KR102453527B1

KR102453527B1 - Cutter wheel

Info

Publication number: KR102453527B1
Application number: KR1020170172463A
Authority: KR
Inventors: 다카히로 지누시; 히로시 아베
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2016-12-28
Filing date: 2017-12-14
Publication date: 2022-10-12
Also published as: KR20180077025A; JP6897951B2; CN108249749A; TW201825418A; JP2018108660A; CN108249749B; TWI752133B

Abstract

[과제] 기판에 대해서 확실히 파고들어 고침투로 깨끗한 스크라이브 라인을 형성할 수 있고, 이것에 의해, 단면(端面) 강도가 뛰어난 단위 제품으로 분단할 수 있는 커터 휠을 제공한다.
[해결 수단] 원주면에 서로 교차하는 2개의 경사면(3a, 3a)에 의한 V자형 칼끝 능선(4)을 가지며, 이 칼끝 능선(4)의 전역(全域)에 소정의 피치(P)로 홈부(5)가 가공되고, 당해 홈부(5)와 남은 칼끝 능선부(6)가 교호로 형성되어 있으며, 홈부(5)의 깊이(5b)가 1~3㎛이고, 당해 홈부(5)의 길이(5a)가 홈부(5)의 깊이(5b)의 3.5~8배로 형성되며, 칼끝 능선부(6)의 길이(6a)가 5~15㎛로 형성하는 것에 의해, 상흔이 없는 고침투의 스크라이브 라인(S)을 형성할 수 있도록 한다. [Problem] To provide a cutter wheel capable of forming a clean scribe line with high penetration by firmly penetrating the substrate, and thereby being able to divide into unit products with excellent cross-sectional strength.
[Solution Means] Having a V-shaped tip ridge line 4 by two inclined surfaces 3a and 3a intersecting each other on the circumferential surface, and a groove portion with a predetermined pitch P over the entire area of the tip ridge line 4 (5) is processed, the groove portion 5 and the remaining edge ridge portions 6 are formed alternately, the depth 5b of the groove portion 5 is 1-3 μm, and the length of the groove portion 5 (5a) is formed by 3.5 to 8 times the depth (5b) of the groove portion (5), and the length (6a) of the tip ridge portion (6) is formed to be 5 to 15 µm, high penetration scribe without scarring To be able to form a line (S).

Description

Cutter Wheel{CUTTER WHEEL}

본 발명은, 유리 등의 취성(脆性) 재료 기판이나, 2매의 취성 재료 기판을 접합시킨 접합 기판의 표면에 분단(分斷)용 스크라이브 라인(scribe line)(절단 홈)을 가공할 때에 사용되는 커터 휠('스크라이빙 휠'이라고도 함)에 관한 것이다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used when processing a scribe line (cut groove) for cleavage on the surface of a brittle material substrate such as glass or a bonded substrate in which two brittle material substrates are bonded. It relates to a cutter wheel (also called a 'scribing wheel') that becomes

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판(이하 「기판」이라고도 함)을 분단하는 가공에서는, 커터 휠을 기판 표면에 밀어 붙여 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후, 스크라이브 라인을 따라서 이면측으로부터 외력을 인가하여 기판을 휘게 하는 것에 의해, 단위 기판마다 분단하는 방법이 일반적으로 알려져 있으며, 예를 들면, 특허 문헌 1에 개시되어 있다. Conventionally, in the processing of dividing a brittle material substrate (hereinafter also referred to as a “substrate”) such as a glass substrate, a cutter wheel is pressed against the substrate surface to form a scribe line, and then an external force is applied from the back side along the scribe line A method of dividing for each unit substrate by bending the substrate is generally known, and is disclosed in Patent Document 1, for example.

취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 가공하는 커터 휠은, 직경 1~4mm인 원판체의 원주면에 서로 교차하는 2개의 경사면에 의한 V자형 칼끝을 가지며, 중심에 장착용 베어링 구멍을 구비한 커터 휠이 이용된다. A cutter wheel for processing a scribe line on a brittle material substrate has a V-shaped knife tip with two inclined surfaces intersecting each other on the circumferential surface of a disk body with a diameter of 1 to 4 mm, and a cutter wheel with a bearing hole for mounting in the center. used

상기의 커터 휠로서, 칼끝 능선이 매끄럽게 마무리된 커터 휠(이하 이것을 「노멀 커터 휠」이라고 함)과, 칼끝 능선에 소정의 피치로 홈부(노치)를 마련한 커터 휠(이하 이것을 「홈 형성 커터 휠」이라고 함)이 있다. 후자의 홈 형성 커터 휠에서는, 홈부의 피치가 예를 들면 20~200μm로 형성되고, 홈부의 칼끝 능선 방향을 따른 길이가 홈의 깊이에 대해서 1.5~2.5배의 비율로 형성되어 있는 것이 일반적이다. As the above cutter wheel, a cutter wheel with a smooth cutting edge ridge (hereinafter referred to as a “normal cutter wheel”), and a cutter wheel having grooves (notches) at a predetermined pitch on the tip ridge line (hereinafter referred to as “grooving cutter wheel”) ' is called). In the latter groove forming cutter wheel, it is common that the pitch of the grooves is formed, for example, of 20 to 200 μm, and the length of the grooves along the edge of the ridge line is formed in a ratio of 1.5 to 2.5 times the depth of the groove.

이들 커터 휠에 의해서 형성되는 스크라이브 라인에 대해서, 도 3을 참조하면서 설명한다. 도 3은, 기판에 형성되는 스크라이브 라인의 리브(rib) 마크 및 수직 크랙을 나타내는 것으로서, 도 3의 (a)는 스크라이브 라인 방향을 따른 단면도이며, 도 3의 (b)는 스크라이브 라인에 직교하는 방향을 따른 단면도이다. A scribe line formed by these cutter wheels will be described with reference to FIG. 3 . FIG. 3 is a rib mark and vertical crack of a scribe line formed on a substrate, and FIG. 3 (a) is a cross-sectional view along the scribe line direction, and FIG. 3 (b) is orthogonal to the scribe line. It is a cross-sectional view along the direction.

스크라이브 라인(S)은, 기판 표면의 커터 휠이 파고드는 흔적인 소성 변형 영역과, 소성 변형 영역 바로 아래에 생기고, 기판(W)의 두께 방향으로 침투하는 수직 크랙(8)에 의해 형성된다. 수직 크랙(8)의 상부에는 소정의 깊이에 걸쳐서 리브 마크(7)로 불리는 특징적인 흔적이 생긴다. 도 3의 L1은 기판(W) 표면으로부터의 리브 마크량(깊이)을 나타내고, L2는 기판(W) 표면으로부터의 수직 크랙량(침투 깊이)을 나타내는 것이다. The scribe line S is formed by a plastic deformation region that is a trace of the cutter wheel on the surface of the substrate, and a vertical crack 8 that is generated immediately below the plastic deformation region and penetrates in the thickness direction of the substrate W. On the upper portion of the vertical crack 8, a characteristic trace called a rib mark 7 is formed over a predetermined depth. L1 in FIG. 3 indicates the amount of rib marks (depth) from the surface of the substrate W, and L2 indicates the amount of vertical cracks (penetration depth) from the surface of the substrate W. As shown in FIG.

노멀 커터 휠에서는, 스크라이브 라인 형성시에 깨끗한 홈면을 형성할 수 있지만, 그 반면, 기판 표면에 대해서 파고드는 힘이 작아 칼끝이 미끄러지기 쉽다고 한 문제점이 있다. 이것에 대해, 칼끝 능선에 홈부(노치)를 마련한 홈 형성 커터 휠에서는, 홈부와 칼끝 능선부(볼록부)가 교호로 형성되는 것에 의해, 노멀 커터 휠에 비해 높은 스크라이브 하중으로 기판 표면에 파고들 수 있어, 상기한 리브 마크나 수직 크랙에 의한 스크라이브 라인을 효과적으로 형성할 수 있다. In the normal cutter wheel, a clean groove surface can be formed at the time of forming the scribe line, but on the other hand, there is a problem that the cutting force is small with respect to the substrate surface and the tip of the knife is easy to slip. On the other hand, in a groove forming cutter wheel in which a groove portion (notch) is provided in the edge ridge line, the groove portion and the blade tip ridge portion (convex portion) are formed alternately, so that the substrate surface is digged with a higher scribe load than in a normal cutter wheel. Therefore, it is possible to effectively form a scribe line by the above-described rib mark or vertical crack.

특허 문헌 1 : 일본특허 제3787489호 공보Patent Document 1: Japanese Patent No. 3787489

그러나, 상기의 홈 형성 커터 휠이라도, 액정 표시 패널 등의 접합 기판에서의 씰부 바로 위에서의 스크라이브 라인의 가공에는 문제가 있었다. However, even with the above-described groove forming cutter wheel, there was a problem in processing the scribe line directly above the seal portion in a bonded substrate such as a liquid crystal display panel.

도 7 및 도 8은, 분단 전의 액정 표시 패널의 마더(mother) 기판을 나타내는 것으로서, 2매의 대면적 유리 기판(W, W), 즉, 액정을 구동하는 박막 트랜지스터 TFT(Thin Film Transistor) 등의 전자 디바이스가 형성된 유리 기판과, 대향 전극이 형성된 유리 기판을, 씰부(10)를 매개로 하여 복수의 액정 주입 영역(11)을 이루도록 접합시켜 형성되어 있다. 그리고, 근래에는 이 씰부(10)의 바로 위 위치에서 대면적(大面積) 유리 기판(W)에 커터 휠(12)에 의해 스크라이브 라인(S)을 가공하고, 다음의 공정에서 스크라이브 라인(S)으로부터 단위 제품으로 분단하도록 하고 있다. 7 and 8 show a mother substrate of the liquid crystal display panel before division, and two large-area glass substrates W and W, that is, a thin film transistor TFT (Thin Film Transistor) for driving liquid crystal, etc. It is formed by bonding the glass substrate on which the electronic device of , and the glass substrate on which the counter electrode was formed, via the seal part 10 so as to form a plurality of liquid crystal injection regions 11 . And, in recent years, a scribe line (S) is processed by a cutter wheel (12) on a large-area glass substrate (W) at a position directly above this seal part (10), and the scribe line (S) in the following process ) to be divided into unit products.

이 씰부(10)의 바로 위에서 커터 휠(12)을 이용하여 유리 기판(W)에 스크라이브 라인(S)을 가공하는 경우, 종래의 홈 형성 커터 휠에서는, 씰부(10)의 소재가 가지는 탄성 등이나 씰에 의한 기판의 내부 응력의 변화에 의해, 기판 표면에 수평 방향으로 갈라지는 불규칙한 균열(수평 크랙)이 생기기 쉽고, 혹은 수직 크랙을 충분히 형성할 수 없다고 하는 문제점이 있었다. 수직 크랙이 불충분하면, 스크라이브 라인에서 분단할 수 없거나, 분단면에 상흔 등의 파괴가 생기거나 하여 단면(端面) 강도가 열화하는 등의 결함이 발생하여, 불량품의 발생 빈도가 높아진다. When the scribe line S is machined on the glass substrate W by using the cutter wheel 12 just above the seal part 10, in the conventional groove forming cutter wheel, the elasticity of the material of the seal part 10, etc. However, there is a problem that irregular cracks (horizontal cracks) that split in the horizontal direction are easily generated on the surface of the substrate due to changes in the internal stress of the substrate due to the seal, or that vertical cracks cannot be sufficiently formed. Insufficient vertical cracks cause defects such as inability to separate at the scribe line, damage such as scars or the like on the sectioned surface, and deterioration of cross-sectional strength, increasing the frequency of occurrence of defective products.

그래서 본 발명은, 유리 등의 취성 재료 기판에 대해서 수평 크랙이 적고, 고침투(高浸透)의 스크라이브 라인을 형성할 수 있어, 이것에 의해 단면 강도가 뛰어난 단위 제품으로 분단할 수 있는 커터 휠을 제공하는 것을 목적으로 한다. Therefore, the present invention provides a cutter wheel that has few horizontal cracks with respect to a substrate of a brittle material such as glass, and can form a scribe line with high penetration, and thereby can be divided into unit products with excellent cross-sectional strength. intended to provide

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉 본 발명은, 원주면에 서로 교차하는 2개의 경사면에 의한 V자형 칼끝 능선을 가지며, 상기 칼끝 능선의 전역(全域)에 소정의 피치로 홈부가 가공되고, 상기 홈부와 남은 칼끝 능선부가 교호로 형성되어 있는 원판 모양의 커터 휠로서, 상기 홈부의 깊이가 1~3㎛로 형성되고, 상기 홈부의 길이가 상기 홈부의 깊이의 3.5~8배로 형성되며, 상기 칼끝 능선부의 길이가 5~15㎛로 형성되어 있는 구성으로 했다. In order to solve the above problems, the present invention devised the following technical means. That is, the present invention has a V-shaped edge ridge line by two inclined surfaces intersecting each other on the circumferential surface, and the groove part is machined at a predetermined pitch over the entire area of the edge ridge line, and the groove part and the remaining edge ridge part are alternately As a disk-shaped cutter wheel formed, the depth of the groove is formed to be 1-3 μm, the length of the groove is 3.5 to 8 times the depth of the groove, and the length of the ridge of the blade is 5 to 15 μm It was made into a composition formed by .

여기서, 상기 커터 휠의 직경을 1~5mm로 하고, 상기 2개의 경사면이 교차하는 칼끝 각도가 90~120°로 하는 것이 좋다. Here, it is preferable that the diameter of the cutter wheel be 1 to 5 mm, and the angle of the cutting edge at which the two inclined surfaces intersect is 90 to 120°.

상기와 같이 구성된 커터 휠에 의하면, 칼끝 능선부의 엣지가 기판에 파고들어 깊은 리브 마크를 형성함과 아울러, 분단에 필요한 고침투의 수직 크랙을 형성할 수 있다. 특히 본 발명에서는, 홈부의 길이를 상기 홈부의 깊이의 3~8배로 길게 했으므로, 칼끝 능선부에 하중을 집중시켜, 기판에 수직 크랙이 침투하기 어려운 조건에서도 스크라이브 라인을 고침투로 가공할 수 있음과 아울러, 수평 크랙의 발생을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 다음의 브레이크 공정에서 깨끗한 분단면으로 브레이크 할 수 있어, 단면(端面) 강도가 뛰어난 단위 제품을 얻을 수 있다고 하는 효과가 있다. According to the cutter wheel configured as described above, the edge of the tip of the ridge part digs into the substrate to form a deep rib mark, and it is possible to form a high penetration vertical crack required for division. In particular, in the present invention, since the length of the groove is increased to 3 to 8 times the depth of the groove, the load is concentrated on the ridge of the tip, and the scribe line can be processed with high penetration even under conditions where vertical cracks are difficult to penetrate into the substrate. In addition, generation of horizontal cracks can be suppressed. Thereby, there is an effect that it is possible to break with a clean dividing surface in the next breaking step, and a unit product having excellent cross-sectional strength can be obtained.

도 1은 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠의 측면도이다.
도 2는 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠의 정면도이다.
도 3은 취성 재료 기판에 형성되는 스크라이브 라인을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠을 이용한 스크라이브 시험 데이터를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4의 수치 데이터를 선그래프로 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠의 스크라이브 라인 형성 영역을 막대 그래프로 나타낸 도면이다.
도 7은 가공 대상이 되는 접합 기판을 나타내는 평면도이다.
도 8은 도 6의 단면도이다.
도 9는 스크라이브 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이다. 1 is a side view of a grooved cutter wheel according to the present invention;
Fig. 2 is a front view of the groove forming cutter wheel according to the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a scribe line formed on a brittle material substrate.
4 is a view showing scribing test data using the grooved cutter wheel according to the present invention.
5 is a diagram illustrating the numerical data of FIG. 4 as a line graph.
6 is a bar graph showing a scribe line forming area of the groove forming cutter wheel according to the present invention.
7 is a plan view showing a laminated substrate to be processed.
FIG. 8 is a cross-sectional view of FIG. 6 .
9 is a front view schematically showing a scribing device.

이하에서, 본 발명의 홈 형성 커터 휠에 대해서, 도면에 근거하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, the groove forming cutter wheel of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠(A)을 나타내는 측면도이며, 도 2는 그 정면도이다. 또, 도 1의 원으로 둘러싼 영역을 도 1의 우측 상부에서 확대하여 나타냈다. 이 홈 형성 커터 휠(A)은, 공구 특성이 뛰어난 금속 재료, 예를 들면 초경(超硬) 합금이나 소결 다이아몬드, 단결정 다이아몬드 등으로 제작되며, 원판 모양의 보디(1)의 중심에 장착용 베어링 구멍(2)을 가지며, 원주면에 서로 교차하는 좌우의 경사면(3a, 3a)으로 이루어지는 칼끝 능선(4)이 형성되어 있다. 홈 형성 커터 휠(A)의 직경(D)은 2~4mm의 것으로부터 선택되지만, 본 실시 형태에서는 직경(D)을 2mm로 했다. 또, 좌우의 경사면(3a, 3a)이 교차하는 칼끝 각도(α)가 100°또는 105°, 두께가 650μm, 베어링 구멍(2)의 내경이 0.8mm로 형성되어 있다. Fig. 1 is a side view showing a groove forming cutter wheel A according to the present invention, and Fig. 2 is a front view thereof. In addition, the area enclosed by the circle of FIG. 1 was enlarged and shown in the upper right of FIG. This groove forming cutter wheel A is made of a metal material with excellent tool properties, for example, cemented carbide, sintered diamond, single crystal diamond, etc., and is a bearing for mounting in the center of the disc-shaped body 1 . It has a hole 2, and the cutting edge ridgeline 4 which consists of left and right inclined surfaces 3a, 3a which crosses mutually on a circumferential surface is formed. Although the diameter D of the groove forming cutter wheel A is selected from the thing of 2-4 mm, in this embodiment, the diameter D was made into 2 mm. Moreover, the cutting edge angle (alpha) at which the left and right inclined surfaces 3a, 3a cross|intersect is 100 degrees or 105 degrees, the thickness is 650 micrometers, and the inner diameter of the bearing hole 2 is formed to 0.8 mm.

게다가, 본 발명의 홈 형성 커터 휠(A)은, 칼끝 능선(4)의 전역(全域)에 소정의 피치로 홈부(5 …)가 가공되며, 이 홈부(5)와, 남은 칼끝 능선부(6)가 교호로 형성되는 것에 의해 구성되어 있다. In addition, in the groove forming cutter wheel A of the present invention, groove portions 5 ... are machined at a predetermined pitch over the entire area of the edge ridge 4, and the groove portion 5 and the remaining edge ridge portions ( 6) is formed alternately.

본 발명의 홈 형성 커터 휠(A)의 제1 실시 형태에서는, 커터 휠 전체 둘레를 275분할하여 홈부(5)를 형성하고, 상기 홈부(5)의 깊이(5b)를 2.5μm로 하며, 홈부(5)의 원주 방향이 길이(5a)를 깊이(5b)의 약 4.5배인 11.5μm로 하고, 칼끝 능선부(6)의 원주 방향의 길이(6a)를 12.5μm로 형성했다. 또, 2개의 경사면(3a, 3a)이 교차하는 칼끝 각도(α)를 100°로 했다. 이하, 이 제1 실시 형태의 홈 형성 커터 휠을 휠 No.1으로 한다. In the first embodiment of the groove forming cutter wheel (A) of the present invention, a groove portion 5 is formed by dividing the entire circumference of the cutter wheel by 275, a depth 5b of the groove portion 5 is 2.5 μm, and the groove portion The circumferential direction of (5) made the length 5a into 11.5 micrometers which is about 4.5 times the depth 5b, and formed the length 6a of the circumferential direction of the edged ridge part 6 to 12.5 micrometers. Moreover, the cutting edge angle (alpha) at which the two inclined surfaces 3a, 3a intersect was made into 100 degrees. Hereinafter, the groove forming cutter wheel of this first embodiment is referred to as wheel No. 1.

제2 실시 형태에서는, 홈부(5)의 분할수(分割數)나 홈부(5)의 길이(5a) 및 깊이(5b), 칼끝 능선부(6)의 길이(6a)가 휠 No.1과 동일하고, 칼끝 각도(α)를 105°로 했다. 이하, 이것을 휠 No.2로 한다. In the second embodiment, the number of divisions of the groove portion 5, the length 5a and depth 5b of the groove portion 5, and the length 6a of the cutting edge ridge portion 6 are the same as those of wheel No. 1 In the same way, the tip angle (α) was 105°. Hereinafter, this is referred to as wheel No. 2.

제3 실시 형태에서는, 홈부(5)의 분할수가 275이며, 당해 홈부(5)의 깊이(5b)를 3μm로 하고, 홈부(5)의 길이(5a)를 11.5μm로 하며, 칼끝 능선부(6)의 길이(6a)를 12.5μm로 형성했다. 또, 칼끝 각도(α)를 100°으로 했다. 이하, 이것을 휠 No.3로 한다. In the third embodiment, the number of divisions of the grooves 5 is 275, the depth 5b of the grooves 5 is 3 µm, the length 5a of the grooves 5 is 11.5 µm, and the edge ridges ( The length 6a of 6) was formed to be 12.5 µm. Moreover, the cutting edge angle (alpha) was made into 100 degrees. Hereinafter, this will be referred to as wheel No. 3.

제4 실시 형태에서는, 홈부(5)의 분할수나 홈부(5)의 길이(5a) 및 깊이(5b), 칼끝 능선부(6)의 길이(6a)가 휠 No.3와 동일하고, 칼끝 각도(α)를 105°로 했다. 이하, 이것을 휠 No.4로 한다. In the fourth embodiment, the number of divisions of the groove portion 5, the length 5a and depth 5b of the groove portion 5, and the length 6a of the tip ridge portion 6 are the same as those of wheel No. 3, and the edge angle (α) was 105°. Hereinafter, this will be referred to as wheel No. 4.

제1 비교예에서는, 홈부(5)의 분할수가 300이며, 당해 홈부(5)의 깊이(5b)를 3μm로 하고, 홈부(5)의 길이(5a)를 9μm로 하며, 칼끝 능선부(6)의 길이(6a)를 8.5μm로 형성했다. 또, 칼끝 각도(α)를 100°로 했다. 이하, 이것을 휠 No.5로 한다. In the first comparative example, the number of divisions of the groove portion 5 is 300, the depth 5b of the groove portion 5 is 3 µm, the length 5a of the groove portion 5 is 9 µm, and the edge ridge portion 6 ) was formed with a length (6a) of 8.5 µm. Moreover, the cutting edge angle (alpha) was made into 100 degrees. Hereinafter, this is referred to as wheel No. 5.

제2 비교예에서는, 홈부(5)의 분할수나 홈부(5)의 길이(5a) 및 깊이(5b), 칼끝 능선부(6)의 길이(6a)가 휠 No.5와 동일하며, 칼끝 각도(α)를 105°로 했다. 이하, 이것을 휠 No.6로 한다. In the second comparative example, the number of divisions of the groove portion 5, the length 5a and depth 5b of the groove portion 5, and the length 6a of the tip ridge portion 6 are the same as those of wheel No. 5, and the blade angle (α) was 105°. Hereinafter, this is referred to as wheel No. 6.

상기와 같이 구성한 홈 형성 커터 휠(A)을, 도 9에 나타내는 스크라이브 장치(B)의 스크라이브 헤드(13)에 장착하고, 테이블(14) 상에 재치한 유리 기판(W)의 표면에 밀어 붙이면서 상대적으로 직선 이동시키는 것에 의해, 유리 기판(W)의 표면에 분단용 스크라이브 라인(S)을 가공한다. The groove forming cutter wheel A constructed as described above is attached to the scribing head 13 of the scribing device B shown in FIG. 9, and is pressed against the surface of the glass substrate W placed on the table 14. By relatively linearly moving, the scribe line S for division is processed on the surface of the glass substrate W.

이 때, 상기한 휠 No.1~6의 홈 형성 커터 휠(A)에서는, 모든 경우도 도 4, 5에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(W)에 리브 마크를 형성하는 것이 가능하여 수직 크랙을 형성할 수 있었다. At this time, in the groove forming cutter wheel A of wheel Nos. 1 to 6 described above, as shown in Figs. 4 and 5 in all cases, it is possible to form rib marks on the glass substrate W, so that vertical cracks are prevented. could form

도 4는 휠 No.1~6의 각 홈 형성 커터 휠(A)을 각각 0.05MPa, 0.06MPa, 0.07MPa의 스크라이브 하중으로 유리 기판(W)에 대해 복수회씩 스크라이브 시험했을 때의 리브 마크량(L1), 및 수직 크랙량(L2)의 평균치를 나타내는 것이다. 또, 가공 대상이 되는 유리 기판(W)은 두께 0.2mm의 것을 이용했다.4 is a rib mark amount ( L1) and the average value of the vertical crack amount L2 are shown. Moreover, the thing of thickness 0.2mm was used for the glass substrate W used as a process object.

게다가, 도 5는, 도 4의 각 수치 데이터를 선그래프로 나타낸 것으로서, 도 5의 (a)는 기판 표면으로부터 리브 마크의 깊이를 나타내는 것이며, 도 5의 (b)는 기판 표면으로부터 리브 마크를 포함한 수직 크랙의 깊이를 나타내는 것이다. In addition, Fig. 5 is a line graph showing each numerical data of Fig. 4, and Fig. 5 (a) shows the depth of the rib mark from the substrate surface, and Fig. 5 (b) shows the rib mark from the substrate surface. It represents the depth of the vertical cracks included.

또, 도 6은 각 홈 형성 커터 휠(A)의 스크라이브 하중의 관점으로부터 본 스크라이브 라인 형성 영역을 막대 그래프로 나타낸 것이다. 6 is a bar graph showing the scribe line formation area viewed from the viewpoint of the scribe load of each grooved cutter wheel A. As shown in FIG.

이것에 의하면, 본 발명에 관한 휠 No.1~6의 홈 형성 커터 휠(A)에서는, 최저의 42.99μm로부터 최고로 62.99μm인 깊은 리브 마크량(L1)이 검출되었다. 또, 수직 크랙량(L2)에서도 최저의 174.20μm로부터 최고로 190.12μm인 고침투의 수치가 검출되었다. 이 시험 데이터로부터, 유리 기판(W)에 확실히 리브 마크를 형성함과 아울러, 분단에 필요한 수직 크랙이 형성된 것을 알 수 있다. According to this, in the groove forming cutter wheels A of wheels Nos. 1 to 6 according to the present invention, the deep rib mark amount L1 of 42.99 µm at the minimum to 62.99 µm at the maximum was detected. Moreover, also in the vertical crack amount (L2), the numerical value of high penetration was detected from 174.20 micrometers as a minimum to 190.12 micrometers as a maximum. From this test data, while forming a rib mark reliably in the glass substrate W, it turns out that the vertical crack required for parting was formed.

여기서, 도 6으로부터, 칼끝 각도 100°인 No.1, 3, 5에 대해서는 비교적 저하중부터 리브 마크가 형성되어, 수직 크랙이 생기고 있는 것을 알 수 있다. 그러나, 비교예인 No.5에서는, 모든 영역에서 수직 크랙이 비교적 얕게 되어 있으며, 특히 저하중측인 0.05MPa에서 차이가 크게 되어 있다. 이것으로부터는, 동일 하중으로 스크라이브하고 있어도, No.1, 3에서는 보다 효율적으로 기판에 하중이 전하여 지고 있다고 생각되어진다. Here, from FIG. 6, it turns out that a rib mark is formed from a comparatively low load with respect to No. 1, 3, and 5 whose cutting edge angle is 100 degrees, and a vertical crack has arisen. However, in No. 5 which is a comparative example, the vertical crack is comparatively shallow in all the areas|regions, and the difference becomes large especially at 0.05 MPa which is a low load side. From this, even when scribing with the same load, it is considered that the load is transmitted to the substrate more efficiently in Nos. 1 and 3.

본 시험 조건에서는, 칼끝 각도 100°로 특히 이러한 경향이 현저하지만, 기판의 두께 등을 변경한 스크라이브 조건에서는 칼끝 각도 105°에서도 동일한 경향이 보여졌다. Under these test conditions, this tendency was particularly remarkable at a tip angle of 100°, but under the scribing conditions in which the thickness of the substrate was changed, the same tendency was observed even at a tip angle of 105°.

이와 같이, 홈부(5)의 길이(5a)를 홈부(5)의 깊이(5b)의 3.5~8배로 길게 함으로써, 칼끝 능선부(6)의 엣지에 하중이 집중되어, 스크라이브 영역의 저하중측에서도 효율 좋게 깊은 수직 크랙을 형성할 수 있음과 아울러, 여분의 하중에 의한 수평 크랙이 발생하기 어려워진다. In this way, by lengthening the length 5a of the groove portion 5 to 3.5 to 8 times the depth 5b of the groove portion 5, the load is concentrated on the edge of the tip ridge portion 6, and also on the low load side of the scribe area. While a deep vertical crack can be efficiently formed, it becomes difficult to generate|occur|produce the horizontal crack by an extra load.

통상, 씰 상(上)에서의 스크라이브에서는, 기판의 내부 응력의 변화에 의해 수직 크랙이 생기기 어렵고, 한편으로 수평 크랙이 생기기 쉽다. 그러나, 도 4에 나타내는 바와 같은 스크라이브 형성 영역의 0.05MPa의 비교적 낮은 스크라이브 하중으로, 스크라이브 라인(S)을 고침투로 가공하는 것을 용이하게 할 수 있다. 이것에 의해, 수평 크랙의 발생을 억제하고, 다음의 브레이크 공정으로 깨끗한 분단면으로 브레이크할 수 있어, 단면(端面) 강도가 뛰어난 단위 제품을 얻는 것이 가능해진다. Usually, in scribing on the seal, vertical cracks are unlikely to occur due to a change in internal stress of the substrate, and horizontal cracks are likely to occur on the other hand. However, with a relatively low scribe load of 0.05 MPa in the scribe formation region as shown in FIG. 4 , it is possible to easily process the scribe line S with high penetration. Thereby, generation of horizontal cracks can be suppressed, and it is possible to break into a clean sectioned surface in the next breaking step, and it becomes possible to obtain a unit product having excellent cross-sectional strength.

또, 시험 데이터의 제시는 생략하지만, 상기의 직경 2mm인 홈 형성 커터 휠(A)과 동일한 칼끝 구성을 가지는 직경 3mm인 홈 형성 커터 휠이나 직경 4mm인 홈 형성 커터 휠의 경우에서도, 상기한 직경 2mm인 홈 형성 커터 휠(A)과 동일한 깊은 리브 마크와 고침투의 수직 크랙을 가지는 깨끗한 스크라이브 라인을 형성할 수 있었다. In addition, although presentation of the test data is omitted, even in the case of a groove forming cutter wheel having a diameter of 3 mm or a groove forming cutter wheel having a diameter of 4 mm having the same tip configuration as that of the groove forming cutter wheel A having a diameter of 2 mm, the above diameter It was possible to form a clean scribe line with the same deep rib marks and high penetration vertical cracks as the 2 mm grooved cutter wheel (A).

상기한 홈 형성 커터 휠(A)의 홈부(5)의 길이(5a) 및 깊이(5b)의 수치는, 가장 바람직한 일례로서 나타낸 것으로서, 본 발명은 상기의 수치로 한정되는 것은 아니며 이하의 범위 내에서 실시할 수 있다. 즉, 홈부(5)의 깊이(5b)는 1~3μm, 홈부(5)의 길이(5a)는 깊이(5b)의 3.5~8배, 칼끝 능선부의 길이가 5~15μm의 범위 내에서 실시 가능하다. 또, 칼끝 각도(α)도 90~120°의 범위의 것을 허용할 수 있다. 게다가, 홈부(5)의 측면 형상도, 도 1에 나타낸 사다리꼴 모양을 대신하여 V자형 형상이나 원호 형상으로 해도 괜찮다. The numerical values of the length 5a and the depth 5b of the groove portion 5 of the groove forming cutter wheel A are shown as the most preferable examples, and the present invention is not limited to the above numerical values and is within the following ranges. can be carried out in That is, the depth 5b of the groove 5 is 1 to 3 μm, the length 5a of the groove 5 is 3.5 to 8 times the depth 5b, and the length of the tip ridge is 5 to 15 μm. do. Moreover, the thing of the range of 90-120 degrees can also be accepted for the angle of the blade tip (α). In addition, the side shape of the groove part 5 may also replace with the trapezoid shape shown in FIG. 1 and may be good also as a V shape or an arc shape.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시 형태에 특정되는 것이 아니라, 본 발명의 목적을 달성하고, 청구 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다. As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily specific to the said embodiment, It is to achieve the objective of this invention, and to correct and change suitably within the range which does not deviate from a claim. It is possible.

본 발명은, 유리 등의 취성 재료 기판이나, 2매의 취성 재료 기판을 접합시킨 접합 기판의 표면에 분단용 스크라이브 라인을 가공할 때에 사용되는 커터 휠에 바람직하게 이용된다. INDUSTRIAL APPLICABILITY INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is preferably used for a cutter wheel used when processing a scribe line for division on the surface of a brittle material substrate such as glass or a bonded substrate on which two brittle material substrates are bonded.

A : 홈 형성 커터 휠 B : 스크라이브 장치
S : 스크라이브 라인 W : 취성 재료 기판
α : 칼끝 각도 1 : 보디
2 : 베어링 구멍 3a : 경사면
4 : 칼끝 능선 5 : 홈부
5a : 홈부의 길이 5b : 홈부의 깊이
6 : 칼끝 능선부 6a : 칼끝 능선부의 길이
7 : 리브 마크 8 : 수직 크랙A: Grooving cutter wheel B: Scribing device
S: scribe line W: brittle material substrate
α: tip angle 1: body
2: bearing hole 3a: inclined plane
4: tip ridge line 5: groove part
5a: length of groove 5b: depth of groove
6: Blade tip ridge part 6a: Blade tip ridge part length
7: rib mark 8: vertical crack

Claims

It has a V-shaped edge ridge line by two inclined surfaces intersecting each other on the circumferential surface, and grooves are machined at a predetermined pitch over the entire area of the edge ridge, and the groove and the remaining edge ridges are alternately formed in a disk shape. As the cutter wheel of
The depth of the groove portion is formed to be 1 ~ 3㎛, the length of the groove portion is formed to be 3.5 ~ 8 times the depth of the groove portion, the cutter wheel is formed with a length of the ridge of the tip of the knife 5 ~ 15㎛.

The method according to claim 1,
The cutter wheel has a diameter of 1 to 5 mm, and a cutting edge angle of which the two inclined surfaces intersect is 90 to 120°.