KR102625907B1 - Scribing wheel - Google Patents

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KR102625907B1
KR102625907B1 KR1020180134262A KR20180134262A KR102625907B1 KR 102625907 B1 KR102625907 B1 KR 102625907B1 KR 1020180134262 A KR1020180134262 A KR 1020180134262A KR 20180134262 A KR20180134262 A KR 20180134262A KR 102625907 B1 KR102625907 B1 KR 102625907B1
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쇼헤이 나가토모
히로유키 토미모토
나오야 키야마
쿠미코 무라카미
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

침투량을 증가시킬 수 있는 스크라이빙 휠을 제공한다.
스크라이빙 휠(1)은 외주부에 형성된 칼끝부(20)를 갖는다. 칼끝부(20)는 원주방향에 간격을 두고 형성된 복수의 홈(24)과 원주방향에서 서로 이웃하는 홈(24)의 사이에 형성된 능선부(23)를 포함한다. 홈(24)은 능선부(23)보다 끼인각이 작은 부분을 포함한다.
A scribing wheel that can increase penetration is provided.
The scribing wheel 1 has a knife tip 20 formed on the outer periphery. The tip portion 20 includes a plurality of grooves 24 formed at intervals in the circumferential direction and a ridge portion 23 formed between grooves 24 adjacent to each other in the circumferential direction. The groove 24 includes a portion with a smaller included angle than the ridge portion 23.

Description

스크라이빙 휠{SCRIBING WHEEL}Scribing wheel {SCRIBING WHEEL}

본 발명은 스크라이빙 휠에 관한 것이다.The present invention relates to scribing wheels.

유리 기판 등의 취성재료 기판을 절단하기 위한 스크라이브 라인을 형성하기 위해 스크라이빙 휠이 사용되는 것이 알려져 있다. 예를 들어 특허문헌 1의 스크라이빙 휠은 그 외주부에 형성된 칼끝부에서 원주방향으로 서로 간격을 두고 형성된 다수의 홈을 갖는다.It is known that a scribing wheel is used to form a scribe line for cutting brittle material substrates such as glass substrates. For example, the scribing wheel of Patent Document 1 has a plurality of grooves formed at intervals from each other in the circumferential direction at the edge of the knife formed on the outer periphery.

일본 특개 2010-132542호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2010-132542

스크라이빙 휠에서는 취성재료 기판의 기판 두께에 대한 수직 크랙의 깊이의 비로 나타나는 침투량이 증가하는 것이 바람직하다. 본 발명은 침투량을 증가시킬 수 있는 스크라이빙 휠을 제공하는 것을 목적으로 한다.In a scribing wheel, it is desirable to increase the amount of penetration expressed as the ratio of the depth of the vertical crack to the substrate thickness of the brittle material substrate. The purpose of the present invention is to provide a scribing wheel capable of increasing penetration.

(1) 본 발명의 스크라이빙 휠은 외주부에 형성된 칼끝부를 갖는 스크라이빙 휠로, 상기 칼끝부는 원주방향으로 간격을 두고 형성된 복수의 홈과 상기 원주방향에서 서로 이웃하는 상기 홈의 사이에 형성된 능선부를 포함하고, 상기 홈은 상기 능선부보다 끼인각(included angle)이 작은 부분을 포함한다.(1) The scribing wheel of the present invention is a scribing wheel having a knife tip formed on the outer periphery, wherein the knife tip has a plurality of grooves formed at intervals in the circumferential direction and ridges formed between the grooves adjacent to each other in the circumferential direction. The groove includes a portion having an included angle smaller than that of the ridge portion.

본원 발명자는 홈의 끼인각과 능선부의 끼인각과의 관계에 착안하여, 홈의 끼인각을 변경한 경우에서 스크라이빙 휠이 절단하는 취성재료 기판의 두께에 대한 수직 크랙의 깊이의 비로 나타나는 침투량의 변화에 대해서 시험하였다. 그 결과, 홈이 능선부의 끼인각보다도 작은 부분을 포함하는 경우, 침투량이 커진다는 사실을 알았다. 그래서, 본 스크라이빙 휠에서는 홈이 능선부의 끼인각보다 작은 부분을 포함하는 구성으로 하고 있다. 따라서, 침투량을 증가시킬 수 있다.Focusing on the relationship between the included angle of the groove and the included angle of the ridge, the inventor of the present application found that when the included angle of the groove was changed, the change in penetration amount indicated by the ratio of the depth of the vertical crack to the thickness of the brittle material substrate cut by the scribing wheel tested for. As a result, it was found that when the groove includes a portion smaller than the included angle of the ridge, the amount of penetration increases. Therefore, in this scribing wheel, the groove is configured to include a portion smaller than the included angle of the ridge portion. Therefore, the penetration amount can be increased.

(2) 바람직한 예에서는, (1)에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈의 깊이는 상기 원주방향에서의 상기 홈의 단부로부터 상기 홈의 중앙부로 향해서 깊어지는 부분을 포함하며, 적어도 상기 홈의 단부의 끼인각은 상기 능선부의 끼인각보다 작다.(2) In a preferred example, in the scribing wheel described in (1), the depth of the groove includes a portion deepening from an end of the groove in the circumferential direction toward the center of the groove, and at least the depth of the groove. The included angle of the end portion is smaller than the included angle of the ridge portion.

원주방향에서의 홈의 단부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우가 원주방향에서의 홈의 중앙부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우보다도 수직 크랙을 형성하기 쉽다. 또, 끼인각이 작은 경우가 끼인각이 큰 경우에 비해 수직 크랙을 확대시키는 응력이 발생하기 쉽다. 그래서 본 스크라이빙 휠에서는 원주방향에서의 홈의 단부의 끼인각을 능선부의 끼인각보다 작게 함으로써 수직 크랙을 확대시키는 응력을 효과적으로 크게 할 수 있으므로 침투량을 더 증가시킬 수 있다.When the end of the groove in the circumferential direction contacts the brittle material substrate, vertical cracks are more likely to be formed than when the central portion of the groove in the circumferential direction contacts the brittle material substrate. Additionally, when the included angle is small, stress that expands vertical cracks is more likely to occur compared to when the included angle is large. Therefore, in this scribing wheel, by making the included angle at the end of the groove in the circumferential direction smaller than the included angle at the ridge, the stress that expands the vertical crack can be effectively increased, thereby further increasing the amount of penetration.

(3) 바람직한 예에서는, (2)에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈의 단부의 끼인각은 상기 홈의 중앙부의 끼인각보다 작다. 원주방향에서의 홈의 단부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우가 원주방향에서의 홈의 중앙부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우보다 수직 크랙을 형성하기 쉽다. 또, 끼인각이 작은 경우가 끼인각이 큰 경우에 비해 수직 크랙을 확대시키는 응력이 발생하기 쉽다. 그래서 본 스크라이빙 휠에서는 원주방향에서의 홈의 단부의 끼인각을 원주방향에서의 홈의 중앙부의 끼인각보다 작게 함으로써 수직 크랙을 확대시키는 응력을 효과적으로 크게 할 수 있으므로 침투량을 더 증가시킬 수 있다.(3) In a preferred example, in the scribing wheel described in (2), the included angle of the end portion of the groove is smaller than the included angle of the central portion of the groove. When the end of the groove in the circumferential direction contacts the brittle material substrate, vertical cracks are more likely to form than when the central portion of the groove in the circumferential direction contacts the brittle material substrate. Additionally, when the included angle is small, stress that expands vertical cracks is more likely to occur compared to when the included angle is large. Therefore, in this scribing wheel, by making the included angle of the end of the groove in the circumferential direction smaller than the included angle of the central part of the groove in the circumferential direction, the stress that expands the vertical crack can be effectively increased, thereby further increasing the amount of penetration.

(4) 바람직한 예에서는, (2)에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈의 단부로부터 상기 홈의 중앙부로 향해서 상기 홈의 끼인각이 작아진다. 이 때문에, 상기 (3)과 마찬가지 효과를 얻을 수 있다. (4) In a preferred example, in the scribing wheel described in (2), the included angle of the groove becomes smaller from the end of the groove toward the center of the groove. For this reason, the same effect as (3) above can be obtained.

(5) 바람직한 예에서는, (2)에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈의 중앙부의 끼인각은 상기 능선부의 끼인각 이상이다.(5) In a preferred example, in the scribing wheel described in (2), the included angle of the central portion of the groove is greater than or equal to the included angle of the ridge portion.

본 발명의 스크라이빙 휠은 침투량을 증가시킬 수 있다.The scribing wheel of the present invention can increase penetration.

도 1은 제 1 실시형태의 스크라이빙 휠에 대해, (a)는 측면도, (b)는 (a)의 1b-1b선의 단면도이다.
도 2는 도 1의 스크라이빙 휠의 칼끝부의 일부를 확대한 도면으로, (a)는 사시도, (b)는 측면도이다.
도 3은 칼끝부의 일부의 평면도이다.
도 4는 칼끝부의 홈의 단부의 단면도이다.
도 5는 칼끝부의 홈의 중앙부의 단면도이다.
도 6은 칼끝부의 홈에서의 위치와 그 위치에 대응하는 홈의 끼인각과 칼끝부의 능선부에서의 끼인각과 각도 차와의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 7은 스크라이브 하중과 침투량과의 관계를 나타내는 그래프이다.
Fig. 1 shows a scribing wheel of a first embodiment, (a) is a side view, and (b) is a cross-sectional view taken along the line 1b-1b in (a).
Figure 2 is an enlarged view of a portion of the tip of the scribing wheel of Figure 1, where (a) is a perspective view and (b) is a side view.
Figure 3 is a plan view of a portion of the tip of the knife.
Figure 4 is a cross-sectional view of the end of the groove at the tip of the knife.
Figure 5 is a cross-sectional view of the central portion of the groove at the tip of the knife.
Figure 6 is a graph showing the relationship between the position of the blade tip in the groove, the included angle of the groove corresponding to that position, and the angle difference between the included angle and the angle difference in the ridge portion of the blade tip.
Figure 7 is a graph showing the relationship between scribe load and penetration amount.

도 1~도 7을 참조하여 본 실시형태의 스크라이빙 휠(1)에 대해 설명한다. 스크라이빙 휠(1)은 예를 들어 유리 기판 또는 세라믹스 기판 등의 취성재료로 형성된 기판인 취성재료 기판을 분단하기 위해 사용된다. 스크라이빙 휠(1)은 취성재료 기판의 표면을 소정의 하중으로 누르면서 전동(轉動)함으로써 취성재료 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성한다.The scribing wheel 1 of this embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 7. The scribing wheel 1 is used to divide a brittle material substrate, which is a substrate made of a brittle material such as, for example, a glass substrate or a ceramic substrate. The scribing wheel 1 forms a scribe line on the surface of a brittle material substrate by rolling while pressing the surface of the brittle material substrate with a predetermined load.

스크라이빙 휠(1)은 소결 다이아몬드(Poly Crystalline Diamond), 초경합금, 단결정 다이아몬드, 다결정 다이아몬드 등으로 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(1)은 초경합금 등의 기재(基材)에 다이아몬드 등의 경질재료의 막을 코팅한 것을 사용할 수도 있다.The scribing wheel 1 is made of sintered diamond (poly crystalline diamond), cemented carbide, single crystal diamond, polycrystalline diamond, etc. The scribing wheel 1 may be made by coating a base material such as cemented carbide with a film of hard material such as diamond.

도 1(a)에 나타내는 것과 같이, 스크라이빙 휠(1)은 원판형상의 본체부(10)와 단면 V자 형상의 칼끝부(20)를 갖는다. 칼끝부(20)는 스크라이빙 휠(1)의 외주부에 형성되어 있다. 본체부(10)는 스크라이빙 휠(1)에 있어서 칼끝부(20)보다 지름방향 내측의 부분이다. 본체부(10)와 칼끝부(20)는 일체로 형성되어 있다. 또한, 단면 V자 형상이란 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(이하, 「두께방향(DT)」)에 따른 평면에서 스크라이빙 휠(1)을 절단한 단면에서 스크라이빙 휠(1)의 외주 가장자리를 향해서 선단부가 가늘어지는 형상이다(도 1(b) 참조). 스크라이빙 휠(1)의 외경은 φ 1㎜ 이상, φ 20㎜ 이하의 범위이다. 본 실시형태의 스크라이빙 휠(1)의 외경은 φ 2㎜이다. 또 스크라이빙 휠(1)의 두께의 일례는 0.64㎜이다.As shown in FIG. 1(a), the scribing wheel 1 has a disk-shaped body portion 10 and a V-shaped cross-sectional tip portion 20. The knife tip portion 20 is formed on the outer periphery of the scribing wheel 1. The main body portion 10 is a portion of the scribing wheel 1 radially inside the blade tip portion 20. The main body 10 and the blade tip 20 are formed as one piece. In addition, the V-shaped cross section means that the scribing wheel 1 is cut in a cross section cut in a plane along the thickness direction (hereinafter referred to as “thickness direction (DT)”) of the scribing wheel 1. ) has a shape where the tip becomes thinner toward the outer edge (see Figure 1(b)). The outer diameter of the scribing wheel (1) is in the range of ϕ 1 mm or more and ϕ 20 mm or less. The outer diameter of the scribing wheel 1 of this embodiment is ϕ 2 mm. Also, an example of the thickness of the scribing wheel 1 is 0.64 mm.

본체부(10)의 중심부에는 본체부(10)를 두께방향(DT)으로 관통하는 삽입구멍(13)이 형성되어 있다. 삽입구멍(13)에는 스크라이빙 휠(1)을 회전 가능하게 지지하는 지지 핀(도시 생략)이 삽입된다. 도 1(b)에 나타내는 것과 같이, 본체부(10)는 삽입구멍(13)의 일단이 형성되는 제 1 측면(11)과 삽입구멍(13)의 타단이 형성되는 제 2 측면(12)을 갖는다.At the center of the main body 10, an insertion hole 13 is formed that penetrates the main body 10 in the thickness direction DT. A support pin (not shown) that rotatably supports the scribing wheel 1 is inserted into the insertion hole 13. As shown in FIG. 1(b), the main body 10 has a first side 11 on which one end of the insertion hole 13 is formed and a second side 12 on which the other end of the insertion hole 13 is formed. have

칼끝부(20)는 단면 V자 형상을 형성하는 2개의 경사면인 제 1 경사면(21) 및 제 2 경사면(22)을 갖는다. 제 1 경사면(21)은 제 1 측면(11)과 칼끝부(20)의 선단을 연결하고, 제 2 경사면(22)은 제 2 측면(12)과 칼끝부(20)의 선단을 연결하고 있다. 바꿔 말하면, 제 1 경사면(21)과 제 2 경사면(22)이 교차하는 선이 칼끝부(20)의 선단에서 능선을 형성하고 있다.The tip portion 20 has a first inclined surface 21 and a second inclined surface 22, which are two inclined surfaces forming a V-shaped cross-section. The first inclined surface 21 connects the first side 11 and the tip of the knife tip 20, and the second inclined surface 22 connects the second side 12 and the tip of the knife tip 20. . In other words, the line where the first inclined surface 21 and the second inclined surface 22 intersect forms a ridge at the tip of the tip portion 20.

도 1(b)에 나타내는 것과 같이, 두께방향(DT)에 있어서 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(DT)의 중심위치와 칼끝부(20)의 선단 위치가 서로 동일하다. 스크라이빙 휠(1)의 단면에서 볼 때에 두께방향(DT)과 직교하는 방향에 따른 선분(CL)과 제 1 경사면(21)이 이루는 제 1 각도(θ1)와 선분(CL)과 제 2 경사면(22)이 이루는 제 2 각도(θ2)는 서로 동일하다.As shown in FIG. 1(b), in the thickness direction DT, the center position of the scribing wheel 1 in the thickness direction DT and the tip position of the cutting edge 20 are the same. When viewed from the cross section of the scribing wheel 1, a first angle θ1 formed by a line segment CL along a direction perpendicular to the thickness direction DT and the first inclined surface 21, a line segment CL, and a second The second angle θ2 formed by the inclined surface 22 is equal to each other.

도 2(a)에 나타내는 것과 같이, 스크라이빙 휠(1)은 칼끝부(20)의 선단부에서 스크라이빙 휠(1)의 원주방향(이하, 「원주방향(DC)」)을 따라서 서로 간격을 두고 형성된 다수의 홈(24)을 구비한다. 홈(24)의 개수는 임의로 설정 가능하다. 본 실시형태의 홈(24)의 수는 150이다. 원주방향(DC)에 서로 이웃하는 홈(24)의 사이에는 제 1 경사면(21)과 제 2 경사면(22) 및 그 교차 선인 능선부(23)가 형성되어 있다. 능선부(23)의 외주 가장자리와 홈(24)의 외주 가장자리가 칼끝(25)을 형성한다. 칼끝부(20)는 능선부(23)와 홈(24)이 교호로 서로 동일한 피치로 형성되어 있다. 능선부(23)에서의 제 1 경사면(21)과 제 2 경사면(22)이 이루는 각인 끼인각(θr)은 90° 이상, 160° 이하의 범위, 바람직하게는 100° 이상, 150° 이하인 것이 바람직하다. 끼인각(θr)이 90° 이상이면 취성재료 기판에 표면 박리나 앞지르기가 발생하기 어렵게 되고, 160° 이하이면 걸림 불량이 발생하기 어려워진다. 본 실시형태의 끼인각(θr)은 120° 이다(도 4 참조).As shown in FIG. 2(a), the scribing wheels 1 are aligned with each other along the circumferential direction (hereinafter, “circumferential direction (DC)”) of the scribing wheel 1 at the tip of the blade tip 20. It is provided with a plurality of grooves 24 formed at intervals. The number of grooves 24 can be set arbitrarily. The number of grooves 24 in this embodiment is 150. A first inclined surface 21, a second inclined surface 22, and a ridge portion 23 which is an intersection line thereof are formed between grooves 24 adjacent to each other in the circumferential direction DC. The outer peripheral edge of the ridge portion 23 and the outer peripheral edge of the groove 24 form the tip 25. The tip portion 20 has ridge portions 23 and grooves 24 alternately formed at the same pitch. The included angle θr, which is the angle formed by the first inclined surface 21 and the second inclined surface 22 in the ridge portion 23, is preferably in the range of 90° or more and 160° or less, and preferably 100° or more and 150° or less. do. If the included angle (θr) is 90° or more, it becomes difficult for surface peeling or peeling to occur in the brittle material substrate, and if it is 160° or less, it becomes difficult for jamming defects to occur. The included angle θr of this embodiment is 120° (see Fig. 4).

도 2(b)에 나타내는 것과 같이, 홈(24)은 칼끝부(20)의 외주부에서 만곡형상으로 오목한 형상을 갖는다. 또, 홈(24)은 제 1 경사면(21)에 대응하는 제 1 홈 경사면(21A)과 제 2 경사면(22)에 대응하는 제 2 홈 경사면(22A)을 가지며, 제 1 홈 경사면(21A)과 제 2 홈 경사면(22A)이 교차하는 외주 가장자리에 능선부(23)로부터 연속하는 칼끝(25)을 포함한다. 홈(24)은 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 단부로부터 홈(24)의 중앙부로 향해서 깊어지는 부분을 갖는다. 본 실시형태의 홈(24)은 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 단부로부터 홈(24)의 중앙부로 향해서 깊어진다. 홈(24)의 깊이(H)는 스크라이빙 휠(1)의 지름방향에서의 능선부(23)와 홈(24)의 가장 깊은 부분(最深部)과의 사이의 거리로 규정된다. 능선부(23)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 양단 가장자리 사이의 거리로서 규정된다. 능선부(23)에서의 홈(24)의 깊이(H)는 취성재료 기판을 스크라이브 하는 경우에 취성재료 기판의 재질 및 두께, 나아가 스크라이빙 휠(1)을 취성재료 기판에 누르는 하중(이하, 「스크라이브 하중」) 및 스크라이브에 의해 형성되는 스크라이브 라인 및 분단 후의 취성재료 기판의 품질 등을 고려하여 선택되며, 예를 들어 0.5㎛ 이상, 6.0㎛ 이하이다. 본 실시형태의 칼끝부(20)에서의 홈(24)의 깊이는 5.5㎛이다. 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 2.0㎛ 이상, 35㎛ 이하이다. 취성재료 기판의 판 두께가 0.7㎜ 이하인 경우, 칼끝(25)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 2.0㎛ 이상, 15㎛ 이하인 것이 바람직하고, 취성재료 기판의 판 두께가 1.1㎜ 정도인 경우, 능선부(23)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 10㎛ 이상, 30㎛ 이하인 것이 바람직하다. 본 실시형태의 칼끝(25)에서의 홈(24)의 폭(WD)은 24㎛이다.As shown in FIG. 2(b), the groove 24 has a curved and concave shape at the outer periphery of the tip portion 20. In addition, the groove 24 has a first groove inclined surface 21A corresponding to the first inclined surface 21 and a second groove inclined surface 22A corresponding to the second inclined surface 22, and the first groove inclined surface 21A and a blade tip 25 continuous from the ridge portion 23 at the outer peripheral edge where the second groove inclined surface 22A intersects. The groove 24 has a portion that deepens from the end of the groove 24 in the circumferential direction (DC) toward the center of the groove 24. The groove 24 of this embodiment deepens from the end of the groove 24 in the circumferential direction (DC) toward the center of the groove 24. The depth H of the groove 24 is defined as the distance between the ridge portion 23 in the radial direction of the scribing wheel 1 and the deepest part of the groove 24. The width WD of the groove 24 in the ridge portion 23 is defined as the distance between both ends of the groove 24 in the circumferential direction DC. The depth (H) of the groove 24 in the ridge portion 23 is determined by the material and thickness of the brittle material substrate when scribing the brittle material substrate, and further by the load pressing the scribing wheel 1 against the brittle material substrate (hereinafter , “scribe load”), the scribe line formed by the scribe, and the quality of the brittle material substrate after division, etc., for example, 0.5 ㎛ or more and 6.0 ㎛ or less. The depth of the groove 24 in the tip portion 20 of this embodiment is 5.5 μm. The width (WD) of the groove 24 in the circumferential direction (DC) is 2.0 μm or more and 35 μm or less. When the thickness of the brittle material substrate is 0.7 mm or less, the width (WD) of the groove 24 at the tip 25 is preferably 2.0 μm or more and 15 μm or less, and the thickness of the brittle material substrate is about 1.1 mm. In this case, the width WD of the groove 24 in the ridge portion 23 is preferably 10 μm or more and 30 μm or less. The width (WD) of the groove 24 at the tip 25 of this embodiment is 24 μm.

이와 같은 홈(24)은 스크라이빙 휠(1)의 삽입구멍(13)이 도시하지 않는 모터의 회전축에 장착된 상태에서 레이저 조사장치로부터 레이저광이 조사됨으로써 형성된다. 레이저광의 조사방향은 스크라이빙 휠(1)의 지름방향이다. 레이저광은 스크라이빙 휠(1)의 능선부(23)보다도 레이저 조사장치 측에서 초점이 형성된다. 레이저 조사장치에서 레이저광을 조사하는 조사부는 두께방향(DT)에 있어서 스크라이빙 휠(1)에 대해서 이동 가능하다. 한편, 조사부는 스크라이빙 휠(1)의 지름방향에서 칼끝부(20)와의 사이의 거리는 변경하지 않는다. 따라서 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(DT)의 중심위치에서 조사부와 칼끝부(20) 사이의 거리가 최소가 되며, 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(DT)의 중심위치로부터 두께방향(DT)으로 멀어짐에 따라서 조사부와 칼끝부(20) 사이의 거리가 길어지게 된다.Such grooves 24 are formed by irradiating laser light from a laser irradiation device while the insertion hole 13 of the scribing wheel 1 is mounted on the rotation axis of a motor (not shown). The irradiation direction of the laser light is the radial direction of the scribing wheel (1). The laser light is focused on the laser irradiation device side rather than the ridge portion 23 of the scribing wheel 1. The irradiation part that irradiates laser light in the laser irradiation device is movable with respect to the scribing wheel 1 in the thickness direction (DT). Meanwhile, the distance between the irradiation part and the blade tip 20 in the radial direction of the scribing wheel 1 does not change. Therefore, the distance between the irradiated part and the knife tip 20 is minimized at the center position in the thickness direction (DT) of the scribing wheel (1), and from the center position in the thickness direction (DT) of the scribing wheel (1) As it moves away in the thickness direction (DT), the distance between the irradiation part and the tip of the knife (20) becomes longer.

이와 같이 홈(24)이 형성되는 경우, 스크라이빙 휠(1)의 능선부(23)에 레이저광이 조사되는 면적이 최소가 되어서, 두께방향(DT)에 있어서 칼끝부(20)의 선단 위치로부터 멀어짐에 따라서 레이저 광이 조사되는 면적이 증가한다. 따라서, 도 3에 나타내는 것과 같이, 홈(24)의 폭(WD)은 칼끝부(20)의 선단 위치, 즉, 칼끝(25)에서의 홈(24)에서 최소가 되며, 두께방향(DT)에 있어서 칼끝(25)으로부터 멀어짐에 따라서 커지게 된다.When the groove 24 is formed in this way, the area to which the laser light is irradiated to the ridge portion 23 of the scribing wheel 1 is minimized, so that the tip of the knife tip portion 20 in the thickness direction DT As the distance from the location increases, the area to which the laser light is irradiated increases. Therefore, as shown in FIG. 3, the width WD of the groove 24 becomes the minimum at the tip position of the blade tip 20, that is, the groove 24 at the blade tip 25, and the width WD of the groove 24 is minimized in the thickness direction DT. It becomes larger as it moves away from the tip of the knife (25).

도 4 및 도 5에 나타내는 것과 같이, 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 단부(이하, 간단하게 「홈(24)의 단부」라고 한다)의 형상과 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 중앙부(이하, 간단하게 「홈(24)의 중앙부」라 한다)의 형상은 서로 다르다.4 and 5, the shape of the end of the groove 24 in the circumferential direction (DC) (hereinafter simply referred to as the “end of the groove 24”) and the shape of the groove in the circumferential direction (DC) The shape of the central portion of 24 (hereinafter simply referred to as the “central portion of groove 24”) is different.

도 4에 나타내는 것과 같이, 홈(24)의 단부의 끼인각인 제 1 홈 끼인각(θg1)은 끼인각(θr)보다 작다. 제 1 홈 끼인각(θg1)은 끼인각(θr)보다 2~10° 정도 작아지는 것이 바람직하다. 한편, 도 5에 나타내는 것과 같이, 홈(24)의 중앙부의 끼인각인 제 2 홈 끼인각(θg2)은 끼인각(θr)보다 크다. 즉, 제 1 홈 끼인각(θg1)은 제 2 홈 끼인각(θg2)보다 작다.As shown in FIG. 4, the first groove included angle θg1, which is the included angle of the end of the groove 24, is smaller than the included angle θr. The first groove included angle θg1 is preferably approximately 2 to 10° smaller than the included angle θr. On the other hand, as shown in FIG. 5, the second groove included angle θg2, which is the included angle of the central portion of the groove 24, is larger than the included angle θr. That is, the first groove included angle θg1 is smaller than the second groove included angle θg2.

여기서, 홈(24)의 단부는 원주방향(DC)에 있어서 능선부(23)와 서로 이웃하는 부분이다. 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 한쪽의 단부는 능선부(23)에서의 홈(24)의 홈 시작점(도 3의 선분 C의 위치)에서 홈 시작점으로부터 홈(24)의 안쪽으로 소정 거리에 걸쳐서 떨어진 위치(도 3의 선분 E의 위치)까지의 부분으로 규정된다. 또한, 원주방향(DC)에서의 홈(24)의 다른 쪽의 단부에 대해서도 동일하게 규정된다. 이와 같이 제 1 홈 끼인각(θg1)은 홈(24)에서의 선분 C의 위치로부터 선분 E의 위치까지의 부분에서의 끼인각으로 규정된다. 본 실시형태에서는 원주방향(DC)에서의 선분 C와 선분 E의 사이의 거리는 5.0㎛이다. 제 1 홈 끼인각(θg1)이 규정되는 홈(24)의 단부로부터의 거리는 홈(24)의 폭(WD)에 대해 한쪽 편에서 10~30% 정도로 하는 것이 바람직하다. 홈 끼인각(θg)은 제 1 경사면(21)에서의 홈(24)에 대응하는 부분인 제 1 홈 경사면(21A)과 제 2 경사면(22)에서의 홈(24)에 대응하는 부분인 제 2 홈 경사면(22A)이 이루는 각에 의해 규정된다. 제 1 홈 끼인각(θg1)은 홈(24)의 단부에서의 제 1 홈 경사면(21A)과 홈(24)의 단부에서의 제 2홈 경사면(22A)이 이루는 각에 의해 규정된다. 제 2 홈 끼인각(θg2)은 홈(24)의 중앙부에서의 제 1 홈 경사면(21A)과 홈(24)의 중앙부에서의 제 2 홈 경사면(22A)이 이루는 각에 의해 규정된다.Here, the end portion of the groove 24 is adjacent to the ridge portion 23 in the circumferential direction (DC). One end of the groove 24 in the circumferential direction (DC) extends from the groove starting point of the groove 24 in the ridge portion 23 (position of line segment C in FIG. 3) to the inside of the groove 24. It is defined as the portion up to a position (position of line segment E in FIG. 3) over a predetermined distance. Additionally, the same provisions apply to the other end of the groove 24 in the circumferential direction (DC). In this way, the first groove included angle θg1 is defined as the included angle in the portion from the position of the line segment C to the position of the line segment E in the groove 24. In this embodiment, the distance between line segment C and line segment E in the circumferential direction (DC) is 5.0 μm. The distance from the end of the groove 24 where the first groove included angle θg1 is defined is preferably about 10 to 30% on one side of the width WD of the groove 24. The groove included angle θg is the first groove inclined surface 21A, which is a portion corresponding to the groove 24 in the first inclined surface 21, and the second groove 21A, which is a portion corresponding to the groove 24 in the second inclined surface 22. It is defined by the angle formed by the groove inclined surface 22A. The first groove included angle θg1 is defined by the angle formed by the first groove inclined surface 21A at the end of the groove 24 and the second groove inclined surface 22A at the end of the groove 24. The second groove included angle θg2 is defined by the angle formed by the first groove inclined surface 21A at the center of the groove 24 and the second groove inclined surface 22A at the center of the groove 24.

또한, 제 1 홈 끼인각(θg1) 및 제 2 홈 끼인각(θg2)은 임의로 변경 가능하다. 일례에서는 제 2 홈 끼인각(θg2)은 끼인각(θr)과 동일하거나, 또는 끼인각(θr)보다 작아도 좋다.Additionally, the first groove included angle θg1 and the second groove included angle θg2 can be arbitrarily changed. In one example, the second groove included angle θg2 may be equal to the included angle θr or may be smaller than the included angle θr.

(실시 예)(Example)

스크라이빙 휠(1)의 성능을 평가하기 위해 스크라이브 하중과 침투량과의 관계에 대해 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠과 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠을 사용하여 확인했다. 또한, 침투량은 취성재료 기판의 두께에 대한 수직 크랙의 깊이의 비를 백분율(%)로 나타내는 것이다.In order to evaluate the performance of the scribing wheel 1, the scribing wheel of Example 1 and Example 2 and the scribing wheel of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 were used to evaluate the relationship between scribing load and penetration amount. Confirmed. Additionally, the penetration amount represents the ratio of the depth of the vertical crack to the thickness of the brittle material substrate in percentage (%).

실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 각각에 대해 홈(24)의 개시위치를 기준으로 하여 2.5㎛마다 측정위치에서의 끼인각도 차(θd)를 측정했다. 구체적으로는, 도 3의 선분 A ~ 선분 H에 대응하는 위치를 측정위치로 하고 있다. 선분 A는 홈(24)의 개시위치로부터 능선부(23) 측으로 5㎛ 떨어진 위치이고 선분 B는 홈(24)의 개시 위치로부터 칼끝(25) 측으로 2.5㎛ 떨어진 위치이다. 선분 A 및 선분 B는 모두 능선부(23)를 통과하는 선분이다. 선분 C는 홈(24)의 개시위치이고, 선분 D는 홈(24)의 개시위치로부터 홈(24) 측으로 2.5㎛ 떨어진 위치이며, 선분 E는 홈(24)의 개시 위치로부터 홈(24) 측으로 5.0㎛ 떨어진 위치이고, 선분 F는 홈(24)의 개시 위치로부터 홈(24) 측으로 7.5㎛ 떨어진 위치이며, 선분 G는 홈(24)의 개시위치로부터 홈(24) 측으로 10.0㎛ 떨어진 위치이고, 선분 H는 홈(24)의 개시위치로부터 홈(24) 측으로 12.5㎛ 떨어진 위치이다. 선분 C ~ 선분 H는 모두 홈(24)의 외주 가장자리를 통과하는 선분이다. 도 6은 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠에서의 측정위치인 선분 A와, 선분 B ~ 선분 H에서의 끼인각도 차(θd)의 관계를 나타내는 그래프이다.For each of the scribing wheels of Example 1, Example 2, Comparative Example 1, and Comparative Example 2, the included angle difference (θd) at the measurement position was measured every 2.5㎛ based on the starting position of the groove 24. did. Specifically, the position corresponding to line segment A to line segment H in FIG. 3 is set as the measurement position. Line segment A is a position 5 μm away from the starting position of the groove 24 toward the ridge portion 23, and line segment B is a position 2.5 μm away from the starting position of the groove 24 toward the tip 25. Line segment A and line segment B are both line segments that pass through the ridge portion 23. Line segment C is the starting position of the groove 24, line segment D is a position 2.5㎛ away from the starting position of the groove 24 toward the groove 24, and line segment E is from the starting position of the groove 24 toward the groove 24. The line segment F is 7.5 ㎛ away from the starting position of the groove 24, and the line segment G is 10.0 ㎛ away from the starting position of the groove 24, Line segment H is a position 12.5 μm away from the starting position of the groove 24 toward the groove 24. Line segments C to H are all line segments that pass through the outer edge of the groove 24. Figure 6 is a graph showing the relationship between line segment A, which is the measurement position in the scribing wheel of Example 1, Example 2, Comparative Example 1, and Comparative Example 2, and the included angle difference (θd) between line segments B to line segments H. am.

또, 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠은 각각 외경(φ) 2㎜, 끼인각(θr)이 120°, 홈의 수가 150개, 홈의 깊이(H)가 5.5㎛의 것을 사용했다. 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 구체적인 홈 형상에 대해서 도 6을 사용하여 설명한다.In addition, the scribing wheels of Example 1, Example 2, Comparative Example 1, and Comparative Example 2 each had an outer diameter (ϕ) of 2 mm, an included angle (θr) of 120°, a number of grooves of 150, and a groove depth (H ) of 5.5㎛ was used. The specific groove shapes of the scribing wheels of Example 1, Example 2, Comparative Example 1, and Comparative Example 2 will be described using FIG. 6.

도 6은 선분 A의 위치의 끼인각(θr)을 기준으로 하여, 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠에서의 각 측정 개소의 끼인각도 차(θd)를 나타내는 그래프이다. 선분 C ~ 선분 E의 위치에서는 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 마이너스 값이 되는 반면, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 플러스 값이 된다. 상술하면, 선분 C의 위치에서 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 3° 작고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 2.5° 작다. 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.2° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.1° 크다. 선분 D의 위치에서 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 5.5° 작고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 4.5° 작다. 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠에서는 선분 D의 위치에서 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)에 대해 가장 작아진다. 또, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 1° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.8° 크다. 선분 E의 위치에서 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.5° 작고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 1° 작다. 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 3° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 3.5° 크다.Figure 6 shows the included angle difference (θd) of each measurement point in the scribing wheel of Example 1, Example 2, Comparative Example 1, and Comparative Example 2, based on the included angle (θr) of the position of line segment A. This is a graph that represents At the position of line segment C to line segment E, the included angle difference (θd) of the scribing wheels of Examples 1 and 2 becomes a negative value, while the included angle difference of the scribing wheels of Comparative Examples 1 and 2 (θd) becomes a positive value. In detail, at the position of the line segment C, the groove included angle θg of the scribing wheel in Example 1 is about 3° smaller than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel in Example 2 is the included angle ( It is about 2.5° smaller than θr). The groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 0.2° larger than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 0.1° larger than the included angle θr. At the position of line segment D, the groove included angle θg of the scribing wheel of Example 1 is about 5.5° smaller than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Example 2 is less than the included angle θr. It is about 4.5° smaller. In the scribing wheels of Examples 1 and 2, the groove included angle θg becomes smallest with respect to the included angle θr at the position of line segment D. In addition, the groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 1° larger than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 0.8° larger than the included angle θr. big. At the position of line segment E, the groove included angle θg of the scribing wheel of Example 1 is about 0.5° smaller than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Example 2 is less than the included angle θr. It is about 1° smaller. The groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 3° larger than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 3.5° larger than the included angle θr.

선분 F의 위치에서는 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 마이너스 값이 되는 반면, 실시 예 1, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 플러스 값이 된다. 상술하면, 선분 F의 위치에서 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.1° 크고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 1° 작다. 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 8° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 7.5° 크다.At the position of the line segment F, the included angle difference (θd) of the scribing wheel of Example 2 becomes a negative value, while the included angle difference (θd) of the scribing wheels of Example 1, Comparative Example 1, and Comparative Example 2 becomes a positive value. In detail, at the position of the line segment F, the groove included angle θg of the scribing wheel in Example 1 is about 0.1° larger than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel in Example 2 is the included angle ( It is about 1° smaller than θr). The groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 8° larger than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 7.5° larger than the included angle θr.

선분 G의 위치에서는 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 마이너스 값이 되는 반면, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 플러스 값이 된다. 또 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 0°가 된다. 상술하면, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 0.2° 작다. 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 8° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 10° 크다.At the position of the line segment G, the included angle difference (θd) of the scribing wheel of Example 2 is a negative value, while the included angle difference (θd) of the scribing wheels of Comparative Examples 1 and 2 is a positive value. do. Also, the included angle difference (θd) of the scribing wheel of Example 1 is 0°. In detail, the groove included angle θg of the scribing wheel of Example 2 is about 0.2° smaller than the included angle θr. The groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 8° larger than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 10° larger than the included angle θr.

선분 H의 위치에서는 실시 예 1, 실시 예 2, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 끼인각도 차(θd)가 플러스 값이 된다. 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 2° 크고, 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 1° 크고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 9° 크고, 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 약 8° 크다.At the position of the line segment H, the included angle difference θd of the scribing wheels of Example 1, Example 2, Comparative Example 1, and Comparative Example 2 becomes a positive value. The groove included angle θg of the scribing wheel of Example 1 is about 2° larger than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Example 2 is about 1° larger than the included angle θr, The groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 9° larger than the included angle θr, and the groove included angle θg of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 8° larger than the included angle θr.

또, 홈(24)에서의 끼인각인 홈 끼인각(θg)에는 예를 들어 레이저 현미경을 사용해서 다음과 같이 연산할 수 있다. 즉 레이저 현미경은 스크라이빙 휠(1)의 지름방향에 레이저를 조사하여 레이저 현미경과 스크라이빙 휠(1) 사이의 거리를 계측함으로써 칼끝부(20)를 따른 방향과 직교하는 방향의 홈(24)의 프로파일을 취득한다. 그리고 취득된 홈(24)의 제 1 홈 경사면(21A) 및 제 2 홈 경사면(22A)의 각각의 프로파일로부터 홈 끼인각(θg)을 연산할 수 있다. 본 실시 예에서는 레이저 현미경으로 KEYENCE사의 VK-X100을 사용했다.Additionally, the groove included angle θg, which is the included angle in the groove 24, can be calculated as follows using, for example, a laser microscope. That is, the laser microscope measures the distance between the laser microscope and the scribing wheel (1) by irradiating a laser in the radial direction of the scribing wheel (1), thereby forming a groove ( 24) Acquire the profile. And the groove included angle θg can be calculated from the respective profiles of the first groove inclined surface 21A and the second groove inclined surface 22A of the acquired groove 24. In this example, KEYENCE's VK-X100 was used as a laser microscope.

스크라이브 하중과 침투량과의 관계에서는 스크라이브 하중을 0.09MPa, 0.10MPa, 0.11MPa, 0.13MPa, 0.15MPa, 0.17MPa, 0.19MPa, 0.21MPa 및 0.23MPa로 변화시킨 때의 침투량을 측정했다.In the relationship between scribe load and penetration amount, the penetration amount was measured when the scribe load was changed to 0.09 MPa, 0.10 MPa, 0.11 MPa, 0.13 MPa, 0.15 MPa, 0.17 MPa, 0.19 MPa, 0.21 MPa, and 0.23 MPa.

도 7에 나타내는 것과 같이, 스크라이브 하중이 0.09MPa의 경우, 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 75%이고 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 76%이며, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 64%이고 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 66%이다. 스크라이브 하중이 0.10MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 각각 약 78%이고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 60%이며 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 74%이다. 스크라이브 하중이 0.11MPa의 경우, 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 82%이고 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 81%이며, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 77%이고 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 74%이다. 스크라이브 하중이 0.13MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 84%이고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 79%이며 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 77%이다. 스크라이브 하중이 0.15MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 86%이고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 81%이며 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 83%이다. 스크라이브 하중이 0.17MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 87%이고, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 85%이다. 스크라이브 하중이 0.19MPa의 경우, 실시 예 1, 실시 예 2 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 90%이고, 비교 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 86%이다. 스크라이브 하중이 0.21MPa의 경우, 실시 예 1의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 92%이고 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 93%이며, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 90%이다. 스크라이브 하중이 0.23MPa의 경우, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 95%이고, 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠의 침투량은 약 93%이다.As shown in Figure 7, when the scribing load is 0.09 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 is about 75%, the penetration amount of the scribing wheel of Example 2 is about 76%, and the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 is about 76%. The penetration amount of the scribing wheel is about 64%, and the penetration amount of the scribing wheel in Comparative Example 2 is about 66%. When the scribing load is 0.10 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 and Example 2 is about 78%, the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 60%, and the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 60%. The penetration of the Bing wheel is about 74%. When the scribing load is 0.11 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 is about 82%, the penetration amount of the scribing wheel of Example 2 is about 81%, and the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 is It is about 77%, and the penetration amount of the scribing wheel in Comparative Example 2 is about 74%. When the scribing load is 0.13 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Examples 1 and 2 is about 84%, the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 79%, and the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 79%. The penetration of the wheel is approximately 77%. When the scribing load is 0.15 MPa, the penetration amount of the scribing wheels of Examples 1 and 2 is about 86%, the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 81%, and the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 2 is about 81%. The penetration of the wheel is approximately 83%. When the scribing load is 0.17 MPa, the penetration amount of the scribing wheels of Examples 1 and 2 is about 87%, and the penetration amount of the scribing wheels of Comparative Examples 1 and 2 is about 85%. When the scribing load is 0.19 MPa, the penetration amount of the scribing wheels of Examples 1, 2, and Comparative Examples 2 is about 90%, and the penetration amount of the scribing wheel of Comparative Example 1 is about 86%. When the scribing load is 0.21 MPa, the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 is about 92% and the penetration amount of the scribing wheel of Example 2 is about 93%, and the penetration amount of the scribing wheel of Example 1 and Comparative Example 2 is about 93%. The penetration of the wheel is approximately 90%. When the scribing load is 0.23 MPa, the penetration amount of the scribing wheels of Examples 1 and 2 is about 95%, and the penetration amount of the scribing wheels of Comparative Examples 1 and 2 is about 93%.

도 7에 나타내는 것과 같이, 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠은 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠보다 침투량이 5~10% 커지는 것이 확인되었다. 특히, 낮은 스크라이브 하중의 범위에서 실시 예 1 및 실시 예 2의 스크라이빙 휠에 의한 침투량이 비교 예 1 및 비교 예 2의 스크라이빙 휠에 의한 침투량보다 현저하게 커지는 것이 확인되었다.As shown in Figure 7, it was confirmed that the penetration amount of the scribing wheels of Examples 1 and 2 was 5 to 10% greater than that of the scribing wheels of Comparative Examples 1 and 2. In particular, it was confirmed that in the range of low scribing load, the amount of penetration by the scribing wheels of Examples 1 and 2 was significantly larger than that of the scribing wheels of Comparative Examples 1 and 2.

본 실시형태에 의하면 이하의 효과를 얻을 수 있다. According to this embodiment, the following effects can be obtained.

(1) 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr)보다 작음에 따라 취성재료 기판의 침투량이 증가한다. 이에 의해 취성재료 기판을 용이하게 분단할 수 있다. 또, 원하는 수직 크랙의 깊이를 얻기 위한 스크라이브 하중을 작게 할 수 있으므로 스크라이브 하중이 커짐에 따른 앞지르기 등의 취성재료 기판의 스크라이브 시의 불량 발생을 억제할 수 있다.(1) As the groove included angle θg is smaller than the included angle θr, the penetration amount of the brittle material substrate increases. As a result, the brittle material substrate can be easily divided. In addition, since the scribing load for obtaining the desired vertical crack depth can be reduced, the occurrence of defects when scribing brittle material substrates, such as overtaking due to an increase in the scribing load, can be suppressed.

(2) 홈(24)의 단부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우가 홈(24)의 중앙부가 취성재료 기판에 접촉하는 경우보다 수직 크랙을 형성하기 쉽다. 또, 홈 끼인각(θg)이 작은 경우가 홈 끼인각(θg)이 큰 경우에 비해 수직 크랙을 확대시키는 응력이 발생하기 쉽다. 그래서 본 실시형태에서는 제 1 홈 끼인각(θg1)을 제 2 홈 끼인각(θg2)보다 작게 한다. 이에 의해, 수직 크랙을 확대시키는 응력을 효과적으로 크게 할 수 있으므로 침투량을 더 증가시킬 수 있다.(2) When the end of the groove 24 contacts the brittle material substrate, vertical cracks are more likely to be formed than when the central portion of the groove 24 contacts the brittle material substrate. Additionally, when the groove included angle θg is small, stress that expands vertical cracks is more likely to occur compared to when the groove included angle θg is large. Therefore, in this embodiment, the first groove included angle θg1 is made smaller than the second groove included angle θg2. As a result, the stress that expands the vertical crack can be effectively increased, and thus the amount of penetration can be further increased.

(변형 예) (variation example)

상기 실시형태에 관한 설명은 본 발명에 따른 스크라이빙 휠이 취할 수 있는 형태의 예시이며, 그 형태를 제한하는 것을 의도하지 않는다. 본 발명에 따른 스크라이빙 휠은 예를 들어 이하에 제시하는 상기 실시형태의 변형 예 및 서로 모순되지 않는 적어도 2개의 변형 예가 조합된 형태를 취할 수 있다. 이하의 변형 예에서 상기 실시형태에서의 형태와 공통되는 부분에 대해서는 상기 실시형태와 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.The description of the above embodiments is illustrative of the form that the scribing wheel according to the present invention can take, and is not intended to limit the form. The scribing wheel according to the present invention may, for example, take the form of a combination of a modification of the above embodiment shown below and at least two modifications that do not contradict each other. In the following modified examples, parts that are common to the form in the above embodiment are given the same reference numerals as those in the above embodiment and their description is omitted.

· 스크라이빙 휠(1)의 홈(24)의 단부로부터 홈(24)의 중앙부로 향함에 따라서 홈 끼인각(θg)이 서서히 작아지도록 홈(24)이 설치되어도 좋다. 이 구성에 의해서도 상기 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.· The groove 24 may be provided so that the groove included angle θg gradually decreases as it moves from the end of the groove 24 of the scribing wheel 1 to the center of the groove 24. Even with this configuration, the effects of the above embodiment can be obtained.

· 홈(24)의 단부에서, 시작점(도 3의 선분 C의 위치)으로부터 도 3의 선분 E의 위치로 향함에 따라서 홈 끼인각(θg)이 서서히 작아지도록 홈(24)이 설치되어도 좋다. 이 구성에 의해서도 상기 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.· At the end of the groove 24, the groove 24 may be provided so that the groove included angle θg gradually decreases as it moves from the starting point (the position of the line segment C in FIG. 3) to the position of the line segment E in FIG. 3. Even with this configuration, the effects of the above embodiment can be obtained.

· 홈(24)의 단부 이외의 홈(24)의 홈 끼인각(θg)이 끼인각(θr) 이상이라도 좋다. 즉, 홈(24)의 단부의 제 1 홈 끼인각(θg1)만이 끼인각(θr)보다도 작아지도록 형성되어도 좋다. 이 구성에 의해서도 상기 실시형태의 효과를 얻을 수 있다.· The groove included angle θg of the groove 24 other than the end of the groove 24 may be equal to or greater than the included angle θr. That is, only the first groove included angle θg1 at the end of the groove 24 may be formed to be smaller than the included angle θr. Even with this configuration, the effects of the above embodiment can be obtained.

· 홈(24)의 깊이방향의 형상은 임의로 변경 가능하다. 일례에서는 홈(24)은 그 바닥부분이 평탄부를 포함하는 형상이라도 좋다. · The shape of the groove 24 in the depth direction can be arbitrarily changed. In one example, the groove 24 may have a shape whose bottom includes a flat portion.

· 칼끝부(20)의 형상은 임의로 변경 가능하다. 일례에서는 두께방향(DT)에서 능선부(23)의 위치와 스크라이빙 휠(1)의 두께방향(DT)의 중심위치가 서로 달라도 좋다.· The shape of the tip of the knife (20) can be arbitrarily changed. In one example, the position of the ridge portion 23 in the thickness direction DT may be different from the position of the center of the scribing wheel 1 in the thickness direction DT.

1 스크라이빙 휠
10 본체부
20 칼끝부
21 제 1 경사면
22 제 2 경사면
23 능선부
24 홈
θr 끼인각
θg 홈 끼인각
θg1 제 1 홈 끼인각
θg2 제 2 홈 끼인각
DC 원주방향
1 Scribing wheel
10 Main body
20 Blade tip
21 1st slope
22 Second slope
23 Ridge
24 home
θr included angle
θg groove included angle
θg1 1st groove included angle
θg2 2nd groove included angle
DC circumferential direction

Claims (5)

외주부에 형성된 칼끝부를 갖는 스크라이빙 휠로,
상기 칼끝부는 원주방향으로 간격을 두고 형성된 복수의 홈과 상기 원주방향에서 서로 이웃하는 상기 홈의 사이에 형성된 능선부를 포함하며,
상기 홈은 상기 능선부보다도 끼인각이 작은 부분을 포함하고,
상기 홈은 상기 원주방향에서의 상기 홈의 단부로부터 상기 홈의 중앙부로 향해서 깊이가 깊어지는 부분을 포함하며,
상기 홈의 단부는 상기 홈의 시작점으로부터 상기 원주방향에서의 상기 홈의 폭에 대해 한쪽 편에서 10%~30%의 범위이고,
상기 홈의 단부의 끼인각은 상기 능선부의 끼인각보다 작고 또한 상기 홈의 중앙부의 끼인각보다 작은 스크라이빙 휠.
A scribing wheel having a blade tip formed on the outer periphery,
The tip portion includes a plurality of grooves formed at intervals in the circumferential direction and a ridge portion formed between the grooves adjacent to each other in the circumferential direction,
The groove includes a portion with a smaller included angle than the ridge portion,
The groove includes a portion whose depth increases from an end of the groove in the circumferential direction toward the center of the groove,
The end of the groove ranges from 10% to 30% on one side of the width of the groove in the circumferential direction from the starting point of the groove,
A scribing wheel wherein the included angle of the end portion of the groove is smaller than the included angle of the ridge portion and is smaller than the included angle of the central portion of the groove.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 홈의 중앙부의 끼인각은 상기 능선부의 끼인각 이상인 스크라이빙 휠.
According to claim 1,
A scribing wheel wherein the included angle of the central portion of the groove is greater than or equal to the included angle of the ridge portion.
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