KR20220027036A - Scribing wheel for brittle material substrate and method of manufacturing the same - Google Patents

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KR20220027036A
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고이치 나카가와
츠요시 모기
이사오 시오자와
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파인테크 가부시키가이샤
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Abstract

Provided are a scribing wheel for a brittle material substrate capable of reducing or suppressing the generation of micro-cracks in a horizontal direction and, particularly, increasing the cutting performance of a brittle material substrate with a thickness of 0.1 mm or less, and a manufacturing method thereof. The present invention relates to a disk-shaped scribing wheel for forming a scribing line in a brittle material substrate. The scribing wheel (1) alternately comprises first blades (10) and second blades (20) at an outer circumferential part (3) thereof in a circumferential direction. The outer circumferential part (3) comprises: a pair of inclined surfaces (3a) that intersect in a V shape to form the first blade (10); and recessed parts (22) that are recessed from either or both of the pair of inclined surfaces (3a) to form the second blades (20). In the present invention, a difference (S) in a radial direction between the positions of the blade edges (11) of the first blades (10) and the positions of the blade edges (21) of the second blades (20) is below 0.5 μm.

Description

취성 재료 기판용 스크라이빙 휠 및 그 제조 방법{SCRIBING WHEEL FOR BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Scribing wheel for brittle material substrate and manufacturing method thereof

본 발명은, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 유리 기판, 석영 기판, 세라믹스 기판 등 판에 스크라이브 라인을 부여하기 위한 디스크상의 공구인 스크라이빙 휠과, 이러한 스크라이빙 휠을 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing wheel for a brittle material substrate and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a scribing wheel as a disk-shaped tool for imparting scribe lines to a plate such as a glass substrate, a quartz substrate, a ceramic substrate, and such a scribing wheel It relates to a method for manufacturing a cribing wheel.

플랫 패널 디스플레이(FPD)용 마더 유리 기판 등의 취성 재료 기판을 소정 치수의 단위 기판으로 분단하는 방법의 하나로서, 스크라이브 및 브레이크법이 널리 채용되어 있다. 이 방법은, 취성 재료 기판 상에 스크라이빙 휠을 압접 전동시켜서 스크라이브 라인, 즉 절삭 선을 부여하고, 이어서 취성 재료 기판에 외력을 가하여, 스크라이브 라인을 따라 브레이크, 즉 분단하는 것이다. 또한, 스크라이빙 휠의 일례로서, 외주 모서리부의 날끝에 소정 피치로 홈을 마련하여, 날끝을 요철로 가공한 것이 알려져 있으며, 예를 들어 일본 특허 제5022602호 공보(특허문헌 1)에 개시되어 있다.As one of the methods for dividing a brittle material substrate such as a mother glass substrate for a flat panel display (FPD) into a unit substrate having a predetermined size, a scribing and breaking method is widely adopted. In this method, a scribing wheel is press-rolled on a brittle material substrate to give a scribe line, i.e., a cutting line, and then an external force is applied to the brittle material substrate to break, i.e. divide, along the scribe line. In addition, as an example of a scribing wheel, it is known that grooves are provided at a predetermined pitch at the edge of the outer peripheral edge and the edge is processed into irregularities, for example, disclosed in Japanese Patent No. 5022602 (Patent Document 1), there is.

상기한 바와 같은 날끝을 요철 가공한 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판 상에 압접 전동시키면, 기판 표면에, 도 11에 도시하는 바와 같은 스크라이브 라인(SL)이 생긴다. 스크라이브 라인(SL)은, 볼록형의 날(1)에 의한 비교적 굵은 라인 부분(L1')과 오목형의 날(2)에 의한 비교적 가는 라인 부분(L2')이 교대로 연속적으로 형성된다. 이때 또한, 날(1) 및 날(2)은, 스크라이브 라인(SL)으로부터 기판을 수평 방향으로 분할하는 힘(이하, 본 명세서 중, 「수평 개방력」이라고 함)을 기판에 부여한다. 이 수평 개방력은, 도 11의 화살표로 편의적으로 나타내는 바와 같이 날(1)쪽이 날(2)보다도 크다. 이렇게 날(1) 및 날(2)에 의한 강약의 수평 개방력이 연속적으로 기판에 작용함으로써, 기판의 두께 방향으로 수직 크랙이 침투한다. 이러한 기판 내부에 생긴 수직 크랙은 기판을 브레이크할 때의 부하를 경감시킨다.When the scribing wheel obtained by processing the edge of the blade as described above is subjected to pressure welding on a brittle material substrate, a scribe line SL as shown in Fig. 11 is formed on the substrate surface. In the scribe line SL, a relatively thick line portion L1' by the convex blade 1 and a relatively thin line portion L2' by the concave blade 2 are alternately and continuously formed. At this time, the blade 1 and the blade 2 also apply a force to horizontally divide the substrate from the scribe line SL (hereinafter, referred to as “horizontal opening force” in this specification) to the substrate. As for this horizontal opening force, the side of the blade 1 is larger than the blade 2, as indicated by the arrow in FIG. 11 for convenience. In this way, the horizontal opening force of the strength and weakness by the blade (1) and the blade (2) continuously acts on the substrate, so that vertical cracks penetrate in the thickness direction of the substrate. The vertical cracks generated inside the substrate reduce the load upon breaking the substrate.

본 발명자는, 라인 부분(L1')에서의 거의 일정 굵기로부터 라인 부분(L2')을 향해서 가늘어지기 시작하는 모서리(C)로부터 수평 방향(기판이 넓어지는 방향)으로 마이크로 크랙(mc)(일부만 도시함)이 생기는 경우가 있는 것을 알아내었다. 이러한 마이크로 크랙(mc)은, 기판의 분단 후의 굽힘 강도를 저하시키거나, 기판 표층을 박리시킬 우려가 있다. 특히, 근년, 취성 재료 기판의 경량화에 수반하는 박육화가 요구되고 있어, 예를 들어 두께가 0.2mm 이하의 유리 기판도 사용되고 있는데, 이러한 얇은 기판은 원래 저강도이기 때문에, 상기 마이크로 크랙(mc)의 발생은 품질의 저하로 직결된다.The present inventors have found that microcracks mc (only partially shown) was found to occur. Such microcracks mc may reduce the bending strength after division of the substrate or cause the substrate surface layer to peel. In particular, in recent years, thickness reduction accompanying weight reduction of brittle material substrates is required, for example, glass substrates with a thickness of 0.2 mm or less are also used. The occurrence is directly related to the deterioration of quality.

또한, 현재, 두께가 0.1mm(100㎛) 이하의 취성 재료 기판에 대한 수요가 증가하고 있는데, 이러한 얇은 기판에 대하여 종래의 스크라이빙 휠을 사용하면, 수직 크랙이 기판의 두께 방향으로 필요 이상으로 침투하여, 기판을 안정적으로 분단하는 것이 어렵다는 문제가 있었다.In addition, at present, there is an increasing demand for brittle material substrates with a thickness of 0.1 mm (100 μm) or less. There was a problem in that it was difficult to stably divide the substrate by penetrating into the

일본 특허 제5022602호 공보Japanese Patent No. 5022602

본 발명은 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 수평 방향으로의 마이크로 크랙의 발생을 저감 또는 억제할 수 있고, 특히 두께가 0.1mm 이하의 취성 재료 기판의 절단 성능을 높일 수 있는 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠 및 그 제조 방법을 제공하는 데 있다.The present invention has been made in view of the above-described problems, and the object thereof is to reduce or suppress the occurrence of microcracks in the horizontal direction, and in particular, to increase the cutting performance of brittle material substrates having a thickness of 0.1 mm or less. To provide a scribing wheel for a material substrate and a method for manufacturing the same.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 측면에 의하면, 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 부여하기 위한 디스크상의 스크라이빙 휠이며, 상기 스크라이빙 휠의 외주부에 제1 날과 제2 날을 원주 방향 교대로 구비하고, 상기 외주부는, V자상으로 교차하여 상기 제1 날을 이루는 한 쌍의 경사면과, 상기 한 쌍의 경사면의 한쪽 또는 양쪽으로부터 오목해져서 상기 제2 날을 이루는 오목부를 포함하고, 상기 제1 날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차가 0.5㎛ 미만인 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠이 제공된다.In order to solve the above problems, according to one aspect of the present invention, there is a disc-shaped scribing wheel for imparting a scribe line to a brittle material substrate, and the first and second blades are circumferentially formed on the outer periphery of the scribing wheel. It is provided alternately in the direction, and the outer periphery includes a pair of inclined surfaces that intersect in a V shape to form the first blade, and a concave portion that is concave from one or both of the pair of inclined surfaces to form the second blade, There is provided a scribing wheel for a brittle material substrate, characterized in that the difference in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade is less than 0.5 μm.

본 발명자는, 상술한 날(1)에 의한 비교적 굵은 스크라이브 라인 부분(L1')(도 11 참조)의 모서리(C)로부터의 수평 방향으로의 마이크로 크랙(mc)을 발생시키지 않는 스크라이빙 휠을 모색하는 중에, 스크라이빙 휠에 있어서 제1 날의 날끝 위치와 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차(간격)를 0.5㎛ 미만으로 함으로써, 그러한 마이크로 크랙을 저감 또는 억제할 수 있는 것을 알아내어, 본 발명에 이르렀다. 또한, 종래의 스크라이빙 휠의 날(1)과 날(2)의 반경 방향 간격은 0.5㎛ 이상으로 설정되어 있는데, 이것은, 상기 간격이 0.5㎛ 미만의 스크라이빙 휠을 요하는 절단 요구가 없었던 것과, 스크라이빙 휠의 상기 간격을 0.5㎛ 미만으로 가공하는 난이도가 매우 높기 때문이라고 생각된다.The present inventor has a scribing wheel that does not generate micro-cracks mc in the horizontal direction from the edge C of the relatively thick scribe line portion L1' (see FIG. 11) by the aforementioned blade 1 By making the difference (gap) in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade less than 0.5 μm in the scribing wheel, such microcracks can be reduced or suppressed. found out and came to the present invention. In addition, the radial distance between the blade 1 and the blade 2 of the conventional scribing wheel is set to 0.5 μm or more, which means that the cutting request that requires a scribing wheel with the spacing less than 0.5 μm is difficult. It is thought that this is because the difficulty of processing the gap of the scribing wheel to less than 0.5 μm is very high.

본 발명이 있어서, 스크라이빙 휠은, 소결 다이아몬드, 단결정 다이아몬드 또는 초강 합금 또는 이들의 조합을 포함한다.In the present invention, the scribing wheel includes sintered diamond, single crystal diamond, or a super alloy or a combination thereof.

본 발명에 있어서, 제1 날은, V자상으로 교차하는 한 쌍의 경사면에 의해 정의된다. 또한, 제2 날은, 한 쌍의 경사면 양쪽에 마련한 오목부가 V자상으로 교차하여 정의되거나, 또는 한 쌍의 경사면의 한쪽에 마련한 오목부와 한 쌍의 경사면의 다른 쪽이 V자상으로 교차하여 정의된다.In the present invention, the first blade is defined by a pair of inclined surfaces intersecting in a V-shape. Further, the second blade is defined by intersecting the concave portions provided on both sides of the pair of inclined surfaces in a V-shape, or by crossing the concave portions provided on one of the pair of inclined surfaces and the other side of the pair of inclined surfaces in a V-shape. do.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 제2 날의 각도는 상기 제1 날의 각도보다도 작다. 바람직하게는, 제2 날의 각도는 제1 날의 각도의 99.98％ 내지 10％이며, 더욱 바람직하게는 98％ 내지 90％의 범위이다. 제2 날의 각도를 제1 날의 각도보다도 작게 함으로써, 제1 및 제2 날이 취성 재료 기판에 부여하는 수평 개방력의 강약 변화를 크게 하여, 두께 방향으로의 수직 크랙을 신장시킬 수 있다.In one embodiment of the present invention, the angle of the second blade is smaller than the angle of the first blade. Preferably, the angle of the second blade is in the range of 99.98% to 10% of the angle of the first blade, more preferably in the range 98% to 90%. By making the angle of the 2nd blade smaller than the angle of the 1st blade, the intensity|strength change of the horizontal opening force which the 1st and 2nd blade gives to a brittle material board|substrate can be enlarged, and the vertical crack in the thickness direction can be extended.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 제1 날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차는 0이다. 이 형태에서, 제2 날의 날끝은 제1 날의 날끝과 함께 진원의 능선(에지)을 이루어, 스크라이브 라인은 도 17에 도시하는 바와 같이 거의 동일한 굵기의 라인이 연속된다. 그러나, 제2 날을 이루는 오목부가 제1 날과 원주 방향 교대로 마련되기 때문에, 기판에 대하여 제1 및 제2 날에 의한 수평 개방력의 강약 변화가 작용하고, 이에 의해, 기판 내부에 수직 크랙이 신장된다고 생각된다.In one embodiment of the present invention, the difference in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade is zero. In this form, the edge of the second blade together with the edge of the first blade form a circular ridge line (edge), and the scribe line is a continuous line of substantially the same thickness as shown in FIG. 17 . However, since the concave portions constituting the second blade are alternately provided with the first blade in the circumferential direction, a change in the horizontal opening force by the first and second blades acts on the substrate, thereby causing vertical cracks inside the substrate. It is thought that this is elongated.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 제1 날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차가 0.2㎛ 이상이고 0.5㎛ 미만이며, 상기 오목부 각각은, 상기 한 쌍의 경사면의 한쪽 또는 양쪽으로부터의 오목함의 깊이가 가장 깊어지는 원주 방향 중간의 저부와, 상기 저부로부터 원주 방향에 있어서 인접하는 2개의 상기 제1 날에 상기 깊이를 점차 얕게 하면서 연결되는 2개의 바닥 측부를 포함하고, 서로 인접하는 상기 바닥 측부와 상기 제1 날의 경계의 곡률 반경은, 서로 인접하는 상기 바닥 측부와 상기 저부의 경계의 곡률 반경보다도 크다. 본 발명자는, 이와 같은 형태의 스크라이빙 휠을 사용한 경우, 취성 재료 기판면에 도 28에 도시하는 바와 같은 스크라이브 라인을 형성하여, 수평 방향으로의 마이크로 크랙을 더욱 저감 또는 억제할 수 있는 것을 알아내었다. 이 점에 대해서는 도 25 내지 도 28에 관련해서 후술한다.In one embodiment of the present invention, the difference in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade is 0.2 µm or more and less than 0.5 µm, and each of the concave portions includes the pair of inclined surfaces. a bottom in a circumferential middle at which the depth of the concavity from one or both sides is deepest, and two bottom sides connected to the first two adjacent first blades in the circumferential direction from the bottom while gradually decreasing the depth, , a radius of curvature of a boundary between the bottom side and the first blade adjacent to each other is larger than a radius of curvature at a boundary between the bottom side and the bottom adjacent to each other. The present inventors found that, when a scribing wheel of this type is used, a scribe line as shown in FIG. 28 can be formed on the surface of a brittle material substrate to further reduce or suppress microcracks in the horizontal direction. gave out This point will be described later with reference to FIGS. 25 to 28 .

본 발명이 다른 측면에 의하면, 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 부여하기 위한 디스크상의 스크라이빙 휠을 제조하는 방법이며, 상기 스크라이빙 휠이 되는 원체의 외주부에 한 쌍의 원 경사면을 가공하는 공정 A이며, 상기 한 쌍의 원 경사면이 V자상으로 교차하여 제1 원날을 이루는 공정 A와, 상기 한 쌍의 원 경사면의 양쪽으로부터 오목해지는 한 쌍의 오목부를 원주 방향 소정 간격으로 가공하는 공정 B이며, 상기 한 쌍의 오목부가 제2 날을 이루고, 상기 제1 원날과 상기 제2 날이 원주 방향 교대로 되고 또한 상기 제1 원날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차를 0.5㎛ 이상으로 하는 공정 B와, 상기 한 쌍의 원 경사면을 연마해서 한 쌍의 경사면으로 하는 공정 C이며, 상기 한 쌍의 경사면이 V자상으로 교차하여 제1 날을 이루고 또한 상기 제1 날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차를 0 이상이고 0.5㎛ 미만으로 하는 공정 C를 포함하는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠의 제조 방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a disc-shaped scribing wheel for imparting a scribe line to a brittle material substrate, and a process of machining a pair of circular inclined surfaces on the outer periphery of a body to be the scribing wheel A, wherein the pair of circular inclined surfaces intersect in a V-shape to form a first circular blade, and a process B of machining a pair of concave portions concave from both sides of the pair of circular inclined surfaces at predetermined intervals in the circumferential direction, , the pair of concave portions constitute a second blade, the first circular blade and the second blade are alternated in the circumferential direction, and a difference in the radial direction between the edge position of the first circular blade and the edge position of the second blade is 0.5 µm or more, step B of grinding the pair of circular inclined surfaces to form a pair of inclined surfaces, wherein the pair of inclined surfaces intersect in a V shape to form a first blade, and the first blade There is provided a method for manufacturing a scribing wheel for a brittle material substrate, comprising the step C of setting the difference in the radial direction between the edge position of the second blade and the edge position of the second blade to be 0 or more and less than 0.5 μm.

본 방법은, 상술한 제1 날의 날끝 위치와 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차가 0 이상이고 0.5㎛ 미만인 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠을 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 방법에 있어서, 한 쌍의 원 경사면의 연마에는, 소정 입도의 다이아몬드, 세라믹, 철 등을 사용할 수 있고, 한 쌍의 원 경사면에 대한 오목부의 형성에는 전자선이나 레이저 등을 사용할 수 있다.The present method relates to a method for manufacturing a scribing wheel for a brittle material substrate, wherein the difference in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade described above is 0 or more and less than 0.5 μm. In this method, diamond, ceramic, iron, etc. of a predetermined particle size can be used for grinding a pair of circular inclined surfaces, and an electron beam, a laser, etc. can be used for formation of a recessed part with respect to a pair of circular inclined surfaces.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 공정 B에서, 상기 제2 날의 각도를 상기 제1 원날의 각도보다도 작게 하고, 상기 공정 C에서, 상기 제1 날의 각도를 상기 제2 날의 각도보다도 크게 한다. 이에 의해, 제2 날의 각도가 제1 날의 각도보다도 작아진다.In one embodiment of the present invention, in the step B, the angle of the second blade is made smaller than the angle of the first circular blade, and in the step C, the angle of the first blade is lower than the angle of the second blade. make it big Thereby, the angle of the 2nd blade becomes smaller than the angle of the 1st blade.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서, 상기 공정 C 후에, 상기 한 쌍의 경사면의 한쪽을 연마하여, 이 한 쪽의 경사면에서의 상기 오목부를 없애는 공정 D를 포함한다. 이에 의해, 한 쌍의 경사면의 다른 쪽에만 오목부가 남아, 이 오목부와 한쪽의 경사면이 V자상으로 교차하여 제2 날을 정의한다.In one embodiment of the present invention, after the step C, a step D of grinding one of the pair of inclined surfaces to remove the concave portion on the one inclined surface is included. Thereby, a recessed part remains only on the other side of a pair of inclined surfaces, this recessed part and one of the inclined surfaces intersect in a V shape to define a 2nd blade.

본 발명에 따른 스크라이빙 휠에서는, 제1 날의 날끝 위치와 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차를 0.5㎛ 미만으로 함으로써, 제1 날이 이루는 스크라이브 라인 부분으로부터의 수평 방향으로의 마이크로 크랙을 저감 또는 억제할 수 있다.In the scribing wheel according to the present invention, by making the difference in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade less than 0.5 μm, the horizontal direction from the scribe line portion formed by the first blade Microcracks can be reduced or suppressed.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠의 사시도이다.
도 2는 도 1의 스크라이빙 휠의 측면도이다.
도 3은 도 1의 스크라이빙 휠의 정면도이다.
도 4는 도 2의 일부를 확대한 도면이다.
도 5는 도 1 등의 스크라이빙 휠의 제조 공정을 대략 도시하는 설명도이다.
도 6은 도 1 등의 스크라이빙 휠의 제조 공정 A를 대략 도시하는 설명도이다.
도 7은 도 1 등의 스크라이빙 휠의 제조 공정 B를 대략 도시하는 설명도이다.
도 8은 도 1 등의 스크라이빙 휠의 제조 공정 C를 대략 도시하는 설명도이다.
도 9는 도 6 내지 도 8의 제조 공정에 대응하는 설명도이다.
도 10은 도 1 등의 스크라이빙 휠에 의해 유리 기판 상에 부여한 스크라이브 라인의 모식도이다.
도 11은 종래의 스크라이빙 휠이 유리 기판 상에 부여한 스크라이브 라인의 모식도이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠의 사시도이다.
도 13은 도 12의 스크라이빙 휠의 측면도이다.
도 14는 도 12의 스크라이빙 휠의 정면도이다.
도 15는 도 13의 A-A선을 따른 단면도이다.
도 16은 도 15의 원 B 부분의 확대도이다.
도 17은 도 12 등의 스크라이빙 휠에 의해 유리 기판 상에 부여한 스크라이브 라인의 모식도이다.
도 18은 제2 실시 형태의 스크라이빙 휠의 변형예이다.
도 19는 제1 실시 형태의 스크라이빙 휠의 변형예이다.
도 20은 도 19의 스크라이빙 휠의 제조 공정 D를 대략 도시하는 설명도이다.
도 21은 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠의 부분 측면도이다.
도 22는 도 21의 스크라이빙 휠의 부분 사시도이다.
도 23은 도 21의 일부 확대도이다.
도 24는 도 21 등의 스크라이빙 휠이 유리 기판의 표면에 부여한 스크라이브 라인의 모식도이다.
도 25는 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠의 부분 측면도이다.
도 26은 도 25의 스크라이빙 휠의 부분 사시도이다.
도 27은 도 25의 일부 확대도이다.
도 28은 도 25 등의 스크라이빙 휠이 유리 기판의 표면에 부여한 스크라이브 라인의 모식도이다.1 is a perspective view of a scribing wheel according to a first embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a side view of the scribing wheel of FIG. 1 ;
3 is a front view of the scribing wheel of FIG. 1 ;
FIG. 4 is an enlarged view of a part of FIG. 2 .
FIG. 5 is an explanatory diagram schematically showing a manufacturing process of the scribing wheel shown in FIG. 1 and the like.
Fig. 6 is an explanatory view schematically showing a manufacturing process A of the scribing wheel shown in Fig. 1 and the like.
Fig. 7 is an explanatory diagram schematically showing a manufacturing process B of the scribing wheel shown in Fig. 1 and the like.
FIG. 8 is an explanatory diagram schematically showing a manufacturing process C of the scribing wheel shown in FIG. 1 and the like.
Fig. 9 is an explanatory diagram corresponding to the manufacturing process of Figs. 6 to 8;
Fig. 10 is a schematic diagram of a scribe line applied on a glass substrate by a scribing wheel of Fig. 1 or the like.
11 is a schematic diagram of a scribing line provided on a glass substrate by a conventional scribing wheel.
12 is a perspective view of a scribing wheel according to a second embodiment of the present invention.
13 is a side view of the scribing wheel of FIG. 12 ;
14 is a front view of the scribing wheel of FIG. 12 ;
15 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 13 .
FIG. 16 is an enlarged view of a portion B of FIG. 15 .
Fig. 17 is a schematic diagram of a scribe line applied on a glass substrate by a scribing wheel of Fig. 12 or the like.
18 is a modified example of the scribing wheel according to the second embodiment.
19 is a modified example of the scribing wheel according to the first embodiment.
Fig. 20 is an explanatory view schematically showing a manufacturing process D of the scribing wheel of Fig. 19;
21 is a partial side view of a scribing wheel according to a third embodiment of the present invention;
22 is a partial perspective view of the scribing wheel of FIG. 21 ;
FIG. 23 is a partially enlarged view of FIG. 21 .
Fig. 24 is a schematic diagram of a scribe line applied to the surface of a glass substrate by the scribing wheel of Fig. 21 or the like.
25 is a partial side view of a scribing wheel according to a fourth embodiment of the present invention;
Fig. 26 is a partial perspective view of the scribing wheel of Fig. 25;
FIG. 27 is a partially enlarged view of FIG. 25 .
Fig. 28 is a schematic diagram of a scribe line applied to the surface of a glass substrate by a scribing wheel of Fig. 25 or the like.

이하, 본 발명의 몇 가지의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명하는데, 본 발명은 그러한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 특허 청구 범위 및 균등의 범위 내에서 변경 등이 가능하다. 도 1, 도 2 및 도 3은, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠(이하, 단순히 「휠」이라고도 함)(1)의 사시도, 측면도 및 정면도이다. 도 4는, 도 2의 일부를 확대한 도면이다. 이하, 휠(1)(및 후술하는 휠(61, 101, 201))에 대한 좌우는 별도 지정하지 않는 한 도 3, 도 14 등에 기초하는 것으로 한다. 휠(1)(61, 101, 201)은 실질적으로 좌우 대칭이다. 그 때문에, 휠(1)(61, 101, 201)의 좌우 한쪽에 대한 설명은, 좌우 다른 쪽에 대해서도 적용된다. 휠(1)은, 디스크상의 본체부(2)와, 본체부(2)로부터 반경 방향 외측으로 단면 삼각 형상으로 돌출되는 외주부(3)를 구비한다. 휠(1)은, 외주부(3)의 반경 방향 외측 단부인 모서리부(4)에, 제1 날(10)과 제2 날(20)을 원주 방향 교대로 구비한다. 본체부(2)는, 휠(1)의 축선에 수직인 좌우의 원환상의 측면(2a)을 갖는다. 또한, 본체부(2)는, 좌우의 측면(2a)간을 관통하는 축 구멍(5)을 구비한다. 휠(1)은, 도시하지 않은 스크라이빙 장치의 축부가 본체부(2)의 축 구멍(5)에 통과되어 스크라이빙 장치에 장착되어서 사용된다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although some embodiment of this invention is described based on drawing, this invention is not limited to such an embodiment, A change etc. are possible within the range of a claim and equivalent. 1, 2 and 3 are a perspective view, a side view, and a front view of a scribing wheel (hereinafter simply referred to as a “wheel”) 1 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 4 is an enlarged view of a part of FIG. 2 . Hereinafter, the left and right for the wheel 1 (and the wheels 61, 101, 201 to be described later) are based on FIGS. 3 and 14, etc. unless otherwise specified. The wheels 1 (61, 101, 201) are substantially symmetrical. Therefore, the description of one of the left and right sides of the wheel 1 (61, 101, 201) is also applied to the other left and right sides. The wheel 1 has a disk-shaped body part 2 and an outer peripheral part 3 projecting radially outwardly from the body part 2 in a triangular cross-sectional shape. The wheel 1 is provided with the first blade 10 and the second blade 20 alternately in the circumferential direction at the corner portion 4 which is the radially outer end of the outer peripheral portion 3 . The body portion 2 has left and right annular side surfaces 2a perpendicular to the axis of the wheel 1 . Moreover, the main body part 2 is provided with the shaft hole 5 penetrating between the left and right side surfaces 2a. As for the wheel 1, the shaft part of the scribing device (not shown) is passed through the shaft hole 5 of the main body part 2, and it is attached to the scribing device and used.

외주부(3)는, 본체부(2)의 좌우의 측면(2a)에 대하여 경사지는 좌우 한 쌍의 경사면(3a)을 갖는다. 좌우의 경사면(3a)은, 반경 방향 외측으로 서로 점차 가까워져서, 모서리부(4)에서 V자상으로 교차하여 제1 날(10)을 정의한다. 제1 날(10)의 날끝(11)은, 휠(1)에 있어서 가장 반경 방향 외측의 외주 에지를 따른다. 좌우의 경사면(3a)에는, 좌우 한 쌍의 오목부(22)가 원주 방향 소정 간격으로 마련된다. 좌우의 오목부(22)는, 경사면(3a)으로부터 오목해져서, 모서리부(4)에서 V자상으로 교차하여 제2 날(20)을 정의한다. 제2 날(20)의 각도(A2)(도 9 참조)는, 제1 날(10)의 각도(A1)보다도 작아지도록 설정된다. 본 실시 형태에서, A1은 95° 내지 110°이며, A2는 A1의 90％ 내지 98％로 설정된다. 제2 날(20)의 날끝(21)은, 제1 날(10)의 날끝(11)과 함께 휠(1)의 외주 에지를 이룬다. 제1 및 제2 날(10, 20)의 날끝(11, 21)이 이루는 외주 에지는 모서리부(4)의 능선이기도 하다.The outer peripheral portion 3 has a pair of left and right inclined surfaces 3a that are inclined with respect to the left and right side surfaces 2a of the main body 2 . The left and right inclined surfaces 3a gradually approach each other outward in the radial direction, and intersect in a V-shape at the corner portion 4 to define the first blade 10 . The blade tip 11 of the first blade 10 is along the outermost radially outer peripheral edge of the wheel 1 . A pair of left and right recesses 22 are provided in the left and right inclined surfaces 3a at predetermined intervals in the circumferential direction. The concave portions 22 on the left and right are concave from the inclined surface 3a and intersect in a V-shape at the corner portion 4 to define the second blade 20 . The angle A2 of the second blade 20 (refer to FIG. 9 ) is set to be smaller than the angle A1 of the first blade 10 . In this embodiment, A1 is 95° to 110°, and A2 is set to 90% to 98% of A1. The blade tip 21 of the second blade 20 forms the outer peripheral edge of the wheel 1 together with the blade tip 11 of the first blade 10 . The outer peripheral edge formed by the blade tips 11 and 21 of the first and second blades 10 and 20 is also the ridge line of the corner portion 4 .

본 실시 형태에서, 1개의 제2 날(20)의 원주 방향을 따른 길이는, 1개의 제1 날(10)의 원주 방향을 따른 길이의 약 3 내지 4배이다. 도 4를 참조하여, 각 제2 날(20)의 날끝(21)은, 그 원주 방향 양단부(도 4에서 좌우로 인접하는 제1 날(10)의 날끝(11)과의 인접 점)로부터 원주 방향 중간점으로 약간 반경 방향 내측으로 오목해져서, 원주 방향 중간점에서 가장 반경 방향 내측으로의 오목함이 커진다. 이 제2 날(20)(및 오목부(22))의 오목함은, 반경 방향 내측으로 볼록해지는 만곡 형상이다. 본 실시 형태에서, 제1 날(10)의 날끝(11)의 위치와 제2 날(20)의 날끝(21)의 원주 방향 중간점의 반경 방향에서의 차(S)는 0.2㎛이지만, 0.1㎛ 이상이고 0.5㎛ 미만으로 설정할 수 있다. 또한, 제1 날(10)의 피치는 0.014㎛ 이상이고 0.019㎛ 이하이다. 또한, 휠(1)의 직경은 2.6mm, 휠(1)의 두께, 즉 좌우의 측면(2a)간의 간격은 0.65mm이다.In this embodiment, the length along the circumferential direction of the one second blade 20 is about 3 to 4 times the length along the circumferential direction of the first blade 10 . Referring to FIG. 4 , the edge 21 of each second blade 20 is circumferentially from both ends in the circumferential direction (the point adjacent to the edge 11 of the first blade 10 adjacent to the left and right in FIG. 4 ). There is a slight radial inward concavity towards the directional midpoint, resulting in a greater radially inward concavity at the circumferential midpoint. The concave portion of the second blade 20 (and the concave portion 22 ) is a curved shape that is convex inward in the radial direction. In this embodiment, the difference S in the radial direction between the position of the edge 11 of the first blade 10 and the circumferential midpoint of the edge 21 of the second blade 20 is 0.2 μm, but 0.1 ㎛ or more and can be set to less than 0.5㎛. In addition, the pitch of the first blade 10 is 0.014 μm or more and 0.019 μm or less. In addition, the diameter of the wheel 1 is 2.6 mm, the thickness of the wheel 1, that is, the interval between the left and right side surfaces 2a is 0.65 mm.

표 1은 스크라이빙 휠(1)의 바람직한 사양 범위 등을 나타낸다.Table 1 shows the preferred specification range of the scribing wheel 1 and the like.

Figure pat00001
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이어서, 스크라이빙 휠(1)의 제조 방법에 대해서 설명한다. 도 5 내지 도 8은 휠(1)의 제조 공정을 대략 도시하는 설명도이다. 도 9는 도 6 내지 도 8의 제조 공정에 대응하는 설명도이다. 먼저, 최종적으로 휠(1)이 되는 원체(1')를 준비한다(도 5 참조). 원체(1')는, 휠(1)의 본체부(2)를 반경 방향 외측으로 그대로 확장시킨 디스크 형상이며, 좌우의 측면(2a)(휠(1)의 좌우의 측면(2a)과 공통되기 때문에, 동일한 참조 번호를 사용함)과, 좌우의 측면(2a)의 반경 방향 외측 단부간을 연결하는 둘레측면(3')을 갖는다. 또한, 도 5 내지 도 8에서, 원체(1') 및 휠(1)은 도 4의 C-C선에서 본 단면으로 나타내진다. 이어서, 도 6에 도시하는 바와 같이 원체(1')의 외주부에 한 쌍의 원 경사면(3a')을 조 가공한다(공정 A). 한 쌍의 원 경사면(3a')은 V자상으로 교차하여 제1 원날(10')을 이룬다. 제1 원날(10')은 날끝(11')을 갖는다. 제1 원날(10')의 각도는 최종적으로 형성되는 제1 날(10)의 각도와 실질적으로 동일하게 된다. 한 쌍의 원 경사면(3a') 및 제1 원날(10')은, 최종적인 한 쌍의 경사면(3a) 및 제1 날(10)(도 8 등 참조)보다도 약간 반경 방향 외측에 있다.Next, the manufacturing method of the scribing wheel 1 is demonstrated. 5 to 8 are explanatory views schematically showing the manufacturing process of the wheel 1 . Fig. 9 is an explanatory diagram corresponding to the manufacturing process of Figs. 6 to 8; First, the main body 1', which will eventually become the wheel 1, is prepared (refer to FIG. 5). The body 1' has a disk shape in which the body portion 2 of the wheel 1 is expanded radially outward as it is, and is in common with the left and right side surfaces 2a (the left and right side surfaces 2a of the wheel 1). For this reason, the same reference numerals are used) and a peripheral side surface 3' connecting the radially outer ends of the left and right side surfaces 2a. In addition, in Figs. 5 to 8, the body 1' and the wheel 1 are shown in cross section taken along the line C-C in Fig. 4 . Next, as shown in FIG. 6, a pair of circular inclined surfaces 3a' is rough-processed on the outer peripheral part of the main body 1' (step A). A pair of circular inclined surfaces 3a' intersect in a V-shape to form the first circular edge 10'. The first circular blade 10' has a blade tip 11'. The angle of the first circular blade 10' is substantially the same as the angle of the first blade 10 finally formed. The pair of circular inclined surfaces 3a' and the first circular edge 10' are slightly radially outward from the final pair of inclined surfaces 3a and the first edge 10 (refer to FIG. 8 and the like).

이어서, 도 7에 도시하는 바와 같이 한 쌍의 원 경사면(3a') 각각에 오목부(22)를 원주 방향 소정 간격으로 레이저 가공 한다(공정 B). 좌우 한 쌍의 오목부(22)는 V자상으로 교차하여 제2 날(20)을 정의한다. 제2 날(20)은 날끝(21)을 갖는다. 도 9를 참조하여, 제2 날(20)의 각도(A2)는, 제1 원날(10')의 각도(실질적으로 A1)의 90％ 내지 98％로 설정된다. 그 때문에, 한 쌍의 오목부(22)의, 원 경사면(3a')에 대하여 수직인 깊이(d)(도 9 참조)는, 능선에 있는 날끝(21)으로부터 오목부(22)의 반경 방향 내측 단부(22b)로 점차 약간 깊어진다. 제2 날(20)의 형성에 의해, 제1 원날(10')과 제2 날(20)이 원주 방향 교대로 된다. 또한, 이 시점에서, 제1 원날(10')의 날끝(11')의 위치와 제2 날(20)의 날끝(21)의 위치의 반경 방향에서의 차(S')(도 9 참조)는, 0.5㎛를 약간 상회하도록 설정된다.Next, as shown in Fig. 7, the concave portions 22 are laser-processed at predetermined intervals in the circumferential direction on each of the pair of circular inclined surfaces 3a' (Step B). A pair of left and right concave portions 22 intersect in a V-shape to define the second blade 20 . The second blade 20 has a blade tip 21 . Referring to FIG. 9 , the angle A2 of the second blade 20 is set to 90% to 98% of the angle (substantially A1) of the first circular blade 10'. Therefore, the depth d (refer to Fig. 9) of the pair of concave portions 22 perpendicular to the circular inclined surface 3a' is in the radial direction of the concave portion 22 from the blade tip 21 in the ridge line. It gradually deepens slightly to the inner end 22b. By the formation of the second blade 20 , the first circular blade 10 ′ and the second blade 20 alternate in the circumferential direction. Further, at this point in time, the difference (S') in the radial direction between the position of the blade tip 11' of the first circular blade 10' and the position of the blade tip 21 of the second blade 20 (refer to FIG. 9) is set to slightly exceed 0.5 µm.

이어서, 한 쌍의 원 경사면(3a')을 소정 입도의 다이아몬드로 연마하여, 제1 원날(10')을 도 8에 도시하는 제1 날(10)로 한다(공정 C). 이때, 한 쌍의 원 경사면(3a')은, 최종적인 한 쌍의 경사면(3a)에 실질적으로 평행하게 연마된다. 그 때문에, 제1 날(10)의 각도(A1)는 제1 원날(10')의 각도와 실질적으로 동일하고, 제2 날(20)의 각도(A2)보다도 크다. 본 실시 형태에서, 제2 날(20)의 각도(A2)는 제1 날(10)의 각도(A1)의 90％ 내지 98％로 설정된다. 또한, 공정 C에서, 제1 날(10)의 날끝(11)의 위치와 제2 날(20)의 날끝(21)의 위치의 반경 방향에서의 차(S)는 0.2㎛로 설정된다. 또한, 공정 C에 의해 오목부(22)는 약간 얕아진다. 즉, 오목부(22)의 경사면(3a)로부터의 깊이는, 원 경사면(3a')으로부터의 깊이보다도 약간 작아진다. 이상에 의해 스크라이빙 휠(1)이 얻어진다. 이상의 공정 A 내지 C는, 후술하는 제2 내지 제4 실시 형태의 휠(61, 101, 201)(도 12, 도 21, 도 25 등 참조)의 제조에 대해서도 실질적으로 적용되는데, 휠(61)에서는, 공정 C에서 제1 날(70)의 날끝(71)의 위치와 제2 날(80)의 날끝(81)의 위치의 반경 방향에서의 차(S)가 제로로 되도록 원 경사면(3a')이 경사면(3a)으로 연마된다.Next, the pair of circular inclined surfaces 3a' is polished with diamonds having a predetermined grain size, and the first circular edge 10' is the first edge 10 shown in FIG. 8 (Step C). At this time, the pair of circular inclined surfaces 3a' is polished substantially parallel to the final pair of inclined surfaces 3a. Therefore, the angle A1 of the first blade 10 is substantially the same as the angle of the first circular blade 10 ′, and is larger than the angle A2 of the second blade 20 . In this embodiment, the angle A2 of the second blade 20 is set to 90% to 98% of the angle A1 of the first blade 10 . In step C, the difference S in the radial direction between the position of the blade tip 11 of the first blade 10 and the position of the blade edge 21 of the second blade 20 is set to 0.2 µm. In addition, by the process C, the recessed part 22 becomes slightly shallow. That is, the depth of the concave portion 22 from the inclined surface 3a is slightly smaller than the depth from the circular inclined surface 3a'. The scribing wheel 1 is obtained by the above. The above steps A to C are also substantially applied to the manufacture of the wheels 61, 101, 201 (refer to FIGS. 12, 21, 25, etc.) of the second to fourth embodiments described later, but the wheel 61 In step C, the circular inclined surface 3a' so that the difference S in the radial direction between the position of the blade tip 71 of the first blade 70 and the position of the blade tip 81 of the second blade 80 becomes zero in step C. ) is polished to the inclined surface 3a.

도 10은, 휠(1)에 의해 유리 기판 상에 부여한 스크라이브 라인(SL1)의 모식도이다. 스크라이브 라인(SL1)은, 제1 날(10)에 의한 비교적 굵은 라인 부분(L1)과 제2 날(20)에 의한 비교적 가는 라인 부분(L2)이 교대로 연속적으로 형성된다. 도 11은, 볼록형의 날(1)과 오목형의 날(2)을 갖는 종래의 스크라이빙 휠(이하, 「비교예 휠」이라고도 함)이 유리 기판 상에 부여한 스크라이브 라인(SL)의 모식도이다. 비교예 휠에 있어서 날(1)의 날끝 위치와 날(2)의 날끝 위치의 반경 방향 간격은 1.5㎛이며, 날(1)의 각도와 날(2)의 각도는 거의 동일하고, 휠 직경, 휠 두께 및 날(1)의 피치는 휠(1)과 거의 동일하다. 또한, 스크라이브 라인(SL1 및 SL)을 부여하는 유리 기판의 두께, 전동압, 전동 속도 등도 휠(1) 및 비교예 휠에서 동일하게 하였다. 휠(1)에 의한 스크라이브 라인(SL1)에서는, 제1 날(10)의 날끝(11)과 제2 날(20)의 날끝(21)의 반경 방향 간격(S)을 0.2㎛로 했기 때문에, 라인 부분(L1)과 라인 부분(L2)의 굵기의 차가 도 11의 스크라이브 라인(SL)에 비해서 축소되어 있다. 즉, 스크라이브 라인(SL1)의 라인 부분(L1)은, 스크라이브 라인(SL)의 라인 부분(L1')에 비해서 가늘고, 또한 라인 부분(L2)은 라인 부분(L2')과 거의 동일한 가늘기이다. 이에 의해, 스크라이브 라인(SL1)에서는 라인 부분(L1)과 라인 부분(L2)의 사이의 변화가 저감되어, 이에 의해 마이크로 크랙(mc)이 저감 또는 억제되었다고 생각된다.10 is a schematic diagram of a scribe line SL1 provided on a glass substrate by the wheel 1 . The scribe line SL1, a relatively thick line portion L1 by the first blade 10 and a relatively thin line portion L2 by the second blade 20 are alternately and continuously formed. 11 is a schematic diagram of a scribe line SL provided on a glass substrate by a conventional scribing wheel (hereinafter, also referred to as a “comparative example wheel”) having a convex blade 1 and a concave blade 2 am. In the comparative example wheel, the radial distance between the edge position of the blade 1 and the edge position of the blade 2 is 1.5 μm, the angle of the blade 1 and the angle of the blade 2 are almost the same, the wheel diameter, The wheel thickness and the pitch of the blades 1 are almost the same as the wheel 1 . In addition, the thickness of the glass substrate to which the scribe lines SL1 and SL are provided, the transmission pressure, the transmission speed, etc. were made the same in the wheel 1 and the wheel of the comparative example. In the scribe line SL1 by the wheel 1, the radial distance S between the blade tip 11 of the first blade 10 and the blade tip 21 of the second blade 20 is 0.2 μm, The difference in thickness between the line portion L1 and the line portion L2 is reduced compared to the scribe line SL of FIG. 11 . That is, the line portion L1 of the scribe line SL1 is thinner than the line portion L1' of the scribe line SL, and the line portion L2 is approximately the same as the line portion L2'. . Thereby, in the scribe line SL1, the change between the line part L1 and the line part L2 is reduced, and it is thought that the microcrack mc was reduced or suppressed by this.

표 2는 상술한 스크라이빙 휠(1)과 비교예 휠을 사용한 실험 결과를 나타낸다. 실험은 다음과 같이 행하였다. 먼저, 두께 100㎛(0.1mm) 및 150㎛(0.15mm)의 유리 기판에 대하여 스크라이빙 휠(1)과 비교예 휠에 의해 동일한 전동 압력 및 전동 속도로 스크라이브 라인을 부여하고, 각 유리 기판 내부에 생긴 수직 크랙의 두께 방향에서의 길이(㎛)를 측정하였다. 이것을, 각 두께의 유리 기판에 대해서 8회 반복하였다.Table 2 shows the experimental results using the scribing wheel 1 and the comparative example wheel. The experiment was conducted as follows. First, with respect to glass substrates of thickness 100㎛ (0.1mm) and 150㎛ (0.15mm), a scribing line is given by the scribing wheel 1 and the comparative example wheel at the same transmission pressure and transmission speed, and each glass substrate The length (μm) in the thickness direction of the vertical crack generated inside was measured. This was repeated 8 times for each thickness of the glass substrate.

Figure pat00002
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1회째의 비교예 휠에 의한 두께 100㎛의 유리 기판에의 수직 크랙 길이는 90.9㎛이었다. 이것은, 100㎛의 두께에 대하여 수직 크랙이 90.9％ 침투한 것을 의미한다. 그 때문에, 1회째의 「침투율」은 90.9％이다. 비교예 휠-두께 100㎛의 유리 기판의 2회째의 수직 크랙 길이는 89.2㎛(침투율 89.2％)이며, 이후 3회 내지 8회째의 수직 크랙(침투율)은 표 2와 같다.The vertical crack length to the 100-micrometer-thick glass substrate by the wheel of the comparative example of the 1st time was 90.9 micrometers. This means that 90.9% of vertical cracks penetrated with respect to a thickness of 100 µm. Therefore, the "permeation rate" of the 1st time is 90.9 %. Comparative Example Wheel - The length of the second vertical crack of the glass substrate having a thickness of 100 μm was 89.2 μm (penetration rate 89.2%), and the vertical cracks (penetration rate) of the 3rd to 8th times thereafter are shown in Table 2.

1회째의 휠(1)에 의한 두께 100㎛의 유리 기판에의 수직 크랙 길이는 83.4㎛(침투율 83.4％)이었다. 이후 2회 내지 8회째의 수직 크랙(침투율)은 표 2와 같다.The vertical crack length to the 100-micrometer-thick glass substrate by the wheel 1 of the 1st time was 83.4 micrometers (penetration rate 83.4%). After that, the vertical cracks (permeability) of the second to eighth times are shown in Table 2.

1회째의 비교예 휠에 의한 두께 150㎛의 유리 기판에의 수직 크랙 길이는 127.3㎛이었다. 그 때문에, 침투율은 127.3㎛/150㎛=84.9％이다. 이후 2회 내지 8회째의 수직 크랙 및 침투율은 표 2와 같다.The vertical crack length to the 150-micrometer-thick glass substrate by the wheel of the comparative example of the 1st time was 127.3 micrometers. Therefore, the penetration rate is 127.3 µm/150 µm = 84.9%. After that, the vertical cracks and penetration rates of the second to eighth times are shown in Table 2.

1회째의 휠(1)에 의한 두께 150㎛의 유리 기판에의 수직 크랙 길이는 109.8㎛(침투율 73.2％)이었다. 이후 2회 내지 8회째의 수직 크랙(침투율)은 표 2와 같다.The vertical crack length to the 150-micrometer-thick glass substrate by the wheel 1 of the 1st time was 109.8 micrometers (penetration rate 73.2%). After that, the vertical cracks (permeability) of the second to eighth times are shown in Table 2.

그래프 1은 표 2의 평균 침투율을 플롯함과 함께, 두께 200㎛ 내지 100㎛의 유리 기판에 대한 상기 실험과 마찬가지의 다수의 침투율의 측정값으로부터 추측한 두께 150㎛ 내지 50㎛의 유리 기판에 대한 침투율의 추측값을 나타낸다.Graph 1 plots the average penetration rate in Table 2, and for a glass substrate with a thickness of 150 μm to 50 μm estimated from the measurement values of multiple penetration rates similar to the above experiment for a glass substrate having a thickness of 200 μm to 100 μm. An estimate of the penetration rate is shown.

Figure pat00003
Figure pat00003

일반적으로, 유리 기판에 스크라이브 라인을 부여해서 분단할 때, 수직 크랙의 침투율이 75％ 내지 90％의 사이에 있으면 기판의 분단 작업이 안정되는 것으로 알려져 있다. 표 2 및 그래프 1로부터, 본 발명에 따른 휠(1)은, 두께가 150㎛ 이하, 특히 100㎛ 이하의 유리 기판에 대하여 침투율이 75％ 내지 90％의 사이에 있어, 기판의 분단 작업이 안정되는 것을 알 수 있다. 이에 반해, 비교예 휠에서는, 두께가 100㎛ 이하의 유리 기판에 대하여 침투율이 90％를 상회하여, 기판의 분단 작업이 불안정해지는 것으로 생각된다.In general, it is known that when a glass substrate is divided by providing a scribe line, if the penetration rate of vertical cracks is between 75% and 90%, the division operation of the substrate is stable. From Table 2 and Graph 1, the wheel 1 according to the present invention has a penetration rate between 75% and 90% for a glass substrate having a thickness of 150 μm or less, particularly 100 μm or less, so that the cutting operation of the substrate is stable. it can be seen that On the other hand, in the wheel of the comparative example, the penetration rate exceeds 90% with respect to the glass substrate 100 micrometers or less in thickness, and it is thought that the division operation|work of a board|substrate becomes unstable.

도 12, 도 13 및 도 14는, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠(61)의 사시도, 측면도 및 정면도이다. 도 15는 도 13의 A-A선을 따른 단면도이다. 도 16은 도 15의 원 B 부분의 확대도이다. 휠(61)에 있어서, 앞서 서술한 휠(1)과 실질적으로 공통되는 구성, 예를 들어 본체부(2), 외주부(3) 등에 대해서는, 휠(1)과 동일한 참조 번호를 사용하고 그것들의 설명을 생략한다. 휠(61)은, 외주부(3)의 반경 방향 외측 단부인 모서리부(4)에, 제1 날(70)과 제2 날(80)을 원주 방향 교대로 구비한다. 외주부(3)의 좌우 한 쌍의 경사면(3a)은, 모서리부(4)에서 V자상으로 교차하여 제1 날(70)을 정의한다. 좌우의 경사면(3a)에는, 좌우 한 쌍의 오목부(82)가 원주 방향 소정 간격으로 마련된다. 좌우의 오목부(82)는 경사면(3a)으로부터 오목해진다. 좌우의 오목부(82)는, 모서리부(4)에서 V자상으로 교차하여 제2 날(80)을 정의한다. 본 실시 형태에서, 제1 날(70)의 날끝(71)의 위치와 제2 날(80)의 날끝(81)의 위치의 반경 방향에서의 차(S)는 제로(S=0)이다. 그 때문에, 제1 날(70)의 날끝(71)과 제2 날(80)의 날끝(81)은, 휠(1)에 있어서 가장 반경 방향 외측의 진원의 외주 에지를 따른다. 또한, 도 16을 참조하여, 제1 날(70)의 각도(A1)는 95° 내지 110°, 제2 날(80)의 각도(A2)는 제1 날(70)의 각도(A1)의 90％ 내지 98％로 설정된다. 또한, A2는 10％ 내지 99.98％로 설정 가능하다. 본 실시 형태에서, 1개의 제1 날(70)의 원주 방향을 따른 길이는, 1개의 제2 날(80)의 원주 방향을 따른 길이의 약 1.5배이다. 휠(61)은 휠(1)과 거의 마찬가지로 상술한 공정 A 내지 C를 거쳐서 제조되지만, 휠(61)에서는, 공정 C에서 제1 날(70)의 날끝(71)의 위치와 제2 날(80)의 날끝(81)의 위치의 반경 방향에서의 차(S)가 제로로 되도록 원 경사면(3a')이 경사면(3a)으로 연마된다. 스크라이빙 휠(61)의 바람직한 사양 범위 등은 S=0인 점을 제외하고 휠(1)(표 1 참조)과 동일하다.12, 13 and 14 are a perspective view, a side view, and a front view of a scribing wheel 61 according to a second embodiment of the present invention. 15 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 13 . FIG. 16 is an enlarged view of a portion B of FIG. 15 . In the wheel 61, for the configuration substantially common to the wheel 1 described above, for example, the body portion 2, the outer peripheral portion 3, etc., the same reference numerals as the wheel 1 are used and their A description is omitted. The wheel 61 is provided with the first blade 70 and the second blade 80 alternately in the circumferential direction on the corner portion 4 which is the radially outer end of the outer peripheral portion 3 . A pair of left and right inclined surfaces 3a of the outer peripheral portion 3 intersect in a V-shape at the corner portion 4 to define the first blade 70 . A pair of left and right concave portions 82 are provided in the left and right inclined surfaces 3a at predetermined intervals in the circumferential direction. The left and right concave portions 82 are concave from the inclined surface 3a. The left and right concave portions 82 intersect in a V-shape at the corner portion 4 to define the second blade 80 . In this embodiment, the difference S in the radial direction between the position of the blade tip 71 of the first blade 70 and the position of the blade tip 81 of the second blade 80 is zero (S=0). Therefore, the edge 71 of the first blade 70 and the edge 81 of the second blade 80 follow the outer peripheral edge of the most radially outermost perfect circle in the wheel 1 . In addition, referring to FIG. 16 , the angle A1 of the first blade 70 is 95° to 110°, and the angle A2 of the second blade 80 is the angle A1 of the first blade 70 . It is set between 90% and 98%. In addition, A2 can be set from 10% to 99.98%. In the present embodiment, the length along the circumferential direction of the first blade 70 is approximately 1.5 times the length of the second blade 80 in the circumferential direction. The wheel 61 is manufactured through the above-described steps A to C almost like the wheel 1, but in the wheel 61, the position of the tip 71 of the first blade 70 and the second blade ( 80, the circular inclined surface 3a' is polished to the inclined surface 3a so that the difference S in the radial direction of the position of the blade tip 81 becomes zero. The preferred specification range of the scribing wheel 61 and the like are the same as those of the wheel 1 (see Table 1) except that S=0.

도 17은, 휠(61)에 의해 유리 기판 상에 부여한 스크라이브 라인(SL2)의 모식도이다. 스크라이브 라인(SL2)은, 휠(61)에 있어서 제1 날(70)의 날끝(71)과 제2 날(80)의 날끝(81)의 반경 방향 간격(S)을 제로로 함으로써, 거의 일정 가늘기의 라인이 연속된다. 그러나, 제2 날(80)을 이루는 오목부(82)의 존재와 제1 및 제2 날(70, 80)의 각도 차에 의해, 강약의 수평 개방력이 연속적으로 기판에 작용하여, 이에 의해 기판의 두께 방향으로 수직 크랙이 신장된다. 또한, 스크라이브 라인(SL2)에서는, 제1 날(70)이 이루는 라인 부분과 제2 날(80)이 이루는 라인 부분의 사이의 변화가 거의 없기 때문에, 수평 방향으로의 마이크로 크랙(mc)의 발생이 저감 또는 억제되는 것으로 생각된다.17 : is a schematic diagram of the scribe line SL2 provided on the glass substrate by the wheel 61. As shown in FIG. The scribe line SL2 is substantially constant by making the radial distance S between the blade tip 71 of the first blade 70 and the blade tip 81 of the second blade 80 in the wheel 61 to zero. The thin line is continuous. However, due to the presence of the concave portion 82 constituting the second blade 80 and the angular difference between the first and second blades 70 and 80, the horizontal opening force of strength and weakness continuously acts on the substrate, thereby Vertical cracks extend in the thickness direction of the substrate. In addition, in the scribe line SL2, since there is almost no change between the line portion formed by the first blade 70 and the line portion formed by the second blade 80, the occurrence of microcracks mc in the horizontal direction This is thought to be reduced or suppressed.

이상으로 설명한 제1 및 제2 실시 형태의 휠(1, 61)에서는, 외주부(3)의 좌우 한 쌍의 경사면(3a)의 양쪽에 오목부(22, 82)를 마련해서 제2 날(20, 80)을 정의했지만, 본 발명은 이러한 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 도 18은, 제2 실시 형태의 휠(61)의 변형예인 휠(61A)의 정면도이다. 휠(61A)에서는, 좌우 한 쌍의 경사면(3a, 3A)의 한쪽(좌측 방향)(3a)에만 오목부(82)를 둘레 방향 소정 간격으로 마련하고 있다. 그 때문에, 각 제2 날(80)(편의적으로 휠(61)의 제2 날(80)과 동일한 참조 번호를 사용함)은, 좌측 방향의 오목부(82)와 우측 방향의 경사면(3A)에 의해 정의된다. 휠(61A)에 있어서도, 제1 날(70)의 날끝(71)과 제2 날(80)의 날끝(81)은 반경 방향에 있어서 동일 위치(S=0)에 있기 때문에, 휠(61)과 거의 마찬가지로 마이크로 크랙(mc)을 저감 또는 억제할 수 있다. 휠(61A)의 우측 방향의 오목부가 없는 평탄한 경사면(3A)은, 이어서 설명하는 제1 실시 형태의 변형예인 휠(1A)의 우측 방향의 평탄한 경사면(3A)과 마찬가지로 형성되는 실질적으로 동일한 면이기 때문에, 동일한 참조 번호를 사용한다.In the wheels 1 and 61 of the first and second embodiments described above, the concave portions 22 and 82 are provided on both sides of the pair of left and right inclined surfaces 3a of the outer peripheral portion 3, and the second blade 20 , 80), but the present invention is not limited to this embodiment. 18 is a front view of a wheel 61A that is a modification of the wheel 61 of the second embodiment. In the wheel 61A, the recesses 82 are provided at predetermined intervals in the circumferential direction only on one (left direction) 3a of the pair of left and right inclined surfaces 3a and 3A. For this reason, each second blade 80 (for convenience, the same reference number as that of the second blade 80 of the wheel 61 is used) is disposed on the concave portion 82 in the left direction and the inclined surface 3A in the right direction. defined by Also in the wheel 61A, since the edge 71 of the first blade 70 and the edge 81 of the second blade 80 are at the same position (S=0) in the radial direction, the wheel 61 In almost the same way as in the case of microcracks (mc), it is possible to reduce or suppress the microcracks (mc). The flat inclined surface 3A without concave portion in the right direction of the wheel 61A is substantially the same surface formed as the rightward flat inclined surface 3A of the wheel 1A, which is a modified example of the first embodiment described below. Therefore, the same reference numbers are used.

도 19는, 제1 실시 형태의 휠(1)의 변형예인 휠(1A)의 정면도이다. 휠(1A)에서는, 좌우 한 쌍의 경사면(3a, 3A)의 한쪽(좌측 방향)(3a)에만 오목부(22)를 둘레 방향 소정 간격으로 마련하고 있다. 그 때문에, 각 제2 날(20)(편의적으로 휠(1)의 제2 날(20)과 동일한 참조 번호를 사용함)은, 좌측 방향의 오목부(22)와 우측 방향의 경사면(3A)에 의해 정의된다. 휠(1A)에 있어서도, 제1 날(10)의 날끝(11)의 위치와 제2 날(20)의 날끝(21)의 위치의 반경 방향 간격은 0.2㎛(S=0.2㎛)이다. 이에 의해, 휠(1)과 거의 마찬가지로 마이크로 크랙(mc)을 저감 또는 억제할 수 있다. 휠(1A)의 우측 방향의 오목부가 없는 평탄한 경사면(3A)은, 상술한 휠(1)의 제조 방법에서의 공정 C(도 8 참조) 후에, 도 20에 도시하는 바와 같이, 우측 방향의 경사면(3a)을 연마하여, 우측 방향의 경사면(3a)의 오목부(22)를 없앰으로써 형성된다(공정 D). 공정 D에서, 제2 날(20)의 날끝(21)의 위치는 유지된다. 이에 의해, 도 9에서 제1 및 제2 날(10, 20)의 날끝(11, 21)을 통과하는 수선(도시하지 않음)에 대한 좌우의 경사면(3a, 3A)의 경사 각도는, 경사면(3A)쪽이 약간 작아진다.19 is a front view of a wheel 1A that is a modification of the wheel 1 of the first embodiment. In the wheel 1A, the recesses 22 are provided at predetermined intervals in the circumferential direction only on one (left direction) 3a of the pair of left and right inclined surfaces 3a and 3A. For this reason, each second blade 20 (for convenience, the same reference number as that of the second blade 20 of the wheel 1 is used) is disposed on the concave portion 22 in the left direction and the inclined surface 3A in the right direction. defined by Also in the wheel 1A, the radial distance between the position of the blade tip 11 of the first blade 10 and the position of the blade tip 21 of the second blade 20 is 0.2 µm (S=0.2 µm). Thereby, the micro-crack mc can be reduced or suppressed substantially similarly to the wheel 1 . After step C (refer to FIG. 8) in the manufacturing method of the wheel 1 described above, the flat inclined surface 3A without the rightward concave portion of the wheel 1A is formed as shown in FIG. 20, the rightward inclined surface 3A It is formed by grinding|polishing (3a) and removing the recessed part 22 of the inclined surface 3a of a right direction (process D). In step D, the position of the blade tip 21 of the second blade 20 is maintained. Accordingly, in Fig. 9, the inclination angle of the left and right inclined surfaces 3a and 3A with respect to the perpendicular (not shown) passing through the blade tips 11 and 21 of the first and second blades 10 and 20 is the inclined surface ( 3A) is slightly smaller.

도 21 및 도 22는, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠(101)의 부분 측면도 및 부분 사시도이다. 도 23은 도 21의 일부 확대도이다. 이하의 휠(101) 및 휠(201)의 설명에 있어서, 앞서 서술한 휠(1)과 실질적으로 공통되는 구성, 예를 들어 본체부(2), 외주부(3) 등에 대해서는, 휠(1)과 동일한 참조 번호를 사용하고 그것들의 설명을 생략한다. 휠(101)은, 외주부(3)의 반경 방향 외측 단부인 모서리부(4)에, 제1 날(110)과 제2 날(120)을 원주 방향 교대로 구비한다. 외주부(3)의 좌우 한 쌍의 경사면(3a)은, 모서리부(4)에서 V자상으로 교차하여 제1 날(110)을 정의한다. 좌우의 경사면(3a)에는, 좌우 한 쌍의 오목부(122)가 원주 방향 소정 간격으로 마련된다. 좌우의 오목부(122)는, 모서리부(4)에서 V자상으로 교차하여 제2 날(120)을 정의한다. 본 실시 형태에서, 제1 날(110)의 날끝(111)의 위치와 제2 날(120)의 날끝(121)의 위치의 반경 방향에서의 차(S)는 0.4㎛이다. 또한, 제1 날(110)의 각도(A1)는 120°, 제2 날(120)의 각도(A2)는 108°이다.21 and 22 are a partial side view and a partial perspective view of a scribing wheel 101 according to a third embodiment of the present invention. 23 is a partially enlarged view of FIG. 21 . In the following description of the wheel 101 and the wheel 201, for the configuration substantially common to the wheel 1 described above, for example, the body part 2, the outer peripheral part 3, etc., the wheel 1 Use the same reference numbers as and omit their description. The wheel 101 is provided with the first blade 110 and the second blade 120 alternately in the circumferential direction on the corner portion 4 which is the radially outer end of the outer peripheral portion 3 . A pair of left and right inclined surfaces 3a of the outer peripheral portion 3 intersect in a V-shape at the corner portion 4 to define the first blade 110 . A pair of left and right concave portions 122 are provided in the left and right inclined surfaces 3a at predetermined intervals in the circumferential direction. The left and right concave portions 122 intersect in a V-shape at the corner portion 4 to define the second blade 120 . In the present embodiment, the difference S in the radial direction between the position of the blade tip 111 of the first blade 110 and the position of the blade tip 121 of the second blade 120 is 0.4 μm. In addition, the angle A1 of the first blade 110 is 120°, and the angle A2 of the second blade 120 is 108°.

도 23을 참조하여, 각 오목부(122)는, 오목함의 깊이가 가장 깊어지는 원주 방향 중간의 저부(122a)와, 저부(122a)로부터 원주 방향에 있어서 인접하는 2개의 제1 날(110)에 깊이를 점차 얕게 하면서 연결되는 2개의 바닥 측부(122b)를 포함한다. 본 실시 형태에서는, 각 바닥 측부(122b)는 반경 방향 내측으로 볼록해지는 만곡면이다. 좌우의 오목부(122)가 정의하는 제2 날(120)의 날끝(121)도 저부(122a)에 대응하는 부분(122a)(편의적으로 동일한 참조 번호를 사용함)과 2개의 바닥 측부(122b)에 대응하는 부분(122b)(편의적으로 동일한 참조 번호를 사용함)을 포함한다. 휠(101)에서는, 원주 방향으로 인접하는 바닥 측부(122b)와 제1 날(110)의 경계의 볼록형의 곡률 반경(R1')은, 원주 방향으로 인접하는 바닥 측부(122b)와 저부(122a)의 경계의 오목형의 곡률 반경(R2')보다도 작다(R1'<R2'). 또한, R1'+R2'=일정이다.Referring to Fig. 23, each concave portion 122 has a bottom portion 122a in the circumferential direction where the depth of the depression is the deepest, and two first blades 110 adjacent in the circumferential direction from the bottom portion 122a. It includes two bottom sides 122b connected with progressively shallower depth. In this embodiment, each bottom side part 122b is a curved surface which becomes radially inwardly convex. The blade tip 121 of the second blade 120 defined by the left and right concave portions 122 also includes a portion 122a (using the same reference number for convenience) corresponding to the bottom portion 122a and two bottom side portions 122b. and a portion 122b (using the same reference numerals for convenience) corresponding to . In the wheel 101 , the convex radius of curvature R1 ′ of the boundary between the circumferentially adjacent bottom side 122b and the first blade 110 is the circumferentially adjacent bottom side 122b and bottom 122a . ) is smaller than the radius of curvature R2' of the concave shape of the boundary (R1'<R2'). In addition, R1'+R2'=constant.

도 24는 휠(101)이 유리 기판의 표면에 부여한 스크라이브 라인(SL3)을 도시하는 모식도이다. 스크라이브 라인(SL3)은, 휠(101)의 제1 날(110)에 의한 비교적 굵은 라인 부분(L11)과 제2 날(120)에 의한 비교적 가는 라인 부분(L12)이 교대로 연속된다. 스크라이브 라인(SL3)에는, 휠(101)의 오목부(122)의 바닥 측부(122b)와 제1 날(110)의 사이의 곡률 반경(R1')에 대응하는 모서리(C1')가 생긴다. 이러한 모서리(C1')로부터는 스크라이브 라인(SL3)의 외측의 수평 방향으로 마이크로 크랙(mc)(도 11 참조)이 발생하기 쉬운데, 제1 날(110)의 날끝(111)과 제2 날(120)의 날끝(121)의 반경 방향 간격(S)을 5㎛ 미만으로 함으로써, 그러한 마이크로 크랙(mc)의 발생을 저감 또는 억제할 수 있다.24 is a schematic diagram showing a scribe line SL3 provided by the wheel 101 to the surface of the glass substrate. In the scribe line SL3 , a relatively thick line portion L11 by the first blade 110 of the wheel 101 and a relatively thin line portion L12 by the second blade 120 alternately continue. The scribe line SL3 has an edge C1 ′ corresponding to the radius of curvature R1 ′ between the bottom side 122b of the concave portion 122 of the wheel 101 and the first blade 110 . Microcracks mc (see FIG. 11 ) are likely to occur in the horizontal direction on the outside of the scribe line SL3 from the edge C1 ', the blade tip 111 and the second blade of the first blade 110 ( By making the radial distance S of the blade tip 121 of 120) less than 5 μm, it is possible to reduce or suppress the occurrence of such microcracks mc.

도 25 및 도 26은, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 스크라이빙 휠(201)의 부분 측면도 및 부분 사시도이다. 도 27은 도 25의 일부 확대도이다. 휠(201)은, 외주부(3)의 반경 방향 외측 단부인 모서리부(4)에, 제1 날(210)과 제2 날(220)을 원주 방향 교대로 구비한다. 외주부(3)의 좌우 한 쌍의 경사면(3a)은, 모서리부(4)에서 V자상으로 교차하여 제1 날(210)을 정의한다. 좌우의 경사면(3a)에는, 좌우 한 쌍의 오목부(222)가 원주 방향 소정 간격으로 마련된다. 좌우의 오목부(222)는, 모서리부(4)에서 V자상으로 교차하여 제2 날(220)을 정의한다. 본 실시 형태에서, 제1 날(210)의 날끝(211)의 위치와 제2 날(220)의 날끝(221)의 위치의 반경 방향에서의 차(S)는 0.4㎛이다. 또한, 제1 날(210)의 각도(A1)는 120°, 제2 날(220)의 각도(A2)는 108°이다.25 and 26 are a partial side view and a partial perspective view of a scribing wheel 201 according to a fourth embodiment of the present invention. FIG. 27 is a partially enlarged view of FIG. 25 . The wheel 201 is provided with the first blade 210 and the second blade 220 alternately in the circumferential direction on the corner portion 4 which is the radially outer end of the outer peripheral portion 3 . A pair of left and right inclined surfaces 3a of the outer peripheral portion 3 intersect in a V-shape at the corner portion 4 to define the first blade 210 . A pair of left and right concave portions 222 are provided in the left and right inclined surfaces 3a at predetermined intervals in the circumferential direction. The left and right concave portions 222 intersect in a V-shape at the corner portion 4 to define the second blade 220 . In the present embodiment, the difference S in the radial direction between the position of the blade tip 211 of the first blade 210 and the position of the blade tip 221 of the second blade 220 is 0.4 µm. In addition, the angle A1 of the first blade 210 is 120°, and the angle A2 of the second blade 220 is 108°.

도 27을 참조하여, 각 오목부(222)는, 오목함의 깊이가 가장 깊어지는 원주 방향 중간의 저부(222a)와, 저부(222a)로부터 원주 방향에 있어서 인접하는 2개의 제1 날(210)에 깊이를 점차 얕게 하면서 연결되는 2개의 바닥 측부(222b)를 포함한다. 본 실시 형태에서는, 각 바닥 측부(222b)는, 반경 방향 외측으로 볼록해지는 만곡면이다. 좌우의 오목부(222)가 정의하는 제2 날(220)의 날끝(221)도, 저부(222a)에 대응하는 부분(222a)(편의적으로 동일한 참조 번호를 사용함)과 2개의 바닥 측부(222b)에 대응하는 부분(222b)(편의적으로 동일한 참조 번호를 사용함)을 포함한다. 휠(201)에서는, 원주 방향으로 인접하는 바닥 측부(222b)와 제1 날(210)의 경계의 볼록형의 곡률 반경(R1)은, 원주 방향으로 인접하는 바닥 측부(222b)와 저부(222a)의 경계의 오목형의 곡률 반경(R2)보다도 크다(R1>R2). 또한, R1+R2=일정이다.Referring to Fig. 27, each concave portion 222 has a bottom portion 222a in the circumferential direction where the depth of the depression is deepest, and two first blades 210 adjacent to each other in the circumferential direction from the bottom portion 222a. It includes two bottom sides 222b connected with progressively shallower depth. In this embodiment, each bottom side part 222b is a curved surface which becomes convex radially outward. The blade tip 221 of the second blade 220 defined by the concave portions 222 on the left and right also includes a portion 222a (using the same reference number for convenience) corresponding to the bottom portion 222a and two bottom side portions 222b ) corresponding to a portion 222b (using the same reference numerals for convenience) is included. In the wheel 201, the convex radius of curvature R1 of the boundary between the circumferentially adjacent bottom side 222b and the first blade 210 is the circumferentially adjacent bottom side 222b and the bottom 222a. It is larger than the radius of curvature (R2) of the concave shape of the boundary (R1>R2). Also, R1+R2=constant.

도 28은 휠(201)이 유리 기판의 표면에 부여한 스크라이브 라인(SL4)을 도시하는 모식도이다. 스크라이브 라인(SL4)은, 휠(201)의 제1 날(210)에 의한 비교적 굵은 라인 부분(L21)과 제2 날(220)에 의한 비교적 가는 라인 부분(L22)이 교대로 연속된다. 스크라이브 라인(SL4)에서는, 오목부(222)의 바닥 측부(222b)와 제1 날(210)의 사이의 곡률 반경(R1)이 비교적 크기 때문에, 스크라이브 라인(SL3)(도 24 참조)의 모서리(C1')와 같은 모서리가 생기지 않는다. 그 때문에, 마이크로 크랙(mc)의 발생을 보다 한층 저감 또는 억제할 수 있다. 또한, 바닥 측부(222b)와 저부(222a)의 사이의 비교적 작은 곡률 반경(R2)에 의해, 스크라이브 라인(SL4)에서의 비교적 굵은 라인 부분(L21)과 비교적 가는 라인 부분(L22)의 사이에 수평 마이크로 크랙이 발생하기 쉬워지지만, 이 마이크로 크랙은 스크라이브 라인(SL4)의 외측이 아니라 내측에 발생하기 때문에, 전혀 문제는 없다.28 is a schematic diagram showing a scribe line SL4 provided by the wheel 201 to the surface of the glass substrate. In the scribe line SL4 , a relatively thick line portion L21 by the first blade 210 of the wheel 201 and a relatively thin line portion L22 by the second blade 220 alternately continue. In the scribe line SL4, since the radius of curvature R1 between the bottom side 222b of the concave portion 222 and the first blade 210 is relatively large, the edge of the scribe line SL3 (see Fig. 24) No corners like (C1') are produced. Therefore, the generation of microcracks mc can be further reduced or suppressed. Further, between the relatively thick line portion L21 and the relatively thin line portion L22 in the scribe line SL4 due to the relatively small radius of curvature R2 between the bottom side 222b and the bottom 222a. Although horizontal microcracks tend to occur, there is no problem at all because these microcracks occur inside rather than outside the scribe line SL4.

1, 1A, 61, 61A, 101, 201: 스크라이빙 휠
2: 개체부
3: 외주부
3a: 한 쌍의 경사면
3A: 오목부를 없앤 경사면
4: 모서리부
10, 70, 110, 210: 제1 날
11, 71, 111, 211: 제1 날의 날끝
20, 80, 120, 220: 제2 날
21, 81, 121, 221: 제2 날의 날끝
22, 82, 122, 222: 오목부
122a, 222a: 저부
122b, 222b: 바닥 측부
SL1, SL2, SL3, SL4: 스크라이브 라인
C1': 모서리
R1, R1',R2, R2': 곡률 반경1, 1A, 61, 61A, 101, 201: scribing wheel
2: object part
3: Outsourcing
3a: a pair of slopes
3A: Inclined surface with no concavities
4: corner
10, 70, 110, 210: Day 1
11, 71, 111, 211: the edge of the first blade
20, 80, 120, 220: 2nd day
21, 81, 121, 221: the edge of the second blade
22, 82, 122, 222: recesses
122a, 222a: bottom
122b, 222b: bottom side
SL1, SL2, SL3, SL4: scribe line
C1': edge
R1, R1',R2, R2': radius of curvature

Claims (9)

취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 부여하기 위한 디스크상의 스크라이빙 휠이며,
상기 스크라이빙 휠의 외주부에 제1 날과 제2 날을 원주 방향 교대로 구비하고,
상기 외주부는, V자상으로 교차하여 상기 제1 날을 이루는 한 쌍의 경사면과, 상기 한 쌍의 경사면의 한쪽 또는 양쪽으로부터 오목해져서 상기 제2 날을 이루는 오목부를 포함하고,
상기 제1 날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차가 0.5㎛ 미만인 것을 특징으로 하는, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠.a scribing wheel on a disk for imparting a scribe line to a brittle material substrate,
A first blade and a second blade are alternately provided on the outer periphery of the scribing wheel in the circumferential direction,
The outer peripheral portion includes a pair of inclined surfaces that intersect in a V-shape to form the first blade, and a concave portion that is concave from one or both of the pair of inclined surfaces to form the second blade,
A scribing wheel for a brittle material substrate, characterized in that the difference in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade is less than 0.5 μm. 제1항에 있어서, 상기 제2 날의 각도가 상기 제1 날의 각도보다 작은 것을 특징으로 하는, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠.The scribing wheel according to claim 1, characterized in that the angle of the second blade is smaller than the angle of the first blade. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차가 0인 것을 특징으로 하는, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠.The scribing wheel for a brittle material substrate according to claim 1 or 2, wherein the difference in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade is zero. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 오목부는, 상기 한 쌍의 경사면의 한쪽만으로부터 오목해져서 상기 제2 날을, 상기 한 쌍의 경사면의 다른 쪽과 함께 이루는 것을 특징으로 하는, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠.The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the concave portion is concave from only one of the pair of inclined surfaces to form the second blade together with the other side of the pair of inclined surfaces. , scribing wheel for brittle material substrates. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차가 0.2㎛ 이상이고 0.5㎛ 미만이며,
상기 오목부 각각은, 상기 한 쌍의 경사면의 한쪽 또는 양쪽으로부터의 오목함의 깊이가 가장 깊어지는 원주 방향 중간의 저부와, 상기 저부로부터 원주 방향에 있어서 인접하는 2개의 상기 제1 날에 상기 깊이를 점차 얕게 하면서 연결되는 2개의 바닥 측부를 포함하고,
서로 인접하는 상기 바닥 측부와 상기 제1 날의 경계의 곡률 반경은, 서로 인접하는 상기 바닥 측부와 상기 저부의 경계의 곡률 반경보다도 큰 것을 특징으로 하는, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠.The method according to any one of claims 1 to 4, wherein the difference in the radial direction between the edge position of the first blade and the edge position of the second blade is 0.2 μm or more and less than 0.5 μm,
Each of the concave portions includes a bottom portion in the circumferential direction at which the depth of the depression from one or both sides of the pair of inclined surfaces becomes the deepest, and the two adjacent first blades from the bottom portion in the circumferential direction. comprising two bottom sides connected while being shallow;
A scribing wheel for a brittle material substrate, characterized in that a radius of curvature of a boundary between the bottom side and the first blade adjacent to each other is larger than a radius of curvature at a boundary between the bottom side and the bottom adjacent to each other. 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 부여하기 위한 디스크상의 스크라이빙 휠을 제조하는 방법이며,
상기 스크라이빙 휠이 되는 원체의 외주부에 한 쌍의 원 경사면을 가공하는 공정 A이며, 상기 한 쌍의 원 경사면이 V자상으로 교차하여 제1 원날을 이루는 공정 A와,
상기 한 쌍의 원 경사면의 양쪽으로부터 오목해지는 한 쌍의 오목부를 원주 방향 소정 간격으로 가공하는 공정 B이며, 상기 한 쌍의 오목부가 제2 날을 이루고, 상기 제1 원날과 상기 제2 날이 원주 방향 교대로 되고 또한 상기 제1 원날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차를 0.5㎛ 이상으로 하는 공정 B와,
상기 한 쌍의 원 경사면을 연마해서 한 쌍의 경사면으로 하는 공정 C이며, 상기 한 쌍의 경사면이 V자상으로 교차하여 제1 날을 이루고 또한 상기 제1 날의 날끝 위치와 상기 제2 날의 날끝 위치의 반경 방향에서의 차를 0 이상이고 0.5㎛ 미만으로 하는 공정 C를 포함하는 것을 특징으로 하는, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠 제조 방법.A method of manufacturing a scribing wheel on a disk for imparting a scribe line to a brittle material substrate, the method comprising:
Process A of machining a pair of circular inclined surfaces on the outer periphery of the original body to be the scribing wheel, Step A of forming a first circular blade by crossing the pair of circular inclined surfaces in a V shape;
a step B of machining a pair of concave portions concave from both sides of the pair of circular inclined surfaces at predetermined intervals in the circumferential direction, wherein the pair of concave portions form a second blade, and the first circular blade and the second blade are circumferentially a step B of alternating directions and making the difference in the radial direction between the edge position of the first circular blade and the edge position of the second blade 0.5 µm or more;
Step C of grinding the pair of circular inclined surfaces to form a pair of inclined surfaces, wherein the pair of inclined surfaces intersect in a V shape to form a first blade, and the position of the edge of the first blade and the edge of the second blade A method for manufacturing a scribing wheel for a brittle material substrate, comprising a step C of making a difference in the radial direction of the positions equal to or greater than 0 and less than 0.5 μm. 제6항에 있어서, 상기 공정 B에서, 상기 제2 날의 각도를 상기 제1 원날의 각도보다도 작게 하고, 상기 공정 C에서, 상기 제1 날의 각도를 상기 제2 날의 각도보다도 크게 하는 것을 특징으로 하는, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠 제조 방법.7. The method according to claim 6, wherein in the step B, the angle of the second blade is made smaller than the angle of the first circular blade, and in the step C, the angle of the first blade is made larger than the angle of the second blade. A method of manufacturing a scribing wheel for a brittle material substrate, characterized in that it. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 공정 C 후에, 상기 한 쌍의 경사면의 한쪽을 연마하여, 이 한 쪽의 경사면에서의 상기 오목부를 없애는 공정 D를 포함하는 것을 특징으로 하는, 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠 제조 방법.The brittle material substrate according to claim 6 or 7, wherein after the step C, a step D of grinding one of the pair of inclined surfaces to remove the concave portion on the one inclined surface is included. How to make a scribing wheel for a dragon. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 스크라이빙 휠을 사용해서 절단한 취성 재료 기판.A brittle material substrate cut using the scribing wheel according to any one of claims 1 to 5.
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