JP7223008B2 - 個別基材にテクスチャ付けするためのプロセスおよび装置 - Google Patents
個別基材にテクスチャ付けするためのプロセスおよび装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7223008B2 JP7223008B2 JP2020534962A JP2020534962A JP7223008B2 JP 7223008 B2 JP7223008 B2 JP 7223008B2 JP 2020534962 A JP2020534962 A JP 2020534962A JP 2020534962 A JP2020534962 A JP 2020534962A JP 7223008 B2 JP7223008 B2 JP 7223008B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamp
- imprint
- curvature
- resilient
- recoverable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
- B29C59/04—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing using rollers or endless belts
- B29C59/046—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing using rollers or endless belts for layered or coated substantially flat surfaces
Description
a)開口部および隆起部を有するパターン付き外面105Bを備える復元性スタンプ104を準備するステップと、
b)個別基材102を準備するステップと、
c)復元性スタンプ104および/または個別基材102を形成可能なインプリントラッカー103Aでコーティングするステップと、
d)復元性スタンプ104を、仮想円筒108Aによって形成される1つの仮想曲げ軸線108Cであって個別基材102の平面に平行でかつインプリント方向に直交する仮想曲げ軸線108Cの周りに曲げて、第1の脚部104Aおよび第2の脚部104Bを有する湾曲復元性スタンプ104を得るステップであって、それによって、第2の脚部104Bが第1の脚部104Aの方向の少なくとも一部で曲げられるように曲げが行われる、ステップと、
e)湾曲復元性スタンプ104を、湾曲復元性スタンプ104と個別基材102との間の形成可能なインプリントラッカー103Aに接触させ、それにより湾曲復元性スタンプ104によって個別基材102に接触領域112においてインプリント圧力を加えるステップであって、インプリント圧力は本質的に、湾曲復元性スタンプ104の復元力によって発生し、湾曲復元性スタンプ104はインプリント曲率を示し、インプリント曲率は、仮想円108Aの半径108Bによって規定され、仮想円108Aは、仮想曲げ軸線108Cの周りに曲げられた湾曲復元性スタンプ104の周りに描かれる、ステップと、
f)個別基材102および/または復元性スタンプ104を互いに対して移動させ、移動中にパターン付き外面105Bの開口部および隆起部をインプリント圧力で形成可能なインプリントラッカー103Aに押し込んで形成可能なインプリントラッカー103Aにインプリントテクスチャ103Bを与え、かつ移動中に、湾曲復元性スタンプ104のインプリント曲率を一定に保つステップと、
g)基材102上の、インプリントテクスチャ103Bが与えられた形成可能なインプリントラッカー103Aを固化させるステップと、
h)復元性スタンプ104を、テクスチャ付けした個別基材102から分離させるステップと、
を含む。
ic~1/r [1]
pimprint~ic~1/r [2]
N~pimprint~ic~1/r [3]
i.基材平面を規定する個別基材102と、
ii.開口部および隆起部を有するパターン付き外面105Bを備える復元性スタンプ104であって、
a.復元性スタンプ104は、復元性スタンプ104の開始部に配置された前部クランプ106Aと、復元性スタンプ104の終端部に配置された後部クランプ106Bとに取り付けられており、
b.復元性スタンプ104は、第2の脚部104Bを有し、第2の脚部104Bの後には曲げられた領域が順に続き、曲げられた領域の後には第1の脚部104Aが順に続き、第1の脚部104Aは、復元性スタンプ104と個別基材102との間に形成可能なインプリントラッカー103Aが介在した状態で基材平面と接触し、
c.復元性スタンプ104は、仮想円筒108Aによって形成される1つの仮想曲げ軸線108Cであって個別基材102の平面に平行でかつインプリント方向に直交する仮想曲げ軸線108Cの周りに曲げ領域で曲げられて、湾曲復元性スタンプ104が得られ、それにより湾曲復元性スタンプ104が個別基材102に接触領域においてインプリント圧力を加え、インプリント圧力は本質的に、湾曲復元性スタンプ104の復元力によって発生し、湾曲復元性スタンプ104は1つのインプリント曲率を示し、インプリント曲率は、仮想円筒108Aの半径108Bによって規定され、仮想円筒108Aは、仮想曲げ軸線108Cの周りに曲げられた湾曲復元性スタンプ104の周りに描かれる、復元性スタンプ104と、
iii.後部クランプ106Bに連結され、復元性スタンプ104と個別基材102との間に形成可能なインプリントラッカー103Aが介在した状態で個別基材102と接触している湾曲復元性スタンプ104を移動させることができる第1の移動手段であって、個別基材102が固定位置にある、第1の移動手段、および/または支持台101および/または前部クランプ106Aに連結され、湾曲復元性スタンプ104をその上に有する支持台101および/または復元性スタンプ104をクランプしている前部クランプ106Aを後部クランプ106Bの移動と同じ速度で反対方向に移動させることができる第2の移動手段と、
iv.湾曲復元性スタンプ104のインプリント曲率を制御することによってインプリント曲率を調節しかつ/または一定に保つ手段と、
v.インプリントテクスチャ103Bが付けられた形成可能なインプリントラッカー104を固化させるためのデバイスと、
を備える。
Claims (14)
- 個別基材(102)にインプリントテクスチャ(103B)をテクスチャ付けするためのプロセスであって、該プロセスは、
a)開口部および隆起部を有するパターン付き外面(105B)を備える復元性スタンプ(104)を準備するステップと、
b)個別基材(102)を準備するステップと、
c)前記復元性スタンプ(104)および/または前記個別基材(102)を、形成可能なインプリントラッカー(103A)でコーティングするステップと、
d)前記復元性スタンプ(104)を、仮想円筒(108A)によって形成される1つの仮想曲げ軸線(108C)であって前記個別基材(102)の平面に平行でありかつインプリント方向に直交する仮想曲げ軸線(108C)の周りに曲げて、第1の脚部(104A)および第2の脚部(104B)を有する湾曲復元性スタンプ(104)を得るステップであって、それによって、前記第2の脚部(104B)が前記第1の脚部(104A)の方向の少なくとも一部で曲げられるように前記曲げが行われる、ステップと、
e)前記湾曲復元性スタンプ(104)を、該湾曲復元性スタンプ(104)と前記個別基材(102)との間の前記形成可能なインプリントラッカー(103A)に接触させて、前記湾曲復元性スタンプ(104)によって前記個別基材(102)に接触領域(112)においてインプリント圧力を加えるステップであって、前記インプリント圧力は本質的に、前記湾曲復元性スタンプ(104)の復元力によって発生し、前記湾曲復元性スタンプ(104)はインプリント曲率を示し、該インプリント曲率は、仮想円筒(108A)の半径(108B)によって規定され、該仮想円筒(108A)は、前記仮想曲げ軸線(108C)の周りに曲げられた前記湾曲復元性スタンプ(104)の周りに描かれる、ステップと、
f)前記個別基材(102)および/または前記復元性スタンプ(104)を互いに対して移動させ、該移動中に、前記パターン付き外面(105B)の前記開口部および前記隆起部を前記インプリント圧力で前記形成可能なインプリントラッカー(103A)に押し込んで該形成可能なインプリントラッカー(103A)に前記インプリントテクスチャ(103B)を与え、かつ前記移動中に、前記湾曲復元性スタンプ(104)の前記インプリント曲率を一定に保つステップと、
g)前記個別基材(102)上の、前記インプリントテクスチャ(103B)が与えられた前記形成可能なインプリントラッカー(103A)を固化させるステップと、
h)前記復元性スタンプ(104)を、テクスチャ付けした前記個別基材(102)から分離させるステップと、
を含み、
前記仮想円筒(108A)の前記半径(108B)が値rを示し、rは、インプリントプロセスを開始する前のrの±50%の範囲内で変動する、個別基材(102)にインプリントテクスチャ(103B)をテクスチャ付けするためのプロセス。 - 前記ステップa)で準備される前記復元性スタンプ(104)が、0.1GPa~210GPaの範囲のヤング率を示す、請求項1記載のプロセス。
- 前記ステップa)で準備される前記復元性スタンプ(104)が、10μm~2000μmの範囲の厚さを有している、請求項1または2記載のプロセス。
- 前記ステップa)で準備される前記復元性スタンプ(104)が、前記開口部および前記隆起部を有するパターン付き外面(105B)に接合された復元性スタンプベース(105A)を備えている、請求項1から3までのいずれか1項記載のプロセス。
- 前記復元性スタンプベース(105A)の材料および/または前記開口部および前記隆起部を有する前記パターン付き外面(105B)の材料が、金属シート、プラスチックシート、ゴムシート、またはガラスシートを含む群から選択される、請求項4記載のプロセス。
- 前記ステップb)で準備される前記個別基材(102)の材料が、ガラス、金属シート、ポリカーボネート、ポリエステル、またはポリメチルメタクリレートを含む、請求項1から5までのいずれか1項記載のプロセス。
- 前記ステップc)における前記コーティングのための方法が、分注、インクジェット印刷、スロットダイコーティング、グラビア印刷、スクリーン印刷、ジェッティング、フレキソ印刷、またはローラコーティングである、請求項1から5までのいずれか1項記載のプロセス。
- 前記復元性スタンプ(104)は、該復元性スタンプ(104)の開始部に配置された前部クランプ(106A)と、前記復元性スタンプ(104)の終端部に配置された後部クランプ(106B)とに取り付けられており、前記ステップf)での前記移動中に、グライダ(110)が、前記後部クランプ(106B)および/または前記前部クランプ(106A)の均一な移動をサポートする、請求項1から7までのいずれか1項記載のプロセス。
- 可撓性スタンプ高さブロッカ(109)が、後部クランプ(106B)と前記復元性スタンプ(104)の曲げられた領域との間の曲げられていない領域において前記復元性スタンプ(104)よりも高い所に位置しており、前記可撓性スタンプ高さブロッカ(109)はさらに、前記湾曲復元性スタンプ(104)の前記インプリント曲率を制御することにより、前記インプリント圧力を制御する、請求項1から8までのいずれか1項記載のプロセス。
- インプリント曲率制御ウェッジ(111)が、前記湾曲復元性スタンプ(104)の内側に配置され、前記インプリント曲率制御ウェッジ(111)は、前記復元性スタンプ(104)を所望のインプリント曲率に押圧する、請求項1から9までのいずれか1項記載のプロセス。
- 個別基材(102)にテクスチャ付けするための装置であって、
i.開口部および隆起部を有するパターン付き外面(105B)を備える復元性スタンプ(104)であって、
a.前記復元性スタンプ(104)は、該復元性スタンプ(104)の開始部に配置された前部クランプ(106A)と、前記復元性スタンプ(104)の終端部に配置された後部クランプ(106B)とに取り付けており、
b.前記復元性スタンプ(104)は、第2の脚部(104B)を有しており、該第2の脚部(104B)の後には曲げられた領域が順に続き、該曲げられた領域の後には第1の脚部(104A)が順に続き、該第1の脚部(104A)は、前記復元性スタンプ(104)と前記個別基材(102)との間に形成可能なインプリントラッカー(103A)が介在した状態で前記個別基材(102)の基材平面と接触し、
c.前記復元性スタンプ(104)は、仮想円筒(108A)によって形成される1つの仮想曲げ軸線(108C)であって前記個別基材(102)の平面に平行でかつインプリント方向に直交する前記仮想曲げ軸線(108C)の周りに曲げ領域で曲げられて、湾曲復元性スタンプ(104)が得られ、それにより前記湾曲復元性スタンプ(104)が前記個別基材(102)に接触領域においてインプリント圧力を加え、前記インプリント圧力は本質的に、前記湾曲復元性スタンプ(104)の復元力によって発生し、前記湾曲復元性スタンプ(104)は1つのインプリント曲率を示し、該インプリント曲率は、仮想円筒(108A)の半径(108B)によって規定され、該仮想円筒(108A)は、前記仮想曲げ軸線(108C)の周りに曲げられた前記湾曲復元性スタンプ(104)の周りに描かれる、前記復元性スタンプ(104)と、
ii.前記後部クランプ(106B)に連結され、前記復元性スタンプ(104)と前記個別基材(102)との間に前記形成可能なインプリントラッカー(103A)が介在した状態で前記個別基材(102)と接触している前記湾曲復元性スタンプ(104)を移動させることができる第1の移動手段であって、前記個別基材(102)が固定位置にある、前記第1の移動手段、および/または、支持台(101)および/または前記前部クランプ(106A)に連結され、前記湾曲復元性スタンプ(104)をその上に有する前記支持台(101)および/または前記復元性スタンプ(104)をクランプしている前記前部クランプ(106A)を前記後部クランプ(106B)の前記移動と同じ速度で反対方向に移動させることができる第2の移動手段と、
iii.前記湾曲復元性スタンプ(104)の前記インプリント曲率を制御することによって前記インプリント曲率を調節しかつ/または一定に保つ手段と、
iv.インプリントテクスチャ(103B)が与えられた前記形成可能なインプリントラッカー(104)を固化させるためのデバイスと、
を備える、個別基材(102)にテクスチャ付けするための装置。 - 前記復元性スタンプ(104)の均一な移動をサポートする少なくとも1つのグライダ(110)をさらに備える、請求項11記載の装置。
- 前記湾曲復元性スタンプ(104)の前記インプリント曲率を制御するためのスタンプ高さブロッカ(109)をさらに備える、請求項11または12記載の装置。
- 前記湾曲復元性スタンプ(104)のインプリント曲率を制御するためのインプリント曲率制御ウェッジ(111)をさらに備える、請求項11から13までのいずれか1項記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP18153607 | 2018-01-26 | ||
EP18153607.9 | 2018-01-26 | ||
PCT/EP2019/051747 WO2019145418A1 (en) | 2018-01-26 | 2019-01-24 | Process and equipment for texturing discrete substrates |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021510640A JP2021510640A (ja) | 2021-04-30 |
JP7223008B2 true JP7223008B2 (ja) | 2023-02-15 |
Family
ID=61054216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020534962A Active JP7223008B2 (ja) | 2018-01-26 | 2019-01-24 | 個別基材にテクスチャ付けするためのプロセスおよび装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11204550B2 (ja) |
EP (1) | EP3743769B1 (ja) |
JP (1) | JP7223008B2 (ja) |
KR (1) | KR20200105824A (ja) |
CN (1) | CN111527448A (ja) |
WO (1) | WO2019145418A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220100570A (ko) * | 2019-11-19 | 2022-07-15 | 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 | 마이크로 및/또는 나노구조를 엠보싱하는 장치 및 방법 |
CN114454656A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-05-10 | Oppo广东移动通信有限公司 | 壳体及其制备方法、电子设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013534873A (ja) | 2010-05-27 | 2013-09-09 | コーニング インコーポレイテッド | 複製方法 |
US20180061686A1 (en) | 2016-08-24 | 2018-03-01 | Gwangju Institute Of Science And Technology | Apparatus for transferring thin-film elements |
JP2018507122A (ja) | 2015-02-13 | 2018-03-15 | モーフォトニクス ホールディング ベスローテン フェノーツハップMorphotonics Holding B.V. | 別個の基板をテクスチャリングするための方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4128369A (en) | 1975-12-10 | 1978-12-05 | Hazelett Strip-Casting Corporation | Continuous apparatus for forming products from thermoplastic polymeric material having three-dimensional patterns and surface textures |
JP2765981B2 (ja) * | 1989-08-28 | 1998-06-18 | 富士重工業株式会社 | 複合材の折曲成形方法および折曲成形装置 |
US5173314A (en) * | 1989-08-28 | 1992-12-22 | Fuji Jukogyo Kabushiki Kaisha | Apparatus for bending and forming a composite material sheet |
US5772905A (en) | 1995-11-15 | 1998-06-30 | Regents Of The University Of Minnesota | Nanoimprint lithography |
US5669303A (en) | 1996-03-04 | 1997-09-23 | Motorola | Apparatus and method for stamping a surface |
DE19815935A1 (de) * | 1998-04-09 | 1999-10-14 | Roland Man Druckmasch | Druckzylinder |
US6334960B1 (en) | 1999-03-11 | 2002-01-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Step and flash imprint lithography |
EP1362682A1 (en) | 2002-05-13 | 2003-11-19 | ZBD Displays Ltd, | Method and apparatus for liquid crystal alignment |
US8349241B2 (en) | 2002-10-04 | 2013-01-08 | Molecular Imprints, Inc. | Method to arrange features on a substrate to replicate features having minimal dimensional variability |
FR2893610B1 (fr) | 2005-11-23 | 2008-07-18 | Saint Gobain | Procede de structuration de surface d'un produit verrier, produit verrier a surface structuree et utilisations |
US8027086B2 (en) | 2007-04-10 | 2011-09-27 | The Regents Of The University Of Michigan | Roll to roll nanoimprint lithography |
US8432548B2 (en) | 2008-11-04 | 2013-04-30 | Molecular Imprints, Inc. | Alignment for edge field nano-imprinting |
US9616614B2 (en) | 2012-02-22 | 2017-04-11 | Canon Nanotechnologies, Inc. | Large area imprint lithography |
CN103235483B (zh) | 2013-05-07 | 2016-01-20 | 青岛博纳光电装备有限公司 | 大面积纳米图形化的装置和方法 |
PL3256906T3 (pl) * | 2015-02-13 | 2019-10-31 | Morphotonics Holding B V | Sposób teksturowania dyskretnych podłoży i elastyczny stempel |
CN116736631A (zh) * | 2016-07-14 | 2023-09-12 | 莫福托尼克斯控股有限公司 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
-
2019
- 2019-01-24 WO PCT/EP2019/051747 patent/WO2019145418A1/en unknown
- 2019-01-24 KR KR1020207017947A patent/KR20200105824A/ko active Search and Examination
- 2019-01-24 JP JP2020534962A patent/JP7223008B2/ja active Active
- 2019-01-24 EP EP19700969.9A patent/EP3743769B1/en active Active
- 2019-01-24 US US16/956,973 patent/US11204550B2/en active Active
- 2019-01-24 CN CN201980006869.8A patent/CN111527448A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013534873A (ja) | 2010-05-27 | 2013-09-09 | コーニング インコーポレイテッド | 複製方法 |
JP2018507122A (ja) | 2015-02-13 | 2018-03-15 | モーフォトニクス ホールディング ベスローテン フェノーツハップMorphotonics Holding B.V. | 別個の基板をテクスチャリングするための方法 |
US20180061686A1 (en) | 2016-08-24 | 2018-03-01 | Gwangju Institute Of Science And Technology | Apparatus for transferring thin-film elements |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019145418A1 (en) | 2019-08-01 |
CN111527448A (zh) | 2020-08-11 |
US11204550B2 (en) | 2021-12-21 |
EP3743769B1 (en) | 2023-11-15 |
US20200393753A1 (en) | 2020-12-17 |
KR20200105824A (ko) | 2020-09-09 |
EP3743769C0 (en) | 2023-11-15 |
EP3743769A1 (en) | 2020-12-02 |
JP2021510640A (ja) | 2021-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102328775B1 (ko) | 가요성 스탬프로 개별 기판을 임프린트하기 위한 장치 | |
US11402748B2 (en) | Method for texturing discrete substrates | |
EP3256906B1 (en) | Method for texturing discrete substrates and flexible stamp | |
US20060263530A1 (en) | Process for making non-continuous articles with microstructures | |
JP7223008B2 (ja) | 個別基材にテクスチャ付けするためのプロセスおよび装置 | |
US20230294441A1 (en) | Apparatus and process for replicating a texture | |
KR101298410B1 (ko) | 고속 롤-투-롤 핫 엠보싱 장치 및 이를 이용한 공정 | |
WO2023084082A1 (en) | Multi-textured stamp |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7223008 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |