KR20180109698A - Cutting apparatus - Google Patents

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사토시 미야타
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

The present invention relates to a cutting apparatus which is able to install a cutting blade in a spindle without making mistake in installing the cutting blade in the spindle with a right cutting blade. The cutting apparatus comprises: first and second cutting units (20-1, 20-2) provided with a blade cover fixed to a spindle housing; a chuck table (10) maintaining an object to be processed (201); and a control unit (100) including a blade information registration portion (101) for registering a kind of the cutting blade. The blade cover is provided with an operating portion capable of selectively locating the cutting blade in a close location and a separate location. The control unit (100) sets only the operating portion of the blade cover of the first cutting unit (20-1) to the separate location when the kind of a first cutting blade is registered, and sets only the operating portion of the blade cover of the second cutting unit (20-2) to the separate location when the kind of a second cutting blade is registered.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}CUTTING APPARATUS

본 발명은 피가공물을 절삭 가공하는 절삭 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cutting apparatus for cutting a workpiece.

반도체 웨이퍼나 수지 패키지 기판 등 각종 판상의 피가공물을 절삭 블레이드에 의해 분할하는 절삭 장치 (다이서) 가 알려져 있다. 절삭 장치는, 절삭 블레이드를 장착하는 스핀들에 의해 구성된 절삭 유닛을 2 개 구비하여, 동시에 2 개의 분할 예정 라인을 절삭할 수 있는 듀얼 타입의 것이 사용된다. 이 듀얼 타입의 절삭 장치는, 효율적인 절삭을 실시하고 있다.BACKGROUND ART [0002] A cutting apparatus (dicer) for dividing a workpiece of various plate shapes such as a semiconductor wafer or a resin package substrate by a cutting blade is known. The cutting apparatus is of a dual type having two cutting units constituted by spindles for mounting cutting blades and capable of simultaneously cutting two lines to be divided at the same time. This dual-type cutting apparatus performs efficient cutting.

듀얼 타입의 절삭 장치는, 각각의 스핀들에, 각각 다른 종류의 절삭 블레이드를 장착하고, 일방의 스핀들에 장착된 절삭 블레이드가 두꺼운 날두께를 갖고, 피가공물 표면의 메탈이나 기능층을 제거하는 하프 컷 홈을 형성하고, 타방의 스핀들에 장착된 절삭 블레이드가 얇은 날두께를 갖고, 하프 컷 홈의 홈바닥을 풀 컷하여, 개개의 칩으로 분할하는 스텝 컷을 실시하는 것이 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 참조).The dual type cutting apparatus is characterized in that cutting blades of different kinds are mounted on respective spindles and the cutting blades mounted on one of the spindles have a thick blade thickness and a half cut A cutting step is performed in which a groove is formed and the cutting blade mounted on the other spindle has a thin blade thickness and the bottom of the groove of the half cut groove is fully cut and divided into individual chips (for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

일본 특허공보 제2892459호Japanese Patent Publication No. 2892459 일본 공개특허공보 2006-181700호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2006-181700

스텝 컷을 실시하는 경우, 듀얼 타입의 절삭 장치는, 각 스핀들에 잘못된 종류의 절삭 블레이드를 장착하여 가공해 버리면, 칩핑이 커지거나 하여 상정하고 있던 가공 결과를 크게 악화시켜 버릴 우려가 있다. 그래서, 스핀들에 장착하는 절삭 블레이드의 종류를 실수하지 않고, 스핀들에 절삭 블레이드를 장착할 수 있는 방법이 검토되어 왔다. 예를 들어, 절삭 블레이드나 절삭 블레이드를 수용하는 블레이드 케이스와 동일한 색의 플랜지를 스핀들에 장착하는 것이 있을 수 있다. 이 경우, 가공을 계속하면, 플랜지가 절삭 부스러기로 오염되어 버려 분별하기 어려워지거나, 오퍼레이터의 주의가 산만해지면, 색에 의한 식별도 간과되어 버릴 우려가 있었다.In the case of performing the step cut, if the dual type cutting device is machined by attaching the wrong kind of cutting blade to each spindle, the chipping may become large, and the result of the machining which is supposed to be caused may be greatly deteriorated. Thus, a method of mounting a cutting blade on a spindle without making a mistake in the kind of the cutting blade mounted on the spindle has been studied. For example, there may be mounting a flange of the same color on the spindle as the blade case accommodating the cutting blades or cutting blades. In this case, if the machining is continued, the flange becomes contaminated with cutting chips, which makes it difficult to discriminate, or if the operator's attention is distracted, the discrimination by color may be overlooked.

본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 스핀들에 장착하는 절삭 블레이드의 종류를 실수하지 않고, 스핀들에 절삭 블레이드를 장착할 수 있는 절삭 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a cutting apparatus capable of mounting a cutting blade on a spindle without making a mistake in the kind of cutting blades mounted on the spindle.

상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 절삭 장치는, 제 1 스핀들의 선단에 고정된 플랜지에 제 1 절삭 블레이드가 협지되어 장착되는 제 1 절삭 유닛과, 제 2 스핀들의 선단에 고정된 플랜지에 제 2 절삭 블레이드가 협지되어 장착되는 제 2 절삭 유닛과, 그 절삭 블레이드에 가공되는 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 장착하는 그 절삭 블레이드의 품종을 등록하는 블레이드 정보 등록부를 포함하여 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛을 구비하는 절삭 장치로서, 그 절삭 유닛은, 그 스핀들을 자유롭게 회전할 수 있게 지지하는 스핀들 하우징에 고정되고, 그 절삭 블레이드를 덮고 가공액을 공급하는 블레이드 커버를 구비하고, 그 블레이드 커버는, 그 스핀들 하우징에 고정된 고정부와, 가공액 노즐을 그 고정부에 개폐 가능하게 장착하고, 그 가공액 노즐이 그 절삭 블레이드에 근접한 근접 위치와, 그 절삭 블레이드로부터 이간되어 그 플랜지에 그 절삭 블레이드를 착탈하는 이간 위치에 선택적으로 위치시킬 수 있는 가동부를 구비하고, 그 제어 유닛은, 그 제 1 절삭 블레이드를 장착할 때에 그 제 1 절삭 블레이드의 품종이 등록되면, 그 제 2 절삭 유닛의 그 블레이드 커버의 가동부는 이간 위치로 설정되지 않지만, 그 제 1 절삭 유닛의 그 블레이드 커버의 가동부는 이간 위치로 설정되고, 그 제 2 절삭 블레이드를 장착할 때에 그 제 2 절삭 블레이드의 품종이 등록되면, 그 제 1 절삭 유닛의 그 블레이드 커버의 가동부는 이간 위치로 설정되지 않지만, 그 제 2 절삭 유닛의 그 블레이드 커버의 가동부는 이간 위치로 설정되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-described problems and to achieve the object, the cutting apparatus of the present invention comprises a first cutting unit in which a first cutting blade is mounted on a flange fixed to a tip end of a first spindle, A second cutting unit in which a second cutting blade is held and mounted on a flange fixed to a tip end, a chuck table for holding a workpiece to be machined on the cutting blade, and a blade information registering unit for registering the type of the cutting blade to be mounted Wherein the cutting unit is fixed to a spindle housing that freely rotatably supports the spindle, the blade cover covering the cutting blade and supplying the processing liquid, and a control unit for controlling each component including the cutting blade, The blade cover has a fixed portion fixed to the spindle housing and a fixed portion fixed to the spindle housing, And a movable portion capable of selectively positioning the machining liquid nozzle at a proximal position close to the cutting blade and at a spaced position where the cutting blade is detached from and detached from the cutting blade, , The movable part of the blade cover of the second cutting unit is not set to the disengaged position when the first cutting blade is registered at the time of mounting the first cutting blade but the blade cover of the first cutting unit The movable part of the first cutting unit is set to the disengaged position and when the second cutting blade is registered when the second cutting blade is mounted, the movable part of the blade cover of the first cutting unit is not set to the disengaged position, And the movable part of the blade cover of the cutting unit is set to the disengaged position.

상기 절삭 장치에 있어서, 그 절삭 블레이드 또는 그 절삭 블레이드를 수용하는 케이스에 설치되어 그 절삭 블레이드의 품종 정보를 포함하는 식별 코드를 판독하는 판독 유닛을 구비하고, 그 블레이드 정보 등록부에는, 그 판독 유닛에 의해 판독된 그 품종 정보가 등록되어도 된다.And a reading unit installed in a case accommodating the cutting blade or the cutting blade and reading an identification code including the type information of the cutting blade, The type information read by the user may be registered.

상기 절삭 장치에 있어서, 그 제어 유닛은, 그 절삭 블레이드와 그 스핀들의 조합을 포함하는 가공 조건을 등록하는 가공 조건 등록부를 구비하고, 등록된 그 절삭 블레이드의 그 품종과 그 스핀들의 조합으로부터, 그 블레이드 커버의 가동부를 이간 위치로 설정하는 그 절삭 유닛을 결정해도 된다.In the above cutting apparatus, the control unit includes a machining condition registering section for registering a machining condition including a combination of the cutting blade and the spindle, and from the combination of the registered blade and the spindle thereof, The cutting unit for setting the moving part of the blade cover to the spacing position may be determined.

본원 발명의 절삭 장치는, 스핀들에 장착하는 절삭 블레이드의 종류를 실수하지 않고, 스핀들에 절삭 블레이드를 장착할 수 있다는 효과를 나타낸다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The cutting apparatus of the present invention has the effect of mounting the cutting blade on the spindle without making a mistake in the kind of the cutting blade mounted on the spindle.

도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 유닛의 스핀들 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 도 2 에 나타내는 스핀들 유닛의 스핀들과 플랜지를 나타내는 사시도이다.
도 4 는, 도 2 에 나타내는 스핀들 유닛의 스핀들과 절삭 블레이드를 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 도 2 에 나타내는 스핀들 유닛의 Y 축 방향의 단면도이다.
도 6 은, 도 5 에 나타난 스핀들 유닛의 스핀들이 로크된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 7 은, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 유닛의 정면도이다.
도 8 은, 도 7 에 나타난 절삭 장치의 절삭 유닛의 블레이드 커버의 가동부가 이간 위치에 위치되어진 상태를 나타내는 정면도이다.
도 9 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 블레이드를 교환할 때에 사용되는 착탈 지그를 나타내는 사시도이다.
도 10 은, 도 9 에 나타난 착탈 지그를 회전시키기 위한 토크 드라이버를 나타내는 평면도이다.
도 11 은, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 블레이드를 교환하는 상태를 나타내는 정면도이다.
도 12 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 블레이드를 교환하는 상태를 일부 단면에서 나타내는 측면도이다.
도 13 은, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 교환용의 절삭 블레이드를 케이스 내에 수용하는 것을 나타내는 분해 사시도이다.
도 14 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 교환용의 절삭 블레이드를 수용하는 케이스의 평면도이다.
도 15 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 판독 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 16 은, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 제어 유닛의 기능 블록도이다.
도 17 은, 실시형태 2 에 관련된 절삭 장치의 절삭 유닛에 장착되는 절삭 블레이드와 케이스를 나타내는 사시도이다.Fig. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting apparatus according to Embodiment 1. Fig.
Fig. 2 is a perspective view showing a spindle unit of a cutting unit of the cutting apparatus shown in Fig. 1. Fig.
3 is a perspective view showing a spindle and a flange of the spindle unit shown in Fig.
Fig. 4 is a perspective view showing a spindle and a cutting blade of the spindle unit shown in Fig. 2;
5 is a sectional view of the spindle unit shown in Fig. 2 in the Y-axis direction.
6 is a cross-sectional view showing a state in which the spindle of the spindle unit shown in Fig. 5 is locked.
7 is a front view of a cutting unit of the cutting apparatus shown in Fig.
Fig. 8 is a front view showing a state in which the movable portion of the blade cover of the cutting unit of the cutting apparatus shown in Fig. 7 is positioned at an apart position.
Fig. 9 is a perspective view showing a detachable jig used when changing a cutting blade of the cutting apparatus shown in Fig. 1; Fig.
10 is a plan view showing a torque driver for rotating the attaching / detaching jig shown in Fig.
11 is a front view showing a state in which the cutting blade of the cutting apparatus shown in Fig. 1 is replaced.
Fig. 12 is a side view showing, in partial cross-section, a state in which a cutting blade of the cutting apparatus shown in Fig. 1 is replaced. Fig.
Fig. 13 is an exploded perspective view showing that the cutting blade for replacement of the cutting apparatus shown in Fig. 1 is housed in the case. Fig.
14 is a plan view of a case for accommodating a cutting blade for replacement of the cutting apparatus shown in Fig.
15 is a perspective view showing the reading unit of the cutting apparatus shown in Fig.
16 is a functional block diagram of the control unit of the cutting apparatus shown in Fig.
17 is a perspective view showing a cutting blade and a case mounted on a cutting unit of the cutting apparatus according to the second embodiment.

본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mode (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiments. Incidentally, the constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art, and substantially the same ones. Further, the structures described below can be appropriately combined. In addition, various omissions, substitutions or alterations can be made without departing from the gist of the present invention.

〔실시형태 1〕[Embodiment 1]

본 발명의 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.A cutting apparatus according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings. Fig. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting apparatus according to Embodiment 1. Fig.

실시형태 1 에 관련된 절삭 장치 (1) 는, 피가공물 (201) 을 절삭 가공하는 장치이다. 실시형태 1 에서는, 피가공물 (201) 은, 실리콘, 사파이어, 갈륨 등을 모재로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼이다. 피가공물 (201) 은, 표면 (202) 에 격자상으로 형성된 복수의 분할 예정 라인 (203) 에 의해 격자상으로 구획된 영역에 디바이스 (204) 가 형성되어 있다. 본 발명의 피가공물 (201) 은, 중앙부가 박화되고, 외주부에 후육부 (厚肉部) 가 형성된 소위 TAIKO 웨이퍼여도 되고, 웨이퍼 이외에, 수지에 의해 봉지된 디바이스를 복수 가진 사각형상의 패키지 기판, 세라믹스판, 유리판 등이어도 된다. 피가공물 (201) 은, 이면 (205) 에 보호 부재인 점착 테이프 (206) 가 첩착되어 있다. 점착 테이프 (206) 는, 외주에 환상 프레임 (207) 이 장착되어 있다.The cutting apparatus 1 according to Embodiment 1 is a device for cutting a work 201. As shown in Fig. In Embodiment 1, the work 201 is a disk-shaped semiconductor wafer or optical device wafer made of silicon, sapphire, gallium, or the like as a base material. The workpiece 201 is formed with a device 204 in a region partitioned in a lattice by a plurality of lines 203 to be divided which are formed in a lattice pattern on the surface 202. The workpiece 201 of the present invention may be a so-called TAIKO wafer having a thin central portion and a thick portion at its outer periphery. In addition to the wafer, a rectangular package substrate having a plurality of devices sealed by resin, Span, glass plate, or the like. The work 201 is adhered to the back surface 205 with an adhesive tape 206 as a protective member. The adhesive tape 206 has an annular frame 207 mounted on the outer periphery thereof.

도 1 에 나타난 절삭 장치 (1) 는, 피가공물 (201) 을 척 테이블 (10) 에 의해 유지하고 분할 예정 라인 (203) 을 따라 절삭 블레이드 (21) (도 2 에 나타낸다) 에 의해 절삭하는 장치이다. 절삭 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 피가공물 (201) 을 흡인 유지하는 유지면 (11) 을 구비한 척 테이블 (10) 과, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (201) 을 스핀들 (22) (도 2 에 나타낸다) 에 장착한 절삭 블레이드 (21) 에 의해 절삭하는 절삭 유닛 (20) 과, 제어 유닛 (100) 을 구비한다.The cutting apparatus 1 shown in Fig. 1 is a device for cutting a workpiece 201 by a chuck table 10 and cutting along a line to be divided 203 by a cutting blade 21 (shown in Fig. 2) to be. 1, the cutting apparatus 1 includes a chuck table 10 having a holding surface 11 for sucking and holding a workpiece 201 and a workpiece 201 held on the chuck table 10 , A cutting unit 20 for cutting by a cutting blade 21 mounted on a spindle 22 (shown in FIG. 2), and a control unit 100.

또, 절삭 장치 (1) 는, 척 테이블 (10) 을 유지면 (11) 과 평행한 가공 이송 방향인 X 축 방향으로 이동시키는 도시되지 않은 가공 이송 유닛과, 절삭 유닛 (20) 을 유지면 (11) 과 평행하고 또한 X 축 방향에 직교하는 산출 방향인 Y 축 방향으로 이동시키는 도시되지 않은 산출 이송 유닛과, 절삭 유닛 (20) 을 X 축 방향과 Y 축 방향의 쌍방과 직교하는 연직 방향에 평행한 Z 축 방향으로 이동시키는 도시되지 않은 절입 이송 유닛을 구비한다. 또, 절삭 장치 (1) 는, 절삭 전후의 피가공물 (201) 을 복수 수용하는 카세트 (111) 가 재치 (載置) 되고 또한 카세트 (111) 를 Z 방향으로 이동시키는 카세트 엘리베이터 (110) 와, 카세트 (111) 에 피가공물 (201) 을 출입시킴과 함께 피가공물 (201) 을 반송하는 도시되지 않은 반송 유닛을 구비한다.The cutting apparatus 1 includes a not-shown processing transfer unit for moving the chuck table 10 in the X-axis direction which is a processing transfer direction parallel to the holding surface 11, Axis direction, which is parallel to the X-axis direction and perpendicular to the X-axis direction, and the Y-axis direction, which is parallel to the X-axis direction, and which moves the cutting unit 20 in the X-axis direction and the Y- (Not shown) for moving in the parallel Z-axis direction. The cutting apparatus 1 further includes a cassette elevator 110 on which a cassette 111 containing a plurality of workpieces 201 before and after cutting is placed and which moves the cassette 111 in the Z direction, And a transfer unit (not shown) for transferring the workpiece 201 to and from the cassette 111 and transferring the workpiece 201.

또한, 절삭 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 유닛 (20) 을 2 개 구비하고, 또한 절삭 블레이드 (21) 끼리가 대면하는 위치에 배치된, 즉, 2 스핀들의 다이서, 이른바 페이싱 듀얼 타입의 절삭 장치이다.1, the cutting apparatus 1 is provided with two cutting units 20 and is disposed at a position where the cutting blades 21 face each other, that is, a two-spindle die, It is a so-called pacing dual type cutting device.

척 테이블 (10) 은, 원반 형상이며, 피가공물 (201) 을 유지하는 유지면 (11) 이 포러스 세라믹 등으로 형성되어 있다. 또, 척 테이블 (10) 은, 가공 이송 유닛에 의해 자유롭게 이동할 수 있고 도시되지 않은 회전 구동원에 의해 Z 방향과 평행한 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 형성되어 있다. 척 테이블 (10) 은, 도시되지 않은 진공 흡인원과 접속되고, 진공 흡인원에 의해 흡인됨으로써, 절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 에 의해 절삭 가공되는 피가공물 (201) 을 흡인, 유지한다. 또, 척 테이블 (10) 의 주위에는, 에어 액추에이터에 의해 구동되어 피가공물 (201) 의 주위의 환상 프레임 (207) 을 협지하는 클램프부 (12) 가 복수 형성되어 있다.The chuck table 10 is disk-shaped, and the holding surface 11 for holding the workpiece 201 is formed of porous ceramics or the like. The chuck table 10 is freely movable by the processing and transfer unit and is formed so as to be freely rotatable about an axis parallel to the Z direction by a rotation drive source (not shown). The chuck table 10 is connected to a vacuum suction source not shown and sucked by a vacuum suction source so that the workpiece 201 to be cut by the cutting blade 21 of the cutting unit 20 is sucked and held do. A plurality of clamping portions 12 are formed around the chuck table 10 for clamping the annular frame 207 around the work 201 driven by the air actuator.

다음으로, 절삭 유닛 (20) 을 도면에 기초하여 설명한다. 도 2 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 유닛의 스핀들 유닛을 나타내는 사시도이다. 도 3 은, 도 2 에 나타내는 스핀들 유닛의 스핀들과 플랜지를 나타내는 사시도이다. 도 4 는, 도 2 에 나타내는 스핀들 유닛의 스핀들과 절삭 블레이드를 나타내는 사시도이다. 도 5 는, 도 2 에 나타내는 스핀들 유닛의 Y 축 방향의 단면도이다. 도 6 은, 도 5 에 나타난 스핀들 유닛의 스핀들이 로크된 상태를 나타내는 단면도이다. 도 7 은, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 유닛의 정면도이다. 도 8 은, 도 7 에 나타난 절삭 장치의 절삭 유닛의 블레이드 커버의 가동부가 이간 위치에 위치되어진 상태를 나타내는 정면도이다.Next, the cutting unit 20 will be described with reference to the drawings. Fig. 2 is a perspective view showing a spindle unit of a cutting unit of the cutting apparatus shown in Fig. 1. Fig. 3 is a perspective view showing a spindle and a flange of the spindle unit shown in Fig. Fig. 4 is a perspective view showing a spindle and a cutting blade of the spindle unit shown in Fig. 2; 5 is a sectional view of the spindle unit shown in Fig. 2 in the Y-axis direction. 6 is a cross-sectional view showing a state in which the spindle of the spindle unit shown in Fig. 5 is locked. 7 is a front view of a cutting unit of the cutting apparatus shown in Fig. Fig. 8 is a front view showing a state in which the movable portion of the blade cover of the cutting unit of the cutting apparatus shown in Fig. 7 is positioned at an apart position.

절삭 유닛 (20) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (22) 의 선단에 고정된 플랜지 (29) 에 절삭 블레이드 (21) 가 협지되어 장착된다. 절삭 유닛 (20) 은, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (201) 을 절삭 블레이드 (21) 에 의해 절삭하는 것이다. 절삭 유닛 (20) 은, 각각, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (201) 에 대하여, 산출 이송 유닛에 의해 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성되고, 또한, 절입 이송 유닛에 의해 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성되어 있다.2, the cutting unit 20 is mounted with a cutting blade 21 sandwiched between a flange 29 fixed to the tip of the spindle 22. The cutting unit 20 cuts the workpiece 201 held by the chuck table 10 by the cutting blade 21. The cutting unit 20 is formed so as to be freely movable in the Y axis direction by the calculation and transfer unit with respect to the workpiece 201 held on the chuck table 10, As shown in FIG.

절삭 유닛 (20) 은, 도 2 에 나타내는 스핀들 유닛 (27) 과, 도 7 에 나타내는 블레이드 커버 (30) 를 구비한다. 스핀들 유닛 (27) 은, 도 2, 도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (22) 과, 스핀들 하우징 (23) 과, 제 1 플랜지 부재 (24) (도 3 및 도 4 에 나타낸다) 와, 절삭 블레이드 (21) 와, 원환상의 제 2 플랜지 부재 (25) (도 2 및 도 7 에 나타낸다) 를 구비한다.The cutting unit 20 includes a spindle unit 27 shown in Fig. 2 and a blade cover 30 shown in Fig. 3 and 4, the spindle unit 27 includes a spindle 22, a spindle housing 23, a first flange member 24 (shown in Figs. 3 and 4) A cutting blade 21, and an annular second flange member 25 (shown in Figs. 2 and 7).

스핀들 (22) 은, 도 5 및 도 6 에 나타내는 스핀들 모터 (223) 에 의해 Y 축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전된다. 스핀들 모터 (223) 는, 스핀들 (22) 에 연결된 로터 (224) 와, 로터 (224) 를 회전시키는 스테이터 (225) 를 구비한다. 스핀들 (22) 의 선단부에는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 선단을 향함에 따라 서서히 직경이 작아지는 테이퍼부 (221) 와, 테이퍼부 (221) 보다 선단측에 형성된 수나사 (222) 가 형성되어 있다. 스핀들 하우징 (23) 은, 산출 이송 유닛에 의해 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성되고, 또한 절입 이송 유닛에 의해 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성된 대략 원통상으로 형성되어 있다. 스핀들 하우징 (23) 은, 수나사 (222) 가 형성된 선단부를 노출시킨 상태로 스핀들 (22) 을 수용하고 있다. 스핀들 하우징 (23) 은, 스핀들 (22) 을 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 지지하고 있다.The spindle 22 is rotated about the axis parallel to the Y-axis direction by the spindle motor 223 shown in Figs. 5 and 6. The spindle motor 223 has a rotor 224 connected to the spindle 22 and a stator 225 for rotating the rotor 224. 3, a tapered portion 221 whose diameter is gradually reduced toward the tip end and a male screw 222 formed at the tip end side of the tapered portion 221 are formed on the tip of the spindle 22 . The spindle housing 23 is formed so as to be freely movable in the Y-axis direction by the output transfer unit, and is formed in a substantially cylindrical shape so as to be freely movable in the Z-axis direction by the infeed and conveying unit. The spindle housing 23 accommodates the spindle 22 in a state in which the distal end portion where the male screw 222 is formed is exposed. The spindle housing 23 freely rotatably supports the spindle 22 around the axis.

제 1 플랜지 부재 (24) 는, 스핀들 (22) 의 선단부의 외주에 장착되는 원통상의 원통부 (241) 와, 원통부 (241) 의 외주면으로부터 직경 방향 외측 방향으로 연장된 플랜지부 (242) 를 구비한다. 원통부 (241) 의 플랜지부 (242) 보다 선단측에는, 수나사 (243) 가 형성되어 있다. 제 1 플랜지 부재 (24) 는, 원통부 (241) 내에 스핀들 (22) 의 선단부가 끼워 넣지고, 너트 (28) 가 스핀들 (22) 의 선단부에 형성된 수나사 (222) 의 외주에 나선 결합함으로써, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (22) 에 고정된다.The first flange member 24 includes a cylindrical cylindrical portion 241 mounted on the outer periphery of the distal end portion of the spindle 22 and a flange portion 242 extending radially outwardly from the outer peripheral surface of the cylindrical portion 241, Respectively. On the tip end side of the flange portion 242 of the cylindrical portion 241, a male thread 243 is formed. The first flange member 24 has the tip end portion of the spindle 22 fitted in the cylindrical portion 241 and the nut 28 is engaged with the outer periphery of the male screw 222 formed at the tip end portion of the spindle 22, Is fixed to the spindle 22 as shown in Fig.

절삭 블레이드 (21) 는, 이른바 허브 블레이드이며, 원반상의 지지 기대 (211) 의 외주에 고정되고, 피가공물 (201) 을 절삭하는 원환상의 절삭날 (212) 을 구비한다. 절삭날 (212) 은, 다이아몬드나 CBN (Cubic Boron Nitride) 등의 지립과, 금속이나 수지 등의 본드재 (결합재) 로 이루어지고 소정 두께로 형성되어 있다. 또한, 절삭 블레이드 (21) 로서, 절삭날 (212) 만으로 구성된 워셔 블레이드를 사용해도 된다.The cutting blade 21 is a so-called hub blade and is fixed to the outer periphery of the support base 211 on the disk and has an annular cutting edge 212 for cutting the work 201. [ The cutting edge 212 is made of abrasive grains such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride), and a bond material (binder) such as metal or resin, and is formed to have a predetermined thickness. As the cutting blade 21, a washer blade composed of only the cutting edge 212 may be used.

절삭 블레이드 (21) 는, 제 1 플랜지 부재 (24) 의 원통부 (241) 를 내측으로 통과시켜, 플랜지부 (242) 의 표면 상에 겹쳐지고, 제 2 플랜지 부재 (25) 가 원통부 (241) 에 형성된 수나사 (243) 의 외주에 나선 결합하여, 제 1 플랜지 부재 (24) 와 제 2 플랜지 부재 (25) 사이에 유지되어, 스핀들 (22) 에 고정된다. 제 1 플랜지 부재 (24) 와 제 2 플랜지 부재 (25) 는, 서로의 사이에 절삭 블레이드 (21) 를 협지하여 파지하고, 제 1 플랜지 부재 (24) 가 스핀들 (22) 의 일단부에 고정되고, 제 2 플랜지 부재 (25) 가 제 1 플랜지 부재 (24) 에 고정됨으로써, 절삭 블레이드 (21) 를 스핀들 (22) 에 고정시키는 플랜지 (29) 를 구성한다. 이렇게 하여, 절삭 유닛 (20) 의 스핀들 유닛 (27) 은, 스핀들 (22) 의 선단에 고정된 플랜지 (29) 에 절삭 블레이드 (21) 가 협지되어 장착된다.The cutting blade 21 passes the cylindrical portion 241 of the first flange member 24 inward to overlap on the surface of the flange portion 242 and the second flange member 25 is inserted into the cylindrical portion 241 And is fixed to the spindle 22 by being held between the first flange member 24 and the second flange member 25. The spindle 22 is fixed to the spindle 22 by a spiral. The first flange member 24 and the second flange member 25 hold the cutting blade 21 between them and the first flange member 24 is fixed to one end of the spindle 22 The second flange member 25 is fixed to the first flange member 24 to constitute a flange 29 for fixing the cutting blade 21 to the spindle 22. [ The spindle unit 27 of the cutting unit 20 is mounted with the cutting blade 21 sandwiched between the flange 29 fixed to the tip of the spindle 22.

또, 스핀들 유닛 (27) 은, 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (22) 의 회전을 규제하는 로크 기구 (271) 를 구비하고 있다. 이 로크 기구 (271) 는, 예를 들어 일본 공개특허공보 2004-235250호 중에 나타나는 로크 장치와 동일 구성이어도 되며, 상세 구성은 생략한다. 로크 기구 (271) 는, 스핀들 (22) 의 소정 위치의 동일 원주 상에 형성된 복수 (예를 들어, 3 개) 의 걸어맞춤 구멍 (272) 에 자유롭게 걸거나 벗길 수 있게 걸어맞추도록 스핀들 하우징 (23) 에 직경 방향으로 자유롭게 슬라이드할 수 있도록 형성된 샤프트 로크핀 (273) 을 구비한다.5 and 6, the spindle unit 27 is provided with a lock mechanism 271 for restricting the rotation of the spindle 22. As shown in Fig. The lock mechanism 271 may have the same configuration as that of the lock device shown in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-235250, and the detailed configuration is omitted. The lock mechanism 271 is provided on the spindle housing 23 so as to freely engage or disengage the plurality of (for example, three) engaging holes 272 formed on the same circumference of the predetermined position of the spindle 22 And a shaft lock pin 273 formed to be freely slidable in the radial direction.

샤프트 로크핀 (273) 은, 코일 스프링 (274) 에 의해 걸어맞춤 구멍 (272) 으로부터 이탈하는 방향으로 탄성 지지되어 있다. 로크 기구 (271) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 제어 유닛 (100) 에 의해 제어되는 전환 밸브 (275) 를 통해, 가압 기체 공급원 (276) 으로부터 가압된 기체가 샤프트 로크핀 (273) 에 공급되면, 샤프트 로크핀 (273) 이 코일 스프링 (274) 의 탄성력에 저항하여 슬라이드하여, 걸어맞춤 구멍 (272) 내에 걸어맞춰져 스핀들 (22) 의 회전을 규제한다 (즉 스핀들 (22) 을 로크한다). 로크 기구 (271) 는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 전환 밸브 (275) 를 통해, 가압 기체 공급원 (276) 으로부터 가압된 기체가 샤프트 로크핀 (273) 에 공급되지 않으면, 샤프트 로크핀 (273) 이 코일 스프링 (274) 의 탄성력에 의해 걸어맞춤 구멍 (272) 내로부터 이탈하여 스핀들 (22) 의 회전을 허용한다.The shaft lock pin 273 is elastically supported by a coil spring 274 in a direction away from the engaging hole 272. The lock mechanism 271 is configured such that the gas pressurized from the pressurized gas supply source 276 is supplied to the shaft lock pin 273 through the switching valve 275 controlled by the control unit 100 The shaft lock pin 273 slides against the elastic force of the coil spring 274 and engages in the engaging hole 272 to regulate the rotation of the spindle 22 (that is, lock the spindle 22) . 5, the lock mechanism 271 is provided with a shaft lock pin 273 so as to prevent the shaft lock pin 273 from being pressurized by the pressurized gas supply source 276 through the switching valve 275, Is released from the inside of the engaging hole 272 by the elastic force of the coil spring 274 to allow the rotation of the spindle 22.

블레이드 커버 (30) 는, 스핀들 하우징 (23) 에 고정되고, 절삭 블레이드 (21) 의 상방 및 X 축 방향의 양측을 덮고, 절삭 가공 중에 가공액인 절삭수를 절삭 블레이드 (21) 에 공급하는 것이다. 블레이드 커버 (30) 는, 도 7 및 도 8 에 나타내는 바와 같이, 고정부 (31) 와 가동부 (32) 를 구비한다.The blade cover 30 is fixed to the spindle housing 23 and covers both the upper side and the both sides in the X axis direction of the cutting blade 21 and supplies cutting water as a working fluid to the cutting blade 21 during cutting . As shown in Figs. 7 and 8, the blade cover 30 has a fixed portion 31 and a movable portion 32. [

고정부 (31) 는, 스핀들 하우징 (23) 에 고정된다. 고정부 (31) 는, 절삭 블레이드 (21) 의 상방 및 X 축 방향의 일방측을 덮는다. 고정부 (31) 는, 블레이드 파손 검출기 (50) 를 장착하고 있음과 함께, 절삭 가공 중에 절삭 블레이드 (21) 에 절삭수를 공급하는 절삭수 분사구 (311) 가 형성되어 있다. 블레이드 파손 검출기 (50) 는, 절삭 블레이드 (21) 의 회전 중에 절삭 블레이드 (21) 의 파손 또는 마모를 검출하는 것이다. 블레이드 파손 검출기 (50) 는, 검출 결과를 제어 유닛 (100) 에 출력한다.The fixing portion (31) is fixed to the spindle housing (23). The fixing portion 31 covers the upper side of the cutting blade 21 and one side in the X-axis direction. The fixing portion 31 is provided with a blade breakage detector 50 and a cutting water jetting port 311 for supplying cutting water to the cutting blade 21 during cutting. The blade breakage detector 50 detects breakage or abrasion of the cutting blade 21 during rotation of the cutting blade 21. The blade breakage detector 50 outputs the detection result to the control unit 100.

가동부 (32) 는, 가공액 노즐인 절삭수 노즐 (321) 을 고정부 (31) 에 개폐 가능하게 장착하고 있는 것이며, 고정부 (31) 의 X 축 방향의 타방측에 장착되어 있다. 가동부 (32) 는, 고정부 (31) 에 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 지지되어 있다. 가동부 (32) 는, 고정부 (31) 에 수용된 에어 실린더 (312) 의 로드 (313) (도 8 에 나타낸다) 가 신축함으로써, 고정부 (31) 에 대하여 X 축 방향으로 이동된다. 또, 가동부 (32) 는, 하단에 절삭수 노즐 (321) 을 장착하고 있다. 절삭수 노즐 (321) 은, 가동부 (32) 의 하단으로부터 절삭수 분사구 (311) 를 향하여 연장되어 있고, 절삭 가공 중에 절삭 블레이드 (21) 및 절삭 블레이드 (21) 가 절삭하는 피가공물 (201) 의 절삭 지점에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 구멍 (도시 생략) 을 복수 형성하고 있다.The movable part 32 is provided with a cutting water nozzle 321 which is a machining liquid nozzle and is attached to the fixed part 31 so as to be openable and closable and is mounted on the other side of the fixed part 31 in the X axis direction. The movable portion 32 is supported on the fixed portion 31 so as to freely move in the X-axis direction. The movable portion 32 is moved in the X-axis direction with respect to the fixed portion 31 by expanding and contracting the rod 313 (shown in Fig. 8) of the air cylinder 312 accommodated in the fixed portion 31. Fig. The movable portion 32 is provided with a cutting water nozzle 321 at the lower end thereof. The cutting water nozzle 321 extends from the lower end of the movable part 32 toward the cutting water jetting port 311 so that the cutting blade 21 and the cutting blade 21 cut off the workpiece 201 A plurality of cutting water supply holes (not shown) for supplying cutting water to the cutting points are formed.

가동부 (32) 는, 에어 실린더 (312) 의 로드 (313) 가 신축함으로써, 절삭수 노즐 (321) 이 절삭 블레이드 (21) 에 근접한 도 7 에 나타내는 근접 위치와, 절삭 블레이드 (21) 로부터 이간되어 스핀들 (22) 에 절삭 블레이드 (21) 를 착탈 가능하게 하는 도 8 에 나타내는 이간 위치에 선택적으로 위치시킬 수 있다. 근접 위치는, 스핀들 (22) 에 대한 절삭 블레이드 (21) 의 착탈을 절삭수 노즐 (321) 등이 규제하는 위치이고, 이간 위치는, 스핀들 (22) 에 대한 절삭 블레이드 (21) 의 착탈을 허용하는 위치이다.The rod 313 of the air cylinder 312 expands and contracts so that the movable part 32 is moved in the vicinity of the cutting blade 21 close to the cutting blade 21 at a position close to the cutting blade 21 It is possible to selectively place the cutting blade 21 at the spacing position shown in Fig. 8 for detachably attaching the cutting blade 21 to the spindle 22. The proximity position is a position where the cutter nozzle 321 or the like restricts the attachment and detachment of the cutting blade 21 to the spindle 22 and the detaching position allows the cutting blade 21 to be attached to and detached from the spindle 22 .

다음으로, 절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 를 교환하는 순서를 도면에 기초하여 설명한다. 도 9 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 블레이드를 교환할 때에 사용되는 착탈 지그를 나타내는 사시도이다. 도 10 은, 도 9 에 나타난 착탈 지그를 회전시키기 위한 토크 드라이버를 나타내는 평면도이다. 도 11 은, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 블레이드를 교환하는 상태를 나타내는 정면도이다. 도 12 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 절삭 블레이드를 교환하는 상태를 일부 단면에서 나타내는 측면도이다.Next, the procedure of exchanging the cutting blades 21 of the cutting unit 20 will be described with reference to the drawings. Fig. 9 is a perspective view showing a detachable jig used when changing a cutting blade of the cutting apparatus shown in Fig. 1; Fig. 10 is a plan view showing a torque driver for rotating the attaching / detaching jig shown in Fig. 11 is a front view showing a state in which the cutting blade of the cutting apparatus shown in Fig. 1 is replaced. Fig. 12 is a side view showing, in partial cross-section, a state in which a cutting blade of the cutting apparatus shown in Fig. 1 is replaced. Fig.

절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 를 교환할 때에는, 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 를 이간 위치에 위치시키고, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 제 1 플랜지 부재 (24) 의 원통부 (241) 의 외주에 착탈한다. 도 9 에 나타내는 착탈 지그 (40) 및 도 10 에 나타내는 토크 드라이버 (41) 는, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 제 1 플랜지 부재 (24) 의 원통부 (241) 의 외주에 착탈하기 위한 것이다.When the cutting blade 21 of the cutting unit 20 is exchanged, the movable portion 32 of the blade cover 30 is positioned at the spaced apart position and the second flange member 25 is fitted to the cylindrical portion of the first flange member 24 (241). The attaching and detaching jig 40 shown in Fig. 9 and the torque driver 41 shown in Fig. 10 are for attaching and detaching the second flange member 25 to the outer periphery of the cylindrical portion 241 of the first flange member 24.

착탈 지그 (40) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 원형 오목부 (401) 를 갖고 있고, 원형 오목부 (401) 의 내주면에 둘레 방향으로 등간격 이간되어 4 개의 고정 너트 파지 클로 (402) 이 배치 형성되어 있다. 원형 오목부 (401) 는, 이간 위치에 위치되어 있는 절삭 유닛 (20) 의 제 2 플랜지 부재 (25) 의 외측에 씌워질 수 있다. 또한, 원형 오목부 (401) 는, 착탈 지그 (40) 가 절삭수 노즐 (321) 등과 접촉하여, 근접 위치에 위치되어 있는 절삭 유닛 (20) 의 제 2 플랜지 부재 (25) 의 외측에는 씌워질 수 없다. 고정 너트 파지 클로 (402) 은, 반경 방향으로 탄성 변형 가능하게 배치 형성되고, 서로 간에 원형 오목부 (401) 가 씌워진 제 2 플랜지 부재 (25) 를 외측으로부터 파지 가능하다. 원형 오목부 (401) 의 중앙부에는, 토크 드라이버 (41) 의 선단의 끼워 넣기용 관통공 (403) 이 형성되어 있다. 관통공 (403) 의 평면 형상은 정육각형이다.9, the attachment / detachment jig 40 has a circular concave portion 401 and four equally spaced fixing nut grasping claws 402 in the circumferential direction on the inner circumferential surface of the circular concave portion 401 Respectively. The circular concave portion 401 can be covered on the outside of the second flange member 25 of the cutting unit 20 located at the temporary position. The circular concave portion 401 is formed so that the attaching and detaching jig 40 is in contact with the cutting water nozzle 321 or the like and is covered on the outer side of the second flange member 25 of the cutting unit 20, I can not. The fixed nut grip claws 402 are arranged so as to be elastically deformable in the radial direction and are capable of grasping the second flange members 25 having the circular recesses 401 therebetween. At the center of the circular concave portion 401, a through hole 403 for fitting the front end of the torque driver 41 is formed. The plane shape of the through hole 403 is regular hexagon.

토크 드라이버 (41) 는, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 착탈 지그 (40) 의 관통공 (403) 중에 삽입되는 단면 6 각 형상의 걸어맞춤부 (411) 와, 토크 드라이버 회전용의 핸들 (412) 을 갖고 있다. 토크 드라이버 (41) 는, 제 2 플랜지 부재 (25) 의 외측에 씌워진 착탈 지그 (40) 의 관통공 (403) 에 걸어맞춤부 (411) 가 삽입되고, 핸들 (412) 이 회전됨으로써, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 제 1 플랜지 부재 (24) 에 대하여 회전시킨다.10, the torque driver 41 includes an engaging portion 411 having a hexagonal cross section and inserted into the through hole 403 of the attaching / detaching jig 40, a handle 412 for turning the torque driver, Lt; / RTI > The engaging portion 411 is inserted into the through hole 403 of the attaching / detaching jig 40 which is placed on the outer side of the second flange member 25 and the handle 412 is rotated, The flange member 25 is rotated with respect to the first flange member 24. [

절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 를 교환할 때에는, 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 를 이간 위치에 위치시키고, 도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 원형 오목부 (401) 를 제 2 플랜지 부재 (25) 의 외측에 씌우고, 관통공 (403) 내에 핸들 (412) 의 걸어맞춤부 (411) 를 삽입한다. 핸들 (412) 을 회전하여, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 제 1 플랜지 부재 (24) 에 대하여 회전시켜, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 제 1 플랜지 부재 (24) 로부터 분리한다. 절삭 블레이드 (21) 를 교환하고, 그 후, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 착탈 지그 (40) 의 원형 오목부 (401) 내에 수용하고, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 수나사 (243) 의 외주에 나선 결합하여, 관통공 (403) 내에 핸들 (412) 의 걸어맞춤부 (411) 를 삽입한다. 핸들 (412) 을 회전하여, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 제 1 플랜지 부재 (24) 에 대하여 회전시켜, 제 2 플랜지 부재 (25) 를 제 1 플랜지 부재 (24) 에 고정하고, 플랜지 부재 (24, 25) 사이에 교환 후의 절삭 블레이드 (21) 를 협지한다. 또한, 착탈 지그 (40) 및 토크 드라이버 (41) 는, 원형 오목부 (401) 가 근접 위치에 위치되어 있는 절삭 유닛 (20) 의 제 2 플랜지 부재 (25) 의 외측에는 씌워질 수 없기 때문에, 근접 위치에 위치되어 있는 절삭 유닛 (20) 의 제 2 플랜지 부재 (25) 를 제 1 플랜지 부재 (24) 에 대하여 회전시킬 수 없다.When the cutting blade 21 of the cutting unit 20 is to be replaced, the movable part 32 of the blade cover 30 is placed at the dislocated position, and the circular concave part 401 as shown in Figs. 11 and 12 And the engaging portion 411 of the handle 412 is inserted into the through hole 403. Then, as shown in Fig. The handle 412 is rotated to rotate the second flange member 25 relative to the first flange member 24 to separate the second flange member 25 from the first flange member 24. [ The cutting blade 21 is exchanged and then the second flange member 25 is accommodated in the circular recess 401 of the attaching and detaching jig 40 and the second flange member 25 is fitted to the outer periphery of the male screw 243 So that the engaging portion 411 of the handle 412 is inserted into the through hole 403. The handle 412 is rotated to rotate the second flange member 25 relative to the first flange member 24 to fix the second flange member 25 to the first flange member 24, 24, 25) of the cutting blade (21). Since the attachment and detachment jig 40 and the torque driver 41 can not be covered on the outside of the second flange member 25 of the cutting unit 20 in which the circular concave portion 401 is located at the close position, The second flange member 25 of the cutting unit 20 positioned in the proximity position can not be rotated with respect to the first flange member 24. [

또, 실시형태 1 에 있어서, 교환용의 절삭 블레이드 (21) 는, 도 13 및 도 14 에 나타내는 케이스 (60) 에 수용되어 있다. 도 13 은, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 교환용의 절삭 블레이드를 케이스 내에 수용하는 것을 나타내는 분해 사시도이다. 도 14 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 교환용의 절삭 블레이드를 수용하는 케이스의 평면도이다.In the first embodiment, the cutting blade 21 for replacement is housed in the case 60 shown in Figs. 13 and 14. Fig. Fig. 13 is an exploded perspective view showing that the cutting blade for replacement of the cutting apparatus shown in Fig. 1 is housed in the case. Fig. 14 is a plan view of a case for accommodating a cutting blade for replacement of the cutting apparatus shown in Fig.

케이스 (60) 는, 합성 수지에 의해 구성되고, 투명한 것이 바람직하다. 케이스 (60) 는, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 본체 케이스 (61) 와, 본체 케이스 (61) 에 힌지부 (62) 에 의해 개폐 가능하게 장착된 커버 (63) 로 구성된다. 힌지부 (62) 는, 본체 케이스 (61) 및 커버 (63) 보다 두께가 얇게 형성되어 가요성을 갖는, 소위 셀프 힌지이다. 본체 케이스 (61) 는, 절삭 블레이드 (21) 의 중앙에 형성된 구멍이 끼워 맞춰지는 원형 볼록부 (64) 를 구비하고 있다.The case 60 is preferably made of a synthetic resin and is preferably transparent. The case 60 is composed of a body case 61 and a cover 63 which is openably and closably attached to the body case 61 by a hinge part 62, as shown in Fig. The hinge portion 62 is a so-called self hinge having a thickness smaller than that of the main body case 61 and the cover 63 and having flexibility. The main body case 61 is provided with a circular convex portion 64 into which a hole formed at the center of the cutting blade 21 is fitted.

커버 (63) 는, 본체 케이스 (61) 의 외측에 걸어서 고정 가능한 훅 (65) 이 일체적으로 형성되어 있고, 훅 (65) 을 본체 케이스 (61) 에 형성된 걸어맞춤 돌기 (66) 에 걸어서 고정함으로써, 커버 (63) 가, 도 14 에 나타내는 바와 같이 본체 케이스 (61) 에 대하여 닫힌 상태로 유지된다.The cover 63 is integrally formed with a hook 65 which can be fixed to the outside of the main body case 61. The hook 65 is fixed to the engaging projection 66 formed in the main body case 61 Whereby the cover 63 is kept closed with respect to the main body case 61 as shown in Fig.

케이스 (60) 의 커버 (63) 는, 외표면의 소정 지점에 절삭 블레이드 (21) 의 품종 정보인 종류를 특정하는 착탈 시일 (70) 이 첩착 (설치) 되어 있다. 착탈 시일 (70) 은, 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 특정하기 위한 품종 정보를 포함하는 식별 코드인 바코드 (71) 가 인쇄되어 있다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 착탈 시일 (70) 은, 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 나타내는 문자열 (72) 도 인쇄되어 있다. 바코드 (71) 는, 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 나타낸다.The cover 63 of the case 60 is attached to a predetermined position on the outer surface with a detachable seal 70 which specifies the type of the cutting blade 21 as kind information. The attachment / detachment seal 70 is printed with a bar code 71, which is an identification code including the type information for specifying the type of the cutting blade 21. In the first embodiment, a string 72 indicating the type of the cutting blade 21 is printed on the attaching / detaching seal 70 as well. The bar code 71 indicates the type of the cutting blade 21.

또, 절삭 장치 (1) 는, 바코드 (71) 를 판독하는 도 15 에 나타내는 판독 유닛 (80) 을 구비한다. 도 15 는, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 판독 유닛을 나타내는 사시도이다. 실시형태 1 에 있어서, 판독 유닛 (80) 은, 바코드 (71) 를 광학적으로 판독하는 바코드 리더이다. 판독 유닛 (80) 은, 판독한 바코드 (71) 가 나타내는 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 제어 유닛 (100) 에 출력한다.The cutting apparatus 1 also includes a reading unit 80 shown in Fig. 15 for reading the bar code 71. Fig. 15 is a perspective view showing the reading unit of the cutting apparatus shown in Fig. In Embodiment 1, the reading unit 80 is a bar code reader that optically reads the bar code 71. [ The reading unit 80 outputs the kind of the cutting blade 21 indicated by the read bar code 71 to the control unit 100. [

전술한 절삭 장치 (1) 는, 2 개의 절삭 유닛 (20) 의 스핀들 (22) 에 서로 상이한 종류의 절삭 블레이드 (21) 를 장착하고, 일방의 절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 에 의해 분할 예정 라인 (203) 의 두께 방향의 도중까지 절삭한 후, 타방의 절삭 유닛 (20) 의 절삭 블레이드 (21) 에 의해 피가공물 (201) 을 디바이스 (204) 로 분할하는, 소위 스텝 컷을 실시하는 장치이다.The above-described cutting apparatus 1 is characterized in that the cutting blades 21 of different kinds are mounted on the spindle 22 of the two cutting units 20 and the cutting blades 21 of the one cutting unit 20 A step cut is performed in which the work 201 is divided into devices 204 by cutting blades 21 of the other cutting unit 20 after cutting to the middle in the thickness direction of the line to be divided 203 .

이하, 일방의 절삭 유닛 (20) 을 제 1 절삭 유닛 (20-1) 이라고 기재하고, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 의 스핀들 (22) 을 제 1 스핀들 (22-1), 절삭 블레이드 (21) 를 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 라고 기재한다. 또, 타방의 절삭 유닛 (20) 을 제 2 절삭 유닛 (20-2) 이라고 기재하고, 제 2 절삭 유닛 (20-2) 의 스핀들 (22) 을 제 2 스핀들 (22-2), 절삭 블레이드 (21) 를 제 2 절삭 블레이드 (21-2) 라고 기재한다. 또, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 과 제 2 절삭 유닛 (20-2) 을 구별할 필요가 없는 경우에는, 간단히 절삭 유닛 (20) 이라고 기재하고, 제 1 스핀들 (22-1) 과 제 2 스핀들 (22-2) 을 구별할 필요가 없는 경우에는, 간단히 스핀들 (22) 이라고 기재하고, 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 와 제 2 절삭 블레이드 (21-2) 를 구별할 필요가 없는 경우에는, 간단히 절삭 블레이드 (21) 라고 기재한다. 절삭 장치 (1) 가, 소위 스텝 컷을 실시하기 위해, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 의 제 1 스핀들 (22-1) 에 장착되는 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 의 종류는 미리 결정되고, 또한 제 2 절삭 유닛 (20-2) 의 제 2 스핀들 (22-2) 에 장착되는 제 2 절삭 블레이드 (21-2) 의 종류는 미리 결정되며, 또한 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 의 종류와 상이하다.One of the cutting units 20 will be referred to as a first cutting unit 20-1 and the spindle 22 of the first cutting unit 20-1 will be referred to as a first spindle 22-1, 21 is referred to as a first cutting blade 21-1. The other cutting unit 20 is referred to as a second cutting unit 20-2 and the spindle 22 of the second cutting unit 20-2 is referred to as a second spindle 22-2 and a cutting blade 21 is referred to as a second cutting blade 21-2. When it is not necessary to distinguish between the first cutting unit 20-1 and the second cutting unit 20-2, it is simply described as the cutting unit 20, and the first spindle 22-1 and the second cutting unit 20-2 It is not necessary to distinguish between the first cutting blade 21-1 and the second cutting blade 21-2 when the spindle 22-2 is not required to be distinguished from the spindle 22-2, It is simply referred to as a cutting blade 21. The type of the first cutting blade 21-1 to be mounted on the first spindle 22-1 of the first cutting unit 20-1 is determined in advance so that the cutting apparatus 1 performs so- The type of the second cutting blade 21-2 to be mounted on the second spindle 22-2 of the second cutting unit 20-2 is determined in advance and the type of the first cutting blade 21-1, .

제어 유닛 (100) 은, 절삭 장치 (1) 의 상기 서술한 각 구성 요소를 각각 제어하여, 피가공물 (201) 에 대한 가공 동작을 절삭 장치 (1) 에 실시시키는 것이다. 또한, 제어 유닛 (100) 은 컴퓨터이다. 제어 유닛 (100) 은, 가공 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 표시 유닛 (200) 및 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 사용하는 도시되지 않은 입력 장치와 접속되어 있다. 입력 장치는, 표시 유닛 (200) 에 형성된 터치 패널과, 키보드 등의 외부 입력 장치 중 적어도 하나에 의해 구성된다. 도 16 은, 도 1 에 나타난 절삭 장치의 제어 유닛의 기능 블록도이다.The control unit 100 controls each of the above described components of the cutting apparatus 1 to perform a machining operation on the workpiece 201 to the cutting apparatus 1. [ Further, the control unit 100 is a computer. The control unit 100 is connected to a display unit 200 constituted by a liquid crystal display device or the like for displaying the state of a machining operation or an image or the like and an input device not shown which is used when the operator registers the machining content information or the like have. The input device is constituted by at least one of a touch panel formed in the display unit 200 and an external input device such as a keyboard. 16 is a functional block diagram of the control unit of the cutting apparatus shown in Fig.

또, 제어 유닛 (100) 은, 도 1 및 도 16 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 정보 등록부 (101) 와, 가공 조건 등록부 (102) 와, 결정부 (103) 를 구비한다. 블레이드 정보 등록부 (101) 는, 각 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 의 스핀들 (22-1, 22-2) 에 장착하는 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 의 품종인 종류를 등록하는 것이다. 블레이드 정보 등록부 (101) 에는, 판독 유닛 (80) 에 의해 판독된 품종 정보인 절삭 블레이드 (21) 의 종류가 등록된다.1 and 16, the control unit 100 includes a blade information registration section 101, a processing condition registration section 102, and a determination section 103. [ The blade information registering unit 101 registers the kinds of the cutting blades 21-1 and 21-2 mounted on the spindles 22-1 and 22-2 of the respective cutting units 20-1 and 20-2 To register. In the blade information registration unit 101, the type of the cutting blade 21, which is the type information read by the reading unit 80, is registered.

가공 조건 등록부 (102) 는, 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 와 스핀들 (22-1, 22-2) 의 조합을 포함하는 가공 조건 (104) 을 등록하는 것이다. 가공 조건 등록부 (102) 에 등록되는 가공 조건 (104) 은, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 의 조건을 등록하는 제 1 절삭 조건 등록부 (104-1) 와, 제 2 절삭 유닛 (20-2) 의 조건을 등록하는 제 2 절삭 조건 등록부 (104-2) 와, 피가공물 (201) 의 가공 조건을 등록하는 피가공물 조건 등록부 (104-3) 를 구비한다.The machining condition registration unit 102 registers the machining conditions 104 including the combination of the cutting blades 21-1 and 21-2 and the spindles 22-1 and 22-2. The machining condition 104 registered in the machining condition registering unit 102 includes a first machining condition registering unit 104-1 for registering the conditions of the first machining unit 20-1 and a second machining condition registering unit 104-1 for registering the conditions of the first machining unit 20-1, A second cutting condition registration unit 104-2 for registering the conditions of the two cutting units 20-2 and a work condition registration unit 104-3 for registering the processing conditions of the work 201. [

제 1 절삭 조건 등록부 (104-1) 는, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 의 제 1 스핀들 (22-1) 에 장착되는 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 의 종류, 절삭 가능한 분할 예정 라인 (203) 의 수, 및 절삭 가능한 길이가 입력 장치 등으로부터 등록된다. 제 2 절삭 조건 등록부 (104-2) 는, 제 2 절삭 유닛 (20-2) 의 제 2 스핀들 (22-2) 에 장착되는 제 2 절삭 블레이드 (21-2) 의 종류, 절삭 가능한 분할 예정 라인 (203) 의 수, 및 절삭 가능한 길이가 입력 장치 등으로부터 등록된다.The first cutting condition registering section 104-1 registers the type of the first cutting blade 21-1 mounted on the first spindle 22-1 of the first cutting unit 20-1, The number of cuts 203, and the cuttable length are registered from an input device or the like. The second cutting condition registering section 104-2 registers the type of the second cutting blade 21-2 mounted on the second spindle 22-2 of the second cutting unit 20-2, The number of cuts 203, and the cuttable length are registered from an input device or the like.

피가공물 조건 등록부 (104-3) 는, 피가공물 (201) 의 외경, 두께, 점착 테이프 (206) 의 두께, 절삭 가공시의 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 의 유지면 (11) 으로부터의 높이, 제 1 스핀들 (22-1) 의 회전수, 절삭 가공시의 제 2 절삭 블레이드 (21-2) 의 유지면 (11) 으로부터의 높이, 제 2 스핀들 (22-2) 의 회전수, 및 가공 이송 속도가 입력 장치 등으로부터 등록된다.The work condition registration unit 104-3 registers the workpiece 201 and the workpiece 201 on the basis of the outer diameter and the thickness of the work 201 and the thickness of the adhesive tape 206 and the thickness of the adhesive tape 206 from the holding surface 11 of the first cutting blade 21-1 The number of revolutions of the first spindle 22-1, the height of the second cutting blade 21-2 from the holding surface 11 at the time of cutting, the number of revolutions of the second spindle 22-2, The processing feed speed is registered from an input device or the like.

결정부 (103) 는, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 등록된 절삭 블레이드 (21) 의 종류와, 가공 조건 등록부 (102) 에 등록되어 있는 스핀들 (22-1, 22-2) 의 조합으로부터, 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 를 이간 위치로 설정하는 절삭 유닛 (20) 을 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 중 일방으로 결정하는 것이다. 결정부 (103) 는, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 판독 유닛 (80) 이 판독한 절삭 블레이드 (21) 의 종류가 등록되면, 제 1 절삭 조건 등록부 (104-1) 와 제 2 절삭 조건 등록부 (104-2) 를 참조한다.The determination unit 103 determines from the combination of the types of the cutting blades 21 registered in the blade information registration unit 101 and the spindles 22-1 and 22-2 registered in the processing condition registration unit 102, The cutting unit 20 for setting the movable portion 32 of the cover 30 to the separated position is determined as one of the cutting units 20-1 and 20-2. When the type of the cutting blade 21 read by the reading unit 80 is registered in the blade information registration unit 101, the determination unit 103 determines whether or not the first cutting condition registration unit 104-1 and the second cutting condition registration unit 104-2).

결정부 (103) 는, 제 1 절삭 조건 등록부 (104-1) 와 제 2 절삭 조건 등록부 (104-2) 중 블레이드 정보 등록부 (101) 에 등록된 절삭 블레이드 (21) 의 종류와, 동일한 절삭 블레이드 (21) 의 종류가 등록되어 있는 것을 특정하고, 특정한 절삭 조건 등록부 (104-1, 104-2) 가 대응하는 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 을 특정한다. 결정부 (103) 는, 특정한 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 의 스핀들 모터 (223) 를 정지시키고, 로크 기구 (271) 의 샤프트 로크핀 (273) 에 가압된 기체를 공급하여, 로크 기구 (271) 에 스핀들 (22-1, 22-2) 의 회전을 규제시키는 즉 스핀들 (22-1, 22-2) 을 로크한다. 결정부 (103) 는, 특정한 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 의 블레이드 커버 (30) 내의 에어 실린더 (312) 의 로드 (313) 를 신장시켜, 가동부 (32) 를 이간 위치에 설정하고, 특정하지 않았던 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 의 블레이드 커버 (30) 내의 에어 실린더 (312) 의 로드 (313) 를 축소시킨 상태로 하여 가동부 (32) 를 근접 위치에 유지한다.The determination unit 103 determines the type of the cutting blade 21 registered in the blade information registration unit 101 among the first cutting condition registration unit 104-1 and the second cutting condition registration unit 104-2, Specifies that the kind of the cutting tool 21 is registered and specifies the corresponding cutting units 20-1 and 20-2 by the specific cutting condition registration units 104-1 and 104-2. The determination unit 103 stops the spindle motor 223 of the specific cutting units 20-1 and 20-2 and supplies the pressurized gas to the shaft lock pin 273 of the lock mechanism 271, The mechanism 271 controls the rotation of the spindles 22-1 and 22-2, that is, the spindles 22-1 and 22-2 are locked. The determination unit 103 extends the rod 313 of the air cylinder 312 in the blade cover 30 of the specific cutting units 20-1 and 20-2 to set the movable unit 32 at the separated position , The rod 313 of the air cylinder 312 in the blade cover 30 of the cutting units 20-1 and 20-2 which is not specified is kept in a contracted state and the movable unit 32 is held in the close position.

이렇게 하여, 결정부 (103) 는, 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 를 장착할 때에, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 의 종류가 등록되면, 제 2 절삭 유닛 (20-2) 의 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 는 근접 위치에 유지되고 이간 위치로 설정되지 않지만, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 의 제 1 스핀들 (22-1) 을 로크하여, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 의 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 는 이간 위치로 설정된다. 또, 결정부 (103) 는, 제 2 절삭 블레이드 (21-2) 를 장착할 때에, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 제 2 절삭 블레이드 (21-2) 의 종류가 등록되면, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 의 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 는 근접 위치에 유지되고 이간 위치로 설정되지 않지만, 제 2 절삭 유닛 (20-2) 의 제 2 스핀들 (22-2) 을 로크하여, 제 2 절삭 유닛 (20-2) 의 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 는 이간 위치로 설정된다.In this way, when the first cutting blade 21-1 is registered in the blade information registration section 101 when the first cutting blade 21-1 is mounted, The movable portion 32 of the blade cover 30 of the first cutting unit 20-2 is held at the close position and is not set at the detached position but locks the first spindle 22-1 of the first cutting unit 20-1 , The movable portion 32 of the blade cover 30 of the first cutting unit 20-1 is set to the disengaged position. When the type of the second cutting blade 21-2 is registered in the blade information registration unit 101 at the time of mounting the second cutting blade 21-2, the determination unit 103 determines that the first cutting unit The movable portion 32 of the blade cover 30 of the first cutting unit 20-1 is held in the proximity position and is not set in the detached position but locks the second spindle 22-2 of the second cutting unit 20-2, The movable portion 32 of the blade cover 30 of the second cutting unit 20-2 is set to the disengaged position.

다음으로, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치 (1) 의 가공 동작을 설명한다. 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치 (1) 의 가공 동작은, 오퍼레이터가 가공 내용 정보를 제어 유닛 (100) 에 등록하고, 오퍼레이터가 절삭 가공 전의 피가공물 (201) 을 수용한 카세트 (111) 를 카세트 엘리베이터 (110) 에 재치하여, 오퍼레이터로부터 가공 동작의 개시 지시가 있으면, 제어 유닛 (100) 에 의해 개시된다.Next, the machining operation of the cutting apparatus 1 according to the first embodiment will be described. The machining operation of the cutting apparatus 1 according to the first embodiment is carried out in such a manner that the operator registers the machining content information in the control unit 100 and the operator places the cassette 111 containing the work 201 before the cutting operation in the cassette elevator Is started by the control unit 100 when an instruction to start machining operation is issued from the operator.

가공 동작에 있어서, 제어 유닛 (100) 은, 피가공물 (201) 을 반송 유닛으로 취출시키고, 점착 테이프 (206) 를 통해 피가공물 (201) 을 유지면 (11) 에 흡인 유지한다. 제어 유닛 (100) 은, 제 2 절삭 유닛 (20-2) 에 장착된 도시되지 않은 촬상 유닛이 촬상한 화상에 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 의 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 와의 위치 맞춤을 실시하기 위한 패턴 매칭 등의 화상 처리를 실행하여, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (201) 과 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 의 상대 위치를 조정한다.In the machining operation, the control unit 100 takes out the work 201 to the transfer unit, and keeps the work 201 on the holding surface 11 by suction through the adhesive tape 206. [ The control unit 100 applies the cutting blades 21-1 and 21-2 of the cutting units 20-1 and 20-2 to the image picked up by the image pickup unit (not shown) mounted on the second cutting unit 20-2. 2) is performed to adjust the relative positions of the workpiece 201 held by the chuck table 10 and the cutting units 20-1 and 20-2 .

그리고, 제어 유닛 (100) 은, 가공 내용 정보에 기초하여, 가공 이송 유닛과 산출 이송 유닛과 절입 이송 유닛과 회전 구동원에 의해, 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 와 피가공물 (201) 을 분할 예정 라인 (203) 을 따라 상대적으로 이동시켜, 피가공물 (201) 의 분할 예정 라인 (203) 을 절삭한다.The control unit 100 controls the cutting blades 21-1 and 21-2 and the workpiece 201 by a machining transfer unit, an output transfer unit, a plunge transfer unit, and a rotation drive source, Along the line to be divided 203, and cuts the line 203 to be divided of the work 201 to be divided.

제어 유닛 (100) 은, 모든 분할 예정 라인 (203) 을 절삭하여, 피가공물 (201) 을 개개의 디바이스 (204) 로 분할하면, 피가공물 (201) 을 카세트 (111) 내에 반입하여, 카세트 (111) 내에 수용된 피가공물 (201) 을 순서대로 절삭 가공하고, 카세트 (111) 내의 모든 피가공물 (201) 의 절삭 가공이 완료되면 가공 동작을 종료한다.The control unit 100 cuts all the lines 203 to be divided and divides the work 201 into individual devices 204 to bring the work 201 into the cassettes 111 and to move the cassettes 111 And the machining operation is terminated when the machining of all the workpieces 201 in the cassette 111 is completed.

이상과 같이, 실시형태 1 에 관련된 절삭 장치 (1) 에 의하면, 제 1 절삭 블레이드 (21-1) 를 장착할 때에는, 제 1 절삭 유닛 (20-1) 의 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 만이 이간 위치로 설정되고, 제 2 절삭 블레이드 (21-2) 를 장착할 때에는, 제 2 절삭 유닛 (20-2) 의 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 만이 이간 위치로 설정된다. 이 때문에, 절삭 장치 (1) 는, 착탈 지그 (40) 를 사용하여 이간 위치에 위치되어진 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 의 스핀들 (22-1, 22-2) 에 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 를 장착할 수 있다. 또, 절삭 장치 (1) 는, 착탈 지그 (40) 등이 근접 위치에 위치되어 있는 절삭 유닛 (20) 의 제 2 플랜지 부재 (25) 를 회전시킬 수 없기 때문에, 근접 위치에 위치되어 있는 절삭 유닛 (20) 의 스핀들 (22) 에 절삭 블레이드 (21) 를 장착하고자 해도 물리적으로 장착할 수 없다. 그 결과, 절삭 장치 (1) 는, 오퍼레이터의 주의력이 산만해졌다고 하더라도, 스핀들 (22) 에 장착하는 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 실수하지 않고, 스핀들 (22) 에 절삭 블레이드 (21) 를 장착할 수 있다.As described above, according to the cutting apparatus 1 according to the first embodiment, when the first cutting blade 21-1 is mounted, the movable portion 32 (see Fig. 1) of the blade cover 30 of the first cutting unit 20-1 Only the movable portion 32 of the blade cover 30 of the second cutting unit 20-2 is set to the disengaged position when the second cutting blade 21-2 is mounted. Therefore, the cutting apparatus 1 is provided with the cutting blades 21-1 and 22-2 on the spindles 22-1 and 22-2 of the cutting units 20-1 and 20-2, -1, and 21-2. Since the cutting apparatus 1 can not rotate the second flange member 25 of the cutting unit 20 in which the attachment / detachment jig 40 or the like is located at the close position, the cutting unit 20, Even if the cutting blade 21 is mounted on the spindle 22 of the spindle 20, it can not be physically mounted. As a result, even if the operator's attention is distracted, the cutting apparatus 1 can not mount the cutting blade 21 on the spindle 22 without making a mistake in the kind of the cutting blade 21 attached to the spindle 22 can do.

또, 절삭 장치 (1) 는, 절삭 블레이드 (21) 를 수용하는 케이스 (60) 에 설치된 바코드 (71) 를 판독하는 판독 유닛 (80) 을 구비하고, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 판독 유닛 (80) 이 판독한 절삭 블레이드 (21) 의 종류가 등록된다. 이 때문에, 절삭 장치 (1) 는, 판독 유닛 (80) 에 의해 바코드 (71) 를 판독함으로써, 스핀들 (22) 에 장착하는 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 실수하지 않고, 스핀들 (22) 에 절삭 블레이드 (21) 를 장착할 수 있다.The cutting apparatus 1 is provided with a reading unit 80 for reading a bar code 71 installed in a case 60 accommodating the cutting blade 21 and is provided with a reading unit 80 The type of the cutting blade 21 read is registered. The cutting device 1 reads the bar code 71 by the reading unit 80 so that the kind of the cutting blade 21 to be attached to the spindle 22 is not mistakenly cut on the spindle 22 The blade 21 can be mounted.

또, 절삭 장치 (1) 는, 제어 유닛 (100) 의 가공 조건 등록부 (102) 의 절삭 조건 등록부 (104-1, 104-2) 에 각 절삭 유닛 (20-1, 20-2) 의 스핀들 (22-1, 22-2) 에 장착하는 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 의 종류를 등록하고 있다. 이 때문에, 절삭 장치 (1) 는, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 등록된 절삭 블레이드 (21) 의 종류와 절삭 조건 등록부 (104-1, 104-2) 에 등록된 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 의 종류를 대조할 수 있다. 그 결과, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 등록된 종류의 절삭 블레이드 (21) 를 장착하는 절삭 유닛 (20) 의 블레이드 커버 (30) 의 가동부 (32) 만을 확실하게 이간 위치에 위치시킬 수 있다.The cutting apparatus 1 further includes a cutting condition registration unit 104-1 and 104-2 of the machining condition registration unit 102 of the control unit 100 for controlling the spindle of each of the cutting units 20-1 and 20-2 22-1 and 22-2 of the cutting blades 21-1 and 21-2 are registered. Therefore, the cutting apparatus 1 is capable of controlling the cutting blade 21 registered in the blade information registration unit 101 and the cutting blades 21-1 and 21-2 registered in the cutting condition registration units 104-1 and 104-2 -2) can be collated. As a result, only the movable portion 32 of the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the cutting blade 21 of the kind registered in the blade information registration unit 101 is mounted can reliably be positioned at the disengaged position.

〔실시형태 2〕[Embodiment 2]

본 발명의 실시형태 2 에 관련된 절삭 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 17 은, 실시형태 2 에 관련된 절삭 장치의 절삭 유닛에 장착되는 절삭 블레이드와 케이스를 나타내는 사시도이다. 도 17 은, 실시형태 1 과 동일 부분에 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.A cutting apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 17 is a perspective view showing a cutting blade and a case mounted on a cutting unit of the cutting apparatus according to the second embodiment. 17, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted.

실시형태 2 에 관련된 절삭 장치 (1) 는, 절삭 블레이드 (21) 의 지지 기대 (211) 의 소정 지점에 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 특정하는 착탈 시일 (70) 이 첩착 (설치) 되어 있는 것 이외에는, 실시형태 1 과 동일하다. 실시형태 2 에 관련된 절삭 장치 (1) 의 판독 유닛 (80) 은, 절삭 블레이드 (21) 에 설치된 착탈 시일 (70) 의 바코드 (71) 를 판독한다.The cutting apparatus 1 according to the second embodiment is provided with the attachment / detachment seal 70 attached to a predetermined position of the support base 211 of the cutting blade 21 to specify the type of the cutting blade 21 Otherwise, it is the same as the first embodiment. The reading unit 80 of the cutting apparatus 1 according to the second embodiment reads the bar code 71 of the attaching / detaching seal 70 provided on the cutting blade 21.

실시형태 2 에 관련된 절삭 장치 (1) 는, 실시형태 1 과 동일하게, 이간 위치에 위치되어진 절삭 유닛 (20) 의 스핀들 (22) 에 절삭 블레이드 (21) 를 장착함으로써, 스핀들 (22) 에 장착하는 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 실수하지 않고, 스핀들 (22) 에 절삭 블레이드 (21) 를 장착할 수 있다.The cutting apparatus 1 according to the second embodiment is similar to the first embodiment except that the cutting blade 21 is mounted on the spindle 22 of the cutting unit 20 positioned at the spaced position and mounted on the spindle 22 It is possible to mount the cutting blade 21 on the spindle 22 without making a mistake in the kind of the cutting blade 21. [

또, 실시형태 2 에 관련된 절삭 장치 (1) 는, 절삭 블레이드 (21) 의 지지 기대 (211) 의 소정 지점에 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 특정하는 착탈 시일 (70) 이 첩착되어 있으므로, 케이스 (60) 로부터 절삭 블레이드 (21) 를 분리하고, 시간 등이 경과되어 절삭 블레이드 (21) 를 꺼낸 케이스 (60) 가 불분명해지더라도, 절삭 블레이드 (21) 의 첩착된 바코드 (71) 를 판독함으로써, 종류를 실수하지 않고 절삭 블레이드 (21) 를 스핀들 (22) 에 장착할 수 있다.Since the attaching / detaching seal 70 for specifying the type of the cutting blade 21 is attached to a predetermined position of the support base 211 of the cutting blade 21 in the cutting apparatus 1 according to the second embodiment, The bar code 71 attached to the cutting blade 21 is read out even if the case 60 in which the cutting blade 21 is pulled out becomes unclear after a lapse of time or the like, It is possible to mount the cutting blade 21 on the spindle 22 without making a mistake.

전술한 실시형태 1 및 실시형태 2 에 관련된 절삭 장치 (1) 의 제어 유닛 (100) 은, CPU (central processing unit) 와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산처리 장치와, ROM (read only memory) 또는 RAM (random access memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는다. 제어 유닛 (100) 의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 절삭 장치 (1) 를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통해 절삭 장치 (1) 의 상기 서술한 구성 요소에 출력한다. 또, 제어 유닛 (100) 의 블레이드 정보 등록부 (101) 의 기능은, 판독 유닛 (80) 이 판독한 절삭 블레이드 (21) 의 종류를 연산 처리 장치가 기억 장치에 기록함으로써 실현된다. 제어 유닛 (100) 의 가공 조건 등록부 (102) 의 기능은, 가공 조건을 연산 처리 장치가 기억 장치에 기록함으로써 실현된다. 즉, 제어 유닛 (100) 의 블레이드 정보 등록부 (101) 및 가공 조건 등록부 (102) 의 기능은, 기억 장치에 의해 실현된다. 제어 유닛 (100) 의 결정부 (103) 의 기능은, 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램을 실행함으로써 실현된다.The control unit 100 of the cutting apparatus 1 according to the first and second embodiments includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a central processing unit (CPU), a read only memory (ROM) a random access memory), and an input / output interface device. The arithmetic processing unit of the control unit 100 performs arithmetic processing according to the computer program stored in the storage device and outputs a control signal for controlling the cutting device 1 to the cutting device 1 through the input / To the above-described components of the system. The function of the blade information registration unit 101 of the control unit 100 is realized by the arithmetic processing unit recording the kind of the cutting blade 21 read by the reading unit 80 in the storage device. The function of the machining condition registration unit 102 of the control unit 100 is realized by the machining processing apparatus recording the machining conditions in the storage device. That is, the functions of the blade information registration unit 101 and the machining condition registration unit 102 of the control unit 100 are realized by the storage device. The function of the determination unit 103 of the control unit 100 is realized by executing a computer program in which the arithmetic processing unit is stored in the storage device.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다. 실시형태 1 및 실시형태 2 에 나타난 절삭 장치 (1) 는, 판독 유닛 (80) 이 바코드 (71) 를 판독하여, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 판독 유닛 (80) 이 판독한 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 의 종류가 등록되지만, 본 발명에서는, 오퍼레이터가 입력 장치를 조작하여, 블레이드 정보 등록부 (101) 에 절삭 블레이드 (21-1, 21-2) 의 종류가 등록되어도 된다.The present invention is not limited to the above-described embodiments. In other words, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. The cutting apparatus 1 shown in Embodiment 1 and Embodiment 2 is constituted such that the reading unit 80 reads the bar code 71 and the cutting blade 21- 1 and 21-2 are registered. In the present invention, however, the type of the cutting blades 21-1 and 21-2 may be registered in the blade information registration section 101 by the operator operating the input device.

1 : 절삭 장치
10 : 척 테이블
20 : 절삭 유닛
20-1 : 제 1 절삭 유닛
20-2 : 제 2 절삭 유닛
21 : 절삭 블레이드
21-1 : 제 1 절삭 블레이드
21-2 : 제 2 절삭 블레이드
22 : 스핀들
22-1 : 제 1 스핀들
22-2 : 제 2 스핀들
23 : 스핀들 하우징
29 : 플랜지
30 : 블레이드 커버
31 : 고정부
32 : 가동부
60 : 케이스
71 : 바코드 (식별 코드)
80 : 판독 유닛
100 : 제어 유닛
101 : 블레이드 정보 등록부
102 : 가공 조건 등록부
201 : 피가공물
321 : 절삭수 노즐 (가공액 노즐)1: Cutting device
10: Chuck table
20: Cutting unit
20-1: First cutting unit
20-2: 2nd cutting unit
21: cutting blade
21-1: First cutting blade
21-2: Second cutting blade
22: Spindle
22-1: First spindle
22-2: Second spindle
23: Spindle housing
29: Flange
30: blade cover
31:
32:
60: Case
71: Bar code (identification code)
80:
100: control unit
101: Blade information register
102: Processing condition registration section
201: Workpiece
321: Cutting water nozzle (working liquid nozzle)

Claims (3)

제 1 스핀들의 선단에 고정된 플랜지에 제 1 절삭 블레이드가 협지되어 장착되는 제 1 절삭 유닛과, 제 2 스핀들의 선단에 고정된 플랜지에 제 2 절삭 블레이드가 협지되어 장착되는 제 2 절삭 유닛과, 그 절삭 블레이드에 가공되는 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 장착하는 그 절삭 블레이드의 품종을 등록하는 블레이드 정보 등록부를 포함하여 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛을 구비하는 절삭 장치로서,
그 절삭 유닛은,
그 스핀들을 자유롭게 회전할 수 있게 지지하는 스핀들 하우징에 고정되고, 그 절삭 블레이드를 덮고 가공액을 공급하는 블레이드 커버를 구비하고,
그 블레이드 커버는,
그 스핀들 하우징에 고정된 고정부와,
가공액 노즐을 그 고정부에 개폐 가능하게 장착하고, 그 가공액 노즐이 그 절삭 블레이드에 근접한 근접 위치와, 그 절삭 블레이드로부터 이간되어 그 플랜지에 그 절삭 블레이드를 착탈하는 이간 위치에 선택적으로 위치시킬 수 있는 가동부를 구비하고,
그 제어 유닛은,
그 제 1 절삭 블레이드를 장착할 때에 그 제 1 절삭 블레이드의 품종이 등록되면, 그 제 2 절삭 유닛의 그 블레이드 커버의 가동부는 이간 위치로 설정되지 않지만, 그 제 1 절삭 유닛의 그 블레이드 커버의 가동부는 이간 위치로 설정되고,
그 제 2 절삭 블레이드를 장착할 때에 그 제 2 절삭 블레이드의 품종이 등록되면, 그 제 1 절삭 유닛의 그 블레이드 커버의 가동부는 이간 위치로 설정되지 않지만, 그 제 2 절삭 유닛의 그 블레이드 커버의 가동부는 이간 위치로 설정되는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.A first cutting unit in which a first cutting blade is held and mounted on a flange fixed to a tip of a first spindle, a second cutting unit in which a second cutting blade is held and mounted on a flange fixed to a tip of the second spindle, A chuck table for holding a workpiece to be machined on the cutting blade, and a blade information registering unit for registering a type of the cutting blade to be mounted, and a control unit for controlling each component,
The cutting unit,
And a blade cover fixed to a spindle housing for supporting the spindle so as to freely rotate and covering the cutting blade and supplying a working fluid,
The blade cover,
A fixed portion fixed to the spindle housing,
The machining liquid nozzle is mounted to the fixed portion in such a manner that the machining liquid nozzle can be selectively positioned at a position close to the cutting blade and at a position spaced apart from the cutting blade to detach the cutting blade from the flange And a movable portion,
The control unit,
The movable part of the blade cover of the second cutting unit is not set to the disengaged position when the first cutting blade is registered at the time of mounting the first cutting blade but the movable part of the blade cover of the first cutting unit The portion is set to the discrete position,
The movable part of the blade cover of the first cutting unit is not set to the disengaged position but the movable part of the blade cover of the second cutting unit is moved And the portion is set to an intermittent position. 제 1 항에 있어서,
그 절삭 블레이드 또는 그 절삭 블레이드를 수용하는 케이스에 설치되어 그 절삭 블레이드의 품종 정보를 포함하는 식별 코드를 판독하는 판독 유닛을 구비하고,
그 블레이드 정보 등록부에는, 그 판독 유닛에 의해 판독된 그 품종 정보가 등록되는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.The method according to claim 1,
And a reading unit installed in a case accommodating the cutting blade or the cutting blade and reading an identification code including the type information of the cutting blade,
And the blade information registration unit registers the type information read by the reading unit. 제 1 항에 있어서,
그 제어 유닛은, 그 절삭 블레이드와 그 스핀들의 조합을 포함하는 가공 조건을 등록하는 가공 조건 등록부를 구비하고, 등록된 그 절삭 블레이드의 그 품종과 그 스핀들의 조합으로부터, 그 블레이드 커버의 가동부를 이간 위치로 설정하는 그 절삭 유닛을 결정하는 절삭 장치.The method according to claim 1,
The control unit is provided with a machining condition registering section for registering a machining condition including a combination of the cutting blade and the spindle, and from the combination of the registered type of the cutting blade and the spindle, Position of the cutting unit.
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