의해 규정된다. 제 2 홈 끼인각(θg2)은 홈(24)의 중앙부에서의 제 1 홈 경사면(21A)과 홈(24)의 중앙부에서의 제 2 홈 경사면(22A)이 이루는 각에 의해 규정된다.Here, the end of the groove 24 is a portion adjacent to the ridge portion 23 in the circumferential direction (DC). One end of the groove 24 in the circumferential direction DC is located at the groove starting point (position of line segment C in Fig. 3) of the groove 24 in the ridge portion 23 from the groove starting point to the inside of the groove 24 (The position of the line segment E in Fig. 3). The other end of the groove 24 in the circumferential direction (DC) is similarly defined. As described above, the first groove depression angle? G1 is defined as a depressed angle at a portion from the position of the line segment C to the position of the line segment E in the groove 24. [ In the present embodiment, the distance between the line segment C and the line segment E in the circumferential direction (DC) is 5.0 占 퐉. It is preferable that the distance from the end of the groove 24 in which the first groove depression angle? G1 is defined is about 10 to 30% on the one side with respect to the width WD of the groove 24. The groove depression angle? G is formed by a first groove inclined face 21A which corresponds to the groove 24 in the first inclined face 21 and a second groove inclined face 21A which corresponds to the groove 24 in the second inclined face 22, Is defined by the angle formed by the groove slope 22A. The first groove inclined angle? G1 is defined by the angle formed by the first groove inclined face 21A at the end of the groove 24 and the second groove inclined face 22A at the end of the groove 24. The second groove inclined angle? G2 is defined by the angle formed by the first groove inclined face 21A at the central portion of the groove 24 and the second groove inclined face 22A at the central portion of the groove 24.

또한, 제 1 홈 끼인각(θg1) 및 제 2 홈 끼인각(θg2)은 임의로 변경 가능하다. 일례에서는 제 2 홈 끼인각(θg2)은 끼인각(θr)과 동일하거나, 또는 끼인각(θr)보다 작아도 좋다.In addition, the first groove-formed angle? G1 and the second groove-formed angle? G2 can be arbitrarily changed. In an example, the second groove depressed angle? G2 may be equal to or smaller than the subtracted angle? R.

(실시 예)(Example)

스크라이빙 휠(1)의 성능을 평가하기 위해 스크라이브 하중과 침투량과의 관계에 대해 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠과 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠을 사용하여 확인했다. 또한, 침투량은 취성재료 기판의 두께에 대한 수직 크랙의 깊이의 비를 백분율(%)로 나타내는 것이다.In order to evaluate the performance of the scribing wheel 1, the relationship between the scribing load and the infiltration amount was examined using the scribing wheels of the first and second embodiments and the scribing wheels of the first and second comparative examples Confirmed. Further, the amount of penetration represents the ratio of the depth of the vertical crack to the thickness of the brittle material substrate as a percentage (%).

실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 각각에 대해 홈(24)의 개시위치를 기준으로 하여 2.5㎛마다 측정위치에서의 끼인각도 차(θd)를 측정했다. 구체적으로는, 도 3의 선분 A ~ 선분 H에 대응하는 위치를 측정위치로 하고 있다. 선분 A는 홈(24)의 개시위치로부터 능선부(23) 측으로 5㎛ 떨어진 위치이고 선분 B는 홈(24)의 개시 위치로부터 칼끝(25) 측으로 2.5㎛ 떨어진 위치이다. 선분 A 및 선분 B는 모두 능선부(23)를 통과하는 선분이다. 선분 C는 홈(24)의 개시위치이고, 선분 D는 홈(24)의 개시위치로부터 홈(24) 측으로 2.5㎛ 떨어진 위치이며, 선분 E는 홈(24)의 개시 위치로부터 홈(24) 측으로 5.0㎛ 떨어진 위치이고, 선분 F는 홈(24)의 개시 위치로부터 홈(24) 측으로 7.5㎛ 떨어진 위치이며, 선분 G는 홈(24)의 개시위치로부터 홈(24) 측으로 10.0㎛ 떨어진 위치이고, 선분 H는 홈(24)의 개시위치로부터 홈(24) 측으로 12.5㎛ 떨어진 위치이다. 선분 C ~ 선분 H는 모두 홈(24)의 외주 가장자리를 통과하는 선분이다. 도 6은 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠에서의 측정위치인 선분 A와, 선분 B ~ 선분 H에서의 끼인각도 차(θd)의 관계를 나타내는 그래프이다.The inclined angle difference? D at the measurement position was measured every 2.5 mu m based on the starting position of the groove 24 with respect to each of the scribing wheels of Example 1, Example 2, and Comparative Example 1 and Comparative Example 2 did. Specifically, the position corresponding to the segment A to the segment H in Fig. 3 is defined as the measurement position. The line segment A is located 5 占 m away from the start position of the groove 24 toward the ridge line 23 and the line segment B is 2.5 占 퐉 away from the start position of the groove 24 toward the sword 25 side. The line segment A and the line segment B are all line segments passing through the ridge line portion 23. The line segment C is a starting position of the groove 24 and the line segment D is 2.5 占 퐉 away from the starting position of the groove 24 toward the groove 24 side and the line segment E is shifted from the starting position of the groove 24 to the groove 24 side The line segment F is located at a distance of 7.5 mu m from the start position of the groove 24 to the groove 24 side and the line segment G is 10.0 mu m away from the start position of the groove 24 to the groove 24 side, The line segment H is located 12.5 占 퐉 away from the starting position of the groove 24 toward the groove 24 side. The line segments C to H are all line segments passing through the outer circumferential edge of the groove 24. 6 is a graph showing a relationship between a line segment A as a measurement position in the scribing wheel of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2, and a subtracted angle difference? D at a line segment B to a line segment H to be.

또, 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠은 각각 외경(φ) 2㎜, 끼인각(θr)이 120°, 홈의 수가 150개, 홈의 깊이(H)가 5.5㎛의 것을 사용했다. 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 구체적인 홈 형상에 대해서 도 6을 사용하여 설명한다.The scribing wheels of Example 1, Example 2, and Comparative Example 1 and Comparative Example 2 each had an outer diameter (φ) of 2 mm, a subtended angle θr of 120 °, a number of grooves of 150, ) Was 5.5 mu m. The specific groove shapes of the scribing wheels of Examples 1, 2, and Comparative Example 1 and Comparative Example 2 will be described with reference to FIG.

도 6은 선분 A의 위치의 끼인각(θr)을 기준으로 하여, 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠에서의 각 측정 개소의 끼인각도 차(θd)를 나타내는 그래프이다. 선분 C ~ 선분 E의 위치에서는 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 마이너스 값이 되는 반면, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 플러스 값이 된다. 상술하면, 선분 C의 위치에서 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 3° 작고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 2.5° 작다. 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.2° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.1° 크다. 선분 D의 위치에서 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 5.5° 작고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 4.5° 작다. 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠에서는 선분 D의 위치에서 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)에 대해 가장 작아진다. 또, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 1° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.8° 크다. 선분 E의 위치에서 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.5° 작고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 1° 작다. 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 3° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 3.5° 크다.6 is a graph showing the relationship between the subtracted angle difference? D of each measurement point in the scribing wheels of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 with reference to the subtracted angle? R of the position of the segment A FIG. At the position of line segment C to segment E, the subtended angle difference? D of the scribing wheel of Example 1 and Example 2 becomes a minus value, while the subtractive angle difference of the scribing wheel of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 theta] d becomes a positive value. In detail, at the position of the line segment C, the grooved angle? G of the scribing wheel of the embodiment 1 is smaller than the subtended angle? R by about 3 °, and the grooved angle? G of the scribing wheel of the embodiment 2 is the subtended angle? lt; / RTI > The grooved angle? G of the scribing wheel of the comparative example 1 is about 0.2 degrees larger than the subtracted angle? R and the grooved angle? G of the scribing wheel of the comparative example 2 is about 0.1 degrees larger than the subtracted angle? R. The groove inclined angle? G of the scribing wheel of Embodiment 1 is smaller by about 5.5 占 than the inclined angle? R at the position of the line segment D and the groove inclined angle? G of the scribing wheel of Embodiment 2 is smaller than the subtracted angle? It is about 4.5 degrees smaller. In the scribing wheel according to the first and second embodiments, the grooved angle? G at the position of the line segment D becomes the smallest with respect to the included angle? R. The grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 1 is larger by about 1 deg. Than the subtracted angle? R and the grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 0.8 deg. Big. The grooved angle? G of the scribing wheel of Example 1 is smaller than the subtended angle? R by about 0.5 占 at the position of the line segment E, and the grooved angle? G of the scribing wheel of Example 2 is smaller than the subtracted angle? It is about 1 ° smaller. The grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 1 is larger by about 3 占 than the subtracted angle? R and the grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 2 is larger by about 3.5 占 than the subtracted angle? R.

선분 F의 위치에서는 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 마이너스 값이 되는 반면, 실시 예 1, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 플러스 값이 된다. 상술하면, 선분 F의 위치에서 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.1° 크고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 1° 작다. 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 8° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 7.5° 크다.The inclined angle difference? D of the scribing wheel of Example 2 becomes a minus value at the position of the line segment F while the inclined angle difference? D of the scribing wheel of Example 1, Comparative Example 1, Becomes a positive value. In detail, at the position of the line segment F, the grooved angle? G of the scribing wheel of the first embodiment is larger by about 0.1 degrees than the included angle? R, and the grooved angle? G of the scribing wheel of the second embodiment is the subtended angle? lt; RTI ID = 0.0 > 1 < / RTI > The grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 1 is larger by about 8 degrees than the subtracted angle? R and the grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 2 is larger by about 7.5 degrees than the subtracted angle? R.

선분 G의 위치에서는 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 마이너스 값이 되는 반면, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 플러스 값이 된다. 또 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 0°가 된다. 상술하면, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.2° 작다. 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 8° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 10° 크다.At the position of the line segment G, the subtended angle difference? D of the scribing wheel of Example 2 becomes a minus value, while the subtractive angle difference? D of the scribing wheels of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 is a positive value do. In addition, the subtended angle difference? D of the scribing wheel of Example 1 is 0 °. Specifically, the grooved angle? G of the scribing wheel of the second embodiment is smaller by about 0.2 占 than the included angle? R. The grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 1 is larger by about 8 占 than the subtracted angle? R and the grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 2 is larger by about 10 占 than the subtracted angle? R.

선분 H의 위치에서는 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 플러스 값이 된다. 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 2° 크고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 1° 크고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 9° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 8° 크다.At the position of the line segment H, the subtracted angle difference? D of the scribing wheels of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 becomes a positive value. The grooved angle? G of the scribing wheel of Example 1 is larger by about 2 占 than the subtracted angle? R and the grooved angle? G of the scribing wheel of Example 2 is larger by about 1 ° than the subtracted angle? The grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 1 is larger by about 9 占 than the subtracted angle? R and the grooved angle? G of the scribing wheel of Comparative Example 2 is larger by about 8 占 than the subtracted angle? R.

또, 홈(24)에서의 끼인각인 홈 끼인각(θg)에는 예를 들어 레이저 현미경을 사용해서 다음과 같이 연산할 수 있다. 즉 레이저 현미경은 스크라이빙 휠(1)의 지름방향에 레이저를 조사하여 레이저 현미경과 스크라이빙 휠(1) 사이의 거리를 계측함으로써 칼끝부(20)를 따른 방향과 직교하는 방향의 홈(24)의 프로파일을 취득한다. 그리고 취득된 홈(24)의 제 1 홈 경사면(21A) 및 제 2 홈 경사면(22A)의 각각의 프로파일로부터 홈 끼인각(θg)을 연산할 수 있다. 본 실시 예에서는 레이저 현미경으로 KEYENCE사의 VK－X100을 사용했다.The grooved angle? G, which is a subtended angle in the groove 24, can be calculated using, for example, a laser microscope as follows. That is, the laser microscope measures the distance between the laser microscope and the scribing wheel 1 by irradiating the laser in the radial direction of the scribing wheel 1, thereby measuring the distance between the grooves in the direction orthogonal to the direction along the knife- 24). The groove inclination angle? G can be calculated from the profiles of the first groove inclined face 21A and the second groove inclined face 22A of the obtained groove 24. In this embodiment, VK-X100 manufactured by KEYENCE Co., Ltd. was used with a laser microscope.

스크라이브 하중과 침투량과의 관계에서는 스크라이브 하중을 0.09MPa, 0.10MPa, 0.11MPa, 0.13MPa, 0.15MPa, 0.17MPa, 0.19MPa, 0.21MPa 및 0.23MPa로 변화시킨 때의 침투량을 측정했다.In the relationship between the scribing load and the penetration amount, the penetration amount was measured when the scribe load was changed to 0.09 MPa, 0.10 MPa, 0.11 MPa, 0.13 MPa, 0.15 MPa, 0.17 MPa, 0.19 MPa, 0.21 MPa and 0.23 MPa.

도 7에 나타내는 것과 같이, 스크라이브 하중이 0.09MPa의 경우, 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 75%이고 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 76%이며, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 64%이고 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 66%이다. 스크라이브 하중이 0.10MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 각각 약 78%이고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 60%이며 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 74%이다. 스크라이브 하중이 0.11MPa의 경우, 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 82%이고 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 81%이며, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 77%이고 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 74%이다. 스크라이브 하중이 0.13MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 84%이고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 79%이며 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 77%이다. 스크라이브 하중이 0.15MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 86%이고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 81%이며 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 83%이다. 스크라이브 하중이 0.17MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 87%이고, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 85%이다. 스크라이브 하중이 0.19MPa의 경우, 실시 예 1, 실시 예 2 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 90%이고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 86%이다. 스크라이브 하중이 0.21MPa의 경우, 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 92%이고 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 93%이며, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 90%이다. 스크라이브 하중이 0.23MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 95%이고, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 93%이다.As shown in Fig. 7, when the scribing load was 0.09 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 was about 75% and the penetration amount of the scribing wheel of Example 2 was about 76% The penetration amount of the scraping wheel is about 64%, and the penetration amount of the scraping wheel of the comparative example 2 is about 66%. When the scribing load was 0.10 MPa, the infiltration amounts of the scribing wheels of Examples 1 and 2 were respectively about 78%, the infiltration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 was about 60%, and the inflow amount of the scribing wheel of Comparative Example 2 The amount of penetration of the ice wheel is about 74%. When the scribing load was 0.11 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 was about 82%, the penetration amount of the scribing wheel of Example 2 was about 81%, the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 was About 77%, and the penetration amount of the scraping wheel of Comparative Example 2 is about 74%. When the scribing load was 0.13 MPa, the infiltration amount of the scribing wheel of Examples 1 and 2 was about 84%, the infiltration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 was about 79%, and the scribing of Comparative Example 2 The penetration of the wheel is about 77%. When the scribing load was 0.15 MPa, the infiltration amount of the scribing wheel of Examples 1 and 2 was about 86%, the infiltration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 was about 81%, and the scribing of Comparative Example 2 The infiltration amount of the wheel is about 83%. When the scribing load is 0.17 MPa, the infiltration amount of the scribing wheel of Examples 1 and 2 is about 87%, and the infiltration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 is about 85%. When the scribing load is 0.19 MPa, the penetration amount of the scraping wheel of Examples 1 and 2 and Comparative Example 2 is about 90%, and the penetration amount of the scraping wheel of Comparative Example 1 is about 86%. When the scribing load was 0.21 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 was about 92%, and the penetration amount of the scribing wheel of Example 2 was about 93%. In the scribing of Comparative Example 1 and Comparative Example 2, The penetration of the wheel is about 90%. When the scribing load is 0.23 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Examples 1 and 2 is about 95%, and the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 is about 93%.

도 7에 나타내는 것과 같이, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠은 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠보다 침투량이 5~10% 커지는 것이 확인되었다. 특히, 낮은 스크라이브 하중의 범위에서 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠에 의한 침투량이 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠에 의한 침투량보다 현저하게 커지는 것이 확인되었다.As shown in Fig. 7, it was confirmed that the penetration amount of the scribing wheels of Examples 1 and 2 was 5 to 10% larger than that of the scribing wheels of Comparative Examples 1 and 2. Particularly, it was confirmed that the infiltration amount by the scribing wheels of Examples 1 and 2 was significantly larger than the infiltration amount by the scribing wheels of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 in the range of low scribing load.

본 실시형태에 의하면 이하의 효과를 얻을 수 있다. According to this embodiment, the following effects can be obtained.

(1) 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 작음에 따라 취성재료 기판의 침투량이 증가한다. 이에 의해 취성재료 기판을 용이하게 분단할 수 있다. 또, 원하는 수직 크랙의 깊이를 얻기 위한 스크라이브 하중을 작게 할 수 있으므로 스크라이브 하중이 커짐에 따른 앞지르기 등의 취성재료 기판의 스크라이브 시의 불량 발생을 억제할 수 있다.(1) The infiltration amount of the brittle material substrate increases as the groove depression angle? G is smaller than the included angle? R. As a result, the brittle material substrate can be easily divided. In addition, since the scribing load for obtaining the depth of the desired vertical crack can be reduced, it is possible to suppress the occurrence of defects in the scribing of the brittle material substrate, such as leading to the increase in the scribing load.

(2) 홈(24)의 단부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우가 홈(24)의 중앙부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우보다 수직 크랙을 형성하기 쉽다. 또, 홈 끼인각(θg)이 작은 경우가 홈 끼인각(θg)이 큰 경우에 비해 수직 크랙을 확대시키는 응력이 발생하기 쉽다. 그래서 본 실시형태에서는 제 1 홈 끼인각(θg1)을 제 2 홈 끼인각(θg2)보다 작게 한다. 이에 의해, 수직 크랙을 확대시키는 응력을 효과적으로 크게 할 수 있으므로 침투량을 더 증가시킬 수 있다.(2) When the end of the groove 24 comes into contact with the brittle material substrate, it is easier to form a vertical crack than when the central portion of the groove 24 contacts the brittle material substrate. Further, when the groove depression angle? G is small, stress that enlarges the vertical crack is more likely to occur than when the groove depression angle? G is large. Thus, in the present embodiment, the first groove-formed angle? G1 is made smaller than the second groove-formed angle? G2. Thereby, the stress for enlarging the vertical crack can be effectively increased, and the amount of penetration can be further increased.

(변형 예) (Modified example)

상기 실시형태에 관한 설명은 본 발명에 따른 스크라이빙 휠이 취할 수 있는 형태의 예시이며, 그 형태를 제한하는 것을 의도하지 않는다. 본 발명에 따른 스크라이빙 휠은 예를 들어 이하에 제시하는 상기 실시형태의 변형 예 및 서로 모순되지 않는 적어도 2개의 변형 예가 조합된 형태를 취할 수 있다. 이하의 변형 예에서 상기 실시형태에서의 형태와 공통되는 부분에 대해서는 상기 실시형태와 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.The description of the above embodiment is an example of what the scribing wheel according to the present invention can take, and is not intended to limit its form. The scribing wheel according to the present invention may take the form of, for example, a modification of the above-described embodiment described below and a combination of at least two modifications which do not contradict each other. In the following modified examples, the same parts as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment, and the description thereof is omitted.

· 스크라이빙 휠(1)의 홈(24)의 단부로부터 홈(24)의 중앙부로 향함에 따라서 홈 끼인각(θg)이 서서히 작아지도록 홈(24)이 설치되어도 좋다. 이 구성에 의해서도 상기 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.The grooves 24 may be provided so that the grooved angle? G gradually decreases from the end of the grooves 24 of the scribing wheel 1 toward the center of the grooves 24. This configuration also provides the effects of the above-described embodiment.

· 홈(24)의 단부에서, 시작점(도 3의 선분 C의 위치)으로부터 도 3의 선분 E의 위치로 향함에 따라서 홈 끼인각(θg)이 서서히 작아지도록 홈(24)이 설치되어도 좋다. 이 구성에 의해서도 상기 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.The groove 24 may be provided at the end of the groove 24 so that the groove-inclined angle? G gradually decreases from the starting point (the position of the line segment C in Fig. 3) toward the position of the line segment E in Fig. This configuration also provides the effects of the above-described embodiment.

· 홈(24)의 단부 이외의 홈(24)의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr) 이상이라도 좋다. 즉, 홈(24)의 단부의 제 1 홈 끼인각(θg1)만이 끼인각(θr)보다도 작아지도록 형성되어도 좋다. 이 구성에 의해서도 상기 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.The grooved angle? G of the groove 24 other than the end of the groove 24 may be equal to or greater than the subtended angle? R. That is, only the first groove depression angle? G1 at the end of the groove 24 may be formed smaller than the subtended angle? R. This configuration also provides the effects of the above-described embodiment.

· 홈(24)의 깊이방향의 형상은 임의로 변경 가능하다. 일례에서는 홈(24)은 그 바닥부분이 평탄부를 포함하는 형상이라도 좋다. The shape of the groove 24 in the depth direction can be arbitrarily changed. In one example, the groove 24 may have a shape in which the bottom portion includes a flat portion.

· 칼끝부(20)의 형상은 임의로 변경 가능하다. 일례에서는 두께방향(DT)에서 능선부(23)의 위치와 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(DT)의 중심위치가 서로 달라도 좋다.The shape of the sword tip 20 can be arbitrarily changed. In one example, the position of the ridgeline 23 in the thickness direction DT and the center position of the thickness direction DT of the scribing wheel 1 may be different from each other.

1 스크라이빙 휠
10 본체부
20 칼끝부
21 제 1 경사면
22 제 2 경사면
23 능선부
24 홈
θr 끼인각
θg 홈 끼인각
θg1 제 1 홈 끼인각
θg2 제 2 홈 끼인각
DC 원주방향1 scriing wheel
10 Body part
20 point of the sword
21 First inclined surface
22 2nd slope
23 ridge section
24 Home
θr
θg grooved
&thetas; g1 &thetas;
&thetas; g < 2 >
DC circumferential direction

Claims (5)

외주부에 형성된 칼끝부를 갖는 스크라이빙 휠로,
상기 칼끝부는 원주방향으로 간격을 두고 형성된 복수의 홈과 상기 원주방향에서 서로 이웃하는 상기 홈의 사이에 형성된 능선부를 포함하며,
상기 홈은 상기 능선부보다도 끼인각이 작은 부분을 포함하는 스크라이빙 휠.A scribing wheel having a knife-edge portion formed on an outer peripheral portion thereof,
Wherein the knife edge includes a plurality of grooves formed at intervals in the circumferential direction and ridgelines formed between the grooves adjacent to each other in the circumferential direction,
Wherein the groove includes a portion having a smaller inclined angle than the ridge portion. 제 1 항에 있어서,
상기 홈의 깊이는 상기 원주방향에서의 상기 홈의 단부로부터 상기 홈의 중앙부로 향해서 깊어지는 부분을 포함하고,
적어도 상기 홈의 단부의 끼인각은 상기 능선부의 끼인각보다 작은 스크라이빙 휠.The method according to claim 1,
Wherein the depth of the groove includes a portion deepening from the end of the groove in the circumferential direction toward the center of the groove,
Wherein at least the inclined angle of the end of the groove is smaller than the inclined angle of the ridgeline portion. 제 2 항에 있어서,
상기 홈의 단부의 끼인각은 상기 홈의 중앙부의 끼인각보다 작은 스크라이빙 휠.3. The method of claim 2,
And the inclined angle of the end of the groove is smaller than the inclined angle of the central portion of the groove. 제 2 항에 있어서,
상기 홈의 선단으로부터 상기 홈의 중앙부로 향해서 상기 홈의 끼인각이 작아지는 스크라이빙 휠.3. The method of claim 2,
And the inclined angle of the groove is reduced from the tip of the groove toward the center of the groove. 제 2 항에 있어서,
상기 홈의 중앙부의 끼인각은 상기 능선부의 끼인각 이상인 스크라이빙 휠.3. The method of claim 2,
And the inclined angle of the central portion of the groove is not less than the inclined angle of the ridgeline portion.
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