KR102407413B1 - Cutting apparatus - Google Patents

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에이이치 요시무라
히로유키 히라가
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은 절삭 블레이드의 교환 작업을 임의의 공정으로부터 개시해도, 오퍼레이터의 부주의 등에서 기인하는 문제의 발생을 방지할 수 있는 절삭 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
절삭 블레이드(46)를 유지하는 블레이드 유지부(80)를 가지며 스핀들(36)의 선단부에 대해 절삭 블레이드를 착탈하는 블레이드 착탈 수단(74)과, 각종의 지령이 입력되는 입력 수단(84)과, 각부의 움직임을 제어하는 제어 수단(86)과, 스핀들의 선단부에 장착된 절삭 블레이드의 유무를 검출하는 블레이드 검출 수단(56, 86a, 86b)과, 미리 정해진 경보를 발하는 경보 수단(88)을 구비하고, 입력 수단에 대해 블레이드 착탈 수단에 의해 절삭 블레이드를 스핀들의 선단부에 장착하라는 취지의 장착 지령이 입력되면, 제어 수단은, 블레이드 검출 수단에 의해 절삭 블레이드가 검출되지 않는 경우에 장착 지령의 내용을 실행하고, 블레이드 검출 수단에 의해 절삭 블레이드가 검출되는 경우에 장착 지령의 내용을 실행하지 않고 경보 수단에 의해 경보를 발한다. An object of the present invention is to provide a cutting device capable of preventing the occurrence of problems due to operator negligence or the like, even when the cutting blade replacement operation is started from any process.
A blade attachment/detachment means 74 having a blade holding part 80 for holding the cutting blade 46 and for attaching and detaching the cutting blade with respect to the tip of the spindle 36, an input means 84 to which various commands are input; Control means (86) for controlling the movement of each part, blade detection means (56, 86a, 86b) for detecting the presence or absence of a cutting blade mounted on the tip of the spindle, and an alarm means (88) for issuing a predetermined alarm is provided. and a mounting command to the effect of mounting the cutting blade to the tip of the spindle by the blade detaching means is input to the input means, the control means, when the cutting blade is not detected by the blade detecting means, the content of the mounting command and, when the cutting blade is detected by the blade detection means, the alarm means issues an alarm without executing the contents of the mounting command.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}CUTTING APPARATUS {CUTTING APPARATUS}

본 발명은 절삭 블레이드를 자동으로 교환하는 오토 블레이드 체인저를 구비한 절삭 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a cutting device having an automatic blade changer for automatically changing cutting blades.

휴대 전화기로 대표되는 소형 경량의 전자 기기에서는, IC 등의 전자 회로(디바이스)를 구비하는 디바이스칩이 필수적인 구성으로 되어 있다. 디바이스칩은, 예컨대, 실리콘 등의 재료로 이루어지는 반도체 웨이퍼의 표면을 스트리트라고 불리는 복수의 분할 예정 라인으로 구획하고, 각 영역에 디바이스를 형성한 후, 이 스트리트를 따라 반도체 웨이퍼를 분할함으로써 제조할 수 있다.In a small and lightweight electronic device typified by a mobile phone, a device chip including an electronic circuit (device) such as an IC is an essential configuration. A device chip can be manufactured by dividing the surface of a semiconductor wafer made of a material such as silicon into a plurality of division lines called streets, forming devices in each area, and then dividing the semiconductor wafer along this street. have.

반도체 웨이퍼와 같은 판형의 피가공물을 분할할 때에는, 예컨대, 회전축이 되는 스핀들의 선단부에 원반형의 절삭 블레이드가 장착된 절삭 장치를 사용한다. 절삭 블레이드를 고속으로 회전시켜 피가공물의 스트리트에 절입시키고, 절삭 블레이드와 피가공물을 스트리트와 평행한 방향으로 상대적으로 이동시키면, 피가공물을 절삭하여 복수의 칩으로 분할할 수 있다.When dividing a plate-shaped workpiece such as a semiconductor wafer, for example, a cutting device in which a disk-shaped cutting blade is attached to the tip of a spindle serving as a rotating shaft is used. When the cutting blade is rotated at high speed to cut into the street of the workpiece, and the cutting blade and the workpiece are relatively moved in a direction parallel to the street, the workpiece can be cut and divided into a plurality of chips.

전술한 절삭 블레이드는, 어느 정도까지 마모되면 교환된다. 이에 의해, 절삭 장치의 절삭 능력은 높은 상태로 유지된다. 최근에 와서는, 절삭 블레이드의 교환에 요하는 시간을 단축하기 위해서, 절삭 블레이드를 자동으로 교환하는 오토 블레이드 체인저를 구비한 절삭 장치가 실용화되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). The aforementioned cutting blades are replaced when worn to a certain extent. Thereby, the cutting capability of a cutting device is maintained in a high state. In recent years, in order to shorten the time required for replacement of a cutting blade, a cutting apparatus provided with the automatic blade changer which replaces a cutting blade automatically is put to practical use (for example, refer patent document 1).

또한, 스핀들의 선단부에 부착되는 블레이드 마운트에 흡인구를 형성하고, 이 흡인구로부터 부압을 작용시켜 절삭 블레이드를 흡착, 고정하는 절삭 블레이드의 장착 기구도 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 2 참조). 이 장착 기구에서는, 너트 등의 부재를 이용하지 않고 절삭 블레이드를 고정할 수 있기 때문에, 절삭 블레이드를 보다 단시간에 교환할 수 있다.Also, a cutting blade mounting mechanism has been proposed in which a suction port is formed in a blade mount attached to the tip of the spindle, and a negative pressure is applied from the suction port to adsorb and fix the cutting blade (see, for example, Patent Document 2). In this mounting mechanism, since the cutting blade can be fixed without using a member such as a nut, the cutting blade can be replaced in a shorter time.

일본 특허 공개 평성 제6-326186호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 6-326186 일본 특허 공개 제2002-154054호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2002-154054

오토 블레이드 체인저를 구비하는 전술한 절삭 장치에서는, 예컨대, 예기치 못한 사고에 의해 오토 블레이드 체인저가 정지해 버리는 경우가 있다. 이 경우, 오퍼레이터는, 수동으로 오토 블레이드 체인저를 재가동시켜 절삭 블레이드의 교환 작업을 재개할 필요가 있다.In the above-described cutting device including the automatic blade changer, the automatic blade changer may stop due to, for example, an unexpected accident. In this case, it is necessary for the operator to manually restart the automatic blade changer to resume the replacement operation of the cutting blade.

그런데, 절삭 블레이드의 교환 작업을 임의의 공정으로부터 재개할 수 있는 경우, 오퍼레이터의 부주의 등에서 기인하여 문제가 발생하기 쉽다. 예컨대, 스핀들에 절삭 블레이드가 장착된 상태에서 절삭 블레이드의 장착 공정으로부터 교환 작업을 재개하면, 스핀들에 장착된 절삭 블레이드와 새롭게 장착되는 절삭 블레이드가 간섭하여 절삭 장치를 파손시킬 우려가 있다.However, when the replacement operation of the cutting blade can be resumed from an arbitrary process, a problem tends to occur due to negligence of an operator or the like. For example, if the replacement operation is resumed from the cutting blade mounting process while the cutting blade is mounted on the spindle, the cutting blade mounted on the spindle and the newly mounted cutting blade may interfere and damage the cutting device.

그래서, 절삭 블레이드의 교환 작업은, 스핀들로부터 절삭 블레이드를 제거하는 제거 공정으로부터만 재개할 수 있도록 제한되어 있다. 그러나, 이러한 제한을 마련하면, 절삭 블레이드의 교환 작업을 재개하기 전에 스핀들 및 오토 블레이드 체인저를 교환 작업 전의 상태까지 되돌리지 않으면 안 되기 때문에, 교환 작업의 재개까지 많은 시간을 요한다. 또한, 그때까지 실시한 공정이 헛되이 된다고 하는 문제도 있었다. Therefore, the operation of exchanging the cutting blade is limited so that it can be resumed only from the removal process of removing the cutting blade from the spindle. However, if such a restriction is provided, the spindle and the automatic blade changer must be returned to the state before the exchange operation before resuming the replacement operation of the cutting blade, and therefore it takes a lot of time until the replacement operation is resumed. Moreover, there also existed a problem that the process implemented until then became useless.

본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 점은, 절삭 블레이드의 교환 작업을 임의의 공정으로부터 개시해도, 오퍼레이터의 부주의 등에서 기인하는 문제의 발생을 방지할 수 있는 절삭 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of these problems, and an object thereof is to provide a cutting device capable of preventing the occurrence of problems due to operator negligence, etc. even when the cutting blade replacement operation is started from an arbitrary process. will be.

본 발명에 의하면, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 회전 구동되는 스핀들과 이 스핀들의 선단부에 장착되는 절삭 블레이드를 가지며 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 수단과, 상기 절삭 블레이드를 유지하는 블레이드 유지부를 가지며 상기 스핀들의 선단부에 대해 상기 절삭 블레이드를 착탈하는 블레이드 착탈 수단과, 상기 절삭 블레이드를 착탈할 수 있는 착탈 위치와 이 착탈 위치보다 서로 이격된 이격 위치 사이에서 상기 절삭 수단과 상기 블레이드 착탈 수단을 상대적으로 이동시키는 이동 수단과, 상기 이격 위치에 위치한 상기 블레이드 착탈 수단에 대응하여 배치되며 사용 전 또는 사용 후의 복수의 상기 절삭 블레이드를 수용할 수 있는 블레이드 랙(blade rack)과, 각종의 지령이 입력되는 입력 수단과, 각부의 움직임을 제어하는 제어 수단과, 상기 스핀들의 선단부에 장착된 상기 절삭 블레이드의 유무를 검출하는 블레이드 검출 수단과, 미리 정해진 경보를 발하는 경보 수단을 구비하고, 상기 입력 수단에 대해 상기 블레이드 착탈 수단에 의해 상기 절삭 블레이드를 상기 스핀들의 선단부에 장착하라는 취지의 장착 지령이 입력되면, 상기 제어 수단은, 상기 블레이드 검출 수단에 의해 상기 절삭 블레이드가 검출되지 않는 경우에 상기 장착 지령의 내용을 실행하고, 상기 블레이드 검출 수단에 의해 상기 절삭 블레이드가 검출되는 경우에 상기 장착 지령의 내용을 실행하지 않고 상기 경보 수단에 의해 경보를 발하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치가 제공된다. According to the present invention, there is provided a chuck table for holding a workpiece, a spindle driven by rotation, and a cutting blade mounted on the tip of the spindle, and cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table, and holding the cutting blade and a blade attachment/detachment means for attaching and detaching the cutting blade with respect to the tip of the spindle, and between a detachable position where the cutting blade can be attached and a detachable position and a position spaced apart from each other from the detachable position, the cutting means and the blade A moving means for relatively moving the detachable means, a blade rack disposed corresponding to the blade detaching means located at the spaced apart position and capable of accommodating a plurality of the cutting blades before or after use, and various An input means for inputting a command, a control means for controlling the movement of each part, a blade detection means for detecting the presence or absence of the cutting blade mounted on the tip of the spindle, and an alarm means for emitting a predetermined alarm, said When a mounting command to the effect of mounting the cutting blade to the tip of the spindle is inputted to the input means by the blade attaching/removing means, the control means is configured to, when the cutting blade is not detected by the blade detecting means There is provided a cutting device characterized in that the content of the mounting command is executed, and when the cutting blade is detected by the blade detection means, the warning means issues an alarm without executing the contents of the mounting command.

본 발명에 있어서, 상기 절삭 수단은, 원반형의 플랜지부와 이 플랜지부로부터 돌출된 보스부를 가지며 상기 스핀들의 선단부에 고정되는 블레이드 마운트를 구비하고, 상기 절삭 블레이드는, 상기 플랜지부에 접촉하는 접촉면을 가지며 중앙부에 상기 블레이드 마운트의 상기 보스부가 삽입되는 관통 구멍이 형성된 원반형의 베이스와 이 베이스의 외주부에 형성된 절삭날을 포함하고, 상기 블레이드 마운트는, 상기 절삭 블레이드의 상기 베이스의 상기 접촉면측을 흡인하는 흡인 수단을 구비하며, 상기 흡인 수단은, 상기 베이스의 상기 접촉면측을 지지하는 상기 플랜지부의 지지면측에 개구된 흡인구와, 부압을 발생시키는 흡인원과, 상기 흡인구와 상기 흡인원을 잇는 흡인 경로와, 이 흡인 경로에 설치되며 상기 흡인 경로 내의 압력을 측정하여 측정 결과를 상기 제어 수단에 보내는 압력계를 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 블레이드 마운트에 상기 절삭 블레이드가 유지된 상태의 상기 흡인 경로 내의 압력에 대응하여 설정되는 기준값과, 상기 압력계로부터 보내지는 상기 측정 결과를 기억하는 기억부와, 이 기억부에 기억된 상기 기준값과 상기 측정 결과로부터 상기 스핀들의 선단부에 상기 절삭 블레이드가 장착되어 있는지의 여부를 판정하는 판정부를 구비하며, 상기 블레이드 검출 수단은, 상기 압력계와 상기 기억부와 상기 판정부로 구성되는 것이 바람직하다.In the present invention, the cutting means has a disk-shaped flange portion and a boss portion protruding from the flange portion and is provided with a blade mount fixed to the tip of the spindle, and the cutting blade has a contact surface in contact with the flange portion. and a disk-shaped base having a through hole into which the boss of the blade mount is inserted in a central portion and a cutting edge formed on an outer periphery of the base, wherein the blade mount sucks the contact surface side of the base of the cutting blade a suction means comprising: a suction port opened to a support surface side of the flange portion supporting the contact surface side of the base; a suction source generating negative pressure; and a suction path connecting the suction port and the suction source and a pressure gauge installed in the suction path to measure the pressure in the suction path and send the measurement result to the control unit, wherein the control unit is provided in the suction path in a state in which the cutting blade is held by the blade mount. a storage unit for storing a reference value set in response to the pressure and the measurement result sent from the pressure gauge; It is preferable that a determination unit for judging whether or not there is provided, and the blade detection means is composed of the pressure gauge, the storage unit, and the determination unit.

본 발명에 따른 절삭 장치는, 스핀들의 선단부에 장착된 절삭 블레이드의 유무를 검출하는 블레이드 검출 수단과, 경보를 발하는 경보 수단을 구비하고, 입력 수단에 대해 절삭 블레이드를 스핀들의 선단부에 장착하라는 취지의 장착 지령이 입력되면, 제어 수단은, 블레이드 검출 수단에 의해 절삭 블레이드가 검출되지 않는 경우에 장착 지령의 내용을 실행하고, 블레이드 검출 수단에 의해 절삭 블레이드가 검출되는 경우에 장착 지령의 내용을 실행하지 않고 경보 수단에 의해 경보를 발하도록 구성되어 있다.A cutting device according to the present invention is provided with a blade detecting means for detecting the presence or absence of a cutting blade mounted on a tip of a spindle, and an alarm means for generating an alarm, the input means for mounting the cutting blade to the tip of the spindle. When a mounting command is input, the control means executes the contents of the mounting command when the cutting blade is not detected by the blade detecting means, and executes the contents of the mounting command when the cutting blade is detected by the blade detecting means. and is configured to issue an alarm by an alarm means.

따라서, 스핀들의 선단부에 절삭 블레이드가 장착된 상태에서 잘못하여 장착 지령을 입력한 경우라도, 절삭 장치가 파손되는 일은 없다. 이와 같이, 본 발명에 따른 절삭 장치에 의하면, 절삭 블레이드의 교환 작업을 임의의 공정으로부터 개시해도, 오퍼레이터의 부주의 등에서 기인하는 문제의 발생을 방지할 수 있다.Therefore, even when a mounting command is erroneously input while the cutting blade is mounted on the tip of the spindle, the cutting device is not damaged. Thus, according to the cutting device which concerns on this invention, even if it starts the exchange operation|work of a cutting blade from an arbitrary process, generation|occurrence|production of the problem resulting from operator's negligence, etc. can be prevented.

도 1은 본 실시형태에 따른 절삭 장치의 구성예를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 2는 절삭 유닛의 구조를 모식적으로 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 절삭 유닛의 단면을 주로 도시한 도면이다.
도 4는 오토 블레이드 체인저 주변의 구조를 모식적으로 도시한 사시도이다.
도 5의 (a)는 블레이드 착탈 유닛의 구조를 모식적으로 도시한 사시도이고, 도 5의 (b)는 블레이드 착탈 유닛의 구조를 모식적으로 도시한 일부 단면 평면도이며, 도 5의 (c)는 블레이드 착탈 유닛을 절삭 유닛측에서 본 측면도이다.
도 6은 제어 장치의 구성예 등을 모식적으로 도시한 블록도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows typically the structural example of the cutting device which concerns on this embodiment.
2 is an exploded perspective view schematically showing the structure of a cutting unit.
3 is a view mainly showing a cross-section of the cutting unit.
4 is a perspective view schematically illustrating a structure around an auto blade changer.
Figure 5 (a) is a perspective view schematically showing the structure of the blade detachable unit, Figure 5 (b) is a partial sectional plan view schematically showing the structure of the blade detachable unit, Figure 5 (c) is a side view of the blade attaching/removing unit viewed from the cutting unit side.
6 is a block diagram schematically showing a configuration example and the like of a control device.

첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 절삭 장치의 구성예를 모식적으로 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 절삭 장치(2)는, 각 구조를 지지하는 베이스(4)를 구비한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of this invention is described with reference to an accompanying drawing. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows typically the structural example of the cutting device which concerns on this embodiment. As shown in FIG. 1 , the cutting device 2 has a base 4 supporting each structure.

베이스(4)의 상면에는, X축 방향(가공 이송 방향)으로 긴 직사각형 형상의 개구(4a)가 형성되어 있다. 이 개구(4a) 내에는, X축 이동 테이블(6), X축 이동 테이블(6)을 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 기구(도시되지 않음), 및 X축 이동 기구를 덮는 방진 방적(防敵) 커버(8)가 설치되어 있다.An opening 4a having a rectangular shape elongated in the X-axis direction (processing feed direction) is formed on the upper surface of the base 4 . In this opening 4a, an X-axis movement table 6, an X-axis movement mechanism (not shown) that moves the X-axis movement table 6 in the X-axis direction, and a dustproof and drip-proof (not shown) covering the X-axis movement mechanism防敵) cover (8) is provided.

X축 이동 기구는, X축 방향에 평행한 한 쌍의 X축 가이드 레일(도시되지 않음)을 구비하고, X축 가이드 레일에는, X축 이동 테이블(6)이 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. X축 이동 테이블(6)의 하면측에는, 너트부(도시되지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, X축 가이드 레일과 평행한 X축 볼 나사(도시되지 않음)가 나사 결합되어 있다. The X-axis movement mechanism is provided with a pair of X-axis guide rails (not shown) parallel to the X-axis direction, and the X-axis movement table 6 is slidably provided on the X-axis guide rails. A nut part (not shown) is provided on the lower surface side of the X-axis moving table 6, and an X-axis ball screw (not shown) parallel to the X-axis guide rail is screwed to this nut part.

X축 볼 나사의 일단부에는, X축 펄스 모터(도시되지 않음)가 연결되어 있다. X축 펄스 모터에 의해 X축 볼 나사를 회전시키면, X축 이동 테이블(6)은 X축 가이드 레일을 따라 X축 방향으로 이동한다.An X-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the X-axis ball screw. When the X-axis ball screw is rotated by the X-axis pulse motor, the X-axis moving table 6 moves along the X-axis guide rail in the X-axis direction.

X축 이동 테이블(6)의 상면에는, 반도체 웨이퍼나 수지 기판, 세라믹스 기판 등의 판형의 피가공물(도시되지 않음)을 흡인 유지하는 척 테이블(10)이 설치되어 있다. 척 테이블(10)은, 모터 등의 회전 구동원(도시되지 않음)과 연결되어 있고, Z축 방향(연직 방향)에 평행한 회전축 주위로 회전한다. 또한, 척 테이블(10)은, 전술한 X축 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동한다. On the upper surface of the X-axis movement table 6, a chuck table 10 for sucking and holding a plate-shaped to-be-processed object (not shown), such as a semiconductor wafer, a resin substrate, and a ceramic substrate, is provided. The chuck table 10 is connected to a rotational driving source (not shown) such as a motor, and rotates around a rotational axis parallel to the Z-axis direction (vertical direction). In addition, the chuck table 10 is moved in the X-axis direction by the above-described X-axis movement mechanism.

척 테이블(10)의 표면(상면)은, 피가공물을 흡인 유지하는 유지면(10a)으로 되어 있다. 이 유지면(10a)은, 척 테이블(10)의 내부에 형성된 유로(도시되지 않음)를 통해 흡인원(도시되지 않음)과 접속되어 있다. 척 테이블(10) 주위에는, 피가공물을 지지하는 프레임(도시되지 않음)을 협지(挾持) 고정하기 위한 클램프(12)가 설치되어 있다. The surface (upper surface) of the chuck table 10 is a holding surface 10a for sucking and holding a workpiece. The holding surface 10a is connected to a suction source (not shown) through a flow path (not shown) formed inside the chuck table 10 . A clamp 12 is provided around the chuck table 10 for clamping a frame (not shown) that supports a workpiece.

베이스(4)의 상면에는, 절삭 유닛(절삭 수단)(14)을 지지하는 문(門)형의 지지 구조(16)가, 개구(4a)에 걸쳐 있도록 배치되어 있다. 지지 구조(16)의 표면측에는, 절삭 유닛(14)을 Y축 방향(인덱싱 이송 방향) 및 Z축 방향으로 이동시키는 절삭 유닛 이동 기구(이동 수단)(18)가 설치되어 있다.On the upper surface of the base 4, a door-shaped support structure 16 for supporting the cutting unit (cutting means) 14 is disposed so as to span the opening 4a. A cutting unit moving mechanism (moving means) 18 for moving the cutting unit 14 in the Y-axis direction (indexing feed direction) and the Z-axis direction is provided on the surface side of the support structure 16 .

절삭 유닛 이동 기구(18)는, 지지 구조(16)의 표면 상부에 배치되며 Y축 방향에 평행한 한 쌍의 Y축 가이드 레일(20)을 구비한다. Y축 가이드 레일(20)에는, 절삭 유닛 이동 기구(18)를 구성하는 Y축 이동 플레이트(22)가 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. The cutting unit moving mechanism 18 includes a pair of Y-axis guide rails 20 disposed on the surface of the support structure 16 and parallel to the Y-axis direction. The Y-axis moving plate 22 constituting the cutting unit moving mechanism 18 is slidably provided on the Y-axis guide rail 20 .

Y축 이동 플레이트(22)의 이면측에는, 너트부(도시되지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, Y축 가이드 레일(20)과 평행한 Y축 볼 나사(24)가 나사 결합되어 있다. Y축 볼 나사(24)의 일단부에는, Y축 펄스 모터(도시되지 않음)가 연결되어 있다. Y축 펄스 모터에 의해 Y축 볼 나사(24)를 회전시키면, Y축 이동 플레이트(22)는, Y축 가이드 레일(20)을 따라 Y축 방향으로 이동한다.A nut part (not shown) is provided on the back side of the Y-axis moving plate 22, and a Y-axis ball screw 24 parallel to the Y-axis guide rail 20 is screwed to the nut part. . A Y-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the Y-axis ball screw 24 . When the Y-axis ball screw 24 is rotated by the Y-axis pulse motor, the Y-axis moving plate 22 moves along the Y-axis guide rail 20 in the Y-axis direction.

Y축 이동 플레이트(22)의 표면에는, Z축 방향에 평행한 한 쌍의 Z축 가이드 레일(26)이 설치되어 있다. Z축 가이드 레일(26)에는, Z축 이동 플레이트(28)가 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. A pair of Z-axis guide rails 26 parallel to the Z-axis direction are provided on the surface of the Y-axis moving plate 22 . A Z-axis moving plate 28 is slidably provided on the Z-axis guide rail 26 .

Z축 이동 플레이트(28)의 이면측에는, 너트부(도시되지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, Z축 가이드 레일(26)과 평행한 Z축 볼 나사(30)가 나사 결합되어 있다. Z축 볼 나사(30)의 일단부에는, Z축 펄스 모터(32)가 연결되어 있다. Z축 펄스 모터(32)에 의해 Z축 볼 나사(30)를 회전시키면, Z축 이동 플레이트(28)는, Z축 가이드 레일(26)을 따라 Z축 방향으로 이동한다. A nut part (not shown) is provided on the back side of the Z-axis moving plate 28, and a Z-axis ball screw 30 parallel to the Z-axis guide rail 26 is screwed to the nut part. . A Z-axis pulse motor 32 is connected to one end of the Z-axis ball screw 30 . When the Z-axis ball screw 30 is rotated by the Z-axis pulse motor 32 , the Z-axis moving plate 28 moves along the Z-axis guide rail 26 in the Z-axis direction.

Z축 이동 플레이트(28)의 하부에는, 척 테이블(10)에 흡인 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛(14)이 설치되어 있다. 전술한 바와 같이 Y축 이동 플레이트(22) 및 Z축 이동 플레이트(28)를 이동시키면, 절삭 유닛(14)은, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동한다. A cutting unit 14 for cutting a workpiece sucked and held by the chuck table 10 is provided under the Z-axis moving plate 28 . When the Y-axis movement plate 22 and the Z-axis movement plate 28 are moved as described above, the cutting unit 14 moves in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

도 2는 절삭 유닛(14)의 구조를 모식적으로 도시한 분해 사시도이고, 도 3은 절삭 유닛(14)의 단면을 주로 도시한 도면이다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 절삭 유닛(14)은, Z축 이동 플레이트(28)의 하부에 고정된 스핀들 하우징(34)을 구비한다.FIG. 2 is an exploded perspective view schematically showing the structure of the cutting unit 14 , and FIG. 3 is a diagram mainly showing a cross section of the cutting unit 14 . 2 and 3 , the cutting unit 14 has a spindle housing 34 fixed to the lower portion of the Z-axis moving plate 28 .

스핀들 하우징(34)의 내부에는, 회전축이 되는 스핀들(36)(도 3)을 수용하는 수용 공간(34a)이 형성되어 있다. 스핀들(36)은, 이 수용 공간(34a)에 공급되는 압축 공기에 의해 부동(浮動) 상태로 지지된다.In the inside of the spindle housing 34, an accommodation space 34a for accommodating the spindle 36 (FIG. 3) serving as a rotation shaft is formed. The spindle 36 is supported in a floating state by the compressed air supplied to this accommodation space 34a.

스핀들(36)의 선단부(일단부)는, 원뿔대 형상으로 형성되어 있고, 스핀들 하우징(34)의 외부로 노출되어 있다. 이 스핀들(36)의 선단부에는, 블레이드 마운트(38)가 부착된다. 한편, 스핀들(36)의 기단측(타단측)에는, 스핀들(36)을 회전시키기 위한 모터(도시되지 않음)가 연결되어 있다.The tip (one end) of the spindle 36 is formed in a truncated cone shape, and is exposed to the outside of the spindle housing 34 . A blade mount 38 is attached to the tip of the spindle 36 . On the other hand, a motor (not shown) for rotating the spindle 36 is connected to the base end side (the other end side) of the spindle 36 .

블레이드 마운트(38)는, 직경 방향 외측을 향해 연장된 원반형의 플랜지부(40)와, 플랜지부(40)의 표면측으로부터 돌출된 보스부(42)를 포함한다. 블레이드 마운트(38)의 중앙에는, 플랜지부(40) 및 보스부(42)를 관통하는 관통 구멍(38a)이 형성되어 있고, 이 관통 구멍(38a)에는, 이면측으로부터 스핀들(36)의 선단부가 감합(嵌合)된다. The blade mount 38 includes a disk-shaped flange portion 40 extending outward in the radial direction, and a boss portion 42 protruding from the surface side of the flange portion 40 . A through hole 38a penetrating through the flange portion 40 and the boss portion 42 is formed in the center of the blade mount 38, and in this through hole 38a, the tip end of the spindle 36 from the back side is joined.

스핀들(36)의 선단의 외주면에는 나사홈이 형성되어 있고, 너트(44)를 조여 넣을 수 있다. 스핀들(36)의 선단부를 블레이드 마운트(38)의 관통 구멍(38a)에 감합한 상태에서 스핀들(36)의 선단에 너트(44)를 조여 넣으면, 블레이드 마운트(38)를 스핀들(36)에 고정할 수 있다.A screw groove is formed on the outer peripheral surface of the tip of the spindle 36, and the nut 44 can be tightened. When the nut 44 is tightened on the tip of the spindle 36 while the tip of the spindle 36 is fitted with the through hole 38a of the blade mount 38, the blade mount 38 is fixed to the spindle 36. can do.

플랜지부(40)의 표면의 외주측은, 절삭 블레이드(46)의 이면측을 지지하는 지지면(40a)으로 되어 있다. 이 지지면(40a)은, Y축 방향[스핀들(36)의 축심 방향]에서 보아 원환형으로 형성되어 있고, 절삭 블레이드(46)의 이면측에 접촉한다.The outer peripheral side of the front surface of the flange portion 40 serves as a support surface 40a for supporting the rear surface side of the cutting blade 46 . This support surface 40a is formed in an annular shape as seen in the Y-axis direction (axial direction of the spindle 36 ), and comes into contact with the back surface side of the cutting blade 46 .

절삭 블레이드(46)는, 이른바 허브 블레이드이며, 원반형의 베이스(허브 베이스)(48)의 외주부에, 피가공물을 절삭하는 원환형의 절삭날(50)이 설치되어 있다. 절삭날(50)은, 예컨대, 금속이나 수지 등의 본드재(결합재)에, 다이아몬드나 CBN(Cubic Boron Nitride) 등의 지립을 혼합하여 미리 정해진 두께로 형성된다.The cutting blade 46 is a so-called hub blade, and an annular cutting edge 50 for cutting the workpiece is provided on the outer periphery of the disk-shaped base (hub base) 48 . The cutting edge 50 is formed, for example, in a predetermined thickness by mixing abrasive grains such as diamond or CBN (cubic boron nitride) with a bond material (binding material) such as metal or resin.

베이스(48)의 중앙에는, 보스부(42)와 대략 동일 직경의 관통 구멍(48a)이 형성되어 있다. 이 관통 구멍(48a)에 보스부(42)를 감합하고, 플랜지부(40)의 지지면(40a)에 베이스(48)의 이면(접촉면)(48b)을 접촉시킴으로써, 절삭 블레이드(46)는 블레이드 마운트(38)에 장착된다.In the center of the base 48 , a through hole 48a having substantially the same diameter as that of the boss portion 42 is formed. By fitting the boss portion 42 to the through hole 48a and bringing the back surface (contact surface) 48b of the base 48 into contact with the support surface 40a of the flange portion 40, the cutting blade 46 is It is mounted on the blade mount 38 .

블레이드 마운트(38)의 내부에는, 부압을 전달하는 유로(흡인 경로)(38b)가 형성되어 있다. 이 유로(38b)의 일단측은, 플랜지부(40)의 표면측[지지면(40a)측]에 개구되어, 절삭 블레이드(46)를 흡인하는 흡인구(40b)가 된다. 한편, 유로(38b)의 타단측은, 관통 구멍(38a)의 내주면에 개구되어 있다.A flow path (suction path) 38b for transmitting negative pressure is formed inside the blade mount 38 . One end of the flow path 38b is opened on the front surface side (support surface 40a side) of the flange portion 40 and serves as a suction port 40b for sucking the cutting blade 46 . On the other hand, the other end side of the flow path 38b is opened in the inner peripheral surface of the through hole 38a.

스핀들(36)의 내부에도, 부압을 전달하는 유로(흡인 경로)(36a)가 형성되어 있다. 유로(36a)의 일단측은, 스핀들(38)의 선단부의 외주면에 개구되어 있고, 유로(38b)의 타단측과 접속된다. A flow path (suction path) 36a for transmitting a negative pressure is also formed inside the spindle 36 . One end of the flow path 36a is opened on the outer peripheral surface of the tip of the spindle 38 and is connected to the other end of the flow path 38b.

한편, 유로(36a)의 타단측은, 스핀들 하우징(34)에 형성된 유로(흡인 유로)(34b), 유로(34b)에 접속된 배관(흡인 유로)(52) 등을 통해, 부압을 발생시키는 흡인원(54)에 접속되어 있다. 또한, 배관(52)에는, 유로(38b), 유로(36a), 유로(34b) 및 배관(52)의 내부의 압력을 측정하는 압력계(56)가 설치되어 있다.On the other hand, the other end side of the flow path 36a is a suction generating negative pressure through a flow path (suction flow path) 34b formed in the spindle housing 34 , a pipe (suction flow path) 52 connected to the flow path 34b, etc. It is connected to the circle 54 . In addition, the pipe 52 is provided with a flow path 38b , a flow path 36a , a flow path 34b , and a pressure gauge 56 for measuring the pressure inside the pipe 52 .

전술한 바와 같이, 절삭 블레이드(46)를 블레이드 마운트(38)에 장착하고, 배관(52), 유로(34b), 유로(36a), 유로(38b) 및 흡인구(40b)를 통해, 흡인원(54)의 부압을 베이스(48)의 이면(48b)측에 작용시키면, 절삭 블레이드(46)는, 마운트 플랜지(40)에 고정된다. As described above, the cutting blade 46 is mounted on the blade mount 38, and the suction source is provided through the pipe 52, the flow path 34b, the flow path 36a, the flow path 38b, and the suction port 40b. When a negative pressure (54) is applied to the back surface (48b) side of the base (48), the cutting blade (46) is fixed to the mount flange (40).

도 1에 도시된 바와 같이, 절삭 유닛(14)에 장착된 절삭 블레이드(46)와 대향하는 위치에는, 절삭 블레이드(46)를 자동으로 교환하는 오토 블레이드 체인저(60)가 설치되어 있다. 도 4는 오토 블레이드 체인저(60) 주변의 구조를 모식적으로 도시한 사시도이다. As shown in FIG. 1 , an auto blade changer 60 for automatically replacing the cutting blade 46 is installed at a position opposite to the cutting blade 46 mounted on the cutting unit 14 . 4 is a perspective view schematically illustrating a structure around the auto blade changer 60 .

도 4에 도시된 바와 같이, 오토 블레이드 체인저(60)의 하방에는, 오토 블레이드 체인저(60)를 X축 방향으로 이동시키는 오토 블레이드 체인저 이동 기구(이동 수단)(62)가 설치되어 있다.As shown in FIG. 4 , an auto blade changer moving mechanism (moving means) 62 for moving the auto blade changer 60 in the X-axis direction is provided below the auto blade changer 60 .

오토 블레이드 체인저 이동 기구(62)는, X축 방향에 평행한 한 쌍의 가이드 레일(64)을 구비하고, 가이드 레일(64)에는, 이동 블록(66)이 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 이동 블록(66)의 하면측에는, 너트부(도시되지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, 가이드 레일(64)과 평행한 볼 나사(68)가 나사 결합되어 있다. The auto blade changer moving mechanism 62 is provided with a pair of guide rails 64 parallel to the X-axis direction, and a moving block 66 is slidably provided on the guide rail 64 . A nut portion (not shown) is provided on the lower surface side of the moving block 66 , and a ball screw 68 parallel to the guide rail 64 is screwed to the nut portion.

볼 나사(68)의 일단부에는, 펄스 모터(70)가 연결되어 있다. 펄스 모터(70)에 의해 볼 나사(68)를 회전시키면, 이동 블록(66)은 가이드 레일(64)을 따라 X축 방향으로 이동한다. A pulse motor 70 is connected to one end of the ball screw 68 . When the ball screw 68 is rotated by the pulse motor 70 , the moving block 66 moves along the guide rail 64 in the X-axis direction.

이동 블록(66)의 상부에는, 오토 블레이드 체인저(60)의 케이스(72)가 고정되어 있다. 케이스(72)의 측방[절삭 유닛(14)측]에는, 블레이드 마운트(38)[스핀들(36)의 선단부]에 절삭 블레이드(46)를 부착하고, 스핀들(36)의 선단부로부터 절삭 블레이드(46)를 제거하는 블레이드 착탈 유닛(블레이드 착탈 수단)(74)이 설치되어 있다.A case 72 of the auto blade changer 60 is fixed to the upper portion of the moving block 66 . On the side of the case 72 (cutting unit 14 side), a cutting blade 46 is attached to a blade mount 38 (the tip of the spindle 36 ), and the cutting blade 46 is attached from the tip of the spindle 36 . ) is provided with a blade attachment/detachment unit (blade attachment/detachment means) 74 to remove it.

도 5의 (a)는 블레이드 착탈 유닛(74)의 구조를 모식적으로 도시한 사시도이고, 도 5의 (b)는 블레이드 착탈 유닛(74)의 구조를 모식적으로 도시한 일부 단면 평면도이며, 도 5의 (c)는 블레이드 착탈 유닛(74)을 절삭 유닛(14)측에서 본 측면도이다. Figure 5 (a) is a perspective view schematically showing the structure of the blade detachable unit 74, Figure 5 (b) is a partial sectional plan view schematically showing the structure of the blade detachable unit 74, FIG. 5C is a side view of the blade attaching/removing unit 74 as viewed from the cutting unit 14 side.

도 5의 (a), 도 5의 (b) 및 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 블레이드 착탈 유닛(74)은, 케이스(72)로부터 연장되는 아암(76)을 구비한다. 아암(76)의 선단부에는, 원기둥형으로 형성된 베이스(78)의 제1 바닥면(78a)측이 고정되어 있다. As shown in FIG. 5(a), FIG. 5(b) and FIG. 5(c), the blade attachment/detachment unit 74 is provided with the arm 76 extended from the case 72. As shown in FIG. A side of the first bottom surface 78a of the base 78 formed in a columnar shape is fixed to the distal end of the arm 76 .

베이스(78)의 제2 바닥면(78b)측에는, 블레이드 유지부(80)가 설치되어 있다. 블레이드 유지부(80)는, 제2 바닥면(78b)의 중앙으로부터 돌출하는 압박 핀(80a)과, 압박 핀(80a) 주위에 배치되며 절삭 블레이드(46)를 파지(把持)하는 3개의 클로(claw; 80b)와, 압박 핀(80a)을 압박하는 코일 스프링(80c)을 포함한다.A blade holding portion 80 is provided on the second bottom surface 78b side of the base 78 . The blade holding portion 80 includes a pressing pin 80a protruding from the center of the second bottom surface 78b, and three claws disposed around the pressing pin 80a and gripping the cutting blade 46 . (claw; 80b), and a coil spring (80c) for urging the pressing pin (80a).

이와 같이 구성된 오토 블레이드 체인저(60)[블레이드 착탈 유닛(74)]와 절삭 유닛(14)은, 오토 블레이드 체인저 이동 기구(62)와 절삭 유닛 이동 기구(18)에 의해 상대적으로 이동한다.The auto blade changer 60 (blade attaching/removing unit 74 ) and the cutting unit 14 configured in this way are relatively moved by the auto blade changer moving mechanism 62 and the cutting unit moving mechanism 18 .

구체적으로는, 오토 블레이드 체인저(60)와 절삭 유닛(14)은, 절삭 유닛(14)에 대해 절삭 블레이드(46)를 착탈할 수 있는 착탈 위치와, 착탈 위치보다 서로 이격된 이격 위치 사이에서 이동한다.Specifically, the auto blade changer 60 and the cutting unit 14 move between a detachable position where the cutting blade 46 can be attached and detached with respect to the cutting unit 14 and a spaced apart position spaced apart from each other from the detachable position. do.

이격 위치에 위치한 오토 블레이드 체인저(60)와 대향하는 위치에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 사용 전 또는 사용 후의 복수의 절삭 블레이드(46)를 수용할 수 있는 블레이드 랙(82)이 배치되어 있다. A blade rack 82 capable of accommodating a plurality of cutting blades 46 before or after use, as shown in FIG. .

블레이드 랙(82)에 수용되어 있는 절삭 블레이드(46)는, 예컨대, 오토 블레이드 체인저(60)에 의해 반출되어, 블레이드 마운트(38)에 장착된다. 또한, 블레이드 마운트(38)에 장착되어 있는 절삭 블레이드(46)는, 오토 블레이드 체인저(60)의 블레이드 유지부(80)에 의해 스핀들로부터 떼어져서, 블레이드 랙(82)에 수용된다.The cutting blade 46 accommodated in the blade rack 82 is, for example, taken out by the auto blade changer 60 and mounted on the blade mount 38 . In addition, the cutting blade 46 mounted on the blade mount 38 is removed from the spindle by the blade holding portion 80 of the auto blade changer 60 , and is accommodated in the blade rack 82 .

도 1에 도시된 바와 같이, 베이스(4)의 상면에는, 오퍼레이터에 의한 각종의 지시(지령)가 입력되는 조작 패널(입력 수단)(84)이 설치되어 있다. 또한, X축 이동 기구, 척 테이블(10), 절삭 유닛(14), 절삭 유닛 이동 기구(18), 압력계(56), 오토 블레이드 체인저(60), 오토 블레이드 체인저 이동 기구(62), 조작 패널(84) 등의 각 구성 요소는, 제어 장치(제어 수단)(86)에 접속되어 있다. As shown in Fig. 1, on the upper surface of the base 4, an operation panel (input means) 84 to which various instructions (commands) from the operator are input is provided. Further, the X-axis movement mechanism, the chuck table 10, the cutting unit 14, the cutting unit movement mechanism 18, the pressure gauge 56, the automatic blade changer 60, the automatic blade changer movement mechanism 62, the operation panel Each component such as 84 is connected to a control device (control means) 86 .

도 6은 제어 장치(86)의 구성예를 모식적으로 도시한 블록도이다. 한편, 도 6에서는, 제어 장치(86)에 관한 접속 관계의 일부를 함께 예시하고 있다. 본 실시형태에 따른 절삭 장치(2)에서는, 예컨대, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)를 장착하라는 취지의 지시(장착 지령)가 조작 패널(84)에 입력되면, 제어 장치(86)는, 압력계(56)에 의해 유로(38b), 유로(36a), 유로(34b) 및 배관(52)의 내부의 압력을 측정한다. 6 is a block diagram schematically showing a configuration example of the control device 86 . In addition, in FIG. 6, a part of the connection relationship regarding the control apparatus 86 is illustrated together. In the cutting device 2 according to the present embodiment, when, for example, an instruction (mounting command) to the effect of mounting the cutting blade 46 to the blade mount 38 is inputted to the operation panel 84 , the control device 86 Measures the pressure inside the flow path 38b, the flow path 36a, the flow path 34b, and the pipe 52 with the pressure gauge 56 .

제어 장치(86)는, 각종의 정보를 기억할 수 있는 기억부(86a)를 구비하고, 압력계(56)로부터 보내진 측정값(측정 결과)은, 이 기억부(86a)에 기억된다. 또한, 제어 장치(86)는, 압력계(56)로부터 보내진 측정값을 기초로, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)가 장착되어 있는지의 여부를 판정하는 판정부(86b)를 구비한다.The control apparatus 86 is provided with the storage part 86a which can memorize|store various types of information, and the measured value (measurement result) sent from the pressure gauge 56 is memorize|stored in this storage part 86a. Further, the control device 86 includes a determination unit 86b that determines whether or not the cutting blade 46 is attached to the blade mount 38 based on the measured value sent from the pressure gauge 56 .

판정부(86b)는, 압력계(56)로부터 보내진 측정값을, 미리 기억부(86a)에 기억되어 있는 판정용의 기준값(임계값)과 비교한다. 판정용의 기준값은, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)가 장착된 상태의 유로(38b), 유로(36a), 유로(34b) 및 배관(52)의 내부의 압력에 대응하여 설정된다. The determination part 86b compares the measured value sent from the pressure gauge 56 with the reference value (threshold value) for determination memorize|stored in the memory|storage part 86a beforehand. The reference value for judgment is set corresponding to the internal pressure of the flow path 38b, the flow path 36a, the flow path 34b, and the pipe 52 in a state in which the cutting blade 46 is attached to the blade mount 38 . .

예컨대, 측정값이 판정용의 기준값보다 큰 경우, 판정부(86b)는, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)가 장착되어 있지 않다고 판정한다. 한편, 측정값이 판정용의 기준값 이하인 경우, 판정부(86b)는, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)가 장착되어 있다고 판정한다.For example, when the measured value is larger than the reference value for determination, the determination unit 86b determines that the cutting blade 46 is not attached to the blade mount 38 . On the other hand, when the measured value is equal to or less than the reference value for determination, the determination unit 86b determines that the cutting blade 46 is attached to the blade mount 38 .

이와 같이, 압력계(56), 기억부(86a) 및 판정부(86b)는, 블레이드 마운트(38)에 장착된 절삭 블레이드(46)의 유무를 검출하는 블레이드 검출 기구(블레이드 검출 수단)로서 기능한다.In this way, the pressure gauge 56 , the storage unit 86a , and the determination unit 86b function as a blade detection mechanism (blade detection means) for detecting the presence or absence of the cutting blade 46 attached to the blade mount 38 . .

블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)가 장착되어 있지 않다고 판정된 경우, 제어 장치(86)는, 절삭 유닛 이동 기구(18), 오토 블레이드 체인저(60) 및 오토 블레이드 체인저 이동 기구(62)를 제어하여, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)를 장착한다. When it is determined that the cutting blade 46 is not mounted on the blade mount 38 , the control device 86 controls the cutting unit moving mechanism 18 , the auto blade changer 60 , and the auto blade changer moving mechanism 62 . to mount the cutting blade 46 on the blade mount 38 .

이에 비해, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)가 장착되어 있다고 판정된 경우, 제어 장치(86)는, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)를 장착하지 않고, 경보 장치(경보 수단)(88)에 의해 경보를 발한다. On the other hand, when it is determined that the cutting blade 46 is mounted on the blade mount 38 , the control device 86 does not mount the cutting blade 46 on the blade mount 38 , but an alarm device (alarm means). ) (88) triggers an alarm.

이상과 같이, 본 실시형태에 따른 절삭 장치(2)는, 블레이드 마운트(38)[스핀들(36)의 선단부]에 장착된 절삭 블레이드(46)의 유무를 검출하는 블레이드 검출 기구(블레이드 검출 수단)와, 경보를 발하는 경보 장치(경보 수단)(88)를 구비하고, 조작 패널(입력 수단)(84)에 대해 절삭 블레이드(46)를 블레이드 마운트(38)에 장착하라는 취지의 지시(장착 지령)가 입력되면, 제어 장치(제어 수단)(86)는, 블레이드 검출 기구에 의해 절삭 블레이드(46)가 검출되지 않는 경우에 지시의 내용을 실행하고, 블레이드 검출 기구에 의해 절삭 블레이드(46)가 검출되는 경우에 지시의 내용을 실행하지 않고 경보 장치(88)에 의해 경보를 발하도록 구성되어 있다. As described above, the cutting device 2 according to the present embodiment has a blade detection mechanism (blade detection means) that detects the presence or absence of the cutting blade 46 attached to the blade mount 38 (the tip of the spindle 36 ). and an alarm device (alarm means) 88 for emitting an alarm, and an instruction to the operation panel (input means) 84 to mount the cutting blade 46 to the blade mount 38 (mounting instruction) is input, the control device (control means) 86 executes the contents of the instruction when the cutting blade 46 is not detected by the blade detection mechanism, and the cutting blade 46 is detected by the blade detection mechanism In this case, it is configured to issue an alarm by the alarm device 88 without executing the contents of the instruction.

따라서, 블레이드 마운트(38)에 절삭 블레이드(46)가 장착된 상태에서 잘못하여 장착의 지시를 입력한 경우라도, 절삭 장치(2)가 파손되는 일은 없다. 이와 같이, 본 실시형태에 따른 절삭 장치(2)에 의하면, 절삭 블레이드(46)의 교환 작업을 임의의 공정으로부터 개시해도, 오퍼레이터의 부주의 등에서 기인하는 문제의 발생을 방지할 수 있다. Therefore, even when an instruction for mounting is erroneously input while the cutting blade 46 is mounted on the blade mount 38 , the cutting device 2 is not damaged. Thus, according to the cutting device 2 which concerns on this embodiment, even if it starts the exchange operation|work of the cutting blade 46 from an arbitrary process, generation|occurrence|production of the problem resulting from operator negligence, etc. can be prevented.

한편, 상기 실시형태에 따른 구성, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다. In addition, the structure, method, etc. which concern on the said embodiment can be implemented by changing suitably, unless it deviates from the range of the objective of this invention.

2: 절삭 장치 4: 베이스
4a: 개구 6: X축 이동 테이블
8: 방진 방적 커버 10: 척 테이블
10a: 유지면 12: 클램프
14: 절삭 유닛(절삭 수단) 16: 지지 구조
18: 절삭 유닛 이동 기구(이동 수단) 20: Y축 가이드 레일
22: Y축 이동 플레이트 24: Y축 볼 나사
26: Z축 가이드 레일 28: Z축 이동 플레이트
30: Z축 볼 나사 32: Z축 펄스 모터
34: 스핀들 하우징 34a: 수용 공간
34b: 유로(흡인 유로) 36: 스핀들
36a: 유로(흡인 경로) 38: 블레이드 마운트
38a: 관통 구멍 38b: 유로(흡인 경로)
40: 플랜지부 40a: 지지면
40b: 흡인구 42: 보스부
44: 너트 46: 절삭 블레이드
48: 베이스(허브 베이스) 48a: 관통 구멍
48b: 이면(접촉면) 50: 절삭날
52: 배관(흡인 유로) 54: 흡인원
56: 압력계(블레이드 검출 수단) 60: 오토 블레이드 체인저
62: 오토 블레이드 체인저 이동 기구(이동 수단)
64: 가이드 레일 66: 이동 블록
68: 볼 나사 70: 펄스 모터
72: 케이스
74: 블레이드 착탈 유닛(블레이드 착탈 수단)
76: 아암 78: 베이스
78a: 제1 바닥면 78b: 제2 바닥면
80: 블레이드 유지부 80a: 압박 핀
80b: 클로 80c: 코일 스프링
82: 블레이드 랙 84: 조작 패널(입력 수단)
86: 제어 장치(제어 수단)
86a: 기억부(블레이드 검출 수단)
86b: 판정부(블레이드 검출 수단) 88: 경보 장치(경보 수단)2: Cutting device 4: Base
4a: Aperture 6: X-axis movement table
8: dust-proof cover 10: chuck table
10a: holding surface 12: clamp
14: cutting unit (cutting means) 16: support structure
18: cutting unit moving mechanism (moving means) 20: Y-axis guide rail
22: Y-axis moving plate 24: Y-axis ball screw
26: Z-axis guide rail 28: Z-axis moving plate
30: Z-axis ball screw 32: Z-axis pulse motor
34: spindle housing 34a: receiving space
34b: flow path (suction flow path) 36: spindle
36a: flow path (suction path) 38: blade mount
38a: through hole 38b: flow path (suction path)
40: flange portion 40a: support surface
40b: suction port 42: boss part
44: nut 46: cutting blade
48: base (hub base) 48a: through hole
48b: back surface (contact surface) 50: cutting edge
52: piping (suction flow path) 54: suction source
56: pressure gauge (blade detection means) 60: auto blade changer
62: auto blade changer moving mechanism (moving means)
64: guide rail 66: moving block
68: ball screw 70: pulse motor
72: case
74: blade detachable unit (blade detachable means)
76: arm 78: base
78a: first bottom surface 78b: second bottom surface
80: blade holding portion 80a: pressure pin
80b: claw 80c: coil spring
82: blade rack 84: operation panel (input means)
86: control device (control means)
86a: storage unit (blade detection means)
86b: judging unit (blade detection means) 88: alarm device (alarm means)

Claims (2)

피가공물을 유지하는 척 테이블과,
회전 구동되는 스핀들과 이 스핀들의 선단부에 장착되는 절삭 블레이드를 가지며, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 수단과,
상기 절삭 블레이드를 유지하는 블레이드 유지부를 가지며 상기 스핀들의 선단부에 대해 상기 절삭 블레이드를 착탈하는 블레이드 착탈 수단과,
상기 절삭 블레이드를 착탈할 수 있는 착탈 위치와 이 착탈 위치보다 서로 이격된 이격 위치 사이에서 상기 절삭 수단과 상기 블레이드 착탈 수단을 상대적으로 이동시키는 이동 수단과,
상기 이격 위치에 위치한 상기 블레이드 착탈 수단에 대응하여 배치되며, 사용 전 또는 사용 후의 복수의 상기 절삭 블레이드를 수용할 수 있는 블레이드 랙(blade rack)과,
상기 블레이드 착탈 수단에 의해 상기 절삭 블레이드를 상기 스핀들의 선단부에 장착하라는 취지의 장착 지령의 입력을 임의의 공정에서 접수하는 입력 수단과,
각부의 움직임을 제어하는 제어 수단과,
상기 스핀들의 선단부에 장착된 상기 절삭 블레이드의 유무를 검출하는 블레이드 검출 수단과,
미리 정해진 경보를 발하는 경보 수단
을 구비하고,
상기 입력 수단에 대해 상기 블레이드 착탈 수단에 의해 상기 절삭 블레이드를 상기 스핀들의 선단부에 장착하라는 취지의 상기 장착 지령이 임의의 공정에서 입력되면, 상기 제어 수단은, 상기 블레이드 검출 수단에 의해 상기 절삭 블레이드가 검출되지 않는 경우에 상기 장착 지령의 내용을 실행하고, 상기 블레이드 검출 수단에 의해 상기 절삭 블레이드가 검출되는 경우에 상기 장착 지령의 내용을 실행하지 않고 상기 경보 수단에 의해 경보를 발하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.a chuck table for holding a workpiece;
Cutting means having a spindle driven to rotate and a cutting blade mounted on the tip of the spindle, and cutting the workpiece held on the chuck table;
a blade attaching/removing means having a blade holding part for holding the cutting blade and attaching and detaching the cutting blade with respect to the tip of the spindle;
a moving means for relatively moving the cutting means and the blade attachment and detachment means between a detachable position at which the cutting blade can be attached and detachable and a position spaced apart from each other from the detachable position;
a blade rack disposed corresponding to the blade detaching means located at the spaced apart position and capable of accommodating a plurality of the cutting blades before or after use;
input means for receiving, in an arbitrary process, an input of a mounting command to the effect that the cutting blade is mounted on the tip of the spindle by the blade attaching/removing means;
Control means for controlling the movement of each part;
blade detection means for detecting the presence or absence of the cutting blade mounted on the tip of the spindle;
alarm means for generating a predetermined alarm
to provide
When the mounting command to the effect of mounting the cutting blade to the tip of the spindle by the blade attaching/detaching means is inputted in any process to the input means, the control means is configured such that the cutting blade is installed by the blade detecting means. Cutting, characterized in that the content of the mounting command is executed when not detected, and an alarm is issued by the warning means without executing the contents of the mounting command when the cutting blade is detected by the blade detecting means. Device. 제1항에 있어서, 상기 절삭 수단은, 원반형의 플랜지부와 이 플랜지부로부터 돌출된 보스부를 가지며, 상기 스핀들의 선단부에 고정되는 블레이드 마운트를 구비하고,
상기 절삭 블레이드는, 상기 플랜지부에 접촉하는 접촉면을 가지며, 중앙부에 상기 블레이드 마운트의 상기 보스부가 삽입되는 관통 구멍이 형성된 원반형의 베이스와, 이 베이스의 외주부에 형성된 절삭날을 포함하고,
상기 블레이드 마운트는, 상기 절삭 블레이드의 상기 베이스의 상기 접촉면측을 흡인하는 흡인 수단을 구비하며,
상기 흡인 수단은, 상기 베이스의 상기 접촉면측을 지지하는 상기 플랜지부의 지지면측에 개구된 흡인구와, 부압을 발생시키는 흡인원과, 상기 흡인구와 상기 흡인원을 잇는 흡인 경로와, 이 흡인 경로에 설치되며 상기 흡인 경로 내의 압력을 측정하여 측정 결과를 상기 제어 수단에 보내는 압력계를 구비하고,
상기 제어 수단은, 상기 블레이드 마운트에 상기 절삭 블레이드가 유지된 상태의 상기 흡인 경로 내의 압력에 대응하여 설정되는 기준값과, 상기 압력계로부터 보내지는 상기 측정 결과를 기억하는 기억부와, 이 기억부에 기억된 상기 기준값과 상기 측정 결과로부터 상기 스핀들의 선단부에 상기 절삭 블레이드가 장착되어 있는지의 여부를 판정하는 판정부를 구비하며,
상기 블레이드 검출 수단은, 상기 압력계와 상기 기억부와 상기 판정부로 구성되는 것을 특징으로 하는 절삭 장치. The method according to claim 1, wherein the cutting means has a disk-shaped flange portion and a boss portion protruding from the flange portion, and includes a blade mount fixed to the tip of the spindle,
The cutting blade includes a disk-shaped base having a contact surface in contact with the flange portion and having a through-hole into which the boss portion of the blade mount is inserted in a central portion, and a cutting edge formed on the outer periphery of the base,
The blade mount includes a suction means for sucking the contact surface side of the base of the cutting blade,
The suction means includes a suction port opened on the support surface side of the flange portion supporting the contact surface side of the base, a suction source for generating a negative pressure, a suction path connecting the suction port and the suction source, and a pressure gauge installed to measure the pressure in the suction path and send the measurement result to the control means,
The control means includes: a storage unit for storing a reference value set in response to the pressure in the suction path in a state in which the cutting blade is held by the blade mount, and the measurement result sent from the pressure gauge; and a judging unit for judging whether the cutting blade is mounted on the tip of the spindle based on the reference value and the measurement result,
The said blade detection means is comprised with the said pressure gauge, the said memory|storage part, and the said determination part, The cutting device characterized by the above-mentioned.
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