KR20170030208A - 롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법 - Google Patents

롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 표면에 레지스트가 코팅된 도우너와 표면에 패턴이 기 형성된 소형의 마스터롤을 접촉시켜 도우너의 레지스트 일부가 마스터롤로 옮겨진 다음, 마스터롤과 대형의 베어롤이 접촉 및 회전하는 과정을 통해 마스터롤의 레지스트가 베어롤로 다시 옮겨져 베어롤 전체에 패턴이 형성됨으로써, 대형 롤 표면에 직접 레지스트를 코팅하지 않고도 대형 롤스탬프를 제조할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법{Apparatus for manufacturing roll stamp and method for manufacturing roll stamp using the same}
본 발명은 롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 표면에 레지스트가 코팅된 도우너와 표면에 패턴이 기 형성된 소형의 마스터롤을 접촉시켜 도우너의 레지스트 일부가 마스터롤로 옮겨진 다음, 마스터롤과 대형의 베어롤이 접촉 및 회전하는 과정을 통해 마스터롤의 레지스트가 베어롤로 다시 옮겨져 베어롤 전체에 패턴이 형성됨으로써, 대형 롤 표면에 직접 레지스트를 코팅하지 않고도 대형 롤스탬프를 제조할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체의 제조 공정에서는 실리콘(Silicon)과 유리(Glass) 등의 기판에 마스크(Mask) 또는 스탬프(Stamp)의 형상을 전사시켜 대량으로 마이크로미터 혹은 나노미터 크기의 미세한 형상이 제작된다.
최근에는 나노 패턴이 적용된 기능성 광학 필름에 대한 수요가 증대되고 있는데, 기능성 광학필름의 예로는 WGP (wire grid polarizer) 등이 있으며, 얇은 필름 위에 선 패턴 또는 점 패턴들이 반복적으로 형성된다.
기능성 광학 필름은 나노패턴이 있는 롤을 이용하여, 필름의 표면에 롤의 패턴을 전사하는 방법으로 제조된다.
롤스탬프를 이용한 기능성 필름 제조 공정에서는 롤스탬프의 제조가 반드시 필요한데, 현재까지 이음새 없는 대형 롤스탬프를 제조할 수 있는 기술이 개발되지 않은 상황이다.
롤스탬프는 평면성 스탬프를 롤에 감아 사용하거나, 필름형 스탬프를 벨트 형태로 연결하여 사용하는 등, 기존의 평면 기판 패터닝을 통해 얻어지는 결과물을 직접 활용하는 방법으로 제조되고 있으나, 이런 경우, 연결부위가 불연속적인 형상이 형성되어 롤스탬프를 생산할 수 있는 길이가 제한된다.
관련 기술로, 국내등록특허 제0860953호(등록일 2008.09.30, 명칭 : 임프린트용 롤스탬프 제조방법)에는 롤 외주면에 플라즈마에 의한 직접 식각을 통해 패턴을 형성하는 임프린트용 롤스탬프 제조방법이 개시된 바 있다.
하지만, 상기와 같은 방법 역시 개념적으로 접근하는 수준이며, 대형 롤스탬프를 제조하기에는 문제점이 많이 남아 있다.
또, 원통형 표면에 자기조립패터닝(self assembly patterning) 등을 이용한 bottom-up 방식의 패터닝 기술도 존재하지만, 아직까지는 개념적으로 접근하는 수준으로 실제 생산에 적용하는 데에는 어려움이 있다.
기존의 패터닝 기술은 웨이퍼 등 평면에 패턴을 제작하는 기술로 발전해 왔으며, 이러한 기술을 통해 소형 롤 표면에 패턴 전사는 가능 할 수도 있으나, 기존의 대부분 패터닝 기술을 적용하기 위해서는 원통 모양의 기판 표면 전체에 레지스트를 도포(코팅)해야 하는 것이 또 하나의 문제이다.
일반적으로 인쇄기술을 위한 롤 패터닝은 스프레이 코팅이나 닥터블레이드를 이용한 코팅 등을 적용해 왔으나, 이것들은 최소 코팅 가능한 두께가 수 um에서 수십 um 수준으로 매우 두꺼운 편이다.
나노미터급 패터닝 기술 적용을 위해서는 수백 nm 수준의 코팅을 수행해야 하는데, 현존하는 방법 중 가장 가까운 것이 Dip-coating (J. Taniguchi, M. Aratani, J. Vac. Sci. Technol. B 27 (2009) 2841. 또는 H. Maruyama, N. Unno, J. Taniguchi, Microelec. Eng. 97 (2012) 113-116. 논문 참고)이지만, 이러한 방법을 적용할 수 있는 롤 크기 및 형상 등에는 많은 제약이 따른다.
또 하나의 방법은 증착(Deposition)을 이용하는 방법인데, 이 역시 진공 챔버 내에 롤 기판을 넣어서 롤을 회전하면서 증착을 해야 하므로 기술적으로 구현함에 있어 매우 어려운 상황이다.
국내등록특허 제0860953호(등록일 2008.09.30, 명칭 : 임프린트용 롤스탬프 제조방법)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 대형 디스플레이, 박막 태양전지 등 다양한 분야에 활용될 수 있는 기능성 필름의 패터닝을 위한 필수 요소인 대형 롤스탬프를 제조하되, 대형 롤 표면에 직접 레지스트를 코팅하지 않고도 이음새 없는 대형 롤스탬프를 제조할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 기존의 패터닝 기술을 이용하여 소형 마스터롤이 제작된 상태에서 이를 대형 롤에 복제함으로써 대형 롤스탬프를 제조할 수 있는 롤스탬프 제조장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치는 x축을 중심으로 회전하는 베어롤; 상기 베어롤의 x축 방향으로 일측에 배치되며, 표면에 레지스트가 코팅된 도우너; 상기 베어롤 및 도우너와 일정거리 이격되어 나란하게 형성되는 고정대, 및 상기 고정대를 따라 x축 방향으로의 위치가 조절되는 이송대를 포함하는 슬라이딩 이송부; 상기 이송대의 일측에 결합되며, x축을 중심으로 회전 가능하고, 외주면에 패턴이 형성된 마스터롤; 및 상기 마스터롤이 z축 방향으로 이동하도록 조절하는 z축 위치조절부; 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 롤스탬프 제조장치는 상기 마스터롤의 내부에 구비되는 경화수단을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 경화수단은 레지스트에 자외선을 조사하여 경화시키는 자외선 조사장치일 수 있다.
또한, 상기 롤스탬프 제조장치는 상기 베어롤의 회전각을 조절하는 제1회전각 제어부와, 상기 마스터롤의 회전각을 조절하는 제2회전각 제어부를 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1회전각 제어부 및 제2회전각 제어부는 상기 베어롤 및 마스터롤이 접촉하는 지점에 대해 선속도가 동일하도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 롤스탬프 제조장치는 상기 도우너 표면에 레지스트를 코팅하는 코팅수단을 더 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 롤스탬프 제조장치는 상기 도우너가 편평한 평판 형태이고, 상기 도우너가 y축 방향으로 이동하며 상기 마스터롤과 접촉하도록 조절하는 y축 위치조절부를 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 롤스탬프 제조장치는 상기 도우너가 롤 형태이고, 상기 도우너가 x축을 중심으로 회전되되, 상기 마스터롤과 접촉하는 지점에 대해 선속도가 동일하도록 제어하는 제3회전각 제어부를 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 도우너는 롤 형태의 도우너 축 표면에 레지스트가 도포된 필름이 감겨져 형성될 수 있다.
또한, 롤스탬프 제조방법에 있어서, a) 도우너에 레지스트를 코팅하는 단계; b) 롤 형태로 표면에 패턴이 형성된 마스터롤이 상기 도우너와 접촉 및 회전되는 단계; 및 c) 상기 마스터롤이 x축으로 이동하여 롤 형태로 형성된 베어롤과 접촉된 다음, 상기 마스터롤 및 베어롤이 동일한 선속도로 회전하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 롤스탬프 제조방법은 상기 b) 단계에서 상기 도우너의 레지스트 일부가 상기 마스터롤 표면에 옮겨지며, 상기 c) 단계에서 상기 마스터롤 표면의 레지스트가 상기 베어롤로 옮겨질 수 있다.
또한, 상기 c) 단계에서는 상기 마스터롤 내부에 장착된 경화수단에 의해 상기 베어롤로 옮겨진 레지스트가 경화될 수 있다.
또한, 상기 롤스탬프 제조방법은 상기 도우너가 평판 형태인 경우, 상기 a) 단계에서 스핀코팅(Spin-coating), 슬릿다이코팅(Slit-die Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating) 중 어느 한 방법으로 레지스트가 코팅될 수 있다.
또한, 상기 롤스탬프 제조방법은 상기 도우너가 롤 형태인 경우, 상기 a) 단계에서 상기 도우너 표면에 직접 레지스트를 코팅할 수도 있고, 레지스트가 도포된 필름을 롤 형태의 도우너 축 표면에 감아서 사용할 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 롤스탬프 제조장치 및 방법은 표면에 레지스트가 코팅된 도우너와 표면에 패턴이 기 형성된 소형의 마스터롤을 접촉시켜 도우너의 레지스트 일부가 마스터롤로 옮겨진 다음, 마스터롤과 대형의 베어롤이 접촉 및 회전되는 과정을 통해 마스터롤의 레지스트가 베어롤로 다시 옮겨져 베어롤 전체에 패턴이 형성됨으로써, 대형 롤 표면에 직접 레지스트를 코팅하지 않고도 대형 롤스탬프를 제조할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 롤스탬프 제조장치 및 방법은 베어롤과 표면에 패턴이 기 형성된 소형의 마스터롤을 접촉시킨 후 회전시켜 베어롤 표면에 패턴을 전사하고 이동하여 순차적으로 패턴을 전사하여 베어롤 전체에 패턴을 형성시키므로, 연결부위의 불연속적인 형상이 없는 대형의 롤스탬프를 제조할 수 있는 장점이 있다.
아울러, 본 발명의 롤스탬프 제조장치 및 방법은 수백mm 이상의 폭을 가지는 롤 형태의 필름 표면에 연속적인 패터닝을 수행할 수 있어 대형 롤스탬프 제작이 용이하며, 이를 통해 향 후 디스플레이 산업 등 다양한 분야에 적용할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치에서 마스터롤 및 도우너가 서로 접촉하는 상태를 나타낸 측면도.
도 3은 본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치에서 도우너로부터 마스터롤로 레지스트가 전사되는 과정을 나타낸 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치에서 마스터롤이 베어롤 측으로 이송되는 과정을 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치에서 마스터롤 및 베어롤의 동기화된 회전을 나타낸 측면도.
도 6은 본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치에서 도 5의 회전에 의해 마스터롤에 전사되었던 레지스트가 다시 베어롤로 전사되는 것을 나타내는 개념도.
도 7은 본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치의 또 다른 실시예를 나타낸 사시도.
도 8은 도 7의 롤스탬프 제조장치에서 롤형 도우너의 표면에 레지스트가 코팅된 기판을 장착하는 것을 나타낸 사시도.
도 9 및 도 10은 도 7의 롤스탬프 제조장치에서 마스터롤 및 도우너가 가압 및 접촉하는 상태를 나타내는 사시도 및 이들의 동기화된 회전을 통해 롤형 도우너로부터 레지스트가 스탬프로 전사되는 상태를 나타낸 측면도.
이하, 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법을 설명하기로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)는 크게, 베어롤(100), 도우너(200), 슬라이딩 이송부(300), 마스터롤(400) 및 z축 위치조절부(510)를 포함하여 형성된다.
상기 베어롤(100)은 본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)를 통해 대형의 롤스탬프가 되는 것으로 x축을 중심으로 회전하도록 롤 형태로 길게 형성되는 것으로, 유리, 실리콘 또는 금속으로 제작될 수 있다.
상기 도우너(200)는 상기 베어롤(100)의 x축 방향으로 일측에 배치되며, 표면에 레지스트가 코팅된다.
이때, 상기 도우너(200)는 도 1에 도시된 바와 같이 편평한 평판 형태로 형성될 수도 있고, 도 7과 같이 롤 형태로 형성될 수도 있으며, 자세한 설명은 후술하기로 한다.
상기 슬라이딩 이송부(300)는 상기 베어롤(100) 및 도우너(200)와 일정거리 이격되어 나란하게 형성되는 고정대(310), 및 상기 고정대(310)를 따라 x축 방향으로의 위치가 조절되는 이송대(320)를 포함하여 형성된다.
상기 슬라이딩 이송부(300)의 고정대(310)는 일종의 리니어 가이드로, 레일 형태일 수도 있으며 이 외에도 상기 이송대(320)와의 결합으로 x축 방향으로의 슬라이딩 이동이 가능하도록 하는 수단으로 다양하게 변경실시가 가능하다.
상기 마스터롤(400)은 상기 이송대(320)의 일측에 결합되며, x축을 중심으로 회전 가능하고, 외주면에 패턴이 형성되며, z축 위치조절부(510)에 의해 z축 방향으로의 이동이 조절된다.
상기 마스터롤(400)은 z축 위치조절부(510)에 의해 z축 방향으로 이동하게 되는데, 이를 통해 상기 도우너(200)와의 접촉 및 가압이 조절된다. 즉, 상기 마스터롤(400)은 레지스트가 코팅된 도우너(200)와 일정 지점에서 접촉되도록 조절된 다음 일정 한 압력이 가해지도록 z축 위치조절부(510)에 의해 조절된다.
상기 롤스탬프 제조장치(1)는 상기 마스터롤(400)의 내부에 구비되는 경화수단(600)을 더 포함하여 형성될 수 있는데, 광경화성 레지스트 또는 열경화성 레지스트인지에 따라 상기 경화수단(600)은 레지스트에 자외선을 조사하여 경화시키는 자외선 조사장치일 수도 있고, 열을 가하여 경화시키는 열선형태의 가열장치일 수도 있다.
본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)는 x축 방향을 중심으로 회전하는 베어롤(100) 및 마스터롤(400)의 회전각을 제어하게 되는데, 이를 위해 상기 베어롤(100)의 회전각을 조절하는 제1회전각 제어부(710)와, 상기 마스터롤(400)의 회전각을 조절하는 제2회전각 제어부(720)를 포함하여 형성된다.
이를 통해, 본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)는 상기 제1회전각 제어부(710) 및 제2회전각 제어부(720)에 의해 상기 베어롤(100) 및 마스터롤(400)이 접촉하는 지점에 대해 선속도가 동일하도록 제어됨으로써, 상기 도우너(200)를 통해 상기 마스터롤(400) 표면에 전사되었던 레지스트가 상기 제어롤로 옮겨질 수 있다.
다음으로, 상기 도우너(200)가 도 1과 같이 편평한 평판 형태인 경우에 대해 좀 더 자세히 설명하면, 본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)는 상기 도우너(200)가 y축 방향으로 이동하며 상기 마스터롤(400)과 접촉하도록 조절하는 y축 위치조절부(510)를 포함하여 형성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)는 상기 z축 위치조절부(510)를 조절하여 상기 마스터롤(400)을 상기 도우너(200)에 접촉 및 가압시킨 다음, 상기 마스터롤(400)을 회전시킴과 동시에 도우너(200)를 y축으로 이송시키며 동기화된 회전을 유도하면, 도우너(200)에 도포된 레지스트 일부가 상기 마스터롤(400)로 옮겨지게 된다.
일반적으로, 상기 도우너(200)에 도포된 레지스트는 대략 1/2 가량이 상기 마스터롤(400)로 옮겨지게 되나, 그 상세한 조건은 도우너(200)와 마스터롤(400)의 표면 상태, 레지스트의 특성, 가압하는 하중 조건, 회전 및 이동하는 속도 조건 등에 의해 결정된다.
이때, 본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)는 상기 도우너(200) 표면에 레지스트를 코팅하는 코팅수단(800)을 더 포함하여 형성될 수도 있으며, 평면형 도우너(200)에 레지스트를 코팅하는 방법은 스핀코팅(Spin-coating), 슬릿다이코팅(Slit-die Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating) 등 다양한 방법이 있다.
또 다른 실시예로, 상기 도우너(200)가 도 7과 같이 롤 형태인 경우, 본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)는 상기 도우너(200)가 x축을 중심으로 회전되되, 상기 마스터롤(400)과 접촉하는 지점에 대해 선속도가 동일하도록 제어하는 제3회전각 제어부(730)를 포함하여 형성될 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 롤스탬프 제조장치(1)는 상기 x축 위치조절부를 조절하여 상기 마스터롤(400)을 상기 도우너(200)의 표면에 선접촉 되도록 하고, 일정 압력으로 가압되도록 한 다음, 상기 마스터롤(400) 및 도우너(200)가 접촉 부분에 대해 선속도가 동일하도록 동기화된 회전이 이루어지도록 함으로써, 도우너(200)의 표면에 도포된 레지스트가 마스터롤(400)로 전사되도록 한다.
이때, 상기 도우너(200)의 표면에 레지스트를 코팅하는 방법은 평면형일 때와 마찬가지로 롤 형태의 도우너(200)를 직접 스핀코팅(Spin-coating), 슬릿다이코팅(Slit-die Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating) 등의 방법을 통해 코팅할 수도 있고, 도 8과 같이, 상술한 방법을 통해 코팅된 필름 형태의 기판을 롤 형태의 도우너(200) 축에 감아 사용할 수도 있다.
이하에서는 상술한 바와 같은 롤스탬프 제조장치(1)를 이용한 롤스탬프 제조방법에 대해 설명한다.
본 발명의 롤스탬프 제조방법은 a) 도우너(200)에 레지스트를 코팅하는 단계; b) 롤 형태로 표면에 패턴이 형성된 마스터롤(400)이 상기 도우너(200)와 접촉 및 가압된 다음 회전되는 단계; c) 상기 마스터롤(400)이 x축으로 이동하여 롤 형태로 형성된 베어롤(100)과 접촉된 다음, 상기 마스터롤(400) 및 베어롤(100)이 동일한 선속도로 회전하는 단계; 를 포함한다.
좀 더 자세히 설명하면, 먼저, 상기 도우너(200)에 레지스트를 코팅하게 되는데 상기 도우너(200)가 평판 형태인 경우, 상기 a) 단계에서 스핀코팅(Spin-coating), 슬릿다이코팅(Slit-die Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating) 중 어느 한 방법으로 레지스트가 코팅되도록 하며, 롤 형태인 경우에는 상술한 바와 같은 방법으로 직접 코팅하거나, 필름 형태의 기판 표면에 레지스트가 코팅되도록 한 다음 이를 롤 형태의 도우너(200) 축에 감아 사용할 수도 있다.
다음으로, 상기 슬라이딩 이송부(300)에 의해 상기 마스터롤(400)이 상기 도우너(200)의 상측에 배치되도록 조절한 다음, z축 위치조절부(510)를 조절하여 상기 마스터롤(400)과 도우너(200)가 서로 접촉 및 가압되도록 한다.
다음, 상기 제2회전각 제어부(720)에 의해 상기 마스터롤(400)이 일정한 속도로 회전하도록 조절하되, 상기 도우너(200)가 롤 형태인 경우에는 상기 제3회전각 제어부(730)를 조절하여 상기 마스터롤(400) 및 도우너(200)가 접촉되는 지점에 대한 선속도가 동일하도록 하고, 상기 도우너(200)가 평판 형태인 경우에는 y축 위치조절부(510)를 조절하여 상기 마스터롤(400)이 회전하면서 상기 도우너(200)의 일측에서 타측까지 이동하며 레지스트가 상기 마스터롤(400) 표면에 전사되도록 한다.
다음, 상기 슬라이딩 이송부(300)에 의해 상기 마스터롤(400)이 상기 베어롤(100)의 상측에 배치되도록 조절한 다음, z축 위치조절부(510)를 조절하여 상기 마스터롤(400)과 베어롤(100)이 서로 접촉 및 가압되도록 한 상태에서 상기 제1회전각 제어부(710)를 조절하여 서로 동기화된 회전이 이루어지도록 한다.
이때, 상기 도우너(200)로부터 상기 마스터롤(400) 표면에 전사되었던 레지스트는 다시 베어롤(100)로 옮겨지게 되며, 이 과정에서 상기 마스터롤(400) 내부에 장착된 경화수단(600)이 상기 마스터롤(400) 및 베어롤(100)이 접촉되는 지점에 빔 형태로 자외선을 조사하여 경화가 이루어진다.
다음, 상기 베어롤(100) 및 마스터롤(400)의 접촉 및 회전에 의해 상기 베어롤(100)의 일정 영역에 패턴이 전사되었으면, 다시 상술한 바와 같은 과정을 거친 다음, 상기 마스터롤(400)을 x축으로 이송하여 상기 베어롤(100)의 다른 영역에도 패턴이 전사될 수 있도록 한다. 이와 같은 과정은 베어롤(100) 및 마스터롤(400)의 크기에 따라 그 횟수가 달라질 수 있다.
다시 요약하자면, 본 발명은 표면에 레지스트가 코팅된 도우너(200)와 표면에 패턴이 기 형성된 소형의 마스터롤(400)을 접촉시켜 도우너(200)의 레지스트 일부가 마스터롤(400)로 옮겨진 다음, 마스터롤(400)과 대형의 베어롤(100)이 접촉 및 회전되는 과정을 통해 마스터롤(400)의 레지스트가 베어롤(100)로 다시 옮겨져 베어롤(100) 전체에 패턴이 형성됨으로써, 대형 롤 표면에 직접 레지스트를 코팅하지 않고도 대형 롤스탬프를 제조할 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
1 : 롤스탬프 제조장치
100 : 베어롤
200 : 도우너
300 : 슬라이딩 이송부
310 : 고정대 320 : 이송대
400 : 마스터롤
510 : z축 위치조절부 520 : y축 위치조절부
600 : 경화수단
710 : 제1회전각 제어부 720 : 제2회전각 제어부
730 : 제3회전각 제어부
800 : 코팅수단

Claims (14)

  1. x축을 중심으로 회전하는 베어롤;
    상기 베어롤의 x축 방향으로 일측에 배치되며, 표면에 레지스트가 코팅된 도우너;
    상기 베어롤 및 도우너와 일정거리 이격되어 나란하게 형성되는 고정대, 및 상기 고정대를 따라 x축 방향으로의 위치가 조절되는 이송대를 포함하는 슬라이딩 이송부;
    상기 이송대의 일측에 결합되며, x축을 중심으로 회전 가능하고, 외주면에 패턴이 형성된 마스터롤; 및
    상기 마스터롤이 z축 방향으로 이동하도록 조절하는 z축 위치조절부; 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 롤스탬프 제조장치는
    상기 마스터롤의 내부에 구비되는 경화수단을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 경화수단은
    레지스트에 자외선을 조사하여 경화시키는 자외선 조사장치인 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 롤스탬프 제조장치는
    상기 베어롤의 회전각을 조절하는 제1회전각 제어부와, 상기 마스터롤의 회전각을 조절하는 제2회전각 제어부를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제1회전각 제어부 및 제2회전각 제어부는
    상기 베어롤 및 마스터롤이 접촉하는 지점에 대해 선속도가 동일하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 롤스탬프 제조장치는
    상기 도우너 표면에 레지스트를 코팅하는 코팅수단을 더 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 롤스탬프 제조장치는
    상기 도우너가 편평한 평판 형태이고,
    상기 도우너가 y축 방향으로 이동하며 상기 마스터롤과 접촉하도록 조절하는 y축 위치조절부를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 롤스탬프 제조장치는
    상기 도우너가 롤 형태이고,
    상기 도우너가 x축을 중심으로 회전되되, 상기 마스터롤과 접촉하는 지점에 대해 선속도가 동일하도록 제어하는 제3회전각 제어부를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  9. 제 9항에 있어서,
    상기 도우너는
    롤 형태의 도우너 축 표면에 레지스트가 도포된 필름이 감겨져 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
  10. 롤스탬프 제조방법에 있어서,
    a) 도우너에 레지스트를 코팅하는 단계;
    b) 롤 형태로 표면에 패턴이 형성된 마스터롤이 상기 도우너와 접촉 및 회전되는 단계; 및
    c) 상기 마스터롤이 x축으로 이동하여 롤 형태로 형성된 베어롤과 접촉된 다음, 상기 마스터롤 및 베어롤이 동일한 선속도로 회전하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 롤스탬프 제조방법은
    상기 b) 단계에서 상기 도우너의 레지스트 일부가 상기 마스터롤 표면에 옮겨지며,
    상기 c) 단계에서 상기 마스터롤 표면의 레지스트가 상기 베어롤로 옮겨지는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 c) 단계에서는
    상기 마스터롤 내부에 장착된 경화수단에 의해 상기 베어롤로 옮겨진 레지스트가 경화되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 롤스탬프 제조방법은
    상기 도우너가 평판 형태인 경우,
    상기 a) 단계에서 스핀코팅(Spin-coating), 슬릿다이코팅(Slit-die Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating) 중 어느 한 방법으로 레지스트가 코팅되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법.
  14. 제 10항에 있어서,
    상기 롤스탬프 제조방법은
    상기 도우너가 롤 형태인 경우,
    상기 a) 단계에서 상기 도우너 표면에 직접 레지스트를 코팅할 수도 있고, 레지스트가 도포된 필름을 롤 형태의 도우너 축 표면에 감아서 사용하는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치.
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