CN109478014A - 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 - Google Patents
用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109478014A CN109478014A CN201780043042.5A CN201780043042A CN109478014A CN 109478014 A CN109478014 A CN 109478014A CN 201780043042 A CN201780043042 A CN 201780043042A CN 109478014 A CN109478014 A CN 109478014A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pressing mold
- fixture
- band
- flexible
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003825 pressing Methods 0.000 title claims abstract description 339
- 230000009975 flexible effect Effects 0.000 title claims abstract description 202
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 81
- 239000002966 varnish Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims description 13
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 9
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 5
- 230000003362 replicative effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 28
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 10
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 10
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 10
- 238000013461 design Methods 0.000 description 8
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- 239000012994 photoredox catalyst Substances 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 238000007634 remodeling Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004235 Orange GGN Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000009738 saturating Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F19/00—Apparatus or machines for carrying out printing operations combined with other operations
- B41F19/02—Apparatus or machines for carrying out printing operations combined with other operations with embossing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41K—STAMPS; STAMPING OR NUMBERING APPARATUS OR DEVICES
- B41K3/00—Apparatus for stamping articles having integral means for supporting the articles to be stamped
- B41K3/44—Means for handling copy matter
- B41K3/50—Means for handling copy matter for conveying during stamping operation
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/2012—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image using liquid photohardening compositions, e.g. for the production of reliefs such as flexographic plates or stamps
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
Abstract
提供了一种用于通过用不连续柔性压模压印可固化清漆来将不连续基板纹理化或图案化并固化压印的清漆从而在不连续基板上得到另外的功能纹理化层的设备,其具有至少一个第一夹具和第二夹具、第一辊和至少一个从动带,该带与第一夹具和第二夹具相连接并且能够移动被夹持的柔性压模,其中或者辊不能使其自己转动,而是由压模驱动,而压模又由带驱动,而带又由带驱动装置驱动,或者辊由辊驱动装置以与带相同的速度驱动,辊驱动装置在主从构型中跟随带驱动装置。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于在不连续基板上通过用柔性压模压印可固化清漆来形成纹理或图案并在柔性压模与可固化清漆一起层压在基板上的同时固化已压印清漆并且随后释放从而在不连续基板上得到另外的功能纹理化层的设备。该另外的层的功能特别可以在光管理层到憎水层、装饰用或用于生物传感器的宽范围内选择。本发明进一步涉及一种设备以及一种压印清漆以在不连续基板上形成纹理或图案的柔性压模。
背景技术
在装置上使用功能纹理化层是一个重要的问题。这样的层的巧妙使用可以增强性能、降低成本或改善产品的视觉外观。例如扩散层用于显示器,使得可以使用更薄的LED背光概念和从侧面照亮显示器。另一个新的高科技机会是将功能纹理化层整合进太阳能电池板以改善其效率或整合进有机发光二极管(OLED)照明板以提取更多的光。
功能纹理化层可以使用UV压印制造。在此情况中,基板或压模或两者使用清漆(树脂或抗蚀剂)涂覆。在将压模压到基板上、其中间具有清漆后,将纹理化清漆固化至固相。固化方法可以是热或通过使用UV光。早在1978年,这一技术已经在美国专利4,128,369中提及。进一步的早期工作由Chou在1995年完成。他证明了通过使用刚性压模可以在高速大批量生产中(美国专利5,772,905)或者在Stephen Y.Chou,Peter R.Krauss,PrestonJ.Renstrom的文章中(Appl.Phys.Lett.67(1995)3114-3116))复制低于25nm的纹理。以后显示了辊在刚性压模或弯曲薄金属片上施加压力从而复制纹理的使用(文章作者Hua Tan,Andrew Gilbertson,Stephen Y.Chou,J.Vac.Sci.Technol.,B 16(1998)3926-3928)。
许多研究院和公司继续进行了这一工作,得到了不同的技术。
在半导体工业中,通过与转移方法、材料和精确定位一起使用刚性压模使用板-至-板刻印,如美国专利6,334,960、美国专利申请2004/0065976和美国专利8,432,548中所述。
辊-至-辊压印技术使用与柔性基板组合使用的带有纹理的辊以在连续方法中在箔或膜上形成纹理,如例如美国专利8,027,086所述。
上面提及的板-至-板技术被设计用于精确的、晶圆尺度的在高位置精度下在均匀平晶圆上的小纹理的压印(特征尺寸为100nm以下)。但是如中国专利申请CN 103235483中所述,该技术难以放大到更大的面积。通过使用辊-至-辊技术,可以以高生产速度连续制造纹理化的箔。这些纹理化的箔可以被用作用于柔性应用的基板或者可以被层压到刚性基板上。但是,后者带来了将纹理化的柔性箔粘合至刚性基板或产品的中间粘合剂层的额外的成本。因此开发了第三种新技术:直接辊-至-板压印。由此将功能纹理化层直接施于不连续基板上而不使用具有厚度为数十至数百微米的额外的中间粘合剂层的载体膜。与板-至-板技术形成对比,压印是通过使用纹理化的辊或通过使用纹理化的箔、也称为柔性压模(其卷绕在辊周围)而完成的。
在现有技术中,描述了多种类型的开发的辊-至-板设备。
WO2016/012174A1描述了一种光刻设备,其包括:照明系统,其配置成调整辐射束;旋转驱动器,其适于沿着闭环轨迹移动柔性图案形成装置,所述闭环轨迹具有直线部分和曲线部分,柔性图案形成装置的曲率与闭环轨迹的曲率基本上一致;构造成保持基板的基板台;其中,旋转驱动器包括滑轮组件,该滑轮组件构造成:在使用期间与柔性图案形成装置接合,并且在使用期间维持柔性图案形成装置的沿着轨迹的直线部分就位的部分基本上平坦,图案形成装置的基本上平坦的部分构造成分配在其横截面中具有图案的辐射束以形成图案化的辐射束;和投影系统,其构造成将图案化的辐射束投影到基板的目标部位上。
法国专利2,893,610使用纹理化辊以复制所需的纹理。此外,可以使用如美国专利7,824,516和美国专利申请2013/214452中公开的可移除的柔性压模。在此情况中,通过使用两个辊来解开和卷起柔性压模。专利US7,296,519 B2以及专利申请US 2013/214452 A1和CN 103235483中描述了第三种可能性,这些专利和专利申请提出使用更短的柔性压模作为模具,该模具被卷绕在多个辊周围并且可以连续地重复使用。这种较短的柔性压模可以在柔性压模的重复使用性以及更容易切换至不同压印图案方面具有优势。
使用较短的柔性压模作为模具与卷绕在退绕进给辊和卷绕收集辊周围的较大压模相比确实需要不同的压模操纵。现有技术提出其中柔性压模是闭环的设置。这可以是纹理化的板片,其两端可以连接并安装在两个或更多个辊周围或者可以沿着其圆周被固定,如专利US 7,296,519 B2中所述。在现有技术中,柔性压模由辊利用辊与柔性压模之间的摩擦移动。通过控制辊的距离来控制张力。
在辊-至-板压印方法中使用柔性压模以利用辊复制纹理的缺点在于难以控制张力。施加在柔性压模上的张力的变化将影响压模的尺寸,从而影响纹理的特征分布或轨迹间距。对于板-至-板复制,使用刚性压模,这不是问题。但是,在张力变化的情况下以及在温度和湿度变化的情况下,柔性压模将膨胀或收缩。对于需要复制纹理与产品精确匹配的应用而言,这种轨迹-间距变化会是有问题的。一个示例(但不限于此应用)是将双凸透镜用于3D应用,其中透镜应当与显示器像素阵列匹配。在显示器上,没有视觉冲击的最大轨迹间距变化是透镜阵列的1个轨迹间距。对于24英寸显示器和100微米的3D透镜轨迹间距,在500mm的长度上最大变化为100微米。对于具有更高分辨率并因此具有更小3D特征尺寸的类似显示器,该规范甚至更严格。如果在具有长度为0.5米,宽度为0.5米且厚度为0.25毫米的透镜阵列纹理的聚碳酸酯柔性压模上施加10N的张力变化,则透镜的轨迹间距将在柔性压模的长度上变化约17微米。除了张力变化外,温度变化和湿度变化也会影响轨迹间距变化。因此,相信应该控制和最小化由于张力变化而引起的轨迹间距变化。对于其它应用,突然的张力变化可能在视觉上令人不安。因此,对于高端应用,应该控制和最小化压印时柔性压模的张力变化。
在压印过程中,始终有张力施加在柔性压模上,以确保复制区域具有笔直的非弯曲表面。如果该张力得到很好的控制并因此保持恒定,则可以在制作母版时校正所施加的张力对压印纹理轨迹间距的影响。如专利申请SG 184034 A1或美国专利US 8027086 B2中所述,通常通过使用张力控制传感器并通过向外/向内移动其中一个辊来控制张力变化。这种张力控制的缺点在于该张力控制具有延迟时间。其次,张力由辊的表面控制。这些辊使柔性压模的移动转向。然而,为了良好的压印品质(其要求柔性压模与基板贴合),这些辊的表面可以是柔软的。对于大面积压印,这种转向还存在另外的问题,即可能发生大的柔性印模的局部起皱或滑动。
发明内容
拟通过本发明解决的问题在于提供一种用于使用短柔性压模以这样的方式进行不连续压印的设备,即该设备能够实现柔性压模在压印时的直线移动而不滑动或起皱,并且没有延时地直接控制压模张力。
所述问题通过一种用于使用不连续的柔性压模压印不连续基板的设备来解决,该设备包括:
a)至少一个第一柔性矩形压模,其具有长度L、宽度W、压印面积Astamp、起始端和末端,其中该压模包括
-前表面,其包括具有压印面积Aimprint的压印纹理(104A),Aimprint≤Astamp,其中所述压印纹理(104A)具有开孔和凸起,
-后表面,
-起始区域部段和末端区域部段,两者均沿着柔性压模的整个宽度W延伸,其中沿着柔性压模的长度L
-起始区域部段延伸起始端长度Lonset,并且
-末端区域部段延伸末端长度Lend,
b)夹持所述柔性压模的起始区域部段的至少一个第一夹具和夹持所述柔性压模的末端区域部段的至少一个第二夹具,
c)第一辊,
d)至少一个从动带,其与第一夹具和第二夹具连接并且能够使被夹持的柔性压模沿着其长度L移动并以其后表面越过辊一压印距离Id,以通过使柔性压模的前表面和基板与其间的清漆接触来将柔性压模的压印纹理压印到基板上,从而使所述清漆具有在所述基板上复制压印区域A’的压印纹理,并且其中所述带能够使压模沿移动方向移动,其中移动方向或者是压印方向,或者是与压印方向相反的方向,
其中
或者辊不能使其自己转动,而是由压模驱动,而压模又由带驱动,而带又由带驱动装置驱动,或者辊由辊驱动装置以与带相同的速度驱动,辊驱动装置在主从构型中跟随带驱动装置。
根据本发明的设备允许利用柔性压模高度精确地压印基板。该压模在其前表面上包括压印纹理。该设备包括第一辊,其中,辊或者不能引起其自转,而是由压模驱动,而压模又由带驱动,而带又由带驱动装置驱动,或者辊由辊驱动装置以与带相同的速度驱动,辊驱动装置在主从构型中跟随带驱动装置。在本发明的范围内,这意味着带而不是辊决定柔性压模的移动和由此确定复制速度。确切而言,所述辊由所述至少一个柔性压模驱动,所述压模由带或松驱动电机驱动,该电机在主从构型中跟随带的电机。而且,所述至少一个从动带由合适的带驱动装置(例如电动机)驱动。如果与第一夹具和第二夹具相连接的带使被夹持的压模沿着其长度移过辊,则所述辊被致使进行被动旋转。因此,并非柔性压模与被驱动辊之间的摩擦使压模移过辊,现有技术的压印设备就是这样。确切而言,从动带使被夹持的压模移过/越过辊,辊可以使用低摩擦轴承安装。因此,本发明的设备不需要具备具有足够的粗糙度以产生用于使压模移过辊的足够摩擦力的辊。确切而言,根据本发明的设备允许为辊设置光滑表面,然而,即使柔性压模具有大面积,也允许被夹持的柔性压模越过辊而不会局部起皱或滑动。
第一夹具和第二夹具利用带上的夹具之间的一定距离与被夹持在其间的柔性压模的连接以及辊相对于被夹持的压模的空间布置允许在柔性压模上施加一定张力。即使柔性压模移过辊,在压模于压印过程中移动期间,也保持了所述期望的张力。这是因为,如上所述,柔性压模既不会在辊上起皱,也不会在辊上滑动。因此,根据本发明的设备在控制-调节环中在压印期间提供没有延时地直接控制压模张力。
在根据本发明的设备的一个优选实施例中,可以更进一步提高所述没有延时地直接控制压模张力,其中至少第一夹具或至少第二夹具设置有用于进一步控制和调节柔性压模张力、同时保持柔性压模的容易更换的操作灵活性的集成装置。
根据本发明的设备的又一优点是其同时使用两个或更多个柔性压模的可行性,其中每个压模可在其纹理化的表面上带有不同的压印纹理。如上所述,根据本发明的设备包括至少一个从动带,其与第一夹具和第二夹具相连接,并且能够使所述至少第一被夹持的柔性压模沿着其长度L移动。
优选地,所述至少一个带由马达驱动。带通过使用导向轨道或滑轮引导。这些滑轮或导向轨道优选地位于所述至少第一辊的侧面。如果使用第二辊、第三辊或更多辊,则滑轮或导向轨道优选地也位于这些另外的辊的侧面。带决定柔性压模的旋转,从而决定压印的速度。在主从构型中,辊可以在带之后以与带相同的速度被驱动。这例如在辊与滑轮摩擦锁定的情况下可以实现。辊也可以是“非自驱动式”,即不能够使其自己转动,并且可以与利用夹具安装在带上的柔性压模摩擦锁定。辊也可以与柔性压模摩擦解锁。
在优选实施例中,该设备可进一步包括连接在同一带上的第三夹具、第四夹具和甚至更多个夹具,其中,例如,第一柔性压模可被夹持在第一夹具和第二夹具之间,第二柔性压模可被夹持在第三夹具和第四夹具之间,并且第三柔性压模可被夹持在第五夹具和第六夹具之间。这减少了循环时间并且允许压印期间的更高产量。在每个上述实施例中,多于一个的柔性压模可被夹持在要求数量的夹具之间。此外,这可以增加设备的产量。
优选地,根据本发明的设备包括两个、三个或甚至多于四个的带。在任何情况下,所述至少一个从动带用作用于夹具的导向支承件,优选地这些导向支承件存在于各夹具的两侧。
在又一优选实施例中,根据本发明的设备包括第一对带、第二对带或甚至更多对带,其中第一、第二、第三或甚至更多对带中的每一者可以被互相独立地操纵。例如,一对带可以使被夹持的柔性压模移动通过期望的加工工序,例如通过压印或通过使用清漆涂覆,而带有另一被夹持的柔性压模的另一对带可停止移动或反转移动方向。这允许增加灵活性、减少循环时间以及增加压印工艺的产量。
在又一优选实施例中,根据本发明的设备包括被夹持在第一夹具与第二夹具之间的至少一个第一柔性压模,其中第一夹具和第二夹具与第一对带相连接,并且其中该设备还包括被夹持在第三夹具与第四夹具之间的至少一个第二柔性压模,其中第三夹具和第四夹具与第二对带相连接,并且其中第一对带可以独立于第二对带被操纵。
在又一优选实施例中,根据本发明的设备可包括连接到同一带上的第三夹具、第四夹具和甚至更多个夹具,其中,例如,第一柔性压模可被夹持在第一夹具和第二夹具之间,第二柔性压模可被夹持在第三夹具和第四夹具之间,并且第三压模可被夹持在第五夹具和第六夹具之间。这减少了循环时间并且允许压印期间的更高产量。
在又一优选实施例中,根据本发明的设备包括夹持在第一夹具与第二夹具之间的至少一个第一压模,其中第一夹具和第二夹具与第一对带相连接,并且其中该设备还包括夹持在第三夹具与第四夹具之间的至少一个第二压模,其中第三夹具和第四夹具与同一第一对带相连接,并且两个或更多个压模被同时输送。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,其中至少第二夹具包括夹具连接器,优选地,夹具连接器利用夹具连接器销将夹具钉在所述至少一个从动带上,并且保持柔性压模的压模保持器优选是压模被固定在其上或其中的板片、轨道、棒条或圆柱体。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,至少第二夹具包括将夹具钉在所述至少一个从动带上的连接器(即,夹具连接器)和保持柔性压模的柔性压模保持器。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,其中至少第二夹具包括柔性压模保持器,夹具保持一个或多个柔性压模,其中压模具有相同的长度和相同或不同的宽度。如果在该优选实施例中,压模保持器保持两个、三个或甚至更多个柔性压模,则不同的柔性压模可以在其纹理化表面上具有相同或不同的压印纹理,或相同或不同的压印纹理面积尺寸。在任何情况下,压模保持器允许所述一个或多个柔性压模的容易移除。
在根据本发明的设备的一个特别优选的实施例中,夹具连接器包括易于安装部,其确保容易将压模保持器放置在带上和从带移除压模保持器,并且其中该安装部可选地包括夹具基部和张力控制弹簧。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,第一夹具和/或第二夹具包括柔性压模对准销,其可以相对于夹具连接器在带上的位置调节柔性压模和压模保持器的位置。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,第一夹具和/或第二夹具包括压模保持器位置对准销,其调节压模保持器与夹具连接器在带上的位置之间的距离,其中压模保持器将沿与带的移动方向垂直的方向移动。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,其中至少第二夹具包括柔性压模保持器,夹具保持一个或多个柔性压模,其中压模具有相同的长度和相同或不同的宽度。如果在该优选实施例中压模保持器保持两个、三个或甚至更多个柔性压模,则不同的柔性压模可以在其纹理化表面上具有相同或不同的压印纹理,或相同或不同的压印纹理面积尺寸。在任何情况下,压模保持器允许所述一个或多个柔性压模的容易移除。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,压模保持器保持一个或多个柔性压模,其中压模具有相同的长度和相同或不同的宽度。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,至少第二夹具设置有用于控制和调节柔性压模张力的集成装置,并且其中该装置包括能够用作弹簧并控制和调节柔性压模张力的材料或构件,其中优选地,该材料是柔性材料且该构件是柔性构件。
优选地,可选地为柔性材料的材料包括一个或多个弹簧。
在根据本发明的设备的一个优选实施例中,可通过调节上述弹簧的长度或通过调节柔性压模位于其间的第一和第二夹具之间的距离来控制柔性压模的张力。
所述一个或多个弹簧优选地包括螺旋弹簧、板簧、旋转弹簧或拉伸弹簧。
在根据本发明的设备的一个特别优选的实施例中,所述一个或多个弹簧包括螺旋弹簧、板簧、旋转弹簧或拉伸弹簧,并且可通过调节弹簧的长度和/或夹具的距离和/或调节弹簧常数利用弹簧的张力来控制柔性压模的张力。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,夹具包括在压模保持器与夹具基部之间的一个或多个导向销,其确保具有集成的张力控制装置的压模保持器仅可沿与带移动相同或相反的方向移动。
在又一优选实施例中,该材料包括一个或多个橡胶板片。所述一个或多个橡胶板片能够用作弹簧,并且能够控制和调节柔性压模张力变化。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,至少第二夹具包括一个或多个另外的导向销,其引导压模保持器沿与带移动相同或相反的方向移动。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,压模保持器的安装开口与夹具的基部之间的距离dcv在5cm以下,优选<3cm,更优选<2cm,并且最优选0cm。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,压模保持器的安装开口与夹具在带上的枢转位置之间的距离dch在5cm以下,优选<3cm,更优选<2cm,并且最优选0cm。
在根据本发明的设备的又一优选实施例中,压模具有
-具有起始端长度LonSet的起始区域部段,LonSet≥Lcm,
其中Lcm是将所述压模安装在所述压模保持器的安装开口中所需的最小长度,
-具有长度Lmiddle的中间压印区域部段,Lmiddle≥Ls,
其中Ls是所述基板的长度,和
-具有末端长度Lend的末端区域部段,Lend≥Lcm+1/4·r,
其中r是所述辊的半径,
并且其中所述压模的最大长度Lmax≤Lb,其中Lb是所述带的长度。
在另一优选实施例中,该设备还包括布置在托架上的基板,其中在主从构型中托架由至少一个从动带驱动,其中柔性压模利用夹具安装在带上。
优选地,托架利用至少一个滑动元件布置,使得托架能够沿着滑动元件滑动。例如,所述至少一个滑动元件可包括两个杆,其支承托架,并且托架能够沿着其滑动以便允许托架在主从构型中被自由地驱动,其中柔性压模利用夹具安装在带上。
优选地,柔性压模具有支承用柔性压模基部和纹理化的外表面,其中柔性压模基部和纹理化的外表面可以由同一种材料(例如但不限于通过铣削或热压花工艺制造的薄金属板片或塑料板片)制成。柔性压模也可以使用两种或更多种材料制造,所述材料具有用于形成基部的柔性板片,例如但不限于PET箔、PC箔、PEN箔、PMMA或其它丙烯酸箔或薄金属板,以及附着的纹理化有机层,例如但不限于丙烯酸酯材料、溶胶-凝胶材料、环氧树脂或第二纹理化塑料箔。可以添加更多的层以增强柔性压模的牢固度或功能性,例如抗粘层。
优选地,柔性压模具备具有纹理化表面区域TSA的纹理化表面,其中TSA等于或大于基板上的所需压印区域A’。
利用根据本发明的设备,可以执行压印过程,其中清漆可被涂覆到基板(也称为面板)上,或包括压印纹理的柔性压模的前表面上。这些基板或面板可以是子组件,例如玻璃、塑料或金属基板,或者可以是诸如显示器、发光或太阳能面板的成品器件。
随后,通过使柔性压模的前表面和基板与其间的清漆接触来压印基板(也称为复制或纹理化)清漆能够固化以保持压印图案。
在本发明的过程中,术语“清漆”指可以通过本领域技术人员公知的方法涂覆到基板上并纹理化(压印)的物质。此类清漆也称为涂层、树脂、抗蚀剂等。清漆通常包含单体、低聚物,可能添加光引发剂和交联丙烯酸酯基团。其它可能的材料是但不限于可固化的溶胶-凝胶和环氧树脂。这些固化方法也是公知的并且涵盖热固化、通过UV光固化、化学诱导固化和其它本身已知的方法。
因此,根据本发明的设备优选地包括固化装置,其例如能够进行热固化、通过UV光固化或化学诱导固化。该固化装置用于固化压印的清漆以保持压印的图案。
在固化之后,柔性压模从基板释放并且反纹理保留在基板上。
清漆的涂覆可以以多种方式完成,例如但不限于分配、喷墨印刷、丝网印刷、喷射、喷涂、缝-模涂覆或将清漆辊涂到基板上或柔性压模上。
优选地,根据本发明的设备包括用于在进行压印之前预固化清漆的额外固化装置,例如以便将清漆的粘度增加到期望值。所述额外的固化装置能够进行热预固化、通过UV光进行的预固化或化学诱导的预固化,以进行所需的预固化延伸。
在下文中,结合附图描述和说明根据本发明的设备的更多优选实施例。
图1A示出了其中利用两个夹具保持有限尺寸的柔性压模的根据本发明的辊-至-板压印设备的一个优选实施例。
在该设备中,将压印基板101。利用托架102支承该基板。在图1A中,该托架102是滑动基板台。
其它支承装置可以类似地使用,例如但不限于传送带或输送辊。该托架102可以利用两个滑动装置103在压印辊108A的下方滑动。如果带基板的托架102向右移动,如在图1A中通过表示压印方向的箭头所示,基板101将被压印。基板101利用纹理化的箔104压印。如图1A所示,该纹理化的箔104用作柔性压模,其因此被称为柔性压模。柔性压模104具有支承用柔性压模基部和图案化的前表面104A,也称为“压印纹理”或“压印图案”。该压印纹理104A包括本领域技术人员已知的浮雕图案的功能区域。该浮雕图案化的前表面104A是基板上的所需纹理的负(或反)纹理。柔性压模基部104和纹理化的前表面104A可以由同一种材料制成,例如但不限于通过铣削或热压花工艺制造的薄金属板或塑料板片。柔性压模104也可以使用两种或更多种材料制造,所述材料具有作为基部的柔性板片,例如但不限于PET箔、PC箔或PEN箔、PMMA或其它丙烯酸箔,以及附着的纹理化有机层104A,例如但不限于丙烯酸酯材料、溶胶-凝胶材料、环氧树脂、硅树脂材料如PDMS或第二纹理化塑料箔。可以添加更多的层以增强柔性压模104的牢固度或功能性,例如抗粘层。在图1A中,压印图案区域104A小于柔性压模基部的面积,即小于压模104的面积。
然而,柔性压模基部104的全部区域,即压模104的全部区域具有浮雕图案104A也是可行的。
优选地,柔性压模104具有0.1千兆帕斯卡(GPa)到10千兆帕斯卡(GPa)之间、特别优选0.5千兆帕斯卡(GPa)到5千兆帕斯卡(GPa)之间的杨氏模量。杨氏模量是根据ASTME111测定的。
该柔性压模104利用第一夹具105A和第二夹具105B保持就位,如图1A所示。夹具105A是前夹具,其中安装有柔性压模的相对于压印方向的起始区域部段。柔性压模的末端区域部段安装在夹具105B中。夹具安装在带106上。带106的材料可以是例如但不限于具有不锈钢张紧部件的聚氨酯。尽管原则上一个或多个带是可行的,但最优选的是在所述夹具的两侧使用两个带106作为用于每个夹具108A和108B的导向支承件。在图1A中,带106由位于辊108两侧的导向元件107引导。这些导向元件107可以是如图1A所示的滑轮。带106可以由一个滑轮107或利用放置在辊之间的另一电机驱动。带的转速可以在0.05m/min到超过30m/min之间。可以通过向内或向外移动滑轮来控制带的张力。优选地,速度在0.5m/min与15m/min之间。在图1A中,示出了四个辊108。但也可以使用两个、三个或多于四个的辊。图1A所示的四个辊108将引导被夹持的柔性压模104。辊108A是通过其发生实际的压印过程的辊。辊108B是通过其发生柔性压模从带有固化的纹理化清漆的基板101剥离的辊。辊108可以由刚性材料制成,例如但不限于不锈钢,但是优选地,辊由更具弹性的材料制成,例如但不限于邵氏A硬度在10与100之间、优选地邵氏A硬度在20至60之间的聚氯丁二烯、聚氨酯或EPDM。
辊108是“非自驱动”的,即辊108不能引起它们自身的运动并且可以沿任何方向自由旋转,而是由压模104驱动,压模104又由带106驱动,而带106又由带驱动装置驱动,或者辊108由辊驱动装置以与带相同的速度驱动,辊驱动装置在主从构型中跟随带驱动装置。因此,带106被驱动。托架102在主从构型中利用带106驱动。在压印期间,带有夹具105A和105B以及柔性压模104的带104将与基板101和所述带与基板之间的可固化清漆109接触。因此,在压印期间,带基板101的托架102在主从构型中将跟随从动带106。在这样的情况下,辊108和滑轮107的直径相似:在压印期间,压印辊108将与柔性压模104接触并且可将柔性压模104挤压在基板101上。
在压印过程之前,可以是玻璃基板的基板101或柔性压模104或两者被涂覆有压印清漆109。在图1A中,柔性压模104被利用分配装置110涂覆压印清漆109。如上所述,可以使用其它涂覆技术。注意,图1A是示意图。在实际操作中,清漆将被涂覆在压印纹理区域104A上。可选地,清漆109在已被分配到压模104上之后可被预固化。
在压印清漆109的涂覆和可能的预固化之后,压印过程开始,如图1B(1)、图1B(2)、图1B(3)、图1B(4)和图1B(5)所示。在压印过程开始时,在顶部带有压印纹理104A和压印清漆109的柔性压模104与基板101相接触。压模104的移动由滑轮107和带106操纵,柔性压模104利用夹具105A和105B安装在带106上。通过使基板101在压印辊108A下方滑动,如图1B(1)所示,柔性压模104层叠在基板101上,压印清漆109位于其间。带有压印纹理104A的柔性压模104与基板101之间的压印清漆109通过UV光源111硬化,从而得到固化的纹理112,也称为压印区域A’,如图1B(2)所示。在图1B中,UV光源111的位置设置在位于基板上方的辊108A和108B之间。UV光源111也可以被放置在两个辊108A和108B中的一者中。在透明基板101和透UV托架102的情况下,UV光源111也可以放置在托架102的下方。这可以发挥能够对柔性压模104使用不透明模具如薄金属板的优点。在压印清漆109固化之后,柔性压模104必须从基板101剥离,从而在基板101上留下固化的纹理112。这可以实现是因为,固化的纹理112比柔性压模104更易附着于基板101上。在固化的纹理112剥离之后,与压印纹理104A相比的反浮雕纹理将保留在基板101上并且柔性压模104可以重复使用。为了剥离,如图1B(3)所示,最容易进一步旋转带106并利用剥离辊108B将柔性压模104与基板101上的固化纹理112分离。不同选择是使带106如图1B(4)所示向后滚动。在这种情况下,辊108A用于反向剥离。这种替代过程可以具有带直立边缘的夹具不必通过涂布机的优点。另一优点在于不需要用于剥离的第二辊。这将降低如图1B(5)所示的设备的成本。
在图1A和图1B中,示出了辊-至-板压印设备,其使用具有承载柔性压模104的两个夹具105A和105B的两个带106。所提出的如图1A所示的压印设备的缺点在于工艺时间由一系列两个工序决定。首先,通过分配装置110涂覆压模104,随后将柔性压模104用于压印辊108A下方的压印。为了增加产量,提出设备的几种改型,如图2A、2B和2C所示。
如果在相同时间单位压印更多基板,则增加了产量。这可以通过平铺基板101并使用较宽的柔性压模104来实现。在这种情况下,导向压印辊108也应当较宽。一个示例是使用具有双压印纹理区域104A的宽柔性压模104来压印并排摆放的两个基板。利用如图2A所示的保持具有相同长度的两个或更多个柔性压模104的两个夹具105A和105B获得灵活性。两个柔性压模104的压印纹理104A可以相同或不同。如果两个压印纹理104A中的一个需要不同的压印清漆109,则可以调节涂覆装置110。
图2B示出了一个优选实施例,示出了使用被夹持在第一夹具105A与第二夹具105B之间的第一柔性压模104以及被夹持在第三夹具与第四夹具之间的第二柔性压模。第一夹具105A和第二夹具105B以及第三夹具和第四夹具两者都安装在同一带106上并由其操纵。增加了产量,因为通过第二柔性压模的分配装置110进行的涂覆和辊108A下方的第一柔性柔性压模104的压印工序不是连续的,而是可以同时施加。如果涂覆工序和压印工序具有带106的相同和连续速度,则这种提出的设置将最佳地工作。如果带106的旋转必须停止,则优选第二柔性压模不在压印。可以优化涂覆程序和/或夹具位置,以使用同一设备在一个带循环中实现两次或三次压印。
图2C示出一个优选实施例,示出了使用均被独立地驱动的两个不同带安装和操纵的更多夹具的设备。如图2C所示,带由不同滑轮107A和107B引导。增加了产量,因为通过分配装置110进行涂覆和辊108A下方的压印工序不是连续的,而是可以同时施加,原因与在图2B中已经说明的原因相同。此外,由于第一对内带使第一被夹持压模104移过辊,并且第二对外带用于使第二被夹持压模移过辊,并且由于内侧的一对带可以独立于外侧的一对带被操纵,所以涂覆和压印工序不必是互相依赖的。例如,第一对带可以停止以涂覆第一被夹持压模104,而第二对带可以继续压印第二被夹持压模。
施加在柔性压模上的张力将决定压模在压印时的长度和宽度。因此,张力变化将引起浮雕图案的轨迹间距(track-pitch)变化。例如,透镜阵列的轨迹间距将变化,或者棱镜或透镜形状将变得更宽/更小。在两种情况下,张力变化也对这些纹理结构的高度有影响。此外,总体纹理图像将由于压模长度和宽度变化而扭曲。施加在柔性压模上的张力可以由于不同原因而改变。根本原因尤其是:
-滑轮107或辊108的不圆度,导致两个夹具105A和105B之间的距离变化;
-当刚性夹具105经过辊108时柔性压模104上出现的力;
-温度或湿度变化;
可以利用下式计算张力变化对柔性压模104的长度的影响:ΔL=L0*1/E*σ。在该公式中,ΔL是由于所施加的载荷而引起的柔性压模104的变形,L0是柔性压模的初始长度,E是弹性模量,并且σ是在柔性压模104上的应力。该应力定义为所施加的载荷(或力)与柔性压模的横截面积(柔性压模的宽度*厚度)的比率。如果张力施加在压模上,则柔性压模的宽度也将改变。可以利用泊松比来计算柔性压模的宽度变化。
可以优化夹具的设计、柔性压模的设计和/或设备的设计以减小张力变化。在下文中,讨论可以分别应用或可以一起应用于根据本发明的设备中的不同改型。
图3A示出了根据本发明的设备的又一优选实施例,其中示意性地描绘了设备的夹具。图3A示出了安装在夹具105中的柔性压模104。夹具105可以是如图1A所示的前夹具105A或后夹具105B。该夹具105由不同部件组成。
夹具105的连接器207(即夹具连接器207)利用带连接销210将夹具105钉在带106上。该夹具连接器207可以永久地固定在带106上。或者,夹具连接器207可以设计成使压模保持器206从带106的安装和移除容易。带连接销210可以是螺钉或任何其它连接销。如果使用一个销来将夹具连接到带上,则该带连接销210的位置将是夹具105在经过辊时的枢转点。因此,该带连接销210相对于夹具保持器206的位置将决定夹具105和柔性压模104如何围绕辊108旋转。压模保持器206将保持柔性压模104。该压模保持器206可以是保持柔性压模104的任何保持器。作为示例但不限制地,压模保持器206可以是柔性压模104安装在其上或其中的板片、轨道、杆或圆柱体。
在一个优选实施例中,可以调节压模保持器206与压模连接器207之间的距离。通过调节该距离,压模保持器206的位置将垂直于带106的旋转方向移动。这可以利用压模保持器位置对准销211来完成。作为示例但不限制地,该压模保持器位置对准销211可以是可与导向器组合的螺钉或螺纹。通过调节压模保持器206的位置,压模104相对于基板101的位置改变。这将实现沿着基板101的宽度精确调整基板101上的固化纹理112在竖直方向上的位置。
存在将柔性压模104安装在压模保持器206中的不同方式。示例是提供压模安装开口205,柔性压模104的起始区域部段或末端区域部段可以在该压模安装开口205中滑动,并且其中可以使用例如螺钉204夹持压模104的所述段。
另一方法在于使压模保持器206的两个部件被挤压在一起,压模位于两个部件之间。该压模保持器206可以保持一个柔性压模104。柔性压模104的宽度可以变化。夹具105也可以保持具有相同或不同宽度并且全都具有彼此相同的长度的两个或更多个柔性压模104。此外,利用简单的保持机构,例如螺钉或夹具204,柔性压模104的安装或更换将耗费最短时间。此外,该压模保持器206可以具有对准特征结构,以定位柔性压模104。
如图3A所示的基本夹具设计将实现小型压模的使用以及简单的压模更换。然而,该基本压模设计不具有张力控制。
图3B示出了具有张力控制的夹具105。在这种情况下,增加了夹具基部208以及张力控制弹簧209。夹具基部208用于夹具105的牢固度和刚度。如果根据本发明的设备需要进一步的压模张力控制,则提出夹具基部208和夹具保持器206利用张力控制弹簧209连接。这可以是一个或多个弹簧,例如但不限于螺旋弹簧、板簧、旋转弹簧、拉伸弹簧或用作弹簧209的任何其它柔性材料,例如但不限于橡胶板或穿孔橡胶板。优选地,可以控制弹簧209的张力以补偿柔性压模104的长度差。
如图4A所示,可以利用螺钉303来手动调节张力,螺钉303可以改变张力控制弹簧209的长度。其它控制的可能性是例如但不限于通过在带连接销210位于带106上的情况下改变夹具连接器207的位置或通过调节弹簧常数来卷绕/展开弹簧209。可以利用测力计离线或在线确定所施加的张力。
由于弹簧阵列209可以向所有方向弯曲,例如向下或向旁边弯曲,可以增加另一导引销304,其确保压模保持器206仅可沿与带106移动相同或相反的方向移动。重要的是在低摩擦轴承中引导该销以便防止滑动-粘附效应。
图4A示出了一个优选实施例,其中夹具连接器207设计成使将压模保持器206容易安装在带106上以及从带106容易移除压模保持器206。如果夹具基部208和张力控制弹簧209集成在夹具中,则优选夹具基部208和张力控制弹簧209连同压模保持器206一起安装在带106上和从带106移除。作为示例但不限制地,夹具连接器207可以利用如图4A所示的夹具207A保持夹具基部208并进而保持压模保持器206。这些夹具207A可以向旁边移动,以使夹具基部208和压模保持器206的安装和移除容易,从而保持压模。在另一示例中但不限制地,夹具连接器207被分割为两个部件,其中一个部件固定在带上,另一个部件永久地固定在压模保持器206或压模基部208上。可以通过使一个部件在安装于另一部件上的钩下方移动来连接夹具连接器207的两个部件。
利用压模保持器位置对准销211,可以控制压模保持器206与夹具连接器207的距离。如果夹具基部208和张力控制弹簧209集成在夹具105中,如图4A所示,则也可以通过利用压模保持器位置对准销211改变夹具基部208离夹具连接器207的距离来改变夹具保持器210的位置。在两种情况下,压模保持器206的位置垂直于带106的旋转方向改变。以这种方式,可以优化柔性压模104相对于基板101的位置并进而优化基板101上的压印区域Aimprint的位置。
存在将保持柔性压模104的压模保持器206连接到带106而张力控制弹簧209位于其间的不同可能性。在其它选择中,一个示例是将弹簧209放置在夹具连接器207与带106之间,如图4B所示。在这种情况下,压模保持器206和夹具基部208可以相同。
为了进一步控制压模张力,如图1A所示的前夹具105A和后夹具105B可以具有如图3B所示的张力控制弹簧209。在前夹具105A和后夹具105B两者之中,后夹具105B的张力控制最有效。在纹理104A的第一部分固化之后,在其间有可固化清漆109的基板101和柔性压模104之间的第一接触部位,前夹具105A的张力控制将不再有效。此外,由于前夹具105A中的弹簧的变化的长度,压印开始位置界限不明确。因此,优选前夹具105A具有如图3A所示的基本夹具设计,并且不具有如图3B所示的张力控制弹簧。
图5示出了夹具105B的重量对柔性压模的张力的影响。根据在压印期间后夹具105B和/或前夹具105A的位置,夹具105的重量可以对施加至柔性压模104的张力变化有影响。
如图5所示,如果夹具105B从水平位置旋转到竖直位置,则作用在柔性压模104上的力将改变。在水平位置,如在图5的左侧所示,张力控制弹簧209将以例如100N的力拉动后夹具105B的柔性压模保持器206。如果同一后夹具105B旋转到竖直位置,如在图5的右侧所示,弹簧209将以相同的100N的力拉动。然而,重力将沿着重力场线向下拉动柔性压模保持器206。对于重量为3千克的柔性压模保持器206,柔性压模上的张力将减小30N。取决于柔性压模104的尺寸,在压印时30N的张力变化施加至柔性压模104,并且所述张力变化将影响压印纹理的品质。为了降低该影响,柔性压模保持器206的重量应当最小。作为示例,对于宽度为600mm的夹具105,夹具105的重量优选地低于5kg。
图6A示出了根据本发明的设备的又一优选实施例,其中夹具105B围绕辊108A旋转。夹具105A和105B的最小宽度由图1A所示的两个带106的距离决定。夹具105B的长度和高度应当最小化,以一旦夹具105B围绕辊108A旋转便限制对压模张力变化的影响。如图6A所示,一旦夹具105B围绕辊108A旋转,柔性压模104上的张力将改变。注意,如果前夹具105A围绕辊108B旋转,如图1A所示,则存在相同效应。为了限制该效应,提出限制夹具尺寸。由于夹具105围绕辊108旋转而引起的张力变化由压模保持器206中的压模安装开口205与夹具在带上的枢转点(如果使用一个连接销,则该枢转点为带连接销210的位置)之间的距离决定。该距离应当最小,优选为零。对于夹具设计,该偏好可以如图6B所示在两个维度上分割:
-夹具保持器206中的压模安装开口205与夹具105的基部之间的竖直距离dcv:夹具的基部是夹具的与带接触的一侧。在粗略计算中,如果对于长度为1米的膨胀压模而言压模205到夹具的基部上的安装距离dcv为1cm,则柔性压模将膨胀50微米。为了限制对精确应用的影响,建议距离dcf优选低于2cm,最优选为0cm。
-夹具保持器206中的压模安装开口205与带的枢转点(如果使用一个销,则其为与连接销210的位置相同的位置)之间的水平距离dch。距离dch对张力变化的影响在夹具围绕辊旋转的情况下确实取决于不同变量,例如辊的直径、围绕辊移动的夹具的位置以及将膨胀的压模的长度。夹具210的枢转点与压模安装开口205之间的2cm的距离dch可导致半径为110mm的辊膨胀1mm以上。对于精确应用,该张力变化过大。建议夹具的枢转位置210与夹具上的压模安装开口205之间的水平距离dch优选地低于1cm,最优选为0cm。
图7示出了根据本发明的设备的又一优选实施例,其中夹具105A和105B在压印时不经过辊。最容易将夹具保持在水平位置,如图7A和7B所示。在这种情况下,压模上由于重力而引起的力保持恒定。根据本发明的设备装置的又一优选实施例在图7C中示出,其中后夹具105B被成垂直角度放置。注意,夹具的移动可以成与图7C所示不同的角度。条件是夹具移动的角度恒定。图7A、7B和7C中描绘的不同实施例在左侧、即在图7A(1)、图7B(1)和图7C(1)中示出了在压印之前的柔性压模装置并且在右侧、即在图7A(2)、图7B(2)和图7C(2)中示出了刚好在经过UV条111之后的压印后的柔性压模装置。在所有这些情况下,压模上由于重力而引起的力在压印期间保持恒定,从而使张力变化最小化。
图7A示出了根据本发明的设备的又一优选实施例,其中使用了2个辊108A和108B并且两个夹具105A和105B在压印基板101的同时沿水平方向移动。
图7B示出了根据本发明的设备的又一优选实施例,其中使用了4个辊108A和108B并且两个夹具105A和105B在压印基板101的同时沿水平方向移动。
图7C示出了根据本发明的设备的又一优选实施例,其中基板101的压印在后夹具105B沿竖直方向移动的同时完成,如图7C(1)和7C(2)所示。
该优选设备和柔性压模设计引起更短的柔性压模长度L。然而,为了在不经过辊的情况下实现竖直移动,上部辊108与压印辊108A之间的竖直距离drv必须比图7B大,从而导致较大的设备和原则上更长的循环时间。这可以通过重新定位辊来补偿。
在根据本发明的设备中,可以使用四个以上的辊。辊的数量将对产量有影响。使张力变化最小化的优选要求是在压印期间保持夹具移动的角度恒定。在这种约束下,在压印时夹应该具不经过辊。该要求对压印设备以及柔性压模104的长度施加了约束。多个辊应当优选地以使得在压印时夹具不会经过辊的方式定位。在该优选情况下,压印辊108A与剥离辊108B之间的最小辊距离由基板台101的长度Lst、位于基板台前方的夹具105A的长度Lc、以及辊108A和108B的半径r限定。辊108A的中心与辊108B的中心之间的最小辊距离dr≥(Lc+Lst)。在这种情况下要求辊之间的相同竖直距离,其中使用更多辊:drv≥(Lc+Lst)。
具体设备设计的选择将对柔性压模的设计有影响。如图2B所示,压模104的长度L将大于在基板101处复制的压印图案112的长度。为了在基板上获得复制的压印纹理112,需要具有纹理化的表面区域104A的压模104,其中纹理化的表面区域104A具有与压印纹理112相比相同或更大的面积尺寸。基板101将具有与压印纹理112相比相同或更大的尺寸。基板台103将具有与基板101相比相同或更大的尺寸。具有纹理化的表面区域104A的柔性压模104将必须大于基板台103。需要具有最小长度Lcm的起始区域部段以用于如图4A所示将压模104安装在前夹具105A的压模保持器206的安装开口205中。在后侧,需要末端区域部段以用于将压模安装在后夹具105B的压模保持器206的安装开口205中。此外,需要1/4*r的额外长度来满足夹具105在压印时不经过辊108的要求。这引起压模的总最小长度L≥2*Lcm+Lst+1/4*r。在这种情况下,其中夹具在压印时将保持处于水平位置,如图7A和7B所示,压模最小长度将较大,L≥2*Lcm+Lst+1/2*r。压模的最大长度由带106的长度决定。
该优选实施例在图8(1)和图8(2)中示出。柔性压模104可以利用要求的压印区域104A部分地纹理化或由要求的压印纹理的反面完全覆盖,如图8(2)所示。如果柔性压模仅部分地纹理化,则压模上的纹理化区域TSA的位置被限定,从而具有用于安装夹具的最小起始区段Lcm和用于安装后夹具的最小末端区域部段Lcm+1/4*r并防止夹具在压印时围绕辊旋转,如图8(1)所示。
Claims (15)
1.一种用于使用不连续的柔性压模压印不连续基板的设备,包括:
a)至少一个第一矩形柔性压模(104),其具有长度L、宽度W、压印面积Astamp、起始端和末端,其中所述压模包括
-前表面,其包括具有压印面积Aimprint的压印纹理(104A),Aimprint≤Astamp,其中所述压印纹理(104A)具有开孔和凸起,
-后表面,
-起始区域部段和末端区域部段,所述起始区域部段和末端区域部段均沿着所述柔性压模的整个宽度W延伸,其中沿着所述压模的长度L
-所述起始区域部段延伸起始端长度Lonset,并且
-所述末端区域部段延伸末端长度Lend,
b)夹持所述柔性压模(104)的起始区域部段的至少一个第一夹具(105A)和夹持所述柔性压模(104)的末端区域部段的至少一个第二夹具(105B),
c)第一辊(108A),
d)至少一个从动带(106),其与所述第一夹具(105A)和所述第二夹具(105B)相连接并且能够使被夹持的柔性压模(104)沿着该柔性压模的长度L移动并且该柔性压膜的后表面越过所述辊(108A)一压印距离Id,以通过使所述柔性压模(104)的前表面和所述基板(101)与其间的清漆(109)相接触来将所述柔性压模(104)的压印纹理(104A)压印到基板(101)上,从而使所述清漆(109)具有在所述基板(101)上复制压印区域A’的压印纹理,并且其中所述带(106)能够使所述压模(104)沿移动方向移动,
其中所述移动方向是压印方向,或者是与所述压印方向相反的方向,
其中
所述辊(108A)不能使其自己转动,而是由所述压模(104)驱动,而所述压模又由所述带(106)驱动,而所述带又由带驱动装置驱动,
或者所述辊(108A)通过辊驱动装置以与所述带(106)相同的速度驱动,所述辊驱动装置在主从构型中跟随所述带驱动装置。
2.根据权利要求1所述的设备,其中,所述设备包括夹持在第一夹具(105A)与第二夹具(105B)之间的至少一个第一柔性压模(104),其中所述第一夹具(105A)和所述第二夹具(105B)与第一对带(106)相连接,并且其中所述设备还包括夹持在第三夹具与第四夹具之间的至少一个第二柔性压模,其中所述第三夹具和所述第四夹具与第二对带相连接,并且其中所述第一对带能独立于所述第二对带被操纵。
3.根据权利要求1至2中的一项或多项所述的设备,其中,所述设备包括夹持在第一夹具(105A)与第二夹具(105B)之间的至少一个第一压模(104),其中所述第一夹具和所述第二夹具与第一对带(106)相连接,并且其中所述设备还包括夹持在第三夹具与第四夹具之间的至少一个第二压模,其中所述第三夹具和所述第四夹具与相同的第一对带(106)相连接,并且其中两个或更多个压模被同时输送。
4.根据权利要求1至3中的一项或多项所述的设备,其中,至少所述第二夹具(105)包括将所述第二夹具(105)钉在所述至少一个从动带(106)上的连接器(207)和保持所述柔性压模(104)的柔性压模保持器(206)。
5.根据权利要求4所述的设备,其中,所述夹具连接器(207)包括易于安装部件,其确保容易将所述压模保持器(206)放置在所述带上和容易将所述压模保持器(206)从所述带移除。
6.根据权利要求5所述的设备,其中,所述第一和/或第二夹具(105A)、(105B)包括压模保持器位置对准销(211),其调节所述夹具连接器(207)在所述带(106)上的位置与所述压模保持器(206)之间的距离,由此所述压模保持器(206)将沿与所述带(106)的移动方向垂直的方向移动。
7.根据权利要求1至6中的一项或多项所述的设备,其中,所述压模保持器(206)保持一个或多个柔性压模(104),其中所述压模(104)具有相同的长度和相同或不同的宽度。
8.根据权利要求1至7中的一项或多项所述的设备,其中,至少所述第二夹具(105B)设置有用于控制和调节柔性压模张力的集成装置,并且其中所述集成装置包括能够用作弹簧并控制和调节柔性压模张力的材料或构件。
9.根据权利要求8所述的设备,其中,所述材料包括一个或多个弹簧(209)。
10.根据权利要求9所述的设备,其中,所述一个或多个弹簧(209)包括螺旋弹簧、板簧、旋转弹簧或拉伸弹簧,并且其中能通过调节所述弹簧(209)的长度和/或所述夹具的距离和/或调节弹簧常数利用所述弹簧(209)的张力来控制所述柔性压模(104)的张力。
11.根据权利要求8所述的设备,其中,所述材料包括一个或多个橡胶板。
12.根据权利要求1至11中的一项或多项所述的设备,其中,至少所述第二夹具(105B)包括一个或多个另外的导向销(304),其引导所述压模保持器(206)沿与所述带的移动相同或相反的方向移动。
13.根据权利要求1至12中的一项或多项所述的设备,其中,压模保持器的安装开口与夹具的基部之间的距离dcv小于5cm。
14.根据权利要求1至13中的一项或多项所述的设备,其中,所述压模保持器的安装开口与所述夹具在所述带上的枢转位置之间的距离dch小于5cm。
15.根据权利要求1至14中的一项或多项所述的设备,其中,所述压模具有
-具有起始端长度LonSet的起始区域部段,LonSet≥Lcm,
其中Lcm是将所述压模安装在所述压模保持器的安装开口中所需的最小长度,
-具有长度Lmiddle的中间压印区域部段,Lmiddle≥Ls,
其中Ls是所述基板的长度,和
-具有末端长度Lend的末端区域部段,Lend≥Lcm+1/4·r,
其中r是所述辊的半径,
并且其中所述压模的最大长度Lmax≤Lb,其中Lb是所述带的长度。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310254861.1A CN116736631A (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
CN202310254974.1A CN116643450A (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP16179451.6 | 2016-07-14 | ||
EP16179451 | 2016-07-14 | ||
PCT/EP2017/067406 WO2018011208A1 (en) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | Apparatus for imprinting discrete substrates with a flexible stamp |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310254861.1A Division CN116736631A (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
CN202310254974.1A Division CN116643450A (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109478014A true CN109478014A (zh) | 2019-03-15 |
CN109478014B CN109478014B (zh) | 2023-04-04 |
Family
ID=56740809
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310254861.1A Pending CN116736631A (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
CN201780043042.5A Active CN109478014B (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
CN202310254974.1A Pending CN116643450A (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310254861.1A Pending CN116736631A (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310254974.1A Pending CN116643450A (zh) | 2016-07-14 | 2017-07-11 | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10875337B2 (zh) |
EP (1) | EP3455676B1 (zh) |
JP (1) | JP6980002B2 (zh) |
KR (1) | KR102328775B1 (zh) |
CN (3) | CN116736631A (zh) |
DK (1) | DK3455676T3 (zh) |
ES (1) | ES2760602T3 (zh) |
HU (1) | HUE046952T2 (zh) |
TW (1) | TWI723198B (zh) |
WO (1) | WO2018011208A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113953168A (zh) * | 2021-10-20 | 2022-01-21 | 常州华威新材料有限公司 | 一种适用于制备深纹理薄膜的表面微交联工艺 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111527448A (zh) * | 2018-01-26 | 2020-08-11 | 莫福托尼克斯控股有限公司 | 对不连续基底进行纹理化的方法和设备 |
EP3633453B1 (de) * | 2018-10-03 | 2023-12-27 | ZKW Group GmbH | Verfahren zur herstellung von (sub-)mikrostrukturen auf gewölbten flächen eines optischen bauteils |
KR20220100578A (ko) | 2019-11-12 | 2022-07-15 | 모포토닉스 홀딩 비.브이. | 공동을 갖는 플레이트 캐리어를 포함하는 롤-투-플레이트 임프린팅 공정을 위한 장치 |
EP4300191A2 (de) * | 2019-11-19 | 2024-01-03 | EV Group E. Thallner GmbH | Vorrichtung und verfahren zum prägen von mikro- und/oder nanostrukturen |
JP2023502359A (ja) | 2019-11-26 | 2023-01-24 | モーフォトニクス ホールディング ベスローテン フェノーツハップ | 不平衡なローラを有するインプリント、テクスチャ加工またはエンボス加工システム |
US11485051B2 (en) | 2020-07-23 | 2022-11-01 | Himax Technologies Limited | Clamping apparatus of soft film and mounting fixture thereof |
IL300038A (en) * | 2020-07-31 | 2023-03-01 | Morphotonics Holding B V | Apparatus and process for duplicating texture |
CN116034451A (zh) * | 2020-08-07 | 2023-04-28 | 奇跃公司 | 管理用于压印的多目标对准 |
CN113031393A (zh) * | 2021-03-25 | 2021-06-25 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 | 一种适用于不规则模具的纳米压印设备及其压印方法 |
TW202332568A (zh) * | 2021-11-15 | 2023-08-16 | 荷蘭商摩富塔尼克斯控股公司 | 壓印方法 |
WO2023084082A1 (en) * | 2021-11-15 | 2023-05-19 | Morphotonics Holding B.V. | Multi-textured stamp |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0562254A (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-12 | Hitachi Ltd | 光デイスクの製造方法 |
DE19929266A1 (de) * | 1999-06-25 | 2000-12-28 | Eastman Kodak Co | Tintenstrahldrucker für die Herstellung von Fotoabzügen |
EP2246177A1 (en) * | 2008-02-27 | 2010-11-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Roller type nano-imprint device, mold roll for the roller type nano-imprint device, fixed roll for the roller type nano-imprint device, and nano-imprint sheet manufacturing method |
US20120256353A1 (en) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | Hitachi, Ltd. | Pattern transfer apparatus and pattern transfer method |
JP2015513797A (ja) * | 2012-02-22 | 2015-05-14 | キャノン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド | 大面積インプリント・リソグラフィ |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4128369A (en) | 1975-12-10 | 1978-12-05 | Hazelett Strip-Casting Corporation | Continuous apparatus for forming products from thermoplastic polymeric material having three-dimensional patterns and surface textures |
US4370936A (en) * | 1979-10-18 | 1983-02-01 | Midwestco, Inc. | Fabric tube forming methods and apparatus |
US5772905A (en) | 1995-11-15 | 1998-06-30 | Regents Of The University Of Minnesota | Nanoimprint lithography |
US6334960B1 (en) | 1999-03-11 | 2002-01-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Step and flash imprint lithography |
WO2001018604A2 (en) * | 1999-09-07 | 2001-03-15 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method and apparatus for thermal processing a photosensitive element |
EP1362682A1 (en) | 2002-05-13 | 2003-11-19 | ZBD Displays Ltd, | Method and apparatus for liquid crystal alignment |
EP1511632B1 (en) | 2002-05-27 | 2011-11-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for transferring a pattern from a stamp to a substrate |
US8349241B2 (en) | 2002-10-04 | 2013-01-08 | Molecular Imprints, Inc. | Method to arrange features on a substrate to replicate features having minimal dimensional variability |
US7070406B2 (en) | 2003-04-29 | 2006-07-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Apparatus for embossing a flexible substrate with a pattern carried by an optically transparent compliant media |
FR2893610B1 (fr) | 2005-11-23 | 2008-07-18 | Saint Gobain | Procede de structuration de surface d'un produit verrier, produit verrier a surface structuree et utilisations |
US8027086B2 (en) | 2007-04-10 | 2011-09-27 | The Regents Of The University Of Michigan | Roll to roll nanoimprint lithography |
JP5353020B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2013-11-27 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
KR20100011776A (ko) * | 2008-07-25 | 2010-02-03 | 삼성전기주식회사 | 임프린트 장치 제조방법 |
US8432548B2 (en) | 2008-11-04 | 2013-04-30 | Molecular Imprints, Inc. | Alignment for edge field nano-imprinting |
WO2011123485A2 (en) | 2010-04-01 | 2011-10-06 | 3M Innovative Properties Company | Precision control of web material having micro-replicated lens array |
JP5695608B2 (ja) * | 2011-11-11 | 2015-04-08 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | ゾルゲル法を用いた凹凸基板の製造方法、それに用いるゾル溶液、及びそれを用いた有機el素子の製造方法並びにそれから得られた有機el素子 |
CN109940987B (zh) * | 2012-03-05 | 2021-02-02 | 兰达公司 | 数字打印系统的控制设备和方法 |
JP2013184414A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | パターン転写装置及びパターン転写方法 |
JP6064667B2 (ja) * | 2013-02-21 | 2017-01-25 | 東レ株式会社 | 両面構造フィルムの製造方法および製造装置 |
KR20140109624A (ko) | 2013-03-06 | 2014-09-16 | 삼성전자주식회사 | 대면적 임프린트 장치 및 방법 |
CN103235483B (zh) | 2013-05-07 | 2016-01-20 | 青岛博纳光电装备有限公司 | 大面积纳米图形化的装置和方法 |
WO2016012174A1 (en) | 2014-07-24 | 2016-01-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
2017
- 2017-07-11 CN CN202310254861.1A patent/CN116736631A/zh active Pending
- 2017-07-11 EP EP17735599.7A patent/EP3455676B1/en active Active
- 2017-07-11 HU HUE17735599A patent/HUE046952T2/hu unknown
- 2017-07-11 DK DK17735599T patent/DK3455676T3/da active
- 2017-07-11 CN CN201780043042.5A patent/CN109478014B/zh active Active
- 2017-07-11 CN CN202310254974.1A patent/CN116643450A/zh active Pending
- 2017-07-11 US US16/315,746 patent/US10875337B2/en active Active
- 2017-07-11 WO PCT/EP2017/067406 patent/WO2018011208A1/en unknown
- 2017-07-11 KR KR1020197000647A patent/KR102328775B1/ko active IP Right Grant
- 2017-07-11 JP JP2019500582A patent/JP6980002B2/ja active Active
- 2017-07-11 ES ES17735599T patent/ES2760602T3/es active Active
- 2017-07-13 TW TW106123489A patent/TWI723198B/zh active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0562254A (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-12 | Hitachi Ltd | 光デイスクの製造方法 |
DE19929266A1 (de) * | 1999-06-25 | 2000-12-28 | Eastman Kodak Co | Tintenstrahldrucker für die Herstellung von Fotoabzügen |
EP2246177A1 (en) * | 2008-02-27 | 2010-11-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Roller type nano-imprint device, mold roll for the roller type nano-imprint device, fixed roll for the roller type nano-imprint device, and nano-imprint sheet manufacturing method |
CN101909859A (zh) * | 2008-02-27 | 2010-12-08 | 夏普株式会社 | 辊型纳米压印装置、辊型纳米压印装置用模具辊、辊型纳米压印装置用固定辊以及纳米压印片的制造方法 |
US20120256353A1 (en) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | Hitachi, Ltd. | Pattern transfer apparatus and pattern transfer method |
JP2015513797A (ja) * | 2012-02-22 | 2015-05-14 | キャノン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド | 大面積インプリント・リソグラフィ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113953168A (zh) * | 2021-10-20 | 2022-01-21 | 常州华威新材料有限公司 | 一种适用于制备深纹理薄膜的表面微交联工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102328775B1 (ko) | 2021-11-22 |
TW201808665A (zh) | 2018-03-16 |
KR20190028428A (ko) | 2019-03-18 |
DK3455676T3 (da) | 2019-12-09 |
ES2760602T3 (es) | 2020-05-14 |
HUE046952T2 (hu) | 2020-04-28 |
JP2019522368A (ja) | 2019-08-08 |
EP3455676A1 (en) | 2019-03-20 |
US20190329575A1 (en) | 2019-10-31 |
US10875337B2 (en) | 2020-12-29 |
TWI723198B (zh) | 2021-04-01 |
JP6980002B2 (ja) | 2021-12-15 |
EP3455676B1 (en) | 2019-09-11 |
CN109478014B (zh) | 2023-04-04 |
CN116643450A (zh) | 2023-08-25 |
CN116736631A (zh) | 2023-09-12 |
WO2018011208A1 (en) | 2018-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109478014A (zh) | 用于使用柔性压模压印不连续基板的设备 | |
US20220317567A1 (en) | Method for texturing discrete substrates | |
US7798802B2 (en) | Dual-side imprinting lithography system | |
JP6720199B2 (ja) | 別個の基板iiをテクスチャリングするための方法 | |
CN101137493A (zh) | 用于制造微复制物品的设备和方法 | |
KR20140109624A (ko) | 대면적 임프린트 장치 및 방법 | |
CN109521642A (zh) | 压印装置和制造显示面板的方法 | |
JP7223008B2 (ja) | 個別基材にテクスチャ付けするためのプロセスおよび装置 | |
KR101951997B1 (ko) | 대면적 마이크로 렌즈 어레이 제조방법 | |
KR20030088307A (ko) | 광학필름 제조장치 | |
US7781022B2 (en) | Method for producing a patterned sheet or film having a predetermined surface characteristic | |
JP5752889B2 (ja) | 転写方法 | |
Schift | Roll embossing and roller imprint | |
JP4645873B2 (ja) | 凹凸フィルムの製造方法及びその製造装置 | |
KR101298410B1 (ko) | 고속 롤-투-롤 핫 엠보싱 장치 및 이를 이용한 공정 | |
US7559989B1 (en) | Apparatus and method for producing a patterned sheet and/or film having a predetermined surface characteristic | |
KR101238628B1 (ko) | 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치 | |
KR101957493B1 (ko) | 고세장비의 마이크로 패턴 제조 장치 및 이의 제어 방법 | |
KR20230043836A (ko) | 텍스처를 복제하기 위한 장치 및 방법 | |
TWM341026U (en) | Rolling wheel type micro-structure imprinting device | |
JPH0689466A (ja) | ディスク製造用原盤およびそれを用いるディスクの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |