KR20190028428A - 가요성 스탬프로 개별 기판을 임프린트하기 위한 장치 - Google Patents
가요성 스탬프로 개별 기판을 임프린트하기 위한 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20190028428A KR20190028428A KR1020197000647A KR20197000647A KR20190028428A KR 20190028428 A KR20190028428 A KR 20190028428A KR 1020197000647 A KR1020197000647 A KR 1020197000647A KR 20197000647 A KR20197000647 A KR 20197000647A KR 20190028428 A KR20190028428 A KR 20190028428A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- stamp
- clamp
- flexible
- belt
- length
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 84
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 8
- 235000019587 texture Nutrition 0.000 description 58
- 230000008859 change Effects 0.000 description 25
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 17
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M acrylate group Chemical group C(C=C)(=O)[O-] NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- -1 e.g. Substances 0.000 description 2
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 235000019589 hardness Nutrition 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 239000004235 Orange GGN Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000007764 slot die coating Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003319 supportive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F19/00—Apparatus or machines for carrying out printing operations combined with other operations
- B41F19/02—Apparatus or machines for carrying out printing operations combined with other operations with embossing
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41K—STAMPS; STAMPING OR NUMBERING APPARATUS OR DEVICES
- B41K3/00—Apparatus for stamping articles having integral means for supporting the articles to be stamped
- B41K3/44—Means for handling copy matter
- B41K3/50—Means for handling copy matter for conveying during stamping operation
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/2012—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image using liquid photohardening compositions, e.g. for the production of reliefs such as flexographic plates or stamps
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Labeling Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
경화성 래커를 개별 가요성 스탬프로 임프린트하고 임프린트된 래커를 경화시킴으로써 개별 기판들을 텍스처링 또는 패터닝하여 결과적으로 개별 기판 상의 추가 기능성 텍스처링된 층을 얻게 하는 장치가 제공되며, 상기 장치는 적어도 제 1 클램프 및 제 2 클램프, 제 1 롤러 및 상기 제 1 클램프와 연결되고 상기 제 2 클램프와 연결되며 상기 클램핑된 가요성 스탬프를 이동시킬 수 있는 적어도 하나의 종동 벨트를 구비하고, 상기 롤러는 자체 회전을 일으키지 못하지만, 차례로 벨트 구동 디바이스에 의해 구동되는 벨트에 의해서 차례로 구동되는 상기 스탬프에 의해 구동되거나 또는 상기 롤러는 마스터 슬레이브 구성에서 상기 벨트 구동 디바이스에 후속하는 롤러 구동 디바이스에 의해 벨트와 동일한 속도로 구동된다.
Description
본 발명은 가요성 스탬프로 경화성 래커를 임프린트하고 가요성 스탬프가 기판 상에 경화성 래커와 적층되는 동안 임프린팅된 래커를 경화시킴으로써 개별 기판(discrete substrate)을 텍스처링하거나 패터닝하고 이어서 해제하여 개별 기판 상에 추가 기능적 텍스처 층을 얻는 장치에 관한 것이다. 이 추가 층의 기능은 무엇보다 빛 관리 층(light management layer)에서 소수성 층(hydrophobic layer), 장식용 용도 또는 바이오센서에서 사용되는 것까지 다양할 수 있다. 본 발명은 또한 개별 기판을 텍스처링하거나 패터닝하기 위해 래커를 임프린트하는 가요성 스탬프뿐만 아니라 장치에 관한 것이다.
디바이스에서 기능성 텍스처 층을 사용하는 것은 중요한 주제이다. 이러한 층의 현명한 사용은 성능을 향상시키거나 비용을 줄이거나 제품의 시각적 외관을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 확산층이 디스플레이에 사용되어 보다 얇은 LED 백라이트 개념을 사용하고 디스플레이를 측면에서 조명할 수 있게 한다. 다른 새로운 하이테크 가능성은 더 많은 빛을 추출하기 위해 OLED(유기 발광 다이오드;Organic Light Emitting Diode) 조명 패널의 효율이나 통합을 향상시키는 기능성 텍스처 층을 태양 패널에 통합하는 것이다.
기능성 텍스처 층은 UV 임프린팅을 사용하여 만들 수 있다. 이 경우에, 기판 또는 스탬프 또는 둘 모두는 래커(수지 또는 레지스트)로 코팅된다. 그 사이에 래커로 기판 상의 스탬프를 누른 후, 텍스처 래커는 고체상으로 경화된다. 경화 방법은 열 또는 UV 광의 사용이 가능하다. 이미 1978 년에, 이 기술은 미국 특허 4,128,369에 언급되었다. 또한 1995년 초우(Chou)에 의해서 개척되었다. 그는 더 단단한 스탬프를 사용하여 대량 생산을 위해 높은 처리량으로 25 nm 이하의 텍스처를 복제할 수 있음을 보여주었다[미국 특허 5,772,905 또는 Stephen Y. Chou, Peter R. Krauss, Preston J. Renstrom에 의한 기사(Appl. Phys. Lett. 67(1995) 3114-3116)]. 차후에 단단한 스탬프 또는 구부러진 얇은 금속 시트에 압력을 가하여 텍스처를 복제하는 롤러의 사용이 입증되었다[기사 Hua Tan, Andrew Gilbertson, Stephen Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol., B 16(1998) 3926-3928].
많은 기관과 회사가 이 작업을 계속하면서 다른 기술을 사용했다.
반도체 산업에서 플레이트 대 플레이트 임프린팅(plate-to-plate imprinting)은 미국 특허 제 6,334,960 호, 미국 특허 출원 제 2004/0065976 호 및 미국 특허 제 8,432,548 호에 기술된 바와 같은 이송 공정, 재료 및 정밀 위치 설정과 함께 단단한 스탬프를 사용함으로써 적용된다.
롤 대 롤(roll-to-roll) 임프린팅 기술은 예를 들어, 미국 특허 제 8,027,086 호에 기재된 바와 같이, 가요성 기판과 조합된 텍스처 롤러를 사용하여 연속 공정으로 포일 또는 필름을 텍스처링한다.
위에서 언급한 플레이트 대 플레이트 기술은 높은 위치 정확도로 균일한 플랫 웨이퍼에 작은 텍스처(100nm 이하의 피처 크기)를 정밀하게 웨이퍼 스케일, 임프린트하도록 설계되어 있다. 그러나, 중국 특허 출원 CN 103235483에 기술된 바와 같이, 이 기술은 보다 넓은 영역으로 스케일링하기가 어렵다. 롤 대 롤 기술을 사용함으로써 높은 생산 속도로 연속적으로 텍스처 포일을 만들 수 있다. 이러한 텍스처된 포일은 가요성 적용을 위한 기판으로서 사용될 수 있거나 단단한 기판 상에 적층될 수 있다. 그러나, 후자는 단단한 기판 또는 제품에 텍스처된 가요성 포일을 접착시키기 위한 중간 접착제 층의 추가 비용이 든다. 따라서, 제 3 신기술이 개발되고 있다: 직접 롤 대 플레이트 임프린팅. 이로써 기능성 텍스처 층은 수십 내지 수백 마이크로미터 두께의 부가적인 중간 접착층을 갖는 캐리어 필름을 사용하지 않고 개별 기판 상에 직접 도포된다. 플레이트 대 플레이트 기술과는 달리, 임프린트는 텍스처된 롤러를 사용하거나 롤러 주위에 권취된 가요성 스탬프라고도 하는 텍스처된 포일을 사용하여 만들어진다.
종래 기술에서는, 다양한 종류의 현상된 롤 대 플레이트 장비가 설명된다.
WO 제 2016/012174 A1 호는, 방사선 빔을 조정(condition)하도록 구성된 조명 시스템; 직선 부분 및 만곡 부분을 갖는 폐루프 궤적을 따라 가요성 패터닝 디바이스를 이동시키도록 구성된 회전 구동부로서, 상기 가요성 패터닝 디바이스의 곡률이 상기 폐루프 궤도의 곡률에 실질적으로 대응하는, 상기 회전 구동부; 기판을 유지하도록 구성된 기판 테이블로서, 상기 회전 구동부는 사용 중에 상기 가요성 패터닝 디바이스를 결합시키고, 사용 중에 상기 궤적의 상기 직선 부분을 따라 상기 가요성 패터닝 디바이스의 상기 실질적으로 편평한 부분을 유지하도록 구성된 풀리 조립체를 포함하며, 상기 패터닝 디바이스의 실질적으로 평탄한 부분은 패터닝된 방사선 빔을 형성하도록 상기 방사선 빔의 단면에 패턴을 부여하도록 구성되는, 상기 기판 테이블; 상기 패터닝된 방사선 빔을 상기 기판의 타겟 부분 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템을 포함하는 리소그래픽 장치를 기술한다.
프랑스 특허 제 2,893,610 호는 텍스처 롤러를 사용하여 필요한 텍스처를 복제한다. 또한, 제거 가능한 가요성 스탬프가 미국 특허 제 7,824,516 호 및 미국 특허 출원 제 2013/214452 호에 개시된 바와 같이 사용될 수 있다. 이 경우 가요성 스탬프는 두 개의 롤러를 사용하여 권취해제하고 다시 권취한다. 제 3 가능성은, 복수의 롤러 주위에 권취되고 연속적으로 재사용될 수 있는 보다 짧은 가요성 스탬프를 몰드로 사용하는 것을 제안하는 미국 특허 7,296,519 B2 및 미국 특허 출원 2013/214452 A1 및 중국 특허 103235483에 기재되어 있다. 이러한 보다 짧은 가요성 스탬프는 가요성 스탬프의 재사용성 및 상이한 임프린트 패턴으로의 용이한 전환에 장점을 가질 수 있다.
몰드로서 짧은 가요성 스탬프를 사용하면, 권취해제 공급 롤러와 권취 수집 롤러 주변에 권취된 큰 스탬프를 다루는 것과 비교하여 다른 스탬프 처리가 필요하다. 종래 기술은 가요성 스탬프가 폐루프인 셋업을 제안한다. 이는 미국 특허 제 7,296,519 B2 호에 기술된 바와 같이 양 단부가 2 개 이상의 롤러 주위에 연결되고 장착될 수 있거나 그 둘레를 따라 고정될 수 있는 텍스처 시트일 수 있다. 종래 기술에서, 가요성 스탬프는 롤러와 가요성 스탬프 사이의 마찰의 사용에 의해 롤러에 의해 이동된다. 인장은 롤러의 거리를 제어함으로써 제어된다.
롤 대 플레이트 임프린팅 방법에서 롤러를 사용하여 텍스처를 복제하기 위해 가요성 스탬프를 사용하는 단점은 인장을 제어하기가 어렵다는 점이다. 가요성 스탬프에 작용하는 인장의 변화는 스탬프의 크기에 영향을 미치므로 텍스처의 피쳐 분포(feature distribution) 또는 트랙 피치(track-pitch)에 영향을 준다. 단단한 스탬프를 사용하는 플레이트 대 플레이트 복제의 경우에는 문제가 되지 않는다. 그러나, 온도 및 습도 변화의 경우뿐만 아니라 인장 변화의 경우 가요성 스탬프가 확장되거나 축소된다. 복제 텍스처와 제품이 정확히 일치해야 하는 적용의 경우, 이러한 트랙 피치 변화는 문제가 될 수 있다. 예를 들어, 이 적용에 한정되지는 않지만 렌즈가 디스플레이 픽셀 어레이와 일치해야 하는 3D 적용에 렌티큘러 렌즈를 사용하는 것이 있다. 디스플레이 위에 시각적인 영향이 없는 최대 트랙 피치 변화는 렌티큘러 어레이의 1 트랙 피치이다. 24 인치 디스플레이 및 100 마이크로미터의 3D 렌티큘러 트랙 피치에 대해서, 최대 변형은 500mm 길이에 대해 100 마이크로미터이다. 이 사양은 더 높은 해상도와 더 작은 3D 피처 크기를 가진 유사한 디스플레이에 대해 훨씬 더 심각하다.
0.5 미터의 길이, 0.5 미터의 폭 및 0.25㎜의 두께를 갖는 렌티큘러 어레이 텍스처를 갖는 폴리카보네이트 가요성 스탬프에 10 N 인장 변화가 가해지면, 렌티큘러의 트랙 피치는 가요성 스탬프의 길이에 걸쳐 약 17 마이크로미터로 변화할 것이다. 인장 변화 외에도, 온도 변화 및 습도 변화는 트랙 피치 변화에 영향을 미친다. 따라서, 인장 변화로 인한 트랙 피치의 변화는 제어되고 최소화되어야 한다고 믿어진다. 다른 적용의 경우, 급격한 인장 변화가 시각적으로 불안정할 수 있다. 따라서 하이 엔드 적용의 경우, 임프린트하면서 가요성 스탬프의 인장 변화를 제어하고 최소화해야 한다.
임프린트 공정 중에는 복제 영역에 직선형이면서 비굽힘 표면이 있는지 확인하기 위해 가요성 스탬프에 항상 인장이 적용된다. 이 인장이 잘 제어되고 일정하게 유지되면, 임프린트 텍스처 트랙 피치에 적용되는 인장의 충격이 마스터를 만드는 동안 보정될 수 있다. 인장 변화는 싱가포르 특허 184034 A1 또는 미국 특허 8,027,086 B2에 기술된 바와 같이, 인장 제어 센서의 사용 및 롤러들 중 하나를 외측/내측으로 이동시킴으로써 종종 제어된다. 이러한 종류의 인장 제어의 단점은 이 인장 제어가 시간 지연된다는 것이다. 두 번째로, 인장은 롤러의 표면에 의해 제어된다. 이 롤러는 가요성 스탬프의 움직임을 조종한다. 그러나, 기판과의 가요성 스탬프 적합성을 필요로 하는 양호한 임프린트 품질을 위해, 이들 롤러의 표면은 부드러울 수 있다. 큰 면적의 임프린트의 경우, 이러한 조종은 큰 가요성 스탬프의 국부적인 주름 또는 미끄러짐이 발생할 수 있다는 추가적인 문제점을 갖는다.
본 발명에 의해 극복해야 할 문제점은, 장치가 미끄러짐 또는 주름없이 그리고 지연 시간없이 스탬프의 직접 제어에 의해 임프린트하면서 가요성 스탬프의 선형 이동을 가능하게 하는 방식으로 짧은 가요성 스탬프로 개별 임프린트하기 위한 장치를 제공하는 것이다.
상기 문제는 개별 가요성 스탬프로 개별 기판 상에 임프린트하기 위한 장치에 의해 해결되고, 상기 임프린트 장치는
a) 길이(L), 폭(W), 스탬프 영역(Astamp), 개시부 및 단부를 갖는 적어도 제 1 가요성 직사각형 스탬프로서, 상기 스탬프는
- 임프린트 영역(Aimprint≤Astamp)을 갖는 임프린트 텍스처를 포함하는 전면으로서, 상기 임프린트 텍스처가 개구부 및 융기부를 갖는, 상기 전면,
- 후면,
- 상기 가요성 스탬프의 전체 폭(W)을 따라 모두 연장되는 개시 영역 세그먼트 및 단부 영역 세그먼트로서, 상기 스탬프의 길이(L)를 따라
- 상기 개시 영역 세그먼트는 개시 길이(Lonset)만큼 연장되고
- 상기 단부 영역 세그먼트는 단부 길이(Lend)만큼 연장되는, 상기 개시 영역 세그먼트 및 단부 영역 세그먼트를 포함하는, 상기 적어도 제 1 가요성 직사각형 스탬프,
b) 상기 가요성 스탬프의 개시 영역 세그먼트를 클램핑하는 적어도 제 1 클램프 및 상기 가요성 스탬프의 단부 영역 세그먼트를 클램핑하는 적어도 제 2 클램프,
c) 제 1 롤러,
d) 상기 제 1 클램프 및 상기 제 2 클램프와 연결되고 길이(L)를 따라 상기 클램핑된 가요성 스탬프를 이동시킬 수 있고 상기 가요성 스탬프의 전면 및 상기 기판을 사이의 래커와 접촉시킴으로써 상기 기판 상에 상기 가요성 스탬프의 임프린트 텍스처를 임프린트하는 임프린트 거리(Id)에 대해서 상기 롤러 위의 후면을 구비하여, 상기 래커에는 상기 기판 상에 임프린트된 영역(A')을 복제하는 임프린트 텍스처가 제공되는, 적어도 하나의 종동 벨트로서, 상기 스탬프를 이동 방향으로 이동시킬 수 있는, 상기 적어도 하나의 종동 벨트를 포함하고,
상기 이동 방향은 임프린팅 방향 또는 상기 임프린팅 방향의 반대 방향 중 하나이며,
상기 롤러는 그 자신의 회전을 일으킬 수 없지만, 차례로 벨트 구동 디바이스에 의해 구동되는 벨트에 의해 차례로 구동되는 상기 스탬프에 의해 구동되거나,
또는 상기 롤러는 마스터 슬레이브 구성(master slave configuration)에서 상기 벨트 구동 디바이스에 후속하는 롤러 구동 디바이스에 의해 상기 벨트와 동일한 속도로 구동된다.
본 발명에 따른 장치는 가요성 스탬프를 사용하여 기판의 고정밀 임프린팅을 가능하게 한다. 상기 스탬프는 전면에 임프린트 텍스처를 포함한다. 상기 장치는 제 1 롤러를 포함하며, 상기 롤러는 그 자신의 회전을 유발할 수 없지만, 차례로 벨트 구동 디바이스에 의해 구동되는 벨트에 의해 차례로 구동되는 스탬프에 의해 구동되거나, 상기 롤러는 마스터 슬레이브 구성으로 벨트 구동 디바이스에 후속하는 롤러 구동 디바이스에 의해 벨트와 동일한 속도로 구동된다. 본 발명의 범위 내에서, 이것은 롤러가 아닌 벨트가 가요성 스탬프의 움직임 및 그에 따른 복제 속도를 결정한다는 것을 의미한다. 오히려, 상기 롤러는 마스터 슬레이브 구성에서 벨트의 모터를 따르는 느슨하게 구동되는 모터에 의해 또는 벨트에 의해 구동되는 적어도 하나의 가요성 스탬프에 의해 구동된다. 그리고, 적어도 하나의 종동 벨트 자체는 적절한 벨트 구동 디바이스, 예를 들어, 전기 모터에 의해서 구동된다. 제 1 클램프 및 제 2 클램프와 연결된 벨트가 롤러 위의 길이(L)를 따라 클램핑된 스탬프를 이동시키면, 상기 롤러는 수동 회전을 수행하게 된다. 따라서, 종래 기술의 임프린팅 장치에서와 같이, 가요성 스탬프와 종동 롤러 사이의 마찰이 롤러 위에 스탬프를 이동시키지 않는다. 오히려 종동 벨트는 롤러 위에 클램핑된 스탬프를 이동시켜 저마찰 베어링으로 장착할 수 있다. 따라서, 본 발명의 장치는 롤러 위에 스탬프를 이동시키기에 충분한 마찰력을 발생시키기에 충분한 거칠기를 갖는 표면을 갖는 롤러를 필요로 하지 않는다. 오히려, 본 발명에 따른 장치는 롤러에 매끄러운 표면을 제공할 수 있게 하고, 그럼에도 불구하고 가요성 스탬프가 큰 영역을 가지더라도 클램핑된 가요성 스탬프가 국부적인 주름이나 미끄러짐없이 롤러 위로 이동하게 한다.
클램핑된 스탬프에 대한 롤러의 공간적 배열과 함께 벨트 상의 클램프들 사이의 일정 거리를 사용하여 사이에 클램핑된 가요성 스탬프와 제 1 및 제 2 클램프의 연결부는 가요성 스탬프에 소정의 인장을 가하는 것을 허용한다. 상기 원하는 인장은 가요성 스탬프가 롤러 위로 이동되더라도 임프린팅 공정의 코스에서 스탬프의 이동 중에 유지된다. 이것은 위에서 설명했듯이 가요성 스탬프가 롤러에 주름이나 미끄러짐을 주지 않기 때문이다. 따라서, 본 발명에 따른 장치는 제어-조정 루프에서 지연 시간없이 임프린트 동안 스탬프 인장의 직접 제어를 제공한다.
지연 시간없는 스탬프 인장의 상기 직접 제어는 본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시예에서 더욱 향상될 수 있으며, 적어도 제 1 클램프 또는 적어도 제 2 클램프는 가요성 스탬프의 용이한 교환의 작동 가요성을 유지하면서, 가요성 스탬프 인장의 추가 제어 및 조정을 위한 통합 장치를 구비한다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 이점은 동시에 2 개 이상의 가요성 스탬프를 사용할 수 있는 가능성이며, 각 스탬프는 그 텍스처된 표면 상에 상이한 임프린트 텍스처를 가질 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 장치는 제 1 클램프 및 제 2 클램프와 연결되고 길이(L)를 따라 적어도 제 1 클램핑된 가요성 스탬프를 이동시킬 수 있는 적어도 하나의 종동 벨트를 포함한다.
바람직하게는, 적어도 하나의 벨트는 모터에 의해 구동된다. 벨트는 안내 레일 또는 풀리를 사용하여 안내된다. 이들 풀리 또는 안내 레일은 바람직하게는 적어도 제 1 롤러의 측면에 위치한다. 제 2 롤러, 제 3 롤러 또는 그 이상의 롤러가 사용되는 경우, 상기 풀리 또는 안내 레일은 바람직하게는 상기 추가의 롤러의 측면에 위치한다. 벨트는 가요성 스탬프의 회전 및 그에 따른 임프린팅 속도를 결정한다. 벨트는 마스터 슬레이브 구성에서 벨트와 동일한 속도로 구동되어서, 벨트를 추종할 수 있다. 이는 예를 들어, 롤러가 풀리와 마찰 로킹된 경우 달성될 수 있다. 롤러는 또한 "구동되지 않으며", 즉 자체적으로 회전할 수 없으며, 벨트 상의 클램프를 사용하여 장착된 가요성 스탬프로 마찰 로킹될 수 있다. 롤러는 또한 가요성 스탬프로 마찰 언로킹될 수 있다.
바람직한 실시예에서, 상기 장치는 동일한 벨트 상에 연결된 제 3 클램프, 제 4 클램프 및 더 많은 클램프를 추가로 포함할 수 있으며, 예를 들어, 제 1 가요성 스탬프는 제 1 및 제 2 클램프 사이에 클램프될 수 있고, 제 2 가요성 스탬프는 제 3 및 제 4 클램프 사이에 클램핑되고, 제 3 가요성 스탬프는 제 5 및 제 6 클램프 사이에 클램핑될 수 있다. 이렇게 하면, 주기 시간이 단축되고 임프린트 중에 처리량을 높일 수 있다. 상술한 실시예 각각에서, 하나 초과의 가요성 스탬프가 필요한 수의 클램프들 사이에 클램핑될 수 있다. 이것은 또한 장치의 처리량을 증가시킬 수 있다.
바람직하게는, 본 발명에 따른 장치는 2 개, 3 개 또는 심지어 4 개보다 많은 벨트를 포함한다. 임의의 경우에, 적어도 하나의 종동 벨트는 클램프를 위한 안내 지지체로서 작용하고, 바람직하게는 이러한 안내 지지체가 각 클램프의 양 측면에 제공된다.
또 다른 바람직한 실시예에서, 본 발명에 따른 장치는 제 1 쌍의 벨트들, 제 2 쌍의 벨트들 또는 더 많은 쌍의 벨트들을 포함하며, 제 1, 제 2, 제 3 또는 그 이상의 쌍의 각각의 벨트는 독립적으로 서로로부터 조종될 수 있다. 예를 들어, 한쌍의 벨트들은 클램핑된 가요성 스탬프를 원하는 공정 단계, 예를 들면, 임프린팅 또는 래커 코팅을 통해 이동시키면서, 다른 한 쌍의 벨트들은 다른 클램핑된 가요성 스탬프와 함께 이동을 멈추거나 이동 방향을 역전시킬 수 있다. 이는 가요성의 증가, 주기 시간의 단축 및 임프린트 공정의 처리량의 증가를 허용한다.
또 다른 바람직한 실시예에서, 본 발명에 따른 장치는 제 1 클램프와 제 2 클램프 사이에 클램핑된 적어도 제 1 가요성 스탬프를 포함하며, 제 1 클램프와 제 2 클램프는 제 1 쌍의 벨트들과 연결되며, 상기 장치는 제 3 클램프와 제 4 클램프 사이에 클램핑된 적어도 제 2 가요성 스탬프를 추가로 포함하며, 상기 제 3 클램프와 제 4 클램프는 제 2 쌍의 벨트들과 연결되며, 상기 제 1 쌍의 벨트들은 상기 제 2 쌍의 벨트들과 독립적으로 조종될 수 있다.
또 다른 바람직한 실시예에서, 본 발명에 따른 장치는 동일한 벨트 상에 연결된 제 3 클램프, 제 4 클램프 및 더 많은 클램프를 포함할 수 있으며, 예를 들어, 제 1 가요성 스탬프는 제 1 및 제 2 클램프 사이에 클램핑될 수 있고, 제 2 가요성 스탬프는 제 3 및 제 4 클램프 사이에 클램핑될 수 있고, 제 3 스탬프는 제 5 및 제 6 클램프 사이에 클램핑될 수 있다. 이렇게 하면, 주기 시간이 단축되고 임프린트 중에 처리량을 높일 수 있다.
또 다른 바람직한 실시예에서, 본 발명에 따른 장치는 제 1 클램프와 제 2 클램프 사이에 클램핑된 적어도 제 1 스탬프를 포함하고, 제 1 클램프와 제 2 클램프는 제 1 쌍의 벨트들과 연결되고, 상기 장치는 제 3 클램프와 제 4 클램프 사이에 클램핑된 적어도 제 2 스탬프를 포함하고, 상기 제 3 클램프와 제 4 클램프는 동일한 제 1 쌍의 벨트들과 연결되고, 2 개 이상의 스탬프들이 동시에 이송된다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 적어도 제 2 클램프는 클램프 커넥터를 포함하며, 클램프 커넥터는 클램프 커넥터 핀의 사용에 의해 적어도 하나의 종동 벨트 상의 클램프를 핀 고정하는 것이 바람직하며, 가요성 스탬프를 유지하는 스탬프 홀더는 바람직하게는 스탬프가 고정되는 시트, 레일, 바아 또는 실린더이다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 적어도 제 2 클램프는 적어도 하나의 종동 벨트 상의 클램프를 핀고정하는 커넥터, 즉 클램프 커넥터와 가요성 스탬프를 유지하는 가요성 스탬프 홀더를 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 적어도 제 2 클램프는 가요성 스탬프 홀더를 포함하고, 상기 클램프는 하나 이상의 가요성 스탬프를 유지하며, 상기 스탬프는 동일한 길이 및 동일하거나 상이한 폭을 갖는다. 이 바람직한 실시예에서 스탬프 홀더가 2 개, 3 개 또는 그보다 많은 가요성 스탬프를 유지하는 경우, 상이한 가요성 스탬프는 그 텍스처된 표면 상에 동일하거나 상이한 임프린트 텍스처 또는 동일하거나 상이한 임프린트 텍스처 영역 치수를 가질 수 있다. 임의의 경우에, 스탬프 홀더는 하나 이상의 가요성 스탬프의 용이한 제거를 허용한다.
본 발명에 따른 장치의 특히 바람직한 실시예에서, 상기 클램프 커넥터는 상기 벨트에 대한 상기 스탬프 홀더의 용이한 배치 및 제거를 보장하는 용이한 장착 부분을 포함하고, 상기 장착 부분은 선택적으로 클램프 베이스 및 인장 제어 스프링을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 다른 바람직한 실시예에서, 제 1 및/또는 제 2 클램프는 스탬프 홀더 및 가요성 스탬프의 위치를 벨트 상의 클램프 커넥터의 위치에 대해 조정할 수 있는 가요성 스탬프 정렬 핀을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 다른 바람직한 실시예에서, 제 1 및/또는 제 2 클램프는 스탬프 홀더와 벨트 상의 클램프 커넥터의 위치 사이의 거리를 조정하는 스탬프 홀더 위치 정렬 핀을 포함하여, 스탬프 홀더가 벨트의 이동 방향에 대해 수직 방향으로 이동할 것이다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 적어도 제 2 클램프는 가요성 스탬프 홀더를 포함하고, 상기 클램프는 하나 이상의 가요성 스탬프를 유지하며, 상기 스탬프는 동일한 길이 및 동일하거나 상이한 폭을 갖는다. 이 바람직한 실시예에서 스탬프 홀더가 2 개, 3 개 또는 그 보다 많은 가요성 스탬프를 유지하는 경우, 상이한 가요성 스탬프는 그 텍스처된 표면 상에 동일하거나 상이한 임프린트 텍스처 또는 동일하거나 상이한 임프린트 텍스처 영역 치수를 가질 수 있다. 임의의 경우에, 스탬프 홀더는 하나 이상의 가요성 스탬프의 용이한 제거를 허용한다.
본 발명에 따른 장치의 다른 바람직한 실시예에서, 스탬프 홀더는 하나 이상의 가요성 스탬프를 유지하며, 스탬프는 동일한 길이 및 동일하거나 상이한 폭을 갖는다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 적어도 제 2 클램프는 가요성 스탬프 인장의 제어 및 조정을 위한 통합 디바이스를 구비하고, 상기 디바이스는 스프링으로서 기능할 수 있고 가요성 스탬프 인장을 제어 및 조정하는 재료 또는 구성요소를 포함하고, 상기 재료는 바람직하게는 가요성 재료이고 상기 구성요소는 가요성 구성요소이다.
바람직하게는, 임의로 가요성 재료인 재료는 하나 이상의 스프링을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시예에서, 가요성 스탬프의 인장은 상기 언급된 스프링의 길이를 조정하거나, 또는 사이의 가요성 스탬프에 의해서 제 1 및 제 2 클램프 사이의 거리를 조정함으로써 제어 가능하다.
하나 이상의 스프링은 바람직하게는 나선형 스프링, 판 스프링, 회전 스프링 또는 인장 스프링을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 특히 바람직한 실시예에서, 하나 이상의 스프링은 나선형 스프링, 판 스프링, 회전 스프링 또는 인장 스프링을 포함하고, 가요성 스탬프의 인장은 스프링의 인장에 의해 스프링의 길이 및/또는 클램프의 거리 및/또는 스프링 상수를 조정함으로써 제어할 수 있다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 클램프는 스탬프 홀더와 클램프 베이스 사이에 하나 이상의 안내 핀을 포함하며, 이는 통합된 인장 제어 디바이스를 갖는 스탬프 홀더가 벨트 이동과 동일 방향 또는 반대 방향으로 이동하는 것을 보장한다.
추가의 바람직한 실시예에서, 상기 재료는 하나 이상의 고무 시트를 포함한다. 상기 하나 이상의 고무 시트는 스프링으로서 작용할 수 있고, 가요성 스탬프 인장 변화를 제어하고 조정할 수 있다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 적어도 제 2 클램프는 벨트 이동과 동일한 또는 반대 방향으로 스탬프 홀더의 이동을 안내하는 하나 이상의 추가 안내 핀을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 스탬프 홀더의 장착 개구와 클램프의 베이스 사이의 거리(dcv)는 5 cm 미만, 바람직하게는 3 cm 미만, 보다 바람직하게는 2 cm 미만, 가장 바람직하게는 0 센티미터이다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 스탬프 홀더의 장착 개구와 벨트 상의 클램프의 피봇 위치 사이의 거리(dch)는 5 cm 미만, 바람직하게는 3 cm 미만, 보다 바람직하게는 2 cm 미만, 가장 바람직하게는 0 cm이다.
본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, 상기 스탬프는
- 개시 길이(Lonset ≥ Lcm)를 갖는 개시 영역 세그먼트로서, Lcm은 상기 스탬프 홀더의 장착 개구에 상기 스탬프를 장착하는데 필요한 최소 길이인, 상기 개시 영역 세그먼트,
- 길이(Lmiddie ≥ Ls)를 갖는 중간 임프린트 영역 세그먼트로서, Ls는 상기 기판의 길이인, 상기 중간 임프린트 영역 세그먼트, 및
- 단부 길이(Lend ≥ Lcm + ¼·r)를 갖는 단부 영역 세그먼트로서, r은 상기 롤러의 반경인, 상기 단부 영역 세그먼트를 구비하며,
상기 스탬프의 최대 길이는 Lmax ≤ Lb이고, 상기 Lb는 상기 벨트의 길이이다.
또 다른 바람직한 실시예에서, 상기 장치는 캐리어 상에 배치된 기판을 추가로 포함하며, 상기 캐리어는 벨트 상의 클램프를 사용하여 장착된 가요성 스탬프로 적어도 하나의 종동 벨트에 의해서 마스터 슬레이브 구성으로 구동된다.
바람직하게는, 캐리어는 적어도 하나의 활주 요소로 배열되어, 캐리어가 활주 요소를 따라 활주할 수 있다. 예를 들어, 적어도 하나의 활주 요소는 캐리어를 지지하는 2 개의 로드를 포함할 수 있고, 벨트 상의 클램프를 사용하여 장착된 가요성 클램프에 의해서 캐리어가 마스터 슬레이브 구성에서 느슨하게 구동되도록 하기 위해서 상기 로드를 따라 캐리어를 활주 가능하게 한다.
바람직하게는, 가요성 스탬프는 지지 가요성 스탬프 베이스 및 텍스처된 외면을 가지며, 가요성 스탬프 베이스 및 텍스처된 외면은 하나로 만들어지고 예를 들어, - 밀링 또는 핫 엠보싱 공정으로 만든 얇은 금속 시트 또는 플라스틱 시트를 포함하지만 이들에 한정되지 않는 것과 동일 재료일 수 있다. 가요성 스탬프는 또한 PET 포일, PC 포일, PEN 포일, PMMA 또는 기타 아크릴 포일 또는 얇은 금속 시트를 포함하지만 이들에 한정되지 않는, 베이스를 형성하기 위한 가요성 시트 및 예를 들어, 아크릴레이트 재료, 졸-겔 재료, 에폭시 또는 제 2 텍스처된 플라스틱 포일을 포함하지만 이들에 한정되지 않는, 접착 텍스처된 유기층을 갖는 둘 이상의 재료를 사용하여 제조될 수 있다. 가요성 스탬프의 견고성 또는 기능을 향상시키기 위해 더 많은 층(예: 스틱 방지층)을 추가할 수 있다.
바람직하게는, 가요성 스탬프는 텍스처된 표면 영역(TSA)을 갖는 텍스처된 표면을 나타내며, 여기서 TSA는 기판 상의 필요한 임프린트 영역(A ')과 동일하거나 더 크다.
본 발명에 따른 장치로, 임프린트 공정이 수행될 수 있으며, 여기서 래커는 패널이라고도 불리는 기판 상에 코팅되거나 또는 임프린트 텍스처를 포함하는 가요성 스탬프의 전면에 코팅될 수 있다. 이러한 기판 또는 패널은 예를 들어, 유리, 플라스틱 또는 금속 기판과 같은 서브 조립체이거나 또는 디스플레이, 조명 또는 태양열 패널과 같은 완성된 디바이스일 수 있다.
이어서, 가요성 스탬프의 전면 및 기판을 사이의 래커와 접촉시킴으로써 기판을 임프린팅한다(복제 또는 텍스처링이라고도 함). 래커는 임프린트된 패턴을 유지하기 위해 경화될 수 있다.
본 발명의 과정에서, 용어 "래커"는 당업자에게 공지된 방법에 의해 기판 상에 코팅될 수 있고 텍스처(임프린트)될 수 있는 물질을 의미한다. 이러한 래커는 또한 코팅, 수지, 레지스트 등으로 언급된다. 상기 래커는 대체로 모노머, 올리고머를 포함할 수 있으며, 가능한 경우 광-개시제 및 가교 결합 아크릴레이트 그룹이 첨가될 수 있다. 다른 가능한 재료로는 경화성 졸겔 및 에폭시가 있으나 이에 한정되지는 않다. 이러한 경화 공정은 또한 공지되어 있고 열 경화, UV 광에 의한 경화, 화학적으로 유도된 경화 및 그 자체로 공지된 다른 방법을 포함한다.
따라서, 본 발명에 따른 장치는 바람직하게는 열 경화, UV 광에 의한 경화 또는 화학적으로 유도된 경화를 수행할 수 있는 경화 디바이스를 포함한다. 경화 디바이스는 임프린트된 패턴을 유지하기 위해 임프린트된 래커를 경화시키는 역할을 한다.
경화 후, 가요성 스탬프는 기판으로부터 방출되고 역 텍스처는 기판 상에 남아있게 된다.
래커의 코팅은 - 분배, 잉크-젯 인쇄, 스크린 인쇄, 분사, 분무, 슬롯-다이 코팅 또는 래커를 기판 상으로 또는 가요성 스탬프 상으로 롤 코팅하는 것과 같은 - 그러나 이에 한정되지 않는 - 다양한 방법으로 행해질 수 있다.
바람직하게는, 본 발명에 따른 장치는 예를 들어, 래커의 점도를 원하는 값으로 증가시키기 위해 임프린팅이 수행되기 전에 래커를 예비 경화하기 위한 추가 경화 디바이스(extra curing device)를 포함한다. 상기 추가 경화 디바이스는 열 예비 경화, UV 광에 의한 예비 경화 또는 원하는 예비 경화 연장을 위한 화학적으로 유도된 예비 경화를 수행할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 장치의 더욱 바람직한 실시예가 도면에 의해 설명되고 도시된다.
도 1a는 제한된 크기의 가요성 스탬프가 2 개의 클램프의 사용에 의해 유지되는 본 발명에 따른 롤 대 플레이트 임프린트 장치의 바람직한 실시예를 도시한다.
이 장치에서, 기판(101)은 임프린트될 것이다. 이 기판은 캐리어(102)의 사용에 의해 지지된다. 도 1a에서, 이 캐리어(102)는 활주 기판 테이블이다. 예를 들면, 컨베이어 벨트 또는 이송 롤러와 같은 다른 지지 수단이 사용될 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 이 캐리어(102)는 2 개의 활주 장치(103)의 사용에 의해 임프린트 롤러(108A) 아래에서 활주할 수 있다. 기판을 갖는 캐리어(102)가 임프린트 방향을 나타내는 화살표로 도 1a에 도시된 바와 같이 우측으로 이동되면, 기판(101)은 임프린트된다. 기판(101)은 텍스처 포일(104)의 사용에 의해 임프린트된다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 텍스처 포일(104)은 가요성 스탬프로서 작용하며, 따라서 가요성 스탬프라고 불린다. 가요성 스탬프(104)는 지지 가요성 스탬프 베이스 및 "임프린트 텍스처" 또는 "임프린트 패턴"이라고도 하는 패턴화된 전면(104A)을 갖는다. 이 임프린트 텍스처(104A)는 당업자에게 릴리프 패턴으로 알려진 기능 영역을 포함한다. 이러한 릴리프 패턴화된 전면(104A)은 기판 상의 원하는 텍스처의 네거티브(또는 역) 텍스처이다. 가요성 스탬프 베이스(104) 및 텍스처된 전면(104A)은 밀링 또는 핫 엠보싱 공정에 의해 제조된 얇은 금속 시트 또는 플라스틱 시트와 같은 하나의 동일한 재료로 제조될 수 있다. 가요성 스탬프(104)는 또한 예를 들어, PET 포일, PC 포일 또는 PEN 호, PMMA 또는 다른 아크릴 포일과 같은 베이스로서의 가요성 시트와, 예를 들어, 아크릴레이트 재료, 졸-겔 재료, 에폭시, 실리콘 재료, 예를 들어, PDMS 또는 제 2 텍스처된 플라스틱 포일을 포함하지만 이들에 한정되지 않는, 접착 텍스처된 유기층(104A)을 갖는 2 이상의 재료를 사용하여 제조될 수 있다. 가요성 스탬프(104)의 견고성 또는 기능성을 향상시키기 위해 더욱 많은 층, 예를 들면, 스틱 방지층이 추가될 수 있다. 도 1a에서 임프린트 패턴 영역(104A)은 가요성 스탬프 베이스의 영역보다 작고, 즉 스탬프(104)의 영역보다 작다. 그러나, 가요성 스탬프 베이스(104)의 전체 영역, 즉 스탬프(104)의 전체 영역은 릴리프 패턴(104A)을 가질 수 있다.
바람직하게는, 가요성 스탬프(104)는 0.1 기가 파스칼(GPa)과 10 기가 파스칼(GPa) 사이, 특히 양호하게는, 0.5 기가 파스칼(GPa)와 5 기가 파스칼(GPa) 사이의 영률을 나타낸다. 영률은 ASTM E111에 따라 측정되었다.
이러한 가요성 스탬프(104)는 도 1a에 도시된 바와 같이, 제 1 클램프(105A) 및 제 2 클램프(105B)의 사용에 의해 제위치에 유지된다. 클램프(105A)는 임프린트 방향에 대한 가요성 스탬프의 개시 영역 세그먼트가 장착되는 전방 클램프이다. 가요성 스탬프의 단부 영역 세그먼트는 클램프(105B)에 장착된다. 클램프는 벨트(106) 상에 장착된다. 벨트(106)의 재료는 예를 들어, 스테인레스 스틸 인장 부재를 갖는 폴리 우레탄일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 하나 이상의 벨트가 원칙적으로 가능하지만, 클램프(108A 및 108B)의 각각에 대한 안내 지지체로서, 바람직하게는 상기 클램프의 양측에서 2 개의 벨트(106)를 사용하는 것이 가장 바람직하다. 도 1a에서, 벨트(106)는 롤러(108)의 측면에 위치한 안내 요소(107)에 의해 안내된다. 안내 요소(107)는 도 1a에 도시된 바와 같이 풀리일 수 있다. 벨트(106)는 하나의 풀리(107)에 의해 구동되거나 또는 롤러들 사이에 배치된 추가의 모터의 사용에 의해 구동될 수 있다. 벨트의 회전 속도는 0.05m/min 내지 30m/min을 초과할 수 있다. 벨트의 인장은 풀리를 내측 또는 외측으로 움직여 조정할 수 있다. 바람직하게는 속도는 0.5m/min 내지 15m/min이다. 도 1a에는, 4 개의 롤러(108)가 도시되어 있다. 그러나 2 개, 3 개 또는 4 개 초과의 롤러를 사용할 수도 있다. 도 1a에 도시된 4 개의 롤러(108)는 클램핑된 가요성 스탬프(104)를 안내할 것이다. 롤러(108A)는 실제의 임프린팅 공정이 수행되는 롤러이다. 롤러(108B)는 경화된 텍스처 래커가 기판(101)으로부터 가요성 스탬프의 박리가 일어나는 롤러이다. 롤러(108)는 예를 들어, 스테인리스 스틸과 같은 강성 재료로 만들어 질 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 바람직하게는 롤러는 예를 들어, 폴리클로로프렌, 폴리우레탄 또는 쇼어 A 경도 10 내지 100, 바람직하게는 쇼어 A 경도 20 내지 60을 갖는 또는 EDDM과 같은 보다 탄성적인 재료로 제조된다.
롤러(108)는 "구동되지" 않는다. 즉, 롤러(108)는 그들 자신의 이동을 일으키지 못하고 임의의 방향으로 자유롭게 회전할 수 있지만, 차례로 벨트 구동 디바이스에 의해서 구동되는 벨트(106)에 의해 차례로 구동되는 스탬프(104)에 의해 구동되거나 또는 롤러(108)는 마스터 슬레이브 구성에서 벨트 구동 디바이스에 후행하는 롤러 구동 디바이스에 의해 벨트와 동일한 속도로 구동된다. 따라서, 벨트(106)가 구동된다. 캐리어(102)는 벨트(106)를 갖는 마스터 슬레이브 구성으로 구동된다. 임프린트 중에, 클램프(105A 및 105B) 및 가요성 스탬프(104)는 기판(101) 및 경화성 래커(109)와 사이에서 접촉한다. 따라서, 임프린팅 동안, 기판(101)을 갖는 캐리어(102)는 마스터 슬레이브 구성에서 종동 벨트(106)를 추종할 것이다. 임프린트 중에 임프린트 롤러(108A)가 가요성 스탬프(104)와 접촉하고 기판(101) 상의 가요성 스탬프(104)를 가압할 수 있는 경우에, 롤러(108) 및 풀리(107)의 직경은 유사하다.
임프린트 공정 전에, 유리 기판일 수 있는 기판(101) 또는 가요성 스탬프(104) 또는 둘다가 임프린트 래커(109)로 코팅된다. 도 1a에서, 가요성 스탬프(104)는 분배 수단(110)의 사용에 의해서 임프린팅 래커(109)로 코팅된다. 이미 언급한 바와 같이, 다른 기술이 코팅을 위해 사용될 수 있다. 도 1a는 개략도라는 것을 주목한다. 실제 작업에서, 상기 래커는 임프린트 텍스처 영역(104A) 상에 코팅될 것이다. 선택적으로, 스탬프(104) 상에 분배된 후에 래커(109)는 예비 경화될 수 있다.
임프린트 래커(109)의 코팅 및 가능한 예비-경화 후, 임프린트 공정이 도 1b(1), 도 1b(2), 도 1b(3), 도 1b(4) 및 도 1b(5)에 도시된 바와 같이, 시작된다. 임프린트 공정의 시작시에, 상단에 임프린트 텍스처(104A) 및 임프린트 래커(109)가 있는 가요성 스탬프(104)가 기판(101)과 접촉하게 된다. 스탬프(104)의 이동은 클램프(105A 및 105B)의 사용에 의해 가요성 스탬프(104)가 장착되는 풀리(107) 및 벨트(106)에 의해 조종된다. 도 1b(1)에 도시된 바와 같이, 임프린트 롤러(108A) 아래의 기판(101)을 미끄러지게 함으로써, 가요성 스탬프(104)는 임프린트 래커(109)를 사이에 두고 기판(101) 상에 적층된다. 도 1b(2)에 도시된 바와 같이 임프린트 텍스처(104A)를 갖는 가요성 스탬프(104)와 기판(101) 사이의 임프린트 래커(109)는 UV 광원(111)에 의해 단단하게 되어, 또한 임프린트된 영역(A')으로 칭하는 경화된 텍스처(112)를 얻는다. 도 1b에서, UV 광원(111)의 위치는 기판 위의 롤러(108A 및 108B) 사이에 위치된다. UV 광원(111)은 또한 2 개의 롤러(108A 및 108B) 중 하나에 배치될 수 있다. 투명 기판(101) 및 UV 투과 캐리어(102)의 경우에, UV 광원(111)은 또한 캐리어(102)의 아래에 위치될 수 있다. 이는 예를 들어, 얇은 금속 시트와 같은 가요성 스탬프(104)를 위한 불투명 몰드를 사용할 수 있다는 이점을 가질 수 있다. 임프린트 래커(109)를 고형화한 후에, 가요성 스탬프(104)는 기판(101) 상에 박리되어 기판(101) 상에 경화된 텍스처(112)를 남겨야 한다. 이는 경화된 텍스처(112)가 가요성 스탬프(104)보다 기판(101)에 더 양호한 접착력을 갖기 때문에 얻어진다. 경화된 텍스처(112)의 박리 후에, 임프린트 텍스처(104A)와 비교되는 역 릴리프 텍스처는 기판(101)에 잔류하고 가요성 스탬프(104)는 재사용될 수 있다. 박리를 위해, 도 1b(3)에 도시된 바와 같이, 박리 롤러(108B)의 사용에 의해 벨트(106)를 더 회전시키고 기판(101) 상의 경화된 텍스처(112)로부터 가요성 스탬프(104)를 분리하는 것이 가장 쉽다. 다른 선택사항은 도 1b(4)에 도시된 바와 같이 벨트(106)를 후방으로 롤링하는 것이다. 이 경우, 롤러(108A)는 역 박리를 위해 사용된다. 이 대체 공정은 직립 에지를 갖는 클램프가 코팅기를 통과할 필요가 없다는 이점을 가질 수 있다. 또 다른 이점은 박리를 위한 제 2 롤러가 필요 없다는 것이다. 이것은 도 1b(5)에 도시된 바와 같이 장치의 비용을 감소시킬 것이다.
도 1a 및 도 1b에는, 가요성 스탬프(104)를 운반하는 2 개의 클램프(105A 및 105B)를 갖는 2 개의 벨트(106)를 사용하는 롤 대 플레이트 임프린트 장치가 도시되어 있다. 도 1a에 도시된 바와 같은 제안된 임프린트 장비의 결점은, 공정 시간이 두 단계의 순서로 결정된다는 것이다. 우선, 스탬프(104)는 분배 수단(110)에 의해 코팅되고, 이어서 가요성 스탬프(104)는 임프린트 롤러(108A)의 아래의 임프린트를 위해 사용된다. 도 2a, 도 2b 및 도 2c에 도시된 바와 같이, 처리량을 증가시키기 위해 장치에 대한 몇 가지 수정이 제안된다.
같은 시간 단위로 더 많은 기판들이 임프린트되면 처리량이 증가한다. 이는 기판(101)을 타일링(tiling)하고 더 넓은 가요성 스탬프(104)를 사용함으로써 실현될 수 있다. 이 경우에도 안내 임프린트 롤러(108)는 더 넓어야 한다. 일 예는 이중 임프린트 텍스처 영역(104A)을 갖는 하나의 넓은 가요성 스탬프(104)가 나란히 배치된 2 개의 기판을 임프린팅하는데 사용된다는 것이다. 가요성은 도 2a에 도시된 것과 동일한 길이를 갖는 2 개 이상의 가요성 스탬프(104)를 유지하는 2 개의 클램프(105A 및 105B)에 의해 얻어진다. 양자의 가요성 스탬프(104)의 임프린트 텍스처(104A)는 동일하거나 상이할 수 있다. 두 개의 임프린트 텍스처들(104A) 중 하나에 대해 상이한 임프린트 래커(109)가 요구되는 경우, 코팅 수단(110)이 조정될 수 있다.
도 2b는 제 1 클램프(105A)와 제 2 클램프(105B) 사이에 클램핑된 제 1 가요성 스탬프(104)와, 제 3 클램프와 제 4 클램프 사이에 클램핑된 제 2 가요성 스탬프를 사용하는 장치를 도시하는 바람직한 실시예를 도시한다. 양자의 제 1 및 제 2 클램프(105A, 105B)와 제 3 및 제 4 클램프는 동일한 벨트(106) 상에 장착되어 동일한 벨트에 의해서 조종된다. 제 2 가요성 스탬프의 분배 수단(110)에 의한 코팅 및 롤러(108A) 아래의 제 1 가요성 스탬프(104)의 임프린팅 단계는 연속적이지 않고 동시에 적용될 수 있기 때문에, 처리량이 얻어진다. 이러한 제안된 셋업은 코팅 단계 및 임프린팅 단계가 벨트(106)의 동일하고 연속적인 속도를 갖는다면, 가장 효과적일 것이다. 벨트(106)의 회전이 정지되어야 한다면, 제 2 가요성 스탬프가 임프린팅되지 않는 것이 바람직하다. 동일한 장치를 사용하여 하나의 벨트 주기에서 2 중 또는 3 중 임프린팅이 가능하도록 코팅 절차 및/또는 클램프 위치가 최적화될 수 있다.
도 2c는 각각 독립적으로 구동되는 2 개의 상이한 벨트에 의해 장착되고 조정되는 더 많은 클램프를 사용하는 장치를 도시하는 바람직한 실시예를 도시한다. 도 2c에 도시된 바와 같이, 벨트는 상이한 풀리(107A, 107B)에 의해 안내된다. 분배 수단(110)에 의한 코팅 및 롤러(108A) 아래의 임프린트 단계는 도 2b에서 이미 설명된 것과 동일한 이유 때문에 순차적이지 않지만 동시에 적용될 수 있기 때문에 처리량이 얻어진다. 또한, 제 1 쌍의 내부 벨트가 제 1 클램핑된 스탬프(104)를 롤러 위로 이동시키고, 제 2 쌍의 외부 벨트가 제 2 클램핑된 스탬프를 롤러 위로 이동시키기 때문에, 그리고 내부 쌍의 벨트가 외부 쌍의 벨트로부터 독립적으로 조종될 수 있기 때문에, 코팅 및 임프린팅 단계가 반드시 상호 의존적일 필요는 없다. 예를 들어, 제 1 쌍의 벨트는 제 1 클램핑된 스탬프(104)를 코팅하기 위해 정지할 수 있는 반면, 제 2 쌍의 벨트는 제 2 클램핑된 스탬프를 임프린팅을 계속할 수 있다.
가요성 스탬프에 가해지는 인장은 임프린팅 중에 스탬프의 길이와 폭을 결정한다. 따라서, 인장 변화는 릴리프 패턴의 트랙 피치를 변화시킨다. 예를 들어, 렌티큘러 어레이의 트랙 피치가 달라지거나 또는 피라미드 또는 렌즈 형상이 더 넓어지거나 작아진다. 두 경우 모두 인장 변화는 이러한 텍스처의 높이에도 영향을 미친다. 또한, 전체 텍스처 이미지는 스탬프 길이 및 폭 변경으로 인해 왜곡된다. 가요성 스탬프에 가해지는 인장은 다른 이유로 변경될 수 있다. 그 중에서도 근본 원인은 다음과 같다:
- 양자의 클램프(105A 및 105B) 사이의 가변 거리를 발생시키는 풀리(107) 또는 롤러(108)의 비원형성;
- 단단한 클램프(105)가 롤러(108)를 통과할 때 발생하는 가요성 스탬프(104)의 힘;
- 온도 또는 습도 변화.
가요성 스탬프(104)의 길이에 대한 인장 변화의 영향은 수학식ΔL = L0 * 1/E *σ로 계산될 수 있다. 이 공식에서, ΔL은 적용된 부하로 인한 가요성 스탬프(104)의 변형이고, L0는 가요성 스탬프의 원래 길이이고, E는 탄성률이며, σ는 가요성 스탬프(104)에 대한 응력이다. 이 응력은 가요성 스탬프의 단면적에 가해진 부하(또는 힘)의 비(가요성 스탬프의 폭 * 두께)로서 규정된다. 스탬프에 인장이 가해지면, 가요성 스탬프의 폭도 변경된다. 가요성 스탬프의 폭 변화는 푸아송비(Poisson's ratio)를 사용하여 계산할 수 있다.
클램프의 설계, 가요성 스탬프의 설계 및/또는 장치의 설계는 인장 변화를 감소시키기 위해 최적화될 수 있다. 다음에서는, 개별적으로 적용될 수 있거나 본 발명에 따른 장치에 함께 적용될 수 있는 상이한 변형이 논의된다.
도 3a는 장치의 클램프가 개략적으로 도시된, 본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예를 도시한다. 도 3a는 클램프(105) 내에 장착된 가요성 스탬프(104)를 도시한다. 클램프(105)는 도 1a에 도시된 바와 같이 전방 클램프(105A) 또는 후방 클램프(105B)일 수 있다. 이 클램프(105)는 상이한 부분으로 구성된다.
클램프(105)의 커넥터(207), 즉 클램프 커넥터(207)는 벨트(106) 상의 벨트 커넥터 핀(210)을 사용하여 클램프(105)를 핀 고정한다. 이 클램프 커넥터(207)는 벨트(106) 상에 영구적으로 고정될 수 있다. 대안으로, 클램프 커넥터(207)는 벨트(106)로부터 스탬프 홀더(206)의 용이한 장착 및 제거를 가능하게 하도록 설계될 수 있다. 벨트 커넥터 핀(210)은 나사 또는 임의의 다른 커넥터 핀일 수 있다. 이 벨트 커넥터 핀(210)의 위치는 하나의 핀이 벨트 상의 클램프를 연결하는데 사용되는 경우, 롤러를 통과하는 동안 클램프(105)의 피봇 점이 될 것이다. 따라서, 클램프 홀더(206)에 대한 이 벨트 커넥터 핀(210)의 위치는 클램프(105) 및 가요성 스탬프(104)가 롤러(108) 둘레에서 어떻게 회전하는지를 결정할 것이다. 스탬프 홀더(206)는 가요성 스탬프(104)를 유지할 것이다. 예를 들어, 이에 제한되는 것은 아니지만, 스탬프 홀더(206)는 가요성 스탬프(104)가 장착되는 시트, 레일, 바아 또는 실린더일 수 있다.
바람직한 실시예에서, 스탬프 홀더(206)와 클램프 커넥터(207) 사이의 거리가 조정될 수 있다. 이 거리를 조정함으로써, 스탬프 홀더(206)의 위치는 벨트(106)의 회전 방향에 수직으로 이동될 것이다. 이는 스탬프 홀더 위치 정렬 핀(211)의 사용에 의해 행해질 수 있다. 예를 들어, 이에 제한되는 것은 아니지만, 이 스탬프 홀더 위치 정렬 핀(211)은 안내기와 조합하여 나사 또는 나사산일 수 있다. 스탬프 홀더(206)의 위치를 조정함으로써, 기판(101)에 대한 스탬프(104)의 위치가 변경된다. 이는 기판(101)의 폭을 따라 수직 방향으로 기판(101) 상에 경화된 텍스처(112)의 위치의 미세 조정을 가능하게 할 것이다.
스탬프 홀더(206) 내에 가요성 스탬프(104)를 장착하는 다른 방법이 있다. 일 예는 가요성 스탬프(104)의 개시 영역 세그먼트 또는 단부 영역 세그먼트가 활주할 수 있는 스탬프 장착 개구(205)를 제공하고, 스탬프(104)의 상기 세그먼트는 는 예를 들어, 나사(204)로 클램핑될 수 있다.
또 다른 방법은 스탬프 홀더(206)를 사이의 스탬프로 함께 눌러진 두 부분으로 만드는 것이다. 이 스탬프 홀더(206)는 하나의 가요성 스탬프(104)를 유지할 수 있다. 가요성 스탬프(104)의 폭은 변할 수 있다. 클램프(105)는 또한 동일하거나 상이한 폭을 갖고 서로 모두 동일한 길이를 갖는 둘 이상의 가요성 스탬프(104)를 유지할 수 있다. 또한, 예를 들어, 나사 또는 클램프(204)와 같은 간단한 유지 기구에 의해서, 가요성 스탬프(104)의 장착 또는 변경은 최소 시간이 걸릴 것이다. 또한, 이 스탬프 홀더(206)는 가요성 스탬프(104)를 위치시키는 정렬 피처를 가질 수 있다.
도 3a에 도시된 기본 클램프 설계는 간단한 스탬프 교환과 함께 작은 스탬프의 사용을 가능하게 할 것이다. 그러나, 이 기본 클램프 설계에는 인장 제어부가 없다.
도 3b는 인장 제어부를 갖는 클램프(105)를 도시한다. 이 경우, 인장 제어 스프링(209)뿐만 아니라 클램프 베이스(208)가 추가된다. 클램프 베이스(208)는 클램프(105)의 견고성 및 강성을 위해 사용된다. 본 발명에 따른 장치에 의해 추가의 스탬프 인장 제어부가 요구되는 경우, 클램프 베이스(208) 및 스탬프 홀더(206)는 인장 제어 스프링(209)의 사용에 의해 연결되는 것이 제안되었다. 이는 예로서, 이에 제한되는 것은 아니지만, 나선형 스프링, 판 스프링, 회전 스프링, 인장 스프링과 같은 하나 이상의 스프링일 수 있거나 또는 예로서, 이에 제한되는 것은 아니지만, 고무 시트 또는 천공된 고무 시트와 같은 스프링(209)으로 작용하는 가요성 재료를 포함할 수 있다. 바람직하게는, 스프링(209)의 인장은 가요성 스탬프(104)의 길이의 차이를 보상하도록 제어될 수 있다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 인장은 인장 제어 스프링(209)의 길이를 변경할 수 있는 나사(303)의 사용에 의해 수동으로 조정될 수 있다. 제어할 수 있는 다른 가능성은 벨트(106) 상의 벨트 커넥터 핀(210)으로 클램프 커넥터(207)의 위치를 변경하거나 또는 스프링 상수를 조정하는 것에 의한, 예로서, 이에 제한되는 것은 아니지만, 스프링(209)의 권취/권취해제이다. 적용된 인장은 힘 측정기를 사용하여 오프라인 또는 인라인으로 결정될 수 있다.
스프링 어레이(209)가 모든 방향, 예를 들어, 하향 또는 옆으로 구부러질 수 있기 때문에, 스탬프 홀더(206)가 벨트(106)의 이동과 동일하거나 반대 방향으로 만 이동할 수 있음을 보장하는 추가적인 안내 핀(304)이 추가될 수 있다. 슬립 스틱 효과를 방지하기 위해 이 핀을 낮은 마찰 베어링으로 안내하는 것이 중요하다.
도 4a는 클램프 커넥터(207)가 벨트(106)로부터 또는 그 위에서 스탬프 홀더(206)의 용이한 장착뿐만 아니라 용이한 제거를 가능하게 하도록 설계된 바람직한 실시예를 도시한다. 클램프 베이스(208) 및 인장 제어 스프링(209)이 클램프에 통합된 경우에, 클램프 베이스(208) 및 인장 제어 스프링(209)은 스탬프 홀더(206)와 함께 벨트(106)로부터 장착 및 제거되는 것이 바람직하다. 예로서, 이에 제한되는 것은 아니지만, 클램프 커넥터(207)는 도 4a에 도시된 바와 같이 클램프(207A)를 사용하여 클램프 베이스(208)를 유지할 수 있고 그에 의해 스탬프 홀더(206)를 유지할 수 있다다. 이러한 클램프(207A)는 클램프 베이스(208) 및 스탬프 홀더(206)의 용이한 장착 및 제거를 위해 옆으로 이동하여, 스탬프를 유지할 수 있다. 다른 예로서, 이에 제한되는 것은 아니지만, 클램프 커넥터(207)는 두 부분으로 분할되는데, 그 중 하나는 벨트 상에 고정되고 다른 부분은 스탬프 홀더(206) 또는 스탬프 베이스(208) 상에 영구적으로 고정된다. 클램프 커넥터 (207)의 양쪽 부분들은 다른 부분에 장착된 후크 아래에서 한 부분을 미끄러지게 함으로써 연결될 수 있다.
스탬프 홀더 위치 정렬 핀(211)으로 스탬프 홀더(206)의 클램프 커넥터(207)까지의 거리가 제어될 수 있다. 도 4a에 도시된 바와 같이, 클램프 베이스(208)와 인장 제어 스프링(209)이 클램프(105) 내에 통합되면, 스탬프 홀더(210)의 위치는 또한 스탬프 홀더 위치 정렬 핀(211)을 사용하여 클램프 베이스(208)와 클램프 커넥터(207)의 거리를 변경함으로써 변경될 수 있다. 두 경우 모두, 스탬프 홀더(206)의 위치는 벨트(106)의 회전 방향에 수직으로 변경된다. 이러한 방식으로, 기판(101)에 대한 가요성 스탬프(104)의 위치 및 이에 따른 기판(101) 상의 임프린트 영역(Aimprint)의 위치를 최적화할 수 있다.
가요성 스탬프(104)를 유지하는 스탬프 홀더(206)를 인장 제어 스프링(209)을 사이에 두고 벨트(106)에 연결하는 다른 가능성이 있다. 다른 선택사항 중에서도, 예는 도 4b에 도시된 바와 같이 스프링(209)을 클램프 커넥터(207)와 벨트(106) 사이에 위치시키는 것이다. 이 경우, 스탬프 홀더(206)와 클램프 베이스(208)는 동일할 수 있다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 스탬프 인장을 더 제어하기 위해, 전방 클램프(105A) 및 후방 클램프(105B)는 도 3b에 도시된 바와 같이 인장 제어 스프링(209)을 가질 수 있다. 전방 클램프(105A) 및 후방 클램프(105B) 모두로부터, 후방 클램프(105B)의 인장 제어가 가장 효과적이다. 텍스처(104A)의 제 1 부분을 경화시킨 후에, 경화성 래커(109)와의 기판(101) 및 가요성 스탬프(104) 사이의 제 1 접촉시에, 전방 클램프(105A)의 인장 제어는 더 이상 효과적이지 않을 것이다. 또한, 전방 클램프(105A) 내의 스프링의 길이가 변화하기 때문에, 임프린트 개시 위치는 덜 잘 정의된다. 따라서, 전방 클램프(105A)는 도 3a에 도시된 바와 같은 기본 클램프 설계를 가지며, 도 3b에 도시된 바와 같이 인장 제어 스프링을 갖지 않는 것이 바람직하다.
도 5는 가요성 스탬프의 인장에 대한 클램프(105B)의 중량의 효과를 나타낸다. 임프린트 동안 후방 클램프(105B) 및/또는 전방 클램프(105A)의 위치에 따라, 클램프(105)의 중량은 가요성 스탬프(104)에 가해지는 인장 변화에 영향을 줄 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 클램프(105B)가 수평 위치에서 수직 위치로 회전되면, 가요성 스탬프(104)에 작용하는 힘이 변할 것이다. 도 5의 좌측에 도시된 바와 같이 수평 위치에서, 인장 제어 스프링(209)은 예를 들어, 100N의 힘으로 후방 클램프(105B)의 가요성 스탬프 홀더(206)를 당길 것이다. 동일한 후방 클램프(105B)가 도 5의 우측에 도시된 바와 같이, 수직 위치로 회전하면, 스프링(209)은 100N의 동일한 힘으로 당길 것이다. 그러나, 중력은 가요성 스탬프 홀더(206)를 필드 중력선(field lines of gravity)을 따라 하향으로 당길 것이다. 3 킬로그램의 중량을 갖는 가요성 스탬프 홀더(206)의 경우, 가요성 스탬프 상의 인장은 30 N로 감소될 것이다. 가요성 스탬프(104)의 치수에 따라, 30 N의 인장 변화가 가요성 스탬프(104)로 인가되는 동안, 임프린트 및 상기 인장 변화는 임프린트 텍스처의 품질에 영향을 미칠 것이다. 이러한 충격을 줄이기 위해, 가요성 스탬프 홀더(206)의 중량은 최소화되어야 한다. 예를 들어, 클램프(105)의 중량은 600 mm의 폭을 갖는 클램프(105)에 대해 5 kg 미만인 것이 바람직하다.
도 6a는 클램프(105B)가 롤러(108A) 둘레로 회전하는, 본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예를 도시한다. 클램프(105A 및 105B)의 최소 폭은 도 1a에 도시된 2 개의 벨트들(106)의 거리에 의해 결정된다. 일단 클램프(105B)가 롤러(108A) 둘레로 회전되면, 스탬프 인장 변화에 대한 충격을 제한하기 위해 클램프(105B)의 길이 및 높이는 최소화되어야 한다. 도 6a에 도시된 바와 같이, 가요성 스탬프(104)의 인장은 일단 클램프(105B)가 롤러(108A) 둘레로 회전되면 임프린트 동안 변경될 것이다. 도 1a에 따라, 전방 클램프(105A)가 롤러(108B) 둘레로 회전되는 경우에도, 동일한 효과가 존재한다는 점에 유의해야 한다. 이 효과를 제한하기 위해, 제한된 클램프 치수를 제안한다. 롤러(108) 둘레로 회전하는 클램프(105)로 인한 인장 변화는 하나의 커넥터 핀을 사용하는 경우라면, 스탬프 홀더(206)의 스탬프 장착 개구(205)와 벨트 커넥터 핀(210)의 위치인 벨트 상의 클램프의 피봇 점 사이의 거리에 의해 결정된다. 이 거리는 최소로 되어야 하며, 0인 것이 바람직하다. 클램프 설계의 경우, 이 기본 설정은 도 6b와 같이 2 치수들로 분할될 수 있다:
- 클램프 홀더(206)의 스탬프 장착 개구(205)와 클램프(105)의 베이스 사이의 수직 거리(dcv): 클램프의 베이스는 벨트와 접촉하는 클램프의 측면이다. 개략적인 계산에서, 1 미터의 길이를 갖는 확장 스탬프에 대하여 스탬프(205)를 클램프의 베이스에 장착하는 거리(dcv)가 1 cm라면, 가요성 스탬프는 50 마이크로미터로 확장된다. 정확한 적용을 위한 충격을 제한하기 위해, 거리(dcf)는 바람직하게는 2cm 미만, 가장 바람직하게는 0cm로 제안된다.
- 하나의 핀이 사용되는 경우, 벨트의 피봇 점과 클램프 홀더(206)의 스탬프 장착 개구(205) 사이의 수평 거리(dch)는 커넥터 핀(210)의 위치와 동일하다. 인장 변화에 대한 거리(dch)의 영향은 클램프가 롤러 둘레를 회전하는 경우 롤러의 직경, 롤러 둘레로 움직이는 클램프의 위치 및 확장될 스탬프의 길이와 같은 상이한 변수에 의존한다. 클램프(210)의 회전 점과 스탬프 장착 개구(205) 사이의 2cm의 거리(dch)는 110mm의 반경을 갖는 롤러에 대해 1mm 초과의 팽창을 초래할 수 있다. 정확한 적용을 위해서, 이 인장 변화가 너무 크다. 클램프의 피벗 위치(210)와 클램프 상의 스탬프 장착 개구(205) 사이의 수평 거리(dch)는 바람직하게는 1cm 미만, 가장 바람직하게는 0cm인 것이 제안된다.
도 7은 클램프(105A 및 105B)가 임프린트 중에 롤러를 통과하지 않는, 본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예를 도시한다. 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 클램프를 수평 위치에 유지하는 것이 가장 쉽다. 이 경우 중력에 의한 스탬프의 힘은 일정하게 유지된다. 본 발명에 따른 장치 셋업의 또 다른 바람직한 실시예가 도 7c에 도시되어 있는데, 여기서 후방 클램프(105B)는 수직 각도로 배치된다. 클램프의 이동은 도 7c에 도시된 것과 다른 각도일 수 있음을 주목한다. 이 상태는 클램프 이동 각도가 일정하다는 것이다. 도 7a, 도 7b 및 도 7c에 도시된 상이한 실시예는 임프린트 전의 가요성 스탬프 셋업을 도 7a(1), 도 7b(1) 및 도 7c(1)의 좌측에 도시하고, UV 바아(111)를 통과한 직후에 임프린트된 후 가요성 스탬프 셋업을 도 7a(2), 도 7b(2) 및 도 7c(2)의 우측에 도시한다. 이 모든 경우에, 중력으로 인한 스탬프의 힘은 임프린트 중에 일정하게 유지되어 인장 변화를 최소화한다.
도 7a는 2 개의 롤러(108A 및 108B)가 사용되고, 클램프(105A 및 105B) 모두가 기판(101)을 임프린트하면서 수평 방향으로 이동하는, 본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예를 도시한다.
도 7b는 4 개의 롤러가 사용되고, 클램프(105A 및 105B) 모두가 기판(101)을 임프린트하면서 수평 방향으로 이동하는, 본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예를 도시한다.
도 7c는 도 7c(1) 및 7c(2)에 도시된 바와 같이 기판(101)의 임프린팅이 후방 클램프(105B)가 수직 방향으로 이동하는 동안 수행되는, 본 발명에 따른 장치의 또 다른 바람직한 실시예를 도시한다. 이 바람직한 장치 및 가요성 스탬프 설계는 보다 짧은 가요성 스탬프 길이(L)를 초래한다. 그러나, 롤러를 통과하지 않고 수직 이동을 가능하게 하기 위해, 상부 롤러(108) 및 임프린트 롤러(108A)의 수직 거리(drv)는 도 7b과 비교하여 더 커야 해서, 더 큰 장치 및 원칙적으로 보다 큰 주기 시간을 초래한다. 이는 롤러를 재배치하여 보상할 수 있다.
본 발명에 따른 장치에서, 4 개의 롤러보다 많은 롤러가 사용될 수 있다. 롤러의 양은 처리량에 영향을 미친다. 인장 변화를 최소화하는 바람직한 요건은 임프린트 동안 클램프 이동 각도를 일정하게 유지하는 것이다. 이 제약으로 인해 임프린팅하는 동안 클램프가 롤러를 통과해서는 안된다. 이러한 요건은 가요성 스탬프(104)의 길이뿐만 아니라 임프린트 장치에 대한 제약을 제공한다. 다중 롤러는 임프린팅하는 동안 클램프가 롤러를 통과하지 않는 방식으로 배치되는 것이 바람직하다. 이러한 바람직한 경우에, 임프린트 롤러(108A)와 박리 롤러(108B) 사이의 최소 롤러 거리는 기판 테이블(101)의 길이(Lst), 기판 테이블의 전방에 위치한 클램프(105A)의 길이(Lc) 및 롤러(108A, 108B)의 반경(r)에 의해서 규정된다. 롤러(108A)의 중심과 롤러(108B)의 중심 사이의 최소 롤러 거리(dr)는 양 > (Lc + Lst)이다. 더 많은 롤러가 사용되는 경우에는, 롤러들 사이의 동일한 수직 거리:
drv≥(Lc + Lst).
특정 장치 설계의 선택은 가요성 스탬프의 설계에 영향을 미친다. 도 2b에 도시된 바와 같이, 스탬프(104)의 길이(L)는 기판(101)에서 복제되는 임프린트 패턴(112)의 길이보다 클 것이다. 기판 상에 복제된 임프린트 텍스처(112)를 얻기 위해, 텍스처 표면 영역(104A)을 갖는 스탬프(104)가 요구되며, 이로써 텍스처된 표면 영역(104A)은 임프린트 텍스처(112)와 동일하거나 더 큰 영역 치수를 갖는다. 기판(101)은 임프린트 텍스처(112)와 동일하거나 더 큰 영역 치수를 갖는다. 기판 테이블(103)은 기판(101)과 동일하거나 더 큰 치수를 가질 것이다. 텍스처 표면 영역(104A)을 갖는 가요성 스탬프(104)는 기판 테이블(103)만큼 커야 한다. 최소 길이(Lcm)를 갖는 개시 영역 세그먼트는 도 4a에 도시된 바와 같이 전방 클램프(105A)의 스탬프 홀더(206)의 장착 개구(205)에 스탬프(104)를 장착하기 위해 필요하다. 후방측에서 후방 클램프(105B)의 스탬프 홀더(206)의 장착 개구(205)에 스탬프를 장착하기 위해 단부 영역 세그먼트가 필요하다. 또한, 클램프(105)가 임프린팅(108)하는 동안 롤러를 통과하지 못하도록 하는 요건을 충족시키기 위해서는 ¼ * r의 추가 길이가 필요하다. 이로써 L≥ 2 * Lcm + Lst + ¼ * r의 스탬프의 총 최소 길이(L)가 된다. 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이 임프린팅되는 동안 클램프가 수평 위치에 유지되는 경우, 스탬프 최소 길이는 L≥ 2 * Lcm + Lst + ½* r보다 클 것이다. 스탬프의 최대 길이는 벨트(106)의 길이에 의해 결정된다.
이 바람직한 실시예는 도 8(1) 및 도 8(2)에 도시되어 있다. 가요성 스탬프(104)는 도 8(2)에 도시된 바와 같이 필요한 임프린트 영역(104A)으로 부분적으로 텍스처되거나 또는 필요한 임프린트 텍스처의 역으로 완전히 덮일 수 있다. 가요성 스탬프가 오직 부분 텍스처된 경우, 클램프 장착을 위한 최소 개시 영역 세그먼트(Lcm) 및 도 8(1)에 도시된 바와 같이, 임프린팅 동안 롤러 둘레에서 클램프가 회전하는 것을 방지하고 후방 클램프 장착을 위한 최소 단부 영역 세그먼트(Lcm + ¼ * r)를 갖는 스탬프 상의 텍스처 영역(TSA)의 위치가 규정된다.
Claims (15)
- 개별 가요성 스탬프로 개별 기판 상에 임프린트하기 위한 장치에 있어서,
a) 길이(L), 폭(W), 스탬프 영역(Astamp), 개시부 및 단부를 갖는 적어도 제 1 가요성 직사각형 스탬프(104)로서, 상기 스탬프는
- 임프린트 영역(Aimprint≤Astamp)을 갖는 임프린트 텍스처(104A)를 포함하는 전면으로서, 상기 임프린트 텍스처(104A)가 개구부들 및 융기부들을 갖는, 상기 전면,
- 후면,
- 상기 가요성 스탬프의 전체 폭(W)을 따라 모두 연장되는 개시 영역 세그먼트 및 단부 영역 세그먼트로서, 상기 스탬프의 길이(L)를 따라
- 상기 개시 영역 세그먼트는 개시 길이(Lonset)만큼 연장되고
- 상기 단부 영역 세그먼트는 단부 길이(Lend)만큼 연장되는, 상기 개시 영역 세그먼트 및 상기 단부 영역 세그먼트를 포함하는, 상기 적어도 제 1 가요성 직사각형 스탬프(104),
b) 상기 가요성 스탬프(104)의 개시 영역 세그먼트를 클램핑하는 적어도 제 1 클램프(105A) 및 상기 가요성 스탬프(104)의 단부 영역 세그먼트를 클램핑하는 적어도 제 2 클램프(105B),
c) 제 1 롤러(108A),
d) 상기 제 1 클램프(105A) 및 상기 제 2 클램프(105B)와 연결되고 길이(L)를 따라 상기 클램핑된 가요성 스탬프(104)를 이동시킬 수 있고 상기 가요성 스탬프(104)의 전면 및 기판(101)을 사이의 래커(106)와 접촉시킴으로써 상기 기판(101) 상에 상기 가요성 스탬프(104)의 임프린트 텍스처(104A)를 임프린트하는 임프린트 거리(Id)에 대해서 상기 롤러(108A) 위의 후면을 구비하여, 상기 래커(109)에는 상기 기판(101) 상에 임프린트된 영역(A')을 복제하는 임프린트 텍스처가 제공되는, 적어도 하나의 종동 벨트(106)로서, 상기 스탬프(104)를 이동 방향으로 이동시킬 수 있는, 상기 적어도 하나의 종동 벨트(106)를 포함하고,
상기 이동 방향은 임프린팅 방향 또는 상기 임프린팅 방향의 반대 방향 중 하나이며,
상기 롤러(108A)는 그 자신의 회전을 일으킬 수 없지만, 차례로 벨트 구동 디바이스에 의해 구동되는 상기 벨트(106)에 의해 차례로 구동되는 상기 스탬프(104)에 의해 구동되거나,
또는 상기 롤러(108A)는 마스터 슬레이브 구성(master slave configuration)에서 상기 벨트 구동 디바이스에 후속하는 롤러 구동 디바이스에 의해 상기 벨트(106)와 동일한 속도로 구동되는, 임프린트 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 장치는 제 1 클램프(105A)와 제 2 클램프(105B) 사이에 클램핑된 적어도 제 1 가요성 스탬프(104)를 포함하고, 상기 제 1 클램프(105A) 및 상기 제 2 클램프(105B)는 제 1 쌍의 벨트들(106)과 연결되고, 상기 장치는 제 3 클램프와 제 4 클램프 사이에 클램핑된 적어도 제 2 가요성 스탬프를 추가로 포함하며, 상기 제 3 클램프 및 상기 제 4 클램프는 제 2 쌍의 벨트들과 연결되고, 상기 제 1 쌍의 벨트들은 상기 제 2 쌍의 벨트들과 독립적으로 조종될 수 있는, 임프린트 장치. - 제 1 항 내지 제 2 항 중 하나 이상의 항에 있어서,
상기 장치는 제 1 클램프(105A)와 제 2 클램프(105B) 사이에 클램핑된 적어도 제 1 스탬프(104)를 포함하고, 상기 제 1 클램프 및 상기 제 2 클램프는 제 1 쌍의 벨트들(106)과 연결되고, 상기 장치는 제 3 클램프와 제 4 클램프 사이에 클램핑된 적어도 제 2 스탬프를 추가로 포함하며, 상기 제 3 클램프와 상기 제 4 클램프는 동일한 제 1 쌍의 벨트들(106)과 연결되고, 2 개 이상의 스탬프들이 동시에 이송되는, 임프린트 장치. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 하나 이상의 항에 있어서,
적어도 상기 제 2 클램프(105)는 상기 클램프(105)를 상기 적어도 하나의 종동 벨트(106) 상에 핀고정시키는 커넥터(207)와, 상기 가요성 스탬프(104)를 유지하는 가요성 스탬프 홀더(206)를 포함하는, 임프린트 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 클램프 커넥터(207)는 상기 스탬프 홀더(206)를 상기 벨트 상에 용이하게 배치하고 또는 상기 벨트로부터 용이하게 제거하는 것을 보장하는 용이한 장착 부분을 포함하는, 임프린트 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 클램프(105A) 및/또는 상기 제 2 클램프(105B)는 상기 스탬프 홀더(206)와 상기 벨트(106) 상의 상기 클램프 커넥터(207)의 위치 사이의 거리를 조정하는 스탬프 홀더 위치 정렬 핀(21)을 포함하여, 상기 스탬프 홀더(206)는 상기 벨트(106)의 이동 방향에 대하여 수직 방향으로 이동되는, 임프린트 장치. - 제 1 항 내지 제 6 항 중 하나 이상의 항에 있어서,
상기 스탬프 홀더(206)는 하나 이상의 가요성 스탬프(104)를 유지하고, 상기 스탬프(104)는 동일한 길이 및 동일하거나 상이한 폭을 갖는, 임프린트 장치. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 하나 이상의 항에 있어서,
적어도 상기 제 2 클램프(105B)는 상기 가요성 스탬프 인장의 제어 및 조정을 위한 통합 디바이스를 구비하고, 상기 디바이스는 스프링으로서 작용할 수 있고 상기 가요성 스탬프 인장을 제어하고 조정하는 구성요소 또는 재료를 포함하는, 임프린트 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 재료는 하나 이상의 스프링(209)을 포함하는, 임프린트 장치. - 제 9 항에 있어서,
상기 하나 이상의 스프링(209)은 나선형 스프링, 판 스프링, 회전 스프링 또는 인장 스프링을 포함하고, 상기 가요성 스탬프(104)의 인장은 상기 스프링(209)의 길이 및/또는 상기 클램프의 거리를 조정하거나 및/또는 상기 스프링 상수를 조정함으로써 상기 스프링(209)의 인장에 의해 제어가능한, 임프린트 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 재료는 하나 이상의 고무 시트를 포함하는, 임프린트 장치. - 제 1 항 내지 제 11 항 중 하나 이상의 항에 있어서,
적어도 상기 제 2 클램프(105B)는 상기 스탬프 홀더(206)의 이동을 상기 벨트 이동과 동일하거나 또는 반대 방향으로 안내하는 하나 이상의 추가 안내 핀(304)을 포함하는, 임프린트 장치. - 제 1 항 내지 제 12 항 중 하나 이상의 항에 있어서,
스탬프 홀더의 장착 개구와 클램프의 베이스 사이의 거리(dcv)가 5cm 미만인, 임프린트 장치. - 제 1 항 내지 제 13 항 중 하나 이상의 항에 있어서,
상기 스탬프 홀더의 장착 개구와 상기 벨트 상의 상기 클램프의 피봇 위치 사이의 거리(dch)는 5cm 미만인, 임프린트 장치. - 제 1 항 내지 제 14 항 중 하나 이상의 항에 있어서, 상기 스탬프는
- 개시 길이(Lonset ≥ Lcm)를 갖는 개시 영역 세그먼트로서, Lcm은 상기 스탬프 홀더의 장착 개구에 상기 스탬프를 장착하는데 필요한 최소 길이인, 상기 개시 영역 세그먼트,
- 길이(Lmiddie ≥ Ls)를 갖는 중간 임프린트 영역 세그먼트로서, Ls는 상기 기판의 길이인, 상기 중간 임프린트 영역 세그먼트, 및
- 단부 길이(Lend ≥ Lcm + ¼·r)를 갖는 단부 영역 세그먼트로서, r은 상기 롤러의 반경인, 상기 단부 영역 세그먼트를 구비하며,
상기 스탬프의 최대 길이는 Lmax ≤ Lb이고, 상기 Lb는 상기 벨트의 길이인, 임프린트 장치.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP16179451.6 | 2016-07-14 | ||
| EP16179451 | 2016-07-14 | ||
| PCT/EP2017/067406 WO2018011208A1 (en) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | Apparatus for imprinting discrete substrates with a flexible stamp |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190028428A true KR20190028428A (ko) | 2019-03-18 |
| KR102328775B1 KR102328775B1 (ko) | 2021-11-22 |
Family
ID=56740809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020197000647A KR102328775B1 (ko) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 가요성 스탬프로 개별 기판을 임프린트하기 위한 장치 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10875337B2 (ko) |
| EP (1) | EP3455676B1 (ko) |
| JP (1) | JP6980002B2 (ko) |
| KR (1) | KR102328775B1 (ko) |
| CN (3) | CN116643450A (ko) |
| DK (1) | DK3455676T3 (ko) |
| ES (1) | ES2760602T3 (ko) |
| HU (1) | HUE046952T2 (ko) |
| TW (1) | TWI723198B (ko) |
| WO (1) | WO2018011208A1 (ko) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11204550B2 (en) * | 2018-01-26 | 2021-12-21 | Morphotonics Holding B.V. | Process and equipment for texturing discrete substrates |
| EP3633453B1 (de) * | 2018-10-03 | 2023-12-27 | ZKW Group GmbH | Verfahren zur herstellung von (sub-)mikrostrukturen auf gewölbten flächen eines optischen bauteils |
| EP4058845A1 (en) | 2019-11-12 | 2022-09-21 | Morphotonics Holding B.V. | Apparatus for a roll-to-plate imprinting process comprising a plate carrier with compensating material |
| KR20220100570A (ko) * | 2019-11-19 | 2022-07-15 | 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 | 마이크로 및/또는 나노구조를 엠보싱하는 장치 및 방법 |
| US20220396025A1 (en) * | 2019-11-26 | 2022-12-15 | Morphotonics Holding B.V. | Unbalanced roller |
| US11485051B2 (en) | 2020-07-23 | 2022-11-01 | Himax Technologies Limited | Clamping apparatus of soft film and mounting fixture thereof |
| EP4189483A1 (en) * | 2020-07-31 | 2023-06-07 | Morphotonics Holding B.V. | Apparatus and process for replicating a texture |
| JP2023537485A (ja) * | 2020-08-07 | 2023-09-01 | マジック リープ， インコーポレイテッド | インプリントのための多目的整合の管理 |
| CN113031393A (zh) * | 2021-03-25 | 2021-06-25 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 | 一种适用于不规则模具的纳米压印设备及其压印方法 |
| CN113953168A (zh) * | 2021-10-20 | 2022-01-21 | 常州华威新材料有限公司 | 一种适用于制备深纹理薄膜的表面微交联工艺 |
| CN118251631A (zh) * | 2021-11-15 | 2024-06-25 | 莫福托尼克斯控股有限公司 | 多纹理化印模 |
| TW202332568A (zh) * | 2021-11-15 | 2023-08-16 | 荷蘭商摩富塔尼克斯控股公司 | 壓印方法 |
| CN115308993B (zh) * | 2022-08-30 | 2024-05-17 | 浙江至格科技有限公司 | 一种纳米压印装置和方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1473594A2 (en) * | 2003-04-29 | 2004-11-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Apparatus for embossing a flexible substrate with a pattern carried by an optically transparent compliant media |
| KR20100011776A (ko) * | 2008-07-25 | 2010-02-03 | 삼성전기주식회사 | 임프린트 장치 제조방법 |
| EP1216436B1 (en) * | 1999-09-07 | 2012-02-22 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Method and apparatus for thermal processing of a photosensitive element |
| US20130214452A1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-08-22 | Molecular Imprints, Inc. | Large area imprint lithography |
| JP2013184414A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | パターン転写装置及びパターン転写方法 |
| US20140252679A1 (en) * | 2013-03-06 | 2014-09-11 | Eun Soo Hwang | Large-scale imprint apparatus and method |
| WO2016012174A1 (en) * | 2014-07-24 | 2016-01-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4128369A (en) | 1975-12-10 | 1978-12-05 | Hazelett Strip-Casting Corporation | Continuous apparatus for forming products from thermoplastic polymeric material having three-dimensional patterns and surface textures |
| US4370936A (en) * | 1979-10-18 | 1983-02-01 | Midwestco, Inc. | Fabric tube forming methods and apparatus |
| JP3006199B2 (ja) * | 1991-09-03 | 2000-02-07 | 株式会社日立製作所 | 光ディスクの製造方法 |
| US5772905A (en) | 1995-11-15 | 1998-06-30 | Regents Of The University Of Minnesota | Nanoimprint lithography |
| US6334960B1 (en) | 1999-03-11 | 2002-01-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Step and flash imprint lithography |
| DE19929266A1 (de) * | 1999-06-25 | 2000-12-28 | Eastman Kodak Co | Tintenstrahldrucker für die Herstellung von Fotoabzügen |
| EP1362682A1 (en) | 2002-05-13 | 2003-11-19 | ZBD Displays Ltd, | Method and apparatus for liquid crystal alignment |
| WO2003099463A2 (en) | 2002-05-27 | 2003-12-04 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for transferring a pattern from a stamp to a substrate |
| US8349241B2 (en) | 2002-10-04 | 2013-01-08 | Molecular Imprints, Inc. | Method to arrange features on a substrate to replicate features having minimal dimensional variability |
| FR2893610B1 (fr) | 2005-11-23 | 2008-07-18 | Saint Gobain | Procede de structuration de surface d'un produit verrier, produit verrier a surface structuree et utilisations |
| US8027086B2 (en) | 2007-04-10 | 2011-09-27 | The Regents Of The University Of Michigan | Roll to roll nanoimprint lithography |
| JP5353020B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2013-11-27 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
| JP4875203B2 (ja) * | 2008-02-27 | 2012-02-15 | シャープ株式会社 | ローラー型ナノインプリント装置及びナノインプリントシートの製造方法 |
| US8432548B2 (en) | 2008-11-04 | 2013-04-30 | Molecular Imprints, Inc. | Alignment for edge field nano-imprinting |
| KR20130024900A (ko) | 2010-04-01 | 2013-03-08 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 마이크로 복사 렌즈 어레이를 구비하는 웨브재료의 정밀제어 |
| JP5323882B2 (ja) * | 2011-04-08 | 2013-10-23 | 株式会社日立産機システム | パターン転写装置及びパターン転写方法 |
| JP5695608B2 (ja) * | 2011-11-11 | 2015-04-08 | Ｊｘ日鉱日石エネルギー株式会社 | ゾルゲル法を用いた凹凸基板の製造方法、それに用いるゾル溶液、及びそれを用いた有機ｅｌ素子の製造方法並びにそれから得られた有機ｅｌ素子 |
| CN117341358A (zh) * | 2012-03-05 | 2024-01-05 | 兰达公司 | 数字打印系统的控制设备和方法 |
| JP6064667B2 (ja) * | 2013-02-21 | 2017-01-25 | 東レ株式会社 | 両面構造フィルムの製造方法および製造装置 |
| CN103235483B (zh) | 2013-05-07 | 2016-01-20 | 青岛博纳光电装备有限公司 | 大面积纳米图形化的装置和方法 |
-
2017
- 2017-07-11 US US16/315,746 patent/US10875337B2/en active Active
- 2017-07-11 EP EP17735599.7A patent/EP3455676B1/en active Active
- 2017-07-11 CN CN202310254974.1A patent/CN116643450A/zh active Pending
- 2017-07-11 ES ES17735599T patent/ES2760602T3/es active Active
- 2017-07-11 DK DK17735599T patent/DK3455676T3/da active
- 2017-07-11 WO PCT/EP2017/067406 patent/WO2018011208A1/en unknown
- 2017-07-11 CN CN201780043042.5A patent/CN109478014B/zh active Active
- 2017-07-11 JP JP2019500582A patent/JP6980002B2/ja active Active
- 2017-07-11 HU HUE17735599A patent/HUE046952T2/hu unknown
- 2017-07-11 KR KR1020197000647A patent/KR102328775B1/ko active IP Right Grant
- 2017-07-11 CN CN202310254861.1A patent/CN116736631A/zh active Pending
- 2017-07-13 TW TW106123489A patent/TWI723198B/zh active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1216436B1 (en) * | 1999-09-07 | 2012-02-22 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Method and apparatus for thermal processing of a photosensitive element |
| EP1473594A2 (en) * | 2003-04-29 | 2004-11-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Apparatus for embossing a flexible substrate with a pattern carried by an optically transparent compliant media |
| JP2004322641A (ja) * | 2003-04-29 | 2004-11-18 | Hewlett-Packard Development Co Lp | エンボス加工装置 |
| KR20100011776A (ko) * | 2008-07-25 | 2010-02-03 | 삼성전기주식회사 | 임프린트 장치 제조방법 |
| US20130214452A1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-08-22 | Molecular Imprints, Inc. | Large area imprint lithography |
| JP2015513797A (ja) * | 2012-02-22 | 2015-05-14 | キャノン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド | 大面積インプリント・リソグラフィ |
| JP2013184414A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | パターン転写装置及びパターン転写方法 |
| US20140252679A1 (en) * | 2013-03-06 | 2014-09-11 | Eun Soo Hwang | Large-scale imprint apparatus and method |
| WO2016012174A1 (en) * | 2014-07-24 | 2016-01-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201808665A (zh) | 2018-03-16 |
| CN116643450A (zh) | 2023-08-25 |
| CN116736631A (zh) | 2023-09-12 |
| EP3455676B1 (en) | 2019-09-11 |
| WO2018011208A1 (en) | 2018-01-18 |
| US10875337B2 (en) | 2020-12-29 |
| ES2760602T3 (es) | 2020-05-14 |
| EP3455676A1 (en) | 2019-03-20 |
| CN109478014B (zh) | 2023-04-04 |
| TWI723198B (zh) | 2021-04-01 |
| DK3455676T3 (da) | 2019-12-09 |
| JP6980002B2 (ja) | 2021-12-15 |
| JP2019522368A (ja) | 2019-08-08 |
| KR102328775B1 (ko) | 2021-11-22 |
| US20190329575A1 (en) | 2019-10-31 |
| HUE046952T2 (hu) | 2020-04-28 |
| CN109478014A (zh) | 2019-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102328775B1 (ko) | 가요성 스탬프로 개별 기판을 임프린트하기 위한 장치 | |
| JP6032492B2 (ja) | 微細パターン形成方法、及び微細パターン形成装置 | |
| JP6720199B2 (ja) | 別個の基板ｉｉをテクスチャリングするための方法 | |
| US20060263530A1 (en) | Process for making non-continuous articles with microstructures | |
| US20060236877A1 (en) | Apparatus and method for making microreplicated article | |
| KR20140109624A (ko) | 대면적 임프린트 장치 및 방법 | |
| TW201221329A (en) | Demolding device | |
| CN104303104A (zh) | 大面积压印光刻 | |
| JP7223008B2 (ja) | 個別基材にテクスチャ付けするためのプロセスおよび装置 | |
| JP2015119104A (ja) | 微細パターン形成方法および微細パターン形成装置 | |
| CN109521642A (zh) | 压印装置和制造显示面板的方法 | |
| CN218938765U (zh) | 一种纳米压印设备 | |
| CN110221518B (zh) | 一种滚压装置及滚压方法 | |
| KR102574036B1 (ko) | 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법 | |
| JP7419516B2 (ja) | マイクロパターンおよび／またはナノパターンをエンボス加工する装置および方法 | |
| KR101298410B1 (ko) | 고속 롤-투-롤 핫 엠보싱 장치 및 이를 이용한 공정 | |
| KR20170037226A (ko) | 대면적 유연 몰드 및 이의 제조방법 | |
| KR20230043836A (ko) | 텍스처를 복제하기 위한 장치 및 방법 | |
| JP2020185728A (ja) | フィルム構造体の製造方法および製造装置 | |
| KR20170030208A (ko) | 롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |