CN110221518B - 一种滚压装置及滚压方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种可精确控制的滚压装置及方法，其包括底座、支撑板、放卷辊、衬底、张紧辊、涂胶装置、支撑辊、压印装置、支座、固化装置、收卷辊、伺服电机，其中，支撑板垂直于底座并固连在其上，涂胶装置、放卷辊、收卷辊与支撑辊固定在支撑板之间，收卷辊与伺服电机相连，衬底包覆于放卷辊与收卷辊上，并由支撑辊支撑，压印装置固连在支座上，其下方设有固化装置，固化装置固连在底座上。本发明通过调节装置上的音圈电机调节从而调整了压印辊在X、Y、Z轴三个方向上的位移，减小了卷对卷压印过程中压印辊和背辊之间的形位误差；通过柔性铰链自适应调节，增强了模板与衬底形成良好的共形接触的效果；装置结构简单，可实现快速、大面积生产。
Description
技术领域
本发明涉及纳米压印技术领域，尤其涉及一种可精确控制的滚压装置及方法。
背景技术
纳米压印技术作为一种新的纳米技术在1995年首次被美籍华裔周郁教授提出，大体实施方式是将具有纳米微结构的模板放在聚合物外，通过一定的外界因素使聚合物填充模板空腔，再让聚合物固化，然后将模板与聚合物剥离，从而实现图形的转移的过程。纳米压印技术具有分辨率高、成本低、操作简单、可大面积实现图形转移的特点而被认为是最具有前景的微纳制造技术之一，从提出至今一直受到学术界和产业界的高度重视。2003年，MIT Technology Review将其列为将会改变世界的十大新兴技术之一。
纳米压印至今发展出来了许多工艺，方式从最开始的热压印到软印刷压印再到后来的紫外纳米压印，压印面积从平面对平面压印到卷对平面压印再到卷对卷压印，每种工艺都有其独特的优点。较其他压印工艺相比，紫外纳米压印具有周期小、效率高、有利于对准、可大面积连续制备等优势而备受追捧。但其压印过程中还存在着诸多问题限制着纳米压印技术的发展，如压印辊和背辊在衬底高度方向上存在小角度倾斜、压印辊和背辊在衬底传动方向上存在小角度倾斜、压印辊偏离中心轴线转动等形位误差和衬底的不平整会使压印图形存在缺陷。这些对于精度要求不高的器件来说影响可忽略不计，但对于精度要求较高的器件有可能是致命的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可精确控制的滚压装置及方法，以解决压印过程中因压印辊与背辊之间存在的形位误差和衬底的不平整而导致压印结果存在缺陷的问题。
根据本发明的目的提供一种可精确控制的滚压装置，其特征在于，一种可精确控制的滚压装置包括底座、支撑板、放卷辊、衬底、张紧辊、涂胶装置、支撑辊一、支撑辊二、压印装置、支座、固化装置、支撑辊三、收卷辊、伺服电机，其中支撑板通过螺钉固定于底座上，放卷辊通过轴承连接固定于支撑板之间，衬底包覆于放卷辊与收卷辊之上，并由支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三支撑，张紧辊通过轴承连接固定于支撑板之间，涂胶装置两端通过螺钉固定于支撑板之间，支撑辊一通过轴承连接固定于支撑板之间，支撑辊二通过轴承连接固定于支撑板之间，压印装置通过螺钉固定于支座上，支座通过螺钉固定于底座上，固化装置在压印装置下方且通过螺钉固定于底座上，支撑辊三通过轴承连接固定于支撑板之间，收卷辊通过轴承连接固定于支撑板之间，并通过联轴器与伺服电机直连，伺服电机通过螺钉固定于支撑板上。
根据本发明的目的提供一种可精确控制的滚压装置，其特征在于，所述的涂胶装置包括进胶口、空腔、涂布轮，空腔顶端是进胶口，空腔底端是涂布轮。
根据本发明的目的提供一种可精确控制的滚压装置，其特征在于，所述的压印装置包括调节装置一、轴承端盖、压印辊、调节装置二、音圈电机一、挡板，其中轴承端盖通过螺钉固定于调节装置一上，压印辊通过轴承连接固定于调节装置一和调节装置二之间，所述的挡板两端通过螺钉与调节装置二连接，音圈电机一一端通过螺钉与挡板连接、另一端与调节装置二固连。
根据本发明的目的提供一种可精确控制的滚压装置，其特征在于，所述的调节装置一包括固定框一、音圈电机二、音圈电机三、直圆型柔性铰链、全向型柔性铰链、固定框二、直梁型柔性铰链、立柱、固定块，所述的音圈电机二一端通过螺钉与固定框一连接、另一端与直圆型柔性铰链连接，音圈电机三一端通过螺钉与固定框一连接、另一端与固定框二固连，固定框二两侧分别通过两个全向型柔性铰链与直圆型柔性铰链连接，固定块X轴方向两侧分别通过两对直梁型柔性铰链与固定框二连接，Z轴方向两侧通过两个立柱与固定框二固连。调节装置二与调节装置一的结构完全相同。
根据本发明的目的提供一种可精确控制的滚压装置，其特征在于:所述的固化装置包括背辊、紫外灯、支架，其中背辊固定在支架上可转动，紫外灯在背辊中心被固定在支架上，背辊由玻璃制成，可使紫外光透过。
本发明具有以下明显优势：通过调节压印辊在X轴方向上的位移，减小了压印辊和背辊在衬底传动方向上存在小角度倾斜而导致的压印缺陷；通过调节压印辊在Y轴方向上的位移，避免了在衬底边缘留下空白而造成的压印不完全；通过调节压印辊在Z轴方向上的位移，以控制压印辊与支撑辊间的间隙以控制压印力对图案的破坏；通过直梁型柔性铰链的自适应调节，增强模板与衬底形成良好的共形接触，达到图形全部转移的效果；装置结构简单、操作方便、压印成本低、可实现大面积产业化生产。
附图说明
图1是一种可精确控制的纳米滚压装置的结构示意图；
图2是一种可精确控制的纳米滚压装置去掉右侧支撑板和支座的结构示意图；
图3是一种可精确控制的纳米滚压装置的左视图；
图4是涂胶装置的结构示意图；
图5是压印装置的结构示意图；
图6是压印装置的俯视图；
图7是调节装置一去掉轴承端盖的结构示意图；
图8是固化装置的结构示意图；
图9是固化装置的左视图。
附图标记说明：1-底座、2-支撑板、3-放卷辊、4-衬底、5-张紧辊、6-涂胶装置、7-支撑辊一、8-支撑辊二、9-压印装置、10-支座、11-固化装置、12-支撑辊三、13-收卷辊、14-伺服电机、601-进胶口、602-空腔、603-涂布轮、901-调节装置一、902-轴承端盖、903-压印辊、904-调节装置二、905-音圈电机一、906-挡板、1101-背辊、1102-紫外灯、1103-支架、90101-固定框一、90102-音圈电机二、90103-音圈电机三、90104-直圆型柔性铰链、90105-全向型柔性铰链、90106-固定框二、90107-直梁型柔性铰链、90108-立柱、90109-固定块。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。
如图1、2、3所示，所述的一种可精确控制的滚压装置包括底座1、支撑板2、放卷辊3、衬底4、张紧辊5、涂胶装置6、支撑辊一7、支撑辊二8、压印装置9、支座10、固化装置11、支撑辊三12、收卷辊13、伺服电机14，其中支撑板2通过螺钉固定于底座1上，放卷辊3通过轴承连接固定于支撑板2之间，衬底4包覆于放卷辊3与收卷辊13之上，并由支撑辊一7、支撑辊二8、支撑辊三12支撑，张紧辊5通过轴承连接固定于支撑板2之间，涂胶装置6两端通过螺钉固定于支撑板2之间，支撑辊一7通过轴承连接固定于支撑板2之间，支撑辊二8通过轴承连接固定于支撑板2之间，压印装置9通过螺钉固定于支座10上，支座10通过螺钉固定于底座1上，固化装置11在压印装置9下方且通过螺钉固定于底座1上，支撑辊三12通过轴承连接固定于支撑板2之间，收卷辊13通过轴承连接固定于支撑板2之间，并通过联轴器与伺服电机14直连，伺服电机14通过螺钉固定于支撑板2上。
如图4所示，所述的涂胶装置6包括进胶口601、空腔602、涂布轮603，空腔602顶端是进胶口601，空腔602底端是涂布轮603，空腔602内有光刻胶。
如图5、6、7所示，所述的压印装置9包括调节装置一901、固定框一90101、音圈电机二90102、音圈电机三90103、直圆型柔性铰链90104、全向型柔性铰链90105、固定框二90106、直梁型柔性铰链90107、立柱90108、固定块90109、轴承端盖902、压印辊903、调节装置二904、音圈电机一905、挡板906。其中音圈电机二90102一端通过螺钉与固定框一90101连接，另一端与直圆型柔性铰链90104连接，音圈电机二90102调节压印辊903在X轴方向上的位移。音圈电机三90103一端通过螺钉与固定框一90101连接，另一端与固定框二90106固连，音圈电机三90103通过固定框二90106调节压印辊903在Z轴方向上的位移。固定框二90106两侧分别通过两个全向型柔性铰链90105与直圆型柔性铰链90104连接。固定块90109在X轴方向两侧分别通过两对直梁型柔性铰链90107与固定框二90106连接，直梁型柔性铰链90107的作用是自适应调节，Z轴方向两侧通过两个立柱90108与固定框二90106固连，立柱90108的作用是导向。所述的调节装置二904与调节装置一901的结构完全相同。轴承端盖902通过螺钉固定于调节装置一901的固定块90109上，压印辊903通过轴承连接固定于调节装置一901和调节装置二904的固定块90109之间，挡板906两端通过螺钉与调节装置二904的直圆型柔性铰链90104连接，音圈电机一905一端通过螺钉与挡板906连接、另一端与固定块90109固连，音圈电机一905调节压印辊903在Y轴方向上的位移。
如图8、9所示，所述的固化装置包括背辊1101、紫外灯1102、支架1103。背辊1101固定在支架1103上可转动，紫外灯1102在背辊1101中心被固定在支架1103上。背辊1101由玻璃制成，可使紫外光透过。
结合附图对本发明作进一步描述。
首先启动伺服电机14，伺服电机14驱动收卷辊13转动，带动放卷辊3转动放出衬底4，张紧辊5使衬底4张紧，涂胶装置6的空腔602内的光刻胶由涂布轮603均匀涂到衬底4上，然后衬底4由支撑辊一7、支撑辊二8支撑进入压印装置9和固化装置10之间进行压印。音圈电机二90102调节固定框二90106并通过固定块90109使压印辊903、背辊1101的轴线处于同一竖直面上，音圈电机三90103调节压印辊903使压印辊903靠近背辊1101，同时音圈电机一905调节压印辊903使压印辊903与背辊1101线接触的长度大于衬底4的宽度，接着音圈电机三90103控制压印辊903均匀下压，使压印辊903与背辊1101接触并挤压衬底4，使衬底4上的光刻胶充分填充压印辊903上的模板空腔，压印辊903能够沿立柱90108作微小的位移，直梁型柔性铰链90107自适应衬底4的不平整度，以提高填充率，直至压印结束。压印完毕的光刻胶由衬底4下方的支架1103上的紫外灯1102固化，压印辊903旋转，衬底4与压印辊903缓慢分离完成脱模，最后由收卷辊13将衬底4收集起来，得到压印图案。
Claims (4)
1.一种滚压装置，其特征在于,包括底座、支撑板、放卷辊、衬底、张紧辊、涂胶装置、支撑辊一、支撑辊二、压印装置、支座、固化装置、支撑辊三、收卷辊、伺服电机，其中支撑板通过螺钉固定于底座上，放卷辊通过轴承连接固定于支撑板之间，衬底包覆于放卷辊与收卷辊之上，并由支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三支撑，张紧辊通过轴承连接固定于支撑板之间，涂胶装置两端通过螺钉固定于支撑板之间，支撑辊一通过轴承连接固定于支撑板之间，支撑辊二通过轴承连接固定于支撑板之间，压印装置通过螺钉固定于支座上，所述的压印装置包括调节装置一、轴承端盖、压印辊、调节装置二、音圈电机一、挡板，其中轴承端盖通过螺钉固定于调节装置一上，压印辊通过轴承连接固定于调节装置一和调节装置二之间，所述的调节装置一包括固定框一、音圈电机二、音圈电机三、直圆型柔性铰链、全向型柔性铰链、固定框二、直梁型柔性铰链、立柱、固定块，所述的音圈电机二一端通过螺钉与固定框一连接、另一端与直圆型柔性铰链连接，音圈电机三一端通过螺钉与固定框一连接、另一端与固定框二固连，固定框二两侧分别通过两个全向型柔性铰链与直圆型柔性铰链连接，固定块X轴方向两侧分别通过两对直梁型柔性铰链与固定框二连接，Z轴方向两侧通过两个立柱与固定框二固连，调节装置二与调节装置一的结构完全相同；所述的挡板两端通过螺钉与调节装置二连接，音圈电机一一端通过螺钉与挡板连接、另一端与调节装置二固连；支座通过螺钉固定于底座上，固化装置在压印装置下方且通过螺钉固定于底座上，支撑辊三通过轴承连接固定于支撑板之间，收卷辊通过轴承连接固定于支撑板之间，并通过联轴器与伺服电机直连，伺服电机通过螺钉固定于支撑板上。
2.根据权利要求1所述的滚压装置，其特征在于,所述的涂胶装置包括进胶口、空腔、涂布轮，空腔顶端是进胶口，空腔底端是涂布轮。
3.根据权利要求1所述的滚压装置，其特征在于,所述的固化装置包括背辊、紫外灯、支架，其中背辊固定在支架上可转动，紫外灯在背辊中心被固定在支架上，背辊由玻璃制成，可使紫外光透过。
4.一种滚压装置的滚压方法，其特征在于,所述滚压装置为根据权利要求1至3中任一项所述的滚压装置，所述滚压方法包括下列步骤：伺服电机驱动收卷辊转动，带动放卷辊转动，放出衬底，衬底由张紧辊张紧，支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三支撑，涂胶装置在衬底上涂上光刻胶，衬底进入压印装置与固化装置之间进行压印，音圈电机一调节压印辊在Y轴方向上的位移，以改变压印辊与背辊线接触的长度，音圈电机二调节压印辊在X轴方向上的位移，以调整压印辊与背辊接触的位置，音圈电机三调节压印辊在Z轴方向上的位移，以控制压印辊与支撑辊间的间隙以控制压印力，直梁型柔性铰链自适应衬底不平整度，以提高填充率，直至压印结束，压印完毕的光刻胶由紫外灯固化，压印辊旋转，衬底与压印辊缓慢分离完成脱模，最后由收卷辊将衬底收集起来,得到压印图案。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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